WO2009065675A1 - Vorrichtung und verfahren zur gewinnung einer 3d-topographie - Google Patents

Vorrichtung und verfahren zur gewinnung einer 3d-topographie Download PDF

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camera
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illumination system
movement
movement device
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Thomas Seiffert
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Robert Bosch Gmbh
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G01B11/25—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object
    • G01B11/2518—Projection by scanning of the object
    • G01B11/2522—Projection by scanning of the object the position of the object changing and being recorded

Definitions

  • the present invention relates to an apparatus and a method for obtaining a three-dimensional topography of a measurement object by means of a 2D camera.
  • the erfmdungswashe apparatus for obtaining a three-dimensional topography of a test object with the features of claim 1 has the advantage over that a simply constructed and cost-effective solution is provided, which also difficult three-dimensional topographies, especially on round components can capture.
  • a three-dimensional topography will be obtained based on the use of structured light.
  • a projection of the structured light with a smaller depth of field is used so that, in the case of a recording area of a 2D camera, the recording area is larger than a focus of the projection of the structured light.
  • a position of the measurement object is also changed at the same time, so that with several images after movement of the measurement object the Points of the measurement object through the focused area and the defocused areas located on the edge.
  • the device comprises a 2D camera, an illumination system with a light source, a structure generating element for generating structured light and an optic or a lens, a movement device for moving the measurement object and a computing unit.
  • the illumination system is arranged at an angle to a recording direction of the 2D camera.
  • the illumination system generates a sharpness plane of the structure, for example of a grid, of the structure-generating element in a predetermined area, which is smaller than a receiving area of the 2D camera.
  • the grid is preferably aligned transversely to the direction of movement.
  • the structure of the device according to the invention is very simple and can be provided inexpensively. In this case, even in unfavorable area ratios three-dimensional topographies of components can be determined, such as in round components. Since the illumination system is tilted at a predetermined angle relative to the camera and the measurement object, essentially the image center of the projection of the stripes is sharply imaged in the image field of the 2D camera. To the edges of the image, the image of the projection is out of focus.
  • the movement device is preferably a rotation device in order to rotate the measurement object about an axis.
  • the rotation axis is preferably perpendicular to the recording direction of the 2D camera. According to another preferred alternative, the 2D
  • the movement device is a displacement device for the lateral linear movement of the measurement object along an axis.
  • the displacement device may for example be a movable table or carriage on which the measurement object is arranged.
  • the movement device is designed such that the measurement object is continuously movable. In this way, in particular, an endless processing can be made possible, so that, for example, round components or even endless strip material or the like can be easily produced. can be used as measurement objects.
  • the patterning element is a strip grid to produce a patterned light on the measurement object.
  • the angle between the recording direction of the 2D camera and the illumination system is between 30 and 50 °, in particular 45 °.
  • the measurement object in a first step is arranged under the 2D camera on a movement device.
  • structured light is generated on the measurement object by means of an illumination system, wherein the illumination system is arranged at an angle to a recording direction of the 2D camera.
  • the structured light is preferably a grating projection such that a sharpness plane of the grating lies only in a partial area of the receiving area of the 2D camera and is defocused in the neighboring areas.
  • Structures are recorded in a first position and then the measurement object is moved by means of the movement device in a second position and a second image taken.
  • the steps of capturing an image and moving the measurement object by means of the movement device are then repeated until a predetermined number of exposures of the measurement object have been obtained in different relative positions to the 2D camera. Then, the three-dimensional topology is calculated based on the recorded images.
  • the measurement object is moved continuously. This makes it possible that endless data can be recorded, as is necessary for example in round components or endless strip material.
  • the measurement object is moved stepwise, taking a photograph by means of the 2D camera during a time of the stoppage of the movement means. The steps are as small as possible, preferably a few microns.
