WO2013110338A1 - Verfahren zum ermitteln eines korrekturwerts für eine überwachung eines fluidlagers und maschine mit mindestens einem fluidlager - Google Patents

Verfahren zum ermitteln eines korrekturwerts für eine überwachung eines fluidlagers und maschine mit mindestens einem fluidlager Download PDF

Info

Publication number
WO2013110338A1
WO2013110338A1 PCT/EP2012/051269 EP2012051269W WO2013110338A1 WO 2013110338 A1 WO2013110338 A1 WO 2013110338A1 EP 2012051269 W EP2012051269 W EP 2012051269W WO 2013110338 A1 WO2013110338 A1 WO 2013110338A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
machine
pressure
determining
fluid bearing
fluid
Prior art date
Application number
PCT/EP2012/051269
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Rainer Sagemueller
Guenter Grupp
Original Assignee
Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh filed Critical Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh
Priority to EP12708739.3A priority Critical patent/EP2807447B1/de
Priority to PCT/EP2012/051269 priority patent/WO2013110338A1/de
Priority to CN201280071799.2A priority patent/CN104204717B/zh
Publication of WO2013110338A1 publication Critical patent/WO2013110338A1/de
Priority to US14/328,014 priority patent/US9671210B2/en

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/004—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points
    • G01B5/008—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
    • F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
    • F16C32/0603—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion
    • F16C32/0614—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion the gas being supplied under pressure, e.g. aerostatic bearings
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
    • F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
    • F16C32/0662—Details of hydrostatic bearings independent of fluid supply or direction of load
    • F16C32/067—Details of hydrostatic bearings independent of fluid supply or direction of load of bearings adjustable for aligning, positioning, wear or play
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
    • F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
    • F16C32/0681—Construction or mounting aspects of hydrostatic bearings, for exclusively rotary movement, related to the direction of load
    • F16C32/0692—Construction or mounting aspects of hydrostatic bearings, for exclusively rotary movement, related to the direction of load for axial load only
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
    • G01B21/02—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
    • G01B21/04—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness by measuring coordinates of points
    • G01B21/042—Calibration or calibration artifacts
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/0002—Arrangements for supporting, fixing or guiding the measuring instrument or the object to be measured
    • G01B5/0009—Guiding surfaces; Arrangements compensating for non-linearity there-of
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C2370/00—Apparatus relating to physics, e.g. instruments

