WO2009102238A1 - Установка для реализации комплексных действий с материалами - Google Patents
Установка для реализации комплексных действий с материалами Download PDFInfo
- Publication number
- WO2009102238A1 WO2009102238A1 PCT/RU2009/000059 RU2009000059W WO2009102238A1 WO 2009102238 A1 WO2009102238 A1 WO 2009102238A1 RU 2009000059 W RU2009000059 W RU 2009000059W WO 2009102238 A1 WO2009102238 A1 WO 2009102238A1
- Authority
- WO
- WIPO (PCT)
- Prior art keywords
- installation according
- scanning
- scanning element
- housing
- console
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q70/00—General aspects of SPM probes, their manufacture or their related instrumentation, insofar as they are not specially adapted to a single SPM technique covered by group G01Q60/00
- G01Q70/02—Probe holders
Definitions
- the invention relates to materials science, in particular, to precision instruments for the diagnosis of materials of various nature, presented in the form of thin films, and can be used to solve scientific and industrial-technological problems, in particular, in micro- and nanoelectronics, materials science, biology, medicine as well as in biomolecular technology.
- MBOFs near-field optical microscopes
- SZP scanning probe partitions
- the invention provides an apparatus including a scanning probe microscope, a scanning device and an object holder (substrate), which is used as a thin film with the possibility of its angular displacement relative to the supporting beam of the base layer.
- a substrate having additional degrees of freedom, provides more opportunities, in particular, the presence of a thin film as a stage.
- its design is not universal, difficult to handle and in production, and is designed to solve highly specialized tasks.
- SPM scanning probe microscopes
- Veso More than eight thousand scanning probe microscopes of V Canalpaghaved.
- These products are focused on a wide range of applications: materials science, the study and creation of semiconductors and polymeric materials, biomedical research.
- the most versatile SPM Veso, used in all areas of research, is the MultiMode high-resolution microscope with a control unit Nanoscope V.
- a series of SPM Dimepsiop has been specially developed for the study of semiconductor materials. Devices have a special vacuum holder for plates, as well as a motorized and programmable base.
- Additional electronic modules are installed on the SPM Dimepsiop, which are used to implement methods of scanning capacitive microscopy, spreading resistance microscopy, and atomic force microscopy tunneling.
- a special hybrid scanner with a system of sensors and feedback is produced for nanolithography, which provides a high degree of linearization along three axes, and special software has been developed for nanolithography and nanomanipulations.
- the SPVirosore SPM is issued, equipped with a chamber for creating a vacuum (up to 10-5 Torr).
- an atomic force microscope of a fundamentally new design of Biocore II has been released, which allows combining the SPM with almost all optical methods without harming the latter.
- CP-P and Calibeg - devices of the lower price category - also meet quality standards and are designed for a wide range of applications.
- the following disadvantages can be distinguished: the difficulty of reconfiguring the study of various materials, in particular, if it is necessary to study the properties of biological materials after the physicochemical properties of inorganic materials, the presence of a significant number of manual operations in the setup, which increases the time required for one study, and, accordingly, its cost increases.
- the technical problems to which the present invention is directed are: ensuring the versatility of the device, expanding the range of sizes of the studied objects while reducing the time to study one object, increasing the simplicity and ease of use and reducing the cost of research.
- the present invention is aimed at solving the problem of automating the process of complex actions with materials, in particular, operations such as selecting, installing and changing a scanning element.
- the tasks are solved due to the fact that the installation for implementing complex actions with materials (objects), including a scanning probe microscope, at least one scanning device, an object holder and at least one means for processing and transmitting electrical signals, contains, at least one bobbin receiving tray with tapes carrying scanning elements.
- the scanning device can be made in the form of a console fixed to the base, mounted to rotate around its longitudinal axis and rotate around the vertical axis of the base.
- a head with at least one holder made in the form of a console can be fixed on the free end of the console, on the free end of which there is a multifunctional unit with at least one scanning element, and the installation can be equipped with at least one receiving tray for multi-function units, and at least one vacuum tweezers.
