WO2009003618A1

WO2009003618A1 - Vorrichtung zur formung von laserstrahlung

Info

Publication number: WO2009003618A1
Application number: PCT/EP2008/005122
Authority: WO
Inventors: Björn LANGER; Andre Timmermann
Original assignee: Limo Patentverwaltung Gmbh & Co. Kg
Priority date: 2007-07-03
Filing date: 2008-06-25
Publication date: 2009-01-08
Also published as: US20100165487A1; US8422148B2; EP2165235A1

Abstract

Vorrichtung zur Formung von Laserstrahlung (4, 16), insbesondere für von einem Laserdiodenbarren (9) ausgehende Laserstrahlung (4, 16), umfassend mindestens ein Substrat (1, 13, 14, 15) mit einer Mehrzahl von refraktiven Grenzflächen (2, 3, 17, 18, 19, 20, 21, 22), durch die die zu formende Laserstrahlung (4, 16) derart hindurch treten kann, dass mindestens zwei vor dem Hindurchtritt durch die refraktiven Grenzflächen (2, 3, 17, 18, 19, 20, 21, 22) in einer ersten Richtung (X) nebeneinander angeordnete Teilstrahlen (4a, 4b; 16a, 16b) der Laserstrahlung (4, 16) nach dem Hindurchtritt durch die refraktiven Grenzflächen (2, 3, 17, 18, 19, 20, 21, 22) in einer zweiten, zu der ersten Richtung (X) senkrechten Richtung (Y) nebeneinander angeordnet sind, wobei die refraktiven Grenzflächen (2, 3, 17, 18, 19, 20, 21, 22) an einem Substrat (1) oder an miteinander verbundenen Substraten (13, 14, 15) ausgebildet sind.

Description

"Vorrichtung zur Formung von Laserstrahlung"

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Formung von Laserstrahlung, insbesondere für von einem Laserdiodenbarren ausgehende Laserstrahlung, umfassend mindestens ein Substrat mit einer Mehrzahl von refraktiven Grenzflächen, durch die die zu formende Laserstrahlung derart hindurch treten kann, dass mindestens zwei vor dem Hindurchtritt durch die refraktiven Grenzflächen in einer ersten Richtung nebeneinander angeordnete Teilstrahlen der Laserstrahlung nach dem Hindurchtritt durch die refraktiven Grenzflächen in einer zweiten, zu der ersten Richtung senkrechten Richtung nebeneinander angeordnet sind.

Definitionen: In Ausbreitungsrichtung des zu beeinflussenden Lichts meint die mittlere Ausbreitungsrichtung des Lichts, insbesondere wenn dieses keine ebene Welle ist oder zumindest teilweise divergent ist. Mit Lichtstrahl, Teilstrahl oder Strahl ist, wenn nicht ausdrücklich anderes angegeben ist, kein idealisierter Strahl der geometrischen Optik gemeint, sondern ein realer Lichtstrahl, wie beispielsweise ein Laserstrahl mit einem Gauß-Profil, der keinen infinitesimal kleinen, sondern einen ausgedehnten Strahlquerschnitt aufweist.

Eine bevorzugte Anwendung der vorliegenden Erfindung ist die

Formung der Laserstrahlung von Hochleistungslaserdioden, die als so genannte Laserdiodenbarren gefertigt sind. Bei diesen werden je nach Leistung verschieden viele Einzel-Emitter nebeneinander auf einer Wärmesenke montiert. Die Anzahl dieser Einzel-Emitter hat direkten Einfluss auf die Strahlqualität der gesamten Laserdiode: Je mehr

Einzel-Emitter, desto breiter der gesamte Strahl, desto schlechter die Strahlqualität. Eine Vorrichtung der eingangs Art ist aus dem europäischen Patent EP 0 770 226 B1 bekannt. Die darin beschriebenen Vorrichtungen umfassen zwei oder drei voneinander beabstandete, nicht miteinander verbundene Substrate, an denen jeweils zwei der zur Formung der Laserstrahlung beitragenden refraktiven Flächen ausgebildet sind.

Dies hat einerseits zur Folge, dass die zwei oder drei Substrate unabhängig voneinander justiert werden müssen, was aufwendig ist. Andererseits hat das mehrfache Ein- und Austreten in und aus den Substraten beachtliche Verluste zur Folge.

