WO2014096218A1 - Dispositif et procede de limitation de force - Google Patents

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WO2014096218A1
WO2014096218A1 PCT/EP2013/077437 EP2013077437W WO2014096218A1 WO 2014096218 A1 WO2014096218 A1 WO 2014096218A1 EP 2013077437 W EP2013077437 W EP 2013077437W WO 2014096218 A1 WO2014096218 A1 WO 2014096218A1
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gripper
rod
spring
actuator
electrical contact
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PCT/EP2013/077437
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Philippe Roy
Pascal Dromard
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Ismeca Semiconductor Holding Sa
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    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
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    • G01R31/2893—Handling, conveying or loading, e.g. belts, boats, vacuum fingers
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/6838—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping with gripping and holding devices using a vacuum; Bernoulli devices
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    • G01R31/2891—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks related to sensing or controlling of force, position, temperature

Definitions

  • the present invention relates to a device and a method for limiting the pressure applied to an electronic component being tested.
  • test machines in which the components being manufactured or manipulated are tested.
  • Many test machines include a rotating turret with multiple grippers that grip the components for transport between multiple test, marking or handling stations.
  • the grippers may for example be pipettes that hold the components by vacuum to lift and transport from one station to the next.
  • test nest that is to say a housing that allows to center it perfectly above the test contacts of the station during the test.
  • the vertical force applied by the gripper on the component must be sufficient to accelerate very quickly the component, to ensure a high rate.
  • Some test stations also require a gripper that continues to press the component for the duration of the test, to ensure quality electrical contact.
  • the vertical force applied by known grippers is typically of the order of 10 Newtons, or more. It sometimes happens that the electronic component to be tested is poorly centered on the end of the gripper. For example, in the case where the gripper comprises a pipette which holds the electronic component by vacuum, it happens that the electronic component is held by the edge, instead of being centered on the pointed end of the pipette.
  • WO03071288 discloses a force limitation system adapted to the testing of electronic components.
  • An object of the present invention is to solve the problems mentioned above which may be caused by the lowering of a poorly centered electrical component on a test nest for example.
  • a force limitation device for limiting the force applied by a linear actuator on an electronic component gripper, comprising:
  • a first element arranged to be fixed to said actuator so as to be able to move linearly under the action of said actuator
  • a second element arranged to be connected to said gripper, so as to linearly move said gripper
  • an elastically compressible spring for transmitting and limiting the force applied by the first member to the second member.
  • the elastic coupling by means of a spring between the first element connected to the linear actuator and the second element connected to the gripper, for example by the pipette, limits the maximum force applicable by the actuator on the gripper. .
  • the device may comprise an electrical contact in a first state when the spring imposes a limitation of the force applied to the second element, and in a second state when the spring does not impose a limitation of the force applied to the second element.
  • a threshold value for example in the case of collision between the manipulated component and a portion of the test station, for example when the component is poorly centered relative to a nest of the test station. It is then possible to detect such a collision by checking the state of the contact, for example by checking whether a current flows through this contact, to quickly raise the component in the event of a collision in order to prevent it from breaking, and to eject it to a next sorting station.
  • the first element may comprise an axial rod and a bearing surface against which rests an end of the spring.
  • the second element may comprise a sleeve capable of sliding along this axial rod.
  • the spring can be compressed when the compressive force between the sleeve and the bearing surface of the first element exceeds a threshold.
  • the end of the axial rod facing the gripper may be connected to a first electrical contact surface.
  • the socket can
  • the first electrical contact surface and the second electrical contact surface are pressed against each other when the spring is relaxed, and are spaced from each other when the spring is compressed, when the gripper exerts a force of reaction exceeding a threshold.
  • the first and second electrical contact surfaces may be frustoconical and concentric.
  • the first contact surface may belong to a contact piece around the end of the rod facing the second member and / or to the gripper.
  • the second contact surface may belong to an opening traversed by the rod in the second element.
