WO2011009467A1 - Ansteuerschaltung für pockelszelle - Google Patents

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WO2011009467A1 PCT/EP2009/004723 EP2009004723W WO2011009467A1 WO 2011009467 A1 WO2011009467 A1 WO 2011009467A1 EP 2009004723 W EP2009004723 W EP 2009004723W WO 2011009467 A1 WO2011009467 A1 WO 2011009467A1
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drive circuit
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Thorald Horst Bergmann
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    • G—PHYSICS
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    • G02F1/03—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect
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    • Y10S359/00—Optical: systems and elements
    • Y10S359/90—Methods

Definitions

  • the invention relates to a drive circuit for a Pockels cell according to the preamble of patent claim 1, a Pockels cell with a drive circuit, a use of a Pockels cell in a pulsed laser system and a method for driving a Pockels cell with a drive circuit.
  • a Pockels cell with a suitable switchable high voltage power supply can be used to optically switch short laser pulses lasting only a few nanoseconds (ns) or ultrasecond laser pulses of picosecond (ps) or femtosecond (fs) duration, i. to change the intensity or beam direction of the laser pulses.
  • Ultrashort pulse laser sources inherently have very high repetition rates (greater than 10 megahertz (MHz), typically 70-200 MHz for solid-state lasers) and low pulse energies (typically 0.1-50 nJ). If individual pulses or pulse groups of ps- or fs-laser pulses are required, a Pockels cell is often used to select these pulses. In this case, the voltage must first be completely switched on between two pulses which the laser beam source emits in a time interval of 6-15 ns in order to be completely switched off again after passing one or more laser pulses within 6-15 ns later ,
  • a Pockels cell can be used to cut out a particular temporal segment in a continuous laser beam.
  • Suitable drive circuits for a Pockels cell are described for example in German Patent DE 102 51 888 B4.
  • the essentially described therein Connections are so-called bridge circuits in which the Pockels cell is arranged between two circuit nodes which are the starting point of four lines corresponding to the four legs of the letter H, which is why this arrangement is also called H configuration.
  • FIG. 4 Such a device is shown in FIG. 4 in which a first circuit node is connected to a first line via a first switch with a positive high-voltage potential and to a second line via a second switch to a ground potential and a second one
  • Circuit node is connected to a third line via a third switch to the positive high voltage potential and to a fourth line via a fourth switch to the ground potential.
  • the individual switches used in such drive circuits are high-voltage switches, with which voltages up to a few kilovolts or a few tens of kilovolts can be switched.
  • the switching times of common transistor high-voltage switches are in the range of a few nanoseconds, and the high-voltage switches can be controlled, for example, by TTL signals of a few volts.
  • TTL signals of a few volts.
  • the internal structure of this high voltage switch is described.
  • the maximum repetition rate with which such a high-voltage switch and thus the Pockels cell can be operated is determined inter alia by the maximum possible consumption of electrical power at the high-voltage switch. It is an object of the present invention to provide a drive circuit for a Pockels cell, with which the maximum possible repetition rate can be increased.
  • An essential idea of the present invention is to configure the drive circuit such that the total electrical power consumed on the high-voltage switches is better distributed to the latter. It can thus be achieved that none of the switches alone has to switch the total switching voltage required by the Pockels cell. The switches can thus be subjected to a higher repetition rate until the maximum possible consumption of electrical power at a single switch has been reached.
  • a Pockels cell drive circuit comprises a first circuit node connectable to a first terminal of the Pockels cell and a second circuit node connectable to a second terminal of the Pockels cell, the first circuit node. is connected by a first line via a first switch with a first electrical potential and by a second line via a second switch with a second electrical potential, and the second circuit node through a third line via a third switch with a third electrical potential and via a third fourth switch is connected to a fourth electrical potential, wherein the difference between the first electrical potential and the fourth electrical potential is greater than the respective differences between the first and second or the third and fourth potential.
  • the second and third potentials may have the same value, for example ground potential.
  • the first electrical potential is provided by the positive pole of a voltage source and the fourth electric potential by the negative pole of the voltage source.
  • a voltage can be applied to the Pockels cell by simultaneously closing the first switch and the fourth switch and opening the second switch and the third switch.
  • the Pokekelszelle can be switched off by simultaneously opening the first switch and the fourth switch and the second switch and the third switch are closed.
  • the switching voltage required by the Pockels cell 2-HV is thus not only switched from a switch to the Pockels cell but it is distributed over two switches, the amount of each potential HV connect to the Pockels cell.
