WO2012011238A1

WO2012011238A1 - 発振装置

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Publication number: WO2012011238A1
Application number: PCT/JP2011/003893
Authority: WO
Inventors: 康晴大西; 黒田　淳; 元喜菰田; 重夫佐藤; 行雄村田; 岸波　雄一郎; 信弘川嶋
Original assignee: 日本電気株式会社
Priority date: 2010-07-23
Filing date: 2011-07-07
Publication date: 2012-01-26
Also published as: JPWO2012011238A1; CN102959991A; EP2597892A4; JP5741580B2; US8907733B2; US20130049876A1; CN102959991B; EP2597892A1

Abstract

　第２圧電振動子（３０）は、平面視で第１圧電振動子（２０）の中空部（２１）に位置している。支持体（４０）は枠状の部材であり、内側面が振動部材（１０）の縁を支持している。そして第１圧電振動子（２０）の基本共振周波数は、第２圧電振動子（３０）の基本共振周波数よりも低い。また第２圧電振動子（３０）は、第１圧電振動子（２０）が基本共振周波数で駆動しているときに振動部材（１０）で生じる振動の腹と重なっている。好ましくは、第２圧電振動子（３０）の中心は、第１圧電振動子（２０）によって振動部材（１０）に生じる振動の腹の中心と重なっている。

Description

発振装置

　本発明は、圧電振動子を用いた発振装置に関する。

　近年、携帯電話やラップトップ型コンピュータなどの携帯端末の需要が拡大している。特にテレビ電話や動画再生、ハンズフリー電話機能などの音響機能を商品価値とした薄型の携帯端末の開発が進められている。これらの開発の中で、小型でかつ出力が大きい電気音響変換器の要求が高まっている。従来、携帯電話等の電子機器には、電気音響変換器として動電型電気音響変換器が利用されている。この動電型電気音響変換器は、永久磁石とボイスコイルと振動膜から構成されている。しかしながら動電型電気音響変換器は、その動作原理及び構造から、薄型化には限界がある。そこで、例えば特許文献１～３に記載されているように、圧電振動子を電気音響変換器して使用することが期待されている。特に特許文献３には、圧電振動子を用いてパラメトリックスピーカを構成することが記載されている。

　また圧電振動子の用途として、例えば特許文献４に記載されているように音波センサがある。音波センサは、圧電振動子から発振された音波を用いて対象物までの距離などを検出するセンサである。

特開平５－１２２７９３号公報特表２００９－５１８９２２号公報特表２００３－５１３５７６号公報特開平３－２７０２８２号公報

　圧電振動子を用いた発振装置は、圧電材料の圧電効果を利用して、電気信号の入力による電歪作用により、振動振幅を発生させるものである。このため、上記した動電型の電気音響変換器（発振装置）に対して薄型化に優位である。しかしながら、圧電材料は脆性材料であり、かつ機械損失が小さいため、上記した動電型電気音響変換器に対して機械的品質係数Ｑが高い。動電型電気音響変換器はピストン型の振幅運動を発生させるのに対して、圧電振動子を用いた発振装置では屈曲型の振動姿態をとる。このため、圧電振動子を用いた発振装置は、動電型電気音響変換器と比較して振動端部での変異量が少なくなり、同一面積における体積排除量は小さくなりやすい。このため、圧電振動子を用いた発振装置において、出力を維持しつつ小型化することは難しかった。

　本発明の目的は、出力を維持しつつ小型化することができる、圧電振動子を用いた発振装置を提供することにある。

　本発明によれば、シート状の振動部材と、
　前記振動部材の一面に取り付けられ、平面形状で中空部を有する第１圧電振動子と、
　前記振動部材の前記一面に取り付けられ、平面視で前記第１圧電振動子の前記中空部に位置する第２圧電振動子と、
　前記振動部材の縁を支持する支持体と、
を備え、
　前記第１圧電振動子の基本共振周波数は前記第２圧電振動子の基本共振周波数よりも低く、
　前記第２圧電振動子は、前記第１圧電振動子が基本共振周波数で駆動しているときに前記振動部材で生じる振動の腹と重なっている発振装置が提供される。

