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Die
vorliegende Erfindung betrifft ein Meßelement für einen Luftmassenmesser sowie
einen damit ausgerüsteten
Luftmassenmesser und insbesondere eine Vorrichtung, die die von
einem Verbrennungsmotor angesaugte Luftmasse messen kann.
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Im
Stand der Technik wird derzeit als Luftmengenmesser, der in einer
elektronisch gesteuerten Kraftstoffeinspritzanlage für Verbrennungsmotoren von
Kraftfahrzeugen und dergleichen zum Messen der Ansaugluftmenge vorgesehen
ist, meist ein thermischer Luftmassenmesser verwendet, der die Luftmasse
direkt erfassen kann. Das Hauptaugenmerk ist auf einen Luftmassenmesser
sowie ein hierfür
verwendetes Meßelement
gerichtet worden, das mit einer Halbleitermikrobearbeitungstechnik
hergestellt wird, die ermöglicht,
die Kosten zu reduzieren und das Element mit niedriger elektrischer
Leistung zu betreiben. Ein Luftmassenmesser, in dem das herkömmliche
Halbleitersubstrat verwendet wird, ist aus der JP 60-142268-A (1985)
be kannt. Diese Technik legt den Schwerpunkt auf die Verringerung
der Herstellungskosten.
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Daher
wird in dem obenerwähnten
Stand der Technik eine Luftmassen-Temperatur-Kennlinie bei der Messung
der Ansaugluftmenge nicht betrachtet, weshalb das Problem entsteht,
daß die
Genauigkeit der Messung der Luftmasse unzureichend ist.
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Das
Problem bei der Technik, die aus der JP 60-142268-A bekannt ist,
wird im folgenden mit Bezug auf 16 erläutert. 16 ist eine Draufsicht des
herkömmlichen
Meßelements
eines Luftmassenmessers, die der 2 dieser
obenerwähnten
Anmeldung entspricht. In 16 bezeichnet
das Bezugszeichen 1 ein Meßelement des herkömmlichen Luftmassenmessers.
Das Meßelement
besitzt zwei Brücken 23a und 23b,
die durch einen Isolierfilm gebildet sind, und Überbrückungslufträume 22a, 22b und 22c,
die durch anisotropes Ätzen
eines Halbleitersubstrats wie etwa eines Siliciumsubstrats gebildet
werden. Die Brücke 23a ist
in bezug auf die Luftströmung
stromaufseitig angeordnet, während
die Brücke 23b stromabseitig
angeordnet ist.
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Ein
Heizwiderstand 20 ist so angeordnet, daß sich zwischen ihm der Luftraum 22c befindet, dessen Öffnung sich
zwischen den beiden Brücken 23a und 23b befindet.
Zu beiden Seiten des Heizwiderstandes 20 sind Temperaturerfassungswiderstände 21a und 21b angeordnet.
Ferner ist in einem Abschnitt stromaufseitig vom Luftraum 22a ein
Lufttemperaturkompensationswiderstand 4a angeordnet. Da die
Lufträume 22a, 22b und 22c durch
anisotropes Ätzen
des Halbleitersubstrats durch den Öffnungsabschnitt des elektrisch
isolierenden Films gebildet werden, sind sie unterhalb der Brücken 23a und 23b miteinander
verbunden. In einem derartigen Luftmassenmesser wird der Heizwider stand 20 auf
eine Temperatur erhitzt, die um einen vorgegebenen Wert höher als
die Lufttemperatur ist, die durch den Temperaturkompensationswiderstand 4a bestimmt
wird. Die Luftmasse wird anhand der Temperaturdifferenz gemessen,
die zwischen dem stromaufseitigen Temperaturerfassungswiderstand 21a und
dem stromabseitigen Temperaturerfassungswiderstand 21b auftritt und
durch die Kühlungswirkung
des Luftstroms verursacht wird.
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In
dem obenbeschriebenen herkömmlichen Aufbau
wird die Temperaturänderung
der Ansaugluft nur durch eine Brückenschaltung
kompensiert, die aus dem Temperaturkompensationswiderstand 4a und
dem Heizwiderstand 20 konstruiert ist. Das heißt, daß in dieser
herkömmlichen
Technik temperaturbedingte Änderungen
der physikalischen Eigenschaften der Luft, d. h. der Dichte, der
dynamischen Viskosität
und der Wärmeleitfähigkeit,
nicht betrachtet wird. Daher kann eine geeignete Luftmassen-Lufttemperatur-Kennlinie
nicht erhalten werden. Ferner wird in dem Fall, in dem der Sensor
unter harten Umgebungsbedingungen wie etwa jenen eines Kraftfahrzeugs
verwendet wird, die Wärme
aufgrund eines Anstiegs der Temperatur des Verbrennungsmotors zum
Heizwiderstand 20, zum Temperaturkompensationswiderstand 4 und
zu den Temperaturerfassungswiderständen 21a, 21b geleitet,
was sich auf die Genauigkeit der Messung nachteilig auswirkt. Dieses
Problem kann im Stand der Technik nicht gelöst werden.
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Die
DE 40 22 024 C2 zeigt
ein Verfahren zur Verbesserung des Ansprechverhaltens eines thermischen
Strömungssensors,
bei dem Widerstände
R
K, R
H und R
M vorgesehen sind. Zur Erhöhung der
Ansprechverzögerung
wird eine zu erwartende Temperatur an einem Repräsentativpunkt eines Stützkörpers des
Heizwiderstands berechnet und zur Ermittlung einer Korrekturströmungsmenge
verwendet.
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Die
DE 42 19 454 A1 betrifft
einen Massenflußsensor
mit einem Referenztemperaturfühler,
der auf einem Substrat vorgesehen ist, wobei das Substrat in einem
Anströmkanal
angeordnet ist. Das Substrat enthält weiterhin einen Temperaturfühler und
ein Heizelement.
