WO2008132140A1 - Koordinatenmessgerät mit zwei schlitten auf gemeinsamer führung - Google Patents

Koordinatenmessgerät mit zwei schlitten auf gemeinsamer führung Download PDF

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WO2008132140A1
WO2008132140A1 PCT/EP2008/055020 EP2008055020W WO2008132140A1 WO 2008132140 A1 WO2008132140 A1 WO 2008132140A1 EP 2008055020 W EP2008055020 W EP 2008055020W WO 2008132140 A1 WO2008132140 A1 WO 2008132140A1
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carriages
carriage
measuring machine
machine according
measuring
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PCT/EP2008/055020
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Inventor
Norbert Steffens
Original Assignee
Carl Mahr Holding Gmbh
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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/004Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points
    • G01B5/008Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
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    • G01B11/02Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
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    • GPHYSICS
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    • G01B21/00Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
    • G01B21/02Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
    • G01B21/04Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness by measuring coordinates of points

Definitions

  • the invention relates to a device, in particular a coordinate measuring machine with at least two movably mounted carriages.
  • a measuring machine with a horizontally movable carriage which carries two parallel aligned vertically adjustable Z-quills next to each other.
  • One of the two sleeves is equipped with an optical measuring head while the other carries a mechanical button.
  • the two adjacent Z-sleeves require a certain horizontal distance, whereby the supporting carriage must be dimensioned correspondingly wide. This restricts the maximum horizontal travel. This results in significant costs. Also, the control effort is not irrelevant. Due to the almost unavoidable deviation from the parallelism of the two vertical Z-sleeves, a residual error must be expected, which must either be compensated for or increase the measurement uncertainty.
  • the US 37 50 295 discloses a measuring machine with a horizontally movably mounted carriage, which has two vertical adjusting devices, each carrying a sensor.
  • the measuring machine comprises a first carriage, which carries a sensor, and a second carriage, which carries a further sensor or another element, wherein a guide is provided, which guides the first and the second carriage so that the distance between the Carriage is variable from one another in the guide direction.
  • Both sleds use a common leadership. This has the advantage that the first and the second slide can be moved without appreciable angle error.
  • the same guideways are provided on the guide. The parallelism of the movement of the first carriage to the movement of the second carriage is thus ensured.
  • Both carriages use a common position measuring system for position detection. It can be formed by providing a single material measure, which is used to determine the position of both the one and the position determination of the other carriage.
  • the common material measure may be a physical object, such as a glass scale or a light beam, such as a laser beam.
  • Each carriage carries a measuring head, which cooperates with the measuring standard to determine the carriage position.
  • Both carriages are slightly spaced from each other with respect to the guide direction. They can not overtake each other, but the distance between the two carriages is adjustable.
  • the elements ie, for example, the sensors, are arranged very close to one another. As a result, the common measuring range with respect to the transverse direction as a function of the sensor size becomes maximum.
  • each carriage at least one element or sensor is arranged so that this or this does not collide with movement in the guide direction with the respective other element or sensor.
  • each element or sensor when it is no longer needed, can be moved relative to the other active element or sensor, so that collisions with the workpiece can be avoided.
  • the system according to the invention is both suitable for supporting, for example, a tool on one carriage and a sensor or another measuring tool on the other.
  • the tool can be, for example, a micro-gripper for manipulating objects to be measured.
  • Other tools can be used.
  • one of the elements may be a sensor and the other element a laser head. For example, this can be used to engrave the measurement object, for example, to label.
  • a measurement result or another marking can be applied directly in the measuring machine during or after the measurement on the measurement object.
  • one of the elements may be a workpiece holder, eg a small pair of pliers or tweezers.
  • both elements carried by the carriages are sensors that have the same or, as is preferred, different measurement principles.
  • one of the sensors may be an optical sensor and the other sensor may be a tactile sensor.
  • To guide the carriage to guide rails or similar guide means can serve air bearings, roller bearings, ball bearings or the like.
  • the carriages are independently movable. Each carriage is assigned a drive.
  • the drives are moved in a coordinated way. This can be realized by an appropriate control software that avoids a collision between the two carriages.
  • the drives can be motor actuators.
  • the motor actuators are based, for example, on a stationary reference point with respect to the guide.
  • drives suitable for e.g. approach only two selected positions can be hydraulic actuators, pneumatic actuators, magnetic drives, piezo drives or the like.
  • one of the two carriages is moved to desired positions as master carriages.
  • the second carriage (slave carriage) is then moved relative to the first carriage, thereby transferring its sensor into active or passive position.
  • the position of the second slide despite the possibly less precise drive if required, can be precisely detected via the existing position measuring system.
  • the two slides may each be designed asymmetrically, so that they have a long and a short side parallel to the guide direction. This allows on the one hand to achieve a good guide length and on the other hand, a very close approach of the two slide centers together.
  • a purely serial arrangement of two carriages on a guide results in a cost-effective solution, in particular if one of the two carriages is only driven by a lifting cylinder.
  • For the slide and the drive are many identical parts. However, there is some extension of the Z-axis and an increase in the distance from the measurement point to the carriage storage, if the guide length is to be maintained.
  • carriages are asymmetric, as mentioned above, i. have a long and a short side, results in high guide length of each slide high accuracy and stability and a lower overall length of the vertical axis.
  • both carriages go through exactly the same spatial path when performing a Z-adjustment.
  • Sharing the same guide results in cost savings compared to using separate guides.
  • FIG. 3 shows two carriages mounted on the guide device with a common measuring system
  • FIG. 4 shows a nested slide arrangement in a schematic perspective view
  • FIG. 5 shows a carriage arrangement with two carriages on a common guide and an actuator for the absolute adjustment of the first carriage and for the relative adjustment of the second carriage as a schematic representation
  • FIG. 6 is a schematic representation of a sensor arrangement with two sensors which can be adjusted relative to one another;
  • FIG. 7 is a schematic representation of a sensor arrangement with a moving guide, a stationary guide bearing and a slide guided on the guide;
  • FIG. 8 shows a further embodiment of the sensor arrangement according to the invention.
  • FIG. 1 illustrates a measuring machine 1 which has a machine bed 2 and a portal 3 arranged thereon.
  • the portal 3 comprises an upper cross member 4, which serves as a horizontal guide for a horizontally movable carriage 5.
  • the carriage 5 carries a guide and drive means for a Z-direction, i. vertically adjustable support 6, which is also referred to as Z-quill 7.