　本発明によれば、圧電振動子を用いた発振装置において、出力を維持しつつ小型化することができる。

　上述した目的、およびその他の目的、特徴および利点は、以下に述べる好適な実施の形態、およびそれに付随する以下の図面によってさらに明らかになる。

第１の実施形態に係る発振装置の構成を示す平面図である。図１のＡ－Ａ´断面図を周辺回路も含めて示す図である。第１圧電振動子及び第２圧電振動子の厚さ方向の構成を示す断面図である。第２の実施形態に係る発信装置の第１圧電振動子の構成を示す斜視分解図である。第３の実施形態に係る発振装置の平面図である。図５のＡ－Ａ´断面図である。第４の実施形態に係る発振装置の平面図である。図７のＡ－Ａ´断面図である。第５の実施形態に係る発振装置の断面図である。図９の変形例を示す断面図である。第６の実施形態に係る発振装置の平面図である。第７の実施形態に係る発振装置の断面図である。携帯通信端末の構成を示す概略図である。

　以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。尚、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。

（第１の実施形態）
　図１は、第１の実施形態に係る発振装置の構成を示す平面図である。図２は図１のＡ－Ａ´断面図を、周辺回路も含めて示す図である。この発振装置は、振動部材１０、第１圧電振動子２０、第２圧電振動子３０、及び支持体４０を備えている。振動部材１０はシート形状を有している。第１圧電振動子２０は振動部材１０の一面に取り付けられており、平面形状で中空部２１を有している。第２圧電振動子３０は、振動部材１０の上記した一面に取り付けられており、平面視で第１圧電振動子２０の中空部２１に位置している。支持体４０は枠状の部材であり、内側面が振動部材１０の縁を支持している。そして第１圧電振動子２０の基本共振周波数は、第２圧電振動子３０の基本共振周波数よりも低い。また第２圧電振動子３０は、第１圧電振動子２０が基本共振周波数で駆動しているときに振動部材１０で生じる振動の腹、例えば振動の腹の中心と重なっている。好ましくは、第２圧電振動子３０の中心は、第１圧電振動子２０によって振動部材１０に生じる振動の腹の中心と重なっている。この発振装置は、例えばスピーカ、又は音波センサの発振源として使用される。また相対的に小さい第２圧電振動子３０は、圧電体の焦電効果を利用することで温度センサとして機能することもできる。発振装置をスピーカとして使用する場合、発振装置は、例えば電子機器（例えば、携帯電話機、ラップトップ型パーソナルコンピュータ、小型ゲーム機器など）の音源として使用される。以下、詳細に説明する。

　振動部材１０は、第１圧電振動子２０及び第２圧電振動子３０から発生した振動によって振動する。また振動部材１０は、第１圧電振動子２０及び第２圧電振動子３０の基本共振周波数を調整する。機械振動子の基本共振周波数は、負荷重量と、コンプラインスに依存する。コンプラインスは振動子の機械剛性であるため、振動部材１０の剛性を制御することで、第１圧電振動子２０及び第２圧電振動子３０の基本共振周波数を制御できる。なお、振動部材１０の厚みは５μｍ以上５００μｍ以下であることが好ましい。また、振動部材１０は、剛性を示す指標である縦弾性係数が１Ｇｐａ以上５００ＧＰａ以下であることが好ましい。振動部材１０の剛性が低すぎる場合や、高すぎる場合は、機械振動子として特性や信頼性を損なう可能性が出てくる。なお、振動部材１０を構成する材料は、金属や樹脂など、脆性材料である第１圧電振動子２０及び第２圧電振動子３０に対して高い弾性率を持つ材料であれば特に限定されないが、加工性やコストの観点からリン青銅やステンレスなどが好ましい。

　本実施形態において第１圧電振動子２０はリング形状であり、外周及び内周のいずれも円形である。そして第２圧電振動子３０は円形である。第２圧電振動子３０は第１圧電振動子２０よりも小型である。このため、第２圧電振動子３０の基本共振周波数は、第１圧電振動子２０の基本共振周波数よりも高い。また第１圧電振動子２０及び第２圧電振動子３０は、振動部材１０に対向する面の全面が接着剤によって振動部材１０に固定されている。

　また発振装置は、発振回路として制御部５０、第１信号生成部５２、及び第２信号生成部５４を有している。第１信号生成部５２は、第１圧電振動子２０に入力する電気信号を生成する。第２信号生成部５４は、第２圧電振動子３０に入力する電気信号を生成する。制御部５０は、外部から入力された情報に基づいて、第１信号生成部５２及び第２信号生成部５４を制御する。発振装置をスピーカとして使用する場合、制御部５０に入力される情報は音声信号である。また発振装置を音波センサとして使用する場合、制御部５０に入力される信号は、音波を発信する旨の指令信号である。そして発振装置を音波センサとして使用する場合、第１信号生成部５２は第１圧電振動子２０に第１圧電振動子２０の共振周波数の音波を発生させ、第２信号生成部５４は第２圧電振動子３０に第２圧電振動子３０の共振周波数の音波を発生させる。

