WO2013114535A1 - アクチュエータの製造方法 - Google Patents

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WO2013114535A1
WO2013114535A1 PCT/JP2012/051999 JP2012051999W WO2013114535A1 WO 2013114535 A1 WO2013114535 A1 WO 2013114535A1 JP 2012051999 W JP2012051999 W JP 2012051999W WO 2013114535 A1 WO2013114535 A1 WO 2013114535A1
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WO
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actuator
manufacturing
integrated
pair
movable part
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PCT/JP2012/051999
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尾上　篤
清文 竹間
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パイオニア株式会社
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    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K33/00—Motors with reciprocating, oscillating or vibrating magnet, armature or coil system
    • H02K33/18—Motors with reciprocating, oscillating or vibrating magnet, armature or coil system with coil systems moving upon intermittent or reversed energisation thereof by interaction with a fixed field system, e.g. permanent magnets
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K15/00—Methods or apparatus specially adapted for manufacturing, assembling, maintaining or repairing of dynamo-electric machines
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
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    • H02K15/03—Methods or apparatus specially adapted for manufacturing, assembling, maintaining or repairing of dynamo-electric machines of stator or rotor bodies having permanent magnets
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    • H02K15/04—Methods or apparatus specially adapted for manufacturing, assembling, maintaining or repairing of dynamo-electric machines of windings, prior to mounting into machines
    • H02K15/0407—Windings manufactured by etching, printing or stamping the complete coil

Definitions

  • the present invention relates to a technical field of a manufacturing method of an actuator such as a MEMS scanner that drives a movable part provided with, for example, a mirror.
  • MEMS Micro Electro Mechanical System
  • a MEMS scanner used for laser beam scanning is known (for example, see Patent Documents 1 and 2).
  • Such a MEMS scanner includes a movable plate, a frame-shaped support frame that surrounds the movable plate, and a torsion bar that pivotally supports the movable plate so as to be swingable with respect to the support frame.
  • a mirror is formed at the center of the surface of the movable plate, and a driving coil is formed around the mirror.
  • a pair of permanent magnets for generating a static magnetic field for the drive coil is disposed on the support frame.
  • an electromagnetic driving force (Lorentz force) is generated in the driving coil by supplying a control current to the driving coil. Accordingly, the movable plate on which the driving coil is formed is moved.
  • Patent Document 2 there is an attempt to reduce the thickness with a thin film magnet as in Patent Document 2, but it is difficult to drive the mirror with a large deflection angle and a high repetition frequency because the volume of the thin film magnet is small.
  • the movable plate (or any movable part) is not limited to the MEMS scanner that swings the movable plate (or any movable part) so as to rotate. The same can occur for a MSMS actuator that is swung.
  • the present invention has been made in view of, for example, the conventional problems described above, and an object of the present invention is to provide an actuator manufacturing method capable of manufacturing an actuator with high accuracy and relatively easily.
  • an actuator manufacturing method is a manufacturing method for manufacturing an actuator, and a substrate member formed so that one constituent member constituting the actuator protrudes upward is prepared.
  • a first step a second step of integrating a plurality of other constituent members constituting the actuator, and a third step of fitting the plurality of integrated other constituent members into the substrate member,
  • the one constituent member is used as a positioning guide for fitting the plurality of integrated other constituent members into the substrate member.
  • 2 is a cross-sectional view (cross-sectional view taken along the line I-I ′ of FIG. 1) illustrating an example of the configuration of the actuator of the first embodiment.
  • the manufacturing method of the actuator of the present embodiment is a manufacturing method of manufacturing an actuator, and includes a first step of preparing a substrate member formed so that one constituent member constituting the actuator protrudes upward. A second step of integrating a plurality of other constituent members constituting the actuator, and a third step of fitting the plurality of integrated other constituent members into the substrate member, the third step Uses the one constituent member as a positioning guide when fitting the plurality of integrated other constituent members into the substrate member.
  • the manufacturing method of the actuator of this embodiment for example, an actuator such as the MEMS scanner described above is manufactured.
  • the manufacturing method of the actuator of this embodiment includes a first step, a second step, and a third step.
  • a substrate member is prepared.
  • the substrate member is used as a substrate for fitting various constituent members constituting the actuator (for example, a movable part described later, a soft magnetic member, a magnet, a yoke, etc.). That is, in this embodiment, the actuator is manufactured by fitting various constituent members constituting the actuator into the substrate member (in other words, being stacked or assembled).
  • the “preparation” in the first process means that the above-described substrate members are prepared in preparation for the second and third processes. For this reason, in the first step, the substrate member may be prepared by actually manufacturing the above-described substrate member itself, or the substrate member is prepared by taking or placing a previously manufactured substrate member on the production line. May be.
  • the substrate member is formed with one constituent member constituting the actuator (for example, a protruding member for supporting a soft magnetic member described later).
  • the one component member has a shape protruding from the surface of the substrate member toward the upper portion of the substrate member.
  • the one component member may be integrated with the substrate member, or may be fixed to the substrate member as a separate member from the substrate member.
  • substrate member of the present embodiment is not limited in its shape or the like as long as various constituent members constituting the actuator can be fitted (in other words, stacked or assembled).
  • a plurality of other components constituting the actuator are integrated.
  • a plurality of other constituent members may be integrated by a mold member such as a resin.
  • a plurality of other components that were initially separate in other words, were separate and independent components
  • one integrated component in other words, one packaged component.
  • the external shape or shape of the other constituent members is formed so as to be appropriately accommodated in the substrate member.
  • a plurality of other constituent members integrated in the second step are fitted into the substrate member.
  • a positioning guide for determining for determining (in other words, guiding or defining) a position at which a plurality of other integrated components (that is, one integrated component) are fitted into the board member.
  • one component member formed on the substrate member is used. That is, a plurality of other constituent members integrated in the second step (that is, one integrated constituent member) are fitted into the board member while being guided by one constituent member.
  • the actuator is manufactured by fitting various constituent members constituting the actuator into the substrate member. For this reason, compared with the manufacturing method which assembles the various members which comprise an actuator, without using a board
  • one component member formed on the substrate member can be used as a positioning guide.
  • the various members which comprise an actuator are highly accurate and comparatively easy. It can be assembled while positioning. That is, the actuator can be manufactured with high accuracy and relatively easily.
  • the manufacturing cost of the actuator can be reduced compared with a manufacturing method in which various members constituting the actuator are assembled without using a substrate member. Can be reduced.
  • one constituent member used as the positioning guide is a part of various constituent members constituting the actuator. For this reason, the various effects mentioned above can be enjoyed, without preparing specially the member used exclusively as a positioning guide, or forming newly.
  • the manufacturing method of the present embodiment instead of individually fitting a plurality of other constituent members into the substrate member, the plurality of other constituent members can be fitted into the substrate member after being integrated. it can. That is, according to the manufacturing method of this embodiment, instead of individually fitting a plurality of other constituent members into the board member, one integrated constituent member can be fitted into the board member. Therefore, as compared with a manufacturing method in which a plurality of other constituent members are individually fitted into the substrate member, various members constituting the actuator can be assembled while positioning with high accuracy and relatively easily. Such an effect is particularly effective when, for example, a pair of magnets that repel or attract each other by magnetic force are fitted into the substrate member.
  • the plurality of other component members are formed in their outer shape or shape so that their positions are appropriately guided by the one component member. It is preferable.
  • the substrate member is a case member having a gap inside, and the one component member is formed so as to protrude from the inner surface of the case member toward the gap.
  • the plurality of other constituent members integrated are fitted into the case member.
  • the case member is prepared as the substrate member.
  • the case member has a gap inside. This gap is used as a space for fitting various constituent members constituting the actuator (for example, a movable portion described later, a soft magnetic member, a magnet, a yoke, etc.).
  • the actuator is manufactured by fitting various constituent members constituting the actuator into the case member.
  • one structural member for example, a protruding member for supporting a soft magnetic member described later
  • the one component member has a shape protruding from the inner surface (in other words, the inner wall) of the case member toward the gap inside the case member.
  • the one constituent member may be integrated with the case member, or may be fixed to the case member as a separate member from the case member.
  • the “case member” of the present embodiment is not limited in its shape or the like as long as it can define a gap into which various constituent members constituting the actuator can be fitted.
  • the case member may have a so-called box shape in which a side surface and a bottom surface are closed.
  • the one component member is formed on the side surface and the bottom surface of the case member so as to protrude from the side surface and the bottom surface of the case member toward the space surrounded by the side surface and the bottom surface, for example.
  • the case member may have a shape composed of a plurality of columns that can define the side surface and the bottom surface (that is, a shape in which an opening exists in a part of the side surface and the bottom surface).
  • the one component member is directed from a virtual side surface or a virtual bottom surface of the case member defined by the plurality of pillars to a space surrounded by the virtual side surface and the virtual bottom surface. It is formed in the pillar which comprises a case member so that it may protrude.
  • a plurality of other constituent members integrated in the second step are fitted into the case member.
  • the positioning guide one component member formed on the case member is used. That is, a plurality of other constituent members integrated in the second step (that is, one integrated constituent member) are fitted into the case member while being guided by one constituent member. Go.
  • the actuator is manufactured by fitting various constituent members constituting the actuator into the case member. For this reason, compared with the manufacturing method which assembles the various members which comprise an actuator, without using a case member, the various members which comprise an actuator can be assembled while positioning with high precision and comparatively easily. That is, the various effects described above can be suitably enjoyed.
  • the plurality of other constituent members are integrated so that a through-hole through which the one constituent member passes is formed, and the third step The plurality of integrated other constituent members are fitted into the substrate member so that the one constituent member is inserted into the through hole.
  • the through holes formed in a plurality of other constituent members (that is, one integrated constituent member) integrated with one constituent member used as the positioning guide are engaged.
  • a plurality of other integrated components that is, one integrated component
  • a guiding member for guiding the position of the plurality of other component members is formed by meshing with or contacting one component member in an arbitrary manner. May be.
  • a plurality of components integrated so that one component member meshes with or comes into contact with the guide member in an arbitrary manner and moves or slides in a meshed state or a contacted state).
  • Other constituent members may be fitted into the substrate member. Even when configured in this way, a plurality of other integrated structural members (that is, one integrated structural member) are fitted into the board member while being properly guided by one structural member. It will be. Therefore, the various effects described above can be suitably enjoyed.
  • the actuator includes (i) a movable portion, and (ii) a soft magnetic member that is disposed immediately below the movable portion and is formed of a soft magnetic material
  • One component member is a projecting member that supports the soft magnetic member and projects in the normal direction of the substrate member
  • the second step includes the projecting member including the plurality of other component members.
  • the plurality of other constituent members integrated are fitted to the substrate member so that the projecting member is inserted into the through hole.
  • the movable portion is moved in the actuator that swings the movable portion by applying a magnetic field, as will be described in detail later with reference to the drawings. Can be moved more efficiently.
  • the actuator that swings the movable part by applying a magnetic field further includes a support part, a torsion bar that connects the support part and the movable part and supports the movable part so that the movable part can swing, and a magnetic field applied to the movable part. It is preferable to include a magnet (that is, a magnetic field application unit) for applying a voltage and a drive coil formed on the movable unit.
  • the protruding member that supports the soft magnetic member by arranging (in other words, forming) such a soft magnetic member on the soft magnetic member is used as the above-described one constituent member (that is, the positioning guide).
  • a protruding member often has a shape protruding toward the upper part of the substrate member in order to dispose the soft magnetic member directly below the movable portion. For this reason, by utilizing such a protruding member as a positioning guide, the above-described various effects can be enjoyed without specially preparing or newly forming a member dedicated to the positioning guide.
  • the actuator includes the pair of first magnets that sandwich the movable part along a direction along the surface of the movable part.
  • the second step integrates the pair of first magnets so that the through-hole through which the protruding member passes is formed
  • the third step includes the protruding member The pair of integrated first magnets may be fitted into the substrate member such that the first magnet is inserted into the through hole.
  • a movable part can be swung by applying a magnetic field with respect to a movable part from a pair of 1st magnet.
  • the pair of first magnets are integrated. After being formed, it can be fitted into the board member. Therefore, the pair of first magnets can be assembled with high accuracy and relatively easily as compared with a manufacturing method in which the pair of first magnets are individually fitted into the substrate member without being integrated.
  • the pair of first magnets repel each other or attract each other due to the magnetic force
  • the positioning accuracy caused by the influence of the magnetic force is obtained by fitting the pair of first magnets into the substrate member after being integrated. It is possible to assemble while positioning the pair of first magnets with high accuracy and relatively easily while suitably suppressing or preventing the deterioration of the above.
  • first magnet of the present embodiment is a broad meaning indicating literally a magnet itself, and also an arbitrary magnetic field generating unit capable of generating a magnetic field. The same applies to a “second magnet” described later.
  • the actuator is (i) on the side opposite to the side on which the movable part is formed as viewed from the pair of first magnets.
  • a first yoke having a through-hole through which the protruding member passes and (ii) a pair of second yokes disposed on the side where the movable part is formed when viewed from the pair of first magnets.
  • the plurality of other constituent members are provided, the second step is to integrate the pair of second yokes, and the third step is (i) so that the protruding member is inserted into the through hole.
  • the first yoke may be fitted into the substrate member, and (ii) the pair of integrated second yokes may be fitted into the substrate member.
  • the pair of second yokes are integrated. After being formed, it can be fitted into the board member. Therefore, the pair of second yokes can be assembled while being positioned with high accuracy and relatively easily as compared with a manufacturing method in which the pair of second yokes are individually fitted into the substrate member without being integrated.
  • the actuator includes (i) sandwiching the movable portion along a direction along the surface of the movable portion and the soft magnetic member.
  • the pair of integrated first magnets are fitted to the substrate member. Inclusive, and (ii) an integrated pair of second magnets may be configured to fit into said substrate member.
  • a movable part can be swung by applying a magnetic field with respect to a movable part from a pair of 1st magnet and a pair of 2nd magnet.
  • the pair of first magnets are integrated. After being formed, it can be fitted into the board member. Therefore, the pair of first magnets can be assembled with high accuracy and relatively easy positioning while suitably suppressing or preventing the deterioration of positioning accuracy due to the influence of the magnetic force of the pair of first magnets.
  • the pair of second magnets are integrated. After being formed, it can be fitted into the board member. Therefore, it is possible to assemble the pair of second magnets with high accuracy and relatively easy positioning while favorably suppressing or preventing deterioration in positioning accuracy due to the influence of the magnetic force of the pair of second magnets.
  • the actuator is as follows: (i) the actuator is viewed from the pair of first magnets. A first yoke having a through-hole through which the protruding member passes, and (ii) the movable portion is formed when viewed from the pair of first magnets. A pair of second yokes disposed on the side to be moved; and (iii) a pair of third yokes disposed on the side opposite to the side on which the movable part is formed when viewed from the pair of second magnets.
  • the plurality of other constituent members are provided, the second step integrates the pair of second yokes, and the third step includes (i) the projecting member is inserted into the through-hole, A first yoke is fitted into the substrate member, and (ii) the pair of second integrated parts A yoke may be fitted into the substrate member, and (iii) the pair of third yokes may be fitted into the substrate member.
  • the pair of second yokes are integrated. After being formed, it can be fitted into the board member. Therefore, the pair of second yokes can be assembled while being positioned with high accuracy and relatively easily as compared with a manufacturing method in which the pair of second yokes are individually fitted into the substrate member without being integrated.
  • the third step includes (i) forming the soft magnetic member on the protruding member, and then (ii) The plurality of other integrated members may be fitted into the substrate member so that the protruding member is inserted into the through hole.
  • the third step is more than the outer diameter of the protruding member.
  • the soft magnetic member having a small outer diameter may be formed.
  • the soft magnetic member can suitably suppress or prevent the disadvantage that the soft magnetic member prevents the protruding member from being inserted into the above-described through hole. That is, when a soft magnetic member having an outer diameter larger than the outer diameter of the projecting member is formed on the projecting member, the soft magnetic member may hinder the operation of inserting the projecting member into the above-described through hole. At some point, such inconvenience can be suitably suppressed.
  • the outer edge on the movable part side is the third step, You may comprise so that the said soft-magnetic member which has a curvilinear shape from which the external shape may become small continuously or in steps toward the said movable part side from the said protrusion member side may be formed.
  • the soft magnetic member can suitably suppress or prevent the disadvantage that the soft magnetic member prevents the protruding member from being inserted into the above-described through hole. That is, when a soft magnetic member whose outer shape increases continuously or stepwise is formed on the protruding member, the soft magnetic member may hinder the operation of inserting the protruding member into the through hole described above. However, such inconvenience can be suitably suppressed.
