WO2011040320A1 - 圧電マイクロブロア - Google Patents

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WO2011040320A1
WO2011040320A1 PCT/JP2010/066521 JP2010066521W WO2011040320A1 WO 2011040320 A1 WO2011040320 A1 WO 2011040320A1 JP 2010066521 W JP2010066521 W JP 2010066521W WO 2011040320 A1 WO2011040320 A1 WO 2011040320A1
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WO
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opening
blower
diaphragm
hole
piezoelectric
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PCT/JP2010/066521
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French (fr)
Inventor
雅章 藤崎
平田　篤彦
栗原　潔
Original Assignee
株式会社村田製作所
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B43/00—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
    • F04B43/02—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
    • F04B43/04—Pumps having electric drive
    • F04B43/043—Micropumps
    • F04B43/046—Micropumps with piezoelectric drive
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B43/00—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
    • F04B43/08—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having tubular flexible members
    • F04B43/09—Pumps having electric drive
    • F04B43/095—Piezoelectric drive

Definitions

  • the present invention relates to a piezoelectric microblower suitable for transporting a compressive fluid such as air or gas.
  • Piezoelectric micro blowers are known as blowers for blowing air for releasing heat generated inside a casing of a portable electronic device to the outside or supplying oxygen necessary for power generation by a fuel cell.
  • a piezoelectric micro blower is a kind of pump that uses a diaphragm that bends and deforms when a voltage is applied to a piezoelectric element.
  • the piezoelectric micro blower has an advantage that it has a simple structure, can be made compact and thin, and has low power consumption.
  • Patent Document 1 discloses a flow generator using a piezoelectric element. As shown in FIG. 14, this flow generator forms a pressurizing chamber 103 between a base body 100 and a nozzle plate 101, fixes a ring-shaped piezoelectric element 104 to the nozzle plate 101, and A plurality of nozzle holes 102 are formed in the center. A case 105 is provided so as to surround the base body 100 with a predetermined gap, and a cylindrical guide 106 is formed at a portion of the case 105 facing the nozzle hole 102.
  • the nozzle plate 101 By driving the piezoelectric element 104 at a high frequency, the nozzle plate 101 is bent and vibrated to generate a jet flow from the plurality of nozzle holes 102, and the air flow jetted from the nozzle holes 102 entrains the surrounding air and guides 106 of the case 105. Can be discharged to the outside.
  • Patent Document 1 by driving the piezoelectric element 104, the central portion of the nozzle plate 101 is greatly bent and vibrated, and a jet can be generated according to the displacement.
  • the wall portion of the substrate 100 facing the nozzle plate 101 with the pressurizing chamber 103 in between is a fixed wall, an increase in the flow rate cannot be expected so much only by the vibration of the nozzle plate 101.
  • Patent Document 2 discloses a gas flow generator.
  • the gas flow generator includes an ultrasonic driver 110 in which a ring-shaped piezoelectric element 112 is fixed on a ring-shaped substrate 111, and a first surface fixed to the lower surface of the driver 110.
  • the central portion of the first film body 113 bulges downward, and a plurality of holes 115 are formed in the central portion of the second film body 114.
  • this gas flow generator when the ultrasonic driver 110 is driven at a high frequency, air around the hole 115 formed in the central portion of the second film body 114 is sucked in or entrained, and the air is drawn into the hole 115. It is possible to generate inertial injection (jet) by discharging in the orthogonal direction. However, since the periphery of the hole 115 of the second film body 114 is an open space, there is a drawback that the jetted airflow diffuses and a desired flow rate cannot be obtained. In addition, there is a problem in that air vortex is generated around the hole 115 and a large noise is generated.
  • this micro blower has a blower main body 120, an outer peripheral portion fixed to the blower main body 120, a diaphragm 121 having a piezoelectric element 122, and between the blower main body 120 and the diaphragm 121. And a blower chamber 123 formed.
  • a first wall 124 that resonates with the vibration of the diaphragm 121 is provided at a portion facing the diaphragm 121 with the blower chamber 123 therebetween, and a first opening 125 is formed at the center of the first wall 124. Is formed.
  • a second wall 126 is provided on the opposite side of the blower chamber 123 with the first wall 124 in between, and a second opening 127 is formed at a portion of the second wall 126 facing the first opening 125. Yes.
  • An inflow passage 129 communicating with the suction port 128 is formed between the first wall portion 124 and the second wall portion 126.
  • an object of the present invention is to provide a low-noise piezoelectric microblower while maintaining a flow rate characteristic.
  • the present invention provides a blower body, a diaphragm having an outer peripheral portion fixed to the blower body, having a piezoelectric element, and a blower formed between the blower body and the diaphragm. And a first wall portion of a blower body which is provided at a portion facing the diaphragm with the chamber between the blower chamber and vibrates with the vibration of the diaphragm, and a first wall portion formed on the first wall portion.
  • a piezoelectric microblower provided with an inflow passage formed between the first wall portion and the second wall portion, each of the first opening portion and the second opening portion includes a plurality of holes, Each hole of the first opening and each hole of the second opening are provided at positions facing each other individually.
  • FIG. 13 shows the flow of airflow and velocity distribution in the prior art (Patent Document 3), and (b) shows the flow of airflow and velocity distribution of an example of the present invention.
  • the velocity distribution is represented by a thin line.
  • Reference numeral 200 denotes a first wall
  • 210 denotes a second wall
  • 201 and 202 denote first openings
  • 211 and 212 denote second openings.
  • FIG. 13A since one first opening 201 is formed at the central portion where the amplitude of the first wall portion 200 is maximum, the first opening 201 is formed at the center of the first opening 201.
  • a high-speed airflow 220 having a large speed peak is generated.
  • the high-speed airflow 220 flowing through the center has a speed of, for example, 100 m / s. Therefore, there is a large difference in velocity distribution immediately above and around the first opening 201, and the fact that the high-speed airflow 220 interferes with the second opening 220 is near the first opening 201 and the second opening 220. It is thought that this is the cause of loud noise (wind noise).
  • the individual air currents 221 generated in the plurality of first openings 202 are quickly mixed with the surrounding air, so that the speed difference from the surrounding air is increased. Because it decreases, the velocity peak is relatively small and distributed. Therefore, the flow velocity difference between the first opening 202 and the surrounding area, and the flow velocity of the high-speed airflow 221 that interferes with the second opening 221 can be reduced, and the first opening 202 and the second opening 212 are in the vicinity. It is thought that noise can be reduced. Since the magnitude of noise is considered to be proportional to the fourth to eighth power of the flow velocity, the sound pressure level of noise can be greatly reduced.