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Der
Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Meßelement für einen Luftmassenmesser sowie einen
damit ausgerüsteten
Luftmassenmesser zu schaffen, der die Luftmasse mit hoher Genauigkeit messen
kann.
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Diese
Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch
ein Meßelement
und einen damit ausgerüsteten
Luftmassenmesser, die die in den entsprechenden unabhängigen Ansprü chen angegebenen
Merkmale besitzen. Die abhängigen
Ansprüche
sind auf zweckmäßige Ausführungen
der Erfindung gerichtet.
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Gemäß einem
ersten Aspekt der Erfindung ist in einem Meßelement für einen Luftmassenmesser ein
Temperatursensor zur Erfassung einer die Wärmezufuhr in einen Heizwiderstand
angebenden typischen Temperatur auf einem Wärmeübertragungspfad von einem Konfigurationselement
ausgebildet, welches ein Substrat trägt, auf dem der Heizwiderstand
zum Messen der Luftmasse ausgebildet ist.
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Gemäß einem
weiteren Aspekt der Erfindung ist ein Meßelement für einen Luftmassenmesser versehen
mit einem Temperatursensor zur Erfassung einer die Wärmezufuhr
in einen Heizwiderstand angebenden typischen Temperatur, der auf
einem Wärmeübertragungspfad
von einem Konfigurationselement ausgebildet ist, welches ein Substrat
trägt, auf
dem der Heizwiderstand zum Messen der Luftmasse ausgebildet ist,
und mit einem Lufttemperatursensor zur Erfassung der Lufttemperatur,
der auf dem Substrat außerhalb
der Luftströmung
ausgebildet ist, die mit dem Heizwiderstand in Kontakt gelangt.
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Gemäß einem
nochmals weiteren Aspekt der Erfindung enthält ein Luftmassenmesser ein
Meßelement,
das einen Temperatursensor zur Erfassung einer die Wärmezufuhr
in einen Heizwiderstand angebenden typischen Temperatur, der auf
einem Wärmeübertragungspfad
von einem Konfigurationselement ausgebildet ist, welches ein Substrat
trägt, auf
dem der Heizwiderstand zum Messen der Luftmasse ausgebildet ist;
eine Operationsschaltung zum Liefern eines Stroms an das Meßelement
und zum Erfassen eines die Luftmasse angebenden Signals; eine Steuerschaltung
zum Berechnen der Luftmasse auf der Grundlage des die Luftmasse
angebenden Signals; sowie einen Speicher zum Spei chern von Kompensationsdaten
für eine
Luftmassen-Substrattemperatur-Kennlinie.
Die Steuerschaltung kompensiert die Luftmasse unter Verwendung der
Kompensationsdaten und der typischen Temperatur, die von dem Temperatursensor
erhalten wird.
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Gemäß einem
nochmals weiteren Aspekt der Erfindung besitzt ein Luftmassenmesser
ein Meßelement,
das versehen ist mit einem Temperatursensor zur Erfassung einer
die Wärmezufuhr
in einen Heizwiderstand angebenden typischen Temperatur, der auf
einem Wärmeübertragungspfad
von einem Konfigurationselement ausgebildet ist, welches ein Substrat
trägt,
auf dem der Heizwiderstand zum Messen der Luftmasse ausgebildet
ist; einer Operationsschaltung zum Liefern eines Stroms an das Meßelement
und zum Erfassen eines die Luftmasse angebenden Signals; einer Steuerschaltung
zum Berechnen der Luftmasse auf der Grundlage des die Luftmasse
angebenden Signals; und einem Speicher zum Speichern von Kompensationsdaten
für eine Luftmassen-Substrattemperatur-Kennlinie
und eine Luftmassen-Lufttemperatur-Kennlinie. Die Steuerschaltung
kompensiert die Luftmasse unter Verwendung der Kompensationsdaten,
der vom Lufttemperatursensor erhaltenen Lufttemperatur und der vom Temperatursensor
erhaltenen typischen Temperatur.
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Weitere
Merkmale und Vorteile der Erfindung werden deutlich beim Lesen der
folgenden Beschreibung zweckmäßiger Ausführungen,
die auf die beigefügte
Zeichnung Bezug nimmt; es zeigen:
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1 eine
Draufsicht eines Meßelements für einen
Luftmassenmesser gemäß einer
ersten Ausführung
der Erfindung;
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2 eine
Schnittansicht längs
der Linie A-A' des
Luftmassenmessers nach 1;
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3 eine
Schnittansicht des Luftmassenmessers gemäß einer ersten Ausführung der
Erfindung;
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4 eine
vergrößerte Ansicht
des Meßelementteils
nach 3;
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5 eine
Schnittansicht längs
der Linie B-B' des
Meßelementteils
nach 4;
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6 einen
Blockschaltplan der Schaltung des Luftmassenmessers gemäß der Erfindung;
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7 einen
Schaltplan einer Schaltung zum Messen der Luftmasse, die in dem
Luftmassenmesser gemäß der ersten
Ausführung
der Erfindung verwendet wird;
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8 einen
Schaltplan einer Schaltung zum Messen der Temperatur, die in dem
Luftmassenmesser gemäß der ersten
Ausführung
der Erfindung verwendet wird;
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9 eine
Ansicht zur Erläuterung
der Beziehung zwischen einem Abschnitt des Meßelements nach 1 und
der Temperaturverteilung längs
der Linie B-B' des
Meßelements;
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10 Graphen zur Erläuterung der Substrattemperatur-Korrektur bzw. der
Lufttemperatur-Korrektur;
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11 eine
Draufsicht eines Meßelements für einen
Luftmassenmesser gemäß einer
zweiten Ausführung
der Erfindung;
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12 einen
Schaltplan einer Schaltung zum Messen der Luftmasse, die in dem
Luftmassenmesser gemäß der zweiten
Ausführung
der Erfindung verwendet wird;
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13 einen
weiteren Schaltplan einer Schaltung zum Messen der Luftmasse, die
in dem Luftmassenmesser gemäß der zweiten
Ausführung der
Erfindung verwendet wird;
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14 eine
Draufsicht eines Meßelements für einen
Luftmassenmesser gemäß einer
dritten Ausführung
der Erfindung;
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15 einen
Schaltplan einer Schaltung zum Messen einer Luftmasse, die in dem
Luftmassenmesser gemäß der dritten
Ausführung
der Erfindung verwendet wird; und
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16 die
bereits erwähnte
Draufsicht eines herkömmlichen
Meßelements
für einen
Luftmassenmesser.
