WO2012105298A1 - 光学素子の位置決め方法、光学素子付き光源ユニット及び光アシスト磁気ヘッド - Google Patents

光学素子の位置決め方法、光学素子付き光源ユニット及び光アシスト磁気ヘッド Download PDF

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WO2012105298A1
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light source
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concave cylindrical
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新藤博之
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コニカミノルタオプト株式会社
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Definitions

  • the present invention relates to an optical element positioning method, in particular, an optical element positioning method with respect to a light source, a light source unit with an optical element, and an optically assisted magnetic head.
  • an optical waveguide is laminated on a slider of an optically assisted magnetic head together with a magnetic recording / reproducing unit (magnetic head unit) using a semiconductor integrated circuit manufacturing process, and the output end of the optical waveguide on the medium side
  • a method of generating near-field light by forming a plasmon probe in the vicinity and irradiating the plasmon probe with light from an optical waveguide is becoming mainstream.
  • a transmission optical system for coupling light from a light source such as a semiconductor laser (Laser Diode, LD) to an optical waveguide, the light emitted from the LD is deflected and condensed toward the incident surface of the optical waveguide.
  • a light source such as a semiconductor laser (Laser Diode, LD)
  • LD Laser Diode
  • an optical element having a function of coupling light to an optical waveguide is disposed on a slider.
  • This transmission optical system includes a one-dimensional condensing optical element having a curved reflecting surface formed of a partial shape of a cylindrical paraboloid, using an optical fiber and a collimating lens as a light source unit.
  • the parallel light emitted from the light source unit enters the one-dimensional condensing optical element, is deflected by 90 ° at the curved reflecting surface, is condensed only in one direction, and is coupled to the planar waveguide.
  • the direction in which light is not condensed by the curved reflecting surface is condensed inside the planar waveguide as shown in FIG. Since the transmission optical system has only one direction of light condensing by the one-dimensional condensing optical element, there is an advantage that the exact position adjustment of the optical element is only required in one direction, and the number of man-hours can be reduced.
  • the optical element disclosed in Patent Document 1 has a plurality of incident / exit surfaces and reflection surfaces, a light amount loss such as Fresnel loss on the input / output surface and absorption loss on the reflection surface occurs. Furthermore, since light passes through the transparent optical material, there is also an absorption loss of light by the optical material, and it is necessary to increase the amount of light emitted from the light source by an amount corresponding to the light amount loss, resulting in an increase in power consumption. Therefore, the present applicant has proposed a method of condensing light in only one direction by a cylindrical mirror having a concave cylindrical surface as shown in FIG.
  • the transmission optical system shown in FIG. 3 has the advantage of a one-dimensional condensing optical element as in Patent Document 1, but also has the advantage that there is no incident / exit surface and the light amount loss is small because of the surface reflection type.
  • the slider size of the head is also reduced.
  • the smallest slider at present is called a femto slider, which is as small as 0.85 mm in length, 0.7 mm in width, and 0.23 mm in thickness.
  • the optical element mounted on the slider of this optically assisted magnetic head is also required to have a minute size on the order of several tens of micrometers to several hundreds of micrometers.
  • Patent Document 2 discloses a positioning method in which an optical element having a cylindrical outer periphery is fitted into a V-groove.
  • Patent Document 3 an optical element mounting substrate on which a light source array is mounted and a V-groove is formed, and a lens array block in which a V-groove is also formed are fitted with a cylindrical guide shaft or sphere in both V-grooves. A positioning method in which the lens is positioned with respect to the light source is disclosed.
  • Patent Document 4 discloses a positioning method in which a cylindrical reflecting mirror (cylindrical mirror) is fixed to a holding member with an inclination adjusting mechanism, and this holding member is fixed to a V groove of a positioning block.
  • the optical element positioning method disclosed in Patent Document 2 requires that the outer cylindrical surface of the optical element be received by a V-groove, and in the case of the cylindrical mirror shown in FIG. 3, the inner concave reflecting surface is received by a V-groove. I can't.
  • the outer shape of the element facing the reflecting surface of the cylindrical mirror is made cylindrical as shown in FIG. 3, the outer surface can be fitted into the V-groove, Due to the radial tolerance, the position accuracy of the reflecting surface is lowered. If manufacturing is performed so that the center of the outer cylindrical center and the center of the inner cylindrical reflecting surface coincide with each other with very high accuracy, the problem of positional accuracy can be improved, but the manufacturing cost of the optical element increases, for example, the yield decreases.
  • the light source and lens positioning method described in Patent Document 3 includes a lens array as a lens array block, a V groove formed in the block, a guide shaft, a V groove formed in the optical element mounting substrate, and an optical element mounting substrate.
  • a plurality of members are interposed between the lens and the light source. For this reason, there is a problem that the positional accuracy deteriorates due to the accumulation of tolerances of the respective members.
  • the accuracy required for the optical system for coupling light to the optical waveguide is ⁇ 1 ⁇ m or less.
  • the manufacturing tolerance between the lens array and the V-groove is as large as ⁇ 5 ⁇ m, and it is suitable for an optically assisted magnetic head. Is difficult to apply.
  • the present invention relates to a positioning method capable of easily and accurately positioning an optical element including a light source in an optically assisted magnetic head at a low cost, a light source unit with an optical element positioned using the positioning method, And an optically assisted magnetic head.
  • An optical element positioning method for positioning at least one optical element on a base comprising: In order to position an optical element having a concave cylindrical surface, a protrusion having a convex arc shape having at least one section having the same curvature radius as that of the cylindrical surface is provided on the base. A step of positioning the optical element having the concave cylindrical surface by bringing the concave cylindrical surface of the optical element having the concave cylindrical surface into contact with a surface including the arc shape of the protrusion. An optical element positioning method.
  • a groove is formed in the base, 3.
  • each protrusion forms a part of one convex cylindrical surface, 6.
  • the positioning method of the optical element as described in 2.
  • each projection forms a part of one convex cylindrical surface, and each projection has a cylindrical surface of the optical element having the concave cylindrical surface. 5.
  • the optical element according to 3 or 4 wherein the optical element having the concave cylindrical surface is positioned in contact with a surface, and the light source is positioned with reference to at least a part of the ridge line of the groove. Positioning method.
  • the protrusion is at least part of a cylindrical body;
  • the through hole for adsorbing and holding at least one of the optical element having the concave cylindrical surface or the light source is formed in the base. Optical element positioning method.
  • optical element having the concave cylindrical surface positioned on the base by the optical element positioning method according to any one of 7 to 11 and the light source are bonded to each other.
  • Light source unit with optical elements are bonded to each other.
  • Base and A light source with an optical element comprising: the optical element having the concave cylindrical surface positioned on the base by the optical element positioning method according to any one of 7 to 11; and the light source. unit.
  • optical element having the concave cylindrical surface and the light source are adjacent to each other, and at least one end of the optical element having the concave cylindrical surface protrudes from the light source.
  • Light source unit with optical elements are adjacent to each other, and at least one end of the optical element having the concave cylindrical surface protrudes from the light source.
  • 21 The light source unit with an optical element according to the item 20, wherein the adhesive is applied by an inkjet method by discharging the adhesive in a line shape.
  • An optically assisted magnetic head comprising the light source unit with an optical element described in any one of 12 to 21 above.
  • a slider for an optically assisted magnetic head comprising a magnetic recording / reproducing unit; An optical element having a concave cylindrical surface positioned on the base of the slider for the optically assisted magnetic head by the optical element positioning method according to any one of 7 to 11, and a light source. Optically assisted magnetic head.
  • a positioning method capable of easily and accurately positioning an optical element including a light source in an optically assisted magnetic head, and a light source with an optical element positioned using the positioning method.
  • a unit and an optically assisted magnetic head can be provided.
  • FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an optically assisted magnetic recording device (for example, a hard disk device) equipped with an optically assisted magnetic head 3 in the present embodiment.
  • FIG. 3 is an exploded perspective view of the optically assisted magnetic head 3 and the head support portion 4. It is a perspective view of the optical element 31 proposed by the present applicant.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view of the optically assisted magnetic head 3 of FIG. 2 as viewed in the direction of an arrow by cutting along a plane including an II line.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view (II-II cross section in FIG. 2) of a planar waveguide 32a having a condensing function by a curved reflecting surface having a partial shape of a substantially elliptical surface.
  • FIG. 5 is a perspective view showing a state in which a ball 53 is arranged on a V-grooved base 52 in which a groove is trapezoidal and grooves are formed only at both ends of the base.
  • FIG. 5 is a perspective view of a V-grooved base 52 in which a cylindrical body 57 is disposed in a V-groove 51.
  • FIG. It is a perspective view of 42 A of bases with a protrusion part in which the protrusion part 58 was integrally manufactured by injection molding etc.
  • FIG. It is the schematic which employs the ball
  • FIG. It is the schematic which shows the method of positioning LD33 to the V-grooved base 52.
  • FIG. It is a schematic diagram which shows the method of positioning the optical element 31 to the base 52 with a V groove. It is a schematic diagram which shows the method to adhere
  • FIG. 5 is a schematic diagram showing a method for positioning a light source unit with an optical element 70 on a slider 32.
  • FIG. It is the schematic of the base unit 80 in 2nd Embodiment. 5 is a schematic view showing a method for fixing the LD 33 to the base unit 80.
  • FIG. It is a perspective view of the completed light source unit 81 with an optical element with a base.
  • 4 is a schematic diagram showing a method for positioning and fixing a light source unit with an optical element with base 81 on a slider 32.
  • FIG. 3 is a perspective view of the optically assisted magnetic head 3 before the optical element 31 is mounted.
  • FIG. 3 is a perspective view of an optically assisted magnetic head 3 in which an optical element 31 is positioned and fixed directly on a slider 32 in which a V groove is formed.
  • FIG. 3 is a perspective view of an optically assisted magnetic head 3 in which an optical element 31 is positioned and fixed directly on a slider 32 in which a V groove is formed.
  • FIG. 1 shows a schematic configuration of an optically assisted magnetic recording device (for example, a hard disk device) equipped with an optically assisted magnetic head 3 according to this embodiment.
  • an optically assisted magnetic recording device for example, a hard disk device
  • the optically assisted magnetic recording apparatus 1 includes a plurality of rotatable disks (magnetic recording media) 2 for recording, a head support unit 4, a tracking actuator 6, an optically assisted magnetic head 3, and a drive device (not shown).
  • the head support portion 4 is provided to be rotatable in the direction of arrow A (tracking direction) with the support shaft 5 as a fulcrum.
  • the tracking actuator 6 is attached to the head support portion 4.
  • the optically assisted magnetic head 3 is attached to the tip of the head support 4.
  • a drive device (not shown) rotates the disk 2 in the direction of arrow B.
  • the optically assisted magnetic recording apparatus 1 is configured such that the optically assisted magnetic head 3 can move relative to the upper surface (or lower surface) of the disk 2 while floating.
  • FIG. 2 is an exploded perspective view of the optically assisted magnetic head 3 and the head support 4.
  • FIG. 3 is a perspective view of the optical element 31 proposed by the present applicant.
  • FIG. 4 is a cross-sectional view of the optically assisted magnetic head 3 of FIG. 2 cut along a plane including the line II and viewed in the direction of the arrow.
  • the optically assisted magnetic head 3 is an optical head that uses light for information recording on the disk 2, and includes an optical element 31, a slider 32, and an LD 33.
  • the head support portion 4 includes a suspension arm 41 having one end attached to the support shaft 5 and a flexure (plate spring) 44.
  • the suspension arm 41 and the flexure 44 are fixed by welding or the like.
  • a rectangular opening 42 is formed at the tip of the suspension arm 41.
  • a pivot (protruding portion) 43 that protrudes toward the inside of the opening 42 is provided on one side of the opening 42.
  • a rectangular opening 45 is formed at the tip of the flexure 44.
  • a tongue piece 46 having a flat surface protrudes from one side of the opening 45 so as to protrude into the inside.
  • the tongue piece portion 46 has a joint surface 46a that is projected to be inclined with respect to the opening portion 42 and then bent so as to be substantially horizontal.
  • a V-grooved base 52 in which an optical element 31 and a rectangular plate-shaped LD 33 are joined is disposed on a slider 32 of the optically assisted magnetic head 3.
  • the lower surface of the joint surface 46a of the flexure 44 is bonded to the upper surface of the LD 33 so that the optically assisted magnetic head 3 is fixed to the tip of the suspension arm 41.
  • the present invention is not limited to this. Absent.
  • the optical element 31 is provided with a concave cylindrical reflecting surface 31a that reflects light.
  • the optical element 31 shown in FIG. 3 is a cylindrical surface on both the inner peripheral surface and the outer peripheral surface, but the outer peripheral surface is not limited to the cylindrical surface.
  • the reflective surface 31a is provided with a reflective coat to form a reflective condensing surface.
  • the material of the optical element 31 is a transparent material such as plastic or glass.
  • the optical element 31 is produced by, for example, injection molding, an imprint manufacturing method, a glass mold method, or the like.
  • the resin for injection molding include polycarbonate (for example, AD5503, Teijin Chemicals Limited) and ZEONEX 480R (Nippon Zeon Corporation), which are thermoplastic resins.
  • the resin for imprint manufacturing include PAK-02 (Toyo Gosei Co., Ltd.), which is a photocurable resin.
  • the optical element 31 may be manufactured by cutting a cross section of a hollow fiber or capillary into a substantially quarter shape, for example.
  • the LD 33 is arranged with the laser beam emission port 33 a facing the reflection surface 31 a of the optical element 31.