  • the three-dimensional topography is calculated by means of algorithms of deep-scanning fringe projection or white-light interferometry. By means of these algorithms exactly the point of the highest modulation is found and from this point the three-dimensional topography of the measurement object can be calculated. Triggering and correlation methods can be the most consistent
  • biting edges are used for example when joining two metallic components, wherein the biting edge on the first component in the
  • biting edge over its entire length must be continuously formed exactly, which can be checked for example by means of the method according to the invention.
  • Figure 1 is a schematic representation of an apparatus for obtaining a three-dimensional topography according to an embodiment of the invention.
  • FIG. 2 shows a schematic representation of a movement of the measurement object and the acquisition of a plurality of images according to the exemplary embodiment of FIG
  • the device 1 for obtaining a three-dimensional topography of a measuring object 2 comprises a 2D camera 3 Illumination system comprising a light source 4, a grating 5 and an optical system 6, a computing unit 7 and a movement device 8.
  • the measurement object 2 is arranged on the movement device 8.
  • the movement device 8 can move in the direction of an axis A, eg to the left in FIG.
  • a central axis B of the illumination system is, as can be seen from FIG. 1, opposite to a recording direction Z of the 2D camera 3 in one
  • Angle ⁇ of about 45 ° arranged.
  • a focal plane 9 results, which is indicated schematically in FIG.
  • a focused area 10 and a first defocused area 11 and a second defocused area 12 in the total receiving area 13 of the 2D camera result on the measurement object 10.
  • the first and second defocused regions 11, 12 are in each case arranged adjacent to the focused region 10.
  • a sharp image of the grating on the measuring object 2 results in the focused area 10, so that the focused area 10 lies approximately in the middle of the image of the receiving area 13.
  • the image of the grating in the first and second defocused regions 11 and 12 becomes blurred.
  • the function of the device 1 according to the invention for obtaining a three-dimensional topography of a measurement object 2 is as follows. After the measurement object 2 has been arranged on the movement device 8, the illumination system is switched on so that a structured light in the form of a stripe lattice, corresponding to the lattice 5, on the
  • Measuring object 2 is displayed.
  • the grating is focused in the focused area 10 and out of focus in the first and second defocused areas 11, 12.
  • a first image 201 is taken by means of the 2D camera 3.
  • a lateral movement takes place by means of the movement device 8, so that the measurement object 2 is moved by a predetermined value in the direction of the arrow C in FIG.
  • a raised area 2a of the measuring object 2 is displaced somewhat to the left, so that it is moved out of the focal plane 9.
  • the region 2b adjoining the raised region 2a of the measurement object comes into the focal plane 9.
  • a second image 202 is created by means of the 2D camera.
  • FIG. 2 schematically shows the picking up of the images 201 to 205, the measurement object 2 being moved slowly from right to left.
  • both the focus of the strips and simultaneously a lateral position of the measuring object 2 change.

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Gewinnung einer dreidimensionalen Topographie eines Messobjekts (2), umfassend eine 2D-Kamera (3), ein Beleuchtungssystem mit einer Lichtquelle (4), einem Strukturerzeugungselement (5) zur Erzeugung von strukturiertem Licht und einer Optik (6), wobei eine Mittelachse (B) des Beleuchtungssystems in einem Winkel (a) zu einer Aufnahmerichtung (Z) der 2D-Kamera (3) angeordnet ist und wobei das Beleuchtungssystem eine Fokusebene (9) auf einem vorbestimmten Bereich (10) des Messobjekts (2) erzeugt, wobei der vorbestimmte Bereich (10) kleiner ist als ein Aufnahmebereich (13) der 2D-Kamera, auf dem Messobjekt (2), eine Bewegungseinrichtung (8), auf welcher das Messobjekt (2) angeordnet ist, wobei das Messobjekt (2) relativ zur 2D-Kamera und zum Beleuchtungssystem mittels der Bewegungseinrichtung (8) bewegbar ist, wobei die 2D-Kamera eine Vielzahl von Aufnahmen des Messobjekts (2) an verschiedenen Positionen, welche durch Bewegung der Bewegungseinrichtung (8) eingenommen werden, aufnimmt und eine Recheneinheit (7), welche aus der Vielzahl von Aufnahmen eine dreidimensionale Topographie des Messobjekts (B) errechnet. Ferner betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Gewinnung einer dreidimensionalen Topographie.

