WO2008011879A1 - Vorrichtung und verfahren für eine sondenmikroskopische untersuchung einer probe - Google Patents

Vorrichtung und verfahren für eine sondenmikroskopische untersuchung einer probe Download PDF

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WO2008011879A1
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sample
partial
probe
displacement unit
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PCT/DE2007/001342
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Michael Haggerty
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Jpk Instruments Ag
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
    • G01Q10/00—Scanning or positioning arrangements, i.e. arrangements for actively controlling the movement or position of the probe
    • G01Q10/04—Fine scanning or positioning
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
    • G01Q10/00—Scanning or positioning arrangements, i.e. arrangements for actively controlling the movement or position of the probe
    • G01Q10/04—Fine scanning or positioning
    • G01Q10/06—Circuits or algorithms therefor

Definitions

  • the invention relates to an apparatus and a method for a probe microscopic examination of a sample, in particular a scanning probe microscopic examination.
  • Probe microscopic examinations of a measurement sample generally relate to techniques for measuring or analyzing a sample to be examined with the aid of a measuring probe configured for the respective measurement purpose, which interacts with the sample to be examined in accordance with the particular technique used. This may involve one or more types of interactions, including, for example, electromagnetic, chemical or biological interactions.
  • probe microscopy the interaction between the probe and the sample, in particular with its surface, is examined as a function of the distance between the probe and the sample.
  • One embodiment of such an investigation is the so-called force-distance measurement, in which a force-distance curve is determined.
  • Scanning Probe Microscopy is a measurement and analysis clinic in which a probe is scanned over a sample of a test medium to be examined, and a sample topography is determined by a distance-dependent interaction between the probe and the sample.
  • AFM Atomic Force Microscope
  • STM Scanning Tunneling Microscope
  • SNOM Scanning Near Field Microscope
  • SPhM Scanning Photon Microscope
  • the probe In distance spectroscopy, the probe is displaced relative to the surface of the sample, for example, in a direction vertical to the sample surface, and the interaction between probe and sample is measured to measure the distance-dependent interaction between probe and sample.
  • the sample can also be moved. It may also be provided a relative movement between the probe and sample, in which both the probe and the sample are moved.
  • the displacement of measuring probe and sample is carried out with the aid of one or more displacement devices, which are known as such in various embodiments, for example as so-called piezo-adjusting elements with which a high-precision positioning can be achieved.
  • this distance spectroscopy is used to measure the interaction between probe and sample, for example, to measure forces between molecules by binding a molecule to the probe and a molecule assigned for measurement or analysis to the sample.
  • a known representation relates, for example, to an indication of a drive signal for the deflection of a displacement device used in the measurement on the x-axis or the recording of a deflection of a measuring probe, for example a cantilever, on the y-axis in scanning probe microscopy.
  • this representation is faulty, since a displacement of an element, such as the probe or the sample, for technical reasons, always with a delay to the displacement initiating the desired signal occurs. The probe signal at a certain true displacement of the displacement device is thus indicated for another assumed displacement.
  • the displacement can also be measured, and this signal is displayed on the x-axis.
  • this signal is displayed on the x-axis.
  • such a measurement also has a certain delay, which certainly does not coincide with the delay of the measurement of the measuring probe signal which is likewise present.
  • Such a delay is further enhanced in the case of the use of piezo-actuator elements for the displacement device in that the piezo-actuator elements often exhibit a nonlinear behavior, which means that the deflection, which can also be referred to as displacement stroke, is not proportional to the drive signal, which is, for example, a voltage drive signal.
  • measures have been proposed. This includes, for example, the use of a control which measures the deflection of the controlled displacement device and then via a control mechanism or a control loop, the voltage for the driven Displacement device nachregelt so that by means of this movement takes place linearly to the drive signal. In this case, however, a delay caused by the control loop additionally enters into an occurring overall delay.
  • the object of the invention is to provide a device and a method for a probe microscopic examination of a sample, in particular a scanning probe microscopic examination, with improved techniques for a relative displacement between the probe and the sample to be examined.
  • an apparatus for a probe microscopic examination of a sample in particular a scanning probe microscopic examination, with a measuring probe and a displacement device is provided to bring the measuring probe from a starting position into an end position by means of a relative movement between the measuring probe and a sample receiver.
  • the measuring probe is in a measuring position at least in the end position relative to a sample arranged in the sample receiver
  • the displacement device comprising a displacement unit configured to perform a partial displacement of the measuring probe relative to the sample receiver during the relative movement and a further displacement unit is configured to perform a further partial displacement of the probe relative to the sample receptacle during the relative movement
  • the displacement unit and the further displacement unit are coupled to a control device, which is configured to provide a setpoint deviation for the partial displacement processing a control signal for the execution of the further partial displacement by means of the further displacement unit.
  • the provision of at least two displacement units, which are each configured to carry out a partial displacement of the measuring probe and / or the sample holder during the relative movement between measuring probe and sample holder, makes it possible to carry out different aspects of the measuring process in an adapted manner, as required by the displacement units be included in the process of relative displacement of probe and sample holder.
  • the partial displacements can be executed and controlled independently of each other. In this case, either the partial displacement by means of the displacement unit or the further partial displacement by means of the further displacement unit can be carried out first.
  • the partial displacements may be at least partially similar or completely different with respect to motion parameters that characterize the partial displacements. It may also be provided to include other displacement units that are configured for an associated other partial displacement.
  • the movement parameters characterizing the partial displacements are, for example, displacement speed, displacement direction, displacement stroke or displacement or acceleration during the displacement movement. Furthermore, additional partial displacements may be provided which are carried out during the relative movement by means of the displacement unit and / or the further displacement unit.
  • the displacement units can be controlled separately or jointly.
  • the setpoint deviation taken into account by the control device is, in particular, a deviation of the relative position between the measuring probe and the sample receiver for a desired measuring position of the measuring probe relative to the sample in the sample receiver.
  • a control signal which takes into account the setpoint deviation can then be derived for the further partial displacement.
  • the partial displacement corrects any error that may have occurred during the partial displacement.
  • an electronically evaluable information about the setpoint deviation for example in digital form, may be present in an electronic memory even before the partial displacement with the displacement unit, if, for example, a substantially fixed error during displacement is known or assumed for the displacement unit. Such information may be derived, for example, from a known transfer function of the relocation unit.
  • the setpoint deviation is determined or corrected in an individual case after displacement or during the displacement with the displacement unit, optionally with the use of a suitable measuring device, which in turn is coupled to the control device or even at least partially covered by the latter ,
  • the control signal is then generated in dependence on the information about the setpoint deviation, for example, proportionally or inversely proportional thereto.
