WO2010029195A1 - Método y dispositivo para cambiar la dirección y regular el ángulo de incidencia de un haz láser en litografía por interferencia - Google Patents
Método y dispositivo para cambiar la dirección y regular el ángulo de incidencia de un haz láser en litografía por interferencia Download PDFInfo
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- WO2010029195A1 WO2010029195A1 PCT/ES2009/000442 ES2009000442W WO2010029195A1 WO 2010029195 A1 WO2010029195 A1 WO 2010029195A1 ES 2009000442 W ES2009000442 W ES 2009000442W WO 2010029195 A1 WO2010029195 A1 WO 2010029195A1
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- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
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- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70408—Interferometric lithography; Holographic lithography; Self-imaging lithography, e.g. utilizing the Talbot effect
Definitions
- the object of the present invention is related to a method for changing the direction and regulating the angle of incidence of a laser beam, as well as with the device for carrying out said method, all of which is specially designed for application within the field of lithography by laser interference, although this application cannot be considered in a limiting sense.
- This technique requires a control of the orientation of the laser beams, so that they all converge, as accurately as possible, towards the point of incidence.
- mirrors are used to achieve the orientation of the laser beams.
- laboratory devices are already known, in which the mirrors are manually oriented, through the intervention of highly specialized personnel, to be able to finally obtain the geometry of the structures that you want to make, using this lithography technique by laser interference.
- pulsed lasers When pulsed lasers are used, whose beams are formed by high power pulses, compared to the continuous wave beams, it is essential that the distance of the path traveled by the different rays, until reaching the point of incidence, is the same; so that the pulses arrive in the same time segment and the interference is thus more efficient.
- the present invention proposes a method and a device that allows to orientate and regulate the angle of incidence of a laser beam on an interference point, adjusting the position of a set of mirrors, without changing the length of the optical path that the laser beam travels; so that efficient interference is ensured, regardless of the position occupied by said set of mirrors.
- a device is proposed, according to which, the projection of a series of laser beams is established.
- the position of the mirrors in the virtual circumference can be modified, as regards one or more mirrors, for which, the trajectory of the laser beams that affect such mirrors that can move along the virtual circumference, you must change and point at all times to the mirror that moves.
- a tracking mirror is arranged, for each mirror that moves along the virtual circumference.
- the normal to the plane of reflection of this mirror forms the appropriate angle with the aforementioned axis.
- Motor and transmission means simultaneously and synchronously, perform the movement of the mirror along the virtual circumference and the rotation of the tracking mirror, thus guaranteeing the synchronism of both movements and a correct orientation of the laser beam.
- the angle of incidence of the laser beam on the sample, at the point of convergence of the different beams is one of the determining parameters of the interference pattern generated with laser beam lithography.
- the different mirrors that are arranged on the virtual circumference are incorporated according to a mounting that allows rotation on themselves.
- This rotation allows to move the point of convergence along the axis that passes through the center of the virtual circle.
- Figure 1 shows in diagram the arrangement of the basic components of a device that allows to execute the adjustment method object of the present invention.
- Figure 1a is a scheme like that of Figure 1 but with a variant in the placement of the mirrors (7 and 8).
- Figure 2 shows a perspective view and- schematic of a possible example of practical embodiment of the device shown in diagram in Figure 1, with four laser beams (1, 1 ', la and Ib).
- Figure 3 is a perspective and schematic view of the mechanical frame and the transmission means of the solution shown in Figure 1.
- Figure 4 shows how the angle of incidence ( ⁇ ) becomes ( ⁇ ') varies.
- the relative position between the mirrors (7 and 8) can be modified; so that in the case of figure 1 the mirror (7) is the closest to the center (6); while with the geometry of figure 1a it is the mirror (8) closest to the center (6).
- the mirror (2) is mounted with the possibility of moving, following a circumferential path
- an axis (5) is defined in which the centers of the mirrors (7) and (8) are also found; so that the path (7-8) is on the axis (5) and both the centers of the mirrors (7) and (8), as well as the center (6) and the point (4), are in a same line that defines the axis (5).
- the method object of the present invention proposes to make a beam of light (1) influence a mirror (8) collinear with the center (6), of a virtual circle (3), and with the point (4), of convergence of the different light beams, for the creation of the corresponding interference.
