JP4629731B2 - Work transfer system - Google Patents

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Description

本発明はガラス基板等のワークを搬送する技術に関するものである。   The present invention relates to a technique for conveying a workpiece such as a glass substrate.

薄型ディスプレイの製造において使用される薄板状のガラス基板に代表される基板は一般に基板収納カセットに複数枚収納される。そして、その処理時には一枚ずつ基板収納カセットから取り出されて基板処理装置へ搬送され、処理後には基板処理装置から再び基板収納カセットへ搬入される。この種の設備の場合、基板収納カセットと処理装置との間で基板を1枚ずつ搬送する搬送装置が必要となる。基板を搬送する搬送装置としては、例えば、特開2004−284772号公報に記載されるような、ローラコンベアを用いた装置が提案されている。   In general, a plurality of substrates typified by a thin glass substrate used in the manufacture of a thin display are stored in a substrate storage cassette. And at the time of the processing, it is taken out from the substrate storage cassette one by one and transferred to the substrate processing apparatus, and after the processing, it is transferred again from the substrate processing apparatus to the substrate storage cassette. In the case of this type of equipment, a transport device that transports the substrates one by one between the substrate storage cassette and the processing apparatus is required. As a transport device for transporting a substrate, for example, a device using a roller conveyor as described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-284772 has been proposed.

ここで、従来の搬送装置では基板収納カセットと処理装置との間で基板を搬送する際、搬送途中で基板が傾いてしまう場合がある。基板が傾いた状態で処理装置或いは基板収納カセットへ到達すると、搬送装置から処理装置或いは基板収納カセットへ基板を円滑に移載できない場合がある。   Here, in the conventional transport apparatus, when the substrate is transported between the substrate storage cassette and the processing apparatus, the substrate may be inclined during the transport. If the substrate reaches the processing apparatus or the substrate storage cassette with the substrate tilted, the substrate may not be smoothly transferred from the transfer device to the processing apparatus or the substrate storage cassette.

本発明の目的は、搬送途中でワークが傾くことなく、位置決めされた状態でワークを搬送することにある。   An object of the present invention is to convey a workpiece in a positioned state without tilting the workpiece during conveyance.

本発明によれば、方形のワークが跨って載置される第1及び第2の載置部材のうちの第1の載置部材と、前記ワークの端縁に当接して当該端縁の位置を規定する第1の当接部と、を有する第1の移動ユニットと、前記第2の載置部材と、前記ワークの端縁に当接して当該端縁の位置を規定する第2の当接部と、を有する第2の移動ユニットと、前記第1の移動ユニットを第1の直線軌道上で両方向に移動させる第1の移動手段と、前記第2の移動ユニットを前記第1の直線軌道と平行な第2の直線軌道上で両方向に移動させる第2の移動手段と、前記ワークを前記第1及び第2の直線軌道と直交する水平方向に移動させ、前記第1及び第2の載置部材上に前記ワークを搬入するコンベア、及び、前記コンベアを下降位置と上昇位置との間で昇降して前記コンベア上の前記ワークを前記第1及び第2の載置部材上に移載する昇降機構を備えた搬入手段と、前記第1及び第2の移動手段を個別に制御すると共に前記搬入手段を制御する制御手段と、を備え、前記制御手段は、前記第1及び第2の当接部が相互に前記ワークの幅よりも離間した初期位置に位置するように前記第1及び第2の移動手段を制御する初期制御と、前記コンベアを前記上昇位置から前記下降位置に降下させ、前記初期位置にある前記第1及び第2の当接部の間で、かつ、前記第1及び第2の載置部材上に前記ワークが載置されたとき、前記第1及び第2の当接部の間の距離が前記ワークの幅と同じになるように前記第1及び第2の移動手段の少なくともいずれかを制御する位置決め制御と、前記第1及び第2の当接部の間の距離が前記ワークの幅と同じ状態で、前記第1及び第2の移動ユニットが同方向に等速で走行するように前記第1及び第2の移動手段を制御して前記ワークを搬送先に搬送する搬送制御と、を実行することを特徴とするワーク搬送システムが提供される。 According to the present invention, the first placement member of the first and second placement members placed across the square workpiece and the position of the edge in contact with the edge of the workpiece. A first moving unit having a first abutting portion for defining the position of the workpiece, a second placement member, and a second contact for abutting the edge of the workpiece to define the position of the edge. a contact portion, a second mobile unit having said a first moving means for moving in both directions a first mobile unit in the first straight track on the said second mobile unit first linear A second moving means for moving in both directions on a second linear track parallel to the track, and the workpiece is moved in a horizontal direction perpendicular to the first and second linear tracks, and the first and second A conveyor for loading the workpiece onto the mounting member, and the conveyor is raised between a lowered position and a raised position; The carry controls individually carrying means and said first and second moving means having a lifting mechanism for transferring the workpiece on the conveyor to the first and second mounting member on to and a control means for controlling the means, and said control means, said first and said like second contact portion is located at the initial position spaced than the width of the workpiece to each other first and second Initial control for controlling the moving means, and lowering the conveyor from the raised position to the lowered position, between the first and second contact portions at the initial position , and between the first and second when the workpiece is placed on the second mounting member, said first and second contact portions of the first and second moving means so that the distance is the same as the width of the workpiece between the a positioning control for controlling at least one of said first and second person At range same state as the width of the workpiece between the parts, wherein the first and second mobile unit controls the first and second moving means so that the vehicle travels at a constant speed in the same direction the workpiece A workpiece transfer system is provided that performs transfer control for transferring the workpiece to the transfer destination .

このワーク搬送システムによれば、前記第1及び第2の当接部が前記ワークの対向する両端縁にそれぞれ当接し、前記ワークの位置決めを行なうことができると共に、位置決めされた状態でワークを搬送できる。従って、搬送途中でワークが傾くことなく、位置決めされた状態でワークを搬送することができる。   According to this workpiece transfer system, the first and second contact portions are in contact with opposite opposing edges of the workpiece to position the workpiece, and the workpiece is transferred in the positioned state. it can. Therefore, the workpiece can be conveyed in a positioned state without the workpiece being inclined during the conveyance.

また、本発明によれば、ベルトの走行方向が相互に平行となるように配設された第1及び第2のベルトコンベアを備え、方形のワークを前記第1及び前記第2のベルトコンベアの各ベルト上に跨るように載置して搬送するワーク搬送システムであって、前記ワークを前記第1及び第2のベルトコンベアの走行方向と直交する水平方向に移動させ、前記第1及び第2のベルトコンベア上に前記ワークを搬入する搬入コンベア、及び、前記搬入コンベアを下降位置と上昇位置との間で昇降して前記搬入コンベア上の前記ワークを前記第1及び第2のベルトコンベア上に移載する昇降機構を備えた搬入手段と、前記第1及び第2のベルトコンベアを個別に制御すると共に前記搬入手段を制御する制御手段と、前記第1及び第2のベルトコンベアの各ベルト上にそれぞれ設けられ、前記ワークの端縁に当接して当該端縁の位置を規定する当接部と、を備え、前記制御手段は、前記第1及び第2のベルトコンベアの各々の前記当接部が相互に前記ワークの幅よりも離間した初期位置に位置するように前記第1及び第2のベルトコンベアを駆動する初期制御と、前記搬入コンベアを前記上昇位置から前記下降位置に降下させ、前記初期位置にある前記当接部の間で、かつ、各ベルト上に前記ワークが載置されたとき、前記当接部の間の距離が前記ワークの幅と同じになるように前記第1及び第2のベルトコンベアの少なくともいずれかを駆動する位置決め制御と、前記第1及び第2の当接部の間の距離が前記ワークの幅と同じ状態で、各ベルトが同方向に等速で走行するように前記第1及び第2のベルトコンベアを駆動して前記ワークを搬送先に搬送する搬送制御と、を実行することを特徴とするワーク搬送システムが提供される。 In addition, according to the present invention, the first and second belt conveyors arranged so that the running directions of the belts are parallel to each other are provided, and a rectangular workpiece is attached to each of the first and second belt conveyors. A workpiece conveyance system that is placed and conveyed so as to straddle over each belt, wherein the workpiece is moved in a horizontal direction perpendicular to the traveling direction of the first and second belt conveyors, and the first and second A carry-in conveyor for carrying the workpiece onto the belt conveyor, and raising and lowering the carry-in conveyor between a lowered position and a raised position to place the workpiece on the carry-in conveyor onto the first and second belt conveyors. and carry means having a lifting mechanism for transferring a control means for controlling said carrying means to control independently the first and second belt conveyors, each of said first and second belt conveyors Each of the first and second belt conveyors, wherein the control means is provided on each of the belts, and is in contact with an edge of the workpiece to define a position of the edge. Initial control for driving the first and second belt conveyors so that the contact portions are positioned at an initial position separated from each other by the width of the workpiece, and the carry-in conveyor is lowered from the raised position to the lowered position It is, between the contact portion which is in the initial position, and, when the workpiece is placed on each belt, wherein as a distance between the contact portion is the same as the width of the workpiece Positioning control for driving at least one of the first and second belt conveyors, and the distance between the first and second contact portions being the same as the width of the workpiece, each belt is in the same direction, etc. Said first and second so as to travel at a speed Workpiece transfer system and to execute the conveyance control for conveying the workpiece to the transport destination by driving the belt conveyor, is provided.

このワーク搬送システムによれば、前記当接部が前記ワークの対向する両端縁にそれぞれ当接し、前記ワークの位置決めを行なうことができると共に、位置決めされた状態でワークを搬送できる。従って、搬送途中でワークが傾くことなく、位置決めされた状態でワークを搬送することができる。   According to this workpiece conveyance system, the abutting portion abuts against both opposite edges of the workpiece, the workpiece can be positioned, and the workpiece can be conveyed in a positioned state. Therefore, the workpiece can be conveyed in a positioned state without the workpiece being inclined during the conveyance.

本発明の一実施形態に係る基板搬送システムAの平面図である。It is a top view of substrate conveyance system A concerning one embodiment of the present invention. 基板搬送システムAの正面図である。2 is a front view of a substrate transfer system A. FIG. 図3−1は基板収納カセット100の外観図、図3−2は基板収納カセット100の内部の構成を示す図である。FIG. 3A is an external view of the substrate storage cassette 100, and FIG. 3B is a diagram illustrating an internal configuration of the substrate storage cassette 100. 図4−1は、昇降ユニット20の基板収納カセット100に面する側の構成を示す一部破断図、図4−2乃至図4−4は昇降ユニット20と移載ユニット30とによる基板の搬送動作を示す動作説明図である。FIG. 4A is a partially cutaway view showing the configuration of the lifting unit 20 on the side facing the substrate storage cassette 100, and FIGS. It is operation | movement explanatory drawing which shows operation | movement. 図5−1及び図5−2は移載ユニット40の動作説明図である。5A and 5B are explanatory diagrams of the operation of the transfer unit 40. FIG. 図6−1はベルトコンベア11の概略側面視図、図6−2はベルトコンベア12の概略側面視図、図6−3はベルト11cの、当接部14aと突起部15aが設けられた部位の拡大図、図6−4は図1の線I−Iに沿う断面図、図6−5は図1の線II−IIに沿う断面図である。6-1 is a schematic side view of the belt conveyor 11, FIG. 6-2 is a schematic side view of the belt conveyor 12, and FIG. 6-3 is a portion of the belt 11c where the contact portion 14a and the protrusion 15a are provided. FIG. 6-4 is a cross-sectional view taken along line II in FIG. 1, and FIG. 6-5 is a cross-sectional view taken along line II-II in FIG. 図7−1は張力調整機構を有する軸受により従動プーリ11bを軸支した例を示す構成図、図7−2は図7−1の線III−IIIに沿う断面図、図7−3は基板搬送システムAを制御する制御部70のブロック図である。FIG. 7-1 is a block diagram showing an example in which the driven pulley 11b is pivotally supported by a bearing having a tension adjusting mechanism, FIG. 7-2 is a sectional view taken along line III-III in FIG. 7-1, and FIG. It is a block diagram of the control part 70 which controls the conveyance system A. 基板搬送システムAの動作説明図である。FIG. 10 is an operation explanatory diagram of the substrate transfer system A. 基板搬送システムAの動作説明図である。FIG. 10 is an operation explanatory diagram of the substrate transfer system A. 基板搬送システムAの動作説明図である。FIG. 10 is an operation explanatory diagram of the substrate transfer system A. 基板搬送システムAの動作説明図である。FIG. 10 is an operation explanatory diagram of the substrate transfer system A. 基板搬送システムAの動作説明図である。FIG. 10 is an operation explanatory diagram of the substrate transfer system A. 基板搬送システムAの動作説明図である。FIG. 10 is an operation explanatory diagram of the substrate transfer system A. 基板搬送システムAの動作説明図である。FIG. 10 is an operation explanatory diagram of the substrate transfer system A. 本発明の他の実施形態を示す図である。It is a figure which shows other embodiment of this invention. 本発明の他の実施形態を示す図である。It is a figure which shows other embodiment of this invention. 本発明の他の実施形態に係る基板搬送システムBの平面図である。It is a top view of the board | substrate conveyance system B which concerns on other embodiment of this invention. 移動ユニット2113、2123近傍の構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of the movement unit 2113 and 2123 vicinity. 本発明の他の実施形態に係る基板搬送システムCの平面図である。It is a top view of the board | substrate conveyance system C which concerns on other embodiment of this invention. 移動ユニット3113、3123近傍の構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of the movement unit 3113, 3123 vicinity. 本発明の他の実施形態に係る基板搬送システムDの平面図である。It is a top view of the board | substrate conveyance system D which concerns on other embodiment of this invention. 移動ユニット4113、4123近傍の構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of the movement unit 4113, 4123 vicinity. 本発明の他の実施形態に係る基板搬送システムEの平面図である。It is a top view of the board | substrate conveyance system E which concerns on other embodiment of this invention. 移動ユニット5113、5123近傍の構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of the movement unit 5113, 5123 vicinity. 図24の線IV−IVに沿う断面図(端面図)である。FIG. 25 is a cross-sectional view (end view) taken along line IV-IV in FIG. 24.

