WO2011121947A1 - 複合磁性材料とそれを用いたコイル埋設型磁性素子およびその製造方法 - Google Patents
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Definitions
- the present invention relates to a composite magnetic material used for inductors, choke coils, transformers, and the like, and a coil-embedded magnetic element using the same.
- LSIs such as CPUs are high-speed and highly integrated, and a current of several A to several tens of A may be supplied to a power supply circuit supplied to the LSI. Therefore, magnetic elements used in these devices are also required to be reduced in size and to suppress inductance reduction due to DC superposition. Furthermore, the loss in the high frequency region is also required to be low due to the higher frequency used.
- the dust core produced by compression molding metal magnetic powder has excellent DC superposition characteristics, and can realize a large current and a small size.
- a coil-embedded magnetic element is known as one using such a dust core.
- metal magnetic powder is used for the composite magnetic material, it has excellent direct current superimposition characteristics and can realize downsizing of large current, but rust is generated depending on the surrounding environment. The generated rust may cause a short circuit of the circuit pattern.
- Patent Document 1 is known as prior art document information relating to this application.
- the present invention aims to ensure the weather resistance of the composite magnetic material.
- the present invention is a composite magnetic material comprising a metal magnetic powder, a binder resin, and an inorganic insulating material.
- the water absorption amount of the binder resin is A [ml] per 100 g of the composite magnetic material and the water absorption amount of the inorganic insulating material is B [ml] per 100 g of the composite magnetic material, A ⁇ B and B ⁇ 2.4. It is a composite magnetic material that satisfies the relationship [ml].
- the water absorption amount of the binding resin contained in the composite magnetic material is set to be smaller than the water absorption amount of the inorganic insulating material, and the water absorbed by the binding resin in contact with the metal magnetic powder is reduced by the inorganic insulation.
- FIG. 1 is a perspective view of a coil-embedded magnetic element according to Embodiment 1 of the present invention.
- FIG. 1 is a perspective view of a coil-embedded magnetic element according to Embodiment 1 of the present invention.
- the coil-embedded magnetic element includes a coil 2, a plurality of terminals 3, and a composite magnetic material 1, and is configured to have at least a part of the plurality of terminals 3 embedded in the composite magnetic material 1.
- the composite magnetic material 1 is composed of a metal magnetic powder, a binder resin, and an inorganic insulating material.
- the water absorption amount of the binder resin is A [ml] per 100 g of the composite magnetic material and the water absorption amount of the inorganic insulating material is B [ml] per 100 g of the composite magnetic material, A ⁇ B and B ⁇ 2.
- the relationship of 4 [ml] is established.
- the amount of water absorption [ml] is a value obtained by multiplying the amount of water absorption [ml / g] inherent to each binding resin and inorganic material by the weight of the binding resin and inorganic insulating material mixed in the metal magnetic powder. is there.
- the weather resistance of the composite magnetic material can be secured, and the deterioration of the magnetic properties can be prevented.
- Table 1 shows experimental data for evaluating the weather resistance of the composite material.
- the metal magnetic powder shown in Table 1 having an average particle size of 15 ⁇ m was prepared.
- a mixed powder in which the silicone resin shown in Table 1 was used as a binder resin and talc was mixed as an inorganic insulating material with respect to 100 g of this metal magnetic powder was produced.
- the mixed powder thus obtained was used for pressure molding at a molding pressure of 4 ton / cm 2 at room temperature to produce a molded body. Thereafter, thermosetting treatment was performed at 150 ° C. for 2 hours to produce a composite magnetic material.
- the water absorption amount of the binder resin described above is A [ml] per 100 g of the composite magnetic material
- the water absorption amount of the inorganic insulating material is B [ml] per 100 g of the composite magnetic material.
- sample No. 6 it is 20% or more lower than the initial permeability of sample No. 1.
- a coil-embedded magnetic element is manufactured using this composite magnetic material, it is necessary to increase the number of coil turns in order to obtain the same inductance value.
- the number of coil turns is increased, there is a problem that the direct-current resistance value is increased and the temperature heat generation is increased during circuit operation. Therefore, it is desirable to suppress the decrease in initial permeability to 20% or less.