  • a preferred development of the invention provides that the displacement unit is configured to execute the partial displacement with a displacement speed, and the further displacement unit is configured to carry out the further partial displacement with a further displacement speed, which is different from the displacement speed.
  • the displacement speeds can be selected. In this case, for example, it can be taken into account which structural design the displacement units have, for example with regard to a respective resonance frequency. But also a necessary for the respective partial displacement displacement can be considered when selecting and setting the respective displacement speed. In this way, in particular a compromise between responsiveness and deflection in connection with the partial displacements is possible. For example, a smaller displacement stroke may be performed at a greater displacement speed.
  • control device is implemented implementing a control mechanism for the partial displacement by means of the displacement unit.
  • the control mechanism is implemented, for example, by means of a control loop or a control loop, as they are known as such in various embodiments.
  • a development of the invention provides that the control device is implemented implementing another control mechanism for the further partial displacement by means of the further displacement unit.
  • the further control mechanism can preferably be implemented by means of a control loop or a control loop. If both the regulating mechanism and the further regulating mechanism are implemented by means of the control device, there is a multiple regulation, in particular a double regulation. It can be analog or digital control technology or a combination thereof, as they are known as such in various embodiments.
  • the displacement unit is configured to displace at least the measuring probe or at least the sample receiver during the relative movement.
  • the relative movement between the probe and the sample receiver is carried out by moving only one of the two components or both.
  • the movement of the measuring probe and of the sample holder can each be carried out by means of the displacement unit or the further displacement unit.
  • a development of the invention can provide that a displacement stroke that can be executed by the displacement unit is greater than a displacement stroke that can be carried out by the further displacement unit.
  • a preferred development of the invention provides that the displacement unit and the further displacement unit are configured to carry out the relative movement in a direction of movement common to the partial displacement and the further partial displacement.
  • the common direction of movement may in this case extend substantially parallel or perpendicular to a surface portion of the sample to be examined. But also a displacement along a common direction of movement obliquely to the surface of the sample can be provided. Also, in one embodiment, the partial displacement in a direction of movement, which is substantially perpendicular to a direction of movement of the further partial displacement.
  • a development of the invention provides that the control device is configured to detect the setpoint deviation.
  • the control device can be an electronic receive evaluable information about the setpoint deviation and determine themselves, for example by means of a suitable measuring device.
  • suitable sensors use one or more sensors selected from the following group of sensors: capacitive sensor, inductive sensor, optical sensor, and strain gauges.
  • At least the displacement unit or at least the further displacement unit is formed with one or more piezoelectric elements.
  • the measuring probe is configured to detect measured values for a distance-spectroscopic examination of the sample.
  • the apparatus for a probe microscopic examination of a sample can be used in its various embodiments in a microscope device selected from the following group of microscope devices: scanning probe microscope, atomic force microscope, scanning tunneling microscope, near-field microscope and scanning photon microscope.
  • the method in its various embodiments may be used for microscopic examination of a sample according to a microscopy technique selected from the following group of microscopy techniques: scanning probe microscopy, atomic force microscopy, scanning tunneling microscopy, scanning near-field microscopy and scanning photon microscopy.
  • FIG. 1 shows a schematic representation of an arrangement with two displacement units, to which a measuring probe is coupled
  • FIG. 2 shows a schematic representation of a further arrangement with two displacement units, to which a measuring probe is coupled
  • Fig. 3 is a schematic illustration for explaining an operation of two displacement units with a measuring probe coupled thereto.
  • FIG. 1 shows a schematic representation of an arrangement in which a displacement device with a displacement unit 10 and a further displacement unit 12 is fastened to a frame 20 which displays a measuring apparatus of a probe microscope.
  • the further displacement unit 12 holds via a measuring probe receptacle 5 a measuring probe 6 in the form of a cantilever chip, which consists of a measuring beam 1, a tip 2 and a chip base 3.
  • a measuring probe 6 in the form of a cantilever chip, which consists of a measuring beam 1, a tip 2 and a chip base 3.
  • the sample 30 is arranged in a sample receptacle, not shown in FIG. 1, which serves to receive the sample 30 for the probe microscopic examination, so that the relative movement between the measuring probe 6 and the sample 30 is likewise a relative movement between the measuring probe 6 and the sample receptacle.
  • a partial displacement carried out by the displacement unit 10 is carried out with a smaller displacement speed than is the case for a further partial displacement, which is executable with the further displacement unit 12.
  • a reverse ratio of the displacement speeds for the two displacement units 10, 12 may be provided.
  • a displacement stroke 11 can be executed with the displacement unit 10
  • the further displacement unit 12 can execute a displacement stroke 13.
  • the two displacement strokes 11, 13, which can also be referred to as the respective deflection of the displacement units 10, 12, add up to a total stroke 15. In this way, a distance of the tip 2 to the sample 30 can be shortened from a starting position 16 to an end position 17 become.
  • the sample 30 is also coupled to the frame 20 via a sample receptacle (not shown) in the illustrated embodiments in FIG. 1.
  • Fig. 2 shows schematically a further arrangement of two displacement units, to which a measuring probe is coupled.
  • the same reference numerals as in Fig. 1 are used in Fig. 2.
  • the sample 30 is arranged on the further displacement unit 12.
  • the relative movement between measuring probe 6 and sample 30 is in this embodiment by means of a partial displacement of the measuring probe 6, which is caused by the displacement unit 10, and another Partial displacement of the sample 30 executable, which is caused by the further displacement unit 12.
  • a measuring step within the scope of a probe microscopic examination with the aid of the measuring probe 6 can be carried out by either only a partial displacement by means of the displacement unit 10 or only a partial displacement by means of the further displacement unit 12.
  • FIG. 3 shows a schematic illustration for explaining the operation of the displacement units 10, 12 in the arrangements in FIGS. 1 and 2. To simplify the illustration, only the two are of the arrangements of FIGS. 1 and 2 in FIG. 3 Displacement units 10, 12 shown schematically.
  • the two displacement units 10, 12 forming a displacement device are each equipped with a measuring sensor 40, 42, which is configured to measure a respective deflection for the displacement units 10, 12.
  • the measuring sensors 40, 42 may each be designed as displacement measuring sensors. But also the design as capacitive displacement sensors, strain gauges or optical displacement sensors or a combination thereof may be provided.
  • a first control loop compares a desired value signal 50 with a deflection 51 of the displacement unit 10 measured by the measuring sensor 40, for example by forming a difference 52.
