WO2011132985A2 - 전자 방출원 및 그 제조 방법 - Google Patents

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WO2011132985A2
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    • H01J29/02—Electrodes; Screens; Mounting, supporting, spacing or insulating thereof
    • H01J29/04—Cathodes

Definitions

  • the present invention relates to an electron emission source and a method of manufacturing the same, and more particularly, to an electron emission source using a needle-like electron emission material such as carbon nanotubes.
  • CNTs carbon nanotubes
  • nanoparticles and the like are preferred as electron emitters.
  • CNTs are known in various forms as microstructures grown or composited in the form of tubes or rods.
  • CNTs have very excellent electrical, mechanical, chemical, and thermal properties, and have been applied to various fields due to these advantages.
  • CNTs have a very high field enhancement factor because they have a low work function and a high aspect ratio, and because the top end or emission end has a small radius of curvature. Therefore, electrons can be easily released even under a low potential electric field.
  • Conventional methods of forming a field emission device using CNTs include screen printing using CNT paste and chemical vapor deposition method in which CNTs are directly grown vertically only in a patterned area on a substrate.
  • Manufacturing using the screen printing method may be implemented by applying a photosensitive CNT paste to the entire surface of the substrate, selectively patterning the electron-emitting material film through a photolithography process, or applying the CNT paste only to a selective region of the substrate.
  • Such a screen printing method has a problem in that the manufacturing process is complicated, the density control of the electron emission part is difficult, and thus the reproducibility is low.
  • the field emission performance and the stability of the device are drastically deteriorated due to contamination of the field electron emission source by the organic binder material. have.
  • the CNT vertical growth method by chemical vapor deposition has low adhesion between the substrate and the CNT, so that the CNT falls easily, it is difficult to apply various kinds of CNTs, and it is difficult to realize a good field electron emission device due to the screening effect. There is a limit.
  • Some embodiments of the present invention provide a method for producing an electron emission source that can be manufactured in a configuration that provides adhesion to the cathode.
  • some embodiments of the present invention provide a method for producing an electron emission source that can be manufactured in a configuration that provides adhesion to the electron emission material.
  • some embodiments of the present invention provide a method of manufacturing an electron emission source capable of patterning an electron emission material in various forms.
  • the electron emission source according to the first aspect of the present invention is formed on the substrate, the substrate, the graphite cathode made of an adhesive graphite adhesive (graphite adhesive) and the A needle-like electron emitting material fixed to the graphite cathode.
  • the method of manufacturing an electron emission source includes the steps of forming a needle-like electron emission material film on a template, forming a graphite cathode made of graphite adhesive on top of the substrate, and the graphite cathode of the substrate and the Contacting the needle-like electron-emitting material film of the template to transfer the needle-like electron-emitting material film formed on the template to the graphite cathode.
  • the method of manufacturing an electron emission source comprises the steps of forming a needle-like electron emission material film on a template, forming a cathode on the top of the substrate, applying an adhesive material on the needle-like electron emission material film And contacting the cathode of the substrate with the adhesive material applied to the acicular electron emission material film to transfer the acicular electron emission material film formed on the template to the cathode.
  • the electron emission source is formed on the substrate, the upper portion of the substrate, the cathode formed by annealing the adhesive material and the needle-like needle fixed to the cathode by the adhesion of the cathode Release material.
  • any one of the problem solving means of the present invention described above it is possible to adhere the CNT and the cathode in accordance with the configuration of the graphite cathode.
  • This method of adhesion allows for electrical contact, ie ohmic contact, with very firm mechanical fixation.
  • the graphite cathode since outgasing is very small after complete firing, it is very effective for a field emission structure requiring vacuum.
  • FIG. 1 is a view showing the structure of an electron emission source according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a diagram showing a cross-sectional structure of an electron emission source according to an embodiment of the present invention.
  • 3A to 3E are views illustrating a method of manufacturing an electron emission source according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 4 is a diagram illustrating a structure of an electron emission source according to another embodiment of the present invention.
  • FIG. 5 is a view showing the structure of an electron emission source according to another embodiment of the present invention.
  • 6A to 6I illustrate a method of manufacturing an electron emission source according to an exemplary embodiment of the present invention.
  • FIG. 7A to 7D are views illustrating a manufacturing process of an electron emission source using protrusions of a predetermined pattern.
  • 8A to 8D are diagrams illustrating a manufacturing process of an electron emission source through a transfer and patterning process.
  • 9A to 9G illustrate a process of manufacturing an electron emission source according to another embodiment of the present invention.
  • 10A to 10D illustrate a process of manufacturing an electron emission source according to another embodiment of the present invention.
  • 11A through 11E illustrate a process of manufacturing an electron emission source according to another exemplary embodiment of the present invention.
  • FIG. 12 is a view showing an application including an electron emission source according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 13 illustrates an application device including an electron emission source according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 14 is a view showing an application including an electron emission source according to an embodiment of the present invention.
  • Needle-shaped electron emitting materials include hollow nanotubes, filled nanorods, nanowires, fibers, nanofibers, nanoparticles, and the like, and representative materials are carbon, and may also be made of metallic materials.
  • CNT carbon nanotube
  • any material capable of electron emission as a needle may be applied, and thus the present invention is not limited to the specific example of the needle electron emission material.
  • FIG. 1 is a view showing the structure of an electron emission source according to an embodiment of the present invention.
  • the electron emission source 1 includes a substrate 10, a graphite cathode 20 formed on the substrate 10, and a needle-like electron emission material film 30 formed on the graphite cathode 20.
  • Graphite cathode 20 is prepared using a graphite adhesive (graphite adhesive), the graphite adhesive is a binder containing an appropriate amount of organic binder (gahphite powder).
  • the organic binder is removed through a curing process.
  • the graphite powder and the organic binder are mixed and formed in a weight ratio of about 7: 3, and the ratio can be appropriately adjusted as necessary.
  • the graphite cathode 20 formed by using the graphite adhesive itself has adhesiveness. That is, after applying the graphite adhesive to the substrate and patterning it by a photolithography method, and softening it with an etchant (etchant) or the like can give the appropriate adhesion to the surface. In addition, soft annealing of the graphite adhesive after screen printing in the form of a cathode can impart proper adhesion to the surface thereof.
  • the graphite cathode 20 may have a multilayer structure, for example, a conductive base line may be further provided below the graphite cathode 20, and the base line may be understood as a part of the cathode.
  • an electron emission source may be formed through a cathode formed by an adhesive material. That is, by using a graphite adhesive, silver (Ag) paste, solder paste and conductive epoxy, in addition to the binder containing the oil, inorganic adhesives, etc., patterning in the form of a cathode, and performing annealing This can form a cathode.
  • a graphite adhesive silver (Ag) paste, solder paste and conductive epoxy
  • FIG. 2 is a diagram showing a cross-sectional structure of an electron emission source according to an embodiment of the present invention.
  • the acicular electron emissive material film 30 includes acicular electron emissive material and is physically fixed by the graphite cathode 20. That is, the acicular electron emission material film 30 is fixed to the surface portion of the graphite cathode 20 itself.
  • the fixation of the electron-emitting material film 30 is due to the adhesion given to the surface of the graphite cathode 20, and this adhesion is obtained from the template when transferring the electron-emitting material film in the manufacturing method described later. Reliably contributes to transfer to the graphite cathode 20.
  • At least one other conductive layer may be present below the graphite cathode 20, which may be understood as part of the cathode.
  • the technical scope of the embodiments is not limited by the specific structure, such as the structure of the cathode, for example, the structure of a single layer, the multilayer structure by heterogeneous or homogeneous material film.
  • 3A to 3E are views illustrating a method of manufacturing an electron emission source according to an embodiment of the present invention.
  • a CNT colloidal suspension is applied to the filtration template 40 and then dried to form an electron emitting material film 32.
  • CNT colloidal suspensions are colloidal liquids made by dispersing powdered CNTs in solvents and surfactants. Ultrasonication can be added for more even dispersion.
  • the filtration template 40 one made of a material such as Teflon, ceramic, Anodic Aluminum Oxide (AOA), polycarbonate, or the like is used.
  • the filtration template 40 filters the CNT colloidal suspension, leaving only CNTs on its surface. Thus, after drying the CNT colloidal suspension, only CNTs can be retained in a predetermined pattern and transferred to the plate-shaped cathode.
  • the CNT may include a single-walled carbon nanotube (SWCNT), a double-walled carbon nanotube (DWCNT), a thin multi-walled carbon nanotube (MWCNT), a thick MWCNT, and the like.
  • the solvent may be ethanol, dimethyl formamide, tetrahydrofuran, dimethyl acetamide, 1,2 dichloroethane or 1,2 dichlorobenzene.
  • the surfactant is sodium dodecylbenzene sulfonate (NaDDBS C 12 H 25 C 6 H 4 SO 3 Na), sodium butylbenzene sulfonate (NaBBS C 4 H 9 C 6 H 4 SO 3 Na), sodium benzoate (C 6 H 5 CO 2 Na), sodium dodecyl sulfate (SDS; CH 3 (CH 2 ) 11 OSO 3 Na), Triton X-100 (TX100; C 8 H 17 C 6 H 4 (OCH 2 CH 2 ) n-OH; n 10), dodecyltrimethylammonium bromide (DTAB; CH 3 (CH 2 ) 11 N (CH 3 ) 3 Br), Arabic gum can be any one.
  • a suspension is applied in a predetermined pattern to a filtration template 40 made of a filter or the like and then dried to form an electron emitting material film 32.
  • the application area of the suspension can vary depending on the shape of the cathode of the electron emission source.
  • the CNT density can be freely adjusted by controlling the ratio or concentration of the solvent, the surfactant, and the CNTs in the suspension.
  • the electron emission material film 32 thus formed may be transferred directly onto the graphite cathode 20 to form an electron emission source.
