WO2012160730A1 - 弾性波フィルタ装置 - Google Patents

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    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
    • H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
    • H03H9/14544—Transducers of particular shape or position
    • H03H9/14576—Transducers whereby only the last fingers have different characteristics with respect to the other fingers, e.g. different shape, thickness or material, split finger
    • H03H9/14579—Transducers whereby only the last fingers have different characteristics with respect to the other fingers, e.g. different shape, thickness or material, split finger the last fingers having a different shape

Definitions

  • the present invention relates to an elastic wave filter device.
  • the present invention relates to an acoustic wave filter device having a longitudinally coupled resonator type acoustic wave filter section.
  • Patent Document 1 discloses an elastic wave filter device having a longitudinally coupled resonator type surface acoustic wave filter unit in which a plurality of IDT electrodes are arranged along the elastic wave propagation direction as such an elastic wave filter device. ing.
  • acoustic wave filter devices used in communication devices are strongly required not only to have a small insertion loss in the pass band but also to have a large amount of attenuation in frequency bands other than the pass band. Yes.
  • an elastic wave filter device is strongly required to have a large attenuation amount of harmonics such as second harmonic and third harmonic.
  • the present invention has been made in view of such a point, and an object thereof is to provide an elastic wave filter device having a large amount of attenuation of harmonics.
  • the acoustic wave filter device includes a first signal terminal, a second signal terminal, and a longitudinally coupled resonator type acoustic wave filter section.
  • the longitudinally coupled resonator type acoustic wave filter unit is connected between the first signal terminal and the second signal terminal.
  • the longitudinally coupled resonator type acoustic wave filter section includes first and second IDT electrodes adjacent to each other in the acoustic wave propagation direction.
  • the first electrode finger that is the electrode finger closest to the second IDT electrode of the first IDT electrode is connected to the first or second signal terminal.
  • the first electrode finger has a portion facing the second IDT electrode.
  • the portion of the first electrode finger that faces the second IDT electrode includes a facing portion that faces the second IDT electrode in the cross width direction perpendicular to the elastic wave propagation direction.
  • the facing portion of the first electrode finger includes a portion facing the bus bar of the second IDT electrode in the cross width direction.
  • the length of the portion of the first electrode finger facing the second IDT electrode is 1.2 of the crossing width of the first IDT electrode. It is in the range of double to 3.0 times.
  • the second electrode finger that is the electrode finger closest to the first IDT electrode of the second IDT electrode is opposed to the first IDT electrode. It has a part.
  • the portion of the second electrode finger that faces the first IDT electrode includes a facing portion that faces the first IDT electrode in the cross width direction.
  • the facing portion of the second electrode finger includes a portion facing the bus bar of the first IDT electrode in the cross width direction.
  • a portion of the first electrode finger facing the second IDT electrode and a portion of the second electrode finger facing the first IDT electrode includes the part which has mutually opposed in the cross width direction.
  • the second electrode finger is connected to the first or second signal terminal.
  • FIG. 1 is a schematic equivalent circuit diagram of the acoustic wave filter device according to the first embodiment.
  • FIG. 2 is a schematic equivalent circuit diagram of an acoustic wave filter device according to a comparative example.
  • FIG. 3 is a graph showing the insertion loss of the elastic wave filter device according to the example and the insertion loss of the elastic wave filter device according to the comparative example.
  • FIG. 4 is a schematic equivalent circuit diagram of the acoustic wave filter device according to the second embodiment.
  • FIG. 5 is a schematic equivalent circuit diagram of the acoustic wave filter device according to the third embodiment.
  • FIG. 6 is a schematic equivalent circuit diagram of the acoustic wave filter device according to the fourth embodiment.
  • FIG. 1 is a schematic equivalent circuit diagram of the acoustic wave filter device according to the first embodiment.
  • FIG. 2 is a schematic equivalent circuit diagram of an acoustic wave filter device according to a comparative example.
  • FIG. 3 is a graph showing the insertion loss
  • FIG. 7 is a schematic equivalent circuit diagram of an acoustic wave filter device according to a fifth embodiment.
  • FIG. 8 is a schematic equivalent circuit diagram of the acoustic wave filter device according to the sixth embodiment.
  • FIG. 9 is a schematic equivalent circuit diagram of an acoustic wave filter device according to a seventh embodiment.
  • FIG. 10 is a schematic equivalent circuit diagram of the acoustic wave filter device according to the eighth embodiment.
  • FIG. 1 is a schematic equivalent circuit diagram of an acoustic wave filter device according to this embodiment.
  • the acoustic wave filter device 1 includes a first signal terminal 11 and a second signal terminal 12.
  • a longitudinally coupled resonator type acoustic wave filter unit 20 is connected between the first signal terminal 11 and the second signal terminal 12.
  • the longitudinally coupled resonator type elastic wave filter unit 20 may be constituted by a longitudinally coupled resonator type surface acoustic wave filter unit that uses surface acoustic waves, or a longitudinally coupled resonator type elastic material that uses boundary acoustic waves. You may be comprised by the boundary wave filter part.
  • the longitudinally coupled resonator type acoustic wave filter unit 20 is formed on a piezoelectric substrate such as a LiNbO 3 substrate, a LiTaO 3 substrate, or a quartz substrate, and has a plurality of IDT electrodes adjacent to each other in the acoustic wave propagation direction x. .
  • the longitudinally coupled resonator-type elastic wave filter unit 20 includes first to fifth IDT electrodes 21 to 25 arranged along the elastic wave propagation direction x.
  • the first to fifth IDT electrodes 21 to 25 are arranged in this order along the elastic wave propagation direction x.
  • Reflectors 26 and 27 are disposed on both sides of the elastic wave propagation direction x in the region where the first to fifth IDT electrodes 21 to 25 are provided.
  • Each of the first to fifth IDT electrodes 21 to 25 is composed of a pair of comb-like electrodes that are interleaved with each other. Each of the pair of comb-like electrodes has a plurality of electrode fingers and a bus bar connecting one end of the plurality of electrode fingers.
  • one comb-like electrode of each of the second and fourth IDT electrodes 22 and 24 is connected to the first signal terminal 11, and the other comb
  • the tooth electrode is connected to the ground potential.
  • One of the first, third and fifth IDT electrodes 21, 23, 25 is connected to the ground potential, and the other comb electrode is connected to the second signal terminal 12. Has been.
  • the electrode finger 22 a located closest to the first IDT electrode 21 side of the second IDT electrode 22 is connected to the first signal terminal 11.