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In
allen Figuren bezeichnen entsprechende Bezugszeichen und Symbole
gleiche oder äquivalente
Teile, soweit nichts anderes angegeben ist.
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1 ist
eine Draufsicht eines Meßelements für einen
Luftmassenmesser gemäß einer
ersten Ausführung
der Erfindung. 2 ist eine Schnittansicht längs der
Linie A-A' des Luftmassenmessers nach 1.
In den 1 und 2 enthält das Meßelement 1 ein Halbleitersubstrat 2 aus
Silicium, in dem von seiner unteren Oberfläche bis zu einer Grenzfläche eines
Isolierfilms 7a durch anisotropes Ätzen ein Luftraum 6 ausgebildet
ist, einen Heizwiderstand 3, der auf dem Isolierfilm 7a über dem
Luftraum 6 ausgebildet ist, einen Temperaturkompensationswiderstand 4a,
der zusammen mit dem Heizwiderstand 3 eine Brückenschaltung
bildet, um die Lufttemperatur zu messen, einen Lufttemperatursensor oder
zweiten Temperatursensor 4b, der im oberen Abschnitt des
Substrats 2 ausgebildet ist, um die Luft- oder Ansauglufttemperatur
zu messen, Anschlußelektroden 8a bis 8h,
einen Substrattemperatursensor oder ersten Temperatursensor 5,
der zwischen dem Heizwiderstand 3 und der Anschlußelektrode 8 ausgebildet
ist, um die Temperatur eines Unterstützungsabschnitts 2a oder
des Substrats in dem Unterstützungsabschnitt 2a zu
messen, bei dem das Substrat 2 von einem weiteren Konfigurationselement
unterstützt
wird, sowie einen Isolierfilm 7b für den Schutz der einzelnen
Widerstände.
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In
einer derartigen Konfiguration fließt zum Heizwiderstand 3 ein
Heizstrom, so daß dessen
Temperatur um einen vorgegebenen Wert höher ist als jene des Temperaturkompensationswiderstandes 4a, der
oberhalb eines Durchlasses für
die Luftströmung 9 angeordnet
ist. Die Luftmasse wird auf der Grundlage der Kühlungswirkung des Heizwiderstandes 3 durch
die Luftströmung 9 anhand
des Wertes des in den Heizwiderstand 3 fließenden Stroms
gemessen. Der Isolierfilm 7 in der Umgebung des Luftraums 6 und
des Heizwiderstandes 3 ist dazu vorgesehen, die Genauigkeit
der Messung aufrechtzuerhalten, indem er eine Wärmeübertragung vom Heizwiderstand 3 an das
Substrat 2 verhindert.
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Wie
in 1 gezeigt ist, sind der Temperaturkompensationswiderstand 4a und
der zweite Temperatursensor 4b im oberen Teil des Substrats 2 auf einem
in den Luftströmungsdurchlaß vorstehenden Abschnitt
angeordnet. Im Ergebnis beeinflußt der Heizwiderstand 3 die
erwärmte
Luftströmung 9 nicht, weder
die Vorwärtsströmung noch
die Rückwärtsströmung. Da
der zweite Temperatursensor 4b auf dem Abschnitt des Substrats
außerhalb
des Bereichs ausgebildet ist, in dem die Luftströmung mit dem Heizwiderstand 3 in
Kontakt gelangt, kann eine Erwärmung
des vom Temperatursensor 4b gemessenen Luftstroms durch
den Heizwiderstand 3 vermieden werden, so daß die Lufttemperatur
vom Temperatursensor 4b korrekt erfaßt wird.
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3 ist
eine Schnittansicht des Luftmassenmessers gemäß der ersten Ausführung der
Erfindung. In 3 ist das in 1 gezeigte
Meßelement 1 in
einem Luftmassenmesser installiert. Genauer ist der mit dem Meßelement 1 ausgerüstete Luftmassenmesser
in einem Ansaugrohr eines Verbrennungsmotors für Kraftfahrzeuge angebracht,
um die angesaugte Luftmasse zu messen.
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Der
Luftmassenmesser gemäß der ersten Ausführung der
Erfindung enthält
das Meßelement 1, ein
Gehäuseteil 12 und
eine externe Schaltung 13. Das Meßelement 1 ist in
einem Innenrohr 11 innerhalb eines Luftansaugrohrs 10 angeordnet.
Die externe Schaltung 13 ist über das Gehäuseteil 12 an eine
Anschlußelektrode 8 des
Meßelements 1 elektrisch
angeschlossen. Während
die angesaugte Luftmasse normalerweise in Richtung der durch einen Pfeil
angezeigten Luftströmung 9 strömt, kann
sie in bestimmten Zuständen
des Verbrennungsmotors auch in der entgegengesetzten Richtung strömen (Rückwärtsströmung).
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4 ist
eine vergrößerte Ansicht
des Meßelements 1 und
des Gehäuseteils 12 nach 3. 5 ist
eine Schnittansicht längs
der Linie B-B' des Meßelements
nach 4. Wie in diesen Figuren gezeigt ist, ist das
Meßelement 1 am
Unterstützungsabschnitt 2a des
Substrats 2 durch das Gehäuseteil 12 unterstützt, so
daß zwei
Seiten sowohl des Temperaturkompensationswiderstandes 4a als
auch des zweiten Temperatursensors 4b der Luftströmung 9 ausgesetzt
sein können.
