WO2013105532A1 - 検査装置及び光学部材貼合体の製造装置 - Google Patents

Abstract

　本発明の検査装置は、光学表示部品に光学部材を貼合してなる光学部材貼合体の欠陥の有無を検査する検査装置であって、前記光学部材貼合体の第１主面に向けて第１の光を射出する第１光源と、前記第１光源と前記第１主面との間に配置され前記第１光源から射出された前記第１の光を前記第１主面に向けて集光させる第１集光レンズと、前記第１集光レンズにより集光されて前記光学部材貼合体を透過した前記第１の光の画像を撮像する第１撮像装置と、を含む。

Description

検査装置及び光学部材貼合体の製造装置

　本発明は、検査装置及び光学部材貼合体の製造装置に関する。
　本願は、２０１２年１月１１日に出願された特願２０１２－００３４５５号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。

　従来より、液晶ディスプレイなどの光学部材貼合体を製造する製造装置として、特許文献１または２に記載の製造装置が知られている。光学部材貼合体は、液晶パネルなどの光学表示部品に偏光フィルムなどの光学部材を貼合することによって形成されている。光学表示部品と光学部材とを貼合する貼合装置の下流側には、光学部材貼合体の外観検査を行う検査装置が設けられている。検査装置では、光学部材貼合体の一面側から光を照射し、光学部材貼合体を透過した光または反射した光を撮像することによって、貼合時の気泡のかみ込みや光学部材の表面の傷の有無、光学表示部品自体の欠陥（配向不良など）の有無などが検査される。

日本国特許第４０７９７１６号公報 日本国特許第４３０７５１０号公報

　光学部材貼合体に光を照射する光源装置としては、ＬＥＤなどの高輝度光源が用いられている。光源装置は、光学部材貼合体の搬送経路の全幅にわたって設けられており、光学部材貼合体に向けて帯状の光を照射する。光源装置から射出された光は平行若しくはやや拡散しながら光学部材貼合体に照射され、光学部材貼合体の一定幅の領域を照明する。ところで、最近の検査装置では、より小さな異物や欠陥等の検査が求められており、検査精度を高めるためにより明るい光源装置が求められている。しかしながら、光源装置の輝度を高めるには限界があり、光源装置の輝度を高めることは、光源装置の大型化やコストの増加などの新たな課題を生じさせる。

　本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、光学部材貼合体の欠陥の有無を精度よく検査することが可能な検査装置、光学部材貼合体の製造装置を提供することを目的とする。

　上記の目的を達成するために、本発明の第一態様の検査装置は、光学表示部品に光学部材を貼合してなる光学部材貼合体の欠陥の有無を検査する検査装置であって、前記光学部材貼合体の第１主面に向けて第１の光を射出する第１光源と、前記第１光源と前記第１主面との間に配置され前記第１光源から射出された前記第１の光を前記第１主面に向けて集光させる第１集光レンズと、前記第１集光レンズにより集光されて前記光学部材貼合体を透過した前記第１の光の画像を撮像する第１撮像装置と、を含む第１検査ユニットを備える。

　本発明の第一態様の検査装置においては、前記光学部材貼合体は前記第１主面の法線方向から見て矩形形状であり、前記第１光源は、前記光学部材貼合体の一辺に沿った長手部を有する光射出面を有し、前記第１集光レンズは前記第１光源の光射出面全体に亘って設けられていることが好ましい。

　本発明の第一態様の検査装置においては、前記第１集光レンズがフレネルレンズであることが好ましい。

　本発明の第一態様の検査装置は、前記光学部材貼合体の前記第１主面とは反対側の第２主面に向けて第２の光を射出する第２光源と、前記第２光源と前記第２主面との間に配置され前記第２光源から射出された前記第２の光を前記第２主面に向けて集光させる第２集光レンズと、前記第２集光レンズにより集光されて前記第２主面で反射された前記第２の光の画像を撮像する第２撮像装置と、を含む第２検査ユニットをさらに備えることが好ましい。

　本発明の第一態様の検査装置においては、前記第１の光が前記第１主面に入射する際の前記第１主面における照度が、前記第２の光が前記第２主面に入射する際の前記第２主面における照度よりも大きいことが好ましい。

　本発明の第一態様の検査装置においては、前記第２主面が画像表示面であることが好ましい。

　本発明の第一態様の検査装置は、前記第１主面に向けて第３の光を射出する第３光源と、前記第３光源と前記第１主面との間に配置され前記第３光源から射出された前記第３の光を前記第１主面に向けて集光させる第３集光レンズと、前記第３集光レンズにより集光されて前記第１主面で反射された前記第３の光の画像を撮像する第３撮像装置と、を含む第３検査ユニットをさらに備えることが好ましい。

　本発明の第二態様の光学部材貼合体の製造装置は、光学表示部品に光学部材を貼合してなる光学部材貼合体の製造装置であって、前記光学部材を搬送する搬送装置と、前記搬送装置で搬送された前記光学部材を前記光学表示部品に貼り合わせて前記光学部材貼合体を作製する貼合装置と、前記貼合装置により作製された前記光学部材貼合体の欠陥の有無を検査する上記第一態様の検査装置と、を含む。

　本発明の第一態様及び第二態様によれば、光学部材貼合体の欠陥の有無を精度よく検査することが可能な検査装置、光学部材貼合体の製造装置を提供することができる。

本発明の第１実施形態の光学部材貼合体の製造装置を示す模式図である。 図１の矢視Ａから見た平面図である。 本発明の第１実施形態の光学部材貼合体の製造装置における液晶パネルを示す平面図である。 本発明の第１実施形態の光学部材貼合体の製造装置における偏光フィルムシートを示す断面図である。 本発明の第１実施形態の光学部材貼合体の製造装置における検査装置を示す図である。 本発明の第１実施形態の光学部材貼合体の製造装置における第１光源装置を示す分解斜視図である。 本発明の第１実施形態の光学部材貼合体の製造装置における第２光源装置を示す分解斜視図である。 本発明の第１実施形態の光学部材貼合体の製造装置における検査装置の作用を説明する図であって、従来の光源装置を示す模式図である。 本発明の第１実施形態の光学部材貼合体の製造装置における検査装置の作用を説明する図であって、第１実施形態の第１光源装置を示す模式図である。 本発明の第２実施形態の光学部材貼合体の製造装置における検査装置を示す図である。

　以下、図面を参照しつつ本発明の実施形態を説明するが、本発明は以下の実施形態に限定されない。

　尚、以下の全ての図面においては、図面を見やすくするため、各構成要素の寸法や比率などは適宜異ならせてある。また、以下の説明及び図面中、同一又は相当する要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。

　以下の説明においては、必要に応じてＸＹＺ直交座標系を用い、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する。本実施形態においては、光学表示部品である液晶パネルの搬送方向をＸ方向としており、液晶パネルの面内においてＸ方向に直交する方向（液晶パネルの幅方向）をＹ方向、Ｘ方向及びＹ方向に直交する方向をＺ方向としている。

（第１実施形態）
　以下、本発明の第１実施形態の光学部材貼合体の製造装置であるフィルム貼合システム１について図面を参照して説明する。
　図１は、本実施形態のフィルム貼合システム１の概略構成を示す図である。
　フィルム貼合システム１は、例えば液晶パネルや有機ＥＬパネルといったパネル状の光学表示部品に、偏光フィルムや反射防止フィルム、光拡散フィルムといったフィルム状の光学部材を貼合する。

　なお、本実施形態では、前記光学表示部品として液晶パネルＰを例示し、光学部材貼合体として、液晶パネルＰの表面及び裏面の両面に貼合シートＦ５を貼合することによって形成された両面貼合パネルＰ１２を例示しているが、本発明は、このような両面貼合パネルに限定されない。

　図１に示すように、本実施形態のフィルム貼合システム１は液晶パネルＰの製造ラインの一工程として設けられている。フィルム貼合システム１の各部は、電子制御装置としての制御部４０により統括制御される。