  • the two switches thus need not be charged in each case with the full switching voltage 2-HV of the Pockels cell, but must each pass through a potential HV. Due to this reduced power load, the switches can be subjected to a higher repetition rate before they reach the limit of their electrical power load.
  • the second and the third electrical potential may be equal to each other and, in particular, given by a ground potential.
  • the second and the third electrical potential may be at different potential values.
  • 1 shows an embodiment of a control system according to the invention
  • 2 shows a further embodiment of a drive circuit according to the invention
  • 3 shows a switch position time or voltage time diagram for illustrating the switch states or the voltage state of the Pockels cell according to an embodiment of a method for driving a Pockels cell with the drive circuit of FIG. 2.
  • FIG. 1 schematically shows a drive circuit according to the invention in accordance with a general embodiment.
  • the representation also includes the Pockels cell CP to be driven by the drive circuit.
  • the Pockels cell CP has two electrical connections, one of which is connected to a first circuit node Pl and a second to a second circuit node P2 or connect.
  • the first circuit node Pl is connected by a first electrical line via a first switch SlB to a first electrical potential HVl.
  • the first circuit node Pl is also connected by a second electrical line via a second switch SlA with a second electrical see potential HV2.
  • the second circuit node P2 is connected through a third electrical line via a third switch S2A to a third electrical potential HV3.
  • the second circuit node P2 is connected via a fourth switch S2B to a fourth electrical potential HV4.
  • the electrical potentials HV1 to HV4 are selected such that the difference of the potentials HV1-HV4 is greater than the difference of the potentials HV1-HV2, and that the difference of the potentials HV1-HV4 is greater than the difference of the potentials HV3-HV4.
  • the high-voltage switches SlA, SlB, S2A and S2B are transistor high-voltage switches and they can be provided for example by such transistor high-voltage switches, as described in German Patent DE 3 630 775 C2.
  • FIG. 2 schematically shows a drive circuit according to the invention according to a specific embodiment.
  • the first electrical potential HV1 is here supplied by a positive electrical potential + HV of the positive pole of a high voltage source.
  • the second electrical potential HV2 is given by a ground potential GND of the drive circuit.
  • the third electrical potential HV3 is also given by the ground potential GND of the drive circuit.
  • the fourth electrical potential is finally supplied by a negative electrical potential -HV of the negative pole of the voltage source.
  • FIG. 3 shows a circuit state-time or voltage-time diagram for illustrating the time profile of the switch states or the voltage at the Pockels cell CP when using the drive circuit shown in FIG.
  • the bottom curve of the diagram shows the voltage state at the Pockels cell CP, ie the difference between the electrical potentials at the circuit nodes Pl and P2.
  • the voltage 2-HV is applied to the poke cell.
  • a Pockels cell requires a specific switching voltage U and this switching voltage U is to be switched on and off at a repetition rate f. If the switching voltage U is to be switched through to the Pockels cell by a single switch, then the electrical power P consumed at the switch is approximately equivalent:

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Abstract

Eine Ansteuerschaltung für eine Pockelszelle umfasst einen ersten Schaltungsknoten (P1), der mit einem ersten Anschluss der Pockelszelle (CP) verbindbar ist, und einen zweiten Schaltungsknoten (P2), der mit einem zweiten Anschluss der Pockelszelle (CP) verbindbar ist, wobei der erste Schaltungsknoten (P1) durch eine erste Leitung über einen ersten Schalter (S1B) mit einem ersten elektrischen Potential (HV1) und durch eine zweite Leitung über einen zweiten Schalter (S1A) mit einem zweiten elektrischen Potential (HV2) verbunden ist, und der zweite Schaltungsknoten (P2) durch eine dritte Leitung über einen dritten Schalter (S2B) mit einem dritten elektrischen Potential (HV3) und über einen vierten Schalter (S2A) mit einem vierten elektrischen Potential (HV4 ) verbunden ist, und HV1 positiver als HV2 und HV3 positiver als HV4 ist, wobei die Differenz der Potentiale (HV1 - HV4 ) größer ist als die Differenz der Potentiale (HV1 - HV2) und die Differenz der Potentiale (HV1 - HV4 ) größer ist als die Differenz der Potentiale (HV3 - HV4 ).

Description

Beschreibung
Ansteuerschaltung für Pockelszelle Die Erfindung betrifft eine Ansteuerschaltung für eine Pok- kelszelle nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1, eine Pockelszelle mit einer Ansteuerschaltung, eine Verwendung einer Pockelszelle in einem gepulsten Lasersystem und ein Verfahren zum Ansteuern einer Pockelszelle mit einer Ansteuer- Schaltung.
