WO2009039805A1 - Optoelektronisches bauelement sowie verfahren zu dessen herstellung - Google Patents

Optoelektronisches bauelement sowie verfahren zu dessen herstellung Download PDF

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WO2009039805A1
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doped
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Johannes Baur
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Osram Opto Semiconductors Gmbh
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Definitions

  • An optoelectronic component and a method for producing one or more optoelectronic components are specified.
  • An object to be solved is to specify an optoelectronic component with a high light outcoupling factor.
  • a mirror layer is applied on the side of the p-doped semiconductor body facing away from the n-doped semiconductor body.
  • the optoelectronic component is furthermore provided with a contact body which has a first region which is electrically contacted with the p-doped semiconductor body and is electrically insulated from the n-doped semiconductor body.
  • the contact body in this case has a second region, which is electrically insulated from the first region. However, this second region of the contact body is electrically contacted with the n-doped semiconductor body and electrically insulated from the p-doped semiconductor body.
  • the entire contact body is arranged on one and the same side of the optoelectronic component facing away from the n-doped semiconductor body.
  • Semiconductor bodies are understood in particular to be epitactically produced layer sequences of p-doped or n-doped layers.
  • a pn junction is understood to mean the transition for electrons or electron holes via a blocking zone between an n-doped region and a p-doped region of the component, wherein the n- and also p-doped regions may comprise one or more epitaxial layers.
  • the mirror layer is preferably applied structurally on the p-doped semiconductor body. That is, they have the shape and the course of the p-doped
  • Semiconductor body preferably follows, but not necessarily completely cover it, but can completely cover.
  • the contact body is produced by means of galvanic layer growth.
  • the component is embodied such that the contact body electrically contacts with its second region with an edge region of the n-doped semiconductor body.
  • an edge region of the n-doped semiconductor body is a portion of the n-doped
  • Semiconductor body understood that reaches to one of its edges.
  • the contact body with its first region by means of a
  • the contact body is electrically insulated with its second region by means of a passivation material from the p-doped semiconductor body.
  • the p-doped semiconductor body may be passivated to the extent that no contact between it and the second region of the contact body comes about.
  • the p-doped semiconductor body may be covered in this area by means of a passivation layer.
  • a diffusion barrier can be applied to the mirror layer so that its material does not react, or at least only slightly, with the contact body.
  • the mirror layer preferably contains silver, a material which, however, tends to migrate. Therefore, it is advantageous if the diffusion barrier is present in order to exchange material with the contact body or a Avoid reaction with the contact body, which could affect the reflective properties of the mirror.
  • Semiconductor bodies are preferably in electrical connection with the first region of the contact body.
  • At least one further finger of the comb structure and the section of the longitudinal limb of the p-doped semiconductor body connected to it are preferably insulated from the second region of the contact body.
  • the finger may be provided with the said section of the longitudinal limb with a passivation material on its side facing the contact body.
  • an electrical current distribution path from the p-doped semiconductor body is applied in an electrically insulated manner on the n-doped semiconductor body and partly with the second region of the semiconductor body
  • the power distribution path has the advantage of power as quickly as possible over the entire volume or over the entire with the p-doped Distribute contact body connected surface of the n-doped contact body, so that the pn junction receives a uniform as possible Ausstrahl characterizing.
  • the p-doped semiconductor body may be provided with a structure trench which extends to the n-doped semiconductor body.
  • the current distribution path may be arranged in the structure trench and there be isolated from the first region of the contact body, which is electrically contacted with the p-doped semiconductor body.
  • the current distribution path and the p-doped semiconductor are arranged in a comb-like manner with one another in a comb-like manner on the n-doped semiconductor body. This results in a space-saving design, wherein at the same time the n-doped semiconductor body is supplied with power uniformly and the second region of the contact body can contact the device from an edge region ago.
  • a conversion layer is applied to a surface of the n-doped semiconductor body facing away from the pn junction. This at least partially converts light waves generated by the pn junction into light of longer wavelengths. Overall, then, for example, white mixed light can be radiated from the device.
  • the light waves generated by the pn junction can be light waves that produce green, blue or red light.
  • the surface of the n-doped semiconductor body facing away from the pn junction is roughened.
  • the light from the component by means of scattering can be coupled as evenly as possible and over a wide angle.
  • the optoelectronic component is preferably produced by means of thin-film technology. Masks or lithographic techniques may be used to form the layers of the device.
  • the optoelectronic component is preferably based on nitride compound semiconductors, which in the present context means that an active epitaxial layer sequence or at least one layer thereof comprises a nitride III / V compound semiconductor material, preferably Al n Ga m In n m N, where 0 ⁇ n ⁇ 1, O ⁇ m ⁇ l and n + m ⁇ 1.
  • This material does not necessarily have to have a mathematically exact composition according to the above formula. Rather, it may comprise one or more dopants as well as additional constituents which do not substantially alter the characteristic physical properties of the Al n Ga m Ini n m N material.
  • the optoelectronic component is based on phosphide compound semiconductors, which in this context means that a component or part of a component designed in this way preferably comprises Al n Ga m Ini_n m , where O ⁇ n ⁇ l, O ⁇ m ⁇ l and n + m ⁇ 1.
  • This material does not necessarily have to have a mathematically exact composition according to the above formula. Rather, it may include one or more dopants as well as additional ingredients that do not substantially alter the physical properties of the material.
  • the above formulas include the nitride compound and the phosphide compounds only the essential components of the crystal lattice (Al, Ga, In, N), even if these may be partially replaced by small amounts of other substances.
  • a method for producing an optoelectronic component in which a structured, p-doped semiconductor body is applied to an n-doped semiconductor body, wherein a pn junction between the n-doped and the p-doped semiconductor body is created. Subsequently, a mirror layer is applied structurally on the p-doped semiconductor body. Thereafter, the n-doped semiconductor body, the p-doped semiconductor body and the mirror layer are partially passivated.
  • a contact body is grown galvanically, which is brought into contact with a first region in a non-passivated region of the p-doped Halbleiterk ⁇ rpers, and which is associated with a second region in a non-passivated region of the n-doped semiconductor body in combination.
  • the structured layer grows up to form a contact body, the starting layer having a recess which serves as an insulating recess between its first and its second region when the contact body is grown.
  • the n-doped semiconductor body is connected to a substrate containing, for example, sapphire, wherein the n-doped semiconductor body is released from the substrate after the contact body has been produced.
  • the detachment can be carried out by means of a laser liftoff method (LLO).
  • LLO laser liftoff method
  • the n-doped semiconductor body is preferably detached from the substrate so that it receives a roughened, the pn-junction facing surface.