  • the second opening When the first opening is porous and the second opening is a single hole (see Patent Document 1), the second opening has a size that includes all the first openings in order to reduce fluid resistance. It is necessary to. However, in that case, the air outside the second opening may flow backward to the first opening depending on the pressure difference inside and outside the second opening and the ventilation resistance of the second opening. There is a possibility that it will decrease.
  • a plurality of holes in the second opening 212 are provided so as to individually face the holes in the first opening 202, so that backflow in the vicinity of the second opening 212 can be prevented. The flow rate characteristic can be maintained.
  • the diameter d2 of each hole in the second opening is desirably 1 to 3 times the diameter d1 of each hole in the first opening.
  • the second opening and the first opening may have the same diameter, but in the case of the same diameter, the air flow generated in the first opening collides with the edge of the second opening and the flow path. There is a possibility of increasing the resistance. On the other hand, if the second opening is too large, a backflow near the second opening may occur. Therefore, by setting the diameter d2 of each hole in the second opening to be 1 to 3 times the diameter d1 of each hole in the first opening, the flow resistance in the second opening is reduced and the backflow is prevented. And a large flow rate can be obtained.
  • each of the first opening and the second opening is configured by a plurality of holes, and the first opening and the second opening overlap in the facing direction. Therefore, it is possible to disperse the velocity peaks of the individual airflows generated in the plurality of first openings, and to reduce the flow velocity difference between the first opening and the surrounding area, and the first opening and the second opening. Noise near the area can be reduced.
  • the second opening since the second opening has a plurality of holes facing the first opening, backflow in the vicinity of the second opening can be prevented and flow characteristics can be maintained.
  • FIG. 6 It is a cross-sectional view of Comparative Example 1 and Comparative Example 2.
  • FIG. It is a PQ characteristic diagram of the first example and Comparative Examples 1 and 2. It is the schematic of the measuring apparatus for measuring a PQ characteristic. It is a figure which shows the noise characteristic of 1st Example and Comparative Examples 1 and 2.
  • FIG. 1 It is the partial top view which looked at the piezoelectric micro blower shown in FIG. 1 from the discharge side. It is the disassembled perspective view seen from the 2nd wall part side of the piezoelectric micro blower shown in FIG. It is the disassembled perspective view seen from the diaphragm side of the piezoelectric micro blower shown in FIG. 6 is a cross-sectional view of Comparative Example 1 and Comparative Example 2.
  • FIG. It is a PQ characteristic diagram of the first example and Comparative Examples 1 and 2. It is the schematic of the measuring apparatus for measuring a PQ characteristic. It is a figure which shows the noise characteristic of 1st Example and Comparative Examples 1 and 2.
  • FIG. 10 is a PQ characteristic diagram of the third example and Comparative Example 1. It is a figure which shows the noise characteristic of 3rd Example and the comparative example 1.
  • FIG. It is a figure which shows the flow and velocity distribution of the airflow in a conventional structure and this invention. It is sectional drawing of the flow generator in patent document 1.
  • FIG. It is sectional drawing of the gas flow generator in patent document 2.
  • FIG. It is sectional drawing of the micro blower in patent document 3.
  • FIG. 1 to 4 show a first embodiment of a piezoelectric microblower according to the present invention.
  • the blower body 1 of the piezoelectric micro blower A is composed of an inner case 10 and an outer case 50 that covers the outer side of the inner case 10 in a non-contact manner with a predetermined gap, between the inner case 10 and the outer case 50.
  • the inner case 10 is formed in a U-shaped cross-section with an opening at the bottom, and the diaphragm 20 is fixed so as to close the lower opening of the inner case 10, and between the inner case 10 and the diaphragm 20.
  • a blower chamber 3 is formed.
  • the diaphragm 20 of the present embodiment has a unimorph structure in which a piezoelectric element 21 made of piezoelectric ceramic and an intermediate plate 22 made of a metal thin plate are attached to the center of a diaphragm 23 made of a metal thin plate, and the piezoelectric element 21 has a predetermined frequency. Is applied, the entire diaphragm 20 is resonantly driven in a bending mode.
  • the diaphragm 20 is not limited to the unimorph type as described above, but is a bimorph type in which piezoelectric elements 21 extending and contracting in opposite directions are pasted on both surfaces of the diaphragm 23, or a laminated piezoelectric element that itself bends and deforms on one side of the diaphragm.
  • a bimorph type with an element attached thereto, or a diaphragm itself composed of a laminated piezoelectric element may be used.
  • the shape of the piezoelectric element 21 is not limited to a disk shape, and may be a rectangular shape or an annular shape.
  • a structure in which the intermediate plate 22 is omitted and the piezoelectric element 21 is directly attached to the diaphragm 23 may be employed. In any case, any diaphragm that flexures and vibrates by applying an alternating voltage (AC voltage or rectangular wave voltage) to the piezoelectric element 21 may be used.
  • the central portion of the top plate (first wall portion) 11 of the inner case 10 that faces the central portion of the diaphragm 20 with the blower chamber 3 interposed therebetween includes a plurality of holes 12a and 12b.
  • a first opening 12 is formed.
  • the top plate 11 of the inner case 10 is formed of a thin metal plate so as to resonate with the resonance drive of the diaphragm 20.
  • the outer peripheral portion 13 of the top plate 11 protrudes in the radial direction, and the outer peripheral portion 13 is fixed by an outer case 50.
  • a plurality (four in this case) of spring connecting portions 15 divided by the arc-shaped slits 14 are formed.
  • the inner case 10 is elastically supported by the spring connecting portions 15 with respect to the outer case 50, and when the inner case 10 vibrates in the vertical direction with the resonance drive of the diaphragm 20, the vibration leaks to the outer case 50. It has a function to suppress the performance.
  • the inner case 10 of this embodiment is obtained by laminating and bonding a first inner frame body 16, a diaphragm 23, a second inner frame body 17, and a top plate 11 in this order from the lower side.
  • each of the first opening 12 and the second opening 52 has one hole (12a, 52a) at the center and eight holes (12b, 52b) around it.
