WO2010055823A1 - 非破壊検査装置および非破壊検査方法 - Google Patents

Abstract

本発明による非破壊検査装置は、検査対象流体に向けて第１超音波を発振する送信側探触子と、その検査対象流体を介してその第１超音波が伝播されたときにその第１超音波により生成されるラム波が伝播する板と、その板から発振されてその検査対象流体を透過する第２超音波の強度を測定する受信側探触子とを備えている。このような非破壊検査装置は、その送信側探触子とその受信側探触子とをその検査対象流体に接触させないで、その検査対象流体を検査することができる。

Description

非破壊検査装置および非破壊検査方法

　本発明は、非破壊検査装置および非破壊検査方法に関し、特に、超音波により流体を検査する非破壊検査装置および非破壊検査方法に関する。

　繊維を樹脂に複合することにより強化した繊維強化複合材料が知られている。その繊維強化複合材料としては、ＣＦＲＰ（Ｃａｒｂｏｎ　Ｆｉｂｅｒ　Ｒｅｉｎｆｏｒｃｅｄ　Ｐｌａｓｔｉｃｓ）が例示される。このような繊維強化複合材料は、軽量化メリットが大きいことから、たとえば、航空機構造部材などに例示される多くの製品に適用されている。その繊維強化複合材料は、積層された強化繊維に樹脂を含浸させ、その樹脂を硬化させるＶａＲＴＭ（Ｖａｃｕｕｍ　ａｓｓｉｓｔｅｄ　Ｒｅｓｉｎ　Ｔｒａｎｓｆｅｒ　Ｍｏｌｄｉｎｇ：真空含浸工法）、ＲＦＩ（Ｒｅｓｉｎ　Ｆｉｌｍ　Ｉｎｆｕｓｉｏｎ）により製造される。その繊維強化複合材料は、ボイド、樹脂の未含浸に例示される欠陥が生じることがある。その欠陥は、その樹脂が硬化する前に、検出されることが望まれている。

　特許第３８６４１８０号公報には、非接触反射法でより明確に欠陥部を検出することの可能な超音波試験方法が開示されている。その超音波試験方法は、試験体の一側に設けた探触子から超音波を送信すると共に反射波を探触子で受信する超音波試験方法であって、前記探触子が送信子と受信子とを備え、送信子及び受信子と試験体との間の気層を介して超音波を送受信し、前記反射波の伝播時間よりも前記送信子及び受信子間の気中伝播時間が長くなるように送信子、受信子及び試験体の相対位置を設定したことを特徴としている。

　米国特許出願公開第２００２／００８８２８１号明細書には、ラム波を用いて検査する検査方法が開示されている。

特許第３８６４１８０号公報 米国特許出願公開第２００２／００８８２８１号明細書

　本発明の課題は、流体を検査する環境の汚染を低減する非破壊検査装置および非破壊検査方法を提供することにある。
　本発明の他の課題は、所定の状態である流体の部分の位置を検出する非破壊検査装置および非破壊検査方法を提供することにある。
　本発明のさらに他の課題は、所定の状態である流体の部分の位置をより高精度に検出する非破壊検査装置および非破壊検査方法を提供することにある。
　本発明のさらに他の課題は、流体の内部に異物を混入しないでその流体が所定の状態になるタイミングを検出する非破壊検査装置および非破壊検査方法を提供することにある。
　本発明のさらに他の課題は、流体を硬化させて材料を製造するときに、その流体が硬化する前に、その材料に生じる欠陥を検出する非破壊検査装置および非破壊検査方法を提供することにある。

　本発明による非破壊検査装置は、検査対象流体に向けて第１超音波を発振する送信側探触子と、その第１超音波が伝播されたときに、その第１超音波により生成されるラム波が伝播する板と、その板から発振され、その検査対象流体を透過する第２超音波の強度を測定する受信側探触子とを備えている。このとき、このような非破壊検査装置は、その第１超音波を発振する送信側探触子とその第２超音波を測定するその受信側探触子とをその検査対象流体に接触させないで、その検査対象流体を検査することができる。