  • the electrode finger 22 b located closest to the third IDT electrode 23 side of the second IDT electrode 22 is connected to the first signal terminal 11. That is, each of the electrode fingers 22 a and 22 b located on the outermost side of the second IDT electrode 22 is connected to the first signal terminal 11.
  • the electrode finger 24 a located closest to the third IDT electrode 23 side of the fourth IDT electrode 24 is connected to the first signal terminal 11.
  • the electrode finger 24 b located closest to the fifth IDT electrode 25 side of the fourth IDT electrode 24 is connected to the first signal terminal 11. That is, each of the electrode fingers 24 a and 24 b located on the outermost side of the fourth IDT electrode 24 is connected to the first signal terminal 11.
  • the electrode finger 21 a located closest to the second IDT electrode 22 of the first IDT electrode 21 is connected to the second signal terminal 12.
  • the electrode finger 25 a located closest to the fourth IDT electrode 24 side of the fifth IDT electrode 25 is connected to the second signal terminal 12.
  • the electrode finger 23 a located closest to the second IDT electrode 22 side of the third IDT electrode 23 is connected to the second signal terminal 12.
  • the electrode finger 23 b located closest to the fourth IDT electrode 24 side of the third IDT electrode 23 is connected to the second signal terminal 12. That is, each of the electrode fingers 23 a and 23 b located on the outermost side of the third IDT electrode 23 is connected to the second signal terminal 12.
  • the electrode finger connected to the signal terminal may be referred to as a hot side electrode finger, and the electrode finger connected to the ground potential may be referred to as a ground side electrode finger.
  • each of the electrode fingers 22a, 22b, 24a, and 24b that are hot-side electrode fingers connected to the first signal terminal 11 is in the intersecting width direction y perpendicular to the elastic wave propagation direction x.
  • Opposing portions 22a1, 22b1, 24a1, and 24b1 that face adjacent IDT electrodes 21, 23, and 25 are provided.
  • the opposing portions 22a1, 22b1, 24a1, 24b1 are arranged in the cross width direction y with the bus bars 21B, 23B, 25B of one comb-like electrode of the IDT electrodes 21, 23, 25 adjacent to the opposing portions 22a1, 22b1, 24a1, 24b1.
  • Including facing parts for this reason, at least a part of the facing portions 22a1, 22b1, 24a1, and 24b1 extends along the elastic wave propagation direction x.
  • the electrode fingers 21a, 23a, 23b, 25a which are hot-side electrode fingers connected to the second signal terminal 12, are opposed portions 21a1, 23a1 facing the adjacent IDT electrodes 22, 24 in the cross width direction y. , 23b1 and 25a1.
  • the facing portions 21a1, 23a1, 23b1, and 25a1 are opposed to the bus bars 22B and 24B of one comb-like electrode of the adjacent IDT electrodes 22 and 24 in the intersecting width direction y, with the facing portions 21a1, 23a1, 23b1, and 25a1. Including parts. For this reason, at least a part of the facing portions 21a1, 23a1, 23b1, and 25a1 extends along the elastic wave propagation direction x.
  • the magnitude of the bridging capacitance formed between the electrode fingers 22a, 22b, 24a, 24b, 21a, 23a, 23b, and 25a, which are hot side electrode fingers, and the adjacent IDT electrodes. Can be increased. Thereby, the frequency of the attenuation pole can be shifted to the high frequency side to match the harmonic frequency. Further, it is not always necessary to change the crossing width of the first to fifth IDT electrodes, the pitch of the electrode fingers, or the like, and it is not always necessary to add another element.
  • the acoustic wave filter device The filter characteristics in one pass band are not substantially changed. Accordingly, it is possible to increase the attenuation of harmonics such as second harmonic and third harmonic while suppressing increase in insertion loss of the passband of the elastic wave filter device 1.
  • the electrode fingers 22a, 22b, 24a, 24b, 21a, 23a, 23b, and 25a are adjacent to the hot electrode fingers of the IDT electrode or the hot bus bar (the first or second signal terminal 11, 12 is opposed to the bus bar of the comb-shaped electrode connected to the terminal 12.
  • the length of the portion of the electrode fingers 22a, 22b, 24a, 24b, 21a, 23a, 23b, and 25a facing the adjacent IDT electrodes depends on the frequency of the attenuation pole to be matched with the harmonic frequency. Can be set as appropriate.
  • the length of the portion of the electrode fingers 22a, 22b, 24a, 24b, 21a, 23a, 23b, 25a facing the adjacent IDT electrodes is 1.2 to 3.0 times the crossing width of the IDT electrodes 21-25.
  • the range is preferably within the range of 1.5 times, and more preferably within the range of 1.5 to 2.0 times.
  • the frequency cannot be shifted to the harmonic frequency.
  • the electrode fingers 22a, 22b, 24a, 24b, 21a, 23a, 23b, and 25a are provided with facing portions 22a1, 22b1, 24a1, 24b1, 21a1, 23a1, 23b1, and 25a1, so the electrodes
  • the lengths of the portions of the fingers 22a, 22b, 24a, 24b, 21a, 23a, 23b, and 25a facing the adjacent IDT electrodes can be made sufficiently larger than the intersection width of the IDT electrodes 21 to 25.
  • the length of the portion of the electrode fingers 22a, 22b, 24a, 24b, 21a, 23a, 23b, 25a facing the adjacent IDT electrodes is too large with respect to the crossing width of the IDT electrodes 21 to 25, impedance matching May be difficult. Accordingly, the length of the portion of the electrode fingers 22a, 22b, 24a, 24b, 21a, 23a, 23b, and 25a facing the adjacent IDT electrodes is 3.0 times or less the intersection width of the IDT electrodes 21 to 25. Preferably there is.
  • an elastic wave filter device substantially similar to the elastic wave filter device 1 of the first embodiment is manufactured, a signal is input from the first signal terminal 11, and a signal is input from the second signal terminal 12.
  • the insertion loss of the acoustic wave filter device 1 was measured. The results are shown in FIG. In FIG. 3, the broken line indicates the insertion loss of this embodiment.
  • the length of the portion of the electrode fingers 22a, 22b, 24a, 24b, 21a, 23a, 23b, 25a facing the adjacent IDT electrodes is 1 of the intersection width of the IDT electrodes 21-25. .5 times.
  • FIG. 2 As a comparative example, as shown in FIG. 2, it is substantially the same as the elastic wave filter device 1 of the first embodiment except that the facing portions 22a1, 22b1, 24a1, 24b1, 21a1, 23a1, 23b1, and 25a1 are not provided.
