WO2012019598A1 - Lichtintegrator für rechteckige strahlquerschnitte unterschiedlicher abmessungen - Google Patents

Lichtintegrator für rechteckige strahlquerschnitte unterschiedlicher abmessungen Download PDF

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Joerg-Peter Schmidt
Jan Werschnik
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Jenoptik Optical Systems Gmbh
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    • H01L21/0274—Photolithographic processes

Definitions

  • the invention relates to a light integrator, which is designed as a hollow integrator and has a rectangular light exit surface.
  • a hollow integrator is generically known from the description of the state of the art of US 2005/02] 3333 AI.
  • Light integrators find everywhere where a particularly uniform lighting is desired. This can z. In lithography, wafer inspection or laser material processing.
  • An example of devices in which light integrators are used are projectors, in particular beamer.
  • Rod or fiber integrators are used primarily for circular beam cross sections and have in comparison to the hollow integrators the disadvantage of higher light losses due to a not completely avoidable absorption by the radiation transmitting material.
  • Hollow integrators are mainly for square beam cross sections, z. B.
  • hollow integrators are basically composed of at least two components.
  • Light entry surface of the light integrator introduced light beam with an arbitrary energy distribution over the beam cross section, z. B. a Gaussian energy distribution, homogenized by multiple reflections within the light integrator.
  • the light beam leaves the light integrator via a light exit surface with a specific cross-sectional geometry, such as circular or rectangular, with an at least approximately homogeneous energy distribution over the radiation cross section, a so-called top-head distribution.
  • the aperture of the introduced light beam is equal to the aperture of the exiting light beam.
  • AI is based on a prior art, which is formed by a light integrator, which consists of four flat
  • Glass plates which together enclose a cuboid cavity.
  • the glass plates each have a mirrored inside, an outside, two long sides and two end faces.
  • the glass plates are arranged to each other so that the opposite glass plates form an inner or an outer pair of glass plates.
  • the longitudinal sides of the inner pair of glass plates lie against the inner sides of the outer pair of glass plates so that the longitudinal sides of the inner pair of glass plates protrude beyond the longitudinal sides of the outer pair of glass plates.
  • the glass plates In order to form a hollow body having a rectangular cross section deviating from a square cross section, the glass plates have a different width in pairs.
  • connection of the glass plates with each other is made via adhesive strips, which are introduced into the notches formed by the successive longitudinal sides.
  • US 2005/0213333 AI formed the glass plates as mutually paired components, by forming in the longitudinal sides of the glass plates mutually corresponding recesses and projections over which the glass plates in addition to
  • Such a hollow integrator certainly has a higher stability, however, its production is already more complicated because only instead of only the same glass plates geometrically different glass plates are required.
  • Cross section are, for the production disadvantageous, composed of different glass plates. They are also designed with the dimensioning of the glass plates for only a specific cross-sectional size of the light exit surface.
  • the invention is based on the object, a stable, easy to produce
  • Hollow integrator to create a rectangular beam cross-section which can be designed for different cross-sectional sizes.
  • Fig. Lb a light integrator in a first assembly stage
  • Fig. Lc a fully assembled light integrator
  • Fig. 2a - 2c a light integrator with different cavity widths y
  • An inventive light integrator shown in Figs. La to lc consists of four equal, cuboid glass plates 1. They each have an inner side 2 and an outer side 3, with a length 1 and a width b, and a first and a second longitudinal side 4.1, 4.2 and two end faces 5 with a height h.
  • the inner sides 2 are subdivided into a respective mirrored, optically effective surface 2.1, and an adhesive surface 2.2, which encloses a longitudinally extending groove 7, which adjoins the optically effective surface 2.1.
  • the glass plates 1 must be tested after production in a 100-control
  • Glass plates 1 that do not meet the quality criteria can be sorted out at a reasonable cost. By the glass plates 1 are executed as equal parts, a maximum number of pieces can be produced in the same manufacturing process and with the same tools.
  • the glass plates 1 are arranged to each other so that they enclose an extending over the length 1, cuboid open cavity 6, which is bounded by the optically effective surfaces 2.1 of the insides 2.
  • the inside 2 with its adhesive surface 2.2 is in each case a glass plate 1 indirectly via adhesive 9 on the first longitudinal side 4.1 of another glass plate 1 at.
  • the cavity 6 has a predetermined by the dimensioning of the glass plates 1 cavity height x and a determinable during assembly cavity width y.
  • two glass plates 1, forming an assembly are positioned and glued to one another in a first assembly step and, in a second assembly step, the two identical assemblies are positioned relative to one another. tioned and glued together.
  • two glass plates 1, forming an assembly are glued together so that the outside 3 of a glass plate 1 lies with the second longitudinal side 4.2 of another glass plate 1 in a plane.
  • the cavity width y is dependent on the direction and how far the two modules are mutually offset from each other, see, for. B. Fig. Lc.
  • the cavity width y is equal to the cavity height x, as shown in Fig. 2a.
  • the cavity width y can be reduced, see Fig. 2b, or increased, see Fig. 2c.
  • a maximum cavity width y is due to the position of the grooves 7, which to the
  • optically effective surfaces 2.1 adjoin, depending.
  • different cross-sectional sizes can be realized with the same glass plates 1 via the variation of the cavity width y.
  • the grooves 7 serve as an adhesive trap for adhesive 9, which is applied to the adhesive surfaces 2.2.
  • Glass plates 1 is pressed into the grooves 7, it is reliably prevented that the adhesive 9 reaches the optically active surfaces 2.1.
  • the coated adhesive 9 adhesive surfaces 2.2 a glass plate 1 each rest on the first longitudinal side 4.1 of another glass plate 1, the glass plates 1 are interconnected with each other via four forming adhesive strips cohesively.
  • the adhesive strips are not exposed on the outer surfaces, but encapsulated between the glass plates 1.
  • This has the advantage that the adhesive 9 is completely enclosed by a same medium, here glass, and is hardly exposed to temperature influences.
  • this has the advantage that the adhesive 9 is not exposed to direct irradiation, which can lead to embrittlement of the adhesive 9.
  • An inventive light integrator is therefore particularly advantageous for applications in the UV range.
  • the height h of the glass plates 1 are advantageously greater than half the width b and smaller than the width b.
  • the glass plates 1 each have one
  • Phase 8 which extends over the entire length 1 of the glass plates 1, in each case over the edges formed by the outer side 3 and the second longitudinal side 4.2.

