WO2011110380A1 - Verfahren und anordnung zur plasmabehandlung eines gasstroms - Google Patents

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WO2011110380A1
WO2011110380A1 PCT/EP2011/051216 EP2011051216W WO2011110380A1 WO 2011110380 A1 WO2011110380 A1 WO 2011110380A1 EP 2011051216 W EP2011051216 W EP 2011051216W WO 2011110380 A1 WO2011110380 A1 WO 2011110380A1
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plasma
outer electrode
dielectric
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PCT/EP2011/051216
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Michael Bisges
Thorsten Krüger
Original Assignee
Reinhausen Plasma Gmbh
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    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/32—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by electrical effects other than those provided for in group B01D61/00
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
    • H05H1/24—Generating plasma
    • H05H1/2406—Generating plasma using dielectric barrier discharges, i.e. with a dielectric interposed between the electrodes
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    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
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    • H05H1/24—Generating plasma
    • H05H1/2406—Generating plasma using dielectric barrier discharges, i.e. with a dielectric interposed between the electrodes
    • H05H1/2418—Generating plasma using dielectric barrier discharges, i.e. with a dielectric interposed between the electrodes the electrodes being embedded in the dielectric
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    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2259/00—Type of treatment
    • B01D2259/80—Employing electric, magnetic, electromagnetic or wave energy, or particle radiation
    • B01D2259/818—Employing electrical discharges or the generation of a plasma

Definitions

  • the invention relates to a method and an arrangement for the plasma treatment of a gas stream according to the principle of
  • Plasma generator having a surrounding a inner electrode tubular dielectric, on the lateral surface of an outer electrode is arranged. Moreover, the invention relates to a plasma generator for the aforementioned arrangement.
  • Oxidative cleaning process for the destruction of pollutants in a gas stream in particular for sterilizing
  • the plasmas generate
  • a non-thermal plasma is characterized in that electrons are not in thermal equilibrium with the other gas constituents.
  • the dielectric Between the electrodes connected to a high alternating voltage is the dielectric, usually made of glass.
  • the dielectric impedes the movement of the electrodes and eventually interrupts them.
  • the electrodes are not only moving in their movement to the anode through the dielectric
  • Dielectric barrier resulting from the shape and the material of the barrier and the arrangement of the inner and outer electrode.
  • the appearance of the discharge is due to the emergence of single discharges, the so-called Filaments, embossed. These filaments occur for a short time in large numbers. They are normally distributed over the entire surface of the plasma-generating electrode.
  • the plasma treatment of air on the principle of dielectrically impeded discharge is known.
  • As a plasma generator for the oxidative treatment of air in particular the so-called "Siemens tube” is used as a plasma generator for the oxidative treatment of air in particular the so-called “Siemens tube” is used.
  • the Siemens tube consists of a rohrformigen dielectric, preferably made of quartz glass or boro-O-silicate.
  • the inner wall of the rohrformigen dielectric is lined with an inner electrode.
  • the existing of conductive material inner electrode is tight and possible without
  • the outer surface of the dielectric is arranged an outer electrode, which is formed by a close-meshed, for example, steel mesh. Will now be a high
  • a plasma is ignited on the inner electrode.
  • Inner electrode is formed only in the outer layers of the air flow, which directly with the inner electrode in
  • Pollutants especially freed from odors and germs, because in plasma the highest energy in the form of free Electrons, radicals and ions are present. Furthermore, the plasma generates an intense UV radiation in the
  • Wavelength range ⁇ 300 nm which can effectively break molecular bonds of air pollutants.
  • the invention is based on the object to provide a method for the plasma treatment of a gas stream, in which a larger part of the gas stream is exposed directly to the plasma.
  • Reaction space in particular a tubular conduit is guided from an inlet to an outlet around the outer electrode of each arranged in the reaction chamber plasma generator.
  • the geometry of the plasma generator and the outer electrode in particular their diameter, can be adapted to the flow cross-section of the reaction space, in particular the tubular conduit to the volume of the
  • Plasma-generating outer electrode, around which the gas flow is guided in the tubular conduit, is easier to access than the inner electrode of the prior art
  • the plasma generator in particular detachably arranged in the tubular conduit for the gas flow, can also be removed for cleaning purposes.
  • that can also be removed for cleaning purposes.
  • the gas stream is exclusively around the plasma-generating
  • the inner electrode can be pressed in, with plastic or hotmelt umspitzt or glued.
  • the elongated, tubular plasma generator is arranged transversely to the gas flow in the tubular conduit.
  • the cross section of the tubular conduit is chosen so that in front of the
  • Gas flow also referred to as quasi-laminar flow forms, while the gas flow in the flow direction behind the plasma generator, the outflow area, is swirled (turbulent gas flow).
  • the turbulence in the outflow area causes an even larger part of the gas flow
  • a plurality of plasma generators are preferably transverse to the tubular conduit
  • Reaction space in particular a rohrformigen line with an inlet and an outlet for the gas stream at least one plasma generator is arranged.
  • a plurality of plasma generators in particular arranged transversely to the gas flow in the rohrformigen line.
  • the inner electrode can also be formed in two parts and in two in the direction of the longitudinal axis of the plasma generator
  • the arranged parts of the cavity be housed.
  • the individual Parts of the electrode each other dielectrically shielded and induce the voltage only on the outer electrode.
  • the parts of the cavity are aligned for the purpose of shielding the parts of the inner electrode
  • External electrode dispensable To ensure a secure and lasting hold of the on or
  • the inner electrode is preferably cohesively embedded in a potting compound within the cavity.
  • Potting compound comes in particular an adhesive, a plastic or hot melt into consideration.
