WO2010018204A1 - Procede de fabrication d'une structure semi-conductrice plan de masse enterre - Google Patents

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WO2010018204A1
WO2010018204A1 PCT/EP2009/060474 EP2009060474W WO2010018204A1 WO 2010018204 A1 WO2010018204 A1 WO 2010018204A1 EP 2009060474 W EP2009060474 W EP 2009060474W WO 2010018204 A1 WO2010018204 A1 WO 2010018204A1
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layer
ground plane
semiconductor
dielectric layer
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PCT/EP2009/060474
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Yannick Le Tiec
François Andrieu
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Commissariat A L'energie Atomique
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
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    • H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/12—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed
    • H01L29/16—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed including, apart from doping materials or other impurities, only elements of Group IV of the Periodic Table
    • H01L29/1608—Silicon carbide
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
    • H01L21/71—Manufacture of specific parts of devices defined in group H01L21/70
    • H01L21/76—Making of isolation regions between components
    • H01L21/762—Dielectric regions, e.g. EPIC dielectric isolation, LOCOS; Trench refilling techniques, SOI technology, use of channel stoppers
    • H01L21/7624—Dielectric regions, e.g. EPIC dielectric isolation, LOCOS; Trench refilling techniques, SOI technology, use of channel stoppers using semiconductor on insulator [SOI] technology
    • H01L21/76251—Dielectric regions, e.g. EPIC dielectric isolation, LOCOS; Trench refilling techniques, SOI technology, use of channel stoppers using semiconductor on insulator [SOI] technology using bonding techniques
    • H01L21/76254—Dielectric regions, e.g. EPIC dielectric isolation, LOCOS; Trench refilling techniques, SOI technology, use of channel stoppers using semiconductor on insulator [SOI] technology using bonding techniques with separation/delamination along an ion implanted layer, e.g. Smart-cut, Unibond

Definitions

  • the invention relates to the realization of new structures for semi ⁇ conductive components, including SOI (silicon on insulator) or more generally semiconductor on insulator.
  • SOI silicon on insulator
  • FIG 5A the structure of the SOI-type (and more generally semi ⁇ conductor on insulator) stacks are composed of a superficial film 20 made of monocrystalline silicon (semiconductor material, respectively), a dielectric layer 3 generally silicon oxide and a support substrate 2, for example silicon.
  • SOI type structures are obtained for example by molecular bonding assembly of a surface-oxidized silicon plate with another silicon plate, and then thinning of the first substrate.
  • the assembly comprises a surface preparation step of the two plates, a contacting step and a heat treatment step.
  • this heat treatment is carried out at temperatures between, typically, 900 ° and 125 ° C. for 2 hours.
  • the two plates is thinned, leaving a semiconductor thin layer 20 on a dielectric layer 3.
  • the thinning takes place by various mechanical means, or chemical, or by separation at a buried layer embrittled for example by implantation of gaseous species (for example hydrogen).
  • the assembly consisting of the superficial semiconductor layer 20 and the buried dielectric layer 3 is disposed on an electrically conductive layer, or ground plane ( Figure 5B).
  • Figure 5B an electrically conductive layer, or ground plane
  • One of the methods used by users of SOI substrates is the ion implantation of the final SOI substrate through the film 20 and the electrically insulating layer 3 to dope the semiconductor material of the substrate so as to obtain a layer of conductive material. located at the interface between the dielectric layer and the final substrate.
  • obtaining this optimum is a problem, because the use of a considerable ion implantation (of the order of 10 16 at.
  • cm" 2 or October 15 at.ci ⁇ T 2 to to obtain such a doping under the oxide layer 3, leads to a degradation of the crossed layers, that is to say to a doping and a degradation of the superficial semiconductor layer 20 and the electrically insulating layer 3.
  • the implantation doses it is common for the implantation doses to be reduced, in order to obtain in the end a doping close to 10 18 at 3 , which is less than the optimal conditions. This underdosed implantation limits (but does not eliminate) the degradations of the layer 20.
  • the invention firstly relates to a method for producing a semiconductor-on-insulator structure, comprising: a) the formation on the surface of a semiconductor substrate, called the final substrate, of a semiconductor layer , doped with elements from columns III and V of the Mendeleev table so as to form a ground plane, b) then the assembly of a semi ⁇ conductive substrate, said source substrate or semi ⁇ conductive material either comprising at least on the surface of a semiconductor film, on or with the final substrate, the ground plane layer being between the final substrate and the source substrate, and at least one dielectric layer being formed on the final substrate, on top the ground plane and / or on the source substrate before assembly, c) then the partial thinning of the source substrate, leaving on the surface of the semiconductor structure, at least a portion of the film semi ⁇ conductor present on the surface of the source substrate.
  • the doping element used to form the ground plane layer is selected from boron (B), arsenic (As), phosphorus (P), nitrogen (N), antimony (Sb ), aluminum (Al), gallium (Ga), indium (In).
  • a ground plane of semiconductor material doped with elements of columns III or V is formed prior to assembly of the source substrate and of the final substrate. Mendeleyev's table, the doping in this layer being preferably greater than 5.10 18 at 3 , preferably greater than 10 19 at. cm "3 and advantageously greater than 10 20 at.ci ⁇ T 3, for example 10 21 at.cirT 3.
  • an insulating layer is produced electrically on one of the two substrates.
  • the two substrates are assembled by molecular bonding, the ground plane layer and the dielectric layer then being between the two substrates.
  • partial thinning of the source substrate is achieved so as to obtain a film of semiconductor material above the dielectric layer, the ground plane and the final substrate.