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Abstract

Lichtintegrator bestehend aus vier gleichen, quaderförmigen, miteinander verklebten Glasplatten (1), die gemeinsam einen quaderförmigen offenen Hohlraum (6) umschließen, wobei die den Hohlraum begrenzenden Innenseiten (2) unterteilt sind in jeweils eine verspiegelte, optisch wirksame Fläche (2.1) und eine Klebefläche (2.2), die eine in Längsrichtung verlaufende, als Klebstofffalle wirkende Nut (7) einschließt, die an die optisch wirksame Fläche (2.1) angrenzt und die Klebefläche (2.2) jeweils einer Glasplatte (1) mittelbar über Klebstoff (9) an der ersten Längsseite (4.1) einer anderen Glasplatte (1) anliegt.

Description

Beschreibung
Lichtintegrator für rechteckige Strahlquerschnitte unterschiedlicher Abmessungen
[0001] Die Erfindung betrifft einen Lichtintegrator, der als Hohlintegrator ausgeführt ist und eine rechteckige Lichtaustrittsfläche aufweist. Ein solcher Hohlintegrator ist gattungsgemäß aus der Beschreibung des Standes der Technik der US 2005/02] 3333 AI bekannt.
[0002] Lichtintegratoren finden überall dort Anwendung, wo eine besonders gleichmäßige Beleuchtung erwünscht ist. Das kann z. B. in der Lithographie, bei der Wafer-In- spektion oder der Lasermaterialbearbeitung der Fall sein. Ein Beispiel für Geräte, in denen Lichtintegratoren eingesetzt werden, sind Projektoren, insbesondere Beamer.
[0003] Grundsätzlich kann man Lichtintegratoren in solche unterscheiden, die das Licht innerhalb eines stabförmigen massiven Körpers leiten, der entweder von einem höher brechenden Material ummantelt oder mit einer Spiegel Schicht versehen ist (Stab- oder Faserintegratoren), und solche, die durch einen rohrförmigen, in der Regel innen verspiegelten Hohlkörper gebildet werden (Hohlintegratoren).
[0004] Stab- oder Faserintegratoren werden vornehmlich für kreisförmige Strahlquerschnitte eingesetzt und haben im Vergleich zu den Hohlintegratoren den Nachteil höherer Lichtverluste aufgrund einer nicht vollständig zu vermeidenden Absorption durch das die Strahlung weiterleitende Material.
[0005] Hohlintegratoren werden vornehmlich für eckige Strahlquerschnitte, z. B.
rechteckige Querschnitte, eingesetzt und haben im Vergleich zu den Stab- oder Faserintegratoren den Nachteil, dass sie sich nicht aus einem Stück herstellen lassen. Selbst wenn man einen hierfür erforderlichen Hohlkörper monolithisch herstellt, könnte auf die Innenfläche keine ausreichend gleichmäßige Innenverspiegelung aufgebracht werden, weshalb Hohlintegratoren grundsätzlich aus wenigstens zwei Bauteilen zusammengesetzt werden.
[0006] Bei beiden genannten Arten von Lichtintegratoren wird die Strahlung eines in eine
Lichteintrittsfläche des Lichtintegrators eingeleiteten Lichtbündels mit einer beliebigen Energieverteilung über den Strahlquerschnitt, z. B. einer gaußförmigen Energieverteilung, durch mehrfache Reflexionen innerhalb des Lichtintegrators homogenisiert. Das Lichtbündel verlässt den Lichtintegrator über eine Lichtaustrittsfläche mit einer bestimmten Querschnittsgeometrie, wie kreisförmig oder rechteckig, mit einer wenigstens annähernd homogenen Energieverteilung über den Strahlungsquerschnitt, einer sogenannten Top-Head- Verteilung. Die Apertur des eingeleiteten Lichtbündels ist gleich der Apertur des austretenden Lichtbündels. [0007] In der US 2005/0213333 AI geht man von einem Stand der Technik aus, der durch einen Lichtintegrator gebildet wird, der aus vier zusammengesetzten flachen