Weiterhin ist am Gehäuseteil 12 die
externe Schaltung 13 befestigt, die eine Anschlußelektrode 14 und
eine Signalverarbeitungsschaltung (einschließlich einer Operationsschaltung und
einer Steuerschaltung, die später
beschrieben werden) enthält.
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Das
Meßelement 1 und
die externe Schaltung 13, d. h. die Anschlußelektroden 8 (8a bis 8h) und 14,
sind durch Drahtbonden über
Golddrähte
miteinander elektrisch verbunden. Der erste Temperatursensor 5,
die Golddrähte 15,
die Elektrodenanschlüsse 8 und 14 und
die externe Schaltung 13 sind durch das Schutzgehäuse 12a dicht
eingekapselt und geschützt,
um einen direkten Kontakt mit der Luft zu vermeiden. Daher kann
die Temperatur des Substrats 2 unabhängig von der Einwirkung der
Luftströmung 9 korrekt
gemessen werden. Die Änderung
der durch den ersten Temperatursensor 5 gemessenen Temperatur
aufgrund der Wärmezufuhr
von der Luftströmung
kann somit unterdrückt
werden.
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Was
das installierte Meßelement 1 betrifft,
so sind die obere Fläche
und die untere Fläche
des Luftraums 6 durch den Isolierfilm 7a bzw.
eine Abdeckplatte 12b (die vom Gehäuseteil 12 getrennt
oder in diesen integriert ist) gegenüber der Luftströmung vollständig isoliert,
wie aus den 2 und 5 hervorgeht.
Da der Luftmassenmesser gemäß dieser Ausführung der
Erfindung einen Luftraum besitzt, der im Unterschied zum Stand der
Technik nicht zur Luftströmung
hin geöffnet
ist, kann sich in diesem Luftraum Staub, der für die Messung der Luftmasse
ein Problem darstellt, niemals ansammeln. Daher kann die Luftmasse
mit hoher Genauigkeit gemessen werden.
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Nun
wird mit Bezug auf die 6 bis 10 die Funktionsweise
dieser ersten Ausführung
der Erfindung beschrieben.
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6 ist
ein Blockschaltplan, der die Schaltung des Luftmassenmessers gemäß der Erfindung zeigt,
genauer zeigt er den Luftmassenmesser 24 der ersten Ausführung. Der
Luftmassenmesser gemäß der zweiten
Ausführung
und gemäß der dritten
Ausführung,
die später
beschrieben werden, besitzt die gleiche Schaltungskonfiguration
wie in 6 gezeigt.
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Der
Luftmassenmesser 24 enthält das in 1 gezeigte
Meßelement 1 sowie
die externe Schaltung 13. Die externe Schaltung 13 enthält eine Operationsschaltung 13a zum
Liefern eines elektrischen Stroms an das Meßelement 1 und zum
Erfassen eines die Luftmasse angebenden Signals, eine Steuerschaltung 13b mit
einer Eingangsschaltung für die
Eingabe des Luftmassensignals vom Meßelement 1 über einen
A/D-Umsetzer, einer Zentraleinheit (CPU) zum Berechnen und Verarbeiten
des Luftmassensignals und einer Ausgangsschaltung zum Ausgeben der
Verarbeitungsergebnisse, sowie einen Speicher 13c zum vorhergehenden
Speichern von Daten zum Kompensieren der Luftmasse (d. h. des Luftmassensignals),
die anhand der Substrattemperatur (z. B. der Temperatur des Unterstützungsabschnitts 2a),
die vom ersten Temperatursensor 5 erfaßt wird, und/oder anhand der
Lufttemperatur (z. B. der Ansauglufttemperatur), die vom zweiten
Temperatursensor 4b erfaßt wird, bestimmt wird.
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7 zeigt
einen Schaltplan einer Schaltung zum Messen der Luftmasse, die im
Luftmassenmesser gemäß der ersten
Ausführung
der Erfindung verwendet wird. Genauer zeigt 7 eine Brückenschaltung
zum Messen der Luftmasse, die den Heizwiderstand 3, den
Temperaturkompensationswiderstand 4a und einen Teil der
Operationsschaltung 13a enthält. Die Operationsschaltung 13a enthält einen Differenzverstärker 16,
einen Transistor 17, eine Stromquelle 18 und Widerstände 19a und 19b. 8 ist
ein Schaltplan einer Schaltung zum Messen der Temperatur, die in
dem Luftmassenmesser gemäß der ersten
Ausführung
der Erfindung verwendet wird. Genauer zeigt 8 eine Meßschaltung,
die den ersten Temperatursensor 5, den zweiten Temperatursensor 4b und
einen Teil der Operationsschaltung 13a enthält.
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9 ist
eine Ansicht, die die Beziehung zwischen einem Abschnitt des in 1 gezeigten Meßelements
und der Temperaturverteilung längs der
Linie B-B' des Meßelements
zeigt. Genauer sind im oberen Abschnitt von 9 die Temperaturverteilungen
im Meßelement 1,
im Gehäuseteil 12 und
in der externen Schaltung 13 gezeigt. Die 10A und 10B zeigen
Graphen zur Erläuterung
einer beispielhaften Substrattemperatur-Korrektur bzw. einer beispielhaften
Lufttemperatur-Korrektur gemäß der Erfindung.
Genauer zeigt 10A eine Luftmassen-Unterstützungsabschnittemperatur-Kennlinie des
Luftmassenmessers 24, während 10B eine Luftmassen-Ansauglufttemperatur-Kennlinie
des Luftmassenmessers 24 zeigt.