Eine Pockelszelle mit einer geeigneten schaltbaren Hochspannungsversorgung kann dazu verwendet werden, um kurze Laserpulse mit einer Dauer von wenigen Nanosekunden (ns) oder ul- trakurze Laserpulse mit Pikosekunden (ps)- oder Femtosekunden (fs)- Dauer optisch zu schalten, d.h. die Intensität oder die Strahlrichtung der Laserpulse zu ändern. Laserstrahlquellen für ultrakurze Pulse haben prinzipbedingt immer sehr hohe Wiederholraten (größer als 10 Megaherz (MHz) , typischerweise 70 - 200 MHz für Festkörperlaser) und niedrige Pulsenergien (typischerweise 0,1 - 50 nJ) . Werden einzelne Pulse oder Pulsgruppen von ps- oder fs-Laserpulsen benötigt, so wird häufig eine Pockelszelle dafür verwendet, um diese Pulse zu selektieren. In diesem Fall muss zunächst zwischen zwei PuI- sen, welche die Laserstrahlquelle typischerweise in einem zeitlichen Abstand von 6 - 15 ns aussendet, die Spannung vollständig angeschaltet werden, um nach Durchlassen eines oder mehrerer Laserpulse innerhalb 6 - 15 ns später vollständig wieder abgeschaltet zu werden.
Ebenso kann eine Pockelszelle dazu verwendet werden, bei einem kontinuierlichen Laserstrahl ein bestimmtes zeitliches Segment auszuschneiden. Geeignete Ansteuerschaltungen für eine Pockelszelle sind beispielsweise in der deutschen Patentschrift DE 102 51 888 B4 beschrieben. Die im Wesentlichen darin beschriebenen Ansteu- erschaltungen sind sogenannte Brückenschaltungen, bei welchen die Pockelszelle zwischen zwei Schaltungsknoten angeordnet ist, die Ausgangspunkt von vier Leitungen sind, die den vier Schenkeln des Buchstabens H entsprechen, weshalb diese Anord- nung auch H-Konfiguration genannt wird. In der Fig. 4 dieser Druckschrift ist eine derartige Anordnung gezeigt, bei der ein erster Schaltungsknoten mit einer ersten Leitung über einen ersten Schalter mit einem positiven Hochspannungspotential und mit einer zweiten Leitung über einen zweiten Schal- ter mit einem Massepotential verbunden ist und ein zweiter
Schaltungsknoten mit einer dritten Leitung über einen dritten Schalter mit dem positiven Hochspannungspotential und mit einer vierten Leitung über einen vierten Schalter mit dem Massepotential verbunden ist.
Die in derartigen Ansteuerschaltungen verwendeten einzelnen Schalter sind Hochspannungsschalter, mit denen Spannungen bis zu einigen Kilovolt oder einigen 10 Kilovolt geschaltet werden können. Die Schaltzeiten von gebräuchlichen Transistor- Hochspannungsschaltern liegen im Bereich weniger Nanosekunden und die Hochspannungsschalter lassen sich beispielsweise durch TTL-Signale von wenigen Volt ansteuern. In der deutschen Patentschrift DE 3 630 775 C2 ist der innere Aufbau dieser Hochspannungsschalter beschrieben. Die maximale Repe- titionsrate, mit der ein derartiger Hochspannungsschalter und damit die Pockelszelle betrieben werden kann, wird unter anderem durch den maximal möglichen Verbrauch elektrischer Leistung an dem Hochspannungsschalter bestimmt. Es ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Ansteuerschaltung für eine Pockelszelle anzugeben, mit welcher die maximal mögliche Repetitionsrate gesteigert werden kann.
Diese Aufgabe wird durch die Merkmale des Patentanspruchs 1 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen sind Gegenstand von Unteransprüchen sowie nebengeordneten Ansprüchen. Ein wesentlicher Gedanke der vorliegenden Erfindung besteht darin, die Ansteuerschaltung so zu konfigurieren, dass die insgesamt an den Hochspannungsschaltern verbrauchte elektri- sehe Leistung besser auf diese verteilt wird. Damit kann erreicht werden, dass keiner der Schalter für sich alleine die von der Pockelszelle benötigte gesamte Schaltspannung schalten muss. Die Schalter können somit mit einer höheren Repeti- tionsrate beaufschlagt werden, bis der maximal mögliche Ver- brauch elektrischer Leistung an einem einzelnen Schalter erreicht ist.
