WO2010139300A1 - Vorrichtung und verfahren zum bestimmen von gaseigenschaften in einem geschlossenen gefäss - Google Patents

Vorrichtung und verfahren zum bestimmen von gaseigenschaften in einem geschlossenen gefäss Download PDF

Info

Publication number
WO2010139300A1
WO2010139300A1 PCT/DE2010/000600 DE2010000600W WO2010139300A1 WO 2010139300 A1 WO2010139300 A1 WO 2010139300A1 DE 2010000600 W DE2010000600 W DE 2010000600W WO 2010139300 A1 WO2010139300 A1 WO 2010139300A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
plasma
controller
plasma generator
closed vessel
vessel
Prior art date
Application number
PCT/DE2010/000600
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Peter Skaliks
Original Assignee
Global Navigation Systems Gns - Gmbh
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Global Navigation Systems Gns - Gmbh filed Critical Global Navigation Systems Gns - Gmbh
Priority to DE112010002259T priority Critical patent/DE112010002259A5/de
Publication of WO2010139300A1 publication Critical patent/WO2010139300A1/de

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
    • G01N21/66—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light electrically excited, e.g. electroluminescence
    • G01N21/68—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light electrically excited, e.g. electroluminescence using high frequency electric fields
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
    • G01N21/71—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light thermally excited
    • G01N21/718—Laser microanalysis, i.e. with formation of sample plasma