  • the carrier 6 is movable in the Z direction. Its lower end is used to position two sensors 8, 9, which serve to measure a measuring object 10, which rests, for example, on the machine bed 2.
  • the carrier 6 is provided with a guide device 11 (FIG. 2), which may comprise one or more guide rails 12, 13. These store a first carriage 14 and a second carriage 15, as shown in FIGS. 1 and 2 as a whole.
  • the carriages 14, 15 can be moved on the support 6 in the guide direction 16 (see FIG. 2).
  • the guide direction 16 agrees in the present embodiment with the Z direction. In addition, it is at least preferably coincident with the optical axis of the sensor 8 or 9, if this is an optical sensor. However, this is not mandatory.
  • the carriages 14, 15 are adjustable on the carrier 6 relatively independently of one another in the guide direction 16, but they can not overtake each other.
  • the carriage 14 carries the sensor 8.
  • the carriage 15 carries the sensor 9.
  • Both sensors 8, 9 may be of the same or different type.
  • the sensors 8, 9 use different measuring principles.
  • the sensor 8 is an optical sensor and the sensor 9 is a mechanically tactile sensor.
  • the optical sensor may be a 2D image sensor, a laser sensor or another sensor with lens, camera and a connected image processing device. At- these principles are possible.
  • the sensor 9 may be, for example, a switching button.
  • the carriages 14, 15 can, as illustrated in FIG. 1, be of approximately the same design and be arranged on the carrier 6 or the guide device 11 one behind the other.
  • the carriages 14, 15 can also, as shown in FIG. 2, each be formed asymmetrically. While the carriage 15 on the guide rail 13 has a long and on the guide rail 12 has a short side, the carriage 15 is for example formed straight rotated by 180 °. On the guide rail 13 its short side is stored, while its long side is mounted on the guide rail 12. In other words, the carriage 15 has a recess 17 into which a projection 18 of the carriage 14 can engage. Likewise, the carriage 14 has a recess 19 into which a projection 20 of the carriage 15 can engage. As a result, the carriages 14, 15, as shown in the second illustration from the right in FIG. 2, can be moved very close to one another. The center distance of the two carriages 14, 15 is barely larger than the guide length of each carriage 14, 15.
  • the two sensors 8, 9 are assigned to a common measuring range 21, which is marked in FIG. 2 by two dashed lines 22, 23.
  • the sensor 9 is, for example, a switching button with a stylus 24 which carries a stylus 25 at its end.
  • the sensor 8 is, for example, a camera sensor or a laser sensor with a measuring point or area 26 indicated by dots in FIG. 2. This area corresponds to the touch point of a tactile sensor.
  • FIG. 2 illustrates on the left the measuring range or point 26 of the sensor 8 at the lower measuring range limit and the tactile sensor 9 with its probe body 25 at the devisen measuring range limit.
  • the carriages 14, 15 are as far as possible moved away from each other.
  • the sensor 8 can pass through its entire measuring range 21 with its measuring point 26.
  • the position of the carriage 14 is illustrated secondarily from the left, when the region 26 lies on the upper boundary of the measuring region 21.
  • the tactile sensor 9 is positioned at the lowest position of the measuring area 21 with its feeler body 25, as illustrated in FIG. 2 at the third position from the left, the sensor 8 with the carriage 14 can still be moved so far upwards that the sensor 8 the probing of the workpiece or measuring object 10 no longer disturbs.
  • the carriage 15 can be positioned freely, wherein the probe body 25 can roam the entire measuring range 21 from its upper limit to its lower limit.
  • the carriage 14 can be adjusted so that the measuring point 26 of the sensor 8 can roam the entire measuring area 21 from the upper limit to the lower limit without doing so the sensor 9 interferes.
  • the positioning of the carriages 14, 15 preferably takes place in a position-controlled manner using a single measuring system 27 for both carriages 14, 15.
  • the measuring system includes, for example, a measuring graduation 28, for example a glass scale or the like, and reading heads 29, 30 arranged on the carriages 14, 15.
  • the measuring system 27 serves the position of the respective carriage 14, 15 along the Guide 11 to capture.
  • other suitable technical means for this purpose can be used, for example, on the carriage 14, 15 fixed reflectors whose position is determined by one or more laser beams.
  • Both carriages 14, 15 are each assigned a drive device 31, 32. These are indicated very schematically in FIG. It may, for example, be geared motors, which are connected by screws with the carriage 14, 15. Also, corresponding motors can act on the slides 14, 15 via traction means or other force transmission means.
  • the carriage 14, 15 can also be assigned to linear drives, for example electric linear motors, piezo drives or the like.
  • the procedure according to FIG. 2 is used. If, for example, it is intended to measure only with the optical sensor 8, the carriage 15 is transferred with the sensor 9 to its upper passive position. The carriage 14 can now be moved as desired in order to move its region 26 to the upper measuring range limit (second position from the left in FIG. 2) to the lower measuring range limit (first position from the left in FIG. 2) or into an intermediate range (right position in FIG. 2). to proceed. If, on the other hand, it is intended to measure with the mechanical sensor 9, the carriage 14 is moved to a position according to FIG. 2 on the right. This corresponds approximately to a middle position in the path defined by the guide 11. The mechanical part of the sensor 8 is here just above the line 22 and thus outside the measuring range 21.
  • the available for the carriage 15 stroke limits the achievable by the probe body 25 portion of the measuring range 21. If the probe body 25 to the lower limit of the measuring range 21st be moved, the carriage 14 can also be moved slightly in this direction to the Way for the sled 15 release. This state illustrated in Figure 2 in its third position from the left.
  • Both carriages 14, 15 run on the same guide 11 and are positioned on the same measuring scale 28. Therefore, the measured values supplied by both sensors 8, 9 are necessarily recorded with great precision in the same coordinate system. The further processing of measured values is therefore particularly easy and the measured values are very reliable. Overall, a robust and space-saving and very precise measuring device is created.
  • Figure 4 illustrates a modification of the carriage assembly.
  • the carriages 14, 15 are arranged in a nested arrangement on the carrier 6.
  • the carriage 15 can be divided into two sections 15a, 15b, which are mounted on the guide device 11.
  • the carriage 14 may be divided into two sections 14a, 14b, which are mounted on the guide device 11.
  • the portion 14a is positioned between the portions 15a, 15b.
  • This arrangement has the advantage of relatively large guide lengths, a large Verstellhubs and short lengths of the boom that connect the respective carriages 14, 15 with the sensors 8, 9 or other elements.
  • each carriage has its own read head 29, 30 which reads the same common measure 28.
