WO2006067996A1 - 動圧発生部の成形方法 - Google Patents

Abstract

　シンプルな工程で高精度かつ低コストに素材の平坦面に動圧発生部を成形可能とする。 　インクジェット法によりノズルヘッド１１から紫外線硬化タイプのインクの微小液滴１３を素材２ｂ’の上側端面２ｂ１に着弾または滴下させる。ノズルヘッド１１と紫外線を照射する光源１４とは素材２ｂ’の進行方向に従って順次配置され、かつ素材２ｂ’と対向する位置に設ける。素材２ｂ’を相対的にスライドさせながら、ノズルヘッド１１からインクの着弾または滴下、および光源１４からの紫外線の照射によるインクの硬化を素材２ｂ’の進行方向に従って徐々に進行させ、動圧発生部を成形する。

Description

明 細 書

動圧発生部の成形方法

技術分野

[0001] 本発明は、動圧発生部の成形方法に関する。

背景技術

[0002] 動圧軸受は、軸部材と、軸部材の外周に位置する軸受部材の相対回転により軸受 隙間に生じた潤滑油の動圧作用で圧力を発生させ、この圧力で軸部材を非接触支 持する軸受である。この動圧軸受は、高速回転、高回転精度、低騒音等の特徴を備 えるものであり、近年ではその特徴を活力して、情報機器、例えば HDD、 FDD等の 磁気ディスク装置、 CD-ROM, CD-R/RW, DVD—ROMZRAM等の光ディ スク装置、 MD、 MO等の光磁気ディスク装置などのスピンドルモータ用の軸受、レー ザ一ビームプリンタ (LBP)のポリゴンスキャナモータ用の軸受、あるいは電気機器、 例えばプロジェクタのカラーホイール、軸流ファンなどの小型モータ用の軸受として、 その用途を拡大しつつある。

[0003] この種の動圧軸受では、軸受隙間に流体の動圧作用で圧力を発生させるための動 圧発生部として、スラスト軸受面に、例えばスパイラル状に配列された動圧溝を転写 印刷によって形成されたものが知られている（例えば、特許文献 1参照)。

[0004] また、この種の動圧軸受では、例えば軸部材の外周面に、動圧作用を発生するた めの動圧発生部 (例えば動圧溝をへリングボーン形状やスパイラル形状等に配列し たもの）が形成される。この特殊かつ複雑な動圧発生部を精度良く形成するための方 法として、以下に述べる方法（1)〜（3)が知られて 、る。

[0005] (1)動圧発生部を例えば動圧溝で構成する場合、動圧溝以外の部分を、軸部材の 外周に電気化学的方法の組合せにより耐食インクで印刷し、非印刷部をエッチング により腐食させて動圧溝を形成する。

[0006] (2)印刷装置の印刷型に軸部材を接触させながら軸部材を 1回転させ、軸部材の外 周に動圧溝以外の部分を耐食インクで印刷する。次いで、非印刷部のエッチング処 理を行!ゝ動圧溝を形成する。 [0007] (3)印刷型を、軸部材の外周面と接触させながら軸部材の回転に応じて移動させる ことにより、軸部材の外周に動圧溝以外の部分を耐食インクで印刷すると共に、軸部 材の印刷型との接触部以外の位置に光線を照射してインクを硬化させる（例えば、特 許文献 2を参照)。

特許文献 1：特開 2004— 052850号公報

特許文献 2 :特公昭 62— 49351号公報

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0008] 特許文献 1にお 、て、動圧発生部 (動圧溝)を成形するための転写印刷は概ね次 に示す手順に従って行われる。まず、動圧溝形状に対応した凹部を有する版部材に インクを流し込み、凹部カゝら溢れたインクをスキージにより除去する (版準備工程)。 次に、前記版部材にパッド部材を押し当て、凹部内に充填されたインクをパッド部材 に転写する（一次転写工程)。そして、インクが転写されたパッド部材を、スラスト軸受 面を形成する部材に押し当て、所定の動圧溝形状を印刷成形する（二次転写工程） 。最後に、パッド部材に残留するインクを、別途準備するインク除去部材で除去する（ インク除去工程)。

[0009] し力しながら、転写印刷による動圧発生部の成形に際しては、動圧発生部の形態 や大きさに合わせた版部材 (印刷型)を数多く保有する必要があり、印刷はパッド部 材と接触状態で行われることから、量産時にはパッド部材の変形，劣化等による印刷 精度の低下が懸念される。版準備工程では、版部材にインクを余分に供給し、スキー ジにより余分なインクを除去する必要があり、さらに、転写印刷後のパッド部材に残留 するインクは除去されるため、動圧発生部に直接関係しない多量のインクが必要であ る。また、数多くの型（工程)を経由して印刷が行われることから、成形工程が複雑で 低コストィ匕が困難である。近年では、情報機器の低価格ィ匕に伴い、この種の動圧軸 受装置に対するコスト低減の要求も益々厳しくなつており、この要請に応えるためにも 、動圧発生部の成形工程を簡略ィ匕し、低コストに動圧軸受装置を製造できることが切 望されている。

[0010] また、特許文献 2に記載の方法のうち、 (1)の方法では、工程が複雑となるために 合理ィ匕が困難であり、また、（2)の方法では、軸部材が 1回転する際に印刷の接合部 で硬化不十分なインクの重なりが生じ、溝形状の崩れが生じ易ぐ印刷後に形状の 修正が避けられな!/、可能性がある。

[0011] 一方、（3)の方法では、印刷型が軸部材の外周面と接触して移動するため、接触 部で摩耗が生じ易ぐ量産時には印刷型の摩耗や変形等による印刷精度の低下が 懸念される。さらにインク供給装置力 供給された耐食インクは、印刷型を経て軸部 材の外周面に到達し、さらにスキージ（squeegee)により圧迫されて軸部材外周面に 定着するから、溝形状に関与しない余分な耐食インクが必要であり、高価な耐食イン クの使用量が増して不経済である。

[0012] また、印刷後はエッチングによる非印刷部の腐食、および耐食インクの除去が不可 欠であることから、成形工程が複雑で多工程となり、高コスト化の一因となる。

[0013] 同様に、特許文献 2に示す動圧溝の形成方法では、印刷型は軸部材の外周面と 接触して移動するため、接触部での摩耗が生じやすぐ量産時には印刷型の摩耗や 変形等による印刷精度の低下が懸念される。また、インク供給装置から供給された耐 食インクは、印刷型を経て軸部材の外周面に到達し、さらにスキージにより圧迫され て軸部材外周面に定着する。よって、溝形成に関与しない余分な耐食インクが必要 であり、高価な耐食インクの使用量が増して不経済である。さらに、印刷には、動圧 溝および素材形状に対応した印刷型が必要となるため、近年の多種多様な要求に 対応するためには投資が力さむ。

[0014] ところで近年、情報機器は著しい高性能化が図られており、動圧軸受装置にも益々 の高性能化が求められて 、る反面、情報機器は著 U、低価格ィ匕の波にも曝されて ヽ るため、動圧軸受装置にも益々の低コストィ匕が求められている。しかしながら従来方 法では、上記のような課題を有し、この種の要求に十分に応えることが困難である。

[0015] 本発明の第 1の課題は、シンプルな工程で高精度にかつ低コストに動圧発生部を 成形することである。

[0016] 本発明の第 2の課題は、成形工程を簡略ィ匕して、低コストかつ高精度に動圧発生 部を成形することである。

[0017] 本発明の第 3の課題は、高精度な動圧発生部を一層低コストに形成可能とする方 法を提供することである。

課題を解決するための手段

[0018] 前記第 1の課題を解決するため、本発明は、素材の平坦面の多数箇所に微量イン クを非接触で供給する印刷工程と、供給したインクを硬化させる硬化工程とを経て、 微量インクの集合体で動圧発生部を成形することを特徴とする動圧発生部の成形方 法を提供する。

[0019] 本発明中、「動圧発生部」は、軸受隙間に流体の動圧作用で圧力を発生させるもの を意味し、例えば複数の溝 (軸方向溝や傾斜溝、あるいはこれらをスパイラル状、ヘリ ングボーン状に配列したもの、半径方向溝など）と、各溝の間にあってこれを区画形 成する凸状の区画部とからなるもの、あるいは、軸受隙間を円周方向の一方または 双方にくさび状に縮小させる複数の円弧面等が含まれる。動圧発生部を形成する素 材の材質は特に問わず、金属材料 (ステンレス鋼等の鋼材料、真ちゆう等の軟質金 属、焼結金属等)ゃ榭脂組成物等が必要とされる軸受特性に応じて適宜選択して使 用される。また、素材の形態も平坦面を有するものであれば、プレート状、スリーブ状 、有底円筒状等の種々の形態をとり得る。

[0020] 上記成形方法によれば、ノズル等のインク供給部と素材とを非接触の状態で印刷 することが可能となる。従って、高精度の印刷が可能となる一方、従来方法で問題と なる接触部での印刷精度の低下を回避することができる。また、印刷型にインクを余 分に供給してから、スキージにより余分なインクを除去する必要がなぐ必要箇所の みにインクが使用されるので、インクは動圧発生部の形成に関与するだけの使用量 で足り、インクの使用量を削減することができる。さらには、従来必要であった動圧発 生部形状に対応した多数の印刷型が不要であり、複数の工程は不要となるので成形 装置の構造を簡略ィ匕することができる。ノズル力 微量インクを供給する代表例として 、例えばインクジェット法を挙げることができる。

[0021] インクジェット法による動圧発生部の成形方法では、素材の平坦面に着弾または滴 下させたインクの微小液滴の集合体により任意の形状や厚みを有するパターンを印 刷することができる。また、力かるパターンを予めプログラミングし、そのプログラムに 沿ってノズルの位置およびインクの供給 ·停止を制御することにより高精度のパターン 成形が可能となる。よって、硬化したインク自体で高精度の動圧発生部を成形するこ とがでさる。

[0022] この場合、素材の平坦面に微量インクを非接触で供給する印刷工程と、供給したィ ンクを硬化させる硬化工程との間で素材を相対的にスライドさせ、インクの供給およ び硬化を連続して進行させるようにすれば、シンプルな装置および工程で短時間の うちに動圧発生部を形成することが可能となる。また、印刷工程と硬化工程とを経た 素材を、再度印刷工程→硬化工程に供給して印刷を行っても良い。このように、素材 を再度印刷工程に供給した場合でも、一度硬化工程を経たインクは完全に硬化して V、るので、硬化不十分なインクの重なりによる印刷精度の低下を回避することができ る。

[0023] 上記印刷工程での印刷は、例えば微量インクを吐出するノズルを複数列に配したノ ズルヘッドを用いて行うことができる。この場合、ノズルヘッドに配されたノズルの配列 方向と、素材の相対スライド方向とは傾斜した状態であることが望ましい。ノズルの配 列方向が素材の相対スライド方向と直交して ヽる場合、 1サイクル中にノズル力ゝら供 給され、素材に着弾するインクの間隔は、当然にノズルの配列間隔と等しくなる。一 方、ノズルの配列方向と素材の相対スライド方向とを傾斜させれば、ノズルカゝら供給さ れ素材に着弾するインクの間隔は、ノズルの配列間隔よりも小さくなるため、同一のノ ズルヘッドを用いて印刷を行った場合、インクの着弾間隔を小さくでき、より高精度な 印刷を行うことが可能になる。

[0024] なお、素材の印刷工程力 硬化工程への移送は、上記相対スライドの他、素材をそ の軸心を中心として相対回転させることによって行うこともできる。この場合、印刷工 程と硬化工程とは円周方向位置を異ならせて設けられ、これにより、動圧発生部の印 刷およびインクの硬化を素材の円周方向に同時進行させることができる。

[0025] 本発明で用いるインクは、電子線や光線などの電磁波の照射で硬化させることがで きるが、コストや作業環境等を考慮すると、インクとして光硬化性のものを使用し、光 線の照射でインクを硬化させるのが望ましい。光硬化性のインクしては、紫外線硬化 タイプや赤外線硬化タイプの他、可視光硬化タイプのインクも使用することができるが 、低コストでかつ短時間で硬化させることのできる紫外線硬化タイプが特に望ま 、。 [0026] 前記第 2の課題を解決するため、本発明は、素材表面に微量インクを供給し、この 微量インクの集合体で動圧発生部を印刷する工程と、インクを硬化させる工程を含み 、動圧発生部の成形工程の前に、素材表面を、酸洗浄、 UV洗浄、オゾン洗浄の中 から選択される一の手段により洗浄を行うことを特徴とする動圧発生部の成形方法を 提供する。

[0027] 微量インクをインク供給部、例えばノズルから吐出し、これを素材表面に例えば着 弾又は滴下させる等の形態で供給することにより、インク供給部 (ノズル)と素材とを未 接触の状態で印刷することが可能になる。従って、高精度の印刷が可能となる一方、 従来方法で問題となる接触部での摩耗による印刷精度の低下を回避することができ る。また、スキージが不要で必要箇所にのみインクが供給されるので、インクは動圧 発生部の形成に関与するだけの量で足り、力かる材料コストを削減することができる。 さらには、印刷型や印刷型を保持するための保持部材 (例えば網の目状の印刷用ス クリーン等）が不要であり、かつ素材の回転に応じて印刷型を移動させる機構も不要 となるので、成形装置の構造を簡略ィ匕して、より一層の低コストィ匕を図ることができる。 ノズルからインクを供給する代表例として、インクジェットによる供給方法を挙げること ができる。

