WO2013094632A1

WO2013094632A1 - 表示パネルの製造方法、これに用いられる搬送装置および搬送装置群ならびにオイルミスト発生源特定方法

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Publication number: WO2013094632A1
Application number: PCT/JP2012/082898
Authority: WO
Inventors: 正樹昼岡
Original assignee: Sharp Corp
Current assignee: Sharp Corp
Priority date: 2011-12-21
Filing date: 2012-12-19
Publication date: 2013-06-27
Anticipated expiration: 2014-06-21

Abstract

　表示パネルの製造方法は、基板（３）を用いて表示パネルを製造する方法であって、基板（３）に対して少なくとも１つの処理を行なう工程を含み、さらに、ｎを２以上の整数としたとき１からｎの各整数ｋについて、少なくとも１つのグリス付着部を有する第ｋ搬送装置によって、基板（３）を搬送する第ｋ搬送工程を含み、前記第ｋ搬送装置の前記グリス付着部は、第ｋ種類の識別用材料を含んでおり、前記第ｋ種類の識別用材料は、第１種類から第ｎ種類の識別用材料の群の中で第ｋ種類であることが識別可能な特性を有する。

Description

表示パネルの製造方法、これに用いられる搬送装置および搬送装置群ならびにオイルミスト発生源特定方法

　本発明は、表示パネルの製造方法、これに用いられる搬送装置および搬送装置群ならびにオイルミスト発生源特定方法に関するものである。

　従来、プラント内機器、車両などの部品からの油漏れを検知し、漏洩膜厚、漏洩面積および漏洩量を演算し、漏洩した油の油種および部位を特定することができる油検知装置が特開平１０－３１１７７１号公報（特許文献１）に記載されている。

特開平１０－３１１７７１号公報

　特許文献１に記載された油検知装置では、油漏れが現に発生していることが判明している対象物での検知作業しかすることができない。しかし、複数の装置が配置されて稼動しているプラント内において、ある１台の装置が油漏れを起こしている場合、漏れ出た油はその装置の表面に留まっているとは限らず、霧状の微粒子となって浮遊する場合がある。霧状の油の微粒子を以下「オイルミスト」という。オイルミストが空中を移動してきて他の装置または製品に付着した場合には、そのオイルミストがどの装置から発生したものであるかの特定は困難である。

　ところで、一般的に、表示パネルの製造方法においては、基板に対して、洗浄工程、溶媒塗布工程、検査工程などの多くの工程が実施され、これらの工程間においては基板搬送ロボットが基板を搬送する。そのような製造方法のフローチャートの一例を図７に示す。製造方法の全体の中では、基板搬送ロボットによって基板を搬送する工程が何度も繰り返される。図７に示した例では、基板搬送ロボットによって基板を搬送する工程はＲ１～Ｒ３で示されている。

　各基板搬送ロボットのおおまかな構造を図８に示す。基板搬送ロボット１００は、移動体１とスライダ駆動部２とを備える。移動体１は基板３を載せるための載置部４を備える。スライダ駆動部２は移動用ガイド５を備える。移動用ガイド５にはグリスが用いられている。移動部１は移動用ガイド５に沿って矢印９１の向きに移動することができる。このような基板搬送ロボット１００を使用していると、移動用ガイド５に含まれるグリスからオイルミスト７が発生する場合がある。オイルミスト７が基板３に付着すると、のちに微小輝点となるいわゆるハジキ欠陥を発生させてしまう。なお、ここで「表示パネル」とは、液晶表示パネルを含み、液晶以外の方式の表示パネルも含む概念である。ハジキ欠陥の一例を図９に示す。複数の画素電極が配列されている領域の中に、ハジキ欠陥１２が生じている。

　表示パネルの製造現場においては、多くの台数の基板搬送ロボットが稼動している。また、オイルミストが空中を浮遊しているところや発生源から浮遊を開始するところは目視で確認することが不可能である。このような事情により、表示パネルの製造現場において、オイルミストの発生源となっている基板搬送ロボットを特定することは、従来は困難であった。

　そこで、本発明は、表示パネルの製造現場において、オイルミストの発生源を容易に特定することができるようにすることを目的とする。

　上記目的を達成するため、本発明に基づく表示パネルの製造方法は、基板を用いて表示パネルを製造する方法であって、前記基板に対して少なくとも１つの処理を行なう工程を含む。さらに、ｎを２以上の整数としたとき１からｎの各整数ｋについて、少なくとも１つのグリス付着部を有する第ｋ搬送装置によって、前記基板を搬送する第ｋ搬送工程を含む。前記第ｋ搬送装置の前記グリス付着部は、第ｋ種類の識別用材料を含む。前記第ｋ種類の識別用材料は、第１種類から第ｎ種類の識別用材料の群の中で第ｋ種類であることが識別可能な特性を有する。