  • the two drive devices 31, 32 are supported independently of one another on the carrier 6. As is shown in FIG. 5, it is also possible to support only one of the drive devices 31, 32 on the support 6 in order to move the carriage 14 with it, for example.
  • the carriage 15 is, however, driven by the other drive means 32, the is supported on the carriage 14 in the present example.
  • the drive device 32 may be particularly simple here, for example in the form of a compressed air cylinder 33, the piston 34, the carriage 15 is adjusted relative to the carriage 14.
  • the positioning of both carriages 14, 15 can again take place according to the principles of FIG. 3, so that despite the simple and inexpensive drive 32, a high positioning accuracy for the carriage 15 is achieved.
  • the drive device 31 may be a position-controlled adjusting device here
  • the drive device 32 may be a two-point adjusting device which adjusts the carriage 15 between a maximum distance and a minimum distance with respect to the carriage 14. The fine positioning then takes place via the drive device 31.
  • At least one of the sensors 8 and / or 9 can be rotatably mounted about a rotation axis 35.
  • the axis of rotation 35 is preferably oriented parallel to the guide direction 16.
  • the rotation axis 35 may be associated with an adjusting device in order to rotate the relevant sensor 9 and / or 8 in an optionally controlled manner.
  • FIG. 6 It is furthermore possible according to FIG. 6 to displaceably mount one of the carriages, for example the carriage 15, on the other carriage, for example the carriage 14.
  • the guide device 11 thus supports the carriage 14 directly and the carriage 15 indirectly.
  • the carriage 14 can carry a guide device 11 'which is part of the guide device 11 and whose guide direction 16' coincides with the guide direction 16.
  • the sensor 9 can be adjusted against the sensor 8.
  • the drive device for the sensor 9 acts between the two carriages 14, 15 while the drive device for the carriage 14 acts between the carriage 14 and the carrier 6.
  • the carriage 15 is mounted.
  • the measuring graduation 28 is provided on the "carriage" 14.
  • a reading head 28 is provided on the stationary part, which otherwise serves as a carriage but here the storage or "guide”.
  • the read head 28 indicates the position of the carriage 14.
  • the position of the carriage 15 results from the difference between the measured values of the measuring heads 29, 30.
  • the carriage 14 carries the sensor 8.
  • the carriage 15 carries a micromanipulator 9a.
  • a measuring machine 1 with two or more sensors, it is proposed to mount the sensors 8, 9 on carriages 14, 15 which are arranged on a common guide 11 and can be moved independently of one another.
  • the carriages 14, 15 are positioned via a common measuring system 27, so that the relative position of the carriages relative to one another and the absolute position of the sensors in the coordinate measuring machine 1 can be determined with high precision.
  • the position of the sensors no longer depends on the manufacturing accuracy of a mechanical change system but is actively determined.

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Abstract

Für eine Messmaschine (1) mit zwei oder mehreren Sensoren wird vorgeschlagen, die Sensoren (8, 9) an Schlitten (14, 15) zu lagern, die auf einer gemeinsamen Führung 11 angeordnet und unabhängig voneinander verfahrbar sind. Die Schlitten (14, 15) werden über ein gemeinsames Messsystem (27) positioniert, so dass die relative Position der Schlitten zueinander sowie die absolute Position der Sensoren in dem Koordinatenmessgerät (1) hochgenau bestimmt werden kann. Die Position der Sensoren hängt nicht mehr von der Fertigungsgenauigkeit eines mechanischen Wechselsystems ab sondern wird aktiv bestimmt.

Description

Koordinatenmessgerät mit zwei Schlitten auf gemeinsamer Führung
Die Erfindung betrifft ein Gerät, insbesondere ein Koordinatenmessgerät mit zumindest zwei beweglich gelagerten Schlitten.
In der Koordinatenmesstechnik werden zunehmend an ein und derselben Messmaschine verschiedene Sensoren in Kombination eingesetzt, um einen automatischen Messablauf zu realisieren und um die Messaufgabe möglichst ohne Eingriff des Bedieners vollständig zu lösen. Dabei kommt der Position der Sensoren im Raum eine besondere Bedeutung zu. Diese Sensorpositionen müssen exakt bekannt sein, um Messergebnisse in ein und demselben Koordinatensystem d.h. in einem gemeinsamen Koordinatensystem zu erhalten.
Bei einer starren Anordnung der Sensoren an einer gemeinsamen Basisplatte und Anordnung dieser Basisplatte auf einer gemeinsamen beweglichen, z.B. vertikalen Achse bleibt die relative Lage der Sensoren konstant. Bei starrer Anordnung besteht jedoch das Problem, dass sich die Sensoren bei der Messung gegenseitig behindern oder mit dem Werkstück kollidieren können, wenn mit dem jeweils anderen Sensor gemessen wird.
Dazu ist es beispielsweise aus der DE 44 26 171 C2 bekannt, Sensoren oder Tastköpfe über eine Kupplung an die Messmaschine anzuschließen, so dass sie bei Nichtbedarf abgenommen werden können. Solche Kupplungen haben jedoch eine begrenzte Genauigkeit.
Außerdem ist aus der DE 38 066 86 Al eine Messmaschine mit einem horizontal verfahrbaren Schlitten bekannt, der neben einander zwei parallel ausgerichtete vertikal verstellbare Z-Pinolen trägt. Eine der beiden Pinolen ist mit einem optischen Messkopf versehen während die andere einen mechanischen Taster trägt.
Die beiden neben einander angeordneten Z-Pinolen benötigen einen gewissen horizontalen Abstand, wodurch der tragende Schlitten entsprechend breit dimensioniert werden muss. Dies schränkt den maximalen horizontalen Verfahrweg ein. Dadurch entstehen erhebliche Kosten. Auch ist der Steuerungsaufwand nicht unbeachtlich. Bedingt durch die kaum vermeidbare Abweichung von der Parallelität der beiden vertikalen Z-Pinolen ist mit einem Restfehler zu rechnen, der entweder kompensiert werden muss oder die Messunsicherheit vergrößert.
Auch die US 37 50 295 offenbart eine Messmaschine mit einem horizontal beweglich gelagerten Schlitten, der zwei Vertikalstelleinrichtungen aufweist, die jeweils einen Sensor tragen . Davon ausgehend ist es Aufgabe der Erfindung, eine Messmaschine anzugeben, mit der sich die Relativposition eines Sensors und eines weiteren Elements, beispielsweise eines weiteren Sensors, mit geringem Aufwand präzise einstellen und erfassen lässt.