　図２は、図１の矢視Ａから見た平面図である。
　図２に示すように、本実施形態のフィルム貼合システム１における液晶パネルＰの製造ラインにおいては、液晶パネルＰの搬送方向に対して、液晶パネルＰの姿勢が、製造ラインの途中で９０°反転される。フィルム貼合システム１は、液晶パネルＰの表面及び裏面に、互いに偏光軸を直交する方向に向けた偏光フィルムＦ１を貼り合わせる。

　図３は、液晶パネルＰをその液晶層Ｐ３の厚さ方向から見た平面図である。液晶パネルＰは、平面視で長方形状をなす第１基板Ｐ１と、第１基板Ｐ１に対向して配置される比較的小形の長方形状をなす第２基板Ｐ２と、第１基板Ｐ１と第２基板Ｐ２との間に封入された液晶層Ｐ３とを備える。液晶パネルＰは、平面視で第１基板Ｐ１の外形状に沿う長方形状をなし、平面視で液晶層Ｐ３の外周の内側に収まる領域が表示領域Ｐ４である。

　図４は、液晶パネルＰに貼合する光学部材Ｆ１を含む光学シートＦの断面図である。尚、図４においては、便宜上、断面図における各層を示すハッチングを省略している。
　図４に示すように、光学シートＦは、フィルム状の前記光学部材Ｆ１と、光学部材Ｆ１の一方の面（図では上面、第一面）に設けられた粘着層Ｆ２と、粘着層Ｆ２を介して光学部材Ｆ１の一方の面に分離可能に積層されたセパレータＦ３と、光学部材Ｆ１の他方の面（図では下面、第二面）に積層された表面保護フィルムＦ４とを有する。光学部材Ｆ１は偏光板として機能し、液晶パネルＰの表示領域Ｐ４の全域とその周辺領域とにわたって貼合される。

　光学部材Ｆ１は、光学部材Ｆ１の一方の面に粘着層Ｆ２を残しつつセパレータＦ３を分離した状態で、液晶パネルＰに粘着層Ｆ２を介して貼合される。以下、光学シートＦからセパレータＦ３を除いた部分を貼合シートＦ５という。

　セパレータＦ３は、セパレータＦ３が粘着層Ｆ２から分離されるまで粘着層Ｆ２及び光学部材Ｆ１を保護する。表面保護フィルムＦ４は、光学部材Ｆ１とともに液晶パネルＰに貼合される。表面保護フィルムＦ４は、光学部材Ｆ１に対して液晶パネルＰと反対側に配置されて光学部材Ｆ１を保護すると共に、所定のタイミングで光学部材Ｆ１から分離される。尚、光学シートＦが表面保護フィルムＦ４を含まない構成であったり、表面保護フィルムＦ４が光学部材Ｆ１から分離されない構成であったりしてもよい。

　光学部材Ｆ１は、シート状の偏光子Ｆ６と、偏光子Ｆ６の一方の面（第一面）に接着剤等で接合される第１フィルムＦ７と、偏光子Ｆ６の他方の面（第二面）に接着剤等で接合される第２フィルムＦ８とを有する。第１フィルムＦ７及び第２フィルムＦ８は、例えば偏光子Ｆ６を保護する保護フィルムである。

　尚、光学部材Ｆ１は、一層の光学層からなる単層構造でもよく、複数の光学層が互いに積層された積層構造でもよい。前記光学層は、偏光子Ｆ６の他に、位相差フィルムや輝度向上フィルム等でもよい。第１フィルムＦ７と第２フィルムＦ８の少なくとも一方は、液晶表示素子の最外面を保護するハードコート処理やアンチグレア処理を含む防眩などの効果が得られる表面処理が施されてもよい。光学部材Ｆ１は、第１フィルムＦ７と第２フィルムＦ８の少なくとも一方を含まなくてもよい。例えば第１フィルムＦ７を省略した場合、セパレータＦ３を光学部材Ｆ１の一方の面に粘着層Ｆ２を介して貼り合わせてもよい。

　次に、本実施形態のフィルム貼合システム１について、詳しく説明する。
　図１に示すように、本実施形態のフィルム貼合システム１は、図中右側の液晶パネルＰの搬送方向上流側（＋Ｘ方向側）から図中左側の液晶パネルＰの搬送方向下流側（－Ｘ方向側）に至り、液晶パネルＰを水平状態で搬送する駆動式のローラコンベア５を備えている。

　ローラコンベア５は、後述する第１反転装置１５を境に、上流側コンベア６と下流側コンベア７とに分かれる。図２に示すように、上流側コンベア６では、液晶パネルＰは表示領域Ｐ４の短辺が搬送方向に沿うようにして搬送される。一方、下流側コンベア７では、液晶パネルＰは表示領域Ｐ４の長辺が搬送方向に沿うようにして搬送される。この液晶パネルＰの表面及び裏面に対して、帯状の前記光学シートＦから所定長さに切り出した貼合シートＦ５が貼合される。

　尚、上流側コンベア６は、後述する第１吸着装置１１では、下流側に独立したフリーローラコンベア２４を備えている。一方、下流側コンベア７は、後述する第２吸着装置２０では、下流側に独立したフリーローラコンベア２４を備えている。

　本実施形態のフィルム貼合システム１は、第１吸着装置１１、第１集塵装置１２、第１貼合装置１３、第１ズレ検査装置１４、第１反転装置１５、第２集塵装置１６、第２貼合装置１７、第２ズレ検査装置１８、第２反転装置１９、第２吸着装置２０、欠陥検査装置（検査装置）３０、制御部４０を備えている。

　第１吸着装置１１は、液晶パネルＰを吸着して上流側コンベア６に搬送すると共に液晶パネルＰのアライメント（位置決め）を行う。第１吸着装置１１は、パネル保持部１１ａと、アライメントカメラ１１ｂと、レールＲと、を有する。

　パネル保持部１１ａは、上流側コンベア６により下流側のストッパＳに当接した液晶パネルＰを上下方向及び水平方向に移動可能に保持すると共に液晶パネルＰのアライメントを行う。パネル保持部１１ａは、ストッパＳに当接した液晶パネルＰの上面を真空吸着によって吸着保持する。パネル保持部１１ａは、液晶パネルＰを吸着保持した状態でレールＲ上を移動して液晶パネルＰを搬送する。パネル保持部１１ａは、当該搬送が終わると前記吸着保持を解除して液晶パネルＰをフリーローラコンベア２４に受け渡す。

　アライメントカメラ１１ｂは、ストッパＳに当接した液晶パネルＰをパネル保持部１１ａが保持し、上昇した状態で液晶パネルＰのアライメントマークや先端形状等を撮像する。アライメントカメラ１１ｂによる撮像データは制御部４０に送信され、この撮像データに基づき、パネル保持部１１ａが作動して搬送先のフリーローラコンベア２４に対する液晶パネルＰのアライメントがなされる。つまり、フリーローラコンベア２４に対する搬送方向、搬送方向と直交する方向における長さ、及び液晶パネルＰの垂直軸回りの旋回方向でのズレ量（長さ（幅）のズレ、角度のズレ）が考慮されて液晶パネルＰの位置が決められた状態で、液晶パネルＰはフリーローラコンベア２４に搬送される。
　ここで、パネル保持部１１ａによりレールＲ上を搬送された液晶パネルＰは、吸着パッド２６に吸着された状態で後述する貼合シートＦ５と共に先端部を挟圧ロール２３に挟持される。

　第１集塵装置１２は、第１貼合装置１３の貼合位置である挟圧ロール２３の、液晶パネルＰの搬送上流側に設けられている。第１集塵装置１２は、貼合位置に導入される前の液晶パネルＰの周辺の塵埃、特に下面側の塵埃を除去するため、静電気の除去及び集塵を行う。

　第１貼合装置１３は、第１吸着装置１１よりもパネル搬送下流側に設けられている。第１貼合装置１３は、貼合位置に導入された液晶パネルＰの下面に対して、所定サイズにカットした貼合シートＦ５を貼合する。