  • the substrate member further includes a guide member used as the positioning guide by contacting the plurality of other integrated components
  • the third step includes While using at least one of the one component member and the guide member as the positioning guide, the plurality of integrated other component members are fitted into the substrate member.
  • a plurality of other integrated components are inserted into the substrate member while being guided by the guide member in addition to or instead of the one component. Therefore, the various effects described above can be suitably enjoyed.
  • the substrate member is a case member having a gap inside
  • the one constituent member is the case member.
  • a case member formed so as to protrude from the inner surface toward the gap, and in the third step, the plurality of other constituent members integrated are fitted into the case member, and the case member is
  • the side surface portion and the bottom surface portion are box-shaped members
  • the guide member is a member formed on at least one of the side surface portion and the bottom surface portion and has a shape protruding from the periphery.
  • the plurality of integrated components are integrated with the guide member, the side surface portion, and the bottom surface portion after the plurality of other constituent members are fitted into the case member.
  • Other fillers to the configuration surrounded by the member space fourth step may be configured to further comprise a filling.
  • FIG. 1 is a plan view showing an example of the configuration of the actuator 100 of the first embodiment.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view (II ′ cross-sectional view of FIG. 1) showing an example of the configuration of the actuator 100 of the first embodiment.
  • the actuator 100 is a planar electromagnetic drive actuator (that is, a MEMS scanner) used for laser beam scanning, for example.
  • the actuator 100 includes a first magnetic yoke 191, first permanent magnets 161 and 162, a MEMS chip 100 a including a movable part 110, a support part 120, a torsion bar 130, and the like in a case 510, and a second magnetic yoke. 171 and 172.
  • the first magnetic yoke 191, the first permanent magnets 161 and 162, the MEMS chip 100 a, and the second magnetic yokes 171 and 172 are stacked in this order in the case 510.
  • the MEMS chip 100 a includes a movable part 110, a support part 120, and a torsion bar 130.
  • the movable part 110, the support part 120, and the torsion bar 130 are integrally formed from a nonmagnetic substrate such as a silicon substrate. That is, the movable portion 110, the support portion 120, and the torsion bar 130 are formed by forming a gap 900 by removing a part of a nonmagnetic substrate such as a silicon substrate.
  • a MEMS process is preferably used as the formation process at this time.
  • the movable portion 110, the support portion 120, and the torsion bar 130 may be integrally formed from an arbitrary elastic material.
  • the movable part 110 is pivotally supported on the support part 120 by a torsion bar 130 so as to be swingable.
  • a mirror 800 that reflects laser light is formed on the surface of the movable portion 110.
  • a driving coil 140 is further formed on the surface of the movable portion 110 so as to surround the mirror 800.
  • a wiring 145 for flowing a current to the driving coil 140 is formed on the MEMS chip 100a.
  • the movable portion 110 is configured to be able to swing (or rotate) about an axis along the direction in which the torsion bar 130 extends (the vertical direction in FIG. 1).
  • the support part 120 has a frame shape surrounding the movable part 110, and is connected to the movable part 110 by a torsion bar 130.
  • the torsion bar 130 connects the movable part 110 and the support part 120 so that the movable part 110 can swing with respect to the support part 120.
  • the first permanent magnets 161 and 162 and the first magnetic yoke 191 are arranged on the back surface (that is, the surface different from the surface on which the driving coil 140 is formed) of the MEMS chip 100a.
  • the first permanent magnet 161 is a rod-shaped or columnar permanent magnet.
  • the first permanent magnet 161 has one magnetic pole (N pole in the first embodiment) facing the MEMS chip 100a and the other magnetic pole (S pole in the first embodiment) facing the first magnetic yoke 191. Has been placed.
  • the first permanent magnet 162 is a rod-shaped or columnar permanent magnet.
  • the first permanent magnet 162 has one magnetic pole (N pole in the first embodiment) opposed to a first magnetic yoke 191 described later, and the other magnetic pole (S pole in the first embodiment) opposed to the MEMS chip 100a.
  • N pole in the first embodiment a first magnetic yoke 191 described later
  • S pole in the first embodiment opposed to the MEMS chip 100a.
  • the first permanent magnets 161 and 162 are accommodated in the case 510 in a state where they are integrated with a molding member 600 such as a resin.
  • the first magnetic yoke 191 is a soft magnetic plate made of a soft magnetic material such as permalloy, for example, and is disposed on the opposite side of the MEMS chip 100a with respect to the first permanent magnets 161 and 162.
  • the first magnetic yoke 191 is disposed so as to face the first permanent magnets 161 and 162, and magnetically couples the first permanent magnet 161 and the permanent magnet 162.
  • the second magnetic yokes 171 and 172 are arranged on the surface of the MEMS chip 100a (that is, the surface on which the driving coil 140 is formed).
  • the second magnetic yoke 171 is a soft magnetic plate made of a soft magnetic material, and is disposed between the MEMS chip 100a and the first permanent magnet 161 along the thickness direction of the actuator 100 (specifically, the vertical direction in FIG. 2). It is arranged so as to sandwich.
  • the second magnetic yoke 171 has a main body portion that faces the support portion 120 and an extending portion that extends from the main body portion toward the movable portion 110. That is, the second magnetic yoke 171 has a shape closer to the movable part 110 than the first permanent magnet 161.
  • the second magnetic yoke 172 is a soft magnetic plate made of a soft magnetic material, and is arranged so that the MEMS chip 100a is sandwiched between the first permanent magnet 162 along the thickness direction of the actuator 100.
  • the second magnetic yoke 172 includes a main body portion that faces the support portion 120 and an extending portion that extends from the main body portion toward the movable portion 110. That is, the second magnetic yoke 172 is formed so as to be closer to the movable part 110 than the first permanent magnet 162.
  • the second magnetic yokes 171 and 172 have a space in the portion directly above the movable part 110 in order to ensure a space where the movable part 110 moves and the laser beam enters and exits the movable part 110. To be arranged.
  • the case 510 is, for example, a rectangular parallelepiped box whose bottom surface and side surfaces are covered with a wall and whose top surface is open.
  • the shape of the case 510 may be any shape.
  • case 510 may be a cubic box, a spherical box, or a box of any other shape.
  • the case 510 may have, for example, a shape in which at least a part of the bottom surface part is open, or a shape in which at least a part of the side part is open.
  • a case 510 having such a shape for example, a case where a side surface portion and a bottom surface portion are defined by a plurality of pillars is given as an example.
  • a protruding portion 512 that protrudes upward from the bottom surface portion 511 and extends directly below the movable portion 110 is formed.
  • the protrusion 512 passes through the first magnetic yoke 191.
  • the first magnetic yoke 191 has a through hole for allowing the protruding portion 512 to pass therethrough.
  • the protrusion 512 passes through the first permanent magnets 161 and 162 integrated by the mold member 600.
  • the first permanent magnets 161 and 162 are integrated by the mold member 600 after securing a through hole for allowing the protruding portion 512 to pass therethrough.
  • a soft magnetic chip 550 made of a soft magnetic material facing the movable portion 110 is formed on the upper surface of the protruding portion 512. That is, the protrusion 512 is used as a member for supporting the soft magnetic chip 550.
  • the protrusion 512 guides the positioning guide (that is, the position of the various components) when the various components constituting the actuator 100 are stacked when the actuator 100 is manufactured. Used as a guide). More specifically, the first magnetic yoke 191 having a through hole and the first permanent magnets 161 and 162 that are integrated after securing the through hole have protrusions 512 used as positioning guides. It is laminated so as to be inserted into the through hole.
  • a guide member 513 protruding from the inner wall is formed on the inner wall of the case 510 (for example, the inner wall on the side surface or the inner wall on the bottom surface).
  • the guide member 513 may be integrated with the case 510.
  • the guide member 513 may be fixed to the inner wall of the case 510 with an adhesive or the like.
  • a plurality of guide members 513 are formed on the inner wall of the case 510 (however, a single guide member 513 may be formed).
  • the plurality of guide members 513 are also used as positioning guides when various members constituting the actuator 100 are stacked when the actuator 100 is manufactured, similarly to the protrusions 512 described above.
  • the first magnetic yoke 191, the integrated first permanent magnets 161 and 162, the MEMS chip 100a, and the integrated second magnetic yokes 171 and 172 are used as positioning guides.
  • the guide member 513 is laminated so as to be guided into the case 510 by contacting the guide member 513. Therefore, the outer shape of the first magnetic yoke 191, the outer shape of the integrated first permanent magnets 161 and 162, the outer shape of the MEMS chip 100a, and the outer shape of the integrated second magnetic yokes 171 and 172 are as follows.
  • the plurality of guide members 513 are preferably fitted.
  • the magnetic field (or magnetic flux) generated from the first permanent magnet 161 generates the second magnetic yoke 171, the driving coil 140 (see FIG. 1), the soft magnetic tip 550 and the second magnetic yoke 172.
  • the first permanent magnet 162 is entered via, and the first permanent magnet 161 is returned via the first magnetic yoke 191.
  • the magnetic flux from the first permanent magnet 162 enters the first permanent magnet 161 via the first magnetic yoke 191, and the second magnetic yoke 171, the driving coil 140 (see FIG. 1), the soft magnetic chip 550. And return to the first permanent magnet 162 via the second magnetic yoke 172.
  • an electromagnetic driving force (Lorentz force) is generated in the driving coil 140 by causing a current to flow through the driving coil 140 to which a magnetic field along the surface of the movable portion 110 is applied. To do. As a result, the movable part 110 can be driven (that is, swung) by the electromagnetic driving force.
  • the driving coil 140 (see FIG. 1) is provided between the second magnetic yoke 171 and the second magnetic yoke 172.
  • a static magnetic field can be applied from the front side to the back side (or from the back side to the front side). That is, the static magnetic field can be applied to the driving coil 140 more efficiently. Therefore, the movable part 110 can be driven more efficiently.
  • the soft magnetic material constituting the soft magnetic tip 550, the first magnetic yoke 191 and the second magnetic yokes 171 and 172 has a higher magnetic permeability. That is, the smaller the magnetic resistance, the better. As the magnetic permeability increases, the leakage of magnetic flux can be suppressed, and a static magnetic field can be efficiently applied by the driving coil 140. Therefore, the movable part 110 can be driven more efficiently.
  • the actuator 100 described with reference to FIGS. 1 and 2 is an actuator that realizes one-axis drive of the movable part 110 (that is, drive in which the movable part 110 swings around one axis as a central axis).
  • the actuator realizes the two-axis drive of the movable part 110 (that is, the drive in which the movable part 110 swings around each of the two axes as a central axis)
  • the above-described various effects can be enjoyed. It can be manufactured by a manufacturing method described later.
  • FIG. 3 the actuator 1000 that realizes the biaxial drive of the movable part 110 will be described.
  • FIG 3 is a plan view showing an example of the configuration of the actuator 1000 that realizes the biaxial drive of the movable part 110.
  • the same components as those of the actuator 100 of the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.
  • the actuator 1000 is different from the actuator 100 described above in that it includes a substrate 1000a in place of the substrate 100a in the first embodiment, and is configured in substantially the same manner as the actuator 100 described above in other respects. Has been.
  • Actuator 1000 is a planar electromagnetic drive actuator used for laser beam scanning, for example, similar to actuator 100 described above.
  • the actuator 1000 includes a substrate 1000a including movable parts 110 and 1110, a support part 120, torsion bars 1131 and 1132, and the like.
  • the actuator 1000 includes a first magnetic yoke 191, first permanent magnets 161 and 162, and second magnetic yokes 171 and 172 (however, in FIG. 3, it is substantially the same as the actuator 100 described above). Therefore, it is preferable to refer to FIG.
  • the substrate 1000a includes movable parts 110 and 1110, a support part 120, and torsion bars 1131 and 1132.
  • the movable portions 1100 and 1110, the support portion 120, and the torsion bars 1131 and 1132 are integrally formed from a nonmagnetic substrate such as a silicon substrate. That is, the movable parts 1100 and 1110, the support part 120, and the torsion bars 1131 and 1132 are formed by forming a gap 900 by removing a part of a nonmagnetic substrate such as a silicon substrate.
  • a MEMS process is preferably used as the formation process at this time.
  • the movable portions 1100 and 1110, the support portion 120, and the torsion bars 1131 and 1132 may be integrally formed from an arbitrary elastic material.
  • the movable part 110 is pivotally supported by the movable part 1110 by a torsion bar 1132 so that it can swing.
  • a mirror 800 that reflects laser light is formed on the surface of the movable portion 110.
  • the movable portion 1110 is formed in a frame shape so as to surround the movable portion 110, and is pivotally supported on the support portion 120 by a torsion bar 1131 so as to be swingable.
  • the torsion bars 1131 and 1132 are formed so as to extend in directions intersecting each other.
  • a driving coil 140 is formed on the surface of the movable portion 1110 so as to surround the movable portion 110.
  • the movable part 1110 is configured to be swingable with respect to the support part 120 with the axis along the direction in which the torsion bar 1131 extends as the central axis.
  • the movable part 110 is configured to be swingable with respect to the movable part 1110 with the axis along the direction in which the torsion bar 1132 extends as the central axis. That is, the movable portion 110 is configured to be swingable with respect to the support portion 120 with an axis along the direction in which the torsion bar 1131 extends and an axis along the direction in which the torsion bar 1132 extends as a central axis.
  • FIG. 4 is a flowchart showing a flow of a manufacturing method for manufacturing the actuator 100 of the first embodiment.
  • FIGS. 5 to 14 are a cross-sectional view and a plan view showing the state of the actuator 100 when each step of the manufacturing method for manufacturing the actuator 100 of the first embodiment is performed, respectively.
  • each drawing (a) shows a cross-sectional view taken along a dashed line in the plan view of each drawing (b). 4 to 14 describe a manufacturing method for manufacturing the actuator 100, the actuator 1000 described above can be manufactured using the same manufacturing method.
  • a case 510 is prepared (step S101).
  • the case 510 includes the protruding portion 512 near the center of the bottom surface portion, and includes a plurality of guide members 513 on the inner surface of the side surface portion.
  • the soft magnetic chip 550 is formed on the upper surface of the projecting portion 512 by using a process such as joining separately prepared multiple soft magnetic materials (step S102).
  • the corner portion of the soft magnetic chip 550 (particularly, the corner portion facing the movable portion 110) is chamfered.
  • the outer diameter of the soft magnetic chip 550 continuously decreases along the direction from the soft magnetic chip 550 toward the movable portion 110 (further, the outer shape of the soft magnetic chip 550). Is preferably a smooth arc shape).
  • the outer diameter of the soft magnetic chip 550 continuously decreases along the direction from the soft magnetic chip 550 toward the movable portion 110 (further, the outer shape of the soft magnetic chip 550). Is preferably a polygonal shape).
  • FIG. 7B the outer diameter of the soft magnetic chip 550 continuously decreases along the direction from the soft magnetic chip 550 toward the movable portion 110 (further, the outer shape of the soft magnetic chip 550). Is preferably a smooth arc shape).
  • the outer diameter of the soft magnetic chip 550 continuously decreases along the direction from the soft magnetic chip 550 toward the movable portion 110 (further, the outer shape of the soft
  • the outer diameter of the soft magnetic chip 550 is preferably reduced stepwise along the direction from the soft magnetic chip 550 toward the movable portion 110. Or as shown in FIG.7 (e), it is preferable that the outer diameter of the soft-magnetic chip
  • the through hole of the first magnetic yoke 192 and the integrated first permanent magnet are formed in the process described later.
  • the through holes 610 (see FIG. 9) of the protrusions 512 are easily inserted into the protrusions 512 and 161.
  • the first magnetic yoke 191 is fitted into the case 510 (step S104).
  • the first magnetic yoke 191 has a through hole for allowing the protruding portion 512 to pass therethrough.
  • the outer shape of the first magnetic yoke 191 (specifically, the outer shape on the side facing the side surface portion of the case 510) is matched with the plurality of guide members 513.
  • the position of the first magnetic yoke 191 is appropriately guided by the protrusion 512 being inserted into the through hole and the surface of the case 510 facing the side surface contacting the plurality of guide seats 513. It is inserted into the case 510 while being done.
  • the first permanent magnets 161 and 162 are integrated by the mold member 600.
  • Step S105 That is, the two first permanent magnets 161 and 162, which are separate and independent constituent members, are integrated so as to form one packaged constituent member.
