WO2006098062A1 - マグネット式ロッドレスシリンダ - Google Patents

Abstract

シリンダチューブ２の軸線方向に一対のシリンダ孔１０を形成するとともに、これらシリンダ孔の間にスリット２５を形成し、このスリット内にシリンダ孔内のピストン３の移動全範囲をカバーする鉄板２２を挿入する。鉄板２２の両側には合成樹脂製のスペーサ２３が介挿され、スリット２５内に鉄板２２を確実に保持する。鉄板２２をシリンダ孔の間に配置することにより、各ピストン３の内側磁石１４に相互に作用する反発力を低減し、鉄板２２と各内側磁石１４との間に吸引力を生じさせることにより、ピストン３のウエアリング９とシリンダ孔１０壁面との間の接触面圧を適切な値に調整可能となる。

Description

明 細 書 マグネッ ト式ロッ ドレスシリンダ 技術分野

本発明は、 シリンダチューブ内に複数のシリンダ孔を設けたマグ ネッ ト式ロッ ドレスシリンダに関する。 背景技術

シリ ンダチューブ内に形成されたシリンダ孔内に移動可能に配置 されたピス トンと、 シリンダチューブ外部にシリンダチューブに沿 つて移動可能に配置したスライダとを備え、 これらのピス トンとス ライダとを磁気的に結合したマグネッ ト式ロッ ドレスシリンダが知 られている。

マグネッ ト式ロッ ドレスシリンダでは、 通常、 ピス トンには磁石 (内側磁石） を、 スライダには磁石 （外側磁石） 又は磁性体を配置 し、 これらの吸引力により ピス トンとスライダとを一体に磁気結合 し、 ピス トンの動作に追従してスライダが移動するようにされてい る。

マグネッ ト式ロッ ドレスシリンダとしては、 シリンダ孔とピス ト ンとを複数備え、 これらのビス トン全部と単一のスライダとを磁気 結合したものが知られている。

例えば、 ロッ ドレスシリンダの例としては、 以下の文献 A〜Fに 記載されたものがある。

文献 A ： 実開平 4一 1 1 3 3 0 5号公報

文献 B ： 特開平 4— 3 5 7 3 1 0号公報

文献 C : 実用新案登録第 2 5 1 4 4 9 9号公報 文献 D : 特開昭 6 0 — 1 7 2 7 1 1号公報

文献 E ： 米国特許第 3 8 9 3 3 7 8号明細書

文献 F ： 特開平 9 一 2 1 7 7 0 8号公報

文献 Aは、 シリンダチューブとピス トンとの横断面をそれぞれ扁 平形状とすることにより装置を小型化するとともに、 シリンダ推力 を増大させた グネッ ト式ロッ ドレスシリンダを開示している。

また、 文献 Bはシリ ンダチューブ及びピス トンの横断面形状を、 楕円形や長円形、 左右対称的なピーナッツ殻形状としたマグネッ ト 式ロッ ドレスシリンダを開示している。

さらに、 文献 Cは、 それぞれ一つのシリンダ孔を有するシリ ンダ チューブを二本平行に配置して、 これら一対のシリ ンダチューブを 囲むように単一のスライダを設けたマグネッ ト式ロッ ドレスシリ ン ダが開示されている。

また、 文献 Dはスリ ツ トチューブ式ロッ ドレスシリ ンダに関する ものではある力 一つのシリ ンダチューブ内に 2つのシリンダ孔を 平行に設け、 それぞれのシリ ンダ孔内にシリ ンダ軸線方向に移動可 能にピス トンを配置したロッ ドレスシリンダが開示されている。

文献 Dのロッ ドレスシリンダでは、 2つのピス トンはシリンダチ ユーブ壁面に開口するシールバンド付きのスリ ッ トを介して単一の スライダに機械的に連結している。

文献 Eもスリ ッ ト式ロッ ドレスシリ ンダに関するものであるが、 シリ ンダチューブ断面外形とシリ ンダ孔とが長方形の形状であり、 それに応じてピス トン横断面も長方形とされたものを開示している また、 文献 Fはビス トンの動作をピス トンに軸線方向に連結され たロッ ドを通じてシリ ンダチューブから外部に伝えるロッ ドを有す るロッ ドタイプシリ ンダに関するものであるが、 一つのシリンダチ ュ一ブに 2つのシリンダ孔を平行に設けたものが開示されている。 図 6は、 文献 Cのマグネッ 卜式ロッ ドレスシリンダ 6 1 を示して いる。