- the multifunctional unit is made in the form of a removable housing with a laser of the required luminescence range, a complex of mirrors, integrated photodiodes, at least one means for processing and transmitting electrical signals, at least one resonator, at least one micro-engine with the ability to change the position of the scanning element relative to the housing along each of the three coordinate axes and around the vertical axis, a micro camera and a data exchange interface.
- the housing of the multifunctional block can be made integral with the possibility of ensuring an independent position of at least the part supporting the scanning element relative to other parts of the housing.
- one part of the housing of the multifunctional unit is made with the possibility of direct fixation (contact) of its position relative to the material (object) or object on which the material (object) can be.
- the independent position of at least the portion supporting the scanning element can be effected by articulation.
- the block holders can be made of different lengths and mounted in the head radially with sequential alternation in length.
- a scanning element it is possible to use a cantilever placed on a tape or in a container.
- the installation can be additionally equipped with a screen that isolates the zone of implementation of complex actions with materials.
- Figure 1 shows a General view of the installation for the implementation of complex actions with materials, where (1) is a multifunctional unit, (2) is the base, (3) is the console, (4) is the head, (5) is the holder, (6) - a tray for removable cartridges with scanning elements, (7) - vacuum tweezers for installing scanning elements, (8) - vacuum tweezers for installing multifunctional blocks.
- Installation for implementing complex actions with materials includes a scanning probe microscope (not shown in the drawing), an object holder (not shown in the drawing), at least one means for processing and transmitting electrical signals (not shown in the drawing) and a scanning device.
- the scanning device of the installation for the implementation of complex actions with materials includes a base (2) on which at least one console (3) is fixed. At the free end of the console (3), a head (4) is fixed with at least one holder (5), on which a multifunction block (1) with at least one scanning element (not shown) is placed.
- the installation is equipped with at least one receiving tray (6) for cassettes with scanning elements, at least one receiving tray (not shown in the drawing) for multi-function blocks, and at least one vacuum tweezers (7).
- the console (3) is made with the possibility of rotation around the vertical axis of the base (2), which allows you to bring the console into the installation area of the scanning elements and replace the multifunctional blocks and the implementation area of complex actions with the object.
- the console (3) is rotatable with the possibility of rotation around its longitudinal axis, which allows you to properly position the multifunctional unit (1) in the installation area of the scanning elements and the replacement of multifunctional units and in the area of complex actions with the object.
- At least one holder (5) is fixed in the head (4), which is a console, on the free end of which there is a multifunction unit (1) with at least one scanning element.
- one holder may be sufficient.
- An industrial version of a setup for analyzing plates may contain, for example, nine holders, in which case the holders are made of different lengths and are fixed radially in the head with sequential alternation in length. This design of the holders allows the study to be carried out simultaneously at nine different points of the object under study and, in addition, allows the study of samples of a larger size than traditional ones.
- the multifunctional unit is a removable housing, in which are placed: a laser of the required range of illumination, a complex of mirrors, built-in photodiodes, at least one means of processing and transmitting electrical signals, at least one resonator, a micro camera and a data exchange interface.
- the housing of the multifunctional unit is equipped with at least one micro-engine, which provides the ability to change the position of the scanning element relative to the housing along each of the three coordinate axes, as well as around the vertical axis.
- the housing of the multifunctional block can be made integral of at least two parts, one of which carrying the scanning element is pivotally fastened to the other. This allows you to ensure the independent position of at least the part carrying the scanning element relative to other parts of the housing, which in turn increases the accuracy of the positioning of the scanning element.
- the research process begins with loading into trays of removable roll-type cassettes or bobbins (6) (Tare-op-Reel or Tare app Reel Raskeligg) with tapes carrying scanning elements (for example, probes or cantilevers) for automatic loading of these scanning elements into a scanning device .
- cassettes with scanning elements can be simultaneously loaded for analysis of several physical parameters of the object under study.
- such physical parameters can be the surface morphology (topography), analyzed using interatomic forces, the magnetic distribution on the surface of an object, its electrical, chemical, biological and other properties.
- the multifunctional blocks are installed, for which the console (3) rotates around the axis of the base (2) so that the head (4) with holders (5) is in the installation area of the scanning elements and the replacement of the multifunctional blocks.
