WO2007062969A1

WO2007062969A1 - Sensorelement für einen gassensor mit einem widerstandsheizer

Info

Publication number: WO2007062969A1
Application number: PCT/EP2006/068265
Authority: WO
Inventors: Lothar Diehl; Cyril Verdier
Original assignee: Robert Bosch Gmbh
Priority date: 2005-12-02
Filing date: 2006-11-09
Publication date: 2007-06-07
Also published as: JP4665036B2; EP1957967B1; EP1957967A1; DE102005057566A1; JP2009517676A

Abstract

Es wird ein Sensorelement für einen Gassensor zur Messung einer physikalischen Eigenschaft eines Messgases, insbesondere der Konzentration einer Gaskomponente oder der Temperatur angegeben, das eine in einem keramischen Sensorkörper (11) angeordnete, elektrische Heizvorrichtung (12) mit Anschlussleiterbahnen (15, 16) und einen an Anschlussstellen (17, 18) der Anschlussleiterbahnen (15, 16) angeschlossenen Widerstandsheizer (14) aufweist. Zur Erzielung einer gleichmäßigen Temperaturverteilung im Heizbereich des Schichtverbunds (11) besitzt der Widerstandsheizer (14) sich über den flächenhaft ausgedehnten Heizbereich erstreckende, parallelgeschaltete Strompfade (21), die so ausgebildet sind, dass sie von den Anschlussstellen (17, 18) aus gesehen einen im Toleranzbereich gleich großen Ohmschen Widerstand aufweisen.

Description

Beschreibung

Titel

SENSORELEMENT FÜR EINEN GASSENSOR MIT EINEM WIDERSTANDSHEIZER

Stand der Technik

Die Erfindung geht aus von einem Sensorelement für einen Gassensor zur Messung einer physikalischen Eigenschaft eines Messgases, insbesondere der Konzentration einer Gaskomponente oder der Temperatur, nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.

Bei einem bekannten Sensorelement für einen als Sprung- oder λ=l -Sonde zur Messung der

Sauerstoffkonzentration im Abgas von Brennkraftmaschinen (DE 103 14 010 Al) ausgebildeten Gassensor oder Messgasfühler weist der in einer elektrischen Isolierung eingebettete Widerstandsheizer einer elektrischen Heizvorrichtung eine den Heizbereich im Sensorkörper mäanderförmig überziehenden Widerstandsbahn auf, die zumindest abschnittweise in elektrisch parallel geschaltete Bahnäste unterteilt ist. Bevorzugt besitzt die Widerstandsbahn zwei außenliegende Bahnschenkel und dazwischen verlaufende Mäanderwindungen. Die Mäanderwindungen sind in die parallelgeschalteten Bahnäste unterteilt, die längs der Mäanderwindungen im Abstand voneinander und parallel zueinander verlaufen. Durch diese Ausbildung des Widerstandsheizers wird eine gleichmäßige Beheizung erreicht und gleichzeitig der Querschnitt der zur Einbettung des Widerstandsheizers erforderlichen Kanäle in der Isolierung, pro Bahnast klein gehalten. Dadurch werden die in der Isolierung an den Grenzflächen zu den Kanälen auftretenden Zugspannungen soweit verkleinert, dass sie unterhalb der für Rissbildung kritischen Zugspannung bleiben. Demzufolge ist auch ein größerer Heizwiderstand möglich.

Offenbarung der Erfindung

Das erfindungsgemäße Sensorelement mit den Merkmalen des Anspruchs 1 hat den Vorteil, dass die in den einzelnen Strompfaden des Widerstandsheizers umgesetzte elektrische Leistung (P=U²/R) in allen Strompfaden gleich ist, somit die Strompfade gleichmäßig erwärmt werden und damit im Schichtverbund ein breiter Erwärmungsbereich ohne örtlich konzentrierte Üb erhitzungssteilen (hot spot) entsteht. Die umgesetzte Leistung sinkt mit zunehmender Temperatur, da der Widerstand der Strompfade mit steigender Temperatur zunimmt, die Gleichheit der Erwärmung in den Strompfaden bleibt aber unverändert erhalten. Bei lokaler Anblasung des Sensorelements kühlen sich die an der betroffenen Stelle liegenden Strompfade ab, wodurch sich zwar ihr elektrischer Widerstand verringert, gleichzeitig aber die umgesetzte elektrische Leitung ansteigt, da an jedem Strompfad die gleiche elektrische Heizerspannung liegt. Dadurch wird der Sensorkörper auch im Anblasbereich stärker erwärmt und die Temperatur dadurch hoch gehalten. Eine Veränderung der Temperaturverteilung im Sensorkörper durch das Anblasen wird also unterdrückt, so dass das Schnellstartverhalten, der Heizleistungsbedarf und die Elektrodeneigenschaften des Sensorelements sich nicht oder nur minimal verschlechtern.