Definitions

  • the invention relates to a device for non-destructive 5 determining gas properties in a closed vessel, an associated method and a vessel, 'which -was treated with the method
  • the invention relates to a device for non-destructive determination of gas properties in a closed drum, the device comprising a plasma generator and plasma analyzing detection means, wherein the plasma generator is adapted to receive the plasma within the closed vessel generated and the detection device is designed so that the plasma generated by the plasma generator is detectable.
  • the object of the invention is to improve the state of the art.
  • the object is achieved by a device for the nondestructive determination of gas properties in a closed vessel, wherein the device comprises a plasma generator and a plasma analyzing detection device, wherein the plasma generator is designed such that the plasma inside the closed vessel. It is generated, and the detection device is designed so that the plasma generated by the plasma generator is detectable, wherein the device comprises a controller which controls the plasma generator based on a measured by the detection means such that an energy input for generating the plasma can be influenced, in particular minimizable, is.
  • the "closed vessel” is characterized by the fact that it has a cavity in which a gas is introduced with a certain pressure, furthermore, certain products can be introduced into the vessel is transparent to the signal which is picked up by the detection device.
  • the "plasma generator” may be controlled by a microcontroller, which is able to control the energy input for generating the plasma and thus can change this energy input in terms of height and sequence defined.
  • the plasma generator can be designed as a high-frequency generator, Tesla transformer, microwave generator and / or laser. As a result, alternatives to plasma generation can be provided.
  • the high-frequency generator and the Tesla transformer generate a high voltage
  • the laser light can be focused in such a way that a plasma forms in the vessel. This may advantageously result in avoiding damage to the product which is in the closed vessel.
  • the detection device can have optics, by means of which the plasma can be visually analyzed.
  • the detection device may comprise an intensity sensor and / or a photodiode and / or a location sensor and / or a spectrometer, in particular with spatially resolving properties, whereby a plasma signal captured by the optics can be transformed into an electrical variable.
  • both the intensity of the signal, the (plasma) signal to be analyzed and the place of formation of the plasma can be determined.
  • the energy input can be influenced.
  • the controller can be used as P controller, I controller, D controller, 2-point controller, fuzzy controller or PID controller be designed.
  • a controller is advantageously deposited as an electronic component, in particular as FPGA (Field Programmable Gate Array), or implemented on a suitable microprocessor by means of a digital signal processing algorithm.
  • the device may comprise the closed vessel, wherein the closed vessel is designed in particular transparent.
  • optically detectable signals can be received and / or diverted outside within the closed vessel by the detection device.
  • the transparent region described here encompasses both the visible region and the ultraviolet and near infrared regions.
  • the vessel may have a gas pressure of from about 0.1 mbar to about 1000 mbar, in particular between 1 mbar and 100 mbar. Depending on the selection, the plasma can thus be generated with a lower or higher energy input.
  • the electrical quantity can be transformed into a dispensable value, the dispensable value in particular representing a quality measure.
  • the object can be achieved by a method for nondestructive determination of gas properties in a closed vessel, wherein a device is used, as previously described, wherein an energy input, which is used in particular for generating the plasma, is optimized by one or more regulations.
  • the device can also provide a method for nondestructive determination of gas properties in a closed vessel.
  • the regulation of the energy input by means of the plasma generator can be carried out as an actuator.
  • the control can intervene on the level of the high voltage or the intensity of the laser beam or the repetition rate of a pulsed laser.
  • the regulation of the plasma generator can be carried out on the basis of a manipulated variable, in particular on the basis of an amount and / or on the basis of a pulse frequency and / or on the basis of a time duration.
  • control can use one or more parameters to determine a manipulated variable. For example, different frequency ranges can be used for regulation in a determined spectrum.
  • an additional regulation for a place of energy input in a closed vessel can take place.
  • the regulation can intervene in such a way that the place of formation of the plasma is changed and thus, for example, material damage to the vessel or to the product is avoided or reduced.
  • one or more parameters can be permanently stored by a user in a memory of the control.
  • a quality measure can be determined. This quality measure is determined in particular when a plasma is formed in the vessel to be examined. Thus, a quality control can be carried out, in which the quality of the internal pressure can be determined on the basis of the quality measure.
  • the quality metric can be determined at the point where the energy input is minimal. This point is given in particular when the existence of the plasma is just definable.
  • the object is achieved by a vessel which has a closed vessel area, wherein the gas pressure has been optimized by means of the previously presented method.
  • a closed vessel area is, in particular, a vascular area in which a gas is introduced, which essentially can not escape from this area.
  • FIG. 1 shows a schematic representation of the inventive device.
  • FIG. 1 In a closed region 102 of a transparent vessel 101, a product 103 to be transported and a gas are introduced.
  • a plasma generator 105 is designed as a Tesla transformer. Alternatively, this may also be a pulsed laser.
  • Via a conductive connection 106 a transparent vessel 101 is subjected to a high voltage, so that a plasma 107 is formed.
  • the optical signal of the plasma is directed via a lens 109 onto a photodiode 110.
  • the signal of the photodiode 1 10 is forwarded via a line 1 11 to a controller 113.
  • the controller 1 13 is a signal conditioning and the determination of a control signal, which is forwarded by means of a line 1 15 to the plasma generator 105.
  • the plasma generator 105 reduces or increases the energy input, which is necessary for the generation of the plasma 107, on the basis of the actuating signal.
  • the product 103 to be transported is stored together with an inert gas.
  • the gas pressure of the inert gas is about 10 mbar, with pressures between lmbar and 300mbar are possible.
  • the plasma generator 105 generates a high voltage during operation. This high voltage is applied to the transparent vessel 101. If the high voltage is not yet sufficient for the generation of the plasma, then the high voltage which the plasma generator is produced via the controller 113 testifies, as long as increased, until the plasma forms. The detection of the plasma takes place in each case via the photodiode 110, since the plasma generates a characteristic glow.
  • the determined value of the high voltage represents the internal pressure for a given gas mixture in a given vessel, so that it can be used both for a good-bad decision and for a quantitative determination of the internal pressure.
  • This internal pressure can be a measure of the quality of the object to be examined.
  • the product can be removed from the batch.

Landscapes

  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Plasma Technology (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)

Abstract

Vorrichtung zum zerstörungsfreien Bestimmen von Gaseigenschaften, beispielsweise des Gasinnendrucks, in einem geschlossenen Gefäß (101) mit einem Plasmagenerator (105), beispielsweise einem Tesla-Transformator, einem Hochfrequenzgenerator, einem Mikrowellengenerator oder einem Laser, zur Erzeugung eines Plasmas (107) im geschlossenen Bereich (102) des Gefäßes, einer Detektionsemrichtung, beispielsweise einer optischen Vorrichtung bestehend aus einer Linse (109) und einer Fotodiode (110), zur Detektion des Plasmas und einem Regler (113), der den Plasmagenerator anhand einer durch die Detektionsemrichtung gemessenen Große so regelt, dass ein Energieeintrag zum Erzeugen des Plasmas minimierbar ist.