　図３は、第１圧電振動子２０及び第２圧電振動子３０の厚さ方向の構成を示す断面図である。第１圧電振動子２０は、圧電体２２、上面電極２４、及び下面電極２６を有している。また第２圧電振動子３０は、圧電体３２、上面電極３４、及び下面電極３６を有している。なお第１圧電振動子２０と第２圧電振動子３０の概略の構造は互いに同じであるため、以下、第１圧電振動子２０の構造のみ説明する。

　圧電体２２は厚さ方向に分極している。圧電体２２を構成する材料は、圧電効果を有する材料であれば、無機材料及び有機材料のいずれであってもよい。ただし、電気機械変換効率が高い材料、例えばジルコン酸チタン酸塩（ＰＺＴ）やチタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ_３）であるのが好ましい。圧電体２２の厚さｈは、例えば１０μｍ以上１ｍｍ以下である。厚さｈ_１が１０μｍ未満の場合、発振装置の製造時に第１圧電振動子２０及び第２圧電振動子３０が破損する可能性が出てくる。また厚さｈ_１が１ｍｍ超の場合、電気機械変換効率が低くなりすぎてしまい、十分な大きさの振動を得られない。その理由は、第１圧電振動子２０及び第２圧電振動子３０の厚さが厚くなると、圧電振動子内における電界強度は反比例して小さくなるためである。また圧電体２２，３２の厚さは、互いに等しくてもよいし、異なっていてもよい。

　上面電極２４及び下面電極２６を構成する材料は特に限定されないが、例えば、銀や銀／パラジウムを使用することができる。銀は低抵抗な汎用的な電極材料して使用されているため、製造プロセスやコストなどに利点がある。銀／パラジウムは耐酸化に優れた低抵抗材料であるため、信頼性の観点から利点がある。また、上面電極２４及び下面電極２６の厚さｈ_２は特に限定されないが、その厚さｈ_２が１μｍ以上１００μｍ以下であるのが好ましい。厚さｈ_２が１μｍ未満では、上面電極２４及び下面電極２６を均一に成形することが難しくなり、その結果、電気機械変換効率が低下する可能性がある。また、上面電極２４及び下面電極２６の膜厚が１００μｍを超える場合は、上面電極２４及び下面電極２６が圧電体２２に対して拘束面となり、エネルギ変換効率を低下させてしまう可能性が出てくる。

　次に、発振装置の製造方法を説明する。まず、第１圧電振動子２０及び第２圧電振動子３０を所定の平面形状に加工する。また振動部材１０を所定の形状に加工する。この時点で、圧電体２２，３２には既に分極処理が行われている。次いで、エポキシ樹脂等の接着剤を用いて、第１圧電振動子２０及び第２圧電振動子３０を振動部材１０に固定する。なお振動部材１０を支持体４０に固定するタイミングは、第１圧電振動子２０及び第２圧電振動子３０を振動部材１０に固定した後であってもよいし、固定する前であってもよい。支持体４０は、例えばステンレスなどの金属により形成される。

　ここで、第１圧電振動子２０は、外径＝φ１８ｍｍ、内径＝φ１２ｍｍ、厚み＝１００μｍとすることができる。また第２圧電振動子３０は、外径＝φ３ｍｍ、厚み＝１００μｍ（０.１ｍｍ）とすることができる。また上面電極２４，３６及び下面電極２６，３６としては、例えば厚み８μｍの銀／パラジウム合金（重量比は例えば７：３）を用いることができる。また振動部材１０は、外径＝φ２０ｍｍ、厚み＝５０μｍ（０．０５ｍｍ）のリン青銅を用いることができる。支持体４０は、例えば、外径＝φ２２ｍｍ、内径＝φ２０ｍｍの中空状のケースである。

　次に、発振装置をスピーカとして用いる場合について説明する。上記したように、第１圧電振動子２０の基本共振周波数は、第２圧電振動子３０の基本共振周波数よりも低い。このため、第１圧電振動子２０から相対的に低い周波数の音を主に発振させ、かつ第２圧電振動子３０から相対的に高い周波数の音を主に発振させるのが好ましい。