Durch die in den weiteren Ansprüchen aufgeführten Maßnahmen sind vorteilhafte Weiter- bildungen und Verbesserungen des im Anspruch 1 angegebenen Sensorelements möglich.

Die Erfindung ist anhand von in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispielen in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigen jeweils in schematischer Darstellung:

Fig. 1 ausschnittweise eine perspektivische Ansicht eines Sensorelements mit einer elektrischen Heizvorrichtung,

Fig. 2 ein Layout der Heizvorrichtung in Fig. 1 ,

Fig. 3 bis 5 jeweils ein Layout einer Heizvorrichtung gemäß weiterer Ausführungsbeispiele.

Das in Fig. 1 ausschnittweise in perspektivischer Ansicht dargestellte Sensorelement für einen Gassensor oder Messfühler, der zur Messung einer physikalischen Eigenschaft eines Messgases, insbesondere der Konzentration einer Gaskomponente oder der Temperatur, dient, ist beispielhaft für eine λ=l -Sonde oder für eine Breitband-Lambdasonde zur Messung der Sauerstoffkonzentration im Abgas von Brennkraftmaschinen konzipiert. Alternativ kann es auch für einen Temperaturmessfühler zur Messung der Abgastemperatur von Brennkraftmaschinen eingesetzt werden. Das Sensorelement weist einen keramischen, als Schichtverbund im Sensorkörper 11 auf, der beispielsweise aus mehreren Festelektrolytschichten zusammengesetzt ist. Ein möglicher Aufbau des Schichtverbunds ist in der DE 103 14 010 Al dargestellt und beschrieben. Für eine genaue Messung muss das Sensorelement auf einer konstanten Betriebstemperatur gehalten werden, wozu im Sensorkörper 11 eine elektrische Heizvorrichtung 12 integriert ist, die innerhalb des Sensorkörpers 11 in eine elektrische Isolierung 13 eingebettet ist. Die elektrische Isolierung 13 innerhalb des Sensorkörpers 11 ist in Fig. 1 strichliniert angedeutet. Die elektrische Heizvorrichtung 12 weist einen Widerstandsheizer 14 auf, der an zwei innerhalb der Isolierung 13 verlaufenden Anschlussleiterbahnen 15, 16 angeschlossen ist. Die Anschlussstellen sind in Fig. 1 mit 17 und 18 bezeichnet. Wie hier nicht weiter dargestellt ist, sind die Anschlussleiterbahnen 15, 16 über endseitig ausgebildete Kontaktflächen 19, 20 an einer Gleichspannungsquelle angeschlossen, die eine konstante Gleichspannung an die Anschlussstellen 17, 18 des Widerstandsheizers 14 legt.

Der Widerstandsheizer 14 weist eine Mehrzahl von parallelgeschalteten Strompfaden 21 auf, die sich über einen flächenhaft ausgedehnten Heizbereich im Sensorkörper 11 erstrecken. Um eine gleichmäßige Temperaturverteilung über den Heizbereich zu erzielen, sind die Strompfade 21 so ausgebildet, dass sie von den Anschlussstellen 17, 18 des Widerstandsheizers 14 aus gesehen einen innerhalb eines Toleranzbereichs liegenden, gleich großen Ohmschen Widerstand aufweisen. Der Toleranzbereich ist auf ca. ± 2% des Ohmschen Widerstandes eines Strompfades 21 begrenzt. Die parallelgeschalteten Strompfade 21 mit gleichen Ohmschen Widerständen lassen sich mit unterschiedlichen Layouts realisieren, wie dies in Fig. 2 bis 5 dargestellt ist.