  • the surface of the n-doped semiconductor body facing away from the pn junction is roughened by means of a chemical etching method.
  • a recess between the first and the second region of the contact body is filled with an electrically insulating material.
  • a diffusion barrier is applied to the mirror layer.
  • FIG. 1 shows a cross section of an optoelectronic component
  • FIG. 2 shows a cross section of a development of an optoelectronic component
  • Figure 3 shows a first step in a method for
  • FIG. 4 shows an alternative view of the first step of the production method
  • FIG. 5 shows a further step of the production method in which a structured passivation layer is produced
  • FIG. 6 shows a further step of the production method, in which a galvanically grown contact layer is produced, which has recesses,
  • Figure 7 shows a further step of the manufacturing process, are separated in the optoelectronic devices.
  • Figure 1 shows the cross section of an optoelectronic
  • This is provided with a comb-shaped, GaN-containing, p-doped semiconductor body 2 embodied as a layer.
  • the p-doped semiconductor body 2 is on the n-doped
  • the current distribution layer 8 and the p-doped layer are applied in an intermeshing manner on the same surface of the n-doped layer 1.
  • the current distribution layer 8 is preferably arranged in a structure trench 9 and / or between the fingers of the p-doped layer 2.
  • the power distribution layer is on all sides of a
  • the passivation material 6 preferably surrounds the current distribution layer 8 such that the shape of the
  • Passivation material follows that of the comb-shaped current distribution layer 8.
  • the current spreading layer 8 is an optional measure to improve the current distribution of the n-doped layer 1 and its associated electrical coupling with the p-doped layer 2 and thus the total light extraction of the optoelectronic device. If the current distribution layer is not needed, a passivation material is to be applied outside the connection region between the n-doped layer 1 and the p-doped layer 2.
  • a pn junction 3 which emits light.
  • a pn junction 3 which emits light.
  • the n- or p-doped layer and / or the epitaxial Built pn junction light can be emitted from the spectral range of UV light to infrared light.
  • the surface of the n-doped layer from which the light is coupled out is preferably roughened. This can be done by means of a chemical etching process. Such a roughened surface has the advantage of scattering light so that it is radiated particularly uniformly.
  • a mirror layer 4 is applied, which with respect to its shape follows the comb-like shape of the p-doped layer.
  • the mirror layer contains a light-reflecting material, such as silver. It may also be comb-shaped according to the shape of the p-doped layer 2. It preferably covers the p-doped layer 2, with the exception of its surface facing the n-doped layer 1, on all sides.
  • the mirror layer 4 reflects light emitted by the pn junction back to the n-doped layer, so that the light is coupled out from the n-doped layer 1 as a whole to the outside.
  • a diffusion barrier 7 is preferably applied, which prevents a chemical or physical interaction between the mirror layer 4 and a contact body 5 applied thereto.
  • the diffusion barrier is applied to the mirror layer 4 in such a way that it follows its shape and preferably covers it on all sides.
  • the diffusion barrier 7 preferably contains TiWN.
  • a contact body 5 is provided, which comprises two regions 5a and 5b, which each contact either the n-doped layer 1 or the p-doped layer 2.
  • the contact body 5 is applied to all these elements with the exception of a recess of the contact body, which is a mirror layer 4 or a diffusion barrier 7 which may be present for covering the mirror layer Separation of its two mentioned areas 5a, 5b allows.
  • the contact body 5 is electrically contacted with its first region 5 a with the p-doped layer 2. Through the passivation material on the current distribution layer 8, the first region of the contact body is prevented from contacting with the opposite pole, or with the n-doped layer, and / or from a current distribution layer applied thereto.
  • the contact body can short-circuit and selectively contact the p-side and n-side of the opto-electronic device from one side.
  • the contact with the p-doped layer and the contact with the n-doped layer is produced on the same side of the n-doped contact layer.
  • the optoelectronic component can be electrically contacted from one side, without having to pass vias or feedthroughs to the other side of the component.
  • the application of a wire bond on the light-outcoupling side of the device is not required.
  • light from the pn junction using the mirror layer can radiate out of the device without further obstacles.
  • FIG. 2 shows the optoelectronic component presented according to FIG. 1, with the difference that a conversion layer is applied to the optionally roughened side of the n-doped semiconductor body which preferably converts the light emitted by the pn junction in such a way that from Component white mixed light is emitted.
  • the conversion layer may also serve to convert the light from the pn junction to other colors, such as from blue light to green light.
  • FIG. 3 shows a production state of several optoelectronic components of the type described in this document.
  • a plurality of n-doped semiconductor bodies 1 are applied at a distance from one another to a substrate 12, which preferably contains sapphire.
  • a comb-shaped p-doped semiconductor body 2 and a current-distributing layer 8, also comb-shaped, which engages with them at a distance are applied to the n-doped semiconductor bodies.
  • the respective n-doped semiconductor body 2 is provided with a structurally following mirror layer 4 with a diffusion barrier 7 applied thereto.
  • the n-doped body is not yet separated from the substrate 12. Later it can be separated from the substrate by means of a laser liftoff process (LLO).
  • LLO laser liftoff process
  • a plan view of the sectional plane A of the figure shows how the respective optoelectronic components in this
  • Production state in each case have a comb-shaped, p-doped semiconductor body 2, the longitudinal leg and outgoing therefrom arms or fingers are substantially wider than the corresponding regions of the current distribution layer 8. That is because the largest possible connection area between the n-doped semiconductor body 1 and The p-doped Halbleiterk ⁇ rper 1 should be created in order to generate as much light in the pn junction between them.
  • FIG. 4 is an alternative view of the optoelectronic component in a manufacturing state according to the preceding figures.
  • a substrate 12 On a substrate 12 may be in a plurality of rows of structures of respectively separated n-doped semiconductor bodies 1 with applied p-doped semiconductor bodies 2 and
  • FIG. 8 shows a plan view of a rectangular arrangement of four spaced, unfinished optoelectronic devices.
  • Each p-doped semiconductor body 2 may be provided with a mirror layer 4 and a diffusion barrier applied thereto. These elements are not shown in the figure for the sake of simplicity and clarity, but may be interpreted as present.
  • FIG. 5 shows how the four unfinished similar optoelectronic components each have one
  • Passivation layer 6a is applied.
  • the passivation layer is applied to the respective p-doped semiconductor body, the n-doped semiconductor body and to the respective current distribution structure 8.
  • a region of the p-doped semiconductor body is recessed, which is later electrically contacted with a first region 5a of a contact body.
  • the remaining areas remain covered by the passivation layer 6a.