  • the doping step to form the ground plane performed before the step of assembling and forming the surface film of semi ⁇ conductive material (to be used for, for example, there form all or part of transistors) do risk of damaging said surface film.
  • the doping in the ground plane can be of the "p" or "n” type and is advantageously greater than 10 19 at. cm “3 and potentially greater than 10 20 at.cirT 3 .
  • the ground plane can be formed by ion implantation of the surface of the final substrate. This ion implantation can be done through a surface layer, for example oxide, deposited before implantation and which can be removed after implantation. Alternatively, the ground plane may be formed by epitaxial deposition or CVD or MBE or by another method of depositing a doped semiconductor layer.
  • the dielectric layer may be formed by reaction on the surface of the source substrate, for example by oxidation or nitriding, or by deposition on the source substrate or on the ground plane.
  • At least one of the faces to be assembled undergoes before surface nitriding, for example by plasma treatment.
  • a diffusion barrier layer may be deposited on the final substrate, the barrier layer then being positioned between the final substrate and the ground plane.
  • the source substrate may have undergone deep localized implantation of gaseous species, preferentially hydrogen, to form a weakened buried layer.
  • gaseous species preferentially hydrogen
  • the partial thinning of the source substrate can be done according to a "Smart-Cut TM" type substrate fracture method, described below, followed optionally by polishing.
  • the partial thinning of the source substrate can be achieved by grinding and / or chemical polishing, or mechanical, or mechanochemical, and / or by chemical etching.
  • the invention also relates to a superimposed semiconductor layer device comprising in the order: a) a substrate, said final substrate, b) a semiconductor layer, doped with elements of columns III and V of the Mendeleev table, ground plane, positioned above the substrate, with a dopant concentration greater than 10 18 at 3 , or greater than 10 19 at.
  • the final substrate may have been covered, before depositing the ground plane layer, with a layer of diffusion-barrier material, for example silicon carbide or semi-solid material.
  • a layer of diffusion-barrier material for example silicon carbide or semi-solid material.
  • ⁇ nitrided conductor This layer being present, after assembly, between the final substrate and the ground plane.
  • the final substrate and / or the source substrate may be silicon, SiC, SiGe, Ge or GaN.
  • FIGS. 1 and 2 show preferred embodiments of methods according to the invention
  • FIGS. 3 and 4 represent embodiments of devices according to the invention
  • FIGS. 5A and 5B show devices of the SOI type, without and with a ground plane.
  • FIGS. 1 to 2 Embodiments of the invention are detailed below, illustrated by FIGS. 1 to 2 in which the references of the various elements are common to the various figures.
  • the surface 12 of a substrate 2 made of semiconductor material, or a substrate 2 having at least a surface layer of a semiconductor material, silicon or silicon carbide, for example, is subjected to an ion implantation (FIG. 1A) so as to boost the surface volume 4 in elements of columns III or V of the Mendeleev table so as to form a ground plane, that is to say to make this doped layer 4 at least partially conductive.
  • Dopants may be introduced into the semiconductor substrate other than by implantation, for example plasma doping or CVD doping.
  • the doping in this layer 4 is greater than 10 18 at.cirT 3 , or at 5.10 18 at.cirT 3 , it is preferentially greater than 10 19 at. cm 3 and advantageously greater than 10 20 at. cm “3 and can thus form either a doped semiconductor" n ", or a doped semiconductor” p.
  • the substrate 2, and therefore the ground plane is for example based on silicon. silicon or Si 99% (C) i% semiconductor, or having at least one surface layer of one of said materials, the dopants chosen among boron (B), arsenic (As), phosphorus
  • N nitrogen
  • Al aluminum
  • the implantation doping can be done through a surface layer, for example an oxide mask. This mask is then deposited just before the implantation step and is preferably removed just after this step.
  • the ground plane 4 can be formed by deposition on the substrate 2, by CVD technique, or by epitaxy, or by molecular jet growth ... etc.
  • the ground plane 4 can be formed by deposition on the substrate 2, by CVD technique, or by epitaxy, or by molecular jet growth ... etc.
  • a dielectric layer 3 On a second substrate 10, said source substrate, is optionally formed a dielectric layer 3 (Figure IB).
  • This layer is by example in oxide (SiO2 for example), and / or in nitride
  • This layer 3 may have been formed by deposition or by oxidation or nitriding of the surface of the source substrate 10. This layer 3 may alternatively be deposited over the ground plane layer 4, on the substrate 2.
  • a localized implantation of gaseous species at a depth e + ⁇ under the dielectric layer 3 (or under the surface 11 of the source substrate 10 if there is no dielectric layer or if the latter is produced after implantation) can then be performed in anticipation of thinning by substrate fracture.
  • the "Smart Cut TM" substrate fracturing method This method is described, for example, in the article by B. Aspar and AJ Auberton-Herve, "Silicon Wafer Bonding Technology for VLSI and MEMS Applications,” edited by SS Iyer and AJ Auberton-Herve, 2002, INSPEC, London, Chapter 3, pages 35-52.
  • the implanted species is advantageously hydrogen. Alternatively, it may be helium or a rare gas or a combination of these species.
  • the ground plane layer 4 may be formed by deposition, according to the techniques described above, on the oxide layer 3, itself formed on the source substrate 10 , the layer 3 then being between the source substrate and the ground plane. Then, the two substrates 2 and 10 are assembled by molecular bonding, by the surfaces free (figure IC). These free surfaces are those for obtaining a stack of thin layers comprising a source substrate 10, a dielectric layer 3 in contact with the substrate 10, a conductive layer 4 based on semi ⁇ conductive material forming a ground plane, between the insulating layer 3 and the final substrate 2. In the cases of FIGS. 1B and 1C, the free surfaces are those of the ground plane 4 and of the dielectric layer 3.