　また振動部材１０、第１圧電振動子２０、第２圧電振動子３０を複数組設けてもよい。この場合、発振装置をパラメトリックスピーカとして用いることができる。この場合、制御部５０は、第１信号生成部５２を介して第１圧電振動子２０には再生音を示す信号をそのまま入力し、小型である第２圧電振動子３０には、第２信号生成部５４を介してパラメトリックスピーカとしての変調信号を入力することができる。パラメトリックスピーカとして用いる場合、第２圧電振動子３０は、２０ｋＨｚ以上、例えば１００ｋＨｚの音波を信号の輸送波として用いる。また第１圧電振動子２０を通常のスピーカとして用いる場合、第１圧電振動子２０の基本共振周波数を、例えば１ｋＨｚ以下にする。

　なお一般的に圧電振動子は機械品質係数Ｑが高い。このため、基本共振周波数近傍にエネルギーが集中するため、共振周波数近傍で音波は大きいが、それ以外の帯域では著しく音波が減衰する。一方、パラメトリックスピーカは単一の周波数を発振させればよい。このため、第２圧電振動子３０をパラメットリックスピーカとして使用することは、スピーカの効率を高めるという視点から好ましい。

　ここでパラメトリックスピーカの原理を説明する。パラメトリックスピーカは、複数の発振源それぞれからＡＭ変調やＤＳＢ変調、ＳＳＢ変調、ＦＭ変調をかけた超音波を空気中に放射し、超音波が空気中に伝播する際の非線形特性により、可聴音を出現させるものである。ここでの非線形とは、流れの慣性作用と粘性作用の比で示されるレイノルズ数が大きくなると、層流から乱流に推移することを示す。音波は流体内で微少にじょう乱しているため、音波は非線形で伝播している。特に超音波周波数帯では音波の非線形性が容易に観察できる。そして超音波を空気中に放射した場合、音波の非線形性に伴う高調波が顕著に発生する。また音波は、空気中において分子密度に濃淡が生じる疎密状態である。そして空気分子が圧縮よりも復元するのに時間が生じた場合、圧縮後に復元できない空気が、連続的に伝播する空気分子と衝突し、衝撃波が生じる。この衝撃波により可聴音が発生する。

　次に、本実施形態の作用及び効果について説明する。本実施形態において、第２圧電振動子３０は、第１圧電振動子２０が基本共振周波数で振動しているときに振動部材１０に生じる振動の腹と重なっている。このため、第１圧電振動子２０を基本共振周波数近辺で振動させるとき、第２圧電振動子３０は大きく振動する。また、第１圧電振動子２０の基本共振周波数は第２圧電振動子３０の基本共振周波数よりも低い。このため、第１圧電振動子２０を基本共振周波数近辺で振動させるとき、第２圧電振動子３０には共振が生じず、板とみなすことができる。

　従って、第１圧電振動子２０を基本共振周波数近辺で振動させるとき、第２圧電振動子３０が大きく振動することにより、出力を維持しつつ小型化することができる。

　また第１圧電振動子２０と第２圧電振動子３０の基本共振周波数は互いに異なるため、第１圧電振動子２０と第２圧電振動子３０それぞれから効率よく互いに異なる周波数の音波を発生させることができる。また発振装置をスピーカとして用いる場合、第１圧電振動子２０及び第２圧電振動子３０を同時に駆動することで、音波を干渉させ、音圧レベルを増加することができる。また第２圧電振動子３０をパラメトリックスピーカとして機能させる場合、高い指向性で音を再生することができる。

　特に第１圧電振動子２０を通常のスピーカとして使用し、第２圧電振動子３０をパラメトリックスピーカとして使用する場合、第１圧電振動子２０と第２圧電振動子３０とで異なる音声を再生させることにより、特定の場所にいる人のみに第２圧電振動子３０によって再生される音を聴かせ、他の場所にいる人には第１圧電振動子２０によって再生される音のみを聞かせることができる。この効果は、第１圧電振動子２０以外の他のスピーカを通常のスピーカとして使用した場合にも得ることができる。

（第２の実施形態）
　図４は、第２の実施形態に係る発信装置の第１圧電振動子２０の構成を示す斜視分解図である。本実施形態に係る発振装置は、第１圧電振動子２０が複数の圧電体２２と電極２４とを交互に複数積層させた構造を有している点、及び第２圧電振動子３０も同様の構造を有している点を除いて、第１の実施形態に係る発振装置と同様の構成である。圧電体２２の分極方向は、一層ごとに入れ替わっており、互い違いになっている。

