WO2009143835A2 - Wärmeübertragungsvorrichtung zur doppelseitigen kühlung eines halbleiterbauelementes - Google Patents

Abstract

Es wird eine Wärmeübertragungsvorrichtung vorgeschlagen, in der zwei Wärmeleitkörper stoffschlüssig auf einander gegenüberliegenden Seiten an Kontaktflächen eines Halbleiterbauelementes befestigt sind und sich über das Halbleiterbauelement hinaus erstrecken. Die Wärmeleitkörper weisen metallische Bereiche auf, die den überwiegenden Anteil der Wärmeleitkörper ausmachen und in elektrischer Verbindung mit dem Halbleiterbauelement stehen. Ein elektrisch isolierendes Fügemittel verbindet die metallischen Bereiche der Wärmeleitkörper abseits des Halbleiterbauelementes stoffschlüssig untereinander oder wenigstens einen dieser metallischen Bereiche mit einem weiteren metallischen Bereich eines zwischen die Wärmeleitkörper gebrachten Zwischenkörpers. Zwischen den Wärmeleitkörpern ist wenigstens einer der durch das elektrisch isolierende Fügemittel verbundenen metallischen Bereiche zumindest abschnittsweise zwischen den Kontaktflächenebenen angeordnet.

Description

Wärmeübertragungsvorrichtung zur doppelseitigen Kühlung eines Halbleiterbauelementes

Diese Patentanmeldung beansprucht die Priorität der deutschen Patentanmeldung 102008026229.3 deren Offenbarungsgehalt hiermit durch Rückbezug aufgenommen wird.

Beschreibung

Die Erfindung betrifft eine Wärmeübertragungsvorrichtung mit wenigstens einem Halbleiterbauelement, insbesondere einem Laserdioden- oder Leuchtdiodenelement, nach dem Oberbegriff des Anspruches 1.

Einleitung

In Wärmeübertragungsvorrichtungen für Halbleiterbauelemente, insbesondere Halbleiterbauelementen zur Strahlungsemission aus elektro-optischen Konversionsprozessen - insbesondere Leuchtdioden- und Laserdiodenelementen, auf die im folgenden stellvertretend für Halbleiterbauelemente Bezug genommen wird - besitzen die im Betrieb optische Strahlung emittierenden Laserdiodenelemente - epitaxie- und substratseitig stoffschlüssig befestigte, zumindest abschnittsweise elektrisch leitfähige Kontaktkörper zur elektrischen Kontaktierung. Beide Kontaktkörper dienen auch vorzugsweise der Wärmeleitung - können also auch als Wärmeleitkörper aufgefasst werden, wobei wenigstens einer der beiden Wärmeleitkörper - üblicherweise der epitaxieseitige Wärmeleitkörper - die Funktion der Wärmeableitung im wesentlichen übernimmt. Dieser dient dabei als Wärmeübertragungskörper entweder der konduktiven Kühlung und wird als durchgängiger Festkörper ausgeführt oder er dient im wesentlichen der konvektiven Kühlung, wobei kühlmitteldurchströmte Mikrokanäle im Wärmeübertragungskörper angeordnet sind. In beiden Fällen ist der wärmeübertragende Wärmeleitkörper im Betrieb des Laserdiodenelementes an eine Wärmesenke angeschlossen: im Falle der konduktiven Kühlung ist die Wärmesenke ein wärmeabsorbierender Festkörper, im Falle der konvektiven Kühlung ist die Wärmesenke das wärmeabsorbierende Fluid. Zur Verringerung des thermischen Widerstandes von Diodenlaserbauelementen kann der substratseitige Wärmeleitkörper in einem Bereich abseits des Laserdiodenelementes in stoffschlüssiger Verbindung mit dem Wärmeabfuhrkörper stehen, auf den er im wesentlichen den Teil der Wärme, den er substratseitig von dem Laserdiodenelement im Betrieb aufgenommen hat, überträgt.

Stand der Technik Die stoffschlüssige Verbindung zwischen dem epitaxieseitigen Wärmeabfuhrkörper und dem elektrisch leitfähigen substratseitigen Wärmeleitkörper sollte einerseits eine elektrische Isolierung aufweisen, um einen elektrische Kurzschluss des Laserdiodenelementes auszuschließen, und andererseits einen hohe thermischen Leitwert besitzen, um möglichst viel Wärme über den substratseitigen Kontaktkörper abführen zu können.

Eine erste Lösung sieht vor, eine elektrisch isolierenden Folie aus Kunststoff, beispielsweise aus Polyimid, auf der dem Lichtaustritt abgewandten Seite des Laserbarrens zwischen den epitaxieseitigen Kontaktkörper und den substratseitigen Kontaktkörper anzuordnen (EP 1 286441 A2). Allerdings ist die thermische Leitfähigkeit dieser Kunststofffolie sehr gering und damit für einen ausreichenden Wärmeübergang vom substratseitigen zum epitaxieseitigen Körper ungeeignet.

Eine zweite Lösung bietet die Verwendung eines elektrisch isolierenden hoch wärmeleitfähigen Körpers, beispielsweise einer Aluminiumnitrid-Keramikplatte, die mit Hilfe zweier Lotschichten, beispielsweise metallischer Lotschichten, auf der dem Lichtaustritt abgewandten Seite des Laserdiodenbarrens zwischen den epitaxieseitigen Wärmeabfuhrkörper und den substratseitigen Wärmeleitkörper gelötet wird (Proc. SPIE Vol. 6876, Beitrag Nr. 68760Q).