　第１貼合装置１３は、搬送装置２２と、挟圧ロール２３とを備えている。

　搬送装置２２は、光学シートＦが巻回された原反ロールＲ１から光学シートＦを巻き出しつつ光学シートＦをその長手方向に沿って搬送する。搬送装置２２は、セパレータＦ３をキャリアとして貼合シートＦ５を搬送する。搬送装置２２は、ロール保持部２２ａと、複数のガイドローラ２２ｂと、切断装置２２ｃと、ナイフエッジ２２ｄと、巻き取り部２２ｅと、を有する。

　ロール保持部２２ａは、帯状の光学シートＦを巻回した原反ロールＲ１を保持すると共に光学シートＦをその長手方向に沿って繰り出す。
　原反ロールＲ１から巻き出した光学シートＦを所定の搬送経路に沿って案内するために、光学シートＦが複数のガイドローラ２２ｂに巻きかけられている（接触している）。
　切断装置２２ｃは、搬送経路上に位置する光学シートＦにハーフカットを施す。
　ナイフエッジ２２ｄの先端部と光学シートＦとがなす角度が鋭角になるように、ナイフエッジ２２ｄにはハーフカットを施した光学シートＦが巻きかけられている。ナイフエッジ２２ｄは、セパレータＦ３から貼合シートＦ５を分離させつつ、この貼合シートＦ５を貼合位置に供給する。
　巻き取り部２２ｅは、ナイフエッジ２２ｄを経て単独となったセパレータＦ３を巻き取るセパレータロールＲ２を保持する。

　搬送装置２２の始点に位置するロール保持部２２ａと搬送装置２２の終点に位置する巻き取り部２２ｅとは、例えば互いに同期して駆動する。これにより、ロール保持部２２ａが光学シートＦをその搬送方向へ繰り出しつつ、巻き取り部２２ｅがナイフエッジ２２ｄを経たセパレータＦ３を巻き取る。以下、搬送装置２２における光学シートＦ（セパレータＦ３）の搬送方向上流側をシート搬送上流側、搬送方向下流側をシート搬送下流側という。

　各ガイドローラ２２ｂは、搬送中の光学シートＦの進行方向を搬送経路に沿って変化させると共に、複数のガイドローラ２２ｂの少なくとも一部が搬送中の光学シートＦのテンションを調整するべく可動する。

　尚、ロール保持部２２ａと切断装置２２ｃとの間には、図示しないダンサローラが配置されていてもよい。ダンサローラは、光学シートＦが切断装置２２ｃで切断される間に、ロール保持部２２ａから搬送される光学シートＦの繰り出し量を吸収する（所望の繰り出し量が得られるように調整する）。

　切断装置２２ｃは、光学シートＦが所定長さ繰り出された際、光学シートＦの長手方向と直交する幅方向の全幅にわたって、光学シートＦの厚さ方向の一部を切断するハーフカットを行う。

　切断装置２２ｃは、光学シートＦの搬送中に働くテンションによって光学シートＦ（セパレータＦ３）が破断しないように（所定の厚さがセパレータＦ３に残るように）、切断刃の進退位置を調整し、粘着層Ｆ２とセパレータＦ３との界面の近傍（界面に近い位置）まで前記ハーフカットを施す。尚、切断刃に代わるレーザー装置を用いてもよい。

　ハーフカット後の光学シートＦには、その厚さ方向で光学部材Ｆ１及び表面保護フィルムＦ４が切断されることにより、光学シートＦの幅方向の全幅にわたる切込線が形成される。切込線は、帯状の光学シートＦの長手方向で複数並ぶように形成される。例えば同一サイズの液晶パネルＰを搬送する貼合工程の場合、複数の切り込み線は光学シートＦの長手方向で等間隔に形成される。光学シートＦは、前記複数の切込線によって長手方向で複数の区画に分けられる。光学シートＦにおける長手方向で隣り合う一対の切込線に挟まれる区画は、それぞれ貼合シートＦ５における一つのシート片とされる。

　ナイフエッジ２２ｄは、上流側コンベア６の下方に配置されて光学シートＦの幅方向で少なくともその全幅にわたって延在する。ナイフエッジ２２ｄには、ハーフカット後の光学シートＦのセパレータＦ３側に摺接するように、光学シートＦが巻きかけられる。

　ナイフエッジ２２ｄは、光学シートＦの幅方向（上流側コンベア６の幅方向）から見て光学シートＦの下方に向いている第１面と、第１面の上方で光学シートＦの幅方向から見て第１面に対して鋭角に配置される第２面と、第１面及び第２面が交わる先端部とを有する。

　ナイフエッジ２２ｄにおいては、その先端部に光学シートＦが鋭角に巻きかけられる。光学シートＦは、ナイフエッジ２２ｄの先端部で鋭角に折り返す際、セパレータＦ３から貼合シートＦ５のシート片が分離される。ナイフエッジ２２ｄの先端部は、挟圧ロール２３のパネル搬送下流側に近接して配置される。ナイフエッジ２２ｄによりセパレータＦ３から分離した貼合シートＦ５は、第１吸着装置１１に吸着された状態の液晶パネルＰの下面に重なりつつ、挟圧ロール２３の一対の貼合ローラ２３ａ間に導入される。

　挟圧ロール２３は、搬送装置２２が光学シートＦから分離させた所定長さの貼合シートＦ５を上流側コンベア６により搬送される液晶パネルＰの下面に貼合する。挟圧ロール２３は、互いに軸方向を平行にして配置された一対の貼合ローラ２３ａ，２３ａを有する（光学シートＦの上方に位置する貼合ローラ２３ａは、上下動する）。一対の貼合ローラ２３ａ，２３ａ間には所定の間隙が形成され、この間隙内が第１貼合装置１３の貼合位置となる。前記間隙内には、液晶パネルＰ及び貼合シートＦ５が重なり合って導入される。これら液晶パネルＰ及び貼合シートＦ５が、各貼合ローラ２３ａに挟圧されつつ上流側コンベア６のパネル搬送下流側に送り出される。これにより、液晶パネルＰの下面に貼合シートＦ５が一体的に貼合される。以下、この貼合後のパネルを片面貼合パネルＰ１１という。

　第１ズレ検査装置１４は、第１貼合装置１３よりもパネル搬送下流側に設けられている。第１ズレ検査装置１４は、片面貼合パネルＰ１１において、液晶パネルＰに対する貼合シートＦ５の位置が適正か否か（位置ズレが公差範囲内にあるか否か）を検査する。第１ズレ検査装置１４は、例えば片面貼合パネルＰ１１のパネル搬送上流側及び下流側における貼合シートＦ５の端縁を撮像する一対のカメラ１４ａを有する。各カメラ１４ａの撮像によって得られた撮像データは制御部４０に送信され、この撮像データに基づき貼合シートＦ５及び液晶パネルＰの相対位置が適正か否かが判定される。前記相対位置が適正ではないと判定された片面貼合パネルＰ１１は、不図示の払い出し装置によりシステム外に排出される。

　第１反転装置１５は、第１ズレ検査装置１４よりもパネル搬送下流側に設けられている。第１反転装置１５は、上流側コンベア６の終着位置に達した液晶パネルＰを下流側コンベア７の始発位置まで搬送する。第１反転装置１５は、例えば液晶パネルＰの搬送方向に対して平面視で４５°に傾斜した回動軸１５ａと、回動軸１５ａを介して上流側コンベア６の終着位置及び下流側コンベア７の始発位置の間に支持される反転アーム１５ｂとを有する。

　反転アーム１５ｂは、第１ズレ検査装置１４を経て上流側コンベア６の終着位置に達した片面貼合パネルＰ１１を吸着や挟持等により保持する。反転アーム１５ｂは、回動軸１５ａ回りに１８０°回動することで、片面貼合パネルＰ１１の表面及び裏面を反転させる。反転アーム１５ｂは、例えば前記表示領域Ｐ４の短辺と平行に搬送されていた片面貼合パネルＰ１１を表示領域Ｐ４の長辺と平行に搬送されるように方向転換させる。

