WO2011017509A3 - Système métrologique à mince film intégré utilisé dans une chaîne de production de cellules solaires - Google Patents

Système métrologique à mince film intégré utilisé dans une chaîne de production de cellules solaires Download PDF

Info

Publication number
WO2011017509A3
WO2011017509A3 PCT/US2010/044532 US2010044532W WO2011017509A3 WO 2011017509 A3 WO2011017509 A3 WO 2011017509A3 US 2010044532 W US2010044532 W US 2010044532W WO 2011017509 A3 WO2011017509 A3 WO 2011017509A3
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
solar cell
production line
characterization module
cell devices
thin film
Prior art date
Application number
PCT/US2010/044532
Other languages
English (en)
Other versions
WO2011017509A2 (fr
WO2011017509A4 (fr
Inventor
James Matthew Holden
Edward W. Budiarto
Karen Lingel
Original Assignee
Applied Materials, Inc.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Applied Materials, Inc. filed Critical Applied Materials, Inc.
Publication of WO2011017509A2 publication Critical patent/WO2011017509A2/fr
Publication of WO2011017509A3 publication Critical patent/WO2011017509A3/fr
Publication of WO2011017509A4 publication Critical patent/WO2011017509A4/fr

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
    • G01B11/0616—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating
    • G01B11/0683—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating measurement during deposition or removal of the layer
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/18—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
    • H01L31/20—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof such devices or parts thereof comprising amorphous semiconductor materials
    • H01L31/206—Particular processes or apparatus for continuous treatment of the devices, e.g. roll-to roll processes, multi-chamber deposition
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02S—GENERATION OF ELECTRIC POWER BY CONVERSION OF INFRARED RADIATION, VISIBLE LIGHT OR ULTRAVIOLET LIGHT, e.g. USING PHOTOVOLTAIC [PV] MODULES
    • H02S40/00—Components or accessories in combination with PV modules, not provided for in groups H02S10/00 - H02S30/00
    • H02S40/30—Electrical components
    • H02S40/34—Electrical components comprising specially adapted electrical connection means to be structurally associated with the PV module, e.g. junction boxes
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02S—GENERATION OF ELECTRIC POWER BY CONVERSION OF INFRARED RADIATION, VISIBLE LIGHT OR ULTRAVIOLET LIGHT, e.g. USING PHOTOVOLTAIC [PV] MODULES
    • H02S50/00—Monitoring or testing of PV systems, e.g. load balancing or fault identification
    • H02S50/10—Testing of PV devices, e.g. of PV modules or single PV cells
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02S—GENERATION OF ELECTRIC POWER BY CONVERSION OF INFRARED RADIATION, VISIBLE LIGHT OR ULTRAVIOLET LIGHT, e.g. USING PHOTOVOLTAIC [PV] MODULES
    • H02S50/00—Monitoring or testing of PV systems, e.g. load balancing or fault identification
    • H02S50/10—Testing of PV devices, e.g. of PV modules or single PV cells
    • H02S50/15—Testing of PV devices, e.g. of PV modules or single PV cells using optical means, e.g. using electroluminescence
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Photovoltaic Devices (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Abstract

La présente invention concerne en général des systèmes, des appareils, et des procédés utilisés pour former des dispositifs de cellules solaires utilisant des modules de traitement adaptés pour réaliser un ou plusieurs processus lors de la formation de dispositifs de cellules solaires. Dans un mode de réalisation, le système fournit un système d'inspection sur chaîne de dispositifs de cellules solaires dans une chaîne de production de cellules solaires tout en collectant et utilisant des données de métrologie pour diagnostiquer, accorder, ou améliorer les processus de chaîne de production durant la fabrication des dispositifs de cellules solaires. Dans un mode de réalisation, le système d'inspection fournit un module de caractérisation à la volée positionné en aval d'un ou de plusieurs outils de traitement, le module de caractérisation étant configuré pour mesurer à la volée une ou plusieurs propriétés d'une ou de plusieurs couches photovoltaïques formées sur une surface de substrat, ainsi qu'un régulateur système communiquant avec le module de caractérisation et le ou les outils de traitement, le régulateur système étant configuré pour analyser les informations reçues du module de caractérisation.
PCT/US2010/044532 2009-08-07 2010-08-05 Système métrologique à mince film intégré utilisé dans une chaîne de production de cellules solaires WO2011017509A2 (fr)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US23233609P 2009-08-07 2009-08-07
US61/232,336 2009-08-07