- the light beam (1) be bounced to a mirror (2) capable of being selectively positioned along said circumference (3); said beam being directed from the mirror (2) to the point (4) of convergence; all this so that, by varying the position of the mirror (2) along the virtual circumference (3), the orientation of the incident laser beam (1) can be modified on the point of convergence (4), without varying the distance from the mirror (8) to the mirror (2) and from this to the point (4).
- the beam of light (1) that hits the mirror (8) does so along a path parallel to the axis (5); so that the center of the mirror (8) is placed on the axis (5) capable of rotating on said axis following the mirror (2) in its movement through the virtual circumference (3).
- two mirrors (2 and 2 ') are arranged with the possibility of moving along the virtual circumference (3).
- the device can have a single mirror (2), two or more than two, depending on the number of - ft - -
- two other mirrors (2a) and (2b) are also mounted on the virtual circumference path (3), these without the ability to move following said virtual circumference (3); so that this device is four beams, two controlled, identified with the numerical references (1 and 1 ') and the other two fixed, identified by (la and Ib), being able to combine controlled light beams (1, l'. ..l n ) with fixed path light beams (la, Ib ... In).
- the automatic mechanism designed to move the mirror (2) and orient the mirror (8) to follow it is basically the same as the automatic mirror mechanism (2 'and 8') -
- a motor (14) establishes the rotation of a motor shaft (12) which, through the corresponding transmission elements, transmits the movement to two support pieces (9 and 15). ) respectively, on which the mirrors are mounted (2 and 8).
- the transmission elements can be any of the transmission solutions that are known until now or that can be developed in the future. It has been proven that a cable transmission works correctly and is the one used so far, although in the attached figures it has been represented, by facilitating visual appreciation, a transmission by means of two pinions (11 and 13) coupled to jagged sectors ( 10 and 16).
- the rotation of the motor (14) translates into the synchronized rotation of the support parts (9 and 15).
- the rotation of the support piece (9) translates into the movement of the mirror (2), following the virtual circumference (3).
- mirrors (2 'and 8') the solution is the same and, according to the non-limiting example of practical embodiment represented in the attached figures, it consists in the use of a motor (14 '), with an axis engine (12 ') which, through transmission elements (10' -11 ') and (13'-l ⁇ '), are capable of transmitting their movement to support parts (9 'and
- FIG 3 an example of a practical embodiment of the mechanical and transmission part of the movements of the embodiment shown in figure 2 is shown in diagram.
- the present invention proposes the solution represented in Figure 4, according to which, all the mirrors (2, 2 ', 2a and 2b ) that are located on the virtual circumference (3) are incorporated with the possibility of a rotation on themselves, allowing to move the point (4) of convergence of such beams (2, 2 ', 2a and 2b) along the shaft (5).
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Abstract
Método y dispositivo para cambiar la dirección y regular el ángulo de incidencia de un haz láser en litografía por interferencia; según este método se hace incidir, el correspondiente haz de luz (1), sobre un espejo (8) que es colineal con el centro (6) de una circunferencia virtual (3) y con el punto (4) de convergencia de los diferentes haces de luz, en donde se genera la correspondiente interferencia, y desde el espejo (8) el haz de luz (1) es dirigido hasta un espejo (2) capaz de ser selectivamente posicionado a lo largo de dicha circunferencia virtual (3), siendo dirigido ese haz de luz (1) desde este espejo (2) hasta el punto (4) de convergencia; este método se lleva a cabo con un dispositivo en el que el espejo (2) va montado en una pieza de soporte (9) capaz de trasladar a aquel siguiendo la trayectoria a lo largo de la circunferencia virtual (3) y dicho espejo (2) va dispuesto con posibilidad de rotación sobre sí mismo.
Description
MÉTODO Y DISPOSITIVO PARA CAMBIAR LA DIRECCIÓN Y
REGULAR EL ÁNGULO DE INCIDENCIA DE UN HAZ LÁSER EN
LITOGRAFÍA POR INTERFERENCIA
Sector de la técnica
El objeto de la presente invención está relacionado con un método para cambiar la dirección y regular el ángulo de incidencia de un haz láser, asi como con el dispositivo para llevar a efecto dicho método, estando todo ello especialmente diseñado para su aplicación dentro del campo de la litografía por interferencia de rayos láser, si bien esta aplicación no puede ser considerada en sentido limitativo.
Estado de la técnica
Dentro de la técnica conocida como litografía por interferencia de rayos láser es necesario dirigir una serie de rayos láser hacia un punto de incidencia, en donde se va a producir la correspondiente impresión de patrones, al hacer coincidir, sobre el material de aplicación, diferentes haces de láser.
