WO2009090805A1 - 流体計測装置 - Google Patents

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WO2009090805A1
WO2009090805A1 PCT/JP2008/071938 JP2008071938W WO2009090805A1 WO 2009090805 A1 WO2009090805 A1 WO 2009090805A1 JP 2008071938 W JP2008071938 W JP 2008071938W WO 2009090805 A1 WO2009090805 A1 WO 2009090805A1
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fluid
measuring device
gas
exhaust gas
concentration
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PCT/JP2008/071938
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French (fr)
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Kenji Muta
Masazumi Tanoura
Atsushi Takita
Daishi Ueno
Tadashi Aoki
Mitsunobu Sekiya
Original Assignee
Mitsubishi Heavy Industries, Ltd.
Ono Sokki Co., Ltd.
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Definitions

  • the present invention relates to a fluid measuring device that measures the flow velocity of fluid such as exhaust gas discharged from an internal combustion engine, for example.
  • an object of the present invention is to provide a fluid measuring device capable of measuring the fluid flow velocity in detail.
  • a plurality of detectors (30, 40) that detect a parameter that changes in response to a change in the state of the fluid are provided in a state of being separated from each other on the conduit (22) through which the fluid flows. And calculating the flow velocity of the fluid based on the time lag ( ⁇ T) of the change in the parameter detected by the set of detection units and the distance (L) along the pipeline of the set of detection units. It is a fluid measuring device (10) provided with the calculating part (50) to perform.
  • the calculation unit (50) calculates the flow rate of the fluid based on the flow velocity of the fluid and the cross-sectional area of the pipe (22).
  • the fluid measurement device (10) is characterized in that:
  • the parameter that changes in response to a change in the state of the fluid includes the temperature of the fluid and the substance contained in the fluid.
  • the fluid measurement device (10) is characterized in that it includes at least one of a concentration and an intensity of light absorbed, confused or emitted by the substance.
  • the detection unit (30, 40) is an irradiation unit that irradiates a laser beam into the fluid. 31, 41) and a light receiving part (32, 42) that receives the laser light transmitted or confused in the fluid, and the irradiation light emitted by the irradiation part and the transmitted light received by the light receiving part
  • the fluid measurement device (10) is characterized in that the parameter is detected based on an intensity ratio.
  • the calculation unit (50) is detected by the set of detection units (30, 40).
  • the fluid measurement device (10) is characterized in that a time shift of the parameter change is evaluated by comparing waveform signals based on the parameter change.
  • the calculation unit (50) is detected by the set of detection units (30, 40).
  • the fluid measuring device (10) is characterized in that a time lag of the parameter change is evaluated by calculating a correlation of the parameter change.
  • the fluid measuring device in the fluid measuring device according to any one of the first to sixth aspects, three or more detection units (30, 40, 60) are provided, and the calculation unit (50) is a fluid measurement device (110) characterized in that a combination of two of the three or more detection units provided is determined according to the flow velocity of the fluid.
  • the fluid in the fluid measuring device according to any one of the first to seventh aspects, the fluid is exhaust gas discharged from an internal combustion engine (20), and the computing unit (50 ) Estimates the rotational speed of the internal combustion engine based on the power spectrum obtained by frequency analysis of the temperature of the exhaust gas or the gas concentration of the gas contained in the exhaust gas obtained from the output signal of the detection unit (30, 40).
  • a ninth aspect of the present invention is the fluid measuring device according to any one of the first to eighth aspects, wherein the upstream side of the detection unit (30, 40) is on the pipe (22) through which the fluid flows.
  • the fluid measuring device (210) is characterized in that it has means (70) arranged to increase or decrease the concentration of the substance contained in the fluid. Note that the configuration described with reference numerals may be modified as appropriate, and at least a part of the configuration may be replaced with another component.
  • the fluid measuring device detects a parameter that changes in accordance with a change in the state of the fluid with a pair of detection units, and changes in parameters detected by the upstream detection unit and detections on the downstream side. Since the flow velocity is obtained based on a time lag (time lag) with respect to the parameter change detected by the section, the fluid flow velocity can be measured in detail.
  • the detection unit is a high-speed response type sensor that measures parameters related to fluid based on the intensity ratio between laser light irradiation light and transmitted light, the change in fluid parameters can be measured in detail. Can be measured in detail.
  • the rotational speed of the internal combustion engine is estimated based on the exhaust gas parameters by using the correspondence between the peak frequencies of the exhaust gas parameter and the combustion cycle power spectrum of the internal combustion engine. It can also function as a meter and is convenient.
  • FIG. 6 is a diagram showing, in comparison, waveform data between measurement cells when the engine rotation speed is 2400 min ⁇ 1 .
  • FIG. 6 is a diagram showing, in comparison, waveform data between measurement cells when the engine rotation speed is 3600 min ⁇ 1 .
  • FIG. 6 is a diagram showing, in comparison, waveform data between measurement cells when the engine rotation speed is 3600 min ⁇ 1 .
  • FIG. 3 is a diagram showing a comparison between a power spectrum of gas temperature and H 2 O concentration and a power spectrum of engine rotation speed (2400 min ⁇ 1 ).
  • FIG. 6 is a diagram showing a comparison between a power spectrum of CO 2 concentration and CO concentration and a power spectrum of engine rotation speed (2400 min ⁇ 1 ).
  • FIG. 6 is a diagram showing a comparison between a power spectrum of CH 4 concentration and a power spectrum of engine rotation speed (2400 min ⁇ 1 ).
  • FIG. 3 is a diagram showing a comparison between a power spectrum of gas temperature and H 2 O concentration and a power spectrum of engine speed (3600 min ⁇ 1 ).
  • FIG. 4 is a diagram showing a comparison between a power spectrum of CO 2 concentration and CO concentration and a power spectrum of engine rotation speed (3600 min ⁇ 1 ).
  • FIG. 4 is a diagram showing a comparison between a power spectrum of CH 4 concentration and a power spectrum of engine rotation speed (3600 min ⁇ 1 ). It is a figure which shows the anemometer and engine of 2nd Example. It is a figure which shows the anemometer and engine of 3rd Example.
  • the present invention aims to provide a fluid measuring device capable of measuring the flow velocity of a fluid in detail, the time lag of the output signal of a set of measurement cells for measuring the temperature and concentration of exhaust gas, and the set of measurement cells. It solved by providing the calculating part which calculates the flow velocity of the said waste gas based on the distance between.
  • FIG. 1 is a diagram illustrating an anemometer 10 and an engine 20 according to the embodiment.
  • FIG. 2 is a diagram showing the structure of the measurement cell 30 provided in the velocimeter 10 shown in FIG.
  • the engine 20 obtains driving force by combusting a mixture of gasoline and air in a cylinder.
  • the exhaust gas includes water vapor (H 2 O), carbon monoxide gas (CO), carbon dioxide gas ( Various gases such as CO 2 ) and methane gas (CH 4 ) are contained.