  • a transfer process using a mask described below can be used.
  • the transfer process may be performed using the mask 50 having a window 52 having a predetermined shape.
  • the mask 50 may be made of metal or plastic sheet.
  • the window 52 may be formed in a slit shape in addition to the quadrangle as illustrated, and may have various shapes such as a polygon or a circle, an ellipse, and a star, such as a triangle or a pentagon. This form does not limit the technical scope of the present invention.
  • the graphite cathode 20 is formed after preparing the substrate 10.
  • Graphite cathode 20 is prepared using a graphite adhesive, the graphite adhesive is an appropriate amount of organic binder is included in the graphite powder.
  • the graphite cathode 20 formed by using the graphite adhesive itself has adhesiveness. That is, after applying the graphite adhesive to the substrate and patterning it by a photolithography method, and softening it with an etchant (etchant) or the like can give the appropriate adhesion to the surface.
  • etchant etchant
  • soft annealing of the graphite adhesive after screen printing in the form of a cathode can impart proper adhesion to the surface thereof. At this time, soft annealing is performed so that the adhesive has a semi-cured state that is not completely cured.
  • the filter template 40 on which the electron emission material film 32 is formed is inverted and pressed. .
  • the electron emitting material film 32 attached to the filtration template 40 comes into contact with the graphite cathode 20 through the window 52.
  • the electron emission material passing through the window 52 is fixed to the surface of the graphite cathode 20.
  • the electron emission material is selectively transferred to the surface of the cathode 20.
  • the electron emitting material film 30 can be formed in a desired shape at a desired position on the graphite cathode 20.
  • the electron-emitting material can be aligned vertically with respect to the cathode.
  • the surface of the electron-emitting material film can be rolled up using an adhesive roller to produce the electron-emitting material.
  • the final heat treatment completely cures the graphite adhesive. Through this process, the electron-emitting material can be fixed to the cathode.
  • FIG. 4 is a diagram illustrating a structure of an electron emission source according to another embodiment of the present invention.
  • the electron emission source shown includes a substrate 10, a plurality of graphite cathodes 22 formed on the substrate 10, and a needle-shaped chariot emission material film 34 formed on the graphite cathodes 22.
  • the plurality of graphite cathodes 22 are disposed parallel to each other on the substrate 10, and the plurality of acicular electron emission material films 34 are disposed on the graphite cathodes 22 at predetermined intervals.
  • the electron emission source of this configuration can be used for the matrix electron emission structure of the display device, that is, the cathode plate.
  • the acicular electron emission material film 34 is disposed so as to correspond to the unit pixels of the display.
  • FIG. 5 is a view showing the structure of an electron emission source according to another embodiment of the present invention.
  • the electron emission source shown includes a substrate 10, a plurality of graphite cathodes 24 formed on the substrate 10, and a needle-shaped chariot emission material film 36 formed on the graphite cathodes 24.
  • the plurality of graphite cathodes 24 are disposed in parallel with each other on the substrate 10, and a needle-like electron emission material film 36 is disposed on each graphite cathode 24. Unlike the embodiment of FIG. 4, a stripe-shaped needle-like electron emission material film 36 is formed along each graphite cathode 24.
  • 6A to 6I illustrate a method of manufacturing an electron emission source according to an exemplary embodiment of the present invention illustrated in FIG. 4.
  • CNT colloidal suspension is applied to filtration template 40 and then dried to form an electron emitting material film 32.
  • CNT colloidal suspensions are colloidal liquids made by dispersing powdered CNTs in solvents and surfactants. Ultrasonication can be added for more even dispersion. More details on the suspension and CNTs are as described in Figure 3a.
  • a mask 50 having a plurality of windows 54 formed on a thin plate having an area sufficient to cover the electron emission material film 32 is prepared.
  • Each window 54 corresponds to each unit pixel of an electronic device, for example, a field emission display, and must correspond to an arrangement of cathodes described later.
  • a stripe-type electron emission material film 36 as shown in FIG. 5 may be formed.
  • the graphite adhesive film 21 is patterned to form a plurality of graphite cathodes 22 arranged side by side.
  • Such a structure may be formed by a simple screen printing process, omitting the process of FIG. 6C.
  • the mask 50 is disposed between the substrate 10 on which the graphite cathode 22 is formed and the filtration template 40 on which the electron emission material film 36 is formed, and then the filtration template ( 40 is pressed against substrate 10 such that electron-emitting material film 32 is selectively transferred through window 54 of mask 50. After the transfer is completed, the graphite cathode 22 is completely cured through the final heat treatment.
  • FIG. 6F illustrates a matrix electron emission source structure (cathode plate) formed through the process of the preceding steps (FIGS. 6A to 6E), and the structure of FIG. 4 is the same as the basic structure.
  • FIG. 6G shows a gate plate 60 for use in a display device.
  • the gate plate 60 is manufactured through a separate process and includes a gate 62 orthogonal to the graphite cathode 22 and a plurality of gate holes 64 formed at positions corresponding to the electron emission material film 34. do.
  • FIG. 6H shows a spacer plate 70 for use in a display device.
  • the spacer plate 70 is disposed between the gate plate 60 and the cathode plate 10.
  • the spacer plate 70 includes a plurality of through holes 72 formed at positions corresponding to the gate holes 64.
  • the spacer used for the display may be replaced with a spacer in the form of a pillar or bar in addition to the plate-shaped spacer plate 70, which does not limit the technical scope of the present invention.
  • FIG. 6i schematically illustrates the basic stacking structure of a display.
  • the spacer plate 70 and the gate plate 60 are disposed between the cathode plate 10 and the anode plate 80.
  • An anode (not shown) is formed on an inner surface of the anode plate 80, and a phosphor layer may be provided on the surface thereof.
  • the dotted block shown below the anode plate 80 symbolically represents a spacer for maintaining a gap between the anode plate 80 and the gate plate 60, which may have various shapes.
  • the structure can be used as a matrix switch array as well as a display, in which case it is not necessary to have a phosphor layer on the anode.
  • an electron emitting material film having a predetermined pattern can be easily formed by transferring the electron emitting material film formed using the suspension filtering method using a mask. At this time, since the adhesion is given to the surface of the graphite cathode itself, the electron emission material film can be stably fixed to the cathode.
  • an electron-emitting material film of a desired pattern is formed by using a so-called imprint method or a lithography method. It can be formed on the cathode.
  • FIG. 7A to 7D are views illustrating a manufacturing process of an electron emission source using protrusions of a predetermined pattern.
  • a template substrate 42 having a protrusion 43 of a predetermined pattern is prepared using a polymer such as PDMS.
  • the protrusion 43 is pressed or contacted with the electron emitting material film or the suspension containing the electron emitting material to form the electron emitting material film 38 on the upper surface of the protrusion 43. do.
  • the template substrate 42 is pressed against the graphite cathode 21 formed by using the graphite adhesive to form the electron emission material film 38 formed on the upper surface of the protrusion 43. 21).
  • FIG. 7D shows an electron emission source in which an electron emission material film 38 is formed over the graphite cathode 21.
  • the graphite cathode 21 may be implemented in the form of an array including a plurality of cathodes as shown in FIG. 4 or 5.
  • 8A to 8D are diagrams illustrating a manufacturing process of an electron emission source through a transfer and patterning process.
  • a CNT colloidal suspension is applied to the filtration template 40 and then dried to form an electron emitting material film 32.
  • the detailed configuration of the CNT colloidal suspension is as described above.
  • the filtration template 40 is opposed to the substrate 10 on which the graphite cathode 21 is formed.
  • the filtration template 40 is pressed against the substrate 10 so that the electron-emitting material film 32 of the filtration template 40 is transferred to the top of the graphite cathode 21. do.
  • the electron emission material film 32 formed on the graphite cathode 21 is subjected to etching or patterning by using a lithography method of a predetermined pattern to obtain an electron emission source of a desired shape.
  • a lithography method various known methods such as photolithography or electron beam lithography may be applied.
  • the acicular electron emitting material is fixed by graphite cathode, which allows electrical contact, ie ohmic contact, with very firm mechanical fixation.
  • the acicular electron emitting material is carbon nanotubes
  • ohmic contact with the graphite cathode is further improved.
  • graphite cathode since outgasing is very small after complete firing, it is very effective for the field emission structure requiring vacuum.
  • 9A to 9G illustrate a process of manufacturing an electron emission source according to another embodiment of the present invention.
  • an imprint method is used to form an electron emission source having a desired pattern.
  • the adhesive conductive material 96 is applied onto the substrate 90, and the adhesive conductive material 96 is pressed to form the mold substrate 92 by pressing the mold substrate 92.
  • the adhesive conductive material 96 is applied onto the substrate 90, and the adhesive conductive material 96 is pressed to form the mold substrate 92 by pressing the mold substrate 92.
  • the mold substrate 92 is formed by etching the silicon substrate in a predetermined pattern.
  • a release layer 94 is applied to the mold substrate 92 so that the mold substrate 92 is easily released after the imprint process of the adhesive conductive material 96.
  • an isotropic conductive adhesive composed of a composite of metal particles and an organic adhesive may be used as the adhesive conductive material.
  • metal particles various metals such as silver, nickel, copper, aluminum, or gold may be used.
  • the mold substrate 92 is pressed against the substrate 90 to which the adhesive conductive material 96 is applied so that the adhesive conductive material 96 is formed into a mold of the mold substrate 92.
  • the mold may be formed such that the adhesive conductive material 96 has a conical shape having a predetermined height.
  • the adhesive conductive material 96 may be formed into a mold of the mold substrate 92.
  • the electron-emitting material is adhered to the cathode 26 made of the adhesive conductive material.
  • the filtration template 40 on which the electron emission material film 32 is formed is opposed to the target substrate 10 on which the cathode 26 is formed.