  • the wavelength of light emitted from the LD 33 is preferably from visible light to near infrared.
  • the specific wavelength band is about 0.6 ⁇ m to 2 ⁇ m, and more specific wavelengths include 650 nm, 830 nm, 1310 nm, 1550 nm, and the like.
  • the surface of the slider 32 facing the disk 2 (the lower surface in FIG. 4) is an air bearing surface (ABS: Air Bearing Surface) for improving the flying characteristics, and forms a groove 32g for capturing the flying air.
  • ABS Air Bearing Surface
  • the slider 32 has a planar waveguide (optical waveguide) 32a penetrating vertically below the reflecting surface 31a of the optical element 31.
  • the V-grooved base 52 is formed with a through hole 54 through which light reflected by the reflecting surface 31a of the optical element 31 passes.
  • a magnetic recording unit and a magnetic reproducing unit are provided in the vicinity of the planar waveguide 32a.
  • FIG. 5 and 6 are cross-sectional views (II-II cross-section of FIG. 2) of different types of planar waveguides 32a.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view (II-II cross section of FIG. 2) of the planar waveguide 32a having a condensing function by a curved reflecting surface having a partial shape of a substantially elliptical surface
  • FIG. 6 is a reflection having a tapered shape
  • FIG. 3 is a cross-sectional view of a planar waveguide 32a having a light collecting function by a surface (II-II cross section of FIG. 2).
  • Each of the waveguide structures employed in the planar waveguides 32a is formed by laminating a high refractive index layer HL on a substrate and laminating a low refractive index layer LL around the high refractive index layer LL.
  • the laser beam is condensed by the reflection action at the boundary surface between the HL and the low refractive index layer LL.
  • the boundary surface between the high refractive index layer HL and the low refractive index layer LL forms a part of a substantially elliptical surface.
  • the boundary surface between the high-refractive index layer HL and the low-refractive index layer LL shown in FIG. Since the boundary surface forms a part of a substantially elliptical surface, when divergent light enters the planar waveguide 32a, a light source image is formed at the focal position of the substantially elliptical surface. That is, in the planar waveguide 32a, a laser beam can be condensed in one direction by a mirror effect using total reflection, and a minute light spot can be formed.
  • the boundary surface between the high refractive index layer HL and the low refractive index layer LL is formed linearly.
  • Two boundary surfaces are formed in the planar waveguide 32a, and the laser light incident on the high refractive index layer HL is repeatedly totally reflected between these two boundary surfaces, and the mode field diameter gradually increases toward the emission end. It becomes smaller and is condensed at the exit end of the high refractive index layer HL, and a minute light spot can be formed.
  • the light emitted from the LD 33 has its optical axis in the y direction turned 90 ° within the yz plane at the reflecting surface 31a of the optical element 31.
  • the light is deflected in the z direction, condensed in the yz plane, and incident on the planar waveguide 32a.
  • light in the x direction which is the generatrix direction of the optical element 31, is incident on the planar waveguide 32a in a spread state without being condensed.
  • the planar waveguide 32a having a substantially elliptical reflecting surface shown in FIG. Condensed in the waveguide.
  • the light is sufficiently focused in both the x and y directions, and a plasmon probe (not shown) formed on the exit end face of the waveguide is irradiated to generate near-field light from the plasmon probe.
  • the disk 2 is heated by the near-field light, the coercive force is lowered, and magnetic information is recorded by a magnetic recording unit (not shown).
  • the disk 2 moves from the optically assisted magnetic head 3 and is cooled, the coercive force is restored and magnetic information is retained.
  • the positioning method of the optical element 31 is a positioning method of the optical element 31 for positioning the optical element 31 having a concave cylindrical surface on the base, and at least one section has the same curvature as the curvature radius of the cylindrical surface.
  • a convex arc-shaped protrusion having a radius is provided on the base, and the concave cylindrical surface of the optical element 31 is brought into contact with the surface including the arc shape of the protrusion to position the optical element 31. It has the process to perform, It is characterized by the above-mentioned.
  • FIG. 7 is a perspective view of the V-grooved base 52 on which the protrusions are arranged.
  • the V-grooved base 52 is a base in which the V-groove 51 is formed, and the protrusion is a spherical ball 53.
  • the projection shown in FIG. 7 has a ball shape, but if it is a convex arc-shaped projection having at least one cross-section having the same radius of curvature as the radius of curvature of the cylindrical surface of the reflecting surface 31a of the optical element 31. Since it is good, the protrusion part of a cylindrical body may be sufficient so that it may mention later.
  • the V-groove 51 is one of the groove shapes that support the protruding portion such as the ball 53, and may be a groove having at least two planes facing each other symmetrically in order to support the protruding portion. Accordingly, the present invention can be adopted without being limited to the V groove.
  • a base on which grooves having two inclined surfaces facing at least plane symmetry are formed is collectively referred to as a V-grooved base. Note that at least one of the slopes may be a vertical surface.
  • the V-groove 51 is sandwiched between the surface S1 and the surface S2.
  • the spherical balls 53 are arranged near both ends in the direction in which the V-groove 51 extends, and two in total. By arranging the two balls 53 in the same V-groove 51 at a predetermined interval in this way, the surfaces including the arc shape of each ball 53 are parallel to each other, and the center of each arc-shaped circle is Are arranged on a straight line perpendicular to the surface including the arc shape, it is possible to form one convex cylindrical surface by the arc shape of each ball 53, and the reflecting surface comprising the concave cylindrical surface of the optical element 31 31a can be securely and stably fitted.
  • a through-hole 54 is formed in the V-grooved base 52 and is used when the LD 33 is fixed to the S1 surface.
  • the V-grooved base 52 is produced, for example, by forming a V-groove by anisotropic etching on a base having a silicon substrate having a predetermined thickness as a base material.
  • a V-shaped blade with a V-shaped tip section may be used to cut a V-groove on a glass plate, or a V-groove is integrally formed on a plastic or glass member by injection molding or glass molding. May be.
  • the lower surface 31d of the optical element 31 protrudes downward from the lower surface of the LD 33, and the height of the surface S2 may be lower than the height of the surface S1.
  • the surface S2 may be made lower than the surface S1 by cutting according to the height difference between the surface S2 and the surface S1.
  • FIG. 8 is a side view of the V-grooved base 52 including a trapezoidal groove 56 having a trapezoidal cross section. Since the V groove 51 is not limited to the V shape, it may be trapezoidal as shown in FIG.
  • FIG. 9 is a perspective view showing a state in which the ball 53 is disposed on the V-grooved base 52 in which the groove shape is trapezoidal and grooves are formed only at both ends of the base.
  • the V-groove 56 is formed only on both ends of the base, and the central portion has no groove, so that the ball 53 can be easily positioned.
  • a concave pyramid groove (not shown).
  • a through hole 54 ′ may be formed in the vicinity of the center of the two balls 53 and used when the optical element 31 is fixed by suction.
  • the optical element 31 can be sucked and fixed by forming a through hole 54 'in the contact surface of the lower surface 31d of the optical element 31 in the V-grooved base 52 shown in FIG.
  • FIG. 10 is a perspective view of the V-grooved base 52 in which the cylindrical body 57 is disposed in the V-groove 51.
  • the protruding portion since the protruding portion only needs to be able to contact the reflecting surface 31a, it may have a shape of a part of a ball or a cylindrical body, or a cylindrical body having the same radius as the reflecting surface 31a as shown in FIG.
  • FIG. 11 is a perspective view of a protrusion-equipped base 42A in which a protrusion 58 made of a part of a cylindrical body is integrally manufactured by injection molding or the like.
  • the radius of curvature of the protrusion 58 is the same as the radius of curvature of the reflecting surface 31a of the optical element 31, and is manufactured integrally with the base by injection molding or the like.
  • the curvature radius of the reflection surface 31a of the protrusion 58 and the optical element 31 is the same, so that the optical element 31 can be fitted to the protrusion 58, and the optical element 31 precise positioning becomes possible.
  • the bus bars at the same location of each cylindrical body are straight. Arrange them so that they continue on the line. That is, since the surfaces including the arc shape of each cylindrical body are parallel to each other and the centers of the circles of the respective cylindrical bodies are arranged on a straight line perpendicular to the surface including the arc shape, One convex cylindrical surface can be formed by the protrusion. Therefore, even when the length of the projecting portion of each cylindrical body in the direction of the generatrix is short, the reflecting surface 31a formed of the concave cylindrical surface of the optical element 31 can be securely and stably fitted.
  • FIG. 12 is a schematic view for positioning the optical element 31 by using the balls 53 in the protrusions.
  • FIG. 12 (a) is a top view of the V-grooved base 52
  • FIG. 12 (b) is a side view of the V-grooved base 52.
  • FIG. 12 As shown in FIG. 12, the optical element 31 is positioned by bringing the cylindrical surface, which is the reflection surface 31 a of the optical element 31, into contact with the surface of the ball 53.
  • the optical element 31 Since the radius of curvature of the ball 53 is the same as the radius of curvature of the reflecting surface 31a, the optical element 31 is perfectly aligned with the surface of the ball 53. Therefore, the center of the radius of curvature of the cylindrical surface of the reflecting surface 31a. The position can be determined reliably.
  • the lower surface 31d of the optical element 31 may be brought into contact with the surface S2 to perform positioning in the rotational direction around the center of the radius of curvature of the reflecting surface 31a. In this case, in the coordinate system of FIG. 12B, positioning is performed by the surface S2 and the ball 53 in the Y direction and the Z direction, and positioning can be performed uniquely.
  • the reflecting surface 31a may be brought into contact with the ball 53 while the optical element 31 is held by a holding jig (not shown), and the rotation direction may be positioned so that the lower surface 31d does not come into contact with the surface S2.
  • the reflecting surface 31a of the optical element 31 is brought into direct contact with the positioning projection, and an extra member is provided between the reflecting surface 31a and the projection. Therefore, the reflecting surface 31a of the optical element 31 can be positioned with high accuracy.
  • FIG. 13 is a schematic view showing a method for positioning the LD 33 on the V-grooved base 52.
  • 13A is a perspective view
  • FIG. 13B is a top view
  • FIG. 13C is a cross-sectional view taken along line III-III in FIG. 13B.
  • 13 is provided with a through hole 54 in the arrangement portion of the LD 33 of the V-grooved base 52 so that the LD 33 can be sucked and held and fixed by air suction.
  • the two balls 53 are fixed to the V-groove 51 of the V-grooved base 52 in a state where the distance in the x-direction is larger than the width of the LD 33 in the x-direction.
  • an adhesive is used.
  • the orientation of the LD 33 is aligned so that the emission end face 35 of the LD 33 is parallel to the ridge line 55 that is the straight part of the valley of the V groove, and the LD 33 is arranged on the V grooved base 52.
  • the LD 33 After the LD 33 is placed on the V-grooved base 52, air is sucked from the through hole 54 using a suction machine (not shown) to fix the LD 33 to the V-grooved base 52. If the output end face 35 of the LD 33 is designed not to overlap the ridge line 55, the LD 33 is positioned at a predetermined distance in the y direction with respect to the ridge line 55, and the V-grooved base 52 is formed. Just place it.
  • FIG. 14 is a schematic diagram showing a method for positioning the optical element 31 on the V-grooved base 52.
  • the method for positioning and fixing the LD 33 and the optical element 31 according to the present invention is particularly effective when the optical element 31 is disposed adjacent to the LD 33.
  • Adjacent placement is performed by holding the optical element 31 with air tweezers (not shown) and the like, and contacting the reflecting surface 31a with the ball 53 as shown in FIG.
  • the term “adjacent” means that the optical element 31 and the LD 33 are arranged in contact with each other, or that the optical element 31 and the LD 33 are not in contact with each other but are close to each other.
  • the optical element 31 and the LD 33 can be easily positioned with respect to each other, and by depositing an adhesive on a surface different from the surface to be contacted, it is possible to suppress a positional deviation after bonding. Further, by making them close to each other without being brought into contact, it is possible to eliminate the restraint at the time of positioning and to avoid damaging the LD 33 by applying unnecessary stress at the time of contact.
  • the length L of the optical element 31 in the direction of the bus (x direction) is longer than the width of the LD 33.
  • the generatrix is a line parallel to the longitudinal direction of the optical element 31, for example, a ridge line of the optical element 31.
  • the length L of the optical element 31 is equal to or larger than the width of the LD 33 + 2 ⁇ the radius of the ball 53.
  • FIG. 15 is a schematic diagram showing a method for bonding the LD 33 and the optical element 31.
  • 16A and 16B are schematic views showing the state of the LD 33 and the optical element 31 after bonding.
  • FIG. 16A is a top view and
  • FIG. 16B is a side view.
  • an adhesive 61 is ejected instead of ink, so that the gap between the side surface 36 of the LD 33 and the side surface 34 of the optical element 31 is increased.
  • the adhesive 61 is applied to the surface. It is desirable that the adhesive 61 can be applied in a large area by discharging it in a line shape, for example.
  • the adhesive 61 an ultraviolet curing type is used.
  • an adhesive with a commonly used air pulse dispenser it is necessary to bring the needle close to the application target.
  • the needle comes into contact with the minute LD 33 or optical element 31, the position of the LD 33 or optical element 31 is required. There is a risk that will be greatly shifted, and there is a risk that the LD 33 and the optical element 31 will be damaged.
  • the adhesive 61 having a particle size of several tens of ⁇ m can be accurately blown by several millimeters, which is suitable for application to a minute object.
  • the adhesive 61 is cured by irradiating ultraviolet rays using an unillustrated ultraviolet irradiation device, and the fixing of the LD 33 and the optical element 31 is completed.