　前記反転動作は、液晶パネルＰの表面及び裏面に貼合される各光学部材Ｆ１が偏光軸方向を互いに直角に配置するような場合に行われる。上流側コンベア６及び下流側コンベア７は、共に図の右側から左側へ向う方向（搬送方向）に液晶パネルＰを搬送する。上流側コンベア６と下流側コンベア７との間に第１反転装置１５が設けられていることにより、上流側コンベア６及び下流側コンベア７が平面視で所定量だけずれている（オフセットされている）。

　尚、単に液晶パネルＰの表面及び裏面を反転させる場合には、例えば搬送方向と平行な回動軸を有する反転アームを有する反転装置を用いればよい。この場合、第１貼合装置１３のシート搬送方向と第２貼合装置１７のシート搬送方向とを平面視で互いに直角にして配置すれば、液晶パネルＰの表面及び裏面に互いに偏光軸方向を直角にした光学部材Ｆ１を貼合できる。

　反転アーム１５ｂは、前記第１吸着装置１１のパネル保持部１１ａと同様のアライメント機能を有する。第１反転装置１５には、前記第１吸着装置１１のアライメントカメラ１１ｂと同様のアライメントカメラ１５ｃが設けられている。

　第２吸着装置２０は、第１吸着装置１１と同様の構成を備えているため、以下の説明においては、同一部分に同一符号を付している。第２吸着装置２０は、片面貼合パネルＰ１１を吸着して下流側コンベア７に搬送すると共に片面貼合パネルＰ１１のアライメント（位置決め）を行う。第２吸着装置２０は、パネル保持部１１ａと、アライメントカメラ１１ｂと、レールＲと、を有する。

　パネル保持部１１ａは、下流側コンベア７により下流側のストッパＳに当接した片面貼合パネルＰ１１を上下方向及び水平方向に移動可能に保持すると共に片面貼合パネルＰ１１のアライメントを行う。パネル保持部１１ａは、ストッパＳに当接した片面貼合パネルＰ１１の上面を真空吸着によって吸着保持する。パネル保持部１１ａは、片面貼合パネルＰ１１を吸着保持した状態でレールＲ上を移動して片面貼合パネルＰ１１を搬送する。パネル保持部１１ａは、当該搬送が終わると前記吸着保持を解除して片面貼合パネルＰ１１をフリーローラコンベア２４に受け渡す。

　アライメントカメラ１１ｂは、ストッパＳに当接した片面貼合パネルＰ１１をパネル保持部１１ａが保持し、上昇した状態で片面貼合パネルＰ１１のアライメントマークや先端形状等を撮像する。アライメントカメラ１１ｂによる撮像データは制御部４０に送信され、この撮像データに基づき、パネル保持部１１ａが作動して搬送先のフリーローラコンベア２４に対する片面貼合パネルＰ１１のアライメントがなされる。つまり、フリーローラコンベア２４に対する搬送方向、搬送方向と直交する方向における長さ、及び片面貼合パネルＰ１１の垂直軸回りの旋回方向でのズレ量（長さ（幅）のズレ、角度のズレ）が考慮されて片面貼合パネルＰ１１の位置が決められた状態で、片面貼合パネルＰ１１はフリーローラコンベア２４に搬送される。

　第２集塵装置１６は、第２貼合装置１７の貼合位置である挟圧ロール２３の、液晶パネルＰの搬送方向上流側に配置されている。第２集塵装置１６は、貼合位置に導入される前の片面貼合パネルＰ１１の周辺の塵埃、特に下面側の塵埃を除去するため、静電気の除去及び集塵を行う。

　第２貼合装置１７は、第２集塵装置１６よりもパネル搬送下流側に設けられている。第２貼合装置１７は、貼合位置に導入された片面貼合パネルＰ１１の下面に対して、所定サイズにカットした貼合シートＦ５を貼合する。第２貼合装置１７は、前記第１貼合装置１３と同様の搬送装置２２及び挟圧ロール２３を備えている。

　挟圧ロール２３の一対の貼合ローラ２３ａ間の間隙内（第２貼合装置１７の貼合位置）には、片面貼合パネルＰ１１及び貼合シートＦ５が重なり合った状態で導入され、片面貼合パネルＰ１１の下面に貼合シートＦ５が一体的に貼合される。以下、この貼合後のパネルを両面貼合パネルＰ１２（光学部材貼合体）という。

　第２ズレ検査装置１８は、第２貼合装置１７よりもパネル搬送下流側に設けられている。第２ズレ検査装置１８は、両面貼合パネルＰ１２において、片面貼合パネルＰ１１に対する貼合シートＦ５の位置が適正か否か（位置ズレが公差範囲内にあるか否か）を検査する。第２ズレ検査装置１８は、例えば両面貼合パネルＰ１２のパネル搬送上流側及び下流側における貼合シートＦ５の端縁を撮像する一対のカメラ１８ａを有する。各カメラ１８ａの撮像によって得られた撮像データは制御部４０に送信され、この撮像データに基づき貼合シートＦ５及び液晶パネルＰの相対位置が適正か否かが判定される。前記相対位置が適正ではないと判定された両面貼合パネルＰ１２は、不図示の払い出し装置によりシステム外に排出される。

　第２反転装置１９は、第２ズレ検査装置１８よりもパネル搬送下流側に設けられている。第２反転装置１９は、第１反転装置１５を経てバックライト側に位置する面が上向きに位置されている液晶パネルＰ（両面貼合パネルＰ１２）の表面及び裏面を反転させ、フィルム貼合システム１に液晶パネルＰが搬入される時と同様に液晶パネルＰの表示面を上向きにする。

　欠陥検査装置３０は、第２反転装置１９よりもパネル搬送下流側に設けられている。欠陥検査装置３０は、両面貼合パネルＰ１２の欠陥（貼合不良等）の有無を検査する。検査対象となる欠陥としては、液晶パネルと貼合シートとを貼合する際に液晶パネルと貼合シートと間に混入した（かみ込み）異物や気泡、貼合シートの表面の傷、液晶パネルに内在する配向不良などの欠陥などが挙げられる。

　尚、本実施形態においてフィルム貼合システム１の各部を統括制御する電子制御装置としての制御部４０は、コンピュータシステムを含んで構成されている。このコンピュータシステムは、ＣＰＵ等の演算処理部と、メモリやハードディスク等の記憶部とを備える。
　本実施形態の制御部４０は、コンピュータシステムの外部の装置との通信を実行可能なインターフェースを含む。制御部４０には、入力信号を入力可能な入力装置が接続されていてもよい。上記の入力装置は、キーボード、マウス等の入力機器、あるいはコンピュータシステムの外部の装置からのデータを入力可能な通信装置等を含む。制御部４０は、フィルム貼合システム１の各部の動作状況を示す液晶表示ディスプレイ等の表示装置を含んでいてもよいし、表示装置と接続されていてもよい。

　制御部４０の記憶部には、コンピュータシステムを制御するオペレーティングシステム（ＯＳ）がインストールされている。制御部４０の記憶部には、演算処理部にフィルム貼合システム１の各部を制御させることによって、フィルム貼合システム１の各部に光学シートＦを精度よく搬送させるための処理を実行させるプログラムが記録されている。記憶部に記録されているプログラムを含む各種情報は、制御部４０の演算処理部が読み取り可能である。制御部４０は、フィルム貼合システム１の各部の制御に要する各種処理を実行するＡＳＩＣ等の論理回路を含んでいてもよい。

　記憶部は、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ　Ａｃｃｅｓｓ　Ｍｅｍｏｒｙ）、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ　Ｏｎｌｙ　Ｍｅｍｏｒｙ）などといった半導体メモリや、ハードディスク、ＣＤ－ＲＯＭ読取り装置、ディスク型記憶媒体などといった外部記憶装置などを含む概念である。記憶部は、機能的には、第１吸着装置１１、第１集塵装置１２、第１貼合装置１３、第１ズレ検査装置１４、第１反転装置１５、第２集塵装置１６、第２貼合装置１７、第２ズレ検査装置１８、第２反転装置１９、第２吸着装置２０、欠陥検査装置３０の動作の制御手順が記述されたプログラムソフトを記憶する記憶領域、その他各種の記憶領域が設定される。

