WO2009090743A1 - Substrate transport device - Google Patents

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Abstract

A substrate transport device comprises a first transport means which transports a substrate horizontally in a first transport direction and a second transport means which transports the substrate horizontally in a second transport direction orthogonal to the first transport direction. The first transport means is composed of a plurality of lines of first transport units separated from one another in the first transport direction. The second transport means is composed of a plurality of second transport units separated from one another in the second transport direction. Each second transport unit comprises a supporting unit which is disposed in a gap between the first transport units to support the substrate from its lower side, a vertical movement unit which is disposed under the supporting unit to vertically move the supporting unit, and a drive unit which is disposed below the first transport unit to move the supporting unit and the vertical movement unit in the second transport direction.

Description

基板搬送装置Substrate transfer device
 本発明は、基板を搬送する装置に関する。 The present invention relates to an apparatus for transporting a substrate.
 液晶ディスプレイやプラズマディスプレイに代表されるFPD(フラットパネルディスプレイ)の製造ラインでは、基板を収容するカセットと処理装置との間、或いは、処理装置間で基板を搬送する必要がある。 In an FPD (flat panel display) production line typified by a liquid crystal display or a plasma display, it is necessary to transport the substrate between a cassette for accommodating the substrate and the processing apparatus or between the processing apparatuses.
 基板を搬送する装置として、特開2005-64432号公報には、カセットから搬出した基板を載置する載置台と、載置台から搬出した基板を処理装置へ搬送する基板搬送装置と、を備えた装置が開示されている。しかし、この装置は、基板搬送装置が基板を搬送中には、載置台から基板搬送装置へ基板を搬出できず、基板の搬送効率が低下する。 As an apparatus for transporting a substrate, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2005-64432 includes a mounting table for mounting a substrate unloaded from a cassette, and a substrate transporting apparatus for transporting the substrate unloaded from the mounting table to a processing apparatus. An apparatus is disclosed. However, in this apparatus, while the substrate transfer device is transferring the substrate, the substrate cannot be transferred from the mounting table to the substrate transfer device, and the transfer efficiency of the substrate is reduced.
 特開2004-292094号公報には、ローラコンベアと、ローラコンベア上の基板をカセットに搬入し、また、カセットからローラコンベア上に基板を搬出する移載装置と、を備えた装置が開示されている。この装置は、ローラコンベアが基板を搬送中であっても、移載装置によりローラコンベア上にカセットから基板を搬出することが可能である。しかし、移載装置の一部がローラコンベアの側方に位置するため、移載装置の設置スペースを確保するために、装置全体が大型化する。 Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-292094 discloses an apparatus including a roller conveyor and a transfer device that loads a substrate on the roller conveyor into a cassette and unloads the substrate from the cassette onto the roller conveyor. Yes. In this apparatus, even when the roller conveyor is transporting the substrate, the substrate can be carried out of the cassette onto the roller conveyor by the transfer device. However, since a part of the transfer device is located on the side of the roller conveyor, the entire device is enlarged in order to secure an installation space for the transfer device.
 特開2004-284772号公報の図11及び図12には、搬送方向が直交する2組のローラコンベアを上下に重なるように配置し、その一方を昇降する装置が開示されている。この装置も、一方のローラコンベアが基板を搬送中であっても、当該一方のローラコンベア上にカセットから基板を搬出し、これを他方のローラコンベアの昇降により当該他方のローラコンベアで搬送することが可能である。また、搬送方向が直交する2組のローラコンベアを上下に重なるように配置することで、装置全体の小型化も図れる。しかし、ローラコンベアはローラの駆動機構を備えており、その軽量化が容易ではない。したがって、ローラコンベアの昇降に時間がかかり、基板の搬送効率が低下する場合がある。 FIG. 11 and FIG. 12 of Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-284772 disclose a device in which two sets of roller conveyors whose transport directions are orthogonal to each other are arranged so as to overlap each other and one of them is moved up and down. Even in this apparatus, even when one roller conveyor is transporting a substrate, the substrate is unloaded from the cassette onto the one roller conveyor, and is conveyed by the other roller conveyor by raising and lowering the other roller conveyor. Is possible. Further, the entire apparatus can be reduced in size by arranging two sets of roller conveyors whose conveying directions are orthogonal to each other so as to overlap each other. However, the roller conveyor has a roller driving mechanism, and it is not easy to reduce its weight. Therefore, it takes time to move the roller conveyor up and down, and the substrate transfer efficiency may decrease.
 本発明の目的は、装置全体の小型化を図りながら基板の搬送効率を向上し得る基板搬送装置を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a substrate transfer apparatus capable of improving the transfer efficiency of a substrate while reducing the size of the entire apparatus.
 本発明によれば、基板をその下側から支持して第1搬送方向で水平に搬送する第1搬送手段と、前記第1搬送手段上の前記基板を、その下側から支持して前記第1搬送方向と直交する第2搬送方向で水平に搬送する第2搬送手段と、を備え、前記第1搬送手段は、互いに前記第1搬送方向に離間した複数列の第1搬送ユニットで構成され、前記第2搬送手段は、互いに前記第1搬送方向に離間した複数の第2搬送ユニットで構成され、各々の前記第2搬送ユニットは、前記第1搬送ユニット間の空隙に配置され、前記基板をその下側から支持する支持ユニットと、前記支持ユニットの下方に配置され、かつ、前記支持ユニットに連結して設けられ、前記第1搬送ユニット上の前記基板を前記支持ユニットが前記第1搬送ユニットから持ち上げる上昇位置と、前記支持ユニットが前記第1搬送ユニット上の前記基板と干渉しない降下位置と、の間で前記支持ユニットを昇降させる昇降ユニットと、前記第1搬送ユニットよりも下方に配置され、前記支持ユニット及び前記昇降ユニットを前記第2搬送方向に移動させる駆動ユニットと、を備えた基板搬送装置が提供される。 According to the present invention, the first transport means for supporting the substrate from the lower side and transporting it horizontally in the first transport direction, and the substrate on the first transport means from the lower side for supporting the first Second conveying means for horizontally conveying in a second conveying direction orthogonal to the one conveying direction, wherein the first conveying means is composed of a plurality of rows of first conveying units spaced apart from each other in the first conveying direction. The second transport means includes a plurality of second transport units spaced apart from each other in the first transport direction, and each of the second transport units is disposed in a gap between the first transport units, and the substrate A support unit that supports the substrate on the first transport unit, the support unit disposed below the support unit, and connected to the support unit. The support unit supports the substrate on the first transport unit. Lift from unit An elevating unit that raises and lowers the support unit between a raised position and a lowered position where the support unit does not interfere with the substrate on the first transport unit, and is disposed below the first transport unit, There is provided a substrate transfer apparatus comprising: a drive unit that moves the support unit and the elevating unit in the second transfer direction.
 本発明では、上記構成により、前記第2搬送手段が前記第1搬送手段の下方に配置されることから、装置全体の小型化を図れる。また、前記昇降ユニットによる前記支持ユニットの昇降により前記基板を昇降する。前記支持ユニットは、前記基板を下側から支持する機能を有すれば足り、前記基板を移動するための駆動機構は不要であるので、その軽量化が図れる。このため、前記基板の昇降の高速化が図れ、基板の搬送効率を向上できる。 In the present invention, with the above-described configuration, the second transport unit is disposed below the first transport unit, so that the size of the entire apparatus can be reduced. Further, the substrate is raised and lowered by raising and lowering the support unit by the raising and lowering unit. The support unit only needs to have a function of supporting the substrate from below, and a driving mechanism for moving the substrate is unnecessary, so that the weight can be reduced. For this reason, the raising / lowering speed of the said board | substrate can be achieved and the conveyance efficiency of a board | substrate can be improved.
本発明の一実施形態に係る基板搬送装置Aのレイアウトを示す平面図である。It is a top view which shows the layout of the board | substrate conveyance apparatus A which concerns on one Embodiment of this invention. 図1の線I-Iに沿う直交搬送装置1の構造説明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram of the structure of the orthogonal conveyance device 1 along the line II in FIG. 1. 図1の線II-IIに沿う直交搬送装置1の構造説明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram of the structure of the orthogonal conveyance device 1 along the line II-II in FIG. 1. 第2搬送ユニット21の斜視図である。FIG. 6 is a perspective view of a second transport unit 21. 基板保持ユニット34の動作説明図である。6 is an operation explanatory diagram of the substrate holding unit 34. FIG. 収納カセット70の斜視図である。3 is a perspective view of a storage cassette 70. FIG. 収納カセット70からガラス基板Wを搬出する場合の動作説明図である。It is operation | movement explanatory drawing in the case of carrying out the glass substrate W from the storage cassette 70. FIG. 基板搬送装置Aの制御装置200のブロック図である。4 is a block diagram of a control device 200 of the substrate transfer apparatus A. FIG. 基板搬送装置Aの動作説明図である。FIG. 10 is an operation explanatory diagram of the substrate transfer apparatus A. 基板搬送装置Aの動作説明図である。FIG. 10 is an operation explanatory diagram of the substrate transfer apparatus A. 基板搬送装置Aの動作説明図である。FIG. 10 is an operation explanatory diagram of the substrate transfer apparatus A. 基板搬送装置Aの動作説明図である。FIG. 10 is an operation explanatory diagram of the substrate transfer apparatus A. 基板搬送装置Aの動作説明図である。FIG. 10 is an operation explanatory diagram of the substrate transfer apparatus A. 基板搬送装置Aの動作説明図である。FIG. 10 is an operation explanatory diagram of the substrate transfer apparatus A. 基板搬送装置Aの動作説明図である。FIG. 10 is an operation explanatory diagram of the substrate transfer apparatus A. 基板搬送装置Aの動作説明図である。FIG. 10 is an operation explanatory diagram of the substrate transfer apparatus A.