  • the outer case 50 of this embodiment has a first outer frame body 53, a second outer frame body 54, a top plate 11 of the inner case 10, a third outer frame body 55, and a top plate 51 laminated in order from the lower side. It is.
  • the primary resonance frequency may be audible to humans and may increase noise.
  • the amount of displacement is smaller than in the primary resonance mode, but it can be driven at a frequency exceeding the audible range, so that noise can be prevented.
  • the vibration plate 20 and the top plate (first wall portion) 11 may vibrate in the same vibration mode, or may vibrate in different vibration modes (for example, one is a primary resonance mode and the other is a third resonance mode). Good.
  • the primary resonance mode is a mode in which one belly appears on the vibration plate 20 or the top plate 11, and the tertiary resonance mode is a central portion of the vibration plate 20 or the top plate 11 and its peripheral portion. This is a mode in which one belly occurs.
  • a central space 6 is formed between the top plate 11 and the top plate 51, and the central space 6 communicates with the first opening 12 and the second opening 52.
  • the central space 6 is connected to an annular inflow port 7 formed in a gap between the inner case 10 and the outer case 50 through the slit 14 described above. Therefore, when an air flow in the direction of the arrow is generated in the first opening 12 by driving the diaphragm 20, outside air is sucked from the inlet 7 and is discharged from the second opening 52 through the slit 14 and the central space 6. .
  • the operation of the piezoelectric micro blower A having the above-described configuration will be described.
  • the diaphragm 20 is resonantly driven in the primary resonance mode or the tertiary resonance mode, and thereby the distance between the first opening 12 and the diaphragm 20 changes.
  • the distance between the first opening 12 and the diaphragm 20 increases, the air in the central space 6 is sucked into the blower chamber 3 through the first opening 12, and conversely, the first opening 12 and the diaphragm 20
  • the distance decreases the air in the blower chamber 3 passes through the first opening 12 and is discharged into the central space 6.
  • the diaphragm 20 Since the diaphragm 20 is driven at a high frequency, the high speed / high energy air flow discharged from the first opening 12 to the central space 6 passes through the central space 6 and is discharged from the second opening 52. . At this time, the air in the central space 6 is discharged from the second opening 52 while entraining the air, so that a continuous air flow from the inlet 7 toward the central space 6 occurs, and the air is jetted from the second opening 52. It is discharged continuously. The air flow is indicated by arrows in FIG.
  • the top plate 11 of the inner case 10 is thinly formed so as to resonate with the resonance drive of the diaphragm 20, the distance between the first opening 12 and the diaphragm 20 is synchronized with the vibration of the diaphragm 20. Therefore, compared with the case where the top plate 11 does not resonate, the flow rate of the air discharged from the second opening 52 is dramatically increased.
  • the entire top plate 11 is formed thin as shown in FIG. 1, the entire top plate 11 can be resonated, so that a further increase in flow rate can be realized.
  • the top plate 11 may resonate in either the primary resonance mode or the tertiary resonance mode.
  • FIG. 5A shows a comparative example 1 in which the first opening 12 and the second opening 52 in the piezoelectric microblower A of the first embodiment are each formed as a single hole in the same manner as in Patent Document 3. It is.
  • FIG. 5B shows Comparative Example 2, in which the first opening 12 is a plurality of holes and the second opening 52 is a single hole.
  • the 1st opening part 12 is a porous structure like the comparative example 2, and the 2nd opening part 52 is comprised with the single hole, the 2nd opening part 52 is the magnitude
  • each dimension is as follows. The cross-sectional area when the first opening is single and the total cross-sectional area when there are multiple first openings are set to be the same.
  • FIG. 6 shows the PQ (pressure-flow rate) characteristics of the first example, comparative example 1 and comparative example 2 of the present invention.
  • the PQ characteristic is that a microblower A is fixed to one side wall of the air chamber 90 so as to send outside air into the air chamber 90, and a pipe 91 connected to the opposite side wall of the air chamber 90 is provided. The flowing flow rate is measured by the flow meter 92 and the pressure is measured by the pressure gauge 93. The tip of the pipe 91 is open to the atmosphere via a valve 94, and the valve 94 is opened when measuring the flow rate and closed when measuring pressure.
  • the pressure is reduced by about half compared to Comparative Example 1, but the flow rate is increased by about 1.7 times.
  • Comparative Example 2 it can be seen that the pressure increases about 3.5 times and the flow rate increases about 1.2 times.
  • the first embodiment is effective in applications where a large flow rate is required.
  • FIG. 8 shows the noise characteristics of the first embodiment, comparative example 1, and comparative example 2 of the present invention.
  • a microphone was installed at a position 30 mm away from the suction side and the discharge side of the micro blower, and the sound pressures on the suction side and the discharge side were measured.
  • the sound pressure measurement conditions are as follows.
  • the background noise represents noise when the blower is not driven.
  • Sound pressure measurement time 10 [s]
  • Sampling frequency 51.2kHz
  • Analysis method FFT analysis and overall value calculation
  • Filter at the time of FFT analysis A characteristic Averaging: Measurement data for 10 seconds is a simple average overlap value: 90%
  • the noise is reduced by 6.2 dB on the suction side and 5.6 db on the discharge side as compared with the first comparative example.
  • the pressure increases by 2.2 dB on the suction side and 1.6 dB on the discharge side. Since the sound pressure has a difference of 1.4 times at 3 dB and 2 times at 6 dB, it can be seen that the sound pressure of the noise can be reduced to about a half in the first example as compared with the comparative example 1.
  • the sound pressure is slightly higher than that of the comparative example 2, but there is a large difference in the PQ characteristics (see FIG. 6). Therefore, the noise characteristics and the PQ characteristics are comprehensively compared. Considering this, it can be seen that the first embodiment has good characteristics.
  • the first embodiment has the following effects. (1) By making the first opening porous, the jet of air coming out of the first opening is quickly mixed with the surrounding air, the flow velocity is reduced, and the noise is reduced. Moreover, by mixing, the amount of surrounding air increased and the maximum flow rate increased. (2) By making the second opening porous, the total cross-sectional area of the second opening was reduced, the flow of air flowing backward from the blower discharge side was suppressed, and an increase in flow rate was achieved.
  • FIG. 9 shows a second embodiment of the piezoelectric microblower according to the present invention.
