WO2008058975A1 - Strömungssensor - Google Patents

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WO2008058975A1
WO2008058975A1 PCT/EP2007/062299 EP2007062299W WO2008058975A1 WO 2008058975 A1 WO2008058975 A1 WO 2008058975A1 EP 2007062299 W EP2007062299 W EP 2007062299W WO 2008058975 A1 WO2008058975 A1 WO 2008058975A1
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Roland Achhammer
Rudolf Bierl
Thorsten Knittel
Martin Lesser
Stefan Pesahl
Frank Steuber
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Continental Automotive Gmbh
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    • G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
    • G01F1/6842—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow with means for influencing the fluid flow
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
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    • G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
    • G01F1/688—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow using a particular type of heating, cooling or sensing element
    • G01F1/69—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow using a particular type of heating, cooling or sensing element of resistive type
    • G01F1/692—Thin-film arrangements

Definitions

  • the invention relates to a flow sensor for measuring the characteristic properties of a fluid flow with an insertable into a flow channel sensor element, which is followed by a sensor circuit.
  • the known flow sensor is a thermal flow sensor having a substrate provided with a temperature sensing arm and a heating arm. On the temperature measuring arm and the heating arm, a temperature sensor and a heating element are respectively arranged, which are each connected to a sensor circuit, which is also formed on the substrate.
  • the sensor circuit keeps the temperature of the heating resistor by a predetermined temperature difference above the temperature of the measuring resistor. Since the heating power required for this is greater, the stronger the fluid flow, the heating power required for this purpose can serve as a measure of the flow velocity of the fluid.
  • the object of the invention is therefore to create a flow sensor whose sensor elements are, if possible, protected against contamination.
  • This object is achieved by a flow sensor having the features of the independent claim.
  • a flow protection body which protects the sensor element from direct flow through the fluid flow is arranged in front of the sensor element in the flow direction.
  • the dirt particles contained in the fluid flow preferably attach to the flow protection body, while the sensor element remains largely free of contamination.
  • the flow protection body is part of a substrate carrying the sensor circuit.
  • This embodiment has the advantage that the substrate, which carries the sensor circuit, and the flow protection body can be structured in one operation.
  • the sensor element is also formed on the substrate carrying the sensor circuit.
  • the part of the substrate carrying the sensor element can be formed and structured together with the remaining substrate.
  • the sensor element is arranged separately from the part of the substrate carrying the sensor circuit. As a result, the sensor element can be thermally decoupled from the rest of the substrate, resulting in shorter reaction times.
  • the sensor element is preferably a component which is connected via cantilevered contact lines to conductor tracks of the substrate on which the sensor circuit is arranged.
  • the sensor element and the substrate carrying the sensor circuit are thermal decoupled, so that also give short reaction times.
  • the flow protection body is accomplished by a thickening of the portion of the substrate located upstream of the sensor element in the flow direction.
  • the flow protection body therefore has a larger flow cross-section than the sensor element.
  • the flow cross section of the flow protection body thus covers the flow cross section of the sensor element. As a result, the sensor element is effectively protected from the direct flow by the fluid flow.
  • the substrate may be made of a plurality of stacked substrate layers. The number of
  • Substrate layers can be increased in the area of the flow protection body in order to achieve local thickening of the substrate.
  • the substrate layers are preferably made on the basis of a material mixed from ceramic powder and organic binder. Several such substrate layers can be stacked on top of one another and, after completion of the molding process, subjected to a heat treatment leading to a mechanically solid substrate.
  • the flow sensor is a thermal air mass sensor
  • the flow sensor has at least two sensor elements, one of which is a heating element and the other is a temperature sensor. Both sensor elements can be arranged one behind the other in the flow direction and be protected from direct flow by the fluid flow by flow contactor bodies arranged in front of the sensor elements.
  • FIG. 1 shows a circuit arrangement for clarifying the measuring principle of a thermal anemometer
  • Figure 2 is a plan view of a thermal flow sensor
  • Figure 3 is a cross-sectional view taken along section line III-III in Figure 2;
  • Figure 4 is a plan view of another flow sensor
  • FIG. 5 shows a cross-sectional view along the section line V-V in Figure 4.
  • FIG. 1 shows a sensor circuit 1 which serves to determine the velocity of a fluid flow 2 in a flow channel 3.
  • the flow channel 3 may be, for example, an intake pipe or an exhaust pipe of an internal combustion engine.