Das der vorliegenden Erfindung zugrunde liegende Problem ist die

Schaffung einer Vorrichtung der eingangs genannten Art, die einfacher justierbar ist.

Dies wird erfindungsgemäß durch eine Vorrichtung der eingangs genannten Art mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruchs 1 erreicht. Die Unteransprüche betreffen bevorzugte Ausgestaltungen der Erfindung.

Gemäß Anspruch 1 ist vorgesehen, dass die refraktiven Grenzflächen an einem Substrat oder an miteinander verbundenen Substraten ausgebildet sind. Dadurch können sämtliche der refraktiven Grenzflächen zusammen bewegt werden, was den Justageaufwand senkt.

Dabei besteht die Möglichkeit, dass das mindestens eine Substrat und/oder die refraktiven Grenzflächen derart ausgebildet und angeordnet sind, dass mindestens einer der Teilstrahlen im wesentlichen unabgelenkt durch die Vorrichtung und/oder die refraktiven Grenzflächen hindurch tritt. Dadurch entstehen für diesen Teilstrahl keine unerwünschten Veränderungen seines Querschnitts und vergleichsweise wenig Verluste. Es besteht weiterhin die Möglichkeit, dass das mindestens eine Substrat und/oder die refraktiven Grenzflächen derart ausgebildet und angeordnet sind, dass mindestens einer der Teilstrahlen mindestens eine totale innere Reflexion im Inneren des mindestens einen Substrats erfährt. Auf diese Weise wird erreicht, dass der mindestens eine abgelenkte Teilstrahl auf seinem Weg durch die Vorrichtung möglichst geringe Verluste erleidet.

Weiterhin kann vorgesehen sein, dass die refraktiven Grenzflächen plane Flächen sind. Dadurch werden unerwünschte Veränderungen des Strahlprofils vermieden. Insbesondere wird kein Einfluss auf die

Divergenz der Laserstrahlung genommen. Weiterhin sind plane Flächen einfacher zu fertigen.

Gemäß einer bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass die Vorrichtung ein monolithisches Substrat umfasst, an dem die refraktiven Grenzflächen angeordnet sind. Durch ein derartiges monolithisches Substrat lässt sich eine kompakte und einfach aufgebaute Vorrichtung realisieren, die mit geringen Verlusten die Laserstrahlung formen kann.

Gemäß einer alternativen Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass die Vorrichtung mindestens zwei Substrate umfasst, an denen die refraktiven Grenzflächen angeordnet sind, wobei die mindestens zwei Substrate miteinander verbunden, vorzugsweise verklebt sind. Auch bei miteinander verklebten Substraten lassen sich die Grenzflächen zusammen bewegen, was ebenfalls den Justageaufwand senkt.

Insbesondere kann dabei vorgesehen sein, dass die mindestens zwei Substrate plane, insbesondere zueinander parallele Flächen aufweisen, und vorzugsweise als Quader ausgebildet sind. Derartige -A-

Quader oder planparallele Platten sind einfach und somit kostengünstig zu fertigen.

Weitere Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden deutlich anhand der nachfolgenden Beschreibung bevorzugter Ausführungsbeispiele unter Bezugnahme auf die beiliegenden Abbildungen. Darin zeigen

Fig. 1 a eine perspektivische Ansicht einer ersten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Vorrichtung;

Fig. 1 b eine Fig. 1 a im wesentlichen entsprechende Ansicht der ersten Ausführungsform mit zwei eingezeichneten Teilstrahlen;

Fig. 2a eine gegenüber Fig. 1 a gedrehte perspektivische Ansicht der ersten Ausführungsform;

Fig. 2b eine Fig. 2a im wesentlichen entsprechende Ansicht der ersten Ausführungsform mit zwei eingezeichneten Teilstrahlen;

Fig. 3a eine gegenüber Fig. 2a gedrehte perspektivische Ansicht der ersten Ausführungsform;

Fig. 3b eine Fig. 3a im wesentlichen entsprechende Ansicht der ersten Ausführungsform mit zwei eingezeichneten Teilstrahlen;