（欠陥検査装置）
　次に、本実施形態の欠陥検査装置３０について詳細に説明する。
　図５は、本実施形態の欠陥検査装置３０を示す図である。図５において、符号Ｓｆ１は両面貼合パネルＰ１２の下面（第１主面）であり、例えばバックライトが取り付けられる面である。符号Ｓｆ２は両面貼合パネルＰ１２の上面（第２主面）であり、画像表示面である。

　図５に示すように、本実施形態の欠陥検査装置３０は、第１検査ユニット３１と、第２検査ユニット３２と、を備えている。

　第１検査ユニット３１は、第１光源装置３１１と、第１撮像装置３１２と、を備えている。第１光源装置３１１は、第１光源３１１ａと、第１集光レンズ３１１ｂと、第１カバー３１１ｃと、を備えている。

　第１光源３１１ａは、両面貼合パネルＰ１２（光学部材貼合体）の一辺に沿った長手部（図６のＹ方向に延在する部位）を有する光射出面ＡＲ１を有する。第１光源３１１ａは、光射出面ＡＲ１（図６参照）が第１主面Ｓｆ１と平行となるように配置されている。第１光源３１１ａは、第１主面Ｓｆ１に向けて第１の光Ｌ１を当該第１の光Ｌ１の光軸が第１主面Ｓｆ１と直交するよう射出する。

　なお、第１光源３１１ａが配置される位置は、図５に示された位置に限らない。例えば、第１光源３１１ａは、第１主面Ｓｆ１に向けて第１の光Ｌ１を当該第１の光Ｌ１の光軸が第１主面Ｓｆ１と斜めに交差するよう射出してもよい。第１光源３１１ａは、当該第１光源３１１ａから射出される第１の光Ｌ１の少なくとも一部が第１主面Ｓｆ１を透過するよう配置されていればよい。

　第１集光レンズ３１１ｂは、第１光源３１１ａと第１主面Ｓｆ１との間に配置されている。第１集光レンズ３１１ｂは、第１光源３１１ａから射出された第１の光Ｌ１を第１主面Ｓｆ１に向けて集光させ、集光した光を細い帯状の光として両面貼合パネルＰ１２に入射させる。

　図６は、第１光源装置３１１の分解斜視図である。
　図６に示すように、第１光源３１１ａは、直方体形状であり、Ｙ方向に沿って長手部を有している。例えば、第１光源３１１ａのＹ方向の長さは約１３２０ｍｍである。第１光源３１１ａの光射出面ＡＲ１も、Ｙ方向に沿って長手部を有している。例えば、第１光源３１１ａの光射出面ＡＲ１のＹ方向の長さは約１２００ｍｍである。

　本実施形態において、第１光源３１１ａの光射出面ＡＲ１は、両面貼合パネルＰ１２の搬送方向と直交する幅方向（一辺）に沿って長手部を有している。第１光源３１１ａの光射出面ＡＲ１は、両面貼合パネルＰ１２に対して幅方向に跨って形成されている。例えば、第１光源３１１ａとしては、ＲＥＶＯＸ社製の超高輝度ＬＥＤライン光源（型式ＳＰＸ－ＴＡ７０Ｃ－１２００－Ｗ）を用いることができる。

　第１集光レンズ３１１ｂは、第１光源３１１ａの光射出面ＡＲ１全体に亘って設けられている。第１集光レンズ３１１ｂも、第１光源３１１ａの光射出面ＡＲ１と同様に、Ｙ方向に沿って長手部を有している。例えば、第１集光レンズ３１１ｂのＹ方向の長さは約１２２０ｍｍである。第１集光レンズ３１１ｂはＹ方向において第１光源３１１ａの光射出面ＡＲ１よりも約２０ｍｍ長くなっており、第１集光レンズ３１１ｂの両側において約１０ｍｍずつ固定代を有している。本実施形態では、第１集光レンズ３１１ｂとしてフレネルレンズを用いる。

　本実施形態において、第１光源装置３１から射出された第１の光Ｌ１が第１主面Ｓｆ１に入射する際の第１主面Ｓｆ１における照度は約４５万ルクスである。ここで、「第１主面Ｓｆ１における照度」とは、第１光源３１１ａから射出され、第１集光レンズ３１１ｂで集光されて第１主面Ｓｆ１に入射する第１の光の光束を第１主面Ｓｆ１の集光領域の面積で割った値である。

　第１カバー３１１ｃは、第１集光レンズ３１１ｂを第１光源３１１ａに固定するための部材である。第１カバー３１１ｃは、平面視矩形状の枠である。第１カバー３１１ｃは、第１光源３１１ａの光射出面ＡＲ１と平面視重なる部分に開口部が形成されており、当該開口部から第１の光Ｌ１を射出させることができる。

　尚、第１カバー３１１ｃの構成は、第１光源３１１ａの光射出面ＡＲ１と平面視重なる部分に開口部が形成された構成に限らない。例えば、第１カバー３１１ｃの第１光源３１１ａの光射出面ＡＲ１と平面視重なる部分に第１の光Ｌ１が透過可能な透明部材が配置されていてもよい。これにより、当該透明部材から第１の光Ｌ１を射出させることができ、さらに第１集光レンズ３１１ｂを保護することもできる。

　図５に戻り、第１撮像装置３１２は、両面貼合パネルＰ１２が第１撮像装置３１２及び第１光源装置３１１に挟まれるように、第１光源装置３１１と対向して配置されている。第１撮像装置３１２は、受光面３１２ｓが第２主面Ｓｆ２（両面貼合パネルＰ１２の第１主面Ｓｆ１とは反対側の面）と平行になるように配置されている。第１撮像装置３１２は、受光面３１２ｓと第１光源３１１ａの光射出面ＡＲ１とが両面貼合パネルＰ１２を挟むように、受光面３１２ｓ及び光射出面ＡＲ１に平面視重なるように配置されている。第１撮像装置３１２は、第１集光レンズ３１１ｂにより集光されて両面貼合パネルＰ１２を透過した第１の光Ｌ１の画像を撮像する。

　なお、第１撮像装置３１２が配置される位置は、図５に示された位置に限らない。例えば、第１撮像装置３１２は、受光面３１２ｓが第２主面Ｓｆ２に対して斜めに傾くように配置されていてもよい。
　第１撮像装置３１２は、第１集光レンズ３１１ｂにより集光されて両面貼合パネルＰ１２を透過した第１の光Ｌ１の少なくとも一部を受光面３１２ｓで受光しうるよう配置されていればよい。

　このような構成により、第１検査ユニット３１は、第２反転装置１９を経て表示面が上向きに位置されている両面貼合パネルＰ１２に対して、第１主面Ｓｆ１側から第１の光Ｌ１を照射して、第２主面Ｓｆ２側より第１撮像装置３１２で撮像し、この撮像データに基づいて両面貼合パネルＰ１２の欠陥の有無を検査する。

　次に、第２検査ユニット３２について説明する。
　第２検査ユニット３２は、第２光源装置３２１と、第２撮像装置３２２と、を備えている。第２光源装置３２１は、第２光源３２１ａと、第２集光レンズ３２１ｂと、第２カバー３２１ｃと、を備えている。

　第２光源３２１ａは、光射出面ＡＲ２（図７参照）が第２主面Ｓｆ２に対して斜めに傾くように配置されている。第２光源３２１ａは、両面貼合パネルＰ１２の上面Ｓｆ２（第２主面）に向けて第２の光Ｌ２を当該第２の光Ｌ２の光軸が第２主面Ｓｆ２と斜めに交差するよう射出する。例えば、第２の光Ｌ２の光軸と第２主面Ｓｆ２とのなす角（照明角度）θは約６５度に設定される。

