WO2011012517A2 - Sonotrode a gorge et machine a usinage ultrasonore integrant la sonotrode - Google Patents

Sonotrode a gorge et machine a usinage ultrasonore integrant la sonotrode Download PDF

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WO2011012517A2
WO2011012517A2 PCT/EP2010/060562 EP2010060562W WO2011012517A2 WO 2011012517 A2 WO2011012517 A2 WO 2011012517A2 EP 2010060562 W EP2010060562 W EP 2010060562W WO 2011012517 A2 WO2011012517 A2 WO 2011012517A2
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WO
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sonotrode
base
sonotrode according
longitudinal
lateral dimensions
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PCT/EP2010/060562
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WO2011012517A3 (fr
Inventor
Abdellah Boulouize
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Institut Pierre Vernier
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Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
    • B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
    • B06B3/00—Methods or apparatus specially adapted for transmitting mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency

Definitions

  • the field of the invention is that of ultrasonic machining and in particular that of abrasive ultrasonic machining, belonging to cutting technologies of materials with high mechanical characteristics and more particularly that of the tool used called "sonotrode”, generally positioned along a vertical axis, able to reproduce by penetrating into the workpiece, its own shape.
  • ultrasonic machining is an entirely mechanical process that can be used for all materials, regardless of their electrical and thermal conductivity.
  • the ultrasounds used are created by a generator allowing the tool of given shape to be animated longitudinal elastic vibrations of frequencies close to 20 000 Hertz. The tool is thus pressed on the workpiece in such a way that the contact force between the workpiece and the tool is constant.
  • abrasive ultrasonic machining technique it is a process of shape reproduction and abrasion generation particularly suitable for machining hard, fragile, brittle materials such as glass, ceramics, quartz, precious stones, semiconductors, ... and allowing the realization of micro-devices such as monolithic actuators for example micro-clamps.
  • the machining is due to abrasive grain movements driven between room and sonotrode by the vibration thereof which is excited on its resonant frequency (can for example be 20 KHz).
  • the very hard particles are projected on the surface of the part and penetrate it by causing a deformation followed by a removal of material in the form of micro-chips.
  • the abrasive can typically be suspended in water which transmits the ultrasonic frequencies well.
  • a fine grain abrasive such as boron carbide, silicon carbide or diamond powder can be interposed in suspension in a chemically pure liquid.
  • These abrasive grains directly attack the workpiece, in which the tool penetrates progressively to form a recess that recesses the shape of the tool. Machining speed increases when fluid flow is established in the work area. This circulation ensures the renewal of abrasive grains and the evacuation of micro-chips produced. Machining is all the easier as the material worked is hard, fragile and brittle.
  • This wear and the removal work of the material depend on many parameters such as: vibration, static pressure, size and nature of the abrasive grain, depth of penetration, nature and shape of the workpiece. realize, Thus, the machining parameters are to be determined on a case by case basis.
  • the shape and dimensions of a cylindrical bore for example depend on how it is possible to control the gap and wear of the sonotrode.
  • the surface reveals cavities whose depth is less than one tenth of the diameter of the grain, that is to say 2 microns.
  • an ultrasonic machining machine consists of an electrical generator, an acoustic assembly composed of a transducer, an amplifier and a sonotrode as shown diagrammatically in FIG.
  • the generator (not shown) delivers a low frequency alternating current for supplying the acoustic assembly, described below in more detail.
  • This acoustic assembly comprises a transducer 1 powered by the generator.
  • the operation of the piezoelectric transducer is based on the inverse piezoelectric phenomenon. Under the action of an electric field, a proportional stress is produced whose sign depends on the direction of the field. It follows a mechanical deformation. Under the action of an alternating field, a mechanical vibration is generated.
  • a mechanical amplifier 2 is fixed to the transducer and can be fixed by means of a prestressing screw 21. Its role is to transmit and amplify the longitudinal waves from the transducer.
  • the amplifier is secured to a sonotrode also called tool electrode, it is cylindrical or more complex. Its role is to bring acoustic energy into the work area. It carries the working end (interchangeable tool), adapted to the shape to be machined.
  • the sonotrode may for example be attached to the amplifier by clamping studs 23.
  • the amplifier is also attached to a frame so as to maintain the assembly.
  • the amplifier and sonotrode assembly have longitudinal dimensions defined so as to be able to vibrate in longitudinal mode (traction-compression) at three nodes as shown in FIG. 1, in which the curve 1 a relates to the displacement of the ultrasonic waves. and the curve 1b relates to the stresses experienced by the different elements of the acoustic assembly.
  • constraints must be minimal at the level of the connections between the parts of the system, that is to say between the sonotrode and the amplifier and between the amplifier and the transducer. Indeed, having a minimum of constraints in these places, on the one hand maintains the optimal assembly of the system and on the other hand, the life of the machine is extended.
  • the length of the sonotrode is of the order of ⁇ / 2, with ⁇ wavelength of a longitudinal vibration.
  • the displacement must be maximum at the end of the sonotrode. Because of this, there is at this place a belly of vibration and therefore a node in terms of constraint. On the other hand, it can advantageously be zero at the level of attachment to the frame so as not to destroy the machine during vibration and at the electrode, because the ceramics do not support large deformations.
  • the Applicant proposes a solution in which a coupling of the two modes of vibration is introduced. corresponding respectively to the longitudinal mode propagating in the longitudinal part of the sonotrode and to the mode of bending propagating in the base of the sonotrode.
  • the present invention proposes a new type of sonotrode having an intermediate portion between a so-called longitudinal and a so-called basic portion intended to be in contact with the workpiece, thereby ensuring the homogeneous propagation of ultrasonic waves. in a plane parallel to the workpiece and this by introducing a coupling of vibration modes respectively corresponding to the longitudinal mode and the bending mode of the base located in a perpendicular plane.