 <全体構成>
 図1は本発明の一実施形態に係る基板搬送装置Aのレイアウトを示す平面図、図2は図1の線I-Iに沿う直交搬送装置1の構造説明図、図3は図1の線II-IIに沿う直交搬送装置1の構造説明図である。各図において、矢印X、Yは相互に直交する水平方向を示す。X、Y方向の正逆方向を特に言う場合には、矢印の方向を+X、+Yとし、逆の方向を-X、-Yという。矢印Zは上下方向(鉛直方向)を示す。上下を区別して言う場合には、上方向を+Z、下方向を-Zという。
<Overall configuration>
FIG. 1 is a plan view showing a layout of a substrate transfer apparatus A according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a structural explanatory view of the orthogonal transfer apparatus 1 along the line II in FIG. 1, and FIG. It is structure explanatory drawing of the orthogonal conveying apparatus 1 along II-II. In each figure, arrows X and Y indicate horizontal directions orthogonal to each other. When the forward and reverse directions of the X and Y directions are specifically mentioned, the directions of the arrows are + X and + Y, and the opposite directions are -X and -Y. An arrow Z indicates a vertical direction (vertical direction). When the upper and lower sides are distinguished, the upper direction is called + Z and the lower direction is called -Z.
 基板搬送装置Aは、直交搬送装置1と、コンベア装置2及び3、搬送装置4、複数のコンベア装置5及び複数の昇降装置80を備える。基板搬送装置Aは、方形薄板状のガラス基板Wを収納する収納カセット70から不図示の処理装置へガラス基板Wを搬送し、また、該処理装置から収納カセット70へガラス基板Wを搬送する。処理装置はガラス基板Wの洗浄、乾燥、その他の処理を行う。 The substrate transfer device A includes an orthogonal transfer device 1, conveyor devices 2 and 3, a transfer device 4, a plurality of conveyor devices 5, and a plurality of lifting devices 80. The substrate transport apparatus A transports the glass substrate W from the storage cassette 70 that stores the rectangular thin glass substrate W to the processing apparatus (not shown), and transports the glass substrate W from the processing apparatus to the storage cassette 70. The processing apparatus performs cleaning, drying, and other processing of the glass substrate W.
 <直交搬送装置1>
 直交搬送装置1は、X方向にガラス基板Wを水平に搬送する第1搬送装置10と、第1搬送装置10上のガラス基板WをY方向に水平に搬送する第2搬送装置20と、第1搬送装置10及び第2搬送装置20を支持する架台500とを備える。架台500は、架台本体部501と、架台本体部501を支持する脚部502とで構成される。
<Orthogonal transfer device 1>
The orthogonal conveyance device 1 includes a first conveyance device 10 that horizontally conveys the glass substrate W in the X direction, a second conveyance device 20 that horizontally conveys the glass substrate W on the first conveyance device 10 in the Y direction, And a gantry 500 that supports the first conveyance device 10 and the second conveyance device 20. The gantry 500 includes a gantry body 501 and legs 502 that support the gantry body 501.
 <第1搬送装置10>
 第1搬送装置10は、互いにX方向に離間した複数列の第1搬送ユニット11で構成される。本実施形態の場合、第1搬送ユニット11は4列設けられている。
<First transfer device 10>
The first transport device 10 includes a plurality of rows of first transport units 11 that are separated from each other in the X direction. In the present embodiment, four rows of first transport units 11 are provided.
 第1搬送ユニット11は、更にY方向に配列された複数のローラコンベアユニット60で構成されている。図1乃至図3に示すように、各ローラコンベアユニット60は、ガラス基板Wが載置される複数のローラ61と、ローラ61の駆動装置を内蔵した駆動ボックス62と、ガラス基板Wの到来を検出する光センサ等のセンサ63(図3参照)と、を備える。ローラ61は、Y方向の回転軸回りに回動自在に設けられた従動ローラであり、ガラス基板Wをその下側から支持して+X方向及び-X方向の両方向に搬送するものである。各ローラコンベアユニット60はそれぞれ独立して駆動可能であり、また、脚部601によって前述した架台500の架台本体部501上に直立支持される。 The first transport unit 11 is further composed of a plurality of roller conveyor units 60 arranged in the Y direction. As shown in FIGS. 1 to 3, each roller conveyor unit 60 has a plurality of rollers 61 on which a glass substrate W is placed, a drive box 62 incorporating a driving device for the rollers 61, and the arrival of the glass substrate W. And a sensor 63 (see FIG. 3) such as an optical sensor to detect. The roller 61 is a driven roller provided so as to be rotatable about a rotation axis in the Y direction, and supports the glass substrate W from the lower side thereof and transports it in both the + X direction and the −X direction. Each roller conveyor unit 60 can be driven independently, and is supported upright on the gantry body 501 of the gantry 500 by the legs 601.
 本実施形態では、第1搬送ユニット11をローラコンベアユニット60で構成したが、ガラス基板Wをその下側から支持して搬送する他の搬送ユニット、例えば、ベルトコンベア等でもよい。 In the present embodiment, the first transport unit 11 is configured by the roller conveyor unit 60, but may be another transport unit that supports and transports the glass substrate W from the lower side, for example, a belt conveyor.
 <第2搬送装置20>
 図2に示すように第2搬送装置20は、同期的に制御され、互いにX方向に離間した複数の第2搬送ユニット21で構成され、架台本体部501上に設けられる。本実施形態の場合、第2搬送ユニット21は3つ設けられている。以下、図2乃至図4を参照して各第2搬送ユニット21の構成を詳述する。図4は第2搬送ユニット21の斜視図である。第2搬送ユニット21は、支持ユニット30と、昇降ユニット40と、駆動ユニット50と、を備える。
<Second transfer device 20>
As shown in FIG. 2, the second transport device 20 is configured by a plurality of second transport units 21 that are controlled synchronously and spaced apart from each other in the X direction, and are provided on the gantry body 501. In the case of this embodiment, three second transport units 21 are provided. Hereinafter, the configuration of each second transport unit 21 will be described in detail with reference to FIGS. 2 to 4. FIG. 4 is a perspective view of the second transport unit 21. The second transport unit 21 includes a support unit 30, an elevating unit 40, and a drive unit 50.
 <支持ユニット30>
 支持ユニット30はY方向に延び、そのY方向の長さはガラス基板WのY方向の幅よりも若干長い。このため、各第2搬送ユニット21の支持ユニット30によって、ガラス基板Wを安定して支持できる。
<Support unit 30>
The support unit 30 extends in the Y direction, and the length in the Y direction is slightly longer than the width in the Y direction of the glass substrate W. For this reason, the glass substrate W can be stably supported by the support unit 30 of each second transport unit 21.
 支持ユニット30は、Y方向に延びる支持部材31を備える。本実施形態の場合、支持部材31は中空の角型鋼管である。支持部材31上にはY方向に離間して複数設けられ、ブラケット33を介して支持部材31に支持されたローラ32を備える。ローラ32はブラケット33に回転自在に取り付けられており、X方向の軸回りに回転可能である。第2搬送ユニット21によりガラス基板Wを搬送する場合、ガラス基板Wはローラ32上に載置され、ローラ32はガラス基板Wの下面に当接してガラス基板Wをその下側から支持する。本実施形態では、支持部材31に、ブラケット33を介してローラ32を設けた場合を例に挙げて説明を行ったが、これに限定するものではない。例えば、支持部材31に、先端に転動自在なベアリングを有するピン部材を設けてもよい。 The support unit 30 includes a support member 31 extending in the Y direction. In the case of this embodiment, the support member 31 is a hollow square steel pipe. A plurality of rollers 32 are provided on the support member 31 so as to be separated from each other in the Y direction, and are supported by the support member 31 via brackets 33. The roller 32 is rotatably attached to the bracket 33 and can rotate about an axis in the X direction. When the glass substrate W is transported by the second transport unit 21, the glass substrate W is placed on the roller 32, and the roller 32 contacts the lower surface of the glass substrate W to support the glass substrate W from below. In the present embodiment, the case where the roller 32 is provided on the support member 31 via the bracket 33 has been described as an example, but the present invention is not limited to this. For example, the support member 31 may be provided with a pin member having a rolling bearing at the tip.