  • a signal 53 derived therefrom is usually referred to as an error signal or a reference deviation.
  • the derived signal 53 is then applied to a controller 54 whose output signal 55 is supplied to a drive of the displacement unit 10. If necessary, provided amplifiers and filter devices are omitted in Fig. 3 for the sake of simplicity, but may be provided depending on the application to amplify the electronic signals or to filter.
  • the derived signal 53 is further used as a reference signal for a second control loop.
  • the derived signal 53 is first supplied to a matching circuit 60, which serves to perform a scaling.
  • the derived signal 53 which is originally embossed by the characteristics of the displacement unit 10, is suitably converted for the further displacement unit 12.
  • the displacement stroke that can be carried out with the aid of the displacement unit 10 can be significantly reduced.
  • a conversion for use in conjunction with the further displacement unit 12 takes place, for example with the aid of normalization, in order to produce a relative size.
  • An output signal 70 of the adaptation circuit 60 now represents an actual setpoint signal for the further control loop.
  • a comparison of the setpoint signal with a measurement signal 71 obtained by the measurement sensor 42 is then carried out, for example by means of a difference formation 72.
  • a signal 73 obtained therefrom is sent to a controller 74 supplied, the output 75 is forwarded to a drive of the further displacement unit 12.
  • the resulting signal 73 of the controller 74 now forms a final control deviation from the setpoint signal 50 for the deflection.
  • the relative bearing of measuring probe 6 and sample 30 is carried out in two stages, by first carrying out a partial displacement by means of the displacement unit 10, then detecting a setpoint deviation for this partial displacement and then a further partial displacement is carried out by means of the further displacement unit 12, wherein the further partial displacement is carried out taking into account the setpoint deviation detected for the preceding partial displacement.

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung für eine sondenmikroskopische Untersuchung einer Probe (30), insbesondere eine rastersondenmikroskopische Untersuchung, mit einer Messsonde (6) und einer Verlagerungseinrichtung (10, 12), die konfiguriert ist, mittels einer Relativbewegung zwischen der Messsonde (6) und einer Probeaufnahme die Messsonde (6) aus einer Ausgangsstellung in eine Endstellung zu bringen, wobei die Messsonde (6) wenigstens in der Endstellung relativ zu einer in der Probenaufhahme angeordneten Probe (3) in einer Messstellung ist, wobei die Verlagerungsvorrichtung (10, 12) eine Verlagerungseinheit (10), die konfiguriert ist, bei der Relativbewegung eine Teilverlagerung der Messsonde (6) relativ zu der Probenaufhahme auszufuhren, und eine weitere Verlagerungseinheit (12) umfasst, die konfiguriert ist, bei der Relativbewegung eine weitere Teilverlagerung der Messsonde (6) relativ zu der Probenaufnahme auszufuhren, und wobei die Verlagerungseinheit (10) und die weitere Verlagerungseinheit (12) an eine Steuereinrichtung gekoppelt sind, die konfiguriert ist, eine Sollwertabweichung für die Teilverlagerung verarbeitend ein Steuersignal für die Ausführung der weiteren Teilverlagerung mittels der weiteren Verlagerungseinheit (12) bereitzustellen.

Description

Vorrichtung und Verfahren für eine sondenmikroskopische Untersuchung einer Probe
Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung und ein Verfahren für eine sondenmikroskopische Untersuchung einer Probe, insbesondere eine rastersondenmikroskopische Untersuchung.
Hintergrund der Erfindung
Sondenmikroskopische Untersuchungen einer Messprobe betreffen allgemein Techniken zum Messen oder Analysieren einer zu untersuchenden Probe mit Hilfe einer für den jeweiligen Messzweck konfigurierten Messsonde, welche der jeweils genutzten Technik entsprechend mit der zu untersuchenden Probe in Wechselwirkung tritt. Hierbei können eine oder mehrere Arten von Wechselwirkungen auftreten, wozu zum Beispiel elektromagnetische, chemische oder biologischen Wechselwirkungen gehören. Beispielsweise wird bei einer Sondenmikroskopie die Wechselwirkung zwischen Messsonde und Probe, insbesondere mit deren Oberfläche, in Abhängigkeit vom Abstand zwischen der Messsonde und der Probe untersucht. Eine Ausführung einer solchen Untersuchung ist die sogenannte Kraft-Abstands-Messung, bei der eine Kraft- Abstands-Kurve ermittelt wird.
Die Rastersondenmikroskopie (SPM - „Scanning Probe Microscopy") ist eine Mess- und A- nalyseteclinik, bei der eine Messsonde über eine Probe eines zu untersuchenden Messmediums gerastert wird und bei der über eine abstandsabhängige Wechselwirkung zwischen der Messsonde und der Probe eine Topographie der Probe ermittelt wird. Es können aber auch Materialkonstanten oder andere Probeninformationen gewonnen werden. Die prominentesten Vertreter dieser Technik sind das Rasterkraftmikroskop (AFM - ,J.tomic Force Microscope") und das Rastertunnelmikroskop (STM - „Scanning Tunneling Microscope"). Weitere Vertreter dieser Technologie sind insbesondere das Rasternahfeldmikroskop (SNOM - „Scanning Near Field Microscope") und das Rasterphotonenmikroskop (SPhM - ,J$canning Photone Force Microscope").
Zum Messen der abstandsabhängigen Wechselwirkung zwischen Messsonde und Probe wird bei der Abstandsspektroskopie die Messsonde relativ zur Oberfläche der Probe verlagert, beispielsweise in einer zur Probenoberfläche vertikalen Richtung, und die Wechselwirkung zwischen Messsonde und Probe wird gemessen. Alternativ kann auch die Probe bewegt werden. Es kann auch eine Relativbewegung zwischen Messsonde und Probe vorgesehen sein, bei der sowohl die Messsonde als auch die Probe bewegt werden. Die Verlagerung von Messsonde und Probe wird mit Hilfe einer oder mehrerer Verlagerungseinrichtungen ausgeführt, die als solche in verschiedenen Ausführungsformen bekannt sind, zum Beispiel als sogenannte Pie- zostellelemente, mit denen eine hochpräzise Positionierbarkeit erreicht werden kann. Bei der Rastersondenmikroskopie wird diese Abstandsspektroskopie zum Messen der Wechselwirkung zwischen Messsonde und Probe beispielsweise dazu genutzt, Kräfte zwischen Molekülen zu messen, indem ein Molekül an die Messsonde bindet und ein für Mess- oder Analysezwecke zugeordnetes Molekül an die Probe.