- the filling rate of the metal magnetic powder is desirably 90% by volume or less.
- Table 2 shows another experimental data for evaluating the weather resistance of the composite material.
- Metal magnetic powders having an average particle diameter of 15 ⁇ m and shown in Table 2 were prepared. With respect to 100 g of this metal magnetic powder, a mixed powder in which a resin obtained by mixing a butyral resin and an epoxy resin shown in Table 2 was used as a binder resin and talc was mixed as an inorganic insulating material was produced. The mixed powder thus obtained was used for pressure molding at a molding pressure of 4 ton / cm 2 at room temperature to produce a molded body. Thereafter, thermosetting treatment was performed at 150 ° C. for 2 hours to produce a composite magnetic material.
- the water absorption of the binding resin described above is A [ml] per 100 g of the composite magnetic material
- the water absorption of the inorganic insulating material is B [ml] per 100 g of the composite magnetic material.
- the weather resistance is secured in sample Nos. 9, 10, 11 and 12 where A ⁇ B.
- sample No. 12 has an initial permeability of 20% or more lower than that of sample No. 7.
- a coil-embedded magnetic element is manufactured using this composite magnetic material, it is necessary to increase the number of coil turns in order to obtain the same inductance value.
- the number of coil turns is increased, there is a problem that the direct-current resistance value is increased and the temperature heat generation is increased during circuit operation. Therefore, it is desirable to suppress the decrease in initial permeability to 20% or less.
- Examples of the inorganic insulating material in Embodiment 1 of the present invention include talc, boron nitride, mica, aluminum oxide, silicon oxide, and the like.
- Examples of the binder resin include an epoxy resin, a phenol resin, and a silicone resin. Desirably, a thermosetting resin whose main agent is liquid at room temperature is preferable.
- the binding resin may contain a small amount of a coupling agent or a dispersant.
- the metal magnetic powder used in Embodiment 1 contains at least one of Fe—Ni, Fe—Si—Al, Fe—Si, Fe—Si—Cr, and Fe. Is desirable. Fe-based metal magnetic powder has a high saturation magnetic flux density and is therefore useful for use at a large current.
- the ratio is preferably such that the Ni content is 40 wt% or more and 90 wt% or less, and the remainder consists of Fe and inevitable impurities.
- the inevitable impurities include Mn, Cr, Ni, P, S, and C.
- the Ni content is less than 40% by weight, the effect of improving the soft magnetic characteristics is poor, and when it is more than 90% by weight, the saturation magnetization is greatly reduced and the direct current superposition characteristics are deteriorated. Further, it is possible to contain 1 to 6% by weight of Mo in order to improve the magnetic permeability.
- the proportion of Si is 8% by weight to 12% by weight
- the Al content is 4% by weight to 6% by weight
- the rest is Fe and inevitable It is desirable to consist of various impurities.
- the inevitable impurities include Mn, Cr, Ni, P, S, and C.
- the content of Si is 1 wt% or more and 8 wt% or less, and the balance is Fe and inevitable impurities.
- examples of the inevitable impurities include Mn, Cr, Ni, P, S, and C.
- the ratio is 1 to 8% by weight of Si
- the Cr content is 2 to 8% by weight
- the rest is Fe and inevitable It is desirable to consist of various impurities.
- the inevitable impurities include Mn, Cr, Ni, P, S, and C.
- Si By containing Si, magnetic anisotropy and magnetostriction constant are reduced, electric resistance is increased, and eddy current loss is reduced.
- the content By setting the content to 1% by weight or more, an effect of improving soft magnetic characteristics can be obtained.
- the fall of saturation magnetization can be suppressed and the fall of a direct current
- the weather resistance is further improved.
- the weather resistance improvement effect can be obtained.
- deterioration of a soft magnetic characteristic can be suppressed by setting it as 8 weight% or less.
- Fe-based metal magnetic powder it is desirable that it consists of Fe, which is the main component, and inevitable impurities.
- the inevitable impurities include Mn, Cr, Ni, P, S, and C.
