WO2014048987A1 - Optoelektronisches bauteil und verfahren zur herstellung eines optoelektronischen bauteils - Google Patents

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Christoph Klemp
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Definitions

  • the invention relates to an optoelectronic component.
  • the invention further relates to a method for producing an optoelectronic component.
  • the object underlying the invention can therefore be seen to provide an improved optoelectronic device, which overcomes the known disadvantages.
  • the object underlying the invention can also be seen to provide a corresponding method for producing an optoelectronic component.
  • an optoelectronic device comprising a substrate on which a semiconductor layer sequence is applied.
  • the semiconductor ⁇ layer sequence has at least an identifier for iden tify ⁇ of the component.
  • a method for producing an optoelectronic component is specified.
  • the semiconductor layer sequence is provided with an identifier for identifying the component.
  • the invention thus encompasses, in particular, the idea of providing an identifier for identifying the component, which is comprised directly by the semiconductor layer sequence. So there must be reser ⁇ fourth advantageously no more space on egg nem growth substrate for corresponding markings.
  • an existing surface of a growth substrate can be used particularly efficiently for the growth of the individual semiconductor layers of the semiconductor layer sequence. This means in particular that in comparison to the known state of the art more optoelectronic components can be formed on a common growth substrate , wherein nevertheless an identification of the respective optoelectronic components via the identifier of the semiconductor layer sequence is made possible.
  • the on ⁇ growth substrate after forming the semiconductor layer sequence comprehensively removing the identifier and then arranging the semiconductor layer sequence on another substrate or a film without losing the possibility of an identification of the optoelectronic component.
  • the identifier is not part of the growth substrate, but rather part of the semiconductor layer sequence itself.
  • An identifier according to the present invention can in particular also be referred to as an identifier and be ⁇ acts particularly advantageously an unambiguous identification of the optoelectronic device.
  • Can fikator of identity such as a numeric code, include a Letter B ⁇ Code product or a letter-number code.
  • the identifier may comprise a color code. This means in particular that numbers, letters or colors can be used to identify the optoelectronic component ⁇ part.
  • the identifier comprises position information concerning a position of the semiconductor layer sequence on the Aufwachssub ⁇ strat.
  • multiple identifiers may be formed. These may preferably be the same or in particular formed differently.
  • a redundancy is advantageously effected in such a way that even if one identifier fails, ie if it can no longer be reliably read, at least one further identifier for identifying the component is always provided.
  • the associated with an identifier made statements apply analogously for embodiments with multiple identifiers.
  • the semiconductor layer sequence comprises an active zone for generating electromagnetic radiation.
  • the active zone may be formed, for example, as an emitter layer.
  • a decoupling layer is provided for coupling out the electromagnetic ⁇ 's radiation from the active zone or out of the emitter layer.
  • the identifier summarizes a coded structured area of a layer of layers of the semiconductor layer sequence in order ⁇ . This means, in particular, that a region of the layer is structured in such a way, respectively, that a code is encoded in the structured region. The area is thus structured in particular encoding.
  • the coded structured region comprises a coded surfaces ⁇ structure of the decoupling layer.
  • a code is written or encoded into the surface of the coupling-out layer by the coding of the surface of the coupling-out layer.
  • the surface of the coupling-out layer is structured by means of a stamp in coding.
  • the coded structured region is ge ⁇ forms as a barcode.
  • the barcode can be formed as a one-dimensional or as a two-dimensional barcode.
  • several barcodes are provided which, in particular, which may be the same or preferably formed differently.
  • the coded structured region of the layer of the layers of the semiconductor layer sequence can be found, for example, in US Pat
  • Layer itself be provided or in particular be formed on the surface of the layer. It can be provided, in particular, that one or more further layers are applied to the layer with the coded surface structure, respectively arranged.
  • a layer may be formed as a conversion layer for Kon ⁇ vertieren of electromagnetic radiation having a first wavelength in electromagnetic radiation having a second wavelength.
  • the region comprises a coded structured surface coating of the layer. That means in particular that the upper ⁇ surface of the layer is coated, said coating is structured in such encoding, respectively, is that in the structured surface layer encoded code, or is inscribed.
  • the surface coating is an anti-reflection coating.
  • provision may be made for a position of the semiconductor layer sequence on the growth substrate to be encoded into the identifier or to be. That means in particular that this also a subsequent positioning of the optoelectronic component comprising the Halbleiter Anlagenenfol ⁇ ge is made possible relative to its growth substrate in vorteilhaf ⁇ ter manner.
  • Wafer can be advantageously allows in particular a targeted reduction of an error rate and thus a Increase production efficiency and a reliable ⁇ ness.
  • a multiplicity of semiconductor layer sequences is formed on a growth substrate, in particular a wafer, wherein an identification of the semiconductor layer sequences is made possible by means of a respective identifier.
  • knowledge of the respective position of the semiconductor layer sequences on the growth substrate is made possible due to the provision of the identifiers.
  • each individual ⁇ nen optoelectronic component is traceable on the growth substrate, in particular on the wafer, even after a separation or isolation of the individual optoelectronic components even without this incurring additional Kos ⁇ ten or a performance or Performance of the optoelectronic component decreases.
  • a large number of causes of errors can be recognized even more quickly, that is, in particular after the separation.
  • the substrate speaks a separate part of the growth substrate ⁇ ent.
  • the step of providing the semiconductor layer sequence with the identifier comprises forming a coded structured region of a layer of the layers of the semiconductor layer sequence.
  • the formation of the coded structured area comprises applying a coded structured surface coating to the layer, wherein a location of the surface coating on the layer is selected depending on the position of the semiconductor layer sequence on the growth substrate is.
  • the surface coating is not randomly applied to the layer, that is, to its surface, but rather depends on the position of the semiconductor layer sequence on the growth substrate.
  • the surface coating is not randomly applied to the layer, that is, to its surface, but rather depends on the position of the semiconductor layer sequence on the growth substrate.
  • Surface coating is formed as an anti-reflective coating.
  • forming the semiconductor layer sequence comprises forming an active zone for generating electromagnetic radiation.
  • forming the coded structured region comprises forming a coded surface structure of the coupling-out layer.
  • the decoupling layer has, in particular, a coded surface structure.
  • provision may be made for a location of the coded surface structure on the coupling-out layer to be selected depending on the position of the semiconductor layer sequence on the growth substrate.
  • the decoupling layer is provided with a coded surface structure, it is not formed purely coincidentally on the decoupling layer, but rather depends on the position of the semiconductor layer sequence on the growth substrate.
  • the decoupling layer is not formed purely coincidentally on the decoupling layer, but rather depends on the position of the semiconductor layer sequence on the growth substrate.
  • the entire surface of the coupling-out layer is provided with a coded surface structure, respectively.
  • the entire surface of the decoupling ⁇ layer is coded structuring.
  • only a part of the surface of the decoupling layer is provided with a coded surface structure. In particular, it may be provided in this case that this part is formed from two or more separate areas.
  • the forming of the surface structure by means of a coded IMPRINT and / or one photolithography process and / or by means of an electron beam and / or by means of a laser beam ⁇ is performed can be provided.
  • a photoresist can be structured in accordance with coding.
  • a surface of the coupling-out layer can be structured directly by coding. This means, in particular, that the laser or electron beam burns or inscribes the coded structure directly into the surface of the coupling-out layer.
  • a photolithography process may be provided in particular that a resist exposed through a mask aligner and / or a scanner, in particular over the entire surface exposed, it is, so that the encoded Oberflä ⁇ chen Vietnamese is formed accordingly.
  • the encoded surface structure formed by the photolithography method by means of balls see. The following description of the figures), lystyrolkugeln particular by means of Po is further roughened fine so that due to these finer roughening efficient Lichtauskopp ⁇ system is effected without that doing the coding, however, goes verlo ⁇ ren.
  • a photoresist can be exposed by means of a stepper with a solid mask, wherein it is provided in particular that the stepper not the surface as whole exposed but parts or areas of the surface.
  • a lacquer layer to be applied to the surface, which is structured in a coding manner by means of a stamp.
  • the coded structure is introduced by means of a stamp on the surface or written ⁇ or stamped.
  • a stamp may preferably comprise a negative image of all surfaces of the construction ⁇ parts on a wafer, in particular including its individual marking.
  • exposure is preferably carried out and, in particular, curing of the varnish layer, wherein the varnish can also be referred to as an imprint varnish.
  • vorgese ⁇ hen may preferably be that a plasma etching is performed so that the resist pattern is transferred to the surface.
  • An imprint method has the particular advantage that particularly small coded structures can be formed. These small structures are particularly suitable for Lichtauskopp ⁇ ment, thus increasing advantageously an outcoupling of light. Furthermore, thus advantageously only one structuring step is necessary: the stamping.
  • a stamp which covers the wafer as a whole and which can thus mark or structure the components in a single stamping step.
  • a stamp may, in particular by means of an electron beam and / or by means of a laser lithography method ⁇ be structured encoding, so that the structure of the die transferred to the surface who can ⁇ .
  • the Markie ⁇ tion or the identifier is preferably formed directly emitting electromagnetic radiation in a region of the semiconductor layer sequence. This region is formed in particular on the surface of the coupling-out layer. That means in particular that the erzeug ⁇ te in the active zone radiation leaves the Halbleiter Anlagenenfol ⁇ ge through this region.