  • This molecular bonding can for example be made between hydrophilic surfaces.
  • the surfaces are then prepared beforehand according to techniques known to those skilled in the art (chemical cleaning, CMP, plasma activation, UV Ozone treatment ...) before being contacted.
  • the dielectric layer being formed on the substrate 10 and the ground plane 4 being formed on the substrate 2, the ground plane 4 can be covered before bonding a dielectric layer, oxide (SiO 2 for example), and / or nitride (SixNy) and / or high K material (such as HfO2, Al2O3, HfSiON ).
  • nitride at least one of the two faces is also possible, before assembly, to nitride at least one of the two faces to be assembled, for example by plasma treatment.
  • the rear face of the source substrate 10 is then thinned so as to leave only a film 20, of thickness e, made of semiconductor material (FIG.
  • This thinning step is performed, for example, by fracture of the source substrate 10 at the fragile zone previously created at the depth e + ⁇ , followed polishing the surface 21 'formed to obtain the film 20, of thickness e, on the surface of the semiconductor structure of the SOI type ( Figure IE).
  • the partial thinning of the source substrate 10 can be achieved by grinding and / or polishing and / or etching. In this case, there is no prior formation of a weakening zone 21 in the donor substrate 10.
  • FIGS. 2AO and 2A to 2E A second example of a method according to the invention will be described with reference to FIGS. 2AO and 2A to 2E.
  • a barrier layer 5 is deposited on the substrate 2 before formation of the ground plane 4 on the same substrate (FIG. 2AO).
  • This layer serves as a diffusion barrier to limit, and advantageously block, the diffusion of the doping species in the final substrate 2, in order to preserve the quality of the conductivity of the ground plane.
  • This barrier layer is advantageously silicon carbide, for example Si 99% (C) i% when it comes to limiting boron diffusion for example. After assembly, this barrier layer 5 is therefore between the ground plane 4 and the final substrate 2.
  • the ground plane layer 4 (FIG. 2A), for example by deposition of a semiconductor layer followed by doping by implantation of this layer as described previously, or by deposition of a semiconductor layer doped by the means described in the first embodiment.
  • the partial thinning of the source substrate 10 can be achieved either by fracture along an embrittlement zone made in this substrate, as described in the first example, either by grinding and / or by polishing and / or chemical etching. .
  • the invention covers all the combinations of the two embodiments described above, in particular those resulting from variants concerning the formation of the ground plane, and the thinning process. These variants may be combined with those relating to the formation or not, prior to the assembly of the substrates, of a dielectric layer on at least one of the surfaces to be assembled and / or the formation of a barrier layer under the ground plane.
  • the surface layer is intact, it has not been traversed by an element implantation beam to form the ground plane, since it is formed before the assembly step.
  • the invention also relates to a superimposed layer semiconductor device having one of the structures illustrated in one of FIGS. 3 and 4.
  • a superimposed layer semiconductor device having one of the structures illustrated in one of FIGS. 3 and 4.
  • Such a device comprises a substrate 2.
  • this substrate 2 is a semiconductor layer 4, doped with elements of columns III and V of the Mendeleev table, forming a ground plane, the doping in this layer being greater than 10 18 at.ciit 3 , preferably greater than 10. 10 19 at 3 , and advantageously greater than 10 21 at.cirT 3 .
  • This device further comprises at least one film 20 of semiconductor material, and a layer of dielectric material 3, the ground plane 4 being between the layer 3 and the final substrate 2, the layer 3 being between mass plane 4 and the superficial film 20.
  • this device further comprises a layer 5 of diffusion barrier material, for example 99% Si (C) i%, which can be located between the ground plane 4 and the substrate 2 (FIG. 4)
  • the thickness of this barrier layer is between 2 nm and 50 nm, for example 10 nm.
  • the final said substrate 2 and the donor substrate 10 can be massive semi ⁇ conductive material for example silicon or SiC, or composite and comprise surface at least one semiconductor thin layer, for example silicon or carbide silicon or SiGe or germanium or GaN ...
  • the semiconductor film obtained at the end of the process preferably has a thickness e of between 2 nm and 100 nm, and advantageously between 2 nm and 20 nm for applications requiring a surface film 20 of fully depleted semiconductor material (FD fully depleted),
  • the dielectric layer is, for example, constituted by one or more materials chosen from oxides (SiO 2 for example), nitrides (SixNy for example), high K materials (such as HfO 2 , Al 2 O 3, HfSiON. ..).
  • the total thickness of this dielectric layer is preferably between 2 nm and 150 nm and advantageously between 2 nm and 25 nm
  • the ground plane preferably has a thickness between 5 nm and 100 nm, advantageously between 5 nm and 100 nm. nm and 10 nm. Indeed, the thickness of this layer is chosen so as to be sufficiently thin to limit parasitic capacitance phenomena and be sufficiently thick to ensure good lateral conduction and limit the dopant diffusion phenomena out of this layer.
  • the semiconductor devices of superposed layers described above and the devices obtained by the methods according to the invention can be introduced into any production line. It is thus possible to manufacture on this device microelectronic components such as integrated circuits, and / or MEMS sensors, and / or optical components (MOEMS) and / or biocomponents and / or switches.