Description

VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM BESTIMMEN VON GASEIGENSCHAFTEN IN EINEM
GESCHLOSSENEN GEFÄSS
[01] Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum zerstörungsfreien 5 Bestimmen von Gaseigenschaften in einem geschlossenen Gefäß, ein zugehöriges Verfahren und ein Gefäß,' welches mit dem Verfahren bearbeitet -wurde
[02] Insbesondere betrifft die Erfindung eine Vorrichtung zum zerstörungsfreien Bestimmen von Gaseigenschaften in einem geschlossenen Ge- 10 faß, wobei die Vorrichtung einen Plasmagenerator und eine ein Plasma analysierende Detektionseinrichtung aufweist, wobei der Plasmagenerator so ausgebildet ist, dass dieser das Plasma innerhalb des geschlossenen Gefäßes erzeugt und die Detektionseinrichtung so ausgebildet ist, dass das durch den Plasmagenerator erzeugte Plasma detektierbar ist.
15 [03] In der modernen Verpackungstechnik, zum Beispiel in der Lebensmittel- und Pharmaindustrie, aber auch in der Leuchtmittel- und Flachglasfertigung stellt sich oftmals die Aufgabe, den Innenraum von transparenten Hohlkörpern (Lampen, Glasbehälter, Isolierglas) mit definierten Gasfüllungen zu versehen. [04] In der Qualitätssicherung stellt sich dann das Problem, diese Gasfül- lungen im Zuge der Endkontrolle zuverlässig und vor allem ohne das Gefäß zu öffnen, und damit zerstören zu müssen, zu verifizieren.
[05] Neben anderen Verfahren ist dies durch das Anlegen einer Hoch- Spannung möglich, da sich hierdurch insbesondere bei niedrigen Gefäßdrücken charakteristische Plasmen ausbilden.
[06] Diese Plasmen beruhen auf einer Ionisierung des Gasgemisches, was im Bereich bis hinunter zu ca. 1 Millibar umso leichter geschieht, je geringer der Druck ist. Eine geeignete Anordnung wurde in der Patentschrift DE 10 2006 027 968 Al beschrieben.
[07] Nachteilig ist jedoch, dass empfindliche Produkte, die sich in den Gefäßen befinden, zum Beispiel pharmazeutische Produkte, durch den Energiefluss im Plasma Schaden nehmen können, wenn das Plasma unter Einbringung unnötig hoher Energiemengen gebildet wird.
[08] Auch können sich auf empfindlichen Oberflächen Wärmeschädigungen zeigen.
[09] Aufgabe der Erfindung ist es, den Stand der Technik zu verbessern.
[10] Gelöst wird die Aufgabe durch eine Vorrichtung zum zerstörungsfreien Bestimmen von Gaseigenschaften in einem geschlossenen Gefäß, wobei die Vorrichtung einen Plasmagenerator und eine ein Plasma analysierende Detektionseinrichtung aufweist, wobei der Plasmagenerator so ausgebildet ist, dass dieser das Plasma innerhalb des geschlossenen Gefä- ßes erzeugt, und die Detektionseinrichtung so ausgebildet ist, dass das durch den Plasmagenerator erzeugte Plasma detektierbar ist, wobei die Vorrichtung einen Regler aufweist, welcher den Plasmagenerator anhand einer durch die Detektionseinrichtung gemessenen Größe so regelt, dass ein Energieeintrag zum Erzeugen des Plasmas beeinflussbar, insbesondere minimierbar, ist.
[11] Somit liegt eine Vorrichtung vor, mit der der Energieeintrag so optimierbar ist, dass der zeitliche Verlauf der Energie für die Bildung des Plasmas einstellbar ist und durch die permanente Überwachung des gebil- deten Plasmas durch die Detektionseinrichtung ein Regelkreis gebildet wird, welcher eine Stellgröße „Energiezufuhr" derart steuert, dass als Ergebnis zum Beispiel eine Gasdruckprüfung mit dem geringstmöglichen Energieeintrag vorliegt.
[12] Das „geschlossene Gefäß" zeichnet sich dadurch aus, dass es einen Hohlraum aufweist, in dem ein Gas mit einem bestimmten Druck eingebracht ist. Weiterhin können in dem Gefäß bestimmte Produkte eingebracht sein. Auch kann das Gefäß aus einem Material bestehen, welches für das Signal transparent ist, welches durch die Detektionseinrichtung aufgenommen wird.