[0028] 例えばインクジェット法では、印刷パターンを予めプログラミングし、そのプログラム に沿ってノズルの位置およびインクの供給 ·停止を制御することによりパターン印刷を 行うが、この際、印刷パターンの成形精度は、インクを定着すべき素材の表面状態に よって大きく左右される。すなわち、その表面にインクを定着させて動圧発生部を形 成する素材は、例えば動圧軸受においては、軸部材であり、あるいは軸受スリーブな どである。これら動圧軸受の構成部品は、例えば金属の切削加工等で形成され、切 削加工後の軸部材外周面には、切粉や機械油、油脂などの不純物が付着した状態 となる。このままの状態の素材を使用すれば、素材表面のうち、表面状態が良好でな V、 (不純物が付着した)領域に着弾した微量インクの、着弾後の形状 (例えば素材表 面との接触角）が、表面状態の良好な他所に着弾したインクの形状と異なる場合があ る。そのため、着弾後の微量インクの形状 (例えば表面との接触角）にばらつきが生じ 、これら微量インクの集合体で形成される動圧発生部の形状が安定しな!、可能性が ある。

[0029] インクジェット法では、着弾後の微量インクの形状 (接触角）を想定した上でノズル 位置を制御しているので、着弾する素材表面の位置によって、微量インクの着弾後 の形状が一定しな 、と、たとえノズル位置やインクの吐出量を高精度に制御したとし ても、微量インクの集合体で形成される印刷パターン (動圧発生部)を、高い形状精 度をもって形成できな 、可能性がある。アセトン等の有機溶剤で素材表面を洗浄す る方法も考えられるが、これら有機溶剤では、洗浄性に乏しぐ素材の表面状態を所 要のレベルにまで改善することは難し 、。

[0030] そこで、本発明では、動圧発生部の成形工程の前に、素材表面を、酸洗浄、 UV洗 浄、オゾン洗浄の中力 選択される一の手段により洗浄することにした。これによれば 、例えば素材本体の成形工程中に素材表面に付着した不純物が取り除かれ、素材 表面が一様かつ良好な表面状態となる。従って、この後の印刷工程で、素材表面に 供給された微量インクの形状、例えば素材表面との接触角を一定とし、印刷パターン の成形性を向上させることができる。また、素材ごとの表面状態のばらつきを小さく抑 えることで、印刷パターンの再現性を改善することができる。

[0031] 素材表面の洗浄手段としては、酸洗浄、 UV洗浄、オゾン洗浄などが使用可能であ る力 例えば素材表面が金属力 なる場合には、金属の溶解性に優れている酸洗浄 を用いるのが好ましい。これによれば、素材表面に付着した不純物の除去にカ卩えて、 金属素材の表面に形成される酸ィ匕被膜の除去が可能となるので、素材の表面状態 をより均一かつ良好なものにすることができる。

[0032] 例えば動圧軸受に使用される軸部材には、ステンレス鋼等の高強度材料が用いら れるが、このような場合、酸の中でも特にステンレス鋼の溶解性に優れた塩酸を用い るのがより好ましい。

[0033] また、素材表面の酸洗浄を、超音波作用下で行うことによつても、素材表面の洗浄 作用を高めることができる。あるいは、洗浄環境下における温度を上げる（例えば 50 °C程度)ことによつても、洗浄作用を高めることができる。

[0034] 前記第 3の課題を解決するため、本発明は、軸部を構成する金属製の素材表面に 、軸受隙間に動圧作用を発生させるための動圧発生部を形成するに際し、複数個の 素材を軸方向に連結した状態で微量インクを供給し、各素材に微量インクの集合体 で動圧発生部を形成することを特徴とする動圧発生部の形成方法を提供する。

[0035] 本発明にお 、て動圧発生部は、複数個の素材を連結した状態で各素材に形成さ れる。従って、 1回の印刷工程で複数の素材に同時に動圧発生部を形成することが できる。これにより、例えば段取り回数等を低減してサイクルタイムを短縮し、動圧発 生部の製造コストを低減することができる。

[0036] 動圧発生部を形成するに際し、微量インクを供給する具体的な方法として、例えば 素材表面にインクを細孔ノズル力も着弾または滴下する、 V、わゆるインクジェット法の 他、電気泳動を利用してインクを誘導する方法、ノズルではなぐインク液面からイン ク液滴を飛ばすノズルレスタイプのインクジェット法（ノズルレスインクジェット法）、マイ クロピペットを介してインクを液滴の状態ではなく連続的に吐出する方法、あるいは定 着面までの距離を短縮し、インクを吐出と同時に定着面に着弾させる方法等が考え られる。なお、これらを総称したものを「インクジェット法等」と称し、以下説明を進める こととする。

[0037] インクジヱット法等による動圧発生部の形成方法では、任意の形状や厚みを有する パターンを予めプログラミングし、そのプログラムに沿ってインクの供給部（例えば、ノ ズル)の位置およびインクの供給 ·停止を制御することにより、任意かつ高精度の形 状パターンを印刷することができる。また、インクの吐出量を精密に制御することによ り、形状パターンの各部を任意の厚さに形成することができる。従って、硬化したイン ク自体で必要な動圧発生部形状を確保することができる。

[0038] また、インクジェット法等による印刷は、素材とノズルとが非接触の状態で行われる ため、従来方法で問題となる接触部での摩耗による精度低下を回避することができる 。また、印刷型にインクを余分に供給してから、スキージにより余分なインクを除去す る必要がなぐ必要箇所のみにインクが使用されるので、インクは動圧発生部の形成 に関与するだけの使用量で足り、インクの使用量を削減することができる。さらに印刷 型は不要で、かつ軸部材の回転に応じて印刷型を移動させる機構も不要となるので 、成形装置を簡略化できる。このように印刷方法をインクジェット法等にすることで、動 圧軸受装置の製造コストを低減することができる。 [0039] 複数個の素材を軸方向に連結するに際し、動圧発生部を各素材間でのバラツキな く高精度に形成するためには、素材同士を連結させたときの同軸度が非常に重要で ある。そこで本発明では、素材に軸方向の貫通穴を設け、該貫通穴に冶具を挿入す ることで同軸度の確保を図った。これによれば、簡易な冶具を用いるだけで同軸度を 保つことが可能であるため、連結された全ての素材に対し、高精度な動圧発生部を 均質かつ低コストに形成することが可能となる。

[0040] なお、各素材は上記の冶具を用いる他、各素材の一端に凸部を、他端に凹部を設 け、かつ隣接する素材の一方に設けた凸部と、他方の凹部とを嵌合させることによつ て連結することもできる。

[0041] ところで従来方法では、素材 (軸部材)と印刷型とを接触させた状態で印刷が行わ れる。このとき、複数個の素材を軸方向に連結していると、接触部における加圧力に よって連結した素材がたわむために連結した素材間で同軸度が悪ィ匕し、これにより 所望の動圧発生部の精度を確保することが困難となる恐れがある。一方、本発明の ようにインクジェット法等を用いれば、素材とノズルとが非接触の状態で印刷が行われ るため、上記事態を回避し、複数個の素材全てに高精度の動圧発生部を形成するこ とが可能となる。

[0042] 本発明で用いる動圧発生部を形成するためのインクは、電子線や光線等の照射で 硬化させることができるが、硬化工程でのコスト面や作業環境等を考慮すると、インク として光硬化性のものを使用し、光線の照射でインクを硬化させるのが望ましい。光 硬化性のインクとしては、紫外線硬化タイプや赤外線硬化タイプの他、可視光硬化タ イブのインクも使用することができる力 低コストでかつ短時間で硬化させることができ る紫外線硬化タイプが特に望まし ヽ。

発明の効果

[0043] 以上のように、本発明によれば、シンプルな装置で高精度かつ低コストに動圧発生 部を成形することができる。

[0044] また、本発明によれば、成形工程を簡略ィ匕して、低コストかつ高精度に動圧発生部 を成形することができる。

[0045] また、本発明によれば、高精度な動圧発生部をより低コストに形成することが可能と なる。

発明を実施するための最良の形態

[0046] 以下、本発明の第 1実施形態を図 1〜図 10に基づいて説明する。

[0047] 図 1は、本発明に力かる動圧発生部の成形方法の一例として、インクジェット方式の 印刷装置を用いた動圧発生部の成形工程の概要を示すものである。本図示例は、 図 5に示す軸部材 2のうち、フランジ部 2bを構成する素材 2b'の上側端面 2b 1に動圧 発生部を成形する成形装置および工程の概要を示すものである。

[0048] この成形装置において素材 2b'は、例えばコンベア等の移送機 15によって移送さ れる。この移送機 15は、素材 2b'を相対的に直線スライドさせて印刷工程力 硬化工 程に移送する。素材 2b'は例えばステンレス鋼等の金属材料力 なるプレート状をな す。素材 2b'の平坦面、例えば上側端面 2blと対向して、一組又は複数組のノズル ヘッド 11と光源 14とが配置される。本実施形態において、ノズルヘッド 11とその対向 領域とが、素材 2b'の上側端面 2blの多数箇所にインクを供給する印刷工程、光源 14とその対向領域とが、多数箇所に供給されたインクを硬化させる硬化工程となる。 素材 2b 'のスライド方向に従ってノズルヘッド 11と光源 14とが順次配置される。

[0049] ノズルヘッド 11の先端には、インクを噴出させるノズル 12が、縦横にそれぞれ複数 列設けられる。インクタンク 18に溜められたインクはインク供給管 17を介してノズルへ ッド 11に供給され、さらにノズルヘッド駆動部 16によって駆動されるノズルヘッド 11 の各ノズル 12から微小液滴 13となって間欠的に噴出する。ノズル 12からのインクの 吐出形式は特に問わず、ピエゾ方式、サーマルインクジェット方式、エアジェット方式 などの種々の吐出方式が選択され、ノズルヘッド駆動部 16には各吐出形式に応じた 構成が採用される。また、印刷方式は、連続 (コンティ-ユアス)式、オンデマンド式の 何れでもよい。

[0050] ノズルヘッド 11は、素材 2b' (移送機 15)の相対スライド方向と交差するように配置 されている。このとき、ノズルヘッド 11は、図 2Aに示すように各ノズル 12の配列方向（ 同図でいえば、図面上下方向）が素材 2b'の相対スライド方向と直交するように配置 する他、図 2Bに示すように素材 2b'の相対スライド方向と所定角度 Θだけ傾斜させ て配置することもできる。図 2Aに示す形態の場合、一回の吐出での微小液滴 13の 着弾間隔 t2はノズル 12の配列間隔 tlと等しくなる。これに対し、図 2Bに示す形態の 場合、微小液滴 13の着弾間隔 t2はノズル 12の配列間隔 tlと比して狭くなるため、よ り高精度な印刷が可能となるメリットが得られる。

[0051] 本実施形態では、光源 14として紫外線照射ランプが使用される。これに対応して、 インクジェット印刷で使用するインクは市販の紫外線硬化タイプのものが使用される。 紫外線硬化インクは、紫外線の照射で重合反応を起こして定着するもので、ノズル 1 2から吐出可能であれば、液状の高分子材料および溶媒を含む液状の高分子材料 の何れもが使用可能である。溶媒は紫外線硬化インクを溶かす性質を有するもので あれば、何れの有機溶剤を用いても構わない。

[0052] 紫外線硬化インクのベース榭脂を構成する紫外線硬化榭脂としては、例えばラジカ ル重合性モノマーやラジカル重合性オリゴマー、カチオン重合系モノマーの他、イミ ドアタリレート、あるいは環状ポリェンィ匕合物やポリチオールィ匕合物に代表されるェン .チオール化合物が挙げられる力 この中でもラジカル重合性モノマーやラジカル重 合性オリゴマー、カチオン重合系モノマーを好ましく使用することができる。ラジカル 重合 ¾モノマーとしては、例えば単官能、 2官能あるいは多官能のアタリレート系モノ マーや、メタタリレート系モノマーが使用でき、ラジカル重合性モノマーとしては、例え ばウレタンアタリレートや、エポキシアタリレート、ポリエステルアタリレート、あるいは不 飽和ポリエステルなどが使用できる。また、カチオン重合系モノマーとしては、例えば ビスフエノール A系エポキシ榭脂や、フエノールノボラックエポキシ榭脂、脂環式ェポ キシ榭脂の他、 3 ェチルー 3 ヒドロキシメチルォキセタン、 1 , 4 ビス { [ (3 ェチ ルー 3—ォキセタ -ル）メトキシ]メチル }ベンゼン、 3—ェチルー 3—（フエノキシメチル )ォキセタン、ジ [1 ェチル（3—ォキセタ-ル）]メチルエーテル、 3 ェチルー 3— ( 2 ェチルへキシロキシメチル）ォキセタン、 3 ェチルー 3—{ [3 （トリエトキシシリ ル)プロボキシ]メチル }ォキセタン等のォキセタン樹脂が使用できる。これら紫外線硬 化榭脂は、単体で使用する他、 2種類以上を混合したものをベース榭脂として使用す ることちでさる。