  • the first permanent magnets 161 and 162 are integrated so as to have the through hole 610 for allowing the protruding portion 512 to pass therethrough.
  • the first permanent magnets 161 and 162 have a plurality of integrated first permanent magnets 161 and 162 having a plurality of outer shapes (specifically, the outer shape on the side facing the side portion of the case 510).
  • the guide members 513 are integrated so as to be matched.
  • the first permanent magnets 161 and 162 integrated in step S105 are fitted into the case 510.
  • Step S106 the integrated first permanent magnets 161 and 162 have the through holes 610 for allowing the protrusions 512 to pass therethrough.
  • the outer shape of the integrated first permanent magnets 161 and 162 is matched with the plurality of guide members 513. .
  • the protrusion 512 is inserted into the through hole 610, and the surface of the case 510 facing the side surface is in contact with the plurality of guide seats 513. Thus, it is fitted into the case 510 while being properly guided in position.
  • the MEMS chip 100a is fitted into the case 510 (step S107).
  • the outer shape of the MEMS chip 100 a (specifically, the outer shape on the side facing the side surface portion of the case 510) is matched with the plurality of guide members 513. Therefore, the MEMS chip 100a is fitted into the case 510 while the position of the MEMS chip 100a is appropriately guided by the surface of the case 510 facing the side surface portion coming into contact with the plurality of guide portion seating positions 513.
  • step S107 the MEMS chip 100a may be actually manufactured and the actually manufactured MEMS chip 100a may be fitted into the case 510. Alternatively, in step S107, the already manufactured MEMS chip 100a may be fitted into the case 510. Thereafter, as shown in the cross-sectional views of FIGS. 4 and 12A, the plan view of FIG. 12B, and the perspective view of FIG. 12C, the second magnetic yokes 191 and 192 are integrated by the mold member 600. (Step S108). That is, the two second magnetic yokes 191 and 192 that are separate and independent constituent members are integrated so as to become one packaged constituent member.
  • the second magnetic yokes 191 and 192 are integrated so as to have a gap 620 that allows the laser beam to enter the movable portion 110 and the laser beam to be emitted from the movable portion 110.
  • the first permanent magnets 161 and 162 are formed such that the outer shape of the second magnetic yokes 191 and 192 (specifically, the outer shape on the side facing the side surface of the case 510) is a plurality of guide members 513. Integrated to match.
  • the second magnetic yokes 191 and 192 integrated in step S108 are fitted into the case 510.
  • Step S109 the outer shape of the integrated second magnetic yokes 191 and 192 (specifically, the outer shape on the side facing the side surface portion of the case 510) is adjusted to the plurality of guide members 513. Yes. Therefore, the integrated second magnetic yokes 191 and 192 are brought into contact with the case 510 while the positions of the second magnetic yokes 191 and 192 facing the side surfaces of the case 510 are in contact with the plurality of guide portion seats 513 and are appropriately guided. It will be inserted.
  • the inner wall (specifically, the side surface and the bottom surface portion) of the case 510, the guide member 513, and the actuator 100. (Ie, the first magnetic yoke 191, the integrated first permanent magnets 161 and 162, the MEMS chip 100a, and the integrated second magnetic yokes 191 and 192).
  • the space is filled with a filler 700 such as resin (step S110).
  • a filler 700 such as resin (step S110).
  • Such filling of the filler 700 is performed for the purpose of stronger integration of the constituent members constituting the actuator 100. However, the emphasis on the filler 700 is not necessarily performed.
  • the process of removing the side part of case 510 may be performed following the process of step S110.
  • the actuator 100 can be further miniaturized.
  • the side surface portion of the case 510 is not necessarily removed.
  • the actuator 100 is manufactured by fitting various components constituting the actuator 100 into the case 510. For this reason, compared with the manufacturing method which assembles the various members which constitute actuator 100, without using case 510, the various members which constitute actuator 100 can be assembled while positioning with high accuracy and comparatively easily. That is, the actuator 100 can be manufactured with high accuracy and relatively easily. Furthermore, since it is not necessary to assemble various members constituting the actuator 100 using an expensive jig or the like, the actuator 100 can be compared with a manufacturing method in which various members constituting the actuator 100 are assembled without using the case 510. Manufacturing cost can be reduced.
  • the protruding portion 512 formed on the bottom surface portion of the case 510 can be used as a positioning guide.
  • the various members which comprise the actuator 100 are highly accurate. And it can be assembled while positioning relatively easily. That is, the actuator 100 can be manufactured with high accuracy and relatively easily.
  • the manufacturing of the actuator is compared with a manufacturing method in which the various members constituting the actuator 100 are assembled without using the case 512. Cost can be reduced.
  • the protruding portion 512 used as the positioning guide is a part of various components constituting the actuator. Therefore, the above-described various effects can be enjoyed without specially preparing or newly forming a special member used exclusively as a positioning guide inside the case 510.
  • the first permanent magnets 161 and 162 are integrally formed instead of individually fitting the first permanent magnets 161 and 162 into the case 510. It can be fitted into the case 510 after being converted. That is, one integrated first permanent magnet 161 and 162 can be fitted into the case 510. Therefore, the first permanent magnets 161 and 162 are assembled with high accuracy and relatively easy positioning as compared with the manufacturing method in which the first permanent magnets 161 and 162 are individually fitted into the case 510. Can do.
  • the first permanent magnet 161 and the first permanent magnet 162 are repelled or attracted to each other by magnetic force. Therefore, in order to fit each of the first permanent magnets 161 and 162 into the case 510 individually, the first permanent magnets 161 and 162 are placed inside the case 510 while taking into consideration the influence of the magnetic force. Must be fitted individually.
  • the manufacturing method of the actuator 100 of the first embodiment since the first permanent magnets 161 and 162 can be integrated into the case 510 after being integrated, the influence of the magnetic force of the first permanent magnets 161 and 162 is affected. (More specifically, assembling while positioning the first permanent magnets 161 and 162 with high accuracy and relatively easily while suitably suppressing or preventing (deterioration in positioning accuracy due to the influence of the magnetic force). Can do.
  • the second magnetic yokes 191 and 192 are integrated with each other instead of individually fitting the second magnetic yokes 191 and 192 into the case 510. It can be fitted into the case 510 after being converted. That is, one integrated second magnetic yoke 191 and 192 can be fitted into the case 510. Therefore, the second magnetic yokes 191 and 192 are assembled with high accuracy and relatively easy positioning as compared with the manufacturing method in which the second magnetic yokes 191 and 192 are individually fitted into the case 510. Can do.
  • FIG. 15 is a plan view showing an example of the configuration of the actuator 200 of the second embodiment.
  • the same components as those of the actuator 100 of the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.
  • the actuator 200 according to the second embodiment is closer to the surface of the MEMS chip 100 a (that is, the surface provided with the driving coil 140) than the actuator 100 according to the first embodiment.
  • the second permanent magnets 261 and 262 and the third magnetic yoke 291 are further arranged.
  • Other components included in the actuator 200 of the second embodiment may be the same as those of the actuator 100 of the first embodiment. Therefore, the manufacturing method of the second embodiment is different from the manufacturing method of the first embodiment in that the second permanent magnets 261 and 262 and the third magnetic yoke 291 are further fitted in the case 510. Yes.
  • Other steps in the manufacturing method of the second embodiment may be the same as those of the manufacturing method of the first embodiment.
  • the second permanent magnet 261 is a rod-shaped or column-shaped permanent magnet disposed so as to sandwich the MEMS chip 100a and the second magnetic yoke 171 between the first permanent magnet 161 along the thickness direction of the actuator 200.
  • the second permanent magnet 261 has one magnetic pole (N pole in the second embodiment) opposed to the second magnetic yoke 171 and the other magnetic pole (S pole in the second embodiment) opposed to the third magnetic yoke 291.
  • N pole in the second embodiment opposed to the second magnetic yoke 171
  • S pole in the second embodiment opposed to the third magnetic yoke 291.
  • the second permanent magnet 262 is a rod-shaped or column-shaped permanent magnet disposed so as to sandwich the MEMS chip 100a and the second magnetic yoke 172 between the first permanent magnet 162 along the thickness direction of the actuator 200.
  • one magnetic pole (N pole in the second embodiment) faces the third magnetic yoke 291 and the other magnetic pole (S pole in the second embodiment) faces the second magnetic yoke 172.
  • N pole in the second embodiment faces the third magnetic yoke 291
  • S pole in the second embodiment faces the second magnetic yoke 172.
  • the second permanent magnets 261 and 262 are housed in the case 510 in a state of being integrated by a molding member 600 such as a resin, like the first permanent magnets 161 and 162. At this time, the second permanent magnets 261 and 262 are integrated so that a space that allows the laser beam to be incident on the movable portion 110 and the laser beam to be emitted from the movable portion 110 is secured immediately above the movable portion 110. It has become.
  • the third magnetic yoke 191 is a soft magnetic plate made of a soft magnetic material, and is disposed on the opposite side of the MEMS chip 100a or the second magnetic yokes 171 and 172 with respect to the second permanent magnets 261 and 262.
  • the third magnetic yoke 191 has a movable part 110 such that a space allowing the laser beam to enter the movable part 110 and the laser beam to be emitted from the movable part 110 is secured in a portion immediately above the movable part 110. There is an opening corresponding to the portion directly above.
  • the third magnetic yoke 191 is formed to face the second permanent magnets 261 and 262, and magnetically connects the second permanent magnet 261 and the second permanent magnet 262.
  • the first permanent magnets 161 and 162 the first magnetic yoke 191 and the soft magnetic chip 550 provided on the back side of the MEMS chip 100a, and the MEMS chip 100a.
  • a first magnetic circuit is configured by the second magnetic yokes 171 and 172 provided on the front surface side.
  • the magnetic field (or magnetic flux) from the second permanent magnet 261 passes through the second magnetic yoke 171, the driving coil 140 (see FIG. 1), the soft magnetic tip 550 and the second magnetic yoke 172. Then, it enters the second permanent magnet 262 and returns to the second permanent magnet 261 via the third magnetic yoke 191.
  • the magnetic flux from the second permanent magnet 262 enters the first permanent magnet 261 via the third magnetic yoke 291, and the second magnetic yoke 171, the driving coil 140 (see FIG. 1), the soft magnetic chip 550. And return to the second permanent magnet 262 via the second magnetic yoke 172. That is, in the actuator 100, the second permanent magnets 261 and 262, the second magnetic yokes 171 and 172, and the third magnetic yoke 191 constitute a second magnetic circuit.
  • the actuator 200 of the second embodiment applies a larger static magnetic field to the driving coil 140 as compared to, for example, a case where the static magnetic field is applied to the driving coil 140 only by the first magnetic circuit. It becomes possible. Therefore, the movable part 110 can be driven more efficiently. Furthermore, the second permanent magnets 261 and 262 and the third magnetic yoke 191 are provided, whereby the strength of the actuator 200 can be increased.
  • FIG. 16 is a flowchart showing a flow of a manufacturing method for manufacturing the actuator 200 of the second embodiment.
  • FIGS. 17 to 20 are a cross-sectional view and a plan view showing the state of the actuator 200 when each step of the manufacturing method for manufacturing the actuator 200 of the second embodiment is performed, respectively.
  • each drawing (a) shows a cross-sectional view taken along one-dot chain line in the plan view of each drawing (b).
  • step S101 to step S109 are performed as in the case of manufacturing the actuator 100 of the first embodiment.
  • the second permanent magnets 261 and 262 are integrated by the mold member 600 (step S201). That is, the two second permanent magnets 261 and 262 which are separate and independent constituent members are integrated so as to become one packaged constituent member.
  • the space 630 that allows the laser beam to be incident on the movable portion 110 and the laser beam to be emitted from the movable portion 110 is formed in a portion immediately above the movable portion 110. Integrated to ensure.
  • the second permanent magnets 261 and 262 are formed such that the outer shape of the integrated second permanent magnets 261 and 262 (specifically, the outer shape on the side facing the side surface portion of the case 510) matches the plurality of guide members 513. To be integrated.
  • the second permanent magnets 261 and 262 integrated in step S201 are fitted into the case 510.
  • Step S202 the outer shape of the integrated second permanent magnets 261 and 262 (specifically, the outer shape on the side facing the side surface portion of the case 510) is adjusted to the plurality of guide members 513. Yes. Accordingly, the integrated second permanent magnets 261 and 262 are brought into contact with the case 510 while the positions of the second permanent magnets 261 and 262 facing the side surfaces of the case 510 are in contact with the plurality of guide portion seating positions 513 and are appropriately guided. It will be inserted.
  • the third magnetic yoke 291 is fitted into the case 510 (step S203).
  • the outer shape of the third magnetic yoke 291 (specifically, the outer shape on the side facing the side surface of the case 510) is matched with the plurality of guide members 513. Therefore, the third magnetic yoke 291 is fitted into the case 510 while the position of the third magnetic yoke 291 facing the side surface portion of the case 510 is in contact with the plurality of guide portion seating positions 513, and the position is appropriately guided.
  • the inner wall (specifically, the side surface portion and the bottom surface portion) of the case 510 as in the first embodiment. ),
  • the guide member 513 and the constituent members constituting the actuator 200 that is, the first magnetic yoke 191, the integrated first permanent magnets 161 and 162, the MEMS chip 100 a, the integrated second magnetic yoke 191).
  • 192, the integrated second permanent magnets 261 and 262, and the third magnetic yoke 291) are filled with a filler 700 such as resin (step S110).
  • FIG. 21 is a plan view showing an example of the configuration of the actuator 300 of the third embodiment.
  • the same components as those of the actuator 100 of the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.
  • the actuator 300 of the third embodiment penetrates the support portion 120 into two regions 351 a and 352 a that sandwich the movable portion 110 in the support portion 120 as compared to the actuator 100 of the first embodiment.
  • the difference is that a pair of soft magnetic portions 351 and 352 made of a soft magnetic material are formed.
  • Other components included in the actuator 300 of the third embodiment may be the same as those of the actuator 100 of the first embodiment. Therefore, in the manufacturing method of the third embodiment, compared with the manufacturing method of the first embodiment, a process for forming the soft magnetic portions 351 and 352 on the support portion 120 when the MEMS chip 100a is manufactured is added. Is different.
  • the difference is that the soft magnetic portions 351 and 352 are formed on the MEMS chip 100a fitted in step S107 of FIG.
  • Other steps in the manufacturing method of the third embodiment may be the same as those of the manufacturing method of the first embodiment.
  • the flow of the manufacturing method of the third embodiment is substantially the same as the flow of the manufacturing method of the first embodiment (that is, the manufacturing method of the third embodiment also includes steps S101 to S110 in FIG. 4). Therefore, in the third embodiment, detailed description of the manufacturing method is omitted.
  • the soft magnetic portions 351 and 352 are formed by embedding a soft magnetic material such as permalloy, for example, by a technique such as plating in the openings opened in the regions 351a and 352a of the support portion 120, respectively.
  • the soft magnetic parts 351 and 352 are integrally formed with the support part 120, whereby the strength of the support part 120 or the MEMS chip 100a can be ensured.
  • the soft magnetic portions 351 and 352 have a magnetic resistance much lower than that of the support portion 120 made of a nonmagnetic material such as silicon. Therefore, suppose that the static magnetic field generated by the first permanent magnets 161 and 162 is applied to the driving coil 140 via the support part 120 made of a nonmagnetic material such as silicon without providing the soft magnetic parts 351 and 352. Compared with the case where it does, the magnetic resistance about the static magnetic field applied to the drive coil 140 can be made low. Therefore, for example, even if the size of the first permanent magnets 161 and 162 is reduced, the static magnetic field to be applied can be reliably applied to the driving coil 140.
  • the magnetic resistance of the soft magnetic portions 351 and 352 made of a soft magnetic material such as permalloy is about 1/1000 times the magnetic resistance of the support portion 120 made of a nonmagnetic material such as silicon. It is.
  • the soft magnetic portions 351 and 352 are formed by embedding a soft magnetic material in the openings opened in the regions 351a and 352a of the support portion 120 by a technique such as plating, for example.
  • the soft magnetic parts 351 and 352 are integrally formed with the support part 120, whereby the strength of the support part 120 or the MEMS chip 100a can be ensured. Therefore, if the soft magnetic body portions 351 and 352 are not formed in the opening formed in the support portion 120 (for example, the soft magnetic body portions 351 and 352 are not formed after the opening portion is formed in the support portion 120).
  • the second permanent magnets 261 and 262 and the third magnetic yoke 291 may be further arranged.
  • FIG. 22 is a plan view showing an example of the configuration of the actuator 400 of the fourth embodiment.