  • the upper film 20 can thus receive, subsequently to the method according to the invention, various types of total or localized implantations, so as to dope and allow the manufacture of electronic components, for example transistors. In view of its production method, this film 20 is intact and has not undergone any degradation.

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Abstract

L' invention concerne un procédé de réalisation d'une structure semi-conductrice, comportant : a) la formation à la surface d'un substrat semi-conducteur (2), dit substrat final, d'une couche semi-conductrice (4), dopée avec des éléments des colonnes (III) et (V) du tableau de Mendeleïev, formant plan de masse, b) la formation d'une couche diélectrique (3), c) puis l'assemblage par collage direct du substrat source, sur le substrat final (2), la couche (4) formant plan de masse étant comprise entre le substrat final et le substrat source, la couche diélectrique étant entre le substrat source et le plan de masse, d) puis l'amincissement du substrat source, laissant, à la surface de la structure semi-conductrice, un film (20) en matériau semi-conducteur.

Description

PROCEDE DE FABRICATION D'UNE STRUCTURE SEMI-CONDUCTRICE
PLAN DE MASSE ENTERRE
DESCRIPTION
DOMAINE TECHNIQUE ET ART ANTÉRIEUR L' invention concerne la réalisation de nouvelles structures pour des composants semi¬ conducteurs, et notamment de structures SOI (silicium sur isolant) ou plus généralement semi-conducteur sur isolant . Comme illustré sur la figure 5A, les structures du type SOI (et plus généralement semi¬ conducteur sur isolant) sont des empilements composés d'un film superficiel 20 en silicium monocristallin (respectivement en matériau semi-conducteur), d'une couche diélectrique 3, en général en oxyde de silicium et d'un substrat support 2, par exemple en silicium. Ces structures de type SOI sont obtenues par exemple par assemblage par adhésion moléculaire d'une plaque de silicium oxydée en surface, avec une autre plaque de silicium, puis amincissement du premier substrat.
De manière plus précise l'assemblage comprend une étape de préparation de surface des deux plaques, une étape de mise en contact et une étape de traitement thermique. De façon classique ce traitement thermique est réalisé à des températures comprises entre, typiquement, 900° et 125O0C durant 2h.
Ensuite, au moins une des deux plaques est amincie, laissant subsister une couche mince 20 semi- conductrice sur une couche diélectrique 3. L'amincissement a lieu par différents moyens mécaniques, ou chimiques, ou par séparation au niveau d'une couche enterrée fragilisée par exemple par implantation d'espèces gazeuses (par exemple d' hydrogène) .
Pour certaines applications, il est intéressant d'obtenir des circuits sur un plan de masse conducteur 4 (figure 5B) .
Pour cela, on cherche à ce que l'ensemble constitué par la couche semi-conductrice superficielle 20 et la couche diélectrique 3 enterrée soit disposé sur une couche conductrice électriquement, ou plan de masse (figure 5B) . Ainsi il est possible de contrôler la densité des porteurs dans la couche du semi- conducteur au voisinage de l'interface par l'intermédiaire de la différence de potentiel appliquée à la couche conductrice enterrée et à la couche semi- conductrice .
Or, il est difficile d'obtenir des plaques SOI avec une couche diélectrique 3 de faible épaisseur, par exemple inférieure à 150 nm, et un plan de masse.
Une des méthodes utilisée par les utilisateurs de substrats de type SOI est l'implantation ionique du substrat SOI final à travers le film 20 et la couche isolante électriquement 3 pour doper le matériau semi-conducteur du substrat de façon à obtenir une couche de matériau conducteur situé à l'interface entre la couche diélectrique et le substrat final . Idéalement, pour avoir un plan de masse, il faut implanter le substrat, à travers le film surfacique 20 et la couche 3 d'isolant, de façon à avoir un dopage supérieur à 1019 at.ciïT3, de préférence supérieur à 1020 at.ciïT3, par exemple 1021 at . cm"3. Cependant, l'obtention de cet optimum pose un problème, car l'usage d'une implantation ionique assez considérable (de l'ordre de 1016 at . cm"2 ou 1015 at.ciïT2), pour obtenir un tel dopage sous la couche 3 d'oxyde, conduit à une dégradation des couches traversées, c'est-à-dire à un dopage et une dégradation de la couche semi-conductrice superficielle 20 et de la couche isolante électriquement 3. Ceci a un impact sur les performances de la couche superficielle, dans laquelle doivent être réalisés des composants, par exemple des transistors (cette couche peut notamment servir de canal à des transistors) . Pour pallier ce phénomène, il est courant que les doses d'implantation soient réduites, pour obtenir au final un dopage proche de 1018 at.ciïT3, inférieur aux conditions optimales. Cette implantation sous-dosée limite (mais n'élimine pas) les dégradations de la couche 20.
Il se pose donc le problème de réaliser un structure semi-conductrice de type SOI possédant un plan de masse entre la couche diélectrique et le substrat final, les deux couches supérieures, couche superficielle en matériau semi-conducteur et couche diélectrique n'étant pas dégradées par la formation de ce plan de masse.