  • Exhaust gas discharged from the engine 20 is introduced into the exhaust pipe 22 via the exhaust manifold 21, passes through the exhaust pipe 22, and is exhausted into the atmosphere.
  • the anemometer 10 includes a set of measurement cells 30 and 40 provided in the middle of the exhaust pipe 22, a time lag between output signals of the set of measurement cells 30 and 40, and a set of measurement cells 30 and 40. And a calculation unit 50 for calculating the flow rate of the exhaust gas based on the distance between the two.
  • the measurement cell 30 is provided upstream of the measurement cell 40 in the exhaust gas discharge direction (engine 20 side).
  • the measuring cells 30 and 40 that are detection units use characteristics (laser absorption spectroscopy) that absorbs laser light by vibration and rotation transitions of molecules when irradiated with laser light having a specific wavelength in exhaust gas.
  • the gas concentration is measured based on the intensity ratio of incident light and transmitted light.
  • the measuring cell 30 and 40 for example, to be able to measure the temperature of the gas based in H 2 O concentration.
  • the absorption coefficient of laser light depends on the temperature of exhaust gas and the pressure of exhaust gas, it is necessary to measure the pressure of exhaust gas, but the pressure of exhaust gas is measured by a pressure sensor (not shown) provided in the flow path. .
  • a pressure sensor not shown
  • the measurement cell 30 includes an irradiation unit 31 that irradiates laser light, and a light receiving unit 32 that receives laser light (transmitted light) irradiated from the irradiation unit 31 and transmitted through the exhaust gas. .
  • the tip portions of the irradiation unit 31 and the light receiving unit 32 are each formed in a tubular shape and inserted into the exhaust pipe 22 through a hole provided in the exhaust pipe. A purge gas is supplied to the tubular portion, and the emission window and the light receiving window are prevented from being contaminated by the inflow of exhaust gas.
  • the irradiation unit 31 irradiates a plurality of laser beams having different oscillation timings via the light transmission optical system 33.
  • the laser light passes through the exhaust gas, and the light receiving unit 32 detects the transmitted light through the light receiving optical system 34.
  • the light receiving unit 32 includes a signal processing circuit 35 that converts received laser light into an electrical signal (analog signal), and the electrical signal is input to the arithmetic unit 50.
  • the calculation unit 50 performs A / D conversion on the electrical signal to generate waveform data (described later).
  • the exhaust gas discharged from the engine 20 pulsates in temperature, gas concentration, etc. in a substantially constant cycle corresponding to the combustion cycle of the engine 20.
  • the measurement cells 30 and 40 of the present embodiment have a response of 1 ms or less, for example, and can measure in detail gas concentration and temperature changes of pulsating exhaust gas.
  • FIG. 1 shows an example of measuring the flow rate of exhaust gas discharged from the engine 20 mounted on the actual vehicle
  • the measurement of the flow rate of exhaust gas is not limited to this, and the engine 20 alone (engine bench test) You may go on.
  • test using a 4-cycle engine of single-cylinder, 2400 min -1 (2400 rpm), and was carried out in two conditions 3600min -1 (3600rpm).
  • FIG. 3 shows waveform data generated based on the output of the measurement cell 30 when the rotation speed is 2400 min ⁇ 1 , (a) shows the measurement result for 4 seconds, and (b) shows the measurement result for 1 second. Show.
  • FIG. 4 shows waveform data generated based on the output of the measurement cell 30 when the rotation speed is 3600 min ⁇ 1 , (a) is a measurement result for 4 seconds, and (b) is a measurement result for 0.6 seconds. Respectively.
  • the gas temperature, CO 2 concentration, H 2 O concentration, and CO concentration of the exhaust gas pulsate with a substantially constant period.
  • the CH 4 concentration also pulsates in the same manner.
  • the measurement cells 30 and 40 of this embodiment have a response speed of 1 ms or less, and when the gas temperature and the H 2 O concentration change by one cycle, data sampling of about 50 times or more is performed. Is possible. Therefore, changes in parameters such as gas concentration can be captured in detail.
  • the pulsation period is 33.3 ms, but even in this case, changes in parameters such as gas concentration can be sufficiently captured in detail.
  • FIG. 5 is a diagram showing a comparison between the waveform data generated based on the output of the measurement cell 30 when the engine speed is 2400 min ⁇ 1 and the waveform data generated based on the output of the measurement cell 40.
  • Yes shows the gas temperature
  • (b) shows the H 2 O concentration in comparison.
  • FIG. 6 shows a comparison between waveform data generated based on the output of the measurement cell 30 when the engine speed is 3600 min ⁇ 1 and waveform data generated based on the output of the measurement cell 40.
  • the arithmetic unit 50 compares the waveform data generated based on the output of the measurement cell 30 with the waveform data generated based on the output of the measurement cell 40 to obtain a time shift between these waveforms. As shown in FIGS. 3 and 4, the waveform data generated based on the outputs of the measurement cells 30 and 40 pulsate similarly for gases other than the gas temperature and H 2 O. When obtaining the above, waveform data of gas concentrations of other gases may be used.
  • the waveform signals indicating the gas temperature and the H 2 O concentration have substantially the same waveform, as shown in FIGS. .
  • a time lag (phase difference ⁇ T) occurs between the output of the measurement cell 30 and the output of the measurement cell 40.
  • the calculation unit 50 evaluates the phase difference ⁇ T from these waveform data, and calculates the exhaust gas speed based on the phase difference ⁇ T and the distance L between the measurement cells 30 and 40.
  • the velocity meter 10 of the present embodiment obtains the volume (flow rate) of exhaust gas that the calculation unit 50 flows per hour based on the cross-sectional area of the exhaust pipe 22 measured in advance and the exhaust gas flow velocity. And has a function as a flow meter. As a result, it is possible to grasp the discharge mass per hour such as CO 2 gas contained in the exhaust gas.
  • the method for evaluating the time lag of the output of the measurement cells 30 and 40 is not limited to the method of comparing the waveform data of the signal as described above, and for example, based on Equation 1 shown below, A technique for analyzing and calculating the correlation may be used. Assuming that the output signal from the measurement cell 30 is S A (t 1 ) and the output signal from the measurement cell 40 is S B (t 2 ), Equation 1 showing these cross-correlations is S B (t 2 -T) ⁇ S A (t 1 ) (Formula 1) It is represented by
  • the velocity meter 10 of the present embodiment is configured so that the rotational speed of the engine 20 is based on the gas temperature or gas concentration power spectrum obtained by fast Fourier transform (FFT) of the output of the measurement cell 30 (or measurement cell 40). Can be estimated, and has a function as an engine tachometer.
  • FFT fast Fourier transform
  • FIGS. 7 to 9 are graphs showing a comparison between the power spectrum of the gas temperature or gas concentration and the power spectrum of the engine rotational speed (2400 min ⁇ 1 ).
  • FIGS. 7A and 7B respectively show the power spectrum of the gas temperature and the H 2 O concentration and the power spectrum of the engine speed.
