WO2006030615A1 - センサ付き継手部材 - Google Patents

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WO2006030615A1
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sensor
fluid control
joint member
control device
passage
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PCT/JP2005/015512
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Tsutomu Shinohara
Michio Yamaji
Shigeaki Tanaka
Mutsunori Koyomogi
Ichiro Mine
Ichiro Tokuda
Kenji Tsubota
Original Assignee
Fujikin Incorporated
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    • F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
    • F16K27/003—Housing formed from a plurality of the same valve elements
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L25/00—Constructive types of pipe joints not provided for in groups F16L13/00 - F16L23/00 ; Details of pipe joints not otherwise provided for, e.g. electrically conducting or insulating means
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    • Y10T137/877—With flow control means for branched passages
    • Y10T137/87885—Sectional block structure

Definitions

  • the present invention relates to a joint member that is used in a semiconductor manufacturing apparatus or the like, and is preferably used in an integrated fluid control apparatus that is assembled so that a fluid control device can be taken out alone during maintenance inspection. .
  • a fluid control device used in a semiconductor manufacturing apparatus includes fluid control devices such as a mass flow controller and on-off valves arranged in a plurality of rows, and the flow paths of fluid control devices in adjacent rows are arranged at predetermined locations.
  • fluid control devices such as a mass flow controller and on-off valves arranged in a plurality of rows, and the flow paths of fluid control devices in adjacent rows are arranged at predetermined locations.
  • a plurality of fluid control devices are arranged in the upper stage and connected by block-shaped joint members arranged in the lower stage.
  • the integration process is progressing (Patent Document 1 and Patent Document 2).
  • FIG. 4 shows an integrated fluid control device disclosed in Patent Document 1, and one line (C) of the fluid control device includes a plurality of upper members and a plurality of lower members.
  • check valve (11), pressure regulator (16), pressure sensor (12), reverse V-shaped passage block (20), circuit breaker (13), mass flow controller ( 14), an open / close valve (15), a reverse V-shaped passage block (20) and a filter (17) are arranged, and are connected to the check valve (11) in order from the left as the lower member and are connected to the inlet joint.
  • V-shaped passage block joint (33) communicating with pressure regulator (16) and pressure sensor (12), and reverse V-shaped passage block with pressure sensor (12)
  • Various joint members (31), (32), (33), and (34) as lower members are placed on one elongated sub-board (3), and as upper members across these lower members (31X32X33X34)
  • Various fluid control devices (11) (16) (12) (20) (13) (14) (15) (20) (17) are attached to form one line (C).
  • a plurality of lines having a configuration similar to C) are arranged in parallel on the main board (2), and the break openers (13) of each line (C) are connected to three I-shaped passage block joints.
  • (51) and the I-shaped passage block joint (51) are connected by the passage connecting means (50) including the tube (52) for connecting the integrated fluid control devices.
  • Patent Document 2 Although not shown in Patent Document 2, a new fluid control is provided by attaching a pressure regulator (16) and a pressure sensor (12), which are separated in Patent Document 1, to one block-shaped body. It has been proposed to form equipment.
  • Patent Document 1 Japanese Patent Laid-Open No. 2001-254900
  • Patent Document 2 Japanese Patent Laid-Open No. 11-118054
  • An object of the present invention is to provide a joint member that enables an integrated fluid control device in which an increase in the number of parts is suppressed and further compactness is achieved.
  • a joint member with a sensor according to the present invention includes a passage block in which a passage connecting lower end openings of adjacent fluid control devices is formed, and a sensor provided in the passage block.
  • the fluid control device is, for example, a pressure regulator, an on-off valve, a passage block, a filter, or the like.
  • the pressure regulator and the on-off valve or the passage block are combined. are connected by a joint member with a sensor.
  • the shape of the passage block is a rectangular parallelepiped or a substantially rectangular parallelepiped, and the passage has an upper end opening communicating with the lower end opening of the fluid control device.
  • Various sensors such as a pressure sensor, a temperature sensor, and a flow rate sensor can be used as the sensor.
  • the sensor is preferably provided on a side surface of the passage block.
  • the passage block is provided with a fluid control device on its upper surface, and its lower surface is placed on the upper surface of the substrate and fixed.
  • the sensor may be provided on the upstream side surface of the passage block or may be provided on the downstream side surface of the passage block.
