WO2014173095A1 - 检测设备 - Google Patents

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WO2014173095A1
WO2014173095A1 PCT/CN2013/085900 CN2013085900W WO2014173095A1 WO 2014173095 A1 WO2014173095 A1 WO 2014173095A1 CN 2013085900 W CN2013085900 W CN 2013085900W WO 2014173095 A1 WO2014173095 A1 WO 2014173095A1
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侯玉强
井杨坤
姚松
孙健
顾二兴
季兴宾
夏祥
范立革
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BOE Technology Group Co Ltd
Hefei BOE Optoelectronics Technology Co Ltd
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    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1306—Details
    • G02F1/1309—Repairing; Testing
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
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    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs

Definitions

  • Embodiments of the invention relate to a detection device. Background technique
  • the photothermal detection performed by the photothermal detecting device is based on the thermal diffusion phenomenon generated after the object to be tested is heated, wherein the thermal diffusion phenomenon of the object to be tested is affected by the local structural features or materials, for example, if there is a defect in the object to be tested, Then, a temperature difference is generated between the defective portion and the non-defective portion, so that the photothermal detecting device can detect the defect of the object to be tested.
  • the photothermal detecting device generally includes a detecting platform for placing the object to be tested, an infrared detecting system, a light source system, and a heating mechanism disposed on the detecting platform.
  • the following describes the specific detecting process of the photothermal detecting device by using the object to be tested as a liquid crystal panel. .
  • the display quality of the formed liquid crystal panel needs to be detected, and one of the detections is the detection of gravity marks or ripples (mura), so-called gravity mura That is, the liquid crystal sinks to the bottom of the liquid crystal panel by its gravity and exhibits a defective portion of color difference with other positions of the liquid crystal panel.
  • the process of detecting the gravity mura is: placing an undivided liquid crystal panel (a plurality of liquid crystal display panel units arranged on an undivided liquid crystal panel) on the detecting platform, and placing the undivided liquid crystal panel in a vertical state, through the light source system After the light source of the undivided liquid crystal panel is supplied and the heating mechanism heats it, the infrared detecting system detects the temperature of the surface, and finally the infrared temperature difference is used to accurately measure the defect of the liquid crystal panel (gravity mura).
  • the photothermal detecting device can only detect one undivided liquid crystal panel at a time, it is necessary to separately heat each undivided liquid crystal panel, and the heating time is long, while the other undivided liquid crystal panels to be tested are always in Waiting state, this will affect the detection efficiency of the photothermal detection device. Summary of the invention
  • the embodiment of the invention provides a detecting device, including:
  • the detection is rejected, and the detection station is provided with a detection station, and the detection station is configured to place the heated object to be tested.
  • the heating chamber is plural, and the heating module comprises a plurality of heating units, and each of the heating units is correspondingly disposed in one heating chamber.
  • each of the plurality of heating units may be separately controlled.
  • the detection station is vertically disposed within the detection rejection.
  • the heating chamber is vertically disposed within the heating reject, or the heating chamber is coupled to the first rotating mechanism to rotate the heating chamber to a vertical state.
  • the heating rejection is provided with an optical sensor configured to detect an interference signal entering the heating rejection, the optical sensor being connected to the control system; when the optical sensor senses When the signal is disturbed, the control system controls the detection station to stop the rotational motion.
  • the top of the detection rejection is provided with a slide rail, and each of the infrared cameras is slidably connected with the slide rail.
  • FIG. 1 is a schematic diagram of heating rejection in a detecting device according to an embodiment of the present invention
  • the embodiment of the invention provides a detecting device, including:
  • Heating rejection 1 the heating rejection 1 is provided with a heating module and a heating chamber 2, wherein the heating chamber 2 is configured to place the object to be tested, and the heating module is configured to heat the plurality of objects to be tested;
  • the detection rejection 3 is provided with a detection station 4 in which the detection station 4 is configured to place the heated object 12 to be tested.