Description

Beschreibung
Titel
Vorrichtung und Verfahren zur Gewinnung einer 3D-Topographie
Stand der Technik
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Gewinnung einer dreidimensionalen Topographie eines Messobjekts mittels einer 2D-Kamera.
Zur Gewinnung von dreidimensionalen Topographien von Messobjekten werden im Stand der
Technik tiefenscannende Streifenprojektionen oder andere dreidimensionale Verfahren verwendet. Beispielsweise ist aus der DE 100 56 073 Al ein optisches Verfahren zur Gewinnung einer 3D-Punkt- Wolke bekannt, bei dem eine 3D-Kamera verwendet wird, welche mitsamt einem Beleuchtungssystem in senkrechter Richtung zum Messobjekt verfahren wird und dabei eine Serie von Bildern aufnimmt. Bei diesem bekannten Verfahren ist der apparative
Aufbau jedoch sehr groß und aufwendig. Die bekannten Verfahren haben ferner den Nachteil, dass bei ungünstigen Flächenverhältnissen, wie beispielsweise bei runden Bauteilen, z.B. Schrauben o.Ä., Schwierigkeiten bestehen, eine dreidimensionale Topographie zu bestimmen.
Vorteile der Erfindung
Die erfmdungsgemäße Vorrichtung zur Gewinnung einer dreidimensionalen Topographie eines Messobjekts mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1 weist demgegenüber den Vorteil auf, dass eine einfach aufgebaute und kostengünstige Lösung bereitgestellt wird, welche auch schwierige dreidimensionale Topographien, insbesondere an runden Bauteilen, erfassen kann.
Erfindungsgemäß wird hierbei basierend auf der Verwendung von strukturiertem Licht eine dreidimensionale Topographie erhalten werden. Erfindungsgemäß wird dabei eine Projektion des strukturierten Lichts mit geringerer Tiefenschärfe verwendet, so dass bei einem Aufnahmebereich einer 2D-Kamera der Aufnahmebereich größer als ein Fokus der Projektion des strukturierten Lichts ist. Ferner wird gleichzeitig auch eine Position des Messobjekts verändert, so dass bei mit mehreren Abbildungen nach erfolgter Bewegung des Messobjekts die Punkte des Messobjekts den fokussierten Bereich sowie die am Rand befindlichen defokussierten Bereiche durchlaufen. Dies wird erfindungsgemäß dadurch erreicht, dass die Vorrichtung eine 2D-Kamera, ein Beleuchtungssystem mit einer Lichtquelle, ein Stukturerzeugungselement zur Erzeugung von strukturiertem Licht sowie eine Optik bzw. ein Objektiv, eine Bewegungseinrichtung zur Bewegung des Messobjekts und eine Recheneinheit umfasst. Das Beleuchtungssystem ist dabei in einem Winkel zu einer Aufnahmerichtung der 2D-Kamera angeordnet. Das Beleuchtungssystem erzeugt dabei eine Schärfenebene der Struktur, z.B. eines Gitters, des Strukturerzeugungselements in einem vorbestimmten Bereich, welcher kleiner ist als ein Aufnahmebereich der 2D-Kamera. Das Gitter ist dabei vorzugsweise quer zur Bewegungsrichtung ausgerichtet. Die 2D-Kamera macht dann eine Vielzahl von
Bildern des Messobjekts, welches mittels der Bewegungseinrichtung unter der Kamera bewegt wird. Eine Recheneinheit berechnet dann aus der Vielzahl der Bilder der 2D-Kamera eine dreidimensionale Topographie. Dadurch ist der Aufbau der erfindungsgemäßen Vorrichtung sehr einfach und kann kostengünstig bereitgestellt werden. Dabei können auch bei ungünstigen Flächenverhältnissen dreidimensionale Topographien von Bauteilen bestimmt werden, wie beispielsweise bei runden Bauteilen. Da das Beleuchtungssystem zur Kamera und zum Messobjekt in einem vorbestimmten Winkel geneigt ist, ist im Bildfeld der 2D-Kamera im Wesentlichen die Bildmitte der Projektion der Streifen scharf abgebildet. Zu den Bildrändern hin ist die Abbildung der Projektion unscharf. Durch die Aufnahme einer Vielzahl von Bildern des Messobjekts ist von Bild zu Bild nur eine kleine Verschiebung vorhanden, so dass ein Punkt auf dem Messobjekt auf vielen aufgenommenen Bildern zu finden ist. Dadurch können die vielen Bilder wiederum einander zugeordnet werden. Insbesondere können durch die erfindungsgemäße Vorrichtung kontinuierlich Daten aufgenommen werden.