  • FIGS. 8A and 8B show the CO 2 concentration, the power spectrum of the CO concentration, and the power spectrum of the engine speed, respectively.
  • FIG. 9 shows a comparison between the power spectrum of the CH 4 concentration and the power spectrum of the engine speed.
  • FIGS. 10 to 12 are graphs showing a comparison between the power spectrum of the gas temperature or gas concentration and the power spectrum of the engine rotational speed (3600 min ⁇ 1 ).
  • FIGS. 10A and 10B respectively show the power spectrum of the gas temperature and the H 2 O concentration and the power spectrum of the engine speed.
  • FIGS. 11A and 11B show the CO 2 concentration, the power spectrum of the CO concentration, and the power spectrum of the engine speed, respectively.
  • FIG. 12 shows a comparison between the power spectrum of the CH 4 concentration and the power spectrum of the engine speed.
  • the frequency at which the peak of the power spectrum of the gas temperature appears corresponds to the frequency at which the peak of the power spectrum of the combustion cycle of the engine 20 appears (approximately 20 Hz).
  • the engine rotational speed can be estimated from the peak of the power spectrum of the gas temperature. For example, if it is known from the output of the measuring cell 30 that the peak frequency of the gas temperature is about 20 Hz, even if the power spectrum of the engine speed is unknown, the peak frequency of the engine speed is also about 20 Hz. Can be estimated. In a four-cycle engine, the crankshaft rotates twice per combustion cycle.
  • the rotational speed of the engine 20 can also be obtained.
  • the engine speed can be estimated to be 2400 revolutions per minute (2400 min ⁇ 1 ).
  • the engine rotation speed is estimated based on the gas temperature.
  • the present invention is not limited to this, and the combustion cycle of the engine 20 is similarly determined from the peak of the power spectrum of various gas concentrations that can be detected by the measurement cell 30. Can be estimated.
  • the peak of the power spectrum of the H 2 O concentration and the CO 2 concentration obtained based on the output of the measurement cell 30 is approximately 20 Hz, similar to the gas temperature. Has appeared. Accordingly, the engine speed (2400 min ⁇ 1 ) can be estimated from these gas concentrations.
  • the engine speed can be estimated from the power spectrum of the output (gas temperature, gas concentration) from the measurement cell 30 even when the engine speed is 3600 min ⁇ 1 .
  • the peak of the gas temperature power spectrum is approximately 30 Hz
  • the peak frequency of the engine rotation speed is approximately 30 Hz even if the power spectrum of the engine rotation speed is unknown. It can be estimated that the engine speed is 3600 min ⁇ 1 .
  • the rotational speed is 2400 min ⁇ 1
  • the parameters used to estimate the rotational speed of the engine 20 are expected.
  • the type may be selected appropriately according to the engine speed. For example, even at 2400 min ⁇ 1 , clear peaks appear in the power spectrum of the H 2 O concentration and the CO 2 concentration, and the engine speed can be estimated.
  • the velocimeter 10 focuses on the fact that there is a time lag in the output of the pair of measurement cells 30 and 40. Since the measurement cells 30 and 40 each have a high response capable of detecting in detail the gas temperature and gas concentration change of the exhaust gas, the calculation unit 50 detects the time difference between these outputs. The flow rate of exhaust gas can be obtained directly. Therefore, the flow rate of exhaust gas can be measured in detail.
  • the measurement cells 30 and 40 of the present embodiment are of a type that irradiates the laser into the exhaust gas, so that the exhaust gas resistance is not reached and the exhaust gas flow velocity can be accurately measured.
  • the mass of the exhaust gas can be obtained based on the concentration and density of each gas contained in the exhaust gas, the emission amount per hour such as CO 2 contained in the exhaust gas can be obtained on a mass basis from the flow rate of the exhaust gas. it can.
  • the rotational speed of the engine 20 can be estimated based on the temperature change and concentration change of the exhaust gas.
  • FIG. 13 is a diagram showing the anemometer 110 and the engine 20 of the second embodiment.
  • the flowmeter 10 of the first embodiment is provided with two measurement cells 30 and 40 in the middle of the exhaust pipe 22
  • the flowmeter 110 of the second embodiment has an upstream portion in the middle of the exhaust pipe 22 from the upstream side.
  • Three measurement cells 30, 40, 60 are arranged in this order toward the downstream side.
  • the measurement cell 30 and the measurement cell 40 are arranged at a distance L1
  • the measurement cell 40 and the measurement cell 60 are arranged at a distance L2 longer than the distance L1.
  • the distance (L1 + L2) between the measurement cell 30 and the measurement cell 60 will be described with reference numeral L3.
  • the calculation unit 50 combines two of these measurement cells 30, 40, and 60, and measures the flow rate of the exhaust gas based on the distance between the two selected measurement cells.
  • the calculation unit 50 compares the waveforms indicating the outputs of the set of measurement cells with each other to obtain the flow rate of the exhaust gas.
  • the output waveform of the downstream measurement cell 40 does not rise up even though the output of the upstream measurement cell 30 has made one cycle, and the waveform data is compared. May become difficult and the accuracy of flow velocity measurement may be reduced.
  • Such inconvenience can be resolved by bringing a set of measurement cells closer, but if the time resolution of the measurement cells is constant, if the measurement cells are made extremely close to each other, the accuracy of the flow velocity measurement can be similarly reduced. There is sex. Therefore, the distance between the engine 20 and the measurement cell 40 should be some distance away.
  • the current meter 110 of the second embodiment is provided with three measurement cells 30, 40, 60 in the middle of the exhaust pipe 22, and three variations (L1, L2, L3) in the distance between a set of measurement cells. was held.
  • the measurer can accurately measure the flow rate of the exhaust gas by selecting one of the measurement cells 30, 40, 60 according to the expected exhaust gas velocity.
  • the velocity meter 110 of the second embodiment described above in addition to the effect obtained by the velocity meter 10 of the first embodiment, there is an effect that the exhaust gas flow velocity can be measured in detail regardless of the exhaust gas flow velocity. can get.
  • FIG. 14 is a diagram showing the anemometer 210 and the engine 20 of the third embodiment.
  • the velocity meter 210 according to the third embodiment includes two measurement cells 30 and 40 in the middle of the exhaust pipe 22 as in the first embodiment.
  • the velocimeter 210 includes a gas supply device 70 that supplies helium gas, which is an inert gas, in the exhaust pipe 22 and upstream of the measurement cell 30 (on the engine 20 side).
  • the gas supply device 70 includes a cylinder 71 filled with helium gas, and an electromagnetic valve 72 is provided in the middle of a pipe connecting the cylinder 71 and the exhaust pipe 22.
  • the gas supply device 70 includes a valve timing controller 73 (hereinafter referred to as a controller 73) that controls the opening and closing timing of the electromagnetic valve 72.
  • the controller 73 includes a signal synchronized with the rotation cycle of the engine 20, and A periodic signal transmitted from the constant period signal generator 74 is selectively input.