  • the CNT electron emission source may be manufactured by adhering the electronic material film 32 to the cathode 26 formed as described above.
  • 10A to 10D illustrate a process of manufacturing an electron emission source according to another embodiment of the present invention.
  • a template 40 on which an electron emission material film 32 is formed is prepared.
  • the adhesive material 100 is coated on the electron emission material film 32.
  • the adhesive conductive material described in the embodiment of FIG. 9 may be used as the adhesive material 100.
  • the adhesive material 100 may be a conductive tape made of a mixture of conductive powders such as nickel and carbon pigments and adhesive resins such as acrylic ester polyol copolymers.
  • the substrate 10 on which the cathode 28 is formed is opposed to the filtration template 40.
  • the cathode 28 is formed of a conductive material, and may be formed in various forms according to a patterning method commonly used. In this case, in order to improve the adhesion, the adhesion to the cathode 28 may be additionally provided. That is, the cathode may be formed using the graphite adhesive described above, or an adhesive material may be provided on the cathode.
  • the adhesive material may be a conductive tape made of a mixture of a conductive powder such as nickel and a carbon pigment and an adhesive resin such as an acrylic ester polyol copolymer. Alternatively, the adhesive conductive material described in the embodiment of FIG. 9 may be used.
  • 11A through 11E illustrate a process of manufacturing an electron emission source according to another exemplary embodiment of the present invention.
  • the present embodiment relates to a method of providing adhesion to an electron emitting material instead of a cathode, and provides a method of using a mask to form an electron emission source in a shape desired by a user.
  • a template 40 on which an electron emission material film 32 is formed is prepared.
  • the adhesive material 100 is coated on the electron emission material film 32.
  • an adhesive conductive material may be used as the adhesive material 100.
  • a mask 50 including a window 52 having a predetermined shape is disposed between the substrate 10 and the filtration template 40.
  • the cathode 28 formed on the substrate 10 may also be patterned to have a predetermined shape.
  • the cathode 28 is formed of a conductive material, and may be formed in various forms according to a patterning method commonly used. At this time, the cathode 28 is not provided with adhesiveness.
  • the substrate 10 and the filtration template 40 are brought into contact.
  • the electron emitting material film 32 attached to the filtration template 40 comes into contact with the cathode 28 through the window 52.
  • the electron emission material film 32 is adhesive to the surface, the electron emission material passing through the window 52 is fixed to the surface of the cathode 28.
  • the electron-emitting material is selectively transferred to the surface of the cathode 28. Therefore, the electron emission material film 30 can be formed in a desired shape at a desired position on the cathode 28.
  • This embodiment of the present invention is applicable to the manufacture of lamps, displays, backlight devices for flat panel displays, electron sources for X-ray devices, electron sources for high power microwaves, electron sources for electron microscopes, electron sources for electron beam lithography, and the like. Can be. In addition, independent driving of an optional individual cell is possible, and thus an integrated vacuum device can be realized.
  • FIG. 12 is a view showing an application including an electron emission source according to an embodiment of the present invention.
  • the illustrated application device 200 may be used as a display device including an electron emission source or as a backlight unit (BLU) of the display device.
  • BLU backlight unit
  • the application device 200 includes a cathode 232 formed on the substrate 230, a needle-like electron-emitting material 220, a front plate 210, and a needle-like electron-emitting material 220 bonded to the cathode and serving as an electron emission source.
  • the anode 212 which reaches the electrons emitted from the phosphor layer 214, is included.
  • the insulating layer 234 includes a through hole for opening the acicular electron emission material 220, and a grid 236 for extracting electrons.
  • the electrons emitted from the electron-emitting material 220 of the cathode are accelerated to the voltage applied to the anode 212 to impinge on the phosphor layer 214 to cause light emission.
  • a self-luminous structure can be applied to a self-luminous display such as FED, or can be applied as a backlight of the LCD rather than a self-luminous type.
  • the needle-like electron emission material 220 is fixed to the cathode 232 through the various embodiments of the present invention described above. That is, it may be fixed through the configuration of the graphite cathode, or may be fixed by providing adhesiveness to the acicular electron emission material 220. In addition, it can be manufactured in various shapes using a mask, or using an imprint method.
  • FIG. 13 is a view showing an application including an electron emission source according to an embodiment of the present invention.
  • the application device 300 shown may be used as an X-ray generator including an electron emission source.
  • Conventional X-ray generators emit electrons accelerated under high voltage using a vacuum discharge tube, and generate the X-rays by colliding the emitted electrons with a target metal plate.
  • a vacuum discharge tube is very large in order to emit a large amount of electrons, so until recently, as a source of electron emission, a synchrotron, a radiation accelerator, or a laser-plasma or hot electron emitting device using a high-power laser and a solid target is mainly used. have.
  • researches on using carbon nanotubes as an electron emission source have been continued to solve problems occurring in the conventional X-ray generator.
  • the application device 300 includes an electron emission source 310 comprising a cathode 312, acicular electron emission material 314 and an anode 316, a power supply 334, 336, a target 330, a glass filter ( 332, chamber 338.
  • an electron emission source 310 comprising a cathode 312, acicular electron emission material 314 and an anode 316, a power supply 334, 336, a target 330, a glass filter ( 332, chamber 338.
  • the needle-like electron emission material 314 emits electrons according to voltages applied to the anode 316 and the cathode 312, and the emitted electrons collide with the target 330 through a through hole formed in the anode 316. .
  • X-rays generated by the collision of the target 330 with the electrons are emitted to the outside through the glass filter 332.
  • the acicular electron emission material 314 is fixed to the cathode 312 through the various embodiments of the present invention described above. That is, it may be fixed through the configuration of the graphite cathode, or may be fixed by providing adhesion to the acicular electron emission material 314. In addition, it can be manufactured in various shapes using a mask, or using an imprint method.
  • FIG. 14 is a view showing an application including an electron emission source according to an embodiment of the present invention.
  • the application device 400 shown may be used as an electron emitter or electron gun in an electron beam lithography apparatus or electron microscope.
  • a typical electron beam lithography apparatus transfers a beam 430 of electrons generated at the electron emission source 400 onto a reticle (not shown) to transfer a pattern layout onto a resist layer provided on the reticle.
  • a reticle not shown
  • various types of lens systems, apertures, and deflectors are additionally provided.
  • the conventional electron microscope reduces the electron beam emitted from the electron emission source 400 with an electron lens to form a fine electron probe on the sample surface, and moves and scans the electron probe on the sample by a deflector.
  • An electro-optical system, a sample chamber, and an exhaust system for maintaining them in a vacuum are included.
  • the electron emission source 400 shown includes a needle-like electron emission material 412, a cathode 410, a cylinder 414, an anode 420, and a slit 422.
  • the needle-like electron emission material 412 and the cathode 410 are fixed by the cylinder 414. Depending on the voltage applied to the cathode 410 and the anode 420, the electron beam 430 emitted from the needle-like electron emitting material 412 is directed toward the anode 420 and then passes through the slit 422.
  • the needle-like electron emission material 412 is fixed to the cathode 410 through the various embodiments of the present invention described above. That is, it may be fixed through the configuration of the graphite cathode, or may be fixed by providing adhesion to the acicular electron emitting material. In addition, it can be manufactured in various shapes using a mask, or using an imprint method.

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Abstract

본 발명의 전자 방출원은 기판, 상기 기판의 상부에 형성되며, 접착성이 있는 그래파이트 접착제(graphite adhesive)로 이루어진 그래파이트 캐소드 및 상기 그래파이트 캐소드에 고정된 침상 전자 방출 물질을 포함한다. 또한, 본 발명의 전자 방출원 제조 방법은 템플리트에 침상 전자 방출 물질 막을 형성하는 단계, 기판의 상부에 그래파이트 접착제로 이루어진 그래파이트 캐소드를 형성하는 단계 및 상기 기판의 그래파이트 캐소드와 상기 템플리트의 침상 전자 방출 물질 막을 접촉시켜, 상기 템플리트에 형성된 침상 전자 방출 물질 막을 상기 그래파이트 캐소드로 전사하는 단계를 포함한다.

Description

전자 방출원 및 그 제조 방법
본 발명은 전자 방출원 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 탄소나노튜브와 같은 침상 전자방출 물질을 이용한 전자 방출원에 관한 것이다.
미세 구조물에 의한 전자 방출원(Electron emitter) 또는 전계 방출원(Field emitter)에서, CNT(carbon nanotube) 또는 나노 파티클 등이 전자 방출 물질로서 선호된다. CNT는 튜브 또는 로드 형태로 성장(growth)되거나 합성(composited)된 미세 구조물로서 형태상 다양한 유형이 알려져 있다.
이러한 CNT는 매우 우수한 전기적, 기계적, 화학적, 열적 특성을 가지며, 이러한 장점으로 다양한 분야에 응용되고 있다. CNT는 낮은 일함수(low work function)와 높은 종횡비(high aspect ratio)를 가지며, 선단(top end, 또는 emission end)이 작은 곡률 반경을 가지기 때문에, 매우 큰 전계강화인자(field enhancement factor)를 가지며, 따라서 낮은 포텐셜의 전계(electrice field)하에서도 용이하게 전자를 방출할 수 있다.
종래의 CNT를 이용한 전계방출소자의 형성방법에는 대표적으로 CNT 페이스트를 이용한 스크린 프린팅법과 기판 위에서 패터닝된 영역에서만 CNT를 직접 수직 성장시키는 화학기상증착법이 있다.