  • an adhesive may be applied and fixed to the upper surface 37 of the LD 33 and the upper surface 39 of the optical element 31.
  • a thermosetting type may be used as the adhesive 61.
  • an air tweezer (not shown) that holds the optical element 31 is released, the adsorption of the LD 33 by air is stopped, and the LD 33 to which the optical element 31 is fixed is removed from the V-grooved base 52. .
  • FIG. 17 is a perspective view of the light source unit 70 with an optical element.
  • the direction of the LD 33 is aligned so that the emission end face 35 of the LD 33 is parallel to the ridge line 55 that is the straight part of the valley of the V groove, but the method of aligning the direction of the LD 33 is not limited to this.
  • the cylindrical body when a cylindrical projection 58 is adopted as the projection, the cylindrical body may be regarded as the ridge line, and the orientation of the LD 33 may be aligned with the ridge line as a reference.
  • the direction of the LD 33 when a step is provided on the surface S1 and the surface S2 of the base 42A with the protruding portion, the direction of the LD 33 may be aligned based on the step.
  • FIG. 18 is a schematic diagram illustrating a method of positioning the light source unit with an optical element 70 on the slider 32.
  • the light source unit 70 with an optical element is held by a micromanipulator (not shown) and monitored by a high-magnification imaging system (not shown), while using the center of the light incident surface w1 of the exposed planar waveguide 32a as a reference, the LD 33 Positioning is performed so that the center points of both end edges of the light emitting end face are at predetermined positions, and they are placed on the electrode d1 formed on the upper surface of the slider and fixed by soldering. The upper surface of the LD 33 and the electrode d2 are connected by wire bonding. Thus, the optically assisted magnetic head 3 is completed. Thereafter, in addition to the terminals t1 and t2, terminals (not shown) necessary for driving the magnetic recording / reproducing unit are electrically connected to the FPC board disposed on the suspension.
  • the LD 33 and the optical element 31 are positioned with respect to the same V-groove 51.
  • the relative position of the element 31 can be determined. Accordingly, a positioning method capable of easily and accurately positioning the optical element including the optical element 31 and the light source LD 33 in the optically assisted magnetic head 3 with high accuracy and low cost, and an optical positioned using the positioning method.
  • a light source unit with an element and an optically assisted magnetic head can be provided.
  • the V-grooved base 52 is not only used as a jig for positioning the LD 33 as the light source and the optical element 31, but is also integrated with the light source unit 70 with the optical element and attached to the slider.
  • the LD 33 is fixed to the V-grooved base 52, the electrodes d3 and d4 and the terminals t3 and t4 are formed on the V-grooved base 52 to form the base unit 80.
  • FIG. 19 is a schematic diagram of the base unit 80.
  • FIG. 19A is a perspective view
  • FIGS. 19B and 19C are top views.
  • the base unit 80 is obtained by forming electrodes on the V-grooved base 52. The positioning and fixing of the LD 33 and the optical element 31 to the base unit 80 are performed in the same manner as in the first embodiment.
  • the optically assisted magnetic head 3 is desired to be kept thin even if the base unit 80 is integrated, so that the base unit 80 is desired to be as thin as possible. Therefore, a trapezoidal groove 56 is adopted as a groove for receiving the ball 53. By using the trapezoidal groove, the strength of the base unit 80 can be secured while reducing the thickness of the base unit 80.
  • the ball 53 is bonded and fixed to the trapezoidal groove 56.
  • the base unit 80 is formed with a through hole 44A through which light emitted from the LD 33 and reflected by the optical element 31 can pass. In addition, it is good also as notch part 44B which has notch shape as shown in FIG.19 (c) instead of through-hole 44A as shown in FIG.19 (b). Electrodes d3 and d4 are formed on the upper surface of the base unit 80, and are electrically connected to the terminals t3 and t4 in a pattern, respectively.
  • FIG. 20 is a schematic view showing a method of fixing the LD 33 to the base unit 80.
  • 20A is a perspective view
  • FIG. 20B is a top view.
  • the orientation of the LD 33 is adjusted so that the emission end face of the LD 33 is parallel to the ridge line 59 of the trapezoidal groove 56 of the base unit 80, and the distance between the ridge line 59 and the emission end face 35 of the LD 33 is set. It positions so that it may become the predetermined space
  • the LD 33 and the electrode d3 are soldered by infrared rays, hot air reflow, or the like while maintaining the posture of the LD 33, and then the upper surface of the LD 33 and the electrode d4 are connected by a gold wire g by wire bonding to complete the fixing of the LD 33. .
  • the ball 53 and the base unit 80 may be bonded after the LD 33 is fixed. In this case, deformation of the adhesive due to heat during reflow can be avoided.
  • the positioning of the optical element 31 is performed by bringing the concave reflecting surface 31a of the optical element 31 into contact with the ball 53, as in the case of the first embodiment.
  • the optical element 31 is bonded to the base unit 80 by directly bonding the optical element 31 to the base unit 80.
  • a holding jig such as an air tweezer holding the optical element is in the way when the adhesive is applied
  • the optical element 31 is held by the holding jig and the reflecting surface 31a is brought into contact with the ball 53.
  • the optical element 31 may be sucked and held from the through hole 54 by air suction, and the optical element 31 may be bonded and fixed to the base unit 80 after releasing the holding jig.
  • FIG. 21 is a perspective view of the completed light source unit 81 with an optical element with a base.
  • build-up adhesion may be performed between the LD 33 and the optical element 31, or the optical element 31 may be bonded to both the base unit 80 and the LD 33.
  • FIG. 22 is a schematic diagram showing a method for positioning and fixing the light source unit 81 with an optical element with a base on the slider 32.
  • 22A is a perspective view
  • FIG. 22B is a cross-sectional view taken along the line IV-IV in FIG.
  • the light source unit 81 with an optical element with a base is mounted on the upper surface of the slider 32.
  • At least one posture is relatively adjusted so that the light source unit 81 with the optical element with the base and the slider 32 are parallel in the xy plane.
  • contact pins for supplying power to the LD 33 are brought into contact with the terminals t3 and t4, and power is supplied to the LD 33 to light the LD 33.
  • the light source unit 81 with the optical element with the base is moved in rough steps in the y direction, and fine adjustment is performed when the light is detected.
  • the position in the y direction is held at the position where the light quantity becomes maximum.
  • the light source unit 81 with an optical element with a base is finely adjusted in the x direction, and the light source unit 81 with an optical element with a base and the slider 32 are fixed at a position where the amount of light is substantially maximum.
  • an ultraviolet curable adhesive is used for fixing the light source unit 81 with the optical element with the base and the slider 32.
  • the optical element 31 which is a one-dimensional condensing element is used, the light is not collected in the x direction, and the spot size in the x direction is large on the light incident surface w1 of the planar waveguide 32a. For this reason, if the position of the light source unit 81 with an optical element with a base in the x direction is initially arranged at substantially the center of the slider, the spot will be planarized when the light source unit with an optical element with a base 81 is moved in the y direction. Since the light incident surface of the waveguide 32a is always traversed, the relative alignment between the spot and the planar waveguide 32a is facilitated.
  • this adjustment is a so-called active alignment method in which the LD 33 is lit, but a passive alignment method in which the LD 33 is not lit is also possible.
  • an alignment mark AL is formed on each of the base unit 80 and the slider 32, and the position adjustment of the light source unit 81 with the optical element with the base is made so as to be in a predetermined positional relationship while monitoring them. And fix.
  • the V-grooved base 52 is not only used as a jig for positioning the LD 33 as the light source and the optical element 31 but also integrated with the light source unit 70 with the optical element. Since the light source and the optical element can be directly positioned and fixed to the base portion because they are attached to the slider, it is possible to provide an optically assisted magnetic head that can be easily positioned and fixed to the optical waveguide with high accuracy and low cost.
  • the third embodiment is characterized in that the V groove is directly formed in the head without using the V grooved base 52 or the base unit 80.
  • FIG. 24 is a schematic diagram in which the LD 33 is positioned and fixed directly on the slider 32 in which the V-groove is formed. That is, the upper surface of the slider 32 corresponds to the base portion.
  • the planar waveguide 32a is formed on the slider 32 on which the planar waveguide 32a and a plasmon probe and a magnetic recording / reproducing unit (not shown) are formed by cutting the light incident surface w1 of the planar waveguide 32a.
  • V-grooves 51 are formed at both ends so as to leave
  • the posture of the LD 33 is adjusted so that the straight ridge line 55 of the V groove 51 and the ridge line 38 of the LD 33 are parallel to each other. Then, the position of the LD 33 is adjusted so as to be disposed at a predetermined position with reference to the center of the light incident surface w1 of the planar waveguide 32a, and is soldered to the electrode d3.
  • FIG. 25 is a perspective view of the optically assisted magnetic head 3 before the optical element 31 is mounted.
  • the upper surface 37 of the LD 33 and the electrode d4 are connected by a gold wire g using a wire bonder (not shown).
  • the ball 53 is disposed in the V groove 51.
  • the reflecting surface 31a of the optical element 31 is pressed against the ball, and in this state, an adhesive is applied from the directions of the arrows on both sides of the optical element 31, and the optical element 31 including the ball 53 is applied to the slider 32 as shown in FIG. Adhere and fix.
  • the adhesive application position is not limited to this.
  • the optically assisted magnetic head 3 is completed.
  • the optical element 31 and the LD 33 are attached to the slider 32 without using a base, light that can be easily positioned and fixed with respect to the optical waveguide with high accuracy and low cost.
  • An assist magnetic head can be provided.
  • an optical element positioning method for positioning at least one optical element on a base, wherein at least one cross-section is the cylindrical surface in order to position an optical element having a concave cylindrical surface.
  • An arc-shaped protrusion can be easily manufactured, and an optical element positioning method that can be easily performed with high accuracy and low cost can be provided.
  • the protrusion is at least a part of a sphere or at least a part of a cylindrical body, it is possible to use a sphere or a cylindrical body with good availability and manufacturability.
  • An optical element positioning method that can be performed at low cost can be provided.
  • the base is formed with a groove
  • the protrusion is a sphere or a cylinder disposed in the groove
  • the groove, the sphere, and the cylinder can be manufactured with high accuracy.
  • An optical element positioning method that can be performed with high accuracy can be provided.
  • the groove has two inclined surfaces facing each other in plane symmetry, the position of the sphere or cylinder can be accurately determined by arranging the sphere or cylinder on the inclined surface of the groove. Therefore, it is possible to provide an optical element positioning method that can be easily performed with high accuracy and low cost.
  • the protrusion is formed integrally with the base, there is no need to separately prepare a sphere or a cylinder, and no man-hour for arranging the sphere or the cylinder in the groove is necessary.
  • an optical element positioning method capable of reducing costs can be provided.
  • each protrusion there are at least two protrusions, and the arc shape of each protrusion forms a part of one convex cylindrical surface, Since each protrusion is brought into contact with the cylindrical surface of the optical element having the concave cylindrical surface to position the optical element having the concave cylindrical surface, The reflecting surface formed of the concave cylindrical surface of the rod-shaped optical element can be reliably and stably fitted.
  • the optical element having the concave cylindrical surface and the light source are positioned with reference to the same part. It is possible to provide a positioning method of an optical element that can ensure relative position accuracy and can be easily performed with high accuracy and low cost.
  • each protrusion forms a part of one convex cylindrical surface
  • each protrusion has the concave shape.
  • An optical element positioning method that can be combined can be provided.
  • the protrusion is at least a part of a cylindrical body, and the light source is positioned with reference to at least a part of the ridge line of the protrusion, the optical element having the concave cylindrical surface Since the light source is positioned with reference to the same part, it is possible to provide a method for positioning an optical element that can ensure high relative positional accuracy and can be easily performed at high cost and at low cost.
  • the base is formed with a through hole for adsorbing and holding at least the optical element having the concave cylindrical surface, the optical element having the concave cylindrical surface can be easily formed. Therefore, it is possible to provide an optical element positioning method that can reduce the number of assembly steps.
  • the base is formed with a through hole for sucking and holding at least one of the optical element having the concave cylindrical surface or the light source, the concave shape can be easily obtained.
  • At least one of an optical element having a cylindrical surface or the light source can be attached and detached, and an optical element positioning method that can reduce the number of assembly steps can be provided.
  • the optical element having the concave cylindrical surface positioned on the base by the optical element positioning method and the light source are bonded to each other, and thus assembled with high accuracy. It is possible to provide a light source unit with an optical element that can handle a light source and the optical element having the concave cylindrical surface in an integrated manner, and can be easily handled.
  • the optical element having the concave cylindrical surface positioned on the base by the optical element positioning method described above and the light source are included, the light source is assembled with high accuracy. It is possible to provide a light source unit with an optical element that can handle a light source and the optical element having the concave cylindrical surface in an integrated manner, and can be easily handled.
  • the base since the base has a through hole or a notch through which light from the light source reflected by a cylindrical surface of the optical element having the concave cylindrical surface passes, the light source and the concave shape are provided.
  • the optical element having the cylindrical surface integrally, it is possible to handle the optical element having the concave cylindrical surface because the base can be held and handled. It is possible to provide a light source unit with an optical element that does not have any.
  • the optical element having the concave cylindrical surface and the light source are adjacent to each other, and at least one end of the optical element protrudes from the light source, and thus has the concave cylindrical surface.
  • the optical element having the concave cylindrical surface is fixed to the base, the optical element having the concave cylindrical surface is not fixed to the light source. It is possible to provide a light source unit with an optical element that has no risk of being damaged by stress.