Definitions

  • the present invention relates to methods for determining a correction value for monitoring a fluid bearing of a machine for processing or measuring a workpiece, in particular a coordinate measuring machine, with the step of providing the machine for processing or measuring a workpiece, with a first element and a second element, wherein the first element and the second element are supported by means of at least one fluid bearing to each other or can be supported, and with a control device for controlling the machine.
  • the present invention further relates to a machine for processing and / or measuring a workpiece, in particular a coordinate measuring machine, having a first element and a second element, wherein the first element and the second element adjoin one another by means of at least one fluid bearing are supported with a pressure detecting means for determining a pressure in the at least one fluid bearing representing size, and with a control device for controlling the machine.
  • a coordinate measuring machine having a first element and a second element, wherein the first element and the second element adjoin one another by means of at least one fluid bearing are supported with a pressure detecting means for determining a pressure in the at least one fluid bearing representing size, and with a control device for controlling the machine.
  • a coordinate measuring machine is a machine with a measuring head, which can be moved relative to a measuring object in a measuring volume.
  • the measuring head is brought into a defined position relative to a measuring point on the measuring object.
  • the measuring point is touched, for example, with a stylus arranged on the measuring head.
  • spatial coordinates of the measuring point can be determined based on the known position of the measuring head in the measuring volume. If one determines the spatial coordinates of several defined measuring points on a measuring object, geometrical dimensions or even the spatial form of the measuring object can also be determined. They are used, for example, to check workpieces as part of a quality assurance or to determine the geometry of a workpiece completely in the context of a so-called "reverse engineering". In addition, a variety of other applications are conceivable.
  • various types of sensors can be used to detect the coordinates of a workpiece to be measured.
  • tactile measuring sensors are known for this purpose, as marketed, for example, by the applicant under the product name "VAST", “VAST XT” or “VAST XXT”.
  • VAST the surface of the workpiece to be measured is touched with a stylus whose coordinates are constantly known in the measuring room.
  • Such a stylus can also be moved along the surface of a workpiece, so that in such a measuring operation
  • a so-called “scanning method” a multiplicity of measuring points can be recorded at fixed time intervals.
  • optical sensors that allow a contactless detection of the coordinates of a workpiece.
  • An example of such an optical sensor is the optical sensor sold under the product name "ViScan" by the Applicant.
  • the sensors can then be used in various types of measurement setups.
  • An example of such a measurement setup is the product "O-INSPECT" of the applicant.
  • O-INSPECT optical sensor
  • tactile sensor are used to perform various inspection tasks on a machine and ideally with a single setup of a workpiece to be measured. In this way, many test tasks can be performed in a simple manner, for example in medical technology, plastics technology, electronics and precision mechanics. Of course, various other structures are also conceivable beyond.
  • the sensor head is connected to a carrier system or machine frame, which supports and moves the sensor system.
  • Various support systems are known in the art, such as gantry systems, stand, horizontal arm and arm systems, all types of robotic systems, and ultimately closed CT systems in x-ray sensor systems.
  • the carrier systems can have system components which enable as flexible a positioning of the sensor head as possible.
  • RDS rotary-pivot joint
  • various adapters may be provided to interconnect the different system components of the carrier system with each other and with the sensor system.
  • the present invention is preferably used in coordinate measuring machines, it can also be used in machine tools and other machines in which a machine head is to be moved with high accuracy relative to a workpiece or the like.
  • Both machine tools and coordinate measuring machines have a movable working head.
  • a coordinate measuring machine which is based on the example below, the head is often attached to the lower free end of a vertically arranged quill.
  • the quill is movable, so that the measuring head can be moved perpendicular to a measuring table.
  • the measuring table serves to receive a measuring object.
  • the sleeve is in turn arranged on a cross member of a portal, and it can be moved on the cross member in a first horizontal direction by means of a carriage.
  • the portal can be moved together with the sleeve in a second horizontal direction, so that the measuring head can be moved in total in three mutually perpendicular directions in space.
  • the quill, the slide and the portal form a machine frame.
  • the maximum travel distances of the measuring head along the three directions of movement determine a measuring volume within which spatial coordinates can be determined on a measured object.
  • machine tools may be constructed. These have as a working head typically a spindle with a tool carrier, which is moved to work on a workpiece.
  • a working head typically a spindle with a tool carrier, which is moved to work on a workpiece.
  • hydraulic bearings which use a fluid instead of air as fluid.
  • a lubricating film is then formed, on which two elements can move relative to one another in a sliding manner.
  • the term "fluid bearing” is understood as meaning both air bearings, ie aerostatic or aerodynamic bearings, and hydraulic bearings, ie hydrostatic or hydrodynamic bearings.
  • the sensor head side machine frame of a machine can be provided with such bearings.
  • a workpiece holder of a machine may also have air bearings, for example when the workpiece is arranged on a turntable as a workpiece holder.
  • a turntable is used recordable in the meter "PRISMO® Ultra with RT-AB" of the applicant.
  • the document DE 36 37 410 AI discloses a method for determining deviations of a turntable from an ideal axis of rotation on a coordinate measuring machine.
  • a special test specimen with a plurality of defined measuring points is placed on the turntable, and the positions of the defined measuring points are then determined using the coordinate measuring machine in different angular positions.
  • the running deviations of the axis of rotation and the angular position deviation are then computationally determined. In this way, axial deviations of the turntable, radial deviations and so-called wobble deviations in the movement of the turntable can be determined.
  • the document DE 34 19 546 Al discloses a method for determining the center of gravity of a specimen, which can be constructed very complicated and many items may have different specific weights, so that the center of gravity is not readily calculated.
  • the test specimen which may be a motor vehicle, for example, arranged on a receiving plate, which is placed on defined bearings on the table of a coordinate measuring machine.
  • At the support points of the plate are load cells. From the position distribution of the support points and the respectively associated support forces can calculate the center of gravity of the specimen, the initially undefined relative position of the specimen is determined to the receiving plate with the coordinate measuring machine.
  • the document EP 0 866 233 A2 shows a device for monitoring and stopping the operation of air bearings, which uses a pressure measurement between the bearing surface and a base plate.
  • a pressure switch or pressure sensor is connected to a galvanic switch, which in turn is connected to the control of a machine.
  • the air pressure in the air bearing is measured directly in the bearing gap or in the volume between the pressure regulator and the outlet opening.
  • the aim of the bearing monitoring is usually a monitoring of the air bearing gap to detect an overload of the air bearing.
  • the air bearing pressure and the width or height of the air bearing gap are dependent on each other.
  • conclusions can be drawn from the bearing pressures on the workpiece moved by an air-bearing table.
  • combinations of several individually monitored air bearings are frequently used, for example, to calculate the center of gravity or the current tilting moment caused by the workpiece. This is described for example in the publication DE 100 06 876 C1 or the aforementioned document WO 2010/054767 Al.
  • the above-mentioned method for determining a correction value for monitoring a fluid bearing of a machine for processing or measuring a workpiece, in particular a coordinate measuring machine with the following steps:
  • the pressure detecting device is adapted to a representing the pressure in the at least one fluid bearing size depending on a position and / or orientation of the first element relative to the determine second element and output as a correction value to the control device.
  • the term "fluid bearing” is understood to mean both air bearings, ie aerostatic or aerodynamic bearings, as well as hydraulic bearings, ie hydrostatic or hydrodynamic bearings.
  • the fluid bearing may be an air bearing. If two real surfaces are moved relative to one another in a fluid bearing, different pressures can be measured at a pressure sensor, although the load of the fluid bearing has not changed during the movement.
  • the measured fluid bearing pressure thus has a location-dependent and / or orientation-dependent component.
  • the location-dependent and / or orientation-dependent component can be eliminated by means of a so-called “Computer Aided Accuracy” (CAA) correction.
  • CAA Computer Aided Accuracy
  • a first bearing surface of the first element and a second bearing surface of the second element are moved relative to each other and recorded the resulting pressures.
  • the pressure fluctuation or a correction value for a measured pressure can then be determined in a location-dependent and / or orientation-dependent manner and stored in the control device. The determination can already take place in the control device or else in a separate data processing unit. In subsequent measuring operation, the correction values are then used.
  • the proposed CAA correction can therefore eliminate all existing in the system of the machine offsets, in particular electrical offsets of the sensors used, location-dependent fluctuations of a possibly provided magnetic biasing force and pneumatic offsets. Furthermore, any pressure fluctuations caused not by the workpiece but by changes in the structures, for example another faceplate of a turntable, or changes in a machine frame are eliminated. In particular, the step of determining can be carried out promptly before a subsequent measurement or machining of the workpiece. Then caused by weather-dependent variations in ambient air pressure disturbances are eliminated in this way.
  • Dynamic effects in the fluid bearing may under certain circumstances be negligible.
  • pressure changes due to dynamic effects can also be corrected by calibrating a fluid bearing for various loads and motion velocities.
  • the bearing load moves with the turntable position.
  • the propagation of a pressure change in the fluid bearing typically takes several tenths of a second, but depends on the rotational speed.
  • both load-dependent and rotational speed-dependent pressures can be present in the fluid bearing.
  • the calibration would have to be carried out for different load cases and in each load case with different movement speeds. The results would then also be stored in the control device.
  • the first element and the second element can be supported against one another by means of a fluid which can be introduced between the first bearing surface of the first element and the second bearing surface of the second element.
  • the fluid bearing itself is thus provided by the opposing first bearing surface and second bearing surface, between which a fluid can be introduced.
  • the fluid is in particular air, but it can also be another gas.
  • the fluid is filled under a certain pressure between the first bearing surface and the second bearing surface or injected. As a result, the bearing gap is caused or generated. The fluid can then flow through the bearing gap. In this way, the fluid bearing is provided between the first element and the second element.
  • the fluid bearing is thus provided by the bearing gap, through which the fluid or air flows, between the first bearing surface and the second bearing surface.
  • the fluid bearing thus has the first bearing surface of the first element and the second bearing surface of the second element and a fluid or air stream or insertable air which can be introduced between the first bearing surface and the second bearing surface and which supports the first bearing surface and the second bearing surface. Under the pressure in a fluid bearing can thus be understood in particular the static pressure of the air between the first bearing surface and the second bearing surface.
  • the step of determining a plurality of positions and / or orientations of the first element relative to the second element is performed.
  • the steps of determining and determining, and in particular also depositing, for a plurality of positions and / or orientations of the first element may become relative to the second element.
  • the plurality of positions and / or orientations covers the entire range of a relative movement between the first element and the second element in discrete steps.
  • a first bearing surface of the first element and a second bearing surface of the second element can perform relative to each other, step through and determines a pressure for each step and each stage and determines a correction value.
  • the steps or steps can be chosen arbitrarily fine. It is understood that in the case of a linear movement certain distances between individual steps can be specified, for example, 5 mm, 1 cm or 5 cm. For example, angles of rotation, for example 0.5 °, 1 °, 2 °, etc., can be specified for rotary movements.
  • a high resolution of the correction values in the entire movement range can be selected and obtained.
  • An area between the individual correction values determined in the discrete steps can be determined by means of an interpolation. For example, a linear interpolation can be performed. For example, a polynomial approach can also be chosen to find a function for the correction values over several correction values determined in the discrete steps.
  • a step of determining for determining all correction values can then be carried out once, which step is then deposited in a step of the deposit.
  • steps of both determining and determining are carried out for each position and / or orientation of the first element relative to the second element. It will be after each Step of the determination directly determines the corresponding correction value. Subsequently, all correction values are then stored together in the step of depositing.
  • the steps of determining, determining and depositing are carried out for each position and / or orientation of the first element relative to the second element. In this case, all steps are carried out in each position and / or orientation of the first element relative to the second element and the correction values are stored successively.
  • the first element and the second element is in each case an element of a workpiece holder for receiving a workpiece.
  • the first element is a turntable or a rotor of a turntable and the second element is a base on which the turntable is supported, or a stator of a turntable.
  • first element and the second element may also be in the first element and the second element to elements of the turntable.
  • first element may be a rotor of the turntable and the second element may be a stator of the turntable.
  • the base can also form an element of a machine frame, on which a working head of the machine is arranged.
  • the machine has a plurality of fluid bearings, wherein the steps of determining, determining and depositing are performed for each of the fluid bearings.
  • improved monitoring can be provided on a plurality of fluid bearings.
  • This makes it possible to use the advantages possible by monitoring a plurality of fluid bearings. For example, such a tilting moment caused by the workpiece can be better monitored or a center of gravity of the workpiece arranged on the workpiece holder can be determined.
  • first element and the second element is in each case an element of a machine frame of the machine, wherein a working head of the machine is arranged on the machine frame.
  • the working head can be, for example in the case of a coordinate measuring device, a sensor head which has, for example, an optical sensor and / or a tactile sensor for measuring the workpiece. Furthermore, in the case of a machine tool, for example, the working head can also be a tool head which carries a tool, for example a turning, milling or cutting tool.
  • a bearing load and a possible overload of the fluid bearing in which the first bearing surface and the second bearing surface come into contact with each other, can thus be determined precisely. This is particularly important in order to initiate an emergency stop of the machine as soon as possible in the case of an overload of the fluid bearing and thus to avoid damage to the fluid bearing.
  • a step of moving the first element and the second element relative to each other is carried out such that changes a position and / or an orientation of the first element relative to the second element.
  • the relative range of movement of the first bearing surface of the first element and the second bearing surface of the second element, in particular successively or continuously, are passed through.
  • the first bearing surface and the second bearing surface are thus initially moved by a certain amount relative to each other and then remain briefly in this position.
  • the relative position of the first bearing surface relative to the second bearing surface is determined and also the size representing a pressure in the bearing.
  • the steps of determining and depositing are carried out.
  • the first bearing surface and the second bearing surface are in turn moved by a certain amount relative to each other, and the steps of determining, determining and depositing are performed again.
  • the steps of determining and determining, and in particular depositing, and in particular also the step of moving can be carried out repeatedly until an entire range of movement of the first element and the second element has passed relative to one another.
  • the movement of the first bearing surface relative to the second bearing surface is stepwise, wherein the position and / or orientation of the first element and the second element during the step of the determination, in particular during the step of Determining and / or the step of depositing, relative to each other does not change.
  • the movement of the first element relative to the second element takes place continuously, wherein the position and / or the orientation of the first element and the second element during the step of the determination, in particular during the step of Determining and / or the step of depositing, relative to each other changes.
  • the steps of determining, determining and depositing are carried out without the workpiece being arranged on the workpiece holder.
  • the method further comprises the following steps:
  • the step of arranging the workpiece on a workpiece holder of the machine can take place immediately after the step of providing, but it can also take place only immediately after the step of depositing.
  • the step of determining is carried out by determining the pressure directly by means of a pressure sensor.
  • the pressure directly in the fluid bearing that is, in the fluid bearing gap, is determined. But it can too be provided that the pressure in one of the leading to the fluid bearing air supply lines is determined.
  • the step of machining or measuring the workpiece taking into account the correction value in the short time interval after the step of depositing can take place.
  • the step of the determination is carried out by determining the pressure indirectly via a deformation of the first and / or the second element detected by means of at least one strain gauge or at least one load cell or by the pressure is determined indirectly via a fluid-bearing clearance width between the first element and the second element detected by means of a distance sensor.
  • the indirect detection of the pressure for example, the need to make temperature-dependent corrections due to a relatively measuring pressure sensor can be avoided.
  • the indirect determination of the pressure can thus be more robust than the direct determination.
  • the use of distance sensors instead of pressure sensors can furthermore be very advantageous since the pressure differences to be measured can be very small. Distance sensors can measure much more accurately and with higher resolution, so that this indirect determination of a pressure or pressure difference can be made more accurately.
  • the determining step is carried out by calculating an expected pressure or pressure difference or an expected change in pressure in the fluid bearing depending on a position from predetermined geometric data of the first element and the second element / or orientation of the first element relative to the second element is calculated or determined.
  • This step of determining can be carried out, for example, in a data processing device.
  • This data processing device can be provided in the control device of the machine.
  • the necessary geometric data of the first element and of the second element can be present, for example, after a quality control in the production in which the first element and the second element were measured.
  • the actual geometries of the components are known and thus their deviations from their ideal predetermined geometrical desired shape. From these then known shape errors mathematical models known to those skilled in the art can be used to calculate the expected pressure fluctuations in the fluid bearings.
  • the step of determining can be performed only in a data processing device. Thus, a time required for the proposed CAA offset calibration could be reduced.
  • a relationship between the geometric data and the expected pressure or pressure difference is determined in advance empirically in a laboratory experiment. From the relationship thus obtained, the parameters of a mathematical correction model can also be determined. The results of such a laboratory experiment or the mathematical correction model can then be stored in the data processing device or the control device. In operation, the pressures or pressure differences determined in the laboratory test could then be read out based on the geometry data. From these, the correction value can then be determined become. The correction values could also be determined, for example, using the mathematical model whose parameters were determined based on the geometry data and the previously performed laboratory tests.
  • the fluid bearing is an air bearing.
  • the first element is a turntable and the second element is a base on which the turntable is supported.
  • the machine has a plurality of fluid bearings, which are arranged in particular annularly with in each case equal distances to adjacent fluid bearings.
  • a turntable is arranged on six fluid bearings, which are each arranged in an offset of 60 ° relative to each other.
  • the pressure-determining device has at least one sensor device assigned to each fluid bearing, wherein the sensor device detects a variable representing a pressure in the respective fluid bearing.
  • the at least one sensor device may in each case be a pressure sensor or at least one strain gauge or at least one load cell or a distance sensor for detecting a fluid bearing gap width between the first element and the second element.
  • a pressure sensor which directly detects the pressure in the bearing
  • one of the proposed indirect sensor types ie a strain gauge, a load cell and / or a distance sensor.
  • the pressure determining device is a data processing device which is set up in such a way that it determines the expected pressure or the expected pressure change in the fluid bearing on the basis of geometry data.
  • an expected pressure fluctuation in the fluid bearing is calculated on the basis of known geometry data of the first element and the second element on the basis of a mathematical model known to the person skilled in the art.
  • the proposed distance sensors for detecting a width of a fluid bearing gap may be any distance sensors.
  • optically measuring sensors are conceivable.
  • the fluid bearing is an air bearing.
  • FIG. 2 shows the coordinate measuring machine of FIG. 2 in a view parallel to the y-axis, FIG.
  • Fig. 3 is a schematic view of a possible embodiment of a
  • Air bearing as may be used in the machine shown in FIGS. 1 and 2,
  • FIG. 4 is a schematic flow diagram of an embodiment of a
  • Fig. 1 an embodiment of the new device in the form of a machine 10 is shown, which is designed as a coordinate measuring machine.
  • the invention is not limited to coordinate measuring machines in the strict sense, that is, to measuring devices in which spatial coordinates of measuring points on a workpiece are determined with the aid of a suitable sensor device.
  • the invention can equally be used with other types of measuring instruments in which the workpiece is arranged on a workpiece holder, and wherein the workpiece holder or a machine frame of the machine is arranged in at least one separate fluid bearing.
  • the coordinate measuring machine 10 has a base 12 on which a portal 14 is arranged here.
  • the portal 14 can be moved in a first longitudinal direction, commonly referred to as the y-axis.
  • a carriage 16 is arranged, which can be moved along a second longitudinal axis. This second longitudinal axis is usually referred to as the x-axis. records.
  • a quill 18 is arranged, which can be moved along a third longitudinal axis.
  • the third longitudinal axis is commonly referred to as the z-axis.
  • the three longitudinal axes x, y and z are perpendicular to each other.
  • the portal 14, the carriage 16 and the sleeve 18 form a machine frame 17.
  • a probe 20 is arranged with a stylus 22.
  • the probe 20 can be moved by means of the portal 14, the carriage 16 and the quill 18 within a measuring volume along the three axes x, y, z.
  • the probe 20 and the stylus 22 together form a first sensor device according to the present invention.
  • a measuring point on a workpiece can be identified by touching the measuring point with the free tip of the stylus 22.
  • the reference numerals 24, 26, 28 designate three scales with the aid of which one can determine the spatial position or spatial coordinates of a touched measuring point along the three axes x, y, z.
  • the coordinate measuring machine with a tactile probe shown in Fig. 1 is a preferred embodiment.
  • the invention is not limited thereto and can equally be applied to a stator-type measuring device and / or to measuring devices with non-contact sensor devices, for example measuring devices with optical sensors.
  • the machine 10 has a workpiece holder 29.
  • the reference numeral 30 denotes a turntable on which a workpiece 32 is arranged here.
  • the turntable 30 is supported on the base 12 via a fluid bearing system 34.
  • the fluid bearing system 34 has a plurality of fluid bearings 35, each formed as a fluid cushion between the base 12 and the fluid-bearing turntable 30 are.
  • the turntable 30 is a round turntable (see Fig. 2) which is supported by seven fluid bearings 35 on the base 12, the seven fluid bearings on the underside of the turntable 30 being evenly distributed along the outer periphery.
  • the fluid bearing system 34 may be an air bearing system.
  • the fluid bearing 35 may be an air bearing.
  • the fluid is then a gas.
  • the gas is air.
  • the fluid is a liquid, for example an oil.
  • the reference numeral 36 denotes a spatial position, which here represents the center of gravity of the turntable 30 with the workpiece 32 arranged thereon. As can be seen from FIG. 1, this center of gravity may be due to the workpiece 32 away from the circle center or center of the turntable 30, which is particularly the case when the center of mass of the workpiece 32 is located radially outside of the circle center of the turntable 30.
  • the reference numeral 38 denotes a control device which serves on the one hand to control the movements of the coordinate measuring machine 10 including the movement of the probe 20 and the turntable 30 via not shown here drives.
  • the evaluation and control unit 38 serves to determine the spatial coordinates of a measuring point on the workpiece 32 touched by the stylus 22 on the basis of the measured values from the scales 24, 26, 28 and measured variables derived therefrom, such as the length of an edge, the depth or the diameter of a hole etc.
  • the control device 38 has a data processing device 40 on which an evaluation and control program (not shown here) is executed.
  • the controller 38 further includes a display 41 for displaying measurement results to a user and / or displaying a graphical user interface for managing the machine.
  • an operating device 42 is furthermore provided via which a user can input user input to the machine to set up and / or control the machine as desired.
  • the operating device 42 may be provided separately or else as part of the control device 38.
  • a wireless communication of the operating device 42 and control device 38 may be configured with the machine 10.
  • a fluid bearing 35 of the fluid bearing system 34 which is used for mounting the workpiece holder 29 application
  • other locations in the machine 10 may be provided on which a fluid bearing 35 is arranged with improved monitoring.
  • a fluid bearing can also be found in the machine frame 17, which carries the working head 20.
  • the quill 18 relative to the carriage 16 by means of a schematically drawn fluid bearing 44 may be supported.
  • the carriage 16 may be supported relative to the portal 18 by means of a schematically illustrated fluid bearing 45.
  • the portal 18 may be supported on the base 12 by means of a fluid bearing 46 shown schematically.
  • the axis of rotation 48 of the rotary turntable 30 is shown.
  • the turntable 30 can be rotated in the direction of arrow 49 about the axis of rotation 48, wherein the turntable 30 slides by means of a fluid bearing system 34 having the plurality of fluid bearings 35.
  • the reference numeral 50 denotes a pressure determining device, which may be formed, for example, as a pressure sensor.
  • the engine 10 includes a plurality of pressure detecting means 50 for determining the individual fluid pressure at each fluid bearing 35.
  • the fluid pressures determined with the aid of the pressure determining devices 50 represent the individual bearing load on the respectively assigned fluid bearing 35.
  • fluid bearings 35 are provided, which are the fluid bearing system 34 train.
  • the fluid bearings 35 are in particular arranged annularly between the turntable 30 and the base 12.
  • the fluid bearings 35 have the same distances between them.
  • they can be arranged with respect to the axis of rotation 48 in each case at equal angular intervals. In the case of a total of six fluid bearings 35, an angle of 60 ° can thus be formed between them in each case.
  • Fig. 3 shows an embodiment of a fluid bearing 35, as it can be used in the machine in Fig. 1.
  • a first element 56 and a second element 58 are supported against each other.
  • a recess 62 may be formed in the illustrated embodiment in the second element 58, in which a magnet 64 is arranged, which is designed as a permanent magnet.
  • the magnet 64 may be, for example, a permanent magnet or an electromagnet.
  • the recess 62 is formed in a bearing surface 59 of the second element 58. In this way it is possible to set up a so-called biased fluid bearing 35. However, the fluid bearing 35 does not necessarily have to be biased.
  • the recesses 62 and the magnet 64 may also be arranged in the first element 56.
  • the arrangement in the second element 58 is to be understood merely as an example.
  • a first bearing surface 57 of the first element 56 and a second bearing surface 59 of the second element 58 are opposite and form between them a fluid bearing gap 70, which is designated by the reference numeral 70.
  • the fluid bearing 35 is an air bearing
  • the air flowing between the first bearing surface 57 and the second bearing surface 59 forms an air bearing gap between the first bearing surface 57 and the second bearing surface 59, respectively.
  • the first element 56 is shown schematically with dashed lines.
  • the spacing of the first bearing surface 57 and the second bearing surface 59 in their dimension is merely to be understood as an example and for illustration purposes selected.
  • the first element 56 and the second element 58 can be supported against one another by means of a fluid 81, for example air, which can be introduced between the first bearing surface 57 and the second bearing surface 59.
  • the fluid bearing 35 per se is thus provided by the opposing first bearing surface 57 and second bearing surface 59, between which the fluid 81 can be introduced.
  • the fluid 81 is filled or injected under a certain pressure between the first bearing surface 57 and the second bearing surface 59.
  • the fluid 81 then flows through the fluid bearing gap 70.
  • the fluid bearing 35 is provided between the first element 56 and the second element 58.
  • the fluid bearing 35 is thus provided by the fluid bearing gap 70 through which the fluid 81 flows between the first bearing surface 57 or the first element 56 and the second bearing surface 59 or the second element 58.
  • fluid inlet openings 66, 66 ' may be provided, through which the fluid 81 is injected or introduced into the fluid bearing gap 70.
  • first element 56 and the second element 58 relative to each other perform a sliding movement, as indicated by a double arrow 68.
  • the movement can be carried out without wear, the elements 56, 58 are securely supported and guided each other.
  • the second element 58 is fixed, that is, absolutely not moved, and that the first element 56 is moved, that moves both absolutely and relative to the second element 58.
  • this can also be done the other way round, that is, the second element 58 moves, and the first element 56 is fixed.
  • both the first element 56 and the second element 58 execute a movement in an absolute coordinate system and, moreover, also move relative to one another.
  • the various pressure detecting devices are indicated in Figures 1, 2 and 3 by the reference numerals 50, 50 'and 50 "and 50"'. In principle, it can be provided that the pressure in the fluid bearing 35 is determined directly by means of a pressure sensor 78.
  • the pressure sensor 78 can determine the pressure in the fluid bearing 35 absolutely or relative to its ambient pressure. This can take place directly in the fluid-bearing gap 70 between the first bearing surface 57 and the second bearing surface 59, but it can also take place, for example, in a feed line which directs the pressurized fluid 81 to one of the fluid inlet openings 66, 66 '.
  • the pressure prevailing in the fluid bearing 35 or a pressure change is detected on the basis of deformations of the first element 56 and / or of the second element 58. In particular, this can be done with knowledge of a prevailing without the detected deformation target pressure in the fluid bearing 35. From the deformation can then be concluded that a change in the target pressure.
  • at least one load cell 72 and / or at least one strain gauge 74 may be provided, which are attached to the first element 56. Of course, they can also be connected to the second element 58 alternatively or cumulatively.
  • a distance sensor 76 is provided which detects a fluid bearing gap width 70. This sensor can be configured, for example, as an optical sensor.
  • the sensors 72, 74, 76, 78 can be arranged, for example, in the first element 56 and / or in the second element 58.
  • the pressure expected in the fluid bearing 35 can be calculated by a data processing device 40. This may be done based on geometry data of the first element 56 and the second element 58, using a mathematical model known to those of ordinary skill in the art.
  • the pressure in the fluid bearing 35 can thus actually and directly, for example by means of the pressure sensor 78, actually and indirectly, for example by means of the at least one load cell 72, the at least one strain gauge 74 and / or the distance sensor 76 done.
  • the determination of the pressure can but also on a theoretical basis based on known geometry data of the first element 56 and the second element 58 using a mathematical model in the data processing device 40 done.
  • FIG. 4 shows a schematic flow diagram of an embodiment of a method 90.
  • the method begins in a step 92.
  • a step 94 a provision of the machine 10 for processing or measuring the workpiece 32 is shown, with the first element 56 and the second element 58, the first element 56 being the first bearing surface 57 and the second element 58 has the second bearing surface 59.
  • the first bearing surface 57 and the first element 56 and the second bearing surface 59 and the second element 58 are supported by means of the at least one fluid bearing 35 to each other.
  • the control device 38 is provided for controlling the machine 10.
  • step 95 the first element 56 and the second element 58 to move relative to each other.
  • it is not absolutely necessary to carry out this step.
  • step 95 which can be carried out several times, the entire range of movement of the first element 56 and the second element 58 is successively passed through.
  • the entire range of motion is passed through continuously, wherein a constant determination of the pressure takes place in the fluid bearing 35.
  • a step 96 the determination of a variable representing a pressure in the at least one fluid bearing 35 then takes place depending on a Position and / or orientation of the first element 56 relative to the second element 58.
  • This step of determining can actually be carried out on the basis of sensor data, the sensor data determining the quantity representing the pressure. This may be either directly to the pressure itself or to a value indirectly representing the pressure, such as the width of the fluid bearing gap 70 act.
  • a detection of geometric data of the first element 56 and the second element 58 has taken place.
  • the pressure to be expected at the corresponding relative position and / or orientation of the first element 56 to the second element 58 can then be theoretically determined based on the geometry data of the first element 56 and the second element 58 using a mathematical model.
  • This geometry data may have been predetermined in the context of step 97, for example in the context of quality assurance. In this case, it is not necessary to travel through the movement range in one or more steps 95, in particular successively.
  • a correction value for a pressure in the at least one fluid bearing 35 for the position and / or orientation of the first element 56 relative to the second element 58 is then determined.
  • This correction value is then stored with the associated position and / or orientation of the first element 56 relative to the second element 58 in the control device in a step 100.
  • the moving step 95 may be continued until the entire range of movement of the first member 56 has passed relative to the second member 58.
  • the step of depositing 100 and / or the step of determining 98 is performed only once and the step of moving 95 is carried out already after the step of determining 98 or the step of determining 96.
  • the method can then end in a step 106.
  • a correction value is stored in the control device in the context of a step 100 and can then be queried during step 104 , and the monitoring of the warehouse thus be corrected.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
  • Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren (90) zum Ermitteln eines Korrekturwerts für eine Überwachung eines Fluidlagers (35) einer Maschine (10) zum Bearbeiten oder Vermessen eines Werkstücks (32), insbesondere eines Koordinatenmessgeräts, mit den Schritten: Bereitstellen (94) der Maschine (10) zum Bearbeiten oder Vermessen eines Werkstücks (32), mit einem ersten Element (56) und einem zweiten Element (58), wobei das erste Element (56) und das zweite Element (58) mittels mindestens eines Fluidlagers (35) aneinander abgestützt sind, und mit einer Steuerungseinrichtung (38) zum Steuern der Maschine (10), Ermitteln (96) einer einen Druck in dem mindestens einen Fluidlager (35) repräsentierenden Größe abhängig von einer Position und/oder Orientierung des ersten Elements (56) relativ zu dem zweiten Element (58), Bestimmen (98) eines Korrekturwerts für einen Druck in dem mindestens einen Fluidlager (35) für die Position und/oder Orientierung des ersten Elements (56) relativ zu dem zweiten Element (58), und Hinterlegen (100) des Korrekturwerts in der Steuerungseinrichtung (38).