Die Unteransprüche zeigen bevorzugte Weiterbildungen der Erfindung .
Vorzugsweise ist die Bewegungseinrichtung eine Rotationseinrichtung, um das Messobjekt um eine Achse zu rotieren. Die Rotationsachse ist dabei vorzugsweise senkrecht zur Aufnahmerichtung der 2D-Kamera. Gemäß einer anderen bevorzugten Alternative ist die 2D-
Kamera radial oder in einem Winkel zwischen 0 und 90° zur Rotationsachse angeordnet. Alternativ ist die Bewegungseinrichtung eine Verschiebeeinrichtung zum lateralen linearen Bewegen des Messobjekts entlang einer Achse. Die Verschiebeeinrichtung kann beispielsweise ein bewegbarer Tisch oder Schlitten sein, auf welchem das Messobjekt angeordnet ist. Besonders bevorzugt ist die Bewegungseinrichtung derart ausgebildet, dass das Messobjekt kontinuierlich bewegbar ist. Hierdurch kann insbesondere eine Endlosverarbeitung ermöglicht werden, so dass problemlos beispielsweise runde Bauteile oder auch endloses Bandmaterial o.Ä. als Messobjekte verwendet werden können.
Weiter bevorzugt ist das Strukturerzeugungselement ein Streifengitter, um ein strukturiertes Licht auf dem Messobjekt zu erzeugen.
Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung ist der Winkel zwischen der Aufnahmerichtung der 2D-Kamera und dem Beleuchtungssystem zwischen 30 und 50°, insbesondere 45°.
Gemäß dem erfindungsgemäßen Verfahren zur Gewinnung einer dreidimensionalen Topographie eines Messobjekts wird in einem ersten Schritt das Messobjekt unter der 2D- Kamera auf einer Bewegungseinrichtung angeordnet. Anschließend wird strukturiertes Licht auf das Messobjekt mittels eines Beleuchtungssystems erzeugt, wobei das Beleuchtungssystem in einem Winkel zu einer Aufnahmerichtung der 2D-Kamera angeordnet ist. Das strukturierte Licht ist vorzugsweise eine Gitterprojektion derart, dass eine Schärfenebene des Gitters nur in einem Teilbereich des Aufnahmebereichs der 2D-Kamera liegt und in den Nachbarbereichen defokussiert ist. Anschließend wird ein erstes Bild des Messobjekts mit den darauf projizierten
Strukturen in einer ersten Position aufgenommen und dann wird das Messobjekt mittels der Bewegungseinrichtung in eine zweite Position bewegt und ein zweites Bild aufgenommen. Die Schritte des Aufnehmens eines Bildes sowie des Bewegens des Messobjekts mittels der Bewegungseinrichtung werden dann so oft wiederholt, bis eine vorbestimmte Anzahl von Aufnahmen des Messobjekts in unterschiedlichen Relativpositionen zur 2D-Kamera erhalten wurde. Dann wird die dreidimensionale Topologie basierend auf den aufgenommenen Aufnahmen berechnet.