  • the sensor circuit 1 comprises a temperature measuring resistor 4 and a heating resistor 5, which together with bridge resistors 6 and 7 form a measuring bridge connected on one side to ground 8.
  • the temperature measuring resistor 4 and the bridge resistor 6 as well as the heating resistor 5 and the bridge resistor 7 each form voltage dividers of the measuring bridge.
  • the partial voltages of the measuring bridges are fed to the inputs of an operational amplifier 9.
  • the output of the operational amplifier 9 adjusts the voltage applied to the voltage dividers so that equal partial voltages result.
  • the current through the heating resistor 5 is regulated as a function of the fluid flow 2.
  • the heating current required for heating the heating resistor 5 is greater, the greater the cooling of the heating resistor. 5 through the fluid flow 2 is. Since the heating current flowing through the heating resistor 5 also flows through the bridge resistor 7, the voltage drop across the bridge resistor 7 is a measure of the heating current flowing through the heating resistor 5. At one the voltage between heating resistor
  • the output signal of the output amplifier 10 for example, linearized or integrated to determine an integrated mass flow value.
  • FIG. 2 shows a flow sensor 12 for the sensor circuit 1 shown in FIG. 1.
  • the flow sensor 2 has a measuring arm 13 and a heating arm 14. On the measuring arm 13 of the temperature measuring resistor 4 and on the heating arm 14 of the heating resistor 5 is formed. Both are connected via conductor tracks 15 to a component 16.
  • the operational amplifier 9, the output amplifier 10 and the evaluation circuit 11 includes.
  • the device 16 may finally be connected to terminals 17 with an external circuit.
  • the flow sensor 12 also has flow protection arms 18, 19 and 20 which are thickened relative to the measuring arm 13 and the heating arm 14.
  • the flow protection arms 18, 19 and 20 and the measuring arm 13 and the heating arm 14 are part of a substrate 21, on which the conductor tracks 15 are formed and on which the component 16 is arranged.
  • the substrate 21 is preferably formed from a plurality of thin ceramic layers, wherein the number of ceramic layers in the region of Flow protection arms 18, 19 and 20 is greater than in the region of the measuring arm 13 and the heating arm 14.
  • the measuring arm 13 is protected by the Strömungstikarm 18, while the Strömungstikarm 19 prevents direct flow of the Schuarms 14.
  • the flow protection arms 19 and 20 also have the task of keeping the flow in the region of the measuring arm 13 and the heating arm 14 as far as possible laminar.
  • FIG. 3 shows a cross-sectional view along the section line III - III in FIG. 2 through the flow sensor 12.
  • the thickened flow protection arms 18, 19 and 20 can be clearly seen from FIG.
  • measuring arm 13 and the heating arm 14 may be tapered in the transition region to the remaining substrate 21 in order to thermally decouple the temperature measuring resistor 4 and the heating resistor 5 as far as possible from the rest of the substrate 21.
  • a further flow sensor 23 is shown, in which the temperature measuring resistor 4 and the heating resistor 5 are respectively connected via contact pins 24 with the conductor tracks 15, which lead to the component 16.
  • the temperature measuring resistor 4 and the heating resistor 5 are arranged in recesses 25 and 26 of a substrate 27.
  • the substrate 27 has a thickness that is greater than the thickness of the temperature measuring resistor 4 and the heating resistor 5.
  • the substrate 27 acts as a flow-repellent frame, since a front frame member 28 prevents the temperature measuring resistor 4 is directly flowed.
  • dirt particles contained in the fluid flow 2 preferably accumulate on the front edge 22 of the front frame part 28.
  • a central frame part 29 does the same for the heating resistor 5, while a rear frame part 30 is provided together with the central frame part 29 to keep the flow in the region of the heating resistor 5 laminar.
  • the flow sensor 23 offers the advantage that the temperature measuring resistor 4 and the heating resistor 5 are thermally decoupled from the substrate 27.
  • FIG. 5 shows a cross section through the flow sensor 23 along the section line V-V in FIG. 4. It can be seen from FIG. 5 that the substrate 27 consists of a core layer 31 to which thickening layers 32 are applied.
  • the thickening layers 32 may be limited to the temperature measuring resistor 4 and the region of the substrate 27 framing the heating resistor 5.
  • the outset it is possible from the outset to choose the substrate 27 so thick that the thickness of the temperature measuring resistor 4 and the heating resistor 5 is exceeded.