  • the joint member with sensor forms a line with the flow direction of the fluid in one direction together with other joint members, and these fluid lines are arranged in parallel to form one fluid control device.
  • the sensors are provided on the upstream side of the passage block and on the downstream side of the passage block! .
  • the sensor may be provided on a side surface perpendicular to the fluid flow direction.
  • the sensor may be provided with an RFID tag that can read and write information without contact.
  • the RFID tag is preferably written with information on a single item, and it is preferable that additional information on assembly can be written at the time of assembly.
  • a RFID (Radio Frequency IDentification) tag is a combination of a memory (IC chip) for storing data and an antenna for picking up radio. To place the RFID tag on the sensor, the RFID tag may be adhered to the sensor or the passage block.
  • the sensor also integrates a sensor part for data acquisition such as pressure and temperature, an IC chip for storing information from the sensor part or the outside, and an antenna for communication in one block-shaped holding member. By adopting the configuration incorporated in the sensor, it can be said that the sensor has an RFID tag function.
  • the contents written to the RFID tag can store all related information in addition to the contents described above, and the installation location of the RFID tag is not affected by assembly or the like. ⁇ ⁇ It can be installed at any position in the place.
  • the RFID tag by providing (integrating) the RFID tag with a writing function, in addition to information written from the outside, information (measurement results of pressure, temperature, etc.) emitted from the sensor can also be used.
  • the sensor force information can also be confirmed by periodically writing to and reading from the outside.
  • the sensor is a pressure sensor, and a V-shaped or U-shaped connection passage that connects the lower end opening of the adjacent fluid control device to the passage block, and a branch that branches from the connection passage and leads to the pressure sensor A passage may be formed.
  • the pressure sensor is handled as one of the fluid control devices arranged in the upper stage. By attaching this to the joint member arranged in the lower stage, the space for installing the pressure sensor becomes unnecessary. In addition, the installation space for the fluid control device with a pressure sensor can be reduced.
  • the fluid control device includes a plurality of fluid control devices and a plurality of block-like joint members in which passages connecting lower end openings of adjacent fluid control devices are formed, and at least one joint
  • the member is the above-mentioned joint member with a sensor.
  • a known joint member is replaced with the joint portion with sensor.
  • a fluid control device including a plurality of fluid control devices and a plurality of joint members and including a sensor as the fluid control device can be made compact.
  • FIG. 1 is a side view showing one embodiment of a sensor-equipped joint member according to the present invention.
  • FIG. 2 is a partially enlarged view of FIG.
  • FIG. 3 is a side view showing a fluid control apparatus using the joint member with a sensor according to the present invention.
  • FIG. 4 is a side view showing a conventional fluid control device.
  • top and bottom * left and right in the figure are top and bottom, and left and right are left and right, but this top and bottom and left and right are for convenience, and the top and bottom are left and right. There are things.
  • FIG. 1 and 2 show a state in which the sensor-equipped joint member (10) according to the present invention is attached to the fluid control device (16), and FIG. 3 shows the sensor-equipped joint member (10) according to the present invention. Shown is one line (C) of the fluid control device used.
  • a block joint (33) for connection with a fluid control device (not shown) adjacent to the left is located below the pressure regulator (16) as a fluid control device.
  • the block joint (33) is a well-known block-shaped body (33a) with a V-shaped passage (33b). Is formed.
  • the right joint member (10) is a sensor-equipped joint member according to the present invention, and is a passage block in which a connection passage (41a) for connecting lower end openings of fluid control devices (16X20) adjacent to the left and right is formed 4 1) and a sensor (42) provided on the left side surface of the passage block (41).
  • the sensor (42) is a pressure sensor having a diaphragm (42a), and the passage block (41) has a V-shape connecting the lower end openings of the fluid control devices (16X20) adjacent to the left and right.
  • a connection passage (41a) and a branch passage (41b) that branches the lower end portion force of the connection passage (41a) to the left and communicates with the pressure sensor (42) are formed.
  • the passage block (41) is formed by additionally processing the branch passage (41b) and the pressure sensor mounting recess (41c) in the block joint (33), thereby suppressing an increase in the number of parts. It has been.
  • the flow path direction in the pressure regulator (16) is set to the left force right as indicated by the arrow, and the joint member with the right sensor (10) is pre-pressed by the pressure sensor (42). The pressure on the outlet side of the crusher (16) is monitored.