Eine dritte Lösung, publiziert in Jpn. J. Appl. Phys. Vol. 33, pp. 1112-1119 (1993), beschreibt einen Wärmeabfuhrkörper, der im wesentlichen aus einem thermisch hoch leitfähigen und elektrisch isolierenden Material (hier: Siliziumkarbid) besteht und auf der Oberseite metallische Leiter zur Stromzu- und -abführung trägt. Ein Laserdiodenelement wird epitaxieseitig auf die Leiter zur Stromzuführung gelötet. Ein metallischer Wärmeleitkörper besitzt eine in einen ersten Abschnitt -

Wärmeaufnahmeabschnitt genannt - eingebrachte Rechecknut, an deren Boden das Laserdiodenelement substratseitig angelötet wird, während zwei, sich in zwei einander entgegengegengesetzten Richtungen über das Laserdiodenelemente hinaus erstreckende Abschnitte - Wärmetransferabschnitte genannt - des Wärmeleitkörpers an die stromabführenden Leiter des Wärmeabfuhrkörper gelötet werden. Vorteilhaft an den beiden letzten Lösungen ist die ausschließliche Verwendung von Komponenten relativ hoher Wärmeleitfähigkeit. Nachteilig an diesen Lösungen sind die hohen Kosten sowohl für die elektrisch isolierenden Komponenten als auch für die Lote.

Aufgabe der Erfindung ist es daher, abseits des Laserdiodenelementes eine stoffschlüssige Verbindung zwischen dem epitaxieseitigen und dem substratseitigen Kontaktkörper eines Laserdiodenelementes zu schaffen, die eine elektrische Isolierung und einen hohen thermischen Leitwert besitzt, um einen effizienten Wärmetransfer von dem substratseitigen zum epitaxieseitigen Wärmeleitkörper zu gewährleisten, und mit einer geringen Anzahl von Komponenten und Fertigungsschritten und kostengünstig herstellbar ist.

Erfindungsbeschreibung

Die Aufgabe wird gelöst durch eine Wärmeübertragungsvorrichtung mit wenigstens einem Halbleiterbauelement, insbesondere einem Laserdioden- oder Leuchtdiodenelement, mit den Merkmalen des Anspruches 1. Bevorzugte Ausführungen sind Gegenstand der Unteransprüche.

Erfindungswesentlich ist der abseits des Laserdiodenelementes zwischen den beiden Wärmeleitkörpern liegende Fügespalt, der durch ein elektrisch isolierendes Fügemittel ausgefüllt wird, wobei ein zwischen den beiden Kontaktflächenebenen abseits des Laserdiodenelementes liegender Bereich wärmeleitfähiges Metall enthält, das zu wenigstens einem der beiden Wärmeleitkörper gehört oder zu einem als Zwischenkörper ausgebildeten dritten Wärmeleitkörper, der abseits des Laserdiodenelementes zwischen den Wärmeleitkörpern angeordnet ist.

Solange die Dicke des Fügespaltes, der durch ein elektrisch isolierendes Fügemittel gefüllt ist, geringer ist als die Dicke des Laserdiodenelementes in pn-Übergangsrichtung, d. h. in Richtung der Normalen der Kontaktflächen, beziehungsweise des Abstandes der Kontaktflächen voneinander, ist der Leitwert der stoffschlüssigen Verbindung zwischen beiden Wärmeleitkörpern relativ hoch. Bevorzugt ist die Dicke des Fügespaltes geringer als die Hälfte des Kontaktflächenabstandes, besonders bevorzugt beträgt sie weniger als 20% des Kontaktflächenabstandes.

Vorteilhaft an der erfindungsgemäßen Lösung ist die Verwendung von hoch wärmeleitfähigem und kostengünstigem Metall über einen möglichst großen Abstandsbereich zwischen den Kontaktflächenebenen in Verbindung mit einer möglichst dünnen Fügezone von elektrisch isolierendem Fügemittel.

Insbesondere ermöglicht die Erfindung den völligen Verzicht auf elektrisch isolierende Bereiche im Wärmeleitkörper, was sich vorteilhaft auf eine kostengünstige Fertigung der Wärmeleitkörper auswirkt. Dieser Umstand wird durch das erfindungsgemäße Merkmal, demgemäß der erste und der zweite metallische Bereich den überwiegenden Anteil des jeweiligen Wärmeleitkörpers ausmachen, hervorgehoben. Dabei ist der Begriff „überwiegend" hinsichtlich der Masse und/ oder des Volumens des betreffenden metallischen Bereiches im Verhältnis zur Gesamtmasse beziehungsweise zum Gesamtvolumen des betreffenden Wärmeleitkörpers zu interpretieren. - A -

Im Sinne einer besonders einfachen und kostengünstigen Fertigung erstreckt sich der jeweilige metallische Bereich vorzugsweise vollständig über seinen, ihn aufweisenden, Körper. Ein Kurzschluss zwischen den ersten und zweiten metallischen Bereichen, die das Halbleiterbauelement auf einander gegenüberliegenden Seiten kontaktieren, kann damit vorteilhafterweise allein durch das elektrisch isolierende Fügemittel unterbunden werden, wodurch sich ein sehr einfacher, kompakter und kostengünstiger Aufbau ergibt.

Dabei gilt das Volumen eines metallhaltigen Verbundwerkstoffes auch dann als metallischer Bereich, wenn er elektrisch isolierende oder isolierte Partikel enthält, weil der Verbundwerkstoff makroskopisch metallische Eigenschaften - insbesondere die erfindungswesentliche elektrische Leitung - aufweist. Diese Argumentation trifft insbesondere auf Metall-Matrix-Komposit-Werkstoffe zu, in denen Partikel von Kohlenstoff, Siliziumkarbid oder Bornitrid in Metall (Kupfer, Silber, Aluminium usw.) eingebettet sind. Jeder metallische Bereich kann zudem sowohl einen einzigen metallischen Werkstoff als auch eine Kombination mehrerer verschiedener metallischer Werkstoffe aufweisen, die beispielsweise in mehreren Schichten vorliegen.