Abstract

Ein Strömungssensor (23) weist Sensorelemente (4, 5) auf, die in Ausnehmungen (25, 26) angeordnet sind. Um eine Anlagerung von Schmutzpartikeln an den Sensorelementen (4, 5) zu verhindern, ist das Substrat (27) im Bereich der Sensorelemente (4, 5) als Strömungsschutzkörper ausgebildet.

Description

Beschreibung
Strömungssensor
Die Erfindung betrifft einen Strömungssensor zur Messung der charakteristischen Eigenschaften einer Fluidströmung mit einem in einen Strömungskanal einbringbaren Sensorelement, dem eine Sensorschaltung nachgeschaltet ist.
Ein derartiger Strömungssensor ist aus der
DE 10 2004 038 988 B3 bekannt. Bei dem bekannten Strömungssensor handelt es sich um einen thermischen Strömungssensor, der ein Substrat aufweist, das mit einem Temperaturmessarm und einem Heizarm versehen ist. Auf dem Temperaturmessarm und dem Heizarm sind jeweils ein Temperaturfühler und ein Heizelement angeordnet, die jeweils mit einer Sensorschaltung verbunden sind, die ebenfalls auf dem Substrat ausgebildet ist .
Die Sensorschaltung hält die Temperatur des Heizwiderstands um eine vorbestimmte Temperaturdifferenz über der Temperatur des Messwiderstands. Da die dafür notwendige Heizleistung um so größer ist, je stärker die Fluidströmung ist, kann die dafür nötige Heizleistung als Maß für die Strömungsgeschwin- digkeit des Fluids dienen.
Da das Heizelement und der Temperaturfühler direkt in Kontakt mit der Fluidströmung stehen, kann es zur Verschmutzung von denjenigen Seiten des Heizelements und des Temperaturfühlers kommen, die der Fluidströmung zugewandt sind. Diese Verschmutzung kann zu Signaldriften führen.
Ausgehend von diesem Stand der Technik liegt der Erfindung daher die Aufgabe zugrunde, einen Strömungssensor zu schaf- fen, dessen Sensorelemente nach Möglichkeit vor Verschmutzung geschützt sind. Diese Aufgabe wird durch einen Strömungssensor mit den Merkmalen des unabhängigen Anspruchs gelöst. In davon abhängigen Ansprüchen sind vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen angegeben.
Bei dem Strömungssensor ist in Strömungsrichtung vor dem Sensorelement ein das Sensorelement vor unmittelbarer Anströmung durch die Fluidströmung schützender Strömungsschutzkörper angeordnet. Damit lagern sich die in der Fluidströmung enthaltenen Schmutzpartikel vorzugsweise an dem Strömungsschutzkörper an, während das Sensorelement weitgehend von Verschmutzungen frei bleibt.
Bei einer bevorzugten Ausführungsform ist der Strömungs- schutzkörper Teil eines die Sensorschaltung tragenden Substrats. Diese Ausführungsform bietet den Vorteil, dass das Substrat, das die Sensorschaltung trägt, und der Strömungsschutzkörper in einem Arbeitsgang strukturiert werden können.
Bei einer weiteren bevorzugten Ausführungsform ist das Sensorelement auch auf dem Substrat ausgebildet, das die Sensorschaltung trägt. In diesem Fall kann der das Sensorelement tragende Teil des Substrats zusammen mit dem restlichen Substrat ausgebildet und strukturiert werden.
Bei einer bevorzugten Ausführungsform ist das Sensorelement von dem die Sensorschaltung tragenden Teil des Substrats getrennt angeordnet. Dadurch kann das Sensorelement thermisch vom übrigen Substrat entkoppelt werden, wodurch sich kürzere Reaktionszeiten ergeben.
Dabei ist das Sensorelement vorzugsweise ein Bauelement, das über freitragende Kontaktleitungen mit Leiterbahnen des Substrats verbunden ist, auf dem die Sensorschaltung angeord- net ist. Bei dieser Ausführungsform sind das Sensorelement und das die Sensorschaltung tragende Substrat thermisch entkoppelt, so dass sich ebenfalls kurze Reaktionszeiten ergeben .