Diese Aufgabe wird mit der Messmaschine nach Anspruch 1 gelöst :
Die erfindungsgemäße Messmaschine weist einen ersten Schlitten, der ein Sensor trägt, und einen zweiten Schlitten auf, der einen weiteren Sensor oder ein anderes Element trägt, wobei eine Führung vorgesehen ist, die den ersten und den zweiten Schlitten so führt, dass der Abstand zwischen den Schlitten voneinander in Führungsrichtung variabel ist. Beide Schlitten nutzen eine gemeinsame Führung. Dies hat den Vorteil, dass der erste und der zweite Schlitten ohne nennenswerten Winkelfehler bewegt werden können. Für beide Schlitten sind an der Führung gleiche Führungsbahnen vorgesehen. Die Parallelität der Bewegung des ersten Schlittens zur Bewegung des zweiten Schlittens ist somit sichergestellt. Beide Schlitten nutzen zur Positionserfassung ein gemeinsames Wegmesssystem. Es kann dadurch gebildet sein, dass eine einzige Maßverkörperung vorgesehen ist, die zur Positionsbestimmung sowohl des einen wie auch zur Positionsbestimmung des anderen Schlittens herangezogen wird. Die gemeinsame Maßverkörperung kann ein körperlicher Gegenstand, wie beispielsweise ein Glasmaßstab oder auch ein Lichtstrahl sein, wie beispielsweise ein Laserstrahl. Z.B. trägt jeder Schlitten einen Messkopf, der mit der Maßverkörperung zusammenwirkt, um die Schlittenposition zu bestimmen.
Beide Schlitten sind bezüglich der Führungsrichtung voneinander etwas beabstandet. Sie können einander nicht überholen, wobei jedoch der Abstand zwischen beiden Schlitten ver- stellbar ist. Hinsichtlich einer Richtung quer zur Führungsrichtung sind die Elemente, d.h. beispielsweise die Sensoren, sehr dicht beieinander angeordnet. Dadurch wird der gemeinsame Messbereich bezüglich der Querrichtung in Abhängigkeit von der Sensorgröße maximal groß.
Auf jedem Schlitten ist zumindest ein Element oder Sensor so angeordnet, dass dieses bzw. dieser bei Bewegung in Führungsrichtung nicht mit dem jeweils anderen Element oder Sensor kollidiert. Somit kann jedes Element bzw. Sensor wenn es (er) nicht mehr benötigt wird, relativ zu dem jeweils anderen aktiven Element oder Sensor bewegt werden, so dass Kollisionen mit dem Werkstück vermieden werden können.
Prinzipiell eignet sich das erfindungsgemäße System sowohl, um auf einem Schlitten beispielsweise ein Werkzeug und auf dem anderen einen Sensor oder ein sonstiges Messwerkzeug zu lagern. Das Werkzeug kann z.B. ein Mikrogreifer zur Manipulation von zu vermessenden Objekten sein. Auch andere Werkzeuge können Anwendung finden. Z.B. kann eines der Elemente ein Sensor und das andere Element ein Laserkopf sein. Z.B. kann dieser dazu verwendet werden, das Messobjekt zu gravieren, bspw. zu beschriften. So kann eine Messergebnis oder eine sonstige Markierung direkt in der Messmaschine während o- der nach der Messung an dem Messobjekt angebracht werden. Auch kann eines der Elemente ein Werkstückhalter, z.B. eine kleine Zange oder Pinzette sein. Bei einer bevorzugten Ausführungsform sind jedoch beide von den Schlitten getragenen Elemente Sensoren, die gleiche oder, wie es bevorzugt wird, unterschiedliche Messprinzipien aufweisen. Beispielsweise kann einer der Sensoren ein optischer Sensor und der andere Sensor ein taktiler Sensor sein. Zur Führung des Schlittens an Führungsschienen oder ähnlichen Führungsmitteln können Luftlager, Rollenlager, Kugellager oder dergleichen dienen.
Bei einer ersten Ausführungsform sind die Schlitten unabhängig voneinander bewegbar. Jedem Schlitten ist ein Antrieb zugeordnet. Die Antriebe werden koordiniert bewegt. Dies kann durch eine entsprechende Steuerungssoftware realisiert werden, die eine Kollision zwischen beiden Schlitten vermeidet. Die Antriebe können Motorstellantriebe sein. Die Motorstellantriebe stützen sich beispielsweise an einem bezüglich der Führung ortsfesten Bezugspunkt ab.
Es ist auch möglich, lediglich einen der beiden Schlitten auf die genannte Art anzutreiben und den anderen Antrieb zwischen den beiden Schlitten wirken zu lassen. Hierzu eignen sich insbesondere Antriebe, die z.B. lediglich zwei ausgewählte Positionen anfahren. Dieses können hydraulische Stellantriebe, pneumatische Stellantriebe, Magnetantriebe, Piezo- antriebe oder dergleichen sein. Damit wird beispielsweise einer der beiden Schlitten als Master-Schlitten in gewünschte Positionen gefahren. Der zweite Schlitten (Slave-Schlitten) wird dann relativ zu dem ersten Schlitten verfahren, um dadurch seinen Sensor in Aktiv- oder Passivposition zu überführen. Die Position des zweiten Schlittens wird trotz des möglicherweise weniger präzisen Antriebs bei Bedarf über das vorhandene Wegmesssystem präzise erfasst.
In Ausgestaltung der Erfindung können die beiden Schlitten jeweils asymmetrisch gestaltet sein, so dass sie parallel zur Führungsrichtung eine lange und eine kurze Seite aufweisen. Dies ermöglicht einerseits die Erzielung einer guten Führungslänge und andererseits ein sehr enges Heranfahren der beiden Schlittenzentren aneinander. Eine rein serielle Anordnung von zwei Schlitten auf einer Führung ergibt eine preisgünstige Lösung insbesondere wenn einer der beiden Schlitten lediglich über einen Hubzylinder angetrieben wird. Für die Schlitten und den Antrieb ergeben sich viele Gleichteile. Jedoch ergibt sich eine gewisse Verlängerung der Z-Achse und eine Verlängerung des Abstands vom Messpunkt zur Schlittenlagerung, wenn die Führungslänge beibehalten werden soll.
Wenn die Schlitten, wie oben erwähnt, asymmetrisch ausgebildet sind, d.h. eine lange und eine kurze Seite aufweisen, ergibt sich bei großer Führungslänge der einzelnen Schlitten eine hohe Genauigkeit und Stabilität und eine geringere Gesamtbaulänge der vertikalen Achse.