  • a cylindrical nozzle 56 is formed on the top surface of the top plate (second wall portion) 51 so as to surround the entire second opening 52.
  • the present invention as shown in FIG. 13, since the flow velocity of air discharged from each hole of the second opening 52 is smaller than the flow velocity of air discharged from a single hole, it is arranged on the outer peripheral portion. The air discharged from the holes 52b may diffuse around.
  • the nozzle 56 is formed on the top surface of the top plate 51 so as to surround the periphery of the holes 52b arranged in the outer peripheral portion, the respective airflows discharged from the plurality of holes 52a and 52b are converged into one. Thus, diffusion of the air flow can be suppressed.
  • the shape of the nozzle 56 is not limited to a simple cylindrical shape, but may be a tapered shape or a trumpet shape.
  • FIGS. 10A and 10B show a third embodiment of the first opening 12 and the second opening 52.
  • the first opening 12 and the second opening 52 are configured by a total of 37 small holes dispersed in a hexagonal shape.
  • Each hole diameter of the first opening 12 is ⁇ 0.1 mm, and the pitch p1 is 0.4 mm.
  • each hole diameter of the second opening 52 is ⁇ 0.3 mm, and the pitch p2 is 0.4 mm.
  • the central axis of each hole in the first opening 12 and the central axis of each hole in the second opening 52 are aligned in a straight line.
  • Other structures are the same as those of the first embodiment.
  • Comparative Example 1 is the same as that described in the first example. Also in this case, the cross-sectional area (0.28 mm 2 ) of the first opening of Comparative Example 1 and the total cross-sectional area (0.29 mm 2 ) of the first opening of the third embodiment are set to be substantially the same. .
  • FIG. 11 shows the PQ (pressure-flow rate) characteristics of the third embodiment of the present invention and Comparative Example 1.
  • the method for measuring the PQ characteristic is the same as in the first embodiment.
  • the pressure is reduced to about 1/3 compared to the comparative example 1, but it can be seen that the flow rate can be maintained substantially equal.
  • FIG. 12 shows the noise characteristics of the third embodiment of the present invention and Comparative Example 1.
  • the method for measuring the noise characteristics is the same as in the first embodiment.
  • the noise in the third example is significantly reduced on both the suction side and the discharge side as compared with Comparative Example 1. Specifically, compared with Comparative Example 1, it is reduced by 38 dB on the suction side and 32 dB on the discharge side. In other words, it means that the sound pressure has decreased to several tenths compared to Comparative Example 1.
  • the flow rate characteristics can maintain substantially the same performance as Comparative Example 1. Therefore, it can be seen that noise can be reduced while maintaining the maximum flow rate.
  • the present invention is not limited to the embodiments described above.