  • FIG. 1 shows an optoelectronic component
  • FIG. 2 shows a flowchart of a method for producing an optoelectronic component
  • FIG. 3 shows a further optoelectronic component
  • FIG. 4 shows a flowchart of a further method for the
  • FIG. 5 shows another optoelectronic component
  • FIGS. 6-11 show different views of the optoelectronic component according to FIG. 5 during production steps that follow one after the other
  • FIG. 1 A growth substrate comprising a plurality of opto-electro-photonic components, wherein an optoelectronic ⁇ construction part is provided by means of an identifier, and
  • FIG. 13 The growth substrate according to FIG. 12, wherein a plurality of optoelectronic components are provided with a respective identifier. Below may be used for the same features same bootsszei ⁇ chen.
  • FIG 1 shows an optoelectronic component 101.
  • the component 101 comprises a substrate 103, on which a semiconductor layer sequence 105 is applied.
  • the semiconductor layer sequence ⁇ 105 comprises four semiconductor layers 107, 109, 111, 113, which strat in the above mentioned order on the sub-deposited 103rd
  • the semiconductor layer sequence 105 further comprises an identifier 115 for identifying the optoelectronic component 101.
  • the identifier 115 is included in the second topmost semiconductor layer 111 relative to the substrate 103.
  • the identifier 115 is encompassed by one of the other three semiconductor layers 107, 109, 113.
  • a plurality of identifiers are provided, which are in particular the same or preferably formed differently.
  • the semiconductor layer sequence 105 includes the identifier 115, the optoelectronic component 101 can always be uniquely identified.
  • the identifier even if now at ⁇ play, the substrate was removed 103 from the semiconductor layer sequence 105, a unique identi ⁇ fication of the semiconductor layer sequence 105 would still be possible in so ⁇ away 115 of the semiconductor layer sequence 105th
  • a position of the semiconductor layer sequence 105 can be encoded on a growth substrate (not shown here).
  • the information in the identifier 115 is einco- diert where the semiconductor layer sequence has been on the growth substrate 105th It is encoded in particular the information in the identifier 115 was at which point or position at which the growth substrate, in particular ⁇ sondere of the wafer, the semiconductor layer sequence 105 is formed on the growth substrate.
  • the growth substrate has been removed from the semi ⁇ conductor layer sequence 105 is a unique identifier of the semiconductor layer sequence 105th
  • it can also subsequently be determined at which position the semiconductor layer sequence 105 was located on the growth substrate, in particular on the wafer. Knowing this position allows advantageously particularly targeted reduction of an error rate, thus increasing production yield and to ⁇ reliability.
  • it is preferably applied to the substrate 103 or on a film is not shown here.
  • Fig. 2 shows a flow chart of a method for the manufacture ⁇ development of an optoelectronic device.
  • a semiconductor layer sequence is formed on a growth substrate, for example a wafer.
  • the semiconductor layer sequence is provided with an identifier for identifying the component. It can preferably be provided that the two steps 201 and 203 are performed simultaneously. This means in particular that while the individual layers on the Growth substrate are applied, the identifier is ⁇ introduced . Preferably, it can be provided that this layer is initially hen verse- with the identifier to the application of a layer of the layers of the semiconductor layer sequence, for example by the surface of the layer is patterned co ⁇ ingly. Subsequently, the white ⁇ further layers are applied to the layer with the identifier.
  • the identifier is applied after or after the formation of the semiconductor layer sequence on or into the semiconductor layer sequence.
  • the uppermost semiconductor layer seen from the substrate is provided with the identifier.
  • This uppermost layer of the semiconductor layer sequence can be patterned, for example, on its surface correspondingly coding, so as to form the identifier.
  • FIG. 3 shows a further optoelectronic component 301.
  • the optoelectronic component 301 comprises a substrate 303, on which a semiconductor layer sequence 305 is applied.
  • the semiconductor layer sequence 305 includes four half ⁇ conductor layers 307, 309, 311 and 313, which are arranged in the above- mentioned order on the substrate 303rd This means in particular that the semiconductor layer 313, seen from the substrate 303, is the uppermost semiconductor layer of the semiconductor layer sequence 305.
  • the top semiconductor ⁇ layer formed semiconductor layer 311 is formed as an active region or an emitter layer, which can emit electromagnetic radiation upon electrical and / or optical excitation.
  • the uppermost layer 313 is formed in the optoelectronic component 301 as a decoupling layer 313.
  • the output coupling ⁇ layer 313 coupled out of the electromagnetic radiation generated in the Emit ⁇ ter Mrs 311 or active area in an advantageous manner.
  • the semiconductor layer sequence 305 comprises an identifier 315, which is formed as a coded surface structure 317 of the coupling-out layer 313.
  • an area or a part ⁇ surface was structured surface of the decoupling layer 313 encoding, for example by means of a bar code, particularly one or a two-dimensional bar codes.
  • a bar code particularly one or a two-dimensional bar codes.
  • Decoupling layer 113 is a structure in the form of a eindimensio ⁇ dimensional or two-dimensional binary codes, for example in the form of a bar code or a "dot matrix" is introduced, respectively, is said structure, the position of the semi-conductor layer sequence 105 on a growth substrate represents ⁇ represents.
  • this growth substrate can be ⁇ example, be the substrate 303rd
  • FIG. 4 shows a flowchart of a further method for producing an optoelectronic component.
  • a semiconductor layer sequence is formed on a growth substrate, wherein an active zone for generating electromagnetic radiation or an emitter layer and a coupling-out layer for decoupling the electromagnetic radiation from the active zone or emitter layer are formed.
  • a region of the surface of the coupling-out layer is coded in a pattern.
  • the semiconductor layer sequence is provided with an identifier, wherein the identifier is formed as a coded surface structure of the coupling-out layer.
  • FIG. 5 shows another optoelectronic component 501.
  • the optoelectronic component 501 comprises a substrate 503, on which a semiconductor layer sequence 505 is applied.
  • the semiconductor layer sequence 505 includes five semiconductor ⁇ layers 507, 509, 511, 513, 515, which are arranged or in the above mentioned order on the substrate 503 is deposited.
  • the semiconductor layer 515 viewed from the substrate 503, forms the uppermost layer of the semiconductor layer sequence 505.
  • an emitter layer 513 or an active region for generating elekt ⁇ romagnetischer radiation is formed directly.
  • the semiconductor layer ⁇ 511th It may be preferable that the semiconductor layer 515 is an n-doped semiconductor layer ⁇ . In this case, the semiconductor layer 511 un ⁇ terrenz the emitter layer 513 is a p-doped layer. In a not shown embodiment can be provided that the top semiconductor layer 515 is p-doped, in which case the semiconductor layer 511 below the emitter ⁇ layer 513 is n-doped.
  • the semiconductor layer 509 may be formed gel layer, for example, as a Spie ⁇ to electromagnetic radiation that is generated in the semiconductor layer 513 to reflec ⁇ ren in the direction of the top semiconductor layer 515, thereby advantageously a coupling-out efficiency of latestkop- Pelter electromagnetic radiation to increase.
  • the deviss ⁇ te semiconductor layer 515 is the same as an output coupling ⁇ layer formed, the electromag netic ⁇ radiation which is generated in the emitter layer 513 to couple out, in an advantageous manner.
  • a surface of the topmost semiconductor layer 515 is structurally coded. That means in particular that the surface-che of the decoupling 515 517 areas which were structured co ⁇ ingly respectively are. These coded surface structures 517 also contribute to an increase in a coupling-out efficiency.
  • a bonding pad 519 is formed in the center. Spaced apart from the bonding pad 519, in each case a contact web 521 for electrical contacting of the semiconductor layer sequence 505 is provided to the left and to the right of the bonding pad 519. The respective surface between the contact segment 521 and the bonding pad 519 is encoding struc ⁇ riert and thus forms the coded surface structure 517th
  • an edge region 523 res ⁇ pective each 525 is formed on which in a not shown further embodiment, for example, a surface coating can be applied, in particular an anti-reflective coating.
  • a location of this surface coating may depend in particular on a position of the
  • Semiconductor layer sequence 505 can be selected on a growth substrate. Thus, another way of iden ⁇ tification, especially a position identification, the semiconductor layer sequence 501 is possible.
  • the coded surface structure instead of the coded surface structure only the Surface coating, in particular the anti-reflective coating is provided as an identifier.
  • FIGS. 6 to 11 each show views of the optoelectronic component 501 at different temporally successive possible production steps in a partial sectional view. That means in particular that no pressure waveT ⁇ Liche elements 5 shown in Fig. Are shown.
  • the elements represent ⁇ provided may be represented, for example truncated for clarity.
  • the semiconductor layer sequence 505 is cut shown to the bonding pad 519 and the left contact web 521.
  • a lying between the bonding pad 519 and the contact ⁇ web 521 surface of the decoupling layer 515 includes no coded Structuring on.
  • a polystyrene monosphere (monopole) film is applied to the exposed surfaces. This film comprises a plurality of balls (monospheres) 801.
  • These balls 801 are formed of polystyrene.
  • the formation of the polystyrene monosphere film can be carried out in particular as follows: There is formed a suspension of HMDS, isopropanol and polystyrene balls ⁇ eight hundred and first
  • HMDS stands for hexamethyl disilazane and acts in particular advantageously as a bonding agent for photoresist on a hydrophobic wafer surface.
  • This suspension is in particular given by means of a burette on a water surface of a basin in which the optoelectronic component 501 is located. The suspension is then then distributed in particular on the water surface.
  • the desired film of polystyrene beads is formed on the surface of the water / air interface.
