WO2010052246A3 - Vorrichtung sowie verfahren zum elektrochemischen beschichten eines werkstücks - Google Patents
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Abstract
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (1, 101, 201) zum elektrochemischen Beschichten eines Werkstücks (22) mit einem Beschichtungsbehälter (2, 102, 202), der eine Beschicköffnung (5) aufweist und mit einem Vorratsbehälter (3, 103, 203), wobei die beiden Behälter durch eine Durchtrittsöffnung (4, 104, 204) verbunden sind. Die Vorrichtung weist mindestens eine Elektrode (11) und eine Gegenelektrode (14) auf. Um die Kontamination einer Beschichtungsflüssigkeit (20, 120, 220) bei einem elektrochemischen Abscheideprozess zu verhindern, ist die Vorrichtung Durchdrehung von Vorrichtungs- und Beschichtungsbehälter um wenigstens eine gemeinsame Achse (A, A', A") zwischen einer Beschichtungsstellung und einer Ruhestellung verstellbar, so dass sich der Volumenschwerpunkt des Beschichtungsbehälters (2, 102, 202) in der Beschichtungsstellung relativ zum Volumenschwerpunkt des Vorratsbehälters (3, 103, 203) niedriger befindet als in der Ruhestellung. Die Erfindung betrifft weiter ein Verfahren zum Beschichten von Werkstücken.
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