Aus dem Stand der Technik ist bekannt, erfasste Messdaten zu digitalisieren und mittels einer Software in geeigneter Weise aufzubereiten, zum Beispiel für eine Darstellung auf einer Anzeigeinrichtung. Eine bekannte Darstellung betrifft beispielsweise eine Anzeige eines Ansteuersignals für die Auslenkung einer bei der Messung genutzten Verlagerungseinrichtung auf der x-Achse oder die Aufzeichnung einer Auslenkung einer zum Beispiel als Cantilever aus- geführten Messsonde auf der y- Achse bei der Rastersondenmikroskopie. Diese Darstellung ist jedoch fehlerbehaftet, da eine Verlagerung eines Elements, beispielsweise der Messsonde oder der Probe, aus technischen Gründen immer mit einer Verzögerung zum die Verlagerung initiierenden Sollsignal erfolgt. Das Messsondensignal bei einer gewissen wahren Auslenkung der Verlagerungseinrichtung wird somit für eine andere angenommene Auslenkung angezeigt.
Alternativ kann die Auslenkung auch gemessen werden, und dieses Signal wird auf der x- Achse dargestellt. Eine solche Messung hat jedoch auch eine gewisse Verzögerung, die mit der ebenfalls vorhandenen Verzögerung der Messung des Messsondensignals sicher nicht übereinstimmt.
Eine solche Verzögerung wird im Fall der Verwendung von Piezostellelementen für die Ver- lagerungseinrichtung noch dadurch verstärkt, dass die Piezostellelemente häufig ein nicht lineares Verhalten zeigen, was bedeutet, dass die Auslenkung, welche auch als Verlagerungshub bezeichnet werden kann, nicht proportional zum Ansteuersignal ist, bei dem es sich beispielsweise um ein Spannungsansteuersignal handelt. Um nun trotzdem eine lineare Bewegung auszuführen, zum Beispiel eine Verlagerung mit einer konstanten Geschwindigkeit, wurden Maßnahmen vorgeschlagen. Hierzu gehört zum Beispiel die Verwendung einer Regelung, welche die Auslenkung der angesteuerten Verlagerungseinrichtung misst und dann über einen Regelungsmechanismus oder eine Regelungsschleife die Spannung für die angesteuerte Verlagerungseinrichtung so nachregelt, dass mittels dieser eine Bewegung linear zum Ansteuersignal stattfindet. Hierbei geht jedoch eine durch den Regelkreis verursachte Verzögerung zusätzlich noch in einer auftretenden Gesamtverzögerung ein.
Zusammenfassung der Erfindung
Aufgabe der Erfindung ist es, eine Vorrichtung und ein Verfahren für eine sondenmikroskopische Untersuchung einer Probe, insbesondere eine rastersondenmikroskopische Untersuchung, mit verbesserten Techniken für eine relative Verlagerung zwischen Messsonde und zu untersuchender Probe zu schaffen.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch eine Vorrichtung für eine sondenmikroskopische Untersuchung einer Probe nach dem unabhängigen Anspruch 1 sowie ein Verfahren zum sondenmikroskopischen Untersuchen einer Probe nach dem unabhängigen Anspruch 11 gelöste. Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand von abhängigen Unteransprüchen.
Nach einem Aspekt der Erfindung ist eine Vorrichtung für eine sondenmikroskopische Unter- suchung einer Probe, insbesondere einer rastersondenmikroskopische Untersuchung, mit einer Messsonde und einer Verlagerungseinrichtung geschaffen, mittels einer Relativbewegung zwischen der Messsonde und einer Probenaufnahme die Messsonde aus einer Ausgangsstellung in eine Endstellung zu bringen, wobei die Messsonde wenigstens in der Endstellung relativ zu einer in der Probenaufnahme angeordneten Probe in einer Messstellung ist, wobei die Verlagerungsvorrichtung eine Verlagerungseinheit, die konfiguriert ist, bei der Relativbewegung eine Teilverlagerung der Messsonde relativ zu der Probenaufnahme auszuführen, und eine weitere Verlagerungseinheit umfasst, die konfiguriert ist, bei der Relativbewegung eine weitere Teilverlagerung der Messsonde relativ zu der Probenaufnahme auszuführen, und wobei die Verlagerungseinheit und die weitere Verlagerungseinheit an eine Steuereinrichtung gekoppelt sind, die konfiguriert ist, eine Sollwertabweichung für die Teilverlagerung verarbeitend ein Steuersignal für die Ausführung der weiteren Teilverlagerung mittels der weiteren Verlagerungseinheit bereitzustellen.
Nach einem weiteren Aspekt der Erfindung ist ein Verfahren zum sondenmikroskopischen
Untersuchen einer Probe, insbesondere zum rastersondenmikroskopischen Untersuchen, ge- schafften, bei dem mittels einer Relativbewegung zwischen einer Messsonde und einer Pro- benaufnahme die Messsonde aus einer Ausgangsstellung in eine Endstellung gebracht wird, wobei die Messsonde wenigstens in der Endstellung relativ zu einer in der Probenaufhahme angeordneten Probe in einer Messstellung ist, wobei bei der Relativbewegung mit einer von einer Verlagerungsvorrichtung umfassten Verlagerungseinheit eine Teilverlagerung der Messsonde relativ zu der Probenaufnahme und mit einer von der Verlagerungsvorrichtung umfassten weiteren Verlagerungseinheit eine weitere Teilverlagerung der Messsonde relativ zu der Probenaufnahme ausgeführt werden und wobei von einer an die Verlagerungseinheit und die weitere Verlagerungseinheit gekoppelten Steuereinrichtung unter Berücksichtigung einer Sollwertabweichung für die Teilverlagerung ein Steuersignal für die Ausführung der weiteren Teilverlagerung mittels der weiteren Verlagerungseinheit bereitgestellt wird.