Weiter bevorzugt wird bei dem erfindungsgemäßen Verfahren das Messobjekt kontinuierlich bewegt. Dadurch ist es möglich, dass Endlosdaten aufgenommen werden können, wie es beispielsweise bei runden Bauteilen oder endlosem Bandmaterial notwendig ist. Alternativ wird das Messobjekt schrittweise bewegt, wobei eine Aufnahme mittels der 2D-Kamera während eines Zeitpunkts des Stillstands der Bewegungseinrichtung gemacht wird. Die Schritte sind dabei möglichst klein, vorzugsweise wenige Mikrometer. - A -
Besonders bevorzugt wird die dreidimensionale Topographie mittels Algorithmen der tiefenscannenden Streifenprojektion, bzw. der Weißlichtinterferometrie berechnet. Mittels dieser Algorithmen wird genau der Punkt der höchsten Modulation gefunden und aus diesem Punkt kann dann die dreidimensionale Topographie des Messobjekts berechnet werden. Durch Triggerung und Korrelationsmethoden kann hierbei die am besten übereinstimmende
Überlagerung der Einzelaufnahmen sichergestellt werden.
Das erfindungsgemäße Verfahren wird besonders bevorzugt zur Überprüfung von sogenannten Beißkanten verwendet. Derartige Beißkanten werden beispielsweise beim Fügen von zwei metallischen Bauteilen verwendet, wobei sich die Beißkante an dem ersten Bauteil in das
Material des zweiten Bauteils hineinbeißt. Dabei muss die Beißkante über ihre gesamte Länge kontinuierlich exakt ausgebildet sein, was beispielsweise mittels des erfindungsgemäßen Verfahrens überprüft werden kann.
Zeichnung
Nachfolgend wird ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel der Erfindung unter Bezugnahme auf die begleitende Zeichnung im Detail beschrieben. In der Zeichnung ist:
Figur 1 eine schematische Darstellung einer Vorrichtung zur Gewinnung einer dreidimensionalen Topographie gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung und
Figur 2 eine schematische Darstellung einer Bewegung des Messobjekts und der Aufnahme mehrerer Bilder gemäß dem Ausführungsbeispiel der
Erfindung.
Bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung
Nachfolgend wird unter Bezugnahme auf die Figuren 1 und 2 eine Vorrichtung 1 sowie ein
Verfahren zur Gewinnung einer dreidimensionalen Topographie eines Messobjekts 2 im Detail beschrieben.
Wie aus Figur 1 ersichtlich ist, umfasst die Vorrichtung 1 zur Gewinnung einer dreidimensionalen Topographie eines Messobjekts 2 eine 2D-Kamera 3, ein Beleuchtungssystem, umfassend eine Lichtquelle 4, ein Gitter 5 und eine Optik 6, eine Recheneinheit 7 sowie eine Bewegungseinrichtung 8. Das Messobjekt 2 ist auf der Bewegungseinrichtung 8 angeordnet. Die Bewegungseinrichtung 8 kann sich in Richtung einer Achse A, z.B. in Figur 1 nach links, bewegen. Eine Mittelachse B des Beleuchtungssystems ist, wie aus Figur 1 ersichtlich ist, gegenüber einer Aufnahmerichtung Z der 2D-Kamera 3 in einem
Winkel α von ca. 45° angeordnet. Durch diese Anordnung des Beleuchtungssystems im Winkel OC zur Aufnahmerichtung Z ergibt sich eine Fokusebene 9, welche schematisch in Figur 1 angedeutet ist. Auf dem Messobjekt 10 ergibt sich dadurch ein fokussierter Bereich 10 sowie ein erster defokussierter Bereich 11 und ein zweiter defokussierter Bereich 12 im Gesamtaufnahmebereich 13 der 2D-Kamera. Der erste und zweite defokussierte Bereich 11, 12 ist dabei jeweils benachbart zum fokussierten Bereich 10 angeordnet. Durch das Gitter 5 ergibt sich somit im fokussierten Bereich 10 eine scharfe Abbildung des Gitters auf dem Messobjekt 2, so dass ungefähr in der Bildmitte des Aufnahmebereichs 13 der fokussierte Bereich 10 liegt. Zu den Bildrändern hin wird die Abbildung des Gitters im ersten und zweiten defokussierten Bereich 11 und 12 unscharf.