  • the first element may comprise a first bushing mounted around the rod and in electrical contact with the rod.
  • the second element may comprise a second bushing mounted around the rod and which is electrical contact with the rod only when the spring is relaxed.
  • the second element may comprise a third bushing of insulating material mounted around the rod and for guiding the rod as it moves relative to the second element.
  • the present invention also relates to a machine for testing electronic components, comprising a turret with a plurality of grippers for gripping electronic components around the turret, at least one linear actuator for vertically moving a said gripper relative to said turret , so as to lower or raise said component, and a limiter as described above to limit the vertical force applied to the gripper by the actuator.
  • the present invention also relates to a method for limiting the force applied by a linear actuator on an electronic component gripper, comprising:
  • Figure 1 illustrates a longitudinal sectional view of a force limiting device according to the invention when the spring is relaxed.
  • Figure 2 illustrates a longitudinal sectional view of a force limiting device according to the invention when the spring is compressed.
  • the torque limiting device 1 illustrated in the figures is intended to be mounted between a linear actuator not shown and a not shown gripper.
  • the limitation device is fixed by non-detailed fixing means to the linear actuator at the top; for example, the circular casing 2 of the device 1 can be screwed, fixed by a pin or by a bayonet, to a linear actuator which would be mounted above the device 1.
  • the linear actuator may be constituted for example by a linear motor, for example a linear jack, a stepper motor, a voice coil motor etc.
  • the device 1 comprises a second element consisting of the components 5, 50, 6, 23 to be fixed by means not detailed to a gripper, for example a vacuum gripper.
  • the component 5 of the device 1 can be screwed, fixed by a pin or a bayonet, to a gripper, for example a pipette, which would be mounted under the device 1.
  • the device 1 comprises a first element comprising the elements 4, 40, 41 and 7, and the housing 2. This first element is rigidly connected to the actuator, so it follows the vertical movements.
  • Component 4 is a rod of electrically conductive material.
  • the element 40 is pierced with an opening for the rod 4.
  • the element 41 is a first sleeve of electrically conductive material which is traversed by the rod 4 and in electrical contact with this rod; an electrical connector 20 makes it possible to inject a current into this socket and into the axis 4.
  • the lower face of the element 41 further defines a contact surface 410 against which the spring 3 bears.
  • the end of the rod 7 facing the gripper (bottom of the figure) is equipped with a contact piece 70 of electrically conductive material. This contact piece comprises in the example a cone portion shape thus defining a frustoconical contact surface 71.
  • a second element is rigidly connected to the gripper mounted under the device 1.
  • This second element comprises the fixing stud 5, the bushing 50, the second bushing 6 and the third bushing 23.
  • the gripper is mounted under the stud 5 integral with the bushing 50.
  • the bushing 50 has a blind opening in which the bushing contact 7 connected to the rod 4 can slide, as shown in Figure 2.
  • the second bushing 6 has an opening for passing the contact rod 4, without contact.
  • the distal end of this opening widens as a cone portion, thereby defining a female contact surface 71 corresponding to the male contact portion 70 of the contact piece 7.
  • the third bushing 23 is insulating material and guides the rod 4 in the center of the sleeve 6; it furthermore provides a bearing surface for the distal end of the spring 3.
  • the spring 3 In the position illustrated in FIG. 1, the spring 3 is relaxed and pushes the second element 5, 6, 23, 50 downwards. , until the second contact surface 71 comes into contact with the first contact surface 70 of the part 7.
  • the actuator not shown
  • the spring 3 transmits this force to the second element and therefore to the gripper not shown.
  • the contact surfaces 70, 71 therefore tend to separate from one another, which can be detected by the interruption of the current injected on the terminal 20 which no longer reaches the terminal 21 connected to the second socket 6.
  • An electronic control circuit not shown can then detect this interruption of current to decide to immediately go up the actuator, thus raise the gripper, and mark the component carried by this gripper as "not tested” and / or off-center, in order to reject it or refocus it in a subsequent treatment station.