　なお、第２光源３２１ａが配置される位置は、図５及び図７に示された位置に限らない。例えば、第２光源３２１ａは、第２主面Ｓｆ２に向けて第２の光Ｌ２を当該第２の光Ｌ２の光軸が第２主面Ｓｆ２と直交するよう射出してもよい。第２光源３２１ａは、当該第２光源３２１ａから射出される第２の光Ｌ２の少なくとも一部が第２主面Ｓｆ２で反射されるよう配置されていればよい。

　第２集光レンズ３２１ｂは、第２光源３２１ａと第２主面Ｓｆ２との間に配置されている。第２集光レンズ３２１ｂは、第２光源３２１ａから射出された第２の光Ｌ２を第２主面Ｓｆ２に向けて集光させ、集光した光を細い帯状の光として両面貼合パネルＰ１２に入射させる。

　図７は、第２光源装置３２１の分解斜視図である。
　図７に示すように、第２光源３２１ａは、直方体形状であり、Ｙ方向に沿って長手部を有している。例えば、第２光源３２１ａのＹ方向の長さは約１３２０ｍｍである。第２光源３２１ａの光射出面ＡＲ２も、Ｙ方向に沿って長手部を有している。例えば、第２光源３２１ａの光射出面ＡＲ２のＹ方向の長さは約１２００ｍｍである。

　本実施形態において、第２光源３２１ａの光射出面ＡＲ２は、両面貼合パネルＰ１２の幅方向（一辺）に沿って長手部を有している。第２光源３２１ａの光射出面ＡＲ２は、両面貼合パネルＰ１２に対して幅方向に跨って形成されている。例えば、第２光源３２１ａとしては、イマック社製のＬＥＤライン光源（型式ＩＤＢＡ－ＬＳＲ－１２００Ｗ）を用いることができる。

　第２集光レンズ３２１ｂは、第２光源３２１ａの光射出面ＡＲ２全体に亘って設けられている。第２集光レンズ３２１ｂも、第２光源３２１ａの光射出面ＡＲ２と同様に、Ｙ方向に沿って長手部を有している。例えば、第２集光レンズ３２１ｂのＹ方向の長さは約１２２０ｍｍである。第２集光レンズ３２１ｂはＹ方向において第２光源３２１ａの光射出面ＡＲ２よりも約２０ｍｍ長くなっており、第２集光レンズ３２１ｂの両側において約１０ｍｍずつ固定代を有している。本実施形態では、第２集光レンズ３２１ｂとしてシリンドリカルレンズを用いる。

　本実施形態において、第２光源装置３２から射出された第２の光Ｌ２が第２主面Ｓｆ２に入射する際の第２主面Ｓｆ２における照度は約２０万ルクスである。ここで、「第２主面Ｓｆ２における照度」とは、第２光源３２１ａから射出され、第２集光レンズ３２１ｂで集光されて第２主面Ｓｆ２に入射する第２の光Ｌ２の光束を第２主面Ｓｆ２の集光領域の面積で割った値である。

　本実施形態においては、第２主面Ｓｆ２における照度（約２０万ルクス）よりも、上述した第１主面Ｓｆ１における照度（約４５万ルクス）が大きい。

　第２カバー３２１ｃは、第２集光レンズ３２１ｂを第２光源３２１ａに固定するための部材である。第２カバー３２１ｃは、平面視矩形状の枠である。第２カバー３２１ｃは、第２光源３２１ａの光射出面ＡＲ２と平面視重なる部分に開口部が形成されており、当該開口部から第２の光Ｌ２を射出させることができる。

　尚、第２カバー３２１ｃの構成は、第２光源３２１ａの光射出面ＡＲ２と平面視重なる部分に開口部が形成された構成に限らない。例えば、第２カバー３２１ｃの第２光源３２１ａの光射出面ＡＲ２と平面視重なる部分に第２の光Ｌ２が透過可能な透明部材が配置されていてもよい。これにより、当該透明部材から第２の光Ｌ２を射出させることができ、さらに第２集光レンズ３２１ｂを保護することもできる。

　図５に戻り、第２撮像装置３２２は、両面貼合パネルＰ１２に対して上側（＋Ｚ方向側）に配置され、Ｚ方向から見た平面視において第２光源装置３２１とは異なる位置に配置されている。第２撮像装置３２２は、受光面３２２ｓが第２主面Ｓｆ２と平行になるように配置されている。第２撮像装置３２２は、受光面３２２ｓと、第２主面Ｓｆ２において第２光源３２１ａから射出された第２の光Ｌ２が集光される集光領域とが平面視重なるように配置されている。第２撮像装置３２２は、第２集光レンズ３２１ｂにより集光されて第２主面Ｓｆ２で反射された第２の光Ｌ２の画像を撮像する。

　なお、第２撮像装置３２２が配置される位置は、図５に示された位置に限らない。例えば、第２撮像装置３２２は、受光面３２２ｓが第２主面Ｓｆ２に対して斜めに傾くように配置されていてもよい。
　第２撮像装置３２２は、第２集光レンズ３２１ｂにより集光されて第２主面Ｓｆ２で反射された第２の光Ｌ２の少なくとも一部を受光面３２２ｓで受光することができるように配置されていればよい。

　このような構成により、第２検査ユニット３２は、第２反転装置１９を経て表示面が上向きに位置されている両面貼合パネルＰ１２に対して、第２主面Ｓｆ２側から第２の光Ｌ２を照射して、第２主面Ｓｆ２や第２主面Ｓｆ２の下層側に配置された部材同士の界面で反射された光を第２撮像装置３２２で撮像し、この撮像データに基づいて両面貼合パネルＰ１２の画像表示面の欠陥の有無を検査する。

　図８Ａ及び図８Ｂは、本実施形態の欠陥検査装置３０の作用を説明する図である。図８Ａは、従来の光源装置３１１Ｘを示す模式図である。図８Ｂは、本実施形態の第１光源装置３１１を示す模式図である。

　従来の光源装置３１１Ｘは、図８Ａに示すように、光源３１１Ｘａと、拡散板３１１Ｘｂと、カバー３１１Ｘｃと、を備えている。光源３１１Ｘａは、主面ＳｆＸに向けて光ＬＸを当該光ＬＸの光軸が主面ＳｆＸと直交するよう射出する。拡散板３１１Ｘｂは、光源３１１Ｘａから射出された光ＬＸを拡散させる。カバー３１１Ｘｃは、拡散板３１１Ｘｂを光源３１１Ｘａに固定する。

　従来の構成では、光源３１１Ｘａから射出された光ＬＸは、拡散板３１１Ｘｂを透過することで被照射面（主面ＳｆＸ）において均一に照射される。しかしながら、光源３１１Ｘａから射出された光ＬＸは平行光または被照射面ＳｆＸに向けて拡散する拡散光であるため、光ＬＸによって主面ＳｆＸを十分に明るく照らすことがでない。そのため、両面貼合パネルに欠陥が存在しても欠陥の有無を精度よく検査することができない。

　これに対し、本実施形態の第１光源装置３１１は、図８Ｂに示すように、第１光源３１１ａと第１主面Ｓｆ１との間に第１集光レンズ３１１ｂが配置されている。このため、第１光源３１１ａから射出された第１の光Ｌ１は、第１集光レンズ３１１ｂにより集光された状態で第１主面Ｓｆ１に入射する。そのため、第１主面Ｓｆ１に照射される光の照度は、拡散板を備えた従来の構成に比べて大きくなり、両面貼合パネルＰ１２の欠陥の有無を精度よく検査することができる。

　また、第１光源３１１ａの光射出面ＡＲ１がＹ方向に長手部を有し両面貼合パネルＰ１２に対して幅方向に跨って形成されている。このため、両面貼合パネルＰ１２をＸ方向に搬送することにより、両面貼合パネルＰ１２の全体を一回の搬送で検査することができる。
　よって、両面貼合パネルＰ１２の欠陥の有無を容易に検査することができる。