  • the detecting device of the embodiment of the present invention can simultaneously heat a plurality of objects 12 to be tested, and then take out one of the heated objects 12 to be tested, and can directly place the detecting table 4 in the detecting reject 3 for detection. After the detecting device detects the object 12 to be tested, the next heated object 12 is taken out from the heating reject 1, and the above process is repeated. In this way, compared to multiple objects to be tested 12 In the embodiment of the invention, the plurality of objects 12 to be tested can be heated at the same time, which can save heating time and improve the detection efficiency of the detecting device.
  • the undetected liquid crystal panel in the liquid crystal panel production process is taken as an example, and it is understood that In addition to the scanning detection of the defects of the liquid crystal display panel, the invention can also perform scanning detection on other products.
  • the detection rejection 3 is provided with a detection station 4, and the detection station 4 is configured to place a test object 12 heated by the heating module, such as an undivided liquid crystal panel.
  • the defects of the liquid crystal panel unit such as gravity mura
  • the plurality of undivided liquid crystal panels can be heated at the same time, which can save heating time of one undivided liquid crystal panel, and improve the detection equipment. Detection efficiency.
  • the transport mechanism 10 is disposed between the heating reject 1 and the detection reject 3, and is configured to transport the heated analyte 12, such as an undivided liquid crystal panel, to the inspection station 4.
  • the heating module may be an integral heating device, such as a hot air circulation system device, by using a heating resistor wire, and then using a blower to simultaneously transfer the hot gas generated by the heating resistor wire to the plurality of heating chambers 2 through the pipeline, thereby achieving simultaneous multi-directional Heating of the undivided liquid crystal panel; or a plurality of heating units may be included, each of which is disposed in a heating chamber 2, which further ensures that the undivided liquid crystal panel in each heating chamber 2 reaches a predetermined temperature.