 支持ユニット30は、Y方向に離間して配置された一対の基板保持ユニット34を備える。本実施形態の場合、基板保持ユニット34は、各ローラ32を挟むように、支持部材31のY方向の両端部にそれぞれ配置されている。基板保持ユニット34は、ガラス基板Wの端縁に当接する当接部材35と、当接部材35をY方向に往復移動する移動ユニット36と、移動ユニット36を覆うカバー部材37と、を備える。 The support unit 30 includes a pair of substrate holding units 34 that are spaced apart from each other in the Y direction. In the case of this embodiment, the substrate holding units 34 are respectively disposed at both ends in the Y direction of the support member 31 so as to sandwich the rollers 32. The substrate holding unit 34 includes a contact member 35 that contacts the edge of the glass substrate W, a moving unit 36 that reciprocates the contact member 35 in the Y direction, and a cover member 37 that covers the moving unit 36.
 移動ユニット36は、本実施形態の場合、エアシリンダであり、本体部36aと、可動部36bとを備える。本体部36aに対するエアの供給及び切り換えにより、可動部36bはY方向に往復移動する。 In the case of this embodiment, the moving unit 36 is an air cylinder, and includes a main body portion 36a and a movable portion 36b. By the supply and switching of air to the main body 36a, the movable part 36b reciprocates in the Y direction.
 当接部材35は、本実施形態の場合、Z方向の軸回りに回転可能に可動部36bに支持されたローラであり、その周面にガラス基板Wの端縁が当接するようにしている。カバー部材37は移動ユニット36の作動による発塵を防止するものであり、当接部材35の連結軸及び可動部36bとの干渉を避けるため、その上面にはスリット371が設けられている。 In the case of this embodiment, the contact member 35 is a roller supported by the movable portion 36b so as to be rotatable about an axis in the Z direction, and the edge of the glass substrate W is in contact with the peripheral surface thereof. The cover member 37 prevents dust generation due to the operation of the moving unit 36, and a slit 371 is provided on the upper surface thereof in order to avoid interference with the connecting shaft of the contact member 35 and the movable portion 36b.
 図5は基板保持ユニット34の動作説明図である。図5の上側の態様は、ローラ32上にガラス基板Wが載置され、基板保持ユニット34の当接部材35が退避位置にある場合を示している。この態様から各移動ユニット36の作動により各当接部材35を互いに近接する方向に移動させて当接位置に位置させることで、図5の下側の態様に示すように各当接部材35がガラス基板WのY方向の各端縁に当接し、ガラス基板Wが保持される。また、基板保持ユニット34によるガラス基板Wの保持により、ガラス基板WのY方向の位置決めもなし得る。第2搬送装置20によるガラス基板Wの搬送の間、基板保持ユニット34により、ガラス基板Wが位置決め、保持される。更に、複数列に設けられた第2搬送ユニット21における一対の基板保持ユニット34を、全列同時に駆動(近接する方向に移動)させてもよいが、ガラス基板Wの大きさに応じて、駆動させる列を適宜選択するようにしてもよい。 FIG. 5 is an operation explanatory diagram of the substrate holding unit 34. 5 shows a case where the glass substrate W is placed on the roller 32 and the contact member 35 of the substrate holding unit 34 is in the retracted position. By moving each contact member 35 in the direction approaching each other by the operation of each moving unit 36 from this mode, each contact member 35 is moved to the contact position as shown in the lower side of FIG. The glass substrate W is held in contact with each edge in the Y direction of the glass substrate W. Further, the glass substrate W can be positioned in the Y direction by holding the glass substrate W by the substrate holding unit 34. During the transport of the glass substrate W by the second transport device 20, the glass substrate W is positioned and held by the substrate holding unit 34. Furthermore, the pair of substrate holding units 34 in the second transport units 21 provided in a plurality of rows may be driven simultaneously (moved in the approaching direction) in all rows, but depending on the size of the glass substrate W You may make it select the row | line | column made to select suitably.
 基板保持ユニット34によるガラス基板Wの保持の際、ガラス基板WがY方向に微かに移動する場合があるが、ローラ32はX方向の軸回りに回転可能であるので、ガラス基板Wの移動により、ガラス基板Wとローラ32とが擦れることが防止され、ガラス基板Wを傷付けることを防止できる。 When the glass substrate W is held by the substrate holding unit 34, the glass substrate W may move slightly in the Y direction. However, since the roller 32 can rotate around the axis in the X direction, The glass substrate W and the roller 32 are prevented from rubbing, and the glass substrate W can be prevented from being damaged.
 次に、図2に示すように支持ユニット30は、第1搬送ユニット11間の空隙に配置されている。本実施形態の場合、第1搬送ユニット11は上述したとおり4列設けられており、第1搬送ユニット11間の空隙は3箇所ある。本実施形態では、全ての空隙に支持ユニット30を配置しており、このため、第2搬送ユニット21は3つ設けられている。しかし、全ての空隙に対応した数の第2搬送ユニット21を設ける必要はなく、例えば、本実施形態の場合、X方向の両側の2箇所の空隙に対応して第2搬送ユニット21を2つ設けてもよい。 Next, as shown in FIG. 2, the support unit 30 is disposed in the gap between the first transport units 11. In the present embodiment, the first transport units 11 are provided in four rows as described above, and there are three gaps between the first transport units 11. In the present embodiment, the support units 30 are arranged in all the gaps, and therefore, the two second transport units 21 are provided. However, it is not necessary to provide the number of second transport units 21 corresponding to all the gaps. For example, in the case of this embodiment, two second transport units 21 are provided corresponding to two gaps on both sides in the X direction. It may be provided.
 <昇降ユニット40>
 昇降ユニット40は、本実施形態の場合、エアシリンダであり、図4に示す通り本体部42と、可動部41とを備える。本体部42に対するエアの供給及び切り換えにより、可動部41はZ方向に往復移動する。昇降ユニット40は、支持ユニット30の下方に配置され、可動部41が支持ユニット30の支持部材31の下面に連結されている。
<Elevating unit 40>
In the case of this embodiment, the elevating unit 40 is an air cylinder, and includes a main body portion 42 and a movable portion 41 as shown in FIG. By the supply and switching of air to the main body 42, the movable part 41 reciprocates in the Z direction. The elevating unit 40 is disposed below the support unit 30, and the movable portion 41 is connected to the lower surface of the support member 31 of the support unit 30.
 図2は昇降ユニット40による支持ユニット30の昇降動作を示す。図2の上側の態様は、第1搬送ユニット11のローラ61上に載置されたガラス基板Wと、支持ユニット30とが干渉しないように支持ユニット30が降下位置にある場合を示す。この態様から、昇降ユニット40の作動により支持ユニット30を上昇させると、第1搬送ユニット11のローラ61上に載置されたガラス基板Wが支持ユニット30のローラ32に載置され、ガラス基板Wが第1搬送ユニット11から持ち上げられた上昇位置に支持ユニット30が位置することになる(図2の下側の態様)。 FIG. 2 shows the lifting operation of the support unit 30 by the lifting unit 40. 2 shows a case where the support unit 30 is in the lowered position so that the glass substrate W placed on the roller 61 of the first transport unit 11 and the support unit 30 do not interfere with each other. From this aspect, when the support unit 30 is raised by the operation of the elevating unit 40, the glass substrate W placed on the roller 61 of the first transport unit 11 is placed on the roller 32 of the support unit 30, and the glass substrate W However, the support unit 30 is positioned at the raised position lifted from the first transport unit 11 (the lower side in FIG. 2).
 この後、上述した基板保持ユニット34によりガラス基板Wを保持することで、第1搬送ユニット11に代わって、第2搬送ユニット21によりガラス基板Wを搬送可能な状態となる。 Thereafter, by holding the glass substrate W by the substrate holding unit 34 described above, the glass substrate W can be transported by the second transport unit 21 instead of the first transport unit 11.
 <駆動ユニット50>
 図2及び図3に示すように、駆動ユニット50は第1搬送ユニット11よりも下方に配置され、支持ユニット30及び昇降ユニット40をY方向に移動させる。第1搬送ユニット11の下方のスペースに駆動ユニット50を配置することで、直交搬送装置1全体の小型化が図れる。
<Drive unit 50>
As shown in FIGS. 2 and 3, the drive unit 50 is disposed below the first transport unit 11 and moves the support unit 30 and the lifting unit 40 in the Y direction. By disposing the drive unit 50 in the space below the first transport unit 11, the orthogonal transport device 1 as a whole can be reduced in size.
 駆動ユニット50は、支持板51と、スライド部材52と、レール部材53と、を備える。支持板51には昇降ユニット40が搭載され、これにより昇降ユニット40と支持ユニット30とが駆動ユニット50に搭載される。なお、支持板51上には昇降ユニット40へのエアの供給を切り換える制御弁を搭載することもできる。この構成によれば、制御弁を昇降ユニット40に近接して配置できるので、昇降ユニット40の昇降動作をより確実なものとすることができる。 The drive unit 50 includes a support plate 51, a slide member 52, and a rail member 53. The elevating unit 40 is mounted on the support plate 51, whereby the elevating unit 40 and the support unit 30 are mounted on the drive unit 50. A control valve that switches the supply of air to the lifting unit 40 can be mounted on the support plate 51. According to this configuration, the control valve can be disposed close to the lifting unit 40, so that the lifting operation of the lifting unit 40 can be made more reliable.