  • the spring 3 therefore limits the maximum force that can be exerted on the gripper and the component.
  • the force threshold from which the spring 3 begins to compress sufficiently for the surfaces 70, 71 to separate from one another is between 8 and 20 Newtons, preferably between 10 and 15 Newtons.
  • a rod 4 connected to the actuator slides in a sleeve 6 connected to the gripper. It would also be possible to reverse this arrangement and to provide a rod connected to the gripper and sliding in a socket connected to the actuator. It is also possible to provide systems comprising several rods, or systems without rods in which the cylindrical housing 2 transmits forces between the first and the second element.

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Abstract

Dispositif (1) de limitation de force pour limiter la force appliquée par un actuateur linéaire sur un préhenseur de composant électronique, comprenant : un premier élément (4,7,40,41 ) agencé pour être fixé audit actuateur de manière à pouvoir se mouvoir linéairement sous l'action dudit actuateur; un deuxième élément (5, 6, 23, 50) agencé pour être lié audit préhenseur, de manière à mouvoir linéairement ledit préhenseur; un ressort compressible élastiquement (3) disposé entre le premier élément (4,7,40) et le deuxième élément (5,6,23,50) pour transmettre et limiter la force appliquée par le premier élément sur le deuxième élément, un contact électrique agencé pour être dans un premier état lorsque ledit ressort (3) impose une limitation de la force appliqué au deuxième élément, et dans un deuxième état lorsque ledit ressort n'impose pas de limitation de la force appliqué au deuxième élément.

Description

Dispositif et procédé de limitation de force
Domaine technique
[0001] La présente invention concerne un dispositif et un procédé pour limiter la pression appliquée sur un composant électronique en cours de test.
Etat de la technique [0002] Les lignes de fabrication de composants électroniques
comportent souvent des machines de test dans lesquels les composants en cours de fabrication ou de manipulation sont testés. De nombreuses machines de test comportent une tourette rotative munie de plusieurs préhenseurs qui saisissent les composants pour les transporter entre plusieurs stations de test, de marquage ou de manipulation. Les
composants passent successivement d'une station à l'autre autour de la tourette afin de subir différents tests ou manipulations. Les préhenseurs peuvent être par exemple des pipettes qui maintiennent les composants par vacuum pour les soulever et les transporter d'une station à la suivante. II existe des machines de test munies par exemple de tourettes avec 32 ou 64 préhenseurs, et de plusieurs stations de test ou de marquage.
[0003] Afin de tester électriquement les composants dans une station de test, il est nécessaire d'établir un contact électrique entre les contacts électriques du composant et un dispositif de test de la station. Dans ce but, le composant est fréquemment posé pendant la durée du test dans un nid de test, c'est-à-dire un logement qui permet de le centrer parfaitement au- dessus des contacts de test de la station pendant le test. Un exemple de nid est décrit dans WO201 1 141 582 dont le contenu est incorporé par référence.
[0004] Afin de déposer les composants électroniques à tester dans les nids des stations de test successives, puis de les reprendre, il est nécessaire de motoriser les préhenseurs pour abaisser puis relever les composants. Différents types de d'actuateurs sont connus afin d'impartir ce mouvement linéaire vertical aux préhenseurs. Un exemple d'un tel système est décrit dans WO2012073282 dont le contenu est incorporé ici par référence.