Vorzugsweise wird der Strömungsschutzkörper durch eine Verdi- ckung des in Strömungsrichtung vor dem Sensorelement gelegenen Abschnitts des Substrats bewerkstelligt. Der Strömungsschutzkörper weist daher einen größeren Strömungsquerschnitt als das Sensorelement auf. Der Strömungsquerschnitt des Strömungsschutzkörpers deckt somit den Strömungsquerschnitt des Sensorelements ab. Dadurch ist das Sensorelement wirksam vor der unmittelbaren Anströmung durch die Fluidströmung geschützt .
Weiterhin kann das Substrat aus mehreren aufeinander gesta- pelten Substratschichten gefertigt sein. Die Anzahl der
Substratschichten kann im Bereich der Strömungsschutzkörpers erhöht werden, um die lokale Verdickung des Substrats zu erreichen .
Die Substratschichten werden vorzugsweise auf der Grundlage eines Materials hergestellt, das aus Keramikpulver und organischem Bindemittel gemischt ist. Mehrere derartige Substratschichten können aufeinander gestapelt werden und nach Ab- schluss des Formprozesses einer Wärmebehandlung unterzogen werden, die zu einem mechanisch festen Substrat führt.
Falls es sich bei dem Strömungssensor um einen thermischen Luftmassesensor handelt, verfügt der Strömungssensor über wenigstens zwei Sensorelemente, von denen eines ein Heizele- ment und das andere ein Temperaturfühler ist. Beide Sensorelemente können in Strömungsrichtung hintereinander angeordnet sein und von vor den Sensorelementen angeordneten Strömungsschützkörpern vor einer unmittelbaren Anströmung durch die Fluidströmung geschützt sein.
Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung gehen aus der nachfolgenden Beschreibung hervor, in der Ausführungsbeispie- Ie der Erfindung anhand der beigefügten Zeichnung im Einzelnen erläutert werden. Es zeigen:
Figur 1 eine Schaltungsanordnung zur Verdeutlichung des Messprinzips eines thermischen Anemometers;
Figur 2 eine Aufsicht auf einen thermischen Strömungssensor;
Figur 3 eine Querschnittsansicht entlang der Schnittlinie III-III in Figur 2;
Figur 4 eine Aufsicht auf einen weiteren Strömungssensor;
Figur 5 eine Querschnittsansicht entlang der Schnittlinie V-V in Figur 4.
Figur 1 zeigt eine Sensorschaltung 1, die dazu dient, die Geschwindigkeit einer Fluidströmung 2 in einem Strömungskanal 3 zu bestimmen. Bei dem Strömungskanal 3 kann es sich beispielsweise um ein Ansaugrohr oder einer Abgasleitung eines Verbrennungsmotors handeln.
Die Sensorschaltung 1 umfasst einen Temperaturmesswiderstand 4 und einen Heizwiderstand 5, die zusammen mit Brückenwiderständen 6 und 7 eine einseitig mit Masse 8 verbundene Messbrücke bilden. Dabei bilden der Temperaturmesswiderstand 4 und der Brückenwiderstand 6 sowie der Heizwiderstand 5 und der Brückenwiderstand 7 jeweils Spannungsteiler der Messbrü- cke . Die Teilspannungen der Messbrücken werden den Eingängen eines Operationsverstärkers 9 zugeführt. Der Ausgang des Operationsverstärkers 9 stellt die an den Spannungsteilern anliegende Spannung so ein, dass sich gleiche Teilspannungen ergeben. Dadurch wird der Strom durch den Heizwiderstand 5 in Abhängigkeit von der Fluidströmung 2 geregelt. Der zum Beheizen des Heizwiderstands 5 erforderliche Heizstrom ist dabei umso größer, je größer die Kühlung des Heizwiderstands 5 durch die Fluidströmung 2 ist. Da der durch den Heizwiderstand 5 fließende Heizstrom auch durch den Brückenwiderstand 7 fließt, ist die über den Brückenwiderstand 7 abfallende Spannung ein Maß für den durch den Heizwiderstand 5 fließen- den Heizstrom. An einem die Spannung zwischen Heizwiderstand
5 und Brückenwiderstand 7 abgreifenden Ausgangsverstärkern 10 kann daher eine zum Heizstrom durch den Heizwiderstand 5 proportionaler Ausgangsspannung abgegriffen werden, die einer Auswerteeinheit 11 zur weiteren Verarbeitung zugeführt werden kann. In der Auswerteeinheit 11 kann das Ausgangssignal des Ausgangsverstärkers 10 beispielsweise linearisiert oder zu Bestimmung eines integrierten Massenstromwertes integriert werden .