 スライド部材52は支持板51の下面に固定して取り付けられており、Y方向に所定間隔で複数個設けられている。各スライド部材52はレール部材53上をスライド移動自在に設けられ、支持板51及びスライド部材52はレール部材53上をスライド移動するスライダを構成している。レール部材53はY方向に延設され、図3に示すように第1搬送ユニット11のY方向の一方端部から他方端部までの略全域に渡って延設されている。スライド部材(リニアガイドブロック)52のレール部材53と対向する面には、ベアリング(又はころ)が内蔵される。これらのベアリングは、リニアガイドブロックの内部を循環しながら、レール部材53の溝内(接触面)を転動する(又はこれらのころは、リニアガイドブロックの内部で、レール部材53の接触面と接触しつつ転動する)。よって、スライド部材52は、殆ど摩擦抵抗を受けることなくレール部材53上をスライド移動することができる。 The slide member 52 is fixedly attached to the lower surface of the support plate 51, and a plurality of slide members 52 are provided at predetermined intervals in the Y direction. Each slide member 52 is slidably provided on the rail member 53, and the support plate 51 and the slide member 52 constitute a slider that slides on the rail member 53. The rail member 53 extends in the Y direction, and extends over substantially the entire area from one end to the other end of the first transport unit 11 in the Y direction as shown in FIG. A bearing (or roller) is built in the surface of the slide member (linear guide block) 52 facing the rail member 53. These bearings roll in the groove (contact surface) of the rail member 53 while circulating inside the linear guide block (or these rollers contact the contact surface of the rail member 53 inside the linear guide block. Rolls in contact). Therefore, the slide member 52 can slide on the rail member 53 with almost no frictional resistance.
 レール部材53のY方向の両端部にはそれぞれ端部部材53aが設けられており、各端部部材53aには軸受け54aが固定されている。軸受け54aによりX方向に延びる軸54が軸支されており、レール部材53のY方向の両端部にそれぞれ1つずつ設けられている。本実施形態の場合、軸54は全ての第2搬送ユニット21に共通であり、それぞれの端部に設けられる軸54は1本に連結されている。 End members 53a are provided at both ends of the rail member 53 in the Y direction, and bearings 54a are fixed to the end members 53a. A shaft 54 extending in the X direction is supported by the bearing 54 a, and one shaft 54 is provided at each end of the rail member 53 in the Y direction. In the case of this embodiment, the shaft 54 is common to all the second transport units 21, and the shafts 54 provided at the respective ends are connected to one.
 各軸54の周りにおけるレール部材53の近傍にはプーリ55が設けられており、レール部材53毎に一対のプーリ55が配置される。Y方向に離間したこの一対のプーリ55にはベルト56が巻き回されており、ベルト56の両端部はそれぞれ支持板51の前後に固定されている(図4参照)。 A pulley 55 is provided in the vicinity of the rail member 53 around each shaft 54, and a pair of pulleys 55 is disposed for each rail member 53. A belt 56 is wound around the pair of pulleys 55 separated in the Y direction, and both end portions of the belt 56 are respectively fixed to the front and rear of the support plate 51 (see FIG. 4).
 2つの軸54の一方には、駆動源58が設けられている。駆動源58は、モータ58aと、減速機58bとを備え、軸54を回転駆動する。しかして、駆動源58の駆動による一方の軸54の回転により、当該一方の軸54に固定されたプーリ54が回転し、ベルト56が走行する。この結果、支持板51及びスライド部材52がレール部材53上をスライド移動し、支持ユニット30及び昇降ユニット40をY方向に移動させ、かつ、任意の位置に停止させることができる。 A drive source 58 is provided on one of the two shafts 54. The drive source 58 includes a motor 58a and a speed reducer 58b, and rotationally drives the shaft 54. As a result of the rotation of one shaft 54 driven by the drive source 58, the pulley 54 fixed to the one shaft 54 rotates, and the belt 56 travels. As a result, the support plate 51 and the slide member 52 slide on the rail member 53, and the support unit 30 and the lifting unit 40 can be moved in the Y direction and stopped at an arbitrary position.
 支持ユニット30及び昇降ユニット40の重量は、レール部材53により負担される。したがって、プーリ55を回転させ、ベルト56を走行させる駆動源58は、Y方向への移動力を発生できれば足り、より少ない出力のもので足りる。 The weight of the support unit 30 and the lifting unit 40 is borne by the rail member 53. Therefore, the drive source 58 that rotates the pulley 55 and travels the belt 56 is sufficient if it can generate a moving force in the Y direction, and it is sufficient to have a smaller output.
 駆動源58の駆動による支持ユニット30及び昇降ユニット40のY方向の移動位置については、例えば、フィードバック制御により制御することができる。この場合、モータ58aの回転数を検出するセンサや、レール部材53上のスライド部材52の位置を検出するセンサ等の検出結果に応じてモータ58aを制御する。 The movement positions in the Y direction of the support unit 30 and the lifting unit 40 by driving the drive source 58 can be controlled by feedback control, for example. In this case, the motor 58a is controlled according to detection results of a sensor for detecting the rotation speed of the motor 58a, a sensor for detecting the position of the slide member 52 on the rail member 53, and the like.
 なお、本実施形態では、駆動源58として、ベルト伝動機構を採用したが他の機構を採用してもよい。例えば、ボールネジ機構や、リニアモータを用いた機構を採用できる。 In this embodiment, a belt transmission mechanism is employed as the drive source 58, but other mechanisms may be employed. For example, a ball screw mechanism or a mechanism using a linear motor can be employed.
 また、本実施形態では、各第2搬送ユニット21について、駆動源58を共通としている。しかし、第2搬送ユニット21毎に駆動源58を設け、同期的に制御するようにしてもよい。尤も、駆動源58を共通とすることで、コストの低減、制御の簡便化、構成の簡素化を図れる。 Further, in the present embodiment, the drive source 58 is made common to each second transport unit 21. However, a drive source 58 may be provided for each second transport unit 21 so as to be controlled synchronously. However, by using the common drive source 58, it is possible to reduce costs, simplify control, and simplify the configuration.
 駆動ユニット50は、一対のカバー部材57を備える。図2に示すように、一対のカバー部材57は、レール部材53の+X側、-X側にそれぞれ配置されたC字型をなし、中空の空間S1、S2を形成している。空間S1内にはプーリ55、ベルト56が収納され、空間S2には不図示の配線、配管が配置される。そして、これらカバー部材57により、レール部材53、支持板51、スライド部材52、プーリ55、ベルト56が囲包され、駆動ユニット50の駆動による発塵を防止する。カバー部材57には、その内部の空間S1、S2内の空気を吸引して外部へ排気する吸引排気手段57a(図3)が複数設けられている。これにより、発塵をより確実に防止できる。 The drive unit 50 includes a pair of cover members 57. As shown in FIG. 2, the pair of cover members 57 has a C-shape disposed on the + X side and the −X side of the rail member 53, and forms hollow spaces S1 and S2. A pulley 55 and a belt 56 are accommodated in the space S1, and wiring and piping (not shown) are arranged in the space S2. The cover member 57 surrounds the rail member 53, the support plate 51, the slide member 52, the pulley 55, and the belt 56, and prevents dust generation due to driving of the drive unit 50. The cover member 57 is provided with a plurality of suction / exhaust means 57a (FIG. 3) for sucking air in the internal spaces S1 and S2 and exhausting the air to the outside. Thereby, dust generation can be prevented more reliably.
 <コンベア装置2及び3>
 図1を参照して、コンベア装置2及び3は、本実施形態の場合、いずれも複数のローラコンベアユニット60から構成されている。コンベア装置2は、第1搬送装置10の+X方向の側方に配置され、搬送装置4から直交搬送装置1へガラス基板Wを搬送する。コンベア装置3は第1搬送装置10の+X側に配置され、直交搬送装置1から搬送装置4へガラス基板Wを搬送する。
<Conveyor devices 2 and 3>
With reference to FIG. 1, the conveyor devices 2 and 3 each include a plurality of roller conveyor units 60 in the case of this embodiment. The conveyor device 2 is disposed on the side in the + X direction of the first transport device 10 and transports the glass substrate W from the transport device 4 to the orthogonal transport device 1. The conveyor device 3 is disposed on the + X side of the first transport device 10 and transports the glass substrate W from the orthogonal transport device 1 to the transport device 4.