Insgesamt lassen sich mit der Erfindung folgende Vorteile erzielen:
Durch gemeinsame Nutzung der Führungsbahnen durch beide Schlitten durchlaufen beide Schlitten bei Durchführung einer Z-Verstellung exakt denselben räumlichen Weg.
Die gemeinsame Nutzung derselben Führung ergibt eine Kosteneinsparung im Vergleich zur Verwendung getrennter Führungen .
Eine Ausrichtung verschiedener Führungen zueinander ist nicht erforderlich.
Die Nutzung des gleichen Maßstabs bzw. der gleichen Maßverkörperung zur Positionierung der beiden Schlitten ergibt eine hohe Positioniergenauigkeit in Führungsrichtung. Fehlerkompensationsmaßnahmen sind auf einfache Weise durchführbar und für beide Schlitten einheitlich. Bei Verwendung von einfachen Antrieben oder Zustellsystemen ohne Wegmesssystem wird durch den Bezug auf den gemeinsamen Maßstab eine hohe Reproduzierbarkeit erreicht.
Das parallele Verfahren beider Schlitten bei Sensorwechsel spart Messzeit.
Durch große Führungsabstände wird der Einfluss kurzwelliger Achsfehler vermindert und die Möglichkeit gegeben, größere Momente aufzunehmen.
Gegenüber einer Lösung mit zwei getrennten Führungsachsen wird ein geringerer Platzbedarf erzielt, wodurch ein Verlust von Messbereich durch Versatz zwischen den Sensoren vermindert wird, bzw. keine Vergrößerung eines Portals einer Messmaschine erforderlich wird.
Weitere Einzelheiten ergeben sich aus Ansprüchen, der Zeichnung und/oder der Beschreibung. Die Beschreibung beschränkt sich auf wesentliche Aspekte der Erfindung und sonstiger Gegebenheiten. Die Zeichnung offenbart weitere Einzelheiten. In der Zeichnung sind Ausführungsbeispiele der Erfindung veranschaulicht. Es zeigen:
Figur 1 eine Messmaschine mit zwei Sensoren in vereinfachter schematisierter Darstellung,
Figur 2 eine Führungseinrichtung mit zwei Schlitten zur Aufnahme der beiden Sensoren in verschiedenen Arbeitspositionen,
Figur 3 zwei auf der Führungseinrichtung gelagerte Schlitten mit einem gemeinsamen Messsystem, Figur 4 eine verschachtelte Schlittenanordnung in schematisierter Perspektivdarstellung,
Figur 5 eine Schlittenanordnung mit zwei Schlitten auf gemeinsamer Führung und einem Stellantrieb zur Absolutverstellung des ersten Schlittens und zur Relativverstellung des zweiten Schlittens als Prinzipdarstellung,
Figur 6 eine Sensoranordnung mit zwei relativ zueinander verstellbaren Sensoren in schematisierter Darstellung,
Figur 7 eine Sensoranordnung mit bewegter Führung, ruhender Führungslagerung und an der Führung geführtem Schlitten in schematisierter Darstellung,
Figur 8 eine weitere Ausführungsform der erfindungsgemäßen Sensoranordnung.
In Figur 1 ist eine Messmaschine 1 veranschaulicht, die ein Maschinenbett 2 und ein darauf angeordnetes Portal 3 aufweist. Das Portal 3 umfasst einen oberen Querträger 4, der als Horizontalführung für einen horizontal verfahrbaren Schlitten 5 dient. Der Schlitten 5 trägt eine Führungs- und Antriebseinrichtung für einen in Z-Richtung, d.h. in Vertikalrichtung verstellbaren Träger 6, der auch als Z-Pinole 7 bezeichnet wird. Der Träger 6 ist in Z-Richtung verfahrbar. Sein unteres Ende dient zum Positionieren zweier Sensoren 8, 9, die zur Vermessung eines Messobjekts 10 dienen, das beispielsweise auf dem Maschinenbett 2 ruht.
Der Träger 6 ist mit einer Führungseinrichtung 11 (Figur 2) versehen, die ein oder mehrere Führungsschienen 12, 13 umfassen kann. Diese lagern einen ersten Schlitten 14 und einen zweiten Schlitten 15, wie aus den Figuren 1 und 2 insgesamt ersichtlich ist. Die Schlitten 14, 15 sind an dem Träger 6 in Führungsrichtung 16 (siehe Figur 2) verfahrbar. Die Führungsrichtung 16 stimmt im vorliegenden Ausführungsbeispiel mit der Z-Richtung überein. Außerdem stimmt sie zumindest vorzugsweise mit der optischen Achse des Sensors 8 oder 9 überein, wenn dieser ein optischer Sensor ist. Dies ist jedoch nicht zwingend.
Die Schlitten 14, 15 sind an dem Träger 6 relativ unabhängig voneinander in Führungsrichtung 16 verstellbar, wobei sie jedoch einander nicht überholen können. Der Schlitten 14 trägt den Sensor 8. Der Schlitten 15 trägt den Sensor 9. Beide Sensoren 8, 9 können vom gleichen oder von unterschiedlichem Typ sein. Vorzugsweise nutzen die Sensoren 8, 9 unterschiedliche Messprinzipien. Beispielsweise ist der Sensor 8 ein optischer Sensor und der Sensor 9 ein mechanisch taktiler Sensor. Der optische Sensor kann ein 2D-Bildsensor, ein Lasersensor oder ein sonstiger Sensor mit Objektiv, Kamera und einer angeschlossenen Bildverarbeitungseinrichtung sein. An- dere Prinzipien sind möglich. Der Sensor 9 kann beispielsweise ein schaltender Taster sein.
Die Schlitten 14, 15 können, wie Figur 1 veranschaulicht, ungefähr gleich ausgebildet und an dem Träger 6 bzw. der Führungseinrichtung 11 hinter einander angeordnet sein. Die Schlitten 14, 15 können auch, wie Figur 2 zeigt, jeweils asymmetrisch ausgebildet sein. Während der Schlitten 15 auf der Führungsschiene 13 eine lange und auf der Führungsschiene 12 eine kurze Seite aufweist, ist der Schlitten 15 beispielsweise gerade um 180° gedreht ausgebildet. Auf der Führungsschiene 13 ist seine kurze Seite gelagert, während seine lange Seite auf der Führungsschiene 12 gelagert ist. Mit anderen Worten, der Schlitten 15 weist eine Ausnehmung 17 auf, in die ein Vorsprung 18 des Schlittens 14 greifen kann. Ebenso weist der Schlitten 14 eine Ausnehmung 19 auf, in die ein Vorsprung 20 des Schlittens 15 greifen kann. Dadurch können die Schlitten 14, 15, wie die zweite Darstellung von rechts in Figur 2 zeigt, sehr dicht aneinander heran gefahren werden. Der Mittenabstand der beiden Schlitten 14, 15 ist kaum größer als die Führungslänge jedes Schlittens 14, 15.