<第1実施形態>
<システムの概略>
図1は本発明の一実施形態に係る基板搬送システムAの平面視図、図2は基板搬送システムAの正面視図である。本実施形態ではガラス基板等の基板を搬送するシステムに本発明を適用した例について説明するが、本発明は基板以外のワークの搬送にも適用できる。基板搬送システムAは、第1のベルトコンベア11と第2のベルトコンベア12とをそれぞれ備えた2つのベルトコンベアユニット10と、ベルトコンベアユニット10の側方に配置され、基板収納カセット100a及び100b(以下、総称するときは基板収納カセット100という。)をそれぞれ昇降する4つの昇降ユニット20と、昇降ユニット20間に配設された2つの固定式の移載ユニット30と、移載ユニット30の側方に配設された2つの昇降式の移載ユニット40と、を備える。図中、X、Yは相互に直交する水平方向、Zは鉛直方向を示す。
<First Embodiment>
<Outline of the system>
FIG. 1 is a plan view of a substrate transfer system A according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a front view of the substrate transfer system A. Although this embodiment demonstrates the example which applied this invention to the system which conveys substrates, such as a glass substrate, this invention is applicable also to conveyance of workpiece | work other than a board | substrate. The substrate transport system A is arranged on two belt conveyor units 10 each having a first belt conveyor 11 and a second belt conveyor 12, respectively, on the side of the belt conveyor unit 10, and substrate storage cassettes 100a and 100b ( Hereinafter, when collectively referred to as the substrate storage cassette 100), four elevating units 20 that elevate and lower each other, two fixed transfer units 30 disposed between the elevating units 20, and the side of the transfer unit 30. And two lifting and lowering transfer units 40 arranged in the direction. In the figure, X and Y are horizontal directions orthogonal to each other, and Z is a vertical direction.

基板搬送システムAは、第1のベルトコンベア11と第2のベルトコンベア12の側方(+X方向)に配置され、基板を複数枚収納する基板収納カセット100aから、第1のベルトコンベア11と第2のベルトコンベア12の側方(−Y方向)に配置され、基板を処理する処理装置110へ基板を搬送するシステムである。また、処理装置110による処理を終えた基板を処理装置110から第1のベルトコンベア11と第2のベルトコンベア12の側方(+X方向)に配置され、基板を複数枚収納する基板収納カセット100bへ搬送するシステムである。なお、図1及び図2は基板収納カセット100内に基板が未収納である場合を示している。   The substrate transfer system A is disposed on the side (+ X direction) of the first belt conveyor 11 and the second belt conveyor 12, and from the substrate storage cassette 100a that stores a plurality of substrates, the first belt conveyor 11 and the first belt conveyor 11 2 is a system that is disposed on the side of the belt conveyor 12 (−Y direction) and conveys the substrate to the processing apparatus 110 that processes the substrate. Further, a substrate storage cassette 100b for storing a plurality of substrates is arranged on the side of the first belt conveyor 11 and the second belt conveyor 12 (+ X direction) from the processing device 110 after the processing by the processing device 110 is completed. It is a system to convey to. 1 and 2 show a case where the substrate is not stored in the substrate storage cassette 100. FIG.

<基板収納カセット>
図3−1は基板収納カセット100の外観図である。基板収納カセット100は方形の基板を複数枚収納可能なカセットであって、鉛直方向に延びる複数の部材101と水平方向に延びる複数の部材102及び103とから構成される直方体形状のフレーム体を備える。図3−2に示すように、対向する部材101間にはワイヤ104が張設されており、収納される基板はこのワイヤ104上に載置状態にて収納される。本実施形態では、ワイヤ104が鉛直方向に所定のピッチで配設されており、各基板を収納するスロットが鉛直方向に複数段形成される。ワイヤ104の使用により、収納される基板間の間隔を小さくすることができ、基板収納カセット100の収納効率を高めることができる。
<Board storage cassette>
FIG. 3A is an external view of the substrate storage cassette 100. The substrate storage cassette 100 is a cassette capable of storing a plurality of rectangular substrates, and includes a rectangular parallelepiped frame body composed of a plurality of members 101 extending in the vertical direction and a plurality of members 102 and 103 extending in the horizontal direction. . As shown in FIG. 3B, a wire 104 is stretched between the opposing members 101, and the substrate to be stored is stored on the wire 104 in a mounted state. In the present embodiment, the wires 104 are arranged at a predetermined pitch in the vertical direction, and a plurality of slots for storing each substrate are formed in the vertical direction. By using the wire 104, the interval between the substrates to be stored can be reduced, and the storage efficiency of the substrate storage cassette 100 can be increased.

<昇降ユニット>
図1を参照して、昇降ユニット20は、1つの基板収納カセット100に対して1対設けられ、1対の昇降ユニット20は、基板収納カセット100を挟んでY方向に離間して相互に向かい合うように配設される。以下、図2及び図4−1を参照して昇降ユニット20の構成について説明する。図4−1は、昇降ユニット20の基板収納カセット100に面する側の構成を示す一部破断図である。
<Elevating unit>
With reference to FIG. 1, a pair of lifting units 20 is provided for one substrate storage cassette 100, and the pair of lifting units 20 face each other with a separation in the Y direction across the substrate storage cassette 100. It is arranged as follows. Hereinafter, the configuration of the lifting unit 20 will be described with reference to FIGS. 2 and 4-1. FIG. 4A is a partially cutaway view showing the configuration of the lifting unit 20 on the side facing the substrate storage cassette 100.

各昇降ユニット20は、X方向に離間した一対の支柱21と、支柱21間に架設された複数の梁22と、を備える。支柱21の基板収納カセット100側の側面にはレール部材23が設けられている。レール部材23にはスライド部材24が摺動可能に取り付けられており、スライド部材24はレール部材23に案内されて上下に移動する。スライド部材24間には支持部材25(図4−1は一部破断図)が架設されており、この支持部材25には基板収納カセット100が搭載される載置板26が固定されている。基板収納カセット100はY方向の両側から一対の昇降ユニット20の載置板26上に載置される。   Each lifting / lowering unit 20 includes a pair of struts 21 that are separated in the X direction, and a plurality of beams 22 that are installed between the struts 21. A rail member 23 is provided on the side surface of the support column 21 on the substrate storage cassette 100 side. A slide member 24 is slidably attached to the rail member 23. The slide member 24 is guided by the rail member 23 and moves up and down. A support member 25 (partially cutaway view in FIG. 4A) is provided between the slide members 24, and a mounting plate 26 on which the substrate storage cassette 100 is mounted is fixed to the support member 25. The substrate storage cassette 100 is placed on the placement plate 26 of the pair of lifting units 20 from both sides in the Y direction.

上方の梁22には減速機付きのモータ27が支持されており、その出力軸はZ方向に延びるボールネジ29の上端部に接続されている。ボールネジ29の上下端部はそれぞれ上下の軸支部28に回転可能に支持されており、モータ27の回転によりボールネジ29が回転する。ボールネジ29にはボールナット29aが螺着されており、ボールナット29aは連結部材29bを介して支持部材25に連結されている。しかして、ボールネジ29の正転、逆転により、ボールナット29aがボールネジ29に沿って上下に移動し、ボールナット29a、連結部材29b、支持部材25、スライド部材24、載置板26及び基板収納カセット100は一体となって上下に昇降する。   A motor 27 with a speed reducer is supported on the upper beam 22 and its output shaft is connected to the upper end of a ball screw 29 extending in the Z direction. The upper and lower ends of the ball screw 29 are rotatably supported by the upper and lower shaft support portions 28, and the ball screw 29 is rotated by the rotation of the motor 27. A ball nut 29a is screwed onto the ball screw 29, and the ball nut 29a is connected to the support member 25 via a connecting member 29b. As a result, the ball nut 29a moves up and down along the ball screw 29 by forward and reverse rotation of the ball screw 29, and the ball nut 29a, the connecting member 29b, the support member 25, the slide member 24, the mounting plate 26, and the substrate storage cassette. 100 moves up and down integrally.

<移載ユニット30>
図1及び図2を参照して移載ユニット30はベルトコンベアユニット10と基板収納カセット100との間で基板の移載をするためのユニットであり、本実施形態では複数(ここでは5つ)のローラコンベア31と、各ローラコンベア31を支持する支持部材32と、支持部材32が立設されたベース部材33と、により構成されている。本実施形態の場合、各ローラコンベア31は一列のローラを備える。ローラコンベア31はモータ等の不図示の駆動手段により回転駆動されるローラの回転軸芯がY方向に設定され、ローラ上に載置される基板をX方向に搬送する。図4−2乃至図4−3は昇降ユニット20と移載ユニット30とによる基板の搬送動作を示す動作説明図である。
<Transfer unit 30>
1 and 2, the transfer unit 30 is a unit for transferring a substrate between the belt conveyor unit 10 and the substrate storage cassette 100. In the present embodiment, a plurality of (here, five) transfer units 30 are provided. The roller conveyor 31, the support member 32 that supports each roller conveyor 31, and the base member 33 on which the support member 32 is erected. In this embodiment, each roller conveyor 31 includes a row of rollers. The roller conveyor 31 is configured such that a rotation axis of a roller that is driven to rotate by a driving unit (not shown) such as a motor is set in the Y direction, and conveys a substrate placed on the roller in the X direction. FIG. 4B to FIG. 4C are operation explanatory views showing the substrate transfer operation by the elevating unit 20 and the transfer unit 30.

各ローラコンベア31及び支持部材32は、昇降ユニット20により昇降される基板収納カセット100の下方に配置され、基板収納カセット100の部材103と干渉しないようにX方向に所定の間隔を置いて配設されている。基板収納カセット100に収納されている基板をベルトコンベアユニット10へ搬送する場合、最下方の基板から搬送され、図4−3に示すように昇降ユニット20により基板収納カセット100を降下させ、最下方の基板が各ローラコンベア31上に載置される位置にて停止する。ローラコンベア31のローラを回転駆動することにより、基板がベルトコンベアユニット10へ搬送される。   The roller conveyors 31 and the support members 32 are disposed below the substrate storage cassette 100 that is moved up and down by the lifting unit 20, and are disposed at predetermined intervals in the X direction so as not to interfere with the member 103 of the substrate storage cassette 100. Has been. When transporting the substrate stored in the substrate storage cassette 100 to the belt conveyor unit 10, the substrate storage cassette 100 is transported from the lowermost substrate and lowered by the lifting unit 20 as shown in FIG. Is stopped at a position where the substrate is placed on each roller conveyor 31. By rotating the rollers of the roller conveyor 31, the substrate is conveyed to the belt conveyor unit 10.

次の基板を搬送する場合、図4−4に示すように、昇降ユニット20は略1段分、再び基板収納カセット100を降下させ、最下方の基板が各ローラコンベア31上に載置される位置にて停止する。ローラコンベア31のローラを回転駆動することにより、基板がベルトコンベアユニット10へ搬送される。以降同様にして順次ローラコンベア31が基板収納カセット100内に入り込んでいき、基板収納カセット100内の基板が搬送される。ベルトコンベアユニット10から基板収納カセット100へ基板を搬送する場合には概ねこの逆の動作となる。基板収納カセット100とベルトコンベアユニット10との間の基板の移載は、各ローラコンベア31の各ローラの頂点を結んだ線Lの高さの位置(移載高さという。)で行なわれる。   When transporting the next substrate, as shown in FIG. 4-4, the lifting unit 20 lowers the substrate storage cassette 100 again by approximately one stage, and the lowermost substrate is placed on each roller conveyor 31. Stop at position. By rotating the rollers of the roller conveyor 31, the substrate is conveyed to the belt conveyor unit 10. Thereafter, similarly, the roller conveyor 31 sequentially enters the substrate storage cassette 100, and the substrates in the substrate storage cassette 100 are conveyed. When the substrate is transferred from the belt conveyor unit 10 to the substrate storage cassette 100, the operation is generally reversed. The transfer of the substrate between the substrate storage cassette 100 and the belt conveyor unit 10 is performed at the position of the height of the line L connecting the vertices of the rollers of the roller conveyors 31 (referred to as transfer height).