  • the inner electrode can be designed as a copper cable and form-fitting in the adhesive, hot melt or plastic
  • the dielectric is preferably made of glass, ceramic or plastic.
  • the contacting of the inner electrode takes place in particular via one or two end faces on the rohrformigen
  • Dielectric arranged plug contacts preferably in the form of push-on metal sleeve (s), which are in conductive connection to the inner electrode or the parts of the inner electrode.
  • An outer electrode of the plasma generator which is preferably formed as a helix, in particular of a wire, and winds around the rohrformige dielectric, has a low capacity and thereby reduces the power required to produce the plasma.
  • Thread profile is designed, the slope of the slope the helical outer electrode corresponds, this can be arranged on the flattened part of the thread profile.
  • the plasma forms along the flanks of the thread profile, thereby increasing the contact area between the gas stream and the generated plasma.
  • Threaded profile come in particular flat and trapezoidal thread into consideration, wherein for the safe guidance of the outer electrode of the flattened part of the thread profile a trough-shaped
  • a contacting of the outer electrode if a one-piece inner electrode is used, can also be effected via a push on one of the end faces of the plasma generator metal sleeve, which is in electrically conductive connection with the outer electrode.
  • a holder for releasable attachment of at least one plasma generator is arranged on the tubular conduit.
  • the holder takes the required anyway, the front side arranged on the plasma generator contacts, in particular in the form of the aforementioned metal sleeves. If the holder is designed to be electrically conductive, it not only assumes the holding function, but also the electrical connection of the contacts of the plasma generator with a
  • the holder is preferably arranged on the lateral surface of the tubular conduit, so that the plasma generator can be removed laterally and inserted again.
  • the holder is preferably as a laterally inserted into the tubular conduit and removable module executed, which receives all the plasma generator.
  • the module can be inserted laterally in the manner of a drawer in the flow path within the tubular conduit and
  • the plasma generator can be outside the inventive arrangement also for cleaning, sterilization and
  • Outer electrode according to the features of claims 10 and 11 is arranged on a flattened at the top thread profile. The fibers then lie down in the
  • Plasma generator for carrying out the
  • Figure 4 shows another embodiment of a plasma generator
  • Plasma generator for carrying out the
  • inventive method with a designed as a threaded lateral surface.
  • the plasma generator (1) for carrying out the plasma treatment of a gas flow on the principle of dielectrically impeded discharge consists essentially of a two-part inner electrode (2 a, b) surrounding a tubular dielectric (3), on the lateral surface (4) an outer electrode ( 5) is arranged, which is designed for example as a wire and winds around the rohrformige dielectric (3) as a helix.
  • the outer electrode does not necessarily have to be designed as a wire helix. It can be formed in a conventional manner as a braid or by way of a
  • Inner electrode (2 a, b) are for example of a
  • Two-part cavity (7 a, b) is embedded.
  • Copper wire can also be overmolded with plastic or hotmelt.
  • the individual parts of the electrode are each to each other
  • the parts of the cavity (7a, b) are for the purpose of shielding the parts of the
  • Inner electrode (2a, b) arranged in alignment, but by the located between the parts of the cavity (7a, b)
  • the two contact sleeves (6 a, b) are each connected via an electrical connection line (8 a, b) with a
  • the AC voltage or pulsed DC voltage causes at the outer electrode (5) the plasma (10), which by a variety of
  • Plasma generator (1) the desired plasma.
  • At least one such energized plasma generator (1) is introduced to carry out the method according to the invention in a tubular conduit (11) ( Figure 3) having an inlet (12) and an outlet (13) for a gas stream (14), in particular air flow.
  • the gas stream (14) is passed through the tubular conduit (11) from the inlet (12) to the outlet (13) around the outer electrode (s) (5) of the plasma generator (s) arranged in the tubular conduit (11). (1), as can be seen in Figures 3 a, 3 b.
  • the gas stream (14) is before hitting the or
  • the laminar, turbulence - poor or turbulent gas stream (14) strikes the plasma generator (s) (1) and is located in the flow direction behind the or . the Plasma generator (s) (1) swirled.
  • Turbulence (16) are indicated in Figures 3 a, 3 b.
  • the arrangement of the plasma generator (1) in the tubular conduit (11) takes place in particular with a holder (19) which between adjacent spring legs (20) in
  • each one of the contact sleeves (6 a and 6 b) receives is arranged on both sides of the plasma generator (1), so that the contact sleeves (6 a, 6 b) on both sides of the plasma generator (1) engage between the spring legs (20) of the holder (19).
  • Holder (19) is in particular as a sheet metal bent part
  • KunststoffSpritzgussverbundteil is inserted laterally in the manner of a drawer in a correspondingly aligned opening in the pipe, the KunststoffStoffwel
  • the plasma generator (1) shown in Figure 4 has a tubular dielectric (3), whose lateral surface (4) is provided with a flattened at the top thread profile (22), for example, a trapezoidal or
  • the outer electrode (5) is also formed here as a helix whose slope of the slope of
  • Thread profile (22) corresponds. As can be seen in particular from the enlargement in Figure 4, the runs
  • the plasma generator is to be used outside an arrangement according to FIGS. 3 a, 3 b, for example fibers (24) of a textile, e.g. To clean a carpet, they are between the flanks (23 a, b) of

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Anordnung zur Plasmabehandlung eines Gasstroms nach dem Prinzip der dielektrisch behinderten Entladung mit mindestens einem Plasmaerzeuger, der ein eine Innenelektrode umgebendes rohrförmiges Dielektrikum aufweist, auf dessen Mantelfläche eine Außenelektrode angeordnet ist. Um einen größerer Teil des Gasstroms unmittelbar dem Plasma auszusetzen und die Wirksamkeit der Plasmaerzeugung einfach durch aufrechterhalten zu können, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass der Gasstrom durch eine rohrförmige Leitung von einem Einlass zu einem Auslass um die Außenelektrode jedes in der rohrförmigen Leitung angeordneten Plasmaerzeugers geführt wird.