  • the adhesive can be easily applied while holding the optical element having the concave cylindrical surface with a holding jig. It is possible to provide a light source unit with an optical element that can be applied, can reduce the number of steps, and can improve the positional accuracy between the optical element having the concave cylindrical surface and the light source.
  • the protrusion and the optical element having the concave cylindrical surface are integrally bonded and fixed to the base, the light source (LD chip) and the concave cylindrical surface are There is no risk of damaging the optical element, and the number of times the adhesive is applied can be reduced, the number of man-hours can be reduced, and the light source unit with an optical element that can increase the positional accuracy between the optical element and the light source is provided. Can be provided.
  • the ink jet head since the optical element having the concave cylindrical surface is fixed by applying an adhesive by an ink jet method, the ink jet head has the light source and the optical element having the concave cylindrical surface. It is possible to provide a light source unit with an optical element that can be applied in a desired amount at a desired place and can be stably adhered and fixed.
  • the application of the adhesive by the ink jet method is performed by discharging the adhesive in a line shape, so that it is possible to more firmly bond and fix, and with an optical element that can ensure stable performance
  • a light source unit can be provided.
  • the optical element having the light source and the concave cylindrical surface can be directly positioned and fixed to the base portion. Further, it is possible to provide an optically assisted magnetic head that can be positioned and fixed with respect to the optical waveguide at a low cost.
  • the slider for an optically assisted magnetic head provided with a magnetic recording / reproducing unit and the concave cylindrical surface positioned on the base of the slider for the optically assisted magnetic head by the optical element positioning method described above are provided. Since the optical element and the light source are included, it is possible to provide an optically assisted magnetic head that can be easily positioned and fixed with respect to the optical waveguide with high accuracy and low cost.
  • the optical element having the concave cylindrical surface and the light source are adjacent to each other, and at least one end of the optical element having the concave cylindrical surface protrudes from the light source.
  • An assist magnetic head can be provided.
  • the optical element having the concave cylindrical surface is fixed to the base of the slider for the optically assisted magnetic head, the optical element having the concave cylindrical surface is not fixed to the light source.
  • the adhesive can be easily applied while holding the optical element having the concave cylindrical surface with a holding jig. It is possible to provide an optically assisted magnetic head that can be applied, can reduce the number of steps, and can improve the positional accuracy between the optical element having the concave cylindrical surface and the light source.
  • the protrusion and the optical element having the concave cylindrical surface are integrally bonded and fixed to the base of the slider for the optically assisted magnetic head, the light source (LD chip) and the optical element There is no risk of damaging the optical element having a concave cylindrical surface, and the number of times of adhesive application can be reduced, and the number of man-hours can be reduced, and the positions of the optical element having the concave cylindrical surface and the light source An optically assisted magnetic head capable of improving accuracy can be provided.
  • the ink jet head since the optical element having the concave cylindrical surface is fixed by applying an adhesive by an ink jet method, the ink jet head has the light source and the optical element having the concave cylindrical surface. It is possible to provide an optically assisted magnetic head that can be applied in a desired amount and can be stably bonded and fixed.
  • the adhesive is applied by the ink jet method, the adhesive is ejected in a line shape, so that it is possible to provide a strong adhesive fixing and provide an optically assisted magnetic head capable of ensuring stable performance. .

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Abstract

　光アシスト磁気ヘッドにおける光源を含む光学素子の位置決めを、容易に高精度かつ低コストで行うことが可能な位置決め方法、かかる位置決め方法を用いて位置決めされた光学素子付き光源ユニット、及び光アシスト磁気ヘッドを提供する。この光学素子の位置決め方法は、少なくとも一つの光学素子をベースへ位置決めする方法であって、凹状の円筒面を有する光学素子を位置決めするために、少なくとも一断面が前記円筒面の曲率半径と同じ曲率半径を備える凸状の円弧形状から成る突起部を前記ベース上に有し、前記突起部の前記円弧形状を含む表面に、前記凹状の円筒面を有する光学素子の凹状の円筒面を当接させて前記凹状の円筒面を有する光学素子の位置決めを行う工程を有する。

Description

光学素子の位置決め方法、光学素子付き光源ユニット及び光アシスト磁気ヘッド
　本発明は光学素子の位置決め方法、特に光源に対する光学素子の位置決め方法、光学素子付き光源ユニット及び光アシスト磁気ヘッドに関する。
　ハードディスク装置の磁気記録密度を上げる方式として、光アシスト磁気記録方式が活発に研究されている。メディアを加熱するための光スポットを如何に微小に形成するかが記録密度を向上させる上で重要なポイントとなる。この点に関しては、近接場光を用いて数十ｎｍのスポットサイズを実現する方向に固まってきた。
　近接場光を発生させる手法としては、光アシスト磁気ヘッドのスライダに光導波路を、半導体集積回路製造プロセスを用いて磁気記録再生部（磁気ヘッド部）と共に積層させ、光導波路のメディア側の出射端近辺にプラズモンプローブを形成し、プラズモンプローブに光導波路からの光を照射することにより近接場光を発生させる方式が主流となりつつある。
　半導体レーザ（Ｌａｓｅｒ　Ｄｉｏｄｅ，ＬＤ）などの光源からの光を光導波路に結合させるための伝送光学系の方式としては、ＬＤから出射した光を光導波路入射面に向けて偏向すると共に集光して光導波路に光を結合させる機能を有する光学素子をスライダ上に配置する方式がある。
　この伝送光学系の方式の一例として特許文献１の図９に示された伝送光学系がある。この伝送光学系は光ファイバ及びコリメートレンズを光源部とし、シリンドリカルな放物面の一部形状からなる曲面反射面を有する１次元集光光学素子から構成されている。光源部から出射した平行光が１次元集光光学素子に入射し、前記曲面反射面にて９０°偏向されると共に一方向にのみ集光され、平面導波路に結合される。曲面反射面により集光されない方向は特許文献１の図１０に示すように平面導波路の内部にて集光される。この伝送光学系の１次元集光光学素子による集光方向が１方向のみであるため光学素子の厳密位置調整が１方向だけで良く、工数低減が可能と言う利点がある。
　しかし、特許文献１に示された光学素子は、入出射面と反射面の複数の面を有するため、入出射面におけるフレネル損失と、反射面における吸収損失という光量損失が発生してしまう。さらに透明な光学材料の内部を光が通過するため、光学材料による光の吸収損失もあり、これらの光量損失相当分、光源の出射光量を増加させる必要があり、消費電力の増大を招く。そこで、図３に示すような凹状の円筒面を反射面として有する円筒ミラーによって一方向のみ集光させる方式が本出願人によって提案されている。図３に示す伝送光学系は特許文献１と同様に１次元集光光学素子の利点を持ちつつ、表面反射タイプのため入出射面がなく光量損失が少ないと言う利点がある。
　一方、ハードディスク装置は小型化も進んでおり、必然的に磁気ヘッドも小型になっている。これに伴いヘッドのスライダサイズも小型化されている。現在最も小さいスライダはフェムトスライダと称され、長さ０．８５ｍｍ、幅０．７ｍｍ、厚さ０．２３ｍｍと非常に小さい。この光アシスト磁気ヘッドのスライダに搭載される光学素子も数十μｍ～数百μｍオーダの微小サイズが要求される。