  • the insertion loss of the acoustic wave filter device 1 when the signal is input from the first signal terminal 11 and the signal is output from the second signal terminal 12 is manufactured. It was measured. The results are shown in FIG. In FIG. 3, the solid line shows the insertion loss of the comparative example.
  • FIG. 4 is a schematic equivalent circuit diagram of the acoustic wave filter device according to the second embodiment.
  • the elastic wave filter device 1 of the first embodiment has a so-called 5IDT type longitudinally coupled resonator type elastic wave filter unit 20 in which five IDT electrodes 21 to 25 are arranged along the elastic wave propagation direction x. ing.
  • An elastic wave filter device according to the present invention includes, for example, a 3IDT electrode type longitudinally coupled resonator type elastic wave filter section in which the number of IDT electrodes arranged along the elastic wave propagation direction is three. Also good.
  • the elastic wave filter device according to the present invention has, for example, a 7IDT electrode type longitudinally coupled resonator type elastic wave filter section in which the number of IDT electrodes arranged along the elastic wave propagation direction is seven. Also good.
  • the longitudinally coupled resonator type elastic wave filter unit 20 includes three IDT electrodes 31 to 31 arranged in this order along the elastic wave propagation direction x. 33.
  • One comb-like electrode of each of the first and third IDT electrodes 31 and 33 located on both sides of the elastic wave propagation direction x is connected to the first signal terminal 11 and the other comb-teeth shape is used.
  • the electrode is connected to ground potential.
  • One comb-like electrode of the second IDT electrode 32 located in the center of the elastic wave propagation direction x is connected to the ground potential, and the other comb-like electrode is connected to the second signal terminal 12. ing.
  • the electrode fingers 31 a and 33 a positioned closest to the IDT electrode 32 of the IDT electrodes 31 and 33 are hot-side electrode fingers connected to the first signal terminal 11.
  • the electrode fingers 32 a and 32 b located closest to the IDT electrodes 31 and 33 of the IDT electrode 32 are hot-side electrode fingers connected to the second signal terminal 12.
  • Each of the electrode fingers 31a and 33a which are hot-side electrode fingers, has opposing portions 31a1 and 33a1 that face the IDT electrode 32 in the cross width direction y.
  • Each of the electrode fingers 32a and 32b, which are hot-side electrode fingers has opposing portions 32a1 and 32b1 that face the IDT electrode 31 or the IDT electrode 33 in the intersecting width direction y.
  • each of the facing portions 31a1, 33a1, 32a1, and 32b1 constituting a part of the hot side electrode finger faces the hot side electrode finger and the bus bar connected to the hot side electrode finger. . For this reason, the attenuation amount of harmonics is further increased.
  • the opposing portions 31a1 and 33a1 are connected to the bus bar 32B of the comb-like electrode connected to the second signal terminal 12 among the pair of comb-like electrodes constituting the IDT electrode 32. Including facing parts.
  • the facing portions 32a1 and 32b1 face the bus bars 31B and 33B of the comb-shaped electrodes connected to the first signal terminal 11 among the pair of comb-shaped electrodes constituting the IDT electrodes 31 and 33. Including parts. For this reason, opposing part 31a1, 33a1, 32a1, 32b1 contains the part extended along the elastic wave propagation
  • FIG. 5 is a schematic equivalent circuit diagram of the acoustic wave filter device according to the third embodiment.
  • FIG. 6 is a schematic equivalent circuit diagram of the acoustic wave filter device according to the fourth embodiment.
  • the outermost electrode fingers of two adjacent IDT electrodes are hot-side electrode fingers and face the adjacent IDT electrodes in the cross width direction.
  • the present invention is not limited to this configuration.
  • the electrode finger on the other IDT electrode side is a hot-side electrode finger, and only the electrode finger has a facing portion. Good.
  • the electrode fingers 21a, 22b, 24a, and 25a have opposing portions 21a1, 22b1, 24a1, and 25a1.
  • the electrode fingers 22a, 23a, 23b, and 24b do not have a facing portion.
  • the electrode fingers 32a and 32b have the facing portions 32a1 and 32b1, and the electrode fingers 31a and 33a. Does not have a facing part.
  • the attenuation of harmonics can be increased while suppressing an increase in insertion loss in the passband.
  • FIG. 7 is a schematic equivalent circuit diagram of an acoustic wave filter device according to a fifth embodiment.
  • both electrode fingers of IDT electrodes adjacent in the elastic wave propagation direction x are hot-side electrode fingers.
  • the present invention is not limited to this configuration.
  • the electrode finger on the other IDT electrode side of one IDT electrode of two IDT electrodes adjacent to each other in the elastic wave propagation direction x is a hot side electrode finger
  • the most IDT electrode side of the other IDT electrode may be a ground-side electrode finger.
  • the electrode fingers 32 a and 32 b on the most IDT electrodes 31 and 33 side of the IDT electrode 32 are hot side electrode fingers.
  • the electrode fingers 31a and 33a closest to the IDT electrode 32 of 33 are not hot-side electrode fingers but ground-side electrode fingers.
  • Each of the tip portions of the electrode fingers 32a and 32b that are hot-side electrode fingers and the tip portions of the electrode fingers 31a and 33a that are ground-side electrode fingers extend along the elastic wave propagation direction x.
  • the tip portions of the electrode fingers 32a and 32b that are hot-side electrode fingers are opposed to the tip portions of the electrode fingers 31a and 33a that are ground-side electrode fingers in the cross width direction y.
  • Opposing portions 32a1 and 32b1 are constituted by the tip portions of the electrode fingers 32a and 32b which are the hot side electrode fingers.
  • the opposing portions 31a1 and 33a1 are constituted by the tip portions of the electrode fingers 31a and 33a which are ground side electrode fingers.
  • the facing portions 32a1 and 32b1 and the facing portions 31a1 and 33a1 face each other in the cross width direction y.
  • FIG. 8 is a schematic equivalent circuit diagram of the acoustic wave filter device according to the sixth embodiment.
  • FIG. 9 is a schematic equivalent circuit diagram of an acoustic wave filter device according to a seventh embodiment.
  • FIG. 10 is a schematic equivalent circuit diagram of the acoustic wave filter device according to the eighth embodiment.
  • the acoustic wave filter device according to the present invention may have, for example, one first signal terminal and two second signal terminals. In that case, it is preferable that an input terminal is configured by the first signal terminal, and a balanced output terminal that outputs a balanced signal is configured by the two second signal terminals. That is, the elastic wave filter device according to the present invention may be a balanced elastic wave filter device having a balance-unbalance conversion function.