  • the controller 73 controls the solenoid valve 72 according to these signals, and switches between supply / non-supply of helium gas to the exhaust gas at a constant cycle.
  • the gas concentration of H 2 O, CO, CO 2 gas, etc. contained in the exhaust gas is relatively lowered. .
  • the gas concentration also changes periodically.
  • the current meter 210 of the third embodiment supplies helium gas to the exhaust gas as a variable marker gas, if the degree of change in parameters relating to the exhaust gas (temperature and gas concentration contained in the exhaust gas) is small or the parameter Even when there is substantially no change, the flow velocity can be reliably measured.
  • the waveform data indicating changes in parameters related to exhaust gas is, for example, a waveform that is close to a sine wave, it may be difficult to determine the time lag, but helium gas is supplied at regular intervals. By doing so, the waveform is disturbed, so that the time shift can be easily determined.
  • a change in the concentration of gas such as CO 2 gas is detected in the same measurement cell as in the first embodiment.
  • the present invention is not limited to this, and a periodic concentration change in the helium gas itself may be detected. Good. Even in this case, the exhaust gas flow velocity can be measured in detail from the time lag of the output of a set of measurement cells.
  • the gas supply device 70 is additionally provided to the anemometer 10 of the first embodiment, but the gas supply device 70 is added to the anemometer 110 of the second embodiment. It may be additionally provided.
  • the present invention is not limited to the embodiments described above, and various modifications and changes as shown below are possible, and these are also included in the technical scope of the present invention.
  • the measurement object of the fluid measuring device of the present invention is exhaust gas discharged from a gasoline engine in the embodiment, but is not limited to this, and is supplied to exhaust gas discharged from an incinerator or a turbine of a thermal power plant. Other fluids such as water vapor may be used. Further, the fluid to be measured is not limited to gas (gas) but may be liquid.
  • a measurement cell using laser absorption spectroscopy is used as the detection unit. However, the detection unit is not limited to this, and for example, absorption spectroscopy using light other than a known thin film temperature sensor or laser.
  • Method, confusion spectroscopy, and emission spectroscopy may be used, and the flow velocity and flow rate of the fluid may be measured based on the output (temperature change, etc.) of these sensors.
  • the flow velocity is measured based on the phase difference of the waveform data generated based on the output of the measurement cell.
  • the flow velocity is not limited to this, and the flow velocity is directly measured using an analog signal output from the measurement cell. May be measured. In this case, since the detection responsiveness is improved, the flow rate can be measured in detail even when the engine rotation speed is higher than in the embodiment and the exhaust gas flow rate is higher.
  • three measurement cells are provided, but the number of measurement cells is not limited to this, and may be four or more.
  • the gas concentration contained in the exhaust gas is relatively lowered by supplying the inert gas into the exhaust gas.
