WO2009101806A1 - 電気二重層キャパシタおよびその製造方法 - Google Patents

電気二重層キャパシタおよびその製造方法 Download PDF

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WO2009101806A1
WO2009101806A1 PCT/JP2009/000554 JP2009000554W WO2009101806A1 WO 2009101806 A1 WO2009101806 A1 WO 2009101806A1 JP 2009000554 W JP2009000554 W JP 2009000554W WO 2009101806 A1 WO2009101806 A1 WO 2009101806A1
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electric double
double layer
cathode
layer capacitor
anode
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Yasuhiro Hashimoto
Takuma Asari
Hironori Kumagai
Shigeo Hayashi
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Panasonic Corporation
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Definitions

  • the present invention relates to an electric double layer capacitor using fine fibers such as carbon nanotubes.
  • nanowires and nanotubes examples include silver, silicon, gold, copper, zinc oxide, titanium oxide, and gallium nitride, carbon nanotubes as nanotubes, and carbon nanohorns as nanohorns.
  • Carbon nanotubes have a structure in which a graphite sheet is rolled into a cylindrical shape, a diameter of about 0.7 to 100 nm, a length of several ⁇ m to several mm, and a hollow structure.
  • the electrical properties of carbon nanotubes have the characteristic of exhibiting semiconducting properties from metals depending on the diameter and chirality. Furthermore, since it does not have dangling bonds, it is chemically stable. It is also attracting attention as a material with low environmental impact because it consists of carbon atoms only.
  • carbon nanotubes have the properties described above, they are expected to be applied as electron emission sources for flat panel displays, electrode materials for lithium batteries, electrode materials for electric double layer capacitors, and probe probes. Yes.
  • Carbon nanotubes are synthesized by an arc discharge method using a carbon electrode, a thermal decomposition method of benzene, or a laser deposition method.
  • graphite is synthesized together. Therefore, when the carbon nanotube is applied to the electron source, the battery electrode, the probe probe, etc., it is necessary to remove the graphite.
  • carbon nanotubes of various lengths are oriented in random directions, the characteristics as an electron emission source are limited.
  • Electric double layer capacitors are capacitors that use an electric double layer generated between the active material and the electrolyte, and have been used as backup power sources. Is expected. Conventionally, what used activated carbon as an active material of an electric double layer capacitor is known widely (for example, refer to patent documents 1). However, the external surface area is 2600-3000m 2 / g, which is much larger than activated carbon, and it has extremely tough mechanical properties and excellent electronic properties. Therefore, electric double layer capacitors using carbon nanotubes as active materials are attracting attention. Has been.
  • FIG. 1 shows an example of a structure for illustrating an electrical operation principle of a general electric double layer capacitor.
  • the electric double layer capacitor 100 includes an anode 111 and a cathode 112.
  • the anode 111 includes a substrate 107 and an active material layer 108 provided on the substrate, and the cathode 112 includes a substrate 104 and an active material layer 105 provided on the substrate.
  • the anode 111 and the cathode 112 are in the electrolytic solution 106.
  • an electric field is generated between the anode 111 and the cathode 112 and a positive charge 109 is generated inside the active material layer 108 of the anode 111 due to the effect of the electric field.
  • the anions 110 are attracted to the anode 111.
  • a negative charge 103 is generated inside the active material layer 105 of the cathode 112, and the cation 102 is attracted to the cathode 112. In this way, electricity is stored.
  • the electric field generated by applying the voltage between the anode 111 and the cathode 111 disappears when the anion 110 is adsorbed on the anode 111 and the cation 102 is adsorbed on the cathode 112, so that the electric field between the anode 111 and the cathode 112 disappears.
  • an electric double layer is generated between the anode 111 and the anion 110, and between the cathode 112 and the cation 102, and the sum of the potential differences between these two electric double layers is the potential difference between the two electrodes.
  • Fig. 2 shows an electrical equivalent circuit corresponding to Fig. 1.
  • the electric double layer capacitor has a structure in which two capacitors 202 and 203 are connected in series.
  • the capacity of the electric double layer formed on the anode is C1
  • the potential difference generated in the electric double layer of the anode is V1
  • the capacity of the electric double layer formed on the cathode is C2
  • the capacitances C1 and C2 of the electric double layer are determined. Therefore, V1 and V2 cannot be changed independently and have a correlation value.
  • the voltage that can be applied to the anode and cathode there is an upper limit to the voltage that can be applied to the anode and cathode. This is because when the voltage increases, for example, the electrolytic solution decomposes. For example, as is well known, water is decomposed when a voltage of about 1 V is applied between the anode and the cathode. Therefore, in a capacitor using water, a voltage difference of 1 V or more cannot be generated between the anode and the cathode. .
  • Patent Document 1 discloses that in an electric double layer capacitor whose active material is activated carbon, the electrode amount of the anode electrode body and the electrode amount of the cathode electrode body are made different so that a larger voltage can be applied. Has been. Japanese Patent Publication No. 2-847
  • Patent Document 1 in an electric double layer capacitor, the voltage applied to the anode and the cathode is divided by about 1/2 with respect to the neutral point. It is described that the decomposition voltage is different between the anode side and the cathode side, and that the optimal electrode potential is balanced by making the electrode amount different between the anode side and the cathode side.
  • Patent Document 1 is an electric double layer capacitor using activated carbon as an active material, and the method for maximizing the performance of the capacitor here cannot be directly applied to an electric double layer capacitor using a fine fiber as an active material.
  • An object of the present invention is to provide an electric double layer capacitor using a fine fiber as an active material, and enabling application of a voltage that draws out the performance of the capacitor.
  • an anode body and a cathode body are disposed to face each other with a separator interposed therebetween, and a space between the anode body and the cathode body is filled with an electrolytic solution.
  • an electric double layer capacitor wherein the anode body and the cathode body are each composed of a substrate and a plurality of conductive fine fibers erected so that one end is connected to the surface of the substrate.
  • the capacity of the electric double layer formed on the body is C1
  • the maximum voltage in the electric double layer formed on the anode body is E1
  • the capacity of the electric double layer formed on the cathode body is C2
  • the electric capacity formed on the cathode body is C2.
  • the present invention is also a method for manufacturing the electric double layer capacitor, wherein the maximum voltage in the electric double layer formed on the anode body is E1, the maximum voltage in the electric double layer formed on the cathode body is E2, and the electrolysis In the solvent and electrolyte constituting the liquid, when the average molecular diameter of the solvent is A, the ion diameter of the cation is B1, and the ion diameter of the anion is B2, the average diameter fp of the fine fiber in the anode body, The average length lp of fine fibers, the number density xp of the fine fibers per unit area, and the average diameter fn of the fine fibers, the average length ln of the fine fibers, and the fine fibers per unit area in the cathode body Is the following relational expression
  • the electric double layer capacitor of the present invention it is possible to optimize the applied voltage and extract larger energy.
  • the figure which shows an example of a general electric double layer capacitor The figure which shows an example of the electrical equivalent circuit of a general electric double layer capacitor.
  • the conceptual diagram of the electric double layer capacitor of this embodiment The figure which shows the relationship between CNT outermost shell surface area and the capacity
  • E1 and E2 are values determined by the electrode configuration and the electrolyte material. E1 and E2 may be values determined by measurement as voltage values at which the electrode body starts changing (drying and alteration of the electrolytic solution).
  • XE2 ⁇ E1 the applied voltage V1 + V2 does not reach the theoretically maximum E1 + E2.
  • U 1/2 ⁇ C ⁇ V 2 , where U is the energy stored in the electric double layer capacitor, C is the capacitance of the electric double layer capacitor, and V is the applied voltage.
  • C C1 ⁇ C2 / (C1 + C2)
  • V V1 + V2. 2 * C1 * C2 / (C1 + C2) * (V1 + V2) 2 .
  • the difference in capacity may be noticeable.
  • the sizes of cations and anions may be greatly different.
  • the capacity C varies greatly depending on the ion size according to the above formula, and as a result, the capacity of the anode and the cathode varies.
  • activated carbon is used as the active material, although there is a capacity difference between the anode and the cathode, the difference is not as great as when fine fibers are used as the active material.
  • the present invention provides an electric double layer in which an anode electrode body and a cathode electrode body are arranged to face each other with a separator interposed therebetween, and a space between the anode electrode body and the cathode electrode body is filled with an electrolyte solution
  • Each of the anode electrode body and the cathode electrode body includes a substrate and a plurality of fine fibers erected so that one end is connected to the surface of the substrate, and is formed in the anode body.
  • the capacity of the electric double layer is C1
  • the maximum voltage in the electric double layer formed in the anode body is E1
  • the capacity of the electric double layer formed in the cathode body is C2
  • the maximum voltage in the electric double layer formed in the cathode body is When E2, the following relational expression: Formula (1) 0.9 ⁇ E1 / E2 ⁇ C2 / C1 ⁇ 1.1 ⁇ E1 / E2 It is set as the structure which satisfy
  • Equation (1) is an optimum value, but considering variations in electrode capacity and manufacturing, Equation (1) is within a suitable range.
  • an activated carbon electrode it is conceivable to adjust its capacitance by adjusting its thickness.
  • the electrical resistance and ionic resistance generated in the activated carbon portion are increased, which causes a problem that the power density is significantly reduced.
  • a method for theoretically obtaining C2 / C1 in the above equation will be examined.
  • the capacity per unit area as the anode (the area refers to the area of the portion where ions can be adsorbed) is Cp, and the capacity per unit area as the cathode (the area is the area of the portion where ions can be adsorbed)
  • the average molecular diameter of the solvent is A
  • the cation ion diameter is B1
  • the anion ion diameter is B2.
  • the area where ions can be adsorbed in the fine fibers of the anode is Sp
  • the area where ions can be adsorbed in the fine fibers of the cathode is Sn
  • the average diameter of carbon nanotubes of the anode is fp
  • the average length of carbon nanotubes is lp
  • per unit area Where xp is the number density of carbon nanotubes, fn is the average diameter of carbon nanotubes at the cathode, ln is the average length of carbon nanotubes, and xn is the number density of carbon nanotubes per unit area,
  • C2 / C1 dp / dn ⁇ IP / IN ⁇ (fn ⁇ ln ⁇ xn) /
  • the fine fibers are formed in the anode body and the cathode body so as to satisfy the above.
  • the substrate is preferably a conductor, and for example, a substrate made of silicon, stainless steel, aluminum, or copper can be used.
  • the fine fibers preferably have a diameter of 0.1 nm to 100 nm.
  • the fine fiber is a carbon nanotube. Carbon nanotubes can be formed on the substrate via a catalytic metal.
  • the catalyst metal can be selected from the group consisting of nickel, iron, cobalt, zinc, molybdenum, aluminum, gold, silver, copper and combinations thereof.
  • FIG. 3 is a conceptual diagram of the electric double layer capacitor of the present embodiment.
  • the electric double layer capacitor 400 includes a separator 405, and an anode body 406 and a cathode body 407 disposed to face each other with the separator 405 interposed therebetween.
  • the anode body 406 includes a substrate 401 and a plurality of fine fibers 402 erected on the substrate 401.
  • the cathode body 407 includes a substrate 403 and a plurality of fine fibers 404 standing on the substrate 403.