Description

Verfahren zum Ermitteln eines Korrekturwerts für eine Überwachung eines Fluidlagers und Maschine mit mindestens einem Fluidlager
[0001] Die vorliegende Erfindung betrifft Verfahren zum Ermitteln eines Korrekturwerts für eine Überwachung eines Fluidlagers einer Maschine zum Bearbeiten oder Vermessen eines Werkstücks, insbesondere eines Koordinatenmessgeräts, mit dem Schritt des Bereitstellens der Maschine zum Bearbeiten oder Vermessen eines Werkstücks, mit einem ersten Element und einem zweiten Element, wobei das erste Element und das zweite Element mittels mindestens eines Fluidlagers aneinander abgestützt sind bzw. abstützbar sind, und mit einer Steuerungseinrichtung zum Steuern der Maschine.
[0002] Des Weiteren betrifft die vorliegende Erfindung eine Maschine zum Bearbeiten und/oder Vermessen eines Werkstücks, insbesondere Koordinatenmess- gerät, mit einem ersten Element und einem zweiten Element, wobei das erste Element und das zweite Element mittels mindestens eines Fluidlagers aneinander abgestützt sind bzw. abstützbar sind, mit einer Druckermittlungseinrichtung zum Ermitteln einer einen Druck in dem mindestens einen Fluidlager repräsentierenden Größe, und mit einer Steuerungseinrichtung zum Steuern der Maschine .
[0003] Verfahren zum Überwachen von Fluidlagern und Maschinen, insbesondere Koordinatenmessgeräte, mit überwachten Fluidlagern sind beispielsweise aus der Druckschrift WO 2010/054767 AI bekannt.
[0004] Koordinatenmessgeräte sind im Stand der Technik weit verbreitet. Ein Koordinatenmessgerät ist eine Maschine mit einem Messkopf, der relativ zu einem Messobjekt in einem Messvolumen verfahren werden kann. Der Messkopf wird in eine definierte Position relativ zu einem Messpunkt an dem Messobjekt gebracht. Bei taktilen Koordinatenmessgeräten wird der Messpunkt beispielsweise mit einem am Messkopf angeordneten Taststift angetastet. Anschließend lassen sich Raumkoordinaten des Messpunktes anhand der bekannten Stellung des Messkopfes im Messvolumen bestimmen. Wenn man an einem Messobjekt die Raumkoordinaten von mehreren definierten Messpunkten bestimmt, lassen sich außerdem geometrische Abmessungen oder sogar die Raumform des Messobjektes bestimmen. Sie dienen dazu, beispielsweise im Rahmen einer Qualitätssicherung Werkstücke zu überprüfen oder die Geometrie eines Werkstücks vollständig im Rahmen eines sogenannten "Reverse Engineering" zu ermitteln. Darüber hinaus sind vielfältige weitere Anwendungsmöglichkeiten denkbar.
[0005] In derartigen Koordinatenmessgeräten können verschiedene Arten von Sensoren zur Anwendung kommen, um die Koordinaten eines zu vermessenden Werkstücks zu erfassen. Beispielsweise sind hierzu taktil messende Sensoren bekannt, wie sie beispielsweise von der Anmelderin unter der Produktbezeichnung "VAST", "VAST XT" oder "VAST XXT" vertrieben werden. Hierbei wird die Oberfläche des zu vermessenden Werkstücks mit einem Taststift angetastet, dessen Koordinaten im Messraum ständig bekannt sind. Ein derartiger Taststift kann auch entlang der Oberfläche eines Werkstücks bewegt werden, so dass in einem solchen Messvorgang im Rahmen eines sogenannten "Scanning-Verfahrens" eine Vielzahl von Messpunkten in festgelegten zeitlichen Abständen erfasst werden kann.
[0006] Darüber hinaus ist es bekannt, optische Sensoren einzusetzen, die ein berührungsloses Erfassen der Koordinaten eines Werkstücks ermöglichen. Ein Beispiel für einen derartigen optischen Sensor ist der unter der Produktbezeichnung "ViScan" von der Anmelderin vertriebene optische Sensor.
[0007] Die Sensoren können dann in verschiedenen Arten von Messaufbauten verwendet werden. Ein Beispiel für einen solchen Messaufbau ist das Produkt "O- INSPECT" der Anmelderin. Bei einem derartigen Gerät finden sowohl ein optischer Sensor als auch ein taktiler Sensor Anwendung, um verschiedene Prüfaufgaben an einer Maschine und idealerweise mit einer einzigen Aufspannung eines zu vermessenden Werkstücks durchzuführen. Auf diese Weise lassen sich auf einfache Weise viele Prüfaufgaben beispielsweise in der Medizintechnik, der Kunststofftechnik, der Elektronik und der Feinmechanik durchführen. Selbstverständlich sind darüber hinaus auch verschiedene andere Aufbauten denkbar.
[0008] Klassischerweise ist der Sensorkopf mit einem Trägersystem bzw. Maschinengestell verbunden, welches das Sensorsystem stützt und bewegt. Im Stand der Technik sind verschiedene Trägersysteme bekannt, beispielsweise Portalsysteme, Ständer-, Horizontalarm- und Armsysteme, alle Arten von Robotersystemen und letztlich geschlossene CT-Systeme bei mit Röntgenstrahlen arbeitenden Sensorsystemen. Die Trägersysteme können dabei des Weiteren Systemkomponenten aufweisen, die ein möglichst flexibles Positionieren des Sensorkopfs ermöglichen. Ein Beispiel hierfür ist das unter der Bezeichnung "RDS" vertriebene Dreh-Schwenk-Gelenk der Anmelderin. Darüber hinaus können verschiedene Adapter vorgesehen sein, um die unterschiedlichen Systemkomponenten des Trägersystems untereinander und mit dem Sensorsystem zu verbinden. [0009] Wenngleich die vorliegende Erfindung bevorzugt bei Koordinaten- messgeräten zum Einsatz kommt, kann sie auch bei Werkzeugmaschinen und anderen Maschinen verwendet werden, bei denen ein Maschinenkopf mit hoher Genauigkeit relativ zu einem Werkstück oder dergleichen bewegt werden soll.
[0010] Sowohl Werkzeugmaschinen als auch Koordinatenmessgeräte besitzen einen verfahrbaren Arbeitskopf. Bei einem Koordinatenmessgerät, das nachfolgend exemplarisch zugrunde gelegt wird, ist der Kopf häufig am unteren freien Ende einer vertikal angeordneten Pinole befestigt. Die Pinole ist verfahrbar, so dass der Messkopf senkrecht zu einem Messtisch verfahren werden kann. Der Messtisch dient zur Aufnahme eines Messobjekts. Die Pinole ist ihrerseits an einem Querträger eines Portals angeordnet, und sie kann an dem Querträger in einer ersten Horizontalrichtung mittels eines Schlittens verfahren werden. Das Portal kann zusammen mit der Pinole in einer zweiten Horizontalrichtung verfahren werden, so dass der Messkopf insgesamt in drei zueinander senkrechten Raumrichtungen verfahren werden kann. Dabei bilden die Pinole, der Schlitten und das Portal ein Maschinengestell. Die maximalen Verfahrwege des Messkopfes entlang der drei Bewegungsrichtungen bestimmen ein Messvolumen, innerhalb dessen Raumkoordinaten an einem Messobjekt bestimmt werden können.
[0011] In ähnlicher Weise können Werkzeugmaschinen aufgebaut sein. Diese besitzen als Arbeitskopf typischerweise eine Spindel mit einem Werkzeugträger, der zur Bearbeitung eines Werkstücks verfahren wird. Neben Luftlagern sind auch sogenannte Hydrolager bekannt, die als Fluid eine Flüssigkeit anstatt von Luft verwenden. Mittels der Flüssigkeit wird dann ein Schmierfilm gebildet, auf dem zwei Elemente sich relativ zueinander gleitend bewegen können. Unter dem Begriff "Fluidlager" werden im Rahmen der vorliegenden Anmeldung sowohl Luftlager, also aerostatische oder aerodynamische Lager, als auch Hydrolager, also hydrostatische oder hydrodynamische Lager, verstanden. [0012] Selbstverständlich kann nicht nur das sensorkopfseitige Maschinengestell einer Maschine mit derartigen Lagern versehen sein. Auch eine Werkstückaufnahme einer Maschine kann etwa Luftlager aufweisen, beispielsweise wenn das Werkstück auf einem Drehtisch als Werkstückaufnahme angeordnet ist. Eine solcher Drehtisch wird bespielweise in dem Messgerät "PRISMO® Ultra mit RT-AB" der Anmelderin genutzt.
[0013] Des Weiteren offenbart die Druckschrift DE 36 37 410 AI ein Verfahren zum Bestimmen von Abweichungen eines Drehtisches von einer idealen Drehachse an einem Koordinatenmessgerät. Nach diesem Verfahren wird ein spezieller Prüfkörper mit einer Vielzahl von definierten Messpunkten auf den Drehtisch aufgelegt, und die Positionen der definierten Messpunkte werden anschließend mit Hilfe des Koordinatenmessgerätes in verschiedenen Winkelstellungen ermittelt. Aus den Sätzen von Messpunktkoordinaten werden dann rechnerisch die Laufabweichungen der Drehachse und die Winkelpositionsabweichung bestimmt. Auf diese Weise lassen sich axiale Abweichungen des Drehtisches, radiale Abweichungen und sogenannte Taumelabweichungen in der Bewegung des Drehtisches bestimmen.
[0014] Dir Druckschrift DE 34 19 546 AI offenbart ein Verfahren zum Ermitteln der Schwerpunktlage eines Prüfkörpers, der sehr kompliziert aufgebaut sein kann und viele Einzelteile mit unterschiedlichen spezifischen Gewichten besitzen kann, so dass die Schwerpunktlage nicht ohne Weiteres zu errechnen ist. Nach diesem Verfahren wird der Prüfkörper, der beispielsweise ein Kraftfahrzeug sein kann, auf einer Aufnahmeplatte angeordnet, die an definierten Lagerstellen auf den Tisch eines Koordinatenmessgerätes aufgelegt ist. An den Auflagestellen der Platte befinden sich Kraftmessdosen. Aus der Lageverteilung der Auflagestellen und den jeweils zugehörigen Auflagekräften kann man die Schwerpunktlage des Prüfkörpers berechnen, wobei die zunächst Undefinierte Relativlage des Prüfkörpers zu der Aufnahmeplatte mit dem Koordinatenmessgerät bestimmt wird. [0015] Die Druckschrift EP 0 866 233 A2 zeigt eine Vorrichtung zur Funktionsüberwachung und Stillsetzung für Luftlager, die eine Druckmessung zwischen der Lagerfläche und einer Grundplatte verwendet. Ein Druckwächter oder Drucksensor ist mit einem galvanischen Schalter verbunden, der wiederum mit der Steuerung einer Maschine verbunden ist.
[0016] Bei überwachten Luftlagern wird der Luftdruck im Luftlager direkt im Lagerspalt oder im Volumen zwischen Druckregler und Austrittsöffnung gemessen. Ziel der Lagerüberwachung ist meist eine Überwachung des Luftlagerspalts, um eine Überlastung des Luftlagers zu erkennen. Der Luftlagerdruck und die Breite bzw. Höhe des Luftlagerspalts sind dabei voneinander abhängig. Des Weiteren lassen sich aus den Lagerdrücken zum Beispiel Rückschlüsse auf das von einem luftgelagerten Tisch bewegte Werkstück ziehen. Hierzu werden häufig Kombinationen mehrer einzeln überwachter Luftlager eingesetzt, um zum Beispiel den Schwerpunkt oder das aktuelle, durch das Werkstück verursachte Kippmoment zu berechnen. Dies ist zum Beispiel in der Druckschrift DE 100 06 876 Cl oder der eingangs genannten Druckschrift WO 2010/054767 AI beschrieben.
[0017] Im Idealfall gleitet ein mit einer bestimmten Last beaufschlagtes Luftlager über eine perfekt ebene Gegenfläche. In diesem Fall würde der gemessene Luftlagerdruck einen konstanten Wert liefern, der diesem Belastungszustand entspricht. In der Realität weisen aber alle beteiligten Lagerkomponenten Fertigungstoleranzen auf. Luftgelagerte Drehtische werden mit unterschiedlich schweren Planscheiben ausgerüstet werden, die vom Anwender gewechselt werden können. Sollen dann nur Informationen über das Werkstück gewonnen werden, sind die durch das Planscheibengewicht verursachten Offsets der Druckmessung und die durch die Fertigungstoleranzen der Lagerflächen verursachten Schwankungen störend.
[0018] Im Falle eines den Druck in dem Luftlager relativ zu einem Umgebungsluftdruck messenden Sensors können zudem wetterabhängige Schwankungen des Umgebungsluftdrucks eine Störgröße bilden, die ggf. nur durch zusätzliche Drucksensoreinrichtungen eliminiert werden kann. Hierdurch erhöht sich jedoch wiederum der Aufwand für den apparativen Aufbau.
[0019] Es ist daher eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, zumindest einen der voranstehend beschriebenen Nachteile zu beseitigen, insbesondere werkstückunabhängige Druckschwankungen zu eliminieren, und eine Verfahren, das eine verbesserte Überwachung eines Fluidlagers ermöglicht, und eine verbesserte Maschine mit einem solchen Fluidlager anzugeben.
[0020] Daher wird gemäß einem ersten Aspekt der Erfindung vorgeschlagen, das eingangs genannte Verfahren zum Ermitteln eines Korrekturwerts für eine Überwachung eines Fluidlagers einer Maschine zum Bearbeiten oder Vermessen eines Werkstücks, insbesondere eines Koordinatenmessgeräts, mit den folgenden Schritten weiterzubilden:
- Ermitteln einer einen Druck in dem mindestens einen Fluidlager repräsentierenden Größe abhängig von einer Position und/oder Orientierung des ersten Elements relativ zu dem zweiten Element,
- Bestimmen eines Korrekturwerts für einen Druck in dem mindestens einen Fluidlager für die Position und/oder Orientierung des ersten Elements relativ zu dem zweiten Element, und
- Hinterlegen des Korrekturwerts in der Steuerungseinrichtung.
[0021] Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung wird vorgeschlagen, die eingangs genannte Maschine dahingehend weiterzubilden, dass die Druckermittlungseinrichtung dazu ausgebildet ist, eine den Druck in dem mindestens einen Fluidlager repräsentierende Größe abhängig von einer Position und/oder Orientierung des ersten Elements relativ zu dem zweiten Element zu ermitteln und als Korrekturwert an die Steuerungseinrichtung auszugeben. [0022] Unter dem Begriff "Fluidlager" werden im Rahmen der vorliegenden Anmeldung sowohl Luftlager, also aerostatische oder aerodynamische Lager, als auch Hydrolager, also hydrostatische oder hydrodynamische Lager, verstanden. Insbesondere kann das Fluidlager ein Luftlager sein. Werden in einem Fluidlager zwei reale Flächen relativ zueinander bewegt, sind an einem Drucksensor unterschiedliche Drücke messbar, obwohl sich die Belastung des Fluidlagers während der Bewegung nicht geändert hat. Der gemessene Fluidlagerdruck hat also eine orts- und/oder orientierungsabhängige Komponente. Durch die vorgeschlagene Erfindung kann die orts- und/oder orientierungsabhängige Komponente jedoch mittels einer sogenannten "Computer aided accuracy"(CAA) -Korrektur eliminiert werden.