Description

Verfahren und Anordnung zur Plasmabehandlung eines Gasstroms
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Anordnung zur Plasmabehandlung eines Gasstroms nach dem Prinzip der
dielektrisch behinderten Entladung mit mindestens einem
Plasmaerzeuger, der ein eine Innenelektrode umgebendes rohrförmiges Dielektrikum aufweist, auf dessen Mantelfläche eine Außenelektrode angeordnet ist. Außerdem betrifft die Erfindung einen Plasmaerzeuger für die vorgenannte Anordnung.
Oxidative Reinigungsverfahren zur Zerstörung von Schadstoffen in einem Gasstrom, insbesondere zum Entkeimen und zur
Geruchsneutralisation der Luft, setzen vermehrt
nichtthermische Plasmen ein. Die Plasmen erzeugen
hochreaktive Radikale, die eine breite Palette gasgetragener Schadstoffe bei Umgebungsbedingungen umsetzen können. Ein nichtthermisches Plasma ist dadurch gekennzeichnet, dass Elektronen nicht im thermischen Gleichgewicht mit den anderen Gasbestandteilen sind.
Großvolumige nichtthermische Plasmen lassen sich einfach mit Hilfe der dielektrisch behinderten Entladung erzeugen.
Zwischen den an eine hohe Wechselspannung angeschlossenen Elektroden befindet sich das Dielektrikum, zumeist aus Glas. Das Dielektrikum behindert die Bewegung der Elektroden und unterbricht sie schließlich. Die Elektroden werden in ihrer Bewegung zur Anode durch das Dielektrikum nicht nur
aufgehalten, sondern aufgestaut, wodurch sich ein Gegenfeld zu dem den Elektrodenstrom treibenden äußeren Feld aufbaut, das seinerseits so lange anwächst, bis sich das äußere Feld und das Gegenfeld gerade kompensieren und der Elektrodenstrom zum Erliegen kommt. Die Schalteigenschaften der
dielektrischen Barriere resultieren aus der Form und dem Material der Barriere sowie der Anordnung der Innen- und Außenelektrode. Das Erscheinungsbild der Entladung ist durch das Entstehen von Einzelentladungen, den so genannten Filamenten, geprägt. Diese Filamente treten kurzzeitig in großer Anzahl auf. Sie sind normalerweise über die gesamte Fläche der plasmaerzeugenden Elektrode verteilt. Seit mehr als 100 Jahren ist die Plasmabehandlung von Luft nach dem Prinzip der dielektrisch behinderten Entladung bekannt. Als Plasmaerzeuger zur oxidativen Behandlung von Luft wird insbesondere die so genannte "Siemens-Röhre" eingesetzt. Die Siemens-Röhre besteht aus einem rohrformigen Dielektrikum, vorzugsweise aus Quarzglas oder Bor-O-Silikat . Die Innenwand des rohrformigen Dielektrikums ist mit einer Innenelektrode ausgekleidet. Die aus leitfähigem Material bestehende Innenelektrode liegt eng und möglichst ohne
Luftspalt an der inneren Glasoberfläche an. Auf der
Mantelfläche des Dielektrikums ist eine Außenelektrode angeordnet, die von einem eng anliegenden Netz, zum Beispiel aus Stahlgewebe, gebildet wird. Wird nun eine hohe
Wechselspannung von beispielsweise 3 - 6 KV an die Innen- und Außenelektrode angelegt, kommt es zu der dielektrisch
behinderten Entladung. Dabei werden Ionen und Ozon (O3 und Oi) erzeugt.
Bei den Verfahren zur Plasmabehandlung eines Gasstroms mit einer "Siemens-Röhre" wird ein Luftstrom durch das
rohrförmige Dielektrikum geführt. Zu diesem Zweck wird an der Innenelektrode ein Plasma gezündet. Das Plasma an der
Innenelektrode entsteht nur in den äußeren Schichten der Luftströmung, die unmittelbar mit der Innenelektrode in
Kontakt gelangen. Der weitaus größere Teil der Luftströmung reagiert lediglich mit dem Ozon und den Sauerstoff-Ionen, die bei der Entladung erzeugt werden.
Die äußeren Schichten der Luftströmung, die unmittelbar mit dem Plasma in Kontakt gelangen, werden wirksamer von
Schadstoffen, insbesondere von Gerüchen und Keimen befreit, weil im Plasma die höchste Energie in Form von freien Elektronen, Radikalen und Ionen vorliegt. Des Weiteren erzeugt das Plasma eine intensive UV-Strahlung im
Wellenlängenbereich < 300 nm, die molekulare Bindungen von LuftSchadstoffen wirkungsvoll aufbrechen kann.
Ein weiteres Problem bei der Plasmabehandlung eines Gasstroms nach dem Stand der Technik besteht darin, dass die
Innenelektrode durch in dem Gasstrom enthaltene Schadstoffe schnell verschmutzt und damit an Wirksamkeit verliert. Ein Austausch der verschmutzten Innenelektrode ist nur mit hohem Aufwand und einer Unterbrechung der Plasmabehandlung möglich.