Die beiden Sensoren 8, 9 sind einem gemeinsamen Messbereich 21 zugeordnet, der in Figur 2 durch zwei gestrichelte Linien 22, 23 markiert ist. Der Sensor 9 ist beispielsweise ein schaltender Taster mit einem Taststift 24, der an seinem Ende einen Tastkörper 25 trägt. Der Sensor 8 ist beispielsweise ein Kamerasensor oder ein Lasersensor mit einem in Figur 2 jeweils gepunktet angedeuteten Messpunkt oder Bereich 26. Dieser Bereich 26 entspricht dem Tastpunkt eines taktilen Sensors .
Die Schlitten 14, 15 können unabhängig voneinander verstellt werden. Figur 2 veranschaulicht links den Messbereich oder Punkt 26 des Sensors 8 an der unteren Messbereichsgrenze und den taktilen Sensor 9 mit seinem Tastkörper 25 an der o- beren Messbereichsgrenze . Die Schlitten 14, 15 sind dabei weitest möglich voneinander weg bewegt.
Aus dieser Position heraus kann der Sensor 8 mit seinem Messpunkt 26 den gesamten Messbereich 21 durchfahren. In Figur 2 ist an zweiter Stelle von links die Position des Schlittens 14 veranschaulicht, wenn der Bereich 26 an der o- beren Grenze des Messbereichs 21 liegt.
Steht der taktile Sensor 9 jedoch mit seinem Tastkörper 25 an unterster Position des Messbereichs 21, wie es in Figur 2 an dritter Position von links veranschaulicht ist, kann der Sensor 8 mit dem Schlitten 14 dennoch so weit nach oben gefahren werden, dass der Sensor 8 das Antasten des Werkstücks bzw. Messobjekts 10 nicht mehr stört. In dieser Position des Schlittens 14 kann der Schlitten 15 frei positioniert werden, wobei der Tastkörper 25 den gesamten Messbereich 21 von seiner oberen Grenze bis zu seiner unteren Grenze durchstreifen kann .
Umgekehrt kann der Schlitten 14, wenn der Schlitten 15 in oberster Position steht (in Figur 2 ganz rechts) so verstellt werden, dass der Messpunkt 26 des Sensors 8 den gesamten Messbereich 21 von der oberen Grenze bis zur unteren Grenze durchstreifen kann, ohne dass dabei der Sensor 9 stört .
Die Positionierung der Schlitten 14, 15 erfolgt vorzugsweise positionskontrolliert unter Nutzung eines einzigen Messsystems 27 für beide Schlitten 14, 15. Zu dem Messsystem gehört beispielsweise eine Maßverkörperung 28, beispielsweise ein Glasmaßstab oder dergleichen sowie an den Schlitten 14, 15 angeordnete Leseköpfe 29, 30. Das Messsystem 27 dient dazu, die Position des jeweiligen Schlittens 14, 15 entlang der Führung 11 zu erfassen. An Stelle der Maßverkörperung 28 und Leseköpfen 29, 30 können auch andere für diesen Zweck geeignete technische Mittel eingesetzt werden, beispielsweise an den Schlitten 14, 15 befestigte Reflektoren, deren Position von einem oder mehreren Laserstrahlen ermittelt wird.
Beiden Schlitten 14, 15 ist jeweils eine Antriebseinrichtung 31, 32 zugeordnet. Diese sind in Figur 3 äußerst schematisiert angedeutet. Es kann sich beispielsweise um Getriebemotoren handeln, die über Gewindespindeln mit den Schlitten 14, 15 verbunden sind. Auch können entsprechende Motoren über Zugmittel oder sonstige Kraftübertragungsmittel auf die Schlitten 14, 15 einwirken. Den Schlitten 14, 15 können auch Linearantriebe, beispielsweise elektrische Linearmotoren, Piezoantriebe oder dergleichen zugeordnet werden.
Zum Vermessen eines Objekts 10 wird gemäß Figur 2 vorgegangen. Wenn beispielsweise nur mit dem optischen Sensor 8 gemessen werden soll, wird der Schlitten 15 mit dem Sensor 9 in seine obere Passivposition überführt. Der Schlitten 14 kann nun beliebig verfahren werden, um seinen Bereich 26 an die obere Messbereichsgrenze (zweite Position von links in Figur 2) an die untere Messbereichsgrenze (erste Position von links in Figur 2) oder in einen Zwischenbereich (rechte Position in Figur 2) zu verfahren. Soll hingegen mit dem mechanischen Sensor 9 gemessen werden, wird der Schlitten 14 in eine Position gemäß Figur 2 rechts verfahren. Dies entspricht ungefähr einer mittleren Position in dem von der Führung 11 festgelegten Verfahrweg. Der mechanische Teil des Sensors 8 steht hier gerade oberhalb der Linie 22 und somit außerhalb des Messbereichs 21. Der für den Schlitten 15 verfügbare Hub beschränkt den von dem Tastkörper 25 erreichbaren Teil des Messbereichs 21. Soll der Tastkörper 25 an die untere Grenze des Messbereichs 21 gefahren werden, kann der Schlitten 14 ebenfalls etwas in diese Richtung verfahren werden, um den Weg für den Schlitten 15 freizugeben. Diesen Zustand veranschaulicht Figur 2 in seiner dritten Position von links.
Beide Schlitten 14, 15 laufen auf der gleichen Führung 11 und werden anhand der gleichen Maßverkörperung 28 positioniert. Deshalb sind die von beiden Sensoren 8, 9 gelieferten Messwerte zwangsläufig mit großer Präzision im gleichen Koordinatensystem aufgenommen. Die weitere Messwertverarbeitung ist deshalb besonders einfach und die Messwerte sind sehr verlässlich. Es ist insgesamt eine robuste und platzsparende und dabei sehr präzise Messeinrichtung geschaffen.