Esta técnica exige de un control de la orientación de los rayos de láser, para que todos ellos converjan,, de la manera más exacta posible, hacia el punto de incidencia.
Dentro de las realizaciones más habituales, se recurre al empleo de espejos, para conseguir la orientación de los rayos de láser. En este sentido se conocen ya dispositivos de laboratorio, en los que los espejos son orientados manualmente, mediante la intervención de personal muy especializado, para poder
obtener finalmente la geometría de las estructuras que se deseen realizar, mediante esta técnica de litografía por interferencia de rayos láser.
Cuando se utilizan láseres pulsados, cuyos haces se forman por pulsos de alta potencia, frente a los haces de onda continua, es fundamental que la distancia del camino que recorren los distintos rayos, hasta llegar al punto de incidencia, sea la misma; de manera que los pulsos lleguen en el mismo segmento temporal y la interferencia sea así más eficiente.
Objeto de la invención
La presente invención propone un método y un dispositivo que permite orientar y regular el ángulo de incidencia de un haz láser sobre un punto de interferencia, ajustando la posición de un conjunto de espejos, sin cambiar la longitud del camino óptico que recorre el haz láser; de manera que se asegura una eficiente interferencia, independientemente de la posición que ocupe dicho conjunto de espejos.
Además, ello se consigue de forma que puede automatizarse este ajuste de espejos, evitando con ello el tener que recurrir a personal muy especializado, a la vez que asegura, en mayor medida, la precisión de los ajustes posicionales.
De acuerdo con una realización práctica de la invención, se propone un dispositivo, según el cual, se establece la proyección de una serie de rayos láser
(por ejemplo cuatro) , desde una circunferencia virtual, para determinar la interferencia de dichos rayos en un punto común de convergencia, situado sobre un eje que
pasa por el centro de dicha circunferencia virtual, a una cierta distancia de dicho centro.
La posición de los espejos en la circunferencia virtual puede ser modificada, en lo que respecta a uno o más espejos, para lo cual, la trayectoria de los haces de láser que inciden sobre tales espejos que pueden moverse a lo largo de la circunferencia virtual, debe cambiar y apuntar en todo momento al espejo que se mueve.
Para ello, sobre el mencionado eje que pasa por el centro de la circunferencia virtual y al otro lado de donde se sitúa el punto de convergencia, se dispone un espejo de seguimiento, por cada espejo que se mueve a lo largo de la circunferencia virtual. La normal al plano de reflexión de este espejo forma el ángulo adecuado con el precitado eje. Unos medios motrices y de transmisión, realizan simultáneamente y de forma sincronizada, el desplazamiento del espejo a lo largo de la circunferencia virtual y el giro del espejo de seguimiento, garantizando asi el sincronismo de ambos movimientos y una correcta orientación del haz de láser.
Por otro lado, el ángulo de incidencia del haz láser sobre la muestra, en el punto de convergencia de los diferentes haces, es uno de los parámetros determinantes del patrón de interferencias generado con litografia de haces láser.
En efecto, dependiendo de la polarización de los haces interferentes, una variación del ángulo de incidencia puede suponer, desde una variación de la escala del patrón, hasta una transformación completa de
la geometría del patrón. Es por ello que el control del ángulo de incidencia resulta de suma importancia.
Hasta la fecha, la variación del ángulo de incidencia se llevaba a cabo incluyendo desplazamientos y/o rotaciones manuales de los espejos que forman parte del sistema.
De acuerdo con la solución ahora propuesta, los diferentes espejos que van dispuestos sobre la circunferencia virtual, se hallan incorporados según un montaje que posibilita una rotación sobre sí mismos.
Esta rotación permite desplazar el punto de convergencia a lo largo del eje que pasa por el centro de la circunferencia virtual.
Este desplazamiento del punto de convergencia a lo largo del eje que pasa por el centro de la circunferencia virtual, junto a la traslación de la muestra a lo largo de dicho eje, se traduce en una variación controlada del ángulo de incidencia de los haces de láser sobre la muestra.
Descripción de las figuras
La figura 1 muestra en esquema la disposición de los componentes básicos de un dispositivo que permite ejecutar el método de ajuste objeto de la presente invención.
La figura 1a es un esquema como el de la figura 1 pero con una variante en la colocación de los espejos (7 y 8) .