- the console rotates around the axis of the base, a simultaneous rotation occurs around its longitudinal axis, which ensures that the holders (5) turn to the position at which the landing pads for the multifunctional blocks are in the upper horizontal plane.
- the multifunctional blocks are installed on the corresponding landing platforms that may contain electrical connectors. In this case, the absence of such connectors is possible if a radio signal transmission from multifunctional units to the analyzing device is used.
- the scanning elements are installed in the multifunctional blocks. If simultaneous investigation of various parameters of an object is required, for example, two scanning elements can be installed in a multifunctional unit.
- the console (3) rotates around the axis of the base (2) so that the head (4) with holders (5) is in the area of complex actions with the object (material).
- the console rotates around the axis of the base, it rotates 180 ° around its longitudinal axis, which ensures that the holders (5) rotate to a position in which the multifunctional blocks are in the lower horizontal plane and the scanning elements fixed in them are directly above the surface of the test object.
- the object is directly examined, after which the console (3) rotates around the axis of the base (2) so that the head (4) with holders (5) leaves the zone for implementing complex actions with the object and ends up in the installation zone of the scanning elements and replacements of multifunctional blocks.
- the console rotates around the axis of the base, it rotates simultaneously around its longitudinal axis so that the multifunctional blocks are in the upper horizontal plane.
- an emergency stop occurs, in which the console rotates into the installation area of the scanning elements and replaces the multi-function blocks and turns so that the multi-function blocks are in the upper horizontal plane, after which the manipulator replaces the faulty block with a vacuum the tweezers are installed by the scanning element and the process of object research continues.
- the present invention can be used in materials science, in particular, for the diagnosis of materials of various nature in solving many problems when, on the one hand, a comprehensive, and on the other, affordable (simple and cheap) for a wide range of users, the method of studying samples of materials, for example, biological (including DNA, viruses), semiconductor, oxide and other samples, and it is necessary to study both the surface morphology of the sample and obtain information on its bulk structure, and with high resolution.
- materials science in particular, for the diagnosis of materials of various nature in solving many problems when, on the one hand, a comprehensive, and on the other, affordable (simple and cheap) for a wide range of users, the method of studying samples of materials, for example, biological (including DNA, viruses), semiconductor, oxide and other samples, and it is necessary to study both the surface morphology of the sample and obtain information on its bulk structure, and with high resolution.
- the installation can be implemented using currently available technical means and technologies developed for scanning probe microscopy.
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Radiology & Medical Imaging (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
Изобретение относится к материаловедению, в частности, к прецизионному инструментарию для диагносτгош материалов различной природы. Установка включает сканирующий зондовый микроскоп, по крайней мере, одно сканирующее устройство, содержащее сканирующий элемент, держатель объекта и. по крайней мере, одно средство обработки и передачи электрических сигналов. Также установка снабжена, по крайней мере, одним приемным лотком для бобин с лентами, несущими сканирующие элементы. Цель изобретений - обеспечение универсальности устройства, расширение диапазона размеров исследуемых объектов, снижение времени на исследование, повышение простоты и удобства использований, снижение себестоимости исследования.
Description
Установка для реализации комплексных действий с материалами
Область техники
Изобретение относится к материаловедению, в частности, к прецизионному инструментарию для диагностики материалов различной природы, представленных в виде тонких пленок, и может быть использовано для решения научных и производственно-технологических задач, в частности, в микро- и наноэлектронике, материаловедении, биологии, медицине, а также в биомолекулярной технологии.
Предшествующий уровень техники
В качестве одного из современных научных инструментов для изучения свойств и структур тонких пленок различного происхождения применяются так называемые микроскопы ближнего оптического поля (МБОП), являющиеся разновидностью сканирующих зондовых проборов (СЗП). Особую роль среди СЗП играет атомно-силовой микроскоп. (ACM).
В настоящее время из уровня техники известны устройства, реализующие специализированный подход к реализации комплексного подхода в исследовании материалов на основе анализа тонких пленок из таких материалов [Раtепt US 6,406,795. Juп. 18, 2002]. В этом изобретении представлена установка, включающая сканирующий зондовый микроскоп, сканирующее устройство и держатель объекта (подложку), в качестве которого используется тонкая пленка с возможностью ее углового смещения относительно поддерживающей балки базового слоя. Такая подложка, имея дополнительные степени свободы предоставляет больше возможностей, в частности, наличие тонкой пленки в качестве предметного столика. Однако ее конструкция не является универсальной, сложна в обращении и в производстве и предназначена для решения узко специализированных задач.