Im Layout der Fig. 2 weist der Widerstandsheizer 14 zur Ausbildung der Strompfade 21 zwei Leiterbahnäste 23, 24 und mehrere - im Ausführungsbeispiel sechs - Leiterbahnzweige 25 auf, die wegen ihrer unterschiedlichen Ausbildung mit 251 bis 256 bezeichnet sind. Die beiden Leiterbahnäste 23, 24 sind jeweils an einer der beiden Anschlussstellen 17, 18 an den Anschlussleiterbahnen 15, 16 angeschlossen. Die zueinander parallel ausgerichteten und im Abstand voneinander verlaufenden Leiterbahnzweige 25 sind endseitig einstückig mit den Leiterbahnästen 23, 24 verbunden. Die Leiterbahnzweige 25 sind in ihren Abmessungen so konzipiert, dass sie zusammen mit ihren Zuleitungsabschnitten in den Leiterbahnästen 23, 24 den gleichen Ohmschen Widerstand besitzen. Da alle Leiterbahnzweige 25 eine gleiche Länge aufweisen, wächst somit ihr Querschnitt mit zunehmender Entfernung von den Anschlussstellen 17, 18 an. Der von den Anschlussstellen 17, 18 am weitesten entfernt liegende Leiterbahnzweig 251 hat somit den größten Querschnitt, da in den von ihm gebildeten Strompfad 21 auch der Ohmsche Widerstand beider Leiterbahnäste 23, 24 eingeht. Der den Anschlussstellen 17, 18 am - A -

nächsten liegende Leiterbahnzweig 256 hat den kleinsten Querschnitt, da in den Ohmschen Widerstand des Strompfads 21, in dem der Leiterbahnzweig 256 liegt, nur ein kleiner Abschnitt der beiden Leiterbahnäste 23, 24 eingeht.

Im Ausführungsbeispiel der Fig. 3 weist der Widerstandsheizer 14 zur Ausbildung der