　本出願人によって提案された光学素子を微小サイズにして用いる場合、如何に精度よく位置決めするかが課題である。微小サイズの光学素子や円筒ミラーの位置決め方法については、幾つかの方法が提案されている。
　例えば、特許文献２では外周が円筒状の光学素子をＶ溝に嵌合させるという位置決め方法が開示されている。
　また、特許文献３では光源アレイが搭載されＶ溝が形成された光学素子搭載用基板と、同じくＶ溝が形成されたレンズアレイブロックを双方のＶ溝に円柱体のガイドシャフトもしくは球体を嵌合させて光源に対してレンズの位置決めをするという位置決め方法が開示されている。
　さらに、特許文献４では円筒反射鏡（円筒ミラー）が傾き調整機構付きの保持部材に固定され、この保持部材が位置決めブロックのＶ溝に固定されるという位置決め方法が開示されている。
特開２００９－１０４７３４号公報 特開２００４－３５４６７４号公報 特開２００１－１１６９６２号公報 特開２０００－１８０７７３号公報
　特許文献２に開示された光学素子の位置決め方法は、光学素子の外側の円筒面をＶ溝で受ける必要があり、図３に示す円筒ミラーの場合は内側の凹状反射面をＶ溝で受けることはできない。一方、円筒ミラーの反射面と対向する素子外側の形状を図３のように円筒状とすれば、外側の面をＶ溝に嵌合させることはできるが、外径と内径の芯ズレや外径公差の分、反射面の位置精度が落ちてしまう。外側の円筒中心と内側の円筒反射面の中心を非常に高い精度で一致するように製造すれば位置精度の課題は改善できるが、歩留まりが低下するなど光学素子の製造コストがアップしてしまう。
　特許文献３に記載された光源とレンズの位置決め方法は、レンズアレイがレンズアレイブロック、ブロックに形成されたＶ溝、ガイドシャフト、光素子搭載用基板に形成されたＶ溝、光素子搭載用基板を介して光源アレイに対して位置決めされており、レンズと光源の間に複数の部材が介在している。このためそれぞれの部材の公差の積み上げで位置精度が悪化してしまう問題がある。また、光導波路に光を結合させる光学系で要求される精度は±１μｍ以下であるが、特許文献３によればレンズアレイとＶ溝との製造公差が±５μｍと大きく光アシスト磁気ヘッド向けには適用困難である。
　特許文献４に記載された技術は、微小なヘッドのスライダ上に円筒ミラーの保持部材も搭載することはスペース的に非常に困難である。
　本発明は、光アシスト磁気ヘッドにおける光源を含めた光学素子の位置決めを、容易に高精度かつ低コストで行うことが可能な位置決め方法、かかる位置決め方法を用いて位置決めされた光学素子付き光源ユニット、及び光アシスト磁気ヘッドを提供することを目的とする。
　前述の目的は、下記に記載する発明により達成される。
　１．少なくとも一つの光学素子をベースへ位置決めする光学素子の位置決め方法であって、
　凹状の円筒面を有する光学素子を位置決めするために、少なくとも一断面が前記円筒面の曲率半径と同じ曲率半径を備える凸状の円弧形状から成る突起部を前記ベース上に有し、
　前記突起部の前記円弧形状を含む表面に、前記凹状の円筒面を有する光学素子の凹状の円筒面を当接させて前記凹状の円筒面を有する光学素子の位置決めを行う工程を有することを特徴とする光学素子の位置決め方法。
　２．前記突起部は球体の少なくとも一部または円柱体の少なくとも一部であることを特徴とする前記１に記載の光学素子の位置決め方法。
　３．前記ベースには溝が形成されており、
　前記突起部は前記溝に配置された球体または円柱体であることを特徴とする前記２に記載の光学素子の位置決め方法。
　４．前記溝は面対称で対向する二つの斜面を有することを特徴とする前記３に記載の光学素子の位置決め方法。
　５．前記突起部は前記ベースに一体的に形成されていることを特徴とする前記１または前記２に記載の光学素子の位置決め方法。
　６．前記突起部は、少なくとも二つあり、各々の突起部の円弧形状は、一つの凸状円筒面の一部を形作っており、
各々の前記突起部を前記凹状の円筒面を有する光学素子の円筒面に当接させて前記凹状の円筒面を有する光学素子の位置決めを行うことを特徴とする前記１から５の何れか一項に記載の光学素子の位置決め方法。
　７．前記溝の少なくとも一部の稜線を基準として、光源を位置決めすることを特徴とする前記３または４に記載の光学素子の位置決め方法。
　８．前記突起部は、少なくとも二つあり、各々の突起部の円弧形状は、一つの凸状円筒面の一部を形作っており、各々の前記突起部を前記凹状の円筒面を有する光学素子の円筒面に当接させて前記凹状の円筒面を有する光学素子の位置決めを行い、前記溝の少なくとも一部の稜線を基準として光源を位置決めすることを特徴とする前記３または４に記載の光学素子の位置決め方法。
　９．前記突起部は円柱体の少なくとも一部であり、
　前記突起部の少なくとも一部の稜線を基準として光源を位置決めすることを特徴とする前記１から８の何れか一項に記載の光学素子の位置決め方法。
　１０．前記ベースには、少なくとも前記凹状の円筒面を有する光学素子を吸着保持するための貫通穴が形成されていることを特徴とする前記１から９の何れか一項に記載の光学素子の位置決め方法。
　１１．前記ベースには、少なくとも前記凹状の円筒面を有する光学素子または前記光源の何れかを吸着保持するための貫通穴が形成されていることを特徴とする前記７から９の何れか一項に記載の光学素子の位置決め方法。
　１２．前記７から１１の何れか一項に記載の光学素子の位置決め方法によって前記ベース上に位置決めされた前記凹状の円筒面を有する光学素子と、前記光源とが互いに接着されてなることを特徴とする光学素子付き光源ユニット。
　１３．ベースと、
　前記７から１１の何れか一項に記載の光学素子の位置決め方法によって前記ベース上に位置決めされた前記凹状の円筒面を有する光学素子と、前記光源とを有することを特徴とする光学素子付き光源ユニット。
　１４．前記ベースは、前記凹状の円筒面を有する光学素子の円筒面で反射した前記光源からの光が通過する貫通穴または切欠部を有することを特徴とする前記１３に記載の光学素子付き光源ユニット。
　１５．前記凹状の円筒面を有する光学素子と前記光源とは隣接しており、前記凹状の円筒面を有する光学素子の少なくとも一端は前記光源より突出していることを特徴とする前記１３または１４に記載の光学素子付き光源ユニット。
　１６．前記凹状の円筒面を有する光学素子と前記光源とは隣接しており、前記凹状の円筒面を有する光学素子の少なくとも一端は前記光源より突出していることを特徴とする前記１２に記載の光学素子付き光源ユニット。
　１７．前記凹状の円筒面を有する光学素子は前記ベースに固定されていることを特徴とする前記１３から１５の何れか一項に記載の光学素子付き光源ユニット。
　１８．前記凹状の円筒面を有する光学素子は前記光源に固定されていることを特徴とする前記１３から１５の何れか一項に記載の光学素子付き光源ユニット。
　１９．前記突起部と前記凹状の円筒面を有する光学素子とが一体的に前記ベースに接着固定されていることを特徴とする前記１３から１５の何れか一項に記載の光学素子付き光源ユニット。
　２０．前記凹状の円筒面を有する光学素子の固定はインクジェット法により接着剤を塗布することにより行なわれることを特徴とする前記１２、１７、１８または１９の何れか一項に記載の光学素子付き光源ユニット。
　２１．インクジェット法による接着剤の塗布は、前記接着剤をライン状に吐出することにより行うことを特徴とする前記２０に記載の光学素子付き光源ユニット。
　２２．前記１２から２１の何れか１項に記載の光学素子付き光源ユニットを搭載したことを特徴とする光アシスト磁気ヘッド。
　２３．磁気記録再生部を備える光アシスト磁気ヘッド用スライダと、
　前記７から１１の何れか一項に記載の光学素子の位置決め方法によって前記光アシスト磁気ヘッド用スライダのベースに位置決めされた凹状の円筒面を有する光学素子と、光源とを有することを特徴とする光アシスト磁気ヘッド。
　２４．前記凹状の円筒面を有する光学素子と前記光源とは隣接しており、前記凹状の円筒面を有する光学素子の少なくとも一端は前記光源より突出していることを特徴とする前記２３に記載の光アシスト磁気ヘッド。
　２５．前記凹状の円筒面を有する光学素子が前記光アシスト磁気ヘッド用スライダのベースに固定されていることを特徴とする前記２３または２４に記載の光アシスト磁気ヘッド。
　２６．前記凹状の円筒面を有する光学素子が前記光源に固定されていることを特徴とする前記２３または２４に記載の光アシスト磁気ヘッド。
　２７．前記突起部と前記凹状の円筒面を有する光学素子とが一体的に光アシスト磁気ヘッド用スライダのベースに接着固定されていることを特徴とする前記２３または２４に記載の光アシスト磁気ヘッド。
　２８．前記凹状の円筒面を有する光学素子の固定はインクジェット法により接着剤を塗布することにより行なわれることを特徴とする前記２３から２７の何れか一項に記載の光アシスト磁気ヘッド。
　２９．インクジェット法による接着剤の塗布は、前記接着剤をライン状に吐出することにより行うことを特徴とする前記２８に記載の光アシスト磁気ヘッド。
　本発明によれば、光アシスト磁気ヘッドにおける光源を含めた光学素子の位置決めを、容易に高精度かつ低コストで行うことが可能な位置決め方法、かかる位置決め方法を用いて位置決めされた光学素子付き光源ユニット、及び光アシスト磁気ヘッドを提供できる。
本実施形態における光アシスト磁気ヘッド３を搭載した光アシスト磁気記録装置（例えばハードディスク装置）の概略構成図である。 光アシスト磁気ヘッド３及びヘッド支持部４の分解斜視図である。 本出願人によって提案されている光学素子３１の斜視図である。 図２の光アシスト磁気ヘッド３をＩ－Ｉ線を含む面で切断して矢印方向に見た断面図である。 略楕円面の一部形状から成る曲面反射面による集光機能を有するプレーナ導波路３２ａの断面図（図２のII－II断面）である。 テーパ形状から成る反射面による集光機能を有するプレーナ導波路３２ａの断面図（図２のII－II断面）である。 突起部が配置されたＶ溝付ベース５２の斜視図である。 断面が台形形状の台形溝５６を備えるＶ溝付ベース５２の側面図である。 溝の形状が台形でベースの両端のみに溝が形成されたＶ溝付ベース５２にボール５３が配置された状態の斜視図である。 Ｖ溝５１に円柱体５７が配置されたＶ溝付ベース５２の斜視図である。 突起部５８が射出成型等により一体的に製造された突起部付ベース４２Ａの斜視図である。 突起部にボール５３を採用して光学素子３１の位置決めを行う概略図である。 ＬＤ３３をＶ溝付ベース５２に位置決めする方法を示す概略図である。 光学素子３１をＶ溝付ベース５２に位置決めする方法を示す模式図である。 ＬＤ３３と光学素子３１とを接着する方法を示す模式図である。 接着後のＬＤ３３と光学素子３１の状態を示す概略図である。 光学素子付き光源ユニット７０の斜視図である。 光学素子付き光源ユニット７０をスライダ３２に位置決めする方法を示す模式図である。 第２の実施形態におけるベースユニット８０の概略図である。 ＬＤ３３をベースユニット８０に固定する方法を示す概略図である。 完成したベース付き光学素子付き光源ユニット８１の斜視図である。 ベース付き光学素子付き光源ユニット８１をスライダ３２上に位置決め固定する方法を示す模式図である。 アライメントマークＡＬの一例を示す模式図である。 第３の実施形態においてＶ溝が形成されたスライダ３２に直接ＬＤ３３を位置決め固定する模式図である。 光学素子３１が搭載される前の光アシスト磁気ヘッド３の斜視図である。 Ｖ溝が形成されたスライダ３２に直接光学素子３１を位置決め固定した光アシスト磁気ヘッド３の斜視図である。
（第１の実施形態）
　以下、図面を参照して第１の実施形態について説明する。図１に、本実施形態における光アシスト磁気ヘッド３を搭載した光アシスト磁気記録装置（例えばハードディスク装置）の概略構成を示す。
　光アシスト磁気記録装置１は、記録用の複数枚の回転可能なディスク（磁気記録媒体）２と、ヘッド支持部４と、トラッキング用アクチュエータ６と、光アシスト磁気ヘッド３と、図示しない駆動装置と、を筐体１Ａ内に備えている。ヘッド支持部４は、支軸５を支点として矢印Ａの方向（トラッキング方向）に回動可能に設けられている。トラッキング用アクチュエータ６は、ヘッド支持部４に取り付けられている。光アシスト磁気ヘッド３は、ヘッド支持部４の先端に取り付けられている。図示しない駆動装置は、ディスク２を矢印Ｂの方向に回転させる。この光アシスト磁気記録装置１は、光アシスト磁気ヘッド３がディスク２の上面（または下面）に対して浮上しながら相対的に移動しうるように構成されている。
　図２は、光アシスト磁気ヘッド３及びヘッド支持部４の分解斜視図である。図３は、本出願人によって提案されている光学素子３１の斜視図である。
　図４は、図２の光アシスト磁気ヘッド３をＩ－Ｉ線を含む面で切断して矢印方向に見た断面図である。光アシスト磁気ヘッド３は、ディスク２に対する情報記録に光を利用する光ヘッドであって、光学素子３１とスライダ３２とＬＤ３３とを備えている。図２において、ヘッド支持部４は、支軸５に一端を取り付けたサスペンションアーム４１と、フレクシャ（板ばね）４４とを備えている。サスペンションアーム４１とフレクシャ４４とは、溶接などによって固定されている。
　サスペンションアーム４１の先端部には、矩形状の開口部４２が形成されている。この開口部４２の一辺には、開口部４２の内側に向かって突出するピボット（突出部）４３が設けられている。一方、フレクシャ４４の先端部には矩形状の開口部４５が形成されている。この開口部４５の一辺から、その内部に張り出すようにして、平坦な面を有する舌片部４６が突出している。この舌片部４６は、開口部４２に対して傾いて突出した後、略水平になるよう折り曲げられた接合面４６ａを有する。
　図２において、光アシスト磁気ヘッド３のスライダ３２に、光学素子３１と矩形板状のＬＤ３３とが接合されたＶ溝付ベース５２が配置されている。本実施形態においては、フレクシャ４４の接合面４６ａの下面がＬＤ３３の上面に接着されて、サスペンションアーム４１の先端部に光アシスト磁気ヘッド３が固定されるようになっているが、これに限られない。
　図３において、光学素子３１は、光を反射する凹状の円筒面形状の反射面３１ａを供える。図３で示した光学素子３１は、内周面と外周面ともに円筒面であるが、外周面は円筒面に限らない。反射面３１ａには反射コートが施され反射集光面となっている。