  • This film can be deposited in particular by draining the water from the basin on the exposed surfaces. If a wafer comprising a plurality of semiconductor layer sequences, that is to say comprising a plurality of optoelectronic components, is provided, then the film of polystyrene spheres settles on the wafer, ie in particular on the exposed surfaces of the individual components.
  • the polystyrene beads 801 serve advantageously for a masking for still subsequent photolithographic
  • the suspension may comprise 20 ml of isopropanol, 0.2 ml of PS (polystyrene spheres) suspension, 20 ml of HMDS, whereby 10 ml of HMDS may still be provided in the water in the basin.
  • PS polystyrene spheres
  • FIG. 8 further shows an enlarged detail of an oblique view from above of the film of polystyrene balls 801. This detail enlargement is indicated by an arrow with the reference numeral 803.
  • the view of FIG. 9 shows the polystyrene beads 801 by a shrinking process and after a transfer of the ball structure to the surface of decoupling layer 515. This shrinking process is optional in the sense, since the concrete ge ⁇ desired size of the balls 801, depending on the wavelength of the emitted electromagnetic radiation is.
  • the spheres 801 should have a diameter of approximately 425 nanometers if electromagnetic radiation with a wavelength of 850 nanometers is to be emitted. If, for example only 430 nanometers large spheres are taken, they will be so far then after application of the film onto the corresponding desired size, in this case the 425 nanometers, ge ⁇ shrinks.
  • Fig. 10 is a view of the component according to one ashing of the polystyrene balls thus 801.
  • the polystyrene balls were 801 zer ⁇ interfere, for example by heating, so that ultimately only the corresponding struc ⁇ tured surface of the decoupling layer 515 remains.
  • the ⁇ se structured surface is indicated here by the reference numeral 1001. This means, in particular, that the structure of the film of polystyrene balls 801 has now transferred to the surface of the coupling-out layer 515. This surface may previously or subsequently coding struc ⁇ riert.
  • the surface of the layer 515 and / or on the surface of the layer 515 applied photoresist by means of photolithography and / or IMPRINT and / or laser ⁇ beam and / or electron beam method encoding is structured. This means in particular that by means of the roughening due to the balls 801 still no coding
  • Structure is formed. This is in particular by means of formed the aforementioned method.
  • the roughening takes place by means of the balls 801.
  • the protective layer 701 in particular the photoresist, is removed from the bonding pad 519 and from the contact web 521.
  • Reference numeral 1101 denotes a top view of the opto-electronic component 501.
  • the bondpad 519 can here in particular a metallic n-contact for the
  • Layer 515 if this is an n-doped layer.
  • the above-mentioned roughening is intended ung means of balls 801 as an example, but not as a limitation ⁇ .
  • a roughening of the surface of the layer 515 is effected in such a way that light can be coupled out particularly efficiently.
  • This type of roughening may in further not shown exemplary alternatively or additionally be performed by other method shapes roughening: For example Photolithogra ⁇ phieclar and / or Imprintmaschine.
  • FIG. 12 shows a growth substrate 1201, in particular a wafer, on which a multiplicity of semiconductor layer sequences are applied next to one another. These semiconductor layer sequences are not shown for the sake of clarity. Shown is a bar code 1203 which coupling layer on a surface of an uppermost layer of the semiconductor layer sequence, in particular a training, is applied by the surface of the uppermost layer is structured according to coding order Vast.
  • Fig. 13 shows the growth substrate 1201 with a plurality of upper ⁇ surfaces of the individual semiconductor layer sequences are accordingly encoding structured.
  • the invention thus particularly comprises the concept, a surface of a semiconductor layer, in particular the Oberflä ⁇ surface of the decoupling layer, at least partially, or even the entire surface, by means of a Imprintmaschines and / or a photolithography process followed by etching or ⁇ which patterning process with a structure, for example, in Shape of a one-dimensional or two-dimensional binary code, for example, a bar code or a dot matrix to provide, wherein the structure is a position of the semiconductor layer sequence on the wafer, ie the growth substrate, represents ⁇ . It can be provided, for example, that the semiconductor layer surface is etched. In particular, a selective, that is location-dependent, the coating of additional borrowed layers on the top semiconductor layer, SUC ⁇ gen.
  • these additional layers may be one on the anti-reflection layer. That means in particular that the anti-reflective coating is seen on the upper ⁇ surface of the uppermost semiconductor layer is applied from the wafer, wherein a location of the anti-reflective coating is selected depending on a position of the semiconductor layer sequence on the wafer.
  • the structure size is in particular so large that it can still be detected in an advantageous manner despite superimposed roughening by means of balls, in particular polystyrene balls.
  • the structure is so finely structured that it also serves, in addition to or instead of roughening by means of the balls, to decouple the electromagnetic radiation.
  • the surface of a coupling-out layer is roughened in order to increase a coupling-out efficiency.
  • the tag or the identifier is preferably directly in an electromagnetic
  • each individual optoelectronic component on the wafer is thus still traceable even after separation, without incurring additional costs or decreasing the performance of the optoelectronic components.
  • many causes of faults can be recognized more quickly in retrospect. For example, it can be detected whether the optoelectronic component is a component which has been located at the edge or in an edge region of the wafer. Thus, advantageously, a quality can be improved.

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein optoelektronisches Bauteil (101, 301, 501), umfassend ein Substrat (103, 303, 503), auf welchem eine Halbleiterschichtenfolge (105, 305, 505) aufgebracht ist, wobei die Halbleiterschichtenfolge (105, 305, 505) zumindest einen Identifikator (115, 315) zum Identifizieren des Bauteils (101, 301, 501) aufweist. Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zur Herstellung eines optoelektronischen Bauteils (101, 301, 501).

Description

Beschreibung
Optoelektronisches Bauteil und Verfahren zur Herstellung ei¬ nes optoelektronischen Bauteils
Die Erfindung betrifft ein optoelektronisches Bauteil. Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zur Herstellung eines optoelektronischen Bauteils. Diese Patentanmeldung beansprucht die Priorität der deutschen Patentanmeldung 10 2012 217 539.3, deren Offenbarungsgehalt hiermit durch Rückbezug aufgenommen wird.
Aus der Offenlegungsschrift WO 92/10852 AI sind auf einer ge- meinsamen Platte hergestellte und danach vereinzelte, gleich¬ artige Halbleiter-Chips bekannt. Nach dem Bilden der Halblei¬ ter-Chips auf der gemeinsamen Platte werden neben den Halbleiter-Chips, aber auf der Platte, Kennzeichnungen gebildet, welche jeweils einer Position der Halbleiter-Chips auf der gemeinsamen Platte entsprechen. Nach dem Vereinzeln der Halbleiter-Chips umfassen diese jeweils diesen Randbereich der ehemaligen gemeinsamen Platte, sodass weiterhin Kenntnis über ihre frühere Position auf der gemeinsamen Platte ermöglicht ist .
Nachteilig ist daran insbesondere, dass diese Art der Markie¬ rung viel Platz in Anspruch nimmt, insofern stets ausreichend Platz für diese Kennzeichnungen auf der gemeinsamen Platte reserviert werden muss, wobei dann dieser reservierte Platz für den Chip selber nicht mehr zur Verfügung stehen kann.
Die der Erfindung zu Grunde liegende Aufgabe kann daher darin gesehen werden, ein verbessertes optoelektronisches Bauteil anzugeben, welches die bekannten Nachteile überwindet. Die der Erfindung zu Grunde liegende Aufgabe kann auch darin gesehen werden, ein entsprechendes Verfahren zur Herstellung eines optoelektronischen Bauteils bereitzustellen. Diese Aufgaben werden mittels des jeweiligen Gegenstands der unabhängigen Ansprüche gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen sind Gegenstand von jeweils abhängigen Unteransprüchen.
Nach einem Aspekt wird ein optoelektronisches Bauteil bereit- gestellt. Das Bauteil umfasst ein Substrat, auf welchem eine Halbleiterschichtenfolge aufgebracht ist. Die Halbleiter¬ schichtenfolge weist zumindest einen Identifikator zum Iden¬ tifizieren des Bauteils auf. Gemäß einem weiteren Aspekt wird ein Verfahren zur Herstellung eines optoelektronischen Bauteils angegeben. Es wird eine Halbleiterschichtenfolge auf einem Aufwachssubstrat gebil¬ det. Ferner wird die Halbleiterschichtenfolge mit einem Iden- tifikator zum Identifizieren des Bauteils versehen.
Die Erfindung umfasst also insbesondere den Gedanken, einen Identifikator zum Identifizieren des Bauteils vorzusehen, welcher direkt von der Halbleiterschichtenfolge umfasst ist. Es muss also in vorteilhafter Weise keine Fläche mehr auf ei- nem Aufwachssubstrat für entsprechende Kennzeichnungen reser¬ viert werden. Somit kann eine vorhandene Fläche eines Auf- wachssubstrats besonders effizient für das Aufwachsen der einzelnen Halbleiterschichten der Halbleiterschichtenfolge genutzt werden. Das heißt also insbesondere, dass im Ver- gleich zum bekannten Stand der Technik mehr optoelektronische Bauteile auf einem gemeinsamen Aufwachssubstrat gebildet wer¬ den können, wobei trotzdem noch eine Identifizierung der jeweiligen optoelektronischen Bauteile über den Identifikator der Halbleiterschichtenfolge ermöglicht ist.