  • the present invention is not limited to this, and the same gas as the gas contained in the exhaust gas is used. It may be supplied periodically to increase the gas concentration.

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Abstract

流体の流速を詳細に計測可能な流体計測装置を提供する。 流体計測装置（１０）を、流体が流れる管路（２２）上に互いに離間した状態で複数が設けられ、前記流体の状態の変化に対応して変化するパラメータを検出する検出部（３０、４０）と、一組の前記検出部が検出した前記パラメータの変化の時間ずれ（ΔＴ）、及び、当該一組の検出部の前記管路に沿った距離（Ｌ）に基づいて前記流体の流速を演算する演算部（５０）とを備える構成とした。

Description

流体計測装置
　本発明は、例えば、内燃機関から排出される排ガス等の流体の流速等を計測する流体計測装置に関するものである。
　エンジンの低燃費化、低エミッション化のためには、エンジンの１回の燃焼サイクルを詳細に解析することが重要である。このためには、エンジンから排出される排ガス（燃焼ガス）の温度や濃度等の変化を詳細に測定することが有効である。従来、レーザ光を用いて燃焼ガスの温度及び濃度を詳細に検出することが可能な計測装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許３９４３８５３号公報
　ここで、排ガスのガス濃度及び流速が分かれば、排ガスに含まれる各ガスの時間当たりの質量又はモード走行当たりの総排出量等を求めることができる。このため、エンジンの低燃費化、低エミッション化のためには、排ガスの温度、濃度の変化に加え、排ガスの流速を詳細に測定することが重要である。しかしながら、高温の排ガスの流速や流量を詳細に測定可能な方法は提示されていない。
　そこで、本発明の課題は、流体の流速を詳細に計測可能な流体計測装置を提供することである。
　本発明は、以下のような解決手段により、前記課題を解決する。なお、理解を容易にするために、本発明の実施形態に対応する符号を付して説明するが、これに限定されるものではない。
　請求項１の発明は、流体が流れる管路（２２）上に互いに離間した状態で複数が設けられ、前記流体の状態の変化に対応して変化するパラメータを検出する検出部（３０、４０）と、一組の前記検出部が検出した前記パラメータの変化の時間ずれ（ΔＴ）、及び、当該一組の検出部の前記管路に沿った距離（Ｌ）に基づいて前記流体の流速を演算する演算部（５０）とを備える流体計測装置（１０）である。
　請求項２の発明は、請求項１に記載の流体計測装置において、前記演算部（５０）は、前記流体の流速と前記管路（２２）の断面積とに基づいて前記流体の流量を演算することを特徴とする流体計測装置（１０）である。
　請求項３の発明は、請求項１又は請求項２に記載の流体計測装置において、前記流体の状態の変化に対応して変化するパラメータには、前記流体の温度、前記流体に含まれる物質の濃度、及び、前記物質により吸収・錯乱・発光された光の強度の少なくともひとつが含まれることを特徴とする流体計測装置（１０）である。
　請求項４の発明は、請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載の流体計測装置において、前記検出部（３０、４０）は、前記流体中にレーザ光を照射する照射部（３１、４１）と、前記流体中を透過又は錯乱した前記レーザ光を受光する受光部（３２、４２）とを備え、前記照射部が照射する照射光と前記受光部が受光する透過光との強度比に基づいて前記パラメータを検出することを特徴とする流体計測装置（１０）である。
　請求項５の発明は、請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載の流体計測装置において、前記演算部（５０）は、前記一組の検出部（３０、４０）が検出したパラメータの変化に基づく波形信号同士を対比することによって、前記パラメータの変化の時間ずれを評価することを特徴とする流体計測装置（１０）である。
　請求項６の発明は、請求項１から請求項５までのいずれか１項に記載の流体計測装置において、前記演算部（５０）は、前記一組の検出部（３０、４０）が検出したパラメータの変化の相関を計算することによって、前記パラメータの変化の時間ずれを評価することを特徴とする流体計測装置（１０）である。
　請求項７の発明は、請求項１から請求項６までのいずれか１項に記載の流体計測装置において、前記検出部（３０、４０、６０）は、３つ以上が設けられ、前記演算部（５０）は、前記３つ以上が設けられた検出部のうちの２つの組み合わせを前記流体の流速に応じて決定することを特徴とする流体計測装置（１１０）である。
　請求項８の発明は、請求項１から請求項７までのいずれか１項に記載の流体計測装置において、前記流体は、内燃機関（２０）から排出される排ガスであり、前記演算部（５０）は、前記検出部（３０、４０）の出力信号から得られた前記排ガスの温度又は前記排ガスに含まれるガスのガス濃度を周波数解析したパワースペクトルに基づいて前記内燃機関の回転速度を推定することを特徴とする流体計測装置（１０）である。
　請求項９の発明は、請求項１から請求項８までのいずれか１項に記載の流体計測装置において、前記流体が流れる管路（２２）上において、前記検出部（３０、４０）の上流に配置され、前記流体に含まれる物質の濃度を増減させる手段（７０）を有することを特徴とする流体計測装置（２１０）である。
　なお、符号を付して説明した構成は、適宜改良してもよく、また、少なくとも一部を他の構成物に代替してもよい。
　本発明によれば、以下の効果を得ることができる。
（１）本発明に係る流体計測装置は、流体の状態の変化に応じて変化するパラメータを一組の検出部でそれぞれ検出し、上流側の検出部が検出したパラメータの変化と下流側の検出部が検出したパラメータの変化との時間ずれ（タイムラグ）に基づいて流速を求めるので、流体の流速を詳細に計測することができる。
（２）流体の流速と併せて流体の流量を求めることができるので便利である。
（３）検出部は、レーザ光の照射光と透過光との強度比等に基づいて流体に関するパラメータを計測する高速応答型のセンサなので、流体のパラメータの変化を詳細に測定でき、流体の流速を詳細に測定できる。また、流体が高温であってもパラメータの変化を確実に検出することができる。
（４）３つ以上の検出部を設け、検出部間の距離のバリエーションを増やしたので、流体の流速に関わらず、その流速を詳細に計測することができる。
（５）排ガスに関するパラメータのパワースペクトルと、内燃機関の燃焼サイクルのパワースペクトルとのピーク周波数が対応することを利用して、排ガスに関するパラメータに基づいて内燃機関の回転速度を推定するので、回転速度計としても機能することができ、便利である。
（６）流体自体のパラメータの変化が小さい場合やパラメータの変化が無い場合、又は、パラメータの変化が規則的であって時間ずれの特定が困難な場合であっても、流体に含まれる物質の濃度を増減させて起点を作ることによって、時間ずれを容易に特定できる。