[13] Der „Plasmagenerator" kann von einem Mikrocontroller gesteuert sein, welcher in der Lage ist, den Energieeintrag zum Erzeugen des Plasmas zu steuern und somit diesen Energieeintrag in Höhe und Abfolge definiert verändern kann. [14] In einer weiteren Ausprägungsform der Erfindung kann der Plasmagenerator als Hochfrequenzgenerator, Tesla-Transformator, Mikrowellengenerator und/oder Laser ausgebildet sein. Dadurch können Alternativen zur Plasmaerzeugung bereitgestellt werden.
[15] Während der Hochfrequenzgenerator und der Tesla-Transformator eine hohe Spannung erzeugen, kann beispielsweise das Laserlicht so fokus- siert werden, dass sich in dem Gefäß ein Plasma ausbildet. Dies kann vorteilhafterweise dazu führen, dass Schäden an dem Produkt vermieden werden, welches sich in dem geschlossenen Gefäß befindet.
[16] Um das Plasmasignal einzufangen, kann die Detektionseinrichtung eine Optik aufweisen, durch die das Plasma optisch analysierbar ist.
[17] In einer diesbezüglichen Ausprägungsform kann die Detektionseinrichtung einen Intensitätssensor und/oder eine Fotodiode und/oder einen Ortssensor und/oder ein Spektrometer, insbesondere mit ortsauflösenden Eigenschaften, aufweisen, wodurch ein mittels der Optik eingefangenes Plasmasignal in eine elektrische Größe transformierbar ist.
[18] Dadurch kann sowohl die Intensität des Signals, des zu analysierenden (Plasma-) Signals als auch der Ort der Entstehung des Plasma bestimmt werden. Durch die Einflussnahme der Regelung auf den Plasmagenerator kann der Energieeintrag beeinflusst werden.
[19] Um unterschiedliche Regler einzusetzen, kann der Regler als P- Regler, I-Regler, D-Regler, 2-Punkt-Regler, Fuzzy-Regler oder PID-Regler ausgestaltet sein. Vorteilhafterweise wird ein solcher Regler als elektronisches Bauteil, insbesondere als FPGA (Field Programmable Gate Array), hinterlegt oder vermittels eines digitalen Signalverarbeitungsalgorithmus' auf einem geeigneten Mikroprozessor implementiert.
[20] In einer weiteren Ausprägungsform kann die Vorrichtung das geschlossene Gefäß aufweisen, wobei das geschlossene Gefäß insbesondere transparent ausgestaltet ist. Dadurch können optisch detektierbare Signale innerhalb des geschlossenen Gefäßes außerhalb durch die Detektionsein- richtung empfangen und/oder umgelenkt werden. Der hier beschriebene transparente Bereich umfasst sowohl den sichtbaren Bereich als auch den ultravioletten und nahen Infrarotbereich.
[21] In einer diesbezüglichen Ausgestaltungsform kann das Gefäß einen Gasdruck von etwa 0, 1 mbar bis etwa 1000 mbar, insbesondere zwischen 1 mbar und 100 mbar, aufweisen. Je nach Auswahl kann somit das Plasma mit geringerem oder höherem Energieeintrag erzeugt werden.
[22] Um die Qualität des Innendrucks des zu untersuchenden Gefäßes zu bestimmen, kann die elektrische Größe in einen ausgebbaren Wert transformiert werden, wobei der ausgebbare Wert insbesondere eine Qualitätsmaßzahl repräsentiert.
[23] In einer weiteren Ausprägungsform des Erfindungsgedankens kann die Aufgabe gelöst werden durch ein Verfahren zum zerstörungsfreien Bestimmen von Gaseigenschaften in einem geschlossenen Gefäß, wobei eine Vorrichtung eingesetzt wird, wie sie zuvor beschrieben wurde, wobei ein Energieeintrag, welcher insbesondere zum Erzeugen des Plasmas dient, durch eine oder mehrere Regelungen optimiert wird. Somit kann mit der Vorrichtung auch ein Verfahren zur zerstörungsfreien Bestimmung von Gaseigenschaften in einem geschlossenen Gefäß bereitgestellt werden.
[24] In einer diesbezüglichen Ausführungsform kann die Regelung des Energieeintrages mittels des Plasmagenerators als Stellglied erfolgen. Beispielsweise kann die Regelung auf die Höhe der Hochspannung oder die Intensität des Laserstrahls oder die Repetitionsrate eines gepulsten Lasers eingreifen.
[25] Um unterschiedliche Parameter zur Regelung des Plasmagenerators zu verwenden, kann die Regelung des Plasmagenerators anhand einer Stellgröße erfolgen, insbesondere anhand eines Betrages und/oder anhand einer Impulsfrequenz und/oder anhand einer Zeitdauer.