Strompfade 21 zwei Paare von Leiterbahnästen 26, 27 bzw. 28, 29 mit jeweils einem ersten Leiterbahnast 26 bzw. 28 und einem zweiten Leiterbahnast 27 bzw. 29 und eine Mehrzahl von Leiterbahnzweigen auf, von denen im Ausführungsbeispiel sechs Leiterbahnzweige 30 mit den Leiterbahnästen 26, 27 des ersten Leiterbahnast-Paars und sechs Leiterbahnzweige 31 mit den beiden Leiterbahnästen 28, 29 des zweiten Leiterbahnast-Paars verbunden sind. Jedes Paar von Leiterbahnästen 26, 27 bzw. 28, 29 ist an voneinander abgekehrten Enden der Leiterbahnäste 26, 27 bzw. 28, 29 mit einem Stromanschluss versehen. Im Ausführungsbeispiel mit zwei Paaren ist im ersten Paar der eine Stromanschluss von der Anschlussstelle 17 und der andere Stromanschluss von einer zum zweiten Paar führenden Schaltbrücke 32 gebildet. Im zweiten Paar ist der eine Stromanschluss von der Anschlussstelle 18 und der andere Stromanschluss von der Schaltbrücke 32 gebildet. Demzufolge ist der erste Leiterbahnast 26 des ersten Leiterbahnast-Paars an seinem einen Ende mit der Anschlussstelle 17 der Anschlussleiterbahn 15 und der zweite Leiterbahnast 29 des zweiten Leiterbahnast-Paars an seinem davon abgekehrten Ende mit der Anschlussstelle 18 der Anschlussleiterbahnen 16 verbunden. Über die Schaltbrücke 32, die die benachbarten von den Anschlussstellen 17, 19 abgekehrten Enden der Leiterbahnäste 27, 28 miteinander verbinden, sind die beiden Leiterbahnast-Paare elektrisch in Reihe geschaltet. Die Leiterbahnzweige 30 bzw. 31 in den einzelnen Leiterbahnast-Paaren verlaufen parallel zueinander und sind im gleichen Abstand voneinander angeordnet. Sie besitzen die gleiche Länge und den gleichen Querschnitt, so dass der Ohmsche Widerstand aller Leiterbahnzweige 30 bzw. 31 gleich ist. Die Leiterbahnäste 26 bis 29 sowie die Schaltbrücke 32 sind in ihrem Layout so konzipiert, dass sie einen im Vergleich zu dem Ohmschen Widerstand der Leiterbahnzweige 30, 31 deutlich kleineren Ohmschen Widerstand aufweisen. Dadurch, sowie durch das Verbinden der Anschlussstelle 17 mit dem einen Ende des ersten Leiterbahnastes 26 im ersten Leiterbahn-Paar und das Verbinden der Anschlussstelle 18 mit dem davon abgekehrten Ende des zweiten Leiterbahnastes 29 im zweiten Leiterbahn-Paar ist sichergestellt, dass auch bei diesem Layout des Widerstandsheizers 14 alle von den Anschlussstellen 17, 18 des Widerstandsheizers 14 aus parallel geschalteten Strompfade 21 einen im Toleranzbereich etwa gleich großen Ohmschen Widerstand aufweisen und mit der gleichen Spannung versorgt werden. Das Layout des Widerstandsheizers 14 in dem in Fig. 4 dargestellten Ausfuhrungsbeispiel unterscheidet sich von dem in Fig. 3 dadurch, dass zwischen dem ersten Paar Leiterbahnäste 26, 27 mit diese verbindenden Leiterbahnzweigen 30 und dem zweiten Paar Leiterbahnäste 28, 29 mit diese verbindenden Leiterbahnzweigen 31 zwei gleich ausgebildete, mit den genannten Paaren der Leiterbahnäste 26, 27 und 28, 29 in Reihe geschaltete Paare von Leiterbahnästen mit einem ersten Leiterbahnast 33 bzw. 38 und einem zweiten Leiterbahnast 34 bzw. 39 sowie mit an diesen angeschlossenen, parallelen Leiterbahnzweigen 35 bzw. 41 angeordnet sind. Das von der Anschlussstelle 17 abgekehrte Ende des zweiten Leiterbahnastes 27 des ersten Leiterbahnast-Paars ist über eine Schaltbrücke 36 mit dem benachbarten Ende des ersten Leiterbahnastes 35 des dritten Leiterbahnast-Paars und das davon abgekehrte Ende des zweiten Leiterbahnastes 34 des dritten Leiterbahnast-Paars ist über eine Schaltbrücke 37 mit dem benachbarten Ende des ersten Leiterbahnastes 38 des vierten Leiterbahnast-Paars verbunden. Das davon abgekehrte Endes des zweiten Leiterbahnasts 39 des vierten Leiterbahnast-Paars ist über eine Schaltbrücke 40 mit dem benachbarten Ende des ersten Leiterbahnasts 28 des zweiten Leiterbahnast-Paars verbunden. Das davon abgekehrte Ende des Leiterbahnastes 29 des zweiten Leiterbahnast-Paars ist nach wie vor mit der Anschlussstelle 18 verbunden. Die Leiterbahnzweige 35 bzw. 41 sind wiederum parallel zueinander ausgerichtet und mit den Leiterbahnästen 33, 34 bzw. 38, 39 einstückig verbunden. Hier sind also die Stromanschlüsse des ersten Paars der Leiterbahnäste 26, 27 von der Anschlussstelle 17 und von der Schaltbrücke 36 gebildet, die Stromanschlüsse des zweiten Paars der Leiterbahnäste 28, 29 von der

Anschlussstelle 18 und von der Schaltbrücke 40 gebildet, die Stromanschlüsse des dritten Paars der Leiterbahnäste 33, 34 von den Schaltbrücken 36 und 37 und die Stromanschlüsse des vierten Paars der Leiterbahnäste 38, 39 von den Schaltbrücken 37, 40 gebildet. Alle Leiterbahnzweige 30, 31, 35, 41 besitzen den gleichen Ohmschen Widerstand. Die Leiterbahnäste 33, 34, 38, 39 sowie die Schaltbrücken 36, 37, 40 weisen - wie die Leiterbahnäste 26, 27, 28, 29 - einen im

