WO2009144073A3 - Reinigungsvorrichtung und verfahren zur reinigung eines werkstücks - Google Patents

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Abstract

Um eine Reinigungsvorrichtung (100) mit einer Reinigungskammer (104) zur Aufnahme eines zu reinigenden Werkstücks (114), mit einer Fluidtransfereinrichtung zum Transferieren mindestens eines Fluids in die Reinigungskammer und/oder aus der Reinigungskammer, wobei die Fluidtransfereinrichtung mindestens eine Düse in Form einer sich entlang einer Spaltachse (118) erstreckenden Spaltdüse (116) umfasst, mittels welcher das mindestens eine Fluid quer zu der Spaltachse in die Reinigungskammer einbringbar oder aus der Reinigungskammer ausbringbar ist, zu schaffen, mit welcher eine besonders gute Reinigungswirkung erzielbar ist, wird vorgeschlagen, dass die Reinigungsvorrichtung eine Spaltdüsen-Bewegungseinrichtung (144) zum Bewegen zumindest eines Teils der Spaltdüse umfasst.
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Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2345483A1 (de) † 2010-01-15 2011-07-20 ELWEMA Automotive GmbH Verfahren zur Entgratung mit einem Hochdruckflüssigkeitsstrahl und entsprechende Industrieanlage
DE102010038799A1 (de) * 2010-08-02 2012-02-02 Dürr Ecoclean GmbH Vorrichtung zum Trocknen von Werkstücken nach einem Reinigungsvorgang
DE102011004232B4 (de) 2011-02-16 2024-04-18 Ecoclean Gmbh Düsenmodul und Reinigungsvorrichtung mit Düsenmodul
DE102015206233A1 (de) 2015-04-08 2016-10-13 Dürr Ecoclean GmbH Vorrichtung und Verfahren zum Erzeugen eines Fluidstrahls
US11679422B2 (en) * 2017-08-15 2023-06-20 Denso Corporation On-board sensor cleaning device
DE102019108913A1 (de) * 2019-04-04 2020-10-08 MAFAC - E. Schwarz GmbH & Co. KG Reinigungsverfahren und reinigungsvorrichtung
DE102020208248A1 (de) * 2020-07-01 2022-01-05 Dürr Systems Ag Behandlungsstation, Behandlungsanlage und Verfahren zum Behandeln von Werkstücken
DE102020208247A1 (de) * 2020-07-01 2022-01-05 Dürr Systems Ag Behandlungsstation, Behandlungsanlage und Verfahren zum Behandeln von Werkstücken

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2127326A (en) * 1982-09-23 1984-04-11 Andre Vuillaume Rinsing apparatus
DE3702675A1 (de) * 1987-01-30 1988-08-11 Albrecht Markert Gmbh Vorrichtung zum nassreinigen von werkstuecken
WO1996001343A1 (de) * 1994-07-05 1996-01-18 Festo Kg Düsenanordnung und deren verwendung
US5962041A (en) * 1994-02-04 1999-10-05 Extrusion Dies, Inc. Dual flexible lip extrusion apparatus
US6019291A (en) * 1997-05-07 2000-02-01 B. W. Vortex, Inc. Fluid knife
EP1270175A2 (de) * 2001-06-20 2003-01-02 Reifenhäuser GmbH & Co. Maschinenfabrik Extrusionsdüse
US20030102015A1 (en) * 1998-01-09 2003-06-05 Halbmaier David L. Wafer container washing apparatus
EP1640077A2 (de) * 2004-09-27 2006-03-29 MAFAC ERNST SCHWARZ GmbH & Co. KG MASCHINENFABRIK Behandlungsvorrichtung und Verfahren zur reinigenden und/oder trocknenden Behandlung von Werkstücken

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE9422051U1 (de) * 1994-02-04 1997-09-25 Extrusion Dies Inc Flexible Doppellippen-Extrusionsvorrichtung
US6926017B2 (en) 1998-01-09 2005-08-09 Entegris, Inc. Wafer container washing apparatus
DE10129627C1 (de) * 2001-06-20 2003-02-06 Reifenhaeuser Masch Extrusionsdüse

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2127326A (en) * 1982-09-23 1984-04-11 Andre Vuillaume Rinsing apparatus
DE3702675A1 (de) * 1987-01-30 1988-08-11 Albrecht Markert Gmbh Vorrichtung zum nassreinigen von werkstuecken
US5962041A (en) * 1994-02-04 1999-10-05 Extrusion Dies, Inc. Dual flexible lip extrusion apparatus
WO1996001343A1 (de) * 1994-07-05 1996-01-18 Festo Kg Düsenanordnung und deren verwendung
US6019291A (en) * 1997-05-07 2000-02-01 B. W. Vortex, Inc. Fluid knife
US20030102015A1 (en) * 1998-01-09 2003-06-05 Halbmaier David L. Wafer container washing apparatus
EP1270175A2 (de) * 2001-06-20 2003-01-02 Reifenhäuser GmbH & Co. Maschinenfabrik Extrusionsdüse
EP1640077A2 (de) * 2004-09-27 2006-03-29 MAFAC ERNST SCHWARZ GmbH & Co. KG MASCHINENFABRIK Behandlungsvorrichtung und Verfahren zur reinigenden und/oder trocknenden Behandlung von Werkstücken

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