Glasplatten besteht, die gemeinsam einen quaderförmigen Hohlraum umschließen. Die Glasplatten weisen jeweils eine verspiegelte Innenseite, eine Außenseite, zwei Längsseiten und zwei Stirnseiten auf. Die Glasplatten sind so zueinander angeordnet, dass die sich gegenüber liegenden Glasplatten ein inneres bzw. ein äußeres Glasplattenpaar bilden. Dabei liegen die Längsseiten des inneren Glasplattenpaares an den Innenseiten des äußeren Glasplattenpaares so an, dass die Längsseiten des inneren Glasplattenpaares über die Längsseiten des äußeren Glasplattenpaares hinausragen. Um einen Hohlkörper mit einem von einem quadratischen Querschnitt abweichenden rechteckigen Querschnitt zu bilden, weisen die Glasplatten paarweise eine unterschiedliche Breite auf.
[0008] Die Verbindung der Glasplatten untereinander ist über Klebstoffstreifen hergestellt, die in den von den aufeinander stehenden Längsseiten gebildeten Kerben eingebracht sind.
[0009] Der Anmelder der US 2005/0213333 AI ist der Auffassung, dass ein solcher Lichtintegrator, bedingt durch die Ausführung und Anordnung der Glasplatten zueinander und deren ausschließlichen stoffschlüssigen Verbindung, nachteilig ist. Ein solcher Lichtintegrator könne keine Kräfte aufnehmen und wäre leicht deformierbar.
[0010] Um diese Nachteile zu beheben, sind gemäß dem Gegenstand der
US 2005/0213333 AI die Glasplatten als zueinander gepaarte Bauteile ausgebildet, indem in den Längsseiten der Glasplatten zueinander korrespondierende Aussparungen und Vorsprünge ausgebildet sind, über welche die Glasplatten zusätzlich zum
Stoffschluss mittels der Klebestreifen durch Formschluss miteinander verbunden sind.
[0011] Ein derartiger Hohlintegrator weist sicher eine höhere Stabilität auf, jedoch ist seine Herstellung schon allein deshalb aufwändiger, da anstelle von nur gleichen Glasplatten geometrisch verschiedene Glasplatten erforderlich sind.
[0012] Beide aus dem Stand der Technik bekannten Hohlintegratoren mit rechteckigem
Querschnitt sind, für deren Herstellung nachteilig, aus verschiedenen Glasplatten zusammengesetzt. Sie sind darüber hinaus mit der Dimensionierung der Glasplatten für nur eine konkrete Querschnittsgröße der Lichtaustrittsfläche ausgelegt.
[0013] Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen stabilen, einfach herstellbaren
Hohl integrator zur Formung eines rechteckigen Strahlquerschnitts zu schaffen, der für verschiedene Querschnittsgrößen ausgelegt werden kann.
[0014] Diese Aufgabe wird für einen Lichtintegrator gemäß Anspruch 1 gelöst.
[0015] Vorteilhafte Ausführungen sind in den Unteransprüchen offenbart.
[0016] Die Erfindung soll nachfolgend mittels einer Zeichnung anhand eines Ausführungsbeispiels näher erläutert werden. Hierzu zeigt: [0017] Fig. la einen Lichtintegrator in Explosionsdarstellung