Ausgehend von diesem Stand der Technik liegt der Erfindung die Aufgabe zu Grunde, ein Verfahren zur Plasmabehandlung eines Gasstroms zu schaffen, bei dem ein größerer Teil des Gasstroms unmittelbar dem Plasma ausgesetzt wird. Des
Weiteren soll auf einfache Art und Weise die Wirksamkeit der Plasmaerzeugung durch den Plasmaerzeuger aufrechterhalten werden können. Schließlich soll eine Anordnung zur
Durchführung des Verfahrens angegeben werden.
Diese Aufgabe wird bei einem Verfahren der eingangs erwähnten Art dadurch gelöst, dass der Gasstrom durch einen
Reaktionsraum, insbesondere eine rohrförmige Leitung von einem Einlass zu einem Auslass um die Außenelektrode jedes in dem Reaktionsraum angeordneten Plasmaerzeugers geführt wird.
Dadurch dass der Gasstrom um die Außenelektrode geführt wird, kommt ein größerer Teil des Gasstroms unmittelbar mit dem Plasma in Kontakt. Die Geometrie des Plasmaerzeugers und der Außenelektrode, insbesondere deren Durchmesser, lässt sich an den Strömungsquerschnitt des Reaktionsraumes, insbesondere der rohrförmigen Leitung anpassen, um das Volumen des
Gasstroms, das mit dem Plasma in Kontakt gelangt, zu erhöhen. Durch die Funktionstrennung von Strömungsweg und Plasmaerzeugung lässt sich die Wirksamkeit des bzw. der
Plasmaerzeuger einfacher aufrechterhalten. Die
plasmaerzeugende Außenelektrode, um die der Gasstrom in der rohrförmigen Leitung geführt wird, ist einfacher zugänglich, als die Innenelektrode der aus dem Stand der Technik
bekannten "Siemens-Röhre", die zugleich den Strömungsweg bildet. Die insbesondere lösbar in der rohrförmigen Leitung für den Gasstrom angeordneten Plasmaerzeuger können zudem für Reinigungszwecke entnommen werden. Insbesondere kann das
Verfahren durch die lösbare Befestigung der Plasmaerzeuger quasi kontinuierlich durchlaufen, da die Plasmaerzeuger zum Zwecke der Reinigung gegen bereits gereinigte Plasmaerzeuger ausgetauscht werden können.
Um eine möglichst wirksame Plasmabehandlung des Gasstroms zu erzielen, wird in vorteilhafter Ausgestaltung der Erfindung der Gasstrom ausschließlich um die plasmaerzeugende
Außenelektrode geführt. Um bei einer Siemens-Röhre, das heißt einem Plasmaerzeuger, dessen Innenelektrode den Innenraum des rohrförmigen Dielektrikums nicht ausfüllt, festzulegen, dass die Entladungen ausschließlich an der Außenelektrode
auftreten, kann die Innenelektrode eingepresst werden, mit Kunststoff oder Hotmelt umspitzt oder eingeklebt werden.
In vorteilhafter Ausgestaltung der Erfindung wird der lang gestreckte, rohrförmige Plasmaerzeuger quer zur Gasströmung in der rohrförmigen Leitung angeordnet. Der Querschnitt der rohrförmigen Leitung wird so gewählt, dass sich vor dem
Auftreffen auf den Plasmaerzeuger ein turbulenzarmer
Gasstrom, auch als quasi laminare Strömung bezeichnet, ausbildet, während der Gasstrom in Strömungsrichtung hinter dem Plasmaerzeuger, dem Ausströmbereich, verwirbelt wird (turbulenter Gasstrom) . Die Turbulenzen im Ausströmbereich bewirken, dass ein noch größerer Teil des Gasstroms
unmittelbar mit dem Plasma in Kontakt gelangt. Durch die Queranstromung jedes Plasmaerzeugers kommt es jedoch nicht nur zu einer turbulenten Verwirbelung des
Gasstroms in der rohrformigen Leitung, sondern auch zu
Ablösungen des Gasstroms von der Innenwand der rohrformigen Leitung.
Insbesondere wenn ein großvolumiger Gasstrom durch eine rohrförmige Leitung mit einem großen Querschnitt zum Zwecke der Plasmabehandlung geleitet wird, sind in der rohrformigen Leitung mehrere Plasmaerzeuger vorzugsweise quer zur
Strömungsrichtung in einer Querschnittsebene der rohrformigen Leitung nebeneinander angeordnet. Hierdurch wird es möglich, auch bei großen Volumenströmen einen Großteil des Gases unmittelbar dem Plasma auszusetzen.
Eine Anordnung zur Durchführung der Plasmabehandlung des Gasstroms zeichnet sich dadurch aus, dass in einem
Reaktionsraum, insbesondere einer rohrformigen Leitung mit einem Einlass und einem Auslass für den Gasstrom mindestens ein Plasmaerzeuger angeordnet ist.
Je nach Durchlassquerschnitt der rohrformigen Leitung und Volumen des Gasstroms sind in vorteilhafter Ausgestaltung der Erfindung vorzugsweise mehrere Plasmaerzeuger, insbesondere quer zur Gasströmung in der rohrformigen Leitung angeordnet.
Um einen Gasstrom entlang der Innenelektrode in dem
rohrformigen Dielektrikum auszuschließen, füllt die
insbesondere stabförmige Innenelektrode die Höhlung innerhalb des rohrformigen Dielektrikums des Plasmaerzeugers
vollständig aus.