第１実施例の流速計とエンジンとを示す図である。 図１に示す流速計に備えられた計測セルの構造を示す図である エンジン回転速度が２４００ｍｉｎ－１のときの計測セルからの出力を示すグラフである。 エンジン回転速度が３６００ｍｉｎ－１のときの計測セルからの出力を示すグラフである。 エンジン回転速度が２４００ｍｉｎ－１のときの計測セル同士の波形データを対比して示す図である。 エンジン回転速度が３６００ｍｉｎ－１のときの計測セル同士の波形データを対比して示す図である。 ガス温度、Ｈ２Ｏ濃度のパワースペクトルとエンジンの回転速度（２４００ｍｉｎ－１）のパワースペクトルとを対比して示す図である。 ＣＯ２濃度、ＣＯ濃度のパワースペクトルとエンジンの回転速度（２４００ｍｉｎ－１）のパワースペクトルとを対比して示す図である。 ＣＨ４濃度のパワースペクトルとエンジンの回転速度（２４００ｍｉｎ－１）のパワースペクトルとを対比して示す図である。 ガス温度、Ｈ２Ｏ濃度のパワースペクトルとエンジンの回転速度（３６００ｍｉｎ－１）のパワースペクトルとを対比して示す図である。 ＣＯ２濃度、ＣＯ濃度のパワースペクトルとエンジンの回転速度（３６００ｍｉｎ－１）のパワースペクトルとを対比して示す図である。 ＣＨ４濃度のパワースペクトルとエンジンの回転速度（３６００ｍｉｎ－１）のパワースペクトルとを対比して示す図である。 第２実施例の流速計とエンジンとを示す図である。 第３実施例の流速計とエンジンとを示す図である。
符号の説明
　１０　流速計
　２０　エンジン
　３０　計測セル
　４０　計測セル
　５０　演算部
発明を実施するための形態
　本発明は、流体の流速を詳細に計測可能な流体計測装置を提供するという課題を、排ガスの温度及び濃度を計測する一組の計測セルの出力信号の時間ずれ、及び、一組の計測セル間の距離に基づいて、当該排ガスの流速を演算する演算部を設けることによって解決した。
（第１実施例）
　以下、図面等を参照して、本発明を適用した流体計測装置の第１実施例である流速計１０について説明する。本実施例の流速計１０による計測対象物の流体は、内燃機関である４サイクルガソリンエンジン２０（以下、単にエンジン２０と称する）から排出される排ガスである。
　図１は、実施例の流速計１０とエンジン２０とを示す図である。
　図２は、図１に示す流速計１０に備えられた計測セル３０の構造を示す図である。
　エンジン２０は、ガソリンと空気との混合気をシリンダ内で燃焼させて駆動力を得るものであり、その排ガスには、水蒸気（Ｈ２Ｏ）、一酸化炭素ガス（ＣＯ）、二酸化炭素ガス（ＣＯ２）、メタンガス（ＣＨ４）等の各種ガスが含まれている。エンジン２０から排出される排ガスは、排気マニホールド２１を介して排気管２２に導入され、排気管２２を通過して大気中に排気される。
　流速計１０は、排気管２２の途中に設けられた一組の計測セル３０、４０と、この一組の計測セル３０、４０の出力信号の時間ずれ、及び、一組の計測セル３０、４０間の距離に基づいて排ガスの流速を演算する演算部５０とを備えている。計測セル３０は、計測セル４０に対して排ガスの排出方向の上流側（エンジン２０側）に設けられている。
　検出部である計測セル３０、４０は、排ガス中に特有の波長のレーザ光を照射した場合に、分子の振動回転遷移等によってレーザ光が吸収される特性（レーザ吸収分光法）を利用するものであり、入射光と透過光の強度比に基づいてガス濃度を測定する。また、計測セル３０、４０は、例えば、Ｈ２Ｏ濃度に基づいてガスの温度を測定できるようになっている。また、レーザ光の吸収係数は、排ガスの温度と排ガスの圧力に依存するため、排ガスの圧力を計測する必要があるが、排ガスの圧力は、流路内に設けた図示しない圧力センサによって計測する。以下、図１において、一組の計測セル３０、４０間の排気管２２に沿った距離に符号Ｌを付して説明する。
　計測セル３０、４０は、その配置位置が異なる以外、実質的に同じものであるので、以下、計測セル３０の構造についてのみ説明する。図２に示すように、計測セル３０は、レーザ光を照射する照射部３１と、照射部３１から照射され排ガス中を透過したレーザ光（透過光）を受光する受光部３２とを備えている。
　照射部３１及び受光部３２の先端部は、それぞれ管状に形成され、排気管に設けられた孔部を介して排気管２２内に挿入されている。この管状に形成された部分にはパージガスが供給され、排ガスが流入することによって照射窓及び受光窓が汚れることを防止している。計測セル３０は、照射部３１が送光用光学系３３を介して発振タイミングの異なる複数のレーザ光を照射する。このレーザ光は、排ガス中を透過し、この透過光を受光部３２が受光用光学系３４を介して検出する。受光部３２は、受光したレーザ光を電気信号（アナログ信号）に変換する信号処理回路３５を備えており、この電気信号は、演算部５０に入力される。演算部５０は、この電気信号をＡ／Ｄ変換して波形データ（後述）を生成する。
　エンジン２０から排出される排ガスは、エンジン２０の燃焼サイクルに対応して略一定のサイクルで温度及びガス濃度等が脈動する。本実施例の計測セル３０、４０は、例えば、１ｍｓ以下の応答性を有しており、脈動する排ガスのガス濃度及び温度の変化を詳細に計測することができるようになっている。
　なお、図１では、実車に搭載されたエンジン２０から排出される排ガスの流速を計測する例を示しているが、排ガスの流速の計測は、これに限らず、エンジン２０単体（エンジンベンチ試験）で行ってもよい。
　以下、本実施例の流速計１０による流速の計測手法について、試験データを参照して具体的に説明する。試験は、単気筒の４サイクルエンジンを用いて、２４００ｍｉｎ－１（２４００ｒｐｍ）、及び、３６００ｍｉｎ－１（３６００ｒｐｍ）の２つの条件で行った。
　図３は、回転速度が２４００ｍｉｎ－１のときの計測セル３０の出力に基づいて生成された波形データであり、（ａ）は、４秒間計測結果、（ｂ）は、１秒間計測結果をそれぞれ示している。
　図４は、回転速度が３６００ｍｉｎ－１のときの計測セル３０の出力に基づいて生成された波形データであり、（ａ）は、４秒間計測結果、（ｂ）は、０．６秒間計測結果をそれぞれ示している。
　図３及び図４に示すように、排ガスのガス温度、ＣＯ２濃度、Ｈ２Ｏ濃度、ＣＯ濃度は、それぞれ略一定の周期で脈動している。なお、これらの図では省略してあるが、ＣＨ４濃度も同様に脈動している。例えば、エンジン２０の回転速度が２４００ｍｉｎ－１のとき、ガス温度、Ｈ２Ｏ濃度は、それぞれ１秒間に２０回脈動しており（図３（ｂ）参照）、その脈動周期は、０．０５秒（５０ｍｓ）となる。これに対し、本実施例の計測セル３０、４０は、１ｍｓ以下の応答速度を有しており、ガス温度、Ｈ２Ｏ濃度が１サイクル分変化する際に、約５０回以上のデータサンプリングが可能である。したがって、ガス濃度等のパラメータの変化を詳細に捉えることができる。なお、エンジンの回転速度が３６００ｍｉｎ－１のときは、脈動周期は、３３．３ｍｓとなるが、この場合であっても、充分にガス濃度等のパラメータの変化を詳細に捉えることができる。
　図５は、エンジン回転速度が２４００ｍｉｎ－１のときの計測セル３０の出力に基づいて生成された波形データと、計測セル４０の出力に基づいて生成された波形データとを対比して示す図であり、（ａ）はガス温度を、（ｂ）はＨ２Ｏ濃度を対比して示している。また、図６は、エンジン回転速度が３６００ｍｉｎ－１のときの計測セル３０の出力に基づいて生成された波形データと、計測セル４０の出力に基づいて生成された波形データとを対比して示す図であり、（ａ）はガス温度を、（ｂ）はＨ２Ｏ濃度を対比して示している。
　演算部５０は、計測セル３０の出力に基づいて生成された波形データと、計測セル４０の出力に基づいて生成された波形データを対比することによって、これらの波形の時間ずれを求める。なお、図３及び図４に示すように、計測セル３０、４０の出力に基づいて生成された波形データは、ガス温度やＨ２Ｏ以外のガスについても同様に脈動しているので、時間ずれを求める際は、他のガスのガス濃度の波形データを用いてもよい。
　計測セル３０と計測セル４０とは、実質的に同じ物なので、図５、図６の各図に示すように、ガス温度、Ｈ２Ｏ濃度を示す波形信号は、略同じ波形となっている。ただし、計測セル４０は、計測セル３０よりも下流側に配置されているので、計測セル３０の出力と、計測セル４０の出力との間に時間ずれ（位相差ΔＴ）が発生する。演算部５０は、これらの波形データから位相差ΔＴを評価し、この位相差ΔＴと計測セル３０、４０間の距離Ｌとに基づいて、排ガスの速度を演算する。