  • the longitudinally coupled resonator type acoustic wave filter unit 20 is configured as an input terminal. 1 signal terminal 11 and two second signal terminals 12a and 12b constituting a balanced output terminal.
  • the elastic wave filter devices 6 to 8 having such a configuration, it is possible to increase the attenuation of harmonics while suppressing an increase in insertion loss in the passband.
  • the acoustic wave filter device having only one filter unit has been described.
  • the elastic wave filter device according to the present invention includes, for example, an elastic wave duplexer having a plurality of filter units, and at least one of the plurality of filter units is configured by a longitudinally coupled resonator type elastic wave filter unit. It may be.

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Abstract

　高調波の減衰量が大きい弾性波フィルタ装置を提供する。　弾性波フィルタ装置１は、第１の信号端子１１と、第２の信号端子１２と、縦結合共振子型弾性波フィルタ部２０とを備えている。縦結合共振子型弾性波フィルタ部２０は、第１の信号端子１１と第２の信号端子１２との間に接続されている。縦結合共振子型弾性波フィルタ部２０は、弾性波伝搬方向ｘに隣り合う第１及び第２のＩＤＴ電極２２，２１を有する。第１のＩＤＴ電極２２の最も第２のＩＤＴ電極２１側の電極指である第１の電極指２２ａは、第１または第２の信号端子１１，１２に接続されている。第１の電極指２２ａは、第２のＩＤＴ電極２１と対向している部分を有し、当該部分は、弾性波伝搬方向ｘに対して垂直な交差幅方向ｙにおいて第２のＩＤＴ電極２１と対向している対向部２２ａ１を含む。

Description

弾性波フィルタ装置
　本発明は、弾性波フィルタ装置に関する。特に、本発明は、縦結合共振子型弾性波フィルタ部を有する弾性波フィルタ装置に関する。
　近年、携帯電話機などの通信機器に、弾性表面波や弾性境界波などの弾性波を利用した弾性波フィルタ装置が広く用いられるようになってきている。例えば特許文献１には、このような弾性波フィルタ装置として、複数のＩＤＴ電極が弾性波伝搬方向に沿って配された縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部を有する弾性波フィルタ装置が開示されている。
特開２００３－２４３９６４号公報
　近年、通信機器のマルチバンド化が急速に進んできている。これに伴い、通信機器に用いられる弾性波フィルタ装置には、通過帯域における挿入損失が小さいのは勿論のこと、通過帯域以外の周波数帯における減衰量が大きいことも強く求められるようになってきている。とりわけ、弾性波フィルタ装置には、２倍波や３倍波などの高調波の減衰量が大きいことが強く求められるようになってきている。
　本発明は、斯かる点に鑑みて成されたものであり、その目的は、高調波の減衰量が大きい弾性波フィルタ装置を提供することにある。
　本発明に係る弾性波フィルタ装置は、第１の信号端子と、第２の信号端子と、縦結合共振子型弾性波フィルタ部とを備えている。縦結合共振子型弾性波フィルタ部は、第１の信号端子と第２の信号端子との間に接続されている。縦結合共振子型弾性波フィルタ部は、弾性波伝搬方向に隣り合う第１及び第２のＩＤＴ電極を有する。第１のＩＤＴ電極の最も第２のＩＤＴ電極側の電極指である第１の電極指は、第１または第２の信号端子に接続されている。第１の電極指は、第２のＩＤＴ電極と対向している部分を有する。第１の電極指の第２のＩＤＴ電極と対向している部分は、弾性波伝搬方向に対して垂直な交差幅方向において第２のＩＤＴ電極と対向している対向部を含む。
　本発明に係る弾性波フィルタ装置のある特定の局面では、第１の電極指の対向部は、第２のＩＤＴ電極のバスバーと交差幅方向において対向している部分を含む。
　本発明に係る弾性波フィルタ装置の別の特定の局面では、第１の電極指の第２のＩＤＴ電極と対向している部分の長さは、第１のＩＤＴ電極の交差幅の１．２倍～３．０倍の範囲内である。
　本発明に係る弾性波フィルタ装置の他の特定の局面では、第２のＩＤＴ電極の最も第１のＩＤＴ電極側の電極指である第２の電極指は、第１のＩＤＴ電極と対向している部分を有する。第２の電極指の第１のＩＤＴ電極と対向している部分は、交差幅方向において第１のＩＤＴ電極と対向している対向部を含む。
　本発明に係る弾性波フィルタ装置のさらに他の特定の局面では、第２の電極指の対向部は、第１のＩＤＴ電極のバスバーと交差幅方向において対向している部分を含む。
　本発明に係る弾性波フィルタ装置のさらに別の特定の局面では、第１の電極指の第２のＩＤＴ電極と対向している部分と、第２の電極指の第１のＩＤＴ電極と対向している部分とは、交差幅方向において互いに対向している部分を含む。
　本発明に係る弾性波フィルタ装置のまたさらに他の特定の局面では、第２の電極指は、第１または第２の信号端子に接続されている。
　本発明によれば、高調波の減衰量が大きい弾性波フィルタ装置を提供することができる。