  • the same components as those of the actuator 100 of the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.
  • the actuator 400 of the fourth embodiment is different from the actuator 100 of the first embodiment in that a nonmagnetic substrate 560 is used instead of the case 510.
  • the actuator 400 of the fourth embodiment includes a first magnetic yoke 191, first permanent magnets 161 and 162, a movable part 110, a support part 120, a torsion bar 130, and the like on a nonmagnetic substrate 560.
  • a MEMS chip 100a including the second magnetic yokes 171 and 172 is provided.
  • a protruding portion 512 that protrudes upward from the surface and extends directly below the movable portion 110 is formed.
  • the above-described guide member 513 (that is, the guide member 513 formed on the inner wall of the case 510) may or may not be formed on the surface of the nonmagnetic substrate 560.
  • Other components included in the actuator 400 of the fourth embodiment may be the same as those of the actuator 100 of the first embodiment.
  • the manufacturing method of the third embodiment also differs from the manufacturing method of the first embodiment in that a nonmagnetic substrate 560 is prepared instead of the case 510 in step S101 of FIG. Yes.
  • Other steps in the manufacturing method of the fourth embodiment may be the same as those of the manufacturing method of the first embodiment.
  • the flow of the manufacturing method of the third embodiment is substantially the same as the flow of the manufacturing method of the first embodiment (that is, the manufacturing method of the fourth embodiment also includes steps S101 to S110 in FIG. 4). Therefore, in the fourth embodiment, detailed description of the manufacturing method is omitted.
  • the actuator 400 can be manufactured without necessarily using the case 510.
  • the first permanent magnets 161 and 162 are integrated and the second magnetic yokes 191 and 192 are used while using the protrusions 512 formed on the nonmagnetic substrate 560 as positioning guides. Can be fitted into the non-magnetic substrate 560.
  • various members constituting the actuator 100 can be assembled while positioning with high accuracy and relatively easily. That is, also in the fourth embodiment, the same effect as in the first embodiment can be suitably enjoyed.
  • the description is advanced focusing on the MEMS scanner in which the movable unit 110 rotates about the axis along the direction in which the torsion bar 130 extends.
  • the various configurations described above may be applied to any actuator, not limited to the MEMS scanner.
  • the various configurations described above may be applied to the MEMS actuator that moves so that the movable unit 110 moves in parallel with the movement of the torsion bar 130. Even in this case, the above-described various effects are favorably enjoyed.

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Abstract

　アクチュエータ（１００）の製造方法は、アクチュエータを構成する一の構成部材（５１２）が上部に向かって突き出すように形成されている基板部材（５１０）を用意する第１工程（Ｓ１０１）と、アクチュエータを構成する複数の他の構成部材（１６１、１６２）を一体化する第２工程（Ｓ１０５）と、一体化された複数の他の構成部材を基板部材に嵌め込む第３工程（Ｓ１０６）とを備え、第３工程は、一の構成部材を、一体化された複数の他の構成部材を前記基板部材に嵌め込む際の位置決めガイドとして用いる。

Description

アクチュエータの製造方法
　本発明は、例えばミラー等が設けられた可動部を駆動するＭＥＭＳスキャナ等のアクチュエータの製造方法の技術分野に関する。
　例えば、ディスプレイ、プリンティング装置、精密測定、精密加工、情報記録再生などの多様な技術分野において、半導体プロセス技術によって製造されるＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical System）デバイスについての研究が活発に進められている。このようなＭＥＭＳデバイスとして、レーザ光のスキャニングに用いられるＭＥＭＳスキャナが知られている（例えば、特許文献１及び２参照）。このようなＭＥＭＳスキャナは、可動板と、可動板を取り囲む枠状の支持枠と、可動板を支持枠に対して揺動可能に軸支するトーションバーとを備えている。
　ここで、一般的なＭＥＭＳスキャナでは、可動板の表面の中央にはミラーが形成され、当該ミラーの周囲に駆動用コイルが形成される。そして、駆動用コイルに対して静磁界を発生させるための１対の永久磁石が、支持枠に配置される。このように構成されたＭＥＭＳスキャナによれば、駆動用コイルに対して制御電流が供給されることで、駆動用コイルに電磁駆動力（ローレンツ力）が発生する。従って、駆動用コイルが形成されている可動板が遥動される。
米国特許出願公開第２０１０／０１４１３６６号公報 特開２００７－１４１３０号公報
　ところで、このような電磁駆動によって駆動されるＭＥＭＳスキャナのうち、高精細レーザーディスプレイなどの用途では、原理上、ミラーを大きな振れ角、高い繰り返し周波数で駆動する必要がある。このようなＭＥＭＳスキャナでは強力な磁気回路を構成するために相応の保持力を有するバルク状の磁石を用いるのが一般的であり、例えば特許文献１のような構成となる。このようなＭＥＭＳスキャナを製造するためには、個別の構成部材（例えば、可動部、支持部及びトーションバーを含む基板や、磁力による反発し合う又は引き付け合う一対の永久磁石等）を、高精度に位置決めしながら組み立てる必要がある。しかしながら、個別の構成部材を高精度に位置決めしながら組み立てるためには、相対的に高価な治具が必要となるため、ＭＥＭＳスキャナの製造コストが増大してしまう。更には、一対の永久磁石等を、高精度に位置決めしながら組み立てることは、互いに反発し合う又は引き付け合う磁力の影響によりより一層の困難性を伴う。
　また、特許文献２のように薄膜磁石による薄型化の試みがあるが、薄膜磁石の体積が小さいがゆえに、ミラーを大きな振れ角、高い繰り返し周波数で駆動することは難しい。
　尚、上述した技術的な問題点は、回転するように可動板（或いは、任意の可動部）を遥動させるＭＥＭＳスキャナのみならず、任意の態様で可動板（或いは、任意の可動部）を遥動させるＭＳＭＳアクチュエータに対しても同様に生じ得る。
　本発明は、例えば前述した従来の問題点に鑑みなされたものであり、例えばアクチュエータを高精度に且つ比較的容易に製造することが可能なアクチュエータの製造方法を提供することを課題とする。
　アクチュエータの製造方法は、上記課題を解決するために、アクチュエータを製造する製造方法であって、前記アクチュエータを構成する一の構成部材が上部に向かって突き出すように形成されている基板部材を用意する第１工程と、前記アクチュエータを構成する複数の他の構成部材を一体化する第２工程と、一体化された前記複数の他の構成部材を前記基板部材に嵌め込む第３工程とを備え、前記第３工程は、前記一の構成部材を、一体化された前記複数の他の構成部材を前記基板部材に嵌め込む際の位置決めガイドとして用いる。
　本発明の作用及び他の利得は次に説明する実施形態から明らかにされる。
第１実施例のアクチュエータの構成の一例を示す平面図である。 第１実施例のアクチュエータの構成の一例を示す断面図（図１のＩ－Ｉ’断面図）である。 可動部の２軸駆動を実現するアクチュエータの構成の一例を示す平面図である。 第１実施例のアクチュエータを製造するための製造方法の流れを示すフローチャートである。 第１実施例のアクチュエータを製造するための製造方法の各工程が行われた場合のアクチュエータの状態を示す断面図及び平面図である。 第１実施例のアクチュエータを製造するための製造方法の各工程が行われた場合のアクチュエータの状態を示す断面図及び平面図である。 第１実施例のアクチュエータを製造するための製造方法の各工程が行われた場合のアクチュエータの状態を示す断面図及び平面図である。 第１実施例のアクチュエータを製造するための製造方法の各工程が行われた場合のアクチュエータの状態を示す断面図及び平面図である。 第１実施例のアクチュエータを製造するための製造方法の各工程が行われた場合のアクチュエータの状態を示す断面図及び平面図である。 第１実施例のアクチュエータを製造するための製造方法の各工程が行われた場合のアクチュエータの状態を示す断面図及び平面図である。 第１実施例のアクチュエータを製造するための製造方法の各工程が行われた場合のアクチュエータの状態を示す断面図及び平面図である。 第１実施例のアクチュエータを製造するための製造方法の各工程が行われた場合のアクチュエータの状態を示す断面図及び平面図である。 第１実施例のアクチュエータを製造するための製造方法の各工程が行われた場合のアクチュエータの状態を示す断面図及び平面図である。 第１実施例のアクチュエータを製造するための製造方法の各工程が行われた場合のアクチュエータの状態を示す断面図及び平面図である。 第２実施例のアクチュエータの構成の一例を示す平面図である。 第２実施例のアクチュエータを製造するための製造方法の流れを示すフローチャートである。 第２実施例のアクチュエータを製造するための製造方法の各工程が行われた場合のアクチュエータの状態を示す断面図及び平面図である。 第２実施例のアクチュエータを製造するための製造方法の各工程が行われた場合のアクチュエータの状態を示す断面図及び平面図である。 第２実施例のアクチュエータを製造するための製造方法の各工程が行われた場合のアクチュエータの状態を示す断面図及び平面図である。 第２実施例のアクチュエータを製造するための製造方法の各工程が行われた場合のアクチュエータの状態を示す断面図及び平面図である。 第３実施例のアクチュエータの構成の一例を示す平面図である。 第４実施例のアクチュエータの構成の一例を示す平面図である。
　以下、アクチュエータの製造方法及の実施形態について順に説明する。
　（アクチュエータの製造方法の実施形態）
　本実施形態のアクチュエータの製造方法は、アクチュエータを製造する製造方法であって、前記アクチュエータを構成する一の構成部材が上部に向かって突き出すように形成されている基板部材を用意する第１工程と、前記アクチュエータを構成する複数の他の構成部材を一体化する第２工程と、一体化された前記複数の他の構成部材を前記基板部材に嵌め込む第３工程とを備え、前記第３工程は、前記一の構成部材を、一体化された前記複数の他の構成部材を前記基板部材に嵌め込む際の位置決めガイドとして用いる。
　本実施形態のアクチュエータの製造方法によれば、例えば上述したＭＥＭＳスキャナ等のアクチュエータが製造される。このようなアクチュエータを製造するために、本実施形態のアクチュエータの製造方法は、第１工程と、第２工程と、第３工程とを備えている。
　第１工程では、基板部材が用意される。基板部材は、は、アクチュエータを構成する各種構成部材（例えば、後述する可動部や、軟磁性部材や、磁石や、ヨーク等）を嵌め込んでいくための基板として用いられる。つまり、本実施形態では、アクチュエータを構成する各種構成部材が基板部材に嵌め込まれていく（言い換えれば、積層されていく又は組み立てられていく）ことで、アクチュエータが製造される。尚、第１工程における「用意」とは、後の第２工程及び第３工程に備えて上述した基板部材を取りそろえておくことを意味する趣旨である。このため、第１工程では、実際に上述した基板部材そのものを製造することで基板部材が用意されてもよいし、予め製造済みの基板部材を製造ライン上に持ち出す又は乗せることで基板部材が用意されてもよい。
　本実施形態では特に、基板部材には、アクチュエータを構成する一の構成部材（例えば、後述する軟磁性部材を支持するための突出部材等）が形成されている。この一の構成部材は、基板部材の表面から基板部材の上部に向かって突き出す形状を有している。このとき、一の構成部材は、基板部材と一体化されていてもよいし、基板部材とは別部材として基板部材に対して固着されていてもよい。
　尚、本実施形態の「基板部材」は、アクチュエータを構成する各種構成部材が嵌め込まれる（言い換えれば、積層される又は組み立てられる）ことができる限りは、その形状等が限定されることはない。
　第２工程では、アクチュエータを構成する複数の他の構成部材が一体化される。例えば、複数の他の構成部材は、樹脂等のモールド部材によって一体化されてもよい。その結果、当初は別々であった（言い換えれば、別個独立の構成部材であった）複数の他の構成部材は、１つの一体化された構成部材（言い換えれば、１つのパッケージ化された構成部材）となる。このとき、複数の他の構成部材は、基板部材に適切に収容されるように、その外形又は形状が形成されることが好ましい。
　第３工程では、第２工程で一体化された複数の他の構成部材（つまり、１つの一体化された構成部材）が、基板部材に嵌め込まれていく。このとき、一体化された複数の他の構成部材（つまり、１つの一体化された構成部材）を基板部材に嵌め込む際の位置を決める（言い換えれば、誘導する又は規定する）ための位置決めガイドとして、基板部材に形成されている一の構成部材が用いられる。つまり、第２工程で一体化された複数の他の構成部材（つまり、１つの一体化された構成部材）は、一の構成部材によってその位置を誘導されながら、基板部材に嵌め込まれていく。