Das Vorsehen von wenigstens zwei Verlagerungseinheiten, die jeweils konfiguriert sind, bei der Relativbewegung zwischen Messsonde und Probenaufnahme eine Teilverlagerung der Messsonde und / oder der Probenaufnahme auszuführen, ermöglicht es, unterschiedliche Aspekte des Messprozesses in angepasster Art und Weise durchzuführen, indem die Verlage- rungseinheiten bedarfsweise in den Prozess der relativen Verlagerung von Messsonde und Probenaufnahme einbezogen werden. Es kann insbesondere vorgesehen sein, dass die Teilverlagerungen unabhängig von einander ausführbar und steuerbar sind. Hierbei kann entweder die Teilverlagerung mittels der Verlagerungseinlieit oder die weitere Teilverlagerung mittels der weiteren Verlagerungseinheit zuerst ausgeführt werden. Die Teilverlagerungen können hinsichtlich Bewegungsparametern, die die Teilverlagerungen charakterisieren, wenigstens teilweise gleichartig oder vollständig verschieden sein. Auch kann vorgesehen sein noch andere Verlagerungseinheiten, die für eine zugehörige andere Teilverlagerung konfiguriert sind, einzubeziehen. Die die Teilverlagerungen charakterisierende Bewegungsparameter sind beispielsweise Verlagerungsgeschwindigkeit, Verlagerungsrichtung, Verlagerungshub oder -weg oder Beschleunigung bei der Verlagerungsbewegung. Weiterhin können zusätzliche Teilverlagerungen vorgesehen sein, die bei der Relativbewegung mittels der Verlagerungseinheit und / oder der weiteren Verlagerungsemheit ausgeführt werden. Die Verlagerungseinheiten können getrennt voneinander oder gemeinsam angesteuert werden.
Bei der von der Steuereinrichtung berücksichtigten Sollwertabweichung handelt es sich insbe- sondere um eine Abweichung der Relativposition zwischen Messsonde und Probenaufnahme für eine gewünschte Messstellung der Messsonde relativ zur Probe in der Probenaufnahme. In Abhängigkeit von dem Wert für die Sollwertabweichung kann dann für die weitere Teilverlagerung ein Steuersignal abgeleitet werden, welches die Sollwertabweichung berücksichtigt. Auf diese Weise wird mit der Teilverlagerung ein bei der Teilverlagerung eventuell aufgetretener Fehler korrigiert. Hierbei kann eine elektronisch auswertbare Information über die Sollwertabweichung, zum Beispiel in digitaler Form, in einem elektronischen Speicher schon vor der Teilverlagerung mit der Verlagerungseinheit vorliegen, wenn beispielsweise für die Ver- lagerungseinheit ein im wesentlichen feststehender Fehler beim Verlagern bekannt ist oder angenommen wird. Eine solche Information kann zum Beispiel aus einer bekannten Übertragungsfunktion der Verlagerungseinheit abgeleitet werden. Es kann aber auch vorgesehen sein, dass die Sollwertabweichung im Einzelfall nach dem Verlagern oder während des Ver- lagerns mit der Verlagerungseinheit ermittelt oder korrigiert wird, wahlweise unter Einsatz einer geeigneten Messeinrichtung, die ihrerseits an die Steuereinrichtung gekoppelt oder sogar zumindest teilweise von dieser umfasst ist. Das Steuersignal wird dann in Abhängigkeit von der Information über die Sollwertabweichung erzeugt, beispielsweise proportional oder umgekehrt proportional hierzu.
Eine bevorzugte Weiterbildung der Erfindung sieht vor, dass die Verlagerungseinheit konfi- guriert ist, die Teilverlagerung mit einer Verlagerungsgeschwindigkeit auszuführen, und die weitere Verlagerungseinheit konfiguriert ist, die weitere Teilverlagerung mit einer weiteren Verlagerungsgeschwindigkeit auszuführen, die von der Verlagerungsgeschwindigkeit verschieden ist. In Abhängigkeit vom Anwendungsfall können die Verlagerungsgeschwindigkeiten gewählt werden. Hierbei kann beispielsweise berücksichtigt werden, welche konstruktive Ausgestaltung die Verlagerungseinheiten aufweisen, zum Beispiel hinsichtlich einer jeweiligen Resonanzfrequenz. Aber auch ein für die jeweilige Teilverlagerung notwendiger Verlagerungshub kann beim Auswählen und Einstellen der jeweiligen Verlagerungsgeschwindigkeit berücksichtigt werden. Auf diese Weise ist insbesondere ein Kompromiss zwischen Reaktionsfähigkeit und Auslenkung in Verbindung mit den Teilverlagerungen ermöglicht. Bei- spielsweise kann ein kleinerer Verlagerungshub mit einer größeren Verlagerungsgeschwin- digkeit ausgeführt werde.
Eine vorteilhafte Ausfuhrungsform der Erfindung sieht vor, dass die Steuereinrichtung einen Regelmechanismus für die Teilverlagerung mittels der Verlagerungseinheit implementierend ausgeführt ist. Der Regelmechanismus wird beispielsweise mittels eines Regelkreises oder einer Regelschleife implementiert, wie sie in verschiedenen Ausführungsformen als solche bekannt sind. Bevorzugt sieht eine Fortbildung der Erfindung vor, dass die Steuereinrichtung einen weiteren Regelmechanismus für die weitere Teilverlagerung mittels der weiteren Verlagerungseinheit implementierend ausgeführt ist. Auch der weitere Regelmechanismus kann bevorzugt mittels eines Regelkreises oder einer Regelschleife umgesetzt werden. Wenn sowohl der Regelme- chanismus als auch der weitere Regelmechanismus mittels der Steuereinrichtung implementiert sind, liegt eine Mehrfachregelung vor, insbesondere einer Doppelregelung. Es kann analoge oder digitale Regelungstechnik oder einer Kombination hiervon genutzt werden, wie sie als solche in verschiedenen Ausfuhrungsformen bekannt sind.
Bei einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung kann vorgesehen sein, dass die Verlage- rungseinheit konfiguriert ist, bei der Relativbewegung wenigstens die Messsonde oder wenigstens die Probenaufnahme zu verlagern. Die Relativbewegung zwischen Messsonde und Pro- benaufnahme wird ausgeführt, indem nur eines der beiden Bauteile oder beide bewegt werden. Hierbei kann vorgesehen sein, dass in die Verlagerungseinheit oder die weitere Verlagerungseinheit konfiguriert sind, die Messsonde oder die Probenaufnahme oder beide zu verla- gern. Auch kann in einer Ausgestaltung die Bewegung von Messsonde und von Probenaufnahme jeweils mittels der Verlagerungseinheit oder der weiteren Verlagerungseinheit ausgeführt werden.
Eine Weiterbildung der Erfindung kann vorsehen, dass ein von der Verlagerungseinheit ausführbarer Verlagerungshub größer als ein von der weiteren Verlagerungseinheit ausführbarer Verlagerungshub ist.