図１は、第１の実施形態に係る弾性波フィルタ装置の略図的等価回路図である。 図２は、比較例に係る弾性波フィルタ装置の略図的等価回路図である。 図３は、実施例に係る弾性波フィルタ装置の挿入損失と、比較例に係る弾性波フィルタ装置の挿入損失とを表すグラフである。 図４は、第２の実施形態に係る弾性波フィルタ装置の略図的等価回路図である。 図５は、第３の実施形態に係る弾性波フィルタ装置の略図的等価回路図である。 図６は、第４の実施形態に係る弾性波フィルタ装置の略図的等価回路図である。 図７は、第５の実施形態に係る弾性波フィルタ装置の略図的等価回路図である。 図８は、第６の実施形態に係る弾性波フィルタ装置の略図的等価回路図である。 図９は、第７の実施形態に係る弾性波フィルタ装置の略図的等価回路図である。 図１０は、第８の実施形態に係る弾性波フィルタ装置の略図的等価回路図である。
　以下、本発明を実施した好ましい形態の一例について説明する。但し、下記の実施形態は、単なる例示である。本発明は、下記の実施形態に何ら限定されない。
　また、実施形態等において参照する各図面において、実質的に同一の機能を有する部材は同一の符号で参照することとする。また、実施形態等において参照する図面は、模式的に記載されたものであり、図面に描画された物体の寸法の比率などは、現実の物体の寸法の比率などとは異なる場合がある。図面相互間においても、物体の寸法比率等が異なる場合がある。具体的な物体の寸法比率等は、以下の説明を参酌して判断されるべきである。
　（第１の実施形態）
　図１は、本実施形態に係る弾性波フィルタ装置の略図的等価回路図である。
　図１に示すように、弾性波フィルタ装置１は、第１の信号端子１１と第２の信号端子１２とを有する。第１の信号端子１１と第２の信号端子１２との間には、縦結合共振子型弾性波フィルタ部２０が接続されている。この縦結合共振子型弾性波フィルタ部２０は、弾性表面波を利用した縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部により構成されていてもよいし、弾性境界波を利用した縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部により構成されていてもよい。
　縦結合共振子型弾性波フィルタ部２０は、例えば、ＬｉＮｂＯ３基板、ＬｉＴａＯ３基板、水晶基板等の圧電基板の上に形成されており、弾性波伝搬方向ｘに隣り合う複数のＩＤＴ電極を有する。具体的には、縦結合共振子型弾性波フィルタ部２０は、弾性波伝搬方向ｘに沿って配列されている第１～第５のＩＤＴ電極２１～２５を有する。第１～第５のＩＤＴ電極２１～２５は、弾性波伝搬方向ｘに沿ってこの順番で配列されている。第１～第５のＩＤＴ電極２１～２５が設けられている領域の弾性波伝搬方向ｘの両側には、反射器２６，２７が配されている。
　第１～第５のＩＤＴ電極２１～２５のそれぞれは、互いに間挿し合っている一対のくし歯状電極により構成されている。一対のくし歯状電極のそれぞれは、複数の電極指と、複数の電極指の一方の端部を接続するバスバーとを有する。第１～第５のＩＤＴ電極２１～２５のうち、第２及び第４のＩＤＴ電極２２，２４のそれぞれの一方のくし歯状電極が第１の信号端子１１に接続されており、他方のくし歯状電極がグラウンド電位に接続されている。第１，第３及び第５のＩＤＴ電極２１，２３，２５のそれぞれの一方のくし歯状電極はグラウンド電位に接続されており、他方のくし歯状電極は、第２の信号端子１２に接続されている。
　第２のＩＤＴ電極２２の最も第１のＩＤＴ電極２１側に位置している電極指２２ａは、第１の信号端子１１に接続されている。第２のＩＤＴ電極２２の最も第３のＩＤＴ電極２３側に位置している電極指２２ｂは、第１の信号端子１１に接続されている。すなわち、第２のＩＤＴ電極２２の最も外側に位置している電極指２２ａ、２２ｂのそれぞれは、第１の信号端子１１に接続されている。
　第４のＩＤＴ電極２４の最も第３のＩＤＴ電極２３側に位置している電極指２４ａは、第１の信号端子１１に接続されている。第４のＩＤＴ電極２４の最も第５のＩＤＴ電極２５側に位置している電極指２４ｂは、第１の信号端子１１に接続されている。すなわち、第４のＩＤＴ電極２４の最も外側に位置している電極指２４ａ、２４ｂのそれぞれは、第１の信号端子１１に接続されている。
　第１のＩＤＴ電極２１の最も第２のＩＤＴ電極２２側に位置している電極指２１ａは、第２の信号端子１２に接続されている。第５のＩＤＴ電極２５の最も第４のＩＤＴ電極２４側に位置している電極指２５ａは、第２の信号端子１２に接続されている。
　第３のＩＤＴ電極２３の最も第２のＩＤＴ電極２２側に位置している電極指２３ａは、第２の信号端子１２に接続されている。第３のＩＤＴ電極２３の最も第４のＩＤＴ電極２４側に位置している電極指２３ｂは、第２の信号端子１２に接続されている。すなわち、第３のＩＤＴ電極２３の最も外側に位置している電極指２３ａ、２３ｂのそれぞれは、第２の信号端子１２に接続されている。
　なお、以下の説明において、信号端子に接続されている電極指をホット側電極指とし、グラウンド電位に接続されている電極指をアース側電極指とすることがある。
　本実施形態では、第１の信号端子１１に接続されたホット側電極指である電極指２２ａ、２２ｂ、２４ａ、２４ｂのそれぞれは、弾性波伝搬方向ｘに対して垂直な交差幅方向ｙにおいて、隣り合うＩＤＴ電極２１，２３，２５と対向している対向部２２ａ１，２２ｂ１，２４ａ１，２４ｂ１を有する。対向部２２ａ１，２２ｂ１，２４ａ１，２４ｂ１は、対向部２２ａ１，２２ｂ１，２４ａ１，２４ｂ１が隣り合うＩＤＴ電極２１，２３，２５の一方のくし歯状電極のバスバー２１Ｂ，２３Ｂ，２５Ｂと交差幅方向ｙにおいて対向している部分を含む。このため、対向部２２ａ１，２２ｂ１，２４ａ１，２４ｂ１の少なくとも一部は、弾性波伝搬方向ｘに沿って延びている。
　第２の信号端子１２に接続されたホット側電極指である電極指２１ａ、２３ａ、２３ｂ、２５ａは、交差幅方向ｙにおいて、隣り合うＩＤＴ電極２２，２４と対向している対向部２１ａ１，２３ａ１，２３ｂ１，２５ａ１を有する。対向部２１ａ１，２３ａ１，２３ｂ１，２５ａ１は、対向部２１ａ１，２３ａ１，２３ｂ１，２５ａ１が隣り合うＩＤＴ電極２２，２４の一方のくし歯状電極のバスバー２２Ｂ，２４Ｂと交差幅方向ｙにおいて対向している部分を含む。このため、対向部２１ａ１，２３ａ１，２３ｂ１，２５ａ１の少なくとも一部は、弾性波伝搬方向ｘに沿って延びている。