[0053] これらベース樹脂には、紫外線照射により重合反応を起こさせるためのラジカル系 光重合開始剤や、カチオン系光重合開始剤等の光重合開始剤を使用することがで きる。ラジカル系光重合開始剤としては、例えばべンゾフエノンや、オルソベンゾイン 安息香酸メチル、 4一べンゾィルー 4 'ーメチルジフエ-ルサルファイド、ベンゾフエノ ンのアンモニゥム塩、イソプロピルチォキサントン、ジェチルチオキサントン、チォキサ ントンのアンモニゥム塩に代表される水素引抜型の光重合系開始剤が使用でき、あ るいはべンゾイン誘導体や、ベンジルジメチルケタール、 ひ一ヒドロキシアルキルフエ ノン、 α—ァミノアルキルフエノン、ァシルホスフィンオキサイド、モノァシルホスフィン オキサイド、ビスァシルホスフィンオキサイド、アクリルフエ-ルグリオキシレート、ジエト キシァセトフヱノン、チタノセン化合物に代表される分子内開裂型の光重合開始剤が 使用できる。また、カチオン系光重合開始剤としては、例えばトリフエ-ルスルホユウ ムへキサフルォロアンチモネートや、トリフエ-ルスルホ -ゥムへキサフルオロフォスフ エート、 SP— 170や SP— 150 (共に旭電ィ匕（株）製）、 FC— 508や FC— 512 (共に 3 Μカンパ-一社製）、 UVE- 1014 (ゼネラルエレクトリックカンパ-一社製）に例示さ れるポリアリールスルホ -ゥム塩、 Uvacurel590や Uvacurel591 (共にダイセル' ユーシービー社製）に例示されるトリァリルスルフォ -ュムへキサフルオロフォスフエー ド塩の混合物、 Irg- 261 (チバ 'ガイギ一社製）に例示されるメタ口セン化合物、ジフ ェ-ノレョード -ゥムへキサフノレオ口アンチモネートや P—ノ-ノレフエ-ノレフエ-ノレョー ドニゥムへキサフルォロアンチモネート、 4, 4 'ージエトキシフエ-ルョードニゥムへキ サフルォロアンチモネート等のポリアリールョードニゥム塩が使用できる。これら光重 合開始剤は、 1種類であるいは 2種類以上を組み合わせて使用することもできる。 以上の構成において、移送機 15を駆動し、素材 2b'を図 1に示す矢印方向にスラ イドさせながら、ノズル 12からインクの微小液滴 13を噴出させる。これにより、素材 2b ，の上側端面 2blの多数箇所にインクの微小液滴 13の集合体で凸状を成す区画部 Baが形成される。一方、区画部 Ba以外のインクで被覆されていない領域が動圧溝 B bとなり、これら区画部 Baと動圧溝 Bbとで、動圧発生部として例えば図 3に示すような スパイラル状に配列された動圧溝パターンが印刷される。この際、各ノズル 12では、 予め定められたタイミングでインクの供給'停止が適宜切り換えられるため、高精度な 印刷が可能となる。印刷終了後、素材 2b'が光源 14の対向領域に達し、紫外線の照 射を受けたインクが重合反応を起こして硬化する。このとき、ノズルヘッド 11と光源 14 とは移送方向に離れて配置されているので、光源 14から照射される紫外線がノズル 12に照射されることはなぐ従って照射紫外線によるノズル 12の目詰まり等を防止す ることがでさる。

[0055] このようにしてインクを全て硬化させた後、素材 2b'をさらにスライドさせて移送機 15 から取り出す。このとき、移送機 15に複数の素材 2b'を連続供給すれば、動圧溝パ ターンを印刷'硬化した素材 2b'を量産することができる。素材 2b'の下側端面 2b2 にも動圧溝パターンを形成する場合には、図 1に示す成形装置の下流にノズルへッ ド 11および光源 14を有する下側端面 2b2用の成形装置を別途配設し、両成形装置 に順次素材 2b'を供給すれば良い。この他、図 1に示す成形装置を両端面 2b 1、 2b 2での動圧溝パターンの印刷'硬化に共用することもできる。この場合、何れか一方 の端面への動圧溝パターンの印刷'硬化を行った後、素材 2b'を反転させて再度図 1に示す成形装置に供給し、他方の端面への動圧溝パターンの印刷'硬化を行う。

[0056] 以上の説明ではノズルヘッド 11を固定し、素材 2b'をスライドさせて動圧溝パター ンの印刷を行う場合を例示しているが、これとは反対に、素材 2b'を静止させた状態 でノズルヘッド 11を往復スライドさせて印刷してもよい。また、上記のように、素材 2b' 端面への動圧溝パターンの印刷'硬化を 1回で行う他、複数段階に分けて行うことも できる。この場合、一度硬化工程を経たインクは完全に硬化しているので、その後再 度印刷しても硬化不十分なインクの重なりによる印刷精度の低下は回避できる。

[0057] ノズルヘッド 11は、予めプログラミングした形状にならってインクの微小液滴 13を精 密に吐出する。従って、高精度に動圧発生部としての動圧溝パターンを印刷すること ができる。加えて、図 4Aに示すように硬化したインク自体で必要な動圧溝深さ (数 m〜数十 μ m)を確保することができるので、その後エッチング等の工程を経ることな ぐそのまま動圧溝付きの軸部材 2として使用することが可能となる。

[0058] また、インクジェット法による印刷は、従来の転写印刷のようなパッド部材による接触 部分を持たず非接触の状態で行われるため、接触部分の劣化等による印刷精度の 低下を回避することができ、量産時にも安定して動圧溝精度を確保することができる 。また、インクを余分に供給した上でスキージにより除去し、パッド部材に残留するィ ンクを除去する必要がないため、インクは動圧溝パターンの形成に関与するだけの 使用量で足りる。よってインクの使用量を削減して低コストィ匕を図ることもできる。さら に、一工程のみで所定の形状をなす動圧発生部を形成できるため、複数工程を経て 動圧発生部を形成する必要がなぐかつ印刷型も不要であることから、サイクルタイム を短縮して成形コストを低減することができるとともに、装置は非常に小型のもので済 み、印刷装置の大幅な低価格ィ匕を図ることが可能となる。

[0059] 図 4Aでは、動圧溝 Bbをインクの非被覆部分で形成する場合を例示している力 図 4Bに示すように、インクで被覆された部分 (インク層） 25で動圧溝 Bbを形成すること もできる。後者の場合、素材 2b'の端面全体力 Sインクで被覆され、さらにその上に凸 状の区画部 Baがー体形成される。この構成であれば、図 4Aに示す場合に比べイン クの使用量は増す一方、素材 2b'に対するインクの接着面積が増すので、インクの剥 離等による耐久寿命の低下を抑えることができる。

[0060] インクの定着方式としては、上述のインクジェット方式のみならず、例えば電気泳動 を利用して液滴を吐出する方法、つまりノズルではなぐインク液面からインク液滴を 飛ばすノズルレスタイプのインク吐出方式、あるいはマイクロピペットを介してインクを 液滴の状態ではなく連続的に素材の表面に吐出する方式、あるいは素材表面まで の距離を短縮し、インクを吐出と同時に定着面に接触させる方式などを使用すること もできる。ノズルヘッド駆動部 16には各吐出形式に応じた構成を採用することができ る。

[0061] 図 5に、動圧溝パターンの成形装置の他の構成例を示す。この構成例においては 、素材 2b'を相対回転させて、素材 2b'の一方の端面あるいは両端面に動圧溝バタ ーンを成形する。

[0062] 図 5における構成において、素材 2b'はその上下端面力も押し付けられた軸状の保 持部 21によって支持される。保持部 21は、転がり軸受 23によって回転自在に支持さ れ、かつ一方の保持部 21にはモータ等力もなる回転駆動部 22が連結される。回転 駆動部 22を起動することにより、保持部 21を介して回転動力を受けた素材 2b'が回 転駆動される。ノズルヘッド 11と光源 14は、素材 2b'の上側端面 2blと対向し、かつ その円周方向位置を異ならせて、好ましくは図示のように保持部 21を挟んだ対向位 置に配置されている。なお、図 1に示す構成と同一の構成部材については同一符号 を付与し、その機能も含め重複説明を省略する。

[0063] 上記構成において、素材 2b'を回転させながらノズルヘッド 11のノズル 12からイン クを吐出して、素材 2b'の上側端面 2blに区画部 Baと動圧溝 Bb力もなる動圧溝パタ ーンを印刷する。この構成例において、印刷は素材 2b'の回転に伴って徐々に円周 方向に進行する形で行われ、印刷部分が円周方向にある程度進行（図示例の場合 は半周）し、印刷部分が光源 14の対向領域に達すると、紫外線の照射を受けたイン クが重合反応を起こして硬化する。

[0064] 図示例では、一つのノズルヘッド 11を使用する場合を例示して ヽるが、これを半径 方向あるいは円周方向の複数箇所に配置することもできる。さらには素材 2b'を一回 転させる間に全面に動圧溝パターンを印刷する他、素材 2b'をこれ以上の回転数、 例えば二〜数十回転させて、素材 2b'の全面に動圧溝パターンを形成することもで きる。

[0065] 図 6は、動圧軸受装置 (流体動圧軸受装置） 1を組込んだ情報機器用スピンドルモ 一タのー構成例を概念的に示している。この情報機器用スピンドルモータは、 HDD 等のディスク駆動装置に用いられるもので、動圧軸受装置 1と、動圧軸受装置 1の軸 部材 2に取り付けられたロータ（以下、ディスクハブ 3と称す。）と、例えば半径方向の ギャップを介して対向させたステータコイル 4およびロータマグネット 5と、ブラケット 6 を備えている。ステータコイル 4はブラケット 6の外周に取り付けられ、ロータマグネット 5は、ディスクハブ 3の内周に取り付けられている。ディスクハブ 3は、その外周に磁気 ディスク等のディスク Dを一枚または複数枚保持する。ブラケット 6の内周にハウジン グ 7が装着されている。ステータコイル 4に通電すると、ステータコイル 4とロータマグ ネット 5との間に発生する電磁力でロータマグネット 5が回転し、それに伴ってディスク ハブ 3、軸部材 2が回転する。

[0066] 図 7に、上記スピンドルモータで使用される動圧軸受装置 1の一例を示す。この動 圧軸受装置 1は、スリーブ状の部分を有する軸受部材 27と、軸受部材 27の内周に 挿入された軸部材 2と、軸受部材 27の一端開口部を封口する蓋部材 28と、シール部 材 9とを主要な構成部材として含む。本形態において、軸受部材 27は、軸受スリーブ 8と、内周に軸受スリーブ 8を固定した円筒状のハウジング 7とで構成される。なお、説 明の便宜上、ハウジング 7のシール部材 9に密封される側を上側、ハウジング 7の蓋 部材 28で密封される側を下側として説明を進める。

[0067] 軸部材 2は、例えばステンレス鋼等の金属材料で、軸部 2aとその一端に一体又は 別体に設けられたフランジ部 2bとで構成される。軸部 2aの外周面 2alには、動圧発 生部として、例えばへリングボーン形状に配列された動圧溝 Abと、動圧溝 Abを区画 形成する区画部 Aaとを含むラジアル軸受面 Aが軸方向に 2箇所離隔形成される。上 側のラジアル軸受面 Aでは、動圧溝 Abが軸方向中心 mに対して軸方向非対称に形 成されており、軸方向中心 m り上側領域の軸方向寸法 XIが下側領域の軸方向寸 法 X2よりも大きくなつている。そのため、軸部材 2の回転時、動圧溝 Abによる潤滑油 の引き込み力（ボンビング力）は下側の対称形のラジアル軸受面 Aに比べ上側のラジ アル軸受面 Aで相対的に大きくなる。なお、ラジアル軸受面 Aは任意の数を形成可 能であり、 1箇所ある!ヽは軸方向の 3箇所以上に形成してもよ 、。

[0068] 軸部材 2のフランジ部 2bの上側端面 2blには、上記インクジェット印刷により動圧発 生部として、例えば図 3に示すようなスパイラル形状に配列された動圧溝 Bbと、動圧 溝 Bbを区画形成する区画部 Baとを含む第 1のスラスト軸受面 Bが形成されている。ま た、フランジ部 2bの下側端面 2b2には、上側端面 2b 1同様に上記インクジェット印刷 により、例えばスパイラル形状に配列された動圧溝と、動圧溝を区画形成する区画部 とを含む第 2のスラスト軸受面 C (図示省略)が形成されている。