Il se pose également le problème d'atteindre les dopages optimaux pour la formation du plan de masse. EXPOSE DE L' INVENTION
L'invention concerne tout d'abord un procédé de réalisation d'une structure semi-conductrice sur isolant, comprenant : a) la formation à la surface d'un substrat semi-conducteur, dit substrat final, d'une couche semi- conductrice, dopée avec des éléments des colonnes III et V du tableau de Mendeleïev de façon à former un plan de masse, b) puis l'assemblage d'un substrat semi¬ conducteur, dit substrat source, soit en matériau semi¬ conducteur, soit comportant au moins en surface un film semi-conducteur, sur ou avec le substrat final, la couche de plan de masse étant comprise entre le substrat final et le substrat source, et au moins une couche diélectrique étant formée sur le substrat final, par-dessus le plan de masse, et/ou sur le substrat source avant l'assemblage, c) puis l'amincissement partiel du substrat source, laissant, à la surface de la structure semi-conductrice, au moins une partie du film semi¬ conducteur présent à la surface du substrat source.
L'élément de dopage, servant à former la couche de plan de masse, est choisi parmi le bore (B) , l'arsenic (As), le phosphore (P), l'azote (N), l'antimoine (Sb), l'aluminium (Al), le gallium (Ga), 1' indium ( In) .
Dans un procédé selon l'invention, on forme, préalablement à l'assemblage du substrat source et du substrat final, un plan de masse en matériau semi-conducteur dopé en éléments des colonnes III ou V du tableau de Mendeleïev, le dopage dans cette couche étant de préférence supérieur à 5.1018 at.ciïT3, préférentiellement supérieur à 1019 at . cm"3 et avantageusement supérieur à 1020 at.ciïT3, par exemple 1021 at.cirT3.
Puis, on réalise moins une couche isolante électriquement sur l'un des deux substrats.
Puis on assemble les deux substrats par collage moléculaire, la couche de plan de masse et la couche diélectrique étant alors comprises entre les deux substrats.
Puis on réalise un amincissement partiel du substrat source de façon à obtenir un film en matériau semi-conducteur au dessus de la couche diélectrique, du plan de masse et du substrat final.
L'étape de dopage pour former le plan de masse, réalisée avant l'étape d'assemblage et la formation du film superficiel de matériau semi¬ conducteur (destiné à être utilisée pour, par exemple, y former tout ou partie de transistors) ne risque pas d'endommager ledit film superficiel.
Le dopage dans le plan de masse peut être de type « p » ou de type « n » et est avantageusement supérieur de 1019 at . cm"3 et potentiellement supérieur de 1020 at.cirT3.
Le plan de masse peut être formé par implantation ionique de la surface du substrat final. Cette implantation ionique peut se faire à travers une couche superficielle, par exemple en oxyde, déposée avant implantation et qui peut être éliminée après 1' implantation . Dans une variante, le plan de masse peut être formé par dépôt par épitaxie ou CVD ou MBE ou par un autre procédé de dépôt d'une couche semi-conductrice dopée . La couche diélectrique peut être formée par réaction à la surface du substrat source, par exemple par oxydation ou nitruration, ou par dépôt sur le substrat source ou sur le plan de masse.
Dans une variante, au moins l'une des faces à assembler subit avant assemblage une nitruration de surface, par exemple par traitement plasma.
Dans une variante d'un procédé selon l'invention, précédant la formation du plan de masse, une couche de barrière à la diffusion peut être déposée sur le substrat final, la couche barrière étant alors positionnée entre le substrat final et le plan de masse .
Le substrat source peut avoir subi une implantation localisée en profondeur d'espèces gazeuses, préférentiellement de l'hydrogène, pour former une couche enterrée fragilisée. Dans ce cas là, l'amincissement partiel du substrat source peut se faire selon un procédé de fracture de substrat de type « Smart-Cut™ », décrit plus bas, suivi éventuellement d'un polissage.
Selon un autre mode de réalisation d'un procédé selon l'invention, l'amincissement partiel du substrat source peut être réalisé par meulage et/ou polissage chimique, ou mécanique, ou mécanochimique, et/ou par gravure chimique. Dans ce cas, il n'y a pas eu d'implantation préalable dans le substrat source. L' invention concerne aussi un dispositif de couches semi-conductrices superposées, comportant dans l'ordre : a) un substrat dit substrat final, b) une couche semi-conductrice, dopée avec des éléments des colonnes III et V du tableau de Mendeleïev, formant plan de masse, positionnée au-dessus du substrat, avec une concentration en dopant supérieure à 1018 at.ciïT3, ou supérieure à 1019 at . cm"3 ou même à 1020 at.cirT3, c) au moins une couche de matériau diélectrique, le plan de masse étant compris entre la couche diélectrique et le substrat final, la couche diélectrique étant présente entre le film semi- conducteur superficiel et le plan de masse, d) un film en matériau semi-conducteur, au- dessus de la couche diélectrique, du plan de masse et du substrat final.
Dans un procédé ou un dispositif selon l'invention, le substrat final peut avoir été recouvert, avant dépôt de la couche de plan de masse, d'une couche de matériau barrière à la diffusion, par exemple en carbure de silicium ou en matériau semi¬ conducteur nitruré. Cette couche étant présente, après assemblage, entre le substrat final et le plan de masse .
Dans un procédé ou un dispositif selon l'invention, le substrat final et/ou le substrat source peuvent être en silicium, ou en SiC, ou en SiGe, ou en Ge, ou en GaN.... BREVE DESCRIPTION DES DESSINS
- Les figures 1 et 2 représentent des modes préférentiels de réalisation de procédés selon 1' invention, - les figures 3 et 4 représentent des modes de réalisation de dispositifs selon l'invention,
- les figures 5A et 5B représentent des dispositifs de type SOI, sans et avec plan de masse.
EXPOSÉ DÉTAILLÉ DE MODES DE RÉALISATION PARTICULIERS
Des modes de réalisation de l'invention sont détaillés ci-dessous, illustrés par les figures 1 à 2 dans lesquelles les références des différents éléments sont communes aux différentes figures.