  • the recess 6b preferably has a shape which follows that of a part of the p-doped semiconductor body.
  • the recess 6b with respect to the layer sequence of the respective optoelectronic component, is positioned congruently or almost congruently with a part of the p-doped semiconductor body 2.
  • the recess 6b is preferably horseshoe-shaped with straight legs or sections.
  • FIG. 6 shows a starting layer 13, which is applied congruently with its edges to the edges of the optoelectronic components which form a rectangle (in geometric terms) together.
  • the starting layer 13 contains a material from which a contact layer 5 can grow galvanically. It is preferably TiAl and a metal layer or a Ti metal. Depending on the electroplating material, Pt (for example for Ni) or Au (for example for Cu) is suitable as metal layer.
  • the starting layer 13 is preferably reflective on its side facing the semiconductor bodies 1, 2 for the light generated in the pn junction. In the case of blue or green light generated in the pn junction, the starting layer may therefore contain, for example, Al or Ag.
  • the starting layer 13 has L-shaped recesses which initially geometrically separate a first region and a second region of each component from each other. On the inside of each recess 13a, that is to say on the side of the recess at which an angle of less than 180 ° arises between the legs of the recess, a first region B1 of the respective optoelectronic component is present. On the opposite side of the recess, at which an angle greater than 180 ° arises between the legs of the recess, a second region B2 of the respective optoelectronic component is produced.
  • the first region Bl is electrically connected to the first region 5a of the contact body 5, the second region B2 to the second region 5b of the contact body, subject to an existing passivation layer 6 according to FIG.
  • the dashed line of the figure shows the boundaries of the first and second regions Bl and B2 of the respective components.
  • the structure of the contact body 5 which has grown galvanically from the starting layer prior to singulation of the respective components corresponds to that of the starting layer 13 shown in FIG.
  • Figure 7 is a plan view of a galvanic from the
  • Start layer 13 grown contact body 5 which after separation of the optoelectronic devices each comprise two regions 5a and 5b for each device, wherein the first region 5a a respective p-doped semiconductor body 2 and the region 5b contacted a respective n-doped Halbeiter emotions.
  • the optoelectronic components are preferably singulated by means of a laser.
  • Patent Application 102007046743.7 the disclosure of which is hereby incorporated by reference.

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Abstract

Es wird ein optoelektronisches Bauelement angegeben, aufweisend: einen n-dotierten Halbleiterkörper (1), einen p-dotierten, strukturierten Halbleiterkörper (2), der auf dem n-dotierten Halbleiterkörper aufgebracht ist, wobei zwischen diesen ein Licht emittierender pn-Übergang (3) geschaffen ist, wobei eine Spiegelschicht (4) auf der dem n-dotierten Halbleiterkörper abgewandten Seite des p-dotierten Halbleiterkörpers aufgebracht ist, wobei ein Kontaktkörper (5) vorgesehen ist, der mit einem ersten Bereich (5a) mit dem p-dotierten Halbleiterkörper (2) elektrisch kontaktiert und vom n-dotierten Halbleiterkörper elektrisch isoliert ist, wobei der Kontaktkörper (5) auf derselben Seite des Bauelements mit einem zweiten Bereich (5b), der vom ersten Bereich elektrisch isoliert ist, mit dem n-dotierten Halbleiterkörper elektrisch kontaktiert und vom p-dotierten Halbleiterkörper elektrisch isoliert ist.

Description

Beschreibung
Optoelektronisches Bauelement sowie Verfahren zu dessen Herstellung
Es wird ein optoelektronisches Bauelement sowie ein Verfahren zur Herstellung eines oder mehrerer optoelektronischer Bauelemente angegeben.
Eine zu lösende Aufgabe besteht darin, ein optoelektronisches Bauelement mit einem hohen Lichtauskopplungsfaktor anzugeben.
Es wird ein optoelektronisches Bauelement mit einem n- ' dotierten Halbleiterkörper und einem p-dotierten, strukturierten Halbleiterkörper, der auf dem n-dotierten Halbleiterkörper aufgebracht ist und zwischen diesen ein Licht emittierender pn-Übergang geschaffen ist, angegeben. Eine Spiegelschicht ist auf der dem n-dotierten Halbleiterkörper abgewandten Seite des p-dotierten Halbleiterkörpers aufgebracht.
Das optoelektronische Bauelement ist darüber hinaus mit einem Kontaktkörper versehen, der einen ersten Bereich aufweist, welcher mit dem p-dotierten Halbleiterkörper elektrisch kontaktiert und vom n-dotierten Halbleiterkörper elektrisch isoliert ist. Der Kontaktkörper weist dabei einen zweiten Bereich auf, der vom ersten Bereich elektrisch isoliert ist. Dieser zweite Bereich des Kontaktkörpers ist jedoch mit dem n-dotierten Halbleiterkörper elektrisch kontaktiert und vom p-dotierten Halbleiterkörper elektrisch isoliert. Der gesamte Kontaktkörper ist auf einer und derselben, dem n-dotierten Halbleiterkörper abgewandten Seite des optoelektronischen Bauelements angeordnet. Als Halbleiterkörper werden insbesondere epitaktisch erzeugte Schichtenfolgen von p- beziehungsweise n-dotierten Schichten verstanden.
Als pn-Übergang wird der Übergang für Elektronen beziehungsweise Elektronenlöcher über eine Sperrzone zwischen einem n-dotierten Bereich und einem p-dotierten Bereich des Bauelements verstanden, wobei der sowohl n- als auch p- dotierte Bereiche eine beziehungsweise mehrere Epitaxieschichten umfassen kann.
Die Spiegelschicht ist vorzugsweise auf dem p-dotierten Halbleiterkörper strukturfolgend aufgebracht. Das heißt, dass sie die Form und den Verlauf des p-dotierten
Halbleiterkörpers vorzugsweise folgt, ihn jedoch nicht zwingend vollständig abdecken muss, aber vollständig abdecken kann.
Das genannte Bauelement hat den Vorteil, dass es von einer
Seite her kontaktiert werden kann, wobei keine Kontaktierung, beispielsweise ein Drahtbond oder eine Durchkontaktierung beziehungsweise Via die Auskopplung von Licht aus dem pn- Übergang stört . Es kann somit die volle Auskopplung von Licht aus dem pn-Übergang ausgenutzt werden. Somit werden die Vorteile einer Flipchipkontaktierungsweise durch die Bereitstellung eines Kontaktkörpers auf einer einzigen Seite des Bauelements mit denen einer hervorragenden Lichtauskopplung kombiniert.