  • a hot air circulation system device by using a heating resistor wire, and then using a blower to simultaneously transfer the hot gas generated by the heating resistor wire to the plurality of heating chambers 2 through the pipeline, thereby achieving simultaneous multi-directional Heating of the undivided liquid crystal panel
  • a plurality of heating units may be included, each of which is disposed in a heating chamber 2, which further ensures that the undivided liquid crystal panel in each heating chamber 2 reaches a predetermined temperature.
  • Each heating chamber 2 in the heating reject 1 may also be in a vertical or close to vertical state, or also to facilitate flexible adjustment, the heating chamber 2 may be rotated to a vertical or close to vertical by a second rotating mechanism.
  • the state of the undivided liquid crystal panel is always in the vertical state during heating, handling, and detection.
  • embodiments of the present invention may movably set the infrared camera to the top of the detection reject 3, for example, a slide rail is provided at the top of the detection reject 3 (not shown) Out), each infrared camera tube 6 is slidably connected to the slide rail.

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Abstract

一种检测设备，包括：加热柜（1），所述加热柜（1）内设有加热模块以及加热腔（2），所述加热腔（2）配置来放置待测物（12），所述加热模块配置来加热多个所述待测物（12）；以及检测柜（3），所述检测柜（3）内设有检测台（4），所述检测台（4）配置来放置加热后的待测物（12）。该检测设备主要适用于检测液晶面板的缺陷，可以较好地提高检测效率。

Description

检测设备 技术领域
本发明的实施例涉及一种检测设备。 背景技术
光热检测设备进行的光热检测是基于待测物受热后所产生的热扩散现 象， 其中待测物的热扩散现象受其局部结构特征或材质的影响， 例如待测物 中若存在缺陷， 则其缺陷部和非缺陷部之间会产生温差， 这样光热检测设备 可以检测出待测物的缺陷。
光热检测设备一般包括用于放置待测物的检测平台、 红外检测系统、 光 源系统以及设置在检测平台上的加热机构， 下面以待测物为液晶面板举例说 明光热检测设备的具体检测过程。 在液晶面板生产工艺中， 阵列基板和彩膜 基板之间滴注液晶之后， 需要对所形成的液晶面板进行显示质量检测， 其中 一项检测为重力斑痕或波纹（mura )的检测， 所谓重力 mura, 即液晶在其重 力的作用下沉至液晶面板的底部并与液晶面板其它位置呈现色差的缺陷部 分。 检测重力 mura的过程为： 将一个未分割液晶面板（一个未分割液晶面 板上布置有多个液晶显示面板单元）放置在检测平台上， 并使未分割液晶面 板呈竖直状态， 通过光源系统对未分割液晶面板的提供光源以及加热机构对 其加热后， 红外检测系统检测其表面的温度， 最终通过红外温差来精确测出 液晶面板的缺陷 （重力 mura )。 由于光热检测设备每次只能对一个未分割液 晶面板进行检测， 因此需要单独对每个未分割液晶面板进行加热， 并且加热 的时间比较长， 而其它待测的未分割液晶面板则一直处于等待状态， 这样便 会影响光热检测设备的检测效率。 发明内容