Figur 2 zeigt einen Strömungssensor 12 für die in Figur 1 dargestellte Sensorschaltung 1. Der Strömungssensor 2 weist einen Messarm 13 und einen Heizarm 14 auf. Auf dem Messarm 13 ist der Temperaturmesswiderstand 4 und auf dem Heizarm 14 der Heizwiderstand 5 ausgebildet. Beide sind über Leiterbahnen 15 mit einem Bauelement 16 verbunden. Bei dem Bauelement 16 kann es sich beispielsweise um eine anwendungsspezifische integrierte Schaltung (= ASIC) handeln, die die Brückenwiderstände
6 und 7, den Operationsverstärker 9, den Ausgangsverstärker 10 und die Auswerteschaltung 11 umfasst. Das Bauelement 16 kann schließlich an Anschlüssen 17 mit einer externen Schaltung verbunden werden.
Der Strömungssensor 12 verfügt ferner über Strömungsschutzarme 18, 19 und 20, die gegenüber dem Messarm 13 und dem Heiz- arm 14 verdickt sind.
Die Strömungsschutzarme 18, 19 und 20 sowie der Messarm 13 und der Heizarm 14 sind Teil eines Substrats 21, auf dem auch die Leiterbahnen 15 ausgebildet sind und auf dem das Bauele- ment 16 angeordnet ist. Das Substrat 21 ist vorzugsweise aus einer Vielzahl von dünnen keramischen Schichten gebildet, wobei die Anzahl der keramischen Schichten im Bereich der Strömungsschutzarme 18, 19 und 20 größer als im Bereich des Messarms 13 und des Heizarms 14 ist. Insbesondere kann es sich bei dem Substrat 21 um eine so genannte LTCC (= low temperature cofired ceramics) handeln. Durch die Strömungs- schutzarme 18 und 19 werden der Messarm 13 und der Heizarm 14 vor direkter Anströmung durch die Fluidströmung 2 geschützt. Insbesondere lagern sich Schmutzpartikel vorzugsweise an einer Vorderseite 22 des Strömungssensors 12 an. Damit ist der Messarm 13 durch den Strömungsschutzarm 18 geschützt, während der Strömungsschutzarm 19 eine direkte Anströmung des Heizarms 14 verhindert. Die Strömungsschutzarme 19 und 20 haben ferner die Aufgabe, die Strömung im Bereich des Messarms 13 und des Heizarms 14 nach Möglichkeit laminar zu halten .
Figur 3 zeigt eine Querschnittsansicht entlang der Schnittlinie III - III in Figur 2 durch den Strömungssensor 12. Anhand Figur 3 sind die verdickten Strömungsschutzarme 18, 19 und 20 deutlich zu erkennen.
Es sei angemerkt, dass der Messarm 13 und der Heizarm 14 im Übergangsbereich zum restlichen Substrat 21 verjüngt sein kann, um den Temperaturmesswiderstand 4 und den Heizwiderstand 5 nach Möglichkeit thermisch vom Rest des Substrats 21 zu entkoppeln.
In Figur 4 ist ein weiterer Strömungssensor 23 dargestellt, bei dem der Temperaturmesswiderstand 4 und der Heizwiderstand 5 jeweils über Kontaktstifte 24 mit den Leiterbahnen 15 verbunden sind, die zum Bauelement 16 führen. Der Temperaturmesswiderstand 4 und der Heizwiderstand 5 sind in Ausnehmungen 25 und 26 eines Substrats 27 angeordnet. Das Substrat 27 weist eine Dicke auf, die größer ist als die Dicke des Temperaturmesswiderstands 4 und des Heizwiderstands 5. Dadurch wirkt das Substrat 27 als eine strömungsabweisende Umrahmung, da ein vorderes Rahmenteil 28 verhindert, dass der Temperaturmesswiderstand 4 unmittelbar angeströmt wird. In der Fluidströmung 2 enthaltene Schmutzpartikel lagern sich daher vorzugsweise an der Vorderkante 22 des vorderen Rahmenteils 28 an. Ein mittleres Rahmenteil 29 bewirkt das Gleiche für den Heizwiderstand 5, während ein hinteres Rahmenteil 30 zusammen mit dem mittleren Rahmenteil 29 dazu vorgesehen ist, die Strömung im Bereich des Heizwiderstands 5 laminar zu halten .
Der Strömungssensor 23 bietet den Vorteil, dass der Tempera- turmesswiderstand 4 und der Heizwiderstand 5 thermisch vom Substrat 27 entkoppelt sind.