  • the inner case and the outer case are configured separately, the inner case is supported by the outer case via the spring connecting portion, and the vibration of the inner case is suppressed from spreading to the outer case.
  • the inner case and the outer case may be fixed or integrally formed.
  • the inner case 10 and the outer case 50 each have a structure in which a plurality of plate-like members are stacked, the present invention is not limited to this.
  • a Piezoelectric micro blower 1 Blower body 10 Inner case 11 Top plate (first wall) 12 1st opening part 12a, 12b hole 15 spring connection part 20 diaphragm 21 piezoelectric element 23 diaphragm 3 blower chamber 50 outer case 51 top plate (2nd wall part) 52 2nd opening 52a, 52b hole 56 nozzle 6 central space 7 inflow port

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Abstract

【課題】流量特性を維持しながら低騒音の圧電マイクロブロアを提供する。 【解決手段】ブロア本体１と振動板２０との間に形成されたブロア室３と、ブロア室を間にして振動板と対向する部位に設けられ、振動板の振動に伴って振動するブロア本体の第１壁部１１と、第１壁部に形成された第１開口部１２と、第１壁部を間にしてブロア室と反対側に設けられた第２壁部５１と、第１開口部と対向する第２壁部の部位に形成された第２開口部５２と、第１壁部と第２壁部との間に形成された流入通路６とを備えた圧電マイクロブロアである。第１開口部１２及び第２開口部５２はそれぞれ複数の孔で構成され、第１開口部の各孔と前記第２開口部の各孔とは個別に対向する位置に設けられているため、流量特性を維持しながら騒音を低減できる。

Description

圧電マイクロブロア
本発明は空気やガスのような圧縮性流体を輸送するのに適した圧電マイクロブロアに関するものである。
携帯型電子機器の筐体内部で発生する熱を外部に放出させるためや、燃料電池で発電するのに必要な酸素を供給するための送風用ブロアとして、圧電マイクロブロアが知られている。圧電マイクロブロアは、圧電素子への電圧印加により屈曲変形するダイヤフラムを用いた一種のポンプであり、構造が簡単で、小型・薄型に構成でき、かつ低消費電力であるという利点がある。
特許文献１（図１４）には、圧電素子を用いた流れ発生装置が開示されている。この流れ発生装置は、図１４に示すように、基体１００とノズル板１０１との間に加圧室１０３を形成し、ノズル板１０１にリング状の圧電素子１０４を固定すると共に、ノズル板１０１の中央部に複数のノズル穴１０２を形成してある。基体１００を所定の隙間をあけて取り囲むようにケース１０５を設け、ノズル穴１０２と対向するケース１０５の部位に筒状のガイド１０６を形成してある。圧電素子１０４を高周波で駆動させることにより、ノズル板１０１を屈曲振動させ、複数のノズル穴１０２から噴流を発生させると共に、ノズル穴１０２から噴出した気流が周囲の空気を巻き込み、ケース１０５のガイド１０６から外部へ吐出することができる。
特許文献１では、圧電素子１０４を駆動することにより、ノズル板１０１の中央部が大きく屈曲振動し、その変位に応じて噴流を発生させることができる。しかし、加圧室１０３を間にしてノズル板１０１と対向する基体１００の壁部は固定壁であるため、ノズル板１０１が振動するだけでは流量増加はさほど望めない。
特許文献２には、ガス流発生器が開示されている。このガス流発生器は、図１５に示すように、リング状の基板１１１上にリング状の圧電素子１１２を固定した超音波駆動体１１０と、この駆動体１１０の下面に固定された第１のステンレス製膜体１１３と、第１の膜体１１３から所定の間隔を隔てて平行に取り付けられた第２のステンレス製膜体１１４と、膜体１１３と１１４とを離間状態で保持するスペーサ１１６とを備えている。第１の膜体１１３の中央部が下方へ膨出しており、第２の膜体１１４の中央部には複数の孔１１５が形成されている。
このガス流発生器の場合、超音波駆動体１１０を高周波で駆動すると、第２の膜体１１４の中心部分に形成された孔１１５の周囲の空気を吸い込み、あるいは巻き込みながら、空気を孔１１５の直交方向に吐出し、慣性噴射（ジェット）を発生させることができる。しかし、第２の膜体１１４の孔１１５の周囲が開放空間であるため、噴出した気流が拡散してしまい、所望の流量が得られないという欠点がある。また、孔１１５の周囲で空気の渦が発生し、大きな騒音が発生するという問題がある。
そこで、本願出願人は、圧力及び流量の大きな圧電マイクロブロアを提案した（特許文献３）。このマイクロブロアは、図１６に示すように、ブロア本体１２０と、外周部がブロア本体１２０に対して固定され、圧電素子１２２を有する振動板１２１と、ブロア本体１２０と振動板１２１との間に形成されたブロア室１２３とを備えている。ブロア室１２３を間にして振動板１２１と対向する部位に、振動板１２１の振動に伴って共振する第１壁部１２４が設けられ、第１壁部１２４の中央部には第１開口部１２５が形成されている。第１壁部１２４を間にしてブロア室１２３と反対側に第２壁部１２６が設けられ、第１開口部１２５と対向する第２壁部１２６の部位に第２開口部１２７が形成されている。第１壁部１２４と第２壁部１２６との間には、吸込み口１２８と連通した流入通路１２９が形成されている。振動板１２１が振動すると、ブロア室１２３の体積変化によって第１開口部１２５から流体が噴出し、流入通路１２９における周囲の流体を巻き込みながら第２開口部１２７から外部へ吐出することができる。
この圧電マイクロブロアでは、振動板１２１を振動させた時、ある半周期では流体が第１開口部１２５から吸い込まれ、次の半周期では排出されるが、第１開口部１２５から排出される高速気流によりその周囲にある空気を巻き込みながら第２開口部１２７から同時に排出するため、振動板１２１の変位体積以上の吐出流量を第２開口部１２７で得ることができる。しかも、振動板１２１の振動に伴って第１壁部１２４を共振させることで、振動板１２１の変位体積を第１壁部１２４の変位によって増加させる働きがあり、大きな圧力と流量とを得ることができる。このように優れた効果を持つ反面、第１開口部１２５の付近で大きな騒音（風切音）が生じるという課題があった。