Eine erfindungsgemäße Ansteuerschaltung für eine Pockelszelle umfasst im Einzelnen einen ersten Schaltungsknoten, der mit einem ersten Anschluss der Pockelszelle verbindbar ist, und einen zweiten Schaltungsknoten, der mit einem zweiten Anschluss der Pockelszelle verbindbar ist, wobei der erste Schaltungsknoten . durch eine erste Leitung über einen ersten Schalter mit einem ersten elektrischen Potential und durch eine zweite Leitung über einen zweiten Schalter mit einem zweiten elektrischen Potential verbunden ist, und der zweite Schaltungsknoten durch eine dritte Leitung über einen dritten Schalter mit einem dritten elektrischen Potential und über einen vierten Schalter mit einem vierten elektrischen Poten- tial verbunden ist, wobei die Differenz zwischen dem ersten elektrischen Potential und dem vierten elektrischen Potential grösser ist als die jeweiligen Differenzen zwischen dem ersten und zweiten bzw. dem dritten und vierten Potential. In einer Ausführungsform kann das zweite und dritte Potential denselben Wert haben, beispielsweise Massepotential.
In einer Ausführungsform wird das erste elektrische Potential durch den Pluspol einer Spannungsquelle und das vierte elek- trische Potential durch den Minuspol der Spannungsquelle geliefert. Mit derartigen Ansteuerschaltungen kann eine Spannung an die Pockelszelle angelegt werden, indem gleichzeitig der erste Schalter und der vierte Schalter geschlossen und der zweite Schalter und der dritte Schalter geöffnet werden. Die Pok- kelszelle kann spannungslos geschaltet werden, indem gleichzeitig der erste Schalter und der vierte Schalter geöffnet und der zweite Schalter und der dritte Schalter geschlossen werden. Die von der Pockelszelle benötigte Schaltspannung 2-HV wird somit nicht lediglich von einem Schalter zur Pockelszelle geschaltet sondern sie wird auf zwei Schalter verteilt, die betragsmäßig je ein Potential HV an die Pockelszelle durchschalten. Die beiden Schalter brauchen somit jeweils nicht mit der vollen Schaltspannung 2-HV der Pockelszelle belastet werden, sondern müssen jeweils ein Potential HV durchschalten. Bedingt durch diese verringerte Leistungsbelastung können die Schalter mit einer höheren Repetitionsrate beaufschlagt werden, bevor sie an die Grenze ihrer elektrischen Leistungsbelastung stoßen.
Gemäß einer Ausführungsform können das zweite und das dritte elektrische Potential einander gleich sein und insbesondere durch ein Massepotential gegeben sein. Es ist aber ebenso möglich, dass das zweite und das dritte elektrische Potential auf verschiedenen Potentialwerten liegen.
Im Folgenden werden Ausführungsbeispiele für eine erfindungsgemäße Ansteuerschaltung in den Zeichnungsfiguren näher dar- gestellt. Es zeigen:
Fig. 1 eine Ausführungsform einer erfindungsgemäßen An- steuersehaltung; Fig. 2 eine weitere Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Ansteuerschaltung; und Fig. 3 ein Schalterstellungs-Zeit- bzw. Spannungs-Zeit- diagramm zur Veranschaulichung der Schalterzustände bzw. des Spannungszustands der Pockelszelle entsprechend einer Ausführungsform eines Verfahrens zum Ansteuern einer Pockelszelle mit der Ansteuerschaltung der Fig. 2.
In der Fig. 1 ist eine erfindungsgemäße Ansteuerschaltung gemäß einer allgemeinen Ausführungsform schematisch darge- stellt. Die Darstellung umfasst ebenso die von der Ansteuerschaltung anzusteuernde Pockelszelle CP. Die Pockelszelle CP weist zwei elektrische Anschlüsse auf, von denen einer mit einem ersten Schaltungsknoten Pl und ein zweiter mit einem zweiten Schaltungsknoten P2 verbunden oder zu verbinden ist. Der erste Schaltungsknoten Pl ist durch eine erste elektrische Leitung über einen ersten Schalter SlB mit einem ersten elektrischen Potential HVl verbunden. Der erste Schaltungsknoten Pl ist ebenso durch eine zweite elektrische Leitung über einen zweiten Schalter SlA mit einem zweiten elektri- sehen Potential HV2 verbunden.