Fig. 4a eine gegenüber Fig. 3a gedrehte perspektivische Ansicht der ersten Ausführungsform;

Fig. 4b eine Fig. 4a im wesentlichen entsprechende Ansicht der ersten Ausführungsform mit zwei eingezeichneten Teilstrahlen; Fig. 5 eine Draufsicht auf eine Laseranordnung mit der ersten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Vorrichtung;

Fig. 6 eine Seitenansicht der Laseranordnung gemäß Fig. 5;

Fig. 7 einen Querschnitt durch die Laserstrahlung der Laseranordnung gemäß Fig. 5 in der mit VII bezeichneten

Ebene;

Fig. 8 einen Querschnitt durch die Laserstrahlung der

Laseranordnung gemäß Fig. 5 in der mit VIII bezeichneten Ebene;

Fig. 9 eine Seitenansicht einer zweiten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Vorrichtung;

Fig. 10 eine Draufsicht auf die Ausführungsform gemäß Fig. 9;

Fig. 1 1 eine perspektivische Ansicht der Ausführungsform gemäß Fig. 9.

In einigen der Figuren ist zur Verbesserung der Übersichtlichkeit ein kartesisches Koordinatensystem eingezeichnet.

Die aus den Fig. 1 a bis Fig. 4b ersichtliche Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Vorrichtung ist als monolithisches Substrat 1 aus einem für die zu formende Laserstrahlung 4 zumindest teilweise transparenten Material ausgebildet. Das Substrat 1 weist eine plane

Eintrittsfläche 2 (siehe Fig. 1 a, Fig. 1 b, Fig. 2a und Fig. 2b) und eine zu dieser parallele plane Austrittsfläche 3 (siehe Fig. 3a, Fig. 3b, Fig. 4a und Fig. 4b) für die zu formende Laserstrahlung auf, die beide in einer X-Y-Ebene angeordnet sind. Die Eintrittsfläche 2 ist in X- Richtung (siehe Koordinatensysteme in Fig. 2a und Fig. 4a) ausgedehnter, insbesondere etwa doppelt so ausgedehnt wie die Austrittsfläche 3. Dagegen ist die Austrittsfläche 3 in Y-Richtung ausgedehnter, insbesondere etwa doppelt so ausgedehnt wie die Eintrittsfläche 2.

In Fig. 1 a ist die Eintrittsfläche 2 zur Veranschaulichung in zwei in X-

Richtung nebeneinander angeordnete Abschnitte 2a und 2b unterteilt. Weiterhin ist in Fig. 3a die Austrittsfläche 3 zur Veranschaulichung in zwei in Y-Richtung nebeneinander angeordnete Abschnitte 3a und 3b unterteilt. Der in Fig. 1 a linke oder erste Abschnitt 2a der Eintrittsfläche 2 liegt dem in Fig. 3a unteren oder ersten Abschnitt 3a der Austrittsfläche 3 derart direkt gegenüber, dass ein in den ersten Abschnitt 2a in Z-Richtung beziehungsweise senkrecht zur Eintrittsfläche 2 eintretender Teilstrahl 4a unabgelenkt aus dem ersten Abschnitt 3a der Austrittsfläche 3 austritt (siehe dazu Fig. 1 b bis Fig. 4b). Der Teilstahl 4a tritt somit unabgelenkt durch das monolithische Substrat 1 und damit durch die erfindungsgemäße Vorrichtung hindurch.

Das Substrat 1 umfasst weiterhin eine Seitenfläche 5, die mit dem rechten oder zweiten Abschnitt 2b der Eintrittsfläche 2 einen Winkel von 45° einschließt. Ein in den zweiten Abschnitt 2b der

Eintrittsfläche 2 insbesondere in Z-Richtung eintretender Teilstrahl 4b wird an der Innenseite der Seitenfläche 5 um 90° in negative X- Richtung total reflektiert (siehe dazu beispielsweise Fig. 1 b).