本发明的实施例提供一种检测设备， 可以较好地提高检测设备的检测效 率。
本发明实施例提供了一种检测设备， 包括：
加热拒， 所述加热拒内设有加热模块以及加热腔， 所述加热腔配置来放 置待测物， 所述加热模块配置来加热多个所述待测物； 以及
检测拒， 所述检测拒内设有检测台， 所述检测台配置来放置加热后的待 测物。
根据本发明的一实施例， 所述检测设备还包括：
搬运机构， 所述搬运机构设置在所述加热拒和所述检测拒之间， 并且配 置来将加热后的待测物搬运至所述检测台上。
根据本发明的一实施例， 所述加热腔为多个， 所述加热模块包括多个加 热单元， 每个所述加热单元对应设置在一个加热腔内。
根据本发明的一实施例， 所述多个加热单元的每个可被分别单独控制。 根据本发明的一实施例， 所述检测台竖直设置在所述检测拒内。
根据本发明的一实施例， 所述检测台连接有第二旋转机构， 以使所述检 测台旋转至竖直状态。
根据本发明的一实施例， 所述加热腔竖直设置在所述加热拒内， 或所述 加热腔连接有第一旋转机构， 以使所述加热腔旋转至竖直状态。
根据本发明的一实施例， 所述加热拒中设有配置来检测进入所述加热拒 内的干扰信号的光学感应器， 所述光学感应器与控制系统连接； 当所述光学 感应器感应到干扰信号时， 所述控制系统控制所述检测台停止旋转运动。
根据本发明的一实施例， 所述检测台中与所述待测物的接触面上设有透 明部， 所述透明部的下方设有背光源。
根据本发明的一实施例，所述检测拒内的顶部设有至少一个红外摄像头， 所述至少一个红外摄像头位于所述检测台的上方。
根据本发明的一实施例， 所述红外摄像头包括固定在所述检测拒内的顶 部的红外摄像管和与所述红外摄像管旋转连接的镜头。
根据本发明的一实施例， 所述检测拒内的顶部设有滑轨， 每个所述红外 摄像头与所述滑轨滑动连接。 附图说明
以下将结合附图对本发明的实施例进行更详细的说明， 以使本领域普通 技术人员更加清楚地理解本发明， 其中：
图 1为本发明实施例提供的检测设备中加热拒的示意图；
图 2为本发明实施例提供的检测设备中检测拒的示意图； 图 3为根据本发明实施例的检测系统的工作示意图。
附图标记：
1—加热拒， 2-加热腔， 3-检测拒， 4-检测台， 40-透明部， 5-镜头， 6-红外 摄像管， 7-光学感应器， 8-背光源， 9-旋转轴， 10-搬运机构， 12-待测物， 14- 导轨机构， 16-机械手。 具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图， 对本发明实施例中的技术方案进行 清楚、 完整地描述， 显然， 所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例， 而 不是全部的实施例。 基于本发明中的实施例， 本领域普通技术人员在没有做 出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
除非另作定义， 此处使用的技术术语或者科学术语应当为本发明所属领 域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。 本发明专利申请说明书以及权 利要求书中使用的 "第一"、 "第二" 以及类似的词语并不表示任何顺序、 数 量或者重要性， 而只是用来区分不同的组成部分。 同样， "一个"、 "一"或者 "该"等类似词语也不表示数量限制， 而是表示存在至少一个。 "包括 "或者 "包含" 等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后 面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。 "连接 "或者 "相连" 等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接， 而是可以包括电 性的连接，不管是直接的还是间接的。 "上"、 "下"、 "左"、 "右"等仅用于表 示相对位置关系， 当被描述对象的绝对位置改变后， 则该相对位置关系也可 能相应地改变。
本发明实施例提供了一种检测设备， 包括：
加热拒 1 ,该加热拒 1内设有加热模块以及加热腔 2,其中加热腔 2配置 来放置待测物， 加热模块配置来加热多个待测物；
检测拒 3 ,该检测拒 3内设有检测台 4,其中检测台 4配置来放置加热后 的待测物 12。