　光学素子３１の素材は、プラスチックまたはガラスなどの透明な素材である。光学素子３１は、例えば、射出成形やインプリント製法やガラスモールド法などによって作製される。射出成形用の樹脂としては、熱可塑性樹脂であるポリカーボネイト（例えばＡＤ５５０３、帝人化成株式会社）やＺＥＯＮＥＸ　４８０Ｒ（日本ゼオン株式会社）などが挙げられる。また、インプリント製法用の樹脂としては、光硬化性樹脂であるＰＡＫ－０２（東洋合成工業株式会社）などが挙げられる。また、光学素子３１は、例えば中空ファイバやキャピラリの断面を略１／４状に切断して作製してもよい。
　図４に示すように、ＬＤ３３はレーザ光の出射口３３ａを光学素子３１の反射面３１ａに対向させて配置されている。ＬＤ３３から出射される光の波長は可視光から近赤外の波長が好ましい。具体的な波長帯としては、０．６μｍから２μｍ程度であり、より具体的な波長としては、６５０ｎｍ、８３０ｎｍ、１３１０ｎｍ、１５５０ｎｍなどが挙げられる。
　スライダ３２のディスク２と対向する面（図４で下面）は、浮上特性向上のための空気ベアリング面（ＡＢＳ：Ａｉｒ　Ｂｅａｒｉｎｇ　Ｓｕｒｆａｃｅ）であり、浮上エア捕獲用の溝３２ｇを形成している。
　またスライダ３２は、光学素子３１の反射面３１ａの下方に、上下に貫通したプレーナ導波路（光導波路）３２ａを有する。後述するように、Ｖ溝付ベース５２には、光学素子３１の反射面３１ａで反射した光が通過するための貫通穴５４が形成されている。また、プレーナ導波路３２ａの近傍には、図示しない磁気記録部と磁気再生部とが設けられている。
　図５，６は、異なる形態のプレーナ導波路３２ａの断面図（図２のII－II断面）である
。
　図５は、略楕円面の一部形状から成る曲面反射面による集光機能を有するプレーナ導波路３２ａの断面図（図２のII－II断面）であり、図６は、テーパ形状から成る反射面による集光機能を有するプレーナ導波路３２ａの断面図（図２のII－II断面）である。これらのプレーナ導波路３２ａに採用されている導波路構造は、何れも基板上に高屈折率層ＨＬを積層し、その周りに低屈折率層ＬＬを積層することにより構成され、高屈折率層ＨＬと低屈折率層ＬＬとの境界面での反射作用によりレーザ光が集光される。図５に示すプレーナ導波路３２ａでは、高屈折率層ＨＬと低屈折率層ＬＬとの境界面が、略楕円面の一部形状を成している。
　図５に示す高屈折率層ＨＬと低屈折率層ＬＬとの境界面では、その屈折率差によって全反射を生じさせる構成としている。境界面は略楕円面の一部形状を成しているので、プレーナ導波路３２ａに発散光が入射すると、略楕円面の焦点位置で光源像が形成されることになる。つまり、プレーナ導波路３２ａでは全反射を利用したミラー効果によりレーザ光を１方向に集光して、微小な光スポットを形成することができる。一方、図６に示すプレーナ導波路３２ａでは、高屈折率層ＨＬと低屈折率層ＬＬとの境界面が、直線状に形成されている。プレーナ導波路３２ａには二つの境界面が形成されており、高屈折率層ＨＬに入射したレーザ光はこれら二つの境界面の間で繰り返し全反射され、出射端に進むにつれて次第にモードフィールド径が小さくなって行き、高屈折率層ＨＬの出射端で集光され、微小な光スポットを形成することができる。
　以上説明した光アシスト磁気ヘッド３を搭載した光アシスト磁気記録装置１においては、ＬＤ３３から出射した光は光学素子３１の反射面３１ａにてｙ方向の光軸がｙｚ面内で９０°折り返されてｚ方向に偏向されると共にｙｚ面内で集光され、プレーナ導波路３２ａに入射される。一方、光学素子３１の母線方向であるｘ方向の光は集光されず広がった状態でプレーナ導波路３２ａに入射し、例えば図５に示す略楕円反射面を持つプレーナ導波路３２ａによってｘ方向が導波路内にて集光される。プレーナ導波路３２ａの出射端ではｘ方向、ｙ方向ともに十分光が絞られた状態となり、導波路出射端面に形成された図示しないプラズモンプローブを照射し、プラズモンプローブから近接場光が発生する。この近接場光によりディスク２が加熱され、保磁力が低下し、不図示の磁気記録部にて磁気情報が記録される。ディスク２が光アシスト磁気ヘッド３から移動し、冷却されると保磁力が回復し、磁気情報が保持される。
　次に、光学素子３１の位置決め方法について説明する。本実施形態にかかる光学素子３１の位置決め方法は、凹状の円筒面を有する光学素子３１をベースへ位置決めする光学素子３１の位置決め方法であって、少なくとも一断面が前記円筒面の曲率半径と同じ曲率半径を備える凸状の円弧形状の突起部を前記ベース上に有し、前記突起部の前記円弧形状を含む表面に、光学素子３１の凹状の円筒面を当接させて光学素子３１の位置決めを行う工程を有することを特徴とする。
　図７は、突起部が配置されたＶ溝付ベース５２の斜視図である。Ｖ溝付ベース５２は、Ｖ溝５１が形成されたベースであり、突起部は球体状のボール５３である。図７で示した突起部は、ボールの形状であるが、少なくとも一断面が光学素子３１の反射面３１ａの円筒面の曲率半径と同じ曲率半径を備える凸状の円弧形状の突起部であればよいので、後述するように円柱体の突起部でもよい。
　Ｖ溝５１は、ボール５３などの突起部を支持する溝形状の一つであり、突起部を支えるために少なくとも面対称に対向する二つの斜面を有する溝であればよい。従って、Ｖ溝に限らず採用できる。なお、本説明においては、溝形状がＶ形状でない場合でも、少なくとも面対称に対向する二つの斜面を有する溝が形成されたベースを総称してＶ溝付きベースと呼ぶ事とする。なお、斜面の少なくとも一つが鉛直な面でも良い。
　Ｖ溝付ベース５２においては、Ｖ溝５１を挟んで、面Ｓ１，面Ｓ２に二分されている。
　球体状のボール５３は、Ｖ溝５１が延在する方向の両端付近にそれぞれ配置されており、合わせて２個配置されている。このように同一のＶ溝５１に２つのボール５３を所定間隔だけ離して配置する事により、各々のボール５３が有する円弧形状を含む面が互いに平行で、かつ、各々の円弧形状の円の中心が円弧形状を含む面に垂直な一直線上に配置されるため、各々のボール５３が有する円弧形状により一つの凸状円筒面を形作る事が可能となり、光学素子３１の凹状円筒面からなる反射面３１ａを確実に、かつ、安定して嵌合させる事ができる。
　Ｖ溝付ベース５２には貫通穴５４が形成されており、Ｓ１面にＬＤ３３を固定する際に使用される。
　Ｖ溝付ベース５２は、例えば所定厚さのシリコン基板を母材とするベースに異方性エッチングによりＶ溝を形成することで作製されている。なお、先端断面がＶ字形状となっているＶ字ブレードを用い、ガラス板にＶ溝を切削加工してもよいし、射出成形やガラスモールドによりプラスチックやガラス部材にＶ溝を一体的に形成してもよい。
　光学系の設計によっては、ＬＤ３３の下面より光学素子３１の下面３１ｄが下側に出っ張り、面Ｓ２の高さが、面Ｓ１の高さよりも低いことがある。この場合にはＶ溝付ベース５２にＶ溝５１を形成後、面Ｓ２と面Ｓ１の高さの差に応じて切削加工により面Ｓ２を面Ｓ１よりも低くしてやれば良い。
　図８は、断面が台形形状の台形溝５６を備えるＶ溝付ベース５２の側面図である。Ｖ溝５１はＶ字形状に限られないので、図８に示すように台形形状であっても良い。
　図９は、溝の形状が台形でベースの両端のみに溝が形成されたＶ溝付ベース５２にボール５３が配置された状態の斜視図である。図９に示すように、Ｖ溝５６をベースの両端側にのみに形成し、中央部は溝がない構造とすることで、ボール５３の位置決めが行い易くなる。なお、図示しない凹状のピラミッド型溝でも同様の効果が得られる。また、貫通穴５４とは別に貫通穴５４’を２つのボール５３の中央部近傍に形成し、光学素子３１を吸着固定する際に利用しても良い。なお、図７で示したＶ溝付ベース５２における光学素子３１の下面３１ｄの接触面にも同様に貫通穴５４’を形成することで、光学素子３１を吸着固定できることは言うまでもない。
　図１０は、Ｖ溝５１に円柱体５７が配置されたＶ溝付ベース５２の斜視図である。
　突起部は、反射面３１ａに当接できれば良いので、ボールや円柱体の一部の形状でも良く、図１０に示すような反射面３１ａと同じ半径の円柱体でも良いこととなる。
　図１１は、円柱体の一部から成る突起部５８が射出成型等により一体的に製造された突起部付ベース４２Ａの斜視図である。図１１において、突起部５８の曲率半径は光学素子３１の反射面３１ａの曲率半径と同じにされて射出成型等によりベースと一体的に製造されている。このように突起部５８として円柱体を採用すると、突起部５８と光学素子３１の反射面３１ａの曲率半径とが同じであるので、光学素子３１を突起部５８に嵌めあわせることができ、光学素子３１の精密な位置決めが可能となる。なお、円柱体の突起部を採用する場合には、突起部は一つ配置すればよいが、図１１に示すように二つ配置する場合には、各々の円柱体の同一箇所の母線が一直線上に連なるように配置する。即ち、各々の円柱体が有する円弧形状を含む面が互いに平行で、かつ、各々の円柱体の円の中心が円弧形状を含む面に垂直な一直線上に配置されるため、各々の円柱体の突起部により一つの凸状円筒面を形成できる。従って、各々の円柱体の突起部の母線の方向の長さが短い場合においても光学素子３１の凹状円筒面からなる反射面３１ａを確実に、かつ、安定して嵌めあわせる事ができる。
　図１２は、突起部にボール５３を採用して光学素子３１の位置決めを行う概略図である。
　図１２（ａ）はＶ溝付ベース５２の上面図、図１２（ｂ）はＶ溝付ベース５２の側面図である。図１２に示すように、ボール５３の表面に、光学素子３１の反射面３１ａである円筒面を当接させて光学素子３１の位置決めを行う。
　ボール５３の曲率半径は反射面３１ａの曲率半径と同じものを採用しているので、光学素子３１はボール５３の表面にピッタリと沿うようになるので、反射面３１ａの円筒面の曲率半径の中心位置を確実に決める事ができる。なお、光学素子３１の下面３１ｄを面Ｓ２に当接させて反射面３１ａの曲率半径中心回りの回転方向の位置決めを行っても良い。この場合、図１２（ｂ）の座標系においてはＹ方向とＺ方向とにおいて、面Ｓ２とボール５３とで位置決めされることとなり、一意的に位置決めが可能となる。また、光学素子３１を不図示の保持治具により保持した状態で反射面３１ａをボール５３に当接し、下面３１ｄが面Ｓ２と接触しないように回転方向の位置決めをしても良い。
　以上のように、本実施形態による光学素子３１の位置決め方法によれば、光学素子３１の反射面３１ａを直接位置決め用の突起部に当接させ、反射面３１ａと突起部の間に余計な部材を介さずに位置決めを行うので、高い精度で光学素子３１の反射面３１ａの位置決めが可能となる。
　次に、光源であるＬＤ３３と光学素子３１の位置決め固定方法について説明する。
　図１３はＬＤ３３をＶ溝付ベース５２に位置決めする方法を示す概略図である。図１３（ａ）は斜視図、図１３（ｂ）は上面図、図１３（ｃ）は図１３（ｂ）のIII－III断面図
である。図１３各図のＶ溝付ベース５２のＬＤ３３の配置部には貫通穴５４を設けてあり、ＬＤ３３をエアー吸引により吸着保持して固定できるようになっている。２つのボール５３はｘ方向の間隔がＬＤ３３のｘ方向の幅よりも広くなるように配置された状態でＶ溝付ベース５２のＶ溝５１に固定されている。このように２つのボール５３を配置する事により、突起部がない領域に光源であるＬＤ３３を配置できる。なお、２つのボール５３をＶ溝付ベース５２のＶ溝５１に固定するには、例えば接着剤を用いる。
　ＬＤ３３の出射端面３５がＶ溝の谷の直線部である稜線５５と平行になるようにＬＤ３３の向きを揃え、Ｖ溝付ベース５２に配置する。
　ＬＤ３３をＶ溝付ベース５２上に配置後、貫通穴５４から図示しない吸引機を用いてエアーを吸引し、ＬＤ３３をＶ溝付ベース５２に固定する。なお、ＬＤ３３の出射端面３５が稜線５５上に重ならない設計となっている場合には、稜線５５を基準にしてｙ方向に所定間隔だけ離れた位置にＬＤ３３を位置決めし、Ｖ溝付ベース５２に配置すれば良い。
　次に光学素子３１を位置決め固定する。図１４は光学素子３１をＶ溝付ベース５２に位置決めする方法を示す模式図である。本発明によるＬＤ３３と光学素子３１の位置決め固定方法は、光学素子３１をＬＤ３３に隣接配置する場合に特に有効である。
　隣接配置は、光学素子３１を不図示のエアピンセットなどで保持し、図１４に示すようにその反射面３１ａをボール５３に当接してその状態を保持することで行う。
　ここで、隣接とは、光学素子３１とＬＤ３３とを接触させて配置させることや、接触はさせないが近接させることを含む意味である。接触させることで光学素子３１とＬＤ３３とが互いに位置決め容易となり、また接触させる面と異なる面に接着剤を肉盛り接着することで、接着後の位置ずれも小さく抑えることが可能となる。また、接触させずに近接させることで、位置決め時の束縛がなくなると共に、接触時にＬＤ３３に不要なストレスを与え損傷させる事を回避できる。
　光学素子３１の母線の方向（ｘ方向）の長さＬはＬＤ３３の幅よりも長くなっている。ここで母線とは、光学素子３１の長手方向に平行な線である、例えば光学素子３１の稜線である。ボール５３を用いる場合、光学素子３１の長さＬは、ＬＤ３３の幅＋２×ボール５３の半径以上の長さとなっている。このようにすることで、ｘ方向において光学素子の少なくとも一端がＬＤ３３より突出することとなり、突出する部分に接着剤を肉盛り接着することで、光学素子３１とＬＤ３３との接着が容易となる。
　次いで、図１５に示すように、ＬＤ３３と光学素子３１とを接着する。図１５は、ＬＤ３３と光学素子３１とを接着する方法を示す模式図である。図１６は接着後のＬＤ３３と光学素子３１の状態を示す概略図であり、図１６（ａ）は上面図、図１６（ｂ）は側面図である。
　図１５に示すように、インクジェット法により微小なインク滴を吐出するインクジェットヘッド６０を用いて、インクの代わりに接着剤６１を吐出することにより、ＬＤ３３の側面３６と光学素子３１の側面３４の間に接着剤６１を塗布する。接着剤６１を例えばライン状に吐出することで、大面積に塗布できるので望ましい。
　接着剤６１としては紫外線硬化型のものを用いる。一般によく用いられるエアパルス式のディスペンサーで接着剤を塗布する場合、ニードルを塗布対象に近接させる必要があり、ニードルが微小なＬＤ３３や光学素子３１と接触した場合には、ＬＤ３３や光学素子３１の位置が大きくずれてしまう危険性や、ＬＤ３３や光学素子３１を損傷してしまう危険性がある。一方、インクジェット法の場合、粒径数十μｍの接着剤６１を数ｍｍ程度正確に飛ばすことが可能であり、微小物体への塗布には好適である。さらに、インクジェットヘッド６０のノズルを複数設け、同時に複数の接着剤６１の粒子を一定間隔を保って塗布することが可能であり、図１５に示すように縦方向に複数塗布することにより、より強固な固着が可能となる。