Gemäß einer Ausführungsform ist der Kontaktkörper mittels galvanischem Schichtwachstum erzeugt. Vorzugsweise ist das Bauelement derart ausgeführt, dass der Kontaktkörper mit seinem zweiten Bereich mit einem Randbereich des n-dotierten Halbleiterkörpers elektrisch kontaktiert. Als Randbereich des n-dotierten Halbleiterkörpers wird ein Teilbereich des n-dotierten
Halbleiterkörpers verstanden, der bis zum einem seiner Ränder reicht .
Gemäß einer Ausführungsform des Bauelements ist der Kontaktkörper mit seinem ersten Bereich mittels eines
Passivierungsmaterials vom n-dotierten Halbleiterkörper elektrisch isoliert. Das bedeutet, dass der Kontaktkörper in seinem ersten Bereich sowohl mit dem p-dotierten Halbleiterkörper als auch mit dem Passivierungsmaterial in Kontakt steht, wobei sein erster Bereich keinen Zugang zum n- dotierten Halbleiterkörper aufweist.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform des Bauelements ist der Kontaktkörper mit seinem zweiten Bereich mittels eines Passivierungsmaterials vom p-dotierten Halbleiterkörper elektrisch isoliert. Der p-dotierte Halbleiterkörper kann soweit passiviert sein, dass kein Kontakt zwischen ihm und dem zweiten Bereich des Kontaktkörpers zustande kommt . Dabei kann der p-dotierte Halbleiterkörper in diesem Bereich mittels einer Passivierungsschicht abgedeckt sein.
Eine Diffusionsbarriere kann auf der Spiegelschicht aufgebracht werden, sodass ihr Material nicht oder zumindest nur geringfügig mit dem Kontaktkörper reagiert . Die Spiegelschicht enthält vorzugsweise Silber, ein Material, welches jedoch zu Migration tendiert. Daher ist es günstig, wenn die Diffusionsbarriere vorhanden ist, um einen Materialaustausch mit dem Kontaktkörper beziehungsweise eine Reaktion mit dem Kontaktkörper, die die reflektierenden Eigenschaften des Spiegels beeinträchtigten könnte, zu vermeiden.
Gemäß einer Ausführungsform weist der p-dotierte
Halbleiterkörper eine kammartige Struktur auf . Dabei ist er derart auf dem n-dotierten Halbleiterkörper ausgerichtet, dass sein Längsschenkel , von dem die Finger der Kammstruktur ausgehen, entlang der Längsachse des n-dotierten Halbleiterkörpers angeordnet ist. Die Finger der Struktur verlaufen dann quer zur Längsachse des n-dotierten Halbleiterkörpers .
Mehrere Finger der Kammstruktur sowie der mit ihnen verbundene Abschnitt des Längsschenkels des p-dotierten
Halbleiterkörpers stehen vorzugsweise mit dem ersten Bereich des Kontaktkörpers in elektrischer Verbindung.
Zumindest ein weiterer Finger der Kammstruktur sowie der mit ihm verbundene Abschnitt des Längsschenkels des p-dotierten Halbleiterkörpers ist vorzugsweise vom zweiten Bereich des Kontaktkörpers isoliert. Dabei kann der Finger mit dem genannten Abschnitt des LängsschenkeIs mit auf seiner dem Kontaktkörper zugewandten Seite mit einem Passivierungsmaterial versehen sein.
Gemäß einer Ausführungsform ist eine elektrische Stromverteilungsbahn vom p-dotierten Halbleiterkörper elektrisch isoliert auf dem n-dotierten Halbleiterkörper aufgebracht und teilweise mit dem zweiten Bereich des
Kontaktkδrpers elektrisch verbunden. Die Stromverteilungsbahn hat den Vorteil, Strom so schnell wie möglich über das ganze Volumen beziehungsweise über die gesamte mit dem p-dotierten Kontaktkörper verbundene Fläche des n-dotierten Kontaktkörpers zu verteilen, sodass der pn-Übergang eine möglichst gleichmäßige Ausstrahlcharakteristik erhält.
Der p-dotierte Halbleiterkörper kann mit einem Strukturgraben versehen sein, der bis zum n-dotierten Halbleiterkörper reicht . Dabei kann die Stromverteilungsbahn im Strukturgraben angeordnet sein und dort vom ersten Bereich des Kontaktkörpers, der mit dem p-dotierten Halbleiterkörper elektrisch kontaktiert ist, isoliert sein.
Gemäß einer Ausführungsform des Bauelements sind die Stromverteilungsbahn und der p-dotierte Halbleiter mit einem Abstand zueinander kammartig ineinander greifend auf dem n- dotierten Halbleiterkörper angeordnet. Das ergibt eine Platz sparende Bauweise, wobei gleichzeitig der n-dotierte Halbleiterkörper gleichmäßig mit Strom versorgt wird und der zweite Bereich des Kontaktkörpers das Bauelement von einem Randbereich her kontaktieren kann.
Vorzugsweise ist auf einer dem pn-Übergang abgewandten Fläche des n-dotierten Halbleiterkörpers eine Konversionsschicht aufgebracht. Diese konvertiert vom pn-Übergang erzeugte Lichtwellen zumindest teilweise in Licht mit größeren Wellenlängen. Insgesamt kann vom Bauelement dann zum Beispiel weißes Mischlicht abgestrahlt werden. Bei den vom pn-Übergang erzeugten Lichtwellen kann es sich um grünes, blaues oder rotes Licht erzeugende Lichtwellen handeln.
Es ist günstig, wenn die dem pn-Übergang abgewandte Fläche des n-dotierten Halbleiterkörpers aufgeraut ist. Dabei kann das Licht vom Bauelement mittels Streuung so gleichmäßig wie möglich sowie über einen weiten Winkel ausgekoppelt werden. Das optoelektronische Bauelement ist vorzugsweise mittels Dünnfilmtechnik erzeugt. Zur Erzeugung der Schichten des Bauelements können Masken oder lithographische Verfahren angewendet werden .
Das optoelektronische Bauelement basiert vorzugsweise auf Nitrid-Verbindungshalbleitern, welches im vorliegenden Zusammenhang bedeutet, dass eine aktive Epitaxie- Schichtenfolge oder zumindest eine Schicht davon ein Nitrid- III/V-Verbindungshalbleitermaterial , vorzugsweise AlnGamIni-n_mN umfasst, wobei 0 ≤ n ≤ 1, O ≤ m ≤ l und n+m < 1. Dabei muss dieses Material nicht zwingend eine mathematisch exakte Zusammensetzung nach obiger Formel aufweisen. Vielmehr kann es einen oder mehrere Dotierstoffe sowie zusätzliche Bestandteile aufweisen, die die charakteristischen physikalischen Eigenschaften des AlnGamIni_n_mN-Materials im Wesentlichen nicht ändern.
