Beschreibung
Aktoreinheit, Verfahren zur Fertigung einer Aktoreinheit und Hülse zur Aufnahme eines Piezoaktors
Die Erfindung betrifft eine Aktoreinheit, ein Verfahren zur Fertigung einer Aktoreinheit sowie eine Hülse zur Aufnahme eines Piezoaktors. Piezoaktoren umfassen im Allgemeinen mehrere Schichten eines piezoelektrischen Materials. Piezoaktoren können zum Beispiel zum Betätigen eines Einspritzventils in einem Kraftfahrzeug eingesetzt werden. Eine Hülse ist zum Schutz eines
Piezoaktors vor Umwelteinflüssen von Bedeutung, wenn die Lebensdauer des Piezoaktors möglichst lang gehalten werden soll .
Piezoaktoren sind beispielsweise aus der DE 10 2004 031 404 AI und der DE 10 2006 025 177 AI bekannt.
Aufgabe der Erfindung ist es, eine Aktoreinheit sowie ein Verfahren zur Fertigung einer Aktoreinheit und eine Hülse anzugeben, wodurch die Zuverlässigkeit und die Lebensdauer eines Piezoaktors erhöht wird.
Es wird eine Aktoreinheit angegeben, die einen Piezoaktor umfasst. Der Piezoaktor weist eine erste Stirnfläche und eine zweite Stirnfläche auf. Die Aktoreinheit umfasst weiterhin eine Hülse zur Aufnahme des Piezoaktors. Die Hülse weist eine erste Stirnfläche und eine zweite Stirnfläche auf. Die
Aktoreinheit umfasst weiterhin eine den Piezoaktor umgebende Vergussmasse. Der Piezoaktor und die Vergussmasse sind in die
Hülse eingebracht. Die Vergussmasse reicht bis maximal an die erste Stirnfläche des Piezoaktors.
Die Hülse ist dazu ausgelegt den Piezoaktor vor Umwelteinflüssen, wie beispielsweise hohen Temperaturen die etwa im Motorraum eines Kraftfahrzeugs auftreten, zu schützen. Die Hülse erhöht somit die Lebensdauer des Piezoaktors. Die Hülse dient weiterhin der Formstabilisierung der Vergussmasse.
Die Vergussmasse umgibt den Piezoaktor. Vorzugsweise reicht die Vergussmasse genau bis zur ersten Stirnfläche des
Piezoaktors. Die erste Stirnfläche des Piezoaktors ist näher an der ersten Stirnfläche der Hülse angeordnet als die zweite Stirnfläche des Piezoaktors. In einer bevorzugten Ausfüh¬ rungsform schließt die Vergussmasse mit der ersten
Stirnfläche des Piezoaktors bündig ab. Ein Überstehen der Vergussmasse über die erste Stirnfläche des Piezoaktors, wodurch beispielsweise Anschlusselemente des Piezoaktors verschmutzt und somit eine externe Kontaktierung des
Piezoaktors erschwert werden könnte, wird vermieden.
In einer vorteilhaften Ausführung weisen die erste
Stirnfläche des Piezoaktors und die erste Stirnfläche der Hülse die gleiche axiale Position in Bezug auf die Hauptachse der Aktoreinheit aufweisen.
Vorteilhafterweise entspricht die Höhe bzw. Länge der Hülse in etwa der Höhe des Piezoaktors. Dadurch kann erreicht werden, dass die Vergussmasse mit der ersten Stirnfläche des Piezoaktors und gleichzeitig mit der ersten Stirnfläche der Hülse bündig abschließt. Dadurch wird die Stabilität und Lebensdauer der Aktoreinheit erhöht. Weiterhin kann eine automatische Fertigung der Aktoreinheit erleichtert werden,
da die Vergussmasse immer aui ein bestimmtes Niveau,
beispielsweise bis zu ersten Stirnfläche der Hülse und des Piezoaktors, aufgefüllt wird, Fertigungskosten können auf diese Weise reduziert werden.
In einer Aus führungs form der Aktoreinheit ist die Hülse einstückig ausgebildet.
Durch eine einstückige Hülse kann eine automatische
Herstellung der Aktoreinheit weiter erleichtert werden. Es kann ein Austreten der Vergussmasse an Verbindungsstellen verschiedener Hülsenteile vermieden werden. Somit kann eine einfach herstellbare und kostengünstige Aktoreinheit erzielt werden. Des Weiteren kann durch die einstückige Ausführung der Hülse ein Verkanten des Piezoaktors an Verbindungsstellen von mehreren Hülsenteilen beim Einbringen des Piezoaktors vermieden werden.