  • the subject of the present invention is a sonotrode made of a material capable of transmitting vibrations and comprising at least a first so-called longitudinal portion having a central axis, characterized in that it furthermore comprises an intermediate portion and a portion constituting a base of dimensions. at least greater than about 1 inch, the intermediate portion having at least a first gradient of lateral dimensions perpendicular to the central axis at least increasing in connection with the base and for propagating vibrations generated at the base with a homogeneous amplitude at any point of the base and the longitudinal portion having at its upper end a conical or concave or convex surface for transmitting a maximum of vibrations.
  • the longitudinal portion and / or the intermediate portion have different lateral dimensions of the lateral dimensions of the base.
  • the sonotrode has a bi-cylindrical shape.
  • the intermediate portion comprises a second gradient decreasing from the longitudinal portion and for amplifying the vibrations generated at the base.
  • the intermediate part comprises a concave part.
  • the profile of the concave part of the intermediate part is of parabolic type.
  • the base comprises a plurality of sub-parts, a first sub-part being of increasing gradient of lateral dimensions, a second sub-part of significant lateral dimensions, a third sub-part with decreasing gradient of lateral dimensions. , allowing transverse machining to machine parts in dimensions parallel to the longitudinal axis of the sonotrode.
  • the sonotrode further comprises slots to reduce the weight.
  • the base has lateral dimensions greater than or equal to 2 inches.
  • the longitudinal portion further has at its upper end a parabolic surface for transmitting a maximum of vibrations.
  • the upper end has a rounded quarter-circle shape.
  • the longitudinal portion further has a thread for securing said sonotrode to an amplifier.
  • the sonotrode is monolithic, the three parts being made in the same room.
  • the intermediate portion and the base are made in at least two parts, the sonotrode further comprising means for fixing the two parts together.
  • the base furthermore comprises elements of small dimensions allowing collective machining of small parts with a great homogeneity of machining.
  • the fastening means are of the screwing or threading or gluing type.
  • the sonotrode comprises at least longitudinal and intermediate parts of steel.
  • the sonotrode comprises at least longitudinal and intermediate portions of aluminum and titanium.
  • the sonotrode comprises at least longitudinal and intermediate portions of titanium.
  • the base is made of silicon.
  • the invention also relates to an ultrasonic machining machine comprising a generator, a transducer and an amplifier, characterized in that it comprises a sonotrode according to the present invention.
  • the lateral dimensions of the sonotrode are greater than the lateral dimensions of the amplifier.
  • the machine further comprises means for supplying fluid loaded with abrasive particles.
  • FIG. 1 illustrates an acoustic assembly using a sonotrode according to the prior art
  • FIG. 2 schematizes a sonotrode according to the invention
  • FIGS. 4a, 4b and 4c illustrate modified forms at the upper surface of the sonotrode intended to be connected to an amplifier
  • FIG. 5 illustrates a first example of a sonotrode according to the invention comprising a tapped hole for fixing with an amplifier
  • FIG. 6 illustrates a second example of a sonotrode comprising perforated parts of slot type
  • FIG. 7 illustrates a third example of a sonotrode having a complex base comprising three subparts with gradients of lateral dimensions
  • FIG. 8 illustrates an example of an abrasive ultrasonic machining machine comprising a sonotrode according to the invention.
  • the sonotrode may have a symmetry of revolution about a central longitudinal axis C, at least a first gradient of lateral dimensions and preferably also a second gradient of lateral dimensions, or in the plane (X 1 Z) as illustrated in FIG. 2.
  • the sonotrode more precisely comprises a first so-called longitudinal portion P1, having a central axis characterized in that it furthermore comprises an intermediate part Pi and a part constituting a base Pb, the intermediate part comprising at least a first gradient Gi of lateral dimensions perpendicular to the central axis at least increasing in connection with the base and for propagating vibrations generated at the base with a constant amplitude at any point of the base, a second gradient G 2 of lateral dimensions to amplify the vibrations.
  • the combination of these two gradients generates a throat-like configuration as shown in FIG. 3.
  • the length of the sonotrode is, in known manner, adapted to the half-wavelength of vibration generated by the transducer whose ultrasonic machine is equipped. and in which the sonotrode must be integrated.
  • the top of the sonotrode is at an ordinate of 130 mm, the top of the throat at an ordinate of 125, 7 mm and the bottom of the throat at an ordinate of 86.7mm.
  • the sonotrode as schematized in FIG. 3 has an upper surface of the planar longitudinal part, nevertheless the Applicant has shown that this surface could be optimized so as to reinforce the amplification of the ultrasonic waves in the longitudinal part of the sonotrode having significant dimensions.
  • the upper surface being the one intended to be connected with an amplifier of the type shown in FIG.
  • FIG. 3 thus illustrates the amplifier / sonotrode assembly in a configuration of large sonotrodes.
  • FIGS. 4a, 4b and 4c respectively illustrate conical, concave two-cylindrical and convex two-cylinder modifications for the upper part Es of the sonotrode 3.
  • the convex two-cylinder modification presents the "CAM", although less than 1, the most important compared to the other two types of modifications, to optimize the displacement satisfactorily.
  • the rounded quarter-circle whose radius is to be adjusted according to the diameter of the sonotrode for example 2 inches or 3 inches or 4 inches, ...
  • the sonotrode 3 may moreover advantageously comprise, in its upper part Es, threaded hole-type fastening means T as represented in FIG. 5.
  • the sonotrode of the invention can thus have a concave type groove of cylindrical shape and have a diameter base of 76.2 mm with a diameter at the base of 30.13 mm and a hole threaded for attachment to an amplifier, the tapped hole having a depth of 19.5 mm. It may also be particularly advantageous to provide a conical shape at the upper end so as to cooperatively nest the amplifier in the sonotrode.