Das Substrat 1 umfasst weiterhin zwei Seitenflächen 6, 7, die einen Winkel von 90° miteinander einschließen und auf der der Seitenfläche

5 gegenüberliegenden Seite des Substrats 1 einen prismatischen Ansatz bilden (siehe beispielsweise Fig. 2a). An der Innenseite der Seitenfläche 6 wird der sich in negative X-Richtung bewegende Teilstrahl 4b um 90° in Y-Richtung total reflektiert (siehe dazu beispielsweise Fig. 1 b). Daran anschließend wird der sich in Y- Richtung bewegende Teilstrahl 4b an der Innenseite der Seitenfläche 7 um 90° in X-Richtung total reflektiert (siehe dazu beispielsweise Fig. 1 b).

Das Substrat 1 umfasst weiterhin eine Seitenfläche 8, die mit dem zweiten Abschnitt 3b der Austrittsfläche 2 einen Winkel von 45° einschließt (siehe beispielsweise Fig. 4a). An der Innenseite dieser Seitenfläche 8 wird der sich in X-Richtung bewegende Teilstrahl 4b um 90° in Z-Richtung total reflektiert (siehe dazu beispielsweise Fig. 1 b). Daran anschließend tritt der Teilstrahl 4b aus dem zweiten

Abschnitt 3b der Austrittsfläche 3 aus. Der Teilstrahl 4b war vor dem Hindurchtritt durch das Substrat 1 in X-Richtung neben dem Teilstrahl 4a beziehungsweise in Fig. 1 b rechts neben dem Teilstrahl 4a angeordnet und ist nach dem Hindurchtritt durch das Substrat 1 in Y- Richtung neben dem Teilstrahl 4a beziehungsweise in Fig. 1 b oberhalb des Teilstrahls 4a angeordnet. Damit ist die Laserstrahlung 4 in X-Richtung verkürzt, insbesondere halbiert, und in Y-Richtung vergrößert, insbesondere verdoppelt.

Fig. 5 und Fig. 6 zeigen eine Laseranordnung, in die ein Substrat 1 eingebaut ist. Die Laseranordnung umfasst einen Laserdiodenbarren

9, der eine Mehrzahl in X-Richtung nebeneinander angeordnete Emitter aufweist. Die von diesen Emittern ausgehende Laserstrahlung 4 wird von Kollimationsmitteln 10, 1 1 kollimiert und von zusätzlichen Strahltransformationsmitteln 12 gedreht. Nach der zweiten Kollimierung tritt die Laserstrahlung durch das Substrat 1 hindurch.

Hinsichtlich der Laserstrahlung 4 wurde zeichnerisch äquivalent zu den Fig. 1 b bis Fig. 4b eine Unterteilung in Teilstrahlen 4a und 4b angedeutet, um das Aufteilen und Übereinanderlegen der Laserstrahlung zu verdeutlichen. Fig. 7 zeigt einen Querschnitt durch die Laserstrahlung 4 in einer Ebene VI I vor dem Substrat 1 . Fig. 8 zeigt einen Querschnitt durch die Laserstrahlung 4 in einer Ebene VIII hinter dem Substrat 1 . Es zeigt sich, dass der Querschnitt der Laserstrahlung aus einer langgestreckten Form mit nebeneinander angeordneten Teilstrahlen

4a, 4b in eine annähernd quadratische Form mit übereinander angeordneten Teilstrahlen 4a, 4b umgewandelt wurde.

Fig. 9 bis Fig. 1 1 zeigen eine zweite Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Vorrichtung. Die darin abgebildete Vorrichtung umfasst drei Substrate 13, 14, 15, die aus einem für die zu formende

Laserstrahlung 16 zumindest teilweise transparenten Material gefertigt sind. Ein jedes der drei Substrate 13, 14, 15 ist als Quader ausgebildet. Die drei Substrate 13, 14, 15 sind miteinander verklebt.

Das erste Substrat 13 ist als plattenförmiges Teil ausgebildet, das sich im wesentlichen in Z-Richtung erstreckt und in X-Richtung eine deutlich größere Ausdehnung als in Y-Richtung aufweist. Das erste Substrat 13 weist eine Eintrittsfläche 17 und eine Austrittsfläche 18 auf, die beide in einer X-Y-Ebene angeordnet sind (siehe Fig. 9 und Fig. 1 1 ). Ein in Z-Richtung in die Eintrittsfläche 17 eintretender Teilstrahl 16a der Laserstrahlung 16 tritt unabgelenkt aus der

Austrittsfläche 18 aus. Der TeMstahl 16a tritt somit unabgelenkt durch das Substrat 13 und damit durch die erfindungsgemäße Vorrichtung hindurch.