　その板は、その検査対象流体が流し込まれるモールドの一部に形成されることが好ましい。

　本発明による非破壊検査装置は、その送信側探触子に対してその受信側探触子を固定する固定部材をさらに備えていることが好ましい。

　本発明による非破壊検査装置は、その送信側探触子とその受信側探触子とを駆動する駆動装置をさらに備えている。このとき、このような非破壊検査装置は、その検査対象流体が所定の状態である位置を検出することができる。

　本発明による非破壊検査装置は、その送信側探触子に対するその受信側探触子の方向を変更する他の駆動装置をさらに備えていることが好ましい。

　本発明による非破壊検査装置は、制御装置をさらに備えている。その制御装置は、その他の駆動装置を用いて第１方向にその送信側探触子とその受信側探触子とを並べてその駆動装置を用いてその送信側探触子とその受信側探触子とを走査し、その他の駆動装置を用いてその第１方向と異なる第２方向にその送信側探触子とその受信側探触子とを並べてその駆動装置を用いてその送信側探触子とその受信側探触子とを走査する走査部と、その送信側探触子とその受信側探触子とが走査されている最中に、その第２超音波の強度をその受信側探触子から収集する収集部と、その強度に基づいてその検査対象流体が不適切である位置を検出する欠陥検出部とを備えている。このとき、このような非破壊検査装置は、その検査対象流体が所定の状態である位置をより高精度に検出することができる。

　本発明による非破壊検査装置は、その第２超音波の強度に基づいてその検査対象流体が所定状態になるタイミングを検出する制御装置をさらに備えていることが好ましい。

　本発明による非破壊検査方法は、検査対象流体を介して第１超音波が板に伝播されるように、その検査対象流体に向けてその第１超音波を発振するステップと、その第１超音波がその検査対象流体を透過して伝播される板から発振され、その検査対象流体を透過する第２超音波の強度を測定するステップと、その強度に基づいてその検査対象流体を検査するステップとを備えている。このような非破壊検査方法は、その第１超音波を発振する送信側探触子とその第２超音波を測定するその受信側探触子とをその検査対象流体に接触させないで、その検査対象流体を検査することができる。

　本発明による非破壊検査方法は、その第１超音波を発振する送信側探触子とその強度を測定する受信側探触子とを走査するステップをさらに備えている。このような非破壊検査方法は、その第２超音波に基づいてその検査対象流体が不適切である位置を検出することができる。

　その走査するステップは、第１方向にその送信側探触子とその受信側探触子とが並んだ状態で、その送信側探触子とその受信側探触子とを走査するステップと、その第１方向と異なる第２方向にその送信側探触子とその受信側探触子とが並んだ状態で、その送信側探触子とその受信側探触子とを走査するステップとを備えている。このような非破壊検査方法は、その第２超音波に基づいてその検査対象流体が不適切である位置をより高精度に検出することができる。

　本発明による複合材料製造方法は、本発明による非破壊検査方法を実行するステップと、その検査対象流体が適切であるときに次工程を実行するステップとを備えていることが好ましい。

　本発明による非破壊検査装置および非破壊検査方法は、超音波を発振する送信側探触子と超音波を測定する受信側探触子とを検査対象流体に接触させないで、その検査対象流体を検査することができる。

図１は、非破壊検査装置を示すブロック図である。 図２は、非破壊検査装置を示す平面図である。 図３は、制御装置を示すブロック図である。 図４は、複合材料製造方法を示すフローチャートである。 図５は、非破壊検査方法を示すフローチャートである。