Наиболее близкими являются сканирующие зондовые микроскопы (СЗМ) фирмы Vеесо. В мире работает более восьми тысяч сканирующих зондовых микроскопов Vеесо. Эта продукция ориентирована на широкий круг приложений: материаловедение, изучение и создание полупроводников и полимерных материалов, медико-биологические исследования. Наиболее универсальный СЗМ Vеесо, применяемый во всех областях исследований, - микроскоп высокого разрешения МultiМоdе с блоком управляющей электроники Nanoscope V. Специально для исследований полупроводниковых материалов разработана серия СЗМ Dimепsiоп. Приборы имеют специальный вакуумный
держатель для пластин, а также моторизованное и программируемое основание. На СЗМ Dimепsiоп устанавливаются дополнительные электронные модули, при помощи которых реализуются методы сканирующей емкостной микроскопии, микроскопии сопротивления растекания, туннельной атомно-силовой микроскопии. Для нанолитографии выпускается специальный гибридный сканер с системой датчиков и обратной связи, обеспечивающей высокую степень линеаризации по трем осям, причем для нанолитографии и наноманипуляций разработано специальное программное обеспечение. Для работы в условиях контролируемой среды выпускается СЗМ Епvirоsсоре, снабженный камерой для создания вакуума (до 10-5 Торр). Для медико-биологических исследований выпущен атомно-силовой микроскоп принципиально нового дизайна Вiоsсоре II, позволяющий совмещать СЗМ практически со всеми оптическими методиками без ущерба для последних. CP-P и Саlibег — приборы нижней ценовой категории - также отвечают стандартам качества и рассчитаны на широкий спектр приложений.
Однако, для выше указанных устройств можно выделить следующие недостатки: сложность перенастройки при исследовании различных материалов, в частности, при необходимости исследования после физико-химических свойств неорганических материалов свойств биологических материалов, наличие в настройке значительного количества ручных операций, в результате чего увеличивается время, необходимое на одно исследование, и, соответственно, возрастает его себестоимость.
Раскрытие изобретения.
Техническими задачами, на решение которых направлено настоящее изобретение, являются: обеспечение универсальности устройства, расширение диапазона размеров исследуемых объектов при снижении времени на исследование одного объекта, повышение простоты и удобства использования и снижение себестоимости исследования. Кроме того, предлагаемое изобретение направлено на решение задачи автоматизации процесса комплексных действий с материалами, в частности, таких операций, как выбор, установка и смена сканирующего элемента. Поставленные задачи решаются за счет того, что установка для реализации комплексных действий с материалами (объектами), включающая сканирующий зондовый микроскоп, по крайней мере, одно сканирующее устройство, держатель объекта и, по крайней мере, одно средство обработки и передачи электрических сигналов, содержит, по крайней мере, один приемный лоток для бобин с лентами, несущими сканирующие элементы. При этом
сканирующее устройство может быть выполнено в виде закрепленной на основании консоли, установленной с возможностью поворота вокруг ее продольной оси и возможностью поворота вокруг вертикальной оси основания. На свободном конце консоли может быть закреплена головка с, по крайней мере, одним держателем, выполненным в виде консоли, на свободном конце которого размещен многофункциональный блок с, по крайней мере, одним сканирующим элементом, а установка может быть снабжена, по крайней мере, одним приемным лотком для многофункциональных блоков, и, по крайней мере, одним вакуумным пинцетом.