[26] In einer weiteren Ausprägungsform des Verfahrens kann die Rege- lung einen oder mehrere Parameter zur Bestimmung einer Stellgröße heranziehen. So können beispielsweise in einem ermittelten Spektrum unterschiedliche Frequenzbereiche zur Regelung herangezogen werden.
[27] In einer weiteren Ausprägungsform kann eine zusätzliche Regelung für einen Ort des Energieeintrags im geschlossenen Gefäß erfolgen. Somit kann die Regelung dahingehend eingreifen, dass der Ort der Entstehung des Plasmas verändert wird und somit beispielsweise Materialschäden am Gefäß oder am Produkt vermieden oder verringert werden. [28] Um die Regelung unterschiedlichen Betriebszuständen, insbesondere unterschiedlich gearteten Gefäßen anzupassen, können ein oder mehrere Parameter von einem Benutzer permanent in einem Speicher der Regelung hinterlegt werden.
[29] In einer weiteren Ausprägungsform des Verfahrens kann eine Qualitätsmaßzahl bestimmt werden. Diese Qualitätsmaßzahl wird insbesondere dann bestimmt, wenn in dem zu untersuchenden Gefäß ein Plasma ausgebildet ist. Somit kann eine Qualitätskontrolle erfolgen, bei der die Qualität des Innendrucks anhand der Qualitätsmaßzahl bestimmbar ist.
[30] Um vergleichbare Qualitätsmaßzahlen zu bestimmen, kann die Qualitätsmaßzahl an dem Punkt bestimmt werden, an dem der Energieeintrag minimal ist. Dieser Punkt ist insbesondere dann gegeben, wenn die Existenz des Plasmas gerade noch bestimmbar ist.
[31] Weiterhin wird die Aufgabe gelöst durch ein Gefäß, welches einen geschlossenen Gefäßbereich aufweist, wobei der Gasdruck mittels des zuvor vorgestellten Verfahrens optimiert wurde.
[32] Als geschlossener Gefäßbereich ist insbesondere ein Gefäßbereich zu betrachten, in dem ein Gas eingebracht ist, welches im Wesentlichen nicht aus diesem Bereich heraustreten kann.
[33] Im Weiteren wird die Erfindung anhand eines Ausfertigungsbeispiels näher erläutert. [34] Dabei zeigt die einzige Figur 1 eine schematische Darstellung der erfinderischen Vorrichtung.
[35] In Figur 1 ist in einem geschlossenen Bereich 102 eines transparenten Gefäßes 101 ein zu transportierendes Produkt 103 und ein Gas einge- bracht. Ein Plasmagenerator 105 ist als Tesla-Transformator ausgestaltet. Alternativ kann dies auch ein gepulster Laser sein. Über eine leitende Verbindung 106 wird ein transparentes Gefäß 101 mit einer Hochspannung beaufschlagt, sodass sich ein Plasma 107 ausbildet.
[36] Das optische Signal des Plasmas wird über eine Linse 109 auf eine Fotodiode 110 geleitet. Das Signal der Fotodiode 1 10 wird über eine Leitung 1 11 an einen Regler 113 weitergeleitetet. In dem Regler 1 13 erfolgt eine Signalaufbereitung und die Bestimmung eines Stellsignals, welches mittels einer Leitung 1 15 an den Plasmagenerator 105 weitergeleitet wird. Der Plasmagenerator 105 reduziert oder erhöht anhand des Stellsignals den Energieeintrag, welcher zur Erzeugung des Plasmas 107 notwendig ist.
[37] In dem transparenten Gefäß 101 wird das zu transportierende Produkt 103 zusammen mit einem inerten Gas aufbewahrt. Der Gasdruck des inerten Gases beträgt etwa 10 mbar, wobei auch Drücke zwischen lmbar und 300mbar möglich sind.
[38] Der Plasmagenerator 105 erzeugt im Betrieb eine Hochspannung. Diese Hochspannung wird an das transparente Gefäß 101 angelegt. Ist die Hochspannung für die Erzeugung des Plasmas noch nicht ausreichend, wird über den Regler 113 die Hochspannung, welche der Plasmagenerator er- zeugt, solange erhöht, bis sich das Plasma ausbildet. Die Detektion des Plasmas erfolgt jeweils über die Fotodiode 110, da das Plasma ein charakteristisches Leuchten erzeugt.
[39] Der ermittelte Wert der Hochspannung repräsentiert für ein gegebe- nes Gasgemisch in einem gegebenen Gefäß den Innendruck, sodass er sowohl für eine Gut-Schlecht Entscheidung als auch für eine quantitative Bestimmung des Innendruckes herangezogen werden kann. Dieser Innendruck kann ein Maß für die Qualität des zu untersuchenden Gegenstandes darstellen.
[40] Weicht die zur Erzeugung des Plasmas benötigte Spannung von einem Referenzwert ab, kann das Produkt aus der Charge entfernt werden.