Figur 4 veranschaulicht eine Abwandlung der Schlittenanordnung. Die Schlitten 14, 15 sind an dem Träger 6 zueinander verschachtelt angeordnet. Der Schlitten 15 kann dabei in zwei Abschnitte 15a, 15b unterteilt sein, die an der Führungseinrichtung 11 gelagert sind. Ebenso kann der Schlitten 14 in zwei Abschnitte 14a, 14b unterteilt sein, die an der Führungseinrichtung 11 gelagert sind. Z.B. ist der Abschnitt 14a zwischen den Abschnitten 15a, 15b positioniert. Diese Anordnung hat den Vorzug relativ großer Führungslängen, eines großen Verstellhubs und kurzer Längen der Ausleger, die den jeweiligen Schlitten 14, 15 mit den Sensoren 8, 9 oder sonstigen Elementen verbinden. Wiederum hat jeder Schlitten genauso wie bei allen anderen Ausführungsformen seinen eigenen Lesekopf 29, 30, der die gleiche gemeinsamen Maßverkörperung 28 abliest .
Bei der vorstehenden Beschreibung ist davon ausgegangen worden, dass die beiden Antriebseinrichtungen 31, 32 unabhängig voneinander an dem Träger 6 abgestützt sind. Es ist, wie Figur 5 zeigt, auch möglich, lediglich eine der Antriebseinrichtungen 31, 32 an dem Träger 6 abzustützen, um mit dieser z.B. den Schlitten 14 zu bewegen. Der Schlitten 15 wird hingegen über die andere Antriebseinrichtung 32 angetrieben, die im vorliegenden Beispiel an dem Schlitten 14 abgestützt ist. Die Antriebseinrichtung 32 kann hier besonders einfach ausgebildet sein, beispielsweise in Form eines Druckluftzylinders 33, dessen Kolben 34 den Schlitten 15 relativ zu dem Schlitten 14 verstellt. Die Positionierung beider Schlitten 14, 15 kann wiederum nach den Prinzipien der Figur 3 erfolgen, so dass trotz des einfachen und billigen Antriebs 32 eine hohe Positioniergenauigkeit für den Schlitten 15 erreicht wird. Während die Antriebseinrichtung 31 hier eine positionsgeregelte Stelleinrichtung sein kann, kann die Antriebseinrichtung 32 eine Zweipunktstelleinrichtung sein, die den Schlitten 15 zwischen einem Maximalabstand und einem Minimalabstand bezüglich des Schlittens 14 verstellt. Die Feinpositionierung erfolgt dann wiederum über die Antriebseinrichtung 31.
Weiterhin kann wenigstens einer der Sensoren 8 und/oder 9 um eine Drehachse 35 drehbar gelagert sein. Die Drehachse 35 ist vorzugsweise parallel zu der Führungsrichtung 16 orientiert. Der Drehachse 35 kann eine Stelleinrichtung zugeordnet sein, um den betreffenden Sensor 9 und/oder 8 gegebenenfalls kontrolliert zu verdrehen.
Es ist des Weiteren gemäß Figur 6 möglich, einen der Schlitten, beispielsweise den Schlitten 15, auf dem anderen Schlitten, beispielsweise dem Schlitten 14 verschiebbar zu lagern. Die Führungseinrichtung 11 lagert somit den Schlitten 14 unmittelbar und den Schlitten 15 mittelbar. Der Schlitten 14 kann dazu eine Führungseinrichtung 11' tragen, die Teil der Führungseinrichtung 11 ist und deren Führungsrichtung 16' mit der Führungsrichtung 16 übereinstimmt. Auf diese Weise kann wiederum der Sensor 9 gegen den Sensor 8 verstellt werden. Die Antriebseinrichtung für den Sensor 9 wirkt zwischen den beiden Schlitten 14, 15 während die Antriebseinrichtung für den Schlitten 14 zwischen dem Schlitten 14 und dem Träger 6 wirkt. Bei allen vorstehend beschriebenen Ausführungsformen ist unterstellt worden, dass die Führung 11 ruht und beide Schlitten 14, 15 beweglich sind. Es ist aber auch möglich dieses Prinzip umzukehren, wie Figur 7 veranschaulicht. Es übernimmt nun ein Teil, das sonst als Schlitten zu bezeichnen wäre, die Funktion der Führung IIa als ruhendes Lager, während das sonst als Führung betrachtete Teil, das wenigstens eine Führungsbahn 12, 13 aufweist, den Part des Schlittens 14 übernimmt. An den Führungsbahnen 12, 13 ist wiederum der Schlitten 15 gelagert. Die Maßverkörperung 28 ist an dem „Schlitten" 14 vorgesehen. Ein Lesekopf 28 ist an dem ortsfesten Teil vorgesehen, das sonst als Schlitten hier aber die Lagerung bzw. „Führung" dient. Der Lesekopf 28 zeigt die Position des Schlittens 14 an. Die Position des Schlittens 15 ergibt sich aus der Differenz der Messwerte der Messköpfe 29, 30. Der Schlitten 14 trägt den Sensor 8. Der Schlitten 15 trägt einen Mikromanipulator 9a.
Es ist aber auch möglich, einen der Sensoren, beispielsweise den Sensor 8 gemäß Figur 8 fest mit dem Träger 6 zu verbinden und durch Verstellung des Trägers 6 in Z-Richtung zu bewegen während der andere Sensor 9 über seinen Schlitten 15 beweglich an dem Träger 6 gelagert ist. Hinsichtlich des Verstellantriebs und des Messsystems gelten die obigen Ausführungen entsprechend.
Für eine Messmaschine 1 mit zwei oder mehreren Sensoren wird vorgeschlagen, die Sensoren 8, 9 an Schlitten 14, 15 zu lagern, die auf einer gemeinsamen Führung 11 angeordnet und unabhängig voneinander verfahrbar sind. Die Schlitten 14, 15 werden über ein gemeinsames Messsystem 27 positioniert, so dass die relative Position der Schlitten zueinander sowie die absolute Position der Sensoren in dem Koordinatenmessgerät 1 hochgenau bestimmt werden kann. Die Position der Sensoren hängt nicht mehr von der Fertigungsgenauigkeit eines mechanischen Wechselsystems ab sondern wird aktiv bestimmt.