[0069] なお、軸部 2aの外周面 2alに形成されているラジアル軸受面 Aについては、フラン ジ部 2bの上側端面 2blおよび下側端面 2b2と同様に、動圧発生部をインクジェット 印刷で成形することができる。この他、転造加工、鍛造加工、プレス加工等の塑性加 工法や、切削加工等の機械加工法によってラジアル軸受面 Aを成形することも可能 である。

[0070] 軸受スリーブ 8は、例えば焼結金属力 なる多孔質体、特に銅を主成分とする焼結 金属に潤滑油 (または潤滑グリース)を含浸させた含油焼結金属の多孔質体で形成 される。軸受スリーブ 8の内周面 8aには軸部材 2が挿入されている。この構成例にお いて、軸受スリーブ 8の下側端面 8bは平滑な平坦面として形成されて、また、内周面 8aは、真円状の円筒面として形成されている。 [0071] ノヽウジング 7は、榭脂材料や金属材料で円筒状に形成される。ハウジング 7の下端 開口部は、軟質金属等の金属材料ゃ榭脂材料で形成された蓋部材 28で封口され ている。蓋部材 28は、圧入、接着等の固定手段でハウジング 7の下端開口部に固定 される。この他、ハウジング 7と蓋部材 28とを金属材料ゃ榭脂材料で一体成形するこ とちでさる。

[0072] シール部材 9は、金属材料ゃ榭脂材料で環状に形成される。シール部材 9は、ハウ ジング 7とは別体に形成され、ハウジング 7の上端開口部に圧入、接着等の手段で固 定される。シール部材 9の内周面 9aは上方に向力うにつれてテーパ状に拡径してお り、この内周面 9aと、内周面 9aに対向する軸部 2aの外周面 2alとの間には、上方を 漸次拡大させた環状のシール空間 Sが形成される。シール部材 9で密封された動圧 軸受装置 1の内部空間には、潤滑流体としての例えば潤滑油が注油され、動圧軸受 装置 1内が潤滑油で満たされる。この状態では、潤滑油の油面はシール空間 Sの範 囲内に維持される。部品点数の削減および組立工数の削減のため、シール部材 9を ノ、ウジング 7と一体形成することもできる。

[0073] 上記構成の動圧軸受装置 1にお!/、て、軸部材 2が回転すると、軸部 2aの外周面 2a 1のラジアル軸受面 Aは、それぞれ軸受スリーブ 8の内周面 8aとラジアル軸受隙間を 介して対向する。相対回転に伴い、各ラジアル軸受隙間に満たされた潤滑油が動圧 作用を発生し、その圧力によって軸部材 2がラジアル方向に回転自在に非接触支持 される。これにより、軸部材 2をラジアル方向に回転自在に非接触支持する第 1のラジ アル軸受部 R1と第 2のラジアル軸受部 R2とが形成される。

[0074] また、軸部材 2のフランジ部 2bの上側端面 2blに形成された第 1スラスト軸受面 Bは 、第 1のスラスト軸受隙間を介して軸受スリーブ 8の下側端面 8bと対向し、フランジ部 2bの下側端面 2b2に形成された第 2スラスト軸受面 Cは、第 2のスラスト軸受隙間を 介して蓋部材 28の上側端面 28aと対向する。軸部材 2と軸受スリーブ 8との相対回転 に伴い、両スラスト軸受隙間に満たされた潤滑油が動圧作用を発生し、その圧力によ つて軸部材 2がスラスト方向に回転自在に非接触支持される。これにより、軸部材 2を スラスト両方向に回転自在に非接触支持する第 1のスラスト軸受部 T1および第 2のス ラスト軸受部 T2が形成される。 [0075] この動圧軸受装置の運転中に両スラスト軸受部 Tl、 Τ2のスラスト軸受隙間とシー ル空間 Sとの間で圧力のアンバランスが生じた場合、両空間を連通する循環路 10を 通って潤滑油が流動するため、圧力差が早期に解消され、圧力差に起因する潤滑 油中での気泡の発生や潤滑油の漏れ、あるいは振動の発生が抑制される。図 7では 、循環路 10を、軸受スリーブ 8の外周面に形成した軸方向溝 10aと、シール部材 9の 下側端面 9bに形成した半径方向溝 10bとで構成した場合を例示して 、るが、軸方向 溝 10aをノ、ウジング 7の内周面に、半径方向溝 10bを軸受スリーブ 8の上側端面 8cに 形成することちでさる。

[0076] なお、以上の説明では、フランジ部 2bの両端面 2bl、 2b2にスラスト軸受面 B、 Cを インクジェット印刷する場合を例示した力 インクジェット印刷したスラスト軸受面 B、 C は、フランジ部 2bの両端面に対向する面、例えば軸受部材 27を構成する軸受スリー ブ 8の下側端面 8bや蓋部材 28の上側端面 28aに形成することもできる。二つのスラ スト軸受面 B、 Cのうち、何れか一方のスラスト軸受面の動圧溝パターンは、プレスカロ ェ等の他の加工方向で成形することもできる。

[0077] 本発明は、図 7に示す動圧軸受装置 1のみならず、以下に例示する他の動圧軸受 装置にも同様に適用することができる。なお、以下の説明では、基本的に図 7に示す 構成例と同一機能を有する部材および要素には共通の参照番号を付して重複説明 を省略する。

[0078] 図 8に示す動圧軸受装置 31は、テーパ状のシール空間 Sがディスクハブ 33の内周 面 33blとハウジング 7の外周面 7cとの間に形成される点、および第 2のスラスト軸受 部 T2がハウジング 7の上側端面 7bとディスクハブ 33の下側端面 33alとの間に形成 されている点で、図 7に示す動圧軸受装置 1と異なる。第 1のスラスト軸受部 T1では、 インクジェット印刷したスラスト軸受面 B力 軸受部材 27の一部である軸受スリーブ 8 の下側端面 8bに形成され、第 2のスラスト軸受部 T2では、インクジェット印刷したスラ スト軸受面 C力 ロータとしてのディスクハブ 33の下側端面 33alに形成されている。 スラスト軸受面 Bをフランジ部 2bの上側端面 2b 1に、スラスト軸受面 Cを、軸受部材 2 7を構成するハウジング 7の上側端面 7bに形成することもできる。

[0079] 図 9に示す動圧軸受装置 41は、軸受スリーブ 8とハウジング 7とを一体ィヒして軸受 部材 27を構成した点、および蓋部材 28の外周に上方に突出する円筒部 28bを設け 、この円筒部 28bを、軸受部材 27のうち、軸受スリーブ 8に相当するスリーブ部 227a の端面 27alに当接させた点で図 7に示す動圧軸受装置 1と異なる。第 1のスラスト軸 受部 T1では、インクジェット印刷したスラスト軸受面 B力 軸受部材 27のうち、スリー ブ部 227aの端面 27alに形成され、第 2のスラスト軸受部 T2では、インクジェット印刷 したスラスト軸受面 Cが、蓋部材 28の上側端面 28aに形成されている。スラスト軸受 面 Bをフランジ部 2bの上側端面 2b 1に、スラスト軸受面 Cをフランジ部 2bの下側端面 2b2に形成することもできる。

[0080] 以上の実施形態では、ラジアル軸受部 Rl、 R2およびスラスト軸受部 Tl、 Τ2を構 成する動圧軸受として、例えばへリングボーン形状やスパイラル形状の動圧溝力 な る動圧発生部を用いた軸受を例示しているが、動圧発生部の構成はこれに限定され るものではない。例えば、ラジアル軸受部 Rl、 R2として、いわゆるステップ軸受ゃ多 円弧軸受を採用することができる。ステップ軸受とはラジアル軸受面となる領域に、複 数の軸方向溝形状の動圧溝が円周方向所定間隔に設けられた軸受、多円弧軸受と は軸受隙間を円周方向の一方または双方にくさび状に縮小させる複数の円弧面を 軸受スリーブ 8の内周面 8aや軸部 2aの外周面 2alに設けた軸受である。

[0081] また、スラスト軸受部 Tl、 Τ2の一方又は双方は、例えばステップ軸受で構成するこ とができる他、いわゆる波型軸受 (ステップ型が波型になったもの）等で構成すること ちでさる。

[0082] 図 10Aは素材 2b'の上側端面 2blにステップ型の軸受面を構成したものを例示し ている。図示例においては、複数の半径方向溝形状の動圧溝 Bbが円周方向所定間 隔に設けられ、該動圧溝 Bbを区画形成する区画部 Baが、上記インクジェットによる 印刷方法により形成されている。区画部 Baの上面 Balは、図 10Bに示すようにテー パ状になっており、この部分ではスラスト軸受隙間がくさび状の隙間になっている。フ ランジ部 2b (軸部材 2)の図中矢印方向への回転に伴い、潤滑油がくさび状隙間の 縮小側に押し込まれるので、その動圧作用によって、軸部材 2がスラスト方向に非接 触支持され、第 1のスラスト軸受部 T1が形成される。

[0083] 以下、本発明の第 2実施形態を図 11〜図 18に基づいて説明する。 [0084] 本発明の第 2実施形態に係る動圧発生部の成形方法として、図 13に示す軸部材 1 02を一例に取り、この軸部 102aの外周面 102alに動圧発生部を形成する工程を説 明する。

[0085] この実施形態において、軸部 102aの外周面 102alに形成される動圧発生部は、 軸部外周面の洗浄工程 (a)と、軸部外周面にインクを供給する印刷工程 (b)、および 供給されたインクを硬化させる硬化工程 (c)とを経て形成される。

[0086] (a)洗浄工程

まず、動圧発生部を構成するインクを供給すべき素材表面を洗浄する。この実施形 態では、軸部 102aの素材 102a'として、ステンレス鋼などの金属を、研削等の機械 加工で軸状に成形したものを使用する。また、洗浄手段として、塩酸を用いた酸洗浄 を採用する。

[0087] 所定濃度の塩酸を満たした容器内に素材 102a'を投入し、素材 102a'の表面 (特 に外周面 102al)を超音波作用下で塩酸溶液中に浸漬させる。所定時間の浸漬後 、素材 102a'を塩酸溶液中から取出し、表面に付着した塩酸を、例えば超純水中で の超音波洗浄等により取り除く。

[0088] これにより、素材 102a'の外周面 102alに付着した切粉や油脂等の不純物が取り 除かれる。また、ステンレス製の素材 102a'の外周面 102alに形成された酸ィ匕被膜 が取り除かれる。これにより、外周面 102alの表面状態は良好かつ一様なものとなる

[0089] (b)印刷工程、および (c)硬化工程

図 11は、インクジェット法による動圧発生部の印刷装置の概要を示す。この印刷装 置は、微量インクを供給する印刷工程 (b)と、供給したインクを硬化させる硬化工程（ c)とを連続して行うための形態をなす。図 11に示すように、この印刷装置は、回転駆 動部 113と、回転駆動部 113により回転駆動される素材 102a'の外周面 102alと対 向させた一又は複数のノズルヘッド 110と、ノズルヘッド 110に対してその円周方向 位置を異ならせて配置した、好ましくは図 11に示すように、素材 102a'を挟んでノズ ルヘッド 110と対向配置した硬化部 111とを主に備える。ノズルヘッド 110には、液滴 状の微量インク 112を吐出する複数のノズル 114が軸方向に配設されて ヽる。このノ ズル 114の列は、一列でもよぐ素材 102a'と直交する方向に複数列設けてもよい。 インク 112は、例えば光硬化性榭脂、好ましくは紫外線硬化榭脂をベースとする榭脂 組成物であり、必要に応じて有機溶媒、例えば光重合開始剤を適量配合したものが 使用される。硬化部 111は、インク 112を硬化させるための光を照射する光源で、例 えば紫外線ランプが使用される。

[0090] インク 112を構成する紫外線硬化榭脂としては、ラジカル重合性モノマーやラジカ ル重合性オリゴマー、カチオン重合系モノマーの他、イミドアタリレート、あるいは環状 ポリェンィ匕合物やポリチオールィ匕合物に代表されるェン 'チオールィ匕合物が挙げら れるが、この中でもラジカル重合性モノマーやラジカル重合性オリゴマー、カチオン 重合系モノマーが好適に使用可能である。これら紫外線硬化榭脂は、単体で使用す る他、 2種類以上を混合して使用することができる。また、上記 1種類の榭脂、あるい は 2種以上の榭脂混合物をベース榭脂として使用することもできる。

[0091] これらベース樹脂には、ラジカル系光重合開始剤や、カチオン系光重合開始剤等 の光重合開始剤を使用することができる。これら光重合開始剤も、 1種類、あるいは 2 種類以上を組合わせたものを使用することが可能である。

[0092] 以上の構成において、素材 102a'を回転駆動させた状態でノズル 114からインク 1 12を吐出することにより、液滴状の微量インク 112が素材 102a'の外周面 102alの 所定位置に着弾する。この液滴をなす微量インク 112を多数集合させることで、素材 102a'の外周面 102alに、動圧発生部としての、例えばへリングボーン形状に配列 された複数の動圧溝 Ebと、動圧溝 Ebを区画形成する区画部 Eaとを有する動圧溝パ ターン (ラジアル軸受面 Eとなる領域)が形成される（図 11ある!/、は図 13を参照)。こ の実施形態では、区画部 Eaのみが上記微量インク 112の集合体で形成される。