　このように、本実施形態の製造方法によれば、アクチュエータを構成する各種構成部材が基板部材に嵌め込まれていくことで、アクチュエータが製造される。このため、基板部材を用いることなくアクチュエータを構成する各種部材を組み立てる製造方法と比較して、アクチュエータを構成する各種部材を、高精度に且つ比較的容易に位置決めしながら組み立てることができる。つまり、アクチュエータを高精度に且つ比較的容易に製造することができる。更には、高価な治具等を用いてアクチュエータを構成する各種部材を組み立てなくともよくなるため、基板部材を用いることなくアクチュエータを構成する各種部材を組み立てる製造方法と比較して、アクチュエータの製造コストを低減することができる。
　加えて、本実施形態の製造方法によれば、基板部材に形成される一の構成部材を位置決めガイドとして用いることができる。このため、基板部材に形成される一の構成部材を位置決めガイドとして用いることなくアクチュエータを構成する各種部材を組み立てる製造方法と比較して、アクチュエータを構成する各種部材を、高精度に且つ比較的容易に位置決めしながら組み立てることができる。つまり、アクチュエータを高精度に且つ比較的容易に製造することができる。更には、高価な治具等を用いてアクチュエータを構成する各種部材を組み立てなくともよくなるため、基板部材を用いることなくアクチュエータを構成する各種部材を組み立てる製造方法と比較して、アクチュエータの製造コストを低減することができる。
　加えて、本実施形態の製造方法によれば、位置決めガイドとして用いられる一の構成部材は、アクチュエータを構成する各種構成部材の一部である。このため、位置決めガイドとして専用に用いられる部材を特別に用意する又は新たに形成することなく、上述した各種効果を享受することができる。
　加えて、本実施形態の製造方法によれば、複数の他の構成部材を基板部材に個別に嵌め込むことに代えて、複数の他の構成部材を一体化した後に基板部材に嵌め込むことができる。つまり、本実施形態の製造方法によれば、複数の他の構成部材を基板部材に個別に嵌め込むことに代えて、一つの一体化された構成部材を基板部材に嵌め込むことができる。従って、複数の他の構成部材を基板部材に個別に嵌め込む製造方法と比較して、アクチュエータを構成する各種部材を、高精度に且つ比較的容易に位置決めしながら組み立てることができる。このような効果は、磁力によって互いに反発し合う又は引き付け合う一対の磁石等を基板部材に嵌め込む場合等において特に有効である。
　尚、一の構成部材を位置決めガイドとして用いるために、第２工程では、複数の他の構成部材は、一の構成部材によって適切にその位置が誘導されるように、その外形又は形状が形成されることが好ましい。
　本実施形態の製造方法の他の態様では、前記基板部材は、内部に空隙を有するケース部材であって、且つ前記一の構成部材が当該ケース部材の内面から前記空隙に向かって突き出すように形成されているケース部材であり、前記第３工程は、一体化された前記複数の他の構成部材を前記ケース部材の内部に嵌め込む。
　この態様によれば、第１工程では、基板部材として、ケース部材が用意される。ケース部材は、その内部に空隙を有している。この空隙は、アクチュエータを構成する各種構成部材（例えば、後述する可動部や、軟磁性部材や、磁石や、ヨーク等）を嵌め込んでいくための空間として用いられる。つまり、この態様では、アクチュエータを構成する各種構成部材がケース部材の内部に嵌め込まれていくことで、アクチュエータが製造される。
　この態様では特に、ケース部材の内部には、アクチュエータを構成する一の構成部材（例えば、後述する軟磁性部材を支持するための突出部材等）が形成されている。この一の構成部材は、ケース部材の内面（言い換えれば、内壁）からケース部材の内部の空隙に向かって突き出す形状を有している。このとき、一の構成部材は、ケース部材と一体化されていてもよいし、ケース部材とは別部材としてケース部材に対して固着されていてもよい。
　尚、本実施形態の「ケース部材」は、アクチュエータを構成する各種構成部材が嵌め込まれる空隙を規定することができる限りは、その形状等が限定されることはない。例えば、ケース部材は、側面及び底面が閉じているいわゆる箱状の形状を有していてもよい。この場合、一の構成部材は、例えば、ケース部材の側面や底面から当該側面及び底面によって囲まれている空隙に向かって突き出すように、ケース部材の側面や底面上に形成されている。或いは、ケース部材は、側面及び底面を規定可能な複数の柱から構成された形状（つまり、側面及び底面の一部に開口が存在する形状）を有していてもよい。この場合、一の構成部材は、例えば、複数の柱によって規定されるケース部材の仮想的な側面や仮想的な底面から当該仮想的な側面及び仮想的な底面によって囲まれている空隙に向かって突き出すように、ケース部材を構成する柱に形成されている。
　第３工程では、第２工程で一体化された複数の他の構成部材（つまり、１つの一体化された構成部材）が、ケース部材の内部に嵌め込まれていく。このとき、一体化された複数の他の構成部材（つまり、１つの一体化された構成部材）をケース部材の内部に嵌め込む際の位置を決める（言い換えれば、誘導する又は規定する）ための位置決めガイドとして、ケース部材に形成されている一の構成部材が用いられる。つまり、第２工程で一体化された複数の他の構成部材（つまり、１つの一体化された構成部材）は、一の構成部材によってその位置を誘導されながら、ケース部材の内部に嵌め込まれていく。
　このように、本実施形態の製造方法によれば、アクチュエータを構成する各種構成部材がケース部材の内部に嵌め込まれていくことで、アクチュエータが製造される。このため、ケース部材を用いることなくアクチュエータを構成する各種部材を組み立てる製造方法と比較して、アクチュエータを構成する各種部材を、高精度に且つ比較的容易に位置決めしながら組み立てることができる。つまり、上述した各種効果を好適に享受することができる。
　本実施形態の製造方法の他の態様では、前記第２工程は、前記複数の他の構成部材を、前記一の構成部材が貫通する貫通孔が形成されるように一体化し、前記第３工程は、前記一の構成部材が前記貫通孔に挿入されるように、一体化された前記複数の他の構成部材を前記基板部材に嵌め込む。
　この態様によれば、位置決めガイドとして用いられる一の構成部材と一体化された複数の他の構成部材（つまり、一つの一体化された構成部材）に形成された貫通孔とがかみ合う。その結果、一体化された複数の他の構成部材（つまり、１つの一体化された構成部材）は、一の構成部材によってその位置を適切に誘導されながら、基板部材に嵌め込まれていく。従って、上述した各種効果を好適に享受することができる。
　尚、一体化された複数の他の構成部材の位置が一の構成部材によって適切に誘導されるという観点から見れば、第２工程では、複数の他の構成部材には、貫通孔が形成されることに加えて又は代えて、一の構成部材と任意の態様で噛み合う又は接触することで当該複数の他の構成部材の位置を誘導するための誘導部材が形成されるように一体化されていてもよい。この場合、第３工程では、一の構成部材が誘導部材と任意の態様で噛み合う又は接触する（更には、噛み合った状態で又は接触した状態で移動する又は滑る）ように、一体化された複数の他の構成部材が基板部材に嵌め込まれてもよい。このように構成しても、一体化された複数の他の構成部材（つまり、１つの一体化された構成部材）は、一の構成部材によってその位置を適切に誘導されながら、基板部材に嵌め込まれていく。従って、上述した各種効果を好適に享受することができる。
　本実施形態の製造方法の他の態様では、前記アクチュエータは、(i)可動部と、(ii)前記可動部の直下に配置されると共に軟磁性材料から形成された軟磁性部材を備え、前記一の構成部材は、前記軟磁性部材を支持すると共に前記基板部材の法線方向に向かって突き出す突出部材であって、前記第２工程は、前記複数の他の構成部材を、前記突出部材が貫通する貫通孔が形成されるように一体化し、前記第３工程は、前記突出部材が前記貫通孔に挿入されるように、一体化された前記複数の他の構成部材を前記基板部材に嵌め込む。
　この態様によれば、軟磁性部材が可動部の直下に配置されるため、後に図面を参照して詳細に説明するように、磁界を印加することで可動部を遥動させるアクチュエータにおいて、可動部をより効率的に遥動することができる。尚、磁界を印加することで可動部を遥動させるアクチュエータは、更に、支持部と、支持部と可動部とを接続すると共に可動部を遥動可能に支持するトーションバーと、可動部に磁界を印加する磁石（つまり、磁界印加部）と、可動部上に形成される駆動コイルとを備えていることが好ましい。
　この態様では、このような軟磁性部材がその上に配置される（言い換えれば、形成される）ことで当該軟磁性部材を支持する突出部材を、上述した一の構成部材（つまり、位置決めガイド）として用いることができる。このような突出部材は、軟磁性部材を可動部の直下に配置させるために、基板部材の上部に向かって突き出す形状を有することが多い。このため、このような突出し部材を位置決めガイドとして流用することで、位置決めガイドとして専用に用いられる部材を特別に用意する又は新たに形成することなく、上述した各種効果を享受することができる。
　上述の如く軟磁性部材を支持する突出部材を位置決めガイドとして用いる製造方法の態様では、前記アクチュエータは、前記可動部の表面に沿った方向に沿って前記可動部を挟み込む一対の第１磁石を前記複数の他の構成部材として備え、前記第２工程は、前記一対の第１磁石を、前記突出部材が貫通する前記貫通孔が形成されるように一体化し、前記第３工程は、前記突出部材が前記貫通孔に挿入されるように、一体化された前記一対の第１磁石を前記基板部材に嵌め込むように構成してもよい。
　このように構成すれば、一対の第１磁石から可動部に対して磁界を印加することにより、可動部を遥動させることができる。
　このとき、一対の第１磁石を基板部材に個別に嵌め込む（つまり、一対の第１磁石を構成する複数の第１磁石を個別に嵌め込む）ことに代えて、一対の第１磁石を一体化した後に基板部材に嵌め込むことができる。従って、一対の第１磁石を一体化することなく基板部材に個別に嵌め込む製造方法と比較して、一対の第１磁石を、高精度に且つ比較的容易に位置決めしながら組み立てることができる。特に、一対の第１磁石が磁力によって互いに反発し合う又は引き付け合うことを考慮すれば、一対の第１磁石を一体化した後に基板部材に嵌め込むことで、当該磁力の影響に起因した位置決め精度の悪化を好適に抑制又は防止しながら、一対の第１磁石を高精度に且つ比較的容易に位置決めしながら組み立てることができる。
　尚、本実施形態の「第１磁石」は、文字通り磁石そのものを示すほか、磁界を発生させることができる任意の磁界発生部をも示す広い趣旨である。後述の「第２磁石」も同様である。
　上述の如く一体化された一対の第１磁石を嵌め込む製造方法の態様では、前記アクチュエータは、(i)前記一対の第１磁石から見て前記可動部が形成される側とは反対側に配置されると共に前記突出部材が貫通する貫通孔を有する第１ヨークと、(ii)前記一対の第１磁石から見て前記可動部が形成される側に配置される一対の第２ヨークとを、前記複数の他の構成部材として備え、前記第２工程は、前記一対の第２ヨークを一体化し、前記第３工程は、(i)前記突出部材が前記貫通孔に挿入されるように、前記第１ヨークを前記基板部材に嵌め込み、且つ(ii)一体化された前記一対の第２ヨークを前記基板部材に嵌め込むように構成してもよい。
　このように構成すれば、一対の第１磁石から可動部に対して印加される磁界の強度を高めながら、可動部を遥動させることができる。
　このとき、一対の第２ヨークを基板部材に個別に嵌め込む（つまり、一対の第２ヨークを構成する複数の第２ヨークを個別に嵌め込む）ことに代えて、一対の第２ヨークを一体化した後に基板部材に嵌め込むことができる。従って、一対の第２ヨークを一体化することなく基板部材に個別に嵌め込む製造方法と比較して、一対の第２ヨークを、高精度に且つ比較的容易に位置決めしながら組み立てることができる。
　上述の如く軟磁性部材を支持する突出部材を位置決めガイドとして用いる製造方法の態様では、前記アクチュエータは、(i)前記可動部の表面に沿った方向に沿って前記可動部を挟み込むと共に前記軟磁性材料が配置される前記可動部の裏面側に配置される一対の第１磁石と、(ii)前記可動部の表面に沿った方向に沿って前記可動部を挟み込むと共に、前記可動部の前記裏面側とは異なる表面側に配置される一対の第２磁石とを、前記複数の他の構成部材として備え、前記第２工程は、(i)前記一対の第１磁石を、前記突出部材が貫通する前記貫通孔が形成されるように一体化し、且つ(ii)前記一対の第２磁石を一体化し、前記第３工程は、(i)前記突出部材が前記貫通孔に挿入されるように、一体化された前記一対の第１磁石を前記基板部材に嵌め込み、且つ(ii)一体化された前記一対の第２磁石を前記基板部材に嵌め込むように構成してもよい。
　このように構成すれば、一対の第１磁石及び一対の第２磁石から可動部に対して磁界を印加することにより、可動部を遥動させることができる。
　このとき、一対の第１磁石を基板部材に個別に嵌め込む（つまり、一対の第１磁石を構成する複数の第１磁石を個別に嵌め込む）ことに代えて、一対の第１磁石を一体化した後に基板部材に嵌め込むことができる。従って、一対の第１磁石の磁力の影響に起因した位置決め精度の悪化を好適に抑制又は防止しながら、一対の第１磁石を高精度に且つ比較的容易に位置決めしながら組み立てることができる。同様に、一対の第２磁石を基板部材に個別に嵌め込む（つまり、一対の第２磁石を構成する複数の第２磁石を個別に嵌め込む）ことに代えて、一対の第２磁石を一体化した後に基板部材に嵌め込むことができる。従って、一対の第２磁石の磁力の影響に起因した位置決め精度の悪化を好適に抑制又は防止しながら、一対の第２磁石を高精度に且つ比較的容易に位置決めしながら組み立てることができる。
　上述の如く一体化された一対の第１磁石及び一体化された一対の第２磁石を嵌め込む製造方法の態様では、前記アクチュエータは、前記アクチュエータは、(i)前記一対の第１磁石から見て前記可動部が形成される側とは反対側に配置されると共に前記突出部材が貫通する貫通孔を有する第１ヨークと、(ii)前記一対の第１磁石から見て前記可動部が形成される側に配置される一対の第２ヨークと、(iii)前記一対の第２磁石から見て前記可動部が形成される側とは反対側に配置される一対の第３ヨークとを、前記複数の他の構成部材として備え、前記第２工程は、前記一対の第２ヨークを一体化し、前記第３工程は、(i)前記突出部材が前記貫通孔に挿入されるように、前記第１ヨークを前記基板部材に嵌め込み、(ii)一体化された前記一対の第２ヨークを前記基板部材に嵌め込み、且つ(iii)前記一対の第３ヨークを前記基板部材に嵌め込むように構成してもよい。
　このように構成すれば、一対の第１磁石及び一対の第２磁石の夫々から可動部に対して印加される磁界の強度を高めながら、可動部を遥動させることができる。
　このとき、一対の第２ヨークを基板部材に個別に嵌め込む（つまり、一対の第２ヨークを構成する複数の第２ヨークを個別に嵌め込む）ことに代えて、一対の第２ヨークを一体化した後に基板部材に嵌め込むことができる。従って、一対の第２ヨークを一体化することなく基板部材に個別に嵌め込む製造方法と比較して、一対の第２ヨークを、高精度に且つ比較的容易に位置決めしながら組み立てることができる。
　上述の如く軟磁性部材を支持する突出部材を位置決めガイドとして用いる製造方法の態様では、前記第３工程は、(i)前記突出部材上に前記軟磁性部材を形成し、その後、(ii)前記突出部材が前記貫通孔に挿入されるように、前記一体化された複数の他の部材を前記基板部材に嵌め込むように構成してもよい。
　このように構成すれば、軟磁性部材を突出部材上に形成しつつ、当該突出部材を位置決めガイドとして用いながら一体化された複数の他の部材を基板部材に嵌め込むことができる。
　上述の如く突出部材上に軟磁性部材を形成した後に、一体化された複数の他の部材を基板部材に嵌め込む製造方法の態様では、前記第３工程は、前記突出部材の外径よりも小さい外径を有する前記軟磁性部材を形成するように構成してもよい。
　このように構成すれば、軟磁性部材が、突出部材が上述した貫通孔に挿入される動作を軟磁性部材が妨げる不都合を好適に抑制する又は防止することができる。つまり、突出部材の外径よりも大きい外径を有する軟磁性部材が突出部材に形成される場合には、突出部材が上述した貫通孔に挿入される動作を当該軟磁性部材が妨げる可能性があるところ、そのような不都合を好適に抑制することができる。
　上述の如く突出部材上に軟磁性部材を形成した後に、一体化された複数の他の部材を基板部材に嵌め込む製造方法の態様では、前記第３工程は、前記可動部側の外縁が、前記突出部材側から前記可動部側に向かって連続的に又は段階的に外形が小さくなる曲線形状を有する前記軟磁性部材を形成するように構成してもよい。
　このように構成すれば、軟磁性部材が、突出部材が上述した貫通孔に挿入される動作を軟磁性部材が妨げる不都合を好適に抑制する又は防止することができる。つまり、連続的に又は段階的に外形が大きくなる軟磁性部材が突出部材に形成される場合には、突出部材が上述した貫通孔に挿入される動作を当該軟磁性部材が妨げる可能性があるところ、そのような不都合を好適に抑制することができる。