　図面を参照して、本発明による非破壊検査装置の実施の形態を記載する。その非破壊検査装置は、複合材料形成ツールに適用される。その複合材料形成ツール１は、図１に示されているように、モールド２とバッグフィルム３と注入側パスメディア５と排出側パスメディア６とを備えている。モールド２は、例えば金属あるいはＣＦＲＰから形成され、板部分７と側壁部分８とから形成されている。板部分７は、厚さが一様である板状に形成され、所望の形状に形成される。側壁部分８は、板部分７の一方の面に突出するように形成されている。すなわち、モールド２は、板部分７を底とし、側壁部分８を側壁とする容器に形成されている。モールド２は、その容器の中に繊維強化樹脂中間材１０が配置される。繊維強化樹脂中間材１０は、繊維部分１８と樹脂部分１９とから形成される。繊維部分１８は、炭素繊維により形成された織物が積層されて形成されている。なお、繊維部分１８は、炭素繊維と異なる他の繊維から形成されることもできる。その繊維としては、ガラス繊維が例示される。樹脂部分１９は、流体であるエポキシ樹脂から形成され、繊維部分１８に含浸されている。繊維強化樹脂中間材１０は、加熱されて樹脂部分１９が硬化することにより、繊維強化樹脂に形成される。なお、樹脂部分１９は、加熱により硬化する他の熱硬化性合成樹脂から形成されることもできる。

　バッグフィルム３は、モールド２の板部分７の側壁部分８が形成されている面を被覆し、モールド２の内部を外部から密封している。バッグフィルム３は、さらに、注入口１１と吸引口１２とを形成している。注入口１１は、図示されていない樹脂注入装置とモールド２の内部とを接続している。その樹脂注入装置は、注入口１１を介して樹脂部分１９を形成する樹脂をモールド２の内部に注入する。吸引口１２は、図示されていない樹脂吸引装置とモールド２の内部とを接続している。その樹脂吸引装置は、吸引口１２を介してモールド２の内部を排気し、樹脂部分１９を形成する樹脂をモールド２の外部に吸引する。

　注入側パスメディア５は、網状に形成され、注入口１１とモールド２の内部とを接続するように、配置されている。注入側パスメディア５は、その樹脂注入装置からモールド２の内部にその樹脂が注入されることを補助する。排出側パスメディア６は、網状に形成され、吸引口１２とモールド２の内部とを接続するように、配置されている。排出側パスメディア６は、モールド２の内部からその樹脂吸引装置にその樹脂が吸引されることを補助する。

　図１は、さらに、非破壊検査装置を示している。その非破壊検査装置１４は、送信側探触子１５と受信側探触子１６と制御装置１７とを備えている。制御装置１７は、コンピュータであり、図示されていないＣＰＵと記憶装置と入力装置と出力装置とインターフェースとを備えている。そのＣＰＵは、制御装置１７にインストールされるコンピュータプログラムを実行して、その記憶装置と入力装置と出力装置とインターフェースとを制御する。その記憶装置は、そのコンピュータプログラムを記録し、そのＣＰＵにより生成される情報を一時的に記録する。その入力装置は、ユーザに操作されることにより情報を生成し、その情報をそのＣＰＵに出力する。その入力装置としては、キーボードが例示される。その出力装置は、そのＣＰＵにより生成される情報をユーザに認識可能に出力する。その出力装置としては、ディスプレイが例示される。そのインターフェースは、制御装置１７に接続される外部機器により生成される情報をそのＣＰＵに出力し、そのＣＰＵにより生成された情報をその外部機器に出力する。その外部機器は、送信側探触子１５と受信側探触子１６とを含んでいる。

　送信側探触子１５は、複合材料形成ツール１のバッグフィルム３に対向するように、配置されている。送信側探触子１５は、図示されていない電線を介して、制御装置１７に情報伝達可能に接続されている。送信側探触子１５は、制御装置１７により制御され、モールド２の板部分７に向けて超音波２１を発振する。超音波２１は、モールド２の内部の繊維強化樹脂中間材１０を介して、モールド２の板部分７に伝播する。板部分７は、超音波２１が伝播された点２２でラム波２３が生成され、ラム波２３を伝播させる。受信側探触子１６は、複合材料形成ツール１のバッグフィルム３に対向するように、かつ、板部分７のうちの点２４に向けて、配置されている。点２４は、点２２から所定の距離だけ離れた位置に配置されている。受信側探触子１６は、図示されていない電線を介して、制御装置１７に情報伝達可能に接続されている。受信側探触子１６は、点２４から発振され、モールド２の内部の繊維強化樹脂中間材１０を伝播する超音波２５を受信する。超音波２５の強度は、繊維強化樹脂中間材１０のうちの超音波２１が伝播する部分での樹脂部分１９の厚さと繊維強化樹脂中間材１０のうちの超音波２５が伝播する部分での樹脂部分１９の厚さとを反映している。受信側探触子１６は、超音波２５の強度を測定し、その強度を制御装置１７に出力する。