Un premier procédé selon l'invention est décrit avec les figures IA à IE.
En premier lieu, la surface 12 d'un substrat 2 en matériau semi-conducteur, ou d'un substrat 2 présentant au moins en surface une couche en matériau semi-conducteur, en silicium ou en carbure de silicium par exemple, est soumise à une implantation ionique (figure IA) de façon à doper le volume surfacique 4 en éléments des colonnes III ou V du tableau de Mendeleïev de façon à former un plan de masse, c'est-à-dire à rendre cette couche dopée 4 au moins partiellement conductrice. Les dopants peuvent être introduits dans le substrat semi-conducteur autrement que par implantation, par exemple un dopage plasma ou un dopage CVD.
Le dopage dans cette couche 4 est supérieur à 1018 at.cirT3, ou à 5.1018 at.cirT3, il est préférentiellement supérieur à 1019 at . cm 3 et avantageusement supérieur à 1020 at . cm"3 et peut ainsi former soit un semi-conducteur dopé « n », soit un semi-conducteur dopé « p ». Le substrat 2, et donc le plan de masse, est par exemple à base de silicium. Avantageusement pour une couche semi-conductrice en silicium ou en Si99% (C) i%, ou comportant au moins une couche superficielle en un desdits matériaux, on choisira les dopants parmi le bore (B), l'arsenic (As), le phosphore
(P), l'antimoine (Sb), le gallium (Ga), l'indium (In) .
Pour une couche semi-conductrice en SiC, on préférera l'azote (N) ou l'aluminium (Al) . Cette étape de dopage ne traverse aucune couche devant par la suite être utilisée pour former tout ou partie de composants électroniques. Elle ne peut donc endommager une telle couche .
Le dopage par implantation peut se faire à travers une couche superficielle, par exemple un masque en oxyde. Ce masque est alors déposé juste avant l'étape d'implantation et est de préférence retiré juste après cette étape.
Alternativement, le plan de masse 4 peut être formé par dépôt sur le substrat 2, par technique CVD, ou par épitaxie, ou par croissance par jet moléculaire... etc. Dans ce cas encore, il n'y a aucune atteinte à la future couche mince de matériau semi¬ conducteur 20.
Sur un deuxième substrat 10, dit substrat source, est éventuellement formée une couche diélectrique 3 (figure IB) . Cette couche est par exemple en oxyde (SiO2 par exemple) , et/ou en nitrure
(SixNy) et/ou en matériau high K (comme HfO2, A12O3,
HfSiON...) . Cette couche 3 peut avoir été formée par dépôt ou par oxydation ou nitruration de la surface du substrat source 10. Cette couche 3 peut être alternativement déposée par-dessus la couche de plan de masse 4, sur le substrat 2.
Une implantation localisée 21 d'espèces gazeuses, à une profondeur e+ε sous la couche diélectrique 3 (ou sous la surface 11 du substrat source 10 si il n'y a pas de couche diélectrique ou si celle-ci est réalisée après implantation) , peut ensuite être effectuée en prévision d'un amincissement par fracture de substrat. Dans la suite, on fait mention du procédé de fracture de substrat « Smart Cut™ ». Ce procédé est décrit par exemple dans l'article de B. Aspar et A. J. Auberton-Hervé « Silicon Wafer Bonding Technology for VLSI and MEMS applications », edited by S. S. Iyer and A. J. Auberton-Hervé, 2002, INSPEC, London, Chapter 3, pages 35-52. L'espèce implantée est avantageusement de l'hydrogène. En variante, il peut s'agir d'hélium ou d'un gaz rare ou d'une combinaison de ces espèces.
Alternativement, au lieu d'être formé sur le substrat final 2, la couche de plan de masse 4 peut être formée par dépôt, selon les techniques décrites plus haut, sur la couche d'oxyde 3, elle même formée sur le substrat source 10, la couche 3 étant alors comprise entre le substrat source et le plan de masse. Ensuite, les deux substrats 2 et 10, sont assemblés par collage moléculaire, par les surfaces libres (figure IC) . Ces surfaces libres sont celles permettant d'obtenir un empilement de couches minces comprenant un substrat source 10, une couche diélectrique 3 en contact avec le substrat 10, une couche conductrice 4 à base de matériau semi¬ conducteur, formant plan de masse, comprise entre la couche isolante 3 et le substrat final 2. Dans les cas des figures IB et IC, les surfaces libres sont les celles du plan de masse 4 et de la couche diélectrique 3.
Ce collage moléculaire peut par exemple être réalisé entre surfaces hydrophiles. Pour cela, les surfaces sont alors préalablement préparées selon des techniques connues de l'homme du métier (nettoyage chimique, CMP, activation plasma, traitement UV Ozone...) avant d'être mises en contact.
Dans une variante, la couche diélectrique étant formée sur le substrat 10 et le plan de masse 4 étant formé sur le substrat 2, le plan de masse 4 peut être recouvert avant collage d'une couche diélectrique, en oxyde (SiO2 par exemple) , et/ou en nitrure (SixNy) et/ou en matériau high K (comme HfO2, A12O3, HfSiON...) .
Il est possible également avant assemblage de nitrurer au moins l'une des deux faces à assembler par exemple par traitement plasma.