Der erfindungsgemäß zwischen den Kontaktflächenebenen angeordnete metallische Bereich kann dem ersten metallischen Bereich, das heißt dem ersten Wärmeleitkörper, zugeordnet sein und/ oder dem zweiten metallischen Bereich, das heißt dem zweiten Wärmeleitkörper, und/ oder einem dritten metallischen Bereich eines Zwischenkörpers, der zumindest abschnittsweise zwischen den ersten und zweiten Wärmetransferabschnitten angeordnet ist.

Der dritte metallische Bereich kann mit einer der Kontaktflächen des Laserdiodenelementes in elektrisch leitfähiger Verbindung stehen, beispielsweise vermittels einer der metallischen Bereiche der Wärmeleitkörper. Dies ist jedoch nicht zwingend. Er kann ebenso - weniger bevorzugt - durch zwei auf einander gegenüberliegenden Seiten des Zwischenkörpers angeordneten Schichten von elektrisch isolierendem Fügemittel elektrisch von beiden metallischen Bereichen der Wärmeleitkörper und damit vom Laserdiodenelement getrennt sein.

Der Vorteil der Verwendung eines Zwischenkörpers, der vorzugsweise vollständig metallisch ist, besteht darin, dass die Wärmeeintrittsflächen der Wärmeaufnahmeabschnitte der Wärmeleitkörper zusammen mit den Wärmetransferflächen der Wärmetransferabschnitte gemeinsam in einem einzigen

Oberflächenbearbeitungsprozess - beispielsweise durch Diamantfräsen - hocheben hergestellt werden können. Erfindungsgemäß überbrückt das elektrisch isolierende Fügemittel in wenigstens einem Teilbereich des Fügespalts den dortigen Abstand zwischen dem metallischen Bereich zumindest eines der Wärmeleitkörper und wenigstens einem weiteren metallischen Bereich wenigstens zur Hälfte stoffschlüssig. Vorzugsweise überbrückt das elektrisch isolierende Fügemittel den Abstand zumindest annähernd vollständig, wobei die von einer vollständigen Überbrückung bestehenden Abweichungen aus der Verwendung dünner Haftvermittlungsschichten, beispielsweise einer Grundierung, herrühren können.

Für die stoffschlüssige Verbindung in Frage kommende elektrisch isolierende Fügemittel sind beispielsweise elektrisch isolierende Klebstoffe, gefüllt mit wärmeleitenden elektrisch isolierenden Partikeln oder ungefüllt, Zemente und Glaslote.

Vorzugsweise enthält die Wärmeübertragungsvorrichtung nicht mehr als zwei Wärmeleitkörper, von denen sich wenigstens einer bis zwischen die Kontaktflächenebenen abseits des Laserdiodenelementes erstreckt, und wobei der metallische Bereich des ersten Wärmeleitkörpers in elektrischer Verbindung mit der ersten Kontaktfläche steht und der metallische Bereich des zweiten Wärmeleitkörpers in elektrischer Verbindung mit der zweiten Kontaktfläche steht.

Vorzugsweise sind die Wärmeleitkörper auf makroskopischer Größenordnung vollständig elektrisch leitfähig. Beispielsweise können sie überwiegend aus einem hochwärmeleitfähigen Diamant-Metall- Verbundwerkstoff bestehen. In einer besonders kostengünstigen Variante bestehen die Wärmeleitkörper überwiegend oder im wesentlichen vollständig aus Kupfer.

Vorzugsweise sind die Wärmeleitkörper plattenfömig ausgebildet.

Zur Gewährleistung eines hohen thermischen Leitwertes der Wärmeleitplatten ist die Dicke der Platten vorzugsweise größer als die Resonatorlänge oder als die Breite des Laserdiodenelementes. Zur Gewährleistung eines hohen thermischen Leitwertes der Fügezone ist die flächenmäßige

Ausdehnung der Fügezone größer als die parallele flächenmäßige Ausdehnung des

Laserdiodenelementes.

Bei Laserdiodenbarren liegt die elektrisch isolierende Fügezone bevorzugt auf von der frontseitigen Lichtemissionsfläche abgewandten Rückseite. Bei Einzelemitter-Laserdioden liegen zwei elektrisch isolierende Fügezonen bevorzugt seitlich in zur optischen Achse der Lichtemission senkrecht und zu den Kontaktflächen parallel orientierter Richtung der Laserdioden. Zur Wärmeabfuhr kann wenigstens einer der beiden Wärmeableitkörper an eine Wärmesenke angeschlossen sein. Vorzugsweise ist aus Kostengründen nur einer der beiden Wärmeableitkörper an eine Wärmesenke angeschlossen. Im Falle konduktiver Kühlung ist diese Wärmesenke ein Wärmeaufnahmekörper, welcher auf der dem Laserdiodenelement gegenüberliegenden Seite des betreffenden Wärmeleitkörpers angeordnet ist.

Eine doppelseitige Kühlung des Halbleiterbauelementes wird erfindungsgemäß auch durch eine einzige, an nur einem Wärmeleitkörper angebrachte, Wärmesenke realisiert, weil der andere Wärmeleitkörper (ohne zusätzliche Wärmsenke) in seiner Funktion als thermischer Nebenschluss (engl.: thermal bypass) zu einer Kühlung beiträgt. Prinzipiell jedoch wird der thermische Aspekt der Erfindung immer dann wirksam, wenn die thermischen Widerstände zweier Wärmesenken, die an verschiedenen Wärmeleitkörpern befestigt sind, derart unterschiedlich sind, dass sich ein effektiver Wärmefluss von dem Wärmeleitkörper mit der Wärmesenke des höheren thermischen Widerstands zu dem Wärmeleitkörper mit der Wärmesenke des niedrigeren thermischen Widerstands ergibt.