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Nun
wird die Funktionsweise des Luftmassenmessers gemäß der ersten
Ausführung
der Erfindung beschrieben. Die Luftmasse wird folgendermaßen gemessen:
in der in 7 gezeigten Brückenschaltung
ist der Widerstandswert jedes der Widerstände 19a und 19b so
gesetzt, daß die
Temperatur (Widerstandswert) des Heizwiderstandes 3, der
sich räumlich
im wesentlichen in der Mitte des Meßelements 1 befindet,
um einen vorgegebenen Wert (z. B. 150 °C) höher als die Temperatur (Widerstandswert) des
Temperaturkompensationswiderstandes 4a, die der Lufttemperatur
entspricht, werden kann. Wenn die Temperatur des Heizwiderstandes 3 niedriger
als der gesetzte Wert ist, tritt zwischen dem elektrischen Potential
A und dem elektrischen Potential B in der Mitte der Brückenschaltung
eine Potentialdifferenz auf. Im Ergebnis wird ein Transistor 17 durch
ein Ausgangssignal C des Differenzverstärkers 16 auf Durchlaß geschaltet,
so daß der
Heizstrom in den Heizwiderstand 3 fließt. Wenn die Temperatur des Heizwiderstandes 3 den
gesetzten Wert erreicht, wird der Tran sistor 17 durch das
Ausgangssignal C des Differenzverstärkers 16 gesperrt,
so daß der
Heizstrom unterbrochen wird. Daher wird eine Rückkopplungsregelung ausgeführt, so
daß die
Temperatur des Heizwiderstandes 3 auf dem gesetzten Wert
gehalten werden kann. Das elektrische Potential am Punkt A, durch
den der Heizstrom fließt,
wird an die Steuerschaltung 13b als ein die Luftmasse angebendes
Signal ausgegeben.
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Die
Temperatur der Ansaugluft (die Lufttemperatur) und die Temperatur
des Unterstützungsabschnitts
(Substrattemperatur) werden folgendermaßen gemessen. Wie in 8 gezeigt
ist, wird an den ersten Temperatursensor 5, der zwischen
dem Heizwiderstand 3 und der An-schlußelektrode 8 ausgebildet
ist, und an den zweiten Temperatursensor 4b, der im oberen
Abschnitt des Meßelements 1 ausgebildet ist,
eine Referenzspannung (Vref) angelegt. Anschlußspannungen D und E der Temperatursensoren werden
an die Steuerschaltung 13b als Lufttemperatur (Ta) bzw.
als Substrattemperatur (Tw) ausgegeben.
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In
dieser Ausführung
wird für
den ersten Temperatursensor 5 und für den zweiten Temperatursensor 4b der
gleiche Metallfilm aus Platin wie für den Heizwiderstand 3 und
für den
Temperaturkompensationswiderstand 4a verwendet. Da die
Temperatur zum elektrischen Widerstand in einem derartigen Metallfilm
proportional ist, kann die Temperatur anhand der Anschlußspannungen
der ersten und zweiten Temperatursensoren gemessen werden. Obwohl
in der Schaltung nach 8 die Referenzspannung Vref
verwendet wird, kann anstelle der Spannungsquelle eine Konstantstromquelle
verwendet werden. Obwohl in dieser Ausführung der gleiche Metallfilm
aus Platin wie für
den Heizwiderstand 3 und für den Temperaturkompensationswiderstand 4a verwendet
wird, kann als erster Temperatursensor 5 und als zweiter
Temperatursensor 4a auch ein Halbleitertempe ratursensor
wie etwa ein Thermistor, eine Diode, ein Transistor und dergleichen
verwendet werden. Mit anderen Worten, obwohl in dieser Ausführung für den Heizwiderstand 3 und
für den
Temperaturkompensationswiderstand 4a im Hinblick auf eine
einfache Herstellung der gleiche Widerstandssensor-Typ verwendet
wird (Sensoren, deren Dünnfilm
aus dem gleichen Material und mittels des gleichen Prozesses hergestellt
wird), können
irgendwelche Halbleitertemperatursensoren, die aus dem gleichen
Material mittels des gleichen Prozesses als Thermistor, als Diode,
als Transistor und dergleichen gebildet sind, ebenfalls verwendet
werden.
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Da
die Temperaturen des Ansaugrohrs 10 und des Gehäuseteils 12,
die in 3 gezeigt sind, aufgrund der Wärme vom Verbrennungsmotor etwa eines
Kraftfahrzeugs ansteigen, besteht die Gefahr, daß die Wärme an das Meßelement 1 übertragen wird,
so daß ein
Meßfehler
hervorgerufen wird, d. h., daß die
Temperaturkennlinie verfälscht
wird. Der obere Teil von 9 zeigt die Temperaturverteilungen
am Meßelement 1,
am Gehäuseteil 12 und
an der externen Schaltung 13, wenn die Temperatur des Gehäuseteils 12,
das das Meßelement 1 unterstützt, ansteigt.
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Wie
aus 9 weiterhin hervorgeht, wird die vom Verbrennungsmotor
abgegebene Wärme
vom Gehäuseteil 12 an
die externe Schaltung 13 und an die Anschlußelektrode 8 des
Meßelements 1,
an den ersten Temperatursensor 5, an den Heizwiderstand 3,
an den Temperaturkompensationswiderstand 4a, an den zweiten
Temperatursensor 4b und dergleichen übertragen. Daher wird Wärme unerwünscht an die
Konfigurationselemente des Luftmassenmessers wie etwa an den Heizwiderstand 3 und
an den Temperaturkompensationswiderstand 4b übertragen, was
auf die Meßgenauigkeit
der Luftmasse eine nachteilige Auswirkung hat.