 <搬送装置4>
 搬送装置4は、コンベア装置3から搬送されてくるガラス基板Wを不図示の処理装置へ搬送し、処理装置から搬送されてくるガラス基板Wをコンベア装置2へ搬送する。搬送装置4の構成は、例えば、直交搬送装置1と同様の構成でもよいし、Y方向に移動可能な多関節型のロボット等でもよい。
<Transport device 4>
The transport device 4 transports the glass substrate W transported from the conveyor device 3 to a processing device (not shown), and transports the glass substrate W transported from the processing device to the conveyor device 2. The configuration of the transfer device 4 may be, for example, the same configuration as that of the orthogonal transfer device 1, or an articulated robot that can move in the Y direction.
 <収納カセット70>
 図6は収納カセット70の斜視図である。収納カセット70はコンベア装置5の上方に設けられ、ガラス基板Wを水平姿勢で、Z方向に多段に収納可能なカセットである。なお、図6はガラス基板Wが未収納の状態を示している。本実施形態の場合、収納カセット70は複数の柱部材71と、梁部材72と、により略直方体形状のフレーム体をなしている。梁部材72の配設間隔は、コンベア装置5が収納カセット70の下方から収納カセット70内に進入できるように設定され、梁部材72は、コンベア装置5が下方から進入可能な開口部を形成している。
<Storage cassette 70>
FIG. 6 is a perspective view of the storage cassette 70. The storage cassette 70 is provided above the conveyor device 5 and is a cassette that can store the glass substrates W in a horizontal posture in multiple stages in the Z direction. FIG. 6 shows a state where the glass substrate W is not stored. In the case of this embodiment, the storage cassette 70 forms a substantially rectangular parallelepiped frame body by a plurality of column members 71 and beam members 72. The arrangement interval of the beam members 72 is set so that the conveyor device 5 can enter the storage cassette 70 from below the storage cassette 70, and the beam member 72 forms an opening through which the conveyor device 5 can enter from below. ing.
 柱部材71は、X方向に複数配設されると共に、Y方向に離間して同数並設されている。Y方向に離間した一対の柱部材71間には、Z方向に並べて、かつ、所定のピッチでワイヤ73が張設されている。各ワイヤ73の上下間のスペースは、ガラス基板Wを収納するスロットを形成し、ガラス基板Wは水平姿勢でワイヤ73上に一枚ずつ載置される。そして、Z方向に並んだワイヤ73の数だけ、スロットが形成される。 The plurality of column members 71 are arranged in the X direction, and the same number of the column members 71 are arranged side by side in the Y direction. Between a pair of pillar members 71 spaced apart in the Y direction, wires 73 are stretched in a Z direction and at a predetermined pitch. The space between the upper and lower sides of each wire 73 forms a slot for storing the glass substrate W, and the glass substrates W are placed one by one on the wire 73 in a horizontal posture. Then, as many slots as the number of wires 73 arranged in the Z direction are formed.
 本実施形態ではスロットをワイヤにより形成したが、他の方式ももちろん採用可能である。但し、ワイヤの使用により、収納される基板間の間隔を小さくすることができ、収納カセット70の収納効率を高めることができる。 In this embodiment, the slot is formed by a wire, but other methods can of course be employed. However, by using the wire, the interval between the substrates to be stored can be reduced, and the storage efficiency of the storage cassette 70 can be increased.
 <コンベア装置5>
 コンベア装置5は、本実施形態の場合、複数のローラコンベアユニット60から構成されている。コンベア装置5は収納カセット70毎に設けられ、収納カセット70の下方に位置している。また、コンベア装置5は、図1に示すように、第1搬送装置10の-X方向の側方に配置され、直交搬送装置1との間でガラス基板Wの搬送、ここでは、収納カセット70へのガラス基板Wの搬入及び収納カセット70からのガラス基板Wの搬出を行う。
<Conveyor device 5>
In the case of the present embodiment, the conveyor device 5 includes a plurality of roller conveyor units 60. The conveyor device 5 is provided for each storage cassette 70 and is located below the storage cassette 70. Further, as shown in FIG. 1, the conveyor device 5 is disposed on the side of the first transport device 10 in the −X direction, and transports the glass substrate W to and from the orthogonal transport device 1. The glass substrate W is carried into and out of the storage cassette 70.
 <昇降装置>
 一対の昇降装置80により収納カセット70をZ方向に昇降することで、収納カセット70とコンベア装置5とをZ方向に相対的に移動させる。これに代えて、コンベア装置5をZ方向に昇降する構成としてもよい。なお、コンベア装置5を昇降する構成とした場合は、第1搬送装置10も昇降する構成になる。
<Elevating device>
The storage cassette 70 and the conveyor device 5 are relatively moved in the Z direction by raising and lowering the storage cassette 70 in the Z direction by the pair of lifting devices 80. Instead of this, the conveyor device 5 may be configured to move up and down in the Z direction. In addition, when it is set as the structure which raises / lowers the conveyor apparatus 5, it becomes a structure which the 1st conveying apparatus 10 also raises / lowers.
 本実施形態の場合、各昇降装置80は収納カセット70を挟むように収納カセット70の互いに対向するY方向の両側部にそれぞれ配設され、収納カセット70をそれぞれ片持ち支持する。この構成によれば、昇降装置80をより薄型化できる。 In the case of this embodiment, each lifting device 80 is disposed on both sides of the storage cassette 70 facing each other in the Y direction so as to sandwich the storage cassette 70, and each storage cassette 70 is cantilevered. According to this configuration, the lifting device 80 can be made thinner.
 昇降装置80は、収納カセット70の底部の梁部材72が載置されるビーム部材81を備える。各昇降装置80の各ビーム部材81が同期的にZ方向に移動することで収納カセット70が昇降される。昇降装置80は駆動装置(不図示)を備えており、該駆動装置によりビーム部材81を昇降することで収納カセット70を昇降する。各昇降装置80間には、その支柱の上端に梁部材80aが架設されている。 The elevating device 80 includes a beam member 81 on which the beam member 72 at the bottom of the storage cassette 70 is placed. As each beam member 81 of each lifting device 80 moves in the Z direction synchronously, the storage cassette 70 is lifted and lowered. The lifting device 80 includes a driving device (not shown), and the storage cassette 70 is lifted and lowered by lifting and lowering the beam member 81 by the driving device. Between each lifting device 80, a beam member 80a is installed on the upper end of the column.
 図7はガラス基板Wを収納カセット70から搬出する場合の、昇降装置80による収納カセット70の昇降動作を示す図である。なお、同図において昇降装置80は図示が省略されている。収納カセット70から搬出する場合は、ガラス基板Wが収納されたスロットのうち、最下方のスロットに収納されたガラス基板Wから順番に行う。 FIG. 7 is a diagram showing the raising / lowering operation of the storage cassette 70 by the lifting / lowering device 80 when the glass substrate W is carried out of the storage cassette 70. In the figure, the lifting device 80 is not shown. When carrying out from the storage cassette 70, it carries out in order from the glass substrate W accommodated in the lowest slot among the slots in which the glass substrate W was accommodated.
 まず、図7の左上図に示すように、コンベア装置5の上方に収納カセット70が位置した状態から、昇降装置80(図7において不図示)により収納カセット70を降下させ、図7の右上図に示すように、コンベア装置5上に、搬送対象のガラス基板Wを載置する。このとき、コンベア装置5は収納カセット70内に下方から進入し、搬送対象のガラス基板Wは収納カセット70のワイヤ73から浮いた状態となり、コンベア装置5のみによって支持された状態となる。続いてコンベア装置5を駆動して、図7の左下図に示すように、搬送対象のガラス基板Wを収納カセット70から搬出する。以下、同様に、収納カセット70の降下とコンベア装置5の駆動とを繰り返し(図7の右下図)、下方側から順番にガラス基板Wを搬出することになる。 First, as shown in the upper left diagram of FIG. 7, the storage cassette 70 is lowered by the lifting device 80 (not shown in FIG. 7) from the state where the storage cassette 70 is positioned above the conveyor device 5, and the upper right diagram of FIG. 7. As shown in FIG. 3, the glass substrate W to be transported is placed on the conveyor device 5. At this time, the conveyor device 5 enters the storage cassette 70 from below, and the glass substrate W to be transported floats from the wire 73 of the storage cassette 70 and is supported only by the conveyor device 5. Subsequently, the conveyor device 5 is driven to carry out the glass substrate W to be transported from the storage cassette 70 as shown in the lower left diagram of FIG. Hereinafter, similarly, the lowering of the storage cassette 70 and the driving of the conveyor device 5 are repeated (lower right diagram in FIG. 7), and the glass substrates W are sequentially carried out from the lower side.
 ガラス基板Wを収納カセット70へ搬入する場合、上述した搬出時の動作と概ね逆の動作となる。ガラス基板Wの搬入は、ガラス基板Wが収納されていないスロットのうち、最上方のスロットから順番に行う。 When the glass substrate W is carried into the storage cassette 70, the operation is almost the reverse of the operation at the time of carrying out. The glass substrate W is carried in in order from the uppermost slot among the slots in which the glass substrate W is not accommodated.