[0093] 動圧溝パターンの印刷は、この実施形態では、素材 102a'の回転に伴って徐々に 円周方向に進行する形で行われ、印刷部分が硬化部 111の対向領域に達すると（ 図 11ではノズルヘッド 110対向箇所から半周すると）、紫外線の照射を受けたインク 112が重合反応を起こして順次硬化する。各ノズル 114からのインク 112の供給 ·停 止を適宜切替えながら素材 102a'を 1回転〜数十回転させて、素材 102a'の全周に 動圧発生部を構成する区画部 Eaを形成する。このとき、ノズルヘッド 110と硬化部 11 1とは素材 102a'を挟む対向位置に配置されているので、硬化部 111から照射され る紫外線は素材 102a'に遮蔽され、ノズル 114から吐出されるインク 112には重合反 応による硬化作用は及ばない。従って、硬化したインク 112によるノズル 114の目詰 まり等を防止して、効率よく区画部 Ea (および動圧溝 Eb)を形成することができる。

[0094] この印刷の際、ノズルヘッド 110を固定位置に配置する他、素材 102a'の軸方向に スライドさせてもよい。また、図 11では、一のノズルヘッド 110を使用する場合を例示 しているが、これを軸方向あるいは円周方向の複数箇所に配置することもできる。ま た、例えば図 12に示すように、複数の素材 102a'を直列に結合し、これらを同時回 転させながら一又は複数のノズルヘッド 110で軸方向にスライドさせて各素材 102a' に動圧溝パターンを形成することもできる。この場合、素材 102a'同士の同軸度の確 保は、例えば一方の軸端に設けた凸部 102a2を他方の軸端に設けた凹部 102a3に 嵌合させることによリ行うことができる。また、この実施形態では、素材 102a'を回転 駆動した場合を説明した力 素材 102a'を固定し、ノズルヘッド 110および硬化部 11 1を素材 102a'周りで回転駆動させてもよい。

[0095] このように、インクジェット法では、予めプログラミングされた形状パターンに倣って 液滴状をなす微量インク 112を、その吐出量を正確に調整して吐出する。カロえて、先 の洗浄工程 (a)では、素材 102a'の外周面 102alが酸洗浄により洗浄され、その表 面状態が全面に亘つて一様に改善される。従って、素材 102a'の外周面 102al上 に着弾 '滴下された微量インク 112は、着弾後一様な形状、例えば外周面 102alと の間に一様な接触角をなし、これら微量インク 112の集合体で形成される動圧溝バタ ーンを高精度に形成することができる。カロえて、この種の成形方法によれば、硬化し たインク 112自体で必要な動圧溝深さ（数 μ m〜数十 μ m)を確保することができる ので、印刷後にレース力卩ェゃエッチング等を施さずに済み、そのまま動圧発生部付 きの軸部材 102として使用することができる。

[0096] 上述の洗浄処理を施す素材 102a'の外周面 102alは、例えば研削等の機械カロェ によって形成される力 加工後の表面粗さの程度によっては、研削時の研削方向の 筋目力残ることがある。これらの筋目は、滴下供給したインク 112を定着すべき位置 力 筋目に沿って流動させる可能性があるため、決して好ましくはないが、上述のよう に、酸、特に塩酸で洗浄することにより、この種の問題を解消することができる。ただ し、洗浄時間（酸でいえば、浸漬時間）をあまりに長くとると、サイクルタイムの増加だ けでなぐ素材 102a'表面を必要以上に溶かし、却って表面状態 (例えば表面粗さ） を悪化させることになる。そのため、採用する洗浄手段の洗浄力（溶解力）に合わせ て洗浄時間を適宜設定する必要がある。目安として、洗浄後の外周面 102alの表面 粗さ Raは 0. 05 m以下であればよぐ 0. 03 m以下であればなおよい。

[0097] また、この実施形態では、洗浄工程 (a)の後に、印刷工程 (b)および硬化工程 (c) を行う場合を説明したが、この他に、例えば洗浄工程 (a)と印刷工程 (b)との間に、力 ップリング剤による表面処理工程を介入させることも可能である。これは、外周面 102 alの洗浄後、インク 112の滴下前に、素材 102a，の外周面 102alに、カップリング剤 力もなる被膜（図示は省略)を形成するものである。この種の被膜形成 (表面処理）は 、カップリング剤を例えばアルコールや、アルコールと水の混合液、あるいはトルエン 等の溶剤で所定濃度 (0. l〜5wt%)に希釈した後、これをスプレー法ゃデイツピン グ法等の手段で素材外周面 102alに供給することで行われる。上記カップリング剤と しては、種々のものが使用可能であるが、工業的な安定性を考慮すると、チタネート 系カップリング剤が好ましく使用できる。

[0098] このように、インク 112による動圧発生部の印刷前に、素材 102a，の外周面 102al にカップリング剤力もなる被膜を形成することによって、本来的には接着性に乏しい 金属等の無機材料とインク等の有機材料との間の接着性を改善することができる。従 つて、インク 112の硬化後も軸受部材との摺動接触による剥離や脱落が生じ難ぐ動 圧発生部の形状を長期間安定して保持することができる。特に、この実施形態のよう に、塩酸で洗浄処理された素材 102a'表面にカップリング剤による表面処理を施す ことにより、カップリング剤力もなる被膜が部分的に形成されないといった事態を避け て、この種の被膜を外周面 102al上に均一かつ確実に形成することができる。

[0099] なお、この実施形態では、素材 102a'の洗浄手段として、塩酸等の酸による洗浄を 採用した場合を説明したが、この他に、 UV洗浄、オゾン洗浄、あるいは両者を併用 した洗浄を採用することもできる。これらの洗浄方法は、ドライ環境下で実施すること ができるので、酸洗浄のように、洗浄処理後に素材 102a'の表面に付着した酸を除 去し、あるいは除去に伴 、素材外周面 102alに付着した水分を乾燥すると!/、つた手 間を省くことができ、作業工程の簡略ィ匕につながる。

[0100] 以上、軸部 102a (素材 102a' )の外周面 102alに動圧発生部を印刷成形した場 合を説明したが、上記の方法は、軸部材 102との間で動圧軸受を構成する軸受部材 (図 13でいえば軸受スリーブ 108に対応。以下、各構成部材は図 13を参照。）の内 周面に動圧発生部を印刷成形する場合にも適用可能である。この他、同様の方法で 、例えば軸部材 102のフランジ部 102b、ハウジング 107の底部 107c等の端面にスラ スト方向の動圧を発生させるための動圧発生部 (例えば動圧溝)を形成することもで きる。

[0101] また、以上の説明では、インク 112の定着方式としてインクジェット方式を採用した 場合を説明したが、この方式に限らず、例えば電気泳動を利用して液滴を吐出'着 弾させる方式や、いわゆるノズルレスタイプの液滴吐出方式、あるいはマイクロピぺッ トを介してインクを液滴の状態ではなく連続的に素材の表面に吐出する方式、あるい は素材表面までの距離を短縮し、インクを吐出と同時に定着面に接触させる方式な どを採用することができる。

[0102] 上記工程を経て製造された軸部材 102は、例えばこの軸部材 102と、軸部材 102と の間の軸受隙間に流体の動圧作用を生じて軸部材 102を非接触支持する軸受部材 とで動圧軸受を構成する。以下、軸部材 102を組み込んだ動圧軸受装置の構成例 を図面を基に説明する。

[0103] 図 13は、上記工程を経て製造された軸部材 102を組み込んだ動圧軸受装置 101 の第 1構成例を示す。この動圧軸受装置 101は、回転中心に軸部 102aを有する軸 部材 102と、軸部材 102を内周に挿入可能な軸受スリーブ 108と、軸受スリーブ 108 を内周に固定したノ、ウジング 107と、ハウジング 107の一端開口側に設けられたシー ル部材 109とを備えている。この実施形態において、軸受部材は、ハウジング 107お よび軸受スリーブ 108とで構成される。なお、説明の便宜上、シール部材 109の側を 上側、シール部材 109と軸方向に反対の側を下側として、以下説明を行う。

[0104] 軸部材 102は、軸部 102aと、軸部 102aの一端に一体又は別体に設けられたフラ ンジ部 102bとを有する。軸部 102aの外周面 102alには、ラジアル動圧発生部とし て、例えばへリングボーン形状に配列された複数の動圧溝 Ebと、各動圧溝 Ebを区画 形成する区画部 Eaとを含むラジアル軸受面 Eが軸方向に離隔して 2箇所形成される 。上側のラジアル軸受面 Eでは、動圧溝 Ebが軸方向中心 m (上下の傾斜溝間領域の 軸方向中央）に対して軸方向非対称に形成されており、軸方向中心 mより上側領域 の軸方向寸法 XIが下側領域の軸方向寸法 X2よりも大きくなつて、る。

[0105] 軸受スリーブ 108は、例えば Cu (Cu合金を含む)や A1(A1合金を含む)等の軟質 金属の非孔質体、あるいは焼結金属の多孔質体で円筒形状に形成される。軸受スリ ーブ 108の内周面 108aは、平滑な円筒面となる。軸受スリーブ 108の下端面 108b の全面あるいは一部環状領域には、スラスト動圧発生部として、図示は省略するが、 例えばスパイラル形状に配列された複数の動圧溝と、これら動圧溝を区画形成する 区画部とを含む第 1スラスト軸受面 Fが形成されている。なお、動圧溝の配列パター ンとしては、この他に、ヘリングボーン形状を採用することができる。

[0106] ハウジング 107は、略円筒状の側部 107bと、側部 107bの下端に位置し、側部 10 7bと一体又は別体に設けられる底部 107cとを備えている。この実施形態では、底部 107cは、側部 107bとは別部材として共に金属で形成され、側部 107bの下端に接 着 (ルーズ接着、圧入接着を含む)、圧入、溶着 (例えば超音波溶着)、溶接 (例えば レーザ溶接)などの手段により固定される。もちろん側部 107bと底部 107cの何れか を榭脂、あるいは両者を榭脂で形成することも可能である。

[0107] 底部 107cの上端面 107clの全面または一部環状領域には、スラスト動圧発生部と して、図示は省略するが、例えばスパイラル形状に配列された複数の動圧溝と、これ ら動圧溝を区画形成する区画部とを含む第 1スラスト軸受面 Gが形成されている。な お、動圧溝の配列パターンとしては、この他に、ヘリングボーン形状を採用することが できる。

[0108] ハウジング 107の開口部 107aの内周には、金属材料あるいは榭脂材料で形成さ れた環状のシール部材 109が、圧入、接着、溶接等の手段で固定される。シール部 材 109の内周面 109aは、軸方向上方に向けて漸次拡径するテーパ状をなし、内周 面 109aとこれに対向する軸部 102aの外周面 102alとの間に上方に向けて径方向 寸法を漸次拡大させたシール空間 Sが形成される。 [0109] 上記構成の動圧軸受装置 101の内部には潤滑油が充填され (図 13中散点領域)、 潤滑油の油面は常にシール空間 s内に維持される。なお、部品点数および組立工数 の削減のため、シール部材 109をハウジング 107と一体に形成 (インサート成形、ァ ゥトサート成形を含む。）することもできる。あるいは、シール部材 109の代わりに、軸 受スリーブ 108の内周面 108aの上端開口側領域をラジアル軸受面となる領域よりも 大径に、あるいは漸次拡径状に形成し、この領域と対向する軸部 102aの外周面 10 2alとの間にシール空間を形成することもできる。

[0110] 軸部材 102の回転時、軸部材 102の外周面 102alのラジアル軸受面 E (上下 2箇 所の動圧溝 Eb形成領域）は、軸受スリーブ 108の内周面 108aとラジアル軸受隙間 を介して対向する。そして、軸部 102aの回転に伴い、上記ラジアル軸受隙間の潤滑 油が各ラジアル軸受面 Eにおける動圧溝 Ebの軸方向中心側に押し込まれ、その圧 力が上昇する。このような動圧溝 Ebの動圧作用によって、軸部 102aをラジアル方向 に非接触支持する第一ラジアル軸受部 R11と第二ラジアル軸受部 R12がそれぞれ 構成される。

[0111] 同時に、軸受スリーブ 108のスラスト軸受面 F (動圧溝形成領域）とこれに対向する フランジ部 102bの上端面 102blとの間のスラスト軸受隙間、および底部 107cのスラ スト軸受面 Gとこれに対向するフランジ部 102bの下端面 2b2との間のスラスト軸受隙 間にも、動圧溝の動圧作用により潤滑油の油膜が形成され、この油膜の圧力によつ て、フランジ部 102bをスラスト方向に非接触支持する第 1スラスト軸受部 T11および 第 2スラスト軸受部 T12が構成される。