Der zweite Schaltungsknoten P2 ist durch eine dritte elektrische Leitung über einen dritten Schalter S2A mit einem dritten elektrischen Potential HV3 verbunden. Der zweite Schal- tungsknoten P2 ist über einen vierten Schalter S2B mit einem vierten elektrischen Potential HV4 verbunden.
Die elektrischen Potentiale HVl bis HV4 sind so gewählt, dass die Differenz der Potentiale HVl - HV4 größer ist als die Differenz der Potentiale HVl - HV2, und dass die Differenz der Potentiale HVl - HV4 größer ist als die Differenz der Potentiale HV3 - HV4.
Die Hochspannungsschalter SlA, SlB, S2A und S2B sind Transi- stor-Hochspannungsschalter und sie können beispielsweise durch solche Transistor-Hochspannungsschalter gegeben sein, wie sie in der deutschen Patentschrift DE 3 630 775 C2 beschrieben worden sind.
In der Fig. 2 ist eine erfindungsgemäße Ansteuerschaltung ge- maß einer speziellen Ausführungsform schematisch dargestellt. Das erste elektrische Potential HVl wird hier durch ein positives elektrisches Potential +HV des Pluspols einer Hochspannungsquelle geliefert. Das zweite elektrische Potential HV2 ist durch ein Massepotential GND der Ansteuerschaltung gege- ben. Das dritte elektrische Potential HV3 ist ebenfalls durch das Massepotential GND der Ansteuerschaltung gegeben. Das vierte elektrische Potential wird schließlich durch ein negatives elektrisches Potential -HV des Minuspols der Spannungsquelle geliefert.
In der Fig. 3 ist ein Schaltungszustand-Zeit- bzw. Spannungs- Zeit-Diagramm zur Veranschaulichung des zeitlichen Verlaufs der Schalterzustände bzw. der Spannung an der Pockelszelle CP bei Verwendung der in der Fig.2 gezeigten Ansteuerschaltung dargestellt. Wenn an die Pockelszelle CP eine Spannung angelegt werden soll, werden gleichzeitig der erste Schalter SlB und der vierte Schalter S2A geschlossen und der zweite Schalter SlA und der dritte Schalter S2B geöffnet, sodass eine Spannung 2-HV an die Pockelszelle CP angelegt wird. Wenn nach Ablauf einer vorbestimmten Zeit die Pockelszelle CP spannungslos geschaltet werden soll, werden gleichzeitig der erste Schalter SlB und der vierte Schalter S2A geöffnet und der zweite Schalter SlA und der dritte Schalter S2B geschlossen. Die unterste Kurve des Diagramms zeigt den Spannungszustand an der Pockelszelle CP, d.h. die Differenz zwischen den elektrischen Potentialen an den Schaltungsknoten Pl und P2. Für die Zeitdauer, in der der erste Schalter SlB und der vierte Schalter S2A geschlossen und der zweite Schalter SlA und der dritte Schalter S2B geöffnet sind, liegt an der Pok- kelszelle die Spannung 2-HV an. Im Folgenden sei angenommen, dass eine Pockelszelle eine bestimmte Schaltspannung U benötigt und diese Schaltspannung U mit einer Repetitionsrate f an- und ausgeschaltet werden soll. Wenn die Schaltspannung U durch einen einzelnen Schal- ter an die Pockelszelle durchgeschaltet werden soll, so gilt für die an dem Schalter verbrauchte elektrische Leistung P näherungsweise :
Pl = k x U2 x f (1) mit einer Konstante k.
Dies gilt, wenn beispielsweise die vollständige Schaltspannung U durch eine einfache Push-Pull-Schaltung an die Pok- kelszelle geschaltet werden soll oder auch im Falle der in der Fig. 4 der deutschen Patentschrift DE 102 51 888 B4 gezeigten Brückenschaltung für jeden der beiden darin gezeigten Schalter SlB und S2B. Wenn dagegen die erfindungsgemäße Ansteuerschaltung gemäß
Fig. 1 oder Fig.2 verwendet und gemäß Fig. 3 betrieben wird, so gilt für die an jedem der beiden Schalter SlB und S2A verbrauchte elektrische Leistung: P2 = k x (U/2)2 x f = Pl/4, (2) wobei U = 2-HV die von der Pockelszelle benötigte Schaltspannung ist. Ein und derselbe Schalter wird somit mit der halben
Schaltspannung HV betrieben. Da zwei derartige Schalter gebraucht werden, gilt:
2 x P2 = Pl/2, (3) für die insgesamt verbrauchte elektrische Leistung. Das heißt, die zwei Schalter brauchen zusammen nur halb soviel elektrische Leistung wie ein einzelner in dem Fall, dass gemäß Gl. (1) ein einzelner Schalter zum Durchschalten der Schaltspannung verwendet wird. Außerdem wird die benötigte elektrische Leistung auf zwei Schalter verteilt.