　本発明によれば、識別用材料の特性の違いによって、オイルミストの発生源を容易に特定することができる。

本発明に基づく実施の形態１における表示パネルの製造方法のフローチャートである。本発明に基づく実施の形態１における表示パネルの製造方法で用いられる基板搬送ロボットの概念図である。本発明に基づく実施の形態１における表示パネルの製造方法で、ハジキ欠陥に紫外光を照射する様子の概念図である。本発明に基づく実施の形態１における表示パネルの製造方法を一般化して表現したフローチャートである。本発明に基づく実施の形態２における表示パネルの製造方法で用いられる基板搬送ロボットの概念図である。本発明に基づく実施の形態３における搬送装置群の概念図である。従来技術に基づく表示パネルの製造方法のフローチャートである。従来技術に基づく表示パネルの製造方法で用いられる基板搬送ロボットの概念図である。従来技術に基づく表示パネルの製造方法によって生じたハジキ欠陥の一例の概念図である。

　以下の説明において「表示パネル」といった場合、液晶表示パネルであってもよく、他の方式の表示パネルであってもよい。

　（実施の形態１）
　図１～図２を参照して、本発明に基づく実施の形態１における表示パネルの製造方法について説明する。この製造方法のフローチャートを図１に示す。まず、基板洗浄装置に基板が搬入され、この装置において基板を洗浄する工程Ｓ１が行なわれる。工程Ｓ１の後に、基板洗浄装置から溶媒塗布装置へと基板をロボットで搬送する工程Ｒ１が行なわれる。その後、溶媒塗布装置において、基板に溶媒を塗布する工程Ｓ２が行なわれる。工程Ｓ２の後に、溶媒塗布装置から基板検査装置へと基板をロボットで搬送する工程Ｒ２が行なわれる。その後、基板検査装置において、基板を検査する工程Ｓ３が行なわれる。工程Ｓ３の後に、基板検査装置から基板乾燥装置へと基板をロボットで搬送する工程Ｒ３が行なわれる。その後、基板乾燥装置において、基板を乾燥させる工程Ｓ４が行なわれる。工程Ｒ１～Ｒ３で使用されるロボットすなわち基板搬送ロボットはそれぞれ別々のものである。各ロボットにはそれぞれグリス付着部が存在する。図１に示されるように、工程Ｒ１で使用される基板搬送ロボットのグリス付着部には、青色の蛍光染料を含んだグリスが用いられている。工程Ｒ２で使用される基板搬送ロボットのグリス付着部には、赤色の蛍光染料を含んだグリスが用いられている。工程Ｒ３で使用される基板搬送ロボットのグリス付着部には、黄色の蛍光染料を含んだグリスが用いられている。

　ロボットすなわち基板搬送ロボットの一例について図２に示す。基板搬送ロボット１０１は、移動体１とスライダ駆動部２とを備える。移動体１は基板３を載せるための載置部４を備える。スライダ駆動部２は移動用ガイド５を備える。移動用ガイド５にはグリスが用いられている。移動部１は移動用ガイド５に沿って矢印９１の向きに移動することができる。本実施の形態における基板搬送ロボット１０１は、図８に示した基板搬送ロボット１００と似ているが、グリスに蛍光染料が含まれているという点で異なる。

　このような基板搬送ロボット１０１を使用していると、移動用ガイド５に含まれるグリスからオイルミスト１７が発生する場合がある。オイルミスト１７が基板３に付着すると、ハジキ欠陥１２を発生させてしまうが、オイルミスト１７には蛍光染料が含まれているのでこれを利用して識別が可能である。

　本実施の形態では、オイルミストの発生源を特定するためには、図３に示すように、ハジキ欠陥１２に紫外光を当てればよい。図３に示した例では、暗室１４内において基板３のハジキ欠陥１２に向けてＵＶ光源１０から紫外光１３を照射している。紫外光１３を照射されたときにハジキ欠陥１２が何色に蛍光発光するかを視認することによって、このハジキ欠陥１２を引き起こしたオイルミスト１７がいずれの基板搬送ロボットから発生したものであるかを容易に特定することができる。