 <制御装置>
 図8は基板搬送装置Aの制御装置200の構成を示すブロック図である。制御装置(制御手段)200は基板搬送装置Aの全体の制御を司るCPU201と、CPU201のワークエリアを提供すると共に、可変データ等が記憶されるRAM202と、制御プログラム、制御データ等の固定的なデータが記憶されるROM203と、を備える。RAM202、ROM203は他の記憶手段を採用可能である。
<Control device>
FIG. 8 is a block diagram illustrating a configuration of the control device 200 of the substrate transfer apparatus A. A control device (control means) 200 provides a CPU 201 that controls the entire substrate transport apparatus A, a work area of the CPU 201, a RAM 202 that stores variable data and the like, and a fixed program such as a control program and control data. ROM 203 for storing data. The RAM 202 and the ROM 203 can employ other storage means.
 入力インターフェース(I/F)204は、CPU201と各種のセンサ(例えば、センサ63等)とのインターフェースであり、入力I/F204を介してCPU201は各種のセンサの検出結果を取得する。出力インターフェース(I/F)205は、CPU201と各種のモータ(例えば、モータ58a、駆動ボックス62内のモータ等)、及び、制御弁(基板保持ユニット34及び昇降ユニット40用のもの等)とのインターフェースであり、出力I/F205を介してCPU201は各種のモータ、制御弁を制御する。 The input interface (I / F) 204 is an interface between the CPU 201 and various sensors (for example, the sensor 63), and the CPU 201 acquires detection results of various sensors via the input I / F 204. An output interface (I / F) 205 includes a CPU 201, various motors (for example, a motor 58a, a motor in the drive box 62, and the like), and control valves (for the substrate holding unit 34 and the lifting unit 40). This is an interface, and the CPU 201 controls various motors and control valves via the output I / F 205.
 通信インターフェース(I/F)206は、基板搬送装置Aを含む基板処理設備全体を制御するホストコンピュータ300とCPU201とのインターフェースであり、CPU201はホストコンピュータ300からの指令に応じて基板搬送装置Aを制御することになる。 A communication interface (I / F) 206 is an interface between the host computer 300 that controls the entire substrate processing equipment including the substrate transfer apparatus A and the CPU 201. The CPU 201 controls the substrate transfer apparatus A in response to a command from the host computer 300. To control.
 <基板搬送装置Aによるガラス基板の搬送例>
 図9乃至図16を参照して、基板搬送装置Aによるガラス基板Wの搬送例について説明する。本実施形態では、図9に示すように+Y側にガラス基板Wを収納した収納カセット70を配置し、-Y側に空の収納カセット70を配置して、+Y側に位置する収納カセット70から未処理のガラス基板Wを処理装置へ搬送し、-Y側に位置する収納カセット70へ処理装置から処理済のガラス基板Wを搬送する場合について説明する。まず、図10乃至図12を参照して、+Y側に位置する収納カセット70から未処理のガラス基板Wを処理装置へ搬送する場合を説明する。
<Example of conveyance of glass substrate by substrate conveyance device A>
With reference to FIG. 9 thru | or FIG. 16, the example of conveyance of the glass substrate W by the substrate conveyance apparatus A is demonstrated. In this embodiment, as shown in FIG. 9, the storage cassette 70 storing the glass substrate W is disposed on the + Y side, and the empty storage cassette 70 is disposed on the −Y side. A case will be described in which an unprocessed glass substrate W is transported to the processing apparatus and the processed glass substrate W is transported from the processing apparatus to the storage cassette 70 located on the −Y side. First, a case where an unprocessed glass substrate W is transported from the storage cassette 70 located on the + Y side to the processing apparatus will be described with reference to FIGS.
 図10に示すように、+Y側の収納カセット70からコンベア装置5及び昇降装置80の作動により、ガラス基板Wを一枚+X方向に搬送する。同時に、直交搬送装置1では、第1搬送装置10の第1搬送ユニット10の作動により、収納カセット70から搬送されてくるガラス基板Wを+X側に搬送して、直交搬送装置1のX方向の略中央にガラス基板Wを位置させる。このとき、支持ユニット30は降下位置に位置させ、かつ、搬送されてくるガラス基板Wの真下に位置させる。基板保持ユニット34の当接部材35は退避位置に位置させる。 As shown in FIG. 10, the glass substrate W is conveyed in the + X direction by the operation of the conveyor device 5 and the lifting device 80 from the + Y side storage cassette 70. At the same time, in the orthogonal conveyance device 1, the operation of the first conveyance unit 10 of the first conveyance device 10 conveys the glass substrate W conveyed from the storage cassette 70 to the + X side, and the X direction of the orthogonal conveyance device 1 The glass substrate W is positioned substantially at the center. At this time, the support unit 30 is positioned at the lowered position, and is positioned directly below the glass substrate W being conveyed. The contact member 35 of the substrate holding unit 34 is positioned at the retracted position.
 支持ユニット30がガラス基板Wの真下に位置しているか否かは、基本的には、予め定めた位置に支持ユニット30が位置したことをもって、ガラス基板Wの真下に位置したとみなす。しかし、支持ユニット30にガラス基板Wを検知するセンサを設けてガラス基板Wを検出し、支持ユニット30の位置を制御するようにしてもよい。 Whether or not the support unit 30 is located directly below the glass substrate W is basically considered to be located directly below the glass substrate W when the support unit 30 is located at a predetermined position. However, a sensor that detects the glass substrate W may be provided in the support unit 30 to detect the glass substrate W and control the position of the support unit 30.
 次に、昇降ユニット40により支持ユニット30を上昇位置に移動し、これによりガラス基板Wを第1搬送装置10に代わって支持ユニット30で支持する。続いて、基板保持ユニット34の作動により当接部材35を当接位置に移動してガラス基板Wを保持する。 Next, the support unit 30 is moved to the raised position by the elevating unit 40, and thereby the glass substrate W is supported by the support unit 30 instead of the first transport device 10. Subsequently, the operation of the substrate holding unit 34 moves the contact member 35 to the contact position to hold the glass substrate W.
 次に、図11に示すように、駆動ユニット50の作動により支持ユニット30を-Y方向に移動し、コンベア装置3の-X側の位置までガラス基板Wを移動する。ガラス基板Wの移動により、直交搬送装置1の、+Y側の収納カセット70の側方の領域が空く。したがって、+Y側の収納カセット70から2枚目のガラス基板Wの搬出を開始する。 Next, as shown in FIG. 11, the support unit 30 is moved in the −Y direction by the operation of the drive unit 50, and the glass substrate W is moved to the position on the −X side of the conveyor device 3. Due to the movement of the glass substrate W, an area on the side of the storage cassette 70 on the + Y side of the orthogonal conveyance device 1 becomes empty. Accordingly, the second glass substrate W starts to be unloaded from the + Y side storage cassette 70.
 次に、基板保持ユニット34の当接部材35を退避位置に位置させ、支持ユニット30を降下位置に移動する。これにより、1枚目のガラス基板Wは再び第1搬送装置10上に載置される。続いて、図12に示すように、1枚目のガラス基板Wを第1搬送装置10及びコンベア装置3により+X方向に搬送し、1枚目のガラス基板Wを搬送装置4へ渡す。搬送装置4は、1枚目のガラス基板Wを処理装置へ搬送することになる。 Next, the contact member 35 of the substrate holding unit 34 is positioned at the retracted position, and the support unit 30 is moved to the lowered position. As a result, the first glass substrate W is placed on the first transfer device 10 again. Subsequently, as illustrated in FIG. 12, the first glass substrate W is transported in the + X direction by the first transport device 10 and the conveyor device 3, and the first glass substrate W is transferred to the transport device 4. The transport apparatus 4 transports the first glass substrate W to the processing apparatus.
 同時に、駆動ユニット50の作動により支持ユニット30を+Y方向に移動し、2枚目のガラス基板Wの真下に位置させる。この時、2枚目のガラス基板Wを第1搬送装置10が収納カセット70から搬出途中であっても、支持ユニット30を搬送されてくるガラス基板Wの真下となる位置(図9の位置)に位置させ、待機させることができるので搬送効率を向上できる。以降、同様の手順を繰り返すことにより、+Y側に位置する収納カセット70から未処理のガラス基板Wを処理装置へ順次連続的に搬送することができる。直交搬送装置1におけるガラス基板WのX方向及びY方向の搬送を並行して行うことができるので、ガラス基板Wの搬送効率を向上できる。 At the same time, the support unit 30 is moved in the + Y direction by the operation of the drive unit 50 and is positioned directly below the second glass substrate W. At this time, even if the first transport device 10 is in the process of unloading the second glass substrate W from the storage cassette 70, the position is directly below the glass substrate W transported through the support unit 30 (position in FIG. 9). Therefore, it is possible to improve the conveyance efficiency. Thereafter, by repeating the same procedure, the unprocessed glass substrate W can be sequentially and continuously conveyed from the storage cassette 70 located on the + Y side to the processing apparatus. Since the conveyance of the glass substrate W in the orthogonal conveyance apparatus 1 in the X direction and the Y direction can be performed in parallel, the conveyance efficiency of the glass substrate W can be improved.