  • the sonotrodes described may be of monobloc type made in one piece or be made in two parts and be designed in sufficiently rigid material for ability to carry mechanical waves Materials such as steel, aluminum or titanium are particularly well suited.
  • the sonotrode may advantageously comprise a complex base for performing a transverse machining.
  • FIG. 7 illustrates an example of this type of sonotrode, presenting at the level of the widened disk-shaped base with respect to the longitudinal part, an end E 1, for balancing the disk used for the transverse machining.
  • the periphery of the disk corresponding to a lateral end E1 makes it possible to machine parts that would be positioned in vertical planes.
  • the sonotrodes of the invention can thus advantageously be used to directly machine parts made of hard materials or by using an abrasive to machine any type of softer material.
  • Example of an abrasive ultrasonic machining machine using a sonotrode of the invention :
  • This machine has the following components:
  • a power supply consisting of a low frequency generator, adjustable in power.
  • the transducer is coupled to an amplifier still commonly referred to as a "booster" which may be made of titanium or steel.
  • a sonotrode according to the invention of optimized shape having a groove with a symmetry of revolution and dimensions of the so-called basic portion of several inches.
  • Fixing means of the parts between them and on a central frame it is thus provided means for fixing the amplifier on the frame, in an optimized position (for example with three pins, corresponding to a zero point of constraint ) as well as means for fixing the sonotrode on the amplifier, type of clamping pin, or any other.
  • a camera implemented on the Z axis to view a fingerprint, to adjust the positioning of the head of the sonotrode on the object to be machined.
  • means for positioning the translation horn TZ comprising a TZ table and a lever and counterweight system coupled to the TZ table.
  • FIG. 8 illustrates more precisely an example of an ultrasonic machining machine comprising a sonotrode according to the invention and dedicated means for controlling the descent of the sonotrode on the workpiece Pu situated on a support S 0 .
  • the sonotrode 3 of the invention is attached to an amplifier / transducer assembly 2, the assembly being secured to a rotary table 4.
  • means ensuring the positioning and centering of the sonotrode relative to the workpieces: more specifically, there is provided disengaging means for positioning the sonotrode facing the workpiece, and means of positioning in RZ of the sonotrode in case of connection of parts for centering function, it may in particular be manual adjustment means of the type of clamping system such as clamping studs.
  • These means can advantageously be associated with a camera implemented on the Z axis to visualize a fingerprint, in order to adjust the positioning of the head of the sonotrode on the object to be machined.
  • the reading of a shot, following an imprint made on the surface of the workpiece can lead to reorient the sonotrode so as to achieve the shape actually desired after reorientation by means of RZ.
  • the transducer / sonotrode assembly is also attached to an intermediate part 5 located along the X axis perpendicular to the Z axis, connected to a mechanical part 7, itself located along the Z axis and providing a mechanical function of connection with a marble 6, connected to a counterweight system 10 via a pulley 8 which makes it possible to compensate for the weight of the assembly at the level of the sonotrode machining, thereby constituting a system of leverage and counter-weighting weight coupled to the table in TZ.
  • the counterweight weight may be of the order of 14 kilograms.
  • the TZ table then has a weight to bear of 1 kilogram.
  • the mechanical connecting piece 5 is also integral with the control sensor and position 10.
  • the sensor may in particular be attached to said part by an upper nut and a lower nut not shown.
  • This sensor is in contact with a bar-like part coupled to the TZ table referenced 13, via a mechanical part 12. As soon as the contact is no longer ensured, the entire device integrates information i 0 significant loss of contact with a problem and address via a controller 14, an information J 1 modification of the control of the race of the table in TZ therefore the descent of the sonotrode, typically it may be a speed reduction instruction.

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)

Abstract

L'invention concerne une sonotrode en matériau capable de transmettre des vibrations et comportant au moins une première partie dite longitudinale (Pl) présentant un axe central (C) caractérisée en ce qu'elle comporte en outre une partie intermédiaire (Pi) et une partie constituant une base (Pb) de dimensions au moins supérieures à environ 1 pouce, la partie intermédiaire comportant au moins un premier gradient (G1) de dimensions latérales perpendiculaires à l'axe central au moins croissant en liaison avec la base et permettant de propager des vibrations générées au niveau de la base avec une amplitude homogène en tout point de la base et la partie longitudinale présentant à son extrémité supérieure une surface conique ou concave ou convexe permettant de transmettre un maximum de vibrations.

Description

Sonotrode à gorge et machine à usinage ultrasonore intégrant la sonotrode
Le domaine de l'invention est celui de l'usinage ultrasonore et notamment celui de l'usinage ultrasonore abrasif, appartenant aux technologies de coupe de matériaux à caractéristiques mécaniques élevées et concerne plus particulièrement celui de l'outil employé appelé "sonotrode", généralement positionné suivant un axe vertical, capable de reproduire en pénétrant dans la pièce à usiner, sa propre forme.
De manière générale, l'usinage par ultrasons est un procédé entièrement mécanique susceptible d'être employé pour tous les matériaux, et cela indépendamment de leur conductibilité électrique et thermique. Les ultrasons utilisés sont créés par un générateur permettant à l'outil de forme donnée d'être animé de vibrations élastiques longitudinales de fréquences voisines de 20 000 Hertz. L'outil est ainsi appuyé sur la pièce à façonner de façon telle que l'effort de contact entre pièce et outil soit constant.
Dans la technique d'usinage ultrasonore abrasif, il s'agit d'un procédé de reproduction de forme et de génération par abrasion particulièrement adapté à l'usinage de matériaux durs, fragiles, cassants tels que le verre, les céramiques, le quartz , les pierres précieuses, les semiconducteurs,... et permettant la réalisation de micro-dispositifs tels que des actionneurs monolithiques par exemple des micro-pinces.