<移載ユニット40>
図1及び図2を参照して移載ユニット40は、移載ユニット30と共にベルトコンベアユニット10と基板収納カセット100との間で基板を移載するためのユニットである。また、処理装置110側に配設された移載ユニット40はベルトコンベアユニット10と処理装置110との間でも基板の移載を行なう。各移載ユニット40は、本実施形態では複数(ここでは3つ)のローラコンベア41と、各ローラコンベア41を支持する支持部材42aと、支持部材42aが立設されたベース部材42bと、を備える。本実施形態の場合、各ローラコンベア41は二列のローラを備える。ローラコンベア41はモータ等の不図示の駆動手段により回転駆動されるローラの回転軸芯がY方向に設定され、ローラ上に載置される基板をX方向に搬送する。
<Transfer unit 40>
With reference to FIGS. 1 and 2, the transfer unit 40 is a unit for transferring a substrate between the belt conveyor unit 10 and the substrate storage cassette 100 together with the transfer unit 30. The transfer unit 40 disposed on the processing apparatus 110 side also transfers the substrate between the belt conveyor unit 10 and the processing apparatus 110. In this embodiment, each transfer unit 40 includes a plurality of (three in this case) roller conveyors 41, a support member 42a that supports each roller conveyor 41, and a base member 42b on which the support member 42a is erected. Prepare. In the case of this embodiment, each roller conveyor 41 includes two rows of rollers. The roller conveyor 41 is configured such that a rotation axis of a roller driven to rotate by a driving unit (not shown) such as a motor is set in the Y direction, and conveys a substrate placed on the roller in the X direction.

各ローラコンベア41及び支持部材42aは、後述するベルトコンベアユニット10のベルトと干渉しないようにX方向に所定の間隔を置いて配置され、また、中央のローラコンベア41はベルトコンベアユニット10間に配設されている。移載ユニット40は、各ローラコンベア41を昇降する昇降機能を備える。図5−1及び図5−2は移載ユニット40の動作説明図である。   The roller conveyors 41 and the support members 42a are arranged at predetermined intervals in the X direction so as not to interfere with the belt of the belt conveyor unit 10 described later, and the central roller conveyor 41 is arranged between the belt conveyor units 10. It is installed. The transfer unit 40 has an elevating function for elevating and lowering each roller conveyor 41. 5A and 5B are explanatory diagrams of the operation of the transfer unit 40. FIG.

移載ユニット40は、伸縮自在な支持部材44を介してベース部材42bを支持するベース部材43を備える。各ローラコンベア41は支持部材42a及びベース部材42bと共にベース部材43に対して昇降可能となっている。ベース部材43上には板カム45aと、板カム45aの回転軸に固定されたピニオン45bと、ピニオン45bと噛み合うラック45cと、ラック45cの移動を案内するガイド部材45dと、ラック45cを移動させるエアシリンダ45eと、を備える。   The transfer unit 40 includes a base member 43 that supports the base member 42b via an extendable support member 44. Each roller conveyor 41 can be moved up and down with respect to the base member 43 together with the support member 42a and the base member 42b. On the base member 43, a plate cam 45a, a pinion 45b fixed to the rotation shaft of the plate cam 45a, a rack 45c meshing with the pinion 45b, a guide member 45d for guiding the movement of the rack 45c, and the rack 45c are moved. An air cylinder 45e.

ラック45cはその長手方向がX方向を向くように配設されており、また、エアシリンダ45eはX方向に伸縮する。エアシリンダ45eの伸縮によりラック45cはガイド部材45dに案内されてX方向に移動する。ラック45cの移動によりピニオン45bが回転し、板カム45aも回転する。ベース部材43には板カム45aとの干渉を回避する穴43aが設けられている。ベース部材42bの下面には板カム45aの周面と当接するローラ42cが設けられており、ローラ42cが当接する板カム45aの周面上の位置と、板カム45aの回転軸心との距離の変動によりローラコンベア41が昇降する。   The rack 45c is disposed so that the longitudinal direction thereof faces the X direction, and the air cylinder 45e extends and contracts in the X direction. As the air cylinder 45e expands and contracts, the rack 45c is guided by the guide member 45d and moves in the X direction. As the rack 45c moves, the pinion 45b rotates and the plate cam 45a also rotates. The base member 43 is provided with a hole 43a for avoiding interference with the plate cam 45a. A roller 42c that contacts the peripheral surface of the plate cam 45a is provided on the lower surface of the base member 42b. The distance between the position on the peripheral surface of the plate cam 45a that the roller 42c contacts and the rotational axis of the plate cam 45a. The roller conveyor 41 moves up and down due to the fluctuation.

しかして、移載ユニット40は、移載ユニット30との間で基板を移載する場合には、図5−1に示すように各ローラの頂点を結び線が上記の移載高さを示す線Lを通る位置にローラコンベア41が上昇した位置(以下、上昇位置という。)にある。一方、後述するように移載ユニット40からベルトコンベアユニット10へ基板を移載する場合には、エアシリンダ45eを伸長することによる板カム45aの回転により図5−2に示すように各ローラの頂点を結び線が上記の移載高さを示す線Lよりも下方の線L’を通る位置にローラコンベア41が下降する(この位置を以下、下降位置という。)。図5−2から図5−1の態様に戻す場合にはエアシリンダ45eを収縮させる。なお、本実施形態ではこのような昇降機構を採用するが、他の昇降機構も採用できることは言うまでもない。   Therefore, when the transfer unit 40 transfers a substrate to / from the transfer unit 30, the vertex of each roller is connected as shown in FIG. 5-1, and the line indicates the transfer height. The roller conveyor 41 is located at a position where the roller conveyor 41 is elevated at a position passing through the line L (hereinafter referred to as an elevated position). On the other hand, when the substrate is transferred from the transfer unit 40 to the belt conveyor unit 10 as will be described later, the rotation of the plate cam 45a by extending the air cylinder 45e causes each roller to move as shown in FIG. The roller conveyor 41 descends to a position where the line connecting the vertices passes through a line L ′ below the line L indicating the transfer height (this position is hereinafter referred to as a lowered position). When returning to the mode of FIG. 5A from FIG. 5B, the air cylinder 45e is contracted. In this embodiment, such an elevating mechanism is adopted, but it goes without saying that other elevating mechanisms can also be adopted.

<ベルトコンベアユニット>
図1、図2並びに図6−1及び図6−2を参照してベルトコンベアユニット10の構成について説明する。図6−1はベルトコンベア11の概略側面視図、図6−2はベルトコンベア12の概略側面視図である。上述した通り、ベルトコンベアユニット10は、第1のベルトコンベア11と第2のベルトコンベア12と、から構成されており、本実施形態の場合、X方向に離間して2つのベルトコンベアユニット10が平行に設けられている。
<Belt conveyor unit>
The configuration of the belt conveyor unit 10 will be described with reference to FIGS. 1, 2, 6-1, and 6-2. 6A is a schematic side view of the belt conveyor 11, and FIG. 6B is a schematic side view of the belt conveyor 12. As described above, the belt conveyor unit 10 includes the first belt conveyor 11 and the second belt conveyor 12, and in the present embodiment, the two belt conveyor units 10 are separated from each other in the X direction. It is provided in parallel.

第1のベルトコンベア11は、駆動プーリ11aと、従動プーリ11bと、駆動プーリ11aと従動プーリ11bとに巻き回された無端のベルト11cと、を備え、例えば、ベルト11cとしてタイミングベルトを用いたベルトコンベアである。   The first belt conveyor 11 includes a driving pulley 11a, a driven pulley 11b, and an endless belt 11c wound around the driving pulley 11a and the driven pulley 11b. For example, a timing belt is used as the belt 11c. It is a belt conveyor.

駆動プーリ11aと従動プーリ11bとはY方向に離間して配設されおり、ベルト11cの走行方向はY方向に設定されている。駆動プーリ11aは軸受11dに軸支された駆動軸11eに連結されている。本実施形態の場合、2つのベルトコンベアユニット10の第1のベルトコンベア11は同期的に駆動する。このため、各駆動プーリ11aを共通の駆動軸11eに連結している。駆動軸11eの端部は減速機付きモータ13aの出力軸に接続されており、モータ13aの回転駆動によりり2つの駆動プーリ11aが同期回転する。従動プーリ11bはその回転軸が軸受11fに軸支されており、自由回転する。従動プーリ11bの回転軸は第2のベルトコンベア12の上下のベルト12c間を通過する。   The driving pulley 11a and the driven pulley 11b are spaced apart in the Y direction, and the traveling direction of the belt 11c is set in the Y direction. The drive pulley 11a is connected to a drive shaft 11e that is supported by a bearing 11d. In the present embodiment, the first belt conveyors 11 of the two belt conveyor units 10 are driven synchronously. For this reason, each drive pulley 11a is connected to a common drive shaft 11e. The end of the drive shaft 11e is connected to the output shaft of the motor 13a with a speed reducer, and the two drive pulleys 11a are synchronously rotated by the rotational drive of the motor 13a. The driven pulley 11b has a rotating shaft supported by a bearing 11f and freely rotates. The rotation shaft of the driven pulley 11 b passes between the upper and lower belts 12 c of the second belt conveyor 12.

なお、従動プーリ11b(及び後述する従動プーリ12b)は張力調整機構を有する軸受により軸支することもできる。図7−1は張力調整機構を有する軸受により従動プーリ11bを軸支した例を示す構成図、図7−2は図7−1の線III−IIIに沿う断面図である。従動プーリ11bは軸受部61により片持ちにて軸支される。軸受部61はY方向に延びるガイド部材62によりY方向に移動可能に支持されている。ガイド部材62の両端部には端部板63a及び63bが固定されており、端部板63a、63b間には軸体64がその軸芯回りに回転可能に取り付けられている。   The driven pulley 11b (and a driven pulley 12b to be described later) can also be supported by a bearing having a tension adjusting mechanism. FIG. 7A is a configuration diagram illustrating an example in which the driven pulley 11b is pivotally supported by a bearing having a tension adjusting mechanism, and FIG. 7B is a cross-sectional view taken along line III-III in FIG. The driven pulley 11b is pivotally supported by the bearing portion 61 in a cantilever manner. The bearing 61 is supported by a guide member 62 extending in the Y direction so as to be movable in the Y direction. End plates 63a and 63b are fixed to both ends of the guide member 62, and a shaft body 64 is rotatably mounted around the axis between the end plates 63a and 63b.

軸体64は軸受部61を貫通すると共に、ガイド部材62にY方向に移動可能に支持された移動板65も貫通している。軸体64の一部の周面にはネジ64aが刻設されており、移動板65はこのネジに螺合するネジ穴(不図示)が設けられている。軸体64と軸受部61とは遊嵌である。移動板65と軸受部61との間にはコイルスプリング66が装填されており、両者を常時離間するように付勢する。しかして、軸体64を回転すると移動板65がY方向に移動する。移動板65を軸受部61側に移動するとベルト11cをより緊張させることができるが、移動板65と軸受部61との間にはコイルスプリング66が装填されているため、過度に緊張することが抑制される。   The shaft body 64 penetrates the bearing portion 61 and also penetrates the moving plate 65 supported by the guide member 62 so as to be movable in the Y direction. A screw 64a is engraved on a part of the peripheral surface of the shaft body 64, and the moving plate 65 is provided with a screw hole (not shown) to be screwed into the screw. The shaft body 64 and the bearing portion 61 are loosely fitted. A coil spring 66 is loaded between the moving plate 65 and the bearing portion 61, and urges the two to always be separated from each other. Therefore, when the shaft body 64 is rotated, the moving plate 65 moves in the Y direction. If the moving plate 65 is moved to the bearing portion 61 side, the belt 11c can be more strained. However, since the coil spring 66 is loaded between the moving plate 65 and the bearing portion 61, the belt 11c may be strained excessively. It is suppressed.

ベルト11cのうち、上方を走行するベルト11c上には基板の端縁に当接して当該端縁の位置を規定する当接部14aと、複数の突起部15aとが設けられている。図6−3はベルト11cの、当接部14aと突起部15aが設けられた部位の拡大図である。当接部14aは本実施形態の場合、略直方体形状をなし、ベルト11c上に突出している。当接部14aは基板の−Y側の端縁の位置を規定する。突起部15aは、ベルト11c上の、基板が載置される部位に設けられており、本実施形態の場合、Y方向に複数並べて配置されている。この突起部15aは基板が載置される載置部材として機能する。   Of the belt 11c, an abutting portion 14a that abuts against the edge of the substrate and defines the position of the edge and a plurality of protrusions 15a are provided on the belt 11c that travels upward. FIG. 6-3 is an enlarged view of a portion of the belt 11c where the contact portion 14a and the protrusion 15a are provided. In the case of this embodiment, the contact part 14a has a substantially rectangular parallelepiped shape and protrudes on the belt 11c. The contact portion 14a defines the position of the edge on the −Y side of the substrate. The protrusions 15a are provided on a portion of the belt 11c where the substrate is placed. In the present embodiment, a plurality of the protrusions 15a are arranged in the Y direction. The protrusion 15a functions as a mounting member on which the substrate is mounted.