스크린 프린팅 방법을 이용한 제조는 감광성 CNT 페이스트를 기판 전면에 도포하고, 포토리소그래피 공정을 통하여 전자 방출 물질 막을 선택적으로 패터닝하는 방법 또는 CNT 페이스트를 기판의 선택적인 영역에만 도포하는 방법으로 구현할 수 있다. 이러한 스크린 프린팅 방법은 제조공정이 복잡하고, 전자 방출부의 밀도 조절이 어려워 재현성이 낮고, 특히 유기바인더 물질에 의한 전계전자 방출원의 오염으로 인하여 전계전자 방출 성능과 소자의 안정성이 현격히 저하되는 문제점이 있다.
화학기상증착법에 의한 CNT 수직성장법은 기판과 CNT 사이의 접착력이 낮아 CNT가 쉽게 떨어지고, 다양한 종류의 CNT를 적용하기 어려우며, 스크리닝 효과(screening effect)로 인해 양질의 전계전자 방출소자를 구현하기 힘들다는 한계가 있다.
본 발명의 일부 실시예는 캐소드에 접착성을 제공하는 구성으로 제조할 수 있는 전자 방출원 제조 방법을 제공한다.
또한, 본 발명의 일부 실시예는 전자 방출 물질에 접착성을 제공하는 구성으로 제조할 수 있는 전자 방출원 제조 방법을 제공한다.
또한, 본 발명의 일부 실시예는 전자 방출 물질을 다양한 형태로 패터닝할 수 있는 전자 방출원 제조 방법을 제공한다.
상술한 기술적 과제를 달성하기 위한 기술적 수단으로서, 본 발명의 제 1 측면에 따른 전자 방출원은 기판, 상기 기판의 상부에 형성되며, 접착성이 있는 그래파이트 접착제(graphite adhesive)로 이루어진 그래파이트 캐소드 및 상기 그래파이트 캐소드에 고정된 침상 전자 방출 물질을 포함한다.
또한, 본 발명의 제 2 측면에 따른 전자 방출원의 제조 방법은 템플리트에 침상 전자 방출 물질 막을 형성하는 단계, 기판의 상부에 그래파이트 접착제로 이루어진 그래파이트 캐소드를 형성하는 단계 및 상기 기판의 그래파이트 캐소드와 상기 템플리트의 침상 전자 방출 물질 막을 접촉시켜, 상기 템플리트에 형성된 침상 전자 방출 물질 막을 상기 그래파이트 캐소드로 전사하는 단계를 포함한다.
또한, 본 발명의 제 3 측면에 따른 전자 방출원의 제조 방법은 템플리트에 침상 전자 방출 물질 막을 형성하는 단계, 기판의 상부에 캐소드를 형성하는 단계, 상기 침상 전자 방출 물질 막의 상부에 접착물질을 도포하는 단계 및 상기 기판의 캐소드와 상기 침상 전자 방출 물질 막에 도포된 접착물질을 접촉시켜, 상기 템플리트에 형성된 침상 전자 방출 물질 막을 상기 캐소드로 전사하는 단계를 포함한다.
또한, 본 발명의 제 4 측면에 따른 전자 방출원은 전자 방출원은 기판, 상기 기판의 상부에 형성되며, 접착물질을 어닐링하여 형성한 캐소드 및 상기 캐소드의 접착성에 의하여 상기 캐소드에 고정된 침상 전자 방출 물질을 포함한다.
전술한 본 발명의 과제 해결 수단 중 어느 하나에 의하면, 그래파이트 캐소드의 구성에 따라 CNT와 캐소드를 접착시킬 수 있다. 이러한 접착 방식은 매우 확고한 기계적 고정과 더불어 전기적 접촉, 즉 오믹(ohmic) 접촉을 허용한다. 또한, 그래파이트 캐소드를 이용할 경우, 완전 소성 후 아웃개싱(outgasing)이 매우 적기 때문에, 진공이 요구되는 전계 방출구조에 매우 효과적이다.
또한, 전술한 본 발명의 과제 해결 수단 중 어느 하나에 의하면, 캐소드에 형성되는 전자 방출 물질의 형태를 다양하게 변형시킬 수 있어, 다양한 형태의 전자 방출원을 제고할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 방출원의 구조를 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 방출원의 단면 구조를 도시한 도면이다.
도 3a 내지 도 3e는 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 방출원의 제조 방법을 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 전자 방출원의 구조를 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 전자 방출원의 구조를 도시한 도면이다.
도 6a 내지 도 6i는 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 방출원의 제조 방법을 도시한 도면이다.
도 7a 내지 도 7d는 소정 패턴의 돌출부를 이용한 전자 방출원의 제조 공정을 도시한 도면이다.
도 8a 내지 도 8d는 전사 및 패터닝 과정을 통한 전자 방출원의 제조 공정을 도시한 도면이다.
도 9a 내지 도 9g는 본 발명의 다른 실시예에 따라 전자 방출원을 제조하는 공정을 도시한 도면이다.
도 10a 내지 도 10d는 본 발명의 다른 실시예에 따라 전자 방출원을 제조하는 공정을 도시한 도면이다.
도 11a 내지 도 11e는 본 발명의 다른 실시예에 따라 전자 방출원을 제조하는 공정을 도시한 도면이다.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 방출원을 포함하는 응용장치를 도시한 도면이다.
도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 방출원을 포함하는 응용장치를 도시한 도면이다.
도 14는 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 방출원을 포함하는 응용장치를 도시한 도면이다.
아래에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 "전기적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. 또한 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
본 발명은 침상 전자 방출 물질(needle-shaped electron emission material)을 이용한다. 침상 전자 방출 물질에는 속이 빈 나노튜브, 속이 채워진 나노 로드, 나노 와이어, 파이버, 나노 파이버, 나노 파티클 등이 있으며, 그 대표적인 재료는 탄소이며, 그 외에 금속 물질에 의해 제조될 수도 있다. 이하의 실시예의 설명에서는 침상 전자 방출 물질의 대표적인 물질인 CNT(carbon nanotube)를 중심으로 설명한다. 그러나 침상으로서 전자 방출이 가능한 모든 물질이 적용될 수 있으며, 따라서 침상 전자 방출 물질의 특정한 예에 본 발명이 제한되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 방출원의 구조를 도시한 도면이다.
전자 방출원(1)은 기판(10), 기판(10) 위에 형성된 그래파이트 캐소드(20), 그래파이트 캐소드(20)위에 형성된 침상 전자 방출 물질 막(30)을 포함한다.
그래파이트 캐소드(20)는 그래파이트 접착제(graphite adhesive)를 이용해 제조된 것으로, 그래파이트 접착제는 그래파이트 분말(gahphite powder)에 적절한 양의 유기 바인더가 포함된 것이다. 유기 바인더는 경화과정을 통해 제거된다. 바람직하게는, 그래파이트 분말과 유기 바인더를 대략 7:3 정도의 무게 비율로 혼합하여 형성하며, 그 비율은 필요에 따라 적절히 조절할 수 있다.
이와 같이 그래파이트 접착제를 이용하여 형성한 그래파이트 캐소드(20)는 그 자체가 접착성을 가지게 된다. 즉, 그래파이트 접착제를 기판에 도포한 후 이를 포토리소그래피법으로 패터닝하고, 이를 에천트(etchant) 등으로 연화 처리할 경우 그 표면에 적절한 접착성을 부여할 수 있다. 또한, 그래파이트 접착제를 캐소드의 형태로 스크린 프린팅한 후 소프트 어닐링함으로써 그 표면에 적절한 접착성을 부여할 수 있다.
따라서, 침상 전자 방출 물질 막(30)을 그래파이트 캐소드(20) 상에 고정시키는 데 있어서, 별도의 접착물질이 불필요하게 된다.
이때, 그래파이트 캐소드(20)는 복층의 구조를 가질 수 있는데, 예를 들어 그래파이트 캐소드(20)의 하부에 도전성 베이스 라인이 더 마련될 수 있으며, 이 베이스 라인은 캐소드의 일부로 이해될 수 있다.
한편, 도 1의 실시예에서는 그래파이트 캐소드(20)를 예시적으로 설명하고 있으나, 접착물질에 의하여 형성된 캐소드를 통해 전자 방출원을 형성할 수 있다. 즉, 그래파이트 접착제, 은(Ag) 페이스트, 솔더(solder) 페이스트 및 전도성 에폭시, 그 외에 바인더를 함유한 유, 무기 접착제 등을 이용하여, 캐소드 형태로 패터닝하고, 어닐링을 수행하는 공정을 통해 접착성이 있는 캐소드를 형성할 수 있다. 이와 같이 본원 발명의 일 실시예에서는, 접착성이 있는 캐소드를 형성하여 전자방출물질을 캐소드에 고정시키고자 한다.
이하에서는 그래파이트 접착제를 주로 포함하는 그래파이트 캐소드을 예로 들어 본 발명의 내용을 설명하기로 한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 방출원의 단면 구조를 도시한 도면이다.
도시된 바와 같이 침상 전자 방출 물질 막(30)은 침상 전자 방출 물질을 포함하며, 그래파이트 캐소드(20)에 의해 물리적으로 고정된다. 즉, 침상 전자 방출 물질 막(30)은 그래파이트 캐소드(20) 자체의 표면 부분에 고정되어 있다. 이러한 전자 방출 물질 막(30)의 고정은 그래파이트 캐소드(20)의 표면에 부여되는 접착성에 의한 것이며, 이러한 접착성은 후술하는 제조 방법에서 전자 방출 물질 막을 전사(transfer)할 때에, 템플리트로부터 전자 방출 물질을 확실하게 그래파이트 캐소드(20)로 옮기는데 기여한다.
그래파이트 캐소드(20)의 하부에는 적어도 하나의 다른 도전층이 존재할 수 있으며, 이는 캐소드의 일부로 이해될 수 있다. 따라서, 실시예들의 기술적 범위는 캐소드의 구조, 예를 들어, 단일층의 구조, 이종 또는 동종 물질막에 의한 다층 구조 등의 특정한 구조에 의해 제한되지 않는다.