L'usinage est dû aux mouvements de grains d'abrasif entraînés entre pièce et sonotrode par la vibration de celle-ci qui est excitée sur sa fréquence de résonance (pouvant par exemple être de 20 KHz). Les particules très dures sont projetées sur la surface de la pièce et pénètrent celle-ci en provoquant une déformation suivie d'un enlèvement de matière sous forme de micro-copeaux. L'abrasif peut typiquement être en suspension dans de l'eau qui transmet bien les fréquences ultrasonores.
Ainsi, entre les surfaces en contact de la pièce et de l'outil, on peut interposer un abrasif à grains fins, tel que du carbure de bore, du carbure de silicium ou de la poudre de diamant en suspension dans un liquide chimiquement pur. Ces grains d'abrasif attaquent directement la pièce à façonner, dans laquelle l'outil pénètre progressivement pour former une cavité qui reproduit en creux la forme de l'outil. La vitesse d'usinage augmente lorsqu'on établit une circulation du liquide dans la zone de travail. Cette circulation assure le renouvellement des grains d'abrasif et l'évacuation des micro-copeaux produits. L'usinage est d'autant plus facile que le matériau travaillé est dur, fragile et cassant.
Cette usure et le travail d'enlèvement de la matière dépendent de nombreux paramètres tels que : la vibration, la pression statique, la taille et la nature du grain d'abrasif, la profondeur de pénétration, la nature et la forme de la pièce à réaliser, Ainsi, les paramètres d'usinage sont à déterminer au cas par cas.
A titre d'exemple, la forme et les dimensions d'un perçage cylindrique par exemple dépendent de la manière dont il est possible de maîtriser le gap et l'usure de la sonotrode. Néanmoins, grâce à une bonne connaissance préalable de l'action des abrasifs, il est possible d'obtenir des usinages ayant des dimensions de quelques mm à 3 ou 4 μm près. Si la profondeur est trop importante, il devient nécessaire, pour maintenir une telle précision sur toute la hauteur, de prévoir plusieurs sonotrodes, la dernière, de plus gros diamètre ne travaillant que pour l'enlèvement d'une très faible épaisseur de matière, avec éventuellement un grain de diamètre plus faible pour améliorer l'état de surface (typiquement inférieure à 20μm). Dans ce cas, la surface laisse apparaître des cavités dont la profondeur est inférieure au dixième du diamètre du grain, c'est-à-dire 2 μm.
A titre indicatif, II est possible de réaliser des trous de 300 μm de diamètre sur plusieurs mm de haut dans du cristal de quartz. Les perçages de 100 μm de diamètre sont réalisables sur des hauteurs plus faibles (300 à 500 μm), le problème, dans ce cas, étant la réalisation de l'outil.
De manière générale, une machine à usinage par ultrasons selon l'art connu est constituée d'un générateur électrique, d'un ensemble acoustique composé d'un transducteur, d'un amplificateur et d'une sonotrode comme schématisé en figure 1 .
Le générateur (non représenté) délivre un courant alternatif basse fréquence permettant d'alimenter l'ensemble acoustique, décrit ci-après plus en détails.
Cet ensemble acoustique comporte un transducteur 1 alimenté par le générateur. Le fonctionnement du transducteur piézoélectrique repose sur le phénomène piézoélectrique inverse. Sous l'action d'un champ électrique, une contrainte proportionnelle est produite dont le signe dépend du sens du champ. Il s'ensuit une déformation mécanique. Sous l'action d'un champ alternatif, une vibration mécanique est générée.
Un amplificateur mécanique 2 est fixé au transducteur et peut être fixé par l'intermédiaire d'une vis de précontrainte 21 . Il a pour rôle de transmettre et amplifier les ondes longitudinales issues du transducteur.
L'amplificateur est solidarisé à une sonotrode appelée également électrode-outil, elle est de forme cylindrique ou plus complexe. Son rôle est d'amener l'énergie acoustique dans la zone de travail. Elle porte l'extrémité travaillante (outil interchangeable), adaptée à la forme à usiner. La sonotrode peut par exemple être fixée sur l'amplificateur par des goujons de serrage 23. L'amplificateur est par ailleurs fixé à un bâti de manière à maintenir l'ensemble.
De manière classique, l'ensemble amplificateur et sonotrode présentent des dimensions longitudinales définies de manière à pouvoir vibrer en mode longitudinal (traction-compression) à trois nœuds comme représenté sur la figure 1 sur laquelle la courbe 1 a est relative au déplacement des ondes ultrasonores et la courbe 1 b est relative aux contraintes subies par les différents éléments de l'ensemble acoustique.
Les contraintes doivent être minimales au niveau des liaisons entre les pièces du système, c'est-à-dire entre la sonotrode et l'amplificateur et entre l'amplificateur et le transducteur. En effet, avoir un minimum de contraintes en ces endroits, permet d'une part un maintien de l'assemblage optimal du système et d'autre part, la durée de vie de la machine est allongée.
La longueur de la sonotrode est de l'ordre de λ /2, avec λ longueur d'onde d'une vibration longitudinale.
Le déplacement doit être maximal en bout de sonotrode. De ce fait, il y a à cet endroit un ventre de vibration donc un noeud en termes de contrainte. Par contre, il peut avantageusement être nul au niveau de la fixation au bâti afin de ne pas détruire la machine lors de la mise en vibration et au niveau de l'électrode, car les céramiques ne supportent pas de grandes déformations. Lorsque l'on cherche à usiner des pièces de dimensions supérieures aux dimensions classiques des sonotrodes actuelles, typiquement supérieures à 1 pouce, on est confronté à un problème d'homogénéité d'intensité de vibrations sur l'ensemble de la face de la sonotrode destinée à être en contact avec la pièce à usiner.
il pourrait apparaître intéressant de venir solidariser simplement une pièce de grandes dimensions latérales dans un plan (X, Z) supérieures au diamètre classique d'une sonotrode, l'axe vertical de l'ensemble acoustique correspondant à l'axe Y.