突起部15aは上面が曲形をなしており載置される基板との接触面積をできるだけ小さくしている。また、突起部15aの上面は平滑であることが望ましい。各突起部15aの頂点を結ぶ線は上述した線L’と線Lとの間を通過し、また、当接部14aの上面は上述した線L(移載高さ)よりも低い位置に位置するようにベルトコンベアユニット10の高さ方向の位置は位置決めされている。   The protrusion 15a has a curved upper surface, and makes the contact area with the substrate to be placed as small as possible. Moreover, it is desirable that the upper surface of the protrusion 15a be smooth. The line connecting the vertices of the protrusions 15a passes between the line L ′ and the line L described above, and the upper surface of the contact part 14a is located at a position lower than the line L (transfer height) described above. Thus, the position of the belt conveyor unit 10 in the height direction is positioned.

突起部15a及び当接部14aは、ベルト11cの走行により、Y方向の直線軌道上を移動する。つまり、第1のベルトコンベア11は突起部15a及び当接部14aをY方向の直線軌道上で移動させる移動手段として機能する。   The protrusion 15a and the contact portion 14a move on a linear track in the Y direction as the belt 11c travels. That is, the 1st belt conveyor 11 functions as a moving means to move the protrusion part 15a and the contact part 14a on the linear track of a Y direction.

第2のベルトコンベア12の構成は第1のベルトコンベア11の構成と同様である。つまり、第2のベルトコンベア12は、駆動プーリ12aと、従動プーリ12bと、駆動プーリ12aと従動プーリ12bとに巻き回された無端のベルト12cと、を備える。駆動プーリ12aと従動プーリ12bとはY方向に離間して配設されおり、ベルト12cの走行方向はY方向に設定されている。つまり、第1のベルトコンベア11と第2のベルトコンベア12とは、各々のベルト11c、12cの走行方向が相互に平行となるように配設されている。なお、第1のベルトコンベア11と第2のベルトコンベア12とは相対的にY方向にずれて配置されており、かつ、第1のベルトコンベア11の駆動プーリ11a及び従動プーリ11bの位置と、第2のベルトコンベア12の駆動プーリ12a及び従動プーリ12bの位置と、はY方向に逆転している。   The configuration of the second belt conveyor 12 is the same as the configuration of the first belt conveyor 11. That is, the second belt conveyor 12 includes a driving pulley 12a, a driven pulley 12b, and an endless belt 12c wound around the driving pulley 12a and the driven pulley 12b. The driving pulley 12a and the driven pulley 12b are spaced apart in the Y direction, and the running direction of the belt 12c is set in the Y direction. That is, the first belt conveyor 11 and the second belt conveyor 12 are arranged so that the traveling directions of the belts 11c and 12c are parallel to each other. The first belt conveyor 11 and the second belt conveyor 12 are relatively shifted in the Y direction, and the positions of the driving pulley 11a and the driven pulley 11b of the first belt conveyor 11 are as follows: The positions of the drive pulley 12a and the driven pulley 12b of the second belt conveyor 12 are reversed in the Y direction.

駆動プーリ12aは軸受12dに軸支された駆動軸12eに連結されている。第1のベルトコンベア11の場合と同様に、2つのベルトコンベアユニット10の各駆動プーリ12aは共通の駆動軸12eに連結されている。駆動軸12eの端部は減速機付きモータ13bの出力軸に接続されており、モータ13bの回転駆動によりり2つの駆動プーリ12aが同期回転する。この構成により、複数の第1のベルトコンベア11と複数の第2のベルトコンベア12とにそれぞれ1つずつ駆動源(モータ13a、13b)を設ければ足りる。従動プーリ12bはその回転軸が軸受12fに軸支されており、自由回転する。従動プーリ12bの回転軸は第1のベルトコンベア11の上下のベルト11c間を通過する。ベルト12cのうち、上方を走行するベルト12c上には第1のベルトコンベア11と同様に、基板の端縁に当接して当該端縁の位置を規定する当接部14bと、複数の突起部15bとが設けられており、これらは図6−3で参照した当接部14a、突起部15aと同様である。当接部14bは基板の+Y側の端縁の位置を規定する。   The drive pulley 12a is connected to a drive shaft 12e that is pivotally supported by the bearing 12d. As in the case of the first belt conveyor 11, the drive pulleys 12a of the two belt conveyor units 10 are connected to a common drive shaft 12e. The end of the drive shaft 12e is connected to the output shaft of the motor 13b with a speed reducer, and the two drive pulleys 12a are synchronously rotated by the rotational drive of the motor 13b. With this configuration, it is sufficient to provide one drive source (motors 13a and 13b) for each of the plurality of first belt conveyors 11 and the plurality of second belt conveyors 12. The driven pulley 12b has a rotating shaft supported by a bearing 12f and freely rotates. The rotating shaft of the driven pulley 12 b passes between the upper and lower belts 11 c of the first belt conveyor 11. Among the belts 12c, on the belt 12c that travels upward, like the first belt conveyor 11, a contact part 14b that contacts the edge of the substrate and defines the position of the edge, and a plurality of protrusions 15b, which are the same as the contact portion 14a and the protrusion 15a referred to in FIG. 6-3. The contact part 14b defines the position of the edge on the + Y side of the substrate.

突起部15b及び当接部14bは、ベルト12cの走行により、突起部15a及び当接部14aが移動する直線軌道と平行なY方向の直線軌道上を移動する。つまり、第2のベルトコンベア12は突起部15b及び当接部14bをY方向の直線軌道上で移動させる移動手段として機能する。   The protrusion 15b and the contact portion 14b move on a linear track in the Y direction parallel to the linear track on which the protrusion 15a and the contact portion 14a move as the belt 12c runs. That is, the second belt conveyor 12 functions as a moving unit that moves the protruding portion 15b and the contact portion 14b on a linear track in the Y direction.

<補助ユニット>
図1及び図6−1及び図6−2に示すように本実施形態ではベルトコンベアユニット10のY方向の略中間部位に補助ユニット50が配設されている。補助ユニット50は、支持部51と、補助軸52と、を備える。図6−4は図1の線I−Iに沿う断面図、図6−5は図1の線II−IIに沿う断面図である。支持部51は表面が平滑な板であり、脚部51aを介して台53に支持されている。支持部51はベルト11c、12cのうち、上方を走行する部分の下に配設され、当該部分が載置されることにより、ベルト11c、12cを支持する。この支持部51は表面な平滑な板に代えて軸体等も採用できる。補助軸52はテンションローラとして機能する軸体であり、軸受部52aを介して台53に支持されている。補助軸52は、ベルト11c、12cのうち、下方を走行する部分の下に配設され、これを上方へ押し上げることによりベルト11c、12cに一定の張力を発生させる。
<Auxiliary unit>
As shown in FIGS. 1, 6-1, and 6-2, in this embodiment, the auxiliary unit 50 is disposed at a substantially intermediate portion in the Y direction of the belt conveyor unit 10. The auxiliary unit 50 includes a support portion 51 and an auxiliary shaft 52. 6-4 is a cross-sectional view taken along line II in FIG. 1, and FIG. 6-5 is a cross-sectional view taken along line II-II in FIG. The support portion 51 is a plate having a smooth surface, and is supported by the base 53 through leg portions 51a. The support part 51 is arrange | positioned under the part which drive | works upwards among belts 11c and 12c, and supports the belts 11c and 12c by mounting the said part. The support 51 can be a shaft or the like instead of a smooth plate. The auxiliary shaft 52 is a shaft body that functions as a tension roller, and is supported by the base 53 via a bearing portion 52a. The auxiliary shaft 52 is disposed below a portion of the belts 11c and 12c that travels downward, and pushes the auxiliary shaft 52 upward to generate a constant tension in the belts 11c and 12c.

<制御部>
図7−3は基板搬送システムAを制御する制御部70のブロック図である。制御部70はCPU71と、RAM72と、ROM73とを備える。ROM73には基板搬送システムAの制御プログラム等が格納される。RAM72、ROM73は他の記憶手段も採用可能である。CPU71には入力インターフェース(I/F)74が接続されており、入力I/F74には各種のセンサが接続されている。このセンサとしては、例えば、各モータ13a、13b、27の回転角又は回転量、ローラコンベアによる基板の搬送量を検出するセンサが挙げられる。各種のセンサの検出結果は入力I/F74を介してCPU71が取得する。
<Control unit>
FIG. 7C is a block diagram of the control unit 70 that controls the substrate transfer system A. The control unit 70 includes a CPU 71, a RAM 72, and a ROM 73. The ROM 73 stores a control program for the substrate transfer system A and the like. The RAM 72 and ROM 73 can also employ other storage means. An input interface (I / F) 74 is connected to the CPU 71, and various sensors are connected to the input I / F 74. Examples of this sensor include sensors that detect the rotation angles or rotation amounts of the motors 13a, 13b, and 27, and the substrate conveyance amount by the roller conveyor. The CPU 71 acquires the detection results of various sensors via the input I / F 74.

CPU71には出力I/F75が接続されており、出力I/F75にはモータ、制御弁が接続されている。モータは、例えば、各モータ13a、13b、27並びに上述したローラコンベアの駆動モータ等である。制御弁はエアシリンダ45eへのエアの供給、方向を切替える弁である。CPU71は例えば入力I/F74に接続された各種センサの検知結果に応じて、出力I/F75に接続された各アクチュエータに制御命令を出力して基板搬送システムAを動作させる。なお、第1のベルトコンベア11と第2のベルトコンベア12とは制御部70によってそれぞれ個別に独立して制御されることは言うまでもない。CPU71には通信I/F78が接続されており、ホストコンピュータ80とのデータ通信を行なう。ホストコンピュータ80は基板搬送システムAに対する各種の設定、動作命令等を行なう。   An output I / F 75 is connected to the CPU 71, and a motor and a control valve are connected to the output I / F 75. The motor is, for example, each of the motors 13a, 13b, and 27 and the above-described roller conveyor drive motor. The control valve is a valve for switching the supply and direction of air to the air cylinder 45e. For example, the CPU 71 outputs a control command to each actuator connected to the output I / F 75 to operate the substrate transfer system A in accordance with detection results of various sensors connected to the input I / F 74. Needless to say, the first belt conveyor 11 and the second belt conveyor 12 are individually and independently controlled by the control unit 70. A communication I / F 78 is connected to the CPU 71 and performs data communication with the host computer 80. The host computer 80 performs various settings and operation commands for the substrate transfer system A.

<基板搬送システムの動作>
次に、図8乃至図14を参照して制御部70の制御による基板搬送システムAの動作例について説明する。ここでは、基板収納カセット100aから処理装置110へ基板を一枚ずつ搬送し、また、処理装置110から基板収納カセット100bへ処理済の基板を搬送する場合について説明する。
<Operation of substrate transfer system>
Next, an operation example of the substrate transfer system A under the control of the control unit 70 will be described with reference to FIGS. Here, a case will be described in which substrates are transferred one by one from the substrate storage cassette 100a to the processing apparatus 110, and processed substrates are transferred from the processing apparatus 110 to the substrate storage cassette 100b.

まず、第1及び第2のベルトコンベア11、12を駆動してベルト11c、12cを走行させ、第1のベルトコンベア11の当接部14aと、第2のベルトコンベア12の当接部14bとが相互に基板の幅よりも離間した位置(初期位置)に位置させる(初期制御)。図8は当接部14a、14bが初期位置に位置した態様を示す。図中、P1は当接部14aの基板への当接面のY方向の位置を、P2は当接部14bの基板への当接面のY方向の位置を、それぞれ示す。P1とP2とは距離d1だけ離間しており、距離d1>基板のY方向の幅、である。   First, the first and second belt conveyors 11 and 12 are driven to run the belts 11c and 12c, and the contact portion 14a of the first belt conveyor 11 and the contact portion 14b of the second belt conveyor 12 Are positioned at positions (initial positions) that are separated from each other by the width of the substrate (initial control). FIG. 8 shows a state in which the contact portions 14a and 14b are located at the initial position. In the figure, P1 indicates the position of the contact surface of the contact portion 14a on the substrate in the Y direction, and P2 indicates the position of the contact surface of the contact portion 14b on the substrate in the Y direction. P1 and P2 are separated by a distance d1, where distance d1> the width of the substrate in the Y direction.

続いて昇降ユニット20により基板収納カセット100aを降下させ、最下方の基板が移載ユニット30の各ローラコンベア31上に載置される位置にて停止する。ローラコンベア31のローラを回転駆動することにより、基板を−X方向に移動させ、ベルトコンベアユニット10へ移動させる(図9)。基板収納カセット100a側の移載ユニット40は予めローラコンベア41を上昇位置に位置させておき、ローラコンベア41のローラも回転駆動する。これにより、ローラコンベア31からローラコンベア41へ基板が移動し、ベルトコンベアユニット10上に基板が移動する。   Subsequently, the substrate storage cassette 100 a is lowered by the elevating unit 20 and stopped at a position where the lowermost substrate is placed on each roller conveyor 31 of the transfer unit 30. By rotating the rollers of the roller conveyor 31, the substrate is moved in the −X direction and moved to the belt conveyor unit 10 (FIG. 9). The transfer unit 40 on the substrate storage cassette 100a side places the roller conveyor 41 in the raised position in advance, and the rollers of the roller conveyor 41 are also rotationally driven. As a result, the substrate moves from the roller conveyor 31 to the roller conveyor 41, and the substrate moves onto the belt conveyor unit 10.