  • one line (C) of the fluid control device includes a plurality of upper-stage members and a plurality of lower-stage members.
  • As the upper-stage members a check valve (11), a pressure regulator (16 ), Inverted V-shaped passage block (20), shut-off opener (13), mass flow controller (14), on-off valve (15), inverted V-shaped passage block (20) and filter (17)
  • As a lower member in order from the left, an L-shaped passage block joint (32) connected to the check valve (11) and fitted with an inlet joint (31), a check valve (11) and a plate V-shaped passage block joint (33) that communicates with the reguregulator (16), and a sensor-equipped joint that communicates between the pressure regulator (16) and the reverse V-shaped passage block (20)
  • Various joint members (31) (32) (33) (10) (34) as lower members are placed on one elongated sub-board (3).
  • various flow system control devices as upper members across these lower members (31) (32) (33) (10) (34) (11) (16) (20) (13) (14) (15 ) (20) (17) is attached to form one line (C), and multiple lines with a similar configuration to this line (C) are placed in parallel on the main board (2).
  • the circuit breaker (13) of each line (C) is connected to the passage connection consisting of three I-shaped passage block joints (51) and a tube (52) connecting the I-shaped passage block joints (51).
  • the integrated fluid control device is formed by being connected by means (50).
  • the space for the pressure sensor (12) shown in FIG. 4 is completely omitted so that the comparison force of FIG. 3 and FIG. 4 can be easily divided.
  • the fluid control device is extremely compact.
  • the passage block (41) of the sensor-equipped joint member (10), which is a new part can be manufactured by adding a cover to the block joint (33), which increases the number of parts and labor. Is suppressed as much as possible.
  • the joint member with sensor (10) is disposed only on the right side of the pressure regulator (16), but the joint member (33) on the left side of the pressure regulator (16). In addition, it is possible to monitor not only the outlet side of the pressure regulator (16) but also the pressure on the inlet side as the joint member with sensor (10).
  • the V-shaped passage block joint (33) that communicates the V-shaped passage block (20) and the break opener (13) may be used as the sensor-equipped joint member (10).