図 6のマグネッ ト式ロッ ドレスシリンダ 6 1 は、 1対のシリンダ チューブ 6 2 を互いに平行に配置し、 これらのシリンダチューブ両 端をそれぞれエンドキャップ 6 7で連結固定した構成とされている また、 それぞれのシリンダチューブ 6 2内にはシリンダ孔 （図示 せず） が形成されており、 これらのシリ ンダ孔内にはそれぞれピス トン （図示せず） が収容されている。

更に、 シリンダチューブ 6 2の外側には、 両方のシリ ンダチュー プ 6 2 を囲むようにスライダ 6 4が配置されている。

シリ ンダ孔内のピス トンには内側磁石が、 また、 スライダのそれ ぞれのシリンダチューブ貫通部内面には外側磁石が、 それぞれ配置 されており、 これらの内側磁石と外側磁石との吸引力により、 2つ のピス トンと単一のスライダとがー体に磁気結合されている。

図 6のマグネッ ト式ロッ ドレスシリ ンダ 6 1では、 両側のエンド キャップ 6 7から両方のシリンダチューブのシリンダ孔内に圧縮空 気などの作動流体を供給することにより、 両方のピス トンが同期し てシリ ンダチューブ内を往復動する。 これにより、 ピス トンと一体 に磁気結合されたスライダがシリンダチューブ外側でビス トンに追 従して往復動するようになる。

一般的に実用化されているマグネッ ト式シリンダでは、 シリ ンダ チューブ断面及ぴシリ ンダ孔断面形状は真円形状とされている。 こ のため、 チューブに内圧が作用した場合にもチューブ断面は一様に 変形 （膨張） しチューブに作用する応力も一様となるため、 局部的 な歪や応力の集中は生じない。 ところが、 文献 A及び Bのような扁平な （非円形の） 断面のシリ ンダチューブを使用した場合には、 シリ ンダ孔断面形状も非円形形 状となることから、 チューブ内に流体による内圧が作用すると、 チ ユーブの変形は一様にならない。 このため、 非円形外形のシリンダ チューブを使用する場合にはチューブに応力集中や局部的な歪みが 生じ、 最大応力、 最大たわみともに非常に大きな値となる場合があ る。

この問題を解決するためには、 チューブの肉厚を大きく してチュ ーブの剛性を高めることが考えられる力 、 チューブの肉厚を大きく すると、 それに応じてピス トンとスライダとを連結する磁気結合力 を増大させる必要がある。 この場合、 必要とされる磁気結合力は、 円形断面形状のチューブを使用した場合の磁気結合力に対して数倍 もの大きさになる場合がある。

このため、 非円形形状のシリンダ孔を有するマグネッ ト式ロッ ド レスシリンダは実際には実現が困難な問題がある。

一方、 文献 Cのマグネッ ト式ロッ ドレスシリンダでは、 断面真円 のシリ ンダチューブ 6 2 を 2本平行に配置することにより上記問題 を解決している。

しかし、 文献 Cのように複数本のシリンダチューブ 6 2 を使用し た場合には、 部品点数が増大するための組立て工数の増加や、 設置 スペースの増大などの問題が生じてしまう。

また、 文献 Cのように 2本のシリ ンダチューブ 6 2 を互いに近接 して平行に配置すると、 それぞれのシリ ンダチューブ内のピス トン に設けられた内側磁石同士が互いに反発し、 それぞれのビス 卜ンが 外側方向に向う反発力を受ける。 このため、 ピス トンがシリンダ孔 内壁に押圧され、 ピス トンとシリンダ壁間の摩擦力が面圧の増大に 応じて大きくなり、 シリンダ孔内に流体を供給してピス トンを作動 させるために必要とされる最小作動圧力が大きくなる。 作動流体の 最小作動圧力が増大すると、 マグネッ ト式ロッ ドレスシリンダの各 部分では耐久性が低下する等の問題が生じる。 発明の開示

本発明は上記従来技術の問題に鑑み、 複数のシリ ンダチユ ーブを 互いに近接して平行に配置した場合にそれぞれのピス トンに作用す る反発力を調節可能とし 、 耐久性の低下を防止しながら 、 全体とし て厚み （高さ） の小さい 、 実用性に富んだマグネッ ト式 Dッ ドレス シリ ンダを提供することを目的としている。