  • the lengths of the fine fiber 402 and the fine fiber 403 are adjusted based on the formula (4), and the relationship of the formula (1) is established.
  • the electric double layer capacitor satisfying the relationship of the formula (1) that is, the electric double layer that makes the best use of the performance of the electrode A capacitor is obtained.
  • the density of the fine fibers may be changed based on the formula (4). Both length and density may be manipulated. Further, the method for optimizing the capacities of C1 and C2 is not limited as long as the concept of the present invention is followed.
  • the substrates 401 and 403 are conductive. For example, a conductive material made of silicon, stainless steel, iron, aluminum, nickel, or copper can be used, but is not limited thereto. Aluminum is particularly preferable.
  • the fine fibers 402 and the fine fibers 403 preferably have a diameter of 0.1 to 100 nm.
  • the fine fiber 402 and the fine fiber 403 can be erected at a high density on the substrate 401 and the substrate 403, and an electronic device having excellent characteristics can be obtained. It is because it can be set as a component.
  • the fine fibers 402 and the fine fibers 403 include, but are not limited to, nanowires made of silver, gold, or copper, carbon nanotubes, and carbon nanohorns.
  • Carbon nanotubes are extremely fine tube (tube) -like substances having a hole diameter of nanometers and formed by bonding carbon atoms in a network.
  • the carbon nanotube When the carbon nanotube is used, it may be a single layer, that is, a single tube, or may be a multilayer, that is, a concentric plurality of different diameter tubes.
  • the diameter of the carbon nanotube is not limited, but considering that it is used for an electrode of an electric double layer capacitor, lithium ions having an ionic radius of 0.074 nm and electrolyte ions having an ionic radius of about 0.5 nm are present in the inside thereof. Since it is assumed to enter, the range of 0.1 nm to 10 nm is preferable, and the range of 0.1 nm to 3 nm is more preferable.
  • the carbon nanotubes may be formed by a transfer method.
  • a method of forming directly on the substrate 401 and the substrate 403 is preferable from the viewpoint of obtaining a carbon nanotube with good orientation.
  • the carbon nanotubes are synthesized through catalytic metal particles attached to the surfaces of the substrate 401 and the substrate 403.
  • the catalyst metal examples include nickel, iron, cobalt, zinc, molybdenum, gold, silver, copper, and combinations thereof, and may be appropriately selected depending on a desired carbon nanotube diameter and a synthesis method thereof.
  • the catalyst metal particle diameter is preferably 1 to 100 nm.
  • Methods for synthesizing carbon nanotubes include vapor phase chemical vapor deposition (CVD), laser ablation, arc discharge, electrolytic synthesis in solution, etc.
  • CVD vapor phase chemical vapor deposition
  • laser ablation arc discharge
  • electrolytic synthesis in solution etc.
  • carbon nanotubes are synthesized directly on substrate 401 and substrate 403, carbon nanotubes are synthesized.
  • the CVD method is adopted.
  • CVD methods There are two main types of CVD methods: a thermal CVD method that thermally decomposes a source gas and a plasma CVD method that decomposes a source gas with plasma.
  • Carbon nanotubes can be synthesized by a CVD method at a temperature of 550 ° C. to 750 ° C. and a pressure of 200 Pa.
  • Carbon nanotubes are synthesized by flowing hydrocarbon gas such as methane, ethylene and acetylene or alcohol such as methanol as a carbon source in the chamber and directly decomposing the carbon source on a substrate on which catalytic metal particles are mounted. Furthermore, a gas such as argon, nitrogen, or hydrogen may be used as a carrier gas for the carbon source.
  • the growth time of the carbon nanotube is controlled according to the length of the target carbon nanotube. Note that the growth rate varies depending on the growth temperature, gas pressure, and the type of carbon source to be used, so the growth time cannot be generally specified. However, within the range of the above conditions, for example, growth occurs to grow carbon nanotubes having a length of 100 ⁇ m. The time can be about 10 minutes to 4 hours.
  • the method of adjusting the length of the fine fiber was mentioned. However, if the method of growing the fine fiber is a CVD method, the length can be adjusted by controlling the growth time. Can do.
  • the density of the fine fibers may be adjusted as a method for adjusting the capacity of the anode and the cathode. In this case, since the carbon nanotubes grow from the catalyst formed on the substrate, the density of the catalyst is reduced. Just control.
  • the concentration of the catalyst particles present in the coating solution may be adjusted.
  • the solvent of the electrolytic solution for producing the electric double layer capacitor include propylene carbonate, ethylene carbonate, butyl carbonate, ⁇ -butyrolactone, ⁇ -valerolactone, N-methyl-2-pyrrolidone, N, N-dimethylformamide.
  • electrolyte of the electrolytic solution for example, one or more selected from tetraethylammonium tetrafluoroborate, triethylmethylammonium tetrafluoroborate, triethylmethylammonium bisimide, tetraethylammonium hexafluorophosphate, tetraethylammonium bisimide Can be used.
  • the solvated cation is larger than the solvated anion, so the anode and cathode have the same configuration. Then, the anode capacity is larger than the cathode capacity.
  • the electric double layer capacitor of the present invention in order to optimize the capacity ratio between the anode and the cathode, if the withstand voltage of the anode and the cathode is the same, is the length of the cathode fine fiber longer than that of the anode?
  • the electrolytic solution one or a plurality of combinations selected from imidazolium-based, pyridinium-based, aliphatic-based, pyrrolidinium-based, ammonium-based, phosphonium-based, and sulfonium-based ionic liquids may be used.
  • the ionic liquid corresponds to the electrolyte and no solvent is used. Therefore, the average molecular diameter A of the solvent is 0 in the formula (2).
  • Example 1 in the electric double layer capacitor of the above embodiment, the capacitance was measured for an electric double layer capacitor in which a silicon substrate was used as a substrate and carbon nanotubes were grown as fine fibers.
  • a 0.5 cm square silicon substrate having a thickness of 500 ⁇ m was prepared and cleaned.
  • a cleaning solution in which DK Beakrya (Daiichi Kogyo Seiyaku Co., Ltd.) was dissolved in pure water at a concentration of 3 wt% was kept at 40 ° C. and washed by immersing the substrate in it.
  • the substrate was immersed in the cleaning solution for 5 minutes, and then rinsed with pure water for 5 minutes with an ultrasonic cleaner. The rinse was repeated 3 times. After rinsing, N 2 blow was performed to dry the substrate.
  • the substrate was set in an EB vapor deposition machine, and Al was deposited as a catalyst material at a layer thickness of 3 nm, and further Fe was deposited at a layer thickness of 1 nm.
  • the degree of vacuum before vapor deposition was 1.2E ⁇ 5 Pa.
  • the deposition rate of Al and Fe was 1 nm / s.
  • the substrate was heat-treated in vacuum at 300 ° C. for 30 minutes to form catalytic metal particles. At this stage, when the diameter of the catalyst metal particles was measured by AFM, for example, a numerical value of 2.8 nm on average was obtained.
  • carbon nanotubes having an average length of 300 ⁇ m aligned vertically from the substrate could be synthesized.
  • information such as the diameter of the carbon nanotube can be obtained. For example, it was confirmed that it was a mixture of single-walled carbon nanotubes having a diameter of 3 nm and double-walled carbon nanotubes.
  • Carbon nanotubes having a length of about 200 ⁇ m to 1000 ⁇ m were formed by changing the growth time, and the capacitance of the capacitor was measured.
  • about 30 ml of the electrolyte was placed in a 50 ml beaker.
  • As the electrolytic solution a solution obtained by dissolving tetraethylammonium tetrafluoroborate in propylene carbonate was used. The concentration of tetraethylammonium tetrafluoroborate was 0.7 mol / l.
  • a 7 mm square substrate on which carbon nanotubes were grown in the beaker was used as a working electrode, an activated carbon electrode having a capacity sufficiently larger than that of the working electrode was used as an auxiliary electrode, and a reference electrode of Ag / Ag + was used.
  • the working electrode voltage was monitored relative to the reference electrode.
  • Table 1 shows the results of determining the capacity of the anode (+1.0 V charge), the capacity of the cathode ( ⁇ 1.0 V charge), the capacity of the anode ⁇ the capacity of the cathode for sample numbers 1 to 9. .
  • the capacity of the cathode was smaller.
  • the cathode capacity / anode capacity ranged from approximately 0.7 to 0.8.
  • the electrolyte used in the experiment of Table 1 is tetraethylammonium tetrafluoroborate, and the chemical formulas of the cation and the anion are (C 2 H 5 ) 4 N + and BF 4 ⁇ , respectively.
  • the size of each ion is approximately 0.68 nm and 0.44 nm. Even when the same electrode is used, the difference between the capacity as the anode and the capacity as the cathode is because the ions of the electrolyte are different between the cation and the anion.
  • the measurement result of the activated carbon electrode is shown as sample number 10 in Table 1. It can be seen that in activated carbon, the difference in capacity between the cathode and the anode is smaller than in the case of carbon nanotubes.
  • FIG. 4 shows the relationship between the surface area and the capacitance when sample numbers 1 to 9 are used as anodes.
  • FIG. 5 shows the relationship between the surface area and the capacitance when sample numbers 1 to 9 are used as the cathode. As shown in the graphs of FIGS. 4 and 5, it can be seen that there is a proportional relationship between the surface area and the capacitance. From this graph, it can be seen that, for example, if the capacitance is to be doubled, the length of the carbon nanotubes should be doubled.
  • the electric double layer capacitor of the above embodiment is manufactured by manipulating the capacity of the anode and the cathode.
  • An aluminum plate of 7 mm ⁇ 12 mm ⁇ 100 ⁇ m thickness and 3N purity was prepared as a substrate.
  • a catalyst was formed on a 7 mm ⁇ 7 mm portion by the method described in Example 1.
  • the method for forming the catalyst is not limited to the method described in Example 1.
  • carbon nanotubes were formed by the method described in Example 1. The carbon nanotubes grew into a 7 mm ⁇ 7 mm portion where the catalyst was formed.
  • An aluminum lead having a width of 5 mm and a length of 5 cm was welded as an extraction electrode to a place where the carbon nanotubes were not grown, using an ultrasonic welding machine.
  • Electrode numbers 1 to 3 Three carbon nanotubes having an average length of 170 ⁇ m (electrode numbers 1 to 3) and one 240 ⁇ m (electrode number 4) were prepared. In the same manner as in Example 1, the capacitances of the anode and the cathode were measured. The results are shown in Table 2.
  • electrode number 1 (anode) and electrode number 2 (cathode) are opposed to each other with a separator having a thickness of 30 ⁇ m, and two Teflon plates (registered trademark) are arranged outside the electrodes, so that the opposed electrodes are in close contact with each other. (Cell number 1).
  • Cell number 1 The same thing was formed also about the electrode number 3 (anode) and the electrode number 4 (cathode) (cell number 2).
  • the capacitor characteristics of cell number 1 were evaluated.
  • the voltage of electrode number 1 and electrode number 2 was monitored using a reference electrode. Considering the withstand voltage of the electrolyte, it is desired to use a voltage at a single electrode in the range of -1.0V to 1.0V.
  • the cell of cell number 1 was charged with a current, and the cathode voltage was set to -1.0 V, which is the lower limit of the working voltage. At this time, the voltage on the anode side measured using the reference electrode was +0.7 V with respect to the initial state. In order to increase the anode voltage to 1.0 V, the cathode voltage must be -1.0 V or less. However, since the lower limit of the usable cathode voltage is -1.0 V, it cannot be changed any further. In the cell of cell number 1, although the upper limit of the anode voltage is 1.0V, only 0.7V can be used, so 0.3V is wasted. In the cell of cell number 1, the maximum applied voltage between the anode and the cathode is 1.7V.
  • the anode was +1.0 V when the cathode was -1.0 V.
  • the maximum applied voltage between the anode and the cathode is 2.0V.
  • the power density was measured in the cell of cell number 1 and the cell of cell number 2.
  • the electric double layer capacitor according to the present invention can maximize the performance of the electrode by optimizing the capacity of the anode and the cathode, the maximum energy and the maximum voltage between terminals can be obtained as a capacitor. It is useful as an energy source for mobile terminal devices such as telephones and portable computers, and mobile devices such as automobiles, bicycles, and trains.