Многофункциональный блок выполнен в виде съемного корпуса с размещенным в нем лазером необходимого диапазона свечения, комплексом зеркал, встроенными фотодиодами, по крайней мере, одним средством обработки и передачи электрических сигналов, по крайней мере, одним резонатором, по крайней мере, одним микро-движком с возможностью изменения положения сканирующего элемента относительно корпуса по каждой из трех осей координат и вокруг вертикальной оси, микрокамеру и интерфейс обмена данными. Корпус многофункционального блока может быть выполнен составным с возможностью обеспечения независимого положения, по крайней мере, части, несущей сканирующий элемент, относительно других частей корпуса. При этом одна часть корпуса многофункционального блока выполнена с возможностью непосредственной фиксации (контакта) своего положения относительно материала (объекта) или предмета, на котором может находиться материал (объект). Независимое положение, по крайней мере, части, несущей сканирующий элемент, может осуществляться посредством шарнирного соединения.
Держатели блоков могут быть выполнены разновеликими по длине и закреплены в головке радиально с последовательным чередованием по длине.
В качестве сканирующего элемента возможно использовать кантилевер, размещенный на ленте или в контейнере.
Кроме того, установка может быть дополнительно снабжена экраном, изолирующим зону реализации комплексных действий с материалами.
Краткое описание чертежей.
На фиг.1 изображен общий вид установки для реализации комплексных действий с материалами, где (1) - многофункциональный блок, (2) - основание, (3) - консоль, (4) - головка, (5) - держатель, (6) - лоток для съемных кассет со сканирующими элементами,
(7) - вакуумный пинцет для установки сканирующих элементов, (8) - вакуумный пинцет для установки многофункциональных блоков.
Лучший вариант осуществления изобретения.
Установка для реализации комплексных действий с материалами включает сканирующий зондовый микроскоп (на чертеже не показан), держатель объекта (на чертеже не показан), по крайней мере, одно средство обработки и передачи электрических сигналов (на чертеже не показано) и сканирующее устройство.
Сканирующее устройство установки для реализации комплексных действий с материалами включает основание (2), на котором закреплена, по крайней мере, одна консоль (3). На свободном конце консоли (3) закреплена головка (4) с, по крайней мере, одним держателем (5), на котором размещен многофункциональный блок (1) с, по крайней мере, одним сканирующим элементом (на чертеже не показан). Установка снабжена, по крайней мере, одним приемным лотком (6) для кассет со сканирующими элементами, по крайней мере, одним приемным лотком (на чертеже не показан) для многофункциональных блоков, и, по крайней мере, одним вакуумным пинцетом (7).
Консоль (3) выполнена с возможностью поворота вокруг вертикальной оси основания (2), что позволяет подводить консоль в зону установки сканирующих элементов и замены многофункциональных блоков и зону реализации комплексных действий с объектом. Кроме того, консоль (3) выполнена поворотной с возможностью вращения вокруг ее продольной оси, что позволяет должным образом позиционировать многофункциональный блок (1) в зоне установки сканирующих элементов и замены многофункциональных блоков и в зоне реализации комплексных действий с объектом.
В головке (4) закрепляется, по крайней мере, один держатель (5), который представляет собой консоль, на свободном конце которой размещен многофункциональный блок (1) с, по крайней мере, одним сканирующим элементом. Для лабораторного варианта установки может быть достаточно одного держателя. Промышленный вариант установки для анализа пластин может содержать, например, девять держателей, в этом случае держатели выполняются разновеликими по длине и закрепляются в головке радиально с последовательным чередованием по длине. Данная конструкция держателей позволяет проводить исследование одновременно в девяти различных точках исследуемого объекта и, кроме того, позволяет исследовать образцы большего, по сравнению с традиционными, размера.
Многофункциональный блок представляет собой съемный корпус, в котором размещены: лазер необходимого диапазона свечения, комплекс зеркал, встроенные
фотодиоды, по крайней мере, одно средство обработки и передачи электрических сигналов, по крайней мере, один резонатор, микрокамеру и интерфейс обмена данными. Кроме того, корпус многофункционального блока снабжен, по крайней мере, одним микро-движком, обеспечивающим возможность изменения положения сканирующего элемента относительно корпуса по каждой из трех осей координат, а также вокруг вертикальной оси. При этом, корпус многофункционального блока может выполняться составным из, по крайней мере, двух частей, одна из которых, несущая сканирующий элемент, шарнирно скреплена с другой. Это позволяет обеспечить независимое положение, по крайней мере, части, несущей сканирующий элемент, относительно других частей корпуса, что в свою очередь повышает точность позиционирования сканирующего элемента.