Die Funktion der erfindungsgemäßen Vorrichtung 1 zur Gewinnung einer dreidimensionalen Topographie eines Messobjekts 2 ist dabei wie folgt. Nach der Anordnung des Messobjekts 2 auf der Bewegungseinrichtung 8 wird das Beleuchtungssystem eingeschaltet, so dass ein strukturiertes Licht in Form eines Streifengitters, entsprechend dem Gitter 5, auf dem
Messobjekt 2 abgebildet wird. Das Gitter ist dabei im fokussierten Bereich 10 scharf und im ersten und zweiten defokussierten Bereich 11, 12 unscharf. Dann wird mittels der 2D-Kamera 3 eine erste Abbildung 201 gemacht. Anschließend erfolgt eine seitliche Bewegung mittels der Bewegungseinrichtung 8, so dass das Messobjekt 2 um einen vorbestimmten Wert in Richtung des Pfeils C in Figur 1 bewegt wird. Dadurch wird ein erhabener Bereich 2a des Messobjekts 2, wie in Figur 2 angedeutet, etwas nach links verschoben, so dass er aus der Fokusebene 9 herausbewegt wird. Dafür kommt der an den erhabenen Bereich 2a des Messobjekts sich anschließende Bereich 2b in die Fokusebene 9. Dann wird ein zweites Bild 202 mittels der 2D- Kamera erstellt. In Figur 2 ist schematisch das Aufnehmen der Bilder 201 bis 205 dargestellt, wobei das Messobjekt 2 langsam von rechts nach links bewegt wird. Somit ergibt sich von
Aufnahme zu Aufnahme nur eine kleine Verschiebung, wodurch ein Punkt auf dem Messobjekt 2 in vielen der Aufnahmen 201 bis 205 zu finden ist. Hierdurch können die gleichen Punkte wiederum einander zugeordnet werden. Die Aufnahmen werden in einem Speicher gespeichert und anschließend rücksortiert, so dass ein Punkt an der Oberfläche des Messobjekts 2 so sortiert werden kann, dass die Durchstimmung des Fokus sichtbar wird. Diese Sequenz eines Punktes kann nun verwendet werden, um beispielsweise mit Algorithmen der tiefenscannenden Streifenprojektion, bzw. der Weißlichtinterferometrie genau den Punkt der höchsten bzw. stärksten Modulation zu finden. Aus der Vielzahl dieser berechneten Modulationspunkte lässt sich dann die dreidimensionale Topographie mittels der Recheneinheit 7 berechnen. Hierbei kann durch Triggerung und Korrelationsmethoden die am besten übereinstimmende Überlagerung der einzelnen Aufnahmen 201 bis 205 sichergestellt werden.
Somit ist es bei dem erfindungsgemäßen Vorgehen möglich, dass Endlosdaten aufgenommen werden, wie sie beispielsweise bei runden Bauteilen, z.B. Schrauben o.Ä., vorkommen.
Erfindungsgemäß wird somit ausgenutzt, dass bei einer Triangulationsanordnung einer Gitterstreifenprojektion mit geringer Tiefenschärfe sich sowohl der Fokus der Streifen als auch gleichzeitig eine laterale Position des Messobjekts 2 verändern. Dies wird durch die erfindungsgemäße Anordnung der 2D-Kamera, das im Winkel zur 2D-Kamera angeordnete Beleuchtungssystem und die Bewegungseinrichtung 8 für das Messobjekt 2 erreicht.