　次いで、接着剤６１を塗布後、図示しない紫外線照射装置を用いて紫外線を照射して接着剤６１を硬化させ、ＬＤ３３と光学素子３１の固定が完了する。
　なお、接着剤をＬＤ３３の上面３７と光学素子３１の上面３９に塗布して接着固定しても良い。また、接着剤６１としては熱硬化型を用いてもよい。
　次いで、接着剤６１の硬化後、光学素子３１を保持していた不図示のエアピンセットをリリースし、ＬＤ３３のエアーによる吸着を止め、光学素子３１が固定されたＬＤ３３をＶ溝付ベース５２から取り外す。
　光学素子３１が固定されたＬＤ３３は、光学素子付き光源ユニット７０として光アシスト磁気ヘッドの後述する組立工程に移送される。図１７に光学素子付き光源ユニット７０の斜視図を示す。
　以上の説明ではＬＤ３３の向きは、ＬＤ３３の出射端面３５がＶ溝の谷の直線部である稜線５５と平行になるように揃えたが、ＬＤ３３の向きの揃え方はこれに限らない。
　例えば、図１１に示したように、突起部として円柱体の突起部５８を採用する場合、円柱体の母線を上記の稜線と看做してこの稜線を基準としてＬＤ３３の向きの揃えてもよい。また、突起部付ベース４２Ａの面Ｓ１と面Ｓ２に段差を設けた場合、その段差を基準としてＬＤ３３の向きを揃えてもよい。
　次に、かかる位置決め方法によって位置決め固定された光源であるＬＤ３３と光学素子３１とからなる光学素子付き光源ユニット７０をスライダに固定する。図１８は、光学素子付き光源ユニット７０をスライダ３２に位置決めする方法を示す模式図である。
　光学素子付き光源ユニット７０を不図示のマイクロマニピュレータにより保持し、不図示の高倍率の撮像系でモニタしながら、露出しているプレーナ導波路３２ａの光入射面ｗ１の中心を基準とし、ＬＤ３３の出射端面の両端エッジの中心点が所定の位置に来るように位置決めし、スライダ上面に形成された電極ｄ１に載せ、はんだ付けを行い固定する。そしてＬＤ３３の上面と電極ｄ２をワイヤボンディングにより接続する。以上で光アシスト磁気ヘッド３が完成する。この後、端子ｔ１、端子ｔ２の他、磁気記録再生部の駆動に必要な図示しない端子がサスペンションに配置されているＦＰＣ基板に電気的に接続される。
　以上のように、本実施形態による光源であるＬＤ３３と光学素子３１の位置決め固定方法によれば、同一のＶ溝５１に対してＬＤ３３と光学素子３１の位置決めを行なうため、高い精度でＬＤ３３と光学素子３１の相対位置を決める事が可能となる。従って、光アシスト磁気ヘッド３における光学素子３１と光源であるＬＤ３３を含む光学素子の位置決めを、容易に高精度かつ低コストで行うことが可能な位置決め方法、かかる位置決め方法を用いて位置決めされた光学素子付き光源ユニット及び光アシスト磁気ヘッドを提供できる。
（第２の実施形態）
　第２の実施形態は、Ｖ溝付ベース５２を光源であるＬＤ３３と光学素子３１との位置決めのための治具として用いるだけでなく、光学素子付き光源ユニット７０と一体化し、スライダに取り付けることを特徴とする。Ｖ溝付ベース５２にＬＤ３３を固定するのでＶ溝付ベース５２に電極ｄ３、ｄ４、端子ｔ３、ｔ４を形成し、ベースユニット８０とする。
　図１９はベースユニット８０の概略図である。図１９（ａ）は斜視図であり、図１９（ｂ）、（ｃ）は上面図である。
　ベースユニット８０はＶ溝付ベース５２に電極が形成されたものである。ベースユニット８０へのＬＤ３３や光学素子３１の位置決め、および固定は第１の実施形態と同様に行う。第２の実施形態においては、ベースユニット８０を一体化しても光アシスト磁気ヘッド３を薄く保ちたいので、ベースユニット８０はなるべく薄くしたい。そこで、ボール５３を受ける溝には台形溝５６を採用する。台形溝とすることによりベースユニット８０の厚みを薄くしつつ、ベースユニット８０の強度を確保できる。ボール５３は台形溝５６に接着固定される。
　ベースユニット８０にはＬＤ３３から出射し光学素子３１で反射した光が通過できる貫通穴４４Ａが形成されている。なお、図１９（ｂ）に示すように貫通穴４４Ａではなく、図１９（ｃ）に示すような切欠の形状を有する切欠部４４Ｂとしてもよい。ベースユニット８０の上面には電極ｄ３、ｄ４が形成されており、各々端子ｔ３、端子ｔ４とパターンで電気的に接続されている。
　図２０は、ＬＤ３３をベースユニット８０に固定する方法を示す概略図である。図２０（ａ）は斜視図、図２０（ｂ）は上面図である。
　図２０（ｂ）に示すようにベースユニット８０の台形溝５６の稜線５９に対してＬＤ３３の出射端面が平行になるようにＬＤ３３の向きを調整し、稜線５９とＬＤ３３の出射端面３５の間隔が所定の間隔ｄとなるように位置決めし、はんだペーストが塗布された電極ｄ３にマウントする。その後、ＬＤ３３の姿勢を保持したまま赤外線や熱風リフロー等によりＬＤ３３と電極ｄ３をはんだ付けし、続いてＬＤ３３の上面と電極ｄ４をワイヤボンディングにより金ワイヤｇにて接続し、ＬＤ３３の固定が完了する。
　なお、ボール５３とベースユニット８０の接着をＬＤ３３の固定後に行っても良い。この場合、リフロー時の熱による接着剤の変形を回避できる。
　光学素子３１の位置決めは、第１の実施形態の場合と同様に、光学素子３１の凹状の反射面３１ａをボール５３に当接させて行う。光学素子３１のベースユニット８０への接着は、光学素子３１をベースユニット８０に直接接着することで行う。なお、光学素子を保持するエアピンセットなどの保持治具が接着剤塗布時に邪魔になるような場合には、光学素子３１を保持治具で保持し、その反射面３１ａをボール５３に当接させた後、貫通穴５４からエアー吸引により光学素子３１を吸着保持し、保持治具をリリースしてから光学素子３１をベースユニット８０に接着固定しても良い。
　図２１は、完成したベース付きの光学素子付き光源ユニット８１の斜視図である。なお、第１の実施形態と同様にＬＤ３３と光学素子３１との間に肉盛り接着してもよいし、光学素子３１をベースユニット８０とＬＤ３３の両方に接着してもよい。
　次いで、以下の手順でベース付きの光学素子付き光源ユニット８１をスライダ上に位置決め固定する。図２２は、ベース付きの光学素子付き光源ユニット８１をスライダ３２上に位置決め固定する方法を示す模式図である。図２２（ａ）は斜視図、図２２（ｂ）は、図２２（ａ）のIV－IV断面図である。
　最初に、ベース付きの光学素子付き光源ユニット８１をスライダ３２の上面に搭載する。
　次いで、ベース付きの光学素子付き光源ユニット８１とスライダ３２とがｘｙ面内において平行になるように少なくとも一方の姿勢を相対的に調整する。
　次いで、ベース付きの光学素子付き光源ユニット８１がスライダ３２のｘ方向のほぼ中央に来るように、ｘ方向に粗調整を行う。
　次いで、ＬＤ３３に電力を供給するためのコンタクトピンを端子ｔ３、ｔ４に接触させ、ＬＤ３３に電力を供給してＬＤ３３を点灯させる。
　次いで、プレーナ導波路３２ａの出射光の光量を検出装置８２でモニタしながら、ｙ方向に粗いステップでベース付きの光学素子付き光源ユニット８１を移動させ、光が検知された時点で微調整を行い、光量が極大となる位置でｙ方向の位置を保持する。
　次いで、ベース付きの光学素子付き光源ユニット８１をｘ方向に微調整し、光量が略最大となる位置でベース付きの光学素子付き光源ユニット８１とスライダ３２とを固定する。ベース付きの光学素子付き光源ユニット８１とスライダ３２との固定には、例えば紫外線硬化接着剤を用いる。
　一次元集光素子である光学素子３１を使っているため、光はｘ方向には集光されておらず、プレーナ導波路３２ａの光入射面ｗ１ではｘ方向のスポットサイズが大きくなっている。このため、初めにベース付きの光学素子付き光源ユニット８１のｘ方向の位置をスライダのほぼ中央に配置しておけば、ｙ方向にベース付きの光学素子付き光源ユニット８１を移動させるとスポットがプレーナ導波路３２ａの光入射面を必ず横切るので、スポットとプレーナ導波路３２ａの相対位置合わせが容易となる。
　なお、この調整はＬＤ３３を点灯させて行う、所謂アクティブアライメント方式であるが、ＬＤ３３を点灯させずに行うパッシブアライメント方式も可能である。例えば、図２３に示すようにベースユニット８０とスライダ３２にそれぞれアライメントマークＡＬを形成しておき、これらをモニタしながら所定の位置関係に来るようにベース付きの光学素子付き光源ユニット８１の位置調整を行い、固定する。
　以上のように、第２の実施形態によれば、Ｖ溝付ベース５２を光源であるＬＤ３３と光学素子３１との位置決めのための治具として用いるだけでなく、光学素子付き光源ユニット７０と一体化し、スライダに取り付けることから、光源と光学素子を直接ベース部に位置決め固定することができるので、容易に高精度かつ低コストで光導波路に対して位置決め固定できる光アシスト磁気ヘッドを提供できる。
（第３の実施形態）
　第３の実施形態においてはＶ溝付ベース５２やベースユニット８０を用いず、Ｖ溝を直接ヘッドに形成した構成を特徴とする。
　図２４は、Ｖ溝が形成されたスライダ３２に直接ＬＤ３３を位置決め固定する模式図である。すなわち、スライダ３２の上面がベース部分に相当する。
　プレーナ導波路３２ａと図示しないプラズモンプローブ及び磁気記録再生部とが形成されたスライダ３２に、プレーナ導波路３２ａの光入射面ｗ１を基準として切削加工等により、図２４に示すようにプレーナ導波路３２ａを残す形でＶ溝５１を両端に形成する。
　次いで、不図示の高倍率の撮像系でモニタしながら、Ｖ溝５１の谷部直線の稜線５５とＬＤ３３の稜線３８とが平行になるように、ＬＤ３３の姿勢を調整する。そして、プレーナ導波路３２ａの光入射面ｗ１の中心を基準としてＬＤ３３を所定の位置に配置されるように位置調整し、電極ｄ３にはんだ付けする。
　図２５は、光学素子３１が搭載される前の光アシスト磁気ヘッド３の斜視図である。図２５に示すようにＬＤ３３の上面３７と電極ｄ４を図示しないワイヤーボンダーを用いて金ワイヤｇにて接続する。そしてボール５３をＶ溝５１に配置する。次いで光学素子３１の反射面３１ａをボールに押し付け、その状態で図２６に示すように光学素子３１の両サイドの矢印方向から接着剤を塗布し、ボール５３も含めて光学素子３１をスライダ３２に接着固定する。なお、接着剤塗布位置はこれに限らない。以上で、光アシスト磁気ヘッド３が完成する。
　以上のように、第３の実施形態によれば、ベースを用いることなく光学素子３１とＬＤ３３とをスライダ３２に取り付けることから、容易に高精度かつ低コストで光導波路に対して位置決め固定できる光アシスト磁気ヘッドを提供できる。
　以上のように本発明によれば、少なくとも一つの光学素子をベースへ位置決めする光学素子の位置決め方法であって、凹状の円筒面を有する光学素子を位置決めするために、少なくとも一断面が前記円筒面の曲率半径と同じ曲率半径を備える凸状の円弧形状から成る突起部を前記ベース上に有し、前記突起部の前記円弧形状を含む表面に、前記凹状の円筒面を有する光学素子の凹状の円筒面を当接させて前記凹状の円筒面を有する光学素子の位置決めを行う工程を有することから、突起部に球体または円柱体を用いることにより、光学素子の円筒面の曲率半径と同じ半径の円弧形状の突起部を容易に製造することができ、容易に高精度かつ低コストで行うことが可能な光学素子の位置決め方法を提供できる。
　また、本発明によれば、前記突起部は球体の少なくとも一部または円柱体の少なくとも一部であることから、入手性、作製性のよい球体や円柱体を利用できるので、容易に高精度かつ低コストで行うことが可能な光学素子の位置決め方法を提供できる。
　また、本発明によれば、前記ベースには溝が形成されており、前記突起部は前記溝に配置された球体または円柱体であり、溝、球体、円柱体とは精度良く作製できるので、高精度で行うことが可能な光学素子の位置決め方法を提供できる。
　また、本発明によれば、前記溝は面対称で対向する二つの斜面を有することから、球体や円柱体を溝の斜面に配置することにより、球体や円柱体の位置を正確に決めるができ、容易に高精度かつ低コストで行うことが可能な光学素子の位置決め方法を提供できる。
　また、本発明によれば、前記突起部は前記ベースに一体的に形成されていることから、球体や円柱体を個別に用意する必要がなく、球体や円柱体を溝に配置する工数が不要となり、コストを抑制できる光学素子の位置決め方法を提供できる。
　また、本発明によれば、前記突起部は、少なくとも二つあり、各々の突起部の円弧形状は、一つの凸状円筒面の一部を形作っており、
　各々の前記突起部を前記凹状の円筒面を有する光学素子の円筒面に当接させて前記凹状の円筒面を有する光学素子の位置決めを行うことから、
　棒状の光学素子の凹状円筒面からなる反射面を確実に、かつ、安定して嵌合させる事ができる。
　また、本発明によれば、前記溝の少なくとも一部の稜線を基準として、光源を位置決めすることから、前記凹状の円筒面を有する光学素子と前記光源を同じ部位を基準として位置決めするので、高い相対位置精度を確保すると共に、容易に高精度かつ低コストで行うことが可能な光学素子の位置決め方法を提供できる。
　また、本発明によれば、前記突起部は、少なくとも二つあり、各々の突起部の円弧形状は、一つの凸状円筒面の一部を形作っており、各々の前記突起部を前記凹状の円筒面を有する光学素子の円筒面に当接させて前記凹状の円筒面を有する光学素子の位置決めを行い、前記溝の少なくとも一部の稜線を基準として前記光源を位置決めすることから、前記凹状の円筒面を有する光学素子と前記光源を同じ部位を基準として位置決めするので、高い相対位置精度を確保すると共に、棒状の光学素子の凹状円筒面からなる反射面を確実に、かつ、安定して嵌合させる事が可能な光学素子の位置決め方法を提供できる。
　また、本発明によれば、前記突起部は円柱体の少なくとも一部であり、前記突起部の少なくとも一部の稜線を基準として前記光源を位置決めすることから、前記凹状の円筒面を有する光学素子と前記光源を同じ部位を基準として位置決めするので、高い相対位置精度を確保すると共に、容易に高精度かつ低コストで行うことが可能な光学素子の位置決め方法を提供できる。