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Abstract

　基板と基板上に立設された導電性の微細繊維とからなる電極を備える電気二重層キャパシタであって、電極の持つ特性を最大限に取り出すことができる電気二重層キャパシタを提供する。電気二重層キャパシタにおいて、陽極体と陰極体とは、それぞれ、基板と、前記基板の表面に一端が接続するように立設された複数本の導電性の微細繊維とからなり、陽極体に形成される電気二重層の容量をＣ１、陽極体に形成される電気二重層における最大電圧をＥ１、陰極体に形成される電気二重層の容量をＣ２、陰極体に形成される電気二重層における最大電圧をＥ２としたとき、関係式；０．９×Ｅ１／Ｅ２≦Ｃ２／Ｃ１≦１．１×Ｅ１／Ｅ２　を満たす。

Description

電気二重層キャパシタおよびその製造方法
　本発明は、カーボンナノチューブ等の微細繊維を利用した電気二重層キャパシタに関するものである。
　近年微細繊維（ナノワイヤー、ナノチューブ）の研究が盛んに行われている。ナノワイヤーとしては銀、シリコン、金、銅、酸化亜鉛、酸化チタン、窒化ガリウム等、またナノチューブとしてカーボンナノチューブ等、またナノホーンとしてカーボンナノホーン等がある。
　カーボンナノチューブはグラファイトシートを円筒状に丸めた構造を持ち、直径が０．７～１００ｎｍ程度で長さが数μｍ～数ｍｍあり、中空構造を持つ材料である。カーボンナノチューブの電気的性質としては、直径やカイラリティーに依存して金属から半導体的性質を示す特徴を有する。さらに、ダングリングボンドを有しないため化学的に安定である。また炭素原子のみから構成されるため環境負荷の低い材料としても注目されている。
　カーボンナノチューブは上記のような物性を持つことからから、フラットパネルディスプレイの電子放出源として、リチウム電池の電極材料として、電気二重層キャパシタの電極材料として、またプローブ探針への応用が期待されている。カーボンナノチューブは炭素電極を用いたアーク放電法やベンゼンの熱分解法、レーザー蒸着法によって合成されるが、カーボンナノチューブの他にグラファイトが一緒に合成される。そのためカーボンナノチューブを前記の電子源、電池の電極、プローブ探針等に応用する場合、グラファイトを除去する必要がある。また種々の長さのカーボンナノチューブがランダムな方向を向いているので電子放出源としての特性に制限が生じる。
　近年、配向したカーボンナノチューブを直接合成する方法が発表された。例えば、プラズマＣＶＤ法を用いて、Ｓｉウエハー上に密集して垂直配向したシングルウォールナノチューブを得る方法が示されている。これらの方法によるとグラファイトやカーボンナノパーティクル等の不純物が少なく、かつ繊維の方向が揃っているカーボンナノチューブが得られるため、作製されたカーボンナノチューブを電子源、電池の電極、プローブ探針等に応用することが容易になる。
　また、表面積の大きさを利用してカーボンナノチューブを電気二重層キャパシタ用電極に応用する研究開発が盛んに行われている。さらに前述の技術を用いて基板に垂直成長させたカーボンナノチューブを電極に用いた例がある。
　電気二重層キャパシタは、活物質と電解液との間に生じる電気二重層を利用したコンデンサであり、バックアップ用電源として用いられてきたほか最近では電気自動車に採用されるようになり今後の急成長が予想される。従来、電気二重層キャパシタの活物質としては、活性炭が用いられたものが広く知られている（例えば、特許文献１参照）。しかし、外部表面積が２６００～３０００ｍ２／ｇと活性炭よりもはるかに大きく、極めて強靭な機械的特性、優れた電子物性を示すことなどから、カーボンナノチューブを活物質として用いた電気二重層キャパシタが注目されている。
　電気二重層キャパシタは、活物質の表面に電解液中の陽イオンと陰イオンが吸脱着することにより充電と放電を行うため、酸化還元反応を利用した電池とは原理が異なる。電気二重層キャパシタは化学反応を伴わないため長寿命である。さらに残存電荷の計測が容易である、環境負荷が小さい等、電池に比べて優れた点が多い。