Ferner ist es in vorteilhafter Weise ermöglicht, das Auf¬ wachssubstrat nach dem Bilden der Halbleiterschichtenfolge umfassend den Identifikator zu entfernen und die Halbleiterschichtenfolge anschließend auf ein weiteres Substrat oder eine Folie anzuordnen, ohne dass hierbei die Möglichkeit ei¬ ner Identifizierung des optoelektronischen Bauteils verloren geht. Dies deshalb, da der Identifikator nicht Teil des Auf- wachssubstrats , sondern vielmehr Teil der Halbleiterschichtenfolge selber ist.
Ein Identifikator im Sinne der vorliegenden Erfindung kann insbesondere auch als eine Kennung bezeichnet werden und be¬ wirkt insbesondere in vorteilhafter Weise eine eindeutige Identifizierung des optoelektronischen Bauteils. Der Identi- fikator kann beispielsweise einen Nummerncode, einen Buchsta¬ bencode oder einen Buchstaben-Nummerncode umfassen. Bei¬ spielsweise kann der Identifikator einen Farbcode umfassen. Das heißt also insbesondere, dass Nummern, Buchstaben oder Farben verwendet werden können, um das optoelektronische Bau¬ teil zu identifizieren. Mittels des Identifikators ist somit insbesondere in vorteilhafter Weise eine Unterscheidung des optoelektronischen Bauteils in Bezug zu weiteren optoelektronischen Bauteilen ermöglicht. Das heißt also insbesondere, dass, wenn eine Vielzahl von optoelektronischen Bauteilen auf einem gemeinsamen Aufwachssubstrat gebildet werden, diese voneinander unterschieden werden können. Insbesondere umfasst der Identifikator eine Positionsinformation bezüglich einer Position der Halbleiterschichtenfolge auf dem Aufwachssub¬ strat .
Nach einer Ausführungsform können mehrere Identifikatoren ge- bildet sein. Diese können vorzugsweise gleich oder insbesondere unterschiedlich gebildet sein. Durch das Vorsehen von mehreren Identifikatoren wird in vorteilhafter Weise eine Redundanz dahin gehend bewirkt, dass selbst bei einem Ausfall eines Identifikators , also wenn dieser beispielsweise nicht mehr zuverlässig gelesen werden kann, stets noch zumindest ein weiterer Identifikator zum Identifizieren des Bauteils vorgesehen ist. Die im Zusammenhang mit einem Identifikator gemachten Ausführungen gelten analog für Ausführungsformen mit mehreren Identifikatoren .
Gemäß einer Ausführungsform kann vorgesehen sein, dass die Halbleiterschichtenfolge eine aktive Zone zur Erzeugung von elektromagnetischer Strahlung umfasst. Die aktive Zone kann beispielsweise als eine Emitterschicht gebildet sein.
Gemäß einer anderen Ausführungsform kann vorgesehen sein, dass eine Auskoppelschicht zum Auskoppeln der elektromagneti¬ schen Strahlung aus der aktiven Zone oder aus der Emitterschicht vorgesehen ist.
Gemäß einer anderen Ausführungsform kann vorgesehen sein, dass der Identifikator einen codierten strukturierten Bereich einer Schicht der Schichten der Halbleiterschichtenfolge um¬ fasst. Das heißt also insbesondere, dass ein Bereich der Schicht derart strukturiert wird, respektive ist, dass in dem strukturierten Bereich ein Code eincodiert ist. Der Bereich wird also insbesondere codierend strukturiert.
Gemäß einer Ausführungsform kann vorgesehen sein, dass der codierte strukturierte Bereich eine codierte Oberflächen¬ struktur der Auskoppelschicht umfasst. Das heißt also insbe- sondere, dass in die Oberfläche der Auskoppelschicht ein Code eingeschrieben oder eincodiert wird, indem die Oberfläche der Auskoppelschicht entsprechend codierend strukturiert wird. Beispielsweise kann vorgesehen sein, dass die Oberfläche der Auskoppelschicht mittels eines Stempels codierend struktu- riert wird.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform kann vorgesehen sein, dass der codierte strukturierte Bereich als ein Barcode ge¬ bildet ist. Insbesondere kann der Barcode als ein eindimensi- onaler oder als ein zweidimensionaler Barcode gebildet sein. Insbesondere sind mehrere Barcodes vorgesehen, die insbeson- dere gleich oder vorzugsweise unterschiedlich gebildet sein können .
Der codiert strukturierte Bereich der Schicht der Schichten der Halbleiterschichtenfolge kann beispielsweise in der
Schicht selber vorgesehen sein oder insbesondere auf der Oberfläche der Schicht gebildet sein. Es kann insbesondere vorgesehen sein, dass auf der Schicht mit der codierten Oberflächenstruktur noch eine oder mehrere weitere Schichten auf- gebracht werden respektive angeordnet sind. Beispielsweise kann eine solche Schicht als eine Konverterschicht zum Kon¬ vertieren von elektromagnetischer Strahlung mit einer ersten Wellenlänge in elektromagnetische Strahlung mit einer zweiten Wellenlänge gebildet sein.
Nach einer Ausführungsform kann vorgesehen sein, dass der Bereich eine codierte strukturierte Oberflächenbeschichtung der Schicht umfasst. Das heißt also insbesondere, dass die Ober¬ fläche der Schicht beschichtet wird, wobei diese Beschichtung derart codierend strukturiert wird respektive ist, dass in der strukturierten Oberflächenbeschichtung ein Code eincodiert oder eingeschrieben ist.
Nach einer Ausführungsform kann vorgesehen sein, dass die Oberflächenbeschichtung eine Anti-Reflex-Beschichtung ist.
Nach einer weiteren Ausführungsform kann vorgesehen sein, dass in den Identifikator eine Position der Halbleiterschichtenfolge auf dem Aufwachssubstrat eincodiert wird respektive ist. Das heißt also insbesondere, dass dadurch in vorteilhaf¬ ter Weise auch eine spätere Positionsbestimmung des optoelektronischen Bauteils umfassend die Halbleiterschichtenfol¬ ge relativ zu seinem Aufwachssubstrat ermöglicht ist. Die Kenntnis einer Position eines optoelektronischen Bauteils auf einem Aufwachssubstrat , welches allgemein insbesondere ein
Wafer sein kann, ermöglicht in vorteilhafter Weise insbesondere eine gezielte Reduktion einer Fehlerrate und somit eine Steigerung einer Produktionsausbeute und einer Zuverlässig¬ keit.
Vorzugsweise wird auf einem Aufwachssubstrat , insbesondere einem Wafer, eine Vielzahl an Halbleiterschichtenfolgen gebildet, wobei mittels eines jeweiligen Identifikators eine Identifizierung der Halbleiterschichtenfolgen ermöglicht ist. Insbesondere ist aufgrund des Vorsehens der Identifikatoren Kenntnis über die jeweilige Position der Halbleiterschichten- folgen auf dem Aufwachssubstrat ermöglicht.
Das heißt also insbesondere, dass die Position jedes einzel¬ nen optoelektronischen Bauteils auf dem Aufwachssubstrat , insbesondere auf dem Wafer, auch noch nach einer Separation oder Vereinzelung der einzelnen optoelektronischen Bauteile noch nachvollziehbar ist, ohne dass hierbei zusätzliche Kos¬ ten entstehen oder eine Performance oder Leistungsfähigkeit des optoelektronischen Bauteils sinkt. Durch die Kenntnis durch die Position des optoelektronischen Bauteils können im Nachhinein, also insbesondere nach der Separation, eine Vielzahl an Fehlerursachen noch schneller erkannt werden. Es kann insbesondere nachvollzogen werden, ob bestimmte Fehler zu in einem Randbereich des Aufwachssubstrats auftreten oder nicht. Das ermöglicht in vorteilhafter Weise insbesondere im Nach- hinein eine Verbesserung einer Qualität.
Nach einer Ausführungsform kann vorgesehen sein, dass das Substrat einem abgetrennten Teil des Aufwachssubstrats ent¬ spricht .
Nach einer Ausführungsform kann vorgesehen sein, dass der Schritt des Versehens der Halbleiterschichtenfolge mit dem Identifikator ein Bilden eines codierten strukturierten Bereichs einer Schicht der Schichten der Halbleiterschichten- folge umfasst. Gemäß einer weiteren Ausführungsform kann vorgesehen sein, dass das Bilden des codierten strukturierten Bereichs ein Aufbringen einer codierten strukturierten Oberflächenbe- schichtung auf der Schicht umfasst, wobei ein Ort der Ober- flächenbeschichtung auf der Schicht abhängig von der Position der Halbleiterschichtenfolge auf dem Aufwachssubstrat gewählt wird respektive ist.
Das heißt also insbesondere, dass die Oberflächenbeschichtung nicht zufällig auf die Schicht, also auf seine Oberfläche, aufgebracht wird, sondern abhängig von der Position der Halbleiterschichtenfolge auf dem Aufwachssubstrat . Somit unter¬ scheiden sich mehrere optoelektronische Bauteile auf einem gemeinsamen Aufwachssubstrat zumindest dadurch, dass ein je- weiliger Ort ihrer Oberflächenbeschichtungen unterschiedlich ist. Somit kann eine einfache und besonders kostengünstige Identifizierung der einzelnen optoelektronischen Bauteile bewirkt werden. Gemäß einer Ausführungsform kann vorgesehen sein, dass die
Oberflächenbeschichtung als eine Anti-Reflex-Beschichtung gebildet wird.
Nach einer Ausführungsform kann vorgesehen sein, dass das Bilden der Halbleiterschichtenfolge ein Bilden einer aktiven Zone zur Erzeugung elektromagnetischer Strahlung umfasst.