Figur 5 zeigt einen Querschnitt durch den Strömungssensor 23 entlang der Schnittlinie V - V in Figur 4. Anhand Figur 5 ist erkennbar, dass das Substrat 27 aus einer Kernschicht 31 besteht, auf die Verdickungsschichten 32 aufgebracht sind. Die Verdickungsschichten 32 können auf den Temperaturmesswiderstand 4 und den den Heizwiderstand 5 umrahmenden Bereich des Substrats 27 beschränkt sein.
Daneben ist es möglich, von vornherein das Substrat 27 so dick zu wählen, dass die Dicke des Temperaturmesswiderstands 4 und des Heizwiderstands 5 übertroffen wird.
Abschließend sei darauf hingewiesen, dass Merkmale und Eigenschaften, die im Zusammenhang mit einem bestimmten Ausführungsbeispiel beschrieben worden sind, auch mit einem anderen Ausführungsbeispiel kombiniert werden können, außer wenn dies aus Gründen der Kompatibilität ausgeschlossen ist.
Schließlich wird noch darauf hingewiesen, dass in den Ansprüchen und in der Beschreibung der Singular den Plural einschließt, außer wenn sich aus dem Zusammenhang etwas anderes ergibt. Insbesondere wenn der unbestimmte Artikel verwendet wird, ist sowohl der Singular als auch der Plural gemeint.

Claims

Patentansprüche
1. Strömungssensor zur Messung der charakteristischen Eigenschaften einer Fluidströmung (2) mit einem in einen Strömungskanal (3) einbringbaren Sensorelement (4, 5) dem eine Sensorschaltung (16) nachgeschaltet ist, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , d a s s in Strömungsrichtung vor dem Sensorelement (4, 5) ein das Sensorelement (4, 5) vor einer unmittelbaren Anströmung durch die Fluidströmung (2) schützender Strömungsschutzkörper (18, 19, 28, 29) angeordnet ist.
2. Strömungssensor nach Anspruch 1, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , d a s s der Strömungsschutzkörper (18, 19, 28, 29) Teil eines die Sensorschaltung (16) tragenden Substrats (21, 27) ist.
3. Strömungssensor nach Anspruch 2, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, d a s s das Sensorelement (4, 5) auf dem die Sensorschaltung (16) tragenden Substrat (21) angeordnet ist.
4. Strömungssensor nach Anspruch 3, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , d a s s das Sensorelement (4, 5) auf einem vorspringenden Arm (13, 14) des Substrats (21) angeordnet ist.
5. Strömungssensor nach Anspruch 2, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , d a s s das Sensorelement (4, 5) in einer Ausnehmung (25, 26) des Substrats (27) angeordnet ist.
6. Strömungssensor nach Anspruch 5, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , d a s s das Sensorelement (4, 5) über freitragende Kontaktleitungen mit einer auf dem Substrat (27) verlaufenden Leiterbahn (15) verbunden ist.
7. Strömungssensor nach einem der Ansprüche 1 bis 6, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , d a s s der Strömungsschutzkörper (18, 19, 28, 29) einen das Sensorelement (4, 5) abdeckenden Strömungsquerschnitt aufweist.
8. Strömungssensor nach einem der Ansprüche 2 bis 7, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , d a s s das Substrat (21, 27) aus einem Stapel von Substratschichten gebildet ist.
9. Strömungssensor nach Anspruch 8, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , d a s s die Anzahl der Substratschichten im Bereich des Strömungsschutzkörpers (18, 19, 28, 29) größer als im Bereich der Sensorschaltung (16) ist.
10. Strömungssensor nach Anspruch 8 oder 9, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , d a s s das Substrat (21, 27) aus einem keramischen Material gefer- tigt ist.
11. Strömungssensor nach einem der Ansprüche 1 bis 10, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , d a s s der Strömungssensor über wenigstens zwei Sensorelemente (4, 5) verfügt, die in Strömungsrichtung hintereinander angeordnet sind und jeweils durch vor den Sensorelementen (4, 5) angeordnete Strömungsschutzkörper (18, 19) vor einer unmittelbaren Anströmung durch die Fluidströmung (2) geschützt sind.
12. Strömungssensor nach einem der Ansprüche 1 bis 11, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , d a s s der Strömungssensor als Luftmassensensor oder als Abgasstromsensor eingerichtet ist.
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