Установка работает следующим образом.
Процесс исследования начинается с загрузки в лотки съемных кассет рулонного типа или бобин (6) (Таре-оп-Rееl или Таре апd Rееl Расkаgiпg) с лентами, несущими сканирующие элементы (например, зонды или кантилеверы) для автоматической загрузки этих сканирующих элементов в сканирующее устройство. При этом могут быть одновременно загружены кассеты со сканирующими элементами для анализа сразу нескольких физических параметров исследуемого объекта. В частности, такими физическими параметрами могут быть морфология (топография) поверхности, анализируемая с использованием сил межатомного взаимодействия, магнитное распределение на поверхности объекта, его электрические, химические, биологические и иные свойства.
Кроме того, осуществляется установка исследуемого объекта, которая может происходить как одновременно, так и последовательно с загрузкой съемных кассет.
Затем происходит установка многофункциональных блоков, для чего консоль (3) поворачивается вокруг оси основания (2) таким образом, чтобы головка (4) с держателями (5) оказалась в зоне установки сканирующих элементов и замены многофункциональных блоков. При этом во время поворота консоли вокруг оси основания происходит одновременный поворот вокруг ее продольной оси, что обеспечивает разворот держателей (5) в позицию, при которой посадочные площадки под многофункциональные блоки оказываются в верхней горизонтальной плоскости. После остановки консоли и разворота держателей с помощью вакуумного пинцета (8) происходит установка многофункциональных блоков на соответствующие посадочные
площадки, которые могут содержать электрические разъемы. При этом возможно отсутствие таких разъемов, если используется радиопередача сигнала от многофункциональных блоков к анализирующему устройству. Затем посредством вакуумного пинцета (7) происходит установка в многофункциональные блоки сканирующих элементов. В случае, если требуется одновременное исследование различных параметров объекта, в многофункциональный блок могут быть установлены, например, два сканирующих элемента.
После установки многофункциональных блоков и сканирующих элементов консоль (3) поворачивается вокруг оси основания (2) таким образом, чтобы головка (4) с держателями (5) оказалась в зоне реализации комплексных действий с объектом (материалом). При этом во время поворота консоли вокруг оси основания происходит одновременный поворот вокруг ее продольной оси на 180°, что обеспечивает разворот держателей (5) в позицию, при которой многофункциональные блоки оказываются в нижней горизонтальной плоскости и закрепленные в них сканирующие элементы - непосредственно над поверхностью исследуемого объекта.
После этого происходит непосредственное исследование объекта, по окончании которого консоль (3) поворачивается вокруг оси основания (2) таким образом, чтобы головка (4) с держателями (5) вышла из зоны реализации комплексных действий с объектом и оказалась в зоне установки сканирующих элементов и замены многофункциональных блоков. При этом во время поворота консоли вокруг оси основания происходит одновременный поворот вокруг ее продольной оси с тем, чтобы многофункциональные блоки оказались в верхней горизонтальной плоскости.
В случае обнаружения неисправности какого-либо из многофункциональных блоков происходит аварийная остановка, при которой консоль поворачивается в зону установки сканирующих элементов и замены многофункциональных блоков и разворачивается так, чтобы многофункциональные блоки оказались в верхней горизонтальной плоскости, после чего манипулятор заменяет неисправный блок, с помощью вакуумного пинцета устанавливается сканирующий элемент и процесс исследования объекта продолжается.
Промышленная применимость
Настоящее изобретение может быть использовано в материаловедении, в частности, для диагностики материалов различной природы при решении многих задач, когда с одной стороны необходим комплексный, а с другой - доступный (простой и
дешевый) для широкого круга пользователей метод изучения образцов материалов, например, биологических (в том числе ДНК, вирусов), полупроводниковых, оксидных и других образцов, и необходимо изучить как морфологию поверхности образца, так и получить информацию по его объемной структуре, причем с высоким разрешением.
Установка может быть реализована с помощью имеющихся на сегодняшний день технических средств и технологий, разработанных для сканирующей зондовой микроскопии.