Nach einer weiteren Ausführungsform kann vorgesehen sein, dass das Bilden der Halbleiterschichtenfolge ein Bilden einer Auskoppelschicht zum Auskoppeln der elektromagnetischen
Strahlung aus der aktiven Zone umfasst.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform kann vorgesehen sein, dass das Bilden des codierten strukturierten Bereichs ein Bilden einer codierten Oberflächenstruktur der Auskoppelschicht umfasst. Die Auskoppelschicht weist als insbesondere eine codierte Oberflächenstruktur auf. Nach einer Ausführungsform kann vorgesehen sein, dass ein Ort der codierten Oberflächenstruktur auf der Auskoppelschicht abhängig von der Position der Halbleiterschichtenfolge auf dem Aufwachssubstrat gewählt wird respektive ist.
Das heißt also insbesondere, dass die Auskoppelschicht zwar mit einer codierten Oberflächenstruktur versehen wird, diese jedoch nicht rein zufällig auf der Auskoppelschicht gebildet wird, sondern vielmehr abhängig von der Position der Halbleiterschichtenfolge auf dem Aufwachssubstrat . Das heißt also insbesondere, dass bei einer Vielzahl von optoelektronischen Bauteilen auf einem gemeinsamen Aufwachssubstrat diese sich zumindest dahingehend unterscheiden, dass ein Ort ihrer je- weiligen codierten Oberflächenstruktur auf der Auskoppelschicht unterschiedlich ist. Dadurch ist in vorteilhafter Weise eine einfache und besonders kostengünstige Unterscheid¬ barkeit und entsprechende Identifizierung ermöglicht. Nach einer Ausführungsform kann vorgesehen sein, dass die gesamte Oberfläche der Auskoppelschicht mit einer codierten Oberflächenstruktur versehen wird respektive ist. Das heißt also insbesondere, dass die gesamte Oberfläche der Auskoppel¬ schicht codierend strukturiert wird. Insbesondere ist respek- tive wird nur ein Teil der Oberfläche der Auskoppelschicht mit einer codierten Oberflächenstruktur versehen. Insbesondere kann in diesem Fall vorgesehen sein, dass dieser Teil aus zwei oder mehrere voneinander getrennten Bereichen gebildet ist .
Durch das Vorsehen einer codierten strukturierten Oberflächenstruktur, welche ganzflächig auf der Auskoppelschicht ge¬ bildet ist, wird in vorteilhafter Weise bewirkt, dass die Oberflächenstruktur zusätzlich noch zur Auskopplung der elektromagnetischen Strahlung beiträgt. Das heißt also insbe¬ sondere, dass eine Auskoppeleffizienz der Auskoppelschicht erhöht wird. Dies insbesondere, wenn die Dimensionen oder Be- maßungen der Oberflächenstruktur in der Größenordnung der Wellenlänge der elektromagnetischen Strahlung liegen.
Selbst wenn nur ein Teil der Oberfläche entsprechend codie- rend strukturiert ist, so trägt diese dennoch zur Auskopplung der elektromagnetischen Strahlung bei.
Nach noch einer Ausführungsform kann vorgesehen sein, dass das Bilden der codierten Oberflächenstruktur mittels eines Imprint- und/oder eins Photolithographieverfahrens und/oder mittels eines Elektronenstrahls und/oder mittels eines Laser¬ strahls durchgeführt wird.
Mittels des Elektronenstrahls oder Laserstrahls kann insbe- sondere ein Photolack entsprechend codierend strukturiert werden. Vorzugsweise kann alternativ oder zusätzlich eine Oberfläche der Auskoppelschicht direkt codierend strukturiert werden. Das heißt also insbesondere, dass der Laser- oder Elektronenstrahl direkt in die Oberfläche der Auskoppel- schicht die codierte Struktur einbrennt oder einschreibt.
Bei einem Photolithographieverfahren kann insbesondere vorgesehen sein, dass ein Photolack durch einen Maskaligner und/oder einen Scanner belichtet, insbesondere ganzflächig belichtet, wird, so dass entsprechend die codierte Oberflä¬ chenstruktur gebildet wird. Hier kann dann beispielsweise vorgesehen sein, dass die mittels des Photolithographieverfahrens gebildete codierte Oberflächenstruktur mittels Kugeln (vgl. folgende Figurenbeschreibung), insbesondere mittels Po- lystyrolkugeln, weiter feiner aufgeraut wird, so dass aufgrund dieser feineren Aufrauung eine effiziente Lichtauskopp¬ lung bewirkt ist, ohne dass dabei die Codierung jedoch verlo¬ ren geht . Insbesondere kann ein Photolack mittels eines Steppers mit einer festen Maske belichtet werden, wobei hier insbesondere vorgesehen ist, dass der Stepper nicht die Oberfläche als ganze belichtet, sondern Teile oder Bereiche der Oberfläche. Somit sind in vorteilhafter Weise hohe Auflösungen für die codierte Struktur ermöglicht. Zur Belichtung kann insbesonde¬ re Röntgenstrahlung verwendet werden.
Bei einem Imprintverfahren kann insbesondere vorgesehen sein, dass eine Lackschicht auf der Oberfläche aufgebracht wird, die mittels eines Stempels codierend strukturiert wird. Das heißt also insbesondere, dass die codierte Struktur mittels eines Stempels auf die Oberfläche eingebracht oder einge¬ schrieben oder eingestempelt wird. Ein solcher Stempel kann vorzugsweise ein negatives Abbild aller Oberflächen der Bau¬ teile auf einem Wafer umfassen, insbesondere inklusive deren individueller Markierung. Nach dem Stempeln erfolgt vorzugs- weise eine Belichtung und insbesondere eine Aushärtung der Lackschicht, wobei der Lack auch als ein Imprint-Lack bezeichnet werden kann. Anschließend kann vorzugsweise vorgese¬ hen sein, dass ein Plasmaätzen durchgeführt wird, so dass sich die Lackstruktur auf die Oberfläche überträgt.
Ein Imprintverfahren weist insbesondere den Vorteil auf, dass besonders kleine codierte Strukturen gebildet werden können. Diese kleinen Strukturen sind insbesondere zur Lichtauskopp¬ lung geeignet, erhöhen somit in vorteilhafter Weise eine Lichtauskopplung. Ferner ist somit in vorteilhafter Weise nur ein Strukturierungsschritt notwendig: Das Stempeln.
Es kann insbesondere vorgesehen sein, dass bei einer Vielzahl von Bauteilen auf einem gemeinsamen Wafer ein Stempel verwen- det wird, welcher den Wafer als ganzen abdeckt und welcher insofern die Bauteile in einem einzigen Stempelschritt markieren oder strukturieren kann. Ein Stempel kann insbesondere mittels eines Elektronenstrahls und/oder mittels eines Laser¬ lithographieverfahrens codierend strukturiert werden, so dass die Struktur des Stempels auf die Oberfläche übertragen wer¬ den kann. Ganz allgemein ist respektive wird insbesondere die Markie¬ rung oder der Identifikator vorzugsweise direkt in einem elektromagnetische Strahlung emittierenden Bereich der Halbleiterschichtenfolge gebildet. Dieser Bereich ist insbesonde- re auf der Oberfläche der Auskoppelschicht gebildet. Das heißt also insbesondere, dass die in der aktiven Zone erzeug¬ te Strahlung durch diesen Bereich die Halbleiterschichtenfol¬ ge verlässt. Die Erfindung wird im Folgenden anhand von bevorzugten Ausführungsbeispielen näher erläutert. Hierbei zeigen
Fig. 1 ein optoelektronisches Bauteil, Fig. 2 ein Ablaufdiagramm eines Verfahrens zur Herstellung eines optoelektronischen Bauteils,
Fig. 3 ein weiteres optoelektronisches Bauteil, Fig. 4 ein Ablaufdiagramm eines weiteren Verfahrens zur
Herstellung eines optoelektronischen Bauteils,
Fig. 5 ein anderes optoelektronisches Bauteil, Fig. 6-11 verschiedene Ansichten des optoelektronischen Bauteils gemäß Fig. 5 während zeitlich nacheinander folgenden Herstellungsschritten,
Fig. ein Aufwachssubstrat umfassend mehrere optoelektro nische Bauteile, wobei ein optoelektronisches Bau¬ teil mittels eines Identifikators versehen ist und
Fig. 13 Das Aufwachssubstrat gemäß Fig. 12, wobei mehrere optoelektronische Bauteile mit einem jeweiligen Identifikator versehen sind. Im Folgenden können für gleiche Merkmale gleiche Bezugszei¬ chen verwendet werden.
Fig. 1 zeigt ein optoelektronisches Bauteil 101.
Das Bauteil 101 umfasst ein Substrat 103, auf welchem eine Halbleiterschichtenfolge 105 aufgebracht ist. Die Halbleiter¬ schichtenfolge 105 umfasst vier Halbleiterschichten 107, 109, 111, 113, welche in der vorgenannten Reihenfolge auf das Sub- strat 103 aufgebracht sind.
In einem nicht gezeigten Ausführungsbeispiel kann vorgesehen sein, dass mehr oder weniger als vier Halbleiterschichten für die Halbleiterschichtenfolge vorgesehen sind.