特公昭６４－２７９３号公報 特表２００６－５２２８９６号公報 ＷＯ２００８／６９２６６号公報
そこで、本発明の目的は、流量特性を維持しながら低騒音の圧電マイクロブロアを提供することにある。
前記目的を達成するため、本発明は、ブロア本体と、外周部が前記ブロア本体に対して固定され、圧電素子を有する振動板と、前記ブロア本体と前記振動板との間に形成されたブロア室と、前記ブロア室を間にして振動板と対向する部位に設けられ、前記振動板の振動に伴って振動するブロア本体の第１壁部と、前記第１壁部に形成された第１開口部と、前記第１壁部を間にしてブロア室と反対側に設けられた第２壁部と、前記第１開口部と対向する第２壁部の部位に形成された第２開口部と、前記第１壁部と第２壁部との間に形成された流入通路とを備えた圧電マイクロブロアにおいて、前記第１開口部及び前記第２開口部はそれぞれ複数の孔で構成され、前記第１開口部の各孔と前記第２開口部の各孔とは個別に対向する位置に設けられていることを特徴とする圧電マイクロブロアを提供する。
図１３の（ａ）は、従来（特許文献３）における気流の流れと速度分布とを示し、（ｂ）は本発明の一例の気流の流れと速度分布とを示す。速度分布は細線で表してある。２００は第１壁部、２１０は第２壁部、２０１，２０２は第１開口部、２１１，２１２は第２開口部である。従来では、図１３の（ａ）に示すように、第１壁部２００の振幅が最大となる中央部に１つの第１開口部２０１が形成されているため、第１開口部２０１の中心に大きな速度ピークを持つ高速気流２２０が発生する。中心を流れる高速気流２２０は例えば１００ｍ／ｓもの速度を持つ。そのため、第１開口部２０１の直上とその周辺とでは速度分布に大きな差が生じ、且つ高速気流２２０が第２開口部２２０と干渉することが第１開口部２０１及び第２開口部２２０の付近で大きな騒音（風切り音）が発生する原因であると考えられる。
これに対し、本発明では、図１３の（ｂ）に示すように、複数の第１開口部２０２に発生する個々の気流２２１が周囲の空気と速やかに混合されて周辺空気との速度差が減少するため、速度ピークは相対的に小さく、分散される。そのため、第１開口部２０２とその周辺領域との流速差及び第２開口部２２１と干渉する高速気流２２１の流速を小さくすることができ、第１開口部２０２及び第２開口部２１２付近での騒音を低減できると考えられる。騒音の大きさは、流速の４乗～８乗に比例すると考えられるので、騒音の音圧レベルを大幅に低減できる。さらに、他の効果として、第１開口部が単一の場合よりも複数設けられた場合の方が、第１開口部２０２付近での流体の巻き込み領域が増えるため、流量が大きくなる。この比較は、第１開口部が単一の場合の断面積と複数の場合の合計断面積とが同じであるという前提での比較である。
第１開口部が多孔で、第２開口部が単孔である場合（特許文献１参照）には、流体抵抗を低くするため、第２開口部は全ての第１開口部を包含する大きさにする必要がある。しかし、その場合には第２開口部の外側の空気が、第２開口部内外の圧力差や第２開口部の通気抵抗によっては第１開口部側へ逆流してくることがあり、吐出流量としては減少する可能性がある。これに対し、本発明では第２開口部２１２の各孔が第１開口部２０２の各孔と個別に対向するように複数個設けてあるので、第２開口部２１２付近の逆流を防ぐことができ、流量特性を維持することができる。
第１開口部の各孔の中心軸と、第２開口部の各孔の中心軸とが一致しているのが望ましい。第１開口部の孔の中心軸に対して、第２開口部の孔の中心軸が完全に一致している必要はないが、一致している場合には、個々の第１開口部から噴出した気流が直線的に第２開口部を通過できるので、流体抵抗を低減でき、流量特性を向上させることができる。
第２開口部の各孔の直径ｄ２は第１開口部の各孔の直径ｄ１の１～３倍であることが望ましい。第２開口部と第１開口部とが同一径であっても構わないが、同一径の場合には第１開口部で発生した気流が第２開口部の口縁部に衝突して流路抵抗を増大させる可能性がある。一方、第２開口部が大き過ぎると、第２開口部付近の逆流が発生する可能性がある。そこで、第２開口部の各孔の直径ｄ２を第１開口部の各孔の直径ｄ１の１～３倍とすることで、第２開口部における流路抵抗を小さくしながら、逆流を防ぐことができ、大きな流量が得られる。
以上のように、本発明の圧電マイクロブロアによれば、第１開口部と第２開口部とをそれぞれ複数の孔で構成し、第１開口部と第２開口部とが対向方向に重なるようにしたので、複数の第１開口部に発生する個々の気流の速度ピークを分散させ、第１開口部とその周辺領域との流速差を小さくすることができ、第１開口部及び第２開口部付近での騒音を低減できる。また、第２開口部を第１開口部と対向する複数の孔としたので、第２開口部付近の逆流を防ぐことができ、流量特性を維持することができる。
本発明に係る圧電マイクロブロアの第１実施例の断面図である。 図１に示す圧電マイクロブロアを吐出側から見た部分平面図である。 図１に示す圧電マイクロブロアの第２壁部側からみた分解斜視図である。 図１に示す圧電マイクロブロアの振動板側からみた分解斜視図である。 比較例１及び比較例２の断面図である。 第１実施例と比較例１，２とのＰ－Ｑ特性図である。 Ｐ－Ｑ特性を測定するための測定装置の概略図である。 第１実施例と比較例１，２との騒音特性を示す図である。 本発明に係る圧電マイクロブロアの第２実施例の断面図である。 第３実施例の第２開口部及び第１開口部を示す図である。 第３実施例と比較例１とのＰ－Ｑ特性図である。 第３実施例と比較例１との騒音特性を示す図である。 従来構造及び本発明における気流の流れと速度分布とを示す図である。 特許文献１における流れ発生装置の断面図である。 特許文献２におけるガス流発生器の断面図である。 特許文献３におけるマイクロブロアの断面図である。
〔第１実施例〕
図１～図４は本発明にかかる圧電マイクロブロアの第１実施例を示す。この圧電マイクロブロアＡのブロア本体１は、内ケース１０と、内ケース１０の外側を所定の隙間をもって非接触で覆う外ケース５０とで構成されており、内ケース１０と外ケース５０との間が複数のばね連結部１５によって連結されている。本実施例では、内ケース１０は下方が開口した断面コの字形に形成され、内ケース１０の下側開口を閉じるように振動板２０が固定され、内ケース１０と振動板２０との間でブロア室３が形成されている。本実施例の振動板２０は、圧電セラミックよりなる圧電素子２１と金属薄板よりなる中間板２２とを金属薄板よりなるダイヤフラム２３の中央部に貼り付けたユニモルフ構造であり、圧電素子２１に所定周波数の電圧を印加することにより、振動板２０全体がベンディングモードで共振駆動される。