이제, 도 1에 도시된 전자 방출원의 제조 방법을 설명하기로 한다.
도 3a 내지 도 3e는 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 방출원의 제조 방법을 도시한 도면이다.
도 3a에 도시된 바와 같이, 먼저 전자 방출 물질 막을 형성하기 위해, CNT 콜로이드 현탁액을 여과 템플리트(40)에 도포한 후, 이를 건조시켜 전자 방출 물질 막(32)을 형성한다.
CNT 콜로이드 현탁액은 용매 및 계면활성제에 분말 상태의 CNT를 분산시켜 만든 콜로이드 상태의 액체이다. 보다 고른 분산을 위해 초음파 처리하는 공정을 추가할 수 있다.
여과 템플리트(40)로는 테프런, 세라믹, AAO(Anodic Aluminum Oxide), 폴리카보네이트 등의 재료로 된 것을 사용한다. 여과 템플리트(40)는 CNT 콜로이드 현탁액을 여과하고, 그 표면에 CNT만 남기게 된다. 따라서, CNT 콜로이드 현탁액을 건조시킨 후, CNT 만 소정 패턴으로 잔류시켜 판상 캐소드로 전사할 수 있다.
CNT에는 SWCNT(Single-Walled Carbon Nanotube), DWCNT(Double-Walled Carbon Nanotube), 얇은 MWCNT(Multi-Walled Carbon Nanotube), 두꺼운 MWCNT 등이 포함될 수 있다. 용매로는 ethanol, dimethyl formamide, tetrahydrofuran, dimethyl acetamide, 1,2 dichloroethane, 1,2 dichlorobenzene 등이 될 수 있다.
그리고, 계면활성제는 sodium dodecylbenzene sulfonate(NaDDBS C12H25C6H4SO3Na), sodium butylbenzene sulfonate (NaBBS C4H9C6H4SO3Na), sodium benzoate(C6H5CO2Na), sodium dodecyl sulfate (SDS; CH3(CH2)11OSO3Na), Triton X-100 (TX100; C8H17C6H4(OCH2CH2)n-OH; n 10), dodecyltrimethylammonium bromide (DTAB; CH3(CH2)11N(CH3)3Br), 아라비아 고무(Arabic Gum) 중의 어느 하나가 될 수 있다.
도 3a에 도시된 바와 같이, 여과지(filter) 등으로 된 여과 템플리트(40)에 현탁액을 소정 패턴으로 도포한 후 이를 건조시켜 전자 방출 물질 막(32)을 형성한다. 현탁액의 도포 영역은 전자 방출원의 캐소드의 형태에 따라 다양한 변화가 가능하다. 여기에서, 현탁액의 용매와 계면활성제 및 CNT의 비율 또는 농도를 제어함으로써 CNT 밀도를 자유로이 조절할 수 있다. 또한, 주변의 전기적 조건에 따른 최적의 전자방출 밀도 구현이 가능하고, 이러한 최적의 조건을 반복 재현할 수 있으며, 균질한 밀도의 CNT 막을 형성할 수 있다. 현탁액을 여과 템플리트(40)에 형성하면, CNT만 잔류하고 액상 물질은 여과 템플리트를 통과한다. 이 상태에서 건조 과정을 진행하면 여과 템플리트(40) 표면에 전자 방출 물질 막(32)이 형성된다. 건조 과정은 상온 또는 고온 상태에서 자연 건조 또는 진공 건조 과정을 포함할 수 있다.
이와 같이 형성된 전자 방출 물질 막(32)을 그래파이트 캐소드(20)상에 직접 전사하여 전자 방출원을 형성할 수 있다. 또한, 그래파이트 캐소드(20)상에 전사되는 전자 방출 물질 막(32)의 모양을 특정시키고자 하는 경우, 다음에 설명하는 마스크를 이용한 전사 공정을 사용할 수 있다.
도 3b에 도시된 바와 같이, 미리 설정된 모양의 윈도우(52)를 갖는 마스크(50)를 이용하여 전사 공정을 수행하도록 한다. 마스크(50)는 금속이나 플라스틱 박판으로 제조될 수 있다. 윈도우(52)는 도시된 바와 같은 사각형 외에도 슬릿형으로 형성될 수 있으며, 삼각형 또는 오각형 등의 다각형 또는 원형, 타원형, 별모양 등의 다양한 형태를 가질 수 있다. 이러한 형태는 본 발명의 기술적 범위를 제한하지 않는다.
다음으로, 도 3c에 도시된 바와 같이, 기판(10)을 준비한 후에 그래파이트 캐소드(20)를 형성한다. 그래파이트 캐소드(20)는 그래파이트 접착제를 이용해 제조된 것으로, 그래파이트 접착제는 그래파이트 분말에 적절한 양의 유기 바인더가 포함된 것이다.
이와 같이 그래파이트 접착제를 이용하여 형성한 그래파이트 캐소드(20)는 그 자체가 접착성을 가지게 된다. 즉, 그래파이트 접착제를 기판에 도포한 후 이를 포토리소그래피법으로 패터닝하고, 이를 에천트(etchant) 등으로 연화 처리할 경우 그 표면에 적절한 접착성을 부여할 수 있다. 또한, 그래파이트 접착제를 캐소드의 형태로 스크린 프린팅한 후 소프트 어닐링함으로써 그 표면에 적절한 접착성을 부여할 수 있다. 이때, 접착제가 완전히 경화되지 않은 반경화 상태를 갖도록 소프트 어닐링을 수행한다.
다음으로, 도 3d에 도시된 바와 같이, 기판(10)의 그래파이트 캐소드(20) 상부에 마스크(50)를 배치한 후, 전자 방출 물질 막(32)이 형성된 여과 템플리트(40)를 뒤집어서 압착한다. 이러한 공정에 따라, 여과 템플리트(40)에 부착된 전자 방출 물질 막(32)이 윈도우(52)를 통해 그래파이트 캐소드(20)와 접촉하게 된다. 이때, 그래파이트 캐소드(20)는 표면에 접착성을 가지고 있으므로, 윈도우(52)를 통과한 전자 방출 물질은 그래파이트 캐소드(20)의 표면에 고정된다. 이 상태에서 마스크(50)와 여과 템플리트(40)를 분리하면, 캐소드(20)의 표면에 전자 방출 물질이 선택적으로 전사된다. 따라서, 도 3e에 도시된 바와 같이, 그래파이트 캐소드(20) 상의 소망하는 위치에, 소망하는 형상으로 전자 방출 물질 막(30)을 형성할 수 있다.
한편, 상기와 같은 과정을 거친 전자방출물질 막에 대하여 일반적인 표면처리, 예를 들어 테이핑 또는 폴리머 몰딩 등을 수행함으로써, 전자방출물질을 캐소드에 대하여 수직으로 정렬할 수 있다. 다른 방법으로는 전자방출물질 막의 표면을 접착성을 가진 롤러를 이용해 롤링함으로써 전자방출물질을 일으켜 세울 수 있다.
또한, 추가적으로 전자 방출 물질이 전사된 후에 최종 열처리를 통해, 그래파이트 접착제를 완전 경화시킨다. 이와 같은 공정을 통해 전자 방출 물질이 캐소드에 고정될 수 있다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 전자 방출원의 구조를 도시한 도면이다.
도시된 전자 방출원은 기판(10), 기판(10) 위에 형성된 복수의 그래파이트 캐소드(22), 그래파이트 캐소드(22)위에 형성된 침상 전차방출물질 막(34)을 포함한다.
복수의 그래파이트 캐소드(22)는 기판(10) 상부에 서로 평행하게 배치되고, 각 그래파이트 캐소드(22) 상부에 복수의 침상 전자 방출 물질 막(34)이 소정 간격을 유지한 상태로 배치된다.
이러한 구성의 전자 방출원은 디스플레이 장치의 매트릭스상 전자 방출원 구조체, 즉 캐소드 플레이트에 사용될 수 있다. 이를 위해, 침상 전자 방출 물질 막(34)은 디스플레이의 단위 화소에 대응하도록 배치된다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 전자 방출원의 구조를 도시한 도면이다.
도시된 전자 방출원은 기판(10), 기판(10) 위에 형성된 복수의 그래파이트 캐소드(24), 그래파이트 캐소드(24)위에 형성된 침상 전차방출물질 막(36)을 포함한다.
복수의 그래파이트 캐소드(24)는 기판(10) 상부에 서로 평행하게 배치되고, 각 그래파이트 캐소드(24) 상부에 침상 전자 방출 물질 막(36)이 배치된다. 도 4의 실시예와 달리, 스트라이프 형태의 침상 전자 방출 물질 막(36)이 각 그래파이트 캐소드(24)를 따라 형성된 구조이다.
도 6a 내지 도 6i는 도 4에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 방출원의 제조 방법을 도시한 도면이다.
도 6a에 도시된 바와 같이, 먼저 전자 방출 물질 막을 형성하기 위해, CNT 콜로이드 현탁액을 여과 템플리트(40)에 도포한 후, 이를 건조시켜 전자 방출 물질 막(32)을 형성한다. CNT 콜로이드 현탁액은 용매 및 계면활성제에 분말 상태의 CNT를 분산시켜 만든 콜로이드 상태의 액체이다. 보다 고른 분산을 위해 초음파 처리하는 공정을 추가할 수 있다. 현탁액과 CNT에 대한 보다 상세한 사항은 도 3a에서 설명한 바와 같다.
다음으로, 도 5b에 도시된 바와 같이, 전자 방출 물질 막(32)을 충분히 덮을 정도의 면적을 가지는 박판에 다수의 윈도우(54)가 형성된 마스크(50)를 준비한다. 각 윈도우(54)는 전자소자, 예를 들어 전계방출 디스플레이의 각 단위화소에 대응하는 것이며, 후술하는 캐소드의 배열에 일치하여야 한다. 여기에서, 상기 윈도우가 슬릿형인 경우 도 5에 도시된 바와 같은 스트라이프형 전자 방출 물질 막(36)을 형성할 수 도 있다.