La demanderesse a néanmoins mis en évidence que l'on se heurte dans ce cas à un problème d'uniformité de déplacement d'ondes utrasonores d'amplitude Uy selon l'axe Y, conduisant à un mode en flexion au niveau de la base destinée à être en contact avec la partie à usiner.
C'est pourquoi pour répondre à ce problème d'uniformisation du déplacement d'ondes utrasonores d'amplitude Uy en tout point dans un plan (X,Z), la demanderesse propose une solution dans laquelle est introduit un couplage des deux modes de vibration correspondant respectivement au mode longitudinal se propageant dans la partie longitudinale de la sonotrode et au mode de flexion se propageant dans la base de la sonotrode.
Plus précisément la présente invention propose un nouveau type de sonotrode présentant une partie intermédiaire entre une partie classique dite longitudinale et une partie dite de base destinée à être en contact avec la pièce à usiner, permettant ainsi d'assurer la propagation homogène d'ondes ultrasonores dans un plan parallèle à la pièce à usiner et ce en introduisant un couplage des modes de vibration correspondant respectivement au mode longitudinal et au mode de flexion de la base située dans un plan perpendiculaire.
Plus précisément la présente invention a pour objet une sonotrode en matériau capable de transmettre des vibrations et comportant au moins une première partie dite longitudinale présentant un axe central caractérisée en ce qu'elle comporte en outre une partie intermédiaire et une partie constituant une base de dimensions au moins supérieures à environ 1 pouce, la partie intermédiaire comportant au moins un premier gradient de dimensions latérales perpendiculaires à l'axe central au moins croissant en liaison avec la base et permettant de propager des vibrations générées au niveau de la base avec une amplitude homogène en tout point de la base et la partie longitudinale présentant à son extrémité supérieure une surface conique ou concave ou convexe permettant de transmettre un maximum de vibrations.
Selon une variante de l'invention, la partie longitudinale et/ou la partie intermédiaire ont des dimensions latérales différentes des dimensions latérales de la base.
Selon une variante de l'invention, la sonotrode présente une forme bi-cylindrique.
Selon une variante de l'invention, la partie intermédiaire comporte un second gradient décroissant depuis la partie longitudinale et permettant d'amplifier les vibrations générées au niveau de la base.
Selon une variante de l'invention, la partie intermédiaire comporte une partie concave.
Selon une variante de l'invention, le profil de la partie concave de la partie intermédiaire est de type parabolique.
Selon une variante de l'invention, la base comporte plusieurs sous-parties, une première sous-partie étant à gradient croissant de dimensions latérales, une seconde sous-partie de dimensions latérales importantes, une troisième sous-partie à gradient décroissant de dimensions latérales, permettant un usinage transversal pour usiner des pièces dans des dimensions parallèle à l'axe longitudinal de la sonotrode.
Selon une variante de l'invention, la sonotrode comporte en outre des fentes pour en réduire le poids.
Selon une variante de l'invention, la base présente des dimensions latérales supérieures ou égales à 2 pouces.
Selon une variante de l'invention, la partie longitudinale présente en outre au niveau de son extrémité supérieure une surface parabolique permettant de transmettre un maximum de vibrations.
Selon une variante de l'invention, l'extrémité supérieure présente un arrondi en forme de quart de cercle.
Selon une variante de l'invention, la partie longitudinale présente en outre un filetage permettant de solidariser ladite sonotrode à un amplificateur. Selon une variante de l'invention, la sonotrode est monolithique, les trois parties étant réalisées dans une même pièce.
Selon une variante de l'invention, la partie intermédiaire et la base sont réalisées dans au moins deux pièces, la sonotrode comportant en outre des moyens de fixation des deux pièces entre elles.
Selon une variante de l'invention, la base comporte en outre des éléments de faibles dimensions permettant un usinage collectif de petites pièces avec une grande homogénéité d'usinage.
Selon une variante de l'invention, les moyens de fixation sont de type vissage ou filetage ou collage.
Selon une variante de l'invention, la sonotrode comporte au moins des parties longitudinale et intermédiaire en acier.
Selon une variante de l'invention, la sonotrode comporte au moins des parties longitudinale et intermédiaire en aluminium et titane.
Selon une variante de l'invention, la sonotrode comporte au moins des parties longitudinale et intermédiaire en titane.
Selon une variante de l'invention, la base est en silicium.
L'invention a aussi pour objet une machine à usinage ultrasonore comportant un générateur, un transducteur et un amplificateur, caractérisée en ce qu'elle comporte une sonotrode selon la présente invention.
Selon une variante de l'invention, les dimensions latérales de la sonotrode sont supérieures aux dimensions latérales de l'amplificateur.
Selon une variante de l'invention, la machine comprend en outre des moyens en alimentation de fluide chargé de particules abrasives.