Claims

Ansprüche
1. Vorrichtung zur Gewinnung einer dreidimensionalen Topographie eines Messobjekts (2), umfassend:
- eine 2D-Kamera (3), - ein Beleuchtungssystem mit einer Lichtquelle (4), einem
Strukturerzeugungselement (5) zur Erzeugung von strukturiertem Licht und einer Optik (6), wobei eine Mittelachse (B) des Beleuchtungssystems in einem Winkel (α) zu einer Aufnahmerichtung (Z) der 2D-Kamera (3) angeordnet ist und wobei das Beleuchtungssystem eine Fokusebene (9) auf einem vorbestimmten Bereich (10) des Messobjekts (2) erzeugt, wobei der vorbestimmte Bereich (10) kleiner ist als ein Aufnahmebereich (13) der 2D-Kamera, auf dem Messobjekt (2),
- eine Bewegungseinrichtung (8), aufweicher das Messobjekt (2) angeordnet ist, wobei das Messobjekt (2) relativ zur 2D-Kamera und zum Beleuchtungssystem mittels der Bewegungseinrichtung (8) bewegbar ist, wobei die 2D-Kamera eine Vielzahl von Aufnahmen des Messobjekts (2) an verschiedenen Positionen, welche durch Bewegung der Bewegungseinrichtung (8) eingenommen werden, aufnimmt und
- eine Recheneinheit (7), welche aus der Vielzahl von Aufnahmen eine dreidimensionale Topographie des Messobjekts (B) errechnet.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Bewegungseinrichtung (8) eine Rotationseinrichtung zum rotierenden Bewegen des Messobjekts (2) ist oder dass die Bewegungseinrichtung (8) eine Verschiebeeinrichtung zum linearen Bewegen des Messobjekts (2) entlang einer Achse (A) ist.
3. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Bewegungseinrichtung (8) das Messobjekt (2) kontinuierlich bewegt.
4. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Strukturerzeugungselement (5) ein Streifengitter mit einer Vielzahl von parallel nebeneinander angeordneten Streifen ist.
5. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Winkel (α) zwischen der Aufnahmerichtung (Z) der 2D-Kamera (3) und einer
Mittelachse (B) des Beleuchtungssystems zwischen 30° und 50°, insbesondere bei 45°, liegt.
6. Verfahren zur Gewinnung einer dreidimensionalen Topographie eines Messobjekts (2), umfassend die Schritte: (a) Anordnen des Messobjekts (2) auf einer Bewegungseinrichtung (8) unter einer
2D-Kamera (3),
(b) Erzeugen eines strukturierten Lichts, insbesondere einer Gitterprojektion, auf dem Messobjekt (2) mittels eines Beleuchtungssystems mit Lichtquelle (4), Strukturerzeugungselement (5) und einer Linse (6), wobei eine Mittelachse (B) des Beleuchtungssystems in einem Winkel (α) zu eine Aufnahmerichtung (Z) der
2D-Kamera (3) angeordnet ist, und wobei das strukturierte Licht derart auf dem Messobjekt (2) erzeugt wird, dass eine Fokusebene (9) auf dem Messobjekt (2) nur einen Teilbereich eines Aufnahmebereichs (13) der 2D-Kamera (3) umfasst,
(c) Aufnehmen eines ersten Bildes des Messobjekts (2) mit dem auf dem Messobjekt (2) erzeugten strukturierten Licht in einer ersten Position,
(d) Bewegen des Messobjekts (2) mittels der Bewegungseinrichtung (8) in eine zweite Position,
(e) Wiederholen der Schritte (c) und (d), bis eine vorbestimmte Anzahl von Aufnahmen des Messobjekts (2) in unterschiedlichen Positionen erhalten wurde, und
(f) Berechnen einer 3D-Topographie, basierend auf den aufgenommenen Aufnahmen.
7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Messobjekt (2) kontinuierlich mittels der Bewegungseinrichtung (8) bewegt wird.
8. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Messobjekt (2) schrittweise bewegt wird und eine Aufnahme mittels der 2D-Kamera (3) während eines Stillstands der Bewegungseinrichtung (8) gemacht wird.
9. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die 3D- Topographie, basierend auf Algorithmen der Weißlichtinterferometrie berechnet wird.
10. Verfahren nach einem der Ansprüche 5 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass das Messobjekt (2) mittels der Bewegungseinrichtung (8) rotiert oder linear bewegt wird.
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