請求項 1 に記載の発明によれば、 非磁性体からなるシ Uンダチュ 一ブと、 該シリンダチュ一ブ内に設けたシリ ンダ孔にシ Uンダチュ ブ軸線方向に移動可能に配置されたピス トンと、 前記シリ ンダチ ューブ外周面に沿つてシ Uンダチューブ軸線方向に移動可能に配置 された非磁性体からなるスライダと、 前記ピス トンに配置された内 側磁石と、 刖 3dスラィダに配置され前記内側磁石との間に磁気吸引 力を生じさせる外側磁石または磁性体とを備え、 前記磁気吸引力に よつて前記ピス トンの移動に前記スライダが追従するよ にしたマ グネッ ト式ロッ ドレスシリンダにおいて、 前記シリ ンダ孔とピス ト ンとを複数組並列に備え、 これらのうち少なく とも一対の隣接した シリンダ孔間にシリ ンダ孔軸線方向に沿つて磁性材料からなる部材 を配置したことを特徴とするマグネッ ト式ロッ ドレスシリ ンダが提 供される。

また、 請求項 2に記載の発明によれば、 前記複数のシリンダ孔は 単一のシリンダチューブ内に形成され、 前記磁性材料からなる部材 は前記単一のシリンダチューブ内に配置されていることを特徴とす る、 請求項 1 に記載のマグネッ ト式ロッ ドレスシリ ンダが提供され る。

更に請求項 3 に記載の発明によれば、 前記シリンダチューブは、 それぞれが少なく とも 1つのシリンダ孔を備えた複数のシリンダチ ユ ーブ部材を互いに結合することにより構成され、 前記シリンダチ ユ ープ部材相互の結合部に前記磁性材料部材を収容する凹部を備え たことを特徴とする、 請求項 1 または 2に記載のマグネッ ト式ロッ ドレスシリンダが提供される。

また、 請求項 4に記載の発明によれば、 前記磁性材料部材とシリ ンダ孔との間に非磁性材料からなるスぺーサを配置したことを特徴 とする請求項 1 〜 3のいずれか 1項に記載のマグネッ ト式ロッ ドレ スシリ ンダが提供される。

更に、 請求項 5に記載の発明によれば、 前記磁性材料部材を磁性 金属粉を含有する合成樹脂により形成したことを特徴とする、 請求 項 1 〜 3のいずれか 1項に記載のマグネッ ト式ロッ ドレスシリンダ が提供される。

請求項 1のマグネッ ト式ロッ ドレスシリンダでは、 少なく とも一 対のシリ ンダ孔間に軸線方向に沿つて磁性材料からなる部材が配置 されているため、 各ピス トン相互間の反発力が低減される。

また、 各ピス トンと磁性材料部材との間には吸引力が生じるため 、 ピス トンに作用する反発力と吸引力とのバランスを磁性材料部材 により調節することができる。 このため、 本発明によれば、 シリ ン ダ孔を並行配置する場合の各ピス トンのシリ ンダ孔壁面への押圧力 を適切な値に設定することが可能となり、 作動流体に要求される最 小作動圧力の上昇を抑制し、 マグネッ ト式ロッ ドレスシリ ンダの各 部材の耐久性の低下を防止することができる。

また、 請求項 2のマグネッ ト式ロッ ドレスシリンダでは、 単一の シリ ンダチューブ内に複数のシリンダ孔を形成したため、 複数のシ リンダチューブを並行配置した場合に比べて装置全体の小型化を図 ることができる。

この場合、 上述のように作動流体に要求される最小作動圧を比較 的小さく抑制することができるため、 シリンダチューブの変形ゃ応 力の集中も小さくなり、 扁平形状の厚さ （高さ） の小さいマグネッ ト式ロッ ドレスシリ ンダを製作することが可能となる。

また、 複数のピス トンで 1つのスライダを移動させるため、 小型 化とともにシリンダ推力を大きく設定することが可能となる。

更に、 請求項 3のマグネッ ト式ロッ ドレスシリンダでは、 シリ ン ダチューブは複数のシリ ンダチューブ部材を結合することにより構 成されるため、 磁性材料部材を収容する凹部を設けることが容易に なる。 また、 シリンダチューブ部材は押出し成形により容易に成形 可能であり、 これによりシリンダチューブ内面および外面の表面粗 さも管理しやすくなると言う効果がある。