　以上のようにして、本発明によれば、オイルミストの発生源を容易に特定することができる。

　本実施の形態で説明した表示パネルの製造方法を、「オイルミスト発生源特定方法」として把握することもできる。このオイルミスト発生源特定方法は、グリスを含むグリス付着部をそれぞれ備える複数の搬送装置のうち、製品に付着するオイルミストの発生源となっている搬送装置を特定する方法であって、前記複数の搬送装置のグリス付着部の各々に、前記複数の搬送装置のうちのいずれであるかを識別可能な特性を有する識別用材料を添加する工程と、前記複数の搬送装置によって前記製品を搬送する工程と、前記製品に付着したオイルミストに含まれる前記識別用材料を分析して前記複数の搬送装置のうちのいずれに添加した種類のものであるかを特定する工程とを含む。ここでいう「搬送装置」は、たとえば基板搬送ロボットのことである。「グリス付着部」とは、たとえば移動用ガイドのことである。「識別用材料」とは、たとえば蛍光染料のことである。「特定する工程」とは、たとえば紫外光を照射する工程のことである。現実に付着しているオイルミストが、複数ある基板搬送ロボットのうちどの１台から発生したものであるかが特定されれば足りる場合には、このようなオイルミスト発生源特定方法によって対処することができる。

　１台のみまたは複数台ある基板搬送ロボットには複数のグリス付着部があるのが普通であるが、これらの複数のグリス付着部のいずれがオイルミストの発生源になっているかを特定したい場合は、次のようなオイルミスト発生源特定方法によって対処することができる。

　このオイルミスト発生源特定方法は、グリスを含むグリス付着部を備える１台以上の搬送装置のうち、製品に付着するオイルミストの発生源となっている箇所を特定する方法であって、前記１台以上の搬送装置の中に存在する複数のグリス付着部の各々に、前記複数のグリス付着部のうちのいずれであるかを識別可能な特性を有する識別用材料を添加する工程と、前記１台以上の搬送装置によって前記製品を搬送する工程と、前記製品に付着したオイルミストに含まれる前記識別用材料を分析して前記複数のグリス付着部のうちのいずれに添加した種類のものであるかを特定する工程とを含む。

　本実施の形態における表示パネルの製造方法は、以下のように把握することができる。
　この表示パネルの製造方法は、基板を用いて表示パネルを製造する方法であって、前記基板に対して少なくとも１つの処理を行なう工程を含み、さらに、ｎを２以上の整数としたとき１からｎの各整数ｋについて、少なくとも１つのグリス付着部を有する第ｋ搬送装置によって、前記基板を搬送する第ｋ搬送工程を含む。前記第ｋ搬送装置の前記グリス付着部は、第ｋ種類の識別用材料を含んでいる。前記第ｋ種類の識別用材料は、第１種類から第ｎ種類の識別用材料の群の中で第ｋ種類であることが識別可能な特性を有する。

　この表示パネルの製造方法のフローチャートの一例を図４に示す。図４に示した例では処理を行なう工程が第ｋ搬送工程より前で行なわれているが、これは一例に過ぎず、処理を行なう工程が第ｋ搬送工程より後で行なわれてもよい。

　この製造方法では、図１に示したように何らかの処理装置における基板に対する実質的な処理の工程と搬送装置による搬送の工程とが交互に行なわれるとは限らない。ある搬送装置による搬送の後に、基板に対する実質的な処理を行なうことなく、他の搬送装置による搬送が行なわれてもよい。また、搬送装置による搬送の工程を挟むことなく、基板に対するひとつの処理の後に続けて他の処理が行なわれてもよい。この製造方法としては、基板に対して少なくとも１つの処理を行なう工程を含んでいればよい。

　「ｎを２以上の整数としたとき１からｎの各整数ｋについて、少なくとも１つのグリス付着部を有する第ｋ搬送装置によって、前記基板を搬送する第ｋ搬送工程を含む」とは、たとえば、整数ｎを適当に定めたとき、この製造方法は、第１搬送工程、第２搬送工程、第３搬送工程、…、第ｎ－１搬送工程、第ｎ搬送工程を含むという意味である。各搬送工程は、それぞれ独自の搬送装置によって基板を搬送するものであり、各搬送装置のグリス付着部は、それぞれ識別可能な特性を有する識別用材料を含んでいる。たとえば、識別用材料として蛍光染料を用いる場合であれば、各搬送装置ごとに異なった色の蛍光発光特性を有する蛍光染料が含まれていればよい。

　このような製造方法であれば、ハジキ欠陥１２を引き起こしたオイルミスト１７に含まれている識別用材料を確認することによって、オイルミスト１７がいずれの基板搬送ロボットから発生したものであるかを容易に特定することができる。すなわち、オイルミストの発生源を容易に特定することができる。