다음으로, 도 6c에 도시된 바와 같이, 기판(10)의 표면에 그래파이트 접착제막(21)을 형성한 후, 소프트 어닐링하여 외부 형태를 유지하면서도 적절한 접착성을 갖도록 한다.
다음으로, 도 6d에 도시된 바와 같이, 그래파이트 접착제막(21)을 패터닝하여 서로 나란하게 배치된 복수의 그래파이트 캐소드(22)를 형성한다. 이와 같은 구조는 도 6c의 과정을 생략하고, 단순한 스크린프린팅 공정에 의해서도 형성 가능하다.
다음으로, 도 6e에 도시된 바와 같이, 그래파이트 캐소드(22)가 형성된 기판(10)과 전자 방출 물질 막(36)이 형성된 여과 템플리트(40) 사이에 마스크(50)를 배치하고, 여과 템플리트(40)를 기판(10)에 가압하여 전자 방출 물질 막(32)이 마스크(50)의 윈도우(54)를 통해 선택적으로 전사되도록 한다. 전사가 완료된 후 최종 열처리를 통해 그래파이트 캐소드(22)를 완전 경화한다.
도 6f는 앞선 단계(도 6a ~ 도 6e)의 과정을 통해 형성된 매트릭스상 전자 방출원 구조체(캐소드 플레이트)를 도시한 것으로, 도 4의 구조와 기본적인 구조는 동일하다.
도 6g는 디스플레이 장치에 사용되는 게이트 플레이트(60)를 도시한다. 게이트 플레이트(60)는 별도의 공정을 통해 제조된 것으로, 그래파이트 캐소드(22)에 직교하는 게이트(62)와 전자 방출 물질 막(34)에 대응하는 위치에 형성된 다수의 게이트 홀(64)을 포함한다.
도 6h는 디스플레이 장치에 사용되는 스페이서 플레이트(70)를 도시한다. 스페이서 플레이트(70)는 게이트 플레이트(60)와 캐소드 플레이트(10) 사이에 배치된다. 스페이서 플레이트(70)는 게이트 홀(64)에 대응하는 위치에 형성된 다수의 관통공(72)을 포함한다. 디스플레이에 사용되는 스페이서는 판상의 스페이서 플레이트(70)외에 부분적인 기둥(pillar) 또는 바(bar) 형태의 스페이서로 대체될 수 있는데, 이는 본 발명의 기술적 범위를 제한하지 않는다.
도 6i는 디스플레이의 기본적인 적층 구조를 개략적으로 도시한다. 캐소드 플레이트(10)와 애노드 플레이트(80) 사이에 스페이서 플레이트(70) 및 게이트 플레이트(60)를 배치한다. 애노드 플레이트(80)의 내면에는 애노드(미도시 됨)가 형성되며, 그 표면에 형광체층이 마련될 수 있다. 애노드 플레이트(80) 아래에 도시된 점선의 블록은 애노드 플레이트(80)와 게이트 플레이트(60) 간의 간격 유지를 위한 스페이서를 상징적으로 나타내며, 이는 다양한 형태를 가질 수 있다.
한편, 상기 구조는 디스플레이뿐만 아니라 매트릭스 스위치 어레이로 사용될 수 있으며, 이러한 경우 애노드에 형광체층을 구비하지 않아도 된다.
전술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 현탁액 필터링법을 사용하여 형성된 전자 방출 물질 막을 마스크를 이용하여 전사함으로써, 용이하게 소정 패턴의 전자 방출 물질막을 형성할 수 있다. 이때, 그래파이트 캐소드의 표면 자체에 접착성이 부여되므로 전자 방출 물질 막이 캐소드에 대하여 안정되게 고정될 수 있다.
한편, 지금까지는 마스크를 이용하는 전사법에 의해 전자 방출 물질 막을 캐소드 상에 형성하는 방법을 설명하였으나, 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 소위 임프린트법 또는 리소그래피법을 사용하여 원하는 패턴의 전자 방출 물질 막을 캐소드 상에 형성할 수 있다.
도 7a 내지 도 7d는 소정 패턴의 돌출부를 이용한 전자 방출원의 제조 공정을 도시한 도면이다.
먼저, 도 7a에 도시된 바와 같이, PDMS 등의 폴리머를 이용하여 소정 패턴의 돌출부(43)를 갖는 템플리트 기판(42)을 준비한다.
다음으로, 도 7b에 도시된 바와 같이, 돌출부(43)를 전자 방출 물질 막 또는 전자 방출 물질을 포함하는 현탁액에 가압 또는 접촉하여, 돌출부(43)의 상면에 전자 방출 물질 막(38)을 형성한다.
다음으로, 도 7c에 도시된 바와 같이, 그래파이트 접착제를 이용하여 형성된 그래파이트 캐소드(21)에 템플리트 기판(42)을 가압하여 돌출부(43)의 상면에 형성된 전자 방출 물질 막(38)을 그래파이트 캐소드(21)로 전사한다.
도 7d는 그래파이트 캐소드(21) 상부에 전자 방출 물질 막(38)이 형성된 전자 방출원을 도시한다. 이때, 그래파이트 캐소드(21)는 도 4 또는 도 5에 도시된 바와 같이 복수의 캐소드를 포함하는 어레이 형태로 구현될 수 있다.
도 8a 내지 도 8d는 전사 및 패터닝 과정을 통한 전자 방출원의 제조 공정을 도시한 도면이다.
도 8a에 도시된 바와 같이, CNT 콜로이드 현탁액을 여과 템플리트(40)에 도포한 후, 이를 건조시켜 전자 방출 물질 막(32)을 형성한다. CNT 콜로이드 현탁액의 상세 구성은 앞서 설명한 바와 같다.
다음으로, 도 8b에 도시된 바와 같이, 여과 템플리트(40)를 그래파이트 캐소드(21)가 형성된 기판(10)과 대향시킨다.
다음으로, 도 8c에 도시된 바와 같이, 여과 템플리트(40)를 기판(10)에 대해 가압하여, 여과 템플리트(40)의 전자 방출 물질 막(32)이 그래파이트 캐소드(21)의 상부로 전사되도록 한다.
다음으로, 도 8d에 도시된 바와 같이, 그래파이트 캐소드(21)상에 형성된 전자 방출 물질 막(32)에 대하여, 소정 패턴의 리소그래피법을 이용하여 에칭 또는 패터닝을 수행함으로써 원하는 형태의 전자 방출원을 제작할 수 있다. 이때, 리소그래피법으로는 포토리소그래피 또는 전자빔 리소그래피 등의 공지의 여러 방법이 적용될 수 있다.
전술한 본 발명에 따르면, 침상 전자 방출 물질이 그래파이트 캐소드에 의해 고정되는데, 이는 매우 확고한 기계적 고정과 더불어 전기적 접촉, 즉 오믹 접촉을 허용한다. 특히, 침상 전자 방출 물질이 탄소나노튜브인 경우, 그래파이트 캐소드와의 오믹 접촉이 더욱 크게 향상된다. 한편, 그래파이트 캐소드를 이용할 경우, 완전 소성 후 아웃개싱(outgasing)이 매우 적기 때문에, 진공이 요구되는 전계 방출구조에 매우 효과적이다.
도 9a 내지 도 9g는 본 발명의 다른 실시예에 따라 전자 방출원을 제조하는 공정을 도시한 도면이다.
본 실시예에서는 임프린트(imprint) 방법을 이용하여, 사용자가 원하는 패턴의 전자 방출원을 형성하도록 한다.
먼저, 도 9a에 도시된 바와 같이, 기판(90)상에 접착성 도전물질(96)을 도포하고, 몰드 기판(92)을 가압하여 접착성 도전물질(96)이 몰드 기판(92)의 형상에 따라 형성되도록 한다.
이때, 몰드 기판(92)은 실리콘 기판을 소정의 패턴 대로 식각하여 형성한다. 또한, 몰드 기판(92)에는 해제층(94)을 도포하여, 접착성 도전물질(96)의 임프린트 공정 후 몰드 기판(92)이 용이하게 해제되도록 한다.
또한, 접착성 도전물질로는 금속입자와 유기접착체의 복합체로 이루어진 등방성 도전성 접착제(ICA: isotropic conductive adhesive)를 사용할 수 있다. 금속입자로는 은, 니켈, 구리, 알루미늄 또는 금 등 다양한 금속이 사용될 수 있다.
다음으로, 도 9b에 도시된 바와 같이, 몰드 기판(92)을 접착성 도전물질(96)이 도포된 기판(90)에 가압하여, 접착성 도전물질(96)이 몰드 기판(92)의 주형의 형상을 갖도록 한다. 이때, 접착성 도전물질(96)이 소정의 높이를 갖는 원뿔 형상을 갖도록 주형을 형성할 수 있다.
다음으로, 도 9c에 도시된 바와 같이, 몰드 기판(92)을 기판(90)으로부터 해제시키면, 접착성 도전물질(96)이 몰드 기판(92)의 주형대로 형성됨을 확인할 수 있다.
다음으로, 도 9d에 도시된 바와 같이, 대상 기판(10)을 기판(90)과 대향하도록 배치시켜, 대상 기판(10)을 가압하면, 접착성 도전물질(96)의 접착성으로 인하여, 접착성 도전물질(96)의 일부가 대상 기판(10)에 접착된다.