[0112] なお、この動圧軸受装置 101では、軸部材 102の回転中、軸部材 102と軸受スリー ブ 108との径方向隙間に位置する潤滑油がハウジング 107の底部 107c側に押込ま れるため、このままでは、スラスト軸受部 Tl l、 T12のスラスト軸受隙間での圧力が過 度に高まり、これに起因して潤滑油中での気泡の発生や潤滑油の漏れ、あるいは振 動の発生が懸念される。この場合、スラスト軸受隙間（特に第 1スラスト軸受部 T11の スラスト軸受隙間）とシール空間 Sとの間を連通する連通路を設けることで、この種の 連通路を通って潤滑油がスラスト軸受隙間とシール空間 Sとの間で流通するため、か 力る圧力差が早期に解消され、上記の弊害を防止することができる。図 13では一例 として、軸受スリーブ 108の外周面 108dに連通路 110aを形成し、かつシール部材 1 09の下端面 109bに連通路 110bを形成した場合を例示している。

[0113] ところで、本実施形態においては、第 1スラスト軸受面 Fを軸受スリーブ 108の下端 面 108bに、第 2スラスト軸受面 Gをハウジング 107の底部 107cの上端面 107clに形 成したが、これらスラスト軸受面 F、 Gをこれらと対向する面 (フランジ部 102bの両端 面 102bl、 102b2)の側に形成することもできる。なお、各スラスト軸受面 F、 Gは、型 成形の他、ラジアル軸受面 Eと同様に、洗浄工程→動圧発生部の印刷'硬化工程、 あるいは洗浄工程→カップリング剤による表面処理工程→動圧発生部の印刷'硬化 工程を経て形成することもできる。

[0114] 本発明に係る動圧発生部を備えた軸部材 102は、上記の構成に限らず、他の構成 の動圧軸受装置にも好ましく使用することができる。以下の図 14〜図 16に記載の動 圧軸受装置の、図 13に示す第 1構成例と構成 ·作用を同一にする部位および部材に ついては、同一の参照番号を付し、重複説明を省略する。なお、以下説明する何れ の形態についても、軸部材 102の軸部 102aの外周面 102alに上記インクジェット法 によって動圧発生部を有するラジアル軸受面 Eが形成される。

[0115] 図 14は、動圧軸受装置 101の他の構成例を示している。同図における動圧軸受装 置 101は、主にシール空間 Sがハウジング 107の外径側に形成されている点、およ び第 2スラスト軸受部 T12がハウジング 107の側部 107bの上側端面 107blとデイス クハブ 103を構成するプレート部 103aの下端面 103alとの間に形成されている点で 第 1構成例に係る動圧軸受装置と構成を異にする。

[0116] 図 15は、動圧軸受装置 101の他の構成例を示している。同図における動圧軸受装 置 101は、主に軸受部材を、軸受スリーブ 108とハウジング 107とを一体ィ匕したもの で構成した (軸受部材 127)点、底部としての蓋部材 128の外周に上方に突出する 円筒部 128aを設け、この円筒部 128aを、軸受部材 127のうち、軸受スリーブ 108に 相当する小径円筒部 127aの下端面 127alに当接させている点で第 1構成例に係る 動圧軸受装置と構成を異にする。このように、軸受装置の構成部品同士の一体化を 進めることで、部品点数の削減や組立工数の削減を図ることができ、より一層の低コ ストイ匕が達成可能となる。 [0117] 図 16は、動圧軸受装置 101の他の構成例を示している。この動圧軸受装置 101に おいて、軸部材 122は、軸部 122aの下端よりも上方にフランジ部 122bを設け、軸部 材 122の回転時、このフランジ部 122bの下端面 122b2とこれに対向する軸受スリー ブ 108の上端面 108cとの間にスラスト軸受部 T13のスラスト軸受隙間を形成する。ハ ウジング 107の上端内周にはシール部材 129が固定され、シール部材 129の内周 面 129aと軸部材 122の外周面 122alとの間にシール空間 S'が形成される。シール 部材 129の下端面 129bは、フランジ部 122bの上端面 122blと軸方向隙間を介して 対向し、軸部材 122の上方への変位時、フランジ部 122bの上端面 122blと係合す ることで、軸部材 122の抜止め機能を兼ねる。

[0118] ところで、以上の構成例に示したラジアル軸受面 Eに含まれる動圧発生部の形状は 一例にすぎず、インクジ ット法により印刷可能な形状であれば、これ以外の溝配列 形状 (例えばスパイラル形状）に対応した動圧溝パターンを形成することもできる。ラ ジアル軸受面 Eに含まれる動圧発生部としては、この他に、図示は省略するが、軸方 向の溝を円周方向の複数箇所に形成した、いわゆるステップ状の動圧発生部、ある いは、円周方向に複数の円弧面を形成した、いわゆる多円弧状の動圧発生部につ V、ても同様の方法で印刷形成することができる。

[0119] また、以上の説明では、ラジアル軸受面 Eを軸方向二箇所に離隔して形成する場 合を例示したが、ラジアル軸受面 Eの数は任意であり、全体で一箇所あるいは三箇 所以上にラジアル軸受面 Eを形成することもできる。

[0120] また、スラスト軸受面 F、 Gには、動圧発生部として、上記複数の動圧溝をスパイラル 形状に配列したものの他、複数の半径方向溝形状の動圧溝を円周方向所定間隔に 設けた、いわゆるステップ状の動圧発生部や、いわゆる波型状 (ステップが波型にな つたもの）をなす動圧発生部を形成することができる。

[0121] また、以上の実施形態では、動圧軸受装置 101の内部に充満し、各軸受隙間に潤 滑膜を形成する流体として、潤滑油を例示したが、それ以外にも各軸受隙間に潤滑 膜を形成可能な流体、例えば空気等の気体や、磁性流体等の流動性を有する潤滑 剤あるいは潤滑グリース等を使用することもできる。

[0122] 以上、説明を行った動圧軸受装置 101は、例えば HDD等のディスク駆動装置をは じめとする情報機器用スピンドルモータに組み込んで使用することもできる。図 17は その一構成例を示す図で、このスピンドルモータは、動圧軸受装置 101と、動圧軸受 装置 101の軸部材に取り付けられたディスクハブ 103と、例えば径方向のギャップを 介して対向させたステータコイル 104およびロータマグネット 105と、モータブラケット 106とを備えている。ステータコイル 104はモータブラケット 106の外周に取り付けら れ、ロータマグネット 105はディスクハブ 103の内周に取り付けられる。ディスクハブ 1 03は、その外周に磁気ディスク等のディスク Dを一枚又は複数枚保持する。ステータ コイル 104に通電すると、ステータコイル 104とロータマグネット 105との間に発生す る電磁力でロータマグネット 105が回転し、それに伴ってディスクハブ 103およびディ スクハブ 103に保持されるディスク Dが軸部材 102と一体に回転する。このモータは、 高 、耐久性と回転精度とを兼ね備えるものである。

実施例

[0123] 本発明の有用性を立証するため、ステンレス製 (SUS420)の軸部材を素材とし、こ の素材を、濃度の異なる 2種類の塩酸（15wt%塩酸、 30wt%塩酸）中に浸漬させる ことで、素材表面を洗浄処理した。この洗浄は、洗浄時間 (浸漬時間)を変更して数 回行った。洗浄後、素材表面の表面粗さを測定し、浸漬時間との関係を調べた。

[0124] 図 18に洗浄試験の結果を示す。横軸は浸漬時間 [min]を、縦軸は素材の表面粗 さ Ra C /z m]をそれぞれ示す。同図より、何れの塩酸濃度の場合についても、表面粗 さ Raは、浸漬時間と共に増加し、例えば表面粗さ Ra = 0. 05 mとなる浸漬時間は 、塩酸濃度 15wt%では約 9分、塩酸濃度 30wt%では約 6分であった。

[0125] 以下、本発明の第 3実施形態を図 19〜図 24に基づいて説明する。

[0126] 軸部 202を構成する素材 202'は、例えばステンレス鋼等の金属材料で形成される 。素材 202'は、その軸心を貫通する軸方向の貫通穴 202bを有する略円筒状に形 成される。

[0127] 図 19は、本発明に力かる動圧発生部の形成方法の一例として、インクジェット法を 用いた動圧発生部の印刷装置の概要を示すものである。この印刷装置は、微量イン クを供給する印刷工程と、供給したインクを硬化させる硬化工程とが連続した形態を 有するものである。 [0128] 図示のように、この印刷装置は、回転駆動される治具 216 (素材 202'の外周面 20 2a)に対向させた一又は複数のノズルヘッド 217と、治具 216の両端を支持し回転駆 動させる支持部 213と、ノズルヘッド 217に対してその円周方向位置を異ならせて配 置した、好ましくは図示のように治具 216を挟んでノズルヘッド 217と対向させて配置 した一又は複数の硬化部 215とを主要な構成要素とする。支持部 213の少なくとも一 方には、モータ等力もなる回転駆動部 214が設けられている。なお、本実施形態で は、ノズルヘッド 217と硬化部 215とが、それぞれ軸方向に 2箇所設けられている。

[0129] 治具 216は、例えばステンレス鋼等の高剛性の金属材料で形成される。この治具 2 16の外周面には、複数の素材 202'が直列に連結されている。

[0130] ノズルヘッド 217には、インク 212の微小液滴を吐出する複数のノズル 211が軸方 向に配設されている。インク 212は、例えば光硬化性榭脂、好ましくは紫外線硬化榭 脂をベース榭脂とする榭脂組成物であり、光重合開始材、さらには必要に応じて適 当な割合の有機溶媒を配合したものが使用される。硬化部 215は、インク 212を硬化 させるための光を照射する光源で、例えば紫外線ランプが使用される。

[0131] 印刷工程で使用されるインク 212を構成する紫外線硬化榭脂としては、ラジカル重 合性モノマーやラジカル重合性オリゴマー、カチオン重合系モノマーの他、イミドアク リレート、あるいは環状ポリェンィ匕合物やポリチオールィ匕合物に代表されるェン 'チォ 一ルイ匕合物が挙げられる力 この中でもラジカル重合性モノマーやラジカル重合性 オリゴマー、カチオン重合系モノマーを好ましく使用することができる。ラジカル重合 性モノマーとしては、例えば単官能、 2官能あるいは多官能のアタリレート系モノマー や、メタタリレート系モノマーが使用でき、ラジカル重合性オリゴマーとしては、例えば ウレタンアタリレートや、エポキシアタリレート、ポリエステルアタリレート、あるいは不飽 和ポリエステルなどが使用できる。また、カチオン重合系モノマーとしては、例えば脂 環式エポキシ榭脂や、フエノールノボラックエポキシ榭脂、ビスフエノール A系ェポキ シ榭脂の他、 3 ェチルー 3—（2 ェチルへキシロキシメチル）ォキセタン、 3 ェチ ルー 3 ヒドロキシメチルォキセタン、 1, 4 ビス { [ (3 ェチルー 3—ォキセタ -ル） メトキシ]メチル }ベンゼン、 3 ェチルー 3 （フエノキシメチル）ォキセタン、ジ [1ーェ チル（3—ォキセタ-ル）]メチルエーテル、 3—ェチルー 3—{ [3—（トリエトキシシリル )プロボキシ]メチル }ォキセタン等のォキセタン樹脂が使用できる。これら紫外線硬化 榭脂は、単体で使用する他、 2種類以上を混合したものをベース榭脂として使用する ことちでさる。

[0132] これらベース樹脂には、ラジカル系光重合開始剤や、カチオン系光重合開始剤等 の光重合開始剤を使用することができる。ラジカル系光重合開始剤としては、例えば ベンゾフエノンや、オルソベンゾイン安息香酸メチル、 4—ベンゾィル—4 '—メチルジ フエ-ルサルファイド、ベンゾフエノンのアンモ-ゥム塩、イソプロピルチォキサントン、 ジェチルチオキサントン、チォキサントンのアンモ-ゥム塩に代表される水素引抜型 の光重合系開始剤が使用でき、あるいはベンゾイン誘導体や、ベンジルジメチルケタ ール、 α—ヒドロキシアルキルフエノン、 α—ァミノアルキルフエノン、ァシルホスフィン オキサイド、モノァシルホスフィンオキサイド、ビスァシルホスフィンオキサイド、アタリ ルフエ-ルグリオキシレート、ジエトキシァセトフエノン、チタノセン化合物に代表され る分子内開裂型の光重合開始剤が使用できる。また、カチオン系光重合開始剤とし ては、例えばトリフエ-ルスルホ -ゥムへキサフルォロアンチモネートや、トリフエ-ル スルホ -ゥムへキサフルオロフォスフェート、 SP— 170や SP— 150 (共に旭電化（株） 製）、 FC— 508や FC— 512 (共に 3Μカンパ-一社製）、 UVE— 1014 (ゼネラルェ レクトリックカンパ-一社製）に例示されるポリアリールスルホ -ゥム塩、 Uvacurel59 0や Uvacurel591 (共にダイセル ·ユーシービ一社製）に例示されるトリアリルスルフ ォ -ゥムへキサフルオロフォスフェート塩の混合物、 Irg— 261 (チバ 'ガイギ一社製） に例示されるメタ口セン化合物、ジフエ-ルョードニゥムへキサフルォロアンチモネ一 トゃ P—ノ-ルフエ-ルフエ-ルョードニゥムへキサフルォロアンチモネート、 4, 4 '— ジエトキシフエ-ルョードニゥムへキサフルォロアンチモネート等のポリアリールョード