  • the sensor (42) is not limited to the pressure sensor. Further, the connection passage (41a) of the joint member with sensor (10) may be U-shaped instead of V-shaped.
  • the senor (42) has a configuration in which an RFID tag that can read and write information in a non-contact manner is arranged, and the RFID tag is written with information on a single item. Let's be able to write additional information about the thread take-up during the thread take-up.
  • the joint member with sensor according to the present invention replaces a known joint member with the joint member with sensor, thereby increasing the number of components of the fluid control device including the plurality of fluid control devices and the plurality of joint members. Since the fluid control device including the sensor can be made compact, it can be easily applied to a device in which fluid control devices are integrated.

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Abstract

　 部品数の増加を抑えるとともに、より一層のコンパクト化が果たされた集積化流体制御装置を可能とする継手部材を提供する。 　センサ付き継手部材10は、隣り合う流体制御機器16,20の下端開口同士を接続するＶ字状通路41aが形成された通路ブロック41と、通路ブロック41の側面に設けられた圧力センサ42とを備えている。通路ブロック41には、Ｖ字状通路41aから分岐して圧力センサ42に通じる分岐通路41bが形成されている。

Description

明 細 書
センサ付き継手部材
技術分野
[0001] この発明は、半導体製造装置などに使用され、保守点検時に流体制御機器を単独 で上方に取り出すことができるように組み立てられた集積ィ匕流体制御装置において 好適に使用される継手部材に関する。
背景技術
[0002] 半導体製造装置に使用される流体制御装置は、マスフローコントローラや開閉弁な どの流体制御機器が複数列に配置されるとともに、隣り合う列の流体制御機器の流 路同士が所定箇所において機器接続手段により接続されることにより構成されている 力 近年、この種の流体制御装置では、複数の流体制御機器を上段に配置するとと もに、これらを下段に配置されたブロック状継手部材により接続する集積ィ匕が進めら れて ヽる（特許文献 1および特許文献 2)。
[0003] 図 4は、特許文献 1に開示されている集積ィ匕流体制御装置を示しており、この流体 制御装置の 1つのライン (C)は、複数の上段部材および複数の下段部材からなり、上 段部材として、逆止弁 (11)、プレツシャレギユレータ (16)、圧力センサ (12)、逆 V字状通 路ブロック (20)、遮断開放器 (13)、マスフローコントローラ (14)、開閉弁 (15)、逆 V字状 通路ブロック (20)およびフィルタ (17)が配置されるとともに、下段部材として、左から順 に、逆止弁 (11)に接続されかつ入口継手 (31)が取り付けられた L字状通路ブロック継 手 (32)と、逆止弁 (11)とプレツシャレギユレータ (16)とを連通する V字状通路ブロック « 手 (33)と、プレツシャレギユレータ (16)と圧力センサ (12)とを連通する V字状通路ブロッ ク継手 (33)と、圧力センサ (12)と逆 V字状通路ブロック (20)とを連通する V字状通路ブ ロック継手 (33)と、逆 V字状通路ブロック (20)と遮断開放器 (13)とを連通する V字状通 路ブロック継手 (33)と、遮断開放器 (13)とマスフローコントローラ (14)とを連通する V字 状通路ブロック継手 (33)と、マスフローコントローラ (14)と開閉弁 (15)とを連通する V字 状通路ブロック継手 (33)と、開閉弁 (15)と逆 V字状通路ブロック (20)とを連通する V字 状通路ブロック継手 (33)と、逆 V字状通路ブロック (20)とフィルタ (17)とを連通する V字 状通路ブロック継手 (33)と、フィルタ (17)に接続されかつ出口継手 (34)が取り付けられ た L字状通路第ブロック継手 (32)とが配置されている。そして、下段部材としての各種 継手部材 (31)(32)(33)(34)が 1つの細長い副基板 (3)上に載せられるとともに、これらの 下段部材 (31X32X33X34)にまたがって上段部材としての各種流体制御機器 (11)(16)( 12)(20)(13)(14)(15)(20)(17)が取り付けられることで 1つのライン (C)が形成され、このラ イン (C)と類似の構成とされた複数のラインが主基板 (2)上に並列に配置されるとともに 、各ライン (C)の遮断開放器 (13)同士が、 3つの I字状通路ブロック継手 (51)および I字 状通路ブロック継手 (51)同士を接続するチューブ (52)からなる通路接続手段 (50)によ り接続されることにより、集積化流体制御装置が形成されている。