　図１に一般的な電気二重層キャパシタの電気的作動原理を示すための構造の一例を示す。電気二重層キャパシタ１００は、陽極１１１と陰極１１２からなる。陽極１１１は、基板１０７と基板上に設けられた活物質層１０８とからなり、陰極１１２は、基板１０４と基板上に設けられた活物質層１０５とからなる。陽極１１１と陰極１１２は、電解液１０６内にある。陽極１１１と陰極１１２に電源１０１により電圧を加えることにより、陽極１１１と陰極１１２の間に電界を発生させ、その電界の効果により陽極１１１の活物質層１０８の内部には正電荷１０９が発生し、陽極１１１に陰イオン１１０が引き寄せられる。また、陰極１１２の活物質層１０５の内部には負電荷１０３が発生し、陰極１１２に陽イオン１０２が引き寄せられる。このようにして、電気が蓄電される。陽極１１１と陰極１１１の間に印加することにより生じた電界は、陽極１１１に陰イオン１１０、陰極１１２に陽イオン１０２が吸着することにより陽極１１１と陰極１１２の間の電界は消滅し、その代わりに陽極１１１と陰イオン１１０間、陰極１１２と陽イオン１０２間で電気二重層が生成し、これら２つの電気二重層の電位差の合計が両極の電位差となる。
　図１に対応する電気的等価回路を図２に示す。図２に示されるとおり電気二重層キャパシタは２つのコンデンサ２０２，２０３が直列接続した構造をしている。
　コンデンサに蓄積される電荷Ｑは、コンデンサの容量をＣ、電圧をＶとすると一般的にＱ＝ＣＶと表される。
　陽極に形成される電気二重層の容量をＣ１、陽極の電気二重層に生じる電位差をＶ１、陰極に形成される電気二重層の容量をＣ２、陰極の電気二重層に生じる電位差をＶ２とすると陽極と陰極に発生する電荷の絶対値は等しいため、Ｃ１×Ｖ１＝Ｃ２×Ｖ２と表される。ある陽極と陰極電極を作製するとその電気二重層の容量Ｃ１、Ｃ２は決まるので、Ｖ１とＶ２は独立に変化させることはできず相関関係を持った値となる。
　一般的に陽極、陰極に印加する事ができる電圧には上限がある。それは電圧が高くなると例えば電解液が分解する等の理由があるからである。例えばよく知られているように水は陽極と陰極間に約１Ｖの電圧をかけると分解するため、水を用いたキャパシタでは陽極と陰極に１Ｖ以上の電圧差が発生した状態にすることはできない。
　特許文献１には、活物質が活性炭である電気二重層キャパシタにおいて、より大きな電圧を印加できるように、陽極の電極体の電極量と、陰極の電極体の電極量とを異ならせることが開示されている。
特公平２－８４７号公報

　微細繊維を活物質とする電気二重層キャパシタにおいても、キャパシタの性能を最大限に引き出すためにより大きな電圧の印加を実現する構成が望まれる。特許文献１には、電気二重層キャパシタにおいては、陽極および陰極にかかる電圧は中性点に対してほぼ１／２に分圧されるが、電極、電解液材料によって若干ずれ、また電解液の分解電圧が陽極側と陰極側とで異なることを見出し、陽極側と陰極側で電極量を異ならせることにより、最適な電極電位にバランスをとったことが記載されている。

しかしながら、特許文献１は、活性炭を活物質とする電気二重層キャパシタであり、ここでのキャパシタの性能を最大限に引き出す方法をそのまま微細繊維を活物質とする電気二重層キャパシタに当てはめることはできない。
本発明は、微細繊維を活物質とする電気二重層キャパシタであって、その性能をより引き出すような電圧の印加を可能とする電気二重層キャパシタを提供することを目的とする。

　上記目的を達成するために、本発明は、陽極体と陰極体とがセパレータを間に介在させて対向して配置され、前記陽極体と前記陰極体との間が電解液で満たされている、電気二重層キャパシタであって、陽極体と陰極体とは、それぞれ、基板と、前記基板の表面に一端が接続するように立設された複数本の導電性の微細繊維とからなり、陽極体に形成される電気二重層の容量をＣ１、陽極体に形成される電気二重層における最大電圧をＥ１、陰極体に形成される電気二重層の容量をＣ２、陰極体に形成される電気二重層における最大電圧をＥ２としたとき、以下の関係式；

（式１）
０．９×Ｅ１／Ｅ２≦Ｃ２／Ｃ１≦１．１×Ｅ１／Ｅ２　

を満たす。

また、本発明は、上記電気二重層キャパシタの製造方法であって、陽極体に形成される電気二重層における最大電圧をＥ１、陰極体に形成される電気二重層における最大電圧をＥ２、前記電解液を構成する溶媒と電解質において、溶媒の平均分子径をＡ、陽イオンのイオン径をＢ１、陰イオンのイオン径をＢ２としたとき、前記陽極体における、前記微細繊維の平均直径ｆｐ、前記微細繊維の平均長さｌｐ、単位面積当たりの前記微細繊維の本数密度ｘｐ、および前記陰極体における、前記微細繊維の平均直径ｆｎ、前記微細繊維の平均長さｌｎ、単位面積当たりの前記微細繊維の本数密度ｘｎが、以下の関係式；
式（４）
０．９×Ｅ１／Ｅ２≦ｄｐ／ｄｎ×ＩＰ／ＩＮ×（ｆｎ×ｌｎ×ｘｎ）／（ｆｐ×ｌｐ×ｘｐ）≦１．１×Ｅ１／Ｅ２　

　式（４）において、

ｄｐ＝Ａ＋Ｂ２／２、
ｄｎ＝Ａ＋Ｂ１／２、
Ａ≧Ｂ２のとき　ＩＰ＝３×（３１／２／２）×Ａ２、
Ａ＜Ｂ１のとき　ＩＰ＝３×（３１／２／２）×｛（Ａ＋Ｂ１）／２｝２、
Ａ≧Ｂ１のとき　ＩＮ＝３×（３１／２／２）×Ａ２
Ａ＜Ｂ１のとき　ＩＮ＝３×（３１／２／２）×｛（Ａ＋Ｂ１）／２｝２

を満たすように前記陽極体および前記陰極体において前記微細繊維を形成する。

　本発明の電気二重層キャパシタによれば、印加電圧を最適化し、より大きなエネルギーを取り出すことが可能になる。

一般的な電気二重層キャパシタの一例を示す図。 一般的な電気二重層キャパシタの電気的等価回路の一例を示す図。 本実施形態の電気二重層キャパシタの概念図。 ＣＮＴ最外殻表面積と陽極としての容量との関係を示す図。 ＣＮＴ最外殻表面積と陰極としての容量との関係を示す図。
符号の説明
１００　電気二重層キャパシタ
１０１　電源
１０２　陽イオン
１０３　負電荷
１０４　基板
１０５　活物質
１０６　電解液
１０７　基板
１０８　活物質
１０９　正電荷
１１０　陰イオン
１１１　陽極
１１２　陰極
２０２　陽極に発生したコンデンサ
２０３　陰極に発生したコンデンサ
４００　電気二重層キャパシタ
４０１　基板
４０２　微細繊維
４０３　基板
４０４　微細繊維
４０５　セパレータ