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Weiterhin
kann die Wärme
von der externen Schaltung 13 selbst auf die Meßgenauigkeit
der Luftmasse eine nachteilige Wirkung haben. Um die Luftmassen-Substrattemperatur-Kennlinie, die für die obenerwähnte nachteilige
Wirkung von Bedeutung ist, zu verbessern, erfolgt die Korrektur
der Substrattemperatur in bezug auf die Luftmasse unter Verwendung
des Meßelements 1,
in dem der erste Temperatursensor 5 zwischen den Heizwiderstand 3 und
der Anschlußelektrode 8 ausgebildet
ist. Der erste Temperatursensor 5 ist zwischen dem Heizwiderstand 3 und
der Anschlußelektrode 8 oder
am Unterstützungsabschnitt 2a des
Substrats oder in der Umgebung des Heizwiderstandes 3 (oder
in einem Meßelement
mit anderer Konfiguration: in der Umgebung des Temperaturkompensationswiderstandes 4a)
gebildet. Die Luftmasse wird unter Verwendung der erfaßten Temperatur
vom ersten Temperatursensor 5 und unter Verwendung der
Luftmassen-Substrattemperatur-Kennlinie korrigiert.
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Mit
anderen Worten, der Substrattemperatursensor oder der erste Temperatursensor
zur Erfassung der typischen Temperatur (z. B. der Substrattemperatur,
der Temperatur des Substratabschnitts usw.) wird
- (1)
am Unterstützungsabschnitt 2a (dem
Abschnitt des Meßelements,
an dem es an einem weiteren Konfigurationselement befestigt ist)
oder
- (2) an einem Abschnitt zwischen dem Unterstützungsabschnitt 2a und
dem Heizwiderstand oder
- (3) in der Umgebung des Heizwiderstandes 3
ausgebildet,
da in diesem Abschnitt oder an dieser Position die typische Temperatur
oder der die Wärmezufuhr
von einem weiteren Konfigurationselement an den Heizwiderstand angebende
Faktor erfaßt werden
können,
wenn das Meßelement
an diesem Konfigurationselement befestigt ist.
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Außer dem
Heizwiderstand sind als Element zur Messung der Luftmasse, auf die
sich eine unerwünschte
Wärmeübertragung
nachteilig auswirkt, der Temperaturkompensationswiderstand und ein Temperaturerfassungswiderstand,
der später
beschrieben wird, vorhanden. Daher kann der Heizwiderstand durch
den Temperaturkompensationswiderstand oder durch den Temperaturerfassungswiderstand
ersetzt sein.
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10A zeigt eine Luftmassen-Unterstützungsabschnittemperatur-Kennlinie
des Luftmassenmessers 24. Auf der Abszisse ist die Luftmasse
(Q) aufgetragen, während
auf der Ordinate der Meßfehler
(ΔQ/Q) aufgetragen
ist, wobei der Referenzwert bei der Standard-Substrattemperatur
von 25 °C
gesetzt ist. Im Stand der Technik, in dem keine Kompensation der
Substrattemperatur erfolgt, kann bei geringer Luftmasse ein Fehler
von ungefähr
10 % auftreten, wenn die Substrattemperatur (Tw) 80 °C beträgt. In der
Erfindung kann die Substrattemperatur (Tw) bei Verwendung des Meßelements 1,
in dem der erste Temperatursensor 5 zwischen dem Heizwiderstand 3 und
der Anschlußelektrode 8 ausgebildet ist,
kompensiert werden. Da ferner die Luftmasse (Q), die vom Heizwiderstand 3 gemessen
wird, als Signal in die Steuerschaltung 13b eingegeben
wird, kann die Luftmasse in bezug auf die Substrattemperatur (oder
die Unterstützungsabschnittemperatur) durch
Auslesen von Kompensationsdaten für die Luftmassen-Substrattemperatur-Kennlinie,
die im Speicher 13c im voraus gespeichert worden sind, und
durch Verarbeiten der Kompensationsdaten durch die CPU der Steuerschaltung
kompensiert werden.
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Durch
Ausführen
der Substrattemperatur-Kompensation gemäß der Erfindung ist es möglich, den
Fehler der Luftmasse zu beseitigen, d. h. eine Anpassung an die
Standard-Substrattemperatur von
25 °C vorzunehmen.
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Die
Luftmassen-Substrattemperatur-Kennlinie, die jedem einzelnen Luftmassenmesser
eigentümlich
ist, kann im voraus gespeichert werden, ferner kann die Luftmasse
in bezug auf die Substrattemperatur kompensiert werden. Hierbei
können
die gemessene Luftmasse (Q), die Substrattemperatur (Tw) und die
Kompensationswerte in einem Kennfeld oder als Fehlerapproximationsfunktion
im voraus gespeichert werden. Die Kompensation der Lufttemperatur
(oder der Ansauglufttemperatur) wird nun erläutert. Im zuvor beschriebenen
Stand der Technik wird die Änderung
der Ansauglufttemperatur lediglich durch eine Brückenschaltung kompensiert,
die aus einem Temperaturkompensationswiderstand 4a und einem
Heizwiderstand 20 konstruiert ist. Im Stand der Technik
werden temperaturbedingte Änderungen
der physikalischen Eigenschaften der Luft, d. h. der Dichte, der
dynamischen Viskosität
und der Wärmeleitfähigkeit
nicht betrachtet. Daher kann keine geeignete Luftmassen-Lufttemperatur-Kennlinie
erhalten werden.
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Die
durchgezogene Linie in 10B stellt eine
Luftmassen-Ansauglufttemperatur-Kennlinie im Stand der Technik dar,
in dem keine Lufttemperaturkompensation erfolgt. Wie oben angegeben
worden ist, ist auf der Abszisse die Luftmasse (Q) aufgetragen,
während
auf der Ordinate der Meßfehler
(ΔQ/Q) aufgetragen
ist, bei dem der Referenzwert für
eine Substrattemperatur von 25 °C
gesetzt ist.