　この製造方法においては、第ｎ搬送工程より後に、前記基板の表面に第１種類から第ｎ種類の識別用材料のいずれが付着しているかあるいはいずれも付着していないかを検査する工程を含むことが好ましい。このように検査する工程が含まれていれば、より円滑にオイルミストの付着の有無を確認できるからである。

　この製造方法においては、識別用材料は蛍光染料であり、前記特性は発光色の種類であることが好ましい。このように発光色がそれぞれ異なる蛍光染料を用いれば、容易に識別可能だからである。

　ここまで、蛍光染料を使用する例を中心に説明してきたが、識別用材料は蛍光染料以外であってもよい。公知技術によって種類の識別ができるような材料であればよい。

　蛍光染料以外の例としては、識別用材料は組成を異ならせたグリスであり、前記特性は前記グリス付着部の表面組成であってもよい。表面組成を分析することにより、オイルミスト１７がいずれの基板搬送ロボットから発生したものであるかを容易に特定することができる。すなわち、オイルミストの発生源を容易に特定することができる。

　さらに他の例としては、識別用材料は同位体であり、前記特性は原子の質量数であってもよい。オイルミストに含まれているものが同位体のいずれであるかを、公知技術を用いて調べることにより、オイルミスト１７がいずれの基板搬送ロボットから発生したものであるかを容易に特定することができる。すなわち、オイルミストの発生源を容易に特定することができる。

　（実施の形態２）
　図５を参照して、本発明に基づく実施の形態２における表示パネルの製造方法について説明する。この製造方法は、基本的な部分は実施の形態１で説明したものと共通するが、図５に示すように、１台の搬送装置が複数のグリス付着部を備えている。図５に示した例では、基板搬送ロボット１０２は３つのグリス付着部Ｇ１，Ｇ２，Ｇ３を備えている。

　本実施の形態では、ｎ台の搬送装置の全てがそれぞれ複数のグリス付着部を備えていてもよく、ｎ台の搬送装置のうち一部の搬送装置がそれぞれ複数のグリス付着部を備えていてもよい。

　本実施の形態では、前記第ｋ搬送装置は、前記第ｋ種類の識別用材料を含むグリス付着部を含めて複数のグリス付着部を備えており、前記複数のグリス付着部の各々に含まれる材料は、前記第ｋ搬送装置のうちいずれのグリス付着部であるかを識別可能な特性を有する。

　各搬送装置が複数のグリス付着部を備えている場合にも、このような方法によれば、いずれの搬送装置のいずれのグリス付着部がオイルミストの発生源であるかを容易に特定することができる。

　このオイルミスト発生源特定方法は、グリスを含むグリス付着部を備える１台以上の搬送装置のうち、製品に付着するオイルミストの発生源となっている箇所を特定する方法であって、前記１台以上の搬送装置の中に存在する複数のグリス付着部の各々に、前記複数のグリス付着部のうちのいずれであるかを識別可能な特性を有する識別用材料を添加する工程と、前記１台以上の搬送装置によって前記製品を搬送する工程と、前記製品に付着したオイルミストに含まれる前記識別用材料を分析して前記複数のグリス付着部のうちのいずれに添加した種類のものであるかを特定する工程とを含む。現実に付着しているオイルミストが、複数ある基板搬送ロボットのうちどの１台から発生したものであるかが特定されるだけでなく、その１台の中に複数あるグリス付着部のいずれから発生したものであるかまでを特定したい場合には、このようなオイルミスト発生源特定方法によって対処することができる。

　（実施の形態３）
　図６を参照して、本発明に基づく実施の形態３における搬送装置群について説明する。

　本実施の形態における搬送装置群５０１は、表示パネルを製造する際に基板を搬送するための複数の搬送装置を含む搬送装置群であり、前記複数の搬送装置の各々は、グリス付着部を備え、前記グリス付着部は、いずれの搬送装置に属するものであるか識別可能な特性を有する識別用材料を含んでいる。図６に示した搬送装置群５０１は、搬送装置として基板搬送ロボット２０１～２０４を含む。

　本実施の形態における搬送装置群によれば、表示パネルの製造方法を実施することができ、なおかつ、ハジキ欠陥が生じた場合にそのハジキ欠陥を引き起こしたオイルミストがいずれの基板搬送ロボットから発生したものであるかを容易に特定することができる。