　本実施形態においても第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。また第１圧電振動子２０及び第２圧電振動子３０を、複数の圧電体２２，３２と電極２４、３４とを交互に複数積層させた構造にしているため、第１圧電振動子２０及び第２圧電振動子３０の伸縮量が大きくなる。従って、発振装置の出力を大きくすることができる。

（第３の実施形態）
　図５は第３の実施形態に係る発振装置の平面図であり、図６は図５のＡ－Ａ´断面図である。本実施形態に係る発振装置は、第１シールド部材１２を有している点を除いて、第１の実施形態に係る発振装置と同様の構成である。

　第１シールド部材１２は、振動部材１０に埋め込まれており、平面視で第１圧電振動子２０の中空部２１に位置している。第１シールド部材１２は、第２圧電振動子３０の周囲を囲んでおり、かつ振動部材１０よりも縦弾性係数が低い材料、例えば樹脂により形成されている。本図に示す例において第１シールド部材１２は、厚さ方向で見た場合、振動部材１０の全域に設けられているが、一部分、例えば表面側のみ又は裏面側のみに第１シールド部材１２を設けてもよい。

　本実施形態によっても、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。また第１シールド部材１２を設けているため、第１圧電振動子２０が振動する際に、その振動が第２圧電振動子３０に伝播することを抑制できる。また第１シールド部材１２を、第２圧電振動子３０が基本振動周波数で振動しているときの振動の節目に位置させることにより、その節目の剛性を低減させることができ、これによって振動に自由端を形成させることができる。この場合、振動する部材の可動範囲が拡大するため、第２圧電振動子３０の振動の出力を大きくすることができる。また、第１シールド部材１２が介在することにより、発振装置が落下した場合に衝撃が第２圧電振動子３０に伝播することを抑制できる。このため、発振装置の信頼性が向上する。

（第４の実施形態）
　図７は第４の実施形態に係る発振装置の平面図であり、図８は図７のＡ－Ａ´断面図である。本実施形態に係る発振装置は、第２シールド部材１４を有している点を除いて、第３の実施形態に係る発振装置と同様の構成である。

　第２シールド部材１４は、振動部材１０に埋め込まれており、平面視で第１圧電振動子２０の周囲を囲んでいる。第２シールド部材１４は、振動部材１０よりも縦弾性係数が低い材料、例えば樹脂により形成されている。第２シールド部材１４の材料は、第１シールド部材１２の材料と同一であってもよいし、異なっていてもよい。また本図に示す例において第２シールド部材１４は、厚さ方向で見た場合、振動部材１０の全域に設けられているが、一部分、例えば表面側のみ又は裏面側のみに第２シールド部材１４を設けてもよい。

　本実施形態によっても第３の実施形態と同様の効果を得ることができる。また第２シールド部材１４を、第１圧電振動子２０が基本振動周波数で振動しているときの振動の節目に位置させることにより、その節目の剛性を低減させることができ、これにより振動に自由端を形成させることができる。この場合、振動する部材の可動範囲が拡大するため、第１圧電振動子２０の振動の出力を大きくすることができる。また、第２シールド部材１４が介在することにより、発振装置が落下した場合に衝撃が第１圧電振動子２０及び第２圧電振動子３０に伝播することを抑制できる。このため、発振装置の信頼性が向上する。

（第５の実施形態）
　図９は、第５の実施形態に係る発振装置の断面図である。この発振装置は、振動部材１０の両面に第２圧電振動子３０を有している点を除いて、第１の実施形態に係る発振装置と同様の構成である。すなわち本実施形態において、発振装置の圧電振動子は、振動部材１０の両面を圧電振動子で拘束したバイモルフ構造を有している。２つの第２圧電振動子３０は、互いに同一形状であってもよいし、異なる形状であってもよい。

　なお本実施形態において、図１０に示すように、第１圧電振動子２０も振動部材１０の両面に設けられていてもよい。

　本実施形態によっても第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。また圧電振動子がバイモルフ構造を有しているため、より大きな振動を得ることができる。

（第６の実施形態）
　図１１は、第６の実施形態に係る発振装置の平面図である。この発振装置は、第２圧電振動子３０の平面形状が矩形、例えば正方形である点を除いて、第１の実施形態に係る発振装置と同様の構成である。