　このように、本実施形態では、ホット側電極指である電極指２２ａ、２２ｂ、２４ａ、２４ｂ、２１ａ、２３ａ、２３ｂ、２５ａと隣り合うＩＤＴ電極との間に形成される橋絡容量の大きさを大きくすることができる。これにより、減衰極の周波数を高域側にシフトさせ、高調波の周波数に合致させることができる。また、第１～第５のＩＤＴ電極の交差幅や、電極指のピッチ等を変化させる必要は必ずしもなく、他の素子をさらに追加する必要も必ずしもない。よって、電極指２２ａ、２２ｂ、２４ａ、２４ｂ、２１ａ、２３ａ、２３ｂ、２５ａに対向部２２ａ１，２２ｂ１，２４ａ１，２４ｂ１，２１ａ１，２３ａ１，２３ｂ１，２５ａ１を設けた場合であっても、弾性波フィルタ装置１の通過帯域におけるフィルタ特性は実質的に変化しない。従って、弾性波フィルタ装置１の通過帯域の挿入損失の増大を抑制しつつ、２倍波や３倍波などの高調波の減衰量を大きくすることができる。
　また、高調波の減衰量を大きくするために他の素子を追加する必要が必ずしもない。このため、弾性波フィルタ装置１が大型化することを抑制することができる。
　また、本実施形態では、電極指２２ａ、２２ｂ、２４ａ、２４ｂ、２１ａ、２３ａ、２３ｂ、２５ａが隣り合うＩＤＴ電極のホット側電極指またはホット側のバスバー（第１または第２の信号端子１１，１２に接続されているくし歯状電極のバスバー）と対向している。
　電極指２２ａ、２２ｂ、２４ａ、２４ｂ、２１ａ、２３ａ、２３ｂ、２５ａの隣り合うＩＤＴ電極と対向している部分の長さは、高調波の周波数に合致させようとする減衰極の周波数等に応じて適宜設定することができる。電極指２２ａ、２２ｂ、２４ａ、２４ｂ、２１ａ、２３ａ、２３ｂ、２５ａの隣り合うＩＤＴ電極と対向している部分の長さは、ＩＤＴ電極２１～２５の交差幅の１．２倍～３．０倍の範囲内であることが好ましく、１．５倍～２．０倍の範囲内であることがより好ましい。電極指２２ａ、２２ｂ、２４ａ、２４ｂ、２１ａ、２３ａ、２３ｂ、２５ａの隣り合うＩＤＴ電極と対向している部分の長さはＩＤＴ電極２１～２５の交差幅より十分に大きくないと、減衰極の周波数を高調波の周波数までシフトすることができない場合がある。しかし、本実施形態では、電極指２２ａ、２２ｂ、２４ａ、２４ｂ、２１ａ、２３ａ、２３ｂ、２５ａに対向部２２ａ１，２２ｂ１，２４ａ１，２４ｂ１，２１ａ１，２３ａ１，２３ｂ１，２５ａ１が設けられているので、電極指２２ａ、２２ｂ、２４ａ、２４ｂ、２１ａ、２３ａ、２３ｂ、２５ａの隣り合うＩＤＴ電極と対向している部分の長さをＩＤＴ電極２１～２５の交差幅より十分に大きくすることができる。
　電極指２２ａ、２２ｂ、２４ａ、２４ｂ、２１ａ、２３ａ、２３ｂ、２５ａの隣り合うＩＤＴ電極と対向している部分の長さがＩＤＴ電極２１～２５の交差幅に対して大きすぎると、インピーダンスの整合が困難になる場合がある。従って、電極指２２ａ、２２ｂ、２４ａ、２４ｂ、２１ａ、２３ａ、２３ｂ、２５ａの隣り合うＩＤＴ電極と対向している部分の長さは、ＩＤＴ電極２１～２５の交差幅の３．０倍以下であることが好ましい。
　以下、この効果について具体的な例に基づいてさらに詳細に説明する。
　実施例として、上記第１の実施形態の弾性波フィルタ装置１と実質的に同様の弾性波フィルタ装置を作製し、第１の信号端子１１から信号を入力し、第２の信号端子１２から信号を出力させたときの弾性波フィルタ装置１の挿入損失を測定した。結果を図３に示す。図３において、破線が本実施例の挿入損失を示している。
　なお、実施例においては、電極指２２ａ、２２ｂ、２４ａ、２４ｂ、２１ａ、２３ａ、２３ｂ、２５ａの隣り合うＩＤＴ電極と対向している部分の長さは、ＩＤＴ電極２１～２５の交差幅の１．５倍とした。
　比較例として、図２に示すように、対向部２２ａ１，２２ｂ１，２４ａ１，２４ｂ１，２１ａ１，２３ａ１，２３ｂ１，２５ａ１を設けなかったこと以外は、第１の実施形態の弾性波フィルタ装置１と実質的に同様の構成を有する弾性波フィルタ装置１００を作製し、第１の信号端子１１から信号を入力し、第２の信号端子１２から信号を出力させたときの弾性波フィルタ装置１の挿入損失を測定した。結果を図３に示す。図３において、実線が比較例の挿入損失を示している。
　なお、実施例及び比較例の説明において、第１の実施形態と実質的に同様の機能を有する部材を同様の符号で参照することとする。
　図３に示す結果から、対向部２２ａ１，２２ｂ１，２４ａ１，２４ｂ１，２１ａ１，２３ａ１，２３ｂ１，２５ａ１を設けることにより、２倍波及び３倍波の減衰量を大きくできることが分かる。
　以下、本発明の好ましい実施形態の他の例について説明する。以下の説明において、上記第１の実施形態と実質的に共通の機能を有する部材を共通の符号で参照し、説明を省略する。
　（第２の実施形態）
　図４は、第２の実施形態に係る弾性波フィルタ装置の略図的等価回路図である。
　第１の実施形態の弾性波フィルタ装置１は、弾性波伝搬方向ｘに沿って５つのＩＤＴ電極２１～２５が配列されている所謂５ＩＤＴ型の縦結合共振子型弾性波フィルタ部２０を有している。但し、本発明は、これに限定されない。本発明に係る弾性波フィルタ装置は、例えば弾性波伝搬方向に沿って配列されているＩＤＴ電極の数量が３つである３ＩＤＴ電極型の縦結合共振子型弾性波フィルタ部を有するものであってもよい。本発明に係る弾性波フィルタ装置は、例えば弾性波伝搬方向に沿って配列されているＩＤＴ電極の数量が７つである７ＩＤＴ電極型の縦結合共振子型弾性波フィルタ部を有するものであってもよい。
　図４に示すように、本実施形態の弾性波フィルタ装置２では、縦結合共振子型弾性波フィルタ部２０は、弾性波伝搬方向ｘに沿ってこの順番で配列された３つのＩＤＴ電極３１～３３を有する。弾性波伝搬方向ｘの両側に位置している第１及び第３のＩＤＴ電極３１，３３のそれぞれの一方のくし歯状電極が第１の信号端子１１に接続されており、他方のくし歯状電極がグラウンド電位に接続されている。弾性波伝搬方向ｘの中央に位置している第２のＩＤＴ電極３２の一方のくし歯状電極がグラウンド電位に接続されており、他方のくし歯状電極が第２の信号端子１２に接続されている。
　ＩＤＴ電極３１，３３の最もＩＤＴ電極３２側に位置している電極指３１ａ、３３ａは、第１の信号端子１１に接続されているホット側電極指である。ＩＤＴ電極３２の最もＩＤＴ電極３１，３３側に位置している電極指３２ａ、３２ｂは、第２の信号端子１２に接続されているホット側電極指である。
　ホット側電極指である電極指３１ａ、３３ａのそれぞれは、交差幅方向ｙにおいてＩＤＴ電極３２と対向している対向部３１ａ１，３３ａ１を有する。ホット側電極指である電極指３２ａ、３２ｂのそれぞれは、交差幅方向ｙにおいてＩＤＴ電極３１またはＩＤＴ電極３３と対向している対向部３２ａ１，３２ｂ１を有する。このため、第１の実施形態の弾性波フィルタ装置１と同様に、本実施形態の弾性波フィルタ装置２においても、通過帯域における挿入損失が小さいと共に、高調波の減衰量が大きい。