[0023] Dazu werden in dem mindestens einen Fluidlager eine erste Lagerfläche des ersten Elements und eine zweite Lagerfläche des zweiten Elements relativ zueinander bewegt und die sich ergebenden Drücke aufgezeichnet. Aus den Drücken lässt sich dann die Druckschwankung bzw. ein Korrekturwert für einen gemessenen Druck orts- und/oder orientierungsabhängig bestimmen und in der Steuerungseinrichtung hinterlegen. Das Bestimmen kann dabei bereits in der Steuerungseinrichtung stattfinden oder aber in einer gesonderten Datenverarbeitungseinheit. Im anschließenden Messbetrieb werden die Korrekturwerte dann verwendet.
[0024] Auf diese Weise ist gewährleitstet, dass die dann während des Messbetriebs gemessenen Druckunterschiede nur durch das Werkstück und dessen Aufspannung verursacht sind.
[0025] Die vorgeschlagene CAA-Korrektur kann daher alle im System der Maschine vorhandenen Offsets, insbesondere elektrische Offsets der verwendeten Sensoren, ortsabhängige Schwankungen einer eventuell vorgesehenen magnetischen Vorspannkraft und pneumatische Offsets, eliminieren. Des Weiteren werden alle nicht durch das Werkstück, sondern durch Änderungen der Aufbauten, zum Beispiel eine andere Planscheibe eines Drehtischs, oder Änderungen eines Maschinengestells verursachte Druckschwankungen eliminiert. [0026] Insbesondere kann der Schritt des Ermitteins zeitnah vor einer anschließenden Vermessung bzw. Bearbeitung des Werkstücks durchgeführt werden. Dann werden auf diese Weise auch durch wetterabhängige Schwankungen des Umgebungsluftdrucks bedingte Störungen eliminiert.
[0027] Dynamische Effekte in dem Fluidlager können unter Umständen vernachlässigbar sein. Auch Druckänderungen aufgrund dynamischer Effekte lassen sich jedoch korrigieren, indem ein Fluidlager für verschiedene Belastungen und Bewegungsgeschwindigkeiten kalibriert wird. Beispielsweise bei einem Drehtisch, der derart belastet ist, dass ein Kippmoment vorliegt, wandert die Lagerbelastung mit der Drehtischposition. Die Fortpflanzung einer Druckänderung in dem Fluidlager benötigt typischerweise mehrere Zehntelsekunden, jedoch abhängig von der Drehgeschwindigkeit. Es können somit unter Umständen sowohl belastungs- als auch drehgeschwindigkeitsabhängige Drücke in dem Fluidlager vorliegen. In diesem Fall müsste die Kalibrierung für verschiedene Lastfälle und in jedem Lastfall mit verschiedenen Bewegungsgeschwindigkeiten durchgeführt werden. Die Ergebnisse würden dann ebenfalls in der Steuerungseinrichtung hinterlegt.
[0028] Das erste Element und das zweite Element sind mittels eines zwischen die erste Lagerfläche des ersten Elements und die zweite Lagerfläche des zweiten Elements einbringbaren Fluids aneinander abstützbar. Das Fluidlager an sich ist somit durch die einander gegenüberliegenden erste Lagerfläche und zweite Lagerfläche bereitgestellt, zwischen die ein Fluid einbringbar ist. Bei dem Fluid handelt es sich insbesondere um Luft, es kann sich jedoch auch um ein anderes Gas handeln. Das Fluid wird unter einem gewissen Druck stehend zwischen die erste Lagerfläche und die zweite Lagerfläche eingefüllt bzw. eingedüst. Dadurch wird der Lagerspalt hervorgerufen bzw. erzeugt. Das Fluid kann dann durch den Lagerspalt strömen. Auf diese Weise wird das Fluidlager zwischen dem ersten Element und dem zweiten Element bereitgestellt. Im Betrieb der Maschine ist das Fluidlager somit durch den von dem Fluid bzw. der Luft durchströmten Lagerspalt zwischen der ersten Lagerfläche und der zweite Lagerfläche bereitgestellt. Das Fluidlager weist somit die erste Lagerfläche des ersten Elements und die zweite Lagerfläche des zweiten Elements sowie einen zwischen die erste Lagerfläche und die zweite Lagerfläche einbringbaren Fluid- bzw. Luftstrom bzw. einbringbares Fluid bzw. einbringbare Luft auf, die bzw. der die erste Lagerfläche und die zweite Lagerfläche aneinander abstützt. Unter dem Druck in einem Fluidlager kann somit insbesondere der statische Druck der Luft zwischen der ersten Lagerfläche und der zweiten Lagerfläche verstanden werden.
[0029] Die eingangs genannte Aufgabe wird somit vollständig gelöst.
[0030] In einer Ausführungsform der Erfindung kann vorgesehen sein, dass der Schritt des Ermitteins für eine Vielzahl von Positionen und/oder Orientierungen des ersten Elements relativ zu dem zweiten Element durchgeführt wird.
[0031] Insbesondere können die Schritte des Ermitteins und des Bestimmens, und insbesondere auch des Hinterlegens, für eine Vielzahl von Positionen und/oder Orientierungen des ersten Elements relativ zu dem zweiten Element werden.
[0032] Insbesondere kann dabei vorgesehen sein, dass die Vielzahl von Positionen und/oder Orientierungen den gesamten Bereich einer relativen Bewegung zwischen dem ersten Element und dem zweiten Element in diskreten Schritten abdeckt.
[0033] Folglich wird der gesamte Bewegungsbereich, den eine erste Lagerfläche des ersten Elements und eine zweite Lagerfläche des zweiten Elements relativ zueinander ausführen können, schrittweise bzw. stufenweise durchlaufen und für jeden Schritt bzw. jede Stufe ein Druck ermittelt und ein Korrekturwert bestimmt. Dabei können die Schritte bzw. Stufen beliebig fein gewählt werden. Es versteht sich, dass im Falle einer linearen Bewegung bestimmte Abstände zwischen einzelnen Schritten vorgegeben werden können, beispielsweise 5 mm, 1 cm oder 5 cm. Bei Drehbewegungen können beispielsweise Winkel vorgegeben werden, beispielsweise 0,5°, 1°, 2° usw. Insbesondere bei Drehtischen, die nach einer vollständigen Umdre- hung wieder dieselbe relative Lage der ersten Lagerfläche und der zweiten Lagerfläche relativ zueinander erreichen, kann somit eine hohe Auflösung der Korrekturwerte im gesamten Bewegungsbereich gewählt und erhalten werden. Ein Bereich zwischen den einzelnen, in den diskreten Schritten bestimmten Korrekturwerten kann mittels einer Interpolation bestimmt werden. Etwa kann eine lineare Interpolation durchgeführt werden. Es kann beispielsweise auch ein Polynom- Ansatz gewählt werden, um eine Funktion für die Korrekturwerte über mehrere, in den diskreten Schritten bestimmte Korrekturwerte zu finden.
[0034] Grundsätzlich kann anstatt einer Bewegung in diskreten Schritten auch eine kontinuierliche Bewegung ausgeführt werden. Folglich werden dann die ersten Lagerfläche und die zweite Lagerfläche zumindest während des Schritts des Ermitteins kontinuierlich relativ zueinander bewegt. Es wird somit eine Art„Scan- ning- Vorgang" bei der Ermittlung bereitgestellt. Eventuell können dabei Ungenauig- keiten auftreten, da die pneumatische Angleichsvorgänge nicht genügend Zeit haben, um einen stabilen Zustand einzustellen. Hierzu kann vorgesehen sein, abhängig von einer Geschwindigkeit der kontinuierlichen Bewegung einen, beispielsweise empirisch ermittelten, Korrekturwert vorzusehen. Mit dem Korrekturwert können dann die während einer kontinuierlichen Bewegung ermittelt, einen Druck repräsentierenden Größen korrigiert werden. Diese entsprechen dann in ihrer Genauigkeit den mittels einer Bewegung in diskreten Schritten ermittelten Größen. Des Weiteren ist es möglich, aus mehreren in einem bestimmten Bereich ermittelten Messwerten bzw. Größen einen Mittelwert zu bilden.
[0035] Dabei kann vorgesehen sein, dass zunächst für jede Position und/oder Orientierung des ersten Elements relativ zu dem zweiten Element der Schritt des Ermitteins durchgeführt wird. Für den so ermittelten Datensatz kann dann einmalig ein Schritt des Bestimmens zur Bestimmung aller Korrekturwerte durchgeführt werden, die dann in einem Schritt des Hinterlegens hinterlegt werden. Es kann aber auch vorgesehen sein, dass zunächst für jede Position und/oder Orientierung des ersten Elements relativ zu dem zweiten Element die Schritte sowohl des Ermitteins als auch des Bestimmens durchgeführt werden. Es wird somit nach jedem Schritt des Ermitteins unmittelbar der entsprechende Korrekturwert bestimmt. Anschließend werden dann alle Korrekturwerte gemeinsam in dem Schritt des Hinterlegens hinterlegt. Letztlich kann auch vorgesehen sein, dass für jede Position und/oder Orientierung des ersten Elements relativ zu dem zweiten Element die Schritte des Ermitteins, des Bestimmens und des Hinterlegens durchgeführt werden. Dabei werden dann in jeder Position und/oder Orientierung des ersten Elements relativ zu dem zweiten Element alle Schritte durchgeführt und die Korrekturwerte sukzessive hinterlegt.
[0036] In einer Ausführungsform der Erfindung kann vorgesehen sein, dass das erste Element und das zweite Element jeweils ein Element einer Werkstückaufnahme zur Aufnahme eines Werkstücks ist. Insbesondere kann dabei vorgesehen sein, dass das erste Element ein Drehtisch oder ein Rotor eines Drehtischs und das zweite Element eine Basis, auf der der Drehtisch abgestützt ist, oder ein Stator eines Drehtischs ist.
[0037] Selbstverständlich kann es sich dabei auch bei dem ersten Element und dem zweiten Element um Elemente des Drehtischs handeln. Beispielsweise kann das erste Element ein Rotor des Drehtischs und das zweite Element ein Stator des Drehtischs sein. Die Basis kann dabei ebenfalls ein Element eines Maschinengestells bilden, an dem ein Arbeitskopf der Maschine angeordnet ist.
[0038] Auf diese Weise kann somit ein quasi werkstückseitig angeordnetes Fluidlager bzw. Luftlager, insbesondere eine Lagerung eines Drehtischs, mittels der vorgeschlagenen Erfindung verbessert überwacht werden.
[0039] In einer Ausführungsform der Erfindung kann vorgesehen sein, dass die Maschine mehrere Fluidlager aufweist, wobei die Schritte des Ermitteins, des Bestimmens und des Hinterlegens für jedes der Fluidlager durchgeführt werden. [0040] Auf diese Weise kann auf eine Vielzahl von Fluidlagern eine verbesserte Überwachung bereitgestellt werden. Dies ermöglicht es, die durch eine Überwachung einer Vielzahl von Fluidlagern möglichen Vorteile zu nutzen. Beispielsweise kann so ein durch das Werkstück verursachtes Kippmoment besser überwacht oder aber eine Schwerpunktlage des auf der Werkstückaufnahme angeordneten Werkstücks ermittelt werden.
[0041] In einer weiteren Ausführungsform kann vorgesehen sein, dass das erste Element und das zweite Element jeweils ein Element eines Maschinengestells der Maschine ist, wobei an dem Maschinengestell ein Arbeitskopf der Maschine angeordnet ist.
[0042] Bei dem Arbeitskopf kann es sich, beispielsweise im Falle eines Koor- dinatenmessgeräts, um einen Sensorkopf handeln, der beispielsweise einen optischen Sensor und/oder einen taktilen Sensor zum Vermessen des Werkstücks aufweist. Des Weiteren kann es sich, beispielsweise im Falle einer Werkzeugmaschine, bei dem Arbeitskopf auch um einen Werkzeugkopf handeln, der ein Werkzeug, beispielsweise ein Dreh-, Fräs- oder Schneidwerkzeug, trägt.
[0043] Mittels der vorgeschlagenen Erfindung ist es somit auch möglich, die Fluidlagerung bzw. Luftlagerung eines einen Arbeitskopf tragenden Maschinengestells einer Maschine besser zu überwachen. Insbesondere eine Lagerbelastung und eine eventuelle Überlastung des Fluidlagers, bei dem die erste Lagerfläche und die zweite Lagerfläche miteinander in Kontakt kommen, kann somit präzise ermittelt werden. Dies ist insbesondere wichtig, um im Falle einer Überlastung des Fluidlagers möglichst umgehend einen Notstopp der Maschine einzuleiten und so Beschädigungen des Fluidlagers zu vermeiden.
[0044] In einer weiteren Ausführungsform der Erfindung kann vorgesehen sein, dass vor jedem Schritt des Ermitteins ein Schritt des Bewegens des ersten Elements und des zweiten Elements relativ zueinander derart ausgeführt wird, dass sich eine Position und/oder eine Orientierung des ersten Elements relativ zu dem zweiten Element ändert.
[0045] Auf diese Weise kann der relative Bewegungsbereich der ersten Lagerfläche des ersten Elements und der zweiten Lagerfläche des zweiten Elements, insbesondere sukzessive oder kontinuierlich, durchfahren werden. Die erste Lagerfläche und die zweite Lagerfläche werden somit zunächst um ein gewisses Maß relativ zueinander bewegt und verharren dann kurzzeitig in dieser Position. Die relative Position der ersten Lagerfläche relativ zu der zweiten Lagerfläche wird ermittelt und ebenso die einen Druck in dem Lager repräsentierende Größe. Dann werden die Schritte des Bestimmens und des Hinterlegens ausgeführt. Anschließend werden die erste Lagerfläche und die zweite Lagerfläche wiederum um ein gewisses Maß relativ zueinander bewegt, und die Schritte des Ermitteins, des Bestimmens und des Hinterlegern werden erneut ausgeführt.
[0046] Insbesondere können somit die Schritte des Ermitteins und des Bestimmens, und insbesondere des Hinterlegens, sowie insbesondere auch der Schritt des Bewegens, wiederholt durchgeführt werden, bis ein gesamter Bewegungsbereich des ersten Elements und des zweiten Elementsrelativ zueinander durchlaufen ist.
[0047] Somit kann vorgesehen sein, dass das Bewegen der ersten Lagerfläche relativ zu der zweiten Lagerfläche schrittweise erfolgt, wobei sich die Position und/oder die Orientierung des ersten Elements und des zweiten Elements während des Schritts des Ermitteins, insbesondere auch während des Schritts des Bestimmens und/oder des Schritts des Hinterlegens, relativ zueinander nicht ändert.
[0048] Des Weiteren kann vorgesehen sein, dass das Bewegen des ersten Elements relativ zu dem zweiten Element kontinuierlich erfolgt, wobei sich die Position und/oder die Orientierung des ersten Elements und des zweiten Elementswährend des Schritts des Ermitteins, insbesondere auch während des Schritts des Bestimmens und/oder des Schritts des Hinterlegens, relativ zueinander ändert. [0049] In einer Ausführungsform der Erfindung kann vorgesehen sein, dass die Schritte des Ermitteins, des Bestimmens und des Hinterlegens durchgeführt werden, ohne dass das Werkstück auf der Werkstückaufnahme angeordnet ist.
[0050] Auf diese Weise kann gewährleistet werden, dass durch das Werkstück verursachte Druckunterschiede bei der Überwachung erfasst werden können. Dies ist insbesondere für weitere Auswertungen, wie zum Beispiel das wirkende Kippmoment oder die Schwerpunktlage des Werkstücks, vorteilhaft.
