WO2012055542A3 - Vorrichtung und verfahren zum überwachen der reinigung - Google Patents

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Abstract

Vorrichtung, umfassend mindestens einen Prozessbehälter (4) und/oder mindestens eine Prozessleitung, eine Reinigungseinrichtung (20) über die der Prozessbehälter (4) und/oder die Prozessleitung mittels Einbringen einer Reinigungsmittellösung gereinigt werden kann, eine Messeinrichtung (14) zur Bestimmung einer ersten physikalischen Stoffgröße der Reinigungsmittellösung, eine Messeinrichtung (16) zur Bestimmung einer zweiten physikalischen Stoffgröße der Reinigungsmittellösung, eine Messeinrichtung (15) zur Bestimmung der Temperatur der Reinigungsmittellösung, eine Auswerteeinheit (18), die die Reinigungsmittelkonzentration in der Reinigungsmittellösung über die erste und zweite physikalische Stoffgroße, sowie über die Temperatur der Reinigungsmittellösung bestimmt, sowie das Fortführen oder Beenden der Reinigung und/oder das Aufkonzentrieren und/oder das Austauschen des Reinigungsmittels in Abhängigkeit von der ermittelten Reinigungsmittelkonzentration bestimmt.
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