- Fe—Si—B based amorphous alloy, nano-microcrystalline alloy, Fe— (Al, Ga) —PCB based, Fe— (Zr, Hf, Nb) , Ta) -B-based, Fe-Co-Ln-B-based metallic glass, etc. can provide the same effects as those described above.
- These Fe-based metal magnetic powders have the same effect even when they contain at least two kinds.
- the average particle size of the metal magnetic powder used in this embodiment is preferably 1 to 30 ⁇ m.
- the average particle diameter is preferably 1 to 30 ⁇ m.
- a material containing a metal magnetic powder, an uncured binder resin, and an inorganic insulating material is mixed and dispersed to obtain a mixed powder.
- a ball mill is an example of an apparatus for producing a mixed powder by dispersing an inorganic insulating material between metal magnetic powders in the first embodiment.
- the same effect can be expected in, for example, a V-type mixer and a cross rotary.
- the binder resin is a thermosetting resin
- the water absorption is increased if the curing is not sufficient. Since the binder resin comes into contact with the metal magnetic powder, it is not preferable that the amount of water absorption increases.
- the molded body obtained by pressure molding can be sufficiently cured by heating and curing at 150 ° C. or more and 250 ° C. or less.
- the mixed powder containing the metal magnetic powder, the uncured binder resin, and the inorganic insulating material is heat-treated at 65 ° C. or higher and 150 ° C. or lower, thereby evaporating the solvent and improving the filling property into the mold. be able to.
- the powder flowability and the filling ability to the mold can be improved. it can.
- a coil-embedded magnetic element using a composite magnetic material having weather resistance can be provided.