　以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。

まず、電気二重層キャパシタにおいて、その性能を最大限に引き出す構成について考察する。電気二重層キャパシタにおいて、陽極に形成される電気二重層の容量をＣ１、最大電圧（耐電圧）をＥ１、陰極に形成される電気二重層の容量をＣ２、最大電圧（耐電圧）をＥ２とすると、陽極と陰極間の最大電圧差（最大印加電圧）は理論的にはＥ１＋Ｅ２となる。Ｅ１、Ｅ２は電極の構成及び電解質材料によって決まる値である。なお、Ｅ１、Ｅ２は、電極体が変化（電解液の乾燥および変質）を開始する電圧値として測定により決定した値であってもよい。なお、Ｅ１、Ｅ２は電圧値の絶対値とする。
陽極の電気二重層における電圧をＶ１、陰極の電気二重層における電圧をＶ２とすると、電圧と容量にはＣ１×Ｖ１＝Ｃ２×Ｖ２の関係があるため、Ｖ１およびＶ２のうちの一方が耐電圧に達した時点で、電気二重層キャパシタへの印加電圧を上げることができず、陽極および陰極が耐電圧に同時に到達しない限り、印加電圧は最大値であるＥ１＋Ｅ２とはならず、これより小さいＥ１＋Ｖ２またはＶ１＋Ｅ２となる。

すなわち、陰極の方が早く耐電圧に達しやすい構成の場合、陰極に耐電圧Ｅ２がかかるとそれ以上電圧を上げることができないため、陽極にかけることができる電圧Ｖ１はＶ１＝（Ｃ２／Ｃ１）×Ｅ２＜Ｅ１となり、印加電圧Ｖ１＋Ｖ２は理論的に最大であるＥ１＋Ｅ２に到達しない。また、陽極の方が早く耐電圧に達しやすい構成の場合、陽極に耐電圧Ｅ１がかかるとそれ以上電圧を上げることができないため、陰極にかかる電圧Ｖ２はＶ２＝（Ｃ１／Ｃ２）×Ｅ１＜Ｅ２となり、印加電圧Ｖ１＋Ｖ２は理論的に最大であるＥ１＋Ｅ２に到達しない。
以上の通り、Ｃ１×Ｅ１＝Ｃ２×Ｅ２の関係が成り立つときが最大印加電圧となる。このとき陽極と陰極についてそれぞれの使用予定の最大電圧まで電気二重層の電圧を上げることができる、即ちそれぞれの電極の性能を最大限に活用することができる。

　一般に、電気二重層キャパシタに蓄積されるエネルギーをＵ、電気二重層キャパシタの容量をＣ、印加電圧をＶとするとＵ＝１／２×Ｃ×Ｖ２と表される。陽極と陰極の容量をそれぞれＣ１、Ｃ２とすると、Ｃ＝Ｃ１×Ｃ２／（Ｃ１＋Ｃ２）、陽極と陰極の電気二重層の電圧をそれぞれＶ１、Ｖ２とするとＶ＝Ｖ１＋Ｖ２であるため、Ｕ＝１／２×Ｃ１×Ｃ２／（Ｃ１＋Ｃ２）×（Ｖ１＋Ｖ２）２である。Ｃ１×Ｖ１＝Ｃ２×Ｖ２の関係を用いて前記の式を変形するとＵ＝１／２×Ｃ１×Ｖ１×（Ｖ１＋Ｖ２）＝１／２×Ｃ２×Ｖ２×（Ｖ１＋Ｖ２）となる。この式から電気二重層キャパシタに蓄積されるエネルギーＵが最大となるのはＶ１とＶ２が最大の値、即ちＥ１とＥ２を用いたときである。

陽極と陰極の電気二重層の電圧がＥ１とＥ２となるとき、両極への印加電圧、蓄積されるエネルギーともに最大となる。陽極の電圧がＥ１、陰極の電圧がＥ２となることを実現するためには、電圧を上げていったときに両者が同時に耐電圧に達するように電気二重層キャパシタが構成される。すなわち、Ｃ１×Ｅ１＝Ｃ２×Ｅ２の関係を満たすことである。この式を変形すると、Ｃ１／Ｃ２＝Ｅ２／Ｅ１となり、この関係を満たすように構成することが最も好ましい。なお、以下の式（１）の関係の範囲内であれば、印加電圧および蓄積されるエネルギーともに最大値あるいは最大値に近い値とすることができるので好ましい。
式（１）
０.９×Ｅ２／Ｅ１＜Ｃ１／Ｃ２＜１．１×Ｅ２／Ｅ１

一般的に、電気二重層キャパシタにおいて、陽極と陰極とを同一に構成してもその容量が等しくならない。電解液が、容量に作用するからである。例えば、電解液に有機物のイオンが含まれるときには容量の違いが顕著に表れることがある。電気二重層の容量Ｃは、誘電率をε、電極の面積をＳ、電荷間の距離をｄとするとＣ＝ε×Ｓ／ｄと表される。有機物を用いた電解質は陽イオンと陰イオンのサイズが大きく違うことがあり、その場合前述の式により容量Ｃがイオンサイズにより大きく変化し、結果として陽極と陰極の容量に違いが生じる。

なお、活性炭を活物質に用いた場合、陽極、陰極に容量差が出るものの微細繊維を活物質に用いた場合程、大きな差ではない。これは、活性炭はイオンと同程度の大きさの細孔にイオンが浸入して吸着することにより容量が発現するが、微細繊維では細孔はなく、面にイオンが吸着するためである。

すなわち、電気二重層の容量ＣはＣ＝ε×Ｓ／ｄと表されるが、活性炭におけるイオン径による容量差はＣ=ε×Ｓ/ｄの式におけるｄの影響のみとなる。
これに対し、微細繊維ではｄとＳの効果として現れるため、活性炭よりも大きな容量差が生じる。

　前述したように陽極と陰極においてそれぞれの電極に発生する電気二重層の電圧、容量を最適化しないと、キャパシタとしての性能を最大限に取り出すことはできない。

　本発明は、陽極電極体と陰極電極体とがセパレータを間に介在させて対向して配置され、前記陽極電極体と前記陰極電極体との間が電解液で満たされている、電気二重層キャパシタであって、陽極電極体と陰極電極体とは、それぞれ、基板と、前記基板の表面に一端が接続するように立設された複数本の微細繊維とからなり、陽極体に形成される電気二重層の容量をＣ１、陽極体に形成される電気二重層における最大電圧をＥ１、陰極体に形成される電気二重層の容量をＣ２、陰極体に形成される電気二重層における最大電圧をＥ２としたとき、以下の関係式；

式（１）
０．９×Ｅ１／Ｅ２≦Ｃ２／Ｃ１≦１．１×Ｅ１／Ｅ２　

を満たすような構成とする。

微細繊維が基板の一端に固定された構造であると、活性炭電極の場合と異なり、微細繊維の長さを調節して静電容量を調節した場合でも、イオンが移動しやすいため、電気抵抗やイオン抵抗の増大が生じないという利点がある。Ｃ２／Ｃ１＝Ｅ１／Ｅ２が最適な値であるが、電極容量のばらつき、製造時のばらつきを考慮すると、式（１）が好適な範囲となる。なお、活性炭電極の場合は、その厚みを調節して静電容量を調節することが考えられる。しかしながら、活性炭の厚さを厚くすると活性炭部分で生じる電気抵抗及びイオン抵抗が大きくなるためパワー密度が顕著に低下するという課題が生じる。
以下、上記式におけるＣ２／Ｃ１を理論的に求める方法を検討する。

陽極としての単位面積当たりの容量（面積とはイオンが吸着することができる部分の面積を指す）をＣｐ、陰極としての単位面積当たりの容量（面積とはイオンが吸着することができる部分の面積を指す）をＣｎ、溶媒と電解質から成る電解液において、溶媒の平均分子径をＡ、陽イオンのイオン径をＢ１、陰イオンのイオン径をＢ２としたとき、
式（５）
Ｃｎ／Ｃｐ＝ｄｐ／ｄｎ×ＩＰ／ＩＮ

となる。

式（５）において、

ｄｐ＝Ａ＋Ｂ２／２、
ｄｎ＝Ａ＋Ｂ１／２、
Ａ≧Ｂ２のとき　ＩＰ＝３×（３１／２／２）×Ａ２、
Ａ＜Ｂ２のとき　ＩＰ＝３×（３１／２／２）×｛（Ａ＋Ｂ２）／２｝２、
Ａ≧Ｂ１のとき　ＩＮ＝３×（３１／２／２）×Ａ２
Ａ＜Ｂ１のとき　ＩＮ＝３×（３１／２／２）×｛（Ａ＋Ｂ１）／２｝２

である。

これは、コンデンサ容量をＣ、比誘電率をε、面積をＳ、距離をｄとするとＣ＝ε×Ｓ／ｄと表されるためである。電気二重層キャパシタでは陽極と陰極に発生した電気二重層に電荷が蓄積される。Ｃ＝ε×Ｓ／ｄの関係式は各電極に対して適用する。

陽極において電極最表面には溶媒分子が吸着する。そのため陽極における電荷間の距離ｄｐは、ｄｐ＝Ａ＋Ｂ２／２と表される。陰イオンの周囲には溶媒が配位していることを考慮すると溶媒和イオン１個の占める面積ＩＰは、溶媒分子の方が大きいとき即ちＡ≧Ｂ２のときＩＰ＝３×（３１／２／２）×Ａ２であって、溶媒分子の方が小さいとき即ちＡ＜Ｂ２のときＩＰ＝３×（３１／２／２）×｛（Ａ＋Ｂ２）／２｝２と表される。ＩＰはＣ＝ε×Ｓ／ｄの式におけるＳに対して逆数に働く。