In einer Aus führungs form der Aktoreinheit weist die zweite Stirnfläche der Hülse einen Durchbruch auf. Die zweite
Stirnfläche des Piezoaktors ist in den Durchbruch eingeführt.
Vorzugsweise hat der Durchbruch die Form eines Vierkants. Der Durchbruch weist eine Abmessung auf, welche in etwa der
Abmessung der zweiten Stirnfläche des Piezoaktors entspricht. Vorzugsweise ist die Abmessung der zweiten Stirnfläche des Piezoaktors kleiner oder maximal gleich der Abmessung des Durchbruchs, so dass die zweite Stirnfläche des Piezoaktors leicht in den Durchbruch eingeführt werden kann.
In einer Aus führungs form der Aktoreinheit ist die zweite Stirnfläche des Piezoaktors derart in den Durchbruch
eingeführt, dass die zweite Stirnfläche des Piezoaktors aus der zweiten Stirnfläche der Hülse herausragt.
In einer Aus führungs form der Aktoreinheit weist die erste Stirnfläche der Hülse eine Öffnung auf. Die Öffnung ist zum Einbringen des Piezoaktors in die Hülse geeignet.
Vorzugsweise hat die Hülse die Form eines Zylinders. Die erste Stirnfläche der Hülse offen, so dass der Piezoaktor durch die Öffnung in die Hülse eingebracht werden kann. Die zweite Stirnfläche der Hülse bildet den Boden der Hülse, wobei der Boden den oben beschrieben Durchbruch zur Aufnahme der zweiten Stirnfläche des Piezoaktors aufweist.
In einer Aus führungs form der Aktoreinheit weist das Material der Hülse PBT auf.
Vorzugsweise enthält die Hülse ein Material umfassend ein thermoplatisches Polyester, beispielsweise Polybutylen- terephthalat (PBT) . Dieses Material weist hydrophobe
Eigenschaften auf. Gleichzeit verleiht dieses Material der Hülse eine zur Formstabilisierung der Vergussmasse
ausreichende mechanische Festigkeit bzw. Stabilität.
Weiterhin ist besagtes Material gegenüber Temperaturen beständig. Darüber hinaus hat PBT den Vorteil, dass das Material auf Grund seiner chemischen Stabilität nicht zum Piezoaktor absondert und diesen chemisch verunreinigt.
Vorzugsweise geht das Material der Hülse eine Verbindung mit der Vergussmasse ein, wodurch Hohlräume zwischen der
Vergussmasse und der Hülse weitgehend vermieden werden.
In einer Aus führungs form der Aktoreinheit umfasst der
Piezoaktor einen Stapel von piezokeramischen Schichten sowie
zwischen den piezokeramischen Schichten angeordneten
Elektrodenschichten umfasst. Die Elektrodenschichten sind gegenpolig kontaktiert. Beispielsweise weisen die piezokeramischen Schichten eine Blei-Zirkonat-Titanat (PZT) Keramik auf. Die Elektroden¬ schichten enthalten vorzugsweise eines der folgenden
Materialien: Silber, Palladium, Platin, Kupfer, Nickel. Beim Anlegen einer Spannung an die Elektrodenschichten tritt eine Verformung des piezokeramischen Materials auf. Diese
Verformung kann auch als piezoelektrischer Hub bezeichnet werden .
In einer Aus führungs form der Aktoreinheit weist der
Piezoaktor zwei Anschlusselemente auf. Die Anschlusselemente ragen aus der ersten Stirnfläche des Piezoaktors heraus.
Die Anschlusselemente dienen zur externen Kontaktierung der Aktoreinheit. Vorzugsweise ist an zwei Seitenflächen des Stapels je ein Anschlusselement angebracht. Die
Anschlusselemente können als Pins ausgeführt sein.
In einer Aus führungs form der Aktoreinheit ist der Teilbereich der Anschlusselemente, welcher aus der ersten Stirnfläche des Piezoaktors herausragt, frei von Vergussmasse.
Da die Vergussmasse bis maximal an die erste Stirnfläche des Piezoaktors reicht, können die aus der Seite der ersten
Stirnfläche des Piezoaktors herausragenden Anschusselemente frei von Vergussmasse gehalten werden. Aufwändiges Reinigen der Anschlusselemente wird somit überflüssig. Eine
automatische Fertigung der Aktoreinheit wird dadurch
begünstigt. Weiterhin kann die Lebensdauer der Aktoreinheit
somit erhöht werden, da die Anschlusselemente frei von
Verunreinigungen durch die Vergussmasse gehalten werden.