Der über alles herausragende Vorteil der Erfindung liegt zusammengefasst darin, mit einem Minimum an Komponenten (Halbleiterbauelement, Wärmeleitkörper 1 , Wärmeleitkörper 2) eine doppelseitige Kühlung des Halbleiterbauelementes realisieren zu können. Damit wird ein Maximum an Kühleffizienz pro Kostenaufwand erzielt. Vorzugsweise weist daher ein erfindungsgemäßes Diodenlaserbauelement mit einem Laserdiodenbarren als Halbleiterbauelement abgesehen von einer Wärmesenke keine weiteren, für die Wärmeleitung relevanten Komponenten auf als nur den ersten und zweiten Wärmeleitkörper. Zu den für eine Wärmeleitung nicht relevanten Komponenten zählen Befestigungsmittel zur Anbringung elektrischer Anschlüsse, Kurzschlusselemente und Temperatursensoren.

Nachfolgend wird die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen näher erläutert. Dazu zeigen

Fig. 1 a eine Seitenansicht auf die Bauteile eines ersten Ausführungsbeispieles der erfindungsgemäßen

Wärmübertragungsvorrichtung,

Fig. 1 b eine Seitenansicht auf eine erste Variante des ersten Ausführungsbeispieles der erfindungsgemäßen Wärmübertragungsvorrichtung,

Fig. 1c eine Seitenansicht auf eine zweite Variante des ersten Ausführungsbeispieles der erfindungsgemäßen Wärmübertragungsvorrichtung, Fig. 1d eine Seitenansicht auf eine dritte Variante des ersten Ausführungsbeispieles der erfindungsgemäßen Wärmübertragungsvorrichtung,

Fig. 2a eine Seitenansicht auf die Bauteile einer ersten Variante eines zweiten Ausführungsbeispieles der erfindungsgemäßen Wärmübertragungsvorrichtung, Fig. 2b eine Seitenansicht auf die erste Variante des zweiten Ausführungsbeispieles der erfindungsgemäßen Wärmübertragungsvorrichtung,

Fig. 2c eine Seitenansicht auf eine zweite Variante des zweiten Ausführungsbeispieles der erfindungsgemäßen Wärmübertragungsvorrichtung und

Fig. 2d eine Seitenansicht auf eine dritte Variante des zweiten Ausführungsbeispieles der erfindungsgemäßen Wärmübertragungsvorrichtung.

Alle Ausführungsbeispiele repräsentieren Diodenlaserbauelemente mit einem Laserdiodenbarren. Nichtsdestoweniger können sie auch Strahlungsquellen mit einem oder mehreren nebeneinander angeordneten Einzel- oder Mehrfachemitterlaserdioden oder Einzel- oder Mehrfachemitterleuchtdioden oder Leuchtdiodenbarren repräsentieren. Darüber hinaus ist die Wärmeübertragungsvorrichtung auch zur Kühlung von Halbleiterschaltelementen, beispielsweise Hochleistungstransistoren, Hochleistungsthyristoren usw. geeignet.