陰極においても上記と同様の考察を行えば、ｄｎ、ＩＮが導かれ、式（５）の関係が導き出せる。

陽極の微細繊維においてイオンが吸着可能な面積をＳｐ、陰極の微細繊維においてイオンが吸着可能な面積をＳｎ、陽極のカーボンナノチューブの平均直径をｆｐ、カーボンナノチューブの平均長さをｌｐ、単位面積当たりのカーボンナノチューブの本数密度をｘｐ、陰極のカーボンナノチューブの平均直径をｆｎ、カーボンナノチューブの平均長さをｌｎ、単位面積当たりのカーボンナノチューブの本数密度をｘｎとすると、

　Ｃ２／Ｃ１＝Ｃｎ／Ｃｐ×Ｓｎ／Ｓｐ
となり、

Ｓｎ／Ｓｐ＝（ｆｎ×ｌｎ×ｘｎ）／（ｆｐ×ｌｐ×ｘｐ）

と表されるため、
　式（２）

Ｃ２／Ｃ１＝ｄｐ／ｄｎ×ＩＰ／ＩＮ×（ｆｎ×ｌｎ×ｘｎ）／（ｆｐ×ｌｐ×ｘｐ）

の関係式が成立する。
　したがって、式（１）を満たすためには、

式（４）
０．９×Ｅ１／Ｅ２≦ｄｐ／ｄｎ×ＩＰ／ＩＮ×（ｆｎ×ｌｎ×ｘｎ）／（ｆｐ×ｌｐ×ｘｐ）≦１．１×Ｅ１／Ｅ２　

を満たすように陽極体および陰極体において前記微細繊維を形成する。

前記基板は、好ましくは導電体であり、例えば、シリコン、ステンレス、アルミニウムまたは銅からなる基板を用いることができる。前記微細繊維は、好ましくは直径が０．１ｎｍ～１００ｎｍである。

　本発明の電気二重層キャパシタの一態様において、前記微細繊維はカーボンナノチューブである。カーボンナノチューブは、触媒金属を介して前記基板に形成することができる。触媒金属として、ニッケル、鉄、コバルト、亜鉛、モリブデン、アルミニウム、金、銀、銅及びこれらの組み合わせからなる群から選択することができる。
　以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。

　図３は、本実施形態の電気二重層キャパシタの概念図である。図３に示すように電気二重層キャパシタ４００は、セパレータ４０５と、セパレータ４０５を介して互いに対向して配置された陽極体４０６と陰極体４０７とからなる。陽極体４０６は、基板４０１とこれに立設された複数本の微細繊維４０２とからなる。陰極体４０７は、基板４０３とこれに立設された複数本の微細繊維４０４とからなる。微細繊維４０２と微細繊維４０３は、その長さを式（４）に基づいて調整し、式（１）の関係が成り立つように構成する。このように例えば微細繊維の長さを変えてＣ１とＣ２の値を最適化することにより、式（１）の関係を満たす電気二重層キャパシタ、すなわち電極の性能を最大限に利用した電気二重層キャパシタが得られる。Ｃ１とＣ２の値を調整するためには、式（４）に基づいて微細繊維の密度を変えてもよい。また長さと密度の両方を操作してもよい。また本発明の概念に従っていればＣ１とＣ２の容量を最適化する方法は限定されない。

　基板４０１、４０３は、導電性を有するものとする。例えば、シリコン、ステンレス、鉄、アルミニウム、ニッケルまたは銅からなる導電性材料を用いることができるが、これらに限定されるものではない。特にアルミニウムが好ましい。
　微細繊維４０２と微細繊維４０３は、その直径が０．１～１００ｎｍであることが好ましい。直径がかかる範囲にある微細繊維４０２と微細繊維４０３を用いることにより、基板４０１と基板４０３上に微細繊維４０２と微細繊維４０３を高密度で立設させることができ、優れた特性の電子デバイスの構成要素とすることができるからである。微細繊維４０２と微細繊維４０３には、例えば、銀、金、または銅からなるナノワイヤー、カーボンナノチューブ、カーボンナノホーン等が挙げられるが、これらに限定されるものではない。
　カーボンナノチューブは、炭素原子が網目状に結合してできた穴径がナノメートルサイズの極微細な筒（チューブ）状の物質である。カーボンナノチューブを用いる場合、単層すなわち単一のチューブであってもよいし、多層すなわち同心状の複数の異径チューブからなるものであってもよい。カーボンナノチューブの直径は限定されることはないが、電気二重層キャパシタの電極に用いられることを考えると、イオン半径０．０７４ｎｍのリチウムイオンや、イオン半径約０．５ｎｍの電解質イオンがその内部に進入することが想定されるので、０．１ｎｍ～１０ｎｍの範囲が好ましく、さらには０．１ｎｍ～３ｎｍの範囲が好ましい。
　以下、カーボンナノチューブを基板４０１と基板４０３上に直接形成する場合について説明するが、カーボンナノチューブは転写法により形成されてもよい。ただし、配向性の良いカーボンナノチューブが得られるという観点から、基板４０１と基板４０３上に直接形成する方法が好ましい。カーボンナノチューブは基板４０１と基板４０３の表面に付着された触媒金属粒子を介して合成される。
　触媒金属としては、例えば、ニッケル、鉄、コバルト、亜鉛、モリブデン、金、銀、銅、またはこれらの組み合わせ等が挙げられるが、所望のカーボンナノチューブ径とその合成方法によって適宜選択すればよい。
　カーボンナノチューブ合成時に加熱もしくは予備加熱をすることで、触媒金属粒子は肥大化する。その際の触媒金属粒子径と合成されるカーボンナノチューブ径には相関関係があるとされている。したがって、カーボンナノチューブ径として１～１００ｎｍを所望する場合は、触媒金属粒子径は１～１００ｎｍであることが望ましい。
　カーボンナノチューブを合成する方法としては、気相化学蒸着（ＣＶＤ）法、レーザーアブレーション法、アーク放電、溶液中電解合成法等があるが、基板４０１と基板４０３上に直接カーボンナノチューブを合成する場合はＣＶＤ法を採用する。ＣＶＤ法の主な種類として、原料ガスを熱分解する熱ＣＶＤ法、および原料ガスをプラズマで分解するプラズマＣＶＤ法の２種類がある。カーボンナノチューブは、ＣＶＤ法により、５５０℃～７５０℃の温度、２００Ｐａの圧力で合成することができる。チャンバー内に炭素源としてメタン、エチレン、アセチレンなどの炭化水素系ガス、または、メタノールなどのアルコールを流し、触媒金属粒子を搭載した基板上で炭素源を直接分解することによってカーボンナノチューブを合成する。さらに炭素源のキャリアガスとして、アルゴン、窒素、水素などのガスを用いてもよい。カーボンナノチューブの成長時間は目的とするカーボンナノチューブの長さに応じて制御する。なお、成長温度、ガス圧力、用いる炭素源の種類により成長速度が異なるので成長時間について一概には言えないが、上述の条件の範囲であると例えば長さ１００μｍのカーボンナノチューブを成長させるために成長時間を約１０分～４時間とすることができる。
　陽極と陰極の容量を調節するための方法として微細繊維の長さを調節する方法をあげたが、微細繊維の成長方法がＣＶＤによる方法であると、成長時間のコントロールで長さを調節することができる。
　また、陽極と陰極の容量を調節するための方法として微細繊維の密度を調節してもよいが、この場合、カーボンナノチューブは基板上に形成した触媒を起点にして成長するため、触媒の密度をコントロールすればよい。触媒密度をコントロールする方法としては、例えば触媒粒子を基板に塗布する方法であれば塗布液中に存在する触媒粒子の濃度を調節すればよい。

　電気二重層キャパシタを製造するときの電解液の溶媒としては、例えば、プロピレンカーボネート、エチレンカーボネート、ブチルカーボネート、γ－ブチロラクトン、γ－バレロラクトン、Ｎ－メチル－２－ピロリドン、Ｎ，Ｎ－ジメチルホルムアミド、１，３－ジメチル－２－イミダゾリジノン、Ｎ，Ｎ－ジメチルアセトアミド、アセトニトリル、プロピオニトリル、テトラヒドロフラン、ジメチルカーボネート、ジエチルカーボネート、エチルメチルカーボネート、スルホラン、ジメチルスルホキシドから選ばれる一つ又は複数の組み合わせを用いることができる。

電解液の電解質として、例えば、四フッ化ホウ酸テトラエチルアンモニウム、四フッ化ホウ酸トリエチルメチルアンモニウム、トリエチルメチルアンモニウムビスイミド、六フッ化リン酸テトラエチルアンモニウム、テトラエチルアンモニウムビスイミドから選ばれる一つ又は複数の組み合わせを用いることができる。