ベルトコンベアユニット10上へ基板が移動すると、基板収納カセット100a側のローラコンベア31及び41のローラの回転駆動を停止し、ローラコンベア41を下降位置へ降下させる。これにより、基板がベルトコンベアユニット10のベルト11c、12c上へ載置される。基板は2つのベルトコンベアユニット10の各ベルト11c、12c上に跨る位置まで移動され、この跨った状態で搬送される。本実施形態ではベルト11c、12c上に突起部15a、15bを設けているため、基板は突起部15a、15b上に跨って載置される。   When the substrate moves onto the belt conveyor unit 10, the rotational driving of the rollers of the roller conveyors 31 and 41 on the substrate storage cassette 100a side is stopped, and the roller conveyor 41 is lowered to the lowered position. As a result, the substrate is placed on the belts 11 c and 12 c of the belt conveyor unit 10. The board is moved to a position straddling the belts 11c and 12c of the two belt conveyor units 10, and is transported in this straddling state. In this embodiment, since the protrusions 15a and 15b are provided on the belts 11c and 12c, the substrate is placed across the protrusions 15a and 15b.

次に、第1及び第2のベルトコンベア11、12を駆動してベルト11c、12cを相互に逆方向に走行させ、初期位置にある当接部14aと当接部14bとの間の距離が基板の幅となるようにする(位置決め制御)。これにより基板が位置決めされる。図10は基板が位置決めされた態様を示す図である。当接部14aと当接部14bとが初期位置から移動し、P1とP2との距離がd1からd2へ変化している。距離d2≒基板のY方向の幅、である。ベルト11c、12cを相互に逆方向に走行させることで、当接部14aが基板の−Y側の端縁に、当接部14bが基板の+Y側の端縁に、それぞれ当接し、また、基板は突起部15a、15bを滑動する。基板は当接部14aと14bとに緩やかに挟持されてそのY方向の位置決めがなされることになる。   Next, the first and second belt conveyors 11 and 12 are driven to cause the belts 11c and 12c to travel in opposite directions, and the distance between the contact portion 14a and the contact portion 14b at the initial position is The width of the substrate is set (positioning control). Thereby, the substrate is positioned. FIG. 10 is a diagram showing a state in which the substrate is positioned. The contact part 14a and the contact part 14b move from the initial position, and the distance between P1 and P2 changes from d1 to d2. The distance d2≈the width of the substrate in the Y direction. By causing the belts 11c and 12c to run in opposite directions, the contact portion 14a contacts the -Y side edge of the substrate, the contact portion 14b contacts the + Y side edge of the substrate, and The substrate slides on the protrusions 15a and 15b. The substrate is gently held between the contact portions 14a and 14b and positioned in the Y direction.

次に、第1及び第2のベルトコンベア11、12を駆動してベルト11c、12cを同方向(+Y方向)に等速で走行させる(搬送制御)。これにより基板が+Y方向に搬送される。図11は基板が搬送される態様を示した図である。ベルト11c、12cを同方向(+Y方向)に等速で走行させることで、基板が当接部14aと14bと挟まれて位置決めされた状態のまま搬送される。ベルト11c、12cには基板の自重により下方向の荷重が作用するが、支持部51により支持され、ベルト11c、12cが下方へ撓むことが防止されて基板を安定して搬送することができる。   Next, the first and second belt conveyors 11 and 12 are driven to run the belts 11c and 12c in the same direction (+ Y direction) at a constant speed (conveyance control). As a result, the substrate is transported in the + Y direction. FIG. 11 is a diagram illustrating a mode in which the substrate is conveyed. By causing the belts 11c and 12c to travel in the same direction (+ Y direction) at a constant speed, the substrate is conveyed while being positioned between the contact portions 14a and 14b. Although a downward load is applied to the belts 11c and 12c due to the weight of the substrate, the belt 11c and 12c are supported by the support portion 51, and the belts 11c and 12c are prevented from being bent downward, so that the substrate can be stably conveyed. .

次に、基板の搬送が開始されるのと前後して処理装置110側の移載ユニット40のローラコンベア41を下降位置に位置させる。図12に示すように基板が処理装置110側の移載ユニット40上へ到達すると、第1及び第2のベルトコンベア11、12の駆動を停止し、基板の搬送を停止する。そして、処理装置110側の移載ユニット40のローラコンベア41を上昇位置へ上昇させ、基板をベルトコンベアユニット10からローラコンベア41へ移載する。移載後、ローラコンベア41のローラを回転駆動し、基板を−X方向に移動させ、処理装置110へ基板を移載する(図13)。以上により1単位の基板の搬送が終了する。なお、処理装置110へ基板を移載する際、並行して、図13に示すように、基板収納カセット100aから次の基板をベルトコンベアユニット10へ移載する動作を開始することもできる。図13では、ベルトコンベア11、12も駆動されて、当接部14a、14bが初期位置へ戻るように移動している。   Next, before and after the transfer of the substrate is started, the roller conveyor 41 of the transfer unit 40 on the processing apparatus 110 side is positioned at the lowered position. As shown in FIG. 12, when the substrate reaches the transfer unit 40 on the processing apparatus 110 side, the driving of the first and second belt conveyors 11 and 12 is stopped, and the conveyance of the substrate is stopped. Then, the roller conveyor 41 of the transfer unit 40 on the processing apparatus 110 side is raised to the raised position, and the substrate is transferred from the belt conveyor unit 10 to the roller conveyor 41. After the transfer, the rollers of the roller conveyor 41 are driven to rotate, the substrate is moved in the −X direction, and the substrate is transferred to the processing apparatus 110 (FIG. 13). Thus, the conveyance of one unit of substrate is completed. In addition, when the substrate is transferred to the processing apparatus 110, the operation of transferring the next substrate from the substrate storage cassette 100a to the belt conveyor unit 10 can be started in parallel as shown in FIG. In FIG. 13, the belt conveyors 11 and 12 are also driven to move the contact portions 14a and 14b back to the initial positions.

次に、処理装置110から基板収納カセット100bへ処理済みの基板を搬送する場合について説明する。まず、処理装置110側の移載ユニット40のローラコンベア41を上昇位置に位置させる。また、昇降ユニット20により基板収納カセット100bを降下させ、基板収納カセット100b内の基板を収納する段を移載ユニット30の移載高さに合わせる。続いて処理装置110側の移載ユニット30及び40のローラコンベア30及び40のローラを回転駆動し、基板を+X方向に搬送可能な状態で待機する。処理装置110から処理済の基板が排出されると、図14に示すように、移載ユニット40⇒移載ユニット30と基板が搬送されて基板収納カセット100b内に収納されることになる。処理装置110から基板収納カセット100bへ処理済みの基板を搬送する間、図14に示すように、基板収納カセット100aから基板をベルトコンベアユニット10へ移載して、処理装置110への搬送を準備することができる。   Next, a case where a processed substrate is transferred from the processing apparatus 110 to the substrate storage cassette 100b will be described. First, the roller conveyor 41 of the transfer unit 40 on the processing apparatus 110 side is positioned at the raised position. Further, the substrate storage cassette 100 b is lowered by the elevating unit 20, and the stage for storing the substrate in the substrate storage cassette 100 b is adjusted to the transfer height of the transfer unit 30. Subsequently, the rollers of the roller conveyors 30 and 40 of the transfer unit 30 and 40 on the processing apparatus 110 side are rotationally driven to stand by in a state where the substrate can be conveyed in the + X direction. When the processed substrate is discharged from the processing apparatus 110, the transfer unit 40 → the transfer unit 30 and the substrate are transported and stored in the substrate storage cassette 100b as shown in FIG. While the processed substrate is being transferred from the processing apparatus 110 to the substrate storage cassette 100b, as shown in FIG. 14, the substrate is transferred from the substrate storage cassette 100a to the belt conveyor unit 10 and prepared for transfer to the processing apparatus 110. can do.

<基板搬送システムの利点>
本実施形態の基板搬送システムAによれば、当接部14a、14bが基板の対向する両端縁にそれぞれ当接し、ベルト11c、12cの走行方向(Y方向)の基板の位置決めを行なうことができると共に、位置決めされた状態で基板を搬送できる。従って、搬送途中で基板が傾くことなく、位置決めされた状態で基板を搬送することができる。
<Advantages of substrate transfer system>
According to the substrate transfer system A of the present embodiment, the contact portions 14a and 14b are in contact with the opposite end edges of the substrate, respectively, and the substrate can be positioned in the running direction (Y direction) of the belts 11c and 12c. At the same time, the substrate can be conveyed in a positioned state. Therefore, the substrate can be transported in a positioned state without tilting the substrate during transport.

上記の位置決め制御の際には、基板がベルト11c、12c上を摺動することになるが、本実施形態では基板が載置される部位に複数の突起部15a、15bを設け、基板を突起部15a、15b上に載置されるようにしているので、ベルト11c、12cと基板とがほとんど接触せず、両者の摩擦を軽減して基板が傷つくことを防止できる。   In the positioning control described above, the substrate slides on the belts 11c and 12c. In this embodiment, a plurality of protrusions 15a and 15b are provided on the portion where the substrate is placed, and the substrate is protruded. Since they are placed on the portions 15a and 15b, the belts 11c and 12c are hardly in contact with the substrate, and friction between them can be reduced to prevent the substrate from being damaged.

また、上記実施形態では、ベルトコンベアユニット10のベルト11c、12cの走行方向と直交する方向に基板を移載する移載ユニット30、40を設けたことにより、、ベルトコンベアユニット10の長手方向に沿ってその側方に基板収納カセット100と処理装置110とを配置したレイアウトを採用できた。   Moreover, in the said embodiment, by providing the transfer units 30 and 40 which transfer a board | substrate to the direction orthogonal to the running direction of the belts 11c and 12c of the belt conveyor unit 10, the longitudinal direction of the belt conveyor unit 10 is provided. A layout in which the substrate storage cassette 100 and the processing apparatus 110 are arranged on the side of the side can be adopted.

更に、ローラコンベア41を昇降可能とすることで、ローラコンベア41を上昇位置に位置させて基板を搬送する際、当接部14a、14bと基板が干渉することがない。従って、ある基板の搬送中に、ベルトコンベアユニット10上に基板収納カセット100又は処理装置110からの他の基板を配置し、基板の移載の準備ができ、搬送効率を高めることができる。   Furthermore, by allowing the roller conveyor 41 to move up and down, the contact portions 14a and 14b do not interfere with the substrate when the substrate is transported while the roller conveyor 41 is positioned at the raised position. Therefore, during the transfer of a certain substrate, another substrate from the substrate storage cassette 100 or the processing apparatus 110 can be arranged on the belt conveyor unit 10 to prepare for the transfer of the substrate, and the transfer efficiency can be improved.

<第2実施形態>
上記実施形態では、位置決め制御の際、第1及び第2のベルトコンベア11、12を駆動してベルト11c、12cを相互に逆方向に走行させ、初期位置にある当接部14aと当接部14bとの間の距離が基板の幅となるようにした。つまり、当接部14aと当接部14bとの双方を逆方向に移動させることにより、基板の位置決めを行なったが、いずれか一方が他方へ近づくように移動すれば基板の位置決めができる。
<Second Embodiment>
In the above embodiment, when positioning control is performed, the first and second belt conveyors 11 and 12 are driven to cause the belts 11c and 12c to travel in opposite directions, and the contact portion 14a and the contact portion at the initial position are moved. The distance between them was set to the width of the substrate. That is, the substrate is positioned by moving both the contact portion 14a and the contact portion 14b in the opposite directions, but the substrate can be positioned if either one moves closer to the other.

従って、第1及び第2のベルトコンベア11、12の少なくともいずれかを駆動し、当接部14a又は14bの一方が他方へ近づくように制御することで基板の位置決めができる。更に、位置決め制御では、当接部14a及び14bを異なる速度で同方向に移動させてもよい。例えば、当接部14aと当接部14bとを初期位置から基板の搬送方向(Y方向)に移動させるが、当接部14aの移動速度は搬送制御時の移動速度と同じに、当接部14bは搬送制御時の移動速度より遅い速度とし、徐々に当接部14bの移動速度を搬送制御時の移動速度まであげる。これにより、当接部14aと当接部14bとの移動速度の差により両者の距離が狭まり、やがて両者が基板の両端縁に当接することになる。この方式では、基板の搬送を行ないながら基板の位置決めができる。   Therefore, the substrate can be positioned by driving at least one of the first and second belt conveyors 11 and 12 and controlling one of the contact portions 14a or 14b to approach the other. Further, in the positioning control, the contact portions 14a and 14b may be moved in the same direction at different speeds. For example, the contact portion 14a and the contact portion 14b are moved from the initial position in the substrate transport direction (Y direction), and the contact portion 14a has the same moving speed as that during transport control. 14b is a speed slower than the movement speed at the time of the conveyance control, and gradually increases the movement speed of the contact portion 14b to the movement speed at the time of the conveyance control. As a result, the distance between the contact portion 14a and the contact portion 14b is reduced due to the difference in moving speed between the contact portion 14a and the contact portion 14b. In this method, the substrate can be positioned while the substrate is being transported.