Das zweite Substrat 14 weist eine Eintrittsfläche 19 auf, die in einer zu der X-Y-Ebene um einen Winkel von 45° geneigten Ebene angeordnet ist. Das zweite Substrat 14 weist eine Austrittsfläche 20 auf, die parallel zu der Eintrittsfläche 19 ausgerichtet und dieser gegenüberliegend ist (siehe Fig. 9 und Fig. 1 1 ). Ein in Z-Richtung in die Eintrittsfläche 19 eintretender Teilstrahl 16b der Laserstrahlung 16 tritt aus der Austrittsfläche 20 ebenfalls in Z-Richtung aus. Allerdings ist der austretende Teilstrahl 16b gegenüber dem eintretenden Teilstrahl 16b um ein Stück in Y-Richtung beziehungsweise nach unten in Fig. 9 versetzt. Die Laserstrahlung 16 wird also in dem zweiten Substrat 14 in Y-Richtung abgelenkt.

Das dritte Substrat 15 ist als Platte mit quadratischem Umriss ausgebildet, die in Y-Richtung eine deutlich geringere Ausdehnung aufweist als in X-Richtung und in Z-Richtung. Das dritte Substrat 15 ist hinsichtlich Fig. 9 unter dem ersten Substrat 13 beziehungsweise in Y-Richtung versetzt gegenüber dem ersten Substrat 13 angeordnet.

Eine Eintrittsfläche 21 und eine Austrittsfläche 22 sind jeweils unter einem Winkel von beispielsweise 45° zur Z-Richtung ausgerichtet (siehe Fig. 10).

Ein in Z-Richtung in die Eintrittsfläche 21 eintretender Teilstrahl 16b bewegt sich im Inneren des Substrats 15 unter einem Winkel von beispielsweise 45° zur Z-Richtung und tritt aus der Austrittsfläche 22 wieder in Z-Richtung aus. Allerdings ist die X-Position des Teilstrahls 16b in negative X-Richtung beziehungsweise nach links in Fig. 10 verschoben, so dass der Teilstrahl 16b nunmehr hinsichtlich Fig. 9 unterhalb des Teilstrahls 16a beziehungsweise in Y-Richtung versetzt zu diesem aus der Austrittsfläche austritt. Die aus den drei Substraten 13, 14, 15 bestehende Vorrichtung formt also eine in X- Richtung ausgedehnte Laserstrahlung 16 ähnlich um, wie das Substrat 1 die Laserstrahlung 4 umformt.

Es besteht erfindungsgemäß die Möglichkeit, ein viertes nicht abgebildetes, dem zweiten Substrat 14 vergleichbares Substrat vorzusehen, das einen Teil der Laserstrahlung 16 nach oben in Fig. 9 beziehungsweise in negativer Y-Richtung ablenkt. Weiterhin kann dann ein fünftes nicht abgebildetes, dem dritten Substrat 15 vergleichbares Substrat vorgesehen werden, das den derart nach oben abgelenkten Teil der Laserstrahlung in X-Richtung beziehungsweise nach rechts in Fig. 10 ablenkt. Auf diese Weise kann eine Laserstrahlung in drei Teile zerlegt werden, die dann in Y- Richtung übereinander angeordnet werden.

Claims

Patentansprüche:

1 . Vorrichtung zur Formung von Laserstrahlung (4, 16), insbesondere für von einem Laserdiodenbarren (9) ausgehende Laserstrahlung (4, 16), umfassend mindestens ein Substrat (1 , 13, 14, 15) mit einer Mehrzahl von refraktiven Grenzflächen (2,

3, 17, 18, 19, 20, 21 , 22), durch die die zu formende Laserstrahlung (4, 16) derart hindurch treten kann, dass mindestens zwei vor dem H indurchtritt durch die refraktiven Grenzflächen (2, 3, 17, 18, 19, 20, 21 , 22) in einer ersten Richtung (X) nebeneinander angeordnete Teilstrahlen (4a, 4b;