[0005] La force verticale appliquée par le préhenseur sur le composant doit être suffisante pour accélérer très rapidement le composant, afin de garantir une cadence élevée. Certaines stations de test requièrent en outre un préhenseur qui continue d'appuyer sur le composant pendant toute la durée du test, afin de garantir un contact électrique de qualité. La force verticale appliquée par les préhenseurs connus est donc typiquement de l'ordre de 10 Newtons, ou davantage. [0006] Il arrive parfois que le composant électronique à tester soit mal centré sur l'extrémité du préhenseur. Par exemple, dans le cas où le préhenseur comporte une pipette qui tient le composant électronique par vacuum, il arrive que le composant électronique soit tenu par le bord, au lieu d'être centré sur l'extrémité pointue de la pipette. Dans ce cas, le composant électronique ne peut plus être centré dans le nid de la station de test, et s'appuie par exemple sur le rebord de ce nid, ou contre un autre point de la station de test. Le contact électrique se fait alors mal, ou pas du tout, et le test donne des résultats erronés. Par ailleurs, si la force verticale appliquée par le préhenseur est importante, elle peut briser le composant électronique mal centré au-dessus du nid. Cela entraîne une perte de composants, et peut nécessiter l'arrêt de la machine pour retirer les débris du composant. Il arrive aussi que ces incidents ne soient pas détectés rapidement et que les débris d'un composant électronique brisé perturbent le test des composants suivants. [0007] WO03071288 décrit un système de limitation de force adapté au test de composants électroniques. Toutefois, ce système n'est pas adaptable aisément à la force vertical exercée par le préhenseur (par exemple la pipette) sur le composant. Par ailleurs, il met en œuvre des moyens techniques tels que des biellettes difficiles ou coûteux à installer sur les nombreux préhenseurs d'une tourette de test moderne. [0008] WO2012073282 suggère de contrôler la pression exercée par un préhenseur en contrôlant le moteur voice coil qui actionne le mouvement vertical de la tourette. Cette solution est complexe. Par ailleurs, le temps de réaction nécessaire pour que l'électronique détecte une force excessive et la réduise est non négligeable, en sorte que dans une machine fonctionnant à cadence élevée, le composant peut être endommagé avant que le système ne réagisse.
Bref résumé de l'invention
[0009] Un but de la présente invention est de résoudre les problèmes mentionnés ci-dessus qui peuvent être occasionnés par l'abaissement d'un composant électrique mal centré sur un nid de test par exemple.
[0010] Selon l'invention, ces buts sont atteints au moyen d'un dispositif de limitation de force pour limiter la force appliquée par un actuateur linéaire sur un préhenseur de composant électronique, comprenant :
un premier élément agencé pour être fixé audit actuateur de manière à pouvoir se mouvoir linéairement sous l'action dudit actuateur ;
un deuxième élément agencé pour être lié audit préhenseur, de manière à mouvoir linéairement ledit préhenseur ;
un ressort compressible élastiquement pour transmettre et limiter la force appliquée par le premier élément sur le deuxième élément. [0011] Le couplage élastique au moyen d'un ressort entre le premier élément lié à l'actuateur linéaire et le deuxième élément lié au préhenseur, par exemple à la pipette, permet de limiter la force maximale applicable par l'actuateur sur le préhenseur.
[0012] Le dispositif peut comprendre un contact électrique dans un premier état lorsque le ressort impose une limitation de la force appliqué au deuxième élément, et dans un deuxième état lorsque ce ressort n'impose pas de limitation de la force appliqué au deuxième élément.
Ainsi, il est possible de vérifier si la force de réaction appliquée par le préhenseur sur le ressort dépasse une valeur de seuil, par exemple en cas de collision entre le composant manipulé et une portion de la station de test, par exemple lorsque le composant est mal centré par rapport à un nid de la station de test. Il est alors possible de détecter une telle collision en vérifiant l'état du contact, par exemple en vérifiant si un courant traverse ce contact, pour relever le composant rapidement en cas de collision afin d'éviter qu'il ne se brise, et de l'éjecter dans une station de tri suivante.
[0013] Le premier élément peut comprendre une tige axiale et une surface d'appui contre laquelle s'appuie une extrémité du ressort.
[0014] Le deuxième élément peut comprendre une douille apte à coulisser le long de cette tige axiale.
[0015] Le ressort peut être comprimé lorsque la force de compression entre la douille et la surface d'appui du premier élément dépasse un seuil.