Bezugszeichen
1 Messmaschine
2 Maschinenbett
3 Portal
4 Querträger
5 Schlitten
6 Träger
7 Z-Pinole
8, 9 Sensoren
9a Mikromanipulator
10 Messobjekt
11, 11' Führungseinrichtung
IIa Lagerung/Führung
12, 13 Führungsschienen
14, 15 Schlitten
14a , 14b Abschnitte
15a , 15b Abschnitte
16, 16' Führungsrichtung
17 Ausnehmung
18 Vorsprung
19 Ausnehmung
20 Vorsprung
21 Messbereich
22, 23 Linien
24 Taststift
25 Tastkörper
26 Bereich
27 Messsystem
28 MaßVerkörperung
29, 30 Leseköpfe
31, 32 Antriebseinrichtungen
33 Druckluftzylinder
34 Kolben
35 Drehachse

Claims

Patentansprüche :
1. Messmaschine (1) mit zumindest:
einem ersten Element (8), in Form eines Sensors
einem zweiten Element (9), in Form eines Sensors oder Werkzeugs
einem ersten Schlitten (14) für das erste Element (8),
einem zweiten Schlitten (15) für das zweite Element (9),
einer gemeinsamen Führung (11), die eine Führungsrichtung (16) festlegt und sowohl den ersten als auch den zweiten
Schlitten (14, 15) führt, wobei der Abstand der Schlitten (14, 15) voneinander in Führungsrichtung (26) variabel ist, wobei
zur Erfassung der Positionen der Schlitten (14, 15) ein Messsystem (27) vorgesehen ist, zu dem eine für beide Schlitten (14, 15) gemeinsame Maßverkörperung (28) gehört, wobei an jedem Schlitten ein mit der Maßverkörperung (8) zusammenwirkender Wegmesssensor vorgesehen ist.
2. Messmaschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass beide Schlitten (14, 15) anhand der gleichen Maßverkörperung 28 positioniert werden.
3. Messmaschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das zweite Element (8) ein Greifer, eine Bearbeitungseinrichtung oder ein Laserkopf ist.
4. Messmaschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Führungsrichtung (26) die Vertikalrichtung (z) ist.
5. Messmaschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Führungsrichtung (26) die Horizontalrichtung (z) ist.
6. Messmaschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Sensoren (8, 9) unterschiedliche Messprinzipien aufweisen .
7. Messmaschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Führung (11) als Luftlager ausgeführt ist.
8. Messmaschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Führung (11) als Rollenlager ausgeführt ist.
9. Messmaschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass jedem Schlitten (14, 15) ein eigener Antrieb (31, 32) zugeordnet ist.
10. Messmaschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Schlitten (14, 15) voneinander unabhängig bewegbar sind.
11. Messmaschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Schlitten (14, 15) auf der Führung (11) hintereinander angeordnet sind.
12. Messmaschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Schlitten (14, 15) untereinander durch eine Antriebseinrichtung (32) verbunden sind.
13. Messmaschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens eine Antriebseinrichtung (31), die wenigstens einem der Schlitten (14) zugeordnet ist, ein
Motorstellantrieb ist.
14. Messmaschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens eine Antriebseinrichtung (32), die wenigstens einem der Schlitten (15) zugeordnet ist, eine Piezostelleinrichtung ist.
15. Messmaschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens eine Antriebseinrichtung (32), die wenigstens einem der Schlitten (15) zugeordnet ist, eine fluidbetätigte Stelleinrichtung ist.
16. Messmaschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass beide Schlitten (14, 15) unmittelbar an der Führung (11) gelagert sind.
17. Messmaschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass einer der Schlitten (14) eine Ausnehmung (17) aufweist, in die ein Vorsprung (18) des anderen Schlittens (15) einfahrbar ist.
18. Messmaschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Schlitten (14, 15) zueinander konzentrisch angeordnet sind.
19. Messmaschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Sensor (8, 9) um eine Drehachse (35) drehbar oder schwenkbar gelagert ist.
20. Messmaschine nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, dass die Drehachse (35) in Führungsrichtung (26) orientiert ist
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Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102007000306B4 (de) * 2007-05-08 2015-07-09 Werth Messtechnik Gmbh Koordinatenmessvorrichtung
JP2009216548A (ja) 2008-03-11 2009-09-24 Mitsutoyo Corp 測定装置
EP2574412B1 (de) * 2011-09-30 2014-06-18 Siemens VAI Metals Technologies GmbH Messtaster, Messsystem, Verfahren zur laseroptischen Ermittelung der Höhenlage einer Strangführungsrolle, und Verwendung des Messsystems
DE102013012263B4 (de) 2013-07-24 2016-07-28 Volkswagen Aktiengesellschaft Verfahren und Vorrichtung zum Aufbringen eines Musters auf ein Werkstück mit einem Koordinatenmessgerät
DE102021110360B4 (de) 2021-04-22 2022-12-15 Lisec Austria Gmbh Vorrichtung zum Vermessen von plattenförmigen Werkstücken, insbesondere von Flachglasscheiben oder Isolierglaselementen
DE102021112047A1 (de) 2021-05-07 2022-11-10 Ersa Gmbh Verfahreinheit zum Verfahren von zwei Lötbaugruppen zur Bearbeitung von Leiterplatten und Lötanlage zum selektiven Wellenlöten mit einer Verfahreinheit

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0330901A1 (de) * 1988-03-02 1989-09-06 Wegu-Messtechnik Gmbh Mehrkoordinatenmess- und prüfeinrichtung
WO1997021076A1 (en) * 1995-12-07 1997-06-12 Taylor Hobson Limited Surface form measurement
US6173504B1 (en) * 1997-05-07 2001-01-16 Mitutoyo Corporation Measuring instrument, probe for the same, and measuring method

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3805393A (en) * 1963-01-11 1974-04-23 J Lemelson Automatic inspection machine
US3750295A (en) 1971-07-22 1973-08-07 Werkzeugmasch Veb Measuring machine
DE4426171C2 (de) 1994-07-23 2003-08-21 Mahr Multisensor Gmbh Kupplung zum Einsatz in einem Tastkopf einer Meßeinrichtung
DE4445331C5 (de) * 1994-12-19 2006-07-27 Mycrona Gesellschaft für innovative Messtechnik mbH Automatischer Multisensormeßkopf für Koordinatenmeßgeräte
DE10211070A1 (de) * 2002-03-13 2003-09-25 Gurny Broesch Andrea Vorrichtung zum Vermessen eines Messobjekts

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0330901A1 (de) * 1988-03-02 1989-09-06 Wegu-Messtechnik Gmbh Mehrkoordinatenmess- und prüfeinrichtung
WO1997021076A1 (en) * 1995-12-07 1997-06-12 Taylor Hobson Limited Surface form measurement
US6173504B1 (en) * 1997-05-07 2001-01-16 Mitutoyo Corporation Measuring instrument, probe for the same, and measuring method

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Publication number Publication date
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