　非破壊検査装置１４は、図２に示されているように、さらに、走査装置３１を備えている。走査装置３１は、ガイドレール３２と第１支持部材３３と第２支持部材３４と固定部材３５と備えている。ガイドレール３２は、棒状に形成され、ｘ軸方向に平行に配置されるように、複合材料形成ツール１のモールド２が固定される土台に固定されている。第１支持部材３３は、棒状に形成され、ｘ軸方向と垂直であるｙ軸方向に平行になるように、配置されている。第１支持部材３３は、ｘ軸方向に平行移動可能にガイドレール３２に支持されている。第２支持部材３４は、棒状に形成され、ｙ軸方向と垂直であるｘ軸方向に平行になるように、配置されている。第２支持部材３４は、ｙ軸方向に平行移動可能に第１支持部材３３に支持されている。固定部材３５は、棒状に形成され、ｘ軸方向とｙ軸方向とに垂直である鉛直方向に平行な軸を中心に回転可能に第２支持部材３４に支持されている。

　走査装置３１は、さらに、第１駆動装置３６と第２駆動装置３７と第３駆動装置３８とを備えている。第１駆動装置３６と第２駆動装置３７と第３駆動装置３８とは、図示されていない電線を介して、制御装置１７に情報伝達可能に接続されている。第１駆動装置３６は、制御装置１７により制御されて、第１支持部材３３がガイドレール３２に対してｘ軸方向に平行移動するように、第１支持部材３３を駆動する。第２駆動装置３７は、制御装置１７により制御されて、第２支持部材３４が第１支持部材３３に対してｙ軸方向に平行移動するように、第２支持部材３４を駆動する。第３駆動装置３８は、制御装置１７により制御されて、固定部材３５が第２支持部材３４に対して鉛直方向に平行である軸を中心に回転移動するように、固定部材３５を駆動する。

　このような走査装置３１によれば、送信側探触子１５が板部分７の点２２に向けられているときに、受信側探触子１６は、常時に、点２２から所定の距離だけ離れた点２４に向けられ、点２４から発振された超音波２５の強度を測定することができる。

　制御装置１７は、図３に示されているように、複数のコンピュータプログラムがインストールされている。そのコンピュータプログラムは、走査部４１と収集部４２と欠陥検出部４３とを含んでいる。

　走査部４１は、送信側探触子１５と受信側探触子１６とがｘ軸方向またはｙ軸方向のいずれかに並ぶように、第３駆動装置３８を駆動する。走査部４１は、送信側探触子１５と受信側探触子１６とがｘ軸方向またはｙ軸方向のいずれかに並んだ状態で、第１駆動装置３６と第２駆動装置３７とを制御して送信側探触子１５と受信側探触子１６とを走査させる。すなわち、板部分７は、側壁部分８に囲まれた部分がマトリクス状に複数の領域に分割されている。走査部４１は、送信側探触子１５がその複数の領域の各々に順番に向けられるように、第１駆動装置３６と第２駆動装置３７とを制御する。

　収集部４２は、走査部４１により、送信側探触子１５がその複数の領域の各々に向けられるごとに、送信側探触子１５を用いて超音波２１を発振する。収集部４２は、送信側探触子１５から超音波２１が発振されるごとに、受信側探触子１６を用いて板部分７から発振された超音波２５の強度を測定し、超音波２５の強度を受信側探触子１６から収集する。