振動板２０としては、上述のようなユニモルフ型に限らず、ダイヤフラム２３の両面に互いに逆方向に伸縮する圧電素子２１を貼り付けたバイモルフ型、ダイヤフラムの片面にそれ自体が屈曲変形する積層型圧電素子を貼り付けたバイモルフ型、さらにはダイヤフラム自体が積層型圧電素子で構成されたものなどでもよい。また、圧電素子２１の形状は、円板状に限らず、矩形状や円環状であってもよい。中間板２２を省略して圧電素子２１をダイヤフラム２３に直接貼り付けた構造でもよい。いずれにしても、圧電素子２１に交番電圧（交流電圧または矩形波電圧）を印加することによって、屈曲振動する振動板であればよい。
図１に示すように、ブロア室３を間にして振動板２０の中央部と対向する内ケース１０の天板（第１壁部）１１の中央部には、複数の孔１２ａ，１２ｂよりなる第１開口部１２が形成されている。内ケース１０の天板１１は、振動板２０の共振駆動に伴って共振するように薄肉な金属板で形成されている。天板１１の外周部１３は半径方向に突出しており、その外周部１３が外ケース５０によって固定されている。天板１１の内ケース１０と外ケース５０との間には、図３に示すように、円弧状スリット１４によって分断された複数（ここでは４個）のばね連結部１５が形成されている。これらばね連結部１５によって内ケース１０は外ケース５０に対して弾性的に支持され、振動板２０の共振駆動に伴って内ケース１０が上下方向に振動したとき、その振動が外ケース５０に漏洩するのを抑制する働きを持つ。この実施例の内ケース１０は、下側から第１内枠体１６、ダイヤフラム２３、第２内枠体１７、天板１１を順に積層接着したものである。
内ケース１０の天板１１と対向する外ケース５０の天板（第２壁部）５１の中央部には、第１開口部１２の各孔１２ａ，１２ｂとそれぞれ対向する複数の孔５２ａ，５２ｂを持つ第２開口部５２が形成されている。本実施例では、第１開口部１２の各孔１２ａ，１２ｂの中心軸と第２開口部５２の各孔５２ａ，５２ｂの中心軸とは一直線状に並んでおり、第２開口部５２の各孔の直径ｄ２は第１開口部１２の各孔の直径ｄ１より大きい。この実施例では、図２に示すように、第１開口部１２及び第２開口部５２は、それぞれ中心に１個の孔（１２ａ，５２ａ）、その周囲に８個の孔（１２ｂ，５２ｂ）がリング状に並んだ合計９個の丸孔で構成されているが、これに限るものではない。この実施例の外ケース５０は、下側から第１外枠体５３、第２外枠体５４、内ケース１０の天板１１、第３外枠体５５、天板５１を順に積層接着したものである。
振動板２０を１次共振モードで駆動するのが、最も大きな変位量が得られるので望ましいが、１次共振周波数は人間の可聴領域となり、騒音が大きくなる場合がある。これに対し、３次共振モードで駆動すると、１次共振モードに比べて変位量が小さくなるものの、可聴領域を越えた周波数で駆動できるため、騒音を防ぐことができる。振動板２０と天板（第１壁部）１１とは同じ振動モードで振動してもよいし、異なる振動モード（例えば一方が１次共振モード、他方が３次共振モード）で振動してもよい。なお、１次共振モードとは、振動板２０又は天板１１に腹が１つ現れるモードのことであり、３次共振モードとは、振動板２０又は天板１１の中央部とその周辺部とでそれぞれ腹が１つずつ生じるモードのことである。
天板１１と天板５１との間には中央空間６が形成されおり、この中央空間６は第１開口部１２及び第２開口部５２と通じている。中央空間６は、前述のスリット１４を経て、内ケース１０と外ケース５０との隙間に形成された円環状の流入口７と接続されている。そのため、振動板２０の駆動によって第１開口部１２に矢印方向の空気の流れが発生すると、流入口７から外気が吸い込まれ、スリット１４、中央空間６を経て第２開口部５２から吐出される。
ここで、前記構成の圧電マイクロブロアＡの作動を説明する。圧電素子２１に所定周波数の交流電圧を印加すると、振動板２０が１次共振モード又は３次共振モードで共振駆動され、それにより第１開口部１２と振動板２０の距離が変化する。第１開口部１２と振動板２０の距離が増大するとき、中央空間６内の空気が第１開口部１２を通りブロア室３へと吸い込まれ、逆に第１開口部１２と振動板２０との距離が減少するとき、ブロア室３内の空気が第１開口部１２を通り中央空間６へと排出される。振動板２０は高周波で駆動されるため、第１開口部１２から中央空間６へと排出された高速／高エネルギーの空気流は、中央空間６を通過し、第２開口部５２から排出される。このとき、中央空間６内にある空気を巻き込みながら第２開口部５２から排出されるので、流入口７から中央空間６へ向かう連続した空気の流れが生じ、第２開口部５２から空気は噴流となって連続的に排出される。空気の流れを図１に矢印で示す。
内ケース１０の天板１１が、振動板２０の共振駆動に伴って共振するように薄肉に形成されているので、第１開口部１２と振動板２０との距離が振動板２０の振動に同調して変化するため、天板１１が共振しない場合に比べて、第２開口部５２から排出される空気の流量が飛躍的に増大する。図１のように天板１１全体が薄肉に形成されている場合には、天板１１全体を共振させることができるので、さらなる流量増加を実現できる。天板１１は１次共振モード又は３次共振モードのいずれで共振してもよい。
さて、第１開口部１２及び第２開口部５２がそれぞれ９個の孔（図２参照）で構成されていることによる作用効果を、比較例１，２と対比して説明する。図５の（ａ）は比較例１を示し、第１実施例の圧電マイクロブロアＡにおける第１開口部１２及び第２開口部５２を、特許文献３と同様にそれぞれ単一の孔とした例である。図５の（ｂ）は比較例２を示し、第１開口部１２を複数の孔とし、第２開口部５２を単一の孔とした例である。比較例２のように第１開口部１２が多孔構造で、第２開口部５２が単一の孔で構成した場合には、第２開口部５２が全ての第１開口部１２を包含できる大きさとしている。ここで、各寸法は以下の通りである。第１開口部が単一の場合の断面積と複数の場合の合計断面積とを同じに設定している。
－第１実施例－
圧電体２１：厚み０．１５ｍｍ、直径φ１１ｍｍのＰＺＴ
中間板２２：厚み０．２ｍｍ、直径φ１１ｍｍのＳＵＳ４３０
ダイヤフラム２３：厚み０．０５ｍｍ、直径φ１７ｍｍの４２Ｎｉ
天板１１：厚み０．１ｍｍのＳＵＳ４３０
ブロア室３：厚み０．１５ｍｍ、直径φ１４ｍｍのＳＵＳ４３０
ばね連結部１５：長さ０．５ｍｍ、幅１ｍｍ
流入口７：幅０．５ｍｍ
外ケース５０：厚み３．０ｍｍ、２０ｍｍ×２０ｍｍ
第１開口部１２：φ０．２ｍｍ×９個、孔の分布径＝φ２ｍｍ
第２開口部５２：φ０．４ｍｍ×９個
駆動電圧：１５Ｖｐ－ｐ
駆動周波数：２５ｋＨｚ（振動板２０、天板１１共に３次共振）
－比較例１－
第１開口部：φ０．６ｍｍ
第２開口部：φ０．８ｍｍ
－比較例２－
第１開口部：φ０．２ｍｍ×９個、孔の分布径＝φ２ｍｍ
第２開口部：φ２．４ｍｍ
図６は、本発明の第１実施例、比較例１、比較例２の各Ｐ－Ｑ（圧力－流量）特性を示す。Ｐ－Ｑ特性は、図７に示すように、外気を空気室９０に送り込むようにマイクロブロアＡを空気室９０の一側壁に固定し、空気室９０の反対側側壁に接続された配管９１を流れる流量を流量計９２で測定すると共に、圧力を圧力計９３で測定したものである。配管９１の先端はバルブ９４を介して大気に開放しており、流量測定時にはバルブ９４を開状態、圧力測定時には閉状態とした。