다음으로, 도 9 e에 도시된 바와 같이, 대상 기판(10)을 기판(90)으로부터 해제시키면, 접착성 도전물질(96)의 일부(26)가 분리되어 대상 기판(10)에 접착된 상태를 유지할 수 있다. 이때, 접착성 도전물질(96)은 소정의 높이를 갖도록 형성되어 있으므로, 분리된 접착성 도전물질의 일부(26)도 어느 정도의 높이를 갖게 된다. 이러한 접착성 도전물질은 전자 방출원의 캐소드(26)로서 기능할 수 있다.
다음으로, 도 9f에 도시된 바와 같이, 접착성 도전물질로 이루어진 캐소드(26)에 전자 방출 물질을 접착시킨다. 이를 위해, 전자 방출 물질 막(32)이 형성된 여과 템플리트(40)와 캐소드(26)가 형성된 대상 기판(10)을 대향시킨다.
다음으로, 도 9g에 도시된 바와 같이, 여과 템플리트(40)를 대상 기판(10)에 가압하면, 전자 방출 물질 막(32)의 일부가 접착성이 있는 캐소드(26)에 접착되어 전자 방출 물질 막(32)으로부터 분리된다.
이와 같이 임프린트 공정을 이용함에 따라, 사용자가 원하는 형상의 접착성 있는 캐소드(26)를 형성할 수 있게 된다. 그리고, 이와 같이 형성된 캐소드(26)에 전자 물질 막(32)을 접착시켜 CNT 전자 방출원을 제조할 수 있다.
도 10a 내지 도 10d는 본 발명의 다른 실시예에 따라 전자 방출원을 제조하는 공정을 도시한 도면이다.
본 실시예에서는 전자 방출 물질 막과 캐소드를 접착시키는 방법에 있어서, 접착성을 캐소드가 아닌 전자 방출 물질 막에 제공하는 구성을 사용한다. 앞선 실시예에서는 캐소드에 접착성을 제공하기 위해, 그래파이트 접착제를 사용하거나 접착성 도전물질을 임프린팅 하는 방법을 사용하였다. 그러나, 본 실시예에서는 전자 방출 물질에 접착성을 제공하여 캐소드 형성 공정을 더욱 단순화시키도록 한다.
먼저, 도 10a에 도시된 바와 같이, 전자 방출 물질 막(32)이 형성된 템플리트(40)를 준비한다.
다음으로, 도 10b에 도시된 바와 같이, 전자 방출 물질 막(32)의 상부에 접착물질(100)을 도포한다. 예를 들어, 도 9의 실시예에서 설명한 접착성 도전물질을 접착물질(100)로서 사용할 수 있다. 또는, 접착물질(100)은 니켈, 카본 안료 등의 전도성 파우더와 아크릴 에스테르 폴리올 혼성 중합체(acrylic ester polyol copolymer)등의 접착수지와의 혼합물로 이루어진 전도성 테이프일 수 있다.
다음으로, 도 10c에 도시된 바와 같이, 캐소드(28)가 형성된 기판(10)을 여과 템플리트(40)와 대향시킨다. 캐소드(28)는 도전성이 있는 물질로 형성하며, 통상적으로 사용되는 패터닝 방법에 따라 다양한 형태로 형성될 수 있다. 이때, 접착성을 향상시키기 위하여 캐소드(28)에 대해서도 접착성을 추가적으로 제공할 수 있다. 즉, 앞서 설명한 그래파이트 접착제를 이용하여 캐소드를 형성하거나, 캐소드의 상부에 접착물질을 제공할 수 있다. 예를 들어, 접착물질은 니켈, 카본 안료 등의 전도성 파우더와 아크릴 에스테르 폴리올 혼성 중합체(acrylic ester polyol copolymer)등의 접착수지와의 혼합물로 이루어진 전도성 테이프일 수 있다. 또는, 도 9의 실시예에서 설명한 접착성 도전물질을 사용할 수 있다.
다음으로, 도 10d에 도시된 상태에서, 기판(10)과 여과 템플리트(40)를 접촉시키면, 캐소드(28)의 상부에 전자 방출 물질 막(32)을 접착시킬 수 있다.
한편, 이와 같은 구성에서 마스크를 이용한 전사 방법을 사용하면, 사용자가 원하는 모양의 전자 방출원 형성이 가능하다.
도 11a 내지 도 11e는 본 발명의 다른 실시예에 따라 전자 방출원을 제조하는 공정을 도시한 도면이다.
본 실시예는 캐소드 대신 전자 방출 물질에 접착성을 제공하는 방법에 대한 것으로, 사용자가 원하는 모양의 전자 방출원 형성을 위하여, 마스크를 이용하는 방법을 제시한다.
먼저, 도 11a에 도시된 바와 같이, 전자 방출 물질 막(32)이 형성된 템플리트(40)를 준비한다.
다음으로, 도 11b에 도시된 바와 같이, 전자 방출 물질 막(32)의 상부에 접착물질(100)을 도포한다. 예를 들어, 접착성 도전물질을 접착물질(100)로서 사용할 수 있다.
다음으로, 도 11c에 도시된 바와 같이, 기판(10)과 여과 템플리트(40) 사이에 소정 모양의 윈도우(52)를 포함하는 마스크(50)를 배치한다. 이때, 기판(10)에 형성된 캐소드(28) 또한 소정 모양을 갖도록 패터닝된 상태일 수 있다. 또한, 캐소드(28)는 도전성이 있는 물질로 형성하며, 통상적으로 사용되는 패터닝 방법에 따라 다양한 형태로 형성될 수 있다. 이때, 캐소드(28)에는 접착성을 제공하지 않는다.
다음으로, 도 11d에 도시된 바와 같이, 기판(10)과 여과 템플리트(40)를 접촉시킨다. 이러한 공정에 따라, 여과 템플리트(40)에 부착된 전자 방출 물질 막(32)이 윈도우(52)를 통해 캐소드(28)와 접촉하게 된다. 이때, 전자 방출 물질 막(32)은 표면에 접착성을 가지고 있으므로, 윈도우(52)를 통과한 전자 방출 물질은 캐소드(28)의 표면에 고정된다.
다음으로, 도 11e에 도시된 바와 같이, 마스크(50)와 여과 템플리트(40)를 분리하면, 캐소드(28)의 표면에 전자 방출 물질이 선택적으로 전사된다. 따라서, 캐소드(28) 상의 소망하는 위치에, 소망하는 형상으로 전자 방출 물질 막(30)을 형성할 수 있다.
이러한 본 발명의 실시예는 램프, 표시장치, 평판 디스플레이용 백라이트 장치, X-ray 장치용 전자 소스, 고출력 마이크로 웨이브용 전자 소스, 전자 현미경용 전자 소스, 전자빔 리소그래피용 전자 소스 등의 제조에 적용할 수 있다. 또한 선택적인 개별 셀의 독립 구동이 가능함으로써, 집적진공소자 구현이 가능하다.
도 12는 본 발명의 실시예에 따른 전자 방출원을 포함하는 응용장치를 도시한 도면이다.
도시된 응용 장치(200)는 전자 방출원을 포함하는 디스플레이 장치 또는 디스플레이 장치의 백라이트 유닛(BLU) 등으로 사용될 수 있다.
응용 장치(200)는 기판(230)상에 형성된 캐소드(232), 캐소드 상부에 접착되어 전자 방출원으로서 기능하는 침상 전자 방출 물질(220), 전면판(210), 침상 전자 방출 물질(220)에서 방출된 전자가 도달하는 애노드(212), 형광체층(214)을 포함한다. 또한, 침상 전자 방출 물질(220)을 개방하는 관통구를 포함하는 절연층(234), 전자의 추출을 위한 그리드(236)를 포함한다. 이와 같은 구성에 따라, 캐소드의 전자 방출 물질(220)로부터 방출된 전자를 애노드(212)에 인가된 전압으로 가속시켜 형광체층(214)에 충돌시켜 발광이 일어나도록 한다. 이와 같은 자체 발광 구조를 FED와 같은 자체 발광형 디스플레이에 적용하거나, 자체 발광형이 아닌 LCD의 백라이트로 적용할 수 있다.
이때, 침상 전자 방출 물질(220)은 앞서 설명한 본 발명의 다양한 실시예를 통해 캐소드(232)에 고정된다. 즉, 그래파이트 캐소드의 구성을 통해 고정시키거나, 침상 전자 방출 물질(220)에 접착성을 제공하여 고정시킬 수 있다. 또한, 마스크를 이용하거나, 임프린트 방법 등을 이용하여 다양한 형상으로 제조할 수 있다.
도 13은 본 발명의 실시예에 따른 전자 방출원을 포함하는 응용장치를 도시한 도면이다.
도시된 응용 장치(300)는 전자 방출원을 포함하는 X 선 발생장치로 사용될 수 있다.
통상의 X 선 발생장치는 진공방전관을 사용하여 고전압하에서 가속한 전자를 방출하고, 방출된 전자를 타겟인 금속판에 충돌시켜 X 선을 발생시킨다. 그러나 상기와 같은 진공방전관은 많은 양의 전자를 방출하기 위해서는 그 부피가 매우 커지기 때문에 최근까지 전자 방출원으로 방사선 가속기인 싱크로트론이나 고출력 레이저와 고체 타겟을 이용하는 레이저-플라즈마 또는 열전자 방출소자를 주로 사용하고 있다. 그리고, 최근에는 종래의 X 선 발생장치에서 발생하는 문제점들을 해결하기 위하여 전자 방출원으로서 탄소나노튜브를 이용하고자 하는 연구가 지속되고 있다.
응용 장치(300)는 캐소드(312), 침상 전자 방출 물질(314) 및 애노드(316)를 포함하는 전자 방출원(310), 전원 공급 장치(334, 336), 타겟(330), 글라스 필터(332), 챔버(338)를 포함한다.