　また、本実施例の流速計１０は、予め測定しておいた排気管２２の断面積と、排ガス流速とに基づいて演算部５０が時間当たり流れる排ガスの体積（流量）を求めるようになっており、流量計としての機能を有している。これによって、排ガスに含まれる、例えば、ＣＯ２ガス等の時間当たりの排出質量を把握することができる。
　なお、計測セル３０、４０の出力の時間ずれを評価する手法としては、上記のように信号の波形データを対比する手法に限らず、例えば、以下に示す式１に基づいて、計測信号の相互相関を解析計算する手法を用いてもよい。計測セル３０からの出力信号を、ＳＡ（ｔ１）、計測セル４０からの出力信号を、ＳＢ（ｔ２）とすると、これらの相互相関を示す式１は、
　ＳＢ（ｔ２－Ｔ）・ＳＡ（ｔ１）　・・・（式１）
　で表される。
　また、本実施例の流速計１０は、計測セル３０（又は計測セル４０）の出力を高速フーリエ変換（ＦＦＴ）して求めたガス温度又はガス濃度のパワースペクトルに基づいて、エンジン２０の回転速度を推定することができるようになっており、エンジン回転計としての機能も有している。
　図７～９は、ガス温度又はガス濃度のパワースペクトルとエンジンの回転速度（２４００ｍｉｎ－１）のパワースペクトルとを対比して示す図である。図７（ａ）、（ｂ）は、それぞれ、ガス温度、Ｈ２Ｏ濃度のパワースペクトルとエンジンの回転速度のパワースペクトルとを対比して示している。図８（ａ）、（ｂ）は、それぞれ、ＣＯ２濃度、ＣＯ濃度のパワースペクトルとエンジンの回転速度のパワースペクトルとを対比して示している。図９は、ＣＨ４濃度のパワースペクトルとエンジンの回転速度のパワースペクトルとを対比して示している。
　図１０～１２は、ガス温度又はガス濃度のパワースペクトルとエンジンの回転速度（３６００ｍｉｎ－１）のパワースペクトルとを対比して示す図である。図１０（ａ）、（ｂ）は、それぞれ、ガス温度、Ｈ２Ｏ濃度のパワースペクトルとエンジンの回転速度のパワースペクトルとを対比して示している。図１１（ａ）、（ｂ）は、それぞれ、ＣＯ２濃度、ＣＯ濃度のパワースペクトルとエンジンの回転速度のパワースペクトルとを対比して示している。図１２は、ＣＨ４濃度のパワースペクトルとエンジンの回転速度のパワースペクトルとを対比して示している。
　例えば、図７（ａ）に示すように、ガス温度のパワースペクトルのピークが出現する周波数（略２０Ｈｚ）と、エンジン２０の燃焼周期のパワースペクトルのピークが出現する周波数（略２０Ｈｚ）とは対応しており、ガス温度のパワースペクトルのピークによって、エンジンの回転速度を推定することができる。例えば、計測セル３０の出力からガス温度のピーク周波数が、略２０Ｈｚであることが分かれば、仮にエンジン回転速度のパワースペクトルが不明であっても、エンジン回転速度のピーク周波数も略２０Ｈｚであることが推定できる。４サイクルエンジンは、１燃焼サイクル当たりクランク軸が２回転するため、エンジン２０の燃焼サイクル（燃焼周期）を求めることができれば、エンジン２０の回転速度が求めることもできる。この場合、燃焼サイクルが２０Ｈｚであるので、エンジン回転速度は、毎分２４００回転（２４００ｍｉｎ－１）と推定できる。
　また、以上の例では、ガス温度に基づいてエンジン回転速度を推定したが、これに限らず、計測セル３０が検出可能な各種ガスの濃度のパワースペクトルのピークから、同様にエンジン２０の燃焼サイクルを推定することができる。図７（ｂ）、図８（ａ）に示すように、計測セル３０の出力に基づいて得られたＨ２Ｏ濃度、ＣＯ２濃度のパワースペクトルのピークは、ガス温度と同様に、略２０Ｈｚに出現している。したがって、これらのガス濃度からもエンジン回転速度（２４００ｍｉｎ－１）を推定することができる。
　エンジン回転速度が３６００ｍｉｎ－１の場合であっても、計測セル３０からの出力（ガス温度、ガス濃度）のパワースペクトルからエンジン回転速度を推定できることは、図１０～１２から明らかである。例えば、図１１（ａ）に示すように、ガス温度のパワースペクトルのピークが略３０Ｈｚであれば、仮にエンジン回転速度のパワースペクトルが不明であっても、エンジン回転速度のピーク周波数も略３０Ｈｚであることが推定でき、エンジン回転速度が３６００ｍｉｎ－１であると推定できる。
　なお、回転速度が２４００ｍｉｎ－１の場合、ＣＯ濃度、ＣＨ４濃度のパワースペクトルは、そのピーク周波数を特定することが困難なので、エンジン２０の回転速度を推定するために使用するパラメータは、予想されるエンジン回転速度に応じて適宜種類を選別するとよい。例えば、２４００ｍｉｎ－１であっても、Ｈ２Ｏ濃度、ＣＯ２濃度のパワースペクトルには、明確なピークが出現しており、エンジン回転速度を推定することが可能である。
　以上説明した第１実施例の流速計１０によれば、以下の効果を得ることができる。
（１）流速計１０は、一組の計測セル３０、４０の出力に時間ずれがあることに着目している。計測セル３０、４０は、それぞれ排ガスのガス温度及びガス濃度の変化を詳細に検出することが可能な高応答のものを使用しているので、演算部５０は、これらの出力の時間のずれから直接排ガスの流速を求めることができる。したがって、排ガスの流速を詳細に計測することができる。
（２）例えば、排ガスの温度を測定するのに、排気管内に熱電対を設けることが考えられるが、この場合、排ガスの流れを阻害する可能性があり、排ガス流速の正確な測定が困難になる可能性がある。これに対し、本実施例の計測セル３０、４０は、排ガス内にレーザを照射するタイプなので、排ガスの抵抗にならなず、正確に排ガスの流速を計測することができる。
（３）排ガスに含まれる各ガスの濃度と密度に基づいて排ガスの質量を求めることができるので、排ガスの流速から排ガスに含まれるＣＯ２等の時間当たりの排出量を質量ベースで求めることができる。
（４）排ガスの温度変化、濃度変化に基づいて、エンジン２０の回転速度を推定できるので便利である。
（第２実施例）
　次に、本発明を適用した流体計測装置の第２実施例である流速計１１０について説明する。この第２実施例及び後述する他の実施例において、上述した第１実施例と同様な機能を果たす部分には、同一の符号又は末尾に統一した符号を付して、重複する説明や図面を適宜省略する。
　図１３は、第２実施例の流速計１１０とエンジン２０とを示す図である。
　第１実施例の流速計１０は、排気管２２の途中に２つの計測セル３０、４０を備えていたのに対し、第２実施例の流速計１１０では、排気管２２の途中に上流側から下流側に向かって３つの計測セル３０、４０、６０がこの順番で配置されている。計測セル３０と計測セル４０とは、距離Ｌ１をおいて配置され、計測セル４０と計測セル６０とは、距離Ｌ１よりも長い距離Ｌ２をおいて配置されている。また、計測セル３０と計測セル６０との間の距離（Ｌ１＋Ｌ２）に符号Ｌ３を付して説明する。演算部５０は、これらの計測セル３０、４０、６０のうちの２つを組み合わせ、選択した２つの計測セル間の距離に基づいて、排ガスの流速を測定する。
　以下、３つの計測セル３０、４０、６０を設けた理由について説明する。前述の第１実施例で説明したように、演算部５０は、一組の計測セルの出力を示す波形同士を対比して排ガスの流速を求める。ここで、例えば、排ガス流速が低速である場合には、上流側の計測セル３０の出力が１サイクルしたにも関わらず、下流側の計測セル４０の出力波形が立ち上がらず、波形データ同士の比較が困難になり、流速測定の精度が低下する可能性がある。このような不具合は、一組の計測セルを接近させることによって解消できるが、計測セルの時間分解能が一定の場合に計測セル同士を極端に接近させると、同様に流速測定の精度が低下する可能性がある。したがって、エンジン２０と計測セル４０との距離はある程度離れていた方がよい。