Ausführungsbeispiel 1

Die für die Herstellung einer ersten Variante des ersten Ausführungsbeispieles der erfindungsgemäßen Wärmeübertragungsvorrichtung verwendeten Bauelemente sind in Fig. 1a: dargestellt: Der Laserdiodenbarren 10 weist eine erste, epitaxieseitige Kontaktfläche 11 zur elektrischen Kontaktierung auf sowie eine zweite, substratseitige Kontaktfläche 12, die der epitaxieseitigen Kontaktfläche gegenüberliegt. Der Laserdiodenbarren besitzt eine Resonatorlänge von 2mm. Die im Betrieb erfolgende Lichtemission ist durch den Pfeil 15 gekennzeichnet, der auf einer optischen Achse angeordnet ist. In der Lichtemission entgegengesetzter Richtung ist eine überwiegend aus Kupfer bestehende Metallplatte 40 von 110μm Dicke hinter dem 120μm dicken Laserdiodenbarren angeordnet. Sie besitzt einander gegenüberliegende epitaxie- und substratseitig orientierte Wärmeübergangsflächen 41 und 42. Ein erster, epitaxieseitiger, plattenförmiger Wärmeleitkörper 20 besteht überwiegend aus Kupfer und weist eine der epitaxieseitigen Kontaktfläche 11 gegenüberliegenden Wärmeeintrittsfläche 21 auf sowie eine Wärmetransferfläche 22, die der epitaxieseitigen Wärmeübergangsfläche 41 der Metallplatte 40 gegenüberliegt. Seine Dicke beträgt 4mm. Ein zweiter, substratseitiger, plattenförmiger Wärmeleitkörper 30 besteht ebenfalls überwiegend aus Kupfer und weist eine der substratseitigen Kontaktfläche 12 gegenüberliegenden Wärmeeintrittsfläche 31 auf sowie eine Wärmetransferfläche 32, die der substratseitigen Wärmeübergangsfläche 42 der Metallplatte 40 gegenüberliegt. Seine Dicke beträgt ebenfalls 4mm. In Vorbereitung der Einrichtung eines Stoffschlusses dieser Komponenten 10, 20, 30, 40 zur Ausbildung der ersten Variante der ersten Ausführungsbeispieles wird der epitaxieseitige Wärmeleitkörper 20 im Bereich der epitaxieseitigen Wärmeeintrittsfläche 21 mit Indiumlot 13 beschichtet. Analog wird der substratseitige Wärmeleitkörper 30 im Bereich der substratseitigen Wärmeeintrittsfläche 31 mit Indiumlot 14 beschichtet. Ferner wird auf die epitaxieseitige Wärmetransferfläche 22 des epitaxieseitigen Wärmeleitkörpers 20 eine Schicht elektrisch isolierenden Klebstoffs 50 aufgebracht. Analog wird auf die substratseitige Wärmetransferfläche 32 des substratseitigen Wärmeleitkörpers 30 eine Schicht elektrisch isolierenden Klebstoffs 51 aufgebracht. Zur Einrichtung des Stoffschlusses der Komponenten 10, 20, 30, 40 wird, wie in Fig. 1b gezeigt, der Laserdiodenbarren 10 zwischen dem ersten und zweiten Wärmeleitkörper 20, 30 epitaxieseitig und substratseitig in Kontakt mit den jeweiligen Lotschichten gebracht und die Metallplatte 40 zwischen dem ersten und zweiten Wärmeleitkörper 20, 30 in Kontakt mit den jeweiligen Klebstoffschichten 50 und 51. Alle Komponenten durchlaufen anschließend ein Temperaturprofil, das sowohl geeignet ist, eine hochwertige Lötverbindung 13 zwischen dem Laserdiodenbarren 10 und einem epitaxieseitigen Wärmeaufnahmeabschnitt 25 des epitaxieseitigen Wärmeleitkörpers 20, als auch eine hochwertige Lötverbindung 14 zwischen dem Laserdiodenbarren 10 und einem substratseitigen Wärmeaufnahmeabschnitt 35 des substratseitigen Wärmeleitkörpers 30, als auch eine hochwertige Klebeverbindung 50 zwischen der Metallplatte 40 und einem sich entgegen Lichtemissionsrichtung 15 über den Laserdiodenbarren 10 hinaus erstreckenden epitaxieseitigen Wärmetransferabschnitt 26 des epitaxieseitigen Wärmeleitkörpers 20, als auch eine hochwertige Klebeverbindung 51 zwischen der Metallplatte 40 und einem sich entgegen Lichtemissionsrichtung 15 über den Laserdiodenbarren 10 hinaus erstreckenden substratseitigen Wärmetransferabschnitt 36 des epitaxieseitigen Wärmeleitkörpers 30. Zum Betrieb des Laserdiodenbarrens in der Wärmeübertragungsvorrichtung wird eine Wärmesenke an einer vom Laserdiodenbarren 10 und der Metallplatte 40 abgewandten Seite 29 des epitaxieseitigen Wärmeleitkörpers 20 befestigt, ein erster elektrischer Anschluss am epitaxieseitigen Wärmeleitkörper 20 und ein zweiter elektrischer Anschluss am substratseitigen Wärmeleitkörper 30. Beim Betrieb des Laserdiodenbarrens wird die in der aktiven Zone erzeugte Wärme zu einem ersten Teil über die epitaxieseitige Kontaktfläche 11 , die epitaxieseitige Lotfuge 13 und die epitaxieseitige Wärmeeintrittsfläche 21 vom epitaxieseitigen Wärmeaufnahmeabschnitt 25 des epitaxieseitigen Wärmeleitkörpers 20 aufgenommen und zumindest teilweise in den epitaxieseitigen Wärmetransferabschnitt 26 hinein gespreizt. Zu einem zweiten Teil wird die Wärme über die substratseitige Kontaktfläche 12, die substratseitige Lotfuge 14 und die substratseitige Wärmeeintrittsfläche 31 vom substratseitigen Wärmeaufnahmeabschnitt 35 des substratseitigen Wärmeleitkörpers 30 aufgenommen und zumindest nahezu vollständig in den substratseitigen Wärmetransferabschnitt 36 hinein geleitet. Aus dem substratseitigen Wärmetransferabschnitt 36 wird der zweite Wärmeteil über die substratseitige Wärmetransferfläche 32, den elektrisch isolierenden Klebespalt 51, die substratseitige Wärmeübergangsfläche 42, die Metallplatte 40, die epitaxieseitige Wärmeübergangsfläche 41, den elektrisch isolierenden Klebespalt 50 und die epitaxieseitige Wärmetransferfläche 22 in den epitaxieseitigen Wärmetransferabschnitt 26 des epitaxieseitigen Wärmeleitkörpers 20 überführt und dort mit dem ersten Wärmeteil vereinigt. Die Wärme wird dann über die Anbindungsfläche 29 zur Wärmeabfuhr an einen Wärmesenkenkörper abgegeben.

Die Klebefugen 50 und 51 sorgen für eine elektrische Isolierung zwischen den Wärmeleitkörpern 20 und 30, zwischen denen für den Betrieb des Laserdiodenbarrens eine entsprechende Potentialdifferenz bestehen muss. Da die Dicke der Metallplatte 40 nur geringfügig kleiner ist als die des Laserdiodenbarrens, ist auch die Dicke der Klebefugen 50 und 51 sehr gering, beispielsweise jeweils 10 μm. Trotz einer niedrigen Wärmeleitfähigkeit des elektrisch isolierenden Klebstoffes bleibt daher unter Berücksichtigung der hohen thermischen Leitfähigkeit der Metallplatte 40 der thermische Leitwert des Wärmeübergangs vom substratseitigen Wärmetransferabschnitt 36 zum epitaxieseitigen Wärmetransferabschnitt 26 gering. Damit kann tatsächlich der substratseitige Wärmeleitkörper zur doppelseitigen Kühlung des Laserdiodenbarrens effizient genutzt werden.

In einer in Fig. 1c dargestellten zweiten Variante des ersten Ausführungsbeispieles bestehen der epitaxieseitige und der substratseitige Wärmeleitkörper 20 und 30 überwiegend aus einem Diamant- Silber-Verbundwerkstoff, dessen thermischer Ausdehnungskoeffizient dem des Laserdiodenbarrens 20 zumindest annähernd entspricht. Auf die epitaxieseitige Wärmeeintrittsfläche 21 wird eine Gold-Zinn- Lotschicht 13 aufgebracht, auf die epitaxieseitige Wärmetransferfläche 22 eine Gold-Zinn-Lotschicht 43. In einem ersten Fügeprozess werden gleichzeitig der Laserdiodenbarren 10 epitaxieseitig und die Metallplatte 40, die überwiegend aus einem Kupfer-Molybdän-Verbundwerkstoff besteht, auf den epitaxieseitigen Wärmeleitkörper 20 gelötet.