また、上記実施形態では、4本のベルト11c、12cに跨って1枚の基板を載置し、搬送したが、基板の大きさに併せてベルトの幅を調整することで、2本のベルト11c、12cで1枚の基板を搬送するようにしてもよい。つまり、最低1つのベルトコンベアユニット10があれば、上記実施形態の各制御が実施できる。   In the above embodiment, a single substrate is placed and conveyed across the four belts 11c and 12c, but the two belts can be adjusted by adjusting the width of the belt according to the size of the substrate. One substrate may be transported by 11c and 12c. That is, if there is at least one belt conveyor unit 10, each control of the above embodiment can be performed.

これとは逆に4本以上のベルトを用いる構成も採用できる。図15は4つのベルトコンベアユニット10を用いた例を示す図である。ベルトコンベアユニット10を2つずつ独立して同期駆動することで、2枚の基板を並行して搬送することができる。また、4つのベルトコンベアユニット10を全て同期駆動することで、図16に示すように図15の基板とは大きさが異なる(より大きな)基板も搬送できる。つまり、初期制御及び位置決め制御等における当接部14a、14b間の距離を適宜設定することで、異なる大きさの基板を同じシステムで搬送できるという利点がある。   On the contrary, a configuration using four or more belts can be employed. FIG. 15 is a diagram showing an example using four belt conveyor units 10. Two substrates can be transported in parallel by independently driving the belt conveyor units 10 two by two. Further, by synchronously driving all four belt conveyor units 10, a substrate having a size different from (larger) than the substrate of FIG. 15 can be transported as shown in FIG. That is, there is an advantage that substrates of different sizes can be transported by the same system by appropriately setting the distance between the contact portions 14a and 14b in the initial control and the positioning control.

<第3実施形態>
上記実施形態では、突起部15a、15b及び当接部14a、14bを移動させる移動手段としてベルトコンベア11、12を用いたが、他の種類の移動手段を用いることもできる。以下、図17乃至図25を参照して、他の種類の移動手段の採用例について説明する。なお、これらの各図において上述した基板搬送システムAと同様の構成については同じ符号を付し、説明を省略する。また、特に説明しないが、上記第1実施形態及び第2実施形態における制御内容、装置のレイアウト等はこの第3実施形態の構成例についても適用可能である。
<Third Embodiment>
In the above embodiment, the belt conveyors 11 and 12 are used as the moving means for moving the protrusions 15a and 15b and the contact portions 14a and 14b. However, other types of moving means may be used. Hereinafter, with reference to FIG. 17 to FIG. 25, examples of employing other types of moving means will be described. In addition, the same code | symbol is attached | subjected about the structure similar to the board | substrate conveyance system A mentioned above in each of these figures, and description is abbreviate | omitted. Although not specifically described, the control contents, device layout, and the like in the first and second embodiments can be applied to the configuration example of the third embodiment.

<ボールネジ機構の採用例1>
図17は本発明の他の実施形態に係る基板搬送システムBの平面図である。基板搬送システムBはベルトコンベアユニット10に代えてボールネジ機構を備えた駆動ユニット210を採用したものである。
<Application example 1 of ball screw mechanism>
FIG. 17 is a plan view of a substrate transfer system B according to another embodiment of the present invention. The substrate transport system B employs a drive unit 210 having a ball screw mechanism instead of the belt conveyor unit 10.

2つの駆動ユニット210は、それぞれ第1のボールネジ機構211と、第2のボールネジ機構212と、から構成されている。第1のボールネジ機構211は、Y方向に延びる直線状のネジ軸2111及びガイド部材2112と、ガイド部材2112に案内されてネジ軸2111に沿って移動する移動ユニット2113と、を備える。ネジ軸2111はその両端部近傍において軸受2111aにより回転自在に支持されている。   Each of the two drive units 210 includes a first ball screw mechanism 211 and a second ball screw mechanism 212. The first ball screw mechanism 211 includes a linear screw shaft 2111 and a guide member 2112 extending in the Y direction, and a moving unit 2113 that is guided by the guide member 2112 and moves along the screw shaft 2111. The screw shaft 2111 is rotatably supported by bearings 2111a in the vicinity of both ends thereof.

第2のボールネジ機構212は、第1のボールネジ機構211に対してX方向に離間して配設されており、第1のボールネジ機構211と同様の構成である。つまり、第2のボールネジ機構212は、Y方向に延びる直線状のネジ軸2121及びガイド部材2122と、ガイド部材2122に案内されてネジ軸2121に沿って移動する移動ユニット2123と、を備える。ネジ軸2121はその両端部近傍において軸受2121aにより回転自在に支持されている。   The second ball screw mechanism 212 is disposed away from the first ball screw mechanism 211 in the X direction, and has the same configuration as the first ball screw mechanism 211. That is, the second ball screw mechanism 212 includes a linear screw shaft 2121 and a guide member 2122 that extend in the Y direction, and a moving unit 2123 that is guided by the guide member 2122 and moves along the screw shaft 2121. The screw shaft 2121 is rotatably supported by bearings 2121a in the vicinity of both ends thereof.

各ネジ軸2111、2121の一方の端部にはかさ歯車221がそれぞれ取り付けられている。かさ歯車221はモータ223a、223bにより回転駆動されるかさ歯車222と噛合しており、モータ223a、223bの正転・逆転により各ネジ軸2111、2121が正転・逆転する。2つの駆動ユニット210のうち、各ボールネジ機構211はモータ223aにより同期制御され、各ボールネジ機構212はモータ223bにより同期制御される。なお、ボールネジ機構211とボールネジ機構212とはそれぞれ個別に独立して制御されることは言うまでもない。   A bevel gear 221 is attached to one end of each of the screw shafts 2111, 2121. The bevel gear 221 is meshed with a bevel gear 222 that is rotationally driven by the motors 223a and 223b, and the screw shafts 2121 and 2121 are rotated forward and reverse by the forward and reverse rotations of the motors 223a and 223b. Of the two drive units 210, each ball screw mechanism 211 is synchronously controlled by a motor 223a, and each ball screw mechanism 212 is synchronously controlled by a motor 223b. Needless to say, the ball screw mechanism 211 and the ball screw mechanism 212 are individually controlled independently.

図18は移動ユニット2113、2123近傍の構成を示す斜視図である。移動ユニット2123は上述した突起部15b及び当接部14bが上面に設けられた支持板2123aと、支持板2123aの両端部下面に固定された一対の支持ブロック2123bと、を備える。支持ブロック2123bはネジ軸2121に螺合するボールナットを有しており、ネジ軸2121が貫通している。また、支持ブロック2123bの下面にはガイド部材2122に噛合う溝が形成されている。   FIG. 18 is a perspective view showing a configuration in the vicinity of the moving units 2113 and 2123. The moving unit 2123 includes a support plate 2123a in which the above-described protrusion 15b and contact portion 14b are provided on the upper surface, and a pair of support blocks 2123b fixed to the lower surfaces of both end portions of the support plate 2123a. The support block 2123b has a ball nut that is screwed onto the screw shaft 2121, and the screw shaft 2121 passes therethrough. Further, a groove that meshes with the guide member 2122 is formed on the lower surface of the support block 2123b.

しかして、ネジ軸2121が回転すると移動ユニット2123はネジ軸2121の回転方向によって+Y方向又は−Y方向に移動し、突起部15b及び当接部14bをY方向に沿う直線軌道上で移動させることができる。   Thus, when the screw shaft 2121 rotates, the moving unit 2123 moves in the + Y direction or the −Y direction depending on the rotation direction of the screw shaft 2121, and moves the protrusion 15 b and the contact portion 14 b on a linear track along the Y direction. Can do.

移動ユニット2113は移動ユニット2123と同様の構成であり、上述した突起部15a及び当接部14aが上面に設けられた支持板2113aと、支持板2113aの両端部下面に固定された一対の支持ブロック2113bと、を備える。支持ブロック2113bはネジ軸2111に螺合するボールナットを有しており、ネジ軸2111が貫通している。また、支持ブロック2123bの下面にはガイド部材2122に噛合う溝が形成されている。   The moving unit 2113 has the same configuration as that of the moving unit 2123, and the support plate 2113a having the protrusion 15a and the contact portion 14a provided on the upper surface, and a pair of support blocks fixed to the lower surfaces of both ends of the support plate 2113a. 2113b. The support block 2113b has a ball nut that is screwed onto the screw shaft 2111, and the screw shaft 2111 passes therethrough. Further, a groove that meshes with the guide member 2122 is formed on the lower surface of the support block 2123b.

しかして、ネジ軸2111が回転すると移動ユニット2113はネジ軸2111の回転方向によって+Y方向又は−Y方向に移動し、突起部15a及び当接部14aを、突起部15b及び当接部14bが移動する直線軌道と平行な、Y方向に沿う直線軌道上で移動させることができる。   Thus, when the screw shaft 2111 rotates, the moving unit 2113 moves in the + Y direction or the −Y direction depending on the rotation direction of the screw shaft 2111, and the projecting portion 15 a and the contact portion 14 a move, and the projecting portion 15 b and the contact portion 14 b move. It can be moved on a straight track along the Y direction parallel to the straight track.

このような構成からなる基板搬送システムBにおいても、基板搬送システムAと同様の基板の搬送制御が可能である。   Also in the substrate transport system B having such a configuration, the substrate transport control similar to the substrate transport system A can be performed.

<ボールネジ機構の採用例2>
図19は本発明の他の実施形態に係る基板搬送システムCの平面図である。基板搬送システムCはベルトコンベアユニット10に代えてボールネジ機構を備えた駆動ユニット310を採用したものである。駆動ユニット310は駆動ユニット210とは異なる形式のボールネジ機構を採用したものである。
<Application example 2 of ball screw mechanism>
FIG. 19 is a plan view of a substrate transfer system C according to another embodiment of the present invention. The substrate transport system C employs a drive unit 310 having a ball screw mechanism instead of the belt conveyor unit 10. The drive unit 310 employs a ball screw mechanism of a type different from that of the drive unit 210.

2つの駆動ユニット310は、それぞれ第1のボールネジ機構311と、第2のボールネジ機構312と、から構成されている。第1のボールネジ機構311は、Y方向に延びる直線状のネジ軸3111及びガイド部材3112と、ガイド部材3112に案内されてネジ軸3111に沿って移動する移動ユニット3113と、を備える。ネジ軸3111はその両端部近傍において軸受3111aにより固定されている。つまり、本例ではネジ軸3111は回転しない。   Each of the two drive units 310 includes a first ball screw mechanism 311 and a second ball screw mechanism 312. The first ball screw mechanism 311 includes a linear screw shaft 3111 and a guide member 3112 extending in the Y direction, and a moving unit 3113 that is guided by the guide member 3112 and moves along the screw shaft 3111. The screw shaft 3111 is fixed by bearings 3111a in the vicinity of both ends thereof. That is, in this example, the screw shaft 3111 does not rotate.

第2のボールネジ機構312は、第1のボールネジ機構311に対してX方向に離間して配設されており、第1のボールネジ機構311と同様の構成である。つまり、第2のボールネジ機構312は、Y方向に延びる直線状のネジ軸3121及びガイド部材3122と、ガイド部材3122に案内されてネジ軸3121に沿って移動する移動ユニット3123と、を備える。ネジ軸3121はその両端部近傍において軸受3121aにより固定されている。   The second ball screw mechanism 312 is disposed away from the first ball screw mechanism 311 in the X direction and has the same configuration as the first ball screw mechanism 311. That is, the second ball screw mechanism 312 includes a linear screw shaft 3121 and a guide member 3122 that extend in the Y direction, and a moving unit 3123 that is guided by the guide member 3122 and moves along the screw shaft 3121. The screw shaft 3121 is fixed by bearings 3121a in the vicinity of both ends thereof.

図20は移動ユニット3113、3123近傍の構成を示す斜視図である。移動ユニット3123は上述した突起部15b及び当接部14bが上面に設けられた支持板3123aと、支持板3123aの両端部下面に固定された一対の支持ブロック3123bと、を備える。   FIG. 20 is a perspective view showing a configuration in the vicinity of the moving units 3113 and 3123. The moving unit 3123 includes a support plate 3123a in which the above-described protrusion 15b and contact portion 14b are provided on the upper surface, and a pair of support blocks 3123b fixed to the lower surfaces of both end portions of the support plate 3123a.

支持ブロック3123bは、モータ31231と、摺動部31232と、から構成されている。モータ31231は、その出力軸31231aが円筒状をなしており、その内部にネジ軸3121に螺合するボールナットを有しており、ネジ軸3121が貫通している。また、摺動部31232はモータ31231の下面に固定されており、ガイド部材3122に噛合う溝が形成されている。   The support block 3123b includes a motor 31231 and a sliding portion 31232. The motor 31231 has a cylindrical output shaft 31231a, and has a ball nut screwed into the screw shaft 3121 therein, and the screw shaft 3121 passes therethrough. The sliding portion 31232 is fixed to the lower surface of the motor 31231, and a groove that engages with the guide member 3122 is formed.