L'invention sera mieux comprise et d'autres avantages apparaîtront à la lecture de la description qui va suivre donnée à titre non limitatif et grâce aux figures annexées parmi lesquelles :
- la figure 1 illustre un ensemble acoustique utilisant une sonotrode selon l'art connu ;
- la figure 2 schématise une sonotrode selon l'invention ;
- la figure 3 illustre une sonotrode de grandes dimensions selon l'invention reliée à un amplificateur ; - les figures 4a, 4b et 4c illustrent des formes modifiées au niveau de la surface supérieure de la sonotrode destinée à être en liaison avec un amplificateur ;
la figure 5 illustre un premier exemple de sonotrode selon l'invention comportant un trou taraudé de fixation avec un amplificateur ;
- la figure 6 illustre un second exemple de sonotrode comportant des parties ajourées de type fentes;
- la figure 7 illustre un troisième exemple de sonotrode présentant une base complexe comportant trois sous-parties à gradients de dimensions latérales ;
- la figure 8 illustre un exemple de machine à usinage ultrasonore abrasif comportant une sonotrode selon l'invention. De manière générale, la sonotrode peut présenter une symétrie de révolution autour d'un axe central longitudinal C, au moins un premier gradient de dimensions latérales et de préférence également un second gradient de dimensions latérales, soit dans le plan (X1Z) comme illustré en figure 2. La sonotrode comporte plus précisément une première partie dite longitudinale Pl, présentant un axe central caractérisée en ce qu'elle comporte en outre une partie intermédiaire Pi et une partie constituant une base Pb, la partie intermédiaire comportant au moins un premier gradient Gi de dimensions latérales perpendiculaires à l'axe central au moins croissant en liaison avec la base et permettant de propager des vibrations générées au niveau de la base avec une amplitude constante en tout point de la base, un second gradient G2 de dimensions latérales permettant d'amplifier les vibrations. La combinaison de ces deux gradients génère une configuration de type gorge telle que représentée en figure 3. La longueur de la sonotrode est de manière connue adaptée à la demi-longueur d'onde de vibration générée par le transducteur dont la machine à ultrasons est équipée et dans laquelle doit être intégrée la sonotrode.
A titre d'exemple, en prenant comme origine selon l'axe Y, la face inférieure de la base de la sonotrode, le haut de la sonotrode est à une ordonnée de 130 mm, le haut de la gorge à une ordonnée de 125,7 mm et le bas de la gorge à une ordonnée de 86,7mm. La sonotrode telle que schématisée en figure 3 présente une surface supérieure de la partie longitudinale plane, néanmoins la demanderesse a montré que cette surface pouvait être optimisée de manière à renforcer l'amplification des ondes ultrasonores dans la partie longitudinale de la sonotrode présentant des dimensions importantes, la surface supérieure étant celle destinée à être en liaison avec un amplificateur du type de celui représenté en figure 1 .
La figure 3 illustre ainsi l'ensemble amplificateur/sonotrode dans une configuration de sonotrodes de grandes dimensions.
En passant d'un diamètre à un autre plus important l'amplitude de la vibration diminue quel que soit le choix de modification à effectuer, car le facteur (ou coefficient) d'amplification mécanique K est inférieur à 1 pour l'optimisation du déplacement des ondes ultrasonores d'amplitude donnée, dans ce cas là, il n'est donc pas question de l'augmenter, mais plutôt d'en perdre le minimum possible.
Différents types de modifications sont envisageables au niveau de la liaison amplificateur/sonotrode. Les figures 4a, 4b et 4c illustrent ainsi respectivement des modifications conique, bicylindrique concave et bicylindrique convexe, pour la partie supérieure Es de la sonotrode 3.
Grâce à l'évaluation du coefficient d'amplification mécanique encore dénommé « CAM » et référencé K OU son inverse 1/ K qui représente l'amplification mécanique, il est possible de définir la forme la plus adaptée.
Le tableau ci-après récapitule les différents « CAM » obtenus avec les différentes formes envisagées.
Figure imgf000010_0001
La modification bicylindrique convexe présente le « CAM », bien que inférieur à 1 , le plus important comparé aux deux autres types de modifications, permettant d'optimiser de manière satisfaisante le déplacement.
Les formes paraboliques de type 2y = ax donnent une meilleure optimisation du déplacement mais correspondent à des formes plus contraignantes en termes de contraintes techniques d'usinage que les géométries d'arrondi.
Ainsi avantageusement, il peut être retenu l'arrondi en forme de quart de cercle dont le rayon est à ajuster selon le diamètre de la sonotrode par exemple 2 pouces ou 3 pouces ou 4 pouces, ...
Pour pouvoir être fixée à l'amplificateur, la sonotrode 3 peut par ailleurs avantageusement comprendre dans sa partie supérieure Es des moyens de fixation de type trou taraudé T comme représenté en figure 5.
A titre d'exemple, la sonotrode de l'invention peut présenter ainsi une gorge de type concave de forme cylindrique et présenter une base de diamètre de 76,2 mm avec un diamètre au niveau de la base de 30,13 mm et un trou taraudé permettant la fixation à un amplificateur, le trou taraudé présentant une profondeur de 19,5 mm. II peut être également particulièrement intéressant de prévoir une forme conique à l'extrémité supérieure de manière à pouvoir emboîter de façon coopérative l'amplificateur dans la sonotrode.
Par ailleurs avec des sonotrodes de grandes dimensions pouvant atteindre 4 pouces de dimensions latérales, voire au-delà, on peut typiquement atteindre des poids de sonotrode de l'ordre de sept kilos. C'est pourquoi, il peut être particulièrement utile de chercher à en diminuer le poids. Dans une variante de l'invention il est ainsi proposé d'ajourer partiellement la partie longitudinale comme illustré en figure 6 qui présente un exemple de sonotrodes de symétrie de révolution avec par exemple des fentes Fi permettant d'ajourer ladite sonotrode.
De manière générale, les sonotrodes décrites peuvent aussi bien être de type monobloc réalisées en une seule pièce ou être réalisées en deux pièces liées et être conçues en matériau suffisamment rigide pour pouvoir transporter les ondes mécaniques. Des matériaux tels que l'acier, l'aluminium ou le titane sont particulièrement bien adaptés.
Il existe en effet des applications dans lesquelles il est intéressant de réaliser une base dans un matériau différent de celui constitutif de celui constitutif de la partie intermédiaire et de la partie longitudinale. En effet, dans le cas de procédé collectif de réalisation de pièces de très petites dimensions (de l'ordre d'une centaine de microns) on peut avantageusement utiliser une base en silicium de grande dimensions, environ de l'ordre de 4 pouces ou plus, avec des petits picots permettant d'opérer des perçages de faibles dimensions. Ce type de base est aisément réalisable dans des matériaux de type silicium et peut être notamment réalisée par des techniques de Liga UV ou de gravure plasma.