Auf die substratseitige Wärmeeintrittsfläche 31 wird eine Zinn-Lotschicht 14 aufgebracht, auf die substratseitige Wärmetransferfläche 32 eine Schicht elektrisch isolierenden Klebstoff 50, der zur Erhöhung seiner Wärmeleitfähigkeit mit Aluminiumoxidpartikeln gefüllt ist. In einem zweiten Fügeprozess wird der substratseitige Wärmeaufnahmeabschnitt 35 substratseitig an den Laserdiodenbarren 10 gelötet und der substratseitige Wärmetransferabschnitt an der Metallplatte durch thermisch bedingte Aushärtung angeklebt.

Diese zweite Variante des ersten Ausführungsbeispieles besitzt den Vorteil, dass eine Klebstoffschicht durch eine metallische Lotschicht mit einer höheren Wärmeleitfähigkeit als die der Klebstoffschicht ersetzt wurde.

Die in Fig. 1d dargestellte dritte Variante des ersten Ausführungsbeispiels unterscheidet sich von der zweiten Variante dadurch, dass in einem ersten Fügeprozess die Kupfer-Molybdän-Platte 40 mittels eines Zementes 50 auf dem epitaxieseitigen Wärmeleitkörper 20 befestigt wird. Alternativ kann anstatt des Zementes 50 auch ein Glaslot 50 verwendet werden. Die an ihren Wärmeeintrittsflächen 21, 31 mit einer Gold-Zinn-Lotschicht versehenen Wärmeleitkörper werden unter Einbringung einer Folie einer Gold-Zinn- Lot- Vorform einem zweiten Fügeprozess sowohl mit dem Laserdiodenbarren 10 als auch mit der Kupfer- Molybdän-Platte 40 stoffschlüssig verbunden. Die dritte Variante besitzt den Vorteil einer beidseitigen hoch zuverlässigen Gold-Zinn-Lötung des Laserdiodenbarrens, der dadurch ermöglicht wird, dass im Gegensatz zu Klebstoffen ein hochtemperaturunempfindliches elektrisch isolierendes Fügemittel verwendet wird.

Ausführungsbeispiel 2

Im Gegensatz zu den Varianten des ersten Ausführungsbeispieles kommen die Varianten des zweiten Ausführungsbeispieles ohne die Verwendung einer zwischen die Wärmeleitkörper gebrachten Metallplatte 40 aus. Statt dessen wird wenigstens einer der Wärmeleitkörper 20, 30 mit einer Erhebung im Bereich des Wärmetransferabschnittes 26, 36 versehen, der sich in der stoffschlüssigen Wärmeübertragungsvorrichtung bis in die rückwärtige Flucht des Laserdiodenbarrens 10, das heißt bis zwischen die beiden Kontaktflächenebenen, erstreckt. Damit liegen die Wärmeeintrittsfläche 21, 31 und die Wärmetransferfläche 22, 32 in zueinander parallel versetzten Ebenen. Die Varianten des zweiten Ausführungsbeispieles kommen im Gegensatz zu denen des ersten Ausführungsbeispieles mit einem Minimum an Komponenten aus.

Die Komponenten der ersten Variante des zweiten Ausführungsbeispieles sind in Figur 2a dargestellt. Die Wärmeleitkörper 20 und 30 bestehen überwiegend aus Kupfer. Die Wärmeeintrittsflächen 21 und 31 sind am Boden von Ausnehmungen in den Wärmeaufnahmeabschnitten 25 und 35 gegenüber den Wärmetransferflächen 22 und 32 in den Wärmetransferabschnitten 26 und 36 um 50μm parallel in vom Laserdiodenbarren fortweisender Richtung versetzt. Das Paar von Ausnehmungen bietet, wie in Fig. 2b veranschaulicht, Raum zur Aufnahme des Laserdiodenbarrens 10, welcher mit Indiumlot 13 und 14 stoffschlüssig in einem einzigen Fügeprozess beidseitig an die Wärmeaufnahmeabschnitte 25 und 35 der Wärmeleitkörper 20 und 30 gelötet wird. In demselben Fügeprozess härtet ein zuvor zwischen die beiden Wärmetransferabschnitte 26 und 36 der Wärmeleitkörper 20 und 30 gebrachte, elektrisch isolierende Klebstoffschicht 50 stoffschließend aus.

In der zweiten und dritten Variante des zweiten Ausführungsbeispieles besitzt nur einer der

Wärmeleitkörper 20 oder 30 eine Erhebung, die sich bis zwischen die Ebenen der Kontaktflächen 11 und 12 erstreckt, beziehungsweise eine Ausnehmung, die der Aufnahme des Laserdiodenbarrens 10 dient. In der in Fig. 2c dargestellten zweiten Variante handelt es sich dabei um den substratseitigen Wärmeleitkörper 30; in der in Fig. 2c dargestellten dritten Variante handelt es sich dabei um den epitaxieseitigen Wärmeleitkörper 20. Diese Varianten bieten den Vorteil, dass der jeweils andere Wärmeleitkörper 30 oder 20 durch entsprechende großflächige Oberflächenbearbeitungsverfahren, beispielsweise Läppen, Polieren oder Diamantfräsen, eine hochebene Wärmeeintritts- beziehungsweise Montagefläche 31 oder 21 für den Laserdiodenbarren 10 bereitgestellt werden kann.