-ゥム塩が使用できる。これら光重合開始剤は、 1種類であるいは 2種類以上を組み 合わせて使用することもできる。

[0133] 以上の構成において、治具 216を支持部 213で両端支持しつつ回転させる。この とき、治具 216の外周面と素材 202'の内周面とは、素材 202'が治具 216と同期して 回転できる程度の嵌め合いに設定される。この他、治具 216の外周面と素材 202'の 内周面との間の嵌め合いを緩くし、素材 202'を回転駆動部 214で直接回転駆動さ せてもよい。

[0134] このようにして素材 202 'を回転させながら、ノズル 211からインク 212を吐出するこ とにより、インク 212の微小液滴が素材 202'の外周面 202aの所定位置に着弾する。 素材 202'の外周面 202aには、この微小液滴の集合体で、動圧発生部としての、例 えば凸状の区画部 Haとインクで被覆されていない領域、すなわち動圧溝 Hbとがヘリ ングボーン形状に配列された動圧溝パターンが形成される。この際、各ノズル 211で は、予め定められたタイミングでインク 212の供給'停止が適宜切り換えられる。この 動圧溝パターンの形成は、治具 216の回転に伴い、素材 202'の外周面 202aの円 周方向に徐々に進行する形で行われる。印刷された部分が円周方向にある程度進 行すると（図示例の場合は半周すると)、印刷された部分が硬化部 215の対向領域（ 硬化工程）に達し、紫外線の照射を受けたインク 212が重合反応を起こして順次硬 化する。このインクの硬化も素材 202'の回転に伴い、素材 202'の円周方向に徐々 に進行する。

[0135] 最初に印刷された部分が 1回転してノズルヘッド 217の対向領域に達したところで、 ノズルヘッド 217を隣接する素材 202'の外周面 202aの対向領域にスライドさせる。 治具 216は回転させたままで、前記同様にして新たな動圧溝パターンを隣接する素 材 202'に形成し、これを全ての素材 202'に印刷が完了するまで継続する。そして、 全てのインク 212が硬化部 11との対向領域を通過 ·硬化したことを確認し、回転を停 止させて治具 216を支持部 213から取り外す。

[0136] 本発明の構成を用いない場合、例えば一の素材 202'に対してのみ印刷を行うと、 インク 212が完全に硬化するまでの間引き続き回転駆動 (空回転)させる必要がある 場合もあり、サイクルタイムが増大する。また、幾度も装置への取り付け、および取り 外しを行う必要がある等、直接動圧発生部の印刷に関係しない時間（いわゆる、段取 り時間）が長くなり非効率である。

[0137] これに対し、本発明のように複数の素材 202'を直列に連結することで連続印刷が 可能となり、非常に効率的に動圧溝パターンの形成を行うことができる。一の素材 20 2'に印刷が完了した時点で、ノズルヘッド 217をスライドさせ隣接する素材 202'に 印刷を開始することができ、このとき、先の素材 202'におけるインクの硬化は、隣接 する次の素材 202'に印刷を行っている際にも行われる。従って、印刷工程と硬化工 程を同時進行させることができ、動圧溝パターンの効率的な形成が可能となる。さら に、印刷装置への素材 202'の取り付けや取り外し回数を大幅に低減し、段取り時間 を低減することができる。従って、サイクルタイムを大幅に低減し、動圧発生部の製造 コストを大幅に低減することができる。

[0138] また、複数の素材 202'を治具 216で直列に連結し同軸度を確保しているため、各 素材間での成形精度のバラツキを抑えつつ、全ての素材 202'に対し高精度な動圧 溝パターンを形成することができる。なお、複数の素材 202'の同軸度を確保しつつ 連結するためには、上記の治具 216を用いる以外にも、例えば図 20に示すように、 一方の素材 202'の軸端に設けた凸咅 202alを、隣接する素材 202'の四咅 202a2 に嵌合させること〖こより行うことちできる。

[0139] 図示例では、 2つのノズルヘッド 217を使用する場合を例示している力 これを軸方 向 1箇所または 3箇所以上、あるいは円周方向の複数箇所に配置することもできる。 さらには素材を 1回転させる間に全周の動圧溝パターンを印刷する他、素材 202a ' をこれ以上の回転数、例えば 2〜数十回転させて、素材 202a'の全周に動圧溝パタ ーンを形成することもできる。また、硬化部 215は、例えば光 (紫外線)の拡散性が高 いものを用い固定して使用する他、集光性の高いものを用い、ノズルヘッド 217と同 調して軸方向にスライドさせることもできる。また、以上の説明では、個々の素材 202' への動圧溝パターンの印刷が完了した時点で、隣接する素材 202'の印刷を開始す るようにしている力 ノズルヘッド 217のスライドにより、複数の素材 202，の印刷を同 時進行させることちできる。

[0140] インクジェット法では、予めプログラミングした形状パターンにならってインク 212の 微小液滴を精密に吐出する。従って、高精度に動圧発生部としての動圧溝パターン を印刷することができる。カロえて、硬化したインク 212自体で必要な動圧溝深さ (数； z m〜数十 μ m)を確保することができるので、そのまま動圧溝付きの軸部 202として使 用することが可能となる。

[0141] また、インクジェット法による印刷では、従来のスクリーン印刷機のように印刷型と素 材 202'との接触部分を持たないから、量産時における接触部分での摩耗による印 刷精度の低下を回避することができ、さらに、上記のように軸方向に複数の素材 202 'を連結した場合にも素材 202'にノズルから加圧力が作用することなぐ連結した素 材 202'のたわみによる印刷精度の低下を回避することができる。さらに印刷型や印 刷型を保持するための印刷用スクリーン等が不要であり、かつ素材 202'の回転に応 じて印刷型を移動させる機構も不要となるので、成形装置の構造を簡素化することが できる。また、インクは動圧溝パターンの形成に関与するだけの使用量で足りるので 、スキージを必要とする従来装置に比べ、インクの使用量を削減して低コストィ匕を図る ことちでさる。

[0142] また、印刷工程と硬化工程とは素材 202'の円周方向に離隔して設けられているた め、最初の印刷部分は硬化部 215からの紫外線照射で硬化された上でノズルヘッド 217の対向位置に戻るので、硬化不十分なインクが重なって動圧溝パターンをくず すような事態も回避することができる。さらにノズルヘッド 217と硬化部 215とを素材 2 02 'を挟む対向位置に配置しているので、硬化部 215から照射される紫外線は素材 202'に遮蔽されているため、紫外線の硬化作用がノズル 211におよぶことはなぐ従 つて照射紫外線によるノズル 211の目詰まり等を防止することができる。

[0143] 以上の説明では素材 202' (治具 216)を回転駆動しているが、素材 202'を固定し 、ノズルヘッド 217および硬化部 215を素材 202'周りで回転駆動してもよい。

[0144] 図 21は、上記工程を経て製作された軸部 202を有する回転部材 203を組込んだ 動圧軸受装置の一例を示している。この動圧軸受装置 201は、側部 207aと側部 20 7aの一端開口を封口する側部 207aとは別体の底部材 207bとからなるハウジング 2 07と、ハウジング 207の内周に固定された軸受スリーブ 208と、回転中心に軸部 202 を備えハウジング 207および軸受スリーブ 208に対して相対回転する回転部材 203 とを主要な構成部品として備えている。なお、以下説明の便宜上、底部材 207bの側 を下側、底部材 207bの軸方向反対側を上側として説明を行う。

[0145] 回転部材 203は、例えばハウジング 207の上側を覆うハブ部 209と、軸受スリーブ 2 08の内周に挿入される軸部 202とで構成される。軸部 202は、その軸心を貫通する 貫通穴 202bを有している。この実施形態では、ハブ部 209と軸部 202とは別体に形 成され、圧入、接着、溶接等の適宜の手段を用いて固定される。 [0146] ハブ部 209は、ハウジング 207の上方に配置された円盤部 209aと、円盤部 209a の外周部力も軸方向下方に延びた筒状部 209bと、筒状部 209bの外周に設けられ たディスク搭載面 209cおよび鍔部 209dとを備えて 、る。図示されて ヽな 、ディスク 状情報記録媒体は、円盤部 209aの外周に外嵌され、ディスク搭載面 209cに載置さ れる。そして、図示しない適当な保持手段によってディスク状情報記録媒体がハブ部 209〖こ保持される。

[0147] 軸部 202は、その下端に抜止めとしてフランジ部 210を別体に備えている。フランジ 部 210は金属製で、例えばねじ結合等の手段により軸部 202に固定され、貫通穴 20 2bの下端が封口される。また貫通穴 202bの上端には、ディスク状情報記録媒体を ハブ部 209との間に挟持するクランパ（図示省略）力 例えばねじ結合等の手段によ り固定され、貫通穴 202bの上端が封口される。

[0148] 軸部 202の外周面 202aには、動圧発生部として、例えば、ヘリングボーン形状に 配列された動圧溝 Hbと、動圧溝 Hbを区画形成する区画部 Haとを含むラジアル軸 受面 Hが軸方向に離隔して形成される。上側のラジアル軸受面 Hでは、動圧溝 Hbが 軸方向中心 mに対して軸方向非対称に形成されており、軸方向中心 mより上側領域 の軸方向寸法 XIが下側領域の軸方向寸法 X2よりも大きくなつている。そのため、軸 部 202の回転時、動圧溝 Hbによる潤滑油の引き込み力（ボンビング力）は下側の対 称形のラジアル軸受面に比べ上側のラジアル軸受面で相対的に大きくなる。

[0149] 軸受スリーブ 208は、焼結金属からなる多孔質体、特に銅を主成分とする焼結金属 の多孔質体、あるいは黄銅やアルミ (アルミ合金)等の軟質金属材料で円筒状に形 成される。軸受スリーブ 208の内周面 208aは、平滑な円筒面として形成されている。 軸受スリーブ 208の下側端面 208bの一部環状領域には、図示は省略するが、例え ばスパイラル形状に配列した複数の動圧溝と、動圧溝を区画形成する区画部とを含 むスラスト軸受面 Iが形成されている。なお、動圧溝の形状としては、上記の他へリン グボーン形状等を採用することもできる。

[0150] また、軸受スリーブ 208の外周面 208d〖こは、軸受スリーブ 208の両端を連通させる ための、 1本または複数本の軸方向溝 208dlが軸方向全長に亘つて形成されている 。この実施形態では、 3本の軸方向溝 208dlが円周方向等間隔に形成されている。 [0151] ハウジング 207は、略円筒状の側部 207aと、側部 207aの一端開口を封口する側 部 207aとは別体の底部としての底部材 207bとで構成されて 、る。例えば側部 207a は榭脂材料で、底部材 207bは、ステンレス鋼や黄銅等の金属材料で形成される。 底部材 207bは側部 207aの下端に接着、圧入等の適宜の手段で固定されている。

[0152] 側部 207aの上側端面 207alの一部環状領域には、図示は省略するが、例えばス パイラル形状に配列した複数の動圧溝と、動圧溝を区画形成する区画部とを含むス ラスト軸受面 Jが形成されている。なお、動圧溝の形状としては、上記の他へリングボ ーン形状等を採用することもできる。

[0153] 側部 207aの外周には、上方に向力つて漸次拡径するテーパ状の外壁 207a2が形 成されている。このテーパ状の外壁 207a2は、筒状部 209bの内周面 209blとの間 に、ハウジング 207の下端側から上方に向けて半径方向寸法が漸次縮小した環状の シール空間 Sを形成する。このシール空間 Sは、軸部 202およびハブ部 209の回転 時、スラスト軸受部 T22のスラスト軸受隙間の外径側と連通する。

[0154] 次に、本実施形態に係る動圧軸受装置 201の組立工程を説明する。

[0155] まず、ノヽウジング 207を構成する側部 207aの内周面 207a3に軸受スリーブ 208を 圧入接着等の手段により固定する。次に、側部 207aに固定した軸受スリーブ 208に 、ハブ部 209と一体にした軸部 202を挿入する。その後、フランジ部 210を軸部 202 に、例えばねじ結合により取り付け、次いで底部材 207bを側部 207aの下端側内周 に、例えば圧入、接着して固定する。

[0156] 上記のようにして組立が完了すると、回転部材 203の軸部 202は軸受スリーブ 208 の内周面 208aに挿入され、フランジ部 210は軸受スリーブ 208の下側端面 208bと 底部材 207bの上側端面 207blとの間の空間に収容された状態となる。その後、動 圧軸受装置 201の内部空間に、軸受スリーブ 208の内部気孔を含め、流体 (潤滑流 体）として、例えば潤滑油を充満させる。このとき潤滑油の油面は、シール空間 Sの範 囲内に維持される。