Die Innenelektrode kann auch zweiteilig ausgebildet und in zwei in Richtung der Längsachse des Plasmaerzeugers
angeordneten Teilen der Höhlung untergebracht sein. Bei der zweiteiligen Bauform der Innenelektrode sind die einzelnen Teile der Elektrode jeweils zueinander dielektrisch abgeschirmt und induzieren die Spannung lediglich auf die Außenelektrode. Die Teile der Höhlung sind zum Zwecke der Abschirmung der Teile der Innenelektrode fluchtend
angeordnet, jedoch durch das zwischen den Teilen der Höhlung befindliche Dielektrikum voneinander getrennt. Damit ist bei dieser Ausführungsform eine direkte Kontaktierung der
Außenelektrode entbehrlich. Um einen sicheren und dauerhaften Halt der ein- oder
zweiteiligen Innenelektrode, in der Höhlung zu gewährleisten, ist die Innenelektrode vorzugsweise Stoffschlüssig in eine Vergussmasse innerhalb der Höhlung eingebettet. Als
Vergussmasse kommt insbesondere ein Klebstoff, ein Kunststoff oder Hotmelt in Betracht.
Die Innenelektrode kann als Kupferkabel ausgebildet und in den Klebstoff, Hotmelt oder Kunststoff formschlüssig
eingebettet sein. Das Dielektrikum besteht vorzugsweise aus Glas, Keramik oder Kunststoff.
Die Kontaktierung der Innenelektrode erfolgt insbesondere über eine bzw. zwei stirnseitig an dem rohrformigen
Dielektrikum angeordnete Steckkontakte, vorzugsweise in Form aufschiebbarer Metallhülse (n) , die in leitender Verbindung zu der Innenelektrode bzw. den Teilen der Innenelektrode stehen.
Eine Außenelektrode des Plasmaerzeugers, die vorzugsweise als Wendel, insbesondere aus einem Draht, ausgebildet ist und sich um das rohrformige Dielektrikum windet, weist eine geringe Kapazität auf und setzt hierdurch die erforderliche Leistung zur Erzeugung des Plasmas herab.
Sofern die Mantelfläche des rohrformigen Dielektrikums als ein Gewinde mit einem an der Oberseite abgeflachtem
Gewindeprofil ausgestaltet ist, dessen Steigung der Steigung der wendeiförmigen Außenelektrode entspricht, kann diese auf dem abgeflachten Teil des Gewindeprofils angeordnet werden. Das Plasma bildet sich entlang der Flanken des Gewindeprofils aus, wodurch die Kontaktfläche zwischen dem Gasstrom und dem erzeugten Plasma vergrößert wird. Als abgeflachtes
Gewindeprofil kommen insbesondere Flach- und Trapezgewinde in Betracht, wobei zur sicheren Führung der Außenelektrode der abgeflachte Teil des Gewindeprofils eine muldenförmige
Vertiefung zur teilweisen Aufnahme der Außenelektrode
aufweisen kann.
Eine Kontaktierung der Außenelektrode, sofern eine einteilige Innenelektrode zum Einsatz gelangt, kann ebenfalls über eine auf eine der Stirnseiten des Plasmaerzeugers aufschiebbare Metallhülse erfolgen, die in elektrisch leitender Verbindung mit der Außenelektrode steht.
Um den bzw. die Plasmaerzeuger beispielsweise zu
Reinigungs zwecken einfach austauschen zu können, ist an der rohrförmigen Leitung eine Halterung zur lösbaren Befestigung von mindestens einem Plasmaerzeuger angeordnet. Vorzugsweise nimmt die Halterung die ohnehin erforderlichen, stirnseitig an dem Plasmaerzeuger angeordneten Kontakte, insbesondere in Form der erwähnten Metallhülsen auf. Sofern die Halterung elektrisch leitend ausgebildet ist, übernimmt sie nicht nur die Haltefunktion, sondern darüber hinaus die elektrische Verbindung der Kontakte des Plasmaerzeugers mit einer
Wechselspannungsquelle . Die Halterung ist vorzugsweise an der Mantelfläche der rohrförmigen Leitung angeordnet, so dass die Plasmaerzeuger seitlich entnommen und wieder eingesetzt werden können.
Sofern in der Anordnung mehrere Plasmaerzeuger vorgesehen sind, ist die Halterung vorzugsweise als seitlich in die rohrförmige Leitung einsetzbares und entfernbares Modul ausgeführt, das sämtliche Plasmaerzeuger aufnimmt. Das Modul kann nach Art einer Schublade seitlich in den Strömungsweg innerhalb der rohrförmigen Leitung eingeschoben und
herausgezogen werden.
Der Plasmaerzeuger lässt sich außerhalb der erfindungsgemäßen Anordnung auch für die Reinigung, Entkeimung und
Geruchsneutralisierung von fasrigen Textilien, wie
beispielsweise Teppichböden verwenden, wenn die
Außenelektrode entsprechend den Merkmalen der Ansprüche 10 und 11 an einem an der Oberseite abgeflachtem Gewindeprofil angeordnet ist. Die Fasern legen sich dann in den
Zwischenraum zwischen den Flanken des Profils und gelangen in innigen Kontakt mit dem an der Außenelektrode erzeugten
Plasma .
Nachfolgend wird die Erfindung anhand der Figuren näher erläutert. Es zeigen: eine schematische Ansicht eines
Plasmaerzeugers zur Durchführung des
erfindungsgemäßen Verfahrens, eine Seitenansicht einer Halterung zur
Aufnahme mehrerer Plasmaerzeuger, eine Seitenansicht einer Halterung zur
Aufnahme eines Plasmaerzeugers, eine Anordnung zur Durchführung des Verfahrens mit mehreren Plasmaerzeugern, eine Anordnung zur Durchführung des Verfahrens mit nur einem Plasmaerzeuger, Figur 4 ein weiteres Ausführungsbeispiel eines
Plasmaerzeugers zur Durchführung des
erfindungsgemäßen Verfahrens mit einer als Gewinde ausgestalteten Mantelfläche.