[0016] L'extrémité de la tige axiale orientée vers le préhenseur peut être liée à une première surface de contact électrique. La douille peut
comporter une seconde surface de contact électrique. La première surface de contact électrique et la deuxième surface de contact électrique sont appuyées l'une contre l'autre lorsque le ressort est détendu, et sont distantes l'une de l'autre lorsque le ressort est comprimé, lorsque le préhenseur exerce une force de réaction dépassant un seuil. [0017] Les premières et deuxièmes surfaces de contact électriques peuvent être tronconiques et concentriques. La première surface de contact peut appartenir à une pièce de contact autour de l'extrémité de la tige orientée vers le deuxième élément et/ou vers le préhenseur. La deuxième surface de contact peut appartenir à une ouverture traversée par la tige dans le deuxième élément.
[0018] Le premier élément peut comporter une première douille montée autour de la tige et en contact électrique avec la tige. Le deuxième élément peut comporter une deuxième douille montée autour de la tige et qui est mise en contact électrique avec la tige uniquement lorsque le ressort est détendu.
[0019] Le deuxième élément peut comporter une troisième douille en matériau isolant montée autour de la tige et permettant de guider la tige lorsqu'elle se déplace par rapport au deuxième élément.
[0020] La présente invention concerne également une machine de test de composants électroniques, comportant une tourette avec une pluralité de préhenseurs pour saisir des composants électroniques autour de la tourette, au moins un actuateur linéaire pour déplacer verticalement un dit préhenseur par rapport à ladite tourette, de manière à abaisser ou relever ledit composant, et un limiteur tel que décrit ci-dessus afin de limiter la force verticale appliquée au préhenseur par l'actuateur.
[0021] La présente invention concerne aussi un procédé pour limiter la force appliquée par un actuateur linéaire sur un préhenseur de composant électronique, comprenant :
abaissement dudit préhenseur au moyen dudit actuateur linéaire, dès que la force de réaction exercée par le préhenseur dépasse une valeur de seuil, interruption de l'abaissement et interruption d'un courant électrique.
Brève description des figures [0022] Des exemples de mise en œuvre de l'invention sont indiqués dans la description illustrée par les figures annexées dans lesquelles :
[0023] La figure 1 illustre une vue en coupe longitudinale d'un dispositif de limitation de force selon l'invention lorsque le ressort est détendu.
[0024] La figure 2 illustre une vue en coupe longitudinale d'un dispositif de limitation de force selon l'invention lorsque le ressort est comprimé. Exemple(s) de mode de réalisation de l'invention
[0025] Le dispositif de limitation de couple 1 illustré sur les figures est destiné à être monté entre un actuateur linéaire non représenté et un préhenseur non représenté. Le dispositif de limitation est fixé par des moyens de fixation non détaillés à l'actuateur linéaire en haut ; par exemple, le boîtier circulaire 2 du dispositif 1 peut être vissé, fixé par une goupille ou par une baïonnette, à un actuateur linéaire qui serait monté au-dessus du dispositif 1 . L'actuateur linéaire peut être constitué par exemple par un moteur linéaire, par exemple un vérin linéaire, un moteur pas-à-pas, un moteur voice coil etc. [0026] Le dispositif 1 comporte un deuxième élément constitué par les composants 5, 50, 6, 23 destiné à être fixé par des moyens non détaillés à un préhenseur, par exemple un préhenseur à vacuum. Dans un exemple, le composant 5 du dispositif 1 peut être vissé, fixé par une goupille ou par une baïonnette, à un préhenseur, par exemple une pipette, qui serait monté sous le dispositif 1 .
[0027] Le dispositif 1 comporte un premier élément comportant les éléments 4, 40, 41 et 7, ainsi que le boîtier 2. Ce premier élément est lié de manière rigide à l'actuateur dont il suit donc les déplacements verticaux. Le composant 4 est une tige en matériau conducteur électriquement.