　本実施形態においても、ホット側電極指の一部を構成している対向部３１ａ１，３３ａ１，３２ａ１，３２ｂ１のそれぞれがホット側電極指及びホット側電極指に接続されているバスバーと対向している。このため、高調波の減衰量がさらに大きくなっている。
　なお、本実施形態では、対向部３１ａ１，３３ａ１は、ＩＤＴ電極３２を構成している一対のくし歯状電極のうち、第２の信号端子１２に接続されているくし歯状電極のバスバー３２Ｂと対向している部分を含む。対向部３２ａ１，３２ｂ１は、ＩＤＴ電極３１，３３を構成している一対のくし歯状電極のうち、第１の信号端子１１に接続されているくし歯状電極のバスバー３１Ｂ，３３Ｂと対向している部分を含む。このため、対向部３１ａ１，３３ａ１，３２ａ１，３２ｂ１は、弾性波伝搬方向ｘに沿って延びる部分を含む。
　（第３及び第４の実施形態）
　図５は、第３の実施形態に係る弾性波フィルタ装置の略図的等価回路図である。図６は、第４の実施形態に係る弾性波フィルタ装置の略図的等価回路図である。
　第１及び第２の実施形態では、隣り合う２つのＩＤＴ電極の両方の最も外側の電極指がホット側電極指であると共に、隣り合うＩＤＴ電極と交差幅方向において対向している例について説明した。但し、本発明は、この構成に限定されない。隣り合う２つのＩＤＴ電極の一方のＩＤＴ電極の複数の電極指のうちの最も他方のＩＤＴ電極側の電極指が、ホット側電極指であり、当該電極指のみが対向部を有していてもよい。
　図５に示す第３の実施形態に係る弾性波フィルタ装置３では、第１の実施形態とは異なり、電極指２１ａ、２２ｂ、２４ａ、２５ａのみが対向部２１ａ１，２２ｂ１，２４ａ１，２５ａ１を有しており、電極指２２ａ、２３ａ、２３ｂ、２４ｂは対向部を有していない。
　図６に示す第４の実施形態に係る弾性波フィルタ装置４では、第２の実施形態とは異なり、電極指３２ａ、３２ｂのみが対向部３２ａ１，３２ｂ１を有しており、電極指３１ａ、３３ａは対向部を有していない。
　これらの場合であっても、通過帯域の挿入損失の増大を抑制しつつ、高調波の減衰を大きくすることができる。
　（第５の実施形態）
　図７は、第５の実施形態に係る弾性波フィルタ装置の略図的等価回路図である。
　第１～第４の実施形態では、弾性波伝搬方向ｘにおいて隣り合うＩＤＴ電極の電極指の両方がホット側電極指である例について説明した。但し、本発明は、この構成に限定されない。例えば、弾性波伝搬方向ｘにおいて隣り合う２つのＩＤＴ電極の一方のＩＤＴ電極の最も他方のＩＤＴ電極側の電極指がホット側電極指であれば、他方のＩＤＴ電極の最も一方のＩＤＴ電極側の電極指はアース側電極指であってもよい。
　例えば図７に示す第５の実施形態に係る弾性波フィルタ装置５では、ＩＤＴ電極３２の最もＩＤＴ電極３１，３３側の電極指３２ａ、３２ｂは、ホット側電極指であるが、ＩＤＴ電極３１，３３の最もＩＤＴ電極３２側の電極指３１ａ、３３ａは、ホット側電極指ではなく、アース側電極指である。ホット側電極指である電極指３２ａ、３２ｂの先端部と、アース側電極指である電極指３１ａ、３３ａの先端部とのそれぞれは、弾性波伝搬方向ｘに沿って延びている。ホット側電極指である電極指３２ａ、３２ｂの先端部は、アース側電極指である電極指３１ａ、３３ａの先端部と交差幅方向ｙにおいて対向している。このホット側電極指である電極指３２ａ、３２ｂの先端部により対向部３２ａ１，３２ｂ１が構成されている。同時に、アース側電極指である電極指３１ａ、３３ａの先端部により対向部３１ａ１，３３ａ１が構成されている。対向部３２ａ１，３２ｂ１と対向部３１ａ１，３３ａ１とは、交差幅方向ｙにおいて互いに対向している。
　このような構成を有する弾性波フィルタ装置５においても、通過帯域の挿入損失の増大を抑制しつつ、高調波の減衰を大きくすることができる。
　（第６～第８の実施形態）
　図８は、第６の実施形態に係る弾性波フィルタ装置の略図的等価回路図である。図９は、第７の実施形態に係る弾性波フィルタ装置の略図的等価回路図である。図１０は、第８の実施形態に係る弾性波フィルタ装置の略図的等価回路図である。
　第１～第５の実施形態では、第１の信号端子１１と第２の信号端子１２とが一つずつ設けられている例について説明した。但し、本発明は、これに限定されない。本発明に係る弾性波フィルタ装置は、例えば、一つの第１の信号端子と、二つの第２の信号端子とを有するものであってもよい。その場合、第１の信号端子により入力端子が構成されており、二つの第２の信号端子により平衡信号を出力する平衡出力端子が構成されていることが好ましい。すなわち、本発明に係る弾性波フィルタ装置は、平衡－不平衡変換機能を有するバランス型の弾性波フィルタ装置であってもよい。
　具体的には、図８～１０に示す第６～第８の実施形態に係る弾性波フィルタ装置６～８では、縦結合共振子型弾性波フィルタ部２０は、入力端子を構成している第１の信号端子１１と、平衡出力端子を構成している二つの第２の信号端子１２ａ、１２ｂとの間に接続されている。
　このような構成を有する弾性波フィルタ装置６～８においても、通過帯域の挿入損失の増大を抑制しつつ、高調波の減衰を大きくすることができる。
　なお、第１～第８の実施形態では、一つのフィルタ部のみを有する弾性波フィルタ装置について説明した。但し、本発明は、これに限定されない。本発明に係る弾性波フィルタ装置は、例えば、複数のフィルタ部を有し、それら複数のフィルタ部の内の少なくとも一つが縦結合共振子型弾性波フィルタ部により構成されている弾性波分波器であってもよい。
１～８…弾性波フィルタ装置
１１…第１の信号端子
１２、１２ａ、１２ｂ…第２の信号端子
２０…縦結合共振子型弾性波フィルタ部
２１～２５，３１～３３…ＩＤＴ電極
２１Ｂ，２２Ｂ，２３Ｂ，２４Ｂ，２５Ｂ，３１Ｂ，３２Ｂ，３３Ｂ…バスバー
２１ａ、２２ａ、２２ｂ、２３ａ、２３ｂ、２４ａ、２４ｂ、２５ａ、３１ａ、３２ａ、３２ｂ、３３ａ…電極指
２１ａ１、２２ａ１、２２ｂ１、２３ａ１、２３ｂ１、２４ａ１、２４ｂ１、２５ａ１、３１ａ１、３２ａ１、３２ｂ１、３３ａ１…対向部
２６，２７…反射器

Claims (7)

  1. 　第１の信号端子と、
    　第２の信号端子と、
    　前記第１の信号端子と前記第２の信号端子との間に接続されており、弾性波伝搬方向に隣り合う第１及び第２のＩＤＴ電極を有する縦結合共振子型弾性波フィルタ部と、
    を備え、
    　前記第１のＩＤＴ電極の最も前記第２のＩＤＴ電極側の電極指である第１の電極指は、前記第１または第２の信号端子に接続されており、