Dans le cas de sonotrode non monolithique, il convient de fixer l'ensemble des pièces entre elles. Pour ce faire, on peut utiliser une colle de type colle époxy ou procéder à une opération de brasage avec un mélange à base d'argent. Il convient d'utiliser un matériau ou mélange de matériaux suffisamment malléables pour transmettre les vibrations. C'est pourquoi il est préférable de procéder à des opérations de brasure plutôt qu'à des opérations de soudure.
Selon une autre variante de l'invention, la sonotrode peut avantageusement comporter une base complexe permettant de réaliser un usinage transverse. La figure 7 illustre un exemple de ce type de sonotrode, présentant au niveau de la base élargie en forme de disque par rapport à la partie longitudinale, une extrémité Ei, pour équilibrer le disque utilisé pour l'usinage transverse. La périphérie du disque correspondant à une extrémité latérale El permet d'usiner des pièces qui seraient positionnées dans des plans verticaux. Les sonotrodes de l'invention peuvent ainsi avantageusement être utilisées pour usiner de manière directe des pièces en matériaux durs ou en utilisant un abrasif pour usiner tout type de matériaux plus souples. Exemple de machine à usinage ultrasonore abrasif utilisant une sonotrode de l'invention :
Cette machine comporte les différents composants suivants :
1 ) Une alimentation électrique constituée, d'un générateur basse fréquence, réglable en puissance.
2) Une source ultrasonore vibrant à des fréquences de 20, 35, 40 KHz et comprenant un transducteur de type disque en PZT. Le transducteur est couplé à un amplificateur encore couramment dénommé « Booster » pouvant être en titane ou en acier.
3) Une sonotrode selon l'invention de forme optimisée présentant un une gorge avec une symétrie de révolution et des dimensions de la partie dite de base de plusieurs pouces.
4) Des moyens de fixation des pièces entre elles et sur un bâti central : il est ainsi prévu des moyens de fixation de l'amplificateur sur le bâti, en une position optimisée (par exemple avec trois goupilles, correspondant à un point zéro de contrainte) ainsi que des moyens de fixation de la sonotrode sur l'amplificateur, de type goujon de serrage, ou tout autre.
5) Des moyens de positionnement et de centrage de la sonotrode par rapport aux pièces à usiner : plus précisément, il peut avantageusement être prévu des moyens de débrayage pour positionner la sonotrode en regard de la pièce à usiner, ainsi que des moyens de positionnement en RZ de la sonotrode en cas de raccordement de pièces pour fonction de centrage, il peut notamment s'agir de moyens de réglage manuel de type système de bridage tels que des goujons de serrage.
6) II est également prévu une caméra implémentée sur l'axe Z pour visualiser une empreinte, afin de régler le positionnement de la tête de la sonotrode sur l'objet à usiner.
7) Des moyens de positionnement de la sonotrode en translation TZ comprenant une table en TZ et un système de levier et de contre-poids couplé à la table en TZ.
8) Des moyens de positionnement et de gestion des pièces à usiner.
9) Des moyens de gestion du flux d'abrasif comprenant un fluide porteur de type eau ou solvant et des particules d'abrasif dont la nature (carbure de bore, diamant, carbure de silicium, ...) et la granulométrie des grains d'abrasif, sont adaptés à la forme des pièces à usiner. La figure 8 illustre plus précisément un exemple de machine à usinage ultrasonore comportant une sonotrode selon l'invention et des moyens dédiés pour commander la descente de la sonotrode sur la pièce à usiner Pu située sur un support S0.
La sonotrode 3 de l'invention est fixée à un ensemble amplificateur/ transducteur 2, l'ensemble étant solidarisé à une table rotative 4.
Il peut aussi être prévu des moyens assurant le positionnement et le centrage de la sonotrode par rapport aux pièces à usiner : plus précisément, il est prévu des moyens de débrayage pour positionner la sonotrode en regard de la pièce à usiner, ainsi que des moyens de positionnement en RZ de la sonotrode en cas de raccordement de pièces pour fonction de centrage, il peut notamment s'agir de moyens de réglage manuel de type système de bridage tels que des goujons de serrage.
Ces moyens peuvent avantageusement être associés à une caméra implémentée sur l'axe Z pour visualiser une empreinte, afin de régler le positionnement de la tête de la sonotrode sur l'objet à usiner. La lecture d'une prise de vue, suite à une empreinte réalisée à la surface de la pièce à usiner peut conduire à réorienter la sonotrode de manière à réaliser la forme effectivement désirée après réorientation par les moyens en RZ.
L'ensemble transducteur/sonotrode est fixé par ailleurs à une pièce intermédiaire 5 située selon l'axe X perpendiculaire à l'axe Z, reliée à une pièce mécanique 7, elle-même située selon l'axe Z et assurant une fonction mécanique de liaison avec un marbre 6, relié à un système de contre-poids 10 via une poulie 8 qui permet de compenser le poids de l'ensemble au niveau de la sonotrode d'usinage, constituant par la même un système de levier et de contre-poids couplé à la table en TZ.
A titre d'exemple si le poids de l'ensemble intégrant la sonotrode est de 15 kilogrammes, la masse de contre-poids peut-être de l'ordre de 14 kilogrammes. La table en TZ a alors un poids à supporter d'1 kilogramme.
La pièce mécanique de liaison 5 est par ailleurs solidaire du capteur de contrôle et de position 10. Le capteur peut notamment être fixé à ladite pièce par un écrou supérieur et un écrou inférieur non représenté.
Ce capteur est en contact avec une pièce de type barre couplée 1 1 à la table en TZ référencée 13, via une pièce mécanique 12. Dès que le contact n'est plus assuré, l'ensemble du dispositif intègre une information i0 de perte de contact significative d'un problème et adresse via un automate de commande 14, une information J1 de modification de la commande de la course de la table en TZ donc de la descente de la sonotrode, typiquement il pourra s'agir d'une consigne de réduction de vitesse.