L'élément 40 est percé d'une ouverture pour la tige 4. L'élément 41 est une première douille en matériau conducteur électriquement qui est traversée par la tige 4 et en contact électrique avec cette tige ; un connecteur électrique 20 permet d'injecter un courant dans cette douille et dans l'axe 4. La face inférieure de l'élément 41 définit en outre une surface de contact 410 contre laquelle le ressort 3 vient en appui. L'extrémité de la tige 7 orientée vers le préhenseur (en bas de la figure) est équipée d'une pièce de contact 70 en matériau électriquement conducteur. Cette pièce de contact comporte dans l'exemple une forme de portion de cône définissant ainsi une surface de contact 71 tronconique. [0028] Un deuxième élément est lié de manière rigide au préhenseur monté sous le dispositif 1 . Ce deuxième élément comporte le plot de fixation 5, la douille 50, la deuxième douille 6 et la troisième douille 23. Le préhenseur est monté sous le plot 5 solidaire de la douille 50. La douille 50 comporte une ouverture borgne dans laquelle la pièce de contact 7 liée à la tige 4 peut coulisser, comme illustré sur la figure 2.
[0029] La deuxième douille 6 comporte une ouverture permettant de laisser passer la tige de contact 4, sans contact. L'extrémité distale de cette ouverture (en direction du préhenseur) s'élargit en portion de cône, définissant ainsi une surface de contact femelle 71 correspondant à la portion de contact mâle 70 de la pièce de contact 7. La troisième douille 23 est en matériau isolant et permet de guider la tige 4 au centre de la douille 6 ; elle offre en outre une surface d'appui pour l'extrémité distale du ressort 3. [0030] Dans la position illustrée sur la figure 1 , le ressort 3 est détendu et repousse le deuxième élément 5, 6, 23, 50 vers le bas, jusqu'à ce que la deuxième surface de contact 71 entre en contact avec la première surface de contact 70 de la pièce 7. Lorsque l'actuateur (non représenté) est actionné de manière à exercer une force repoussant les douilles 40 et 3, le ressort 3 transmet cette force au deuxième élément et donc au préhenseur non représenté.
[0031] Lorsque, dans la situation illustrée sur la figure 2, le composant électronique tenu par le préhenseur est bloqué dans sa descente vers le bas par un obstacle symbolisé par l'étoile 51 , par exemple parce qu'il est décentré et ne peut pas entrer dans un nid de la station de test, le préhenseur transmet une force de réaction sur le deuxième élément
5,50,6,23 qui tend donc à comprimer le ressort 3. Les surfaces de contact 70, 71 tendent donc à se séparer l'une de l'autre, ce qui peut être détecté par l'interruption du courant injecté sur la borne 20 qui ne parvient plus à la borne 21 liée à la deuxième douille 6. Un circuit électronique de commande non représenté peut alors détecter cette interruption de courant pour décider de remonter immédiatement l'actuateur, relever ainsi le préhenseur, et marquer le composant porté par ce préhenseur comme « non testé » et/ou comme décentré, afin de le rejeter ou de le recentrer dans une station de traitement ultérieure. Un exemple de circuit
électronique de commande adapté est décrit dans EP2081034 dont le contenu est incorporé ici par référence.
[0032] Le ressort 3 limite donc la force maximale qui peut être exercée sur le préhenseur et sur le composant. Dans un mode de réalisation, le seuil de force à partir de laquelle le ressort 3 commence à se comprimer suffisamment pour que les surfaces 70, 71 se séparent l'une de l'autre est compris entre 8 et 20 Newtons, de préférence entre 10 et 15 Newtons.
[0033] Dans l'exemple ci-dessus, une tige 4 liée à l'actuateur coulisse dans une douille 6 liée au préhenseur. Il serait également possible d'inverser cette disposition et de prévoir une tige liée au préhenseur et coulissant dans une douille liée à l'actuateur. Il est aussi possible de prévoir des systèmes comportant plusieurs tiges, ou des systèmes sans tiges dans lesquels le boîtier cylindrique 2 transmet des forces entre le premier et le deuxième élément.