Claims

Patentansprüche:
1. Vorrichtung zum zerstörungsfreien Bestimmen von Gaseigenschaften in einem geschlossenen Gefäß, wobei die Vorrichtung einen Plasmagenerator und eine ein Plasma analysierende Detektionsein- richtung aufweist, wobei der Plasmagenerator so ausgelegt ist, dass dieser das Plasma innerhalb des geschlossenen Gefäßes erzeugt, und die Detektionseinrichtung so ausgebildet ist, dass das durch den Plasmagenerator erzeugte Plasma detektierbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung einen Regler aufweist, welcher den Plasmagenerator anhand einer durch die Detektionseinrichtung gemessenen Größe so regelt, dass ein Energieeintrag zum Erzeugen des Plasmas beeinflussbar, insbesondere minimierbar, ist.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Plasmagenerator als Hochfrequenzgenerator, Tesla-Transformator, Mikrowellengenerator oder Laser ausgebildet ist.
3. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Detektionseinrichtung eine Optik aufweist, durch die das Plasma optisch analysierbar ist.
4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Detektionseinrichtung einen Intensitätssensor und/oder eine Fotodiode und/oder einen Ortssensor und/oder ein Spektrometer, insbesondere mit ortsauflösenden Eigenschaften, aufweist, wodurch ein mit- tels der Optik eingefangenes Plasmasignal in eine elektrische Größe transformierbar ist.
5. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Regler als P-Regler, I-Regler, D-Regler, 2- Punkt-Regler, Fuzzy-Regler oder PID-Regler ausgestaltet ist.
6. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung das geschlossene Gefäß aufweist, wobei das geschlossene Gefäß insbesondere transparent ausgestaltet ist.
7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Gefäß einen Gasdruck von 0,1 mbar bis 1000 mbar, insbesondere von 1 mbar und 100 mbar, aufweist.
8. Vorrichtung nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die elektrische Größe in einen ausgebbaren Wert transformiert wird, wobei der ausgebbare Wert insbesondere eine
Qualitätsmaßzahl repräsentiert.
9. Verfahren zum zerstörungsfreien Bestimmen von Gaseigenschaften in einem geschlossenen Gefäß, wobei eine Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8 eingesetzt wird, dadurch gekennzeichnet, dass ein Energieeintrag, welcher insbesondere zum Erzeugen eines
Plasmas dient, durch eine oder mehrere Regelungen optimiert wird.
10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Regelung des Energieeintrags mittels eines Plasmagenerators oder eines externen Reglers, welcher auf den Plasmagenerator einwirkt, erfolgt.
1 1. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Re- gelung des Plasmagenerators anhand einer Stellgröße, insbesondere anhand eines Betrags und/oder anhand einer Impulsfrequenz und/oder anhand einer Zeitdauer erfolgt.
12. Verfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 11 , dadurch gekennzeichnet, dass die Regelung einen oder mehrere Parameter zu einer Bestimmung einer Stellgröße heranzieht.
13. Verfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass eine zusätzliche Regelung für einen Ort des Energieeintrags im geschlossenen Gefäß erfolgt.
14. Verfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 13, dadurch gekenn- zeichnet, dass ein oder mehrere Parameter von einem Benutzer permanent in einem Speicher der Regelung hinterlegbar sind.
15. Verfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass eine Qualitätsmaßzahl bestimmt wird.
16. Verfahren nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Qualitätsmaßzahl an dem Punkt bestimmt wird, an dem der Energieeintrag minimal ist.
17. Gefäß, welches einen geschlossenen Gefaßbereich aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass der Gasdruck mittels des Verfahrens nach einem der Ansprüche 9 bis 16 bestimmt ist.
PCT/DE2010/000600 2009-06-03 2010-05-31 Vorrichtung und verfahren zum bestimmen von gaseigenschaften in einem geschlossenen gefäss WO2010139300A1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE112010002259T DE112010002259A5 (de) 2009-06-03 2010-05-31 Vorrichtung und Verfahren zum Bestimmen von Gaseigenschaften in einem geschlossenen Gefäß