Für den Fachmann sind eine Vielzahl weiterer Ausführungsbeispiele denkbar, die im Einzugsbereich der Erfindung liegen. So ist die Erfindung beispielsweise unabhängig von der Art des zwischen den Wärmeeintrittsabschnitten 25, 35 und dem Halbleiterbauelement 10 bestehenden Stoffschlusses 13, 14. Während die beschriebenen Ausführungsbeispiele hierzu den Stoffschluss mittels eines Lotes 13, 14 realisieren, sind ebenso andere stoffschlüssige Fügeverfahren, die ohne ein zusätzlich einzubringendes Fügegut arbeiten, anwendbar. Dazu zählen das Diffusionsbonden oder -schweißen und das eutektische Bonden. Bezugszeichenliste:

10 Laserdiodenelement

11 epitaxieseitige Kontaktfläche 12 substratseitige Kontaktfläche

13 epitaxieseitiges Lot, epitaxieseitige Lotfuge

14 substratseitiges Lot, substratseitige Lotfuge

15 Strahlungsemissionsrichtungspfeil 20 epitaxieseitiger Wärmeleitkörper 21 epitaxieseitige Wärmeeintrittsfläche 22 epitaxieseitige Wärmetransferfläche

25 epitaxieseitiger Wärmeaufnahmeabschnitt

26 epitaxieseitiger Wärmetransferabschnitt 30 substratseitiger Wärmeleitkörper 31 substratseitige Wärmeeintrittsfläche 32 substratseitige Wärmetransferfläche

35 substratseitiger Wärmeaufnahmeabschnitt

36 substratseitiger Wärmetransferabschnitt 40 Metallplatte 41 epitaxieseitige Wärmeübergangsfläche

42 substratseitige Wärmeübergangsfläche

43 epitaxieseitige Lotverbindung

44 substratseitige Lotverbindung

50 erstes, einen ersten Fügespalt einnehmendes, elektrisch isolierendes Fügemittel 51 zweites, einen zweiten Fügespalt einnehmendes, elektrisch isolierendes Fügemittel

Claims

Patentansprüche

1. Wärmeübertragungsvorrichtung mit

- wenigstens einem Halbleiterbauelement 10, insbesondere einem Laserdioden- oder Leuchtdiodenelement,

- einem ersten Wärmeleitkörper 20 und

- wenigstens einem zweiten Wärmeleitkörper 30 wobei das Halbleiterbauelement 10 - auf einer ersten Seite wenigstens eine erste, zumindest abschnittsweise im wesentlichen ebene, Kontaktfläche 11 und

- auf wenigstens einer, der ersten Seite abgewandten, zweiten Seite wenigstens eine zweite, zumindest abschnittsweise im wesentlichen ebene, Kontaktfläche 12 aufweist, und

- zumindest abschnittsweise zwischen dem ersten und dem zweiten Wärmeleitkörper 20 und 30 angeordnet ist, der erste Wärmeleitkörper 20 einen ersten metallischen Bereich aufweist, der

- hinsichtlich seiner Masse und/ oder seines Volumens den überwiegenden Anteil des ersten Wärmeleitkörpers 20 ausmacht,

- in elektrischer Verbindung mit der ersten Kontaktfläche 11 des Halbleiterbauelementes 10 steht, - wenigstens einen ersten Wärmeaufnahmeabschnitt 25 mit wenigstens einer ersten Wärmeeintrittsfläche 21 aufweist, die der ersten Kontaktfläche 11 in einer dem Halbleiterbauelement 10 abgewandten Richtung zumindest abschnittsweise gegenüberliegt, und durch wenigstens einen sich in der senkrecht zur ersten Kontaktfläche 11 orientierten Flucht des Halbleiterbauelementes 10 von der ersten Kontaktfläche 11 zur ersten Wärmeeintrittsfläche 21 erstreckenden Stoffschluss mit dem Halbleiterbauelement 10 verbunden ist, sowie

- wenigstens einen ersten Wärmetransferabschnitt 26, der sich in wenigstens einer ersten Wärmetransferrichtung zumindest abschnittsweise parallel zur ersten Kontaktfläche 11 über das Halbleiterbauelement 10 hinaus erstreckt, der zweite Wärmeleitkörper 30 einen zweiten metallischen Bereich aufweist, der - hinsichtlich seiner Masse und/ oder seines Volumens den überwiegenden Anteil des zweiten Wärmeleitkörpers 30 ausmacht,

- in elektrischer Verbindung mit der zweiten Kontaktfläche 12 des Halbleiterbauelementes steht, - wenigstens einen zweiten Wärmeaufnahmeabschnitt 35 mit wenigstens einer zweiten Wärmeeintrittsfläche 31 aufweist, die der zweiten Kontaktfläche 12 in einer dem Halbleiterbauelement 10 abgewandten Richtung zumindest abschnittsweise gegenüberliegt, und durch wenigstens einen sich in der senkrecht zur zweiten Kontaktfläche 12 orientierten Flucht des Halbleiterbauelementes 10 von der zweiten Kontaktfläche 12 zur zweiten Wärmeeintrittsfläche 35 erstreckenden Stoffschluss mit dem Halbleiterbauelement 10 verbunden ist, sowie

- wenigstens einen zweiten Wärmetransferabschnitt 36, der sich in wenigstens einer, der ersten Wärmetransferrichtung parallelen, zweiten Wärmetransferrichtung zumindest abschnittsweise parallel zur zweiten Kontaktfläche 12 über das Halbleiterbauelement 10 hinaus erstreckt, wobei

- der zweite metallische Bereich im zweiten Wärmetransferabschnitt dem ersten metallischen Bereich im ersten Wärmetransferabschnitt zumindest abschnittsweise gegenüberliegt, und - ein zumindest abschnittsweise zwischen einander gegenüberliegenden Abschnitten der ersten und zweiten metallischen Bereiche angeordneter Fügespalt, über den die Wärmetransferabschnitte des ersten und des zweiten Wärmeleitkörpers 20, 30 miteinander stoffschlüssig verbunden sind, zumindest abschnittsweise wenigstens ein elektrisch isolierendes Fügemittel 50 aufweist dadurch gekennzeichnet, dass das elektrisch isolierende Fügemittel 50 in wenigstens einem Teilbereich des Fügespalts den dortigen Abstand zwischen dem ersten und dem zweiten metallischen Bereich oder zwischen dem ersten oder dem zweiten metallischen Bereich und wenigstens einem dritten metallischen Bereich eines Zwischenkörpers (40), der zumindest abschnittsweise zwischen dem ersten und zweiten Wärmetransferabschnitt angeordnet ist, wenigstens zur Hälfte stoffschlüssig überbrückt und wenigstens einer der dem Fügespalt benachbarten ersten, zweiten oder dritten metallischen Bereiche zumindest teilweise zwischen den Ebenen angeordnet ist, in denen die erste und zweite Kontaktfläche 11 und 12 des Halbleiterbauelementes 10 liegen.