Claims

Revendications
1 . Dispositif (1 ) de limitation de force pour limiter la force appliquée par un actuateur linéaire sur un préhenseur de composant électronique, comprenant :
un premier élément (4,7,40,41 ) agencé pour être fixé audit actuateur de manière à pouvoir se mouvoir linéairement sous l'action dudit actuateur ; un deuxième élément (5, 6, 23, 50) agencé pour être lié audit
préhenseur, de manière à mouvoir linéairement ledit préhenseur ;
un ressort compressible élastiquement (3) disposé entre le premier élément (4,7,40) et le deuxième élément (5,6,23,50) pour transmettre et limiter la force appliquée par le premier élément sur le deuxième élément, un contact électrique agencé pour être dans un premier état lorsque ledit ressort (3) impose une limitation de la force appliqué au deuxième élément, et dans un deuxième état lorsque ledit ressort n'impose pas de limitation de la force appliqué au deuxième élément.
2. Le dispositif de la revendication 1 , dans lequel
ledit premier élément comprend une tige axiale (4) et une surface d'appui (410) contre laquelle s'appuie une extrémité dudit ressort (3),
ledit deuxième élément comprend une douille (23, 6, 50) apte à coulisser le long de ladite tige axiale,
ledit ressort est agencé pour être comprimé lorsque la force de
compression entre ladite douille (23, 6, 50) et ladite surface d'appui (410) dépasse un seuil.
3. Le dispositif de la revendication 2, dans lequel l'extrémité de ladite tige axiale (4) est liée à une première surface de contact électrique (70),
dans lequel ladite douille comporte une deuxième surface de contact électrique (71 ),
dans lequel ladite première surface de contact électrique et ladite deuxième surface de contact électrique sont appuyées l'une contre l'autre lorsque ledit ressort (3) est détendu, et sont distantes l'une de l'autre lorsque le ressort est comprimé.
4. Le dispositif de la revendication 3, dans lequel lesdites premières et deuxièmes surfaces de contact électriques (70, 71 ) sont tronconiques et concentriques.
5. Le dispositif de l'une des revendications 3 ou 4, comportant une pièce de contact (7) autour de l'extrémité de ladite tige (4) orientée vers le deuxième élément (5), ladite première surface de contact (70) faisant partie de ladite pièce de contact (7).
6. Le dispositif de l'une des revendications 3 à 5, le premier élément (4,7,40,41 ) comportant une première douille (41) montée autour de ladite tige (4) et en contact électrique avec ladite tige,
le deuxième élément (5, 6, 23, 50) comportant une deuxième douille (6) montée autour de ladite tige (4) et mise en contact électrique avec ladite tige (2) uniquement lorsque ledit ressort est détendu.
7. Le dispositif de la revendication 6, le deuxième élément (5, 6, 23, 50) comportant une troisième douille (23) en matériau isolant montée autour de ladite tige (4) et permettant de guider ladite tige (4) lorsqu'elle se déplace par rapport au deuxième élément.
8. Machine de test de composants électroniques, comportant une tourette avec une pluralité de préhenseurs pour saisir des composants électroniques autour de la tourette, au moins un actuateur linéaire pour déplacer verticalement un dit préhenseur par rapport à ladite tourette, de manière à abaisser ou relever ledit composant, et un limiteur selon l'une des revendications 1 à 7 monté entre ledit actuateur et ledit préhenseur afin de limiter la force verticale appliquée audit préhenseur par ledit actuateur.
9. Procédé pour limiter la force appliquée par un actuateur linéaire sur un préhenseur de composant électronique, comprenant :
abaissement dudit préhenseur au moyen dudit actuateur linéaire, dès que la force de réaction exercée par le préhenseur dépasse une valeur de seuil, interruption de l'abaissement et interruption d'un courant électrique.
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