Claims
1. Установка для реализации комплексных действий с материалами (объектами), включающая сканирующий зондовый микроскоп, по крайней мере, одно сканирующее устройство, содержащее, по крайней мере, один сканирующий элемент, держатель объекта и, по крайней мере, одно средство обработки и передачи электрических сигналов, отличающаяся тем, что она содержит, по крайней мере, один приемный лоток для бобин с лентами, несущими сканирующие элементы.
2. Установка по п.l, отличающаяся тем, что сканирующее устройство выполнено в виде закрепленной на основании консоли, установленной с возможностью поворота вокруг ее продольной оси и возможностью поворота вокруг вертикальной оси основания.
3. Установка по п.2, отличающаяся тем, что на свободном конце консоли закреплена головка с, по крайней мере, одним держателем, выполненным в виде консоли, на свободном конце которого размещен многофункциональный блок с, по крайней мере, одним сканирующим элементом.
4. Установка по п.З, отличающаяся тем, что она снабжена, по крайней мере, одним приемным лотком для многофункциональных блоков, и, по крайней мере, одним вакуумным пинцетом.
5. Установка по п.З, отличающаяся тем, что многофункциональный блок выполнен в виде съемного корпуса с размещенным в нем лазером необходимого диапазона свечения, комплексом зеркал, встроенными фотодиодами, по крайней мере, одним средством обработки и передачи электрических сигналов, по крайней мере, одним резонатором, по крайней мере, одним микро-движком с возможностью изменения положения сканирующего элемента относительно корпуса по каждой из трех осей координат и вокруг вертикальной оси, микрокамеру и интерфейс обмена данными.
6. Установка по п.5, отличающаяся тем, что корпус многофункционального блока выполнен составным с возможностью обеспечения независимого положения, по крайней мере, части, несущей сканирующий элемент, относительно других частей корпуса.
7. Установка по п.5, отличающаяся тем, что, по крайней мере, одна часть корпуса многофункционального блока выполнена с возможностью непосредственной фиксации (контакта) своего положения относительно материала (объекта) или предмета, на котором может находиться материал (объект).
8. Установка по п.6, отличающаяся тем, что независимое положение, по крайней мере, части, несущей сканирующий элемент, осуществляется посредством шарнирного соединения.
9. Установка по п.l, отличающаяся тем, что держатели блоков выполнены разновеликими по длине и закреплены в головке радиально с последовательным чередованием по длине.
10. Установка по п.l, отличающаяся тем, что в качестве сканирующего элемента используют кантилевер, размещенный на ленте.
11. Установка по п.l, отличающаяся тем, что в качестве сканирующего элемента используют кантилевер, размещенный в контейнере.
12. Установка по п.l, отличающаяся тем, что она дополнительно снабжена экраном, изолирующим зону реализации комплексных действий с материалами.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2008104393/28A RU2446403C2 (ru) | 2008-02-11 | 2008-02-11 | Установка для реализации комплексных действий с материалами |
RU2008104393 | 2008-02-11 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
WO2009102238A1 true WO2009102238A1 (ru) | 2009-08-20 |
Family
ID=40957153
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
PCT/RU2009/000059 WO2009102238A1 (ru) | 2008-02-11 | 2009-02-10 | Установка для реализации комплексных действий с материалами |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2446403C2 (ru) |
WO (1) | WO2009102238A1 (ru) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015019090A1 (en) * | 2013-08-09 | 2015-02-12 | Infinitesima Limited | Probe and sample exchange mechanism for a scanning probe microscope |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5253515A (en) * | 1990-03-01 | 1993-10-19 | Olympus Optical Co., Ltd. | Atomic probe microscope and cantilever unit for use in the microscope |