Der Plasmaerzeuger (1) zur Durchführung der Plasmabehandlung eines Gasstroms nach dem Prinzip der dielektrisch behinderten Entladung besteht im Wesentlichen aus einer zweiteiligen Innenelektrode (2 a, b) , die ein rohrförmiges Dielektrikum (3) umgibt, auf dessen Mantelfläche (4) eine Außenelektrode (5) angeordnet ist, die beispielsweise als Draht ausgeführt ist und sich als Wendel um das rohrformige Dielektrikum (3) windet. Die Außenelektrode muss jedoch nicht zwingend als Drahtwendel ausgeführt sein. Sie kann in herkömmlicher Art und Weise als Geflecht ausgebildet oder im Wege eines
Beschichtungsprozesses auf das Dielektrikum (3) aufgebracht werden .
Die Kontakt ierung der beiden Teile der Innenelektrode (2a, b) erfolgt jeweils über eine auf die Stirnseiten des
Dielektrikums (3) aufgeschobene Kontakthülse (6 a, b) , die mit den Teilen der Innenelektrode (2 a, b) in elektrisch leitender Verbindung steht. Die stabförmigen Teile der
Innenelektrode (2 a, b) werden beispielsweise von einem
Kupferdraht gebildet, der in eine Klebstoffmasse oder
Epoxydharz mit oder ohne Füllstoffe innerhalb der
zweiteiligen Höhlung (7 a, b) eingebettet ist. Der
Kupferdraht kann aber auch mit Kunststoff oder Hotmelt umspritzt werden.
Bei der zweiteiligen Bauform der Innenelektrode (2a, b) sind die einzelnen Teile der Elektrode jeweils zueinander
dielektrisch abgeschirmt und induzieren die Spannung
lediglich auf die Außenelektrode (5) . Die Teile der Höhlung (7a, b) sind zum Zwecke der Abschirmung der Teile der
Innenelektrode (2a, b) fluchtend angeordnet, jedoch durch den zwischen den Teilen der Höhlung (7a, b) befindlichen
Abschnitt (3a) des Dielektrikums (3) voneinander getrennt. Damit ist bei dieser Ausführungsform eine direkte
Kontaktierung der Außenelektrode (5) entbehrlich.
Die beiden Kontakthülsen (6 a, b) sind jeweils über eine elektrische Anschlussleitung (8 a, b) mit einer
Hochspannungsquelle (9) für Wechselstrom oder gepulsten
Gleichstrom (etwa 1 - 15 KV) verbunden. Die Wechselspannung oder gepulste Gleichspannung ruft an der Außenelektrode (5) das Plasma (10) hervor, das durch eine Vielzahl von
Einzelentladungen (Filamenten) geprägt wird. In Folge dessen bildet sich nahezu über den gesamten Umfang des
Plasmaerzeugers (1) das gewünschte Plasma aus.
Mindestens ein derart energetisierter Plasmaerzeuger (1) wird zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens in eine rohrförmige Leitung (11) eingebracht (Figur 3), die einen Einlass (12) und einen Auslass (13) für einen Gasstrom (14), insbesondere Luftstrom aufweist. Der Gasstrom (14) wird durch die rohrförmige Leitung (11) von dem Einlass (12) zu dem Auslass (13) um die Außenelektrode (n) (5) des bzw. der in der rohrförmigen Leitung (11) angeordneten Plasmaerzeuger ( s ) (1) geführt, wie dies in den Figuren 3 a, 3 b erkennbar ist. Der Gasstrom (14) wird vor dem Auftreffen auf den bzw. die
Plasmaerzeuger (1) in der rohrförmigen Leitung (11) senkrecht zu der Längsachse (15) des rohrförmigen Dielektrikums (3) geführt. Dies bedingt, dass die Plasmaerzeuger (1) quer zur Längserstreckung der rohrförmigen Leitung (11) angeordnet sind.
Aufgrund dieser Anordnung der Plasmaerzeuger (1) in dem freien Strömungsquerschnitt in der rohrförmigen Leitung (11) trifft der im technischen Sinne laminare, turbulenzarme oder turbulente Gasstrom (14) auf den bzw. die Plasmaerzeuger (1) auf und wird in Strömungsrichtung hinter dem bzw. den Plasmaerzeuger (n) (1) verwirbelt. Die entsprechenden
Turbulenzen (16) sind in den Figuren 3 a, 3 b angedeutet.
Insbesondere bei großvolumigen Gasströmen durch eine
rohrförmige Leitung (11) mit einem großen
Durchlassquerschnitt ist es vorteilhaft, mehrere
Plasmaerzeuger (1) im Inneren der Rohrleitung (11),
vorzugsweise in einer Querschnittsebene (17) nebeneinander und mit ihren Längsachsen quer oder längs zur Richtung des turbulenten oder laminaren Gasstroms (14) anzuordnen.