　欠陥検出部４３は、制御装置１７は、収集部４２により収集された超音波２５の強度に基づいて、繊維強化樹脂中間材１０に欠陥が発生しているかどうかを判別する。欠陥検出部４３は、繊維強化樹脂中間材１０に欠陥が発生していると判別されたときに、その収集された超音波２５の強度に基づいて、その欠陥の位置と種類と大きさとを算出する。欠陥検出部４３は、さらに、その算出された欠陥の位置と種類と大きさとをユーザ認識可能にディスプレイに表示する。

　本発明による非破壊検査方法の実施の形態は、複合材料製造方法に適用されている。図４は、その複合材料製造方法を示している。ユーザは、まず、炭素繊維により形成された複数のシートを積層し、その積層された複数のシートをモールド２の内部に配置する（ステップＳ１）。ユーザは、次いで、注入側パスメディア５と排出側パスメディア６とをモールド２の内部に配置し、バッグフィルム３を用いてモールド２の内部を外部から密封する（ステップＳ２）。ユーザは、さらに、注入口１１と吸引口１２とを形成し、注入口１１を樹脂注入装置に接続し、吸引口１２を樹脂吸引装置に接続して、複合材料形成ツール１を完成させる。

　ユーザは、さらに、複合材料形成ツール１を炉の内部に配置し、複合材料形成ツール１に非破壊検査装置１４を設置する。ユーザは、その炉を用いて、複合材料形成ツール１を７０℃～８０℃に加熱しながら、その樹脂注入装置を用いてモールド２の内部に樹脂を注入し、その樹脂吸引装置を用いて、モールド２の内部から排気する。ユーザは、その樹脂が吸引口１２に到達した後に、その樹脂吸引装置を用いて、その樹脂をモールド２の外部に排出する（ステップＳ３）。その積層された複数のシートは、このような樹脂の注入により、繊維強化樹脂中間材１０に形成される。

　ユーザは、その樹脂をモールド２の内部に注入しながら、非破壊検査方法を実行し、繊維強化樹脂中間材１０に欠陥があるかどうかを判別する（ステップＳ４）。ユーザは、繊維強化樹脂中間材１０に欠陥があると判別されたときに（ステップＳ４、欠陥あり）、繊維強化樹脂中間材１０を修理する（ステップＳ５）。

　ユーザは、繊維強化樹脂中間材１０に欠陥がないと判別されたときに（ステップＳ４、欠陥なし）、または、ステップＳ５が実行された後に、さらに高温に加熱することにより樹脂を硬化させることにより、繊維強化樹脂中間材１０を繊維強化樹脂に形成する（ステップＳ６）。ユーザは、その繊維強化樹脂に欠陥がないか検査し（ステップＳ７）、その繊維強化樹脂に欠陥が発見されないときに、繊維強化樹脂を完成させる。

　図５は、ステップＳ４で実行される非破壊検査方法を示している。その非破壊検査方法は、非破壊検査装置１４により実行される。非破壊検査装置１４の制御装置１７は、まず、送信側探触子１５と受信側探触子１６とがｘ軸方向に並ぶように、第３駆動装置３８を駆動する。制御装置１７は、送信側探触子１５と受信側探触子１６とがｘ軸方向に並んだ状態で、送信側探触子１５と受信側探触子１６とを走査させる。すなわち、板部分７は、側壁部分８に囲まれた部分がマトリクス状に複数の領域に分割されている。制御装置１７は、送信側探触子１５がその複数の領域の各々に順番に向けられるように、第１駆動装置３６と第２駆動装置３７とを制御する。制御装置１７は、送信側探触子１５がその複数の領域の各々に向けられるごとに、送信側探触子１５を用いて超音波２１を発振する。このとき、超音波２１は、モールド２の内部の繊維強化樹脂中間材１０を介して、モールド２の板部分７に伝播する。板部分７は、超音波２１が伝播された点２２でラム波２３を生成し、ラム波２３を板部分７の任意の点に伝播させ、その任意の点から超音波を発振する。受信側探触子１６は、点２２からｘ軸方向に所定の距離だけ離れた点２４から発振された超音波２５の強度を測定する。制御装置１７は、超音波２５の強度を受信側探触子１６から収集する（ステップＳ１１）。