Fig. lb einen Lichtintegrator in einem ersten Montagestadium
Fig. lc einen fertig montierten Lichtintegrator
Fig. 2a - 2c einen Lichtintegrator mit verschiedenen Hohlraumbreiten y
[0018] Ein in den Fig. la bis lc dargestellter erfindungsgemäßer Lichtintegrator besteht aus vier gleichen, quaderförmigen Glasplatten 1. Sie weisen jeweils eine Innenseite 2 und eine Außenseite 3, mit einer Länge 1 und einer Breite b, sowie eine erste und eine zweite Längsseite 4.1 , 4.2 und zwei Stirnseiten 5 mit einer Höhe h auf. Die Innenseiten 2 sind unterteilt in jeweils eine verspiegelte, optisch wirksame Fläche 2.1, und eine Klebefläche 2.2, die eine in Längsrichtung verlaufende Nut 7 einschließt, die an die optisch wirksame Fläche 2.1 angrenzt.
[0019] Indem alle Glasplatten 1 als sogenannte Gleichteile mit einer einfachen geometrischen Form hergestellt werden, können der Fertigungsaufwand und damit die Fertigungskosten gering gehalten werden.
[0020] Für die Qualität der Strahlhomogenisierung und der Formung eines exakt
rechteckigen Strahlquerschnittes eines durch den Lichtintegrator geführten
Lichtbündels ist die Qualität der optisch wirksamen Fläche 2.1 und die Rechtwinkligkeit zwischen den Innenseiten 2 und den ersten Längsseiten 4.1 von entscheidender Bedeutung.
[0021] Die Glasplatten 1 müssen nach der Fertigung in einer 100 -Kontrolle geprüft
werden. Aufgrund der hohen Qualitätskriterien (z. B. keine Aussprünge an den Innenseiten 2, eingehaltene Winkeltoleranzen jeweils zwischen der ersten Längsseite 4.1 und der Innenseite 2, sowie eine vollständige und homogene Verspiegelung der optisch wirksamen Fläche 2.1 ) müssen große Stückzahlen hergestellt werden, damit
Glasplatten 1, die nicht die Qualitätskriterien erfüllen, unter einem vertretbaren Kostenrahmen aussortiert werden können. Indem die Glasplatten 1 als Gleichteile ausgeführt sind, kann eine maximale Stückzahl im gleichen Herstellungsprozess und mit gleichen Werkzeugen hergestellt werden.
[0022] Die Glasplatten 1 sind so zueinander angeordnet, dass sie einen sich über die Länge 1 erstreckenden, quaderförmigen offenen Hohlraum 6 umschließen, der von den optisch wirksamen Flächen 2.1 der Innenseiten 2 begrenzt wird. Dabei liegt die Innenseite 2 mit ihrer Klebefläche 2.2 jeweils einer Glasplatte 1 mittelbar über Klebstoff 9 an der ersten Längsseite 4.1 einer anderen Glasplatte 1 an. Der Hohlraum 6 weist eine durch die Dimensionierung der Glasplatten 1 vorgegebene Hohlraumhöhe x und eine bei der Montage bestimmbare Hohlraumbreite y auf.
[0023] Zur Montage des Lichtintegrators werden in einem ersten Montageschritt jeweils zwei Glasplatten 1, eine Baugruppe bildend, zueinander positioniert und verklebt und in einem zweiten Montageschritt die beiden gleichen Baugruppen zueinander posi- tioniert und miteinander verklebt.
[0024] Gemäß Fig. lb werden jeweils zwei Glasplatten 1, eine Baugruppe bildend, so miteinander verklebt, dass die Außenseite 3 einer Glasplatte 1 mit der zweiten Längsseite 4.2 einer anderen Glasplatte 1 in einer Ebene liegt.