Die Halbleiterschichtenfolge 105 umfasst des Weiteren einen Identifikator 115 zum Identifizieren des optoelektronischen Bauteils 101. In dem in Fig. 1 gezeigten Ausführungsbeispiel ist der Identifikator 115 von der zweitobersten Halbleiter- schicht 111 bezogen auf das Substrat 103 umfasst. In weiteren nichtgezeigten Ausführungsbeispielen kann vorgesehen sein, dass der Identifikator 115 von einer der anderen drei Halbleiterschichten 107, 109, 113 umfasst ist. In weiteren nicht gezeigten Ausführungsbeispielen kann vorgesehen sein, dass mehrere Identifikatoren vorgesehen sind, die insbesondere gleich oder vorzugsweise unterschiedlich gebildet sind.
Dadurch, dass die Halbleiterschichtenfolge 105 den Identifi- kator 115 umfasst, kann das optoelektronische Bauteil 101 stets eindeutig identifiziert werden. Selbst wenn jetzt bei¬ spielsweise das Substrat 103 von der Halbleiterschichtenfolge 105 abgetrennt würde, so wäre dennoch eine eindeutige Identi¬ fizierung der Halbleiterschichtenfolge 105 ermöglicht, inso¬ fern der Identifikator 115 Teil der Halbleiterschichtenfolge 105 ist. In dem Identifikator 115 kann beispielsweise eine Position der Halbleiterschichtenfolge 105 auf einem Aufwachssubstrat (hier nicht gezeigt) eincodiert sein. Das heißt also insbe¬ sondere, dass in dem Identifikator 115 die Information einco- diert ist, wo sich die Halbleiterschichtenfolge 105 auf dem Aufwachssubstrat befunden hat. Es ist also insbesondere die Information in dem Identifikator 115 eincodiert, an welcher Stelle oder an welcher Position des Aufwachssubstrats , insbe¬ sondere des Wafers, die Halbleiterschichtenfolge 105 auf dem Aufwachssubstrat gebildet wurde.
Somit ist auch nachdem das Aufwachssubstrat von der Halb¬ leiterschichtenfolge 105 entfernt worden ist, eine eindeutige Identifizierung der Halbleiterschichtenfolge 105 ermöglicht. Es kann also auch nachträglich noch festgestellt werden, an welcher Position sich die Halbleiterschichtenfolge 105 auf dem Aufwachssubstrat , insbesondere auf dem Wafer, befunden hat. Die Kenntnis dieser Position ermöglicht in vorteilhafter Weise insbesondere eine gezielte Reduktion einer Fehlerrate und somit eine Steigerung einer Produktionsausbeute und Zu¬ verlässigkeit. Nach dem Entfernen der Halbleiterschichtenfol¬ ge 105 von dem Aufwachssubstrat wird diese vorzugsweise auf das Substrat 103 oder auf einer hier nicht gezeigten Folie aufgebracht .
Fig. 2 zeigt ein Ablaufdiagramm eines Verfahrens zur Herstel¬ lung eines optoelektronischen Bauteils.
Gemäß einem Schritt 201 wird eine Halbleiterschichtenfolge auf einem Aufwachssubstrat , beispielsweise einem Wafer, ge¬ bildet. Gemäß einem Schritt 203 wird die Halbleiterschichten¬ folge mit einem Identifikator zum Identifizieren des Bauteils versehen . Vorzugsweise kann vorgesehen sein, dass die beiden Schritte 201 und 203 zeitgleich durchgeführt werden. Das heißt also insbesondere, dass während die einzelnen Schichten auf das Aufwachssubstrat aufgebracht werden, der Identifikator einge¬ bracht wird. Vorzugsweise kann vorgesehen sein, dass nach dem Aufbringen einer Schicht der Schichten der Halbleiterschichtenfolge zunächst diese Schicht mit dem Identifikator verse- hen wird, beispielsweise indem die Oberfläche der Schicht co¬ dierend strukturiert wird. Anschließend werden dann die wei¬ teren Schichten auf der Schicht mit dem Identifikator aufgebracht . Vorzugsweise kann vorgesehen sein, dass der Identifikator nach dem Bilden der Halbleiterschichtenfolge auf oder in die Halbleiterschichtenfolge aufgebracht wird. Beispielsweise kann vorgesehen sein, dass die vom Substrat aus gesehen oberste Halbleiterschicht mit dem Identifikator versehen wird. Diese oberste Schicht der Halbleiterschichtenfolge kann beispielsweise auf ihrer Oberfläche entsprechend codierend strukturiert werden, um so den Identifikator zu bilden.
Fig. 3 zeigt ein weiteres optoelektronisches Bauteil 301.
Das optoelektronische Bauteil 301 umfasst ein Substrat 303, auf welchem eine Halbleiterschichtenfolge 305 aufgebracht ist. Die Halbleiterschichtenfolge 305 umfasst vier Halb¬ leiterschichten 307, 309, 311 und 313, welche in der vorge- nannten Reihenfolge auf dem Substrat 303 angeordnet sind. Das heißt also insbesondere, dass die Halbleiterschicht 313 vom Substrat 303 aus gesehen die oberste Halbleiterschicht der Halbleiterschichtenfolge 305 ist. In dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 3 ist die direkt unter der Halbleiterschicht 313, also der obersten Halbleiter¬ schicht, gebildete Halbleiterschicht 311 als eine aktive Zone oder als Emitterschicht gebildet, welche bei elektrischer und/oder optischer Anregung elektromagnetische Strahlung emittieren kann. Die oberste Schicht 313 ist in dem optoelektronischen Bauteil 301 als eine Auskoppelschicht 313 gebildet. Die Auskoppel¬ schicht 313 koppelt in vorteilhafter Weise die in der Emit¬ terschicht 311 oder aktiven Zone erzeugte elektromagnetische Strahlung aus.
Ferner umfasst die Halbleiterschichtenfolge 305 einen Identi- fikator 315, der als eine codierte Oberflächenstruktur 317 der Auskoppelschicht 313 gebildet ist.
Das heißt also insbesondere, dass ein Bereich oder eine Teil¬ fläche der Oberfläche der Auskoppelschicht 313 codierend strukturiert wurde, beispielsweise mittels eines Barcodes, insbesondere eines ein- oder zweidimensionalen Barcodes. Ins- besondere kann vorgesehen sein, dass in die Oberfläche der
Auskoppelschicht 113 eine Struktur in Form eines eindimensio¬ nalen oder zweidimensionalen Binärcodes, beispielsweise in Form eines Barcodes oder einer „dot matrix" eingebracht ist respektive wird, wobei diese Struktur die Position der Halb- leiterschichtenfolge 105 auf einem Aufwachssubstrat dar¬ stellt. Bei diesem Aufwachssubstrat kann es sich beispiels¬ weise um das Substrat 303 handeln.
Fig. 4 zeigt ein Ablaufdiagramm eines weiteren Verfahrens zur Herstellung eines optoelektronischen Bauteils.
Gemäß einem Schritt 401 wird eine Halbleiterschichtenfolge auf einem Aufwachssubstrat gebildet, wobei eine aktive Zone zur Erzeugung von elektromagnetischer Strahlung oder eine Emitterschicht und eine Auskoppelschicht zum Auskoppeln der elektromagnetischen Strahlung aus der aktiven Zone respektive Emitterschicht gebildet werden. Gemäß einem Schritt 403 wird ein Bereich der Oberfläche der Auskoppelschicht codierend strukturiert. Das heißt also insbesondere, dass die Halb- leiterschichtenfolge mit einem Identifikator versehen wird, wobei der Identifikator als eine codierte Oberflächenstruktur der Auskoppelschicht gebildet wird. Fig. 5 zeigt ein anderes optoelektronisches Bauteil 501.
Das optoelektronische Bauteil 501 umfasst ein Substrat 503, auf welchem eine Halbleiterschichtenfolge 505 aufgebracht ist .
Die Halbleiterschichtenfolge 505 umfasst fünf Halbleiter¬ schichten 507, 509, 511, 513, 515, die in der vorgenannten Reihenfolge auf dem Substrat 503 angeordnet oder abgeschieden sind .
Das heißt also insbesondere, dass die Halbleiterschicht 515 vom Substrat 503 aus gesehen die oberste Schicht der Halb- leiterschichtenfolge 505 bildet.
Unterhalb der obersten Halbleiterschicht 515 ist direkt eine Emitterschicht 513 oder eine aktive Zone zur Erzeugung elekt¬ romagnetischer Strahlung gebildet. Unterhalb der Emitter- schicht 513 oder aktiven Zone ist direkt die Halbleiter¬ schicht 511 gebildet. Es kann vorzugsweise vorgesehen sein, dass die Halbleiterschicht 515 eine n-dotierte Halbleiter¬ schicht ist. In diesem Fall ist die Halbleiterschicht 511 un¬ terhalb der Emitterschicht 513 eine p-dotierte Schicht. In einem nicht gezeigten Ausführungsbeispiel kann vorgesehen sein, dass die oberste Halbleiterschicht 515 p-dotiert ist, wobei dann die Halbleiterschicht 511 unterhalb der Emitter¬ schicht 513 n-dotiert ist. Die Halbleiterschicht 509 kann beispielsweise als eine Spie¬ gelschicht ausgebildet sein, um elektromagnetische Strahlung, die in der Halbleiterschicht 513 erzeugt wird, zu reflektie¬ ren in Richtung der obersten Halbleiterschicht 515, um somit in vorteilhafter Weise eine Auskoppeleffizienz an ausgekop- pelter elektromagnetischer Strahlung zu erhöhen. In dem in Fig. 5 gezeigten Ausführungsbeispiel ist die obers¬ te Halbleiterschicht 515 gleichzeitig als eine Auskoppel¬ schicht gebildet, die in vorteilhafter Weise die elektromag¬ netische Strahlung, die in der Emitterschicht 513 erzeugt wird, auszukoppeln kann.