 次に、図13乃至図16を参照して、-Y側に位置する収納カセット70へ処理装置から処理済のガラス基板Wを搬送する場合を説明する。 Next, the case where the processed glass substrate W is transferred from the processing apparatus to the storage cassette 70 located on the −Y side will be described with reference to FIGS.
 図13に示すように、処理済のガラス基板Wが搬送装置4により処理装置からコンベア装置2へ搬送され、コンベア装置2はガラス基板Wを直交搬送コンベア1上に搬送する。同時に、直交搬送装置1では、第1搬送装置10の第1搬送ユニット10の作動により、コンベア装置2から搬送されてくるガラス基板Wを-X側に搬送して、直交搬送装置1のX方向の略中央にガラス基板Wを位置させる(図14)。このとき、支持ユニット30は降下位置に位置させ、かつ、搬送されてくるガラス基板Wの真下に位置させる。基板保持ユニット34の当接部材35は退避位置に位置させる。 As shown in FIG. 13, the processed glass substrate W is transported from the processing device to the conveyor device 2 by the transport device 4, and the conveyor device 2 transports the glass substrate W onto the orthogonal transport conveyor 1. At the same time, in the orthogonal conveyance device 1, the operation of the first conveyance unit 10 of the first conveyance device 10 conveys the glass substrate W conveyed from the conveyor device 2 to the −X side, and the X direction of the orthogonal conveyance device 1. The glass substrate W is positioned in the approximate center of (FIG. 14). At this time, the support unit 30 is positioned at the lowered position, and is positioned directly below the glass substrate W being conveyed. The contact member 35 of the substrate holding unit 34 is positioned at the retracted position.
 次に、昇降ユニット40により支持ユニット30を上昇位置に移動し、これによりガラス基板Wを第1搬送装置10に代わって支持ユニット30で支持する。続いて、基板保持ユニット34の作動により当接部材35を当接位置に移動してガラス基板Wを保持する。 Next, the support unit 30 is moved to the raised position by the elevating unit 40, and thereby the glass substrate W is supported by the support unit 30 instead of the first transport device 10. Subsequently, the operation of the substrate holding unit 34 moves the contact member 35 to the contact position to hold the glass substrate W.
 次に、図15に示すように、駆動ユニット50の作動により支持ユニット30を-Y方向に移動し、-Y側の収納カセット70の+X側の位置までガラス基板Wを移動する。ガラス基板Wの移動により、直交搬送装置1の、コンベア装置2の側方の領域が空く。したがって、搬送装置4及びコンベア装置2による2枚目のガラス基板Wの搬送を開始する。 Next, as shown in FIG. 15, the support unit 30 is moved in the −Y direction by the operation of the drive unit 50, and the glass substrate W is moved to the + X side position of the −Y side storage cassette 70. Due to the movement of the glass substrate W, an area on the side of the conveyor device 2 of the orthogonal conveyance device 1 becomes empty. Therefore, the conveyance of the second glass substrate W by the conveyance device 4 and the conveyor device 2 is started.
 次に、基板保持ユニット34の当接部材35を退避位置に位置させ、支持ユニット30を降下位置に移動する。これにより、1枚目のガラス基板Wは再び第1搬送装置10上に載置される。続いて、図16に示すように、1枚目のガラス基板Wを第1搬送装置10、コンベア装置5及び昇降装置80の作動により、-Y側の収納カセット70へ搬入する。 Next, the contact member 35 of the substrate holding unit 34 is positioned at the retracted position, and the support unit 30 is moved to the lowered position. As a result, the first glass substrate W is placed on the first transfer device 10 again. Subsequently, as shown in FIG. 16, the first glass substrate W is carried into the −Y side storage cassette 70 by the operations of the first transport device 10, the conveyor device 5, and the lifting device 80.
 同時に、駆動ユニット50の作動により支持ユニット30を+Y方向に移動し、2枚目のガラス基板Wの真下に位置させる。この時、2枚目のガラス基板Wをコンベア装置2が第1搬送装置10上へ搬出途中であっても、支持ユニット30を搬送されてくるガラス基板Wの真下となる位置(図13の位置)に位置させ、待機させることができるので搬送効率を向上できる。以降、同様の手順を繰り返すことにより、処理装置から-Y側に位置する収納カセット70へ処理済のガラス基板Wを順次連続的に搬送することができる。直交搬送装置1におけるガラス基板WのX方向及びY方向の搬送を並行して行うことができるので、ガラス基板Wの搬送効率を向上できる。 At the same time, the support unit 30 is moved in the + Y direction by the operation of the drive unit 50 and is positioned directly below the second glass substrate W. At this time, even when the conveyor device 2 is in the process of carrying the second glass substrate W onto the first transport device 10, the position is directly below the glass substrate W being transported through the support unit 30 (the position in FIG. 13). ) And can be put on standby, so that the conveyance efficiency can be improved. Thereafter, by repeating the same procedure, the processed glass substrates W can be sequentially and continuously transferred from the processing apparatus to the storage cassette 70 located on the −Y side. Since the conveyance of the glass substrate W in the orthogonal conveyance apparatus 1 in the X direction and the Y direction can be performed in parallel, the conveyance efficiency of the glass substrate W can be improved.
 このように本実施形態では、直交搬送装置1におけるガラス基板WのX方向及びY方向の搬送を並行して行うことができるので、ガラス基板Wの搬送効率を向上できる。特に、ガラス基板Wがより大型であればあるほど、収納カセット70への搬入及び収納カセット70からの搬出に際し、時間を要することから、本実施形態のように、ガラス基板WのX方向及びY方向の搬送を並行して行うことにより、タクトタイムの短縮を図れる。 Thus, in this embodiment, since the conveyance of the glass substrate W in the X direction and the Y direction in the orthogonal conveyance device 1 can be performed in parallel, the conveyance efficiency of the glass substrate W can be improved. In particular, the larger the glass substrate W is, the more time is required for loading into the storage cassette 70 and unloading from the storage cassette 70. Therefore, as in this embodiment, the X direction and Y of the glass substrate W are used. The tact time can be shortened by carrying the directions in parallel.
 そして、第2搬送装置20が第1搬送装置10の下方に配置されることから、装置全体の小型化を図れる。また、昇降ユニット40による支持ユニット30の昇降によりガラス基板Wを昇降する。支持ユニット30は、それ自体がガラス基板Wを搬送する駆動機構を有さず、ガラス基板Wを下側から支持する機能を有すれば足りるので、その軽量化が図れる。このため、ガラス基板Wの昇降の高速化が図れ、ガラス基板Wの搬送効率を向上できる。 And since the 2nd conveying apparatus 20 is arrange | positioned under the 1st conveying apparatus 10, size reduction of the whole apparatus can be achieved. Further, the glass substrate W is raised and lowered by raising and lowering the support unit 30 by the raising and lowering unit 40. Since the support unit 30 itself does not have a drive mechanism for transporting the glass substrate W and only has a function of supporting the glass substrate W from the lower side, the weight can be reduced. For this reason, the glass substrate W can be moved up and down at high speed, and the conveyance efficiency of the glass substrate W can be improved.
 加えて、支持ユニット30の軽量化が図れることから、これをY方向により高速で移動することができ、ガラス基板Wの搬送効率を更に向上できる。また、支持ユニット30を移動する構成としたことにより、Y方向におけるガラス基板Wの搬送距離は、駆動ユニット50のY方向の全長により規定され、より長距離としたり、短距離としたりすることができ、装置のレイアウト自由度を高められる。 In addition, since the weight of the support unit 30 can be reduced, it can be moved at a higher speed in the Y direction, and the conveyance efficiency of the glass substrate W can be further improved. Further, since the support unit 30 is configured to move, the transport distance of the glass substrate W in the Y direction is defined by the total length of the drive unit 50 in the Y direction, and may be longer or shorter. This increases the degree of freedom of device layout.
 また、直交搬送装置1の+X側、-X側にそれぞれコンベア装置2、3及び5を配置でき、これらと直交搬送装置1との間でガラス基板Wの受け渡しが行えるので、装置のレイアウト自由度を高められる。また、第2搬送ユニット21は、第1搬送ユニット11のY方向における任意の位置で停止させることができる。更に、第1搬送ユニット11を独立して駆動可能な複数のローラコンベアユニット60で構成している。これらにより、直交搬送装置1のX方向側方にコンベア装置5等を配置、接続する際、Y方向における接続位置の選択肢が増える。よって、装置のレイアウト自由度を更に高められる。 Further, since the conveyor devices 2, 3 and 5 can be arranged on the + X side and the -X side of the orthogonal conveyance device 1, respectively, and the glass substrate W can be transferred between them and the orthogonal conveyance device 1, the degree of freedom in layout of the device Can be enhanced. Further, the second transport unit 21 can be stopped at an arbitrary position in the Y direction of the first transport unit 11. Furthermore, the 1st conveyance unit 11 is comprised by the several roller conveyor unit 60 which can be driven independently. As a result, when the conveyor device 5 and the like are arranged and connected to the side of the orthogonal conveyance device 1 in the X direction, options for the connection position in the Y direction are increased. Therefore, the layout flexibility of the apparatus can be further increased.