　また、第１集光レンズ３１１ｂとしてフレネルレンズを用いているため、集光レンズ３１１ｂの厚みを薄くすることができ、質量も小さくなる。よって、既存のＬＥＤライン光源（第１光源３１１ａ）に新たに第１集光レンズ３１１ｂを設置する等、既存設備に第１集光レンズ３１１ｂを追加する工事を容易に行うことができる。

　また、第１光源３１１ａとして超高輝度ＬＥＤライン光源を用いており、第１主面Ｓｆ１における照度（約４５万ルクス）が第２主面Ｓｆ２における照度（約２０万ルクス）よりも大きい。このため、両面貼合パネルＰ１２を透過する透過光が十分得られるようになり、両面貼合パネルＰ１２の欠陥の有無を精度よく検査することができる。

　また、第２検査ユニット３２をさらに備えるため、両面貼合パネルＰ１２の第２主面Ｓｆ２側の欠陥（例えば、偏光フィルムの表面の傷など）の有無を精度よく検査することができる。第２主面Ｓｆ２が画像表示面であると、視認側で傷が目立って観察されるため、見栄えの観点から好ましくないが、本実施形態においては、第２検査ユニット３２を用いることで第２主面Ｓｆ２表面の欠陥の有無を精度よく検査することができる。このため、見栄えの観点から画像表示面に傷などの欠陥が無い両面貼合パネルが要求されても、当該要求に十分に応える両面貼合パネルを提供することができる。

　尚、本実施形態においては、欠陥検査装置３０が第１検査ユニット３１と第２検査ユニット３２とを備える構成を例に挙げて説明したが、本発明はこの構成に限らない。例えば、欠陥検査装置３０が第１検査ユニット３１のみを備える構成においても本発明を適用することが可能である。

（第２実施形態）
　図９は、図５に対応した、本発明の第２実施形態の欠陥検査装置３０Ａを示す図である。
　本実施形態の欠陥検査装置３０Ａの基本構成は第１実施形態と同様であり、第３検査ユニットをさらに備える点で本実施形態は第１実施形態と異なる。図９において、図５と共通の構成要素には同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。

　図９に示すように、本実施形態の欠陥検査装置３０Ａは、第１検査ユニット３１と、第２検査ユニット３２と、第３検査ユニット３３と、を備えている。

　第３検査ユニット３３は、第３光源装置３３１と、第３撮像装置３３２と、を備えている。第３光源装置３３１は、第３光源３３１ａと、第３集光レンズ３３１ｂと、第３カバー３３１ｃと、を備えている。

　第３光源３３１ａは、光射出面が第１主面Ｓｆ１に対して斜めに傾くように配置されている。第３光源３３１ａは、第１主面Ｓｆ１に向けて第３の光Ｌ３を当該第３の光Ｌ３の光軸が第１主面Ｓｆ１と斜めに交差するよう射出する。例えば、第３の光Ｌ３の光軸と第１主面Ｓｆ１とのなす角（照明角度）θＡは約６５度に設定される。

　なお、第３光源３３１ａが配置される位置は、図９に示された位置に限らない。例えば、第３光源３３１ａは、第１主面Ｓｆ１に向けて第３の光Ｌ３を当該第３の光Ｌ３の光軸が第１主面Ｓｆ１と直交するよう射出してもよい。第３光源３３１ａは、当該第３光源３３１ａから射出される第３の光Ｌ３の少なくとも一部が第１主面Ｓｆ１で反射されるよう配置されていればよい。

　第３集光レンズ３３１ｂは、第３光源３３１ａと第１主面Ｓｆ１との間に配置されている。第３集光レンズ３３１ｂは、第３光源３３１ａから射出された第３の光Ｌ３を第１主面Ｓｆ１に向けて集光させ、集光した光を細い帯状の光として両面貼合パネルＰ１２に入射させる。

　第３光源３３１ａは、第２光源３２１ａと同様に直方体形状であり、Ｙ方向に沿って長手部を有している。例えば、第３光源３３１ａのＹ方向の長さは約１３２０ｍｍである。第３光源３３１ａの光射出面も、Ｙ方向に沿って長手部を有している。例えば、第３光源３３１ａの光射出面のＹ方向の長さは約１２００ｍｍである。

　本実施形態において、第３光源３３１ａの光射出面は、両面貼合パネルＰ１２の幅方向（一辺）に沿って長手部を有している。第３光源３３１ａの光射出面は、両面貼合パネルＰ１２に対して幅方向に跨って形成されている。例えば、第３光源３３１ａとしては、第２光源３２１ａと同様に、イマック社製のＬＥＤライン光源（型式ＩＤＢＡ－ＬＳＲ－１２００Ｗ）を用いることができる。

　第３集光レンズ３３１ｂは、第３光源３３１ａの光射出面全体に亘って設けられている。第３集光レンズ３３１ｂも、第３光源３３１ａの光射出面と同様に、Ｙ方向に沿って長手部を有している。例えば、第３集光レンズ３３１ｂのＹ方向の長さは約１２２０ｍｍである。第３集光レンズ３３１ｂはＹ方向において第３光源３３１ａの光射出面よりも約２０ｍｍ長くなっており、第３集光レンズ３３１ｂの両側において約１０ｍｍずつ固定代を有している。本実施形態では、第３集光レンズ３３１ｂとしてシリンドリカルレンズを用いる。

　本実施形態において、第３光源装置３３から射出された第３の光Ｌ３が第１主面Ｓｆ１に入射する際の第１主面Ｓｆ１における照度は約２０万ルクスである。ここで、「第１主面Ｓｆ１における照度」とは、第３光源３３１ａから射出され、第３集光レンズ３３１ｂで集光されて第１主面Ｓｆ１に入射する第３の光Ｌ３の光束を第１主面Ｓｆ１の集光領域の面積で割った値である。

　第３カバー３３１ｃは、第３集光レンズ３３１ｂを第３光源３３１ａに固定するための部材である。第３カバー３３１ｃは、平面視矩形状の枠である。第３カバー３３１ｃは、第３光源３３１ａの光射出面と平面視重なる部分に開口部が形成されており、当該開口部から第３の光Ｌ３を射出させることができる。

　尚、第３カバー３３１ｃの構成としては第３光源３３１ａの光射出面と平面視重なる部分に開口部が形成された構成に限らない。例えば、第３カバー３３１ｃの第３光源３３１ａの光射出面と平面視重なる部分に第３の光Ｌ３が透過可能な透明部材が配置されていてもよい。これにより、当該透明部材から第３の光Ｌ３を射出させることができ、さらに第３集光レンズ３３１ｂを保護することもできる。

　第３撮像装置３３２は、両面貼合パネルＰ１２に対して下側（－Ｚ方向側）に配置され、Ｚ方向から見た平面視において第３光源装置３３１とは異なる位置に配置されている。
　第３撮像装置３３２は、受光面３３２ｓが第１主面Ｓｆ１と平行になるように配置されている。第３撮像装置３３２は、受光面３３２ｓと、第１主面Ｓｆ１において第３光源３３１ａから射出された第３の光Ｌ３が集光される集光領域とが平面視重なるように配置されている。第３撮像装置３３２は、第３集光レンズ３３１ｂにより集光されて第１主面Ｓｆ１で反射された第３の光Ｌ３の画像を撮像する。

　なお、第３撮像装置３３２が配置される位置は、図９に示された位置に限らない。例えば、第３撮像装置３３２は、受光面３３２ｓが第１主面Ｓｆ１に対して斜めに傾くように配置されていてもよい。
　第３撮像装置３３２は、第３集光レンズ３３１ｂにより集光されて第１主面Ｓｆ１で反射された第３の光Ｌ３の少なくとも一部を受光面３３２ｓで受光することができるように配置されていればよい。