　本実施形態の製造方法の他の態様では、前記基板部材は、一体化された前記複数の他の構成部材に接触することで前記位置決めガイドとして用いられるガイド部材を更に備え、前記第３工程は、前記一の構成部材及び前記ガイド部材の少なくとも一方を前記位置決めガイドとして用いながら、一体化された前記複数の他の構成部材を前記基板部材に嵌め込む。
　この態様によれば、一体化された複数の他の構成部材は、一の構成部材に加えて又は代えて、ガイド部材によってその位置を誘導されながら、基板部材に嵌め込まれていく。従って、上述した各種効果を好適に享受することができる。
　上述の如く一の構成部材及びガイド部材の少なくとも一方を位置決めガイドとして用いる製造方法の態様では、前記基板部材は、内部に空隙を有するケース部材であって、且つ前記一の構成部材が当該ケース部材の内面から前記空隙に向かって突き出すように形成されているケース部材であり、前記第３工程は、一体化された前記複数の他の構成部材を前記ケース部材の内部に嵌め込み、前記ケース部材は、側面部及び底面部が閉じている箱状の部材であり、前記ガイド部材は、前記側面部及び前記底面部の少なくとも一方に形成される部材であって且つ周囲から突き出た形状を有するであり、一体化された前記複数の他の構成部材が前記ケース部材に嵌め込まれた後、前記ガイド部材と前記側面部及び前記底面部と一体化された前記複数の他の構成部材とに囲まれた空間に充填剤を充填する第４工程を更に備えるように構成してもよい。
　このように構成すれば、空間が充填剤によって充填されるため、空間が充填剤によって充填されない製造方法と比較して、強度が高いアクチュエータを製造することができる。
　本実施形態のこのような作用及び他の利得は次に説明する実施例から明らかにされる。
　以上説明したように、本実施形態のアクチュエータの製造方法によれば、一の構成部材が形成されている基板部材を用意する第１工程と、複数の他の構成部材を一体化する第２工程と、一の構成部材を位置決めガイドとして用いながら、一体化された複数の他の構成部材を基板部材に嵌め込む第３工程とを備える。従って、アクチュエータを高精度に且つ比較的容易に製造することができる。
　以下、実施例について図面を参照しながら説明する。
　（１）第１実施例
　はじめに、図１から図１４を参照して、第１実施例について説明する。
　（１－１）アクチュエータの構成
　まず、図１及び図２を参照して、第１実施例のアクチュエータ１００の構成について説明する。図１は、第１実施例のアクチュエータ１００の構成の一例を示す平面図である。図２は、第１実施例のアクチュエータ１００の構成の一例を示す断面図（図１のＩ－Ｉ’断面図）である。
　図１及び図２に示すように、第１実施例に係るアクチュエータ１００は、例えばレーザ光のスキャニングに用いられるプレーナ型電磁駆動アクチュエータ（即ち、ＭＥＭＳスキャナー）である。アクチュエータ１００は、ケース５１０内に、第１磁気ヨーク１９１と、第１永久磁石１６１及び１６２と、可動部１１０、支持部１２０及びトーションバー１３０などを含んでなるＭＥＭＳチップ１００ａと、第２磁気ヨーク１７１及び１７２とを備えている。尚、第１磁気ヨーク１９１と、第１永久磁石１６１及び１６２と、ＭＥＭＳチップ１００ａと、第２磁気ヨーク１７１及び１７２とは、ケース５１０内においてこの順に積層されている。
　ＭＥＭＳチップ１００ａは、可動部１１０、支持部１２０及びトーションバー１３０を有している。可動部１１０、支持部１２０及びトーションバー１３０は、例えばシリコン基板等の非磁性基板から一体的に形成されている。即ち、可動部１１０、支持部１２０及びトーションバー１３０は、例えばシリコン基板等の非磁性基板の一部が除去されることにより間隙９００が形成されることで形成されている。このときの形成プロセスとして、ＭＥＭＳプロセスが用いられることが好ましい。尚、シリコン基板に代えて、任意の弾性材料から、可動部１１０、支持部１２０及びトーションバー１３０が一体的に形成されてもよい。
　可動部１１０は、揺動可能なようにトーションバー１３０によって支持部１２０に軸支されている。可動部１１０の表面には、レーザ光を反射するミラー８００が形成される。可動部１１０の表面には、更に、ミラー８００を囲むように駆動用コイル１４０が形成されている。ＭＥＭＳチップ１００ａ上には、駆動用コイル１４０に電流を流すための配線１４５が形成されている。可動部１１０は、トーションバー１３０が延びる方向（図１における上下方向）に沿った軸を中心軸として揺動（或いは回動）可能に構成されている。
　支持部１２０は、可動部１１０を取り囲むような枠形状を有しており、トーションバー１３０によって可動部１１０と接続されている。
　トーションバー１３０は、可動部１１０が支持部１２０に対して揺動可能なように、可動部１１０と支持部１２０とを接続する。
　ＭＥＭＳチップ１００ａの裏面（即ち、駆動用コイル１４０が形成された面とは異なる面）側には、第１永久磁石１６１及び１６２と、第１磁気ヨーク１９１とが配置されている。
　第１永久磁石１６１は、棒状あるいは柱状の永久磁石である。第１永久磁石１６１は、一方の磁極（第１実施例ではＮ極）がＭＥＭＳチップ１００ａに対向し、他方の磁極（第１実施例ではＳ極）が第１磁気ヨーク１９１に対向するように配置されている。
　第１永久磁石１６２は、棒状あるいは柱状の永久磁石である。第１永久磁石１６２は、一方の磁極（第１実施例ではＮ極）が後述する第１磁気ヨーク１９１に対向し、他方の磁極（第１実施例ではＳ極）がＭＥＭＳチップ１００ａに対向するように配置されている。
　尚、第１永久磁石１６１及び１６２は、樹脂等のモールド部材６００で一体化された状態でケース５１０内に収容されている。
　第１磁気ヨーク１９１は、例えばパーマロイ等の軟磁性材料からなる軟磁性板であり、第１永久磁石１６１及び１６２に対してＭＥＭＳチップ１００ａとは反対側に配置されている。第１磁気ヨーク１９１は、第１永久磁石１６１及び１６２に対向するように配置されており、第１永久磁石１６１と永久磁石１６２とを磁気的に連結する。
　ＭＥＭＳチップ１００ａの表面（即ち、駆動用コイル１４０が形成された面）側には、第２磁気ヨーク１７１及び１７２が配置されている。
　第２磁気ヨーク１７１は、軟磁性材料からなる軟磁性板であり、アクチュエータ１００の厚み方向（具体的には、図２の上下方向）に沿って第１永久磁石１６１との間にＭＥＭＳチップ１００ａを挟み込むように配置されている。第２磁気ヨーク１７１は、支持部１２０に対向する本体部と、該本体部から可動部１１０側に延設された延設部とを有している。即ち、第２磁気ヨーク１７１は、第１永久磁石１６１よりも可動部１１０に近接する形状を有している。
　第２磁気ヨーク１７２は、軟磁性材料からなる軟磁性板であり、アクチュエータ１００の厚み方向に沿って第１永久磁石１６２との間にＭＥＭＳチップ１００ａを挟み込むように配置されている。第２磁気ヨーク１７２は、支持部１２０に対向する本体部と、該本体部から可動部１１０側に延設された延設部とを有している。即ち、第２磁気ヨーク１７２は、第１永久磁石１６２よりも可動部１１０に近接するように形成されている。
　尚、第２磁気ヨーク１７１及び１７２は、可動部１１０が遥動する共に当該可動部１１０に対してレーザ光が入射及び出射するスペースを確保するために、可動部１１０の直上部分に空隙が確保されるように配置される。
　ケース５１０は、例えば底面部及び側面部が壁で覆われると共に上面部が開口している直方体の箱である。但し、ケース５１０の形状は、任意の形状であってもよい。例えば、ケース５１０は、立方体の箱であってもよいし、球状の箱であってもよいし、その他任意の形状の箱であってもよい。或いは、例えば、ケース５１０は、例えば、底面部の少なくとも一部が開口している形状を有していてもよいし、側面部の少なくとも一部が開口している形状を有していてもよい。このような形状を有するケース５１０として、例えば、側面部及び底面部が複数の柱で規定されているケースが一例としてあげられる。
　ケース５１０の底面部５１１の中央付近には、当該底面部５１１から上方に向かって突き出す共に可動部１１０の直下に至るまで突き出す突出部５１２が形成されている。突出部５１２は、第１磁気ヨーク１９１を貫通している。このため、第１磁気ヨーク１９１は、突出部５１２を貫通させるための貫通孔を有している。同様に、突出部５１２は、モールド部材６００で一体化された第１永久磁石１６１及び１６２を貫通している。このため、第１永久磁石１６１及び１６２は、突出部５１２を貫通させるための貫通孔を確保した上で、モールド部材６００によって一体化されている。
　この突出部５１２の上面には、可動部１１０に対向する、軟磁性材料からなる軟磁性チップ５５０が形成されている。つまり、突出部５１２は、軟磁性チップ５５０を支持するための部材として用いられる。加えて、後に詳述するように、突出部５１２は、アクチュエータ１００を製造する際に、アクチュエータ１００を構成する各種構成部材を積層していく際の位置決めガイド（つまり、各種構成部材の位置を誘導するガイド）としても用いられる。より具体的には、貫通孔を有している第１磁気ヨーク１９１や、貫通孔を確保した上で一体化されている第１永久磁石１６１及び１６２は、位置決めガイドとして用いられる突出部５１２が貫通孔に挿入されるように積層される。
　加えて、ケース５１０の内壁（例えば、側面の内壁や底面の内壁）には、当該内壁から突き出たガイド部材５１３が形成されている。ガイド部材５１３は、ケース５１０と一体化されていてもよい。或いは、ガイド部材５１３は、接着剤等によってケース５１０の内壁に固着されていてもよい。第１実施例では、複数のガイド部材５１３が、ケース５１０の内壁に形成されている（但し、単一のガイド部材５１３が形成されていてもよい）。これら複数のガイド部材５１３は、上述した突出部５１２と同様に、アクチュエータ１００を製造する際に、アクチュエータ１００を構成する各種部材を積層していく際の位置決めガイドとしても用いられる。より具体的には、第１磁気ヨーク１９１や、一体化されている第１永久磁石１６１及び１６２や、ＭＥＭＳチップ１００ａや、一体化されている第２磁気ヨーク１７１及び１７２は、位置決めガイドとして用いられるガイド部材５１３に接触することでケース５１０内に誘導されるように、ケース５１０内に積層される。このため、第１磁気ヨーク１９１の外形や、一体化されている第１永久磁石１６１及び１６２の外形や、ＭＥＭＳチップ１００ａの外形や、一体化されている第２磁気ヨーク１７１及び１７２の外形は、複数のガイド部材５１３に合わせられていることが好ましい。
　このようなアクチュエータ１００においては、第１永久磁石１６１から発生する磁界（或いは、磁束）は、第２磁気ヨーク１７１、駆動用コイル１４０（図１参照）、軟磁性チップ５５０及び第２磁気ヨーク１７２を経由して第１永久磁石１６２に入り、第１磁気ヨーク１９１を経由して第１永久磁石１６１に戻る。同様に、第１永久磁石１６２からの磁束は、第１磁気ヨーク１９１を経由して第１永久磁石１６１に入り、第２磁気ヨーク１７１、駆動用コイル１４０（図１参照）、軟磁性チップ５５０及び第２磁気ヨーク１７２を経由して第１永久磁石１６２に戻る。即ち、アクチュエータ１００では、ＭＥＭＳチップ１００ａの裏面側に設けられた第１永久磁石１６１及び１６２、第１磁気ヨーク１９１並びに軟磁性チップ５５０と、ＭＥＭＳチップ１００ａの表面側に設けられた第２磁気ヨーク１７１及び１７２とによって第１の磁気回路が構成されている。このように構成されているので、駆動用コイル１４０と交差するように、可動部１１０の表面に沿った（図１のＸ方向に沿った）磁界を印加することができる。
　このように構成されたアクチュエータ１００によれば、可動部１１０の表面に沿った磁界が印加された駆動用コイル１４０に電流を流すことで、駆動用コイル１４０に電磁駆動力（ローレンツ力）が発生する。その結果、当該電磁駆動力によって可動部１１０を駆動する（即ち、揺動させる）ことができる。
　特に、第１実施例では、軟磁性チップ５５０が可動部１１０の直下に形成されているため、第２磁気ヨーク１７１と第２磁気ヨーク１７２との間で、駆動用コイル１４０（図１参照）に対して静磁界を表面側から裏面側（あるいは裏面側から表面側）に向かって印加することができる。つまり、静磁界をより効率的に駆動用コイル１４０に印加することができる。よって、可動部１１０をより効率的に駆動することが可能となる。
　このような第１実施例のアクチュエータ１００の効果を考慮すれば、軟磁性チップ５５０、第１磁気ヨーク１９１並びに第２磁気ヨーク１７１及び１７２の夫々を構成する軟磁性材料は、透磁率がより大きい、つまり磁気抵抗が小さいほど好ましい。透磁率が大きいほど、磁束の漏洩を抑制でき、駆動用コイル１４０により効率的に静磁界を印加することができる。よって、可動部１１０をより効率的に駆動することが可能となる。
　尚、図１及び図２を参照して説明したアクチュエータ１００は、可動部１１０の１軸駆動（つまり、可動部１１０が１つの軸を中心軸として遥動する駆動）を実現するアクチュエータである。しかしながら、可動部１１０の２軸駆動（つまり、可動部１１０が２つの軸の夫々を中心軸として遥動する駆動）を実現するアクチュエータであっても、上述した各種効果を享受することができると共に、後述する製造方法によって製造できる。以下、図３を参照して、可動部１１０の２軸駆動を実現するアクチュエータ１０００について説明する。図３は、可動部１１０の２軸駆動を実現するアクチュエータ１０００の構成の一例を示す平面図である。尚、第１実施例のアクチュエータ１００と同様の構成要素については同一の参照符号を付することでその詳細な説明を省略する。
　図３に示すように、アクチュエータ１０００は、第１実施例における基板１００ａに代えて基板１０００ａを備える点で、上述したアクチュエータ１００と異なり、その他の点については、上述したアクチュエータ１００と概ね同様に構成されている。
　アクチュエータ１０００は、上述のアクチュエータ１００と同様に、例えばレーザ光のスキャニングに用いられるプレーナ型電磁駆動アクチュエータである。アクチュエータ１０００は、可動部１１０及び１１１０、支持部１２０、トーションバー１１３１及び１１３２などを含んでなる基板１０００ａを備えている。また、アクチュエータ１０００は、上述のアクチュエータ１００と概ね同様に、第１磁気ヨーク１９１と、第１永久磁石１６１及び１６２と、第２磁気ヨーク１７１及び１７２とを備えている（但し、図３では明示しないため、図２を参照することが好ましい）。
　基板１０００ａは、可動部１１０及び１１１０、支持部１２０、並びにトーションバー１１３１及び１１３２を有している。可動部１１００及び１１１０、支持部１２０、並びにトーションバー１１３１及び１１３２は、例えばシリコン基板等の非磁性基板から一体的に形成されている。即ち、可動部１１００及び１１１０、支持部１２０、並びにトーションバー１１３１及び１１３２は、例えばシリコン基板等の非磁性基板の一部が除去されることにより間隙９００が形成されることで形成されている。このときの形成プロセスとして、ＭＥＭＳプロセスが用いられることが好ましい。尚、シリコン基板に代えて、任意の弾性材料から、可動部１１００及び１１１０、支持部１２０、並びにトーションバー１１３１及び１１３２が一体的に形成されてもよい。
　可動部１１０は、揺動可能なようにトーションバー１１３２によって可動部１１１０に軸支されている。可動部１１０の表面には、レーザ光を反射するミラー８００が形成されている。
　可動部１１１０は、可動部１１０を囲むように枠状に形成され、揺動可能なようにトーションバー１１３１によって支持部１２０に軸支されている。トーションバー１１３１及び１１３２は互いに交差する方向に延びるように形成されている。可動部１１１０の表面には、可動部１１０を囲むように駆動用コイル１４０が形成されている。
　可動部１１１０は、トーションバー１１３１が延びる方向に沿った軸を中心軸として支持部１２０に対して揺動可能に構成されている。可動部１１０は、トーションバー１１３２が延びる方向に沿った軸を中心軸として可動部１１１０に対して揺動可能に構成されている。即ち、可動部１１０は、支持部１２０に対して、トーションバー１１３１が延びる方向に沿った軸及びトーションバー１１３２が延びる方向に沿った軸を中心軸として揺動可能に構成されている。
　（１－２）アクチュエータの製造方法
　続いて、図４から図１４を参照して、第１実施例のアクチュエータ１００を製造するための製造方法について説明する。図４は、第１実施例のアクチュエータ１００を製造するための製造方法の流れを示すフローチャートである。図５から図１４は、夫々、第１実施例のアクチュエータ１００を製造するための製造方法の各工程が行われた場合のアクチュエータ１００の状態を示す断面図及び平面図である。尚、図５から図６及び図８から図１４では、各図（ａ）は、各図（ｂ）の平面図の一点鎖線での断面図を示す。また、図４から図１４は、アクチュエータ１００を製造するための製造方法について説明するが、同一の製造方法を用いて上述したアクチュエータ１０００を製造することもできる。
　図４並びに図５（ａ）の断面図及び図５（ｂ）の平面図に示すように、ケース５１０が用意される（ステップＳ１０１）。ケース５１０は、上述したように、その底面部の中央付近に突出部５１２を備えると共に、その側面部の内面に複数のガイド部材５１３を備えている。