Weiterhin wird ein Verfahren zur Fertigung der oben
beschriebenen Aktoreinheit angegeben. Dabei wird in einem ersten Schritt der Piezoaktor in die Hülse eingebracht. In einem zweiten Schritt wird die Vergussmasse in die Hülse eingebracht. Die Vergussmasse dient zum Auffüllen eines Hohlraums zwischen der Innenseite der Hülse und dem
Piezoaktor. In einem dritten Schritt wird der Hohlraum mit der Vergussmasse befüllt. Der Hohlraum wird vorzugsweise derart befüllt, dass die Vergussmasse bis maximal an die erste Stirnfläche des Piezoaktors reicht.
Vorzugsweise schließt die Vergussmasse bündig mit der ersten Stirnfläche der Hülse und des Piezoaktors ab. Sobald die Vergussmasse bündig mit der ersten Stirnfläche der Hülse abschließt, wird das Befüllen gestoppt, so dass die
Vergussmasse das Niveau der ersten Stirnfläche des
Piezoaktors nicht überschreitet.
Die Vergussmasse kann beispielsweise von der Seite der ersten Stirnfläche der Hülse aus über die Öffnung in der ersten Stirnfläche in die Hülse eingebracht werden. In einer weiteren Aus führungs form kann die Vergussmasse von der Seite der zweiten Stirnfläche der Hülse aus eingebracht werden. Dafür kann die zweite Stirnfläche eine Öffnung,
beispielsweise eine Bohrung, aufweisen, über die ein
Befüllelement in die Hülse eingebracht werden kann.
Der Hohlraum wird vorzugsweise derart befüllt, dass
Turbulenzen in der Vergussmasse, die beispielsweise zu
Lufteinschlüssen in der Vergussmasse führen, vermieden
werden. Dies kann beispielsweise durch sehr langsames
Befüllen oder aber durch eine spezielle Führung des
Befüllelements erreicht werden. Beispielsweise kann das
Befüllelement beim Befüllen immer knapp über dem
Vergussmassenniveau gehalten werden.
In einer Aus führungs form weist das Verfahren weiterhin den Schritt des Anbringens eines Dichtelements an der zweiten Stirnfläche der Hülse vor dem Befüllen des Hohlraums auf. Das Dichtelement ist vorzugsweise lösbar an der zweiten Stirn¬ fläche der Hülse angebracht. Das Dichtelement dient zum
Abdichten der zweiten Stirnfläche der Hülse. Das Dichtelement ist derart an der zweiten Stirnfläche der Hülse angebracht, dass ein Austreten der Vergussmasse aus der Seite der zweiten Stirnfläche der Hülse beim Befüllen des Hohlraums verhindert wird .
Auf Grund von Fertigungstoleranzen kann es zu einem Spalt zwischen dem Durchbruch an der zweiten Stirnseite der Hülse und dem Piezoaktor kommen. Durch diesen Spalt kann Vergussmasse beim Vergießen der Aktoreinheit austreten. Das
Dichtelement dichtet die zweite Stirnfläche der Hülse gegen ein Austreten der Vergussmasse ab.
In einer Aus führungs form weist das Verfahren weiterhin den Schritt des Aushärtens der Vergussmasse auf. In einem letzten Schritt wird das Dichtelement von der zweiten Stirnfläche der Hülse nach dem Aushärtevorgang entfernt.
Nach dem Aushärten der Vergussmasse ist ein Austreten der Vergussmasse aus der Seite der zweiten Stirnfläche der Hülse nicht mehr möglich. Damit wird das Dichtelement an der zweiten Stirnfläche der Hülse überflüssig und kann entfernt
werden. Da das Dichtelement lösbar an der zweiten Stirnfläche der Hülse angebracht, zum Beispiel angepresst, ist kann dies in einem automatisierten Schritt ohne großen zusätzlichen Aufwand erfolgen.
Weiterhin wird eine Hülse zur Aufnahme eines Piezoaktors angegeben. Die Hülse ist einstückig ausgebildet.
Die Hülse kann beispielsweise spritzgegossen sein.