On amincit ensuite la face arrière du substrat source 10 de façon à ne laisser qu'un film 20, d'épaisseur e, en matériau semi-conducteur (figure ID) . Cette étape d'amincissement est réalisée, par exemple, par fracture du substrat source 10 au niveau de la zone fragile préalablement crée à la profondeur e+ε, suivie d'un polissage de la surface 21' formée de façon à obtenir le film 20, d'épaisseur e, à la surface de la structure semi-conductrice de type SOI (figure IE) .
En variante l'amincissement partiel du substrat source 10 peut être réalisé par meulage et/ou polissage et/ou gravure chimique. Dans ce cas, il n'y a pas de formation préalable d'une zone 21 de fragilisation dans le substrat donneur 10.
Un deuxième exemple de procédé selon l'invention va être décrit en liaison avec les figures 2AO et 2A à 2E.
Les étapes mises en œuvre sont identiques à celles décrites en liaison avec les figures IA à IE, hormis pour la figure 2AO qui représente une étape antérieure à l'étape de la figure 2A.
On se reportera donc à la description précédente à laquelle se rajoute la description de la figure 2AO ci-dessous.
Une couche barrière 5 est déposée sur le substrat 2 avant formation du plan de masse 4 sur ce même substrat (figure 2AO) . Cette couche sert de barrière à la diffusion pour limiter, et avantageusement bloquer, la diffusion des espèces dopantes dans le substrat final 2, afin de préserver la qualité de la conductivité du plan de masse. Cette couche barrière est avantageusement en carbure de silicium, par exemple en Si99% (C) i% lorsqu'il s'agit de limiter la diffusion de bore par exemple. Après assemblage, cette couche barrière 5 se trouve donc entre le plan de masse 4 et le substrat final 2. Par-dessus cette couche barrière est formée la couche de plan de masse 4 (figure 2A), par exemple par dépôt d'une couche semi-conductrice suivie d'un dopage par implantation de cette couche tel que décrit précédemment, ou par dépôt d'une couche semi- conductrice dopée par les moyens décrits dans le premier mode de réalisation.
Là encore, l'amincissement partiel du substrat source 10 peut être réalisé soit par fracture le long d'une zone de fragilisation réalisée dans ce substrat, comme décrit dans le premier exemple, soit par meulage et/ou par polissage et/ou gravure chimique.
L' invention couvre toutes les combinaisons des deux modes de réalisation décrits précédemment, en particulier ceux résultant de variantes concernant la formation du plan de masse, et le procédé d'amincissement. Ces variantes peuvent être combinées avec celles relatives à la formation ou non, préalablement à l'assemblage des substrats, d'une couche diélectrique sur au moins l'une des surfaces à assembler et/ou à la formation d'une couche barrière sous le plan de masse.
Les procédés décrits ci-dessus permettent d'obtenir un dispositif semi-conducteur comportant : - un substrat,
- une couche superficielle de matériau semi-conducteur,
- au moins une couche enterrée en matériau diélectrique entre le film superficiel et le substrat final, - et au moins un plan de masse entre cette couche diélectrique et le substrat.
Eventuellement peut être présente une couche de barrière de diffusion, entre le plan de masse et le substrat final .
Dans tous les cas, la couche superficielle est intacte, elle n'a pas été traversée par un faisceau d'implantation d'éléments en vue de former le plan de masse, puisque celui-ci est formé avant l'étape d'assemblage.
L' invention concerne également concerne également un dispositif semi-conducteur de couches superposées ayant une des structures illustrées sur l'une des figures 3 et 4. Un tel dispositif comporte un substrat 2.
Sur ce substrat 2 se trouve une couche semi-conductrice 4, dopée avec des éléments des colonnes III et V du tableau de Mendeleïev, formant plan de masse, le dopage dans cette couche étant supérieur à 1018 at.ciïT3, préférentiellement supérieure à 1019 at.ciïT3, et avantageusement supérieure à 1021 at.cirT3.
Ce dispositif comporte en outre au moins un film 20 en matériau semi-conducteur, ainsi qu'une couche en matériau diélectrique 3, le plan de masse 4 étant compris entre la couche 3 et le substrat final 2, la couche 3 étant comprise entre le plan de masse 4 et le film superficiel 20.
Selon une variante ce dispositif comporte en outre une couche 5 de matériau formant barrière de diffusion, par exemple en Si99% (C) i%, pouvant être située entre le plan de masse 4 et substrat 2 (figure 4) L'épaisseur de cette couche barrière est comprise entre 2 nm et 50 nm, par exemple 10 nm.
Dans un procédé ou dispositif selon 1' invention :
- le substrat dit final 2 et le substrat donneur 10 peuvent être massifs en matériau semi¬ conducteur par exemple en silicium ou en SiC, ou composites et comporter en surface au moins une couche mince semi-conductrice, par exemple en silicium ou en carbure de silicium ou en SiGe ou en germanium ou en GaN... Le film semi-conducteur obtenu en fin de procédé a, de préférence, une épaisseur e comprise entre 2 nm et 100 nm, et avantageusement comprise entre 2 nm et 20 nm pour les applications nécessitant un film superficiel 20 en matériau semi-conducteur totalement dépiété (FD fully depleted) ,
- la couche diélectrique est, par exemple, constituée d'un ou plusieurs matériaux choisis parmi les oxydes (SiO2 par exemple) , les nitrure (SixNy par exemple) , les matériaux high K (comme HfO2, A12Û3, HfSiON...) . L'épaisseur totale de cette couche diélectrique est de préférence comprise entre 2 nm et 150 nm et avantageusement entre 2 nm et 25 nm, - le plan de masse a, de préférence, une épaisseur comprise entre 5 nm et 100 nm, avantageusement entre 5 nm et 10 nm. En effet, l'épaisseur de cette couche est choisie de façon à être suffisamment fine pour limiter les phénomènes de capacités parasites et être suffisamment épaisse pour assurer une bonne conduction latérale et limiter les phénomènes de diffusion du dopant hors de cette couche.