　このように、一組の計測セル４０の距離は、測定対象となる排ガスの速度によっては、離れすぎていても近すぎても流速の計測が困難になる場合がある。そこで、本第２実施例の流速計１１０は、排気管２２の途中に３つの計測セル３０、４０、６０を設け、一組の計測セル同士の距離に３つのバリエーション（Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３）を持たせた。測定者は、予想される排ガスの速度に応じて計測セル３０、４０、６０のいずれかを選択することよって、排ガスの流速を的確に測定することができる。
　以上説明した第２実施例の流速計１１０によれば、第１実施例の流速計１０で得られる効果に加え、排ガスの流速に関わらず詳細に排ガスの流速を計測することができるという効果が得られる。
（第３実施例）
　次に本発明を適用した流体計測装置の第３実施例である流速計２１０について説明する。図１４は、第３実施例の流速計２１０とエンジン２０とを示す図である。第３実施例の流速計２１０は、第１実施例と同様に、排気管２２の途中に２つの計測セル３０、４０を備えている。
　また、流速計２１０は、排気管２２内であって、計測セル３０の上流側（エンジン２０側）に不活性ガスであるヘリウムガスを供給するガス供給装置７０を備えている。ガス供給装置７０は、ヘリウムガスが充填されたボンベ７１を備えており、このボンベ７１と排気管２２とを接続する配管の途中には電磁弁７２が設けられている。ガス供給装置７０は、電磁弁７２の開閉タイミングをコントロールするバルブタイミングコントローラ７３（以下、コントローラ７３と称する）を備えており、このコントローラ７３には、エンジン２０の回転周期に同期した信号、及び、一定周期信号発生器７４が発信する周期的な信号が選択的に入力される。コントローラ７３は、これらの信号に応じて電磁弁７２を制御し、ヘリウムガスの排ガスに対する供給／非供給を一定周期で切り替える。
　第３実施例の流速計２１０では、排気管２２内を流れる排ガスに対してヘリウムを供給することによって、排ガスに含まれるＨ２Ｏ、ＣＯ、ＣＯ２ガス等のガス濃度が相対的に低下する。そして、ヘリウムガスの供給／非供給が周期的に変化するのに応じて、ガス濃度の変動も周期的となる。このように、第３実施例の流速計２１０は、ヘリウムガスを変動マーカガスとして排ガスに供給するので、仮に排ガスに関するパラメータ（温度及び排ガスに含まれるガス濃度）の変化の度合いが小さい場合やパラメータの変化が実質的に無い場合であっても、確実に流速を計測することができる。また、排ガスに関するパラメータの変化を示す波形データが、例えば、正弦波に近いような整った波形の場合、時間ずれを判定することが困難になる可能性があるが、ヘリウムガスを一定周期で供給することによって波形が乱れるので、容易に時間ずれを判定することができる。
　なお、本実施例では、第１実施例と同様の計測セルでＣＯ２ガス等のガス濃度の変動を検出したが、これに限らず、ヘリウムガス自体の周期的な濃度変化を検出してもよい。この場合であっても、一組の計測セルの出力の時間ずれから詳細に排ガスの流速を計測することができる。また、本実施例は、第１実施例の流速計１０に対してガス供給装置７０を追加的に設けた構成であったが、第２実施例の流速計１１０に対してガス供給装置７０を追加的に設けてもよい。
（変形例）
　本発明は、以上説明した実施例に限定されることなく、以下に示すような種々の変形や変更が可能であって、これらも本発明の技術的範囲内に含まれる。
（１）本発明の流体計測装置の計測対象は、実施例ではガソリンエンジンから排出される排ガスであったが、これに限らず、焼却炉から排出される排ガスや、火力発電所のタービンに供給する水蒸気等、他の流体であってもよい。また、測定対象の流体は、気体（ガス）に限らず、液体であってもよい。
（２）実施例は、検出部としてレーザ吸収分光法を利用した計測セルを用いたが、検出部は、これに限らず、例えば、公知の薄膜温度センサやレーザ以外の光を用いた吸収分光法・錯乱分光法・発光分光法を使用してもよく、これらのセンサの出力（温度変化等）に基づいて流体の流速及び流量を計測してもよい。
（３）実施例は、計測セルの出力に基づいて生成された波形データの位相差に基づいて流速を計測したが、これに限らず、計測セルから出力されるアナログ信号を用いて直接に流速を計測してもよい。この場合、検出の応答性が向上するので、エンジン回転速度が実施例よりも高く、排ガスの流速がより高速な場合であっても、詳細に流速を計測することができる。
（４）第２実施例は、３つの計測セルを設けたが、計測セルの数はこれに限らず、４つ以上でもよい。
（５）第３実施例では、不活性ガスを排ガス内に供給することによって、排ガスに含まれるガス濃度を相対的に低下させたが、これに限らず、排ガスに含まれるガスと同じガスを周期的に供給してガス濃度を増加させてもよい。

Claims (9)

  1. 　流体が流れる管路上に互いに離間した状態で複数が設けられ、前記流体の状態の変化に対応して変化するパラメータを検出する検出部と、
    　一組の前記検出部が検出した前記パラメータの変化の時間ずれ、及び、当該一組の検出部の前記管路に沿った距離に基づいて前記流体の流速を演算する演算部と
    　を備える流体計測装置。
  2. 　請求項１に記載の流体計測装置において、
    　前記演算部は、前記流体の流速と前記管路の断面積とに基づいて前記流体の流量を演算すること
    　を特徴とする流体計測装置。
  3. 　請求項１又は請求項２に記載の流体計測装置において、
    　前記流体の状態の変化に対応して変化するパラメータには、前記流体の温度、前記流体に含まれる物質の濃度、及び、前記物質により吸収・錯乱・発光された光の強度の少なくともひとつが含まれること
    　を特徴とする流体計測装置。
  4. 　請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載の流体計測装置において、
    　前記検出部は、前記流体中にレーザ光を照射する照射部と、前記流体中を透過又は錯乱した前記レーザ光を受光する受光部とを備え、前記照射部が照射する照射光と前記受光部が受光する透過光との強度比に基づいて前記パラメータを検出すること
    　を特徴とする流体計測装置。
  5. 　請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載の流体計測装置において、
    　前記演算部は、前記一組の検出部が検出したパラメータの変化に基づく波形信号同士を対比することによって、前記パラメータの変化の時間ずれを評価すること
    　を特徴とする流体計測装置。
  6. 　請求項１から請求項５までのいずれか１項に記載の流体計測装置において、
    　前記演算部は、前記一組の検出部が検出したパラメータの変化の相関を計算することによって、前記パラメータの変化の時間ずれを評価すること
    　を特徴とする流体計測装置。
  7. 　請求項１から請求項６までのいずれか１項に記載の流体計測装置において、
    　前記検出部は、３つ以上が設けられ、
    　前記演算部は、前記３つ以上が設けられた検出部のうちの２つの組み合わせを前記流体の流速に応じて決定すること
    　を特徴とする流体計測装置。
  8. 　請求項１から請求項７までのいずれか１項に記載の流体計測装置において、
    　前記流体は、内燃機関から排出される排ガスであり、
    　前記演算部は、前記検出部の出力信号から得られた前記排ガスの温度又は前記排ガスに含まれるガスのガス濃度を周波数解析したパワースペクトルに基づいて前記内燃機関の回転速度を推定すること
    　を特徴とする流体計測装置。
  9. 　請求項１から請求項８までのいずれか１項に記載の流体計測装置において、
    　前記流体が流れる管路上において、前記検出部の上流に配置され、前記流体に含まれる物質の濃度を増減させる手段を有すること
    　を特徴とする流体計測装置。
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