Die beschriebenen Gegenstände werden anhand der folgenden Ausführungsbeispiele und Figuren näher erläutert. Dabei zeigt :
Figur 1 eine schematische Darstellung eines Piezoaktors,
Figur 2 eine schematische Darstellung einer Aktoreinheit,
Figur 3 eine schematische Darstellung der Aktoreinheit aus
Figur 2 während des Vergießens,
Figur 4 eine schematische Darstellung der Aktoreinheit aus
Figur 2 während des Vergießens in einer weiteren Aus führungs form.
In den Ausführungsbeispielen und Figuren können gleiche oder gleich wirkende Bestandteile jeweils mit den gleichen
Bezugszeichen versehen sein. Die dargestellten Elemente und deren Größenverhältnisse untereinander sind grundsätzlich nicht als maßstabsgerecht anzusehen, vielmehr können einzelne Elemente, wie zum Beispiel Schichten, Bauteile, Bauelemente und Bereiche, zur besseren Darstellbarkeit bzw. zum besseren
Verständnis übertrieben dick oder groß dimensioniert
dargestellt sein.
Figur 1 zeigt einen vielschichtigen Piezoaktor 1. Der
Piezoaktor 1 weist einen Stapel 2 aus mehreren übereinander angeordneten piezoelektrischen Schichten 3 auf. Der
Piezoaktor 1 weist eine erste Stirnfläche 14' und eine zweite Stirnfläche 13' auf. Entlang der Stapelrichtung ist der Stapel 2 in einen aktiven Bereich 6 und zwei inaktive Bereiche 7 unterteilt. Die inaktiven Bereiche 7 grenzen in Stapelrichtung an den aktiven Bereich 6 an und bilden die Endstücke des Stapels 2. Der aktive Bereich 6 des Stapels 2 weist zwischen den piezoelek- trischen Schichten 3 angeordnete Elektrodenschichten 4 auf. Um die Elektrodenschichten 4 im aktiven Bereich 6 einfach kontaktieren zu können, ist der Piezoaktor 1 so ausgebildet, dass sich nur jeweils der gleichen elektrischen Polarität zugeordnete Elektrodenschichten 4 bis zu einem Randbereich des Piezoaktors 1 erstrecken. Die der anderen elektrischen
Polarität zugeordneten Elektrodenschichten 4 erstrecken sich an dieser Stelle nicht bis ganz zum Rand des Piezoaktors 1. Die Elektrodenschichten 4 sind demnach jeweils in Form von ineinander geschobenen Kämmen ausgebildet. Über Kontaktflä- chen in Form von Metallisierungen 5 an der Außenseite des
Stapels 2 kann an die Elektrodenschichten 4 eine elektrische Spannung angelegt werden. Beim Anlegen einer Spannung an die Elektrodenschichten 4 tritt eine Verformung des piezoelektrischen Materials im aktiven Bereich 6 auf.
Die Metallisierungen 5 sind jeweils mit einem als Draht oder Pin ausführten Anschlusselement 8 (siehe Figuren 2 bis 4)
verbunden, welches eine elektrische Kontaktierung des
Piezoaktors 1 nach außen ermöglicht.
Figur 2 zeigt eine schematische Darstellung einer
Aktoreinheit.
Die Aktoreinheit weist eine Hülse 9 auf. Die Hülse 9 ist zylinderförmig ausgebildet. Die Hülse 9 besteht beispiels¬ weise aus Polybutylenterephthalat (PBT) . Die Hülse 9 ist einstückig ausgeführt. Die Hülse 9 weist eine erste
Stirnfläche 14 und eine zweite Stirnfläche 13 auf. Der
Piezoaktor 1 aus Figur 1 ist in der Hülse 9 angeordnet. Der Piezoaktor 1 ist insbesondere derart in der Hülse 9
angeordnet, dass die erste Stirnfläche 14' des Piezoaktors 1 näher an der ersten Stirnfläche 14 der Hülse 9 angeordnet ist als die zweite Stirnfläche 13' des Piezoaktors 1.