Die Anordnung der Plasmaerzeuger (1) in der rohrförmigen Leitung (11) erfolgt insbesondere mit einer Halterung (19), die zwischen benachbarten Federschenkeln (20) in
gegenüberliegenden, muldenförmigen Vertiefungen (21) jeweils eine der Kontakthülsen (6 a bzw. 6 b) aufnimmt. Vorzugsweise ist auf beiden Seiten des Plasmaerzeugers (1) eine derartige Halterung (19) angeordnet, so dass die Kontakthülsen (6 a, 6 b) auf beiden Seiten des Plasmaerzeugers (1) zwischen die Federschenkel (20) der Halterung (19) einrasten. Die
Halterung (19) ist insbesondere als Blechbiegeteil
ausgeführt, das mit Kunststoff umspritzt werden kann. Das KunststoffSpritzgussverbundteil wird nach Art einer Schublade in eine entsprechend fluchtende Öffnung in der Rohrleitung seitlich eingeschoben, wobei die KunstStoffteile
anschließend, das heißt bei eingeschobener Schublade, die Rohrleitung für die Gasströmung verschließen. Eine andere Möglichkeit besteht darin, die KunstStoffteile einzuclipsen . Mit Hilfe von Halterungen (19) für mehrere Plasmaerzeuger (1), wie in Figur 2 a dargestellt, können sämtliche
Innenelektroden (2 a, 2 b) kontaktiert werden. Die aus Metall bestehenden Halterungen (19) werden über nicht dargestellte Anschlussleitungen mit der Hochspannungsquelle verbunden. Der in Figur 4 dargestellte Plasmaerzeuger (1) weist ein rohrförmiges Dielektrikum (3) auf, dessen Mantelfläche (4) mit einem an der Oberseite abgeflachtem Gewindeprofil (22) versehen ist, das beispielsweise ein Trapez- oder
Flachgewinde sein kann. Die Außenelektrode (5) ist auch hier als Wendel ausgebildet, deren Steigung der Steigung des
Gewindeprofils (22) entspricht. Wie insbesondere aus der Vergrößerung in Figur 4 erkennbar, verläuft der
wendeiförmige, die Außenelektrode (5) bildende Draht entlang des abgeflachten Teils des Gewindeprofils (22) . Die von der
Außenelektrode (5) ausgehenden Filamente und damit das Plasma breiten sich entlang der Flanken (23 a, b) des Gewindeprofils (22) aus. In Folge dessen wird die plasmaerzeugende
Oberfläche, die mit dem Gasstrom (14) in Kontakt gelangt, erheblich vergrößert.
Sofern der Plasmaerzeuger außerhalb einer Anordnung nach den Figuren 3 a, 3 b verwendet werden soll, beispielsweise um Fasern (24) einer Textile, z.B. eines Teppichs zu reinigen, werden diese zwischen den Flanken (23 a, b) des
Gewindeprofils (22) komprimiert und gelangen intensiv mit dem Plasma (10) in Kontakt, wie dies aus der Vergrößerung in Figur 4 erkennbar ist.
Bezugszeichenliste
Nr. Bezeichnung
1 Plasmaerzeuger
2 a, b Innenelektrode
3 , 3 a Dielektrikum / Abschnitt
4 Mantelfläche
5 Außenelektrode
6 a, b Kontakthülse
7 a, b Höhlung
8 a, b Anschlussleitung
9 Hochspannungsquelle
10 Plasma
11 Leitung
12 Einlass
13 Aus 1as s
14 Gasstrom
15 Längsachse Dielektrikum
16 Turbulenzen
17 Querschnittsebene
18 -
19 Halterung
20 FederSchenkel
21 Vertiefungen
22 Gewindeprofil
23 a, b Flanken
24 Fasern
25
26
27
28

Claims

Verfahren zur Plasmabehandlung eines Gasstroms nach dem Prinzip der dielektrisch behinderten Entladung mit mindestens einem Plasmaerzeuger, der ein eine
Innenelektrode umgebendes rohrförmiges Dielektrikum aufweist, auf dessen Mantelfläche eine Außenelektrode angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass der Gasstrom (14) durch einen Reaktionsraum (11) von einem Einlass (12) zu einem Auslass (13) um die Außenelektrode (5) des in dem Reaktionsraum (11) angeordneten Plasmaerzeugers
(I) geführt wird.
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Gasstrom (14) ausschließlich um die Außenelektrode (5) des Plasmaerzeugers (1) geführt wird.
Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Gasstrom (14) vor dem Auftreffen auf den
Plasmaerzeuger (1) im wesentlichen senkrecht gerichtet zu der Längsachse (15) des rohrförmigen Dielektrikums (3) geführt wird.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Gasstrom (14) in
Strömungsrichtung hinter dem Plasmaerzeuger (1)
verwirbelt wird.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Plasmaerzeuger (1) lösbar in dem Reaktionsraum, insbesondere einer rohrförmigen Leitung
(II) befestigt wird. Anordnung zur Plasmabehandlung eines Gasstroms nach dem Prinzip der dielektrisch behinderten Entladung mit mindestens einem Plasmaerzeuger, der ein eine
Innenelektrode umgebendes rohrförmiges Dielektrikum aufweist, auf dessen Mantelfläche eine Außenelektrode angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass in einem Reaktionsraum (11) mit einem Einlass (12) und einem Auslass (13) für den Gasstrom (14) mindestens ein
Plasmaerzeuger (1) angeordnet ist.
Anordnung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Innenelektrode (2a, b) die Höhlung (7a, b) innerhalb des rohrförmigen Dielektrikums (3) des Plasmaerzeugers (1) ausfüllt.
Anordnung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Innenelektrode (2a, b) Stoffschlüssig in eine
Vergussmasse innerhalb der Höhlung (7a, b) eingebettet ist .
Anordnung nach einem der Ansprüche 6 - 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Längsachse (15) des rohrförmige Dielektrikums (3) des Plasmaerzeugers (1) senkrecht zur Längsachse der rohrförmigen Leitung (11) angeordnet ist.
Anordnung nach einem der Ansprüche 6 - 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Außenelektrode (5) des
Plasmaerzeugers (1) als Wendel ausgebildet ist, die sich um das rohrförmige Dielektrikum (3) windet.