また、 請求項 4のマグネッ ト式ロッ ドレスシリンダでは、 磁性材 料部材を非磁性材料からなるスぺ一サを介してシリンダ孔間に設け たため、 例えばシリンダチューブ内にスリ ッ トを設け磁性材料部材 を配置するような場合にも、 スぺ一サ厚さを調整することによりス リ ッ ト内の適宜な位置に磁性材料部材を確実に保持することができ る。 また、 スぺーザの厚さを調整することによりシリ ンダ孔間の磁 性材料部材位置を微調整することができるため、 磁性材料部材を収 容するスリ ッ トや凹部の加工精度を比較的低くすることができ加工 コス トを低減することが可能となる。

更に請求項 5のマグネッ ト式ロッ ドレスシリ ンダでは、 磁性材料 部材を磁性体金属粉を含有した合成樹脂により成形したため、 磁性 材料部材を容易かつ低コス トで製作することが可能となる。 図面の簡単な説明

図 1は本発明によるマグネッ ト式ロッ ドレスシリンダの一実施形 態の正面図、 図 2は図 1の A— A線断面図、 図 3は図 1 の B— B線 断面図、 図 4は図 3の C一 C線断面図、 図 5は図 1 とは異なるマグ ネッ ト式ロッ ドレスシリンダのシリ ンダチューブ構成を示す断面図 、 図 6は従来のマグネッ 卜式ロッ ドレスシリンダの全体を示す斜視 図である。 発明を実施するための最良の形態

以下、 本発明によるマグネッ ト式ロッ ドレスシリンダの一実施形 態について図面を参照して説明する。

図 1 は、 マグネッ ト式ロッ ドレスシリンダ 1 の正面図、 図 2は図 1 の A— A線に沿った断面図、 図 3は図 1 の B _ B線に沿った断面 図である。 また、 図 4は、 図 3の C— C線に沿った断面図を示す。

図 3 に示すように、 本実施形態のマグネッ ト式ロッ ドレスシリ ン ダ 1 は、 エンドキャップ 7 、 7の対向面間に配置された非磁性材料 から成るシリ ンダチューブ 2を備えている。

シリンダチューブ 2外周には、 横断面外形が矩形状のスライダ 4 が、 シリ ンダチューブ 2の軸線方向にスライ ド可能に外装されてい る。

シリンダチューブ 2は、 図 4に示すように扁平な長円形状の断面 を有しており、 シリンダチューブ 2がスライダ 4を貫通して配置さ れることにより、 スライダ 4が水平な姿勢のままでシリンダチュー ブ 2 の軸線方向に案内される。

また、 シリ ンダチューブ 2の内部には、 図 4に示すように、 横断 面が真円の一対のシリ ンダ孔 1 0 、 1 0が平行に配置されている。

各シリ ンダ孔 1 0内にはピス トン 3が、 シリンダチューブ 2の軸 線方向に移動可能に収容されており、 それぞれのピス トン 3により 各シリンダ孔 1 0内はシリンダ室 8 、 8に区画されている。

各ピス トン 3は、 中央のピス トンシャフ ト 1 3に、 ドーナツ状の 複数の内側磁石 1 4 と、 同じく ドーナツ状の内側ヨーク 1 5 とを交 互に嵌め込み、 両端を内側ウエアリング 9 を介してピス トンエンド 1 6によって締付固定した構造となっている。

各内側磁石 1 4の磁極は、 軸線方向において、 N S、 S N、 N S 、 S Nと同極同士が対応するように配設されており、 隣接するビス トン 3 、 3間では、 内側磁石 1 4の同極同士が対応することになる スライダ 4のシリンダチューブ 2の貫通部には、 ドーナツ状の外 側磁石 1 7が嵌装されている。 すなわち、 スライダ 4内には、 シリ ンダチューブ 2の周囲を囲む長円形でドーナツ状の複数の外側磁石 1 7が、 同じ形状の複数の外側ヨーク 1 8 と交互に軸線方向に積層 され、 両端に配置した外側ウエアリング 1 9 を介してエンドプレー ト 2 0により固定されて、 シリンダチューブ 2の貫通部に取付けら れる。