침상 전자 방출 물질(314)은 애노드(316)와 캐소드(312)에 인가되는 전압에 따라 전자를 방출하고, 방출된 전자는 애노드(316)에 형성된 관통구를 통과하여 타겟(330)과 충돌한다. 타겟(330)과 전자의 충돌에 의하여 발생한 X선은 글라스 필터(332)를 통과하여 외부로 방출된다.
이때, 침상 전자 방출 물질(314)은 앞서 설명한 본 발명의 다양한 실시예를 통해 캐소드(312)에 고정된다. 즉, 그래파이트 캐소드의 구성을 통해 고정시키거나, 침상 전자 방출 물질(314)에 접착성을 제공하여 고정시킬 수 있다. 또한, 마스크를 이용하거나, 임프린트 방법 등을 이용하여 다양한 형상으로 제조할 수 있다.
도 14는 본 발명의 실시예에 따른 전자 방출원을 포함하는 응용장치를 도시한 도면이다.
도시된 응용 장치(400)는 전자빔 리소그래피 장치 또는 전자 현미경의 전자 방출원 또는 전자총으로서 사용될 수 있다.
통상적인 전자빔 리소그래피 장치는 전자 방출원(400)에서 발생된 전자들의 빔(430)을 레티클(미도시 됨) 상에 전달하여, 레티클 상에 마련된 레지스트 층 상에 패턴 레이아웃을 전사한다. 이때, 전자빔(430)의 크기 조절, 조사 위치의 제어, 모양의 조절, 경로 조절 등을 위해, 다양한 형태의 렌즈 시스템, 어퍼처(aperture), 디플렉터(deflector)가 추가적으로 구비된다.
또한, 통상적인 전자 현미경은 전자 방출원(400)으로부터 방출된 전자빔을 전자 렌즈로 축소하여, 시료면 상에 미소한 전자 프로브를 결상시키는 동시에, 편향기에 의해 시료상의 전자 프로브의 이동 및 주사를 행하기 위한 전자 광학계, 시료실과 이들을 진공 유지하기 위한 배기계를 포함한다.
도시된 전자 방출원(400)은 침상 전자 방출 물질(412), 캐소드(410), 실린더(414), 애노드(420), 슬릿(422)을 포함한다.
침상 전자 방출 물질(412)과 캐소드(410)는 실린더(414)에 의하여 고정된다. 캐소드(410)와 애노드(420)에 인가되는 전압에 따라 침상 전자 방출 물질(412)에서 방출된 전자빔(430)은 애노드(420) 쪽으로 유도된 후 슬릿(422)을 통과한다.
이때, 침상 전자 방출 물질(412)은 앞서 설명한 본 발명의 다양한 실시예를 통해 캐소드(410)에 고정된다. 즉, 그래파이트 캐소드의 구성을 통해 고정시키거나, 침상 전자 방출 물질에 접착성을 제공하여 고정시킬 수 있다. 또한, 마스크를 이용하거나, 임프린트 방법 등을 이용하여 다양한 형상으로 제조할 수 있다.
전술한 본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.
본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.

Claims (24)

  1. 전자 방출원에 있어서,
    기판,
    상기 기판의 상부에 형성되며, 접착성이 있는 그래파이트 접착제(graphite adhesive)로 이루어진 그래파이트 캐소드, 및
    상기 그래파이트 캐소드에 고정된 침상 전자 방출 물질을 포함하는 전자 방출원.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 침상 전자 방출 물질은 SWCNT(Single-Walled Carbon Nanotube), DWCNT(Double-Walled Carbon Nanotube), MWCNT(Multi-Walled Carbon Nanotube), 나노 로드, 나노 와이어, 파이버, 나노 파이버 및 나노 파티클 중 적어도 하나 이상을 포함하는 것인 전자 방출원.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 그래파이트 접착제는 그래파이트 분말(gahphite powder)과 유기 바인더가 소정 비율로 혼합된 것인 전자 방출원.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 그래파이트 캐소드는 서로 나란히 배치된 복수의 캐소드를 포함하고,
    상기 침상 전자 방출 물질은 상기 복수의 캐소드 마다 고정된 것인 전자 방출원.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 그래파이트 캐소드와 대향하도록 배치되고, 상기 침상 전자 방출 물질에서 방출된 전자를 유도하는 애노드를 더 포함하는 전자 방출원.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 애노드에 적층되고, 상기 침상 전자 방출 물질에서 방출된 전자와의 충돌에 따라 발광하는 형광체층을 더 포함하는 전자 방출원.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 애노드에 형성되고, 상기 침상 전자 방출 물질에서 방출된 전자를 통과시키는 관통구를 더 포함하는 전자 방출원.
  8. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항의 전자 방출원을 포함하는 램프.
  9. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항의 전자 방출원을 포함하는 디스플레이 장치.
  10. 제 1 항 내지 제 5 항 및 제 7 항 중 어느 한 항의 전자 방출원을 포함하고, 상기 전자 방출원에서 방출된 전자를 타겟에 충돌시켜 X 선을 발생시키는 X 선 발생 장치.
  11. 제 1 항 내지 제 5 항 및 제 7 항 중 어느 한 항의 전자 방출원을 포함하는 전자빔 리소그래피 장치.
  12. 제 1 항 내지 제 5 항 및 제 7 항 중 어느 한 항의 전자 방출원을 포함하는 전자 현미경.
  13. 전자 방출원의 제조 방법에 있어서,
    (a) 템플리트에 침상 전자 방출 물질 막을 형성하는 단계,
    (b) 기판의 상부에 그래파이트 접착제로 이루어진 그래파이트 캐소드를 형성하는 단계, 및
    (c) 상기 기판의 그래파이트 캐소드와 상기 템플리트의 침상 전자 방출 물질 막을 접촉시켜, 상기 템플리트에 형성된 침상 전자 방출 물질 막을 상기 그래파이트 캐소드로 전사하는 단계를 포함하는 전자 방출원의 제조 방법.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 (b) 단계는,
    상기 기판의 상부에 그래파이트 접착제를 도포하는 단계 및
    상기 도포된 그래파이트 접착제를 소프트 어닐링하는 단계를 포함하는 전자 방출원의 제조 방법.
  15. 제 13 항에 있어서,
    상기 (b) 단계는,
    상기 기판의 상부에 그래파이트 접착제를 도포하는 단계,
    상기 도포된 그래파이트 접착제를 패터닝하여 서로 나란하게 배치된 복수의 그래파이트 접착제 층을 형성하는 단계, 및
    상기 형성된 복수의 그래파이트 접착제 층을 소프트 어닐링하는 단계를 포함하는 전자 방출원의 제조 방법.
  16. 제 13 항 내지 제 15 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 (b) 단계의 수행 후 (c) 단계의 수행 전에, 상기 그래파이트 캐소드의 상부에 소정 모양의 윈도우를 포함하는 마스크를 배치하는 단계를 더 포함하고,
    상기 (c) 단계는 상기 배치된 마스크의 윈도우의 형상에 대응하는 침상 전자 방출 물질을 상기 그래파이트 캐소드로 전사하는 것인 전자 방출원의 제조 방법.
  17. 제 13 항에 있어서,
    상기 (c) 단계의 수행 후 상기 기판에 대하여 어닐링을 수행하는 단계를 더 포함하는 전자 방출원의 제조 방법.
  18. 전자 방출원의 제조 방법에 있어서,
    (a) 템플리트에 침상 전자 방출 물질 막을 형성하는 단계
    (b) 기판의 상부에 캐소드를 형성하는 단계,
    (c) 상기 침상 전자 방출 물질 막의 상부에 접착물질을 도포하는 단계 및
    (d) 상기 기판의 캐소드와 상기 침상 전자 방출 물질 막에 도포된 접착물질을 접촉시켜, 상기 템플리트에 형성된 침상 전자 방출 물질 막을 상기 캐소드로 전사하는 단계를 포함하는 전자 방출원의 제조 방법.
  19. 제 18 항에 있어서,
    상기 (b) 단계는,
    상기 기판의 상부에 그래파이트 접착제를 도포하는 단계 및
    상기 도포된 그래파이트 접착제를 소프트 어닐링하여 상기 캐소드를 형성하는 단계를 포함하는 전자 방출원의 제조 방법.
  20. 제 18 항에 있어서,
    상기 (b) 단계는,
    상기 기판의 상부에 그래파이트 접착제를 도포하는 단계,
    상기 도포된 그래파이트 접착제를 패터닝하여 서로 나란하게 배치된 복수의 그래파이트 접착제 층을 형성하는 단계, 및
    상기 형성된 복수의 그래파이트 접착제 층을 소프트 어닐링하여 상기 캐소드를 형성하는 단계를 포함하는 전자 방출원의 제조 방법.
  21. 제 18 항 내지 제 20 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 (b) 단계의 수행 후 (c) 단계의 수행 전에, 상기 캐소드의 상부에 소정 모양의 윈도우를 포함하는 마스크를 배치하는 단계를 더 포함하고,
    상기 (c) 단계는 상기 배치된 마스크의 윈도우의 형상에 대응하는 침상 전자 방출 물질을 상기 캐소드로 전사하는 것인 전자 방출원의 제조 방법.
  22. 제 18 항에 있어서,
    상기 (d) 단계의 수행 후 상기 기판에 대하여 어닐링을 수행하는 단계를 더 포함하는 전자 방출원의 제조 방법.
  23. 전자 방출원에 있어서,
    기판,
    상기 기판의 상부에 형성되며, 접착물질을 어닐링하여 형성한 캐소드, 및
    상기 캐소드의 접착성에 의하여 상기 캐소드에 고정된 침상 전자 방출 물질을 포함하는 전자 방출원.
  24. 제 23 항에 있어서
    상기 접착물질은 그래파이트 접착제, 은(Ag) 페이스트, 솔더(solder) 페이스트 및 전도성 에폭시 중 적어도 하나 이상을 포함하는 것인 전자 방출원.
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