16a, 16b) der Laserstrahlung (4, 16) nach dem Hindurchtritt durch die refraktiven Grenzflächen (2, 3, 17, 18, 19, 20, 21 , 22) in einer zweiten, zu der ersten Richtung (X) senkrechten Richtung (Y) nebeneinander angeordnet sind , dadurch gekennzeichnet, dass die refraktiven Grenzflächen (2, 3, 17,

18, 19, 20, 21 , 22) an einem Substrat (1 ) oder an miteinander verbundenen Substraten (13, 14, 1 5) ausgebildet sind.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass das mindestens eine Substrat ( 1 , 13, 14, 15) und/oder die refraktiven Grenzflächen (2, 3, 17, 18, 19, 20, 21 , 22) derart ausgebildet und angeordnet sind , däss mindestens einer der Teilstrahlen (4a, 16a) im wesentlichen unabgelenkt durch die Vorrichtung und/oder die refraktiven Grenzflächen (2, 3, 17, 18,

19, 20, 21 , 22) hindurch tritt.

3. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das mindestens eine Substrat (1 , 13, 14, 15) und/oder die refraktiven Grenzflächen (2, 3, 17, 18, 1 9, 20, 21 , 22) derart ausgebildet und angeordnet sind , dass mindestens einer der Teilstrahlen (4b) mindestens eine totale innere Reflexion im Inneren des mindestens einen Substrats ( 1 ) erfährt.

4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die refraktiven Grenzflächen (2, 3, 17, 18, 19, 20, 21 , 22) plane Flächen sind .

5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung ein monolithisches Substrat (1 ) umfasst, an dem die refraktiven Grenzflächen (2, 3) angeordnet sind .

6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass das monolithische Substrat (1 ) derart ausgebildet ist, dass mindestens einer der Teilstrahlen (4b) nach seinem Eintritt in das Substrat (1 ) bis zu seinem Austritt aus dem Substrat ( 1 ) lediglich totale innere Reflexionen erfährt, insbesondere vier totale innere Reflexionen.

7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass das monolithische Substrat (1 ) derart ausgebildet ist, dass die totalen Reflexionen , die der mindestens eine der Teilstrah len (4b) erfährt, jeweils einen Ablenkwinkel von 90° aufweisen.

8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Eintrittsfläche (2) und die Austrittsfläche (3) des monolithischen Substrats (1 ) parallel zueinander ausgerichtet sind .

9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung mindestens zwei

Substrate (13, 14, 15) umfasst, an denen die refraktiven Grenzflächen (17, 18, 19, 20, 21 , 22) angeordnet sind , wobei die mindestens zwei Substrate (13, 14, 15) miteinander verbunden, vorzugsweise verklebt sind .

10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung drei oder fünf Substrate (13, 14, 15) umfasst, an denen die refraktiven Grenzflächen (17, 18, 19, 20, 21 , 22) angeordnet sind .

1 1 . Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, dass die mindestens zwei Substrate (13, 14, 15) derart ausgebildet und angeordnet sind , dass mindestens einer der Teilstrahlen (16a) lediglich d urch eines der Substrate

(13), insbesondere im wesentlichen unabgelenkt, hindurch tritt.

12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 1 1 , dadurch gekennzeichnet, dass die mindestens zwei Substrate (14, 15) derart ausgebildet und angeordnet sind, dass mindestens einer der Teilstrahlen (16b) durch zwei Substrate (14, 1 5) hindurch tritt, die in Ausbreitungsrichtung (Z) des Teilstrahls (16b) hintereinander und zumindest abschnittsweise voneinander beabstandet sind .

13. Vorrichtung nach Anspruch 12 , dadurch gekennzeichnet, dass eines der beiden Substrate ( 15) den mindestens einen Teilstrahl

(16b) hinsichtlich der ersten Richtung (X) und das andere der beiden Substrate ( 14) den mindestens einen Teilstrahl (16b) hinsichtlich der zweiten Richtung (Y) ablenkt.

14. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass die mindestens zwei Substrate (13, 14,

15) plane, insbesondere zueinander parallele Flächen aufweisen , und vorzugsweise als Quader ausgebildet sind .