外側磁石 1 7の磁極は、 軸線方向では同極同士が対向し、 且つピ ス トン 3側の内側磁石 1 4の磁極とは異極同士が対向するように、 S N、 N S 、 S N、 N S と配設されている。 このため、 両磁石同士 の磁気吸引力によって両ピス トン 3 、 3 とスライダ 4とが磁気的に 結合している。

各エンドキャップ 7には、 給排ポート 1 1 と、 この給排ポート 1 1からそれぞれ対応する側の両シリンダ室 8 、 8に連通する流路 1 2 とが形成されている。

左右の給排ポート 1 1 、 1 1から流路 1 2 を経由してシリンダ室 8の一方に圧縮空気を供給することにより、 ピス トン 3 、 3が各シ リ ンダ孔 1 0内を互いに同期して移動する。

前述したように、 2つのピス トン 3 の内側磁石 1 4は、 ピス トン 間で互いに同極同士が対向するように配置されている。 このため、 それぞれのビス トン 3は互いに反発する方向 （図 4における X方向 ) への力 （反発力） が作用する。 この反発力により、 それぞれのピ ス トン 3はシリ ンダ孔 1 0の内壁面に押圧され、 ピス トン 3のゥェ ァリ ング 9 とシリンダ孔内壁面 1 0 との間の摩擦力が増大し、 ビス トン 3 のスライ ドを開始させるためにシリ ンダ室 8 に供給すべき作 動流体の最低圧力 （最小作動圧力） が高くなる問題が生じる。

本実施形態では、 シリ ンダ孔 1 0 、 1 0間に磁性材料からなる部 材 2 2 を配置することにより上記問題を解決している。

本実施形態では、 磁性材料からなる部材 （以下、 「磁性材料部材 」 という） 2 2 として鉄製の薄板 （本実施形態では厚さ 0 . 1 m m 〜 0 . 3 m m程度） が使用され、 一対のシリンダ孔 1 0 、 1 0の間 にピス トンの全移動可能範囲をカバーするように配置されている。

シリンダチューブ 2内にはシリンダ孔 1 0 、 1 0間の位置に、 上 記磁性材料部材 2 2を収容するためのスリ ッ ト 2 5がシリンダチュ ーブ 2軸線方向に沿って形成されている。

磁性材料部材 2 2は、 その両側を非磁性材料 （本実施形態では合 成樹脂） からなるスぺーサ 2 3で挟んだ状態で上記スリ ッ ト 2 5内 に設置される。 図 4に示すように、 スリ ッ ト 2 5の上端と下端とに は、 スリ ッ ト 2 5の幅より大きな系の丸孔 2 4がそれぞれ形成され ており、 磁性材料部材 2 2 とスぺーサ 2 3 とを容易に挿入でき、 し かも挿入後にガ夕が生じないようにされている。

本実施形態では、 磁性材料部材 2 2 をシリンダ孔 1 0間に配置し たことにより、 その両側のピス トン 3の内側磁石 1 4相互間に作用 する反発力が低減されるとともに、 磁性材料部材 2 2 と内側磁石と の間に反発力方向 （図 4 X方向） とは逆方向 （図 4 Y方向） に向け て吸引力が作用するようになる。 このため、 磁性材料部材の厚さを 調節することにより ピス トン 3 に作用する反発力と吸引力とをバラ ンスさせ、 ピス トン 3のウエアリング 9 とシリンダ孔 1 0壁面との 間の面圧の調整を行う ことができる。

上記のように、 本実施形態では単一のシリンダチューブ 2内に一 対の真円形断面のシリンダ孔 1 0 を別個に形成することにより、 シ リンダチューブ 2の肉厚を実用レベルまで薄く した場合でもシリン ダ孔内に内圧が作用したときのシリ ンダチューブの歪みと応力とを 十分に小さくすることができる。 このため、 従来のようにピス トン とスライダ 4との間の磁気結合力を大幅に増大させるこどなく、 高 さの低い （厚みの薄い） 扁平タイプのマグネッ ト式ロッ ドレスシリ ンダを実用化することができる。 また、 複数のピス トン 3で一つの スライダ 4を駆動するようにしたため、 スライダ 4の駆動力 （シリ ンダ推力） を容易に増大することができる。