例えば、四フッ化ホウ酸テトラエチルアンモニウム、四フッ化ホウ酸トリエチルメチルアンモニウム、六フッ化リン酸テトラエチルアンモニウムでは溶媒和した陰イオンよりも溶媒和した陽イオンの方が大きいため陽極と陰極を同じ構成とすると、陽極容量は陰極容量よりも大きくなる。この場合、本発明の電気二重層キャパシタでは陽極と陰極の容量比を最適化するために、陽極と陰極の耐電圧が同じ場合は、陽極に比べて陰極の微細繊維の長さを長くするか、密度を大きなものにする。

トリエチルメチルアンモニウムビスイミド、テトラエチルアンモニウムビスイミドでは溶媒和した陽イオンよりも溶媒和した陰イオンの方が大きいため、陽極容量は陰極容量よりも小さくなる。この場合、本発明の電気二重層キャパシタでは陽極と陰極の容量比を最適化するために、陽極と陰極の耐電圧が同じ場合は、陰極に比べて陽極の微細繊維の長さを長くするか、密度を大きなものにする。

電解液としてイオン性液体であるイミダゾリウム系、ピリジニウム系、脂肪族系、ピロリジニウム系、アンモニウム系、ホスホニウム系、スルホニウム系から選ばれる一つ又は複数の組み合わせを用いても良い。電解液としてイオン性液体を用いる場合には、イオン性液体が電解質に相当し、溶媒を使用しない。そのため、式（２）において溶媒の平均分子径Ａは０とする。

　これらの溶媒や溶質の分子やイオンのサイズから本発明の思想に基づいて最適な容量を持つ陽極と陰極の電極を設計すれば陽極と陰極の容量を最大限に利用した電気二重層キャパシタを製造することができる。

なお、活性炭を用いた場合であっても、活性炭電極の厚みを変えて、陽極と陰極の電圧バランスを制御することは考えられる。しかしながら、活性炭電極は炭素微粒子を結着剤（バインダー）を用いて固めたものであるので、活性炭の厚さを厚くすると活性炭部分で生じる電気抵抗及びイオン抵抗が大きくなるためパワー密度が顕著に低下するという課題が生じる。これに対し、微細繊維を用いた場合は、長さを長くして静電容量を調整した場合でも、イオンが移動しやすいため、電気抵抗やイオン抵抗の増大が生じないという効果がある。
　（実施例１）
　本実施例では、上記実施形態の電気二重層キャパシタにおいて、基板としてシリコン基板を用い、微細繊維としてカーボンナノチューブを成長させた電気二重層キャパシタについて静電容量を測定した。
　まず、０．５ｃｍ角、厚さ５００μｍのシリコン基板を準備するし、洗浄を行った。ＤＫビークリヤ（第一工業製薬製）を３ｗｔ％の濃度で純水に溶解した洗浄液を４０℃に保温し、その中に基板を浸すことにより洗浄した。洗浄液の中に基板を５分間浸し、次に超音波洗浄機で純水を用いて５分間すすいだ。すすぎは３回繰り返した。すすいだ後、Ｎ２ブローを行い、基板を乾燥させた。
　基板上に触媒金属層を形成するために基板をＥＢ蒸着機に入れてセットし、触媒材料としてＡｌを３ｎｍ、さらにその上にＦｅを１ｎｍの層厚で蒸着した。蒸着前の真空度は１．２Ｅ－５Ｐａとした。ＡｌとＦｅの蒸着レートは１ｎｍ／ｓとした。Ｆｅの蒸着後、基板を真空中３００℃で３０分間加熱処理し触媒金属粒子を形成した。この段階で、触媒金属粒子の直径をＡＦＭで計測すると、例えば平均２．８ｎｍという数値が得られた。
　次にカーボンナノチューブの合成を行なった。カーボンナノチューブの合成にはプラズマＣＶＤ法を用いた。反応ガスとしてＣＨ４を、キャリアガスとして水素を用いた。作製した構造物を反応炉中にセットし、ロータリーポンプおよびターボ分子ポンプを用いて真空引きを行なった。到達真空度は例えば１．５Ｅ－４Ｐａであった。この状態でポンプを止め、キャリアガスである水素を流した。水素の流量を６０ｓｃｃｍとした。水素ガスを流し、反応炉が大気圧となったところで、反応炉内の圧力を大気圧で保ちつつ、炭素源であるＣＨ４を１０ｓｃｃｍ流し、熱処理を開始した。反応温度を６６０℃とし、６０分合成を行なった。これによって、基板から垂直に配向した平均長さ３００μｍのカーボンナノチューブを合成することができた。ＴＥＭ観察を行なうことにより、カーボンナノチューブの直径等の情報が得られる。例えば、直径３ｎｍの単層カーボンナノチューブと２層カーボンナノチューブの混合物であることを確認することができた。
　成長時間を変えることにより長さが約２００μｍから１０００μｍのカーボンナノチューブを形成し、キャパシタ容量測定を行った。測定は５０ｍｌのビーカーに約３０ｍｌの電解液を入れた。電解液は、四フッ化ホウ酸テトラエチルアンモニウムをプロピレンカーボネートに溶解したものを用いた。四フッ化ホウ酸テトラエチルアンモニウムの濃度は０．７ｍｏｌ／ｌとした。前記のビーカーにカーボンナノチューブを成長させた７ｍｍ角の基板を作用電極、作用電極よりも十分に容量が大きい活性炭電極を補助電極、参照電極としてＡｇ／Ａｇ＋のものを用いた。作用電極の電圧は参照電極に対してモニターした。
　作用電極に０．２Ａ／ｇの一定電流で１．０Ｖと－１．０Ｖまで充電し、その後０．２Ａ／ｇの一定電流で放電した。コンデンサ容量は放電時の時間と電圧についてプロットした直線の傾きから計算した。コンデンサ容量Ｃは放電電流をＩ、時間変化Δｔに対する電圧変化をΔＶとすると、Ｃ＝Ｉ×Δｔ／ΔＶで求められる。
　試料番号１から９について、陽極としての容量（＋１．０Ｖ充電）及び陰極としての容量（－１．０Ｖ充電）、陽極としての容量÷陰極としての容量の値を求めた結果を表１に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
　表１に示されるとおり陰極の方が容量が小さくなった。陰極の容量／陽極の容量はおおよそ０．７から０．８の範囲であった。表１の実験に用いた電解質は四フッ化ホウ酸テトラエチルアンモニウムであり、陽イオンと陰イオンの化学式はそれぞれ（Ｃ２Ｈ５）４Ｎ＋、ＢＦ４ －と表される。それぞれのイオンのサイズはおおよそ０．６８ｎｍと０．４４ｎｍである。同じ電極を用いても陽極としての容量と陰極としての容量に違いが出るのは電解質のイオンが陽イオンと陰イオンで異なるためである。
　比較例として活性炭電極について測定した結果を表１の試料番号１０として示す。活性炭では、陰極の容量と陽極の容量差はカーボンナノチューブの場合と比べて小さいことが分かる。

　図４に試料番号１～９について陽極として用いた場合の、表面積と静電容量の関係を示す。図５に試料番号１～９について陰極として用いた場合の、表面積と静電容量の関係を示す。図４，５のグラフに示されるとおり、表面積と静電容量には比例関係があることが分かる。このグラフから静電容量を例えば２倍にしたければカーボンナノチューブの長さを２倍にすればよいことが分かる。
　（実施例２）
　本実施例では上記実施形態の電気二重層キャパシタにおいて、陽極と陰極の容量を操作したものを製造する。
　基板として７ｍｍ×１２ｍｍ×厚さ１００μｍ、純度３Ｎのアルミニウム板を用意した。実施例１で述べた方法で７ｍｍ×７ｍｍの部分に触媒を形成した。尚、触媒の形成方法は実施例１で述べた方法に限定されない。さらに実施例１で述べた方法でカーボンナノチューブを形成した。カーボンナノチューブは触媒を形成した７ｍｍ×７ｍｍの部分に成長した。カーボンナノチューブが成長していないところに取り出し電極として幅５ｍｍ×長さ５ｃｍのアルミリードを超音波溶接機を用いて溶接した。
　カーボンナノチューブの平均長さが１７０μｍのものを３個（電極番号１～３）、２４０μｍのものを１個（電極番号４）作製した。実施例１と同様にして陽極と陰極の静電容量を測定した。結果を表２に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000002
 次に電極番号１（陽極）と電極番号２（陰極）を３０μｍの厚さのセパレータを介して対向させ電極の外側に２枚のテフロン板（登録商標）を配置して対向する電極を密着させた（セル番号１）。電極番号３（陽極）と電極番号４（陰極）についても同様のものを形成した（セル番号２）。セル番号１についてキャパシタ特性の評価を行った。電極番号１と電極番号２の電圧は参照電極を用いてモニターした。
電解液の耐電圧を考慮して、単極における電圧を－１．０Ｖから１．０Ｖの範囲で使用したいとする。セル番号１のセルに電流を流し充電し、陰極の電圧を使用電圧の下限の－１．０Ｖとした。このとき参照電極を用いて測定した陽極側の電圧は初期状態に対して＋０．７Ｖであった。陽極の電圧を１．０Ｖまであげようとすると陰極側の電圧を－１．０Ｖ以下にしなければならない。しかし使用できる陰極の電圧の下限は－１．０Ｖであるためこれ以上変化させることはできない。セル番号１のセルでは陽極の電圧の上限が１．０Ｖであるにもかかわらず０．７Ｖまでしか使用できていないため０．３Ｖが無駄になっている。セル番号１のセルにおいて陽極と陰極の最大印加電圧は１．７Ｖである。

