WO2013160480A3 - Einrichtung zur verringerung des flüssigkeitsanteils eines substrats mit einer drehbetätigten schleuderwelle und vorrichtung zur thermischen behandlung eines feuchtsubstrats mit einer solchen einrichtung - Google Patents
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Abstract
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Einrichtung zur Verringerung des Flüssigkeitsanteils eines Substrats (3), mit einer drehbetätigten Schleuderwelle (11), die entlang ihres Umfangs mit dem Substrat (3) in Kontakt bringbar ist und Substrat (3) in einen zur Schleuderwelle (11) benachbarten Raum fördert, der von einem Feuchtigkeit aufnehmenden Trockungsmedium durchströmbar ist, wobei die Schleuderwelle (11) am Umfang mit mindestens einer bürstenähnlichen Vorrichtung versehen ist, die beim Kontakt mit Substrat (3) Substratpartikel aufnimmt und in Richtung des Raums schleudert.
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