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Bei
einer niedrigen Lufttemperatur (Ta) von beispielsweise –30 °C tritt im
Bereich geringer Luftmasse ein negativer Fehler auf, während im
Bereich hoher Luftmasse ein positiver Fehler auftritt; bei hoher
Temperatur (z. B. 80 °C)
zeigt der Luftmassenfehler ein umgekehrtes Verhalten. Da andererseits
die Lufttemperatur (Ta) durch den zweiten Temperatursensor gemessen
werden kann und die Luftmasse (Q), die durch den Heizwiderstand 3 gemessen
wird, erfindungsgemäß in die
Steuerschaltung 13b eingegeben wird, kann die Luftmasse
in bezug auf die Substrattemperatur (oder die Unterstützungsabschnitt-Temperatur)
kompensiert werden, indem die Kompensationsdaten für die Luftmassen-Substrattemperatur-Kennlinie
nach 10A, die im Speicher 13c im
voraus gespeichert worden sind, ausgelesen werden und durch die
CPU der Steuerschaltung verarbeitet werden.
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Durch
Anwenden der Substrattemperaturkompensation gemäß der Erfindung kann der Fehler der
Luftmasse beseitigt werden, d. h. an die Standard-Substrattemperatur
von 25 °C
angepaßt
werden. Die Luftmassen-Substrattemperatur-Kennlinie, die jedem einzelnen Luftmassenmesser
eigentümlich ist,
kann im voraus gespeichert werden, so daß die Luftmasse in bezug auf
die Substrattemperatur kompensiert werden kann. Die gemessene Luftmasse (Q),
die Substrattemperatur (Tw) und die Kompensationswerte können in
einem Kennfeld oder als Fehlerapproximationsfunktion im voraus gespeichert werden.
Obwohl zur Messung der Lufttemperatur (Ta) in dieser Ausführung der
hierzu vorgesehene zweite Temperatursensor 4b verwendet
wird, kann die Lufttemperatur auch anhand der Änderung des Widerstandswertes
des Temperaturkompensationswiderstandes 4a in der CPU der
Steuerschaltung 13b und ohne Verwendung des zweiten Temperatursensors 4b gemessen
werden.
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Nun
wird ein Meßelement
gemäß einer
zweiten Ausführung
und ein damit ausgerüsteter
Luftmassenmesser gemäß einer
zweiten Ausführung
erläutert.
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11 ist
eine Draufsicht eines Meßelements
für einen
Luftmassenmesser gemäß einer zweiten
Ausführung
der Erfindung. 12 ist ein Schaltplan einer
Schaltung zum Messen einer Luftmasse, die in dem Luftmassenmesser
gemäß der zweiten
Ausführung
der Erfindung verwendet wird. Die Schaltung nach 12 ist
eine Operationsschaltung, die eine Brückenschaltung aus dem Heizwiderstand 20 und
dem Temperaturkompensationswiderstand 4a enthält. 13 ist
ein weiterer Schaltplan einer Schaltung zum Messen einer Luftmasse,
die in dem Luftmassenmesser gemäß der zweiten
Ausführung
der Erfindung verwendet wird. Die Schaltung von 13 ist
eine Ausgangsschaltung, die eine Brückenschaltung aus der Operationsschaltung 13a und den
Temperaturerfassungswiderständen 21a und 21b enthält, welche
stromaufseitig bzw. stromabseitig vom Heizwiderstand 20 angeordnet
sind.
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Der
Unterschied zwischen dem Meßelement gemäß der ersten
Ausführung
und dem Meßelement gemäß der zweiten
Ausführung
ist der folgende: In der ersten Ausführung wird ein direkt beheiztes
Meßelement
verwendet, indem ein Heizstrom, der in den Heizwiderstand 3 fließt, als
das die Luftmasse angebende Signal verwendet. In der zweiten Ausführung werden
hingegen die Luftmasse und die Richtung der Luftströmung anhand
der Temperaturdifferenz zwischen den Temperaturerfassungswiderständen 21a und 21b bestimmt,
welche stromaufseitig bzw. stromabseitig vom Heizwiderstand 20 angeordnet
sind. Daher handelt es sich hierbei um den gleichen Typ wie im Stand
der Technik, der in 16 dargestellt ist.
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Nun
wird die Funktionsweise des Luftmassenmessers gemäß der zweiten
Ausführung
der Erfindung beschrieben. Die Luftmasse wird folgendermaßen gemessen:
In der in 12 gezeigten Brückenschaltung
wird die Temperatur des Heizwiderstandes 20 in der Weise
gesetzt, daß sie
um einen vorgegebenen Wert höher
als die Temperatur des Temperaturkompensationswiderstandes 4a wird.
Die elektri sche Potentialdifferenz zwischen einem Punkt F und einem
Punkt G der Brückenschaltung,
die die Temperaturerfassungswiderstände 21a und 21b enthält, welche
stromaufseitig bzw. stromabseitig vom Heizwiderstand 20 angeordnet
sind, wird durch einen Differenzverstärker 16a verstärkt. Die
Richtung der Luftströmung
(die dem Vorzeichen einer Spannung an einem Punkt H entspricht)
und das Luftmassensignal (das dem Absolutwert der Spannung am Punkt H
entspricht) werden an die Steuerschaltung 13b ausgegeben.
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Da
der erste Temperatursensor 5 und der zweite Temperatursensor 4b auf
dem Meßelement 1 in
der gleichen Weise wie in der ersten Ausführung ausgebildet sind und
da die Substrattemperatur (Tw) und die Lufttemperatur (Ta) in die
Steuerschaltung 13b eingegeben werden, kann die Luftmasse
in bezug auf die Substrattemperatur und die Lufttemperatur kompensiert
werden, indem die Kompensationsdaten für die Luftmassen-Substrattemperatur-Kennlinie
und für
die Luftmassen-Lufttemperatur-Kennlinie, die im voraus im Speicher 13c gespeichert
worden sind, ausgelesen und durch die CPU der Steuerschaltung verarbeitet
werden.