Eine bevorzugte Weiterbildung der Erfindung sieht vor, dass die Verlagerungseinheit und die weitere Verlagerungseinheit konfiguriert sind, die Relativbewegung in einer für die Teilverlagerung und die weitere Teilverlagerung gemeinsamen Bewegungsrichtung auszuführen. Die gemeinsame Bewegungsrichtung kann sich hierbei im wesentlichen parallel oder senkrecht zu einem Oberflächenabschnitt der zu untersuchenden Probe erstrecken. Aber auch eine Verlagerung entlang einer gemeinsamen Bewegungsrichtung schräg zu Oberfläche der Probe kann vorgesehen sein. Auch kann in einer Ausgestaltung die Teilverlagerung in einer Bewegungsrichtung erfolgen, die im wesentlichen senkrecht zu einer Bewegungsrichtung der weiteren Teilverlagerung ist.
Bevorzugt sieht eine Fortbildung der Erfindung vor, dass die Steuereinrichtung konfiguriert ist, die Sollwertabweichung zu erfassen. Hiefür kann die Steuereinrichtung eine elektronisch auswertbare Information über die Sollwertabweichung empfangen und selbst ermitteln, beispielsweise mittels einer geeigneten Messeinrichtung. Eine geeignete Sensorik verwendet zum Beispiel einen oder mehrere Sensoren ausgewählt aus der folgenden Gruppe von Sensoren: kapazitiver Sensor, induktiver Sensor, optischer Sensor und Dehnungsmessstreifen.
Bei einer zweckmäßigen Ausgestaltung der Erfindung kann vorgesehen sein, dass wenigstens die Verlagerungseinheit oder wenigstens die weitere Verlagerungseinheit mit einem oder mehreren Piezostellelementen gebildet ist.
Bei einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung kann vorgesehen sein, dass die Messsonde konfiguriert ist, Messwerte für eine abstandsspektroskopischen Untersuchung der Probe zu erfassen.
Für die vorteilhaften Ausgestaltungen des Verfahrens zum sondenmikroskopischen Untersuchen einer Probe gelten die Ausführungen im Zusammenhang mit zugehörigen Vorrichtungsausführungen gemachten Erläuterungen entsprechend.
Die Vorrichtung für eine sondenmikroskopische Untersuchung einer Probe kann in ihren ver- schiedenen Ausgestaltungen in einer Mikroskopeinrichtung ausgewählt aus der folgenden Gruppe von Mikroskopeinrichtungen verwendet werden: Rastersondenmikroskop, Rasterkraftmikroskop, Rastertunnelmikroskop, Rasternahfeldmikroskop und Rasterphotonenmikroskop. In ähnlicher Weise kann das Verfahren in seinen unterschiedlichen Ausführungen für eine mikroskopische Untersuchung einer Probe gemäß einer Mikroskopietechnik ausgewählt aus der folgenden Gruppe von Mikroskopietechniken eingesetzt werden: Rastersondenmikroskopie, Rasterkraftmikroskopie, Rastertunnelmikroskopie, Rasternahfeldmikroskopie und Rasterphotonenmikroskopie.
Beschreibung bevorzugter Ausführungsbeispiele der Erfindung
Die Erfindung wird im Folgenden anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf
Figuren einer Zeichnung näher erläutert. Hierbei zeigen:
Fig. 1 eine schematische Darstellung einer Anordnung mit zwei Verlagerungseinheiten, an die eine Messsonde gekoppelt ist,
Fig. 2 eine schematische Darstellung einer weiteren Anordnung mit zwei Verlagerungs- einheiten, an die eine Messsonde gekoppelt ist, und Fig. 3 eine schematische Darstellung zum Erläutern eines Betriebs von zwei Verlagerungseinheiten mit einer hieran gekoppelten Messsonde.
Fig. 1 zeigt eine schematische Darstellung einer Anordnung, bei der eine Verlagerungseinrichtung mit einer Verlagerungseinheit 10 und einer weiteren Verlagerungseinheit 12 an ei- nem Gestell 20 befestigt ist, welches eine Messapparatur eines Sondenmikroskops anzeigt. Die weitere Verlagerungseinheit 12 hält über eine Messsondenaufnahme 5 eine Messsonde 6 in Form eines Cantileverchips, welcher aus einem Messbalken 1, einer Spitze 2 und einer Chipbasis 3 besteht. Mit Hilfe der Verlagerungseinheit 10 und der weiteren Verlagerungseinheit 12 sind im Rahmen einer Relativbewegung wenigstens zwei Teilverlagerungen ausführ- bar, durch die die Messsonde 6 relativ zu einer Probe 30 positioniert werden kann. Die Probe 30 ist einer in Fig. 1 nicht dargestellten Probenaufnahme angeordnet, welche zum Aufnehmen der Probe 30 für die sondenmikroskopische Untersuchung dient, sodass die Relativbewegung zwischen Messsonde 6 und Probe 30 gleichfalls eine Relativbewegung zwischen Messsonde 6 und Probenaufnahme ist.
In einer Ausführungsform wird eine von der Verlagerungseinheit 10 ausgeführte Teilverlagerung mit einer kleineren Verlagerungsgeschwindigkeit ausgeführt, als dieses für eine weitere Teilverlagerung der Fall ist, die mit der weiteren Verlagerungseinheit 12 ausführbar ist. Aber auch ein umgekehrtes Verhältnis der Verlagerungsgeschwindigkeiten für die beiden Verlagerungseinheiten 10, 12 kann vorgesehen sein. Während mit der Verlagerungseinheit 10 ein Verlagerungshub 11 ausführbar ist, kann die weitere Verlagerungseinheit 12 eine Verlagerungshub 13 ausführen. Die beiden Verlagerungshübe 11, 13, welche auch als jeweilige Auslenkung der Verlagerungseinheiten 10, 12 bezeichnet werden können, addieren sich zu einem Gesamthub 15. Auf diese Weise kann ein Abstand der Spitze 2 zu der Probe 30 von einer Ausgangsstellung 16 auf eine Endstellung 17 verkürzt werden. Die Probe 30 ist über eine Probenaufnahme (nicht dargestellt) bei den dargestellten Ausführungsbeispielen in Fig. 1 e- benfalls an das Gestell 20 gekoppelt.
Fig. 2 zeigt schematisch eine weitere Anordnung von zwei Verlagerungseinheiten, an die eine Messsonde gekoppelt ist. Für gleiche Merkmale werden in Fig. 2 dieselben Bezugszeichen wie in Fig. 1 verwendet. Im Unterschied zu Fig. 1 ist bei der Anordnung in Fig. 2 die Probe 30 auf der weiteren Verlagerungseinheit 12 angeordnet. Die Relativbewegung zwischen Messsonde 6 und Probe 30 ist bei dieser Ausführungsform mittels einer Teil Verlagerung der Messsonde 6, welche von der Verlagerungseinheit 10 veranlasst wird, und einer weiteren Teilverlagerung der Probe 30 ausführbar, die von der weiteren Verlagerungseinheit 12 veran- lasst wird. Selbstverständlich ist auch ein Messschritt im Rahmen einer sondenmikroskopischen Untersuchung mit Hilfe der Messsonde 6 ausführbar, indem entweder nur eine Teilverlagerung mittels der Verlagerungseinheit 10 oder nur eine Teilverlagerung mittels der weite- ren Verlagerungseinheit 12 vorgenommen wird.