しかして、一対の支持ブロック3123bの各モータ31231は、互いに同期制御される。出力軸31231aが回転すると、移動ユニット3123は出力軸31231aの回転方向によって+Y方向又は−Y方向に移動し、突起部15b及び当接部14bをY方向に沿う直線軌道上で移動させることができる。   Accordingly, the motors 31231 of the pair of support blocks 3123b are synchronously controlled with each other. When the output shaft 31231a rotates, the moving unit 3123 moves in the + Y direction or the −Y direction depending on the rotation direction of the output shaft 31231a, and the projecting portion 15b and the contact portion 14b can be moved on a linear track along the Y direction. .

移動ユニット3113は移動ユニット3123と同様の構成であり、上述した突起部15a及び当接部14aが上面に設けられた支持板3113aと、支持板3113aの両端部下面に固定された一対の支持ブロック3113bと、を備える。   The moving unit 3113 has the same configuration as that of the moving unit 3123, and includes a support plate 3113a provided with the projection 15a and the contact portion 14a on the upper surface, and a pair of support blocks fixed to the lower surfaces of both ends of the support plate 3113a. 3113b.

支持ブロック3113bは、モータ31131と、摺動部31132と、から構成されている。モータ31131は、その出力軸31131aが円筒状をなしており、その内部にネジ軸3111に螺合するボールナットを有しており、ネジ軸3111が貫通している。また、摺動部31132はモータ31131の下面に固定されており、ガイド部材3112に噛合う溝が形成されている。   The support block 3113 b includes a motor 31131 and a sliding portion 31132. The motor 31131 has an output shaft 31131a that is cylindrical, has a ball nut that is screwed into the screw shaft 3111, and the screw shaft 3111 passes therethrough. The sliding portion 31132 is fixed to the lower surface of the motor 31131, and a groove that engages with the guide member 3112 is formed.

しかして、一対の支持ブロック3113bの各モータ31131は、互いに同期制御される。出力軸31131aが回転すると、移動ユニット3113は出力軸31131aの回転方向によって+Y方向又は−Y方向に移動し、突起部15a及び当接部14aを、突起部15b及び当接部14bが移動する直線軌道と平行な、Y方向に沿う直線軌道上で移動させることができる。   Accordingly, the motors 31131 of the pair of support blocks 3113b are synchronously controlled with each other. When the output shaft 31131a rotates, the moving unit 3113 moves in the + Y direction or the −Y direction depending on the rotation direction of the output shaft 31131a, and the protrusion 15a and the contact portion 14a move along the straight line along which the protrusion 15b and the contact portion 14b move. It can be moved on a straight track along the Y direction parallel to the track.

このような構成からなる基板搬送システムCにおいても、基板搬送システムAと同様の基板の搬送制御が可能である。   Also in the substrate transport system C having such a configuration, the same substrate transport control as that of the substrate transport system A can be performed.

<ラック−ピニオン機構の採用例>
図21は本発明の他の実施形態に係る基板搬送システムDの平面図である。基板搬送システムDはベルトコンベアユニット10に代えてラック−ピニオン機構を備えた駆動ユニット410を採用したものである。
<Application example of rack-pinion mechanism>
FIG. 21 is a plan view of a substrate transfer system D according to another embodiment of the present invention. The board transfer system D employs a drive unit 410 having a rack-pinion mechanism instead of the belt conveyor unit 10.

2つの駆動ユニット410は、それぞれ第1のラック−ピニオン機構411と、第2のラック−ピニオン機構412と、から構成されている。第1のラック−ピニオン機構411は、Y方向に延びる直線状のラック4111及びガイド部材4112と、ガイド部材4112に案内されてラック4111に沿って移動する移動ユニット4113と、を備える。   Each of the two drive units 410 includes a first rack-pinion mechanism 411 and a second rack-pinion mechanism 412. The first rack-pinion mechanism 411 includes a linear rack 4111 and a guide member 4112 extending in the Y direction, and a moving unit 4113 that is guided by the guide member 4112 and moves along the rack 4111.

第2のラック−ピニオン機構412は、第1のラック−ピニオン機構411に対してX方向に離間して配設されており、第1のラック−ピニオン機構411と同様の構成である。つまり、第2のラック−ピニオン機構412は、Y方向に延びる直線状のラック4121及びガイド部材4122と、ガイド部材4122に案内されてラック4121に沿って移動する移動ユニット4123と、を備える。   The second rack-pinion mechanism 412 is disposed away from the first rack-pinion mechanism 411 in the X direction, and has the same configuration as the first rack-pinion mechanism 411. That is, the second rack-pinion mechanism 412 includes a linear rack 4121 and a guide member 4122 extending in the Y direction, and a moving unit 4123 that is guided by the guide member 4122 and moves along the rack 4121.

図22は移動ユニット4113、4123近傍の構成を示す斜視図である。移動ユニット4123は上述した突起部15b及び当接部14bが上面に設けられた支持板4123aと、支持板4123aの両端部下面に固定された一対の支持ブロック4123bと、を備える。支持ブロック4123bはモータを備えており、その出力軸(−X方向に延びる)にはピニオン4123b’が取り付けられている。また、支持ブロック4123bの下面にはガイド部材4122に噛合う溝が形成されている。   FIG. 22 is a perspective view showing a configuration in the vicinity of the moving units 4113 and 4123. The moving unit 4123 includes a support plate 4123a having the above-described protrusion 15b and contact portion 14b provided on the upper surface, and a pair of support blocks 4123b fixed to the lower surfaces of both ends of the support plate 4123a. The support block 4123b includes a motor, and a pinion 4123b 'is attached to the output shaft (extending in the -X direction). Further, a groove that meshes with the guide member 4122 is formed on the lower surface of the support block 4123b.

しかして、一対の支持ブロック4123bの各モータは、互いに同期制御される。これらのモータの駆動によりピニオン4123b’が回転すると、移動ユニット4123はピニオン4123b’の回転方向によって+Y方向又は−Y方向に移動し、突起部15b及び当接部14bをY方向に沿う直線軌道上で移動させることができる。   Thus, the motors of the pair of support blocks 4123b are controlled synchronously with each other. When the pinion 4123b ′ is rotated by driving these motors, the moving unit 4123 moves in the + Y direction or the −Y direction depending on the rotation direction of the pinion 4123b ′, and the projecting portion 15b and the contact portion 14b are moved along a linear track along the Y direction. It can be moved with.

移動ユニット4113は移動ユニット4123と同様の構成であり、上述した突起部15a及び当接部14aが上面に設けられた支持板4113aと、支持板4113aの両端部下面に固定された一対の支持ブロック4113bと、を備える。支持ブロック4113bはモータを備えており、その出力軸(+X方向に延びる)にはピニオン(不図示)が取り付けられている。また、支持ブロック4113bの下面にはガイド部材4112に噛合う溝が形成されている。   The moving unit 4113 has the same configuration as that of the moving unit 4123, and includes a support plate 4113a provided with the protrusion 15a and the contact portion 14a on the upper surface, and a pair of support blocks fixed to the lower surfaces of both ends of the support plate 4113a. 4113b. The support block 4113b includes a motor, and a pinion (not shown) is attached to the output shaft (extending in the + X direction). A groove that meshes with the guide member 4112 is formed on the lower surface of the support block 4113b.

しかして、一対の支持ブロック4113bの各モータは、互いに同期制御される。これらのモータの駆動により不図示のピニオンが回転すると、移動ユニット4113は当該ピニオンの回転方向によって+Y方向又は−Y方向に移動し、突起部15a及び当接部14aを、突起部15b及び当接部14bが移動する直線軌道と平行な、Y方向に沿う直線軌道上で移動させることができる。   Thus, the motors of the pair of support blocks 4113b are synchronously controlled with each other. When a pinion (not shown) is rotated by driving these motors, the moving unit 4113 moves in the + Y direction or the -Y direction depending on the rotation direction of the pinion, and the protrusion 15a and the contact portion 14a are connected to the protrusion 15b and the contact. It can be moved on a straight track along the Y direction parallel to the straight track on which the portion 14b moves.

このような構成からなる基板搬送システムDにおいても、基板搬送システムAと同様の基板の搬送制御が可能である。   Also in the substrate transport system D having such a configuration, the substrate transport control similar to the substrate transport system A can be performed.

<リニアモータの採用例>
図23は本発明の他の実施形態に係る基板搬送システムEの平面図である。基板搬送システムEはベルトコンベアユニット10に代えてリニアモータを備えた駆動ユニット510を採用したものである。
<Application example of linear motor>
FIG. 23 is a plan view of a substrate transfer system E according to another embodiment of the present invention. The substrate transport system E employs a drive unit 510 provided with a linear motor in place of the belt conveyor unit 10.

2つの駆動ユニット510は、それぞれ第1のリニアモータ511と、第2のリニアモータ512と、から構成されている。第1のリニアモータ511は、Y方向に延びる直線状の固定子ユニット5111と、固定子ユニット5111に沿って移動する移動ユニット5113と、を備える。   Each of the two drive units 510 includes a first linear motor 511 and a second linear motor 512. The first linear motor 511 includes a linear stator unit 5111 extending in the Y direction and a moving unit 5113 that moves along the stator unit 5111.

第2のリニアモータ512は、第1のリニアモータ511に対してX方向に離間して配設されており、第1のリニアモータ511と同様の構成である。つまり、第2のリニアモータ512は、Y方向に延びる直線状の固定子ユニット5121と、固定子ユニット5121に沿って移動する移動ユニット5123と、を備える。   The second linear motor 512 is disposed away from the first linear motor 511 in the X direction, and has the same configuration as the first linear motor 511. That is, the second linear motor 512 includes a linear stator unit 5121 extending in the Y direction and a moving unit 5123 that moves along the stator unit 5121.

第1のリニアモータ511と第2のリニアモータ512との間には、ガイド部材513が配設されている。ガイド部材513は、移動ユニット5113、5123の移動を案内する。   A guide member 513 is disposed between the first linear motor 511 and the second linear motor 512. The guide member 513 guides the movement of the moving units 5113 and 5123.

図24は移動ユニット5113、5123近傍の構成を示す斜視図である。図25は図24の線IV−IVに沿う断面図(端面図)である。移動ユニット5123は上述した突起部15b及び当接部14bが上面に設けられた支持板5123aと、支持板5123aの下面に固定されたヨーク5123bと、を備える。ヨーク5123bはその断面がコの字型をなしており、その左右の側壁の内面には、それぞれ、複数の永久磁石5123b’がヨーク5123bの長手方向(Y方向)に配列されている。また、ヨーク5123bの左右の側壁のうち、一方の側壁の外面にはガイド部材513の側面に形成された溝に噛合う摺動部5123b”が設けられている。   FIG. 24 is a perspective view showing a configuration in the vicinity of the moving units 5113 and 5123. 25 is a cross-sectional view (end view) taken along line IV-IV in FIG. The moving unit 5123 includes a support plate 5123a in which the above-described protrusion 15b and contact portion 14b are provided on the upper surface, and a yoke 5123b fixed to the lower surface of the support plate 5123a. The yoke 5123b has a U-shaped cross section, and a plurality of permanent magnets 5123b 'are arranged in the longitudinal direction (Y direction) of the yoke 5123b on the inner surfaces of the left and right side walls, respectively. A sliding portion 5123b ″ that engages with a groove formed on the side surface of the guide member 513 is provided on the outer surface of one of the left and right side walls of the yoke 5123b.

固定子ユニット5121はその断面が逆T字型をなしており、その上方に延びる部分は、ヨーク5123b内に挿入される位置に位置しており、また、当該上方に延びる部分には電機子コイル5121aが内蔵されている。電機子コイル5121aは固定子ユニット5121の長手方向(Y方向)に複数配列されている。   The stator unit 5121 has an inverted T-shaped cross section, and its upper portion is located at a position where it is inserted into the yoke 5123b, and the upper portion has an armature coil. 5121a is incorporated. A plurality of armature coils 5121 a are arranged in the longitudinal direction (Y direction) of the stator unit 5121.

しかして、固定子ユニット5121の複数の電機子コイル5121aの励磁を順次切り替えていくことにより、その切り替え態様に従って移動ユニット5123は+Y方向又は−Y方向に移動し、突起部15b及び当接部14bをY方向に沿う直線軌道上で移動させることができる。   Thus, by sequentially switching the excitation of the plurality of armature coils 5121a of the stator unit 5121, the moving unit 5123 moves in the + Y direction or the −Y direction according to the switching mode, and the protrusion 15b and the contact portion 14b. Can be moved on a straight orbit along the Y direction.