[0004] 特許文献 2には、図示省略するが、特許文献 1ではそれぞれ分離されているプレツ シャレギユレータ (16)と圧力センサ (12)とを 1つのブロック状本体に取り付けることで新 たな流体制御機器を形成することが提案されて 、る。
特許文献 1：特開 2001— 254900号公報
特許文献 2：特開平 11― 118054号公報
発明の開示
発明が解決しょうとする課題
[0005] この種の集積ィヒ流体制御装置では、より一層のコンパクトィヒが望まれており、特許 文献 2のものは、コンパクトィ匕という点において、特許文献 1のものに比べて優れてい る力 新たにブロック状本体が必要となるために、部品数が増加するという問題があ つた o
[0006] この発明の目的は、部品数の増加を抑えるとともに、より一層のコンパクトィ匕が果た された集積化流体制御装置を可能とする継手部材を提供することにある。
課題を解決するための手段
[0007] この発明によるセンサ付き継手部材は、隣り合う流体制御機器の下端開口同士を 接続する通路が形成された通路ブロックと、通路ブロックに設けられたセンサとを備え ているものである。
[0008] 流体制御機器は、例えば、プレッシャーレギユレータ、開閉弁、通路ブロック、フィル ターなどとされ、例えば、プレッシャーレギユレータと開閉弁または通路ブロックとがこ のセンサ付き継手部材によって接続される。
[0009] 通路ブロックの形状は、直方体または略直方体とされ、通路は、流体制御機器の下 端開口に連通する上端開口を有するものとされる。
[0010] センサとしては、圧力センサ、温度センサ、流量センサなどの種々のセンサを使用 することができる。
[0011] センサは、通路ブロックの側面に設けられていることが好ましい。通路ブロックは、そ の上面に流体制御機器が設けられるとともに、その下面が基板の上面に載置されて 固定される。通路ブロック内の流体の流れ方向を基準にした場合、センサは、通路ブ ロックの上流側の側面に設けられてもよぐまた、通路ブロックの下流側の側面に設け られてもよい。また、流れ方向に対して平行な側面に設けられてもよい。センサ付き継 手部材は、他の継手部材とともに流体の流れ方向が一方向を向いた 1つのラインを 形成し、これらのラインが並列に配置されて 1つの流体制御装置が構成される。この 場合に、流体制御装置のスペースをできるだけ少なくするという点から、センサは、通 路ブロックの上流側の側面および zまたは通路ブロックの下流側の側面に設けられ ることがより好まし!/、。
[0012] センサは、流体の流れ方向に垂直となる側面に設けられていることがある。
[0013] センサには、非接触で情報の読み出し、書き込みが可能な RFIDタグが配置されて いることがある。この場合に、 RFIDタグは、単品に関する情報が書き込まれており、 組み立て時には組み立てに関する情報を追加で書き込むことができることが好ましい
[0014] RFID(Radio Frequency IDentification)タグは、データを格納するためのメモリ（IC チップ）と無線を拾うためのアンテナが一体ィ匕されたものである。センサに RFIDタグ を配置するには、センサまたは通路ブロックに RFIDタグを接着すればよい。また、セ ンサは、圧力、温度等のデータ取得のためのセンサ部分、センサ部分または外部か らの情報を格納する ICチップおよび通信用のアンテナを 1つのブロック状保持部材 内に一体ィ匕的に組み込んだ構成とすることにより、 RFIDタグ機能を有するセンサと することちでさる。
[0015] センサ付き継手部材に RFIDタグを取り付けることによって、単品出荷時には、単品 に関する情報（品番やコードナンバー、製造日、製造ロットナンバー、検査成績結果 など)を書き込んだ状態で出荷を行ない、出荷先でその情報を読み出す事によって 簡単に取得することが出来るようにし、また、組み立て等を行なう場合には、組み立て に関する情報 (使用する流体名、ライン名称、組み立て記録、検査記録等)を追加し て書き込むことにより、組み立てが完了した後に製品の出荷力 組み立てまでの全て の情報（トレーサビリティ)を得ることが出来る。
[0016] なお、 RFIDタグに書き込む内容は、上記記載の内容の他にも関連する全ての情 報を保存することが可能であるし、 RFIDタグの設置場所は、組み立て等で影響が出 な ヽ場所にならどの位置に設置しても良 、。
[0017] さらに、 RFIDタグに書き込み機能を持たせる（一体化する）ことにより、外部から書 き込む情報の他に、センサから発せられる情報 (圧力、温度等の測定結果等)も RFI Dタグに定期的に書き込み、外部から読み出すことによってセンサ力 の情報も合わ せて確認することが出来る。