 なお、本実施形態では、第1搬送ユニット11の各ローラコンベアユニット60をY方向に略等ピッチで配設したが、これに限られない。ローラコンベアユニット60は、直交搬送装置1の側方に配置されるコンベア装置2、3及び5の側方に少なくとも位置すれば足りる。 In the present embodiment, the roller conveyor units 60 of the first transport unit 11 are arranged at substantially equal pitches in the Y direction, but the present invention is not limited to this. It is sufficient that the roller conveyor unit 60 is located at least on the side of the conveyor devices 2, 3, and 5 disposed on the side of the orthogonal conveyance device 1.

Claims (11)

  1.  基板をその下側から支持して第1搬送方向で水平に搬送する第1搬送手段と、
     前記第1搬送手段上の前記基板を、その下側から支持して前記第1搬送方向と直交する第2搬送方向で水平に搬送する第2搬送手段と、を備え、
     前記第1搬送手段は、
     互いに前記第1搬送方向に離間した複数列の第1搬送ユニットで構成され、
     前記第2搬送手段は、
     互いに前記第1搬送方向に離間した複数の第2搬送ユニットで構成され、
     各々の前記第2搬送ユニットは、
     前記第1搬送ユニット間の空隙に配置され、前記基板をその下側から支持する支持ユニットと、
     前記支持ユニットの下方に配置され、かつ、前記支持ユニットに連結して設けられ、前記第1搬送ユニット上の前記基板を前記支持ユニットが前記第1搬送ユニットから持ち上げる上昇位置と、前記支持ユニットが前記第1搬送ユニット上の前記基板と干渉しない降下位置と、の間で前記支持ユニットを昇降させる昇降ユニットと、
     前記第1搬送ユニットよりも下方に配置され、前記支持ユニット及び前記昇降ユニットを前記第2搬送方向に移動させる駆動ユニットと、
    を備えた基板搬送装置。
    First transport means for supporting the substrate from below and transporting it horizontally in the first transport direction;
    A second transport unit configured to support the substrate on the first transport unit from below and transport the substrate horizontally in a second transport direction orthogonal to the first transport direction;
    The first transport means includes
    A plurality of first transport units spaced apart from each other in the first transport direction;
    The second conveying means includes
    A plurality of second transport units separated from each other in the first transport direction;
    Each of the second transport units is
    A support unit disposed in a gap between the first transport units and supporting the substrate from below;
    A raised position disposed below the support unit and connected to the support unit, the lift unit lifting the substrate on the first transport unit from the first transport unit; and the support unit A lifting unit that lifts and lowers the support unit between a lowering position that does not interfere with the substrate on the first transport unit;
    A drive unit that is disposed below the first transport unit and moves the support unit and the elevating unit in the second transport direction;
    A substrate transfer apparatus comprising:
  2.  前記第1搬送ユニットが、独立して駆動可能な複数のローラコンベアユニットを備えたことを特徴とする請求項1に記載の基板搬送装置。 The substrate transfer apparatus according to claim 1, wherein the first transfer unit includes a plurality of roller conveyor units that can be driven independently.
  3.  前記支持ユニットに設けられ、前記第2搬送方向に離間して配置された一対の基板保持ユニットを更に備え、
     前記基板保持ユニットは、
     前記基板の端縁に当接する当接部材と、
     前記当接部材を前記第2搬送方向に往復移動する移動ユニットと、
    を備えたことを特徴とする請求項2に記載の基板搬送装置。
    Further comprising a pair of substrate holding units provided in the support unit and spaced apart in the second transport direction;
    The substrate holding unit is
    A contact member that contacts the edge of the substrate;
    A moving unit that reciprocates the contact member in the second transport direction;
    The substrate transfer apparatus according to claim 2, further comprising:
  4.  前記支持ユニットが、
     前記第2搬送方向に延びる支持部材と、
     前記第2搬送方向に離間して複数設けられ、前記基板の下面に当接し、前記第2搬送方向と直交する方向と平行な軸回りに回転自在にブラケットを介して前記支持部材に支持されたローラと、
    を備えたことを特徴とする請求項3に記載の基板搬送装置。
    The support unit is
    A support member extending in the second transport direction;
    A plurality are provided apart from each other in the second transport direction, are in contact with the lower surface of the substrate, and are supported by the support member via a bracket so as to be rotatable about an axis parallel to a direction orthogonal to the second transport direction. Laura,
    The substrate transfer apparatus according to claim 3, further comprising:
  5.  前記駆動ユニットが、
     前記第2搬送方向に延びるレール部材と、
     前記レール部材に沿ってスライド移動自在に設けられると共に前記昇降ユニットが搭載されるスライダと、
    を備えたことを特徴とする請求項1に記載の基板搬送装置。
    The drive unit is
    A rail member extending in the second transport direction;
    A slider that is slidably movable along the rail member and on which the elevating unit is mounted;
    The substrate transfer apparatus according to claim 1, further comprising:
  6.  前記駆動ユニットが、
     前記第2搬送方向に離間した一対のプーリと、
     前記一対のプーリに巻き回されると共に前記スライダに連結されたベルトと、
     前記第1搬送方向に延び、前記一対のプーリをそれぞれ回転駆動させる一対の軸と、
     前記一対の軸のうち、一方の軸を回転駆動させる駆動源と、
    を備え、
     各々の前記駆動ユニットにおける前記一対の軸のうち、一方の軸及び他方の軸がそれぞれ全て連結して設けられ、その一方の軸に1つの前記駆動源が連結して設けられることを特徴とする請求項5に記載の基板搬送装置。
    The drive unit is
    A pair of pulleys spaced apart in the second transport direction;
    A belt wound around the pair of pulleys and coupled to the slider;
    A pair of shafts extending in the first transport direction and rotating the pair of pulleys;
    A drive source that rotationally drives one of the pair of shafts;
    With
    Of the pair of shafts in each of the drive units, one shaft and the other shaft are all connected and provided, and one of the drive sources is connected to the one shaft. The substrate transfer apparatus according to claim 5.
  7.  前記レール部材と前記スライダと前記一対のプーリと前記ベルトとを囲包するカバー部材を更に備えたことを特徴とする請求項6に記載の基板搬送装置。 The substrate transfer apparatus according to claim 6, further comprising a cover member that surrounds the rail member, the slider, the pair of pulleys, and the belt.
  8.  前記第1搬送手段の前記第1搬送方向の側方に配置され、前記基板をその下側から支持して前記第1搬送方向で水平に搬送することにより、前記第1搬送手段との間で前記基板を搬送する第3搬送手段を更に備えたことを特徴とする請求項1に記載の基板搬送装置。 Between the first transport means, the first transport means is disposed laterally in the first transport direction, and supports the substrate from below and transports the substrate horizontally in the first transport direction. The substrate transfer apparatus according to claim 1, further comprising third transfer means for transferring the substrate.
  9.  前記第3搬送手段の上方に配置され、前記第3搬送手段が進入可能な開口部を有すると共に、前記基板を水平姿勢で収納するスロットを上下方向に複数備えた収納カセットと、前記第3搬送手段と、を相対的に昇降する昇降手段を更に備えたことを特徴とする請求項8に記載の基板搬送装置。 A storage cassette which is disposed above the third transport means and has an opening through which the third transport means can enter; and a plurality of slots in the vertical direction for storing the substrate in a horizontal position; and the third transport 9. The substrate transfer apparatus according to claim 8, further comprising elevating means for elevating and lowering the means relative to each other.
  10.  前記第1搬送手段の前記第1搬送方向の一方側方に配置され、前記基板をその下側から支持して前記第1搬送方向で水平に搬送することにより、前記第1搬送手段との間で前記基板を搬送する第3搬送手段と、
     前記第1搬送手段の前記第1搬送方向の他方側方に配置され、前記基板をその下側から支持して前記第1搬送方向で水平に搬送することにより、前記第1搬送手段との間で前記基板を搬送する第4搬送手段と、
    を更に備えたことを特徴とする請求項1に記載の基板搬送装置。
    It is arranged on one side of the first transporting direction of the first transporting means, supports the substrate from the lower side thereof, and transports it horizontally in the first transporting direction. A third transport means for transporting the substrate at
    It is disposed on the other side of the first transporting direction of the first transporting means, and supports the substrate from the lower side and transports it horizontally in the first transporting direction, so that it is between the first transporting means. A fourth transfer means for transferring the substrate at
    The substrate transfer apparatus according to claim 1, further comprising:
  11.  前記支持ユニットの前記第2搬送方向の長さが前記基板の幅よりも長いことを特徴とする請求項1に記載の基板搬送装置。 2. The substrate transfer apparatus according to claim 1, wherein a length of the support unit in the second transfer direction is longer than a width of the substrate.
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