Die erste Stirnfläche 14 der Hülse 9 weist eine Öffnung 18 auf. Die Öffnung 18 ist zur Aufnahme des Piezoaktors 1 in den Innenraum der Hülse 9 ausgelegt. Die Höhe bzw. Länge der Hülse 9 entspricht in etwa der Höhe des Piezoaktors 1. In diesem Ausführungsbeispiel schließt die erste Stirnfläche 14' des Piezoaktors 1 bündig mit der ersten Stirnfläche 14 der Hülse ab. Die erste Stirnfläche 14' des Piezoaktors 1 und die erste Stirnfläche 14 der Hülse weisen folglich die gleiche axiale Position in Bezug auf die Hauptachse 16 der Aktorein¬ heit oder der Hülse 9 auf, wobei sich die Hauptachse 16 zwischen der ersten Stirnfläche 14 und der zweiten
Stirnfläche 13 der Hülse 9 erstreckt. Die Anschlusselemente 8 des Piezoaktors 1 ragen aus der ersten Stirnfläche 14' des
Piezoaktors 1 und, folglich, auch aus der ersten Stirnfläche 14 der Hülse 9 heraus.
Die zweite Stirnfläche 13 der Hülse 9 bildet den Boden der Hülse 9. Die zweite Stirnfläche 13 weist einen Durchbruch 17 auf. Der Durchbruch ist ein Vierkantdurchbruch. Die
Hauptachse 16 verläuft durch die Öffnung 17. Die zweite
Stirnfläche 13' des Piezoaktors 1 ist in die Öffnung 17 eingeführt bzw. durch diese hindurchgeführt. Die zweite
Stirnfläche 13' des Piezoaktors 1 ragt aus der Öffnung 17 und somit über die zweite Stirnfläche 13 der Hülse 9 hinaus. Zwischen der Öffnung 17 und dem Piezoaktor 1 kann es auf Grund von Fertigungstoleranzen zu einer Lücke bzw. einem Spalt (nicht explizit dargestellt) kommen. Durch diese Lücke kann Vergussmaterial 1 beim Vergießen der Aktoreinheit austreten. Um ein Austreten der Vergussmasse 11 aus der
Öffnung 17 und, folglich, aus der Seite der zweiten
Stirnfläche 13 der Hülse 9 zu verhindern, ist ein
Dichtelement 10 an der zweiten Stirnfläche 13 der Hülse 9 angebracht. Das Dichtelement 10 verschließt die zweite
Stirnfläche 13 der Hülse 9.
Das Dichtelement 10 ist auf die Stirnfläche 13 der Hülse maschinell aufgepresst. Das Dichtelement 10 ist lösbar angebracht. Das Dichtelement 10 ist lediglich während des Vergießens der Aktoreinheit sowie während eines
anschließenden Aushärtevorgangs der Vergussmasse 11
angebracht, wie in Zusammenhang mit den Figuren 3 und 4 näher erläutert wird.
Das Dichtelement 10 ist eine Dichtscheibe. Das Dichtelement 10 ist verformbar. Das Dichtelement 10 besteht aus einem Schaumstoff. Beim Anbringen des Dichtelements 10 an die zweite Stirnfläche 13 der Hülse 9 passt sich das Dichtelement
10 an die aus der Seite der zweiten Stirnfläche 13 der Hülse 9 herausragende zweiten Stirnfläche 13' des Piezoaktors 1 an.
Die Vergussmasse 11 umhüllt den Piezoaktor 1. Die Verguss- masse 11 enthält ein Silikon-Elastomer. Neben Silikon- Elastomer kann die Vergussmasse 11 einen Quarzsand sowie haftvermittelnde Materialien aufweisen. Die Vergussmasse 11 steht mit der Außenseite des Piezoaktors 1 in Verbindung, d.h. sowohl mit Außenflächen der piezokeramischen Schichten 3 als auch mit den Außenflächen der Metallisierungen 5 sowie den Anschlusselementen 8. Nach außen wird die Vergussmasse 11 von der Hülse 9 begrenzt. In diesem Ausführungsbeispiel ist die Vergussmasse 11 auf Niveau aufgefüllt. Die Vergussmasse 1 schließt bündig mit der ersten Seitenfläche 14' des
Piezoaktors 1 und, folglich, mit der ersten Seitenfläche 14 der Hülse 9 ab . In einem weiteren Ausführungsbeispiel kann die Vergussmasse 11 auch bis knapp unterhalb der ersten
Stirnfläche 14' des Piezoaktors 1 reichen. In jedem Fall überschreitet die Vergussmasse 11 das Niveau der ersten
Stirnfläche 14' des Piezoaktors 1 nicht. Insbesondere ist der Bereich der Anschlusselemente 8, welcher aus der ersten
Stirnfläche 14' des Piezoaktors 1 herausragt, frei von
Vergussmasse 11. Aufwändige Reinigungsarbeiten der Anschluss¬ elemente 8 nach dem Vergießen der Aktoreinheit entfallen dadurch. Ein automatischer Herstellungsprozess der
Aktoreinheit wird somit erleichtert.