[0051] In einer weiteren Ausführungsform des Verfahrens kann vorgesehen sein, dass das Verfahren des Weiteren die folgenden Schritte aufweist:
Anordnen des Werkstücks auf einer Werkstückaufnahme der Maschine und
Bearbeiten oder Vermessen des Werkstücks unter Berücksichtigung des Korrekturwerts.
[0052] Auf diese Weise ist es möglich, die Bearbeitung oder Vermessung des Werkstücks mit einer verbesserten Fluidlagerüberwachung durchzuführen. Der Schritt des Anordnens des Werkstücks auf einer Werkstückaufnahme der Maschine kann dabei unmittelbar nach dem Schritt des Bereitstellens erfolgen, er kann aber auch erst unmittelbar nach dem Schritt des Hinterlegens erfolgen.
[0053] In einer Ausführungsform der Erfindung kann vorgesehen sein, dass der Schritt des Ermitteins ausgeführt wird, indem der Druck direkt mittels eines Drucksensors ermittelt wird.
[0054] Insbesondere kann dabei vorgesehen sein, dass der Druck direkt in dem Fluidlager, das heißt in dem Fluidlagerspalt, ermittelt wird. Es kann aber auch vorgesehen sein, dass der Druck in einer der zu dem Fluidlager hinführenden Luftzuführungsleitungen ermittelt wird.
[0055] Durch die direkte Ermittlung des Drucks kann der Druck in dem Fluidlager unmittelbar bestimmt werden, ohne Umrechnungen vornehmen zu müssen, bei denen eine Genauigkeit der Ermittlung des Drucks abnehmen kann.
[0056] Insbesondere kann der Schritt des Bearbeitens oder Vermessens des Werkstücks unter Berücksichtigung des Korrekturwerts im kurzen zeitlichen Abstand nach dem Schritt des Hinterlegens erfolgen.
[0057] Auf diese Weise wird der Vorteil bereitgestellt, auch wetterabhängige Luftdruckschwankungen kalibrieren zu können.
[0058] In einer weiteren Ausführungsform des Verfahrens kann vorgesehen sein, dass der Schritt des Ermitteins ausgeführt wird, indem der Druck mittelbar über eine mittels mindestens eines Dehnmessstreifens oder mindestens eine Kraftmessdose erfasste Verformung des ersten und/oder des zweiten Elements ermittelt wird, oder indem der Druck mittelbar über eine mittels eines Abstandssensors erfasste Fluidla- gerspaltbreite zwischen dem ersten Element und dem zweiten Element ermittelt wird.
[0059] Durch die mittelbare Erfassung des Drucks können beispielsweise die Notwendigkeit, temperaturabhängige Korrekturen aufgrund eines relativ messenden Drucksensors vorzunehmen, vermieden werden. Die mittelbare Ermittlung des Drucks kann somit gegenüber der direkten Ermittlung robuster sein. Die Verwendung von Abstandssensoren anstelle von Drucksensoren kann des Weiteren sehr vorteilhaft sein, da die zu messenden Druckunterschiede, sehr gering ausfallen können. Abstandssensoren können sehr viel genauer und hochauflösender messen, so dass diese mittelbare Ermittlung eines Drucks bzw. Druckunterschieds genauer erfolgen kann. [0060] In einer weiteren Ausführungsform des Verfahrens kann vorgesehen sein, dass der Schritt des Ermitteins ausgeführt wird, indem aus vorbestimmten Geometriedaten des ersten Elements und des zweiten Elements ein erwarteter Druck oder Druckunterschied bzw. eine erwartete Druckänderung in dem Fluidlager abhängig von einer Position und/oder Orientierung des ersten Elements relativ zu dem zweiten Element berechnet bzw. ermittelt wird.
[0061] Dieser Schritt des Ermitteins kann beispielsweise in einer Datenverarbeitungseinrichtung ausgeführt werden. Diese Datenverarbeitungseinrichtung kann in der Steuerungseinrichtung der Maschine vorgesehen sein.
[0062] Die notwendigen Geometriedaten des ersten Elements und des zweiten Elements können beispielsweise nach einer Qualitätskontrolle in der Fertigung vorliegen, bei der das erste Element und das zweite Element vermessen wurden. Die tatsächlichen Geometrien der Bauteile sind damit bekannt und damit ihre Abweichungen von ihrer idealen vorgegebenen geometrischen Soll-Form. Aus diesen dann bekannten Formfehlern können über dem Durchschnittsfachmann bekannte mathematische Modelle die zu erwartenden Druckschwankungen in den Fluidlagern errechnet werden. Somit kann der Schritt des Ermitteins lediglich in einer Datenverarbeitungseinrichtung ausgeführt werden. Somit könnte eine für die vorgeschlagene CAA-Offset-Kalibrierung notwendige Zeitdauer verringert werden.
[0063] Es kann auch vorgesehen sein, dass ein Zusammenhang zwischen den Geometriedaten und dem erwarteten Druck bzw. Druckunterschied vorab empirisch in einem Laborversuch ermittelt wird. Aus dem so gewonnen Zusammenhang können auch die Parameter eines mathematischen Korrekturmodells bestimmt werden. Die Ergebnisse eines solchen Laborversuchs oder das mathematische Korrekturmodell können dann in der Datenverarbeitungseinrichtung oder der Steuerungseinrichtung hinterlegt werden. Im Betrieb könnte dann basierend auf den Geometriedaten die im Rahmen des Laborversuchs ermittelten Drücke bzw. Druckunterschiede ausgelesen werden. Aus diesen kann dann der Korrekturwert bestimmt werden. Die Korrekturwerte könnten auch zum Beispiel mit Hilfe des mathematischen Modells ermittelt werden, dessen Parameter basierend auf den Geometriedaten und den zuvor durchgeführten Laborversuchen bestimmt wurden.
[0064] In allen Ausführungsformen des Verfahrens kann vorgesehen sein, dass das Fluidlager ein Luftlager ist.
[0065] Entsprechend kann in einer Ausführungsform der Maschine vorgesehen sein, dass das erste Element ein Drehtisch und das zweite Element eine Basis ist, auf der der Drehtisch abgestützt ist.
[0066] Auch hier kann somit ein werkstückseitig angeordnetes Fluidlager bzw. Luftlager verbessert überwacht werden.
[0067] Damit kann insbesondere vorgesehen sein, dass die Maschine mehrere Fluidlager aufweist, die insbesondere ringförmig mit jeweils gleichen Abständen zu benachbarten Fluidlagern angeordnet sind.
[0068] Beispielsweise kann vorgesehen sein, dass ein Drehtisch auf sechs Fluidlagern angeordnet ist, die jeweils in einem Versatz von 60° relativ zueinander angeordnet sind.
[0069] Des Weiteren kann vorgesehen sein, dass die Druckermittlungseinrichtung mindestens eine jeweils einem Fluidlager zugeordnete Sensoreinrichtung aufweist, wobei die Sensoreinrichtung eine einen Druck in dem jeweiligen Fluidlager repräsentierende Größe erfasst.
[0070] Bei der mindestens einen Sensoreinrichtung kann es sich jeweils um einen Drucksensor oder mindestens einen Dehnmessstreifen oder mindestens eine Kraftmessdose oder einen Abstandssensor zum Erfassen einer Fluidlagerspaltbreite zwischen dem ersten Element und dem zweiten Element handeln. [0071] Wie bereits vorstehend ausgeführt wurde, kann somit situationsbedingt vorteilhaft sowohl eine direkte bzw. unmittelbare als auch eine indirekte bzw. mittelbare Ermittlung des Drucks in dem Fluidlager erfolgen. Selbstverständlich kann auch vorgesehen sein, dass verschiedene der vorgeschlagenen Sensorarten miteinander kombiniert werden, beispielsweise ein Drucksensor, der den Druck in dem Lager direkt erfasst, und eine der vorgeschlagenen indirekten Sensorarten, also ein Dehnmessstreifen, eine Kraftmessdose und/oder ein Abstandssensor. Auf diese Weise kann der Druck in dem Fluidlager redundant erfasst werden und die Genauigkeit so erhöht werden.
[0072] In einer weiteren Ausführungsform kann vorgesehen sein, dass die Druckermittlungseinrichtung eine Datenverarbeitungseinrichtung ist, die derart eingerichtet ist, dass sie anhand von Geometriedaten den zu erwartenden Druck oder die zu erwartende Druckänderung in dem Fluidlager ermittelt.
[0073] Auch bei der Maschine kann somit vorgesehen sein, dass anhand von vorbekannten Geometriedaten des ersten Elements und des zweiten Elements eine zu erwartende Druckschwankung in dem Fluidlager anhand eines dem Durchschnittsfachmann bekannten mathematischen Modells errechnet wird.
[0074] In allen Ausführungsformen können die vorgeschlagenen Abstandssensoren zum Erfassen einer Breite eines Fluidlagerspalts beliebige Abstandssensoren sein. Beispielsweise sind optisch messende Sensoren denkbar.
[0075] In allen Ausführungsformen der Maschine kann vorgesehen sein, dass das Fluidlager ein Luftlager ist.
[0076] Es versteht sich, dass die vorstehend genannten und die nachstehend noch zu erläuternden Merkmale nicht nur in der jeweils angegebenen Kombination, sondern auch in anderen Kombinationen oder in Alleinstellung verwendbar sind, ohne den Rahmen der vorliegenden Erfindung zu verlassen. [0077] Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt und werden in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 eine vereinfachte Darstellung einer Maschine gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung,
Fig. 2 das Koordinatenmessgerät aus Fig. 2 in einer Ansicht parallel zur y- Achse,
Fig. 3 eine schematische Ansicht einer möglichen Ausführungsform eines
Luftlagers, wie es in der in den Figuren 1 und 2 dargestellten Maschine zur Anwendung kommen kann,
Fig. 4 ein schematisches Ablaufdiagramm eines Ausführungsbeispiels eines
Verfahrens.
[0078] In Fig. 1 ist ein Ausführungsbeispiel der neuen Vorrichtung in Form einer Maschine 10 dargestellt, die als Koordinatenmessgerät ausgebildet ist. Die Erfindung ist jedoch nicht auf Koordinatenmessgeräte im engeren Sinne beschränkt, das heißt auf Messgeräte, bei denen mit Hilfe einer geeigneten Sensoreinrichtung Raumkoordinaten von Messpunkten an einem Werkstück bestimmt werden. Die Erfindung kann gleichermaßen bei anderen Arten von Messgeräten eingesetzt werden, bei denen das Werkstück auf einer Werkstückaufnahme angeordnet ist, und wobei die Werkstückaufnahme oder ein Maschinengestell der Maschine in mindestens einem separaten Fluidlager angeordnet ist.
[0079] Das Koordinatenmessgerät 10 besitzt eine Basis 12, auf der hier ein Portal 14 angeordnet ist. Das Portal 14 kann in einer ersten Längsrichtung bewegt werden, die üblicherweise als y-Achse bezeichnet wird. Am oberen Querträger des Portals 14 ist ein Schlitten 16 angeordnet, der entlang einer zweiten Längsachse bewegt werden kann. Diese zweite Längsachse wird üblicherweise als x-Achse be- zeichnet. An dem Schlitten 16 ist eine Pinole 18 angeordnet, die entlang einer dritten Längsachse bewegt werden kann. Die dritte Längsachse wird üblicherweise als z- Achse bezeichnet. Typischerweise stehen die drei Längsachsen x, y und z senkrecht zueinander. Das Portal 14, der Schlitten 16 und die Pinole 18 bilden ein Maschinengestell 17 aus.
[0080] Am unteren freien Ende der Pinole 18 ist ein Tastkopf 20 mit einem Taststift 22 angeordnet. Der Tastkopf 20 kann mit Hilfe des Portals 14, des Schlittens 16 und der Pinole 18 innerhalb eines Messvolumens entlang der drei Achsen x, y, z bewegt werden. Der Tastkopf 20 und der Taststift 22 bilden zusammen eine erste Sensoreinrichtung im Sinne der vorliegenden Erfindung. Mit Hilfe der ersten Sensoreinrichtung kann ein Messpunkt an einem Werkstück identifiziert werden, indem der Messpunkt mit der freien Spitze des Taststiftes 22 angetastet wird. Mit den Bezugsziffern 24, 26, 28 sind drei Skalen bezeichnet, mit deren Hilfe man die Raumposition oder Raumkoordinaten eines angetasteten Messpunktes entlang der drei Achsen x, y, z bestimmen kann. Durch Antasten mehrerer Messpunkte und Bestimmen von entsprechenden Raumkoordinaten kann man Abmessungen (Länge einer Kante, Durchmesser einer Bohrung etc.) oder sogar die Raumform eines Werkstücks bestimmen.
[0081] Das in Fig. 1 dargestellte Koordinatenmessgerät mit einem taktilen Tastkopf ist ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel. Die Erfindung ist darauf jedoch nicht beschränkt und kann gleichermaßen bei einem Messgerät in Ständerbauweise und/oder bei Messgeräten mit berührungslosen Sensoreinrichtungen angewendet werden, beispielsweise bei Messgeräten mit optischen Sensoren.
[0082] Des Weiteren weist die Maschine 10 eine Werkstückaufnahme 29 auf. Mit der Bezugsziffer 30 ist ein Drehtisch bezeichnet, auf dem hier ein Werkstück 32 angeordnet ist. Der Drehtisch 30 ist über ein Fluidlagersystem 34 auf der Basis 12 gelagert. Das Fluidlagersystem 34 weist mehrere Fluidlager 35 auf, die jeweils als Fluidpolster zwischen der Basis 12 und dem fluidgelagerten Drehtisch 30 ausgebildet sind. In einem besonders bevorzugten Ausführungsbeispiel ist der Drehtisch 30 ein runder Drehtisch (vgl. Fig. 2), der über sieben Fluidlager 35 auf der Basis 12 gelagert ist, wobei die sieben Fluidlager an der Unterseite des Drehtisches 30 gleichmäßig entlang des Außenumfangs verteilt sind. Insbesondere kann das Fluidlagersystem 34 ein Luftlagersystem sein. Insbesondere kann das Fluidlager 35 ein Luftlager sein. Das Fluid ist dann ein Gas. Das Gas ist Luft. Im Fall eines Hydrolagers bzw. eines Hydro- lagersystems ist das Fluid eine Flüssigkeit, bspw. ein Öl.
[0083] Mit der Bezugsziffer 36 ist eine räumliche Position bezeichnet, die hier den Schwerpunkt des Drehtisches 30 mit dem darauf angeordneten Werkstück 32 repräsentiert. Wie man anhand Fig. 1 erkennen kann, kann dieser Schwerpunkt aufgrund des Werkstücks 32 abseits von dem Kreismittelpunkt oder Zentrum des Drehtisches 30 liegen, was insbesondere dann der Fall ist, wenn der Massenschwerpunkt des Werkstücks 32 radial außerhalb von dem Kreismittelpunkt des Drehtisches 30 liegt.
[0084] Mit der Bezugsziffer 38 ist eine Steuerungseinrichtung bezeichnet, die einerseits dazu dient, die Bewegungen des Koordinatenmessgeräts 10 einschließlich der Bewegung des Tastkopfes 20 und des Drehtisches 30 über hier nicht dargestellte Antriebe zu steuern. Andererseits dient die Auswerte- und Steuereinheit 38 dazu, die Raumkoordinaten eines mit dem Taststift 22 angetasteten Messpunktes an dem Werkstück 32 anhand der Messwerte von den Skalen 24, 26, 28 sowie daraus abgeleitete Messgrößen zu bestimmen, wie etwa die Länge einer Kante, die Tiefe oder der Durchmesser einer Bohrung etc.