Publications (3)

Publication Number Publication Date
WO2011017509A2 WO2011017509A2 (fr) 2011-02-10
WO2011017509A3 true WO2011017509A3 (fr) 2011-06-16
WO2011017509A4 WO2011017509A4 (fr) 2011-08-11

Family

ID=43535109

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/US2010/044532 WO2011017509A2 (fr) 2009-08-07 2010-08-05 Système métrologique à mince film intégré utilisé dans une chaîne de production de cellules solaires

Country Status (2)

Country Link
US (1) US20110033957A1 (fr)
WO (1) WO2011017509A2 (fr)

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8603839B2 (en) 2010-07-23 2013-12-10 First Solar, Inc. In-line metrology system
CN102290487B (zh) * 2011-06-22 2012-11-14 江苏艾德太阳能科技有限公司 太阳能电池断栅修补装置
US9075012B2 (en) * 2011-11-10 2015-07-07 Alliance For Sustainable Energy, Llc Photoluminescence-based quality control for thin film absorber layers of photovoltaic devices
US8554353B2 (en) * 2011-12-14 2013-10-08 Gwangju Institute Of Science And Technology Fabrication system of CIGS thin film solar cell equipped with real-time analysis facilities for profiling the elemental components of CIGS thin film using laser-induced breakdown spectroscopy
US8902428B2 (en) * 2012-03-15 2014-12-02 Applied Materials, Inc. Process and apparatus for measuring the crystal fraction of crystalline silicon casted mono wafers
ITTV20120211A1 (it) * 2012-11-09 2014-05-10 Vismunda S R L Impianto e procedimento per l'assemblaggio automatico di pannelli fotovoltaici.
US20140256068A1 (en) * 2013-03-08 2014-09-11 Jeffrey L. Franklin Adjustable laser patterning process to form through-holes in a passivation layer for solar cell fabrication
WO2016131190A1 (fr) * 2015-02-17 2016-08-25 Solarcity Corporation Procédé et système pour améliorer le rendement de fabrication de cellules solaires
US9972740B2 (en) 2015-06-07 2018-05-15 Tesla, Inc. Chemical vapor deposition tool and process for fabrication of photovoltaic structures
DE102015218037A1 (de) * 2015-09-18 2017-03-23 Carl Zeiss Smt Gmbh Verfahren zum Einbringen eines Substrates in ein Messgerät und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
US9748434B1 (en) 2016-05-24 2017-08-29 Tesla, Inc. Systems, method and apparatus for curing conductive paste
CN105870218B (zh) * 2016-05-24 2017-06-20 欧贝黎新能源科技股份有限公司 一种太阳能电池片断栅修补方法及装置
US9954136B2 (en) 2016-08-03 2018-04-24 Tesla, Inc. Cassette optimized for an inline annealing system
US10115856B2 (en) 2016-10-31 2018-10-30 Tesla, Inc. System and method for curing conductive paste using induction heating
US10347432B2 (en) * 2017-05-21 2019-07-09 Farzaneh Arabpour Roghabadi Recovering a degraded solar cell
JP7258028B2 (ja) * 2018-08-08 2023-04-14 ギガフォトン株式会社 リソグラフィシステムのメインテナンス管理方法、メインテナンス管理装置、及びコンピュータ可読媒体
JP7424927B2 (ja) 2020-06-26 2024-01-30 キヤノントッキ株式会社 膜厚測定装置、成膜装置、膜厚測定方法、電子デバイスの製造方法、プログラム及び記憶媒体
CN113848658B (zh) * 2021-09-16 2023-11-14 信利(仁寿)高端显示科技有限公司 一种栅与源漏设备联动的自动排产系统及方法
WO2024018908A1 (fr) * 2022-07-21 2024-01-25 東レエンジニアリング株式会社 Procédé de formation de film de pérovskite et appareil de formation de film de pérovskite