La figura 2 muestra una vista en perspectiva y-
esquemática de un posible ejemplo de realización práctica del dispositivo representado en esquema en la figura 1, con cuatro haces láser (1, 1' , la y Ib).
La figura 3 es una vista en perspectiva y esquemática del armazón mecánico y de los medios de transmisión de la solución representada en la figura 1.
La figura 4 muestra como varia el ángulo de incidencia (α) que pasa a ser (α' ) .
Descripción detallada de la invención
De acuerdo con el objeto de la presente invención y tal como se ha representado esquemáticamente en la figura 1, se parte de un haz láser (1) que rebota en un espejo (7) y se dirige hacia otro espejo (8) que, a su vez, dirige el haz (1) hacia un espejo (2), desde el que es rebotado el haz (1) hasta un punto (4) , en donde el haz (1) converge con otros haces láser, no representados, para formar la correspondiente interferencia .
Sin variar en nada la esencia de la invención y tal como se aprecia en la figura 1a se puede modificar la posición relativa entre los espejos (7 y 8); de manera que en el caso de la figura 1 el espejo (7) es el más próximo al centro (6); mientras que con la geometría de la figura 1a es el espejo (8) el más próximo al centro (6) .
El espejo (2) va montado con posibilidad de desplazarse, siguiendo una trayectoria circunferencial
(3) , cuyo radio se corresponde con la distancia entre el centro (6) de esta circunferencia y la posición del
espej o ( 2 ) .
Entre los dos puntos definidos por el centro (6) de la circunferencia y el punto de convergencia (4) se define un eje (5) en el que se encuentran asimismo los centros de los espejos (7) y (8); de manera que la trayectoria (7-8) se encuentra en el eje (5) y tanto los centros de los espejos (7) y (8), como el centro (6) y el punto (4), se encuentran en una misma recta que es la que define al eje (5) .
Con esta disposición, la longitud del camino del haz láser (1) que sigue desde el espejo (7) al espejo
(8) y desde este al espejo (2), para terminar en el punto (4) , es siempre la misma, no variando la longitud total de este camino, con independencia de donde se encuentre situado el espejo (2), a lo largo de la circunferencia (3) .
De acuerdo con esta premisa de no variar la longitud del camino óptico, aunque varié la posición del espejo (2), el método objeto de la presente invención propone hacer incidir un haz de luz (1) sobre un espejo (8) colineal con el centro (6), de una circunferencia virtual (3) , y con el punto (4) , de convergencia de los diferentes haces de luz, para la creación de la correspondiente interferencia. Y también propone que desde el espejo (8) el haz de luz (1) sea rebotado hasta un espejo (2) capaz de ser selectivamente posicionado a lo largo de dicha circunferencia (3) ; siendo dirigido dicho haz desde el espejo (2) hasta el punto (4) de convergencia; todo ello de manera que, variando la posición del espejo (2) a lo largo de la circunferencia virtual (3) , se puede modificar la orientación del haz láser (1) incidente
sobre el punto de convergencia (4), sin variar la distancia desde el espejo (8) al espejo (2) y desde este al punto (4) .
De igual forma y con el método ahora preconizado, variando la posición del haz láser, incidente sobre el punto (4) de interferencia, a lo largo de la circunferencia virtual (3) se puede modificar la orientación del espejo (2), sin variar la distancia desde el espejo (8) al espejo (2) y desde este al punto (4) .
Asimismo y de acuerdo con la invención, el haz de luz (1) que incide en el espejo (8), lo hace siguiendo una trayectoria paralela al eje (5); de manera que el centro del espejo (8) se sitúa sobre el eje (5) con capacidad de girar sobre dicho eje siguiendo al espejo (2) en su movimiento por la circunferencia virtual (3) . Esto se consigue con la colocación del espejo (8) en dicho eje (5) ; de manera que su plano de reflexión está girando un cierto ángulo respecto de la normal de dicho eje (5), en un montaje en el que no tiene que moverse a lo largo del eje (5) y sólo rotará respecto de dicho eje (5) para seguir asi al espejo (2) .
Para llevar a cabo este método, se ha diseñado un dispositivo del que, en la figura 2 se representa un posible ejemplo no limitativo de realización práctica.
Según la realización del dispositivo representada en la figura 2 se disponen dos espejos (2 y 2') con posibilidad de desplazarse siguiendo la circunferencia virtual (3) . Sin alterar en nada la esencia de la invención, el dispositivo puede presentar un solo espejo (2), dos o más de dos, según sea el número de
— ft — -
haces controlados que se precise disponer.