Die Figuren 3 und 4 zeigen die beschrieben Aktoreinheit aus während deren Fertigung, insbesondere während des Vergießens.
In einem ersten Fertigungsschritt der Aktoreinheit wird der Piezoaktor 1 über die Öffnung 18 in die Hülse 9 eingebracht, so dass die zweite Stirnfläche 13' des Piezoaktors 1 über den
Durchbruch 17 aus der zweiten Stirnfläche 13 der Hülse 9 hinausragt. Die erste Stirnfläche 14' des Piezoaktors 1 ist bündig mit der ersten Stirnfläche 14 der Hülse 9, wie in Zusammenhang mit Figur 2 beschrieben wurde.
In einem nächsten Schritt wird das oben beschriebene
Dichtelement 10 derart an der zweiten Stirnfläche 13 der Hülse 9 angebracht, dass die zweite Stirnfläche 13 gegen ein Austreten der Vergussmasse 11 beim Vergießen abgedichtet ist.
In einen weiteren Schritt wird die Vergussmasse 11 in die Hülse 9 eingebracht, um den Hohlraum zwischen der Innenseite der Hülse 9 und dem Piezoaktor 1 aufzufüllen. Das Einbringen der Vergussmasse 11 geschieht über ein Befüllelement 15. Das Befüllelement 15 ist eine Nadel.
In einem weiteren Schritt wird der Hohlraum mit der
Vergussmasse derart befüllt, dass die Vergussmasse bündig mit der ersten Stirnfläche 14 des Piezoaktors 14 abschließt. Das Befüllen kann dabei von der Seite der ersten Stirnfläche 14 der Hülse 9 erfolgen (siehe Figur 4) . Dabei wird das Befüll- element 15 von der Seite der ersten Stirnfläche 14 der Hülse 9 aus in den Hohlraum bis nahe an die zweite Stirnfläche 13 geführt. Beim Befüllen des Hohlraums wird das Befüllelement 15 in Richtung der ersten Stirnfläche 14 bewegt (nicht explizit dargestellt) , wobei das Befüllelement 15,
insbesondere eine Befüllöffnung des Befüllelements 15, immer knapp über dem Vergussmassenniveau gehalten wird, um ein gleichmäßiges Befüllen zu ermöglichen und Turbulenzen, die zu Lufteinschlüssen in der Vergussmasse 11 führen können, zu vermeiden .
Das Befüllen kann auch von der Seite der zweiten Stirnfläche 13 der Hülse 9 erfolgen (siehe Figur 3) . Dabei wird das Befüllelement 15 von der Seite der zweiten Stirnfläche 14 der Hülse 9 aus in den Hohlraum eingeführt. Für diese Art des Befüllens weist die Hülse 9, insbesondere die zweite
Stirnfläche 13 der Hülse 9, eine weitere Öffnung 19 (siehe Figur 2) auf, über die das Befüllelement 15 in den Hohlraum eingebracht wird. Die Öffnung 19 ist bezüglich der Hauptachse 16 radial zum Durchbruch 17 versetzt. Beim Einbringen des Befüllelements 15 in den Hohlraum über die Öffnung 19, wird das Dichtelement 10 durch das Befüllelement 15 durchstochen. Da das Dichtelement 10 aus einem flexiblen Material,
beispielsweise Schaumstoff, besteht, verschließt sich die Durchstechöffnung wieder automatisch, wodurch es zu keinem Austreten der Vergussmasse 11 durch die Durchstechöffnung kommt .
Nach dem Befüllen des Hohlraums wird das Befüllelement 15 entfernt. In einem nächsten Schritt wird die Vergussmasse 11 ausgehärtet. Nach dem Aushärten der Vergussmasse 11 wird das Dichtelement 10 von der zweiten Stirnfläche 13 der Hülse 9 entfernt .
Bezugs zeichenliste
1 Piezoaktor
2 Stapel
3 Piezoelektrische Schicht
4 Elektrodenschicht
5 Metallisierung
6 Aktiver Bereich
7 Inaktiver Bereich
8 Anschlusselement
9 Hülse
10 Dichtelement
11 Vergussmasse
13 Stirnfläche
14 Stirnfläche
13' Stirnfläche
14' Stirnfläche
15 Befüllelement
16 Hauptachse
17 Durchbruch
18 Öffnung
19 Öffnung