[0025] Für den zu bildenden Hohlraum 6 des Lichtintegrators ergibt sich damit eine Hohlraumhöhe x gleich der Breite b abzüglich der Höhe h.
[0026] Die Hohlraumbreite y ist davon abhängig, in welcher Richtung und wie weit die beiden Baugruppen zueinander versetzt miteinander verbunden werden, siehe z. B. Fig. lc.
[0027] Ist der Versatz gleich Null, dann ist die Hohlraumbreite y gleich der Hohlraumhöhe x, wie in Fig. 2a gezeigt. Durch einen Versatz der Baugruppen zueinander kann die Hohlraumbreite y verringert, siehe Fig. 2b, oder vergrößert werden, siehe Fig. 2c.
[0028] Eine maximale Hohlraumbreite y ist durch die Lage der Nuten 7, welche an die
optisch wirksamen Flächen 2.1 angrenzen, abhängig. Somit können verschiedene Querschnittsgrößen mit gleichen Glasplatten 1 über die Variation der Hohlraumbreite y realisiert werden.
[0029] Die Nuten 7 dienen als Klebstofffalle für Klebstoff 9, der auf die Klebeflächen 2.2 aufgetragen ist. Indem überschüssiger Klebstoff 9 beim Zusammenfügen der
Glasplatten 1 in die Nuten 7 gedrückt wird, wird sicher verhindert, dass der Klebstoff 9 auf die optisch wirksamen Flächen 2.1 gelangt. Indem die mit Klebstoff 9 beschichteten Klebeflächen 2.2 einer Glasplatte 1 jeweils an der ersten Längsseite 4.1 einer anderen Glasplatte 1 anliegen, sind die Glasplatten 1 untereinander über vier sich ausbildende Klebestreifen stoffschlüssig miteinander verbunden.
[0030] Gegenüber den aus dem Stand der Technik bekannten Lichtintegratoren sind die Klebstoffstreifen nicht freiliegend an den Außenflächen ausgebildet, sondern zwischen den Glasplatten 1 verkapselt. Dies hat den Vorteil, dass der Klebstoff 9 vollständig von einem gleichen Medium, hier Glas, umschlossen wird und kaum Temperatureinflüssen ausgesetzt ist. Darüber hinaus hat dies den Vorteil, dass der Klebstoff 9 keiner direkten Bestrahlung ausgesetzt ist, was zur Versprödung des Klebstoffes 9 führen kann. Ein erfindungsgemäßer Lichtintegrator ist daher besonders vorteilhaft für Anwendungen im UV-Bereich geeignet.
[0031] Um eine hohe Stabilität des Lichtintegrators zu erlangen, sind vorteilhaft die Höhe h der Glasplatten 1 größer als die Hälfte der Breite b und kleiner der Breite b.
[0032] Vorteilhaft, insbesondere für die Montage, weisen die Glasplatten 1 jeweils eine
Phase 8 auf, die sich über die gesamte Länge 1 der Glasplatten 1, jeweils über die von der Außenseite 3 und der zweiten Längsseite 4.2 gebildeten Kanten erstreckt.
[0033] Zum einen ermöglicht die Phase 8 an den Glasplatten 1 bei der Montage eine
einfache Unterscheidung jeweils der ersten Längsseite 4.1 von der zweiten Längsseite 4.2, um sicher jeweils die erste Längsseite 4.1 zu verkleben.
[0034] Zum anderen wird damit, wie bei Optikbauteilen üblich, eine funktionell nicht notwendige scharfe Kante beseitigt.
[0035] Aufstellung der verwendeten Bezugszeichen
[0036] 1 Glasplatte
2 Innenseite
2.1 optisch wirksame Fläche
2.2 Klebefläche
3 Außenseite
4.1 erste Längsseite
4.2 zweite Längsseite
5 Stirnseite
6 Hohlraum
7 Nut
8 Phase
9 Klebstoff
[0037] 1 Länge der Glasplatte
b Breite der Glasplatte
h Höhe der Glasplatte
x Hohlraumhöhe
y Hohlraumbreite