Siguiendo con la realización representada en la figura 2, sobre la trayectoria de la circunferencia virtual (3) van montados también otros dos espejos (2a) y (2b) , estos sin capacidad de moverse siguiendo dicha circunferencia virtual (3) ; de forma que este dispositivo es de cuatro haces, dos controlados, identificados con las referencias numéricas (1 y 1' ) y los otros dos fijos, identificados por (la y Ib), pudiendo combinar haces de luz controlados (1, l'...ln) con haces de luz de trayectoria fija (la, Ib...In) .
El mecanismo automático ideado para mover el espejo (2) y orientar el espejo (8) para que le siga a aquel , es básicamente igual al del mecanismo automático de los espejos (2' y 8')-
En el caso de los espejos (2 y 8), un motor (14) establece el giro de un eje motor (12) que, a través de los correspondientes elementos de transmisión, transmiten el movimiento a sendas piezas de soporte (9 y 15) respectivamente, sobre las que van montadas los espejos (2 y 8) .
Los elementos de transmisión pueden ser cualquiera de las soluciones de transmisión que se conocen hasta ahora o que puedan desarrollarse en un futuro. Se ha comprobado que una transmisión por cable funciona correctamente y es la utilizada hasta ahora, si bien y en las figuras adjuntas se ha representado, por facilitar la apreciación visual, una transmisión mediante sendos piñones (11 y 13) acoplados a unos sectores dentados (10 y 16) .
El giro del motor (14) se traduce en el giro sincronizado de las piezas de soporte (9 y 15) . El giro de la pieza de soporte (9) se traduce en el desplazamiento del espejo (2) , siguiendo la circunferencia virtual (3) .
El giro sincronizado de la pieza de soporte (15), se traduce en el giro del espejo (8), cuya normal al plano de reflexión forma el ángulo adecuado con el eje (5) ; de manera que el espejo (8) se orienta asi, siguiendo el espejo (2) para reflejar sobre éste, el haz de láser (1) .
En el caso de los espejos (2' y 8') la solución es igual y, de acuerdo con el ejemplo no limitativo de realización práctica representado en las figuras adjuntas, consiste en la utilización de un motor (14'), con un eje motor (12') que, a través de unos elementos de transmisión (10' -11') y (13'-lβ'), son capaces de transmitir su movimiento a unas piezas de soporte (9' y
15'), a las que van solidarizadas los espejos (2' y
8') .
No se alterará en nada la esencia de la invención si el movimiento sincronizado de los espejos (2 y 8) o de los espejos (2' y 8') se consigue por una solución diferente a la de los motores (14 y 14'), mediante otros medios motrices que existan hasta la fecha o que puedan existir en un futuro.
En la figura 3 se representa en esquema, un ejemplo de realización práctica de la parte mecánica y de transmisión de los movimientos de la realización representada en la figura 2.
De esta forma se consigue variar la orientación de los espejos (2 y 2' ) y con ello la orientación de los haces (1 y 1') en ellos reflejados, sin que varié la distancia recorrida por los haces (1 y 1') en sus respectivos recorridos que, en el caso del haz (1) , va desde el espejo (7) al espejo (8) y desde este al espejo (2) , para terminar en el punto de convergencia
(4) y en el caso del haz (1') recorre el camino que va desde el espejo (7') al espejo (8') y desde este al espejo (2' ) , para terminar también en el punto de convergencia (4) .
Por otro lado y para regular el ángulo de incidencia λλα" de los haces de láser sobre la muestra, la presente invención propone la solución representada en la figura 4, según la cual, todos los espejos (2, 2' , 2a y 2b) que están situados sobre la circunferencia virtual (3) se hallan incorporados con la posibilidad de una rotación sobre si mismos, permitiendo trasladar el punto (4) de convergencia de tales haces (2, 2', 2a y 2b) a lo largo del eje (5) .
Este desplazamiento de punto (4), a lo largo del eje (5), junto con la traslación de la muestra (17), sobre la que se va a producir la correspondiente interferencia, a lo largo de dicho eje (5) , permite variar el ángulo (α) de incidencia de los haces (1, 1', la y Ib) sobre dicha muestra (17) . En el ejemplo representado en la figura 4, el punto de convergencia (4) se ha trasladado, junto a la muestra (17), hasta un nuevo punto (4'), lo cual, junto a la correspondiente rotación de los espejos (2, 2' , 2a y 2b), permite variar el ángulo de incidencia que pasa a ser ahora
(α') .