本发明实施例的检测设备能够同时对多个待测物 12进行加热，然后将其 中一个加热好的待测物 12取出， 并可以直接放置在检测拒 3 内的检测台 4 上进行检测。 当检测设备对该待测物 12检测完毕后，再从加热拒 1中取出下 一个加热好的待测物 12, 重复上述过程。 这样相比分别对多个待测物 12进 行加热，本发明实施例中可以同时对多个待测物 12进行加热，可以节省加热 时间， 较好地提高了检测设备的检测效率。
为使本领域技术人员更好地理解及实现本发明的实施例， 以下进一步结 合附图， 并以待测物为液晶面板生产工艺中的未分割液晶面板为例， 并且通 理解的是， 本发明除了可以对液晶显示面板的缺陷进行扫描检测外， 还可以 对其它产品进行扫描检测。
图 1是本发明实施例提供的检测设备中加热拒 1的示意图， 图 2是本发 明实施例提供的检测设备中检测拒 3的示意图， 图 3为根据本发明实施例的 检测系统的工作示意图。 如图 1和图 2所示， 该检测设备包括：
加热拒 1 , 该加热拒 1内设有加热模块以及多个加热腔 2 , 每个加热腔 2 配置来放置待测物 12, 例如未分割液晶面板， 加热模块配置来加热多个待测 物 12, 例如未分割的液晶面板；
检测拒 3,该检测拒 3内设有检测台 4,检测台 4配置来放置由加热模块 加热好的待测物 12, 例如未分割的液晶面板。
这样不但能够检测出液晶面板单元的缺陷 （例如重力 mura ), 还能够同 时对多个未分割液晶面板进行加热， 可以节省一个一个加热未分割液晶面板 的加热时间， 较好地提高了检测设备的检测效率。
加热好的未分割液晶面板可以由操作人员借助夹具来将其从加热拒 1搬 运至检测拒 3内的检测台 4上， 但是为了提高检测效率， 以及避免对操作人 员可能造成损伤，可以借助于自动控制的机构来实现未分割液晶面板的搬运， 即检测设备还可以包括：
搬运机构 10, 该搬运机构 10设置在加热拒 1和检测拒 3之间， 并且配 置来将加热后的待测物 12, 例如未分割的液晶面板搬运至检测台 4上。
例如， 搬运机构 10可以包括导轨结构 14或皮带传送结构、 机械手 16, 其中导轨结构 14设置在加热拒 1和检测拒 3之间， 机械手 16抓取加热腔 2 内的待测物 12, 例如未分割的液晶面板， 并将其放置在导轨上， 导轨将其运 输至靠近检测拒 3的一端时， 机械手再将其抓取并安装至检测台 4上。 由于 搬运机构 10可以是本领域技术人员所能想到的多种形式，因此这里不再—— 列举。还可以理解的是，搬运机构 10是通过控制系统进行初始化设置而实现 自动化运动的， 在此也不再进行赘述。 上述加热模块可以是一个整体的加热设备， 例如为热风循环系统设备， 通过采用发热电阻丝， 然后利用鼓风机将发热电阻丝产生的热气通过管道同 时输送给多个加热腔 2, 从而实现同时对多个未分割液晶面板的加热； 或者 也可以包括多个加热单元， 每个加热单元对应设置在一个加热腔 2内， 这样 可以进一步保证每个加热腔 2内的未分割液晶面板达到预定的温度。
不过也可以分别单独控制多个加热单元， 这是因为在一些场合下不需要 同时加热所有加热腔 2内的待测物 12,而仅需要检测个别待测物 12。通过控 制系统有选择地进行加热控制， 使其中几个需要加热的加热单元进行加热， 可以灵活地设定和加热待测物 12。
当然， 对待测物 12进行加热的设备还可以是其它的加热设备， 例如， 在 每个加热腔 2内、 在与未分割液晶面板接触的部分， 设置发光发热的石英卤 素灯， 或者设置硅橡胶加热板等。 本发明实施例中的加热模块并不限于上面 提到的加热设备， 也可以是其它可实现加热的设备。
前面也提到检测设备（例如， 光热检测设备）可以检测液晶面板的重力 mura, 因此在检测过程中， 未分割液晶面板始终保持竖直或接近于竖直的状 态， 这样当搬运机构将竖直摆放的未分割液晶面板搬运至检测台 4上时， 检 测台 4也可以是始终在检测拒 3内竖直或接近于竖直的状态， 或者为了便于 灵活调节， 检测台 4可以通过第一旋转机构 9来将其旋转至竖直或接近竖直 状态（比如将检测台 4旋转至与水平面呈 85。 ）。 加热拒 1内的每个加热腔 2也可以呈竖直或接近于竖直的状态， 或者同样为了便于灵活调节， 也可以 通过第二旋转机构将加热腔 2旋转至竖直或接近于竖直的状态， 这样可以使 未分割液晶面板在加热、 搬运以及检测时始终处于竖直状态。
这里需要说明的是， 在开始对液晶面板进行检测前， 只要能在准确地、 并且不损害检测设备的情况下将未分割液晶面板搬运至检测台 4上， 就不对 加热腔 2处于何种方位状态进行限制。 但是进行检测时， 应使未分割液晶面 板处于竖直或接近于竖直的状态， 因此， 例如， 可以将检测台 4连接第二旋 转机构， 以能够灵活地转动检测台 4。
可以理解的是， 旋转机构不限于包括电机、 以及图 2中所示的旋转轴 9。 由于旋转机构是本领域技术人员公知的多种结构形式， 因此对旋转机构不再 进行详述。