Fig. 3 zeigt eine schematische Darstellung zur Erläuterung des Betriebs der Verlagerungseinheiten 10, 12 bei den Anordnungen in Fig. 1 und Fig. 2. Zur Vereinfachung der Darstellung sind von den Anordnungen aus den Fig. 1 und 2 in Fig. 3 nur die beiden Verlagerungseinheiten 10, 12 schematisch gezeigt.
Die beiden eine Verlagerungseinrichtung bildenden Verlagerungseinheiten 10, 12 sind gemäß Fig. 3 jeweils mit einem Messsensor 40, 42 ausgestattet, der konfiguriert ist, eine jeweilige Auslenkung für die Verlagerungseinheiten 10, 12 zu messen. Mit Hilfe der jeweiligen Auslenkung wird die Verlagerung der Messsonde 6 und / oder der Probe 30 erreicht. Beispielsweise können die Messsensoren 40, 42 jeweils als Wegmesssensoren ausgeführt sein. Aber auch die Ausgestaltung als kapazitive Wegmesssensoren, Dehnungsmessstreifen oder optische Wegmesssensoren oder eine Kombination hiervon kann vorgesehen sein.
Nach Fig. 3 sind zwei Regelkreise oder Regelschleifen gebildet. Ein erster Regelkreis vergleicht ein Sollwertsignal 50 mit einer von dem Messsensor 40 gemessenen Auslenkung 51 der Verlagerungseinheit 10, indem beispielsweise eine Differenz 52 gebildet wird. Ein hieraus abgeleitetes Signal 53 wird üblicherweise als Fehlersignal oder Sollwertabweichung bezeichnet. Das abgeleitete Signal 53 wird dann auf einen Regler 54 gegeben, dessen Ausgangssignal 55 einem Antrieb der Verlagerungseinheit 10 zugeführt wird. Bedarfsweise vorgesehene Verstärker und Filtereinrichtungen sind in Fig. 3 der Einfachheit halber weggelassen, können jedoch je nach Anwendungsfall vorgesehen sein, um die elektronischen Signale zu verstärken oder zu filtern.
Das abgeleitete Signal 53 wird weiterhin als Sollwertsignal für einen zweiten Regelkreis verwendet. Zu diesem Zweck wird das abgeleitete Signal 53 zunächst einer Anpassungsschaltung 60 zugeführt, die dazu dient, eine Skalierung vorzunehmen. Auf diese Weise wird das abgeleitete Signal 53, welches ursprünglich durch die Eigenschaften der Verlagerungseinheit 10 geprägt ist, in geeigneter Weise für die weitere Verlagerungseinheit 12 umgewandelt. Zum Beispiel kann der mit Hilfe der Verlagerungseinheit 10 ausführbare Verlagerungshub wesent- lieh größer sein, als ein Verlagerungshub der weiteren Verlagerungseinheit 12. Mit Hilfe der Anpassungsschaltung 60 erfolgt eine Umwandlung für die Verwendung in Verbindung mit der weiteren Verlagerungseinheit 12, beispielsweise mit Hilfe einer Normierung, um eine Relativgröße zu erzeugen.
Ein Ausgangssignal 70 der Anpassungsschaltung 60 stellt nun ein tatsächliches Sollwertsignal für den weiteren Regelkreis dar. Es wird sodann ein Vergleich des Sollwertsignals mit einem von dem Messsensor 42 erhaltenen Messsignal 71 durchgeführt, beispielsweise mittels einer Differenzbildung 72. Ein hieraus erhaltenes Signal 73 wird einem Regler 74 zugeführt, dessen Ausgang 75 an einen Antrieb der weiteren Verlagerungseinheit 12 weitergeleitet wird. Das erhaltene Signal 73 des Reglers 74 bildet nun eine endgültige Regelabweichung vom Sollwertsignal 50 für die Auslenkung.
Mit Hilfe des beschriebenen Regelungsmechanismus, welcher einer Art Doppelregelung im Rahmen der Relativbewegung entspricht, wird die Relatiwerlagerung von Messsonde 6 und Probe 30 zweistufig ausgeführt, indem zunächst eine Teil Verlagerung mittels der Verlage- rungseinheit 10 ausgeführt wird, anschließend eine Sollwertabweichung für diese Teilverlagerung erfasst wird und dann eine weitere Teilverlagerung mittels der weiteren Verlagerungseinheit 12 ausgeführt wird, wobei die weitere Teilverlagerung unter Berücksichtung der für die vorangehende Teilverlagerung erfassten Sollwertabweichung ausgeführt wird.
Die in der vorstehenden Beschreibung, den Ansprüchen und der Zeichnung offenbarten Merkmale der Erfindung können sowohl einzeln als auch in beliebiger Kombination für die Verwirklichung der Erfindung in ihren verschiedenen Ausführungsformen von Bedeutung sein.

Claims

Ansprüche
1. Vorrichtung für eine sondenmikroskopische Untersuchung einer Probe (30), insbesondere eine rastersondenmikroskopische Untersuchung, mit einer Messsonde (6) und einer Ver- lagerungseinrichtung (10, 12), die konfiguriert ist, mittels einer Relativbewegung zwischen der Messsonde (6) und einer Probeaufnahme die Messsonde (6) aus einer Ausgangsstellung in eine Endstellung zu bringen, wobei die Messsonde (6) wenigstens in der Endstellung relativ zu einer in der Probeaufnahme angeordneten Probe (3) in einer Messstellung ist, wobei die Verlagerungsvorrichtung (10, 12) eine Verlagerungseinheit (10), die konfiguriert ist, bei der Relativbewegung eine Teilverlagerung der Messsonde
(6) relativ zu der Probeaufnahme auszufuhren, und eine weitere Verlagerungseinheit (12) umfasst, die konfiguriert ist, bei der Relativbewegung eine weitere Teilverlagerung der Messsonde (6) relativ zu der Probenaufnahme auszuführen, und wobei die Verlagerungseinheit (10) und die weitere Verlagerungseinheit (12) an eine Steuereinrichtung ge- koppelt sind, die konfiguriert ist, eine Sollwertabweichung für die Teilverlagerung verarbeitend ein Steuersignal für die Ausführung der weiteren Teilverlagerung mittels der weiteren Verlagerungseinheit (12) bereitzustellen.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch g e k e nnz e i c hn e t, dass die Verlagerungsein- heit (10) konfiguriert ist, die Teilverlagerung mit einer Verlagerungsgeschwindigkeit auszuführen, und die weitere Verlagerungseinheit (12) konfiguriert ist, die weitere Teil Verlagerung mit einer weiteren Verlagerungsgeschwindigkeit auszuführen, die von der Verlagerungsgeschwindigkeit verschieden ist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch g ek e n n z e i c hn e t, dass die Steuereinrichtung einen Regelmechanismus für die Teilverlagerung mittels der Verlagerungseinheit (10) implementierend ausgeführt ist.