- the composite magnetic material of the present invention is useful for various electronic devices because it can handle a large current, can achieve high frequency and miniaturization, and can improve weather resistance.
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Abstract
金属磁性粉末と結着性樹脂と無機絶縁材からなる複合磁性材料であって、結着性樹脂の吸水量が、複合磁性材料１００ｇあたりＡ［ｍｌ］、無機絶縁材の吸水量が、前記複合磁性材料１００ｇあたりＢ［ｍｌ］とした時、Ａ＜Ｂ、かつ、Ｂ≦２．４［ｍｌ］なる関係が成り立つ複合磁性材料である。
Description
本発明は、インダクタ、チョークコイル、トランス等に用いられる複合磁性材料とそれを用いたコイル埋設型磁性素子に関する。
近年の電子機器の小型化、低背化に伴い、これらに使用される電子部品やデバイスにおいても、その小型化、低背化の要求が強くなっている。一方で、ＣＰＵなどのＬＳＩは高速・高集積化しており、これに供給される電源回路には、数Ａ～数１０Ａの電流が供給されることがある。よって、これらに用いられる磁性素子においても、小型化とともに、直流重畳によるインダクタンス低下の抑制が要求されている。更に、使用周波数の高周波数化により、高周波数領域での損失が低いことも要求されている。
金属磁性粉末を圧縮成形して作製される圧粉磁芯は、直流重畳特性に優れており、大電流と小型化を実現できる。このような圧粉磁芯を利用したものとして、コイル埋設型磁性素子が知られている。
しかしながら、複合磁性材料に金属磁性粉末を用いるため、直流重畳特性に優れ、大電流小型化を実現できるが、周囲環境によっては錆が発生する。そして、発生した錆は回路パターンの短絡等を発生させるおそれがある。
なお、この出願に関する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献１が知られている。
本発明は、複合磁性材料の耐候性の確保を図る。
本発明は、金属磁性粉末と結着性樹脂と無機絶縁材からなる複合磁性材料である。結着性樹脂の吸水量が、前記複合磁性材料１００ｇあたりＡ［ｍｌ］、無機絶縁材の吸水量が、複合磁性材料１００ｇあたりＢ［ｍｌ］とした時、Ａ＜ＢかつＢ≦２．４［ｍｌ］なる関係が成り立つ複合磁性材料である。
このように、複合磁性材料に含まれる結着性樹脂の吸水量を、無機絶縁材の吸水量よりも少なくする構成とし、金属磁性粉末と接触する結着性樹脂の吸水した水分を、無機絶縁材で吸水することにより、金属磁性粉の錆の発生を抑制し、磁性素子の耐候性を確保し、磁気特性の低下を防ぐことができる。
（実施の形態１）
以下、本発明の実施の形態１における複合磁性材料に関して説明する。
以下、本発明の実施の形態１における複合磁性材料に関して説明する。
図１は本発明の実施の形態１に係るコイル埋設型磁性素子の斜視図である。図１において、コイル埋没型磁性素子は、コイル２と、複数の端子３と、複合磁性材料１とからなり、複数の端子３の少なくとも一部を複合磁性材料１に埋没した形で構成されている。この複合磁性材料１は、金属磁性粉末と結着性樹脂と無機絶縁材からなる。そして、結着性樹脂の吸水量が、複合磁性材料１００ｇあたりＡ［ｍｌ］、無機絶縁材の吸水量が、複合磁性材料１００ｇあたりＢ［ｍｌ］とした時、Ａ＜ＢかつＢ≦２．４［ｍｌ］なる関係が成り立つ。
ここで、吸水量［ｍｌ］は、各結着性樹脂および無機材固有の吸水量［ｍｌ／ｇ］に、金属磁性粉末に配合した結着性樹脂および無機絶縁材の重量を掛けた値である。
このような構成により、複合磁性材料の耐候性を確保し、磁気特性の低下を防ぐことができる。
以下、実験結果を踏まえ、具体的に説明する。