如图 2所示， 上述加热拒 1中靠近搬运机构的边缘部分设有连接控制系 统的光学感应器 7, 这样在人手或其它干扰物品进入检测拒 3后， 光学感应 器 7感应到该干扰信号， 并将此信号发送至控制系统， 以使控制系统发出停 止检测台 4旋转运动的命令， 避免发生意外。
在对液晶面板进行检测时， 除液晶面板之外还需要背光源 8, 以形成一 个液晶显示器的模拟状态。 因此， 在上述检测台 4中与待测物未分割液晶面 板的接触面上设有例如材质为石英的透明部 40, 该透明部 40的下方设有背 光源 8。 尽管图中未示出， 但是本领域技术人员仍可以知道背光源 8包括光 源 （如 LED )、 导光板、 扩散板以及偏光片等， 其作用与液晶显示模组中的 背光模组相同。
光热检测设备中还包括红外检测系统，该红外检测系统包括红外摄像头。 例如， 检测拒 3内的顶部设有至少一个红外摄像头， 该至少一个红外摄像头 位于检测台 4的上方。 这样， 红外摄像头将扫描检测未分割液晶面板的图像 信息传送至处理单元， 通过处理单元进行运算处理， 并将最终检测结果直接 显示出来， 从而便于操作人员直接观测。
再次参照图 2, 上述红外摄像头包括固定在检测拒 3内的顶部的红外摄 像管 6、与红外摄像管 6旋转连接的镜头 5。这样， 可以通过旋转镜头 5来调 整其与未分割液晶面板的角度， 因此能够从不同的角度分析液晶面板上的缺 陷。 其中镜头 5采用 CCD ( Charge Coupled Device, 电荷耦合器件）偏光镜 头， 可以更好地识别出液晶面板中的色差不良。
为了可以进一步实时地测量未分割液晶面板的温度， 本发明的实施例可 以将红外摄像头可移动地设置在检测拒 3内的顶部， 例如， 在检测拒 3内的 顶部设有滑轨（未示出）， 每个红外摄像管 6与滑轨滑动连接。
本发明实施例提供的检测设备包括检测拒、 加热拒， 其中所述检测拒内 设有检测台， 所述检测台配置来放置加热后的待测物； 所述加热拒内设有加 热模块以及加热腔， 所述加热腔配置来放置待测物， 所述加热模块配置来加 热多个所述待测物， 这样便能够同时对多个待测物进行加热， 然后将其中一 个加热好的待测物取出， 并可以直接放置在检测拒内的检测台上进行检测。 当检测设备对该待测物检测完毕后， 再从加热拒中取出下一个加热好的待测 物， 重复上述过程。 这样相比分别对多个待测物进行加热， 本发明的实施例 可以同时对多个待测物进行加热， 可以节省加热时间， 较好地提高了检测设 备的检测效率。 以上，仅是本发明的示例性实施例，但本发明的保护范围并不局限于此， 所属技术领域的普通技术人员在本发明公开的范围内， 可轻易想到许多其他 实施例或变型或替换， 而这些都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims

权利要求书
1、 一种检测设备， 包括：
加热拒， 所述加热拒内设有加热模块以及加热腔， 所述加热腔配置来放 置待测物， 所述加热模块配置来加热多个所述待测物； 以及
检测拒， 所述检测拒内设有检测台， 所述检测台配置来放置加热后的待 测物。
2、 根据权利要求 1所述的检测设备， 还包括：
搬运机构， 所述搬运机构设置在所述加热拒和所述检测拒之间， 并且配 置来将加热后的待测物搬运至所述检测台上。
3、根据权利要求 1或 2所述的检测设备， 其中所述加热腔为多个， 所述 加热模块包括多个加热单元， 每个所述加热单元对应设置在一个加热腔内。
4、根据权利要求 3所述的检测设备，其中所述多个加热单元的每个可被 分别单独控制。
5、根据权利要求 1-4任一项所述的检测设备， 其中所述检测台竖直设置 在所述检测拒内。
6、根据权利要求 1-5任一项所述的检测设备， 其中所述检测台连接有第 一旋转机构， 以使所述检测台旋转至竖直状态。
7、根据权利要求 5或 6所述的检测设备，其中所述加热腔竖直设置在所 述加热拒内， 或所述加热腔连接有第二旋转机构， 以使所述加热腔旋转至竖 直状态。
8、根据权利要求 1-7任一项所述的检测设备， 其中所述加热拒中设有配 置来检测进入所述加热拒内的干扰信号的光学感应器， 所述光学感应器与一 控制系统连接； 当所述光学感应器感应到干 4尤信号时， 所述控制系统控制所 述检测台停止旋转运动。
9、根据权利要求 1-8任一项所述的检测设备， 其中所述检测台中与所述 待测物的接触面上设有透明部， 所述透明部的下方设有背光源。
10、 根据权利要求 1-9任一项所述的检测设备， 其中所述检测拒内的顶 部设有至少一个红外摄像头， 所述至少一个红外摄像头位于所述检测台的上 方。
11、根据权利要求 10所述的检测设备，其中所述红外摄像头包括固定在 所述检测拒内的顶部的红外摄像管和与所述红外摄像管旋转连接的镜头。
12、 根据权利要求 10或 11所述的检测设备， 其中所述检测拒内的顶部 设有滑轨， 每个所述红外摄像头与所述滑轨滑动连接。
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