　このような構成により、第３検査ユニット３３は、第２反転装置１９を経て表示面が上向きに位置されている両面貼合パネルＰ１２に対して、第１主面Ｓｆ１側から第３の光Ｌ３を照射して、第１主面Ｓｆ１で反射された光を第３撮像装置３３２で撮像し、この撮像データに基づいて両面貼合パネルＰ１２の下面（画像表示面とは反対側の面）の欠陥の有無を検査する。

　本実施形態によれば、第３検査ユニット３３をさらに備えるため、両面貼合パネルＰ１２の下面における表面部分の欠陥（例えば、偏光フィルムの表面の傷）の有無についても精度よく検査することができる。このため、画像表示面とは反対側の面に傷などの欠陥が無い両面貼合パネルが要求されても、当該要求に十分に応える両面貼合パネルを提供することができる。

　本発明の好ましい実施形態を説明し、上記で説明してきたが、これらは本発明の例示的なものであり、限定するものとして考慮されるべきではないことを理解すべきである。追加、省略、置換、およびその他の変更は、本発明の範囲から逸脱することなく行うことができる。従って、本発明は、前述の説明によって限定されていると見なされるべきではなく、特許請求の範囲によって制限されている。

　以下、本発明の実施例を示すが、本発明は、これら実施例によって限定されない。

（サンプルの作製）
　比較例及び実施例の検査対象用のサンプルとしては、液晶パネルと、液晶パネルを挟んで配置された一対の偏光フィルムと、を備え、一対の偏光フィルムの偏光軸同士が互いに直交して配置（クロスニコル配置）された両面貼合パネルを用いた。
（比較例）
　比較例の欠陥検査装置の光源装置としては、図８Ａに示したように、光源３１１Ｘａと拡散板３１１Ｘｂとカバー３１１Ｘｃとを備えた光源装置３１１Ｘを用いた。
（実施例）
　実施例の欠陥検査装置の光源装置としては、（１）反射用として、ＬＥＤライン光源にシリンドリカルレンズが装着され、照射角度が６５度である欠陥検査装置、（２）反射用（変形例）として、超高輝度ＬＥＤライン光源にシリンドリカルレンズが装着され、照明角度が６０度である欠陥検査装置、の２種類の欠陥検査装置を用いた。また、（３）透過用としては、図６に示したように、超高輝度ＬＥＤライン光源にフレネルレンズが装着された欠陥検査装置（光源３１１ａと第１集光レンズ３１１ｂとカバー３１１ｃとを備えた光源装置３１１）を用いた。

（両面貼合パネルの欠陥の検査の評価）
　比較例及び実施例についてそれぞれ、反射用（両面貼合パネルの表面検査用）、透過用（両面貼合パネルの内部検査用）の欠陥検査装置を用いて、両面貼合パネルの欠陥の有無の検査を行った。両面貼合パネルに存在する欠陥を、比較例及び実施例についてそれぞれの欠陥検査装置で判別できるか否かを確認した。

　上記評価について、結果を表１～表４に示す。
　尚、サンプル数は１２とした。また、表中の「欠陥種」の欄においては、ＣＦ（カラーフィルタ）側（画像表示面側）、ＴＦＴ側（バックライト側）のそれぞれにおいて、異物、気泡、繊維状欠陥などの両面貼合パネルに存在する欠陥の種類を記載した。また、表中の「結果」の欄においては、欠陥を精度よく検査することができた場合には検査可能（良）、欠陥をあまりよく検査することができなかった場合には検査不良（不良）、欠陥を全く検査することができなかった場合には検査不可（不可）と示している。また、画像を検出することができなかった場合には、画像が添付される箇所を空欄とした。

　評価の結果、実施例の欠陥検査装置は、比較例の欠陥検査装置よりも両面貼合パネルの欠陥を精度よく検査することができることが確認された。
　また、実施例においては、（１）反射用の欠陥検査装置を用いる場合よりも（２）反射用（変形例）の欠陥検査装置を用いることによって両面貼合パネルの欠陥を精度よく検査することができることが確認された。
　このように本発明の欠陥検査装置によれば、集光レンズを備えるため、検査対象の集光領域において照度を向上させることができ、比較例の欠陥検査装置では検査不可能な欠陥についても検査することができることが分かった。また、比較例の欠陥検査装置で検出可能な欠陥についてもさらに精度よく検査することができることが分かった。

１…フィルム貼合システム（光学部材貼合体の製造装置）、１３…第１貼合装置（貼合装置）、１７…第２貼合装置（貼合装置）、２２…搬送装置、３０…欠陥検査装置（検査装置）、３１…第１検査ユニット、３２…第２検査ユニット、３３…第３検査ユニット、３１１…第１光源装置、３１１ａ…第１光源、３１１ｂ…第１集光レンズ、３１２…第１撮像装置、３２１…第２光源装置、３２１ａ…第２光源、３２１ｂ…第２集光レンズ、３２２…第２撮像装置、３３１…第３光源装置、３３１ａ…第３光源、３３１ｂ…第３集光レンズ、３３２…第３撮像装置、ＡＲ１…第１光源の光射出面、ＡＲ２…第２光源の光射出面、Ｐ…液晶パネル（光学表示部品）、Ｆ１…光学部材、Ｐ１２…両面貼合パネル（光学部材貼合体）、Ｓｆ１…第１主面、Ｓｆ２…第２主面、Ｌ１…第１の光、Ｌ２…第２の光、Ｌ３…第３の光

Claims (8)

1. 　光学表示部品に光学部材を貼合してなる光学部材貼合体の欠陥の有無を検査する検査装置であって、
   　前記光学部材貼合体の第１主面に向けて第１の光を射出する第１光源と、前記第１光源と前記第１主面との間に配置され前記第１光源から射出された前記第１の光を前記第１主面に向けて集光させる第１集光レンズと、前記第１集光レンズにより集光されて前記光学部材貼合体を透過した前記第１の光の画像を撮像する第１撮像装置と、を含む第１検査ユニットを備える
   　ことを特徴とする検査装置。
2. 　前記光学部材貼合体は前記第１主面の法線方向から見て矩形形状であり、
   　前記第１光源は、前記光学部材貼合体の一辺に沿った長手部を有する光射出面を有し、
   　前記第１集光レンズは前記第１光源の光射出面全体に亘って設けられている
   　ことを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
3. 　前記第１集光レンズがフレネルレンズである
   　ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の検査装置。
4. 　前記光学部材貼合体の前記第１主面とは反対側の第２主面に向けて第２の光を射出する第２光源と、前記第２光源と前記第２主面との間に配置され前記第２光源から射出された前記第２の光を前記第２主面に向けて集光させる第２集光レンズと、前記第２集光レンズにより集光されて前記第２主面で反射された前記第２の光の画像を撮像する第２撮像装置と、を含む第２検査ユニットをさらに備える
   　ことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の検査装置。
5. 　前記第１の光が前記第１主面に入射する際の前記第１主面における照度が、前記第２の光が前記第２主面に入射する際の前記第２主面における照度よりも大きい
   　ことを特徴とする請求項４に記載の検査装置。
6. 　前記第２主面が画像表示面である
   　ことを特徴とする請求項４又は請求項５に記載の検査装置。
7. 　前記第１主面に向けて第３の光を射出する第３光源と、前記第３光源と前記第１主面との間に配置され前記第３光源から射出された前記第３の光を前記第１主面に向けて集光させる第３集光レンズと、前記第３集光レンズにより集光されて前記第１主面で反射された前記第３の光の画像を撮像する第３撮像装置と、を含む第３検査ユニットをさらに備える
   　ことを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の検査装置。
8. 　光学表示部品に光学部材を貼合してなる光学部材貼合体の製造装置であって、
   　前記光学部材を搬送する搬送装置と、
   　前記搬送装置で搬送された前記光学部材を前記光学表示部品に貼り合わせて前記光学部材貼合体を作製する貼合装置と、
   　前記貼合装置により作製された前記光学部材貼合体の欠陥の有無を検査する請求項１から請求項７のいずれか一項に記載の検査装置と、
   　を含む
   　ことを特徴とする光学部材貼合体の製造装置。

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