[0018] また、センサと RFIDタグを別々にするのではなぐ一体ィ匕したセンサ回路として継 手部材に取り付けることにより、センサからの出力を RFIDタグに書き込んで保存し、 必要な時に外部へ読み出しすることが可能なセンサ回路を形成することも可能である
[0019] センサは、圧力センサであり、通路ブロックに、隣り合う流体制御機器の下端開口同 士を接続する V字状または U字状接続通路と、接続通路から分岐して圧力センサに 通じる分岐通路とが形成されていることがある。圧力センサは、従来の流体制御装置 では、上段に配置される流体制御機器の 1つとして扱われており、これが下段に配置 される継手部材に取り付けられることで、圧力センサ設置用スペースが不要となり、圧 力センサ付き流体制御装置の設置スペースを減少することができる。
[0020] この発明による流体制御装置は、複数の流体制御機器と、隣り合う流体制御機器 の下端開口同士を接続する通路が形成された複数のブロック状継手部材とを有し、 少なくとも 1つの継手部材が上記のセンサ付き継手部材とされているものである。 発明の効果
[0021] この発明のセンサ付き継手部材によると、公知の継手部材をこのセンサ付き継手部 材で置き換えることにより、複数の流体制御機器および複数の継手部材を備えかつ 流体制御機器としてセンサを含んでいる流体制御装置をコンパクトィ匕することができ る。
図面の簡単な説明
[0022] [図 1]この発明によるセンサ付き継手部材の 1実施形態を示す側面図である。
[図 2]図 1の部分拡大図である。
[図 3]この発明によるセンサ付き継手部材を使用した流体制御装置を示す側面図で ある。
[図 4]従来の流体制御装置を示す側面図である。
符号の説明
[0023] (10) センサ付き継手部材
(16X20) 流体制御機器
(41) 通路ブロック
(41a) 接続通路
(41b) 分岐通路
(42) 圧力センサ（センサ）
発明を実施するための最良の形態
[0024] この発明の実施の形態を、以下図面を参照して説明する。
[0025] 以下の説明において、上下 *左右については、図の上下を上下、左右を左右という ものとするが、この上下 ·左右は便宜的なもので、上下が左右になったりして使用され ることちある。
[0026] 図 1および図 2は、この発明によるセンサ付き継手部材 (10)が流体制御機器 (16)に 取り付けられた状態を示し、図 3は、この発明によるセンサ付き継手部材 (10)が使用さ れて 、る流体制御装置の 1つのライン (C)を示して 、る。
[0027] 図 1および図 2において、流体制御機器としてのプレッシャーレギユレータ (16)の下 方には、左方に隣り合う流体制御機器（図示略）との接続用のブロック継手 (33)と、右 方に隣り合う流体制御機器 (20)との接続用の継手部材 (10)とが設けられている。
[0028] ブロック継手 (33)は、公知のもので、直方体ブロック状本体 (33a)に V字状通路 (33b) が形成されたものである。
[0029] 右の継手部材 (10)は、この発明のセンサ付き継手部材で、左右に隣り合う流体制御 機器 (16X20)の下端開口同士を接続する接続通路 (41a)が形成された通路ブロック (4 1)と、通路ブロック (41)の左側面に設けられたセンサ (42)とを備えている。
[0030] センサ (42)は、ダイアフラム (42a)を有する圧力センサとされており、通路ブロック (41) には、左右に隣り合う流体制御機器 (16X20)の下端開口同士を接続する V字状接続 通路 (41a)と、接続通路 (41a)の下端部力も分岐して左方にのび圧力センサ (42)に通じ る分岐通路 (41b)とが形成されている。通路ブロック (41)は、ブロック継手 (33)に分岐通 路 (41b)と圧力センサ取付用凹部 (41c)とが追加加工されることにより形成されており、 これにより、部品数の増加が抑えられている。
[0031] プレツシャレギユレータ (16)内における流路方向は、矢印で示すように左力 右とさ れており、右のセンサ付き継手部材 (10)圧力センサ (42)により、プレツシャレギユレ一 タ (16)の出口側の圧力がモニターされている。
[0032] 図 3において、流体制御装置の 1つのライン (C)は、複数の上段部材および複数の 下段部材からなり、上段部材として、逆止弁 (11)、プレツシャレギユレータ (16)、逆 V字 状通路ブロック (20)、遮断開放器 (13)、マスフローコントローラ (14)、開閉弁 (15)、逆 V 字状通路ブロック (20)およびフィルタ (17)が配置されるとともに、下段部材として、左か ら順に、逆止弁 (11)に接続されかつ入口継手 (31)が取り付けられた L字状通路ブロッ ク継手 (32)と、逆止弁 (11)とプレツシャレギユレータ (16)とを連通する V字状通路ブロッ ク継手 (33)と、プレツシャレギユレータ (16)と逆 V字状通路ブロック (20)とを連通するセ ンサ付き継手部材 (10)と、逆 V字状通路ブロック (20)と遮断開放器 (13)とを連通する V 字状通路ブロック継手 (33)と、遮断開放器 (13)とマスフローコントローラ (14)とを連通す る V字状通路ブロック継手 (33)と、マスフローコントローラ (14)と開閉弁 (15)とを連通す る V字状通路ブロック継手 (33)と、開閉弁 (15)と逆 V字状通路ブロック (20)とを連通す る V字状通路ブロック継手 (33)と、逆 V字状通路ブロック (20)とフィルタ (17)とを連通す る V字状通路ブロック継手 (33)と、フィルタ (17)に接続されかつ出口継手 (34)が取り付 けられた L字状通路第ブロック継手 (32)とが配置されている。