　その後、図４並びに図６（ａ）の断面図及び図６（ｂ）の平面図に示すように、パターニングやエッチングや蒸着法やＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）法やイオン注入等の半導体製造プロセス、あるいは別途用意しておい多軟磁性材料を接合するなどのプロセスを用いて、突出部５１２の上面に軟磁性チップ５５０が形成される（ステップＳ１０２）。
　このとき、図７（ａ）に示すように、軟磁性チップ５５０の角部（特に、可動部１１０に面する側の角部）には、面取り加工が施されていることが好ましい。或いは、図７（ｂ）に示すように、軟磁性チップ５５０の外径は、軟磁性チップ５５０から可動部１１０に向かう方向に沿って連続的に小さくなる（更には、軟磁性チップ５５０の外形が滑らかな円弧形状となる）ことが好ましい。或いは、図７（ｃ）に示すように、軟磁性チップ５５０の外径は、軟磁性チップ５５０から可動部１１０に向かう方向に沿って連続的に小さくなる（更には、軟磁性チップ５５０の外形が多角形形状となる）ことが好ましい。或いは、図７（ｄ）に示すように、軟磁性チップ５５０の外径は、軟磁性チップ５５０から可動部１１０に向かう方向に沿って段階的に小さくなることが好ましい。或いは、図７（ｅ）に示すように、軟磁性チップ５５０の外径は、軟磁性チップ５５０を支持する突出部５１２の外径よりも小さくなることが好ましい。
　このような図７（ａ）から図７（ｅ）に示すように軟磁性チップ５５０を形成することで、後述する工程において、第１磁気ヨーク１９２の貫通孔や一体化された第１永久磁石１６１及び１６２が突出部５１２の貫通孔６１０（図９参照）が突出部５１２に挿入されやすくなる。
　その後、図４並びに図８（ａ）の断面図及び図８（ｂ）の平面図に示すように、第１磁気ヨーク１９１が、ケース５１０の内部に嵌め込まれる（ステップＳ１０４）。ここで、上述したように、第１磁気ヨーク１９１は、突出部５１２を貫通させるための貫通孔を有している。更に、上述したように、第１磁気ヨーク１９１の外形（具体的には、ケース５１０の側面部と対向する側の外形）は、複数のガイド部材５１３に合わせられている。従って、第１磁気ヨーク１９１は、その貫通孔に突出部５１２が挿入され且つそのケース５１０の側面部と対向する側の表面が複数のガイド部座位５１３と接触することで、位置を適切に誘導されながらケース５１０に嵌め込まれていく。
　その後、図４並びに図９（ａ）の断面図、図９（ｂ）の平面図及び図９（ｃ）の斜視図に示すように、第１永久磁石１６１及び１６２がモールド部材６００によって一体化される（ステップＳ１０５）。つまり、別個独立した構成部材である２つの第１永久磁石１６１及び１６２が、一つのパッケージ化された構成部材となるように一体化される。ここで、上述したように、第１永久磁石１６１及び１６２は、突出部５１２を貫通させるための貫通孔６１０を有するように一体化される。更に、上述したように、第１永久磁石１６１及び１６２は、一体化された第１永久磁石１６１及び１６２の外形（具体的には、ケース５１０の側面部と対向する側の外形）が複数のガイド部材５１３に合わせられるように一体化される。
　その後、図４並びに図１０（ａ）の断面図及び図１０（ｂ）の平面図に示すように、ステップＳ１０５で一体化された第１永久磁石１６１及び１６２が、ケース５１０の内部に嵌め込まれる（ステップＳ１０６）。ここで、上述したように、一体化された第１永久磁石１６１及び１６２は、突出部５１２を貫通させるための貫通孔６１０を有している。更に、上述したように、一体化された第１永久磁石１６１及び１６２の外形（具体的には、ケース５１０の側面部と対向する側の外形）は、複数のガイド部材５１３に合わせられている。従って、一体化された第１永久磁石１６１及び１６２は、その貫通孔６１０に突出部５１２が挿入され且つそのケース５１０の側面部と対向する側の表面が複数のガイド部座位５１３と接触することで、位置を適切に誘導されながらケース５１０に嵌め込まれていく。
　その後、図４並びに図１１（ａ）の断面図及び図１１（ｂ）の平面図に示すように、ＭＥＭＳチップ１００ａが、ケース５１０の内部に嵌め込まれる（ステップＳ１０７）。ここで、上述したように、ＭＥＭＳチップ１００ａの外形（具体的には、ケース５１０の側面部と対向する側の外形）は、複数のガイド部材５１３に合わせられている。従って、ＭＥＭＳチップ１００ａは、そのケース５１０の側面部と対向する側の表面が複数のガイド部座位５１３と接触することで、位置を適切に誘導されながらケース５１０に嵌め込まれていく。
　尚、ステップＳ１０７では、ＭＥＭＳチップ１００ａが実際に製造されると共に当該実際に製造されたＭＥＭＳチップ１００ａがケース５１０に嵌め込まれてもよい。或いは、ステップＳ１０７では、既に製造済みのＭＥＭＳチップ１００ａがケース５１０に嵌め込まれてもよい。
その後、図４並びに図１２（ａ）の断面図、図１２（ｂ）の平面図及び図１２（ｃ）の斜視図に示すように、第２磁気ヨーク１９１及び１９２がモールド部材６００によって一体化される（ステップＳ１０８）。つまり、別個独立した構成部材である２つの第２磁気ヨーク１９１及び１９２が、一つのパッケージ化された構成部材となるように一体化される。ここで、上述したように、第２磁気ヨーク１９１及び１９２は、可動部１１０へのレーザ光の入射及び可動部１１０からのレーザ光の出射を可能とする空隙６２０を有するように一体化される。更に、上述したように、第１永久磁石１６１及び１６２は、第２磁気ヨーク１９１及び１９２の外形（具体的には、ケース５１０の側面部と対向する側の外形）が複数のガイド部材５１３に合わせられるように一体化される。
　その後、図４並びに図１３（ａ）の断面図及び図１３（ｂ）の平面図に示すように、ステップＳ１０８で一体化された第２磁気ヨーク１９１及び１９２が、ケース５１０の内部に嵌め込まれる（ステップＳ１０９）。ここで、上述したように、一体化された第２磁気ヨーク１９１及び１９２の外形（具体的には、ケース５１０の側面部と対向する側の外形）は、複数のガイド部材５１３に合わせられている。従って、一体化された第２磁気ヨーク１９１及び１９２は、そのケース５１０の側面部と対向する側の表面が複数のガイド部座位５１３と接触することで、位置を適切に誘導されながらケース５１０に嵌め込まれていく。
　その後、図４並びに図１４（ａ）の断面図及び図１４（ｂ）の平面図に示すように、ケース５１０の内壁（具体的には、側面部及び底面部）とガイド部材５１３とアクチュエータ１００を構成する構成部材（つまり、第１磁気ヨーク１９１や、一体化された第１永久磁石１６１及び１６２や、ＭＥＭＳチップ１００ａや、一体化された第２磁気ヨーク１９１及び１９２）とによって囲まれた空間に、樹脂等の充填剤７００が充填される（ステップＳ１１０）。このような充填剤７００の充填は、アクチュエータ１００を構成する構成部材のより強固な一体化を一つの目的として行われる。但し、充填剤７００の重点は必ずしも行われなくともよい。
　また、ステップＳ１１０の工程に続いて、ケース５１０の側面部を除去する工程が行われてもよい。その結果、アクチュエータ１００の更なる小型化を実現することができる。但し、ケース５１０の側面部は必ずしも除去されなくともよい。
　以上説明したように、第１実施例のアクチュエータ１００の製造方法によれば、アクチュエータ１００を構成する各種構成部材がケース５１０の内部に嵌め込まれていくことで、アクチュエータ１００が製造される。このため、ケース５１０を用いることなくアクチュエータ１００を構成する各種部材を組み立てる製造方法と比較して、アクチュエータ１００を構成する各種部材を、高精度に且つ比較的容易に位置決めしながら組み立てることができる。つまり、アクチュエータ１００を高精度に且つ比較的容易に製造することができる。更には、高価な治具等を用いてアクチュエータ１００を構成する各種部材を組み立てなくともよくなるため、ケース５１０を用いることなくアクチュエータ１００を構成する各種部材を組み立てる製造方法と比較して、アクチュエータ１００の製造コストを低減することができる。
　加えて、第１実施例のアクチュエータ１００の製造方法によれば、ケース５１０の底面部に形成される突出部５１２を位置決めガイドとして用いることができる。このため、ケース５１３の底面部に形成される突出部５１２を位置決めガイドとして用いることなくアクチュエータ１００を構成する各種部材を組み立てる製造方法と比較して、アクチュエータ１００を構成する各種部材を、高精度に且つ比較的容易に位置決めしながら組み立てることができる。つまり、アクチュエータ１００を高精度に且つ比較的容易に製造することができる。更には、高価な治具等を用いてアクチュエータ１００を構成する各種部材を組み立てなくともよくなるため、ケース５１２を用いることなくアクチュエータ１００を構成する各種部材を組み立てる製造方法と比較して、アクチュエータの製造コストを低減することができる。
　加えて、第１実施例のアクチュエータ１００の製造方法によれば、位置決めガイドとして用いられる突出部５１２は、アクチュエータを構成する各種構成部材の一部である。このため、位置決めガイドとして専用に用いられる特別な部材をケース５１０の内部に特別に用意する又は新たに形成することなく、上述した各種効果を享受することができる。
　加えて、第１実施例のアクチュエータ１００の製造方法によれば、第１永久磁石１６１及び１６２の夫々をケース５１０の内部に個別に嵌め込むことに代えて、第１永久磁石１６１及び１６２を一体化した後にケース５１０の内部に嵌め込むことができる。つまり、一つの一体化された第１永久磁石１６１及び１６２をケース５１０の内部に嵌め込むことができる。従って、第１永久磁石１６１及び１６２の夫々をケース５１０の内部に個別に嵌め込む製造方法と比較して、第１永久磁石１６１及び１６２を、高精度に且つ比較的容易に位置決めしながら組み立てることができる。
　特に、第１永久磁石１６１と第１永久磁石１６２とは、磁力によって互いに反発し合う又は引き付け合う。従って、第１永久磁石１６１及び１６２の夫々をケース５１０の内部に個別に嵌め込むためには、当該磁力の影響をも考慮しながら、第１永久磁石１６１及び１６２の夫々をケース５１０の内部に個別に嵌め込む必要がある。しかるに、第１実施例のアクチュエータ１００の製造方法によれば、第１永久磁石１６１及び１６２を一体化した後にケース５１０の内部に嵌め込むことができるため、第１永久磁石１６１及び１６２磁力の影響（より具体的には、当該磁力の影響に起因した位置決め精度の悪化等）を好適に抑制又は防止しながら、第１永久磁石１６１及び１６２を高精度に且つ比較的容易に位置決めしながら組み立てることができる。
　加えて、第１実施例のアクチュエータ１００の製造方法によれば、第２磁気ヨーク１９１及び１９２の夫々をケース５１０の内部に個別に嵌め込むことに代えて、第２磁気ヨーク１９１及び１９２を一体化した後にケース５１０の内部に嵌め込むことができる。つまり、一つの一体化された第２磁気ヨーク１９１及び１９２をケース５１０の内部に嵌め込むことができる。従って、第２磁気ヨーク１９１及び１９２の夫々をケース５１０の内部に個別に嵌め込む製造方法と比較して、第２磁気ヨーク１９１及び１９２を、高精度に且つ比較的容易に位置決めしながら組み立てることができる。
　（２）第２実施例
　続いて、図１５から図２０を参照して、第２実施例のアクチュエータ２００について説明する。
　（２－１）アクチュエータの構成
　まず、図１５を参照して、第２実施例のアクチュエータ２００の構成について説明する。図１５は、第２実施例のアクチュエータ２００の構成の一例を示す平面図である。尚、第１実施例のアクチュエータ１００と同様の構成要素については同一の参照符号を付することでその詳細な説明を省略する。
　図１５に示すように、第２実施例のアクチュエータ２００は、第１実施例のアクチュエータ１００と比較して、ＭＥＭＳチップ１００ａの表面（即ち、駆動用コイル１４０が設けられた面）側に、第２磁気ヨーク１７１及び１７２に加えて、第２永久磁石２６１及び２６２と第３磁気ヨーク２９１とが更に配置されているという点で異なっている。第２実施例のアクチュエータ２００が備えるその他の構成要素については、第１実施例のアクチュエータ１００と同一であってもよい。従って、第２実施例の製造方法についても、第１実施例の製造方法と比較して、第２永久磁石２６１及び２６２並びに第３磁気ヨーク２９１が更にケース５１０内に嵌め込まれるという点で異なっている。第２実施例の製造方法におけるその他の工程については、第１実施例の製造方法と同一であってもよい。
　第２永久磁石２６１は、アクチュエータ２００の厚み方向に沿って第１永久磁石１６１との間にＭＥＭＳチップ１００ａ及び第２磁気ヨーク１７１を挟み込むように配置されている棒状あるいは柱状の永久磁石である。第２永久磁石２６１は、一方の磁極（第２実施例ではＮ極）が第２磁気ヨーク１７１に対向し、他方の磁極（第２実施例ではＳ極）が第３磁気ヨーク２９１に対向するように配置されている。
　第２永久磁石２６２は、アクチュエータ２００の厚み方向に沿って第１永久磁石１６２との間にＭＥＭＳチップ１００ａ及び第２磁気ヨーク１７２を挟み込むように配置されている棒状あるいは柱状の永久磁石である。第２永久磁石２６２は、一方の磁極（第２実施例ではＮ極）が第３磁気ヨーク２９１に対向し、他方の磁極（第２実施例ではＳ極）が第２磁気ヨーク１７２に対向するように配置されている。
　尚、第２永久磁石２６１及び２６２は、第１永久磁石１６１及び１６２と同様に、樹脂等のモールド部材６００で一体化された状態でケース５１０内に収容されている。このとき、第２永久磁石２６１及び２６２は、可動部１１０へのレーザ光の入射及び可動部１１０からのレーザ光の出射を可能とする空間が可動部１１０の直上部分に確保されるように一体化されている。
　第３磁気ヨーク１９１は、軟磁性材料からなる軟磁性板であり、第２永久磁石２６１及び２６２に対してＭＥＭＳチップ１００ａ又は第２磁気ヨーク１７１及び１７２とは反対側に配置されている。また、第３磁気ヨーク１９１は、可動部１１０へのレーザ光の入射及び可動部１１０からのレーザ光の出射を可能とする空間が可動部１１０の直上部分に確保されるように、可動部１１０の直上部分に対応する開口を有している。第３磁気ヨーク１９１は、第２永久磁石２６１及び２６２に対向するように形成されており、第２永久磁石２６１と第２永久磁石２６２とを磁気的に連結する。
　このようなアクチュエータ２００においては、第１実施例と同様に、ＭＥＭＳチップ１００ａの裏面側に設けられた第１永久磁石１６１及び１６２、第１磁気ヨーク１９１並びに軟磁性チップ５５０と、ＭＥＭＳチップ１００ａの表面側に設けられた第２磁気ヨーク１７１及び１７２とによって第１の磁気回路が構成されている。
　更に、アクチュエータ２００においては、第２永久磁石２６１からの磁界（或いは、磁束）は、第２磁気ヨーク１７１、駆動用コイル１４０（図１参照）、軟磁性チップ５５０及び第２磁気ヨーク１７２を経由して第２永久磁石２６２に入り、第３磁気ヨーク１９１を経由して第２永久磁石２６１に戻る。同様に、第２永久磁石２６２からの磁束は、第３磁気ヨーク２９１を経由して第１永久磁石２６１に入り、第２磁気ヨーク１７１、駆動用コイル１４０（図１参照）、軟磁性チップ５５０及び第２磁気ヨーク１７２を経由して第２永久磁石２６２に戻る。即ち、アクチュエータ１００では、第２永久磁石２６１及び２６２、第２磁気ヨーク１７１及び１７２、並びに第３磁気ヨーク１９１によって第２の磁気回路が構成されている。
　このため、第２実施例のアクチュエータ２００は、例えば、第１の磁気回路のみによって駆動用コイル１４０に静磁界が印加される場合と比較して、より大きな静磁界を駆動用コイル１４０に印加することが可能となる。したがって、可動部１１０をより効率的に駆動することが可能となる。更に、第２永久磁石２６１及び２６２並びに第３磁気ヨーク１９１が設けられることで、アクチュエータ２００の強度を高めることもできる。
　（２－２）アクチュエータの製造方法
　続いて、図１６から図２０を参照して、第２実施例のアクチュエータ２００を製造するための製造方法について説明する。図１６は、第２実施例のアクチュエータ２００を製造するための製造方法の流れを示すフローチャートである。図１７から図２０は、夫々、第２実施例のアクチュエータ２００を製造するための製造方法の各工程が行われた場合のアクチュエータ２００の状態を示す断面図及び平面図である。尚、図１７から図２０では、各図（ａ）は、各図（ｂ）の平面図の一点鎖線での断面図を示す。
　図１６に示すように、第２実施例のアクチュエータ２００を製造する場合であっても、第１実施例のアクチュエータ１００を製造する場合と同様に、ステップＳ１０１からステップＳ１０９までの工程が行われる。