　（変形例）
　本実施の形態における搬送装置群の変形例として、単体の搬送装置について説明する。この変形例は、表示パネルを製造する際に基板を搬送するための搬送装置であり、複数のグリス付着部を備える。前記複数のグリス付着部の各々は、いずれのグリス付着部に属するものであるか識別可能な特性を有する識別用材料を含んでいる。このような搬送装置群によれば、いずれの搬送装置のいずれのグリス付着部がオイルミストの発生源であるかを容易に特定することができる。

　なお、今回開示した上記実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではない。本発明の範囲は上記した説明ではなくて請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。

　本発明は、表示パネルの製造方法、これに用いられる搬送装置および搬送装置群ならびにオイルミスト発生源特定方法に利用することができる。

　１　移動体、２　スライダ駆動部、３　基板、４　載置部、５　移動用ガイド、７，１７　オイルミスト、１０　ＵＶ光源、１２　ハジキ欠陥、１３　紫外光、１４　暗室、１００，１０１，１０２，２０１，２０２，２０３，２０４　基板搬送ロボット、５０１　搬送装置群。

Claims

　基板を用いて表示パネルを製造する方法であって、
　前記基板に対して少なくとも１つの処理を行なう工程を含み、さらに、
　ｎを２以上の整数としたとき１からｎの各整数ｋについて、少なくとも１つのグリス付着部を有する第ｋ搬送装置によって、前記基板を搬送する第ｋ搬送工程を含み、
　前記第ｋ搬送装置の前記グリス付着部は、第ｋ種類の識別用材料を含んでおり、前記第ｋ種類の識別用材料は、第１種類から第ｎ種類の識別用材料の群の中で第ｋ種類であることが識別可能な特性を有する、表示パネルの製造方法。
　第ｎ搬送工程より後に、
　前記基板の表面に第１種類から第ｎ種類の識別用材料のいずれが付着しているかあるいはいずれも付着していないかを検査する工程を含む、請求項１に記載の表示パネルの製造方法。
　前記識別用材料は蛍光染料であり、前記特性は発光色の種類である、請求項１または２に記載の表示パネルの製造方法。
　前記識別用材料は組成を異ならせたグリスであり、前記特性は前記グリス付着部の表面組成である、請求項１または２に記載の表示パネルの製造方法。
　前記識別用材料は同位体であり、前記特性は原子の質量数である、請求項１または２に記載の表示パネルの製造方法。
　前記第ｋ搬送装置は、前記第ｋ種類の識別用材料を含むグリス付着部を含めて複数のグリス付着部を備えており、前記複数のグリス付着部の各々に含まれる材料は、前記第ｋ搬送装置のうちいずれのグリス付着部であるかを識別可能な特性を有する、請求項１から５のいずれかに記載の表示パネルの製造方法。
　表示パネルを製造する際に基板を搬送するための複数の搬送装置を含む搬送装置群であり、
　前記複数の搬送装置の各々は、グリス付着部を備え、
　前記グリス付着部は、いずれの搬送装置に属するものであるか識別可能な特性を有する識別用材料を含んでいる、搬送装置群。
　表示パネルを製造する際に基板を搬送するための搬送装置であり、
　複数のグリス付着部を備え、前記複数のグリス付着部の各々は、いずれのグリス付着部に属するものであるか識別可能な特性を有する識別用材料を含んでいる、搬送装置。
　グリスを含むグリス付着部をそれぞれ備える複数の搬送装置のうち、製品に付着するオイルミストの発生源となっている搬送装置を特定する方法であって、
　前記複数の搬送装置のグリス付着部の各々に、前記複数の搬送装置のうちのいずれであるかを識別可能な特性を有する識別用材料を添加する工程と、
　前記複数の搬送装置によって前記製品を搬送する工程と、
　前記製品に付着したオイルミストに含まれる前記識別用材料を分析して前記複数の搬送装置のうちのいずれに添加した種類のものであるかを特定する工程とを含む、オイルミスト発生源特定方法。
　グリスを含むグリス付着部を備える１台以上の搬送装置のうち、製品に付着するオイルミストの発生源となっている箇所を特定する方法であって、
　前記１台以上の搬送装置の中に存在する複数のグリス付着部の各々に、前記複数のグリス付着部のうちのいずれであるかを識別可能な特性を有する識別用材料を添加する工程と、
　前記１台以上の搬送装置によって前記製品を搬送する工程と、
　前記製品に付着したオイルミストに含まれる前記識別用材料を分析して前記複数のグリス付着部のうちのいずれに添加した種類のものであるかを特定する工程とを含む、オイルミスト発生源特定方法。