表１は複合性材料の耐候性を評価する実験データを示す。平均粒子径が１５μｍで、表１に示す金属磁性粉末を用意した。この金属磁性粉末１００ｇ対して、表１に示すシリコーン樹脂を結着性樹脂とし、無機絶縁材としてタルクを混合した混合粉末を作製した。このようにして得られた混合粉末を使用して、室温下にて４ｔｏｎ／ｃｍ２の成形圧力にて加圧成形し、成形体を作製した。その後１５０℃で２時間の熱硬化処理を行い、複合磁性材料を作製した。
また、耐候性を評価するために、６０℃／９５％ＲＨの恒温恒湿槽に２００時間投入した。
表１に示す実験結果からわかるように、上述した結着性樹脂の吸水量が、複合磁性材料１００ｇあたりＡ［ｍｌ］、無機絶縁材の吸水量が、複合磁性材料１００ｇあたりＢ［ｍｌ］とした時、Ａ＜Ｂが成り立つ試料Ｎｏ.２、３、４、５および６において、耐候性が確保されている。
ただし、試料Ｎｏ.６では、試料Ｎｏ.1の初透磁率と比較して、２０％以上低下している。この複合磁性材料を使用して、コイル埋設型磁性素子を作製した場合、同じインダクタンス値を得るためには、コイル巻数を増加させる必要がある。しかし、コイル巻数を増加させると、直流抵抗値が増加し、回路動作時に温度発熱が大きくなる課題がある。従って、初透磁率の低下は、２０％以下に抑えることが望ましい。
さらに、チョークコイルの用途によっては、大電流を流した時に一定値以上の透磁率の確保が必要である。金属磁性粉末の充填率が７０体積％未満の試料Ｎｏ.５、６においては、磁場の強さ８０（Ｏｅ）時の透磁率が低下し、インダクタンス値が低くなる。インダクタンス値が低い状態でＤＣ／ＤＣコンバータ等で使用した場合、リップル電流が大きくなり、回路効率を低下させる課題がある。従って、磁場の強さ８０（Ｏｅ）での透磁率の低下においても、試料Ｎｏ.１と比較して、１５％以下に抑えることがさらに望ましい。
金属磁性粉末の充填率の向上によって磁気特性が向上するが、耐電圧は低下する。耐電圧性を確保するために、金属磁性粉の充填率は、９０体積％以下とすることが望ましい。
表２は複合性材料の耐候性を評価する別の実験データを示す。平均粒子径が１５μｍで、表２に示す金属磁性粉末を用意した。この金属磁性粉末１００ｇに対して、表２に示すブチラール樹脂とエポキシ樹脂を混合した樹脂を結着性樹脂として、無機絶縁材としてタルクを混合した混合粉末を作製した。このようにして得られた混合粉末を使用して、室温下にて４ｔｏｎ／ｃｍ２の成形圧力にて加圧成形し、成形体を作製した。その後１５０℃で２時間の熱硬化処理を行い、複合磁性材料を作製した。
また、耐候性を評価するために、６０℃／９５％ＲＨの恒温恒湿槽に２００時間投入した。
表２に示す実験結果からわかるように、上述した結着性樹脂の吸水量が、複合磁性材料１００ｇあたりＡ［ｍｌ］、無機絶縁材の吸水量が、複合磁性材料１００ｇあたりＢ［ｍｌ］とした時、Ａ＜Ｂが成り立つ試料Ｎｏ.９、１０、１１および１２において、耐候性が確保されている。
ただし、試料Ｎｏ.１２は、試料Ｎｏ.７と比較して、初透磁率が２０％以上低下している。この複合磁性材料を使用して、コイル埋設型磁性素子を作製した場合、同じインダクタンス値を得るためには、コイル巻数を増加させる必要がある。しかし、コイル巻数を増加させると、直流抵抗値が増加し、回路動作時に温度発熱が大きくなる課題がある。従って、初透磁率の低下は、２０％以下に抑えることが望ましい。
本発明の実施の形態１における無機絶縁材としては、タルク、窒化硼素、雲母、酸化アルミニウム、酸化珪素等が挙げられる。また、結着性樹脂としては、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、シリコーン樹脂等が挙げられる。望ましくは、主剤が常温で液体である熱硬化性樹脂がよい。結着性樹脂は、金属磁性粉末との分散性を改善するために、カップリング剤や分散剤を微量添加してもよい。
本実施の形態１に用いられる金属磁性粉末は、Ｆｅ－Ｎｉ系、Ｆｅ－Ｓｉ－Ａｌ系、Ｆｅ－Ｓｉ系、Ｆｅ－Ｓｉ－Ｃｒ系、Ｆｅのうち、少なくとも１種類以上を含んでいることが望ましい。Ｆｅ系金属磁性粉末は、飽和磁束密度が高いため、大電流での使用において有用である。