図６から明らかなように、第１実施例では比較例１に比べて圧力は約半分に低下するが、流量が約１．７倍に増加することがわかる。また、比較例２に比べると、圧力は約３．５倍、流量が約１．２倍に増加していることがわかる。このように、第１実施例は大流量が求められる用途において有効である。
図８は本発明の第１実施例、比較例１、比較例２の騒音特性を示す。ここでは、マイクロブロアの吸引側と吐出側からそれぞれ３０ｍｍ離れた位置にマイクロホンを設置し、吸引側と吐出側のそれぞれの音圧を測定した。音圧測定条件は次の通りである。背景雑音とは、ブロアを駆動していないときの騒音を表す。
音圧測定時間：10[s] 
サンプリング周波数：51.2kHz 
解析方法：FFT 解析してオーバーオール値を計算
FFT 解析時のフィルタ：Ａ特性
アベレージング：10秒間の測定データを単純平均
オーバーラップ値：90% 
図８から明らかなように、第１実施例は比較例１に比べて、騒音が吸引側で６．２ｄＢ、吐出側で５．６ｄｂ低下している。比較例２と比べると、吸引側で２．２ｄＢ、吐出側で１．６ｄＢ上昇する。音圧は３ｄＢで１．４倍、６ｄＢが２倍の差があるので、第１実施例では比較例１に比べて騒音の音圧を約半分に低減できたことがわかる。なお、第１実施例は比較例２に比べると、音圧が多少高くなるが、Ｐ－Ｑ特性において大きな差がある（図６参照）ので、騒音特性とＰ－Ｑ特性とを総合的に勘案すると、第１実施例が良好な特性を有することがわかる。
以上のように、第１実施例は次のような効果を有する。
（１）第１開口部を多孔にすることで、第１開口部から出る空気の噴流が速やかに周辺空気と混合されて流速が低下し、騒音が低下した。また、混合されることで、周辺空気の巻き込み量が増加し、最大流量が増加した。
（２）第２開口部を多孔にすることで、第２開口部の総断面積を小さくし、ブロア吐出側から逆流する空気の流れを抑制し、流量増加を達成できた。
〔第２実施例〕
図９は本発明に係る圧電マイクロブロアの第２実施例を示す。このマイクロブロアＢでは、第２開口部５２の全体を取り囲むように円筒状のノズル５６を天板（第２壁部）５１の上面に形成したものである。本発明では、図１３に示すように、第２開口部５２の各孔から吐出される空気の流速は、単一の孔から吐出される空気の流速に比べて小さいため、外周部に配列された孔５２ｂから吐出された空気が周囲に拡散することがある。そこで、天板５１の上面に、外周部に配列された孔５２ｂの周囲を取り囲むようにノズル５６を形成することで、複数の孔５２ａ，５２ｂから吐出されたそれぞれの空気流が１つに集束され、空気流の拡散を抑制することができる。なお、ノズル５６の形状は単純な円筒形状に限らず、先細状としたり、ラッパ状とすることもできる。
〔第３実施例〕
図１０の（ａ）と（ｂ）は第１開口部１２と第２開口部５２の第３実施例を示す。この例では、第１開口部１２及び第２開口部５２が六角形状に分散配置された合計３７個の小孔で構成されている。第１開口部１２の各孔径はφ０．１ｍｍであり、ピッチｐ１は０．４ｍｍである。同様に、第２開口部５２の各孔径はφ０．３ｍｍであり、ピッチｐ２は０．４ｍｍである。第１開口部１２の各穴の中心軸と第２開口部５２の各穴の中心軸とは一直線状に並んでいる。他の構造は第１実施例と同様である。
さて、第１開口部１２及び第２開口部５２がそれぞれ３７個の孔で構成されていることによる作用効果を、比較例１と対比して説明する。比較例１は第１実施例で述べたものと同様である。この場合も、比較例１の第１開口部の断面積（０．２８ｍｍ2 ）と第３実施例の第１開口部の合計断面積（０．２９ｍｍ2 ）とをほぼ同じに設定している。
図１１は、本発明の第３実施例と比較例１の各Ｐ－Ｑ（圧力－流量）特性を示す。Ｐ－Ｑ特性の測定方法は第１実施例と同様である。図１１から明らかなように、第３実施例では比較例１に比べて圧力は約１／３に低下するが、流量はほぼ同等に維持できることがわかる。
図１２は本発明の第３実施例と比較例１の騒音特性を示す。騒音特性の測定方法は第１実施例と同様である。図１２から明らかなように、第３実施例は比較例１に比べて、騒音が吸引側、吐出側ともに大幅に低下していることがわかる。具体的には、比較例１と比べて、吸引側で３８ｄＢ、吐出側で３２ｄＢ低下している。つまり、比較例１と比べて音圧が数十分の１に低下したことを意味する。一方、流量特性は比較例１とほぼ同等の性能を維持できている。したがって、最大流量を維持しつつ騒音を低下できることがわかる。
本発明は前述の実施例に限定されるものではない。例えば前記実施例では、内ケースと外ケースとを別体で構成し、内ケースをばね連結部を介して外ケースで支持し、内ケースの振動が外ケースへ波及するのを抑制する例を示したが、内ケースと外ケースとが固定又は一体形成されたものでもよい。また、内ケース１０及び外ケース５０がそれぞれ複数の板状部材を積層した構造となっているが、これに限るものではない。
Ａ　　　　　　圧電マイクロブロア
１　　　　　　ブロア本体
１０　　　　　内ケース
１１　　　　　天板（第１壁部）
１２　　　　　第１開口部
１２ａ，１２ｂ　孔
１５　　　　　ばね連結部
２０　　　　　振動板
２１　　　　　圧電素子
２３　　　　　ダイヤフラム
３　　　　　　ブロア室
５０　　　　　外ケース
５１　　　　　天板（第２壁部）
５２　　　　　第２開口部
５２ａ，５２ｂ　孔
５６　　　　　ノズル
６　　　　　　中央空間
７　　　　　　流入口

Claims (4)

  1. ブロア本体と、外周部が前記ブロア本体に対して固定され、圧電素子を有する振動板と、前記ブロア本体と前記振動板との間に形成されたブロア室と、前記ブロア室を間にして振動板と対向する部位に設けられ、前記振動板の振動に伴って振動するブロア本体の第１壁部と、前記第１壁部に形成された第１開口部と、前記第１壁部を間にしてブロア室と反対側に設けられた第２壁部と、前記第１開口部と対向する第２壁部の部位に形成された第２開口部と、前記第１壁部と第２壁部との間に形成された流入通路とを備えた圧電マイクロブロアにおいて、
    前記第１開口部及び前記第２開口部はそれぞれ複数の孔で構成され、
    前記第１開口部の各孔と前記第２開口部の各孔とは個別に対向する位置に設けられていることを特徴とする圧電マイクロブロア。
  2. 前記第１開口部の各孔の中心軸と、前記第２開口部の各孔の中心軸とが一致していることを特徴とする請求項１に記載の圧電マイクロブロア。
  3. 前記第２開口部の各孔の直径ｄ２は前記第１開口部の各孔の直径ｄ１の１～３倍であることを特徴とする請求項１又は２に記載の圧電マイクロブロア。
  4. 前記第２壁部の外面には、前記第２開口部の全ての孔を取り囲む筒状のノズルが形成されていることを特徴とする請求項１乃至３の何れか１項に記載の圧電マイクロブロア。
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