2. Wärmeübertragungsvorrichtung nach Anspruch 1 dadurch gekennzeichnet, dass das elektrisch isolierende Fügemittel 50 in wenigstens einem Teilbereich des Fügespalts den dortigen Abstand zwischen den metallischen Bereichen vollständig stoffschlüssig überbrückt.

3. Wärmeübertragungsvorrichtung nach Anspruch 1 dadurch gekennzeichnet, dass das elektrisch isolierende Fügemittel 50 in wenigstens einem Teilbereich des Fügespalts den dortigen Abstand zwischen den metallischen Bereichen bis auf die Dicken von auf den metallischen Bereichen in Angrenzung an den Fügespalt aufgebrachten Haftvermittlungsschichten vollständig stoffschlüssig überbrückt.

4. Wärmeübertragungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche dadurch gekennzeichnet, dass das elektrisch isolierende Fügemittel 50 wenigstens ein Fügemittel aus der Gruppe der Klebstoffe, Zemente und Glaslote ist.

5. Wärmeübertragungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche dadurch gekennzeichnet, dass der erste metallische Bereich den ersten Wärmeleitkörper vollständig umfasst und/ oder der zweite metallische Bereich den zweiten Wärmeleitkörper vollständig umfasst und/ oder der dritte metallische Bereich den dritten Wärmeleitkörper vollständig umfasst.

6. Wärmeübertragungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der erste und der zweite metallische Bereich überwiegend Kupfer enthalten.

7. Wärmeübertragungsvorrichtung nach Anspruch 6 dadurch gekennzeichnet, dass der dritte metallische Bereich überwiegend Kupfer enthält.

8. Wärmeübertragungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5 dadurch gekennzeichnet, dass der erste und der zweite metallische Bereich überwiegend wenigstens einen Kohlenstoff-Metall- Verbundwerkstoff enthalten.

9. Wärmeübertragungsvorrichtung nach Anspruch 8 dadurch gekennzeichnet, dass der dritte metallische Bereich überwiegend wenigstens ein Refraktärmetall enthält.

10. Wärmeübertragungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens einer der Wärmeleitkörper 20, 30 wenigstens eine zumindest abschnittsweise im Wärmeeintrittsabschnitt 25, 35 angeordnete oberflächliche Ausnehmung aufweist, deren Bodenfläche zumindest abschnittsweise die Wärmeeintrittsfläche 21, 31 bildet und welche das Halbleiterbauelement 10 zumindest abschnittsweise aufnimmt.

11. Wärmeübertragungsvorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass der erste und der zweite Wärmeleitkörper 20 und 30 jeweils wenigstens eine zumindest abschnittsweise im Wärmeeintrittsabschnitt 25, 35 angeordnete oberflächliche Ausnehmung aufweist, deren Bodenfläche zumindest abschnittsweise die Wärmeeintrittsfläche 21, 31 bildet und welche das Halbleiterbauelement 10 zumindest abschnittsweise aufnimmt.

12. Wärmeübertragungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche dadurch gekennzeichnet, dass sie mit Ausnahme von Wärmesenken, Befestigungsmitteln zur Anbringung elektrischer Anschlüsse, Kurzschlusselementen und/ oder Temperatursensoren aus nicht mehr als den folgenden drei Komponenten besteht: einem Laserdiodenbarren 10, einem ersten Wärmeleitkörper 20 und einem zweiten Wärmeleitkörper 30.

13. Wärmeübertragungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11 dadurch gekennzeichnet, dass der dritte Wärmeleitkörper 40 auf zwei einander gegenüberliegenden Seiten mittels elektrisch isolierender Fügemittel 50, 51 mit den Wärmetransferabschnitten 26, 36 verbunden ist.

14. Wärmeübertragungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11 dadurch gekennzeichnet, dass der dritte Wärmeleitkörper 40 auf einer Seite mit einem der Wärmetransferabschnitte 26, 36 mittels eines metallischen Lotes 43, 44 verbunden ist.

15. Wärmeübertragungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Halbleiterbauelement ein Laserdiodenbarren ist, der wenigstens eine optische Achse der Strahlungsemission aufweist, und die Ausdehnung wenigstens einer der Wärmeleitkörper 20, 30 auf zumindest einer Geraden, die senkrecht zu wenigstens einer der Kontaktflächen 11 , 12 des Laserdiodenbarrens in wenigstens einer Ebene liegt, die sich senkrecht zu wenigstens einer der Kontaktflächen 11 , 12 des Halbleiterbauelementes und parallel zu der optischen Achse der Strahlungsemission durch den besagten Wärmeleitkörper 20, 30 und den Laserdiodenbarren 10 erstreckt, größer ist als wenigstens eine in der besagten Ebene liegende Erstreckung des Laserdiodenbarrens, die parallel zu wenigstens einer der Kontaktflächen 11, 12 ausgerichtet ist.

16. Wärmeübertragungsvorrichtung nach Anspruch 15 dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens eine Erstreckung des elektrisch isolierenden Fügemittels 50 in der besagten Ebene wenigstens doppelt so groß ist wie die wenigstens eine in der besagten Ebene liegende Erstreckung des Laserdiodenbarrens 10, die parallel zu wenigstens einer der Kontaktflächen 11, 12 ausgerichtet ist.

17. Wärmeübertragungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens einer der Wärmeleitkörper 20 oder 30 an wenigstens eine Wärmesenke angeschlossen ist.

18. Wärmeübertragungsvorrichtung nach Anspruch 17 dadurch gekennzeichnet, dass nur einer der Wärmeleitkörper 20 oder 30 auf einer dem Halbleiterbauelement 10 gegenüberliegenden Seite an wenigstens eine Wärmesenke angeschlossen ist.