セル番号２のセルについて同様の試験を行ったところ、陰極が－１．０Ｖになったとき陽極は＋１．０Ｖであった。セル番号２のセルにおいて陽極と陰極の最大印加電圧は２．０Ｖである。
さらにセル番号１のセルとセル番号２のセルにおいてパワー密度を測定した。パワー密度Ｐは電流をＩ、抵抗をＲとすると、Ｐ＝１／４×Ｉ×Ｒ２で表される。パワー密度はセル番号１のセルとセル番号２のセルでそれぞれ３０ｋＷ／Ｌであり、パワー密度の測定において両者に有意な差は見られなかった。

この結果より、Ｃ１×Ｅ１＝Ｃ２×Ｅ２を満たすように陽極と陰極の容量を設定したセル番号２のセルの方が特性がよくなることが分かる。
　本発明に係る電気二重層キャパシタは、陽極と陰極の容量を最適化することにより、電極が持つ性能を最大限に利用できるため、キャパシタとして最大のエネルギーと最大端子間電圧が得られるので、携帯電話、携帯型コンピュータなどの携帯端末装置、自動車、自転車、電車などの移動装置などのエネルギー源として有用である。

Claims (11)

  1. 　陽極体と陰極体とがセパレータを間に介在させて対向して配置され、前記陽極体と前記陰極体との間が電解液で満たされている、電気二重層キャパシタであって、

    陽極体と陰極体とは、それぞれ、基板と、前記基板の表面に一端が接続するように立設された複数本の導電性の微細繊維とからなり、
    陽極体に形成される電気二重層の容量をＣ１、陽極体に形成される電気二重層における最大電圧をＥ１、陰極体に形成される電気二重層の容量をＣ２、陰極体に形成される電気二重層における最大電圧をＥ２としたとき、以下の関係式；
    （式１）
    ０．９×Ｅ１／Ｅ２≦Ｃ２／Ｃ１≦１．１×Ｅ１／Ｅ２　

    を満たす電気二重層キャパシタ。
  2. 　前記陽極体において、前記微細繊維の平均直径をｆｐ、前記微細繊維の平均長さをｌｐ、単位面積当たりの前記微細繊維の本数密度をｘｐとし、前記陰極体において、前記微細繊維の平均直径をｆｎ、前記微細繊維の平均長さをｌｎ、単位面積当たりの前記微細繊維の本数密度をｘｎとし、前記電解液を構成する溶媒と電解質において、溶媒の平均分子径をＡ、陽イオンのイオン径をＢ１、陰イオンのイオン径をＢ２としたとき、以下の関係式；
    　式（２）

    Ｃ２／Ｃ１＝ｄｐ／ｄｎ×ＩＰ／ＩＮ×（ｆｎ×ｌｎ×ｘｎ）／（ｆｐ×ｌｐ×ｘｐ）

    　式（２）において、

    ｄｐ＝Ａ＋Ｂ２／２、
    ｄｎ＝Ａ＋Ｂ１／２、
    Ａ≧Ｂ２のとき　ＩＰ＝３×（３１／２／２）×Ａ２、
    Ａ＜Ｂ２のとき　ＩＰ＝３×（３１／２／２）×｛（Ａ＋Ｂ２）／２｝２、
    Ａ≧Ｂ１のとき　ＩＮ＝３×（３１／２／２）×Ａ２
    Ａ＜Ｂ１のとき　ＩＮ＝３×（３１／２／２）×｛（Ａ＋Ｂ１）／２｝２

    を満たす請求項１に記載の電気二重層キャパシタ。

  3. 前記電解液の溶媒は、プロピレンカーボネート、エチレンカーボネート、ブチルカーボネート、γ－ブチロラクトン、γ－バレロラクトン、Ｎ－メチル－２－ピロリドン、Ｎ，Ｎ－ジメチルホルムアミド、１，３－ジメチル－２－イミダゾリジノン、Ｎ，Ｎ－ジメチルアセトアミド、アセトニトリル、プロピオニトリル、テトラヒドロフラン、ジメチルカーボネート、ジエチルカーボネート、エチルメチルカーボネート、スルホラン、ジメチルスルホキシド、およびこれらの組み合わせからなる群から選ばれる溶媒であり、
    前記電解液の電解質は、四フッ化ホウ酸テトラエチルアンモニウム、四フッ化ホウ酸トリエチルメチルアンモニウム、トリエチルメチルアンモニウムビスイミド、六フッ化リン酸テトラエチルアンモニウム、テトラエチルアンモニウムビスイミド、およびこれらの組み合わせからなる群から選ばれる電解質である、請求項１または２に記載の電気二重層キャパシタ。
  4. 　前記電解液は、イミダゾリウム系イオン性液体、ピリジニウム系イオン性液体、脂肪族系イオン性液体、ピロリジニウム系イオン性液体、アンモニウム系イオン性液体、ホスホニウム系イオン性液体、スルホニウム系イオン性液体、およびこれらの組み合わせからなる群から選ばれる電解液である、請求項１または２に記載の電気二重層キャパシタ。
  5. 　前記基板は、導電性である、請求項１乃至４いずれかに記載の電気二重層キャパシタ。
  6. 　前記基板は、シリコン、ステンレス、鉄、アルミニウム、ニッケルまたは銅からなる、請求項１乃至５いずれかに記載の電気二重層キャパシタ。
  7. 　前記微細繊維は、直径が０．１ｎｍ～１００ｎｍである、請求項１乃至６いずれかに記載の電気二重層キャパシタ。
  8. 　前記微細繊維は、カーボンナノチューブである、請求項１乃至７いずれかに記載の電気二重層キャパシタ。
  9. 　前記カーボンナノチューブは、触媒金属を介して前記基板上に立設されている、請求項８に記載の電気二重層キャパシタ。
  10. 　前記触媒金属は、ニッケル、鉄、コバルト、亜鉛、モリブデン、金、銀、銅及びこれらの組み合わせからなる群から選択される、請求項９に記載の電気二重層キャパシタ。
  11. 　陽極体と陰極体とがセパレータを間に介在させて対向して配置され、前記陽極体と前記陰極体との間が電解液で満たされている、電気二重層キャパシタの製造方法であって、
    　前記電気二重層キャパシタにおいて、

    陽極体と陰極体とは、それぞれ、基板と、前記基板の表面に一端が接続するように立設された複数本の導電性の微細繊維とからなり、
    陽極体に形成される電気二重層における最大電圧をＥ１、陰極体に形成される電気二重層における最大電圧をＥ２、前記電解液を構成する溶媒と電解質において、溶媒の平均分子径をＡ、陽イオンのイオン径をＢ１、陰イオンのイオン径をＢ２としたとき、前記陽極体における、前記微細繊維の平均直径ｆｐ、前記微細繊維の平均長さｌｐ、単位面積当たりの前記微細繊維の本数密度ｘｐ、および前記陰極体における、前記微細繊維の平均直径ｆｎ、前記微細繊維の平均長さｌｎ、単位面積当たりの前記微細繊維の本数密度ｘｎが、以下の関係式；
    式（４）
    ０．９×Ｅ１／Ｅ２≦ｄｐ／ｄｎ×ＩＰ／ＩＮ×（ｆｎ×ｌｎ×ｘｎ）／（ｆｐ×ｌｐ×ｘｐ）≦１．１×Ｅ１／Ｅ２　

    　式（４）において、

    ｄｐ＝Ａ＋Ｂ２／２、
    ｄｎ＝Ａ＋Ｂ１／２、
    Ａ≧Ｂ２のとき　ＩＰ＝３×（３１／２／２）×Ａ２、
    Ａ＜Ｂ２のとき　ＩＰ＝３×（３１／２／２）×｛（Ａ＋Ｂ２）／２｝２、
    Ａ≧Ｂ１のとき　ＩＮ＝３×（３１／２／２）×Ａ２
    Ａ＜Ｂ１のとき　ＩＮ＝３×（３１／２／２）×｛（Ａ＋Ｂ１）／２｝２

    を満たすように前記陽極体および前記陰極体において前記微細繊維を形成する工程、を有する、電気二重層キャパシタの製造方法。
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