Gemäß einer anderen Ausführungsform basiert das optoelektronische Bauelement auf Phosphid- Verbindungshalbleitern, welches in diesem Zusammenhang bedeutet, dass ein derart ausgeführtes Bauelement oder Teil eines Bauelements vorzugsweise AlnGamIni_n-mP umfasst, wobei O ≤ n ≤ l, O ≤ m ≤ l und n+m < 1. Dabei muss dieses Material nicht zwingend eine mathematisch exakte Zusammensetzung nach obiger Formel aufweisen. Vielmehr kann es einen oder mehrere Dotierstoffe sowie zusätzliche Bestandteile aufweisen, die die physikalischen Eigenschaften des Materials im Wesentlichen nicht ändern.
Der Einfachheit halber beinhalten die obigen Formeln für die Nitrid-Verbindung und für die Phosphid-Verbindungen jedoch nur die wesentlichen Bestandteile des Kristallgitters (Al, Ga, In, N) , auch wenn diese teilweise durch geringe Mengen weiterer Stoffe ersetzt sein können.
Es wird außerdem ein Verfahren zur Herstellung eines optoelektronischen Bauelements angegeben, bei dem auf einem n-dotierten Halbleiterkörper ein strukturierter, p-dotierter Halbleiterkörper aufgebracht wird, wobei ein pn-Übergang zwischen dem n-dotierten und dem p-dotierten Halbleiterkörper geschaffen wird. Anschließend wird eine Spiegelschicht strukturfolgend auf dem p-dotierten Halbleiterkörper aufgebracht . Danach werden der n-dotierte Halbleiterkörper, der p-dotierte Halbleiterkörper sowie die Spiegelschicht teilweise passiviert .
Mittels einer Startschicht wird ein Kontaktkörper galvanisch aufgewachsen, der mit einem ersten Bereich in einem nicht passivierten Bereich des p-dotierten Halbleiterkδrpers in Verbindung gebracht wird, und welcher mit einem zweiten Bereich in einem nicht passivierten Bereich des n-dotierten Halbleiterkörpers in Verbindung gebracht wird.
Die strukturierte Schicht wächst zu einem Kontaktkörper auf, wobei die Startschicht eine Aussparung aufweist, die beim Aufwachsen des Kontaktkörpers als isolierende Aussparung zwischen seinem ersten und seinem zweiten Bereich dient.
Der n-dotierte Halbleiterkörper ist gemäß einer Ausführungsform mit einem Substrat, enthaltend beispielsweise Saphir, verbunden, wobei der n-dotierte Halbleiterkörper nach der Erzeugung des Kontaktkörpers vom Substrat gelöst wird. Das Ablösen kann anhand eines Laserliftoff-Verfahrens (LLO) erfolgen. Der n-dotierte Halbleiterkörper wird vorzugsweise derart vom Substrat abgelöst, dass er eine aufgeraute, dem pn-Übergang abgewandte Fläche, erhält.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform eines hier beschriebenen Verfahrens wird die dem pn-Übergang abgewandte Fläche des n-dotierten Halbleiterkδrpers mittels eines chemischen Ätzverfahrens aufgeraut .
Gemäß zumindest einer Ausführungsform eines hier beschriebenen Verfahrens wird eine Aussparung zwischen dem ersten und dem zweiten Bereich des Kontaktkörpers mit einem elektrisch isolierenden Material gefüllt.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform eines hier beschriebenen Verfahrens wird eine Diffusionsbarriere auf die Spiegelschicht aufgebracht.
Die beschriebenen Gegenstände werden anhand der folgenden Figuren und Ausführungsbeispiele näher erläutert. Dabei zeigt
Figur 1 einen Querschnitt eines optoelektronischen Bauelements ,
Figur 2 einen Querschnitt einer Weiterbildung eines optoelektronischen Bauelements,
Figur 3 einen ersten Schritt in einem Verfahren zur
Herstellung eines optoelektronischen Bauelements, bei dem ein strukturierter p-dotierter Halbleiterkörper auf einem n-dotierten
Halbleiterkörper aufgebracht wird, Figur 4 eine alternative Ansicht des ersten Schritts des Herstellungsverfahrens ,
Figur 5 einen weiteren Schritt des Herstellungsverfahrens, bei dem eine strukturierte Passivierungsschicht erzeugt wird,
Figur 6 einen weiteren Schritt des Herstellungsverfahrens, bei dem eine galvanisch aufgewachsene Kontaktschicht erzeugt wird, welche Aussparungen aufweist,
Figur 7 einen weiteren Schritt des Herstellungsverfahrens, bei dem optoelektronische Bauelemente vereinzelt werden. " ■
Gleiche, gleichartige oder gleich wirkende Elemente sind in den Figuren mit denselben Bezugszeichen versehen. Die Figuren und die Größenverhältnisse der in den Figuren dargestellten Elemente untereinander sind nicht aLs maßstäblich zu betrachten. Vielmehr können einzelne Elemente zur besseren Darstellbarkeit und/oder zum besseren Verständnis übertrieben groß dargestellt sein.
Figur 1 zeigt den Querschnitt eines optoelektronisches
Bauelements mit einem n-dotierten, als Schicht ausgeführten Halbleiterkörper 1, welcher GaN enthält. Dieser ist mit einem kammförmig strukturierten, als Schicht ausgeführten, GaN- haltigen, p~dotierten Halbleiterkδrper 2 versehen. Der p- dotierten Halbleiterkörper 2 ist dabei auf der n-dotierten
Schicht 1 aufgebracht. Zwischen jeweils zwei Finger der p-dotierten Schicht 2 ist ein Finger einer ebenfalls kammförmigen Stromverteilungsschicht 8 angeordnet. Die
Stromverteilungsschicht 8 und die- p-dotierte Schicht sind ineinander greifend auf derselben Fläche der n-dotierten Schicht 1 aufgebracht . Die Stromverteilungsschicht 8 ist vorzugsweise in einem Strukturgraben 9 und/oder zwischen den Fingern der p-dotierten Schicht 2 angeordnet.
Die Stromverteilungsschicht ist allseitig von einem
Passivierungsmaterial 6 umgeben. Auf diese Weise kann es zwischen der p-dotierten Schicht und der n-dotierten Schicht 1 nicht zu einem elektrischen Kurzschluss kommen. Somit umgibt das Passivierungsmaterial die Stromverteilungsschicht 8 vorzugsweise derart, dass der Verlauf des
Passivierungsmaterials demjenigen der kammförmigen Stromverteilungsschicht 8 folgt.