そして、下段部材として の各種継手部材 (31)(32)(33)(10)(34)が 1つの細長い副基板 (3)上に載せられるととも に、これらの下段部材 (31)(32)(33)(10)(34)にまたがって上段部材としての各種流体制 御機器 (11)(16)(20)(13)(14)(15)(20)(17)が取り付けられることで 1つのライン (C)が形成 され、このライン (C)と類似の構成とされた複数のラインが主基板 (2)上に並列に配置さ れるとともに、各ライン (C)の遮断開放器 (13)同士が、 3つの I字状通路ブロック継手 (51 )および I字状通路ブロック継手 (51)同士を接続するチューブ (52)からなる通路接続手 段 (50)により接続されることにより、集積ィ匕流体制御装置が形成されている。
[0033] 図 3と図 4の比較力も容易に分力るように、図 3においては、図 4に示されている圧 力センサ (12)のためのスペースが完全に省略されており、左右の長さが短くなり、極 めてコンパクトな流体制御装置が得られている。また、新部品であるセンサ付き継手 部材 (10)の通路ブロック (41)は、ブロック継手 (33)に追加カ卩ェすることで製作可能であ り、部品数および力卩ェの手間の増加が極力抑えられている。
[0034] なお、上記において、センサ付き継手部材 (10)は、プレッシャーレギユレータ (16)の 右側のみに配置されて 、るが、プレッシャーレギユレータ (16)の左側の継手部材 (33) もセンサ付き継手部材 (10)としてプレッシャーレギユレータ (16)の出口側だけでなく入 口側の圧力もモニターするようにしてよぐまた、プレッシャーレギユレータ (16)以外の 箇所、例えば逆 V字状通路ブロック (20)と遮断開放器 (13)とを連通する V字状通路ブ ロック継手 (33)をこのセンサ付き継手部材 (10)としてもよい。また、センサ (42)は圧力セ ンサに限られるものではない。また、センサ付き継手部材 (10)の接続通路 (41a)は、 V 字状ではなぐ U字状であってもよい。また、図示省略するが、センサ (42)は、非接触 で情報の読み出し、書き込みが可能な RFIDタグが配置されている構成とするととも に、 RFIDタグは、単品に関する情報が書き込まれており、糸且み立て時には糸且み立て に関する情報を追加で書き込むことができるようにしてもょ 、。
産業上の利用可能性
[0035] この発明によるセンサ付き継手部材は、公知の継手部材をこのセンサ付き継手部 材に置き換えることにより、複数の流体制御機器および複数の継手部材を備える流 体制御装置の部品数の増加を抑えるとともに、センサを含んでいる流体制御装置を コンパクトィ匕することができるので、流体制御機器を集積した装置に容易に適用する ことができる。

Claims

請求の範囲
[I] 隣り合う流体制御機器の下端開口同士を接続する通路が形成された通路ブロック と、通路ブロックに設けられたセンサとを備えて 、るセンサ付き継手部材。
[2] センサは、通路ブロックの側面に設けられている請求項 1のセンサ付き継手部材。
[3] センサは、流体の流れ方向に垂直となる側面に設けられている請求項 1のセンサ付 き継手部材。
[4] センサには、非接触で情報の読み出し、書き込みが可能な RFIDタグが配置されて
V、る請求項 1のセンサ付き継手部材。
[5] RFIDタグは、単品に関する情報が書き込まれており、組み立て時には組み立てに 関する情報を追加で書き込むことができる請求項 4のセンサ付き継手部材。
[6] センサは、圧力センサであり、通路ブロックに、隣り合う流体制御機器の下端開口同 士を接続する V字状または U字状接続通路と、接続通路から分岐して圧力センサに 通じる分岐通路とが形成されている請求項 1のセンサ付き継手部材。
[7] 複数の流体制御機器と、隣り合う流体制御機器の下端開口同士を接続する通路が 形成された複数のブロック状継手部材とを有し、少なくとも 1つの継手部材が請求項 1 のセンサ付き継手部材とされて 、る流体制御装置。
[8] センサは、通路ブロックの側面に設けられている請求項 7の流体制御装置。
[9] センサは、流体の流れ方向に垂直となる側面に設けられている請求項 7の流体制 御装置。
[10] センサには、非接触で情報の読み出し、書き込みが可能な RFIDタグが配置されて
V、る請求項 7の流体制御装置。
[II] RFIDタグは、単品に関する情報が書き込まれており、組み立て時には組み立てに 関する情報を追加で書き込むことができる請求項 10の流体制御装置。
[12] センサは、圧力センサであり、通路ブロックに、隣り合う流体制御機器の下端開口同 士を接続する V字状または U字状接続通路と、接続通路から分岐して圧力センサに 通じる分岐通路とが形成されている請求項 7の流体制御装置。
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