[0157] 上記構成の動圧軸受装置 201にお 、て、回転部材 203 (軸部 202)が回転すると、 軸部 202の外周面 202aに離隔形成されたラジアル軸受面 Hは、それぞれ軸受スリ ーブ 208の内周面 208aとラジアル軸受隙間を介して対向する。軸部 202の回転に 伴い、各ラジアル軸受隙間に満たされた潤滑油が動圧作用を発生し、その圧力によ つて軸部 202がラジアル方向に回転自在に非接触支持される。これにより、軸部 202 をラジアル方向に回転自在に非接触支持する第 1のラジアル軸受部 R21と第 2のラ ジアル軸受部 R22とが形成される。

[0158] また、軸受スリーブ 208の下側端面 208bとフランジ部 210の上側端面 210aとの間 にスラスト軸受隙間（図示省略)が形成され、このスラスト軸受隙間に潤滑油による動 圧作用が発生し、回転部材 203をスラスト方向に回転自在に非接触支持する第 1ス ラスト軸受部 T21が形成される。同様に、ハウジング 207の側部 207aの上側端面 20 7alと、回転部材 203を構成するハブ部 209の下側端面 209alとの間にはスラスト 軸受隙間が形成され、回転部材 203の回転に伴い、このスラスト軸受隙間に潤滑油 による動圧作用が発生し、その圧力によって回転部材 203をスラスト方向に回転自在 に非接触支持する第 2スラスト軸受部 T22が形成される。

[0159] 本発明の方法で形成された動圧発生部を有する動圧軸受装置は上記のものに限 らず、他の構成の動圧軸受装置にも好ましく用いることができる。以下図面に基づき 説明を行うが、図 21に示す構成と同一の構成部材および要素には、同一記号を付 与し、重複説明を省略する。

[0160] 図 22は、動圧軸受装置 201の他の構成例を示すものである。この動圧軸受装置 2 01が図 21に示す動圧軸受装置と大きく異なる点は、軸部 202とフランジ部 210とで 形成される軸部材 222が金属材料と榭脂材料の複合構造をなす点、第 2スラスト軸 受部 T22が、フランジ部 210の下側端面 210bと、これに対向する底部材 207bの上 側端面 207blの間に形成される点、および側部 207aの上端内周にハウジング 207 とは別体の環状のシール部材 219が固定され、この内周面 219aとこれに対向する軸 部 202の外周面 202aとの間にシール空間 Sが形成される点に現れる。

[0161] 軸部 202は、図 19に用いた素材 202'力もなり、上記インクジェット法を用いて動圧 発生部（ラジアル軸受面 H)が外周面 202aに形成されている。軸部 202に形成され た軸方向の貫通穴 202bには、軸方向全長に亘つて樹脂材料 220が充填され、軸部 202の下端力も外径側に張り出したフランジ部 210の全体を一体に形成している。榭 脂材料 220としては、 PA66 (66ナイロン）、 LCP (液晶ポリマー）、 PPS (ポリフエ-レ ンサルファイド)等の熱可塑性榭脂が使用可能であり、これら榭脂材料には必要に応 じてガラス繊維等の充填材が配合される。

[0162] 本構成例では、軸部 202 (金属材料)と榭脂材料 220の分離防止のため、フランジ 部 210に埋め込まれた軸部 202の下端 202cと、軸部 202の上端内周側に設けられ たテーパ面 202dとで金属材料と榭脂材料 220が係合状態にある。

[0163] この軸部材 222は、例えば軸部 202をインサート部品とする樹脂の射出成形 (イン サート成形）により製作される。この種の軸部材 222には、軸受装置の機能上、軸部 2 02とフランジ部 210の直角度や、フランジ部 210の両端面の平行度等をはじめ高い 寸法精度が求められるが、インサート成形であれば、型精度を高め、かつ型内でイン サート部品としての軸部 202を精度良く位置決めするだけで、前記要求精度を確保 しつつ、低コストに量産可能となる。また、フランジ部 210の両端面 210a、 210bの一 部環状領域にはそれぞれ、射出成形と同時に第 1スラスト軸受面 Iと第 2スラスト軸受 面 Jとが形成される。

[0164] 上記構成の軸部材 222は、軸部とフランジ部の双方を金属材料で形成するよりも、 大幅に軽量ィ匕することができる。従って、軸部材 222と軸受スリーブ 208や底部材 20 7bとの衝突時における衝撃が減じられ、衝突部での傷の発生を抑制することができ る。また、フランジ部 210が榭脂製であるので、金属製の軸受スリーブ 208の下側端 面 208bや底部材 207bの上側端面 207blに対する摺動特性が向上し、トルクを減じ ることがでさる。

[0165] また、以上に示した動圧軸受装置 201においては、軸受スリーブ 208とハウジング 207 (側部 207a)とは別体に形成されているが、これらを一体に形成することもできる 。図 23はその一例を示すものであり、図 22で別体に形成されていた軸受スリーブ 20 8と、ハウジング 207の側部 207aと力 一体の軸受部材 227で構成される。この構成 例では、部品点数や組立工数を削減し、一層低コストな動圧軸受装置 201を形成す ることがでさる。

[0166] 軸受部材 227は、金属材料ゃ榭脂材料で略円筒状に形成され、軸部材 222が内 周に挿入されるスリーブ部 227aと、スリーブ部 227aの外周側から上方に延びたシー ル部材 219を固定するシール固定部 227bと、スリーブ部 227aの外周側から下方に 延びた底部材固定部 227cとからなる。また、第 1スラスト軸受部 T21は、スリーブ部 2 27aの下側端面 227alと、これに対向するフランジ部 210の上側端面 210aとの間に 形成される。

[0167] さらに図 22と図 23に示す構成では、シール部材 219がハウジング 207や軸受部材 227と別体に形成されているが、これらを一体に形成することもでき、部品点数や組 立工数を更に削減し、より一層低コストな動圧軸受装置 201を形成することもできる。

[0168] 以上の説明では、図 19に示す軸方向の貫通穴 202bを有する軸部 202を用いた 動圧軸受装置についての説明を行ったが、図 20に示す一端に凸部 202al、他端に 凹部 202a2を有する軸部 202を用いて、動圧軸受装置 201を構成することもできる（ 図示省略)。

[0169] ところで、以上に示したラジアル軸受面 Hに形成される動圧発生部の形状は一例に すぎず、インクジェット法により印刷可能な形状であれば、これ以外の動圧溝形状 (例 えばスパイラル形）に対応した動圧溝パターンを動圧発生部として形成することもでき る。ラジアル軸受面 Hにはこの他にも、軸方向の動圧溝を円周方向の複数箇所に形 成したいわゆるステップ状の動圧発生部、さらには、円周方向に複数の円弧面を形 成したいわゆる多円弧状の動圧発生部についても、同様の方法により形成すること ができる。

[0170] また、以上の説明では、ラジアル軸受面 Hを軸方向二箇所に離隔して形成する場 合を例示しているが、ラジアル軸受面 Hの数は任意であり、軸方向の一箇所あるいは 三箇所以上にラジアル軸受面 Hを形成することもできる。

[0171] また、スラスト軸受面 I、 Jには、動圧発生部として、上記のスパイラル形状等に配列 された動圧溝を有する動圧発生部の他、例えばステップ状の動圧発生部、いわゆる 波型状 (ステップ型が波型になったもの）の動圧発生部を形成することもできる。

[0172] 図 24は、図 21に示す動圧軸受装置 201を組込んだ情報機器用スピンドルモータ の一構成例を概念的に示している。この情報機器用スピンドルモータは、 HDD等の ディスク駆動装置に用いられるもので、軸部 202を備えた回転部材 203を回転自在 に非接触支持する動圧軸受装置 201と、例えば半径方向のギャップを介して対向さ せたステータコイル 204およびロータマグネット 205と、モータブラケット（保持部材） 2 06とを備えている。ステータコイル 204はブラケット 206の外周に取り付けられ、ロー タマグネット 205は、回転部材 203の外周に取り付けられる。回転部材 203は、その 外周に磁気ディスク等のディスク Dを一枚または複数枚保持する。ハウジング 207は 、モータブラケット 206の内周に例えば圧入接着等の手段により固定される。ステー タコイル 204に通電すると、ステータコイル 204とロータマグネット 205との間に発生 する電磁力でロータマグネット 205が回転し、それに伴って回転部材 203および軸部 202がー体となって回転する。このモータは、高い耐久性と回転精度を兼ね備えるも のである。

図面の簡単な説明

[図 1]本発明の第 1実施形態に係るインクジェット方式の印刷装置の概要を示す側面 図である。

[図 2A]ノズルヘッドを素材の進行方向と直交するように配置した図である。

[図 2B]ノズルヘッドを素材の進行方向と所定角度傾けて配置した図である。

[図 3]フランジ部の上側端面の平面図である。

[図 4A]区画部 Baを直接素材端面に形成した拡大断面図である。

[図 4B]素材端面にインク層を形成し、該インク層表面に区画部 Baを形成した場合の 拡大断面図である。

[図 5]インクジェット方式の印刷装置の他構成を示す側面図である。

[図 6]動圧軸受装置を組み込んだ情報機器用スピンドルモータの断面図である。

[図 7]動圧軸受装置の一構成例を示す断面図である。

[図 8]動圧軸受装置の他の構成例を示す断面図である。

[図 9]動圧軸受装置の他の構成例を示す断面図である。

[図 10A]フランジ部の上側端面の他形態を示す平面図である。

[図 10B]動圧軸受装置に組み込んだ場合における区画部 Baの X— X拡大断面図で ある。

[図 11]本発明の第 2実施形態に係る動圧発生部の成形装置の一例を示す図である [図 12]動圧発生部の成形方法の他形態を示す図である。 [図 13]動圧軸受装置の断面図である。

圆 14]動圧軸受装置の他の構成例を示す断面図である。

圆 15]動圧軸受装置の他の構成例を示す断面図である。

圆 16]動圧軸受装置の他の構成例を示す断面図である。

[図 17]動圧軸受装置を組み込んだスピンドルモータの一例を示す断面図である。

[図 18]素材表面の洗浄試験の結果を示す図である。

圆 19]本発明の第 3実施形態に係るインクジェット方式の印刷装置の一例を示す概 要図である。

圆 20]インクジェット方式の印刷装置の他形態を示す概要図である。

圆 21]本発明の構成を有する動圧軸受装置の一構成例を示す断面図である。 圆 22]動圧軸受装置の他の構成例を示す断面図である。

圆 23]動圧軸受装置の他の構成例を示す断面図である。

圆 24]動圧軸受装置を組み込んだモータの一例を示す概要図である。

Claims

請求の範囲

[I] 素材の平坦面の多数箇所に微量インクを非接触で供給する印刷工程と、供給した インクを硬化させる硬化工程を経て、微量インクの集合体で動圧発生部を成形するこ とを特徴とする動圧発生部の成形方法。

[2] 素材を相対的にスライドさせて印刷工程力 硬化工程に移送する請求項 1記載の 動圧発生部の成形方法。

[3] 印刷工程に、微量インクを吐出するノズルを複数列に配したノズルヘッドを設け、か つノズルの配列方向と素材の相対スライド方向とを傾斜させた請求項 2記載の動圧 発生部の成形方法。

[4] 素材を、その軸心を中心として相対回転させて、印刷工程力も硬化工程に移送す る請求項 1記載の動圧発生部の成形方法。

[5] インクが光硬化性を有し、インクの硬化を光線の照射で行う請求項 1〜4何れか記 載の動圧発生部の成形方法。

[6] 素材表面に微量インクを供給し、この微量インクの集合体で動圧発生部を印刷する 工程と、インクを硬化させる工程とを含み、

動圧発生部の印刷工程の前に、素材表面を、酸洗浄、 UV洗浄、オゾン洗浄の中 から選択される一の手段により洗浄することを特徴とする動圧発生部の成形方法。

[7] 上記洗浄手段のうち酸洗浄を、塩酸を用いて行う請求項 6記載の動圧発生部の成 形方法。

[8] 上記洗浄手段のうち酸洗浄を、超音波作用下で行う請求項 6記載の動圧発生部の 成形方法。

[9] 軸部を構成する素材表面に、軸受隙間に動圧作用を発生させるための動圧発生 部を形成するに際し、

複数個の素材を軸方向に連結した状態で微量インクを供給し、各素材に微量イン クの集合体で動圧発生部を形成することを特徴とする動圧発生部の形成方法。

[10] 素材に軸方向の貫通穴を設け、かつ複数の素材の各貫通穴に冶具を挿入すること で、各素材を連結する請求項 9記載の動圧発生部の形成方法。

[II] 素材の一端に凸部を、他端に凹部を設け、かつ隣接する素材の一方に設けた凸部 と、他方の凹部との嵌合によって各素材を連結する請求項 9記載の動圧発生部の形 成方法。

[12] 動圧発生部を、ノズルから着弾あるいは滴下させたインクで形成することを特徴とす る請求項 9〜 11何れか記載の動圧発生部の形成方法。

[13] インクは、光硬化性榭脂であることを特徴とする請求項 9〜 12何れか記載の動圧発 生部の形成方法。