Ｆｅ－Ｎｉ系金属磁性粉末を用いる場合は、その比率は、Ｎｉの含有量が４０重量％以上９０重量％以下であり、残りがＦｅ及び不可避な不純物からなることが望ましい。ここで、不可避な不純物として、例えば、Ｍｎ、Ｃｒ、Ｎｉ、Ｐ、Ｓ、Ｃ等が挙げられる。Ｎｉの含有量が、４０重量％より少ないと軟磁気特性の改善効果に乏しく、９０重量％より多いと飽和磁化の低下が大きく直流重畳特性が低下する。さらに、透磁率を改善させるために１～６重量％のＭｏを含有させることも可能である。
Ｆｅ－Ｓｉ－Ａｌ系金属磁性粉末を用いる場合は、その比率は、Ｓｉが８重量％以上１２重量％以下、Ａｌの含有量が４重量％以上６重量％以下であり、残りがＦｅ及び不可避な不純物からなることが望ましい。ここで、不可避な不純物として、例えば、Ｍｎ、Ｃｒ、Ｎｉ、Ｐ、Ｓ、Ｃ等が挙げられる。各構成元素の含有量を上述した比率とすることにより、高い透磁率と低い保磁力が得られる。
Ｆｅ－Ｓｉ系金属磁性粉末を用いる場合は、その比率は、Ｓｉの含有量が１重量％以上８重量％以下であり、残部がＦｅ及び不可避な不純物からなることが望ましい。ここで、不可避な不純物として、例えば、Ｍｎ、Ｃｒ、Ｎｉ、Ｐ、Ｓ、Ｃ等が挙げられる。Ｓｉを含有させることにより、磁気異方性、磁歪定数を小さくし、また電気抵抗を高め、渦電流損失を低減させる。１重量％以上とすることにより、軟磁気特性の改善効果を得ることができる。また、８重量％以下とすることにより、飽和磁化の低下を抑制し直流重畳特性の低下を抑制することができる。
Ｆｅ－Ｓｉ－Ｃｒ系金属磁性粉末を用いる場合は、その比率は、Ｓｉが１重量％以上８重量％以下、Ｃｒの含有量が２重量％以上８重量％以下であり、残りがＦｅ及び不可避な不純物からなることが望ましい。ここで、不可避な不純物として、例えば、Ｍｎ、Ｃｒ、Ｎｉ、Ｐ、Ｓ、Ｃ等が挙げられる。
Ｓｉを含有させることにより、磁気異方性、磁歪定数を小さくし、また電気抵抗を高め、渦電流損失を低減させる。１重量％以上とすることで、軟磁気特性の改善効果を得ることができる。また、８重量％以下とすることにより、飽和磁化の低下を抑制し直流重畳特性の低下を抑制することができる。
Ｃｒを含有させることにより、さらに耐候性が向上する。２重量％以上とすることにより、耐候性改善効果を得ることができる。また、８重量％以下とすることにより、軟磁気特性の劣化を抑制することができる。
Ｆｅ系金属磁性粉末を用いる場合は、主成分の元素であるＦｅと不可避な不純物からなることが望ましい。ここで、不可避な不純物として、例えば、Ｍｎ、Ｃｒ、Ｎｉ、Ｐ、Ｓ、Ｃ等が挙げられる。Ｆｅの純度を高めることにより、高い飽和磁束密度を取得することができる。
なお、上記の結晶性金属磁性粉末以外でも、Ｆｅ－Ｓｉ－Ｂ系アモルファス合金、ナノ微結晶合金、あるいはＦｅ－（Ａｌ、Ｇａ）－Ｐ－Ｃ－Ｂ系、Ｆｅ－（Ｚｒ、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｔａ）－Ｂ系、Ｆｅ－Ｃｏ－Ｌｎ－Ｂ系金属ガラス等を用いても、上記構成と同様の効果を得ることができる。これらＦｅ系金属磁性粉末は、少なくとも２種類以上を含む場合であっても、同様の効果を有する。
また、Ｆｅ－Ｓｉ－Ａｌ系のような塑性変形能が低い金属磁性粉末に対して、塑性変形能が高いＦｅ－Ｎｉ系金属磁性粉末を少量添加することにより、より充填率を高めることが可能となる。
本実施の形態に用いられる金属磁性粉末の平均粒子径は１～３０μｍであることが望ましい。平均粒子径を１μｍ以上とすることにより、高い充填率を得ることができ、透磁率の低下を抑制することができる。また、平均粒子径を３０μｍ以下とすることにより、高周波領域において渦電流損失が大きくなるのを抑制することができる。
次に、上述した複合磁性材料を用いたコイル埋設型磁性素子の製造方法に関して説明する。
まず、金属磁性粉末と未硬化状態の結着性樹脂と無機絶縁材とを含む材料を混合し、分散して混合粉末を得る。本実施の形態１における金属磁性粉末間に無機絶縁材を分散させて混合粉末を作製する装置として、ボールミルが挙げられる。なお、このようなボールミル以外でも、例えばＶ型混合機およびクロスロータリー等においても同等の効果が期待出来る。