[0085] Die Steuerungseinrichtung 38 weist eine Datenverarbeitungseinrichtung 40 auf, auf der ein Auswerte- und Steuerprogramm (hier nicht dargestellt) ausgeführt wird. In bevorzugten Ausführungsbeispielen besitzt die Steuerungseinrichtung 38 ferner eine Anzeigeeinrichtung 41, um einem Nutzer Messergebnisse anzuzeigen und/oder eine graphische Bedienoberfläche zum Verwalten der Maschine anzuzeigen. Hierzu ist des Weiteren eine Bedieneinrichtung 42 vorgesehen, über die ein Nutzer Nutzereingaben in die Maschine eingeben kann, um die Maschine wie gewünscht einzurichten und/oder zu steuern. Die Bedieneinrichtung 42 kann separat oder aber auch als Teil der Steuerungseinrichtung 38 vorgesehen sein. Selbstverständlich kann insbesondere auch eine kabellose Kommunikation der Bedieneinrichtung 42 und Steuerungseinrichtung 38 mit der Maschine 10 eingerichtet sein.
[0086] Neben dem Fluidlager 35 des Fluidlagersystems 34, das zur Lagerung der Werkstückaufnahme 29 Anwendung findet, können kumulativ oder alternativ selbstverständlich auch weitere Orte in der Maschine 10 vorgesehen sein, an denen ein Fluidlager 35 mit verbesserter Überwachung angeordnet ist. Beispielsweise kann ein derartiges Fluidlager auch in dem Maschinengestell 17 Anwendung finden, das den Arbeitskopf 20 trägt. So kann beispielsweise die Pinole 18 gegenüber dem Schlitten 16 mittels eines schematisch eingezeichneten Fluidlagers 44 abgestützt sein. Des Weiteren kann selbstverständlich auch der Schlitten 16 relativ zu dem Portal 18 mittels eines schematisch dargestellten Fluidlagers 45 abgestützt sein. Des Weiteren kann natürlich auch das Portal 18 an der Basis 12 mittels eines schematisch dargestellten Fluidlagers 46 abgestützt sein.
[0087] In der Seitenansicht gemäß Fig. 2 ist die Drehachse 48 des drehbaren Drehtisches 30 dargestellt. Der Drehtisch 30 kann in Richtung des Pfeils 49 um die Drehachse 48 herum gedreht werden, wobei der Drehtisch 30 mit Hilfe eines Fluidlagersystems 34 gleitet, das die Vielzahl von Fluidlagern 35 aufweist. Mit der Bezugsziffer 50 ist eine Druckermittlungseinrichtung bezeichnet, die beispielsweise als ein Drucksensor ausgebildet sein kann. Die Maschine 10 weist eine Vielzahl von Druckermittlungseinrichtungen 50 auf, um den individuellen Fluiddruck an jedem Fluidlager 35 zu bestimmen. Die mit Hilfe der Druckermittlungseinrichtungen 50 bestimmten Fluiddrücke repräsentieren die individuelle Lagerbelastung an dem jeweils zugeordneten Fluidlager 35.
[0088] Insbesondere kann in der dargestellten Ausführungsform vorgesehen sein, dass sechs oder sieben Fluidlager 35 vorgesehen sind, die das Fluidlagersystem 34 ausbilden. Die Fluidlager 35 sind insbesondere ringförmig zwischen dem Drehtisch 30 und der Basis 12 angeordnet. Dabei weisen die Fluidlager 35 gleiche Abstände zwischen sich auf. Insbesondere können sie bezüglich der Drehachse 48 jeweils in gleichen Winkelabständen angeordnet sein. Bei insgesamt sechs Fluidlagern 35 kann somit zwischen ihnen jeweils ein Winkel von 60° gebildet sein.
[0089] Fig. 3 zeigt eine Ausführungsform eines Fluidlagers 35, wie es in der Maschine in der Fig. 1 zum Einsatz kommen kann. Dabei können mittels des Fluidlagers 35 ein erstes Element 56 und ein zweites Element 58 aneinander abgestützt werden.
[0090] Hierzu kann in der dargestellten Ausführungsform in dem zweiten Element 58 eine Aussparung 62 gebildet sein, in der ein Magnet 64 angeordnet ist, der als Permanentmagnet ausgebildet ist. Bei dem Magneten 64 kann es sich beispielsweise um einen Permanentmagneten oder um einen Elektromagneten handeln. Die Aussparung 62 ist dabei in einer Lagerfläche 59 des zweiten Elements 58 gebildet. Auf diese Weise ist es möglich, ein sogenanntes vorgespanntes Fluidlager 35 einzurichten. Das Fluidlager 35 muss jedoch nicht zwingend vorgespannt ausgeführt sein. Selbstverständlich können die Aussparungen 62 und der Magnet 64 auch in dem ersten Element 56 angeordnet sein. Die Anordnung in dem zweiten Element 58 ist lediglich beispielhaft zu verstehen.
[0091] In dem Fluidlager 35 liegen sich eine erste Lagerfläche 57 des ersten Elements 56 und eine zweite Lagerfläche 59 des zweiten Elements 58 gegenüber und bilden zwischen sich einen Fluidlagerspalt 70 aus, der mit dem Bezugszeichen 70 bezeichnet ist. Wenn das Fluidlager 35 ein Luftlager ist, bildet die zwischen der ersten Lagerfläche 57 und der zweiten Lagerfläche 59 strömende Luft entsprechend ein Luftlagerspalt zwischen der ersten Lagerfläche 57 und der zweiten Lagerfläche 59 aus. Das erste Element 56 ist schematisch mit gestrichelten Linien dargestellt. Des Weiteren ist die Beabstandung der ersten Lagerfläche 57 und der zweiten Lagerfläche 59 in ihrer Dimension lediglich beispielhaft zu verstehen und zu Darstellungszwecken gewählt. Das erste Element 56 und das zweite Element 58 sind mittels eines zwischen der erste Lagerfläche 57 und der zweiten Lagerfläche 59 einbringbaren Fluids 81, beispielsweise Luft, aneinander abstützbar. Das Fluidlager 35 an sich ist somit durch die einander gegenüberliegenden erste Lagerfläche 57 und zweite Lagerfläche 59 bereitgestellt, zwischen die das Fluid 81 einbringbar ist. Das Fluid 81 wird unter einem gewissen Druck stehend zwischen der erste Lagerfläche 57 und die zweite Lagerfläche 59 eingefüllt bzw. eingedüst. Das Fluid 81 strömt dann durch den Fluid- lagerspalt 70. Auf diese Weise wird das Fluidlager 35 zwischen dem ersten Element 56 und dem zweiten Element 58 bereitgestellt. Im Betrieb der Maschine 10 ist das Fluidlager 35 somit durch den von dem Fluid 81 durchströmten Fluidlagerspalt 70 zwischen der ersten Lagerfläche 57 bzw. dem ersten Element 56 und der zweite Lagerfläche 59 bzw. dem zweiten Element 58 bereitgestellt.
[0092] In der ersten Lagerfläche 57 und/oder der zweiten Lagerfläche 59 können Fluideinlassöffnungen 66, 66' vorgesehen sein, durch die das Fluid 81 in den Fluidlagerspalt 70 eingedüst bzw. eingebracht wird.
[0093] Auf diese Weise wird es möglich, dass das erste Element 56 und das zweite Element 58 relativ zueinander eine gleitende Bewegung ausführen, wie mit einem Doppelpfeil 68 angedeutet ist. Die Bewegung kann dabei verschleißfrei erfolgen, wobei die Elemente 56, 58 sicher aufeinander abgestützt und geführt sind.
[0094] Bei der Bewegungsausführung kann dabei vorgesehen sein, dass das zweite Element 58 feststeht, das heißt sich absolut nicht bewegt, und dass das erste Element 56 bewegt wird, das heißt sich sowohl absolut als auch relativ zu dem zweiten Element 58 bewegt. Selbstverständlich kann dies auch anders herum ausgeführt sein, das heißt, das zweite Element 58 bewegt sich, und das erste Element 56 steht fest. Selbstverständlich kann darüber hinaus auch vorgesehen sein, dass sowohl das erste Element 56 als auch das zweite Element 58 in einem absoluten Koordinatensystem eine Bewegung ausführen und sich darüber hinaus auch relativ zueinander bewegen. [0095] Die verschiedenen Druckermittlungseinrichtungen sind in den Figuren 1, 2 und 3 mit den Bezugszeichen 50, 50' und 50" sowie 50"' gekennzeichnet. Grundsätzlich kann vorgesehen sein, dass der Druck in dem Fluidlager 35 mittels eines Drucksensors 78 direkt ermittelt wird. Der Drucksensor 78 kann dabei absolut oder relativ zu seinem Umgebungsdruck den Druck in dem Fluidlager 35 bestimmen. Dies kann direkt in dem Fluidlagerspalt 70 zwischen der ersten Lagerfläche 57 und der zweiten Lagerfläche 59 erfolgen, es kann aber beispielsweise auch in einer Zuführungsleitung erfolgen, die das unter Druck stehende Fluid 81 zu einer der Fluideinlas- söffnungen 66, 66' leitet.
[0096] Des Weiteren kann vorgesehen sein, dass der in dem Fluidlager 35 vorherrschende Druck bzw. eine Druckänderung anhand von Verformungen des ersten Elements 56 und/oder des zweiten Elements 58 erfasst wird. Insbesondere kann dies unter Kenntnis eines ohne die erfasste Verformung vorherrschenden Solldrucks in dem Fluidlager 35 durchgeführt werden. Aus der Verformung kann dann auf eine Änderung des Solldrucks geschlossen werden. Hierzu können beispielsweise mindestens eine Kraftmessdose 72 und/oder mindestens ein Dehnmessstreifen 74 vorgesehen sein, die an dem ersten Element 56 angebracht sind. Sie können selbstverständlich auch mit dem zweiten Element 58 alternativ oder kumulativ verbunden sein. Es ist auch möglich, dass ein Abstandssensor 76 vorgesehen ist, der eine Fluidlagerspaltbreite 70 erfasst. Dieser Sensor kann beispielsweise als optischer Sensor ausgestaltet sein. Die Sensoren 72, 74, 76, 78 können dabei beispielsweise in dem ersten Element 56 und/oder in dem zweiten Element 58 angeordnet sein.
[0097] Letztlich ist es auch möglich, dass der in dem Fluidlager 35 erwartete Druck von einer Datenverarbeitungseinrichtung 40 berechnet wird. Dies kann anhand eines dem Durchschnittsfachmann bekannten mathematischen Modells basierend auf Geometriedaten des ersten Elements 56 und des zweiten Elements 58 geschehen. Der Druck in dem Fluidlager 35 kann somit tatsächlich und direkt, beispielsweise mittels des Drucksensors 78, tatsächlich und indirekt, beispielsweise mittels der mindestens einen Kraftmessdose 72, des mindestens einen Dehnmessstreifens 74 und/oder des Abstandssensors 76 erfolgen. Die Ermittlung des Drucks kann aber auch auf theoretischer Basis anhand von vorbekannten Geometriedaten des ersten Elements 56 und des zweiten Elements 58 anhand eines mathematischen Modells in der Daten Verarbeitungseinrichtung 40 erfolgen.
[0098] In Fig. 4 ist ein schematisches Ablaufdiagramm einer Ausführungsform eines Verfahrens 90 dargestellt.
[0099] Das Verfahren beginnt in einem Schritt 92. Zunächst wird in einem Schritt 94 ein Bereitstellen der Maschine 10 zum Bearbeiten oder Vermessen des Werkstücks 32 gezeigt, mit dem ersten Element 56 und dem zweiten Element 58, wobei das erste Element 56 die erste Lagerfläche 57 und das zweite Element 58 die zweite Lagerfläche 59 aufweist. Die erste Lagerfläche 57 bzw. das erste Element 56 und die zweite Lagerfläche 59 bzw. das zweite Element 58 sind dabei mittels des mindestens einen Fluidlagers 35 aneinander abgestützt. Des Weiteren ist die Steuerungseinrichtung 38 zum Steuern der Maschine 10 vorgesehen.
[0100] Es kann nun zunächst vorgesehen sein, in einem Schritt 95 die das erste Element 56 und das zweite Element 58 relativ zueinander zu bewegen. Bei einem ersten Durchführen zu Beginn des Verfahrens ist es jedoch nicht zwingend notwendig, diesen Schritt auszuführen.
[0101] Insbesondere ist vorgesehen, dass im Rahmen des Schritts 95, der mehrfach durchgeführt werden kann, der gesamte Bewegungsbereich des ersten Elements 56 und des zweiten Elements 58 sukzessive durchfahren wird. Alternativ kann auch vorgesehen sein, dass der gesamte Bewegungsbereich kontinuierlich durchfahren wird, wobei eine ständige Ermittlung des Drucks in dem Fluidlager 35 erfolgt.
[0102] In einem Schritt 96 erfolgt dann das Ermitteln einer einen Druck in dem mindestens einen Fluidlager 35 repräsentierenden Größe abhängig von einer Position und/oder Orientierung des ersten Elements 56 relativ zu dem zweiten Element 58.
[0103] Dieser Schritt des Ermitteins kann dabei tatsächlich anhand von Sensordaten ausgeführt werden, wobei die Sensordaten die den Druck repräsentierende Größe ermitteln. Dabei kann es sich sowohl direkt um den Druck selbst als auch um eine den Druck mittelbar repräsentierende Größe, wie beispielsweise die Breite des Fluidlagerspaltes 70, handeln.
[0104] Es kann auch vorgesehen sein, dass in einem Schritt 97 eine Erfassung von Geometriedaten des ersten Elements 56 und des zweiten Elements 58 erfolgt ist. In dem Schritt 96 kann dann der bei der entsprechenden relativen Position und/oder Orientierung des ersten Elements 56 zu dem zweiten Element 58 zu erwartende Druck theoretisch anhand eines mathematischen Modells basierend auf den Geometriedaten des ersten Elements 56 und des zweiten Elements 58 ermittelt werden. Diese Geometriedaten können im Rahmen des Schrittes 97 vorab bestimmt worden sein, beispielsweise im Rahmen einer Qualitätssicherung. In diesem Fall ist ein, insbesondere sukzessives, Durchfahren des Bewegungsbereichs in einem oder mehreren Schritten 95 nicht notwendig.
[0105] In einem Schritt 98 erfolgt nun das Bestimmen eines Korrekturwerts für einen Druck in dem mindestens einen Fluidlager 35 für die Position und/oder Orientierung des ersten Elements 56 relativ zu dem zweiten Element 58.
[0106] Dieser Korrekturwert wird dann mit der dazugehörigen Position und/oder Orientierung ersten Elements 56 relativ zu dem zweiten Element 58in der Steuerungseinrichtung in einem Schritt 100 hinterlegt.
[0107] Anschließend kann dann mit dem Schritt 95 des Bewegens fortgefahren werden, so lange, bis der gesamte Bewegungsbereich des ersten Elements 56 relativ zu dem zweiten Element 58durchfahren ist. Grundsätzlich kann auch vorge- sehen sein, dass der Schritt des Hinterlegens 100 und/oder der Schritt des Bestimmens 98 nur einmal durchgeführt wird und bereits nach dem Schritt des Bestimmens 98 bzw. dem Schritt des Ermitteins 96 der Schritt des Bewegens 95 ausgeführt wird.
[0108] Anschließend kann das Verfahren dann in einem Schritt 106 enden.
[0109] Es kann aber auch vorgesehen sein, dass dann in einem Schritt 102 ein Anordnen des Werkstücks 32 auf einer Werkstückaufnahme 29 der Maschine 10 erfolgt und anschließend ein Bearbeiten oder Vermessen des Werkstücks 32 unter Berücksichtigung des Korrekturwerts bzw. des mindestens einen Korrekturwerts in einem Schritt 104 erfolgt. Für jede Position und/oder Orientierung ersten Elements 56 relativ zu dem zweiten Element 58, die im Rahmen eines Bewegens in dem Schritt 95 eingenommen wurde, wird ein Korrekturwert in der Steuerungseinrichtung im Rahmen eines Schritts 100 hinterlegt und kann dann während des Schritts 104 abgefragt werden, und die Überwachung des Lagers somit korrigiert werden.
[0110] Dann endet das Verfahren wiederum in einem Schritt 106.