Les dispositifs semi-conducteurs de couches superposées décrits précédemment et les dispositifs obtenus par les procédés selon l'invention peuvent être introduits dans toute ligne de production. Il est ainsi possible de fabriquer sur ce dispositif des composants microélectroniques tels que des circuits intégrés, et/ou des capteurs MEMS, et/ou des composants optiques (MOEMS) et/ou des biocomposant et/ou des commutateurs. Par exemple, le film supérieur 20 peut ainsi recevoir, ultérieurement au procédé selon l'invention, divers types d'implantations totales ou localisées, de façon à le doper et à permettre la fabrication de composants électroniques, par exemple des transistors. Compte tenu de son procédé de réalisation, ce film 20 est intact et n'a subi aucune dégradation.

Claims

REVENDICATIONS
1. Procédé de réalisation d'une structure semi-conductrice, comportant : a) la formation à la surface d'un substrat semi-conducteur (2), dit substrat final, d'une couche semi-conductrice (4), dopée avec des éléments des colonnes III et V du tableau de Mendeleïev, formant plan de masse, b) la formation d'une couche diélectrique
(3) :
- soit sur une surface en matériau semi¬ conducteur d'un deuxième substrat (10) dit substrat source, qui est en matériau semi-conducteur ou qui comporte une couche superficielle en matériau semi¬ conducteur,
- soit sur le substrat final et en contact avec le plan de masse, c) puis l'assemblage par collage direct du substrat source, sur le substrat final (2), la couche
(4) formant plan de masse étant comprise entre le substrat final et le substrat source, la couche diélectrique étant entre le substrat source et le plan de masse, d) puis l'amincissement du substrat source, laissant, à la surface de la structure semi- conductrice, un film (20) en matériau semi-conducteur.
2. Procédé selon la revendication 1, dans lequel on dépose, sur le substrat 2 avant la réalisation du plan de masse, une couche (5) de barrière à la diffusion.
3. Procédé selon la revendication 2, la couche barrière à la diffusion étant en carbure de silicium, par exemple de type Si99%(C)i%.
4. Procédé selon l'une des revendications 1 à 3, la couche diélectrique (3) étant en oxyde et/ou en nitrure et/ou en matériau high K.
5. Procédé selon l'une des revendications 1 à 4, la couche diélectrique (3) étant formée par réaction et/ou par dépôt sur au moins l'une des faces à assembler.
6. Procédé selon l'une des revendications 1 à 5, le substrat final et/ou le substrat source étant en silicium ou en carbure de silicium Si(i-x) (C)x.
7. Procédé selon l'une des revendications 1 à 6, le plan de masse (4) étant formé par dépôt d'une couche dopée .
8. Procédé selon la revendication 7, la couche dopée (4) étant déposée par épitaxie ou CVD ou MBE ou par un autre procédé de dépôt.
9. Procédé selon l'une des revendications 1 à 6, le plan de masse (4) étant formé par implantation ionique ou dopage plasma ou dopage CVD à la surface du substrat final (2) .
10. Procédé selon l'une des revendications 1 à 6, le plan de masse (4) étant formé par implantation ionique à travers une couche superficielle, déposée avant implantation et éliminée après l'implantation.
11. Procédé selon l'une des revendications 1 à 10, le dopage dans le plan de masse étant supérieur à 1019 at . cm"3 ou à 1020 at . cm"3.
12. Procédé selon une des revendications 1 à 11, l'une au moins des faces à assembler étant nitrurée avant collage.
13. Procédé selon l'une des revendications
1 à 12, le substrat source (10) ayant subit une implantation d'espèces gazeuses localisée sous la surface, pour y former une zone enterrée (21) de fragilisation, cette opération pouvant avoir lieu avant ou après la formation de la couche diélectrique (3) .
14. Procédé selon la revendication 13, l'espèce gazeuse implanté dans le substrat source (10) étant de l'hydrogène.
15. Procédé selon l'une des revendications 13 ou 14, l'amincissement du substrat source (10) se faisant selon un procédé de fracture de substrat au niveau de la zone enterrée de fragilisation (21) .
16. Procédé selon l'une des revendications 1 à 12, l'amincissement du substrat se faisant par meulage, et/ou amincissement mécanique, et/ou mécanochimique, et/ou par gravure chimique.
17. Dispositif de couches semi-conductrices superposées, comportant : a) un substrat (2), b) une couche semi-conductrice (4), dopée avec des éléments des colonnes III et/ou V du tableau de Mendeleïev, formant plan de masse, positionnée au dessus du substrat, c) une couche diélectrique (3) disposée par-dessus la couche de plan de masse, d) un film (20) en matériau semi¬ conducteur, d'épaisseur comprise entre 2 nm et 100 nm, au-dessus de la couche diélectrique, la couche diélectrique étant comprise entre ce film et le plan de masse .
18. Dispositif selon la revendication 17, la couche semi-conductrice (4) formant plan de masse étant dopée avec une concentration en dopant supérieure à 1019 at.cm-3, ou supérieure 1020 at.cm-3.
19. Dispositif selon l'une des revendications 17 ou 18, une couche (5) de matériau barrière à la diffusion, par exemple en Si99% (C) i%, étant située entre le plan de masse (4) et le substrat (2) .
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