このようにして得られた混合粉末を用いて、コイルと、コイルに電気的に接続された複数の端子の少なくとも一部を混合体に埋設するように加圧成形する。
結着性樹脂が熱硬化性樹脂の場合、硬化が十分でないと吸水率が高くなる。結着性樹脂は、金属磁性粉末と接触するので、吸水量が多くなるのは好ましくない。加圧成形により得られた成形体は、１５０℃以上２５０℃以下で加熱し硬化させることで十分に硬化させることができる。
なお、金属磁性粉末および未硬化状態の結着性樹脂と無機絶縁材とを含む混合粉末を、６５℃以上１５０℃以下で熱処理することにより、溶剤を蒸発させ、金型への充填性を高めることができる。
また、金属磁性粉末および未硬化状態の結着性樹脂と無機絶縁材とを含む混合粉末を、ふるい等を用いて整粒することにより、粉末流れ性や金型への充填性を高めることができる。
以上説明したように本発明によれば、耐候性を有する複合磁性材料を用いたコイル埋設型磁性素子を提供することができる。
本発明の複合磁性材料によれば、大電流対応が可能で、高周波化および小型化を図れ、かつ、耐候性の向上も図れるので、各種電子機器に有用である。
１ 複合磁性材料
２ コイル
３ 端子
２ コイル
３ 端子
Claims (12)
- 金属磁性粉末と結着性樹脂と無機絶縁材とを加圧成形してなる複合磁性材料であって、
前記結着性樹脂の吸水量が、前記複合磁性材料１００ｇあたりＡ［ｍｌ］、前記無機絶縁材の吸水量が、前記複合磁性材料１００ｇあたりＢ［ｍｌ］とした時、
Ａ＜Ｂ、かつ、Ｂ≦２．４［ｍｌ］なる関係が成り立つことを特徴とする
複合磁性材料。 - 前記無機絶縁材は、酸化物、珪酸塩、窒化物のうち、少なくとも１種類以上からなる
請求項１に記載の複合磁性材料。 - 前記無機絶縁材の平均粒子径を、１～３０μｍとした
請求項１に記載の複合磁性材料。 - 前記金属磁性粉末の充填率を７０体積％以上とした
請求項１に記載の複合磁性材料。 - 前記金属磁性粉末は、Ｆｅ－Ｎｉ系、Ｆｅ－Ｓｉ－Ａｌ系、Ｆｅ－Ｓｉ系、Ｆｅ－Ｓｉ－Ｃｒ系、Ｆｅ、アモルファス合金、ナノ微結晶合金、金属ガラスのうち、少なくとも１種類以上を含む
請求項１に記載の複合磁性材料。 - 金属磁性粉末と結着性樹脂と無機絶縁材とを加圧成形してなる複合磁性材料と、
コイルと、
前記コイルに電気的に接続する複数の端子と、を備えたコイル埋設型磁性素子であって、
前記複合磁性材料に含まれる前記結着性樹脂の吸水量が前記複合磁性材料１００ｇあたりＡ［ｍｌ］、前記無機絶縁材の吸水量が前記複合磁性材料１００ｇあたりＢ［ｍｌ］とした時、
Ａ＜Ｂ、かつ、Ｂ≦２．４［ｍｌ］なる関係が成り立つことを特徴とする
コイル埋設型磁性素子。 - 前記金属磁性粉末の平均粒径を１～３０μｍとした
請求項６に記載のコイル埋設型磁性素子。 - 前記金属磁性粉末の充填率を７０体積％以上とした
請求項６に記載のコイル埋設型磁性素子。 - 金属磁性粉末と結着性樹脂と無機絶縁材とを混合して混合粉末を得るステップと、
コイルと、前記コイルに電気的に接続された複数の端子の少なくとも一部を前記混合粉末に埋設するように加圧成形して成形体を得るステップと、
前記成形体を熱処理して前記結着性樹脂を硬化させるステップと、を順次有するコイル埋設型磁性素子の製造方法であって、
前記結着性樹脂の吸水量が前記混合粉末１００ｇあたりＡ［ｍｌ］、前記無機絶縁材の吸水量が前記複合磁性材料１００ｇあたりＢ［ｍｌ］とした時、
Ａ＜Ｂ、かつ、Ｂ≦２．４［ｍｌ］なる関係が成り立つことを特徴とする
コイル埋設型磁性素子の製造方法。 - 前記混合粉末を得るステップと、前記成形体を得るステップとの間に、前記混合粉末を６５℃以上１５０℃以下で熱処理を行う熱処理ステップを有する
請求項９に記載のコイル埋設型磁性素子の製造方法。 - 前記混合粉末を得るステップと、前記成形体を得るステップとの間に、前記混合粉末を整粒する整粒ステップを有する
請求項９に記載のコイル埋設型磁性素子の製造方法。 - 前記熱処理ステップ後の混合粉末を整粒する整粒ステップを有する
請求項１０に記載のコイル埋設型磁性素子の製造方法。
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