    　前記第１の電極指は、前記第２のＩＤＴ電極と対向している部分を有し、前記第１の電極指の前記第２のＩＤＴ電極と対向している部分は弾性波伝搬方向に対して垂直な交差幅方向において前記第２のＩＤＴ電極と対向している対向部を含む、弾性波フィルタ装置。
  2. 　前記第１の電極指の対向部は、前記第２のＩＤＴ電極のバスバーと交差幅方向において対向している部分を含む、請求項１に記載の弾性波フィルタ装置。
  3. 　前記第１の電極指の前記第２のＩＤＴ電極と対向している部分の長さは、前記第１のＩＤＴ電極の交差幅の１．２倍～３．０倍の範囲内である、請求項１または２に記載の弾性波フィルタ装置。
  4. 　前記第２のＩＤＴ電極の最も前記第１のＩＤＴ電極側の電極指である第２の電極指は前記第１のＩＤＴ電極と対向している部分を有し、前記第２の電極指の前記第１のＩＤＴ電極と対向している部分は交差幅方向において前記第１のＩＤＴ電極と対向している対向部を含む、請求項１に記載の弾性波フィルタ装置。
  5. 　前記第２の電極指の対向部は、前記第１のＩＤＴ電極のバスバーと交差幅方向において対向している部分を含む、請求項４に記載の弾性波フィルタ装置。
  6. 　前記第１の電極指の前記第２のＩＤＴ電極と対向している部分と前記第２の電極指の前記第１のＩＤＴ電極と対向している部分とは、交差幅方向において互いに対向している部分を含む、請求項４に記載の弾性波フィルタ装置。
  7. 　前記第２の電極指は、前記第１または第２の信号端子に接続されている、請求項４～６のいずれか一項に記載の弾性波フィルタ装置。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20170121704A (ko) 2016-04-25 2017-11-02 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 탄성파 장치
US9970325B2 (en) 2015-04-30 2018-05-15 General Electric Company Jacking assembly for rotor
US20200021267A1 (en) * 2018-07-16 2020-01-16 Qorvo Us, Inc. Interdigital transducer arrangements for surface acoustic wave devices

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55141813A (en) * 1979-04-24 1980-11-06 Murata Mfg Co Ltd Surface acoustic wave device
JP2002314367A (ja) * 2001-04-16 2002-10-25 Murata Mfg Co Ltd 弾性表面波装置、通信装置
JP2002359537A (ja) * 2001-06-01 2002-12-13 Murata Mfg Co Ltd 弾性表面波フィルタ、通信装置
JP2003309452A (ja) * 2000-04-18 2003-10-31 Murata Mfg Co Ltd 縦結合共振子型弾性表面波フィルタ
JP2008067032A (ja) * 2006-09-07 2008-03-21 Epson Toyocom Corp 平衡型弾性表面波フィルタ
JP2008086051A (ja) * 2007-12-21 2008-04-10 Seiko Epson Corp 弾性表面波フィルタおよび弾性表面波共振器

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55141813A (en) * 1979-04-24 1980-11-06 Murata Mfg Co Ltd Surface acoustic wave device
JP2003309452A (ja) * 2000-04-18 2003-10-31 Murata Mfg Co Ltd 縦結合共振子型弾性表面波フィルタ
JP2002314367A (ja) * 2001-04-16 2002-10-25 Murata Mfg Co Ltd 弾性表面波装置、通信装置
JP2002359537A (ja) * 2001-06-01 2002-12-13 Murata Mfg Co Ltd 弾性表面波フィルタ、通信装置
JP2008067032A (ja) * 2006-09-07 2008-03-21 Epson Toyocom Corp 平衡型弾性表面波フィルタ
JP2008086051A (ja) * 2007-12-21 2008-04-10 Seiko Epson Corp 弾性表面波フィルタおよび弾性表面波共振器

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9970325B2 (en) 2015-04-30 2018-05-15 General Electric Company Jacking assembly for rotor
US10344625B2 (en) 2015-04-30 2019-07-09 General Electric Company Jacking assembly for rotor
KR20170121704A (ko) 2016-04-25 2017-11-02 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 탄성파 장치
US10193529B2 (en) 2016-04-25 2019-01-29 Murata Manufacturing Co., Ltd. Elastic wave device
US20200021267A1 (en) * 2018-07-16 2020-01-16 Qorvo Us, Inc. Interdigital transducer arrangements for surface acoustic wave devices
US10938373B2 (en) * 2018-07-16 2021-03-02 Qorvo Us, Inc. Interdigital transducer arrangements for surface acoustic wave devices

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