Claims

Ansprüche
[ AnspruchOOOl] Lichtintegrator bestehend aus vier quaderförmigen Glasplatten (1) mit einer Innenseite (2) und einer Außenseite (3) mit einer Länge (1) sowie einer ersten und einer zweiten Längsseite (4.1 , 4.2) und zwei
Stirnseiten (5) mit einer Höhe (h), die so zueinander angeordnet sind, dass sie einen sich über die Länge (1) erstreckenden, quaderförmigen offenen Hohlraum (6) umschließen, wobei die Glasplatten (1) miteinander verklebt sind, dadurch gekennzeichnet, dass die Glasplatten (1) eine gleiche Breite (b) aufweisen,
dass die Innenseiten (2) unterteilt sind in jeweils eine verspiegelte, optisch wirksame Fläche (2.1) und eine Klebefläche (2.2), die eine in Längsrichtung verlaufende, als Klebstofffalle wirkende Nut (7) einschließt, die an die optisch wirksame Fläche (2.1) angrenzt, und dass die Innenseite (2) mit ihrer Klebefläche (2.2), jeweils einer Glasplatte (1), mittelbar über Klebstoff (9) an der ersten Längsseite (4.1) einer anderen Glasplatte (1) anliegt.
[ Anspruch0002] Lichtintegrator nach Ansprach 1 , dadurch gekennzeichnet,
dass der Hohlraum (6) eine durch die Dimensionierung der Glasplatten (1) vorgegebene Hohlraumhöhe (x) und eine bei der Montage bestimmbare Hohlraumbreite (y) aufweist.
Anspruch0003] Lichtintegrator nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,
dass jeweils zwei Glasplatten (1), eine Baugruppe bildend, so miteinander verklebt sind, dass die Außenseite (3) einer Glasplatte (1) mit der zweiten Längsseite (4.2) einer anderen Glasplatte (1) in einer Ebene liegt.
[ Anspruch0004] Lichtintegrator nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet,
dass die Höhe (h) der Glasplatten (1) größer als die Hälfte der Breite
(b) und kleiner der Breite (b) ist.
Anspruch0005] Lichtintegrator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
dass die Glasplatten (1) jeweils eine Phase (8) aufweisen, die sich über die gesamte Länge (1) der Glasplatten (1), jeweils über die von der Außenseite (3) und der zweiten Längsseite (4.2) gebildeten Kanten erstreckt.
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KR1020127033524A KR20130138654A (ko) 2010-07-01 2011-05-24 상이한 치수의 직사각형 빔 횡단면을 위한 광 집속기
CN2011800324664A CN103026285A (zh) 2010-07-01 2011-05-24 不同尺寸的长方形光束横截面用的光积累器
US13/806,271 US20130094221A1 (en) 2010-07-01 2011-05-24 Light Integrator for Rectangular Beam Cross Sections of Different Dimensions

