WO2011139127A3 - Structure de porte-échantillon double d'appareil de traitement de tranche - Google Patents
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Abstract
La présente invention concerne une structure de porte-échantillon double d'un appareil de traitement de tranche dans laquelle un premier porte-échantillon est stocké à l'intérieur d'un second porte-échantillon, les premier et second porte-échantillons sont déplacés dans la direction verticale l'un par rapport à l'autre, une première rainure de mandrin est formée au niveau d'un pilier du premier porte-échantillon pour supporter en premier lieu une tranche et une seconde rainure de mandrin est formée au niveau d'un pilier du second porte-échantillon pour supporter en deuxième lieu la tranche afin que la vibration et le choc transmis à la tranche soient réduits et que le rendement du traitement de tranche soit augmenté.
Applications Claiming Priority (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR10-2010-0042750 | 2010-05-07 | ||
| KR20100042750 | 2010-05-07 | ||
| KR1020110043019A KR20110123692A (ko) | 2010-05-07 | 2011-05-06 | 웨이퍼 처리 장치의 이중 보트 구조 |
| KR10-2011-0043019 | 2011-05-06 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| WO2011139127A2 WO2011139127A2 (fr) | 2011-11-10 |
| WO2011139127A3 true WO2011139127A3 (fr) | 2012-03-01 |
Family
ID=44904252
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| PCT/KR2011/003414 WO2011139127A2 (fr) | 2010-05-07 | 2011-05-06 | Structure de porte-échantillon double d'appareil de traitement de tranche |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| WO (1) | WO2011139127A2 (fr) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108039336B (zh) * | 2017-11-23 | 2024-02-20 | 中国电子科技集团公司第五十五研究所 | 一种石墨舟对中装置 |
| CN113363191B (zh) * | 2021-05-31 | 2022-08-05 | 北海惠科半导体科技有限公司 | 晶舟、扩散设备及半导体器件制造方法 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPH06132390A (ja) * | 1992-10-15 | 1994-05-13 | M C Electron Kk | ウェーハボート |
| KR0165760B1 (ko) * | 1995-06-30 | 1999-02-01 | 김주용 | 박막 증착 장비의 웨이퍼 지지용 보트 |
| KR20000025669A (ko) * | 1998-10-13 | 2000-05-06 | 윤종용 | 웨이퍼 보트 |
| JP3167301B1 (ja) * | 1999-12-29 | 2001-05-21 | 株式会社半導体先端テクノロジーズ | ウェーハボートおよびウェーハボートを用いた熱処理装置 |
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2011
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPH06132390A (ja) * | 1992-10-15 | 1994-05-13 | M C Electron Kk | ウェーハボート |
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| JP3167301B1 (ja) * | 1999-12-29 | 2001-05-21 | 株式会社半導体先端テクノロジーズ | ウェーハボートおよびウェーハボートを用いた熱処理装置 |
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|---|---|
| WO2011139127A2 (fr) | 2011-11-10 |
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