Claims
1. - Método para cambiar la dirección y regular el ángulo de incidencia de un haz láser en litografía por interferencia, caracterizado porque se hace incidir, el correspondiente haz de luz (1), sobre un espejo (8) que es colineal con el centro (6) de una circunferencia virtual (3) y con el punto (4) de convergencia de los diferentes haces de luz, en donde se genera la correspondiente interferencia; y porque desde el espejo
(8) el haz de luz (1) es dirigido hasta un espejo (2) capaz de ser selectivamente posicionado a lo largo de dicha circunferencia virtual (3), siendo dirigido ese haz de luz (1) desde este espejo (2) hasta el punto (4) de convergencia; de forma que, variando la posición del espejo (2) a lo largo de la circunferencia virtual (3), cambia la dirección del haz de luz (1), sin variar la longitud del camino óptico recorrido por el haz de luz (1), desde el espejo (8) al espejo (2) y desde éste al punto de convergencia (4) .
2. - Método para cambiar la dirección y regular el ángulo de incidencia de un haz láser en litografía por interferencia, en todo de acuerdo con la anterior reivindicación, caracterizado porque al haz de luz que incide sobre el espejo (8) se le hace seguir una trayectoria paralela al eje (5) .
3.- Método para cambiar la dirección y regular el ángulo de incidencia de un haz láser en litografía por interferencia, en todo de acuerdo con la primera y segunda reivindicaciones, caracterizado porque el haz^ de luz (1) que incide sobre el espejo (8) proviene de un espejo (7), cuyo centro está situado sobre el eje (5); y porque la normal al plano de reflexión del espejo de seguimiento (8) forma el ángulo necesario con el eje (5) para seguir al espejo (2) .
4.- Método para cambiar la dirección y regular el ángulo de incidencia de un haz láser en litografía por interferencia, caracterizado porque es aplicable a uno o más haces láser y porque puede combinar haces de láser controlados (1, l'...ln) con haces de luz de trayectoria fija (la, Ib...In) .
5. - Método para cambiar la dirección y regular el ángulo de incidencia de un haz láser en litografía por interferencia, en todo de acuerdo con la primera y cuarta reivindicaciones, caracterizado porque sobre la misma circunferencia virtual (3) sobre la que se sitúa el espejo (2), para el haz de láser controlado (1), se sitúan el resto de los espejos para los demás haces de láser, tanto sean controlados, como de trayectoria fija; de manera que en una realización con dos haces controlados (I y I') y dos haces de trayectoria fija
(la y Ib) sus espejos (2, 2') y (2a y 2b) se sitúan. sobre la circunferencia virtual (3), en un montaje que permite la selectiva rotación sobre si mismos de todos ellos .
6.- Dispositivo para cambiar la dirección y regular el ángulo de incidencia de un haz láser en litografía por interferencia, caracterizado porque, al menos, incorpora un espejo (2) que va montado en una pieza de soporte (9) capaz de trasladar a aquel siguiendo una trayectoria a lo largo de una circunferencia virtual (3) , cuyo centro (β) se sitúa en un eje (5) colineal con el punto de ubicación de un espejo de seguimiento (8) y con el punto (4) de convergencia, en donde se ha de generar la correspondiente interferencia; y porque un haz láser
(1) que incide sobre el espejo de seguimiento (8), es rebotado hacia el espejo (2) y desde éste, es dirigido al punto de convergencia (4); de forma que, variando la posición del espejo (2) a lo largo de la circunferencia virtual (3) , cambia la orientación del haz de láser
(1) , sin variar la longitud del camino óptico recorrido por el haz de láser (1) desde el espejo (8), al espejo
(2) y desde éste último al punto de convergencia (4) ; y porque el espejo (2) va dispuesto con posibilidad de rotación sobre si mismo, lo que permite desplazar el punto de convergencia (4) a lo largo del eje (5), lo cual, junto con la traslación de la muestra (17) a lo largo de dicho eje (5), permite variar el ángulo (α) de incidencia del haz láser (1) .