　制御装置１７は、次いで、送信側探触子１５と受信側探触子１６とがｙ軸方向に並ぶように、第３駆動装置３８を駆動する。制御装置１７は、送信側探触子１５と受信側探触子１６とがｙ軸方向に並んだ状態で、送信側探触子１５と受信側探触子１６とを走査させる。制御装置１７は、送信側探触子１５が板部分７の複数の領域の各々に向けられるごとに、送信側探触子１５を用いて超音波２１を発振する。受信側探触子１６は、点２２からｙ軸方向に所定の距離だけ離れた点２４から発振された超音波２５の強度を測定する。制御装置１７は、超音波２５の強度を受信側探触子１６から収集する（ステップＳ１２）。

　制御装置１７は、ステップＳ１１で収集された超音波２５の強度とステップＳ１２で収集された超音波２５の強度とに基づいて、繊維強化樹脂中間材１０に欠陥が発生しているかどうかを判別する。その欠陥としては、ボイド、未含浸が例示される。そのボイドは、バッグフィルム３に形成された孔などの原因で、繊維強化樹脂中間材１０の樹脂部分１９に気泡が形成されることである。その未含浸は、樹脂の含浸が不十分で、炭素繊維が剥き出しの状態に成ることである。制御装置１７は、繊維強化樹脂中間材１０に欠陥が発生していると判別されたときに、その収集された超音波２５の強度に基づいて、その欠陥の位置と種類と大きさとを算出する（ステップＳ１３）。制御装置１７は、さらに、その算出された欠陥の位置と種類と大きさとをユーザ認識可能にディスプレイに表示する。

　このような非破壊検査方法によれば、送信側探触子１５と受信側探触子１６とは、バッグフィルム３に接触させる必要がなく、送信側探触子１５とバッグフィルム３との間に液体の接触媒質を配置する必要がなく、受信側探触子１６とバッグフィルム３との間に液体の接触媒質を配置する必要がない。このため、非破壊検査装置１４は、複合材料形成ツール１が配置される炉をその接触媒質で汚染することがなくなり、その炉の内部の汚染を防止することができる。

　このような非破壊検査方法は、送信側探触子１５と受信側探触子１６とを走査するために、繊維強化樹脂中間材１０に発生している欠陥の位置と大きさとを算出することができる。超音波２５の強度は、繊維強化樹脂中間材１０のうちの超音波２１が伝播する部分での樹脂部分１９の厚さ、または、繊維強化樹脂中間材１０のうちの超音波２５が伝播する部分での樹脂部分１９の厚さが反映され、一般的に、その２つの厚さのどちらが反映されているかが判別されることができないことがある。このような非破壊検査方法によれば、送信側探触子１５と受信側探触子１６とが並ぶ方向を変えて複数回検査しているために、繊維強化樹脂中間材１０に発生している欠陥の位置と大きさとをより詳細に算出することができる。

　繊維強化樹脂は、一般的に、樹脂部分が硬化した後に修理すると、その修理した部分の強度が低下する。このような複合材料製造方法によれば、このような非破壊検査方法により繊維強化樹脂中間材１０の欠陥を樹脂部分１９が硬化する前に欠陥を発見することができるために、完成品の強度を低下することなく、その欠陥を修理することができる。なお、ステップＳ５は、繊維強化樹脂中間材１０を廃棄する動作に置換することができる。このとき、ステップＳ３のマトリックス注入の次工程である硬化を無駄に実行することを防止することができる。

　このような非破壊検査方法は、さらに、流体を取り扱う他の方法に適用することもできる。その方法としては、コンクリートの製造が例示される。このような非破壊検査方法が適用されたコンクリートの製造方法によれば、そのコンクリートが硬化する前に、そのコンクリートに発生する欠陥（ボイド）を発見することができ、好ましい。