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013222726A (ja) * 2012-04-12 2013-10-28 Sharp Corp 発光素子モジュールおよびその製造方法、ならびに発光装置
JP2014168022A (ja) * 2013-02-28 2014-09-11 Canon Inc 照明光学系、露光装置、デバイスの製造方法及び光学素子

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102014219112A1 (de) 2014-09-23 2016-03-24 Carl Zeiss Smt Gmbh Beleuchtungsoptik für die Projektionslithographie sowie Hohlwellenleiter-Komponente hierfür
DE102017121210A1 (de) 2017-09-13 2019-03-14 Gom Gmbh Vorrichtung für die flächenhafte optische 3D-Messtechnik
DE102020133528B3 (de) 2020-07-14 2022-01-13 Jenoptik Optical Systems Gmbh Verfahren zur Herstellung einer optischen Komponente mit innerer, beschichteter Struktur und danach hergestellte optische Komponente

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20020110327A1 (en) * 2001-01-24 2002-08-15 Dietrich Schmidt Light mixing rod comprising an inlet area and an outlet area and use of such a light mixing rod in an optical device comprising a surface to be illuminated
US20050213333A1 (en) 2004-03-29 2005-09-29 Coretronic Corporation Combination structure for hollow integration rod
US20080118215A1 (en) * 2006-11-17 2008-05-22 Delta Electronics, Inc. Light tunnel structure and manufacturing method thereof
US7386215B1 (en) * 2006-12-28 2008-06-10 Prodisc Technology Inc. Projection system and light tunnel thereof

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3536558A (en) * 1966-12-27 1970-10-27 Morton S Lipkins Fabrication of optical tunnels
US5072532A (en) * 1988-11-03 1991-12-17 Kelly Julia F Decorative picture frame
US5224200A (en) * 1991-11-27 1993-06-29 The United States Of America As Represented By The Department Of Energy Coherence delay augmented laser beam homogenizer
CN1806472A (zh) * 2003-06-16 2006-07-19 皇家飞利浦电子股份有限公司 投影系统
DE10336694A1 (de) * 2003-08-09 2005-03-03 Carl Zeiss Jena Gmbh Lichtmischstab
US7164140B2 (en) * 2004-03-31 2007-01-16 Fuji Photo Film Co., Ltd. Stimulable phosphor panel and method of producing stimulable phosphor panel
US7433568B2 (en) * 2005-03-31 2008-10-07 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Optical element and light irradiation apparatus

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20020110327A1 (en) * 2001-01-24 2002-08-15 Dietrich Schmidt Light mixing rod comprising an inlet area and an outlet area and use of such a light mixing rod in an optical device comprising a surface to be illuminated
US20050213333A1 (en) 2004-03-29 2005-09-29 Coretronic Corporation Combination structure for hollow integration rod
US20080118215A1 (en) * 2006-11-17 2008-05-22 Delta Electronics, Inc. Light tunnel structure and manufacturing method thereof
US7386215B1 (en) * 2006-12-28 2008-06-10 Prodisc Technology Inc. Projection system and light tunnel thereof

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013222726A (ja) * 2012-04-12 2013-10-28 Sharp Corp 発光素子モジュールおよびその製造方法、ならびに発光装置
JP2014168022A (ja) * 2013-02-28 2014-09-11 Canon Inc 照明光学系、露光装置、デバイスの製造方法及び光学素子

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