4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch g e k e nn z e i c hn e t, dass die Steuereinrichtung einen weiteren Regelmechanismus für die weitere Teil Verlagerung mittels der weiteren
Verlagerungseinheit (12) implementierend ausgeführt ist.
5. Vorrichtung nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Verlagerungseinheit (10) konfiguriert ist, bei der Relativbewegung wenigstens die Messsonde (6) oder wenigstens die Probenaufhahme zu verlagern.
6. Vorrichtung nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein von der Verlagerungseinheit (10) ausführbarer Verlagerungshub größer als ein von der weiteren Verlagerungseinheit (12) ausfuhrbarer Verlagerungshub ist.
7. Vorrichtung nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Verlagerungseinheit (10) und die weitere Verlagerungseinheit (12) konfiguriert sind, die Relativbewegung in einer für die Teilverlagerung und die weitere Teilverlagerung gemeinsamen Bewegungsrichtung auszuführen.
8. Vorrichtung nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuereinrichtung konfiguriert ist, die Sollwertabweichung zu erfassen.
9. Vorrichtung nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekenn- zeichnet, dass wenigstens die Verlagerungseinheit (10) oder wenigstens die weitere
Verlagerungseinheit (12) mit einem oder mehreren Piezostellelementen gebildet ist.
10. Vorrichtung nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Messsonde (6) konfiguriert ist, Messwerte für eine abstandsspektro- skopischen Untersuchung der Probe (30) zu erfassen.
11. Verfahren zum sondenmikroskopischen Untersuchen einer Probe (30), insbesondere zum rastersondenmikroskopischen Untersuchen, bei dem mittels einer Relativbewegung zwischen einer Messsonde (6) und einer Probenaufnahme die Messsonde (6) aus einer Aus- gangsstellung in eine Endstellung gebracht wird, wobei die Messsonde (6) wenigstens in der Endstellung relativ zu einer in der Probenaufnahme angeordneten Probe (30) in einer Messstellung ist, wobei bei der Relativbewegung mit einer von einer Verlagerungsvorrichtung (10, 12) umfassten Verlagerungseinheit (10) eine Teilverlagerung der Messson- de (6) relativ zu der Probeaufnahme und mit einer von der Verlagerungsvorrichtung (10, 12) umfassten weiteren Verlagerungseinheit (12) eine weitere Teilverlagerung der Messsonde (6) relativ zu der Probenaufnahme ausgeführt werden und wobei von einer an die Verlagerungseinheit (10) und die weitere Verlagerungseinheit (12) gekoppelten Steuer- einrichtung unter Berücksichtigung einer Sollwertabweichung für die Teilverlagerung ein
Steuersignal für die Ausführung der weiteren Teilverlagerung mittels der weiteren Verlagerungseinheit (12) bereitgestellt wird.
12. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass von der Verlage- rungseinheit (10) die Teilverlagerung mit einer Verlagerungsgeschwindigkeit und von der weiteren Verlagerungseinheit (12) die weitere Teilverlagerung mit einer weiteren Verlagerungsgeschwindigkeit ausgeführt werden, die von der Verlagerungsgeschwindigkeit verschieden ist.
13. Verfahren nach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, dass von der Steuereinrichtung ein Regelmechanismus für die Teilverlagerung mittels der Verlagerungseinheit (10) implementiert wird.
14. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass von der Steuereinrich- tung ein weiterer Regelmechanismus für die weitere Teilverlagerung mittels der weiteren
Verlagerungseinheit (12) implementiert wird.
15. Verfahren nach mindestens einem der Ansprüche 11 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass bei der Relativbewegung wenigstens die Messsonde (6) oder wenigstens die Probenaufnahme verlagert wird.
16. Verfahren nach mindestens einem der Ansprüche 11 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass bei der Relativbewegung von der Verlagerungseinheit (10) im Rahmen der Teilverlagerung ein Verlagerungshub ausgeführt wird, welcher größer ist als ein von der weiteren Verlagerungseinheit (12) im Rahmen der weiteren Teilverlagerung ausgeführter
Verlagerungshub.
17. Verfahren nach mindestens einem der Ansprüche 11 bis 16 dadurch gekennzeichnet, dass die Verlagerungseinheit (10) und die weitere Verlagerungseinheit (12) die Relativbewegung in einer für die Teilverlagerung und die weitere Teilverlagerung gemeinsamen Bewegungsrichtung ausfuhren.
18. Verfahren nach mindestens einem der Ansprüche 11 bis 17 dadurch gekennzeichnet, dass die Sollwertabweichung mit der Steuereinrichtung erfasst wird.
19. Verfahren nach mindestens einem der Ansprüche 11 bis 18, dadurch gekennzeich- n e t, dass mit der Messsonde (6) Messwerte für eine abstandsspektroskopischen Untersuchung der Probe erfasst werden.
20. Verwendung einer Vorrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 10 in einer Mikroskopeinrichtung ausgewählt aus der folgenden Gruppe von Mikroskopeinrichtun- gen: Rastersondenmikroskop, Rasterkraftmikroskop, Rastertunnelmikroskop, Rasternahfeldmikroskop und Rasterphotonenmikroskop.
21. Verwendung eines Verfahrens nach mindestens einem der Ansprüche 12 bis 19 für eine mikroskopische Untersuchung einer Probe (30) gemäß einer Mikroskopietechnik ausge- wählt aus der folgenden Gruppe von Mikroskopietechniken: Rastersondenmikroskopie,
Rasterkraftmikroskopie, Rastertunnelmikroskopie, Rasternahfeldmikroskopie und Rasterphotonenmikroskopie.
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