　第２実施例では特に、一体化された第２磁気ヨーク１７１及び１７２がケース５１０内に嵌め込まれた後（ステップＳ１０９）、その後、図１６並びに図１７（ａ）の断面図、図１７（ｂ）の平面図及び図１７（ｃ）の斜視図に示すように、第２永久磁石２６１及び２６２がモールド部材６００によって一体化される（ステップＳ２０１）。つまり、別個独立した構成部材である２つの第２永久磁石２６１及び２６２が、一つのパッケージ化された構成部材となるように一体化される。ここで、上述したように、第２永久磁石２６１及び２６２は、可動部１１０へのレーザ光の入射及び可動部１１０からのレーザ光の出射を可能とする空間６３０が可動部１１０の直上部分に確保されるように一体化される。更に、第２永久磁石２６１及び２６２は、一体化された第２永久磁石２６１及び２６２の外形（具体的には、ケース５１０の側面部と対向する側の外形）が複数のガイド部材５１３に合わせられるように一体化される。
　その後、図１６並びに図１８（ａ）の断面図及び図１８（ｂ）の平面図に示すように、ステップＳ２０１で一体化された第２永久磁石２６１及び２６２が、ケース５１０の内部に嵌め込まれる（ステップＳ２０２）。ここで、上述したように、一体化された第２永久磁石２６１及び２６２の外形（具体的には、ケース５１０の側面部と対向する側の外形）は、複数のガイド部材５１３に合わせられている。従って、一体化された第２永久磁石２６１及び２６２は、そのケース５１０の側面部と対向する側の表面が複数のガイド部座位５１３と接触することで、位置を適切に誘導されながらケース５１０に嵌め込まれていく。
　その後、図１６並びに図１９（ａ）の断面図及び図１９（ｂ）の平面図に示すように、第３磁気ヨーク２９１が、ケース５１０の内部に嵌め込まれる（ステップＳ２０３）。ここで、上述したように、第３磁気ヨーク２９１の外形（具体的には、ケース５１０の側面部と対向する側の外形）は、複数のガイド部材５１３に合わせられている。従って、第３磁気ヨーク２９１は、そのケース５１０の側面部と対向する側の表面が複数のガイド部座位５１３と接触することで、位置を適切に誘導されながらケース５１０に嵌め込まれていく。
　その後、図１６並びに図２０（ａ）の断面図及び図２０（ｂ）の平面図に示すように、第１実施例と同様に、ケース５１０の内壁（具体的には、側面部及び底面部）とガイド部材５１３とアクチュエータ２００を構成する構成部材（つまり、第１磁気ヨーク１９１や、一体化された第１永久磁石１６１及び１６２や、ＭＥＭＳチップ１００ａや、一体化された第２磁気ヨーク１９１及び１９２や、一体化された第２永久磁石２６１及び２６２や、第３磁気ヨーク２９１）とによって囲まれた空間に、樹脂等の充填剤７００が充填される（ステップＳ１１０）。
　以上説明したように、第２実施例のアクチュエータ２００の製造方法によれば、第１実施例のアクチュエータ１００の製造方法によって享受することができる各種効果を好適に享受することができる。
　（３）第３実施例
　続いて、図２１を参照して、第３実施例のアクチュエータ３００について説明する。図２１は、第３実施例のアクチュエータ３００の構成の一例を示す平面図である。尚、第１実施例のアクチュエータ１００と同様の構成要素については同一の参照符号を付することでその詳細な説明を省略する。
　図２１に示すように、第３実施例のアクチュエータ３００は、第１実施例のアクチュエータ１００と比較して、支持部１２０における可動部１１０を挟み込む２つの領域３５１ａ及び３５２ａに、支持部１２０を貫通するように軟磁性材料から形成された一対の軟磁性部３５１及び３５２が形成されているという点で異なっている。第３実施例のアクチュエータ３００が備えるその他の構成要素については、第１実施例のアクチュエータ１００と同一であってもよい。従って、第３実施例の製造方法についても、第１実施例の製造方法と比較して、ＭＥＭＳチップ１００ａを製造する際に支持部１２０に軟磁性部３５１及び３５２が形成される工程が追加されるという点で異なっている。つまり、図４のステップＳ１０７で嵌め込まれるＭＥＭＳチップ１００ａに軟磁性部３５１及び３５２が形成されているという点で異なっている。第３実施例の製造方法におけるその他の工程については、第１実施例の製造方法と同一であってもよい。尚、第３実施例の製造方法の流れは、実質的には第１実施例の製造方法の流れと同一である（つまり、第３実施例の製造方法も、図４のステップＳ１０１からステップＳ１１０を備えている）ため、第３実施例では、製造方法の詳細な説明は省略する。
　軟磁性部３５１及び３５２は、それぞれ、支持部１２０の領域３５１ａ及び３５２ａに開口された開口部に、例えばパーマロイ等の軟磁性材料が例えばメッキ等の手法により埋め込まれることで形成されている。このように軟磁性部３５１及び３５２が支持部１２０と一体的に形成されることにより、支持部１２０あるいはＭＥＭＳチップ１００ａの強度を確保することができる。
　ここで、軟磁性部３５１及び３５２は、例えばシリコン等の非磁性材料からなる支持部１２０よりも磁気抵抗が非常に低い。よって、仮に、軟磁性部３５１及び３５２を設けずに、第１永久磁石１６１及び１６２によって発生する静磁界を、例えばシリコン等の非磁性材料からなる支持部１２０を介して駆動用コイル１４０に印加する場合と比較して、駆動用コイル１４０に印加する静磁界についての磁気抵抗を低くすることができる。従って、例えば、第１永久磁石１６１及び１６２のサイズを小さくしても、駆動用コイル１４０に、印加すべき静磁界を確実に印加することが可能となる。これにより、第１永久磁石１６１及び１６２のサイズを小さくすることで、当該アクチュエータ３００の小型化を図ることが可能となる。なお、第３実施例では、例えばパーマロイ等の軟磁性材料からなる軟磁性部３５１及び３５２の磁気抵抗は、例えばシリコン等の非磁性材料からなる支持部１２０の磁気抵抗の約１０００分の１倍である。
　更に、第３実施例では特に、軟磁性部３５１及び３５２は、夫々、支持部１２０の領域３５１ａ及び３５２ａに開口された開口部に、軟磁性材料が例えばメッキ等の手法により埋め込まれることで形成されている。このように軟磁性部３５１及び３５２が支持部１２０と一体的に形成されることにより、支持部１２０あるいはＭＥＭＳチップ１００ａの強度を確保することができる。よって、仮に、支持部１２０に形成された開口部に軟磁性体部３５１及び３５２に形成しない場合（例えば、支持部１２０に開口部を形成した後に、軟磁性体部３５１及び３５２を形成せずに、永久磁石や磁気ヨークを配置する場合）には生じ得る、支持部１２０の破壊や、可動部１１０を揺動させる際の不要な振動をほとんどあるいは実践上完全に無くすことが可能となる。
　尚、第３実施例においても、第２実施例と同様に、第２永久磁石２６１及び２６２並びに第３磁気ヨーク２９１が更に配置されていてもよい。
　（４）第４実施例
　続いて、図２２を参照して、第４実施例のアクチュエータ４００について説明する。図２２は、第４実施例のアクチュエータ４００の構成の一例を示す平面図である。尚、第１実施例のアクチュエータ１００と同様の構成要素については同一の参照符号を付することでその詳細な説明を省略する。
　図２２に示すように、第４実施例のアクチュエータ４００は、第１実施例のアクチュエータ１００と比較して、ケース５１０に代えて、非磁性基板５６０が用いられているという点で異なっている。具体的には、第４実施例のアクチュエータ４００は、非磁性基板５６０上に、第１磁気ヨーク１９１と、第１永久磁石１６１及び１６２と、可動部１１０、支持部１２０及びトーションバー１３０などを含んでなるＭＥＭＳチップ１００ａと、第２磁気ヨーク１７１及び１７２とを備えている。非磁性基板５６０の表面の中央付近上には、ケース５１０と同様に、当該表面から上方に向かって突き出す共に可動部１１０の直下に至るまで突き出す突出部５１２が形成されている。尚、非磁性基板５６０の表面には、上述のガイド部材５１３（つまり、上述したケース５１０の内壁に形成されるガイド部材５１３）が形成されていてもよいし、形成されていなくともよい。第４実施例のアクチュエータ４００が備えるその他の構成要素については、第１実施例のアクチュエータ１００と同一であってもよい。
　従って、第３実施例の製造方法についても、第１実施例の製造方法と比較して、図４のステップＳ１０１で、ケース５１０に代えて、非磁性基板５６０が用意されるという点で異なっている。第４実施例の製造方法におけるその他の工程については、第１実施例の製造方法と同一であってもよい。尚、第３実施例の製造方法の流れは、実質的には第１実施例の製造方法の流れと同一である（つまり、第４実施例の製造方法も、図４のステップＳ１０１からステップＳ１１０を備えている）ため、第４実施例では、製造方法の詳細な説明は省略する。
　このように、第４実施例では、必ずしもケース５１０を用いなくとも、アクチュエータ４００を製造することができる。このようにケース５１０を用いない場合であっても、非磁性基板５６０に形成される突出部５１２を位置決めガイドとして用いながら、第１永久磁石１６１及び１６２を一体化し且つ第２磁気ヨーク１９１及び１９２を一体化した後に非磁性基板５６０に嵌め込むことができる。このため、第４実施例においても、第１実施例と同様に、アクチュエータ１００を構成する各種部材を、高精度に且つ比較的容易に位置決めしながら組み立てることができる。つまり、第４実施例においても、第１実施例と同様の効果を好適に享受することができる。
　尚、上述の説明では、可動部１１０がトーションバー１３０の伸長する方向に沿った軸を中心軸として回転するＭＥＭＳスキャナに着目して説明を進めている。しかしながら、ＭＥＭＳスキャナに限らず、任意のアクチュエータに対して上述した各種構成が適用されてもよい。例えば、可動部１１０がトーションバー１３０の遥動に従って平行移動するように遥動するＭＥＭＳアクチュエータに対して、上述した各種構成が適用されてもよい。この場合であっても、上述した各種効果は好適に享受される。
　本発明は、前述した実施例に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴うアクチュエータの製造方法もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。
　１００、２００、３００、１０００　アクチュエータ
　１００ａ、１０００ａ　ＭＥＭＳチップ
　１１０、１１１０　可動部
　１２０　支持部
　１３０、１１３１、１１３２　トーションバー
　１４０　駆動コイル
　１４５　配線
　１６１、１６２　第１永久磁石
　１７１、１７２　第２磁気ヨーク
　１９１　第１磁気ヨーク
　２６１、２６２　第２永久磁石
　２９１　第３磁気ヨーク
　５１０　ケース
　５１２　突出部
　５１３　ガイド部材
　５５０　軟磁性チップ
　６００　モールド材
　７００　充填剤
　８００　反射ミラー

Claims (13)

  1. 　アクチュエータを製造する製造方法であって、
    　前記アクチュエータを構成する一の構成部材が上部に向かって突き出すように形成されている基板部材を用意する第１工程と、
    　前記アクチュエータを構成する複数の他の構成部材を一体化する第２工程と、
    　一体化された前記複数の他の構成部材を前記基板部材に嵌め込む第３工程と
    　を備え、
    　前記第３工程は、前記一の構成部材を、一体化された前記複数の他の構成部材を前記基板部材に嵌め込む際の位置決めガイドとして用いることを特徴とする製造方法。
  2. 　前記基板部材は、内部に空隙を有するケース部材であって、且つ前記一の構成部材が当該ケース部材の内面から前記空隙に向かって突き出すように形成されているケース部材であり、
    　前記第３工程は、一体化された前記複数の他の構成部材を前記ケース部材の内部に嵌め込むことを特徴とする請求項１に記載の製造方法。
  3. 　前記第２工程は、前記複数の他の構成部材を、前記一の構成部材が貫通する貫通孔が形成されるように一体化し、
    　前記第３工程は、前記一の構成部材が前記貫通孔に挿入されるように、一体化された前記複数の他の構成部材を前記基板部材に嵌め込むことを特徴とする請求項１に記載の製造方法。
  4. 　前記アクチュエータは、(i)可動部と、(ii)前記可動部の直下に配置されると共に軟磁性材料から形成された軟磁性部材を備え、
    　前記一の構成部材は、前記軟磁性部材を支持すると共に前記基板部材の法線方向に向かって突き出す突出部材であって、
    　前記第２工程は、前記複数の他の構成部材を、前記突出部材が貫通する貫通孔が形成されるように一体化し、
    　前記第３工程は、前記突出部材が前記貫通孔に挿入されるように、一体化された前記複数の他の構成部材を前記基板部材に嵌め込むことを特徴とする請求項１に記載の製造方法。
  5. 　前記アクチュエータは、前記可動部の表面に沿った方向に沿って前記可動部を挟み込む一対の第１磁石を前記複数の他の構成部材として備え、
    　前記第２工程は、前記一対の第１磁石を、前記突出部材が貫通する前記貫通孔が形成されるように一体化し、
    　前記第３工程は、前記突出部材が前記貫通孔に挿入されるように、一体化された前記一対の第１磁石を前記基板部材に嵌め込むことを特徴とする請求項４に記載の製造方法。
  6. 　前記アクチュエータは、(i)前記一対の第１磁石から見て前記可動部が形成される側とは反対側に配置されると共に前記突出部材が貫通する貫通孔を有する第１ヨークと、(ii)前記一対の第１磁石から見て前記可動部が形成される側に配置される一対の第２ヨークとを、前記複数の他の構成部材として備え、
    　前記第２工程は、前記一対の第２ヨークを一体化し、
    　前記第３工程は、(i)前記突出部材が前記貫通孔に挿入されるように、前記第１ヨークを前記基板部材に嵌め込み、且つ(ii)一体化された前記一対の第２ヨークを前記基板部材に嵌め込むことを特徴とする請求項５に記載の製造方法。
  7. 　前記アクチュエータは、(i)前記可動部の表面に沿った方向に沿って前記可動部を挟み込むと共に前記軟磁性材料が配置される前記可動部の裏面側に配置される一対の第１磁石と、(ii)前記可動部の表面に沿った方向に沿って前記可動部を挟み込むと共に、前記可動部の前記裏面側とは異なる表面側に配置される一対の第２磁石とを、前記複数の他の構成部材として備え、
    　前記第２工程は、(i)前記一対の第１磁石を、前記突出部材が貫通する前記貫通孔が形成されるように一体化し、且つ(ii)前記一対の第２磁石を一体化し、
    　前記第３工程は、(i)前記突出部材が前記貫通孔に挿入されるように、一体化された前記一対の第１磁石を前記基板部材に嵌め込み、且つ(ii)一体化された前記一対の第２磁石を前記基板部材に嵌め込むことを特徴とする請求項４に記載の製造方法。
  8. 　前記アクチュエータは、(i)前記一対の第１磁石から見て前記可動部が形成される側とは反対側に配置されると共に前記突出部材が貫通する貫通孔を有する第１ヨークと、(ii)前記一対の第１磁石から見て前記可動部が形成される側に配置される一対の第２ヨークと、(iii)前記一対の第２磁石から見て前記可動部が形成される側とは反対側に配置される一対の第３ヨークとを、前記複数の他の構成部材として備え、
    　前記第２工程は、前記一対の第２ヨークを一体化し、
    　前記第３工程は、(i)前記突出部材が前記貫通孔に挿入されるように、前記第１ヨークを前記基板部材に嵌め込み、(ii)一体化された前記一対の第２ヨークを前記基板部材に嵌め込み、且つ(iii)前記一対の第３ヨークを前記基板部材に嵌め込むことを特徴とする請求項７に記載の製造方法。
  9. 　前記第３工程は、(i)前記突出部材上に前記軟磁性部材を形成し、その後、(ii)前記突出部材が前記貫通孔に挿入されるように、前記一体化された複数の他の部材を前記基板部材に嵌め込むことを特徴とする請求項４に記載の製造方法。
  10. 　前記第３工程は、前記突出部材の外径よりも小さい外径を有する前記軟磁性部材を形成することを特徴とする請求項９に記載の製造方法。
  11. 　前記第３工程は、前記可動部側の外縁が、前記突出部材側から前記可動部側に向かって連続的に又は段階的に外形が小さくなる曲線形状を有する前記軟磁性部材を形成することを特徴とする請求項９に記載の製造方法。
  12. 　前記基板部材は、一体化された前記複数の他の構成部材に接触することで前記位置決めガイドとして用いられるガイド部材を更に備え、
    　前記第３工程は、前記一の構成部材及び前記ガイド部材の少なくとも一方を前記位置決めガイドとして用いながら、一体化された前記複数の他の構成部材を前記基板部材に嵌め込むことを特徴とする請求項１に記載の製造方法。
  13. 　前記基板部材は、内部に空隙を有するケース部材であって、且つ前記一の構成部材が当該ケース部材の内面から前記空隙に向かって突き出すように形成されているケース部材であり、
    　前記第３工程は、一体化された前記複数の他の構成部材を前記ケース部材の内部に嵌め込み、
    　前記ケース部材は、側面部及び底面部が閉じている箱状の部材であり、
    　前記ガイド部材は、前記側面部及び前記底面部の少なくとも一方に形成される部材であって且つ周囲から突き出た形状を有するであり、
    　一体化された前記複数の他の構成部材が前記ケース部材に嵌め込まれた後、前記ガイド部材と前記側面部及び前記底面部と一体化された前記複数の他の構成部材とに囲まれた空間に充填剤を充填する第４工程を更に備えることを特徴とする請求項１２に記載の製造方法。
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