　また、本発明によれば、前記ベースには、少なくとも前記凹状の円筒面を有する光学素子を吸着保持するための貫通穴が形成されていることから、容易に前記凹状の円筒面を有する光学素子の着脱が可能であり、組立工数を低減できる光学素子の位置決め方法を提供できる。
　また、本発明によれば、前記ベースには、少なくとも前記凹状の円筒面を有する光学素子または前記光源の何れかを吸着保持するための貫通穴が形成されていることから、容易に前記凹状の円筒面を有する光学素子または前記光源の少なくとも何れかの着脱が可能であり、組立工数を低減できる光学素子の位置決め方法を提供できる。
　また、本発明によれば、上記の光学素子の位置決め方法によって前記ベース上に位置決めされた前記凹状の円筒面を有する光学素子と光源とが互いに接着されてなることから、高い精度で組み付けられた光源と前記凹状の円筒面を有する光学素子を一体的に取り扱うことができ、ハンドリングが容易になる光学素子付き光源ユニットを提供できる。
　また、本発明によれば、ベースと、上記の光学素子の位置決め方法によって前記ベース上に位置決めされた前記凹状の円筒面を有する光学素子と、光源とを有することから、高い精度で組み付けられた光源と前記凹状の円筒面を有する光学素子を一体的に取り扱うことができ、ハンドリングが容易になる光学素子付き光源ユニットを提供できる。
　また、本発明によれば、前記ベースは、前記凹状の円筒面を有する光学素子の円柱面で反射した前記光源からの光が通過する貫通穴または切欠部を有することから、前記光源と前記凹状の円筒面を有する光学素子を一体的に取り扱うことができる上に、ベースを保持してハンドリングが可能となるため、前記光源（ＬＤチップ）や前記凹状の円筒面を有する光学素子を損傷させる危険がない光学素子付き光源ユニットを提供できる。
　また、本発明によれば、前記凹状の円筒面を有する光学素子と前記光源とは隣接しており、前記光学素子の少なくとも一端は前記光源より突出していることから、前記凹状の円筒面を有する光学素子の反射面以外の領域とＬＤの側面に接着剤を塗布して固定することが可能となり、接着剤がＬＤの出射点に付着し不良となることを防止できる光学素子付き光源ユニットを提供できる。
　また、本発明によれば、前記凹状の円筒面を有する光学素子は前記ベースに固定されていることから、前記凹状の円筒面を有する光学素子を前記光源に固着しないので、前記光源に不要なストレスを与え損傷させる危険がない光学素子付き光源ユニットを提供できる。
　また、本発明によれば、前記凹状の円筒面を有する光学素子は前記光源に固定されていることから、前記凹状の円筒面を有する光学素子を保持治具で保持したまま接着剤を容易に塗布することができ、工数削減が可能であり、また前記凹状の円筒面を有する光学素子と前記光源との位置精度を高めることが可能な光学素子付き光源ユニットを提供できる。　
　また、本発明によれば、前記突起部と前記凹状の円筒面を有する光学素子とが一体的に前記ベースに接着固定されていることから、前記光源（ＬＤチップ）や前記凹状の円筒面を有する光学素子を損傷させる危険がなく、さらに接着剤塗布の回数を減らすことができ、工数削減が可能であり、また光学素子と光源との位置精度を高めることが可能な光学素子付き光源ユニットを提供できる。
　また、本発明によれば、前記凹状の円筒面を有する光学素子の固定はインクジェット法により接着剤を塗布することにより行なわれることから、インクジェットヘッドが前記光源や前記凹状の円筒面を有する光学素子に接触し、損傷させてしまう危険がなく、また、所望の場所に所望の量を塗布でき、安定した接着固定が可能となる光学素子付き光源ユニットを提供できる。
　また、本発明によれば、インクジェット法による接着剤の塗布は、前記接着剤をライン状に吐出することにより行うことから、より強固な接着固定が可能となり、安定した性能を確保できる光学素子付き光源ユニットを提供できる。
　また、本発明によれば、上記の光学素子付き光源ユニットを搭載したことから、前記光源と前記凹状の円筒面を有する光学素子を直接ベース部に位置決め固定することができるので、容易に高精度かつ低コストで光導波路に対して位置決め固定できる光アシスト磁気ヘッドを提供できる。
　また、本発明によれば、磁気記録再生部を備える光アシスト磁気ヘッド用スライダと、上記の光学素子の位置決め方法によって前記光アシスト磁気ヘッド用スライダのベースに位置決めされた前記凹状の円筒面を有する光学素子と前記光源とを有することから、容易に高精度かつ低コストで光導波路に対して位置決め固定できる光アシスト磁気ヘッドを提供できる。
　また、本発明によれば、前記凹状の円筒面を有する光学素子と前記光源とは隣接しており、前記凹状の円筒面を有する光学素子の少なくとも一端は前記光源より突出していることから、前記凹状の円筒面を有する光学素子の反射面以外の領域とＬＤの側面に接着剤を塗布して固定することが可能となり、接着剤がＬＤの出射点に付着し不良となることを防止できる光アシスト磁気ヘッドを提供できる。
　また、本発明によれば、前記凹状の円筒面を有する光学素子が前記光アシスト磁気ヘッド用スライダのベースに固定されていることから、前記凹状の円筒面を有する光学素子を光源に固着しないので、光源に不要なストレスを与え損傷させる危険がない光アシスト磁気ヘッドを提供できる。
　また、本発明によれば、前記凹状の円筒面を有する光学素子が前記光源に固定されていることから、前記凹状の円筒面を有する光学素子を保持治具で保持したまま接着剤を容易に塗布することができ、工数削減が可能であり、また前記凹状の円筒面を有する光学素子と前記光源との位置精度を高めることが可能な光アシスト磁気ヘッドを提供できる。
　また、本発明によれば、前記突起部と前記凹状の円筒面を有する光学素子とが一体的に光アシスト磁気ヘッド用スライダのベースに接着固定されていることから、光源（ＬＤチップ）や前記凹状の円筒面を有する光学素子を損傷させる危険がなく、さらに接着剤塗布の回数を減らすことができ、工数削減が可能であり、また前記凹状の円筒面を有する光学素子と前記光源との位置精度を高めることが可能な光アシスト磁気ヘッドを提供できる。　
　また、本発明によれば、前記凹状の円筒面を有する光学素子の固定はインクジェット法により接着剤を塗布することにより行なわれることから、インクジェットヘッドが前記光源や前記凹状の円筒面を有する光学素子に接触し、損傷させてしまう危険がなく、また、所望の場所に所望の量を塗布でき、安定した接着固定が可能となる光アシスト磁気ヘッドを提供できる。
　また、本発明によれば、インクジェット法による接着剤の塗布は、前記接着剤をライン状に吐出することから、強固な接着固定が可能となり、安定した性能を確保できる光アシスト磁気ヘッドを提供できる。
　以上、本発明を実施の形態を参照して説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定して解釈されるべきではなく、適宜変更・改良が可能であることはもちろんである。
　１　光アシスト磁気記録装置
　２　ディスク
　３　光アシスト磁気ヘッド
　４　ヘッド支持部
　５　支軸
　６　トラッキング用アクチュエータ
　３１　光学素子
　３２　スライダ
　３３　ＬＤ
　３８、５５、５９　稜線
　５１　Ｖ溝
　５２　Ｖ溝付ベース
　５３　ボール
　５４　貫通穴
　５６　台形溝
　５７　円柱体
　５８　突起部
　６０　インクジェットヘッド
　６１　接着剤
　７０　光学素子付き光源ユニット
　８０　ベースユニット
　８１　ベース付き光学素子付き光源ユニット
　８２　検出装置
　１Ａ　筐体
　３１ａ　反射面
　３２ａ　プレーナ導波路

Claims (29)

  1. 　少なくとも一つの光学素子をベースへ位置決めする光学素子の位置決め方法であって、
    　凹状の円筒面を有する光学素子を位置決めするために、少なくとも一断面が前記円筒面の曲率半径と同じ曲率半径を備える凸状の円弧形状から成る突起部を前記ベース上に有し、
    　前記突起部の前記円弧形状を含む表面に、前記凹状の円筒面を有する光学素子の凹状の円筒面を当接させて前記凹状の円筒面を有する光学素子の位置決めを行う工程を有することを特徴とする光学素子の位置決め方法。
  2. 　前記突起部は球体の少なくとも一部または円柱体の少なくとも一部であることを特徴とする請求項１に記載の光学素子の位置決め方法。
  3. 　前記ベースには溝が形成されており、
    　前記突起部は前記溝に配置された球体または円柱体であることを特徴とする請求項２に記載の光学素子の位置決め方法。
  4. 　前記溝は面対称で対向する二つの斜面を有することを特徴とする請求項３に記載の光学素子の位置決め方法。
  5. 　前記突起部は前記ベースに一体的に形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の光学素子の位置決め方法。
  6. 　前記突起部は、少なくとも二つあり、各々の突起部の円弧形状は、一つの凸状円筒面の一部を形作っており、
    各々の前記突起部を前記凹状の円筒面を有する光学素子の円筒面に当接させて前記凹状の円筒面を有する光学素子の位置決めを行うことを特徴とする請求項１乃至５の何れか一項に記載の光学素子の位置決め方法。
  7. 　前記溝の少なくとも一部の稜線を基準として、光源を位置決めすることを特徴とする請求項３または４に記載の光学素子の位置決め方法。
  8. 　前記突起部は、少なくとも二つあり、各々の突起部の円弧形状は、一つの凸状円筒面の一部を形作っており、各々の前記突起部を前記凹状の円筒面を有する光学素子の円筒面に当接させて前記凹状の円筒面を有する光学素子の位置決めを行い、前記溝の少なくとも一部の稜線を基準として光源を位置決めすることを特徴とする請求項３または４に記載の光学素子の位置決め方法。
  9. 　前記突起部は円柱体の少なくとも一部であり、
    　前記突起部の少なくとも一部の稜線を基準として光源を位置決めすることを特徴とする請求項１乃至８の何れか一項に記載の光学素子の位置決め方法。
  10. 　前記ベースには、少なくとも前記凹状の円筒面を有する光学素子を吸着保持するための貫通穴が形成されていることを特徴とする請求項１乃至９の何れか一項に記載の光学素子の位置決め方法。
  11. 　前記ベースには、少なくとも前記凹状の円筒面を有する光学素子または前記光源の何れかを吸着保持するための貫通穴が形成されていることを特徴とする請求項７乃至９の何れか一項に記載の光学素子の位置決め方法。
  12. 　請求項７乃至１１の何れか一項に記載の光学素子の位置決め方法によって前記ベース上に位置決めされた前記凹状の円筒面を有する光学素子と、前記光源とが互いに接着されてなることを特徴とする光学素子付き光源ユニット。
  13. 　ベースと、
    　請求項７乃至１１の何れか一項に記載の光学素子の位置決め方法によって前記ベース上に位置決めされた前記凹状の円筒面を有する光学素子と、前記光源とを有することを特徴とする光学素子付き光源ユニット。
  14. 　前記ベースは、前記凹状の円筒面を有する光学素子の円筒面で反射した前記光源からの光が通過する貫通穴または切欠部を有することを特徴とする請求項１３に記載の光学素子付き光源ユニット。
  15. 　前記凹状の円筒面を有する光学素子と前記光源とは隣接しており、前記凹状の円筒面を有する光学素子の少なくとも一端は前記光源より突出していることを特徴とする請求項１３または１４に記載の光学素子付き光源ユニット。
  16. 　前記凹状の円筒面を有する光学素子と前記光源とは隣接しており、前記凹状の円筒面を有する光学素子の少なくとも一端は前記光源より突出していることを特徴とする請求項１２に記載の光学素子付き光源ユニット。
  17. 　前記凹状の円筒面を有する光学素子は前記ベースに固定されていることを特徴とする請求項１３乃至１５の何れか一項に記載の光学素子付き光源ユニット。
  18. 　前記凹状の円筒面を有する光学素子は前記光源に固定されていることを特徴とする請求項１３乃至１５の何れか一項に記載の光学素子付き光源ユニット。
  19. 　前記突起部と前記凹状の円筒面を有する光学素子とが一体的に前記ベースに接着固定されていることを特徴とする請求項１３乃至１５の何れか一項に記載の光学素子付き光源ユニット。
  20. 　前記凹状の円筒面を有する光学素子の固定はインクジェット法により接着剤を塗布することにより行なわれることを特徴とする請求項１２、１７、１８または１９の何れか一項に記載の光学素子付き光源ユニット。
  21. 　インクジェット法による接着剤の塗布は、前記接着剤をライン状に吐出することにより行うことを特徴とする請求項２０に記載の光学素子付き光源ユニット。
  22. 　請求項１２乃至２１の何れか１項に記載の光学素子付き光源ユニットを搭載したことを特徴とする光アシスト磁気ヘッド。
  23. 　磁気記録再生部を備える光アシスト磁気ヘッド用スライダと、
    　請求項７乃至１１の何れか一項に記載の光学素子の位置決め方法によって前記光アシスト磁気ヘッド用スライダのベースに位置決めされた凹状の円筒面を有する光学素子と、光源とを有することを特徴とする光アシスト磁気ヘッド。
  24. 　前記凹状の円筒面を有する光学素子と前記光源とは隣接しており、前記凹状の円筒面を有する光学素子の少なくとも一端は前記光源より突出していることを特徴とする請求項２３に記載の光アシスト磁気ヘッド。
  25. 　前記凹状の円筒面を有する光学素子が前記光アシスト磁気ヘッド用スライダのベースに固定されていることを特徴とする請求項２３または２４に記載の光アシスト磁気ヘッド。
  26. 　前記凹状の円筒面を有する光学素子が前記光源に固定されていることを特徴とする請求項２３または２４に記載の光アシスト磁気ヘッド。
  27. 　前記突起部と前記凹状の円筒面を有する光学素子とが一体的に光アシスト磁気ヘッド用スライダのベースに接着固定されていることを特徴とする請求項２３または２４に記載の光アシスト磁気ヘッド。
  28. 　前記凹状の円筒面を有する光学素子の固定はインクジェット法により接着剤を塗布することにより行なわれることを特徴とする請求項２３乃至２７の何れか一項に記載の光アシスト磁気ヘッド。
  29. 　インクジェット法による接着剤の塗布は、前記接着剤をライン状に吐出することにより行うことを特徴とする請求項２８に記載の光アシスト磁気ヘッド。
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