Die StromaufWeitungsschicht 8 ist eine optionale Maßnahme, um die Stromverteilung der n-dotierten Schicht 1 und ihrer damit einhergehenden elektrischen Kopplung mit der p-dotierten Schicht 2 und damit die gesamte Lichtauskopplung des optoelektronisches Bauelements zu verbessern. Wird die Stromverteilungsschicht nicht gebraucht, ist außerhalb des Verbindungsbereichs zwischen der n-dotierten Schicht 1 und der p-dotierten Schicht 2 ein Passivierungsmaterial aufzubringen .
Zwischen der p-dotierten Schicht 2 und der n-dotierten Schicht 1 ist ein pn-Übergang 3 vorhanden, welcher Licht emittiert. Je nach Auswahl der Materialien der n- beziehungsweise p-dotierten Schicht und/oder des epitaktisch aufgebauten pn-Übergangs kann Licht aus dem Spektralbereich von UV-Licht bis Infrarot-Licht emittiert werden.
Die Fläche der n-dotierten Schicht, von der das Licht ausgekoppelt wird, ist vorzugsweise aufgeraut . Das kann mittels eines chemischen Ätzverfahrens erfolgen. Eine solche aufgeraute Oberfläche hat den Vorteil, Licht zu streuen, sodass es besonders gleichmäßig ausgestrahlt wird.
Auf der der n-dotierten Schicht 1 abgewandten Fläche der p- dotierten Schicht 2 ist eine Spiegelschicht 4 aufgebracht, welche bezüglich ihrer Form der kammartigen Form der p- dotierten Schicht nachfolgt . Die Spiegelschicht enthält ein lichtreflektierendes Material, wie zum Beispiel Silber. Sie kann entsprechend der Form der p-dotierten Schicht 2 ebenfalls kammförmig ausgeführt sein. Vorzugsweise deckt sie die p-dotierte Schicht 2, mit der Ausnahme ihrer der n- dotierten Schicht 1 zugewandten Fläche, allseitig ab. Die Spiegelschicht 4 reflektiert dabei vom pn-Übergang emittiertes Licht zurück zur n-dotierten Schicht hin, sodass das Licht von der n-dotierten Schicht 1 insgesamt nach außen ausgekoppelt wird.
Auf der Spiegelschicht 4 ist vorzugsweise eine Diffusionsbarriere 7 aufgebracht, die eine chemische oder physikalische Wechselwirkung zwischen der Spiegelschicht 4 und einem auf dieser aufgebrachten Kontaktkörper 5 verhindert. Die Diffusionsbarriere ist derart auf der Spiegelschicht 4 aufgebracht, dass es ihrer Form folgt und sie vorzugsweise allseitig abdeckt. Die Diffusionsbarriere 7 enthält vorzugsweise TiWN. Ein Kontaktkörper 5 ist vorgesehen, welcher zwei Bereiche 5a und 5b umfasst, die jeweils entweder die n-dotierte Schicht 1 oder die p-dotierte Schicht 2 kontaktieren. Der Kontaktkörper 5 wird nach der Erzeugung der p-dotierten Schicht, eines Passivierungsmaterials in der oben beschriebenen Art, einer Spiegelschicht 4 beziehungsweise einer gegebenenfalls zur Abdeckung der Spiegelschicht vorhandenen Diffusionsbarriere 7 auf alle diese Elemente aufgebracht, mit der Ausnahme einer Aussparung des Kontaktkörpers, die eine Trennung seiner zwei genannten Bereiche 5a, 5b ermöglicht.
Der Kontaktkörper 5 ist mit seinem ersten Bereich 5a mit der p-dotierten Schicht 2 elektrisch kontaktiert. Durch das Passivierungsmaterial auf der Stromverteilungsschicht 8 wird der erste Bereich des Kontaktkörpers von einer Kontaktierung mit dem Gegenpol, beziehungsweise mit der n-dotierten Schicht und/oder von einer auf diese aufgebrachten Stromverteilungsschicht abgehalten.
Mit seinem zweiten Bereich 5b ist der Kontaktkörper von derselben Seite des Bauelements mit der n-dotierten Schicht 1 kontaktiert. In diesem Randbereich der p-dotierten Schicht kann ein Arm oder ein Finger der Stromverteilungsschicht aufgebracht sein. Im selben Bereich wird keine Passivierung auf die entsprechende Fläche des n-dotierten Körpers beziehungsweise der Stromverteilungsschicht aufgebracht, da eine Kontaktierung mit dem Kontaktkörper in diesem Bereich vorgesehen ist. Stattdessen wird die p-dotierte Schicht 2 mit der auf sie aufgebrachten Spiegelschicht 4 sowie einer gegebenenfalls gebrauchten Diffusionsbarriere in diesem Bereich passiviert, damit der zweite Bereich 5b des Kontaktkörpers 5 mit der p-dotierten Schicht nicht in elektrischen Kontakt kommt . Mittels des obigen Aufbaus kann der Kontaktkörper kurzSchlussvermeidend und selektiv die p- Seite und die n- Seite des optoelektronischen Bauelements von einer Seite her kontaktieren. Dabei ist der Kontakt zur p~dotierten Schicht und der Kontakt zur n-dotierten Schicht auf derselben Seite der n-dotierten KontaktSchicht hergestellt . Somit kann das optoelektronische Bauelement von einer Seite elektrisch kontaktiert werden, ohne dass Vias oder Durchführungen zur anderen Seite des Bauelements hindurchgeführt werden müssen. Auch ist das Aufbringen eines Drahtbonds auf der Lichtauskopplungsseite des Bauelements nicht erforderlich. Somit kann Licht vom pn-Übergang unter Verwendung der Spiegelschicht ohne weitere Hindernisse aus, dem Bauelement strahlen.
Figur 2 zeigt das gemäß Figur 1 vorgestellte optoelektronische Bauelement mit dem Unterschied, dass auf der wahlweise aufgerauten, dem pn-Übergang abgewandten Seite des n-dotierten Halbleiterkörpers eine Konversionsschicht aufgebracht ist, welche vorzugsweise das vom pn-Übergang emittierte Licht derart konvertiert, dass vom Bauelement weißes Mischlicht abgestrahlt wird. Die KonversionsSchicht kann jedoch auch zur Konversion des Lichts aus dem pn- Übergang in andere Farben dienen, wie zum Beispiel von blauem Licht zu grünem Licht .