Zur Identifizierung der Halbleiterschichtenfolge 505 ist eine Oberfläche der obersten Halbleiterschicht 515 codierend strukturiert. Das heißt also insbesondere, dass die Oberflä- che der Auskoppelschicht 515 Bereiche 517 aufweist, die co¬ dierend strukturiert wurden respektive sind. Diese codierten Oberflächenstrukturen 517 tragen ferner zu einer Erhöhung einer Auskoppeleffizienz bei. Auf der Oberfläche der Auskoppelschicht 515 ist mittig ein Bondpad 519 gebildet. Beabstandet von dem Bondpad 519 ist links und rechts von dem Bondpad 519 jeweils ein Kontaktsteg 521 für eine elektrische Kontaktierung der Halbleiterschichtenfolge 505 vorgesehen. Die jeweilige Fläche zwischen den Kontaktstegs 521 und dem Bondpad 519 ist codierend struktu¬ riert und bildet insofern die codierte Oberflächenstruktur 517.
Links neben dem linken Kontaktsteg 521 und rechts neben dem rechten Kontaktsteg 521 ist jeweils ein Randbereich 523 res¬ pektive 525 gebildet, auf welchem in einem nicht gezeigten weiteren Ausführungsbeispiel beispielsweise eine Oberflächen- beschichtung aufgebracht werden kann, insbesondere eine Anti- Reflex-Beschichtung . Ein Ort dieser Oberflächenbeschichtung kann insbesondere in Abhängigkeit von einer Position der
Halbleiterschichtenfolge 505 auf einem Aufwachssubstrat ge¬ wählt werden. Somit ist eine weitere Möglichkeit einer Iden¬ tifizierung, insbesondere einer Positionsidentifizierung, der Halbleiterschichtenfolge 501 ermöglicht.
In anderen nicht gezeigten Ausführungsformen kann vorgesehen sein, dass anstatt der codierten Oberflächenstruktur nur die Oberflächenbeschichtung, insbesondere die Anti-Reflex- Beschichtung, als Identifikator vorgesehen ist.
Fig. 6 bis Fig. 11 zeigen jeweils Ansichten des optoelektro- nischen Bauteils 501 zu verschiedenen zeitlich aufeinander folgenden möglichen Herstellungsschritten in einer Teilschnittansicht. Das heißt also insbesondere, dass nicht sämt¬ liche in Fig. 5 gezeigte Elemente dargestellt sind. Die dar¬ gestellten Elemente können beispielsweise zwecks besserer Übersichtlichkeit abgeschnitten dargestellt werden.
Es wird angemerkt, dass die im Folgenden beschriebenen Herstellungsschritte die Erfindung nicht einschränken sollen. Das gemäß Fig. 5 gezeigte Bauteil kann auch durch andere Her- stellungsverfahren hergestellt und entsprechend codierend strukturiert werden.
In Fig. 6 ist lediglich die oberste Halbleiterschicht 515, also die Auskoppelschicht, der Halbleiterschichtenfolge 505 abgeschnitten gezeigt mit dem Bondpad 519 und dem linken Kontaktsteg 521. Eine zwischen dem Bondpad 519 und dem Kontakt¬ steg 521 liegende Oberfläche der Auskoppelschicht 515 weist noch keine codierte Strukturierung auf. Gemäß der Ansicht in Fig. 7 ist eine Schutzschicht 701, bei¬ spielsweise ein Photolack, jeweils auf dem Kontaktsteg 521 und dem Bondpad 519 als Schutz für die noch folgenden Struk- turierungsschritte aufgebracht. Gemäß der Ansicht in Fig. 8 ist ein Polystyrol-Monosphere (Monokugel ) -Film auf die freiliegenden Oberflächen aufgebracht. Dieser Film umfasst eine Vielzahl an Kugeln (Monosp- here) 801. Diese Kugeln 801 sind aus Polystyrol gebildet. Das Bilden des Polystyrol-Monosphere-Films kann insbesondere wie folgt durchgeführt werden: Es wird eine Suspension aus HMDS, Isopropanol und Polystyrol¬ kugeln 801 gebildet.
HMDS steht hier für Hexamethyldisilazan und wirkt insbesonde- re in vorteilhafter Weise als ein Haftvermittler für Photolack auf einer hydrophoben Wafer-Oberflache .
Diese Suspension wird insbesondere mittels einer Bürette auf eine Wasseroberfläche eines Beckens gegeben, in welchem sich das optoelektronische Bauteil 501 befindet. Die Suspension wird dann anschließend insbesondere auf der Wasseroberfläche verteilt .
Nachdem das Lösemittel verdampft ist, bildet sich an der Oberfläche der Wasser/Luftgrenzfläche der gewünschte Film aus Polystyrol-Kugeln aus. Dieser Film kann insbesondere durch Ablassen des Wassers aus dem Becken auf den freiliegenden Oberflächen abgelegt werden. Sofern ein Wafer umfassend mehrere Halbleiterschichtenfolgen, also umfassend mehrere opto- elektronische Bauteile, vorgesehen ist, so legt sich der Film aus Polystyrolkugeln auf dem Wafer, also insbesondere auf den freiliegenden Oberflächen der einzelnen Bauteile, ab.
Die Polystyrolkugeln 801 dienen in vorteilhafter Weise für eine Maskierung für noch nachfolgende photolithographische
Prozessschritte für eine Aufrauung der Oberfläche der Auskop¬ pelschicht 515 für eine verbesserte Auskopplung der elektro¬ magnetischen Strahlung. Beispielsweise kann die Suspension 20ml Isopropanol, 0,2ml PS ( Polystyrol-Spheres ) -Suspension, 20ml HMDS umfassen, wobei im Wasser im Becken noch 10ml HMDS vorgesehen sein können.
Fig. 8 zeigt ferner eine Ausschnittsvergrößerung einer An- sieht von schräg oben des Films aus Polystyrolkugeln 801. Diese Ausschnittsvergrößerung ist gekennzeichnet mit einem Pfeil mit dem Bezugszeichen 803. Die Ansicht gemäß Fig. 9 zeigt die Polystyrolkugeln 801 nach einem Schrumpfprozess und nach einem Übertragen der Kugelstruktur auf die Oberfläche der Auskoppelschicht 515. Dieser Schrumpfprozess ist insofern optional, da die konkrete ge¬ wünschte Größe der Kugeln 801 abhängig von der Wellenlänge der emittierten elektromagnetischen Strahlung ist.
So sollten für eine besonders gute Auskoppeleffizienz die Ku- geln 801 einen Durchmesser von etwa 425 Nanometern haben, wenn elektromagnetische Strahlung mit einer Wellenlänge von 850 Nanometern emittiert werden soll. Sofern beispielsweise nur 430 Nanometer große Kugeln genommen werden, so werden diese insofern anschließend nach dem Aufbringen des Films auf die entsprechende Sollgröße, hier die 425 Nanometer, ge¬ schrumpft .
Fig. 10 zeigt eine Ansicht des Bauteils nach einem Veraschen der Polystyrolkugeln 801. Das heißt also insbesondere, dass die Polystyrolkugeln 801 beispielsweise mittels Erhitzen zer¬ stört wurden, sodass letztlich nur die entsprechend struktu¬ rierte Oberfläche der Auskoppelschicht 515 zurückbleibt. Die¬ se strukturierte Oberfläche ist hier mit dem Bezugszeichen 1001 gekennzeichnet. Das heißt also insbesondere, dass die Struktur des Films aus Polystyrolkugeln 801 sich nun auf die Oberfläche der Auskoppelschicht 515 übertragen hat. Diese Oberfläche kann zuvor oder anschließend codierend struktu¬ riert werden. Um die codierende Struktur 517 zu bilden, ist insbesondere vorgesehen, dass die Oberfläche der Schicht 515 und/oder ein auf die Oberfläche der Schicht 515 aufgebrachter Photolack mittels Photolithographie- und/oder Imprint- und/oder Laser¬ strahl- und/oder Elektronenstrahlverfahren codierend struktu- riert wird. Das heißt also insbesondere, dass mittels der Aufrauung aufgrund der Kugeln 801 noch keine codierende
Struktur gebildet wird. Diese wird insbesondere mittels der vorgenannten Verfahren gebildet. Insbesondere findet nach dem Bilden der codierten Struktur die Aufrauung mittels der Kugeln 801 statt. Gemäß Fig. 11 wird die Schutzschicht 701, insbesondere der Photolack, von dem Bondpad 519 und von dem Kontaktsteg 521 entfernt .
Mit dem Bezugszeichen 1101 ist eine Draufsicht auf das opto- elektronisches Bauteil 501 bezeichnet. Das Bondpad 519 kann hier insbesondere einen metallischen n-Kontakt für die
Schicht 515, wenn diese eine n-dotierte Schicht ist.
An dieser Stelle wird angemerkt, dass die vorgenannte Aufrau- ung mittels Kugeln 801 nur als Beispiel, nicht aber als Ein¬ schränkung dienen soll. Mittels der Kugelaufrauung wird eine Aufrauung der Oberfläche der Schicht 515 derart bewirkt, dass Licht besonders effizient ausgekoppelt werden kann. Diese Art von Aufrauung kann in weiteren nicht gezeigten Ausführungs- formen alternativ oder zusätzlich mittels anderer Aufrauungs- verfahren durchgeführt werden: Zum Beispiel Photolithogra¬ phieverfahren und/oder Imprintverfahren .