Vergleich zu dem Ohmschen Widerstand der Leiterbahnzweige 35, 41, 30, 31 deutlich kleineren Ohmschen Widerstand auf. Insofern besitzen die Leiterbahnäste 33, 34, 38, 39 ebenso wie die Leiterbahnäste 26, 27, 28, 29, wiederum einen Querschnitt, der im Vergleich zu dem Querschnitt der Leiterbahnzweige 35, 41, 30, 31 sehr groß ist. Auch bei diesem Ausführungsbeispiel ist durch die Ausbildung und Anordnung der Leiterbahnäste mit

Leiterbahnzweigen und durch die beschriebene Verbindung mit den Anschlussstellen 17, 18 gewährleistet, dass die parallelen Strompfade 21 des Widerstandsheizers 14 einen im Toleranzbereich etwa gleich großen Widerstand aufweisen und mit der gleichen Spannung versorgt werden. In dem in Fig. 5 dargestellten Layout des Widerstandheizers 14 sind zur Ausbildung der Strompfade 21 des Widerstandsheizers 14 Leiterbahnzweige 42 vorgesehen, die sich von den beiden Anschlussstellen 17, 18 des Widerstandsheizers 14 an den Anschlussleiterbahnen 15, 16 aus verzweigen. In dem Ausführungsbeispiel der Fig. 5 sind insgesamt drei Leiterbahnzweige 421, 422 und 423 vorhanden, die sich von der Anschlussstelle 17 über den flächenhaft sich ausdehnenden Heizbereich des Schichtverbunds 11 hin zur Anschlussstelle 18 erstrecken. Zur Realisierung eines gleichen Ohmschen Widerstands weisen alle Leiterbahnzweige 42 den gleichen Querschnitt und die gleiche Länge auf. Alternativ ist es auch möglich, z. B. den Leiterbahnzweig 422 so auszuführen, dass er sich geradlinig von der Anschlussstelle 17 zur Anschlussstelle 18 erstreckt. Da in diesem Fall die Länge des Leiterbahnzweigs 422 geringer ist als die jeder der Leiterbahnzweige 421 und 423 wird der Querschnitt des mittleren Leiterbahnzweigs 422 entsprechend verkleinert. Diese Ausführung hat den Vorteil, dass alle Leiterbahnzweige 42 endseitig auf gleichem Spannungspotential liegen und keine Leiterbahnäste zur Stromverteilung mit ihren, wenn auch geringen Spannungsabfällen, vorhanden sind. Der Verlauf der Leiterbahnzweige 42 kann beliebig gewählt werden und kann beispielsweise auch bogenförmig ausgeführt werden. Die Form und die Anzahl der Leiterbahnzweige 42 ist beliebig und richtet sich nach der Größe des Heizbereichs im Sensorkörper 11 , in dem eine gleichmäßige Temperaturverteilung erreicht werden soll.

Gemäß einem weiteren Ausführungsbeispiel des Widerstandsheizers 14 ist es möglich, jeden der Leiterbahnzweige 42 in Fig. 5 durch eine geradzahlige Anzahl von Paaren paralleler Leiterbahnäste mit ihren parallelen Leiterbahnzweigen zu ersetzen, wie sie in Fig. 3 oder Fig. 4 dargestellt sind. Dabei wird wiederum der eine Leiterbahnast des ersten Leiterbahnastpaars an die Anschlussstelle 17 und der andere Leiterbahnast des letzten Leiterbahnastpaars an die Anschlussstelle 18 angeschlossen.

Claims

Ansprüche

1. Sensorelement für einen Gassensor zur Messung einer physikalischen Eigenschaft eines Messgases, insbesondere der Konzentration einer Gaskomponente oder der Temperatur, mit einer in einem keramischen Sensorkörper (11) angeordneten, elektrischen Heizvorrichtung (12), die Anschlussleiterbahnen (15, 16) und einen an Anschlussstellen (17, 18) der Anschlussleiterbahnen (15, 16) angeschlossenen Widerstandheizer (14) aufweist, der über einen im Sensorkörper (11) flächig ausgedehnten Heizbereich (22) sich erstreckende, parallelgeschaltete Strompfade (21) aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass die Strompfade (21) so ausgebildet sind, dass sie von den Anschlussstellen (17, 18) aus gesehen einen im Toleranzbereich gleich großen Ohmschen Widerstand aufweisen.

2. Sensorelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Toleranzbereich mit ± 2% festgelegt ist.

3. Sensorelement nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass zur Ausbildung der Strompfade (21) der Widerstandsheizer (14) mindestens ein Paar Leiterbahnäste (26, 27 bzw. 28, 29) und mehrere an den Leiterbahnästen (26, 27 bzw. 28, 29) angeschlossene

Leiterbahnzweige (30 bzw. 31) mit gleichem Ohmschen Widerstand aufweist und dass die Leiterbahnäste (26, 27 bzw. 28, 29) des mindestens einen Paars an voneinander abgekehrten Enden jeweils einen Stromanschluss aufweisen und einen im Vergleich zu dem Ohmschen Widerstand eines Leiterbahnzweigs (30 bzw. 31) deutlich kleineren Ohmschen Widerstand besitzen.

4. Sensorelement nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Widerstandsheizer (14) eine geradzahlige Anzahl von mittels Schaltbrücken (32; 36, 37, 40) in Reihe geschalteten Paaren von Leiterbahnästen (26, 27, 28, 29; 26, 27, 33, 34, 38, 39, 28, 29) mit Leiterbahnzweigen (30, 31; 30, 35, 41, 31) aufweist, dass bei dem in der Reihenschaltung ersten und letzten Paar, jeweils der Stromanschluss des einen Leiterbahnastes (26, 29) von einer Anschlussstelle (17, 18) und der Stromanschluss des anderen Leiterbahnastes (27, 28) von einer Schaltbrücke (32; 36, 40) zu dem benachbarten Paar Leiterbahnäste gebildet ist und dass bei den zwischen dem ersten und letzten Paar liegenden Paaren von Leiterbahnästen (33, 34, 38, 39) jeder Stromanschluss von einer Schaltbrücke (36, 37, 40) zum benachbarten Paar gebildet ist und dass die Schaltbrücken (32; 36, 37, 40) einen im Vergleich zu den Leiterbahnzweigen (30, 31; 30, 35, 41, 31) kleinen Ohmschen Widerstand aufweisen.

5. Sensorelement nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Leiterbahn- zweige (30, 31, 35, 41) gleiche Länge und gleichen Querschnitt aufweisen.

6. Sensorelement nach einem der Ansprüche 3 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Leiterbahnäste (26, 27, 28, 29, 33, 34, 38, 39) einen im Vergleich zu dem Querschnitt eines Leiterbahnzweigs (30, 31, 35) sehr großen Querschnitt aufweisen.

7. Sensorelement nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass zur Ausbildung der Strompfade (21) der Widerstandsheizer (14) zwei Leiterbahnäste (23, 24), von denen jeder an einer Anschlussstelle (17, 18) des Widerstandsheizers (14) angeschlossen ist, und mehrere, an den beiden Leiterbahnästen (23, 24) angeschlossene Leiterbahnzweige (25) aufweist und dass die Leiterbahnzweige (25) so ausgebildet sind, dass sie zusammen mit ihren

Zuleitungsabschnitten in den beiden Leiterbahnästen (23, 24) einen gleichen Ohmschen Widerstand aufweisen.

8. Sensorelement nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Leiterbahnzweige (25) gleich lang sind und dass der Querschnitt der Leiterbahnzweige mit zunehmender Entfernung der Leiterbahnzweige (25) von den Anschlussstellen (17, 18) anwächst.

9. Sensorelement nach einem der Ansprüche 3 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Leiterbahnäste (23, 24, 26, 27, 28, 29, 33, 34) einerseits und die Leiterbahnzweige (25; 30, 31, 35,41) andererseits jeweils mit Abstand voneinander parallel zueinander verlaufen.

10. Sensorelement nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass zur Ausbildung der Strompfade (21) der Widerstandsheizer (14) sich von den Anschlussstellen (17, 18) aus verzweigende Leiterbahnzweige (42) mit gleichem Ohmschen Widerstand aufweist.

11. Sensorelement nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Leiterbahnzweige (38) zumindest teilweise unterschiedliche Längen und/oder unterschiedliche Querschnitte aufweisen.