Darüber hinaus ist die Aussparung des Kontaktkörpers 5, welche seinen ersten Bereich 5b von seinem zweiten Bereich 5b trennt, mit einem Isoliermaterial 11, beispielsweise PBC, gefüllt . Somit kann eine sichere elektrische Entkopplung der beiden Bereiche 5a, 5b voneinander erreicht werden. Figur 3 zeigt einen Herstellungszustand mehrerer optoelektronischer Bauelemente der in diesem Dokument beschriebenen Art. Dabei werden mehrere n-dotierte Halbleiterkörper 1 mit einem Abstand zueinander auf ein Substrat 12, welches vorzugsweise Saphir enthält, aufgebracht . Auf die n-dotierten Halbleiterkörper wird jeweils ein kammförmiger p-dotierter Halbleiterkörper 2 sowie eine in diesen mit einem Abstand eingreifende, ebenfalls kammförmige Stromverteilungsschicht 8 aufgebracht. Wie zuvor beschrieben wird der jeweilige n-dotierte Halbleiterkörper 2 mit einer strukturfolgenden Spiegelschicht 4 mit einer auf diese aufgebrachten Diffusionsbarriere 7 versehen.
In diesem Herstellungszustand ist der n-dotierte Körper noch nicht vom Substrat 12 abgetrennt . Später kann er mittels eines Laserliftoff-Verfahrens (LLO) vom Substrat abgetrennt werden .
Eine Draufsicht auf die Schnittebene A der Figur zeigt, wie die jeweiligen optoelektronischen Bauelemente in diesem
Herstellungszustand jeweils einen kammförmigen, p-dotierten Halbleiterkörper 2 aufweisen, dessen Längsschenkel und von diesem ausgehenden Armen beziehungsweise Finger wesentlich breiter sind, als die korrespondierenden Bereiche der StromverteilungsSchicht 8. Das liegt daran, dass eine möglichst große Verbindungsfläche zwischen dem n-dotierten Halbleiterkörper 1 und dem p-dotierten Halbleiterkδrper 1 geschaffen sein soll, um möglichst viel Licht im pn-Übergang zwischen diesen erzeugen zu können.
Figur 4 ist eine alternative Ansicht des optoelektronischen Bauelements in einem Herstellungszustand gemäß den vorhergehenden Figuren. Auf einem Substrat 12 können in mehreren Reihen von Strukturen von jeweils voneinander getrennten n-dotierten Halbleiterkörpern 1 mit aufgebrachten p-dotierten Halbleiterkörpern 2 sowie
Stromverteilungsschichten 8 angeordnet werden. Die Figur zeigt mit einer Draufsicht eine rechteckige Anordnung von vier voneinander beabstandeten, unfertigen optoelektronischen Bauelementen. Jeder p-dotierte Halbeiterkörper 2 kann mit einer Spiegelschicht 4 und einer auf dieser aufgebrachten Diffusionsbarriere versehen werden. Diese Elemente werden lediglich der Einfachheit und Verständlichkeit halber in der Figur nicht gezeigt, können jedoch als vorhanden interpretiert werden.
Figur 5 zeigt, wie auf die vier unfertigen gleichartigen optoelektronischen Bauelemente jeweils eine
Passivierungsschicht 6a aufgebracht wird. Insbesondere wird die Passivierungsschicht auf den jeweiligen p-dotierten Halbleiterkörper, den n-dotierten Halbleiterkörper sowie auf die jeweilige Stromverteilungsstruktur 8 aufgebracht. Dabei wird jedoch ein Bereich des p-dotierten Halbleiterkörpers ausgespart, der später mit einem ersten Bereich 5a eines Kontaktkörpers elektrisch kontaktiert wird. Die übrigen Bereiche bleiben von der Passivierungsschicht 6a bedeckt. Die Aussparung 6b hat vorzugsweise eine Form, welche derjenigen eines Teils des p-dotierten Halbleiterkörpers folgt. Somit ist die Aussparung 6b, bezogen auf die Schichtenfolge des jeweiligen optoelektronischen Bauelements, mit einem Teil des p-dotierten Halbleiterkörpers 2 deckungsgleich oder nahezu deckungsgleich positioniert. Dabei ist die Aussparung 6b vorzugsweise hufeisenförmigen mit geraden Schenkeln beziehungsweise Abschnitten. Figur 6 zeigt eine Startschicht 13, welche mit ihren Rändern deckungsgleich auf die zusammen ein Rechteck (in geometrischer Hinsicht) bildenden Ränder der zuvor gezeigten optoelektronischen Bauelemente aufgebracht ist. Die Startschicht 13 enthält ein Material, aus dem galvanisch eine Kontaktschicht 5 wachsen kann. Dabei handelt es sich vorzugsweise um TiAl und eine Metallschicht oder um ein Ti- • Metall. Je nach Galvanikmaterial ist Pt (beispielsweise für Ni) oder Au (beispielsweise für Cu) als Metallschicht geeignet.
Vorzugsweise ist die Startschicht 13 auf ihrer den Halbleiterkörpern 1, 2 zugewandten Seite für das im pn- Übergang erzeugte Licht reflektierend. Bei blauen oder grünen im pn-Übergang erzeugtem Licht kann die Startschicht also beispielsweise Al oder Ag enthalten. Die Startschicht 13 weist L-förmige Aussparungen auf, welche einen ersten Bereich und einen zweiten Bereich eines jeden Bauelements voneinander zunächst geometrisch trennen. Auf der Innenseite einer jeden Aussparung 13a, das heißt, auf der Seite der Aussparung, an der zwischen den Schenkeln der Aussparung ein Winkel weniger als 180° entsteht, ist ein erster Bereich Bl des jeweiligen optoelektronischen Bauelements vorhanden. Auf der gegenüberliegenden Seite der Aussparung, an der zwischen den Schenkeln der Aussparung ein Winkel größer als 180° entsteht, ist ein zweiter Bereich B2 des jeweiligen optoelektronischen Bauelements erzeugt .
Der erste Bereich Bl wird mit dem ersten Bereich 5a des Kontaktkörpers 5, der zweite Bereich B2 mit dem zweiten Bereich 5b des Kontaktkörpers, vorbehaltlich einer vorhandenen Passivierungsschicht 6 gemäß der Figur 5, elektrisch in Verbindung gebracht. Die gestrichelte Linie der Figur zeigt die Grenzen der ersten und zweiten Bereiche Bl und B2 der jeweiligen Bauelemente.
Die Struktur des aus der Startschicht galvanisch gewachsenen Kontaktkörpers 5 vor der Vereinzelung der jeweiligen Bauelemente entspricht derjenigen der mit dieser Figur gezeigten Startschicht 13.