7.- Dispositivo para cambiar la dirección y regular el ángulo de incidencia de un haz láser en litografía por interferencia, en todo de acuerdo con la sexta reivindicación, caracterizado porque la pieza de soporte (9) del espejo (2) va montada con posibilidad de giro alrededor del eje (5) , en el que se sitúan el centro del espejo de seguimiento (8), el centro (6) de la circunferencia virtual (3) y el punto de convergencia (4); y porque asimismo el espejo de seguimiento (8) va montado sobre una pieza de soporte (15) , capaz de girar respecto de dicho eje (5) , estando sincronizados los giros de las dos piezas de soporte (9 y 15) .
8.- Dispositivo para cambiar la dirección y regular el ángulo de incidencia de un haz láser en litografía por interferencia, en todo de acuerdo con la sexta y séptima reivindicaciones, caracterizado porque, según una realización preferente, el giro de las piezas de soporte (9 y 15) se lleva a cabo mediante el accionamiento de un motor común (14) .
9.- Dispositivo para cambiar la dirección y regular el ángulo de incidencia de un haz láser en litografía por interferencia, caracterizado porque es aplicable a uno o más haces láser y porque puede combinar haces de láser controlados (1, l'...ln) con haces de luz de trayectoria fija (la, Ib...In) .
10.- Dispositivo para cambiar la dirección y regular el ángulo de incidencia de un haz láser en litografia por interferencia, en todo de acuerdo con la sexta y novena reivindicaciones, caracterizado porque, en el caso de un dispositivo de cuatro haces (1, 1' , la y Ib) , sobre la misma circunferencia virtual (3) sobre la que se sitúa el espejo (2) para el haz de luz controlado (1) se sitúa también un espejo (2') para el haz de luz controlado (I' ) y sendos espejos (2a y 2b) para los haces de luz de trayectoria fija (la y Ib) .
11.- Dispositivo para cambiar la dirección y regular el ángulo de incidencia de un haz láser en litografia por interferencia, en todo de acuerdo con la sexta y novena reivindicaciones, caracterizado porque sobre el mismo eje (5), sobre el que se sitúan los espejos (7 y 8) del haz de luz controlado (1), se sitúan unos espejos (7' y 8') para el haz de luz controlado (I' ) .
12.- Dispositivo para cambiar la dirección y regular el ángulo de incidencia de un haz láser en litografia por interferencia, en todo de acuerdo con la sexta, novena, décima y onceava reivindicaciones, caracterizado porque los espejos (2' y 8') se mueven sincronizados entre si, con una solución mecánica preferentemente coincidente con la de los espejos (2 y 8).
13.- Dispositivo para cambiar la dirección y regular el ángulo de incidencia de un haz láser en litografía por interferencia, caracterizado porque sobre la misma circunferencia virtual (3) sobre la que se sitúa el espejo (2), para el haz de láser controlado (1), se sitúan el resto de los espejos para los demás haces de láser, tanto sean controlados, como de trayectoria fija; de manera que en una realización con dos haces controlados (I y I') y dos haces de trayectoria fija (la y Ib), sus espejos (2, 2') y (2a y 2b) se sitúan sobre la circunferencia virtual (3) , en un montaje que permite la selectiva rotación sobre sí mismos de todos ellos.
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| PCT/ES2009/000442 WO2010029195A1 (es) | 2008-09-10 | 2009-09-08 | Método y dispositivo para cambiar la dirección y regular el ángulo de incidencia de un haz láser en litografía por interferencia |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| WO (1) | WO2010029195A1 (es) |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3404673A1 (de) * | 1984-02-10 | 1985-08-14 | Ibm Deutschland Gmbh, 7000 Stuttgart | Photolithographische einrichtung und damit hergestellte magnetische oberflaechenspeicher |
| EP0303836A1 (en) * | 1982-04-16 | 1989-02-22 | Sumitomo Electric Industries Limited | Optical branching filter element |
| JP2002162750A (ja) * | 2000-11-27 | 2002-06-07 | Mitsutoyo Corp | 露光装置 |
| US20020149751A1 (en) * | 2001-02-28 | 2002-10-17 | Bloomstein Theodore M. | Interferometric projection system |
| US20070070321A1 (en) * | 2004-08-27 | 2007-03-29 | Asml Holding N.V | Adjustable Resolution Interferometric Lithography System |
-
2009
- 2009-09-08 WO PCT/ES2009/000442 patent/WO2010029195A1/es active Application Filing
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0303836A1 (en) * | 1982-04-16 | 1989-02-22 | Sumitomo Electric Industries Limited | Optical branching filter element |
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