WO2007113133A3 - Mikromechanisches bauelement, insbesondere thermogenerator, und verfahren zur herstellung eines bauelementes - Google Patents

Mikromechanisches bauelement, insbesondere thermogenerator, und verfahren zur herstellung eines bauelementes Download PDF

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Abstract

Es wird ein mikromechanisches Bauelement, insbesondere Thermogenerator, und ein Verfahren zur Herstellung des Bauelements vorgeschlagen, wobei das Bauelement eine Mehrzahl von Thermoelementen und ein Substrat mit einer Haupterstreckungsebene aufweist, wobei jedes Thermoelement einen heißen Thermokontakt und einen kalten Thermokontakt aufweist, wobei die Thermokontakte senkrecht zur Haupterstreckungsebene säulenartig vorgesehen sind.
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