　なお、モールド２の板部分７は、平坦でない他の板に置換されることもできる。このようなモールドを用いた複合材料製造方法によれば、平坦でない曲面を有する繊維強化樹脂を成型することができる。
　なお、モールド２は、板部分７のうちの側壁部分８が形成されている面の反対側の面にラム波伝播用板をさらに備えている他のモールドに置換されることもできる。このようなモールドは、既述の実施の形態におけるモールド２と同様に利用される。すなわち、そのラム波伝播用板は、送信側探触子１５から繊維強化樹脂中間材とそのモールドの板部分とを介して伝播された超音波を受け、その超音波が伝播された点でラム波を生成し、そのラム波をそのラム波伝播用板の任意の点に伝播させ、その任意の点から超音波を発振する。このとき、受信側探触子１６は、そのラム波伝播用板から発振され、そのモールドの板部分と繊維強化樹脂中間材とを介して伝播された超音波の強度を測定する。このようなモールドを用いた非破壊検査方法は、既述の実施の形態における非破壊検査方法と同様な効果を奏することができる。

Claims (11)

1. 　検査対象流体に向けて第１超音波を発振する送信側探触子と、
   　前記第１超音波が前記検査対象流体を介して伝播されたときに、前記第１超音波により生成されるラム波が伝播する板と、
   　前記板から発振され、前記検査対象流体を伝播する第２超音波の強度を測定する受信側探触子
   　とを具備する非破壊検査装置。
2. 　請求の範囲１において、
   　前記板は、前記検査対象流体が流し込まれるモールドの一部に形成される
   　非破壊検査装置。
3. 　請求の範囲２において、
   　前記送信側探触子に対して前記受信側探触子を固定する固定部材
   　をさらに具備する非破壊検査装置。
4. 　請求の範囲３において、
   　前記送信側探触子と前記受信側探触子とを駆動する駆動装置
   　をさらに具備する非破壊検査装置。
5. 　請求の範囲４において、
   　前記送信側探触子に対する前記受信側探触子の方向を変更する他の駆動装置
   　をさらに具備する非破壊検査装置。
6. 　請求の範囲５において、
   　制御装置をさらに具備し、
   　前記制御装置は、
   　前記他の駆動装置を用いて第１方向に前記送信側探触子と前記受信側探触子とを並べて前記駆動装置を用いて前記送信側探触子と前記受信側探触子とを走査し、前記他の駆動装置を用いて前記第１方向と異なる第２方向に前記送信側探触子と前記受信側探触子とを並べて前記駆動装置を用いて前記送信側探触子と前記受信側探触子とを走査する走査部と、
   　前記送信側探触子と前記受信側探触子とが走査されている最中に、前記第２超音波の強度を前記受信側探触子から収集する収集部と、
   　前記強度に基づいて前記検査対象流体が不適切である位置を検出する欠陥検出部とを備える
   　非破壊検査装置。
7. 　請求の範囲２において、
   　前記第２超音波の強度に基づいて前記検査対象流体が所定状態になるタイミングを検出する制御装置
   　をさらに具備する非破壊検査装置。
8. 　検査対象流体に向けて第１超音波を発振するステップと、前記第１超音波は、前記検査対象流体を介して板に伝播され、
   　前記板から発振され、前記検査対象流体を伝播する第２超音波の強度を測定するステップと、
   　前記強度に基づいて前記検査対象流体を検査するステップ
   　とを具備する非破壊検査方法。
9. 　請求の範囲８において、
   　前記第１超音波を発振する送信側探触子と前記強度を測定する受信側探触子とを走査するステップ
   　をさらに具備する非破壊検査方法。
10. 　請求の範囲９において、
    　前記走査するステップは、
    　第１方向に前記送信側探触子と前記受信側探触子とが並んだ状態で、前記送信側探触子と前記受信側探触子とを走査するステップと、
    　前記第１方向と異なる第２方向に前記送信側探触子と前記受信側探触子とが並んだ状態で、前記送信側探触子と前記受信側探触子とを走査するステップとを備える
    　非破壊検査方法。
11. 　請求の範囲８～請求の範囲１０のいずれかに記載される非破壊検査方法を実行するステップと、
    　前記検査対象流体が適切であるときに次工程を実行するステップ
    　とを具備する複合材料製造方法。

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