Claims

Patentansprüche
Verfahren (90) zum Ermitteln eines Korrekturwerts für eine Überwachung eines Fluidlagers (35) einer Maschine (10) zum Bearbeiten oder Vermessen eines Werkstücks (32), insbesondere eines Koordinatenmessgeräts, mit dem folgenden Schritt:
Bereitstellen (94) der Maschine (10) zum Bearbeiten oder Vermessen eines Werkstücks (32), mit einem ersten Element (56) und einem zweiten Element (58), wobei das erste Element (56) und das zweite Element (58) mittels mindestens eines Fluidlagers (35) aneinander abgestützt sind, und mit einer Steuerungseinrichtung (38) zum Steuern der Maschine (10), und gekennzeichnet durch die folgenden Schritte:
Ermitteln (96) einer einen Druck in dem mindestens einen Fluidlager (35) repräsentierenden Größe abhängig von einer Position und/oder Orientierung des ersten Elements (56) relativ zu dem zweiten Element (58),
Bestimmen (98) eines Korrekturwerts für einen Druck in dem mindestens einen Fluidlager (35) für die Position und/oder Orientierung des ersten Elements (56) relativ zu dem zweiten Element (58), und
Hinterlegen (100) des Korrekturwerts in der Steuerungseinrichtung (38).
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Schritt des Ermitteins (96) für eine Vielzahl von Positionen und/oder Orientierungen des ersten Elements (56) relativ zu dem zweiten Element (58) durchgeführt wird.
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Vielzahl von Positionen und/oder Orientierungen einen gesamten Bereich einer relativen Bewegung zwischen dem ersten Element (56) und dem zweiten Element (58) in diskreten Schritten abdeckt.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass das erste Element (56) und das zweite Element (58) jeweils ein Element einer Werkstückaufnahme (29) zur Aufnahme eines Werkstücks (32) ist.
5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass das erste Element (56) ein Drehtisch (30) oder ein Rotor des Drehtisches (30) und das zweite Element (58) eine Basis (12), auf der der Drehtisch (30) abgestützt ist, oder ein Stator des Drehtischs (30) ist.
6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Maschine (10) mehrere Fluidlager (35) aufweist, wobei die Schritte des Ermitteins, des Bestimmens und des Hinterlegens für jedes der Fluidlager (35) durchgeführt werden.
7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass das erste Element (56) und das zweite Element (58) jeweils ein Element eines Maschinengestells (29) der Maschine (10) ist, wobei an dem Maschinengestell (29) ein Arbeitskopf (20) der Maschine (10) angeordnet ist.
8. Verfahren nach einem Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass vor jedem Schritt des Ermitteins (96) ein Schritt des Bewegens (95) des ersten Elements (56) und des zweiten Elements (58) relativ zueinander derart ausgeführt wird, dass sich eine Position und/oder eine Orientierung des ersten Elements (56) relativ zu dem zweiten Element (58) ändert.
9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass das Bewegen (95) des ersten Elements (56) relativ zu dem zweiten Element (58) schrittweise erfolgt, wobei sich die Position und/oder die Orientierung des ersten Elements (56) und des zweiten Elements (58) während des Schritts des Ermitteins (96) relativ zueinander nicht ändert.
10. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass das Bewegen (95) des ersten Elements (56) relativ zu dem zweiten Element (58) kontinuierlich erfolgt, wobei sich die Position und/oder die Orientierung des ersten Elements (56) und des zweiten Elements (58) während des Schritts des Ermitteins (96) relativ zueinander ändert.
11. Verfahren nach einem der Ansprüche 4 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Schritte des Ermitteins (96), des Bestimmens (98) und des Hinterlegens (100) durchgeführt werden, ohne dass das Werkstück (32) auf der Werkstückaufnahme (29) angeordnet ist.
12. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass das Verfahren (90) des Weiteren die folgenden Schritte aufweist:
- Anordnen (102) des Werkstücks (32) auf einer Werkstückaufnahme der Maschine (10), und
- Bearbeiten oder Vermessen (104) des Werkstücks (32) unter Berücksichtigung des Korrekturwerts.
13. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass der Schritt des Ermitteins (96) ausgeführt wird, indem der Druck direkt mittels eines Drucksensors (78) ermittelt wird.
14. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass der Schritt des Ermitteins (96) ausgeführt wird, indem der Druck mittelbar über eine mittels mindestens eines Dehnmessstreifens (74) oder mindestens einer Kraftmessdose (72) erfasste Verformung des ersten und/oder des zweiten Elements (58) ermittelt wird, oder indem der Druck mittelbar über eine mittels eines Abstandssensors (76) erfasste Fluidlagerspaltbreite (70) zwischen dem ersten Element (56) und dem zweiten Element (58) ermittelt wird.
15. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass der Schritt des Ermitteins (96) ausgeführt wird, indem aus vorbestimmten Geometriedaten des ersten Elements (56) und des zweiten Elements (58) eine erwartete Druckänderung in dem Fluidlager (35) abhängig von einer Position und/oder Orientierung des ersten Elements (56) relativ zu dem zweiten Element (58) berechnet wird.
16. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass das Fluidlager (35) ein Luftlager ist.
17. Maschine (10) zum Bearbeiten und/oder Vermessen eines Werkstücks (32), insbesondere Koordinatenmessgerät, mit einem ersten Element (56) und einem zweiten Element (58), wobei das erste Element (56) und das zweite Element (58) mittels mindestens eines Fluidlagers (35) aneinander abgestützt sind, mit einer Druckermittlungseinrichtung (50) zum Ermitteln einer einen Druck in dem mindestens einen Fluidlager (35) repräsentierenden Größe, und mit einer Steuerungseinrichtung (38) zum Steuern der Maschine (10), dadurch gekennzeichnet, dass die Druckermittlungseinrichtung (50) dazu ausgebildet ist, eine den Druck in dem mindestens einen Fluidlager (35) repräsentierende Größe abhängig von einer Position und/oder Orientierung des ersten Elements (56) relativ zu dem zweiten Element (58) zu ermitteln und als Korrekturwert an die Steuerungseinrichtung (38) auszugeben.
18. Maschine nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, dass das erste Element (56) ein Drehtisch (30) und das zweite Element (58) eine Basis ist, auf der der Drehtisch (30) abgestützt ist.
19. Maschine nach Anspruch 17 oder 18, dadurch gekennzeichnet, dass die Maschine (10) mehrere Fluidlager (35) aufweist, die insbesondere ringförmig mit jeweils gleichen Abständen zu benachbarten Fluidlagern (35) angeordnet sind.
20. Maschine nach einem der Ansprüche 17 bis 19, dadurch gekennzeichnet, dass die Druckermittlungseinrichtung (50) mindestens eine jeweils einem Fluidlager (35) zugeordnete Sensoreinrichtung (72, 74, 76, 78) aufweist, wobei die Sensoreinrichtung (72, 74, 76, 78) eine einen Druck in dem jeweiligen Fluidlager (35) repräsentierende Größe erfasst.
21. Maschine nach einem der Ansprüche 17 bis 20, dadurch gekennzeichnet, dass die mindestens eine Sensoreinrichtung (72, 74, 76, 78) jeweils ein Drucksensor (78) oder mindestens ein Dehnmessstreifen (74) oder mindestens eine Kraftmessdose (72) oder ein Abstandssensor (76) zum Erfassen einer Fluidla- gerspaltbreite (70) zwischen dem ersten Element (56) und dem zweiten Element (58) ist.
22. Maschine nach einem der Ansprüche 17 bis 21, dadurch gekennzeichnet, dass die Druckermittlungseinrichtung (50) eine Datenverarbeitungseinrichtung (40) ist, die derart eingerichtet ist, dass sie anhand von Geometriedaten die zu erwartende Druckänderung in dem Fluidlager (35) ermittelt.
23. Maschine nach einem der Ansprüche 17 bis 22, dadurch gekennzeichnet, dass das Fluidlager (35) ein Luftlager ist.
PCT/EP2012/051269 2012-01-26 2012-01-26 Verfahren zum ermitteln eines korrekturwerts für eine überwachung eines fluidlagers und maschine mit mindestens einem fluidlager WO2013110338A1 (de)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP12708739.3A EP2807447B1 (de) 2012-01-26 2012-01-26 Verfahren zum ermitteln eines korrekturwerts für eine überwachung eines fluidlagers und maschine mit mindestens einem fluidlager
PCT/EP2012/051269 WO2013110338A1 (de) 2012-01-26 2012-01-26 Verfahren zum ermitteln eines korrekturwerts für eine überwachung eines fluidlagers und maschine mit mindestens einem fluidlager
CN201280071799.2A CN104204717B (zh) 2012-01-26 2012-01-26 确定用于监测流体轴承和具有至少一个流体轴承的机器的校正值的方法
US14/328,014 US9671210B2 (en) 2012-01-26 2014-07-10 Method for determining a correction value for the monitoring of a fluid bearing and machine having at least one fluid bearing