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102009023685.6 2009-06-03
DE102009023685 2009-06-03
DE102010004083.5 2010-01-06
DE102010004083A DE102010004083A1 (de) 2009-06-03 2010-01-06 Vorrichtung zum zerstörungsfreien Bestimmen von Gaseigenschaften in einem geschlossenen Gefäß, zugehöriges Verfahren und Gefäß, welches mit dem Verfahren bearbeitet wurde

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2010139300A1 true WO2010139300A1 (de) 2010-12-09

Family

ID=43049431

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/DE2010/000600 WO2010139300A1 (de) 2009-06-03 2010-05-31 Vorrichtung und verfahren zum bestimmen von gaseigenschaften in einem geschlossenen gefäss

Country Status (2)

Country Link
DE (2) DE102010004083A1 (de)
WO (1) WO2010139300A1 (de)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107843387A (zh) * 2017-10-30 2018-03-27 佛山市蓝瑞欧特信息服务有限公司 密闭容器的真空识别系统
CN108663162A (zh) * 2018-06-27 2018-10-16 佛山市金净创环保技术有限公司 平移式密闭容器真空度检测系统
CN112082691A (zh) * 2020-08-24 2020-12-15 西安交通大学 基于激光等离子体成像的低气压测量方法及装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1996002835A1 (en) * 1994-07-15 1996-02-01 Eli Lilly And Company Method and apparatus for non-destructive elemental analysis of the headspace of a sealed container
WO2002059013A1 (en) * 2001-01-24 2002-08-01 Casect Limited An analysable pacage, an analysis system and a method for analysing a packed product
DE102006027968A1 (de) 2005-11-01 2007-09-06 ITZ Innovative Technologien Zülpich GbR (vertretungsberechtigte Gesellschafter: Herr Wilfried Wilhelm Brings Vorrichtung zum Prüfen eines Gases, Verwendung einer solchen Vorrichtung und Verfahren zum Umrüsten einer Produktionsanlage
JP2008133518A (ja) * 2006-11-29 2008-06-12 Nissan Motor Co Ltd プラズマ窒化制御方法及びプラズマ窒化システム

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19505104A1 (de) * 1995-02-15 1996-08-22 Patent Treuhand Ges Fuer Elektrische Gluehlampen Mbh Verfahren und Anordnung zur Bestimmung der Reinheit und/oder des Drucks von Gasen für elektrische Lampen
JP2001516963A (ja) * 1997-09-17 2001-10-02 東京エレクトロン株式会社 ガスプラズマ処理を監視しかつ管理するためのシステムおよび方法
DE102005015587B4 (de) * 2005-04-05 2009-12-24 Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh Verfahren und Anordnung zur Stabilisierung eines Arbeitspunktes von reaktiven, plasmagestützten Vakuumbeschichtungsprozessen