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Die
Temperatur der Ansaugluft (die Lufttemperatur) und die Temperatur
des Unterstützungsabschnitts
(die Substrattemperatur) werden von den entsprechenden Sensoren
als Lufttemperatur (Ta) bzw. als Substrattemperatur (Tw) in die
Steuerschaltung 13b eingegeben.
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Nun
werden ein Meßelement
gemäß einer dritten
Ausführung
der Erfindung und ein damit ausgerüsteter Luftmassenmesser gemäß einer
dritten Ausführung
der Erfindung erläutert.
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14 ist
eine Draufsicht eines Meßelements
für den
Luftmassenmesser gemäß der dritten Ausführung der
Erfin dung. 15 ist ein Schaltplan einer
Schaltung zum Messen der Luftmasse, die in dem Luftmassenmesser
gemäß der dritten
Ausführung
der Erfindung verwendet wird. Die Schaltung umfaßt eine Operationsschaltung,
die einen Heizwiderstand 20, den Temperaturkompensationswiderstand 4a und
einen Temperaturerfassungswiderstand 21a enthält.
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Während in
der ersten Ausführung
ein direkt geheiztes Meßelement
verwendet wird, wird in der dritten Ausführung ein indirekt geheiztes
Meßelement
verwendet, bei dem die Temperatur des Heizwiderstandes 20 durch
den in der Nähe
des Heizwiderstandes 20 angeordneten Temperaturerfassungswiderstand 21a erfaßt wird.
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Da
der erste Temperatursensor 5 und der zweite Temperatursensor 4b am
Meßelement 1 in
der gleichen Weise wie in der ersten Ausführung ausgebildet sind und
da die Substrattemperatur (Tw) und die Lufttemperatur (Ta) in die
Steuerschaltung 13b eingegeben werden, kann die Luftmasse
in bezug auf die Substrattemperatur und in bezug auf die Lufttemperatur
kompensiert werden, indem die Kompensationsdaten für die Luftmassen-Substrattemperatur-Kennlinie
und für
die Luftmassen-Lufttemperatur-Kennlinie,
die im Speicher 13c gespeichert sind, ausgelesen und durch
die CPU der Steuerschaltung verarbeitet werden, wie dies auch in
der vorangehenden Ausführung
der Fall ist.
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Oben
sind drei Ausführungen
der Erfindung erläutert
worden. Auch in einem Fall, in dem ein Luftmassen-Erfassungssystem
anderen Typs verwendet wird, in dem der erste Temperatursensor 5 und
der zweite Temperatursensor 4b auf dem Meßelement 1 ausgebildet
sind, kann die Luftmasse folgendermaßen kompensiert werden:
Die
Substrattemperatur (Tw) vom ersten Temperatursensor 5,
der zwischen dem Heizwiderstand 3 und der Anschlußelektrode 8 ausgebildet
ist, und die Lufttemperatur (Ta) vom zweiten Temperatursensor 4b (oder
dem Temperaturerfassungswiderstand 4a) werden in die Steuerschaltung 13b eingegeben.
Die von der Luftmassen-Substrattemperatur-Kennlinie und von der Luftmassen-Lufttemperatur-Kennlinie
erhaltenen Kompensationsdaten sind im Speicher 13c im voraus gespeichert
worden. Diese Daten werden ausgelesen und in der CPU der Steuerschaltung 13b wie
in den vorangehenden Ausführungen
verarbeitet.
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Nun
wird mit Bezug auf die 1 und 2 ein konkretes
Beispiel der Herstellung eines Meßelements für einen Luftmassenmesser erläutert. Als
Isolierfilm 7a werden mittels eines CVD-Verfahrens auf dem
aus einem Siliciumhalbleiter bestehenden Substrat 2 Siliciumoxid
(SiO2), Siliciumnitrid (SiN) oder dergleichen
mit einer Dicke von 5 μm
ausgebildet. Dann werden auf diesem Substrat 2 mittels
eines Katodenzerstäubungsverfahrens
der Heizwiderstand 3, der Temperaturerfassungswiderstand 4a,
der zweite Temperatursensor 4b und der erste Temperatursensor 5 aus
Platin mit einer Dicke von 0,2 μm
ausgebildet. Anschließend
wird mittels einer herkömmlichen photolithographischen Ätztechnik
ein Photoresistlack mit einer vorgegebenen Form ausgebildet. Danach wird
durch ein Ionenfräsverfahren
(iron-milling method) Platin in einem bestimmten Muster aufgebracht.
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Nachdem
die Anschlußelektrode 8 durch
ein Goldplattierungsverfahren ausgebildet worden ist, wird auf den
Abschnitten neben der Anschlußelektrode 8 ein
Isolierfilm 7b mit einer Dicke von 0,5 μm als Schutzfilm ausgebildet.
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Schließlich wird
der Luftraum 6 beginnend bei der hinteren Fläche des
Siliciumsubstrats 2 durch eine Maske aus Siliciumoxid (SiO2) hindurch durch anisotropes Ätzen ausgebildet,
woraufhin das fertige Meßelement 1 durch
Zerschneiden in Chips erhalten wird.
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Obwohl
die Erfindung mit Bezug auf erläuternde
Ausführungen
beschrieben worden ist, stellt diese Beschreibung keinerlei Beschränkung dar. Dem
Fachmann werden bei Bezugnahme auf diese Beschreibung viele verschiedene
Abwandlungen und Kombinationen der erläuternden Ausführungen
sowie weitere Ausführungen
deutlich. Es ist daher beabsichtigt, daß die beigefügten Ansprüche alle
derartigen Abwandlungen oder Ausführungen umfassen.