Claims

REVENDICATIONS
1. Sonotrode en matériau capable de transmettre des vibrations et comportant au moins une première partie dite longitudinale (Pl) présentant un axe central (C) caractérisée en ce qu'elle comporte en outre une partie intermédiaire (Pi) et une partie constituant une base (Pb) de dimensions au moins supérieures à environ 1 pouce, la partie intermédiaire comportant au moins un premier gradient (G-i) de dimensions latérales perpendiculaires à l'axe central au moins croissant en liaison avec la base et permettant de propager des vibrations générées au niveau de la base avec une amplitude homogène en tout point de la base et la partie longitudinale présentant à son extrémité supérieure une surface conique ou concave ou convexe permettant de transmettre un maximum de vibrations.
2. Sonotrode selon la revendication 1 , caractérisée en ce que la partie longitudinale et/ou la partie intermédiaire ont des dimensions latérales différentes des dimensions latérales de la base.
3. Sonotrode selon la revendication 2, caractérisée en ce qu'elle présente une forme bi-cylindrique.
4. Sonotrode selon l'une des revendications 1 à 3, caractérisée en ce que la partie intermédiaire comporte un second gradient (G2) décroissant depuis la partie longitudinale et permettant d'amplifier les vibrations générées au niveau de la base.
5. Sonotrode selon la revendication 4, caractérisée en ce que la partie intermédiaire comporte une partie concave.
6 Sonotrode selon la revendication 5, caractérisée en ce que le profil de la partie concave de la partie intermédiaire est de type parabolique.
7. Sonotrode selon l'une des revendications 1 à 6, caractérisée en ce que la base comporte plusieurs sous-parties, une première sous-partie étant à gradient croissant de dimensions latérales, une seconde sous-partie de dimensions latérales importantes, une troisième sous-partie à gradient décroissant de dimensions latérales, permettant un usinage transversal pour usiner des pièces dans des dimensions parallèle à l'axe longitudinal de la sonotrode.
8. Sonotrode selon l'une des revendications 1 à 7, caractérisée en ce qu'elle comporte en outre des fentes pour en réduire le poids.
9. Sonotrode selon l'une des revendications 1 à 8, caractérisée en ce que la base présente des dimensions latérales supérieures ou égales à 2 pouces.
10. Sonotrode selon l'une des revendications précédentes caractérisée en ce que la partie longitudinale présente en outre au niveau de son extrémité supérieure une surface parabolique permettant de transmettre un maximum de vibrations.
11. Sonotrode selon l'une des revendications 1 à 10, caractérisé en ce que l'extrémité supérieure présente un arrondi en forme de quart de cercle.
12. Sonotrode selon l'une des revendications 1 à 1 1 , caractérisée en ce que la partie longitudinale présente en outre un filetage permettant de solidariser ladite sonotrode à un amplificateur.
13. Sonotrode selon l'une des revendications 1 à 12, caractérisée en ce qu'elle est monolithique, les trois parties étant réalisées dans une même pièce.
14. Sonotrode selon l'une des revendications 1 à 12, caractérisée en ce que la partie intermédiaire et la base sont réalisées dans au moins deux pièces, la sonotrode comportant en outre des moyens de fixation des deux pièces entre elles.
15. Sonotrode selon la revendication 14, caractérisée en ce que la base comporte en outre des éléments de faibles dimensions permettant un usinage collectif de petites pièces avec une grande homogénéité d'usinage.
16. Sonotrode selon l'une des revendications 14 ou 15, caractérisée en ce que les moyens de fixation sont de type vissage ou filetage ou collage.
17. Sonotrode selon l'une des revendications précédentes, caractérisée en ce qu'elle est comporte au moins des parties longitudinale et intermédiaire en acier.
18. Sonotrode selon l'une des revendications précédentes, caractérisée en ce qu'elle comporte au moins des parties longitudinale et intermédiaire en aluminium et titane.
19. Sonotrode selon l'une des revendications précédentes, caractérisée en ce qu'elle comporte au moins des parties longitudinale et intermédiaire en titane.
20. Sonotrode selon l'une des revendications 14 à 19, caractérisé en ce que la base est en silicium.
21. Machine à usinage ultrasonore comportant un générateur, un transducteur et un amplificateur, caractérisée en ce qu'elle comporte une sonotrode selon l'une des revendications précédentes.
22 Machine à usinage ultrasonore selon la revendication 21 , caractérisée en ce que les dimensions latérales de la sonotrode sont supérieures aux dimensions latérales de l'amplificateur.
23. Machine à usinage ultrasonore selon l'une des revendications 21 ou 22, caractérisée en ce qu'elle comprend en outre des moyens en alimentation de fluide chargé de particules abrasives.
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Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2082090A5 (en) * 1970-03-03 1971-12-10 Scotto Jean Pierre Ultrasonic welding tool - shaped to convert an axial impulse to a rolling radial contact at an enlarged waist
CS185526B1 (en) * 1976-11-02 1978-10-31 Stefan Svehla Capacity ultrasonic piezoelectric converter,especially for big ultrasonic performance
US4131505A (en) * 1977-12-12 1978-12-26 Dukane Corporation Ultra-sonic horn
JP2003517848A (ja) * 1999-12-10 2003-06-03 ミソニクス インコーポレイテッド 超音波角アッセンブリ
DE10349380B3 (de) * 2003-10-21 2005-06-02 Schunk Ultraschalltechnik Gmbh Werkzeug für eine Ultraschallschweißvorrichtung
US7156201B2 (en) * 2004-11-04 2007-01-02 Advanced Ultrasonic Solutions, Inc. Ultrasonic rod waveguide-radiator

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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