また、 本実施形態ではシリンダチューブ 2内にシリンダ 1 0、 1 0間に軸線方向に沿って磁性材料部材 2 2 としての鉄製の薄板をピ ス トン 3の全移動範囲をカバーするように配置したことにより、 ピ ス トン 3の内側磁石 1 4相互間に作用する反発力と各内側磁石 1 4 と磁性材料部材 2 2 との間に作用する吸引力とをバランスさせるこ とができる。

これにより、 各ピス トン 3のウエアリング 9 とシリンダ孔 1 0壁 面との間の面圧を適切な値に設定することが可能となり、 ウェアリ ング 9面圧増加による各ピストン 3の最小作動圧力の上昇を抑制す ること可能となり、 マグネッ ト式ロッ ドレスシリンダ 1 の耐久性の 向上を図ることができる。 また、 最小作動圧力を比較的低くできる ため、 シリンダチューブを扁平形状にした場合でも最大歪みや応力 の集中が小さくなる。

更に、 本実施形態では図 4に示すように磁性材料部材 2 2 (例え ば厚さ 0 . l m m〜 0 . 3 m mの鉄板） を、 その両面側に非磁性材 料からなるスぺ一サ 2 3 を介在させた状態でスリ ツ 卜 2 5内に設置 している。

例えばシリンダチューブ 2を押出し加工により成形した場合には 、 スリ ッ ト 2 5の幅をある程度 （ 2 . 0 m m〜 3 , 0 m m ) 以下に 形成することは困難である。 本実施形態では、 上記のようにスぺー サ 2 3 を用いてスリ ツ 卜 2 5内に磁性材料部材を保持するようにし ているため、 スリ ツ ト 2 5の幅より厚さの薄い磁性材料部材 2 2 を スリ ッ ト 2 5内に確実に保持することができる。

さらに、 この場合磁性材料部材 2 2の両側のスぺ一サ 2 3の厚み を変えることにより、 シリンダ孔 1 0間における磁性材料部材 2 2 の位置を精密に設定することができる。 このため、 スリ ッ ト 2 5の 設置位置の精度を低く設定してもピス トンウエアリ ング 9の面圧調 整には影響が生じないので、 加工コス トを低減することができる。

なお、 本発明のマグネッ ト式ロッ ドレスシリ ンダの構成は、 上記 実施形態の態様に何ら限定されるものではなく、 シリ ンダチューブ 、 ピス トン、 スライダ、 エンドキャップ、 磁性材料部材の材質、 形 状、 構造、 取付位置等の構成を、 本発明の精神を逸脱しない範囲で 、 必要に応じて適宜変更することができる。

例えば、 上記実施形態ではシリンダチューブは単一の部材として 構成されていたが、 シリンダチューブを複数の部品から組立てた構 成とすることも可能である。

図 5は、 複数部材からなる組立構造のシリンダチューブ 2 ' の一 例を示す断面図である。 なお、 図 5において、 図 1から図 4と同様 の要素については同一の参照符号を付して示している。 図 5に示すように、 シリンダチューブ 2 ' は、 それぞれ別体に成 形されたシリンダチューブ部材 （左側部材 2 aと右側部材 2 b ) を 互いに結合した組立て構造とされており、，左側部材 2 a及び右側部 材 2 bには、 それぞれシリンダ孔 1 0が穿設されている。

本実施形態では、 右側部材 2 bの左側部材 2 aとの接合面には、 シリンダ孔 1 0軸線方向に沿って凹部が設けられており、 左側'部材 2 aと接合した状態ではこの凹部が磁性材料部材 2 2を収容するス リ ッ ト 2 5 として機能する。

なお、 磁性材料部材 2 2は、 両方のシリンダチューブ部材 2 a、 2 bを連結した後に、 連結により形成されたスリ ッ ト 2 5に挿入す るようにしても良いし、 両方のシリンダチューブ部材 2 a、 2 bを 結合する前に予め右側部材 2 bの凹部に嵌装して置いても良い。 左側部材 2 a及び右側部材 2 bには、 係止凸条及び他方の係止突 条と係合可能な係合溝がそれぞれ設けられており、 それぞれの係止 突条と係合溝とを係合させることにより両部材 2 a、 2 bは接合さ れる。