US20030068253A1 (en) * | 2001-01-31 | 2003-04-10 | Bass Jay K. | Automation-optimized microarray package |
US20040250608A1 (en) * | 1997-10-16 | 2004-12-16 | Ray David J. | Removable probe sensor assembly and scanning probe microscope |
US20070089498A1 (en) * | 2005-09-29 | 2007-04-26 | Chanmin Su | Method and apparatus of high speed property mapping |
RU2305752C1 (ru) * | 2006-01-10 | 2007-09-10 | Открытое акционерное общество "Татнефть" им. В.Д. Шашина | Пакер |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2306524C1 (ru) * | 2006-06-29 | 2007-09-20 | ЗАО "Нанотехнология-МДТ" | Многозондовый модуль для сканирующего микроскопа |
-
2008
- 2008-02-11 RU RU2008104393/28A patent/RU2446403C2/ru not_active IP Right Cessation
-
2009
- 2009-02-10 WO PCT/RU2009/000059 patent/WO2009102238A1/ru active Application Filing
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5253515A (en) * | 1990-03-01 | 1993-10-19 | Olympus Optical Co., Ltd. | Atomic probe microscope and cantilever unit for use in the microscope |
US20040250608A1 (en) * | 1997-10-16 | 2004-12-16 | Ray David J. | Removable probe sensor assembly and scanning probe microscope |
US20030068253A1 (en) * | 2001-01-31 | 2003-04-10 | Bass Jay K. | Automation-optimized microarray package |
US20070089498A1 (en) * | 2005-09-29 | 2007-04-26 | Chanmin Su | Method and apparatus of high speed property mapping |
RU2305752C1 (ru) * | 2006-01-10 | 2007-09-10 | Открытое акционерное общество "Татнефть" им. В.Д. Шашина | Пакер |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015019090A1 (en) * | 2013-08-09 | 2015-02-12 | Infinitesima Limited | Probe and sample exchange mechanism for a scanning probe microscope |
US9784760B2 (en) | 2013-08-09 | 2017-10-10 | Infinitesima Limited | Probe and sample exchange mechanism |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
RU2446403C2 (ru) | 2012-03-27 |
RU2008104393A (ru) | 2009-08-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
AU2021215255B2 (en) | Automated method and system for obtaining and preparing microorganism sample for both identification and antibiotic susceptibility tests | |
JP5678155B2 (ja) | ナノメカニカルテストシステム | |
TWI792862B (zh) | 自動化製備生物樣本之方法 | |
US7848489B1 (en) | X-ray diffractometer having co-exiting stages optimized for single crystal and bulk diffraction | |
US9101922B2 (en) | Methods for using a pipetting device with independently movable pipette units | |
US20110195850A1 (en) | Compact nanofabrication apparatus | |
Saketi et al. | A flexible microrobotic platform for handling microscale specimens of fibrous materials for microscopic studies | |
JP5205234B2 (ja) | 微小試料採取装置,検査解析システム、および検査解析方法 | |
US20220326161A1 (en) | Apparatuses for analysing the optical properties of a sample | |
US20130099134A1 (en) | Manipulator carrier for electron microscopes | |
WO2009102238A1 (ru) | Установка для реализации комплексных действий с материалами | |
EP2223179A1 (en) | Method for taking a plurality of samples | |
CN111381355B (zh) | 光学成像装置和方法 | |
RU2380785C2 (ru) | Сверхвысоковакуумная транспортная система | |
WO2022002527A1 (en) | Microscope apparatus | |
JP2004111097A (ja) | 集束イオンビーム装置用試料ステージ及び薄片試料の形成方法 | |
US20090206970A1 (en) | Device for coupling an attachment | |
JP7506071B2 (ja) | 自動分析装置 | |
US20230373107A1 (en) | Gripping apparatus for gripping sample container | |
KR20230165653A (ko) | 슬라이드 글래스 이송 로봇 및 그 제어 방법 | |
KR20240035793A (ko) | 하전 입자빔 현미경에서의 샘플 전달, 데이터 수집 및 분석, 그리고 그 자동화 | |
JP2007233248A (ja) | 光学観察装置 | |
JP2016095228A (ja) | 走査型プローブ顕微鏡を用いた作業方法および走査型プローブ顕微鏡 | |
JPH03157610A (ja) | 顕微鏡用ウエハーホルダー |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
121 | Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application |
Ref document number: 09710611 Country of ref document: EP Kind code of ref document: A1 |
|
NENP | Non-entry into the national phase |
Ref country code: DE |
|
122 | Ep: pct application non-entry in european phase |
Ref document number: 09710611 Country of ref document: EP Kind code of ref document: A1 |