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1996002835A1 (en) * 1994-07-15 1996-02-01 Eli Lilly And Company Method and apparatus for non-destructive elemental analysis of the headspace of a sealed container
WO2002059013A1 (en) * 2001-01-24 2002-08-01 Casect Limited An analysable pacage, an analysis system and a method for analysing a packed product
DE102006027968A1 (de) 2005-11-01 2007-09-06 ITZ Innovative Technologien Zülpich GbR (vertretungsberechtigte Gesellschafter: Herr Wilfried Wilhelm Brings Vorrichtung zum Prüfen eines Gases, Verwendung einer solchen Vorrichtung und Verfahren zum Umrüsten einer Produktionsanlage
JP2008133518A (ja) * 2006-11-29 2008-06-12 Nissan Motor Co Ltd プラズマ窒化制御方法及びプラズマ窒化システム

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107843387A (zh) * 2017-10-30 2018-03-27 佛山市蓝瑞欧特信息服务有限公司 密闭容器的真空识别系统
CN108663162A (zh) * 2018-06-27 2018-10-16 佛山市金净创环保技术有限公司 平移式密闭容器真空度检测系统
CN112082691A (zh) * 2020-08-24 2020-12-15 西安交通大学 基于激光等离子体成像的低气压测量方法及装置

Also Published As

Publication number Publication date
DE112010002259A5 (de) 2013-01-03
DE102010004083A1 (de) 2010-12-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102009011960B4 (de) Verfahren zur Überwachung von Plasma-Entladungen
DE19629877C1 (de) CVD-Verfahren und Vorrichtung zur Innenbeschichtung von Hohlkörpern
DE2433980A1 (de) Fluoreszenzgasanalysator
WO2010139300A1 (de) Vorrichtung und verfahren zum bestimmen von gaseigenschaften in einem geschlossenen gefäss
RU2582135C2 (ru) Обработка пламенем подложки
CA2965455A1 (en) Apparatus and method for measuring odours
EP0917647B1 (de) Verfahren zur bestimmung von eigenschaftsänderungen einer probe
CH678978A5 (de)
DE102008010099B4 (de) Verfahren zur Bestimmung des Zustands eines Garguts und dieses einsetzendes Gargerät
DE102015101769A1 (de) Verfahren zum Kalibrieren zumindest eines Behandlungselementes
CA2888299C (en) Method and control unit for operating a plasma generation apparatus
DE102008062949B4 (de) Verfahren zur adaptiven Regelung eines Induktionserwärmungs- oder Plasmaprozesses
CN109738334B (zh) 测定爆珠滤棒中爆珠缺失的方法、可读存储介质及设备
US8247766B2 (en) Device for generating wide spectral band laser pulses, particularly for a tomographic atom probe
DE102013001600A1 (de) Prüfverfahren und -Vorrichtung für Oberflächen
EP3401944A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum erfassen von elektrisch geladenen teilchen eines teilchenstroms sowie system zur analyse von ionisierten komponenten eines analyten
DE102013014147B4 (de) Verfahren und vorrichtung zum detektieren einer plasmazündung
EP3662262B1 (de) Musterbasierte gasqualitätsüberwachung mittels spektroskopie
WO2021032696A1 (de) Verfahren zur steuerung eines produktionsprozesses zur herstellung von bauteilen
DE10260614B4 (de) Plasmaparametersteuerung unter Verwendung von Lerndaten
DE102006033083B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Reinigung von Substratoberflächen
WO2008058504A1 (de) Vorrichtung zum thermischen spritzen, verfahren zum überwachen eines prozesses des thermischen spritzens und verfahren zum beschichten und/oder ausbessern von turbinen- oder triebwerksteilen
DE102006051227B9 (de) Verfahren zum Nachweis der Veränderung einer Population von Partikeln in einer Lösung
DE10239130B4 (de) Verfahren zur Bestimmung des Druckes im Arbeitsgas von Plasmen
EP3011923A1 (de) Einrichtung zur Metallerkennung bei der Einwirkung auf biologisches Gewebe mittels eines funkenbildenden elektrochirurgischen Instruments

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 10732273

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2010732273

Country of ref document: EP

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 112010002259

Country of ref document: DE

Ref document number: 1120100022593

Country of ref document: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 10732273

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

REG Reference to national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: R225

Ref document number: 112010002259

Country of ref document: DE

Effective date: 20130103