上記のように、 組立て構造のシリ ンダチューブ 2 ' を用いること により、 押出し成形によりシリンダチューブを製作する場合に、 個 々のシリンダチューブ部材 2 a、 2 bを別々に成形することができ る。 このため、 全体を一度に押出し成形する場合に比べて寸法精度 を向上させることが可能となり、 幅の狭いスリ ッ ト 2 5をを設ける ことが容易になる利点がある。 また、 この場合、 押出し成型用の金 型が製作容易となるとともに、 成形された部材 2 a、 2 bの内外面 の表面粗さや寸法精度を向上させることができる利点もある。 この ため、 スリ ッ ト 2 5の幅を狭くすることによりスぺーサを省略する ことも可能となる。

また、 上記各実施形態では磁性材料部材 2 2 として厚さ 0 . l m m 0 . 3 m mの鉄板を利用しているが、 磁性材料部材 2 2の形状

、 種類はこれに限定されるわけではない。

例えば、 磁性材料部材 2 2としてもつと厚さの大きい鉄板を使用 する とも可能であるし、 或は金網や磁性材料粉 （例えば鉄粉など

) を含有した合成樹脂で磁性材料部材 2 2 を形成することも可能で ある o また、 鉄板以外の磁性体を使用して磁性材料部材 2 2 を構成 する とも可能であることは言うまでもない。

さらに、 スぺーサとしては合成樹脂以外の材料、 例えばアルミ二 ゥム等の非磁性材料を使用することも可能である。

更に 、 上記各実施形態ではシリンダ孔間には単一の磁性材料部材 を配置しているが、 シリ ンダ孔間に配置する磁性材料部材の数は 2 つまたはそれ以上であっても良い。

また 、 逆にシリンダチューブ内に 3つ以上のシリ ンダ孔を設ける

+ 八口には、 必ずしも全部のシリ ンダ孔間に磁性材料部材を配置する 必要はない。

Wに 、 上記各実施形態では単一のシリ ンダチューブ内に複数のシ リ ンダ孔を形成した場合を例にとって説明しているが、 本発明はそ れぞれ一つのシリ ンダ孔が内部に形成されたシリンダチューブを複 数本並列に配置するような場合にも適用可能であることは言うまで もない。

Claims

1 . 非磁性体からなるシリンダチューブと、

該シリンダチューブ内に設けたシリ ンダ孔にシリンダチューブ軸 線方向に移動可能に配置されたピス トンと、

前記シリンダチューブ外周面に沿ってシリンダチューブ軸線方向 請

に移動可能に配置された非磁性体からなるスライダと、

前記ピス トンに配置された内側磁石と、 前記スライダに配置され 前記内側磁石との間に磁気吸引力を生じさせる外側磁石または磁性 体とを備え、 前記磁気吸引力によって前記ピス トンの移動に前記ス ライダが追従するようにしたマグネッ ト式ロッ ドレスシリンダにお 囲

いて、

前記シリ ンダ孔とピス トンとを複数組並列に備え、 これらのうち 少なく とも一対の隣接したシリンダ孔間にシリ ンダ孔軸線方向に沿 つて磁性材料からなる部材を配置したことを特徴とするマグネッ 卜 式ロッ ドレスシリンダ。

2 . 前記複数のシリンダ孔は単一のシリ ンダチューブ内に形成さ れ、 前記磁性材料からなる部材は前記単一のシリンダチューブ内に 配置されていることを特徴とする、 請求項 1 に記載のマグネッ ト式 ロッ ドレスシリ ンダ。

3 . 前記シリンダチューブは、 それぞれが少なく とも 1つのシリ ンダ孔を備えた複数のシリンダチューブ部材を互いに結合すること により構成され、 前記シリンダチューブ部材相互の結合部に前記磁 性材料部材を収容する凹部を備えたことを特徴とする、 請求項 1 ま たは 2に記載のマグネッ ト式ロッ ドレスシリンダ。

4 . 前記磁性材料部材とシリンダ孔との間に非磁性材料からなる スぺーサを配置したことを特徴とする請求項 1 〜 3のいずれか 1項 に記載のマグネッ ト式ロッ ドレスシリ ンダ。

5 . 前記磁性材料部材を磁性金属粉を含有する合成樹脂により形 成したことを特徴とする、 請求項 1〜 3のいずれか 1項に記載のマ グネッ ト式ロッ ドレスシリンダ。