WO2007078433A3 - Transducteur acoustique électrostatique basé sur un microactionneur à contact roulant - Google Patents
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Abstract
L’invention porte sur un transducteur acoustique, qui comprend une membrane micro-fabriquée, productrice ou réceptrice de sons, un actionneur à structure en porte-à-faux à lame conductrice et une contre-électrode. Dans le transducteur acoustique, la force d'attraction électrostatique entre la contre-électrode et la structure en porte-à-faux à lame due à un potentiel électrique imposé est utilisée pour produire une flexion de la membrane fixée à ladite structure en porte-à-faux. Lors du fonctionnement, la structure en porte-à-faux s'effondre sur la contre-électrode, causant une augmentation importante de la force d'entraînement de l'actionneur à cause de la réduction, et de l'élimination partielle, de l'entrefer dans le transducteur.
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US5633552A (en) * | 1993-06-04 | 1997-05-27 | The Regents Of The University Of California | Cantilever pressure transducer |
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2006
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Non-Patent Citations (2)
Title |
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"The 14th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 2001, MEMS 2001, 21-25 January 2001", article HAN ET AL.: "Cheol-Hyun et al, "Fabrication of piezoelectric acoustic transducers built on cantilever-like diaphragm"", pages: 110 - 113 * |
LEE, SEUNG S. ET AL.: "Piezoelectric cantilever microphone and microspeaker", JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, vol. 5, 4 December 1996 (1996-12-04), pages 238 - 242, XP011034721 * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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WO2007078433A2 (fr) | 2007-07-12 |
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