　本実施形態によっても第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。なお第２圧電振動子３０の平面形状は、第１の実施形態及び本実施形態に示した形状に限定されない。また第１圧電振動子２０の平面形状も、上記した各実施形態に限定されない。

（第７の実施形態）
　図１２は、第７の実施形態に係る発振装置の断面図である。この発振装置は、振動部材１０の厚さが部分的に変わっている点を除いて、第１の実施形態に係る発信装置と同様の構成である。本実施形態において、振動部材１０は、第２圧電振動子３０とは逆側の面のうち第２圧電振動子３０と重なる部分に凸部１１を有している。

　本実施形態によっても第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。また振動部材１０の厚さを部分的に変えることにより、発振素子の発信特性を調整することができる。

（実施例）
　図１、図４、図５、図７、図９、図１０、図１１、及び図１２に示した発振装置を作成し、各発振装置の特性を調べた（実施例１～８）。本実施例では、発振装置をパラメトリックスピーカとして機能させた。また比較例として、実施例１～８と同一の平面積を有する動電型の発振装置を作成し、特性を調べた。その結果を表１に示す。

　この表から、各実施例に係る発信装置は、比較例にかかる発振装置と比較して、出力が大きく、周波数特性が平坦であり、かつ落下時の衝撃に対して強いことが示された。

　また、図１３に示すように、携帯通信端末１００のスピーカ１０２として、実施例１～８に係る発振装置を使用した。スピーカ１０２は、携帯通信端末１００の筐体の内面に取り付けた。各実施例を用いた場合のスピーカ１０２の特性を表２に示す。

　この表から、各実施例に係るスピーカ１０２は、周波数特性が平坦であり、かつ落下時の衝撃に対して強いことが示された。

　以上、図面を参照して本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。

　この出願は、２０１０年７月２３日に出願された日本出願特願２０１０－１６６５０６号を基礎とする優先権を主張し、その開示の全てをここに取り込む。

Claims

　シート状の振動部材と、
　前記振動部材の一面に取り付けられ、平面形状で中空部を有する第１圧電振動子と、
　前記振動部材の前記一面に取り付けられ、平面視で前記第１圧電振動子の前記中空部に位置する第２圧電振動子と、
　前記振動部材の縁を支持する支持体と、
を備え、
　前記第１圧電振動子の基本共振周波数は前記第２圧電振動子の基本共振周波数よりも低く、
　前記第２圧電振動子は、前記第１圧電振動子が基本共振周波数で駆動しているときに前記振動部材で生じる振動の腹と重なっている発振装置。
　請求項１に記載の発振装置において、
　前記振動部材に埋め込まれ、平面視で前記第１圧電振動子の前記中空部に位置しており、前記第２圧電振動子の周囲を囲んでおり、かつ前記振動部材よりも縦弾性係数が低い材料により形成されている第１シールド部材を備えている発振装置。
　請求項２に記載の発振装置において、
　前記第１シールド部材は樹脂により形成されている発振装置。
　請求項１～３のいずれか一項に記載の発振装置において、
　前記振動部材に埋め込まれ、平面視で前記第１圧電振動子と前記支持体の間に位置しており、前記第１圧電振動子の周囲を囲んでおり、かつ前記振動部材よりも縦弾性係数が低い材料により形成されている第２シールド部材を備えている発振装置。
　請求項４に記載の発振装置において、
　前記第２シールド部材は樹脂により形成されている発振装置。
　請求項１～５のいずれか一項に記載の発振装置において、
　前記第１圧電振動子はリング形状である発振装置。
　請求項６に記載の発振装置において、
　前記第２圧電振動子は円形である発振装置。
　請求項１～７のいずれか一項に記載の発振装置において、
　前記発振装置は音波センサの発振源である発振装置。
　請求項８に記載の発振装置において、
　前記第１圧電振動子に第１周波数の音波を発生させ、前記第２圧電振動子に前記第１周波数より高い第２周波数の音波を発生させる制御部をさらに備える発振装置。
　請求項１～７のいずれか一項に記載の発振装置において、
　前記発振装置はスピーカであり、
　前記振動部材、前記第１圧電振動子、及び前記第２圧電振動子を複数組有しており、
　前記第１圧電振動子に再生音を示す信号をそのまま入力し、前記第２圧電振動子にパラメトリックスピーカとしての変調信号を入力する制御部をさらに備える発振装置。