Fig. 12 zeigt ein Aufwachssubstrat 1201, insbesondere ein Wafer, auf welchem eine Vielzahl von Halbleiterschichtenfol¬ gen nebeneinander aufgebracht ist. Diese Halbleiterschichtenfolgen sind der Übersicht halber nicht gezeigt. Gezeigt ist ein Barcode 1203, welcher auf eine Oberfläche einer obersten Schicht der Halbleiterschichtenfolge, insbesondere einer Aus- koppelschicht , aufgebracht wird, indem die Oberfläche der obersten Schicht entsprechend codierend strukturiert wird, um so eine Position der Halbleiterschichtenfolge in die Oberflä¬ che einzucodieren . Fig. 13 zeigt das Aufwachssubstrat 1201, wobei mehrere Ober¬ flächen der einzelnen Halbleiterschichtenfolgen bereits entsprechend codierend strukturiert sind. Die Erfindung umfasst also insbesondere den Gedanken, eine Oberfläche einer Halbleiterschicht, insbesondere die Oberflä¬ che der Auskoppelschicht, zumindest teilweise oder auch die ganze Fläche, mittels eines Imprintverfahrens und/oder eines Photolithographieverfahrens mit anschließendem Ätzen oder an¬ derer Strukturierungsverfahren mit einer Struktur beispielsweise in Form eines eindimensionalen oder zweidimensionalen Binärcodes, beispielsweise ein Barcode oder einer Dot matrix, zu versehen, wobei die Struktur eine Position der Halbleiterschichtenfolge auf dem Wafer, also dem Aufwachssubstrat , dar¬ stellt. Es kann beispielsweise vorgesehen sein, dass die Halbleiterschichtoberfläche geätzt wird. Insbesondere kann eine selektive, also ortsabhängige, Beschichtung von zusätz- liehen Schichten auf der obersten Halbleiterschicht, erfol¬ gen .
Insbesondere kann es sich bei diesen zusätzlichen Schichten um eine an die Anti-Reflex-Schicht handeln. Das heißt also insbesondere, dass die Anti-Reflexbeschichtung auf die Ober¬ fläche der obersten Halbleiterschicht gesehen vom Wafer aus aufgebracht wird, wobei ein Ort der Anti-Reflexbeschichtung abhängig von einer Position der Halbleiterschichtenfolge auf dem Wafer gewählt wird.
Es ist somit in vorteilhafter Weise ermöglicht, die Struktur oder allgemein den Identifikator bei einer automatischen Ausgangskontrolle routinemäßig auszulesen. Insbesondere ist es in vorteilhafter Weise ermöglicht, diese Struktur in einem Mikroskop in späteren Analysen auszuwerten. Es kann vorgesehen sein, dass die Strukturgröße insbesondere so groß ist, dass sie trotz einer überlagerten Aufrauung mittels Kugeln, insbesondere Polystyrolkugeln, noch in vorteilhafter Weise erkannt werden kann. Insbesondere kann vorgesehen sein, dass die Struktur so fein strukturiert ist, dass sie zusätzlich oder an Stelle zur Aufrauung mittels der Kugeln gleichzeitig zur Auskopplung der elektromagnetischen Strahlung dient. In der Regel wird die Oberfläche einer Auskoppelschicht aufge- raut, um eine Auskoppeleffizienz zu erhöhen.
Das heißt also insbesondere, dass beispielsweise vorgesehen sein kann, die Oberfläche der obersten Halbleiterschicht, insbesondere der Auskoppelschicht, zumindest partiell, insbe¬ sondere ganzflächig, aufzurauen, wobei die Aufrauung in Form einer binären Code-Struktur, beispielsweise einer Dot matrix oder eines Barcodes, eingebracht wird. Ganz allgemein ist respektive wird insbesondere die Markierung oder der Identi- fikator vorzugsweise direkt in einem elektromagnetische
Strahlung emittierenden Bereich der Halbleiterschichtenfolge gebildet. Dieser Bereich ist insbesondere auf der Oberfläche der Auskoppelschicht gebildet. Das heißt also insbesondere, dass die in der aktiven Zone erzeugte Strahlung durch diesen Bereich die Halbleiterschichtenfolge verlässt.
Die Position jedes einzelnen optoelektronischen Bauteils auf dem Wafer ist somit auch nach einer Separation noch nachvoll- ziehbar, ohne dass dabei noch zusätzliche Kosten entstehen oder eine Performance der optoelektronischen Bauteile sinkt. Durch die Kenntnis der Lage oder des Orts der optoelektronischen Bauteile können im Nachhinein viele Fehlerursachen schneller erkannt werden. Beispielsweise kann erkannt werden, ob es sich bei dem optoelektronischen Bauteil um ein Bauteil handelt, welches sich am Rand oder in einem Randbereich des Wafers befunden hat. Somit kann in vorteilhafter Weise eine Qualität verbessert werden. Obwohl die Erfindung im Detail durch die bevorzugte Ausführungsbeispiele näher illustriert und beschrieben wurde, so ist die Erfindung nicht durch die offenbarten Beispiele eingeschränkt und andere Variationen können vom Fachmann hieraus abgeleitet werden, ohne den Schutzumfang der Erfindung zu verlassen.

Claims

Optoelektronisches Bauteil (101, 301, 501), umfassend ein Substrat (103, 303, 503), auf welchem eine Halb¬ leiterschichtenfolge (105, 305, 505) aufgebracht ist, wobei die Halbleiterschichtenfolge (105, 305, 505) zumin¬ dest einen Identifikator (115, 315) zum Identifizieren des Bauteils (101, 301, 501) aufweist.
Optoelektronisches Bauteil (101, 301, 501) nach Anspruch
1, wobei der Identifikator (115, 315) einen codierten strukturierten Bereich einer Schicht der Schichten (107, 109, 111, 113) der Halbleiterschichtenfolge (105, 305, 505) umfasst.
Optoelektronisches Bauteil (101, 301, 501) nach Anspruch
2, wobei der codierte strukturierte Bereich als ein Bar¬ code gebildet ist.
Optoelektronisches Bauteil (101, 301, 501) nach einem der vorherigen Ansprüche, wobei der Bereich eine codierte strukturierte Oberflächenbeschichtung der Schicht umfasst .
Optoelektronisches Bauteil (101, 301, 501) nach Anspruch 4, wobei die Oberflächenbeschichtung eine Antireflexbe- schichtung ist.
Optoelektronisches Bauteil (101, 301, 501) nach einem der vorherigen Ansprüche soweit rückbezogen auf Anspruch 2, wobei die Halbleiterschichtenfolge (105, 305, 505) eine aktive Zone (111, 513) zur Erzeugung von elektro¬ magnetischer Strahlung und eine Auskoppelschicht (113, 515) zum Auskoppeln der elektromagnetischen Strahlung aus der aktiven Zone (111, 513) umfasst, wobei der co¬ dierte strukturierte Bereich eine codierte Oberflächen¬ struktur der Auskoppelschicht (113, 515) umfasst.
Verfahren zur Herstellung eines optoelektronischen Bauteils (101, 301, 501), wobei eine Halbleiterschichten¬ folge (105, 305, 505) auf einem Aufwachssubstrat (1201) gebildet wird und wobei die Halbleiterschichtenfolge (105, 305, 505) mit einem Identifikator (115, 315) zum Identifizieren des Bauteils (101, 301, 501) versehen wird .
Verfahren nach Anspruch 7, wobei in den Identifikator (115, 315) eine Position der Halbleiterschichtenfolge (105, 305, 505) auf dem Aufwachssubstrat (1201) einco¬ diert wird.
Verfahren nach Anspruch 7 oder 8, wobei der Schritt des Versehens ein Bilden eines codierten strukturierten Bereichs einer Schicht der Schichten (107, 109, 111, 113) der Halbleiterschichtenfolge (105, 305, 505) umfasst.
Verfahren nach Anspruch 8 und 9, wobei das Bilden des codierten strukturierten Bereichs ein Aufbringen einer codierten strukturierten Oberflächenbeschichtung auf der Schicht umfasst, wobei ein Ort der Oberflächenbeschichtung auf der Schicht abhängig von der Position der Halbleiterschichtenfolge (105, 305, 505) auf dem Aufwachs¬ substrat (1201) gewählt wird.
Verfahren nach Anspruch 10, wobei die Oberflächenbe¬ schichtung als eine Antireflexbeschichtung gebildet wird .
Verfahren nach einem der Ansprüche 7 bis 11 soweit rückbezogen auf Anspruch 9, wobei das Bilden der Halbleiterschichtenfolge (105, 305, 505) ein Bilden einer aktiven Zone (111, 513) zur Erzeugung von elektromagnetischer Strahlung und ein Bilden einer Auskoppelschicht (113, 515) zum Auskoppeln der elektromagnetischen Strahlung aus der aktiven Zone (111, 513) umfasst, wobei das Bil¬ den des codierten strukturierten Bereichs ein Bilden einer codierten Oberflächenstruktur der Auskoppelschicht (113, 515) umfasst.
13. Verfahren nach Anspruch 12 soweit rückbezogen auf Anspruch 8, wobei ein Ort der codierten Oberflächenstruktur auf der Auskoppelschicht (113, 515) abhängig von der Position der Halbleiterschichtenfolge (105, 305, 505) auf dem Aufwachssubstrat (1201) gewählt wird.
14. Verfahren nach Anspruch 12 oder 13, wobei das Bilden der codierten Oberflächenstruktur mittels eines Imprint- und/oder eines Photolithographieverfahrens durchgeführt wird .
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