Um eine bestimmte Schaltspannung und Repetitionsrate an einer Pockelszelle erzeugen zu können, benötigt man somit deutlich weniger elektrische Leistung als beim oben dargestellten Stand der Technik. Wenn und soweit die Repetitionsrate durch den maximal möglichen elektrischen Leistungsverbrauch an einem einzelnen Schalter begrenzt wird, kann man somit in diesem Ausmaß die Repetitionsrate erhöhen, mit der die einzelnen Schalter beaufschlagt werden.

Claims

Patentansprüche
1. Ansteuerschaltung für eine Pockelszelle, mit
- einem ersten Schaltungsknoten (Pl), der mit einem ersten Anschluss der Pockelszelle (CP) verbindbar ist, und einem zweiten Schaltungsknoten (P2), der mit einem zweiten Anschluss der Pockelszelle (CP) verbindbar ist, wobei
- der erste Schaltungsknoten (Pl) durch eine erste Leitung über einen ersten Schalter (SlB) mit einem ersten elektri- sehen Potential (HVl) und durch eine zweite Leitung über einen zweiten Schalter (SlA) mit einem zweiten elektrischen Potential (HV2) verbunden ist, und
- der zweite Schaltungsknoten (P2) durch eine dritte Leitung über einen dritten Schalter (S2B) mit einem dritten elek- trischen Potential (HV3) und über einen vierten Schalter (S2A) mit einem vierten elektrischen Potential (HV4) verbunden ist,
- wobei HVl positiver als HV2 und HV3 positiver als HV4 ist , d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass
- die Differenz der Potentiale (HVl - HV4) größer ist als die Differenz der Potentiale (HVl - HV2), und dass
- die Differenz der Potentiale (HVl - HV4 ) größer ist als die Differenz der Potentiale (HV3 - HV4 ) .
2. Ansteuerschaltung nach Anspruch 1, bei welcher
das erste elektrische Potential (HVl) durch den Pluspol einer Spannungsquelle bereitgestellt wird und das vierte elektrische (HV4) durch den Minuspol der Spannungsquelle bereitgestellt wird.
3. Ansteuerschaltung nach Anspruch 1 oder 2, bei welcher das zweite (HV2) und das dritte elektrische Potential (HV3) einander gleich sind.
4. Ansteuerschaltung nach Anspruch 3, bei welcher
das zweite (HV2) und das dritte elektrische Potential (HV3) durch ein Massepotential gegeben sind.
5. Ansteuerschaltung nach Anspruch 1 oder 2, bei welcher das zweite und das dritte elektrische Potential voneinander verschieden sind.
6. Ansteuerschaltung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, bei welcher
einer oder mehrere der Schalter (SlA, SlB, S2A, S2B) durch Schaltpulse unabhängig ansteuerbar sind.
7. Ansteuerschaltung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, bei welcher
ein oder mehrere der Schalter (SlA, SlB, S2A, S2B) durch Schaltpulse gleichzeitig ansteuerbar sind.
8. Pockelszelle mit einer Ansteuerschaltung nach einem der vorhergehenden Ansprüche.
9. Verwendung mindestens einer Pockelszelle nach Anspruch 8 in einem gepulsten Lasersystem.
10. Verfahren zum Ansteuern einer Pockelszelle mit einer Ansteuerschaltung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, bei welchem eine erste Spannung an die Pockelszelle angelegt wird, indem gleichzeitig der erste Schalter (SlB) und der vierte Schalter (S2A) geschlossen und der zweite Schalter (SlA) und der dritte Schalter (S2B) geöffnet werden.
11. Verfahren nach Anspruch 10, bei welchem
eine zweite Spannung an die Pockelszelle angelegt wird, indem gleichzeitig der erste Schalter (SlB) und der vierte Schalter (S2A) geöffnet und der zweite Schalter (SlA) und der dritte Schalter (S2B) geschlossen werden.
12. Verfahren nach Anspruch 10 und 11, wobei die Potentiale
(HVl, HV2, HV3, HV4 ) so gewählt sind, dass eine der beiden an die Pockelszelle angelegten Spannungen den Wert Null hat.
13. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 12, bei welchem die Potentiale HV2 und HV3 Massepotentiale sind.
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