移動ユニット5113は移動ユニット5123と同様の構成であり、上述した突起部15a及び当接部14aが上面に設けられた支持板5113aと、支持板5113aの下面に固定されたヨーク5113bと、を備える。ヨーク5113bはその断面がコの字型をなしており、その左右の側壁の内面には、それぞれ、複数の永久磁石5113b’がヨーク5113bの長手方向(Y方向)に配列されている。また、ヨーク5113bの左右の側壁のうち、一方の側壁の外面にはガイド部材513の側面に形成された溝に噛合う摺動部5113b”が設けられている。   The moving unit 5113 has the same configuration as the moving unit 5123, and includes a support plate 5113a provided with the above-described protrusion 15a and contact portion 14a on the upper surface, and a yoke 5113b fixed to the lower surface of the support plate 5113a. . The yoke 5113b has a U-shaped cross section, and a plurality of permanent magnets 5113b 'are arranged in the longitudinal direction (Y direction) of the yoke 5113b on the inner surfaces of the left and right side walls. A sliding portion 5113b ″ that engages with a groove formed on the side surface of the guide member 513 is provided on the outer surface of one of the left and right side walls of the yoke 5113b.

固定子ユニット5111はその断面が逆T字型をなしており、その上方に延びる部分は、ヨーク5113b内に挿入される位置に位置しており、また、当該上方に延びる部分には電機子コイル5111aが内蔵されている。電機子コイル5111aは固定子ユニット5111の長手方向(Y方向)に複数配列されている。   The stator unit 5111 has an inverted T-shaped cross section, and the portion extending upward is located at a position to be inserted into the yoke 5113b, and the portion extending upward is an armature coil. 5111a is incorporated. A plurality of armature coils 5111a are arranged in the longitudinal direction (Y direction) of the stator unit 5111.

しかして、固定子ユニット5111の複数の電機子コイル5111aの励磁を順次切り替えていくことにより、その切り替え態様に従って移動ユニット5113は+Y方向又は−Y方向に移動し、突起部15a及び当接部14aを、突起部15b及び当接部14bが移動する直線軌道と平行な、Y方向に沿う直線軌道上で移動させることができる。   Thus, by sequentially switching the excitation of the plurality of armature coils 5111a of the stator unit 5111, the moving unit 5113 moves in the + Y direction or the −Y direction according to the switching mode, and the protrusion 15a and the contact portion 14a. Can be moved on a straight track along the Y direction parallel to the straight track along which the protrusion 15b and the contact portion 14b move.

このような構成からなる基板搬送システムEにおいても、基板搬送システムAと同様の基板の搬送制御が可能である。   Also in the substrate transport system E having such a configuration, the substrate transport control similar to the substrate transport system A can be performed.

Claims (9)

  1. 方形のワークが跨って載置される第1及び第2の載置部材のうちの第1の載置部材と、前記ワークの端縁に当接して当該端縁の位置を規定する第1の当接部と、を有する第1の移動ユニットと、
    前記第2の載置部材と、前記ワークの端縁に当接して当該端縁の位置を規定する第2の当接部と、を有する第2の移動ユニットと、
    前記第1の移動ユニットを第1の直線軌道上で両方向に移動させる第1の移動手段と、
    前記第2の移動ユニットを前記第1の直線軌道と平行な第2の直線軌道上で両方向に移動させる第2の移動手段と、
    前記ワークを前記第1及び第2の直線軌道と直交する水平方向に移動させ、前記第1及び第2の載置部材上に前記ワークを搬入するコンベア、及び、前記コンベアを下降位置と上昇位置との間で昇降して前記コンベア上の前記ワークを前記第1及び第2の載置部材上に移載する昇降機構を備えた搬入手段と、
    前記第1及び第2の移動手段を個別に制御すると共に前記搬入手段を制御する制御手段と、を備え、
    前記制御手段は、
    前記第1及び第2の当接部が相互に前記ワークの幅よりも離間した初期位置に位置するように前記第1及び第2の移動手段を制御する初期制御と、
    前記コンベアを前記上昇位置から前記下降位置に降下させ、前記初期位置にある前記第1及び第2の当接部の間で、かつ、前記第1及び第2の載置部材上に前記ワークが載置されたとき、前記第1及び第2の当接部の間の距離が前記ワークの幅と同じになるように前記第1及び第2の移動手段の少なくともいずれかを制御する位置決め制御と、
    前記第1及び第2の当接部の間の距離が前記ワークの幅と同じ状態で、前記第1及び第2の移動ユニットが同方向に等速で走行するように前記第1及び第2の移動手段を制御して前記ワークを搬送先に搬送する搬送制御と、
    を実行することを特徴とするワーク搬送システム。
    The first placement member of the first and second placement members placed across the square workpiece and the first placement member abuts on the edge of the workpiece and defines the position of the edge A first moving unit having a contact portion ;
    A second moving unit comprising: the second placement member; and a second abutting portion that abuts on an edge of the workpiece and defines a position of the edge;
    A first moving means for moving the first moving unit in both directions in the first straight track on,
    And second moving means for moving in both directions of the second mobile unit in the first straight track parallel to the second straight line orbit,
    A conveyor that moves the workpiece in a horizontal direction perpendicular to the first and second linear tracks and carries the workpiece onto the first and second mounting members, and a lower position and a raised position of the conveyor. Carrying-in means provided with an elevating mechanism that moves up and down between and moves the work on the conveyor onto the first and second mounting members;
    And a control means for controlling said carrying means to control independently the first and second moving means,
    The control means includes
    An initial control for controlling the first and second moving means so that the first and second contact portions are positioned at an initial position separated from each other by a width of the workpiece;
    The conveyor is lowered from the raised position to the lowered position , and the workpiece is placed between the first and second contact portions at the initial position and on the first and second placement members. Positioning control for controlling at least one of the first and second moving means so that the distance between the first and second contact portions is equal to the width of the workpiece when placed. ,
    When the distance between the first and second contact portions is the same as the width of the work , the first and second moving units travel at the same speed in the same direction. Conveyance control for controlling the moving means to convey the workpiece to a conveyance destination ;
    A workpiece transfer system characterized by executing
  2. 前記制御手段は、The control means includes
    前記コンベアを前記下降位置から前記上昇位置に上昇させ、次の前記ワークを前記コンベア上に準備する準備制御と、Preparation control for raising the conveyor from the lowered position to the raised position and preparing the next workpiece on the conveyor;
    前記搬送先に移動した前記第1及び第2の当接部を再び前記初期位置に位置させるように前記第1及び第2の移動手段を制御する戻り制御と、A return control for controlling the first and second moving means so that the first and second contact portions moved to the transport destination are positioned at the initial position again;
    を実行することを特徴とする請求項1に記載のワーク搬送システム。The workpiece transfer system according to claim 1, wherein:
  3. 前記搬送先に配置され、前記制御手段により制御される搬出手段を備え、An unloading means disposed at the transfer destination and controlled by the control means;
    前記搬出手段は、前記ワークを前記第1及び第2の直線軌道と直交する水平方向に移動させ、前記第1及び第2の載置部材上から前記ワークを搬出するコンベア、及び、前記コンベアを下降位置と上昇位置との間で昇降して前記第1及び第2の載置部材上の前記ワークを前記コンベア上に移載する昇降機構を備えたことを特徴とする請求項1に記載のワーク搬送システム。The unloading means moves the workpiece in a horizontal direction orthogonal to the first and second linear tracks, and conveys the workpiece from the first and second placement members, and the conveyor The elevating mechanism that moves up and down between a lowered position and an elevated position to transfer the workpiece on the first and second placement members onto the conveyor is provided. Work transfer system.
  4. 前記第1の移動手段は、The first moving means includes
    前記第1の直線軌道を規定し、前記第1の移動ユニットの移動を案内する第1のガイド部材を備え、A first guide member that defines the first linear trajectory and guides the movement of the first moving unit;
    前記第2の移動手段は、The second moving means includes
    前記第2の直線軌道を規定し、前記第2の移動ユニットの移動を案内する第2のガイド部材を備え、A second guide member that defines the second linear trajectory and guides the movement of the second moving unit;
    前記第1の移動ユニットは、The first mobile unit is:
    前記第1の載置部材および前記第1の当接部が上面に設けられた第1の支持板と、A first support plate provided on the upper surface with the first placement member and the first contact portion;
    前記第1の支持板の下面に固定され、前記第1のガイド部材と係合する第1の支持ブロックと、を備え、A first support block fixed to the lower surface of the first support plate and engaged with the first guide member;
    前記第2の移動ユニットは、The second mobile unit is
    前記第2の載置部材および前記第2の当接部が上面に設けられた第2の支持板と、A second support plate in which the second placement member and the second contact portion are provided on an upper surface;
    前記第2の支持板の下面に固定され、前記第2のガイド部材と係合する第2の支持ブロックと、を備えたことを特徴とする請求項1に記載のワーク搬送システム。The work conveyance system according to claim 1, further comprising: a second support block fixed to a lower surface of the second support plate and engaged with the second guide member.
  5. 前記第1及び第2の移動手段がボールネジ機構を備えたことを特徴とする請求項に記載のワーク搬送システム。5. The workpiece transfer system according to claim 4 , wherein the first and second moving means include a ball screw mechanism.
  6. 前記第1及び第2の移動手段がラック−ピニオン機構を備えたことを特徴とする請求項に記載のワーク搬送システム。5. The workpiece transfer system according to claim 4 , wherein the first and second moving means include a rack-pinion mechanism.
  7. 前記第1及び第2の移動手段がリニアモータを備えたことを特徴とする請求項に記載のワーク搬送システム。The workpiece transfer system according to claim 4 , wherein the first and second moving units include linear motors.
  8. ベルトの走行方向が相互に平行となるように配設された第1及び第2のベルトコンベアを備え、方形のワークを前記第1及び前記第2のベルトコンベアの各ベルト上に跨るように載置して搬送するワーク搬送システムであって、
    前記ワークを前記第1及び第2のベルトコンベアの走行方向と直交する水平方向に移動させ、前記第1及び第2のベルトコンベア上に前記ワークを搬入する搬入コンベア、及び、前記搬入コンベアを下降位置と上昇位置との間で昇降して前記搬入コンベア上の前記ワークを前記第1及び第2のベルトコンベア上に移載する昇降機構を備えた搬入手段と、
    前記第1及び第2のベルトコンベアを個別に制御すると共に前記搬入手段を制御する制御手段と、
    前記第1及び第2のベルトコンベアの各ベルト上にそれぞれ設けられ、前記ワークの端縁に当接して当該端縁の位置を規定する当接部と、を備え、
    前記制御手段は、
    前記第1及び第2のベルトコンベアの各々の前記当接部が相互に前記ワークの幅よりも離間した初期位置に位置するように前記第1及び第2のベルトコンベアを駆動する初期制御と、
    前記搬入コンベアを前記上昇位置から前記下降位置に降下させ、前記初期位置にある前記当接部の間で、かつ、各ベルト上に前記ワークが載置されたとき、前記当接部の間の距離が前記ワークの幅と同じになるように前記第1及び第2のベルトコンベアの少なくともいずれかを駆動する位置決め制御と、
    前記第1及び第2の当接部の間の距離が前記ワークの幅と同じ状態で、各ベルトが同方向に等速で走行するように前記第1及び第2のベルトコンベアを駆動して前記ワークを搬送先に搬送する搬送制御と、
    を実行することを特徴とするワーク搬送システム。
    The first and second belt conveyors are arranged so that the running directions of the belts are parallel to each other, and the rectangular workpiece is placed so as to straddle the belts of the first and second belt conveyors. A workpiece transfer system for placing and transferring,
    The workpiece is moved in a horizontal direction perpendicular to the traveling direction of the first and second belt conveyors, and the loading conveyor for loading the workpieces onto the first and second belt conveyors and the loading conveyor are lowered. A loading means provided with a lifting mechanism that moves up and down between a position and a raised position and transfers the workpiece on the loading conveyor onto the first and second belt conveyors;
    Control means for individually controlling the first and second belt conveyors and controlling the carry-in means ;
    A contact portion that is provided on each belt of the first and second belt conveyors and that contacts the edge of the workpiece to define the position of the edge;
    The control means includes
    An initial control for driving the first and second belt conveyors such that the contact portions of the first and second belt conveyors are located at an initial position separated from the width of the workpiece;
    The carry-in conveyor is lowered from the raised position to the lowered position , and when the workpiece is placed on each belt between the contact portions at the initial position, between the contact portions. Positioning control for driving at least one of the first and second belt conveyors such that the distance is the same as the width of the workpiece;
    The first and second belt conveyors are driven so that each belt travels at the same speed in the same direction with the distance between the first and second contact portions being the same as the width of the workpiece. Transport control for transporting the workpiece to a transport destination ;
    A workpiece transfer system characterized by executing
  9. 前記第1及び第2のベルトコンベアの各ベルトのうち、上方を走行する部分の下に配設され、当該部分を支持する支持部と、Of the belts of the first and second belt conveyors, disposed below the portion that travels upward, and a support portion that supports the portion;
    前記第1及び第2のベルトコンベアの各ベルトのうち、下方を走行する部分の下に配設され、当該部分を上方に押し上げる軸体と、Of the belts of the first and second belt conveyors, a shaft that is disposed under a portion that travels below and pushes the portion upward,
    を備えたことを特徴とする請求項8に記載のワーク搬送システム。The workpiece transfer system according to claim 8, further comprising:
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