Anordnung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Mantelfläche (4) des rohrförmigen Dielektrikums (3) als ein Gewinde mit einem an der Oberseite abgeflachtem Gewindeprofil (22) ausgestaltet ist, dessen Steigung der Steigung der Außenelektrode (5) entspricht. 12. Anordnung nach einem der Ansprüche 6 - 11, dadurch gekennzeichnet, dass an der rohrformigen Leitung (11) eine Halterung (19) zur lösbaren Befestigung von
mindestens einem Plasmaerzeuger (1) angeordnet ist.
13. Anordnung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Halterung (19) einen stirnseitig an dem
Plasmaerzeuger (1) angeordneten Kontakt (6a, b) aufnimmt.
14. Anordnung nach Anspruch 12 oder 13, dadurch
gekennzeichnet, dass die Halterung (19) als seitlich in die rohrförmige Leitung (11) einsetzbares und
entfernbares Modul ausgeführt ist.
15. Plasmaerzeuger für einen Anordnung nach einem der
Ansprüche 7 bis 14, der ein eine Innenelektrode
umgebendes rohrförmiges Dielektrikum aufweist, auf dessen Mantelfläche eine Außenelektrode angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Innenelektrode (2a, b) die
Höhlung (7a, b) innerhalb des rohrformigen Dielektrikums (3) des Plasmaerzeugers (1) ausfüllt.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2937633A1 (de) * 2014-04-22 2015-10-28 E.G.O. ELEKTRO-GERÄTEBAU GmbH Einrichtung zur Luftreinigung, Lüftungseinrichtung und Verfahren zur Luftreinigung
CN111385954A (zh) * 2018-12-29 2020-07-07 中国石油化工股份有限公司 等离子体装置和分解硫化氢的方法

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103611395A (zh) * 2013-08-01 2014-03-05 上海瑞津环境科技有限公司 线管式低温等离子体单元反应器及其组合系统
JP2016132576A (ja) * 2015-01-15 2016-07-25 日本碍子株式会社 電極及び電極構造体
DE102015108884A1 (de) * 2015-06-04 2016-12-08 Hochschule für Angewandte Wissenschaft und Kunst - Hildesheim/Holzminden/Göttingen Vorrichtung zur Plasmabehandlung von insbesondere bandförmigen Objekten
DE102016209097A1 (de) * 2016-03-16 2017-09-21 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Plasmadüse

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10127035A1 (de) * 2001-06-02 2002-02-14 Dehne Hans Werner Verfahren zur Entkeimung und Geruchsneutralisation der Luft in Räumen nach dem Prinzip der nichtthermischen, plasma-chemischen Umsetzung bzw. der stillen Grenzschichtentladung arbeitend, wobei erfindungsgemäß die Ozonbildung soweit unterdrückt ist, dass sie unter der Nachweisgrenze von 0.05 ppm liegt.
US20020153241A1 (en) * 2001-04-04 2002-10-24 Dror Niv Dielectric barrier discharge fluid purification system
US20040076543A1 (en) * 2002-03-18 2004-04-22 Sokolowski Asaf Zeev System and method for decontamination and sterilization of harmful chemical and biological materials
WO2005120684A1 (en) * 2004-06-08 2005-12-22 Korea Institute Of Machinery And Materials Non-thermal plasma reactor for low pressure drop and low specific energy density
US20080131333A1 (en) 2006-12-04 2008-06-05 High Power-Factor Ac/Dc Converter With Parallel Power Processing Lateral-flow waste gas treatment device using nonthermal plasma

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5316739A (en) * 1991-08-20 1994-05-31 Bridgestone Corporation Method and apparatus for surface treatment
CA2079538C (en) * 1991-10-14 2000-11-21 Toshiya Watanabe Method of manufacturing a corona discharge device
KR100623563B1 (ko) * 2003-05-27 2006-09-13 마츠시다 덴코 가부시키가이샤 플라즈마 처리 장치, 플라즈마를 발생하는 반응 용기의제조 방법 및 플라즈마 처리 방법

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20020153241A1 (en) * 2001-04-04 2002-10-24 Dror Niv Dielectric barrier discharge fluid purification system
DE10127035A1 (de) * 2001-06-02 2002-02-14 Dehne Hans Werner Verfahren zur Entkeimung und Geruchsneutralisation der Luft in Räumen nach dem Prinzip der nichtthermischen, plasma-chemischen Umsetzung bzw. der stillen Grenzschichtentladung arbeitend, wobei erfindungsgemäß die Ozonbildung soweit unterdrückt ist, dass sie unter der Nachweisgrenze von 0.05 ppm liegt.
US20040076543A1 (en) * 2002-03-18 2004-04-22 Sokolowski Asaf Zeev System and method for decontamination and sterilization of harmful chemical and biological materials
WO2005120684A1 (en) * 2004-06-08 2005-12-22 Korea Institute Of Machinery And Materials Non-thermal plasma reactor for low pressure drop and low specific energy density
US20080131333A1 (en) 2006-12-04 2008-06-05 High Power-Factor Ac/Dc Converter With Parallel Power Processing Lateral-flow waste gas treatment device using nonthermal plasma

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2937633A1 (de) * 2014-04-22 2015-10-28 E.G.O. ELEKTRO-GERÄTEBAU GmbH Einrichtung zur Luftreinigung, Lüftungseinrichtung und Verfahren zur Luftreinigung
CN111385954A (zh) * 2018-12-29 2020-07-07 中国石油化工股份有限公司 等离子体装置和分解硫化氢的方法
CN111385954B (zh) * 2018-12-29 2023-06-13 中国石油化工股份有限公司 等离子体装置和分解硫化氢的方法

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