Figur 7 ist eine Draufsicht auf einen galvanisch aus der
Startschicht 13 aufgewachsenen Kontaktkörper 5, der nach der Vereinzelung der optoelektronischen Bauelemente jeweils zwei Bereiche 5a und 5b für jedes Bauelement umfasst, wobei der erste Bereich 5a einen jeweiligen p-dotierten Halbleiterkörper 2 und der Bereich 5b einen jeweiligen n- dotierten Halbeiterkörper kontaktiert. Die optoelektronischen Bauelemente werden vorzugsweise mittels eines Lasers vereinzelt .
Diese Patentanmeldung beansprucht die Priorität der deutschen
Patentanmeldung 102007046743.7, deren Offenbarungsgehalt hiermit durch Rückbezug aufgenommen wird.
Die Erfindung ist nicht durch die Beschreibung anhand der Ausführungsbeispiele auf diese beschränkt. Vielmehr umfasst die Erfindung jedes neue Merkmal sowie jede Kombination von Merkmalen, was insbesondere jede Kombination von Merkmalen in den Patentansprüchen beinhaltet, auch wenn dieses Merkmal oder diese Kombination selbst nicht explizit in den Patentansprüchen oder Ausführungsbeispielen angegeben ist.

Claims

Patentansprüche
1. Optoelektronisches Bauelement, aufweisend:
- einen n-dotierten Halbleiterkörper (1) , - einen p-dotierten, strukturierten Halbleiterkörper (2) , der auf dem n-dotierten Halbleiterkörper aufgebracht ist, wobei zwischen diesen ein Licht emittierender pn-Übergang (3) geschaffen ist, wobei
- eine Spiegelschicht (4) auf der dem n-dotierten Halbleiterkörper abgewandten Seite des p-dotierten
Halbleiterkörpers aufgebracht ist, wobei
- ein Kontaktkörper (5) vorgesehen ist, der mit einem ersten Bereich (5a) mit dem p-dotierten Halbleiterkörper
(2) elektrisch kontaktiert und vom n-dotierten Halbleiterkörper elektrisch isoliert ist, wobei
- der Kontaktkörper (5) auf derselben Seite des Bauelements mit einem zweiten Bereich (5b) , der vom ersten Bereich elektrisch isoliert ist, mit dem n- dotierten Halbleiterkörper elektrisch kontaktiert und vom p-dotierten Halbleiterkörper elektrisch isoliert ist.
2. Optoelektronisches Bauelement nach Anspruch 1, bei dem der Kontaktkörper (5) mittels galvanischen Schichtwachstums erzeugt ist.
3. Optoelektronisches Bauelement nach Anspruch 1, bei dem der Kontaktkörper (5) mit seinem zweiten Bereich (5b) mit einem Randbereich des n-dotierten Halbleiterkörpers elektrisch kontaktiert ist.
4. Optoelektronisches Bauelement nach einem der Ansprüche 1 oder 2 , bei dem der Kontaktkörper (5) mit seinem ersten Bereich (5a) mittels eines Passivierungsmaterials. (6) vom n- dotierten Halbleiterkörper elektrisch, isoliert ist.
5. Optoelektronisches Bauelement nach, einem der vorhergehenden Ansprüche , bei dem der Kontaktkörper (5) mit seinem zweiten Bereich (5b) mittels eines Passivierungsmaterials (6) vom p- dotierten Halbleiterkörper elektrisch isoliert ist.
6. Optoelektronisches Bauelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem eine Diffusionsbarriere (7) auf der strukturierten Spiegelschicht (4) aufgebracht ist.
7. Optoelektronisches Bauelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche , bei dem der p-dotierte Halbleiterkörper (2) eine kammartige Struktur aufweist.
8. Optoelektronisches Bauelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche , bei dem eine elektrische Stromverteilungsbahn (8) vom p- dotierten Halbleiterkörper (2) elektrisch isoliert auf dem n-dotierten Halbleiterkörper (1) aufgebracht ist und teilweise mit dem zweiten Bereich (5b) des Kontaktkörpers verbunden ist .
9. Optoelektronisches Bauelement nach Anspruch 8, bei dem die Stromverteilungsbahn (8) • teilweise in einem Strukturgraben (9) des p-dotierten Halbleiterkörpers (2) angeordnet ist und dort vom ersten Bereich (5a) des Kontaktkörpers (5) elektrisch isoliert ist.
10. Optoelektronisches Bauelement nach Anspruch 9, bei dem die Stromverteilungsbahn (8) und der p-dotierte Halbleiter (2) mit einem Abstand zueinander kammartig ineinander greifend auf dem n-dotierten Halbleiterkörper (1) angeordnet sind.
11. Optoelektronisches Bauelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche , bei dem auf einer vom pn-Übergang (3) abgewandten Fläche des n-dotierten Halbleiterkörpers (2) eine Konversionsschicht (10) aufgebracht ist.
12. Optoelektronisches Bauelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem eine dem pn-Übergang (3) abgewandte Fläche des n-dotierten Halbleiterkörpers (1) aufgeraut ist.
13. Optoelektronisches Bauelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, das mittels Dünnfilmtechnik erzeugt ist.
14. Verfahren zur Herstellung eines optoelektronischen Bauelements, bei dem
- auf einem n-dotierten Halbleiterkörper (1) ein strukturierter, p-dotierter Halbleiterkörper (2) aufgebracht wird,
- ein pn-Übergang (3) zwischen dem n-dotierten und dem p-dotierten Halbleiterkδrper geschaffen wird,
- eine Spiegelschicht (4) strukturfolgend auf dem p- dotierten Halbleiterkörper aufgebracht wird, - die zuvor genannten Elemente teilweise passiviert werden,
- mittels einer Startschicht (13) ein Kontaktkörper (5) galvanisch aufgewachsen wird, welcher mit einem ersten Bereich (5a) in einem nicht passivierten Bereich des p- dotierten Halbleiterkörpers in Verbindung gebracht wird, und welcher mit einem zweiten Bereich (5b) in einem nicht passivierten Bereich des n-dotierten Halbleiterkörpers in Verbindung gebracht wird, wobei - wobei die Startschicht mit einer Aussparung versehen wird, die beim Aufwachsen des Kontaktkörpers als isolierender Aussparung zwischen seinem ersten und seinem zweiten Bereich dient .
15. 'Verfahren nach Anspruch 14, bei dem der n-dotierte Halbleiterkörper (1) mit einem Substrat (12) verbunden ist, wobei der n-dotierte Halbleiterkörper (1) nach der Herstellung des Kontaktkörpers vom Substrat gelöst wird.
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