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20020148307A1 (en) * 2001-03-14 2002-10-17 Jonkers Otto Cornelis Inspection system for process devices for treating substrates, sensor intended for such inspection system, and method for inspecting process devices
JP2004095731A (ja) * 2002-08-30 2004-03-25 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 太陽電池パネル色むら検査装置
JP2008026113A (ja) * 2006-07-20 2008-02-07 Japan Aerospace Exploration Agency 太陽電池の欠陥検査装置及びその方法
JP2009099607A (ja) * 2007-10-12 2009-05-07 Toyota Motor Corp 太陽電池モジュールの故障診断装置

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3809353B2 (ja) * 2001-08-02 2006-08-16 キヤノン株式会社 Ｉｄ付き加工物の製造方法
US7489399B1 (en) * 2004-08-20 2009-02-10 Kla-Tencor Corporation Spectroscopic multi angle ellipsometry
US7468611B2 (en) * 2006-10-20 2008-12-23 Photon Dynamics, Inc. Continuous linear scanning of large flat panel media

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20020148307A1 (en) * 2001-03-14 2002-10-17 Jonkers Otto Cornelis Inspection system for process devices for treating substrates, sensor intended for such inspection system, and method for inspecting process devices
JP2004095731A (ja) * 2002-08-30 2004-03-25 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 太陽電池パネル色むら検査装置
JP2008026113A (ja) * 2006-07-20 2008-02-07 Japan Aerospace Exploration Agency 太陽電池の欠陥検査装置及びその方法
JP2009099607A (ja) * 2007-10-12 2009-05-07 Toyota Motor Corp 太陽電池モジュールの故障診断装置

Also Published As

Publication number Publication date
US20110033957A1 (en) 2011-02-10
WO2011017509A2 (fr) 2011-02-10
WO2011017509A4 (fr) 2011-08-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2011017509A3 (fr) Système métrologique à mince film intégré utilisé dans une chaîne de production de cellules solaires
WO2010091025A3 (fr) Suite de programmes de métrologie et d'inspection pour une chaîne de production solaire
WO2010129136A3 (fr) Chaîne de production pour la production de dispositifs photovoltaïques de tailles multiples
WO2010135321A3 (fr) Procédé et appareil pour le contrôle de ligne de production de piles solaires et analyse de processus
WO2009134660A3 (fr) Module de référence de cellule photovoltaïque pour test solaire
WO2010093177A3 (fr) Cellule solaire et procédé de fabrication associé
CN202018275U (zh) 一种针对硅片来料性质的检测设备
WO2011046388A3 (fr) Dispositif photovoltaïque solaire et procédé de fabrication associé
WO2011100647A3 (fr) Forme réutilisable double face pour fabrication de substrats semi-conducteurs pour fabrication de cellules photovoltaïques et de dispositifs microélectroniques
WO2010042810A3 (fr) Systèmes et procédés d’usinage au laser à correction de vision et/ou localisation
WO2009104899A3 (fr) Procédés d'attaque de tranche asymétrique, photopile comprenant la tranche ainsi attaquée et procédé de fabrication correspondant
WO2010127764A3 (fr) Procédé de mise en contact d'un substrat semi-conducteur
WO2008103700A3 (fr) Dispositif de mesure d'état de processus
WO2010008603A8 (fr) Dispositifs photovoltaïques allongés, leurs procédés et systèmes de fabrication
WO2010033761A3 (fr) Equipement à semi-conducteurs d'autodiagnostic
WO2009129030A3 (fr) Module et procédés de tests paramétriques d'éléments photovoltaïques
MY170119A (en) Porous silicon electro-etching system and method
WO2010011560A3 (fr) Métrologie améliorée par l'utilisation de voies latérales d'acheminement direct et réutilisation de cellule de mesure
PH12016502441A1 (en) Passivation of light-receiving surfaces of solar cells with crystalline silicon
WO2010110778A3 (fr) Procédé et appareil permettant de former une connexion électrique sur une pile solaire
WO2011122354A3 (fr) Appareil d'exposition, procédé pour échanger un objet, procédé d'exposition et procédé de fabrication de dispositif
WO2012134062A3 (fr) Procédé de fabrication d'une cellule solaire
WO2008147113A3 (fr) Cellule solaire à fort rendement, sa méthode de fabrication et appareil servant à sa fabrication
WO2009120719A3 (fr) Procédé pour former une cellule photovoltaïque comprenant une couche mince liée à un élément récepteur discret
WO2012129051A3 (fr) Métrologie intégrée pour contrôler une tranche

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 10807150

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A2

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 10807150

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A2