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/EP2012/051269 WO2013110338A1 (de) 2012-01-26 2012-01-26 Verfahren zum ermitteln eines korrekturwerts für eine überwachung eines fluidlagers und maschine mit mindestens einem fluidlager

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
US14/328,014 Continuation US9671210B2 (en) 2012-01-26 2014-07-10 Method for determining a correction value for the monitoring of a fluid bearing and machine having at least one fluid bearing

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2013110338A1 true WO2013110338A1 (de) 2013-08-01

Family

ID=45833340

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/EP2012/051269 WO2013110338A1 (de) 2012-01-26 2012-01-26 Verfahren zum ermitteln eines korrekturwerts für eine überwachung eines fluidlagers und maschine mit mindestens einem fluidlager

Country Status (4)

Country Link
US (1) US9671210B2 (de)
EP (1) EP2807447B1 (de)
CN (1) CN104204717B (de)
WO (1) WO2013110338A1 (de)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102015116853A1 (de) 2015-10-05 2017-04-06 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Computerimplementiertes Verfahren und Verfahren zum Betreiben eines Koordinatenmessgeräts
DE102015219049B4 (de) * 2015-10-01 2019-11-14 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Verfahren zur Ermittlung eines Regelungsparameters eines Drehtisches
CN114136253A (zh) * 2021-10-12 2022-03-04 甘肃光轩高端装备产业有限公司 挠度检测装置

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2194357A1 (de) * 2008-12-03 2010-06-09 Leica Geosystems AG Optisches Sensorelement für eine Messmaschine, und messmaschinenseitiges Kupplungselement hierfür
JP2014130091A (ja) * 2012-12-28 2014-07-10 Canon Inc 測定装置および測定方法
WO2014161568A1 (de) * 2013-04-02 2014-10-09 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Verfahren zum bestimmen einer formkontur an einem messobjekt
US9797699B2 (en) * 2013-08-22 2017-10-24 Illinois Tool Works Inc. Off-axis loadcell force sensing to automatically determine location of specimen features
US9506498B2 (en) * 2014-03-25 2016-11-29 Specialty Components, Inc. Gap sensing method for fluid film bearings
US9441935B2 (en) * 2014-07-07 2016-09-13 Tokyo Seimitsu Co., Ltd. Three-dimensional coordinate measuring machine
DE102015106831A1 (de) * 2015-04-30 2016-11-03 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Luftlagerüberwachung und -einstellung
JP7144920B2 (ja) * 2017-01-06 2022-09-30 株式会社ミツトヨ 形状測定装置および移動機構
DE102017205536A1 (de) * 2017-03-31 2018-10-04 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Luftlager mit variabler Luftzuführung
JP6927734B2 (ja) * 2017-04-18 2021-09-01 株式会社ミツトヨ 駆動ステージ装置の駆動制御方法
DE102017118944B4 (de) * 2017-08-18 2021-11-18 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Koordinatenmessgerät
US11874101B2 (en) 2018-04-12 2024-01-16 Faro Technologies, Inc Modular servo cartridges for precision metrology
US10969760B2 (en) * 2018-04-12 2021-04-06 Faro Technologies, Inc. Coordinate measurement system with auxiliary axis
DE102019122654A1 (de) * 2019-08-22 2021-02-25 M & H Inprocess Messtechnik Gmbh Vorrichtung zur Kalibrierung einer Geschwindigkeit einer Bewegungsachse einer Maschine
DE102022124880A1 (de) 2022-09-27 2024-03-28 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Führungs - oder lageranordnung für koordinatenmessgeräte, koordinatenmessgerät und verfahren zur herstellung

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3419546A1 (de) 1984-05-25 1985-11-28 Daimler-Benz Ag, 7000 Stuttgart Einrichtung zur ermittlung der schwerpunktlage eines pruefkoerpers
US4630942A (en) * 1984-01-20 1986-12-23 Hitachi, Ltd. Guiding apparatus
DE3637410A1 (de) 1986-11-03 1988-05-11 Zeiss Carl Fa Verfahren zur messung von drehtischabweichungen
EP0866233A2 (de) 1997-03-20 1998-09-23 Klingelnberg Söhne Leiterplattentechnik GmbH Vorrichtung zur Funktionsüberwachung und Stillsetzung für eine Luftlager-Schlittenführung
DE10006876C1 (de) 2000-02-16 2001-06-13 Brown & Sharpe Gmbh Verfahren zur Erhöhung der Genauigkeit und Sicherheit eines Koordinatenmessgerätes
DE20118421U1 (de) * 2001-11-13 2002-02-21 FESTO AG & Co., 73734 Esslingen Luftlager-Überwachungseinrichtung
WO2010054767A1 (de) 2008-11-13 2010-05-20 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Vorrichtung und verfahren zum bestimmen einer messgrösse an einem messobjekt

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5485678A (en) * 1977-12-20 1979-07-07 Canon Inc High accuracy alignment method for air bearing guide system xy stage
NL8204383A (nl) * 1981-11-13 1983-06-01 Citizen Watch Co Ltd Micro-instelbare verplaatsings- en rotatie-instelinrichting.
US5301544A (en) * 1992-06-08 1994-04-12 United Parcel Service Of America, Inc. Method and apparatus for determining the center of gravity of an object
US6246204B1 (en) * 1994-06-27 2001-06-12 Nikon Corporation Electromagnetic alignment and scanning apparatus
US5623853A (en) * 1994-10-19 1997-04-29 Nikon Precision Inc. Precision motion stage with single guide beam and follower stage
US5760564A (en) * 1995-06-27 1998-06-02 Nikon Precision Inc. Dual guide beam stage mechanism with yaw control
US6142672A (en) * 1998-06-22 2000-11-07 Bently Nevada Corporation Fluid flow and control system for a hydrostatic bearing supporting rotating equipment: method and apparatus
US6428210B1 (en) * 2000-07-11 2002-08-06 Lintech Motion Control, Inc. Precision air bearing slide and stage assembly for controlled linear motion
US20080111977A1 (en) * 2006-11-14 2008-05-15 Asml Holding N.V. Compensation techniques for fluid and magnetic bearings
JP4291382B2 (ja) * 2007-07-31 2009-07-08 ファナック株式会社 接触検知による取り付け誤差の自動補正機能を有する工作機械
CN102198607A (zh) * 2010-03-23 2011-09-28 发那科株式会社 工件形状测量方法以及具有机上测量装置的机床

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4630942A (en) * 1984-01-20 1986-12-23 Hitachi, Ltd. Guiding apparatus
DE3419546A1 (de) 1984-05-25 1985-11-28 Daimler-Benz Ag, 7000 Stuttgart Einrichtung zur ermittlung der schwerpunktlage eines pruefkoerpers
DE3637410A1 (de) 1986-11-03 1988-05-11 Zeiss Carl Fa Verfahren zur messung von drehtischabweichungen
EP0866233A2 (de) 1997-03-20 1998-09-23 Klingelnberg Söhne Leiterplattentechnik GmbH Vorrichtung zur Funktionsüberwachung und Stillsetzung für eine Luftlager-Schlittenführung
DE10006876C1 (de) 2000-02-16 2001-06-13 Brown & Sharpe Gmbh Verfahren zur Erhöhung der Genauigkeit und Sicherheit eines Koordinatenmessgerätes
DE20118421U1 (de) * 2001-11-13 2002-02-21 FESTO AG & Co., 73734 Esslingen Luftlager-Überwachungseinrichtung
WO2010054767A1 (de) 2008-11-13 2010-05-20 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Vorrichtung und verfahren zum bestimmen einer messgrösse an einem messobjekt

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102015219049B4 (de) * 2015-10-01 2019-11-14 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Verfahren zur Ermittlung eines Regelungsparameters eines Drehtisches
DE102015116853A1 (de) 2015-10-05 2017-04-06 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Computerimplementiertes Verfahren und Verfahren zum Betreiben eines Koordinatenmessgeräts
CN114136253A (zh) * 2021-10-12 2022-03-04 甘肃光轩高端装备产业有限公司 挠度检测装置
CN114136253B (zh) * 2021-10-12 2024-05-03 甘肃光轩高端装备产业有限公司 挠度检测装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN104204717A (zh) 2014-12-10
CN104204717B (zh) 2017-07-04
EP2807447B1 (de) 2017-11-08
US20140317942A1 (en) 2014-10-30
EP2807447A1 (de) 2014-12-03
US9671210B2 (en) 2017-06-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2807447B1 (de) Verfahren zum ermitteln eines korrekturwerts für eine überwachung eines fluidlagers und maschine mit mindestens einem fluidlager
EP3049758B1 (de) Reduzierung von fehlern einer drehvorrichtung, die bei der bestimmung von koordinaten eines werkstücks oder bei der bearbeitung eines werkstücks verwendet wird
EP2984442B1 (de) Verfahren zum bestimmen einer formkontur an einem messobjekt
EP2844953B1 (de) Verfahren zur bestimmung der achse eines drehtisches bei einem koordinatenmessgerät
EP2972078B1 (de) Verfahren zur korrektur einer winkelabweichung beim betrieb eines koordinatenmessgeräts
WO2015022398A1 (de) Reduzieren von fehlern einer drehvorrichtung, insbesondere für die bestimmung von koordinaten eines werkstücks oder die bearbeitung eines werkstücks
EP2834595A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum reduzieren von fehlern einer drehvorrichtung bei der bestimmung von koordinaten eines werkstücks oder bei der bearbeitung eines werkstücks
DE102017206568B4 (de) Positionsmessverfahren für ein Objekt bei einer Bearbeitungsmaschine und Positionsmesssystem derselben
DE102018205853A1 (de) Antriebssteuerungsverfahren einer Antriebs-Messtischvorrichtung
DE102009021483B3 (de) Einrichtung und Verfahren zur Positions- und Lageermittlung
DE102007001620A1 (de) Verfahren zum Betrieb einer Bearbeitungsmaschine sowie Werkzeughalterung
DE112014006850B4 (de) Tastkopf für ein Koordinatenmessgerät
DE102020131696A1 (de) Numerische Steuervorrichtung und Steuerverfahren
EP3559594A1 (de) Vorrichtung zum einsatz in einer numerisch gesteuerten werkzeugmaschine zur verwendung in einem verfahren zum vermessen der numerisch gesteuerten werkzeugmaschine
EP3314203B1 (de) Adapterelement zur montage einer drehvorrichtung im messraum eines koordinatenmessgeräts
DE102014112396B4 (de) Verfahren zur Einzelpunktantastung eines Werkstücks und Koordinatenmessgerät
EP0729005B1 (de) Messvorrichtung zur Kontrolle der geometrischen und dynamischen Genauigkeit von NC-Werkzeugmaschinen und Industrierobotern
DE102009024752A1 (de) Verfahren zum Vermessen und/oder Kalibrieren einer numerisch gesteuerten Werkzeugmaschine
EP2735928B1 (de) Verfahren zur Einjustierung einer werkstücktragenden Baugruppe eines Bearbeitungszentrums für die spanende Werkstückbearbeitung
DE19711500C2 (de) Meßsystem zur automatischen Feststellung und Korrektur von Positionsabweichungen von Bauteilen von Maschinen und/oder Geräten
DE102015201582B4 (de) Ermittlung und Korrektur eines Fehlers einer Drehvorrichtung für ein Koordinatenmessgerät
DE102020122685A1 (de) Parametereinstellverfahren und steuervorrichtung
DE102015116853A1 (de) Computerimplementiertes Verfahren und Verfahren zum Betreiben eines Koordinatenmessgeräts
DE102007006070A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur präzisen, spanenden Bearbeitung von Werkstücken
DE3608696A1 (de) Messgeraet zum pruefen von rundheitsabweichungen, laengenmassen und vorgegebenen nicht kreisfoermigen konturen

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 12708739

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

REEP Request for entry into the european phase

Ref document number: 2012708739

Country of ref document: EP

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2012708739

Country of ref document: EP

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE