WO2005064372A1 - 光導波路基板、光送受信モジュール並びに光伝送装置 - Google Patents

光導波路基板、光送受信モジュール並びに光伝送装置 Download PDF

Info

Publication number
WO2005064372A1
WO2005064372A1 PCT/JP2004/019258 JP2004019258W WO2005064372A1 WO 2005064372 A1 WO2005064372 A1 WO 2005064372A1 JP 2004019258 W JP2004019258 W JP 2004019258W WO 2005064372 A1 WO2005064372 A1 WO 2005064372A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
groove
optical
optical waveguide
waveguide substrate
optical filter
Prior art date
Application number
PCT/JP2004/019258
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
佐藤　吉保
Original Assignee
松下電器産業株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 松下電器産業株式会社 filed Critical 松下電器産業株式会社
Publication of WO2005064372A1 publication Critical patent/WO2005064372A1/ja

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4246—Bidirectionally operating package structures

Definitions

  • Optical waveguide substrate, optical transceiver module and optical transmission device Optical waveguide substrate, optical transceiver module and optical transmission device
  • the present invention relates to an optical waveguide substrate in the field of optical communication, an optical transmission / reception module using the optical waveguide substrate, and an optical transmission device.
  • a conventional optical transmitting / receiving module generally has a structure in which an optical waveguide and a wavelength division multiplexing (WDM) filter are combined in order to separate a signal of a reception wavelength ⁇ 2 from a transmission wavelength ⁇ 1.
  • WDM wavelength division multiplexing
  • FIGS. 15A and 15B are diagrams showing a conventional schematic structure of a WDM optical bidirectional module using an optical waveguide.
  • optical waveguides la, lb, and 3 are formed in a star shape on the Si substrate 30 with the optical filter 4 as the center, and light is transmitted to each end of the optical waveguides la, lb, and 3 respectively.
  • the fiber 8, light-receiving element (PD) 6, and light-emitting element (LD) 5 are mounted by two-dimensional high-precision alignment so that incoming and outgoing light can be optically coupled.
  • Patent Document 1 JP-A-11-68705 (Abstract, FIG. 1)
  • the output light of the wavelength ⁇ 1 of the LD 5 is transmitted through the optical waveguide la and reflected by the optical filter 4 bonded and fixed to the groove 10 formed perpendicularly to the Si substrate 30 by the adhesive 11. After that, it is introduced into the optical fiber 8 through the optical waveguide lb.
  • the optical signal of the wavelength ⁇ 2 transmitted from the optical fiber 8 is transmitted via the optical waveguide lb, passes through the optical filter 4, and is received by the PD 6 via the optical waveguide 3.
  • Output light of wavelength ⁇ 1 is emitted from the opposite side of the optical waveguide la of LD5, and this output light is received by the monitoring PD (M-PD) 7 that monitors the power of LD5.
  • the present invention solves the above-mentioned problems of the conventional example, and provides an optical waveguide substrate on which an optical filter can be arranged with good manufacturability, an optical transmission / reception module using the optical waveguide substrate, and an optical transmission device.
  • the purpose is to:
  • the optical waveguide substrate according to the present invention is configured such that a groove is formed in a part of the substrate so as to intersect the optical waveguide, and an optical filter is inserted and arranged in the groove.
  • the side surface is tapered or rectangular in the horizontal direction as viewed from the bottom surface force of the groove, and has a width larger than the width of the groove located at a portion intersecting with the optical waveguide.
  • an optical waveguide substrate in which a groove is formed in a part of the substrate so as to intersect with the optical waveguide and an optical filter is inserted and arranged in the groove, at least one side surface of the groove has a bottom surface force of the groove.
  • the groove is tapered or rectangular in the vertical direction when viewed, and the groove width at the upper part of the groove is larger than the groove width at the bottom surface of the groove.
  • the groove is formed on four or more surfaces.
  • the groove is formed using a blade in which a plurality of blades having different diameters are integrated. This structure eliminates the need to replace the blade to change the width of the groove, thereby reducing man-hours, that is, improving productivity.
  • an optical transceiver module using the optical waveguide substrate having the above-described characteristics is configured. With this configuration, it is possible to reduce the price of the optical transceiver module.
  • an optical transmission device using the above-described optical transmission / reception module is configured. With this configuration, the price of the optical transmission device can be reduced.
  • At least one side surface of the groove is tapered or rectangular in the horizontal or vertical direction as viewed from the bottom surface force of the groove, and intersects with the optical fiber.
  • FIG. 1 is a perspective view of a transmission / reception module having a WDM function for describing an optical waveguide substrate according to a first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2A is a plan view of an optical transceiver module to which the present invention is applied.
  • FIG. 2B is a sectional view of an optical transceiver module to which the present invention is applied.
  • FIG. 3 is a graph showing an example of a wavelength transmission characteristic of an optical filter.
  • FIG. 4A is a plan view of the optical waveguide substrate according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 4B is a sectional view of the optical waveguide substrate according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 5A is a plan view of the optical waveguide substrate according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 5B is a sectional view of the optical waveguide substrate according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 6A is a plan view of the optical waveguide substrate according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 6B is a sectional view of the optical waveguide substrate according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 7A is a plan view of an optical waveguide substrate according to a second embodiment of the present invention.
  • FIG. 7B is a sectional view of an optical waveguide substrate according to a second embodiment of the present invention.
  • FIG. 7C is a cross-sectional view illustrating a modified example of the optical waveguide substrate according to the second embodiment of the present invention.
  • FIG. 8A is a plan view of an optical waveguide substrate according to a second embodiment of the present invention.
  • FIG. 8B is a sectional view of the optical waveguide substrate according to the second embodiment of the present invention.
  • FIG. 9A is a plan view of an optical waveguide substrate according to a second embodiment of the present invention.
  • FIG. 9B is a sectional view of an optical waveguide substrate according to a second embodiment of the present invention.
  • FIG. 10A is a plan view of an optical waveguide substrate according to a second embodiment of the present invention.
  • FIG. 10B is a sectional view of the optical waveguide substrate according to the second embodiment of the present invention.
  • FIG. 10C is a perspective view of an optical waveguide substrate according to a second embodiment of the present invention.
  • FIG. 11A is a plan view of an optical waveguide substrate according to a third embodiment of the present invention.
  • FIG. 11B is a sectional view of the optical waveguide substrate according to the third embodiment of the present invention.
  • FIG. 11C is a perspective view of an optical waveguide substrate according to a third embodiment of the present invention.
  • FIG. 12A is a plan view of an optical waveguide substrate according to a third embodiment of the present invention.
  • FIG. 12B is a cross-sectional view of the optical waveguide substrate according to the third embodiment of the present invention.
  • FIG. 12C is a perspective view of an optical waveguide substrate according to a third embodiment of the present invention.
  • FIG. 13A is a perspective view of a blade of an optical waveguide substrate according to a fourth embodiment of the present invention.
  • FIG. 13B is a cross-sectional view showing the relationship between the optical waveguide substrate and the blade of the optical waveguide substrate according to the fourth embodiment of the present invention.
  • FIG. 14A is a plan view of an optical waveguide substrate according to a fourth embodiment of the present invention.
  • FIG. 14B is a sectional view of an optical waveguide substrate according to a fourth embodiment of the present invention.
  • FIG. 15A is a conventional perspective view of a WDM optical bidirectional module using an optical waveguide.
  • FIG. 15B is a conventional sectional view of a WDM optical bidirectional module using an optical waveguide.
  • FIG. 1 is a perspective view of a transmission / reception module having a WDM function for describing an optical waveguide substrate according to a first embodiment of the present invention
  • FIGS. 2A and 2B are views for supplementary explanation thereof.
  • the optical transceiver module consists of an optical waveguide la, lb, 3, an optical filter 4, a light-emitting element (LD) 5, a light-receiving element (PD) 6, and a light-emitting element monitoring PD (M-PD). 7, an optical fiber 8, an adhesive 11, and an optical waveguide substrate 30 having a V-groove.
  • LD light-emitting element
  • PD light-receiving element
  • M-PD light-emitting element monitoring PD
  • An optical fiber 8 aligned so as to be optically coupled to the LD 5 emerges from the package of the optical transceiver module.
  • the optical waveguides la and lb A groove 10 is formed between the passages 3.
  • an adhesive 11 such as a UV or thermosetting type. The adhesive is fixed to the side surface portion 12 on which the optical filter 4 is arranged.
  • FIG. 3 shows an example of the wavelength transmission characteristics of the optical filter 4.
  • This optical filter 4 has a characteristic that the transmittance is low near the wavelength ⁇ 1 and the transmittance is high near the wavelength 2 with respect to the optical signals of wavelengths ⁇ 1 and ⁇ 2 where ⁇ ⁇ ⁇ 2. ing. Therefore, the optical signal of the wavelength ⁇ 1 emitted from the LD 5 propagates through the optical waveguide la, is reflected by the optical filter 4, is guided to the optical waveguide lb thereabove, and then is transmitted to the optical waveguide lb. The light is transmitted to the optical fiber 8 disposed at the center.
  • FIGS. 2A and 2B show the portion between plane C and plane D in FIG. 1 as viewed in the direction A and viewed from the direction B, respectively.
  • the groove 10 is formed in the Si substrate 30 by a dicing apparatus so as to intersect the optical waveguides la, lb, and 3.
  • the side surface or a part of the side surface of the groove portion 10 is tapered (or rectangular), and the groove located at a portion intersecting the optical waveguides la, lb, 3 By making the width larger than the width, it becomes easy to insert the optical filter 4 into the groove 10.
  • the optical filter 4 After the optical filter 4 is inserted into the groove 10 and the position is adjusted, the optical filter 4 is fixed to the Si substrate 30 using an adhesive 11 such as UV resin or thermosetting resin. You. Here, since part or all of the portion of the side surface of the groove 10 that is joined to the optical filter 4 is a flat surface, the positioning and fixing of the optical filter 4 become easy and accurate, and stable characteristics are obtained. Becomes possible.
  • FIGS. 4A and 4B show the case where the side surface 20a in the horizontal direction with respect to the bottom surface 2 of the groove is tapered when viewed from the direction A in FIG. The view from the direction B and the direction B are shown.
  • FIGS. 6A and 6B show that the side surfaces 20a and 20b are both tapered in the horizontal direction with respect to the groove bottom surface 2 among the side surfaces with respect to the groove bottom surface 2 when viewed in the direction A of FIG. In this case, they are seen from the A direction and the B direction, respectively.
  • the tapered portions may be all rectangular or a combination of tapered and rectangular. These tapered or rectangular portions have a width larger than the width of a groove located at a portion intersecting the optical waveguides la, lb, and 3.
  • At least one side surface of the groove 10 is tapered (or rectangular) in the horizontal direction when viewed from the bottom surface 2 of the groove, and the optical waveguide la
  • the arrangement of the optical filter 4 is facilitated, the number of steps is reduced, and the price is reduced by improving the product yield.
  • FIG. 1 is a schematic configuration diagram illustrating an embodiment.
  • Figures 7 ⁇ and 7 ⁇ show the direction A and B when the side 21a is tapered in the direction perpendicular to the bottom 2 of the groove, of the side to the bottom 2 of the groove when the force in the direction of Fig. 1 is also observed.
  • Direction force Each state is shown.
  • the tapered portion 21a is formed in the waveguide portion as shown in Fig. 7B
  • the deposited portion 13 is formed on the waveguide as shown in Fig. 7C
  • the tapered portion 21a is formed in the deposited portion. It is also possible to have a structure that can be used.
  • FIGS. 8A and 8B show the grooves among the side surfaces with respect to the bottom surface 2 of the groove when viewed in the direction A of FIG. A direction and a B direction force when the side surface 21b is tapered in a direction perpendicular to the bottom surface 2 are shown.
  • FIGS. 9A and 9B show that, when viewed from the direction A in FIG. 1, the side surface 21a and the side surface 21b are both tapered in a direction perpendicular to the bottom surface 2 of the groove.
  • All of the tapered portions may be rectangular or a combination of tapered and rectangular shapes. In these tapered or rectangular portions, the groove width at the top of the groove is larger than the groove width at the bottom surface 2 of the groove.
  • FIGS. 10A and 10B show perspective views of the bottom surface 2 of the groove when viewed from the direction A in FIG. 10C. Both the side surfaces 20a and 20b in the horizontal direction with respect to the bottom surface 2 of the groove are rectangular. In the case where both sides 21a and 21b are rectangular in the direction perpendicular to the bottom surface 2 of the groove, the forces in the A and B directions are shown.
  • all (or part) of the side 12 of the side surface of the groove 10 that is joined to the optical filter 4 is a flat surface. It has become. That is, as shown in FIGS. 10A and 10B, by making the side surface or a part of the side surface of the groove portion 10 rectangular (or tapered), it becomes easy to insert the optical filter 4 into the groove portion 10.
  • the filter 4 it is necessary to arrange the optical filter 4 at a desired angle with respect to the optical waveguides la, lb, and 3 (in this figure, 90 degrees both horizontally and vertically).
  • a part or all of the part 12 to be joined to the optical filter 4 in the side surface of the groove 10 is a flat surface.
  • the side surface of the groove 10 has a rectangular shape (or a tapered shape) in the vertical direction when viewed from the bottom surface 2 of the groove. Since the width of the groove at the upper part of the groove is larger than the width, the arrangement of the optical filter 4 is facilitated, the number of steps can be reduced, and the price can be reduced by improving the product yield.
  • FIGS. 11A, 11B, and 11C and FIGS. 12A, 12B, and 12C show schematic configuration diagrams of the third embodiment.
  • 11A and 11B are perspective views of FIG. 11C
  • FIGS. 12A and 12B are perspective views of the A direction and B direction forces of FIG. 12C, respectively.
  • FIG. 12B is a cross-sectional view taken along plane XY in FIG. 12A.
  • 11A and 1 IB show the case where both the side surfaces 20a and 20b in the horizontal direction with respect to the bottom surface 2 of the groove are tapered in the side surface with respect to the bottom surface 2 of the groove when viewed from the direction A.
  • FIGS. 12A and 12B show the side surface 21a and the side surface 21b both tapered in the direction perpendicular to the bottom surface 2 of the groove when viewed from the direction A. Is shown.
  • the groove 10 is configured by a total of three surfaces of the groove bottom surface 2 and the side surfaces 22 and 23 in FIG. 15B, whereas FIGS. 11A, 11B, In 11C, it is composed of a total of four surface forces, the bottom surface 2 of the groove and the Tsukuda J surface 22, 23, 24.
  • the bottom surface 2 of the groove and the side surfaces 22, 23, 24, 24 A total of 25 face forces of 25 are also configured.
  • the groove 10 may be configured with six or more surfaces.
  • the second embodiment shown in Figs. 7A, 7B and 7C or Figs. 8A and 8B or Figs. 9A and 9B and Figs. 11A, 11B and 11C are shown.
  • a configuration in which the third embodiment is combined with the third embodiment is also possible.
  • the groove 10 is formed of four or more surfaces, the positioning and fixing of the optical filter 4 are easy and accurate, and stable characteristics can be obtained. It becomes possible.
  • FIGS. 13A and 13B are diagrams illustrating a method for manufacturing an optical waveguide substrate according to the fourth embodiment. It is. 14A and 14B are schematic configuration diagrams of an optical waveguide substrate according to the fourth embodiment.
  • the dicing blade used to form the groove 10 has a large diameter blade 31 and blades 32a and 32b having a smaller diameter than the blade 31. It is configured to rotate as an axis.
  • a blade composed of the blade 31 and the blade 32a or the blade 31 and the blade 32b is also possible.
  • FIG. 13B shows a process of forming the groove 10 in the optical waveguide substrate 30 using this blade.
  • FIGS. 14A and 14B show a state in which the optical filter 4 is arranged in a groove 10 formed using the blades shown in FIGS. 13A and 13B.
  • 14A and 14B are drawings viewed from the A direction and the B direction, respectively.
  • both the side surface 21a portion and the side surface 21b portion in the direction perpendicular to the groove bottom surface 2 are rectangular.
  • the configuration is such that the rectangular portion is tapered, and the side face 20a in the horizontal direction with respect to the bottom face 2 of the groove, A configuration in which the 2 Ob portion is tapered or rectangular is also possible.
  • the fourth embodiment when forming the groove 10 in which the optical filter 4 is to be arranged, it is possible to eliminate the need to replace the blade to change the width of the groove. That is, productivity can be improved.
  • the arrangement of the optical filter is facilitated, the number of steps can be reduced, and the cost can be reduced by improving the yield of the product. Since the optical transmission device can be configured, the present invention is widely useful in the field of optical communication and the like.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Optical Integrated Circuits (AREA)

Abstract

　製造性良く光学フィルタを配置することができる光導波路基板及び光導波路基板を用いた光送受信モジュール並びに光伝送装置を提供する技術が開示され、その技術によれば基板の一部に光導波路１ａ、１ｂ、３と交わるように溝部１０を形成し、溝部内に光学フィルタ４を挿入配置する光導波路基板において、溝部の少なくとも１つの側面が、溝の底面２から見て水平方向にテーパー状若しくは矩形状となっており、光導波路と交差する部分に位置する溝の幅よりも大きな幅を有することにより、光学フィルタの配置が容易となり、工数の低減、製品の歩留まり向上により価格低減が可能となる。

Description

明 細 書
光導波路基板、光送受信モジュール並びに光伝送装置
技術分野
[0001] 本発明は、光通信分野における光導波路基板と、その光導波路基板を用いた光送 受信モジュール並びに光伝送装置に関する。
背景技術
[0002] 近年、 1本の光ファイバを用いて上りと下りの光双方向伝送を異なる波長え 1、 λ 2 で実現する光通信方式の開発が進められているが、本方式の光送受信モジュール には、発光素子と受光素子と波長分離と合波機能部品などを集積化する技術が必 要である。
[0003] 従来の光送受信モジュールは、受信波長 λ 2の信号を送信波長 λ 1と分離するた めに、光導波路と波長多重（WDM : Wavelength Division Multiplexing)フィルタを組 み合わせた構造が一般的である（例えば下記の特許文献 1参照)。図 15A、 15Bは、 光導波路を用いた WDM光双方向モジュールの従来の概略構造を示す図である。 図 15A、 15Bに示すように、 Si基板 30上には光導波路 la、 lb、 3が光学フィルタ 4を 中心としてスター状に形成され、光導波路 la、 lb、 3の各一端に対してそれぞれ光フ アイバ 8、受光素子 (PD) 6、発光素子 (LD) 5を、入出射光を光結合できるように 2次 元の高精度な位置合わせ (ァライメント）により実装している。
特許文献 1 :特開平 11 - 68705号公報 (要約、図 1)
[0004] LD5の波長 λ 1の出力光は、光導波路 laを介して伝送され、 Si基板 30に対して垂 直に形成された溝部 10に接着剤 11により接着固定された光学フィルタ 4で反射され た後、光導波路 lbを通って光ファイバ 8へと導入される。一方、光ファイバ 8から伝送 されてきた波長 λ 2の光信号は光導波路 lbを介して伝送されて光学フィルタ 4を透 過し、光導波路 3を介して PD6で受光される。また、 LD5の光導波路 laの反対側か らは波長 λ 1の出力光が出ており、この出力光は、 LD5のパワーをモニタリングする モニター用 PD (M-PD) 7で受光される。なお、 2は溝の底面、 22、 23は溝部 10の 側面を示す。 [0005] し力しながら、上記従来例においては、光導波路に光学フィルタを挿入することが 非常に困難であるため、工数の増大と光学フィルタ及び光導波路の破損といった問 題が発生する。
発明の開示
[0006] 本発明は上記従来例の課題を解決するもので、製造性良く光学フィルタを配置す ることができる光導波路基板及び光導波路基板を用いた光送受信モジュール並び に光伝送装置を提供することを目的とする。
[0007] 本発明に係る光導波路基板は、基板の一部に光導波路と交わるように溝を形成し 、前記溝中に光学フィルタを挿入配置する光導波路基板において、前記溝の少なく とも 1つの側面が、前記溝の底面力 見て水平方向にテーパー状若しくは矩形状と なっており、前記光導波路と交差する部分に位置する前記溝の幅よりも大きな幅を有 することを特徴とする。この構造により、光学フィルタの配置が容易となり、工数の低 減、製品の歩留まり向上により価格低減が可能となる。
[0008] また、基板の一部に光導波路と交わるように溝を形成し、前記溝中に光学フィルタ を挿入配置する光導波路基板において、前記溝の少なくとも 1つの側面が、前記溝 の底面力 見て垂直方向にテーパー状若しくは矩形状となっており、前記溝の底面 における溝幅よりも前記溝の上部における溝幅が大きいことを特徴とする。この構造 により、本発明を適用した光導波路基板において、光学フィルタの配置が容易となり 、工数の低減、製品の歩留まり向上により価格低減が可能となる。
[0009] また、前記光学フィルタが挿入配置される前記溝の側面の一部又は全面が平坦で あることを特徴とする。この構造により、光学フィルタの位置決め、角度決め、固定が 容易かつ正確となり、安定した特性を得ることが可能となる。
[0010] また、前記溝は、 4面以上で形成されていることを特徴とする。この構造により、光学 フィルタの位置決め、固定が容易かつ正確となり安定した特性を得ることが可能とな る。
[0011] また、前記溝は、直径の異なる複数のブレードを一体化したブレードを用いて形成 されることを特徴とする。この構造により、溝の幅を変化させるためにブレードを交換 する手間が省けるため、工数の低減、すなわち生産性向上が図れる。 [0012] また、上述した特徴を有する光導波路基板を用いた光送受信モジュールを構成す る。この構成により、光送受信モジュールの価格低減が可能となる。
[0013] さらに、上述した光送受信モジュールを用いた光伝送装置を構成する。この構成に より、光伝送装置の価格低減が可能となる。
[0014] 本発明によれば、溝に光学フィルタを配置する際、溝の少なくとも 1つの側面を、溝 の底面力 見て水平方向又は垂直方向にテーパー状若しくは矩形状とし、光フアイ バと交差する部分に位置する溝の幅よりも大きな幅とすることにより、光学フィルタの 配置が容易となり、工数の低減、製品の歩留まり向上により価格低減が可能となり、 製造性のよ!、光導波路基板及び光導波路基板を用いた光送受信モジュール並び に光伝送装置を構成することができる。
図面の簡単な説明
[0015] [図 1]本発明の第 1の実施の形態に係る光導波路基板を説明するための WDM機能 を有する送受信モジュールの斜視図である。
[図 2A]本発明を適用した光送受信モジュールの平面図である。
[図 2B]本発明を適用した光送受信モジュールの断面図である。
[図 3]光学フィルタの波長透過特性の例を示すグラフである。
[図 4A]本発明の第 1の実施の形態に係る光導波路基板の平面図である。
[図 4B]本発明の第 1の実施の形態に係る光導波路基板の断面図である。
[図 5A]本発明の第 1の実施の形態に係る光導波路基板の平面図である。
[図 5B]本発明の第 1の実施の形態に係る光導波路基板の断面図である。
[図 6A]本発明の第 1の実施の形態に係る光導波路基板の平面図である。
[図 6B]本発明の第 1の実施の形態に係る光導波路基板の断面図である。
[図 7A]本発明の第 2の実施の形態に係る光導波路基板の平面図である。
[図 7B]本発明の第 2の実施の形態に係る光導波路基板の断面図である。
[図 7C]本発明の第 2の実施の形態に係る光導波路基板の変形例による断面図であ る。
[図 8A]本発明の第 2の実施の形態に係る光導波路基板の平面図である。
[図 8B]本発明の第 2の実施の形態に係る光導波路基板の断面図である。 [図 9A]本発明の第 2の実施の形態に係る光導波路基板の平面図である。
[図 9B]本発明の第 2の実施の形態に係る光導波路基板の断面図である。
[図 10A]本発明の第 2の実施の形態に係る光導波路基板の平面図である。
[図 10B]本発明の第 2の実施の形態に係る光導波路基板の断面図である。
[図 10C]本発明の第 2の実施の形態に係る光導波路基板の斜視図である。
[図 11A]本発明の第 3の実施の形態に係る光導波路基板の平面図である。
[図 11B]本発明の第 3の実施の形態に係る光導波路基板の断面図である。
[図 11C]本発明の第 3の実施の形態に係る光導波路基板の斜視図である。
[図 12A]本発明の第 3の実施の形態に係る光導波路基板の平面図である。
[図 12B]本発明の第 3の実施の形態に係る光導波路基板の断面図である。
[図 12C]本発明の第 3の実施の形態に係る光導波路基板の斜視図である。
[図 13A]本発明の第 4の実施の形態に係る光導波路基板のブレードの斜視図である
[図 13B]本発明の第 4の実施の形態に係る光導波路基板の光導波路基板とブレード の関係を示す断面図である。
[図 14A]本発明の第 4の実施の形態に係る光導波路基板の平面図である。
[図 14B]本発明の第 4の実施の形態に係る光導波路基板の断面図である。
[図 15A]光導波路を用いた WDM光双方向モジュールの従来の斜視図である。
[図 15B]光導波路を用いた WDM光双方向モジュールの従来の断面図である。
発明を実施するための最良の形態
[0016] <第 1の実施の形態 >
図 1は、本発明の第 1の実施の形態に係る光導波路基板を説明するための WDM 機能を有する送受信モジュールの斜視図であり、図 2A、 2Bはその補足説明用の図 である。図 1に示すように、光送受信モジュールは、光導波路 la、 lb、 3、光学フィル タ 4、発光素子（LD) 5、受光素子（PD) 6、発光素子のモニター用 PD (M— PD) 7、 光ファイバ 8、接着剤 11、 V溝を有する光導波路基板 30から構成されている。
[0017] 光送受信モジュールのパッケージからは LD5と光学的に結合するようにァライメント された光ファイバ 8が出ている。図 2A、 2Bに示すように、光導波路 la、 lbと光導波 路 3の間には溝部 10が形成されており、そこに光学フィルタ 4を挿入後、 UV又は熱 硬化型などの接着剤 11にて、光学フィルタ 4と溝の底面 2若しくは溝の側面部のうち 光学フィルタ 4が配置される側面部分 12とを接着固定する。
[0018] 光学フィルタ 4の波長透過特性の例を図 3に示す。この光学フィルタ 4は、 λ Κ λ 2であるような波長 λ 1、 え 2の光信号に関して、波長 λ 1付近では透過率が低ぐ波 長え 2付近では透過率が高いという特徴を有している。そのため、 LD5から出た波長 λ 1の光信号は、光導波路 laを伝わった後、光学フィルタ 4にて反射し、その先にあ る光導波路 lbへと導かれた後に、光導波路 lbの先に配置された光ファイバ 8へと伝 達される。一方、光ファイバ 8から入射されたえ 2の光信号は、光導波路 lbへ導かれ た後にそのほとんどすべてが光学フィルタ 4を透過して、その先にある光導波路 3へと 導かれる。その後、光導波路 3の先に配置された PD6へと導かれた後に受光され、 O E変換されて電気信号として処理される。
[0019] 次に、図 1、図 2A、 2Bを用いて本発明の説明を行う。図 1のうち、 C面と D面の間の 部分を、 A方向力 見た図と B方向から見た図がそれぞれ図 2A、 2Bである。ダイシン グ装置によって Si基板 30に光導波路 la、 lb、 3と交差するように溝部 10を形成する 。そのとき、図 1、図 2A、 2Bに示すように、溝部 10の側面若しくは側面の一部をテー パー状 (若しくは矩形状)とし、光導波路 la、 lb、 3と交差する部分に位置する溝の 幅よりも大きな幅とすることによって、光学フィルタ 4を溝部 10内に挿入することが容 易になる。光学フィルタ 4を溝部 10内へ挿入し、位置調整を行った後に、 UV榭脂又 は熱硬化榭脂などの接着剤 11を用いて Si基板 30と光学フィルタ 4を固定することに より構成される。ここで、溝部 10の側面のうち光学フィルタ 4と接合される部分の一部 又は全部分が平坦面であることにより、光学フィルタ 4の位置決め、固定が容易かつ 正確となり、安定した特性を得ることが可能となる。
[0020] 以下、 Si基板 30のうち C面と D面で挟まれた部分について、 A方向から見た図と B 方向から見た図で説明する。また、以下では光導波路として、図 1に示すように、光導 波路 la、 lb、 3から構成される場合について説明したが、本発明においては、光導 波路の形状を限定するものではなぐいかなる導波路のパターンにおいて適用しても よい。 [0021] 図 4A、 4Bは図 1の A方向から見たときの溝の底面 2に対する側面のうち、溝の底面 2に対して水平方向に側面 20a部分がテーパー状になっている場合の A方向、 B方 向からそれぞれ見た様子を示す。また、図 5A、 5Bは図 1の A方向から見たときの溝 の底面 2に対する側面のうち、溝の底面 2に対して水平方向に側面 20b部分がテー パー状になっている場合の A方向、 B方向からそれぞれ見た様子を示す。さらに、図 6A、 6Bは図 1の A方向力 見たときの溝の底面 2に対する側面のうち、溝の底面 2に 対して水平方向に側面 20a部分、 20b部分が共にテーパー状になって 、る場合の A 方向、 B方向からそれぞれ見た様子を示す。上記テーパー部分は、すべて矩形状若 しくはテーパー状と矩形状を組み合わせた構成も可能である。これらテーパー状又 は矩形状部分は、光導波路 la、 lb、 3と交差する部分に位置する溝の幅よりも大きな 幅を有している。
[0022] したがって、上述した第 1の実施の形態によれば、溝部 10の少なくとも 1つの側面 力 溝の底面 2から見て水平方向にテーパー状 (若しくは矩形状)となっており、光導 波路 la、 lb、 3と交差する部分に位置する溝の幅よりも大きな幅を有することにより、 光学フィルタ 4の配置が容易となり、工数の低減、製品の歩留まり向上により価格低 減が可能となる。
[0023] また、光学フィルタ 4が挿入配置される溝部 10の側面の一部又は全面が平坦面 12 であることにより、光学フィルタ 4の位置決め、角度決め、固定が容易かつ正確となり 、安定した特性を得ることが可能となる。
[0024] <第 2の実施の形態 >
次に、図 7A、 7B、 7C、図 8A、 8B、図 9A、 9Βίま、図 4Α、 4Β、図 5Α、 5Β、図 6Α、 6Βの第 1の実施の形態に対応して示す第 2の実施の形態を説明する概略構成図で ある。図 7Α、 7Βは図 1の Α方向力も見たときの溝の底面 2に対する側面のうち、溝の 底面 2に対して垂直方向に側面 21a部分がテーパー状になっている場合の A方向、 B方向力 それぞれ見た様子を示す。図 7Bのような導波管部分にテーパー部 21aが 形成される構造以外に、図 7Cのように導波管の上に堆積部 13が形成されており、堆 積部分にテーパー部 21aが形成される構造も可能である。
[0025] また、図 8A、 8Bは図 1の A方向力 見たときの溝の底面 2に対する側面のうち、溝 の底面 2に対して垂直方向に側面 21b部分がテーパー状になっている場合の A方向 、 B方向力 それぞれ見た様子を示す。さらに、図 9A、 9Bは図 1の A方向から見たと きの溝の底面 2に対する側面のうち、溝の底面 2に対して垂直方向に側面 21a部分、 側面 21b部分が共にテーパー状になっている場合の A方向、 B方向からそれぞれ見 た図を示す。上記テーパー部分は、すべて矩形状若しくはテーパー状と矩形状を組 み合わせた構成も可能である。これらテーパー状又は矩形状部分は溝の底面 2にお ける溝幅よりも溝の上部における溝幅の方が大きい。
[0026] また、図 4A、 4B、図 5A、 5B、図 6A、 6Bで示される第 1の実施の形態と、図 7A、 7 B、図 8A、 8B、図 9A、 9Bで示される第 2の実施の形態を組み合わせた構成も可能 である。ここでは、溝部 10の一部が矩形状になっている場合の一例を示す。図 10A 、 10Bは、その斜視図を示す図 10Cの A方向から見たときの溝の底面 2に対する側 面のうち、溝の底面 2に対して水平方向に側面 20a部分、 20b部分が共に矩形状に なっており、さらに、溝の底面 2に対して垂直方向に側面 21a部分、側面 21b部分が 共に矩形状になっている場合について A方向、 B方向力 それぞれ見た様子を示す
[0027] また、この第 2の実施の形態では、第 1の実施の形態と同様に、溝部 10の側面のう ち光学フィルタ 4と接合される部分 12の全部分 (又は一部分）が平坦面となっている。 すなわち、図 10A、 10Bに示すように、溝部 10の側面若しくは側面の一部を矩形状 ( 若しくはテーパー状）とすることによって光学フィルタ 4を溝部 10内に挿入することが 容易になるが、光学フィルタ 4を固定する際に、光学フィルタ 4を光導波路 la、 lb、 3 と所望の角度 (この図では水平、垂直方向に共に 90度）に配置する必要性がある。こ こで、溝部 10の側面のうち光学フィルタ 4と接合される部分 12の一部又は全部分を 平坦面とする。光学フィルタ 4を溝部 10内へ挿入後、その平坦面に光学フィルタ 4を 沿わせた後に、 UV榭脂又は熱硬化榭脂などの接着剤 11を用いてフエルール 1と光 学フィルタ 4を固定することにより、容易かつ正確な光学フィルタ 4の位置決め、角度 決め、固定が可能となる。
[0028] したがって、上述した第 2の実施の形態によれば、溝部 10の側面が溝の底面 2から 見て垂直方向に矩形状 (若しくはテーパー状)となっており、溝の底面 2における溝 幅よりも溝の上部における溝幅の方が大きな幅を有することにより、光学フィルタ 4の 配置が容易となり、工数の低減、製品の歩留まり向上により価格低減が可能となる。
[0029] また、光学フィルタ 4が挿入配置される溝部 10の側面 12の一部又は全面が平坦面 であることにより、光学フィルタ 4の位置決め、角度決め、固定が容易かつ正確となり 、安定した特性を得ることが可能となる。
[0030] <第 3の実施の形態 >
図 11A、 11B、 11Cと、図 12A、 12B、 12Cは、第 3の実施の形態の概略構成図を 示している。図 11A、 11Bはその斜視図である図 11Cの、図 12A、 12Bはその斜視 図である図 12Cの A方向、 B方向力もそれぞれ見た様子を示す。ただし、図 12Bは図 12Aの平面 X— Yでの断面図となる。また、図 11A、 1 IBは A方向から見たときの溝 の底面 2に対する側面のうち、溝の底面 2に対して水平方向に側面 20a部分、 20b部 分が共にテーパー状になっている場合を示しており、図 12A、 12Bは A方向から見 たときの溝の底面 2に対する側面のうち、溝の底面 2に対して垂直方向に側面 21a部 分、側面 21b部分が共にテーパー状になっている場合を示している。
[0031] 従来例の溝部 10の構成面では、溝部 10は、図 15Bにおいて、溝の底面 2と、側面 22、 23の合計 3面から構成されているのに対して、図 11A、 11B、 11Cでは、溝の底 面 2と、佃 J面 22、 23、 24の合計 4面力ら構成されており、図 12A、 12B、 12Cでは、 溝の底面 2と、側面 22、 23、 24、 25の合計 5面力も構成されている。側面 20a部分、 20b部分、側面 21a部分、側面 21b部分がテーパー状ではなぐ矩形状の場合は 6 面以上の面で溝部 10が構成されることも可能である。
[0032] また、第 3の実施の形態においても、図 7A、 7B、 7C又は図 8A、 8B又は図 9A、 9 Bで示される第 2の実施の形態と図 11 A、 11B、 11Cで示される第 3の実施の形態と をそれぞれ組み合わせた構成も可能である。
[0033] したがって、第 3の実施の形態によれば、溝部 10は、 4面以上で形成されていること により、光学フィルタ 4の位置決め、固定が容易かつ正確となり安定した特性を得るこ とが可能となる。
[0034] <第 4の実施の形態 >
図 13A、 13Bは、第 4の実施の形態に係る光導波路基板の製造方法を説明する図 である。また、図 14A、 14Bは第 4の実施の形態に係る光導波路基板の概略構成図 である。図 13A、 13Bにおいて、溝部 10を形成するために用いるダイシング用のブレ ードは、大きめの直径であるブレード 31とブレード 31よりも直径の小さいブレード 32a 、 32bの合計 3枚が中心部 33を軸として回転するという構成である。ここで、ブレード 31とブレード 32a又はブレード 31とブレード 32bの 2枚で構成されるブレードも可能 である。このブレードを用 、て光導波路基板 30に溝部 10を形成する過程を図 13B に示す。また、図 14A、 14Bでは、図 13A、 13Bで示されるブレードを用いて構成し た溝部 10に光学フィルタ 4を配置した状態を示している。図 14A、 14Bはそれぞれ A 方向、 B方向から見た図面である。
[0035] ここでは、図 9A、 9Bで A方向から見たときの溝の底面 2に対する側面のうち、溝の 底面 2に対して垂直方向に側面 21a部分、側面 21b部分が共に矩形状になっている 場合を例として示したが、矩形部分がテーパー状である構成や、 A方向力 見たとき の溝の底面 2に対する側面のうち、溝の底面 2に対して水平方向に側面 20a部分、 2 Ob部分がテーパー状又は矩形状になっている構成も可能である。
[0036] したがって、第 4の実施の形態によれば、光学フィルタ 4を配置する溝部 10を形成 する際に、溝の幅を変化させるためにブレードを交換する手間が省けるため、工数の 低減、すなわち生産性向上が図れる。
[0037] 上述したようにして形成された光導波路基板を用いた光送受信モジュール及び光 伝送装置を構成すれば、価格低減が可能となる。
産業上の利用可能性
[0038] 本発明によれば、光学フィルタの配置が容易となり、工数の低減、製品の歩留まり 向上により価格低減が可能となり、製造性のよい光導波路基板及び光導波路基板を 用いた光送受信モジュール並びに光伝送装置を構成することができるので、本発明 は、光通信分野などにおいて広く有用である。

Claims

請求の範囲
[1] 基板の一部に光導波路と交わるように溝を形成し、前記溝中に光学フィルタを挿入 配置する光導波路基板にお!、て、
前記溝の少なくとも 1つの側面が、前記溝の底面から見て水平方向にテーパー状 若しくは矩形状となっており、前記光導波路と交差する部分に位置する前記溝の幅 よりも大きな幅を有することを特徴とする光導波路基板。
[2] 基板の一部に光導波路と交わるように溝を形成し、前記溝中に光学フィルタを挿入 配置する光導波路基板にお!、て、
前記溝の少なくとも 1つの側面が、前記溝の底面から見て垂直方向にテーパー状 若しくは矩形状となっており、前記溝の底面における溝幅よりも前記溝の上部におけ る溝幅の方が大き ヽことを特徴とする光導波路基板。
[3] 前記光学フィルタが挿入配置される前記溝の側面の一部又は全面が平坦であるこ とを特徴とする請求項 1又は 2に記載の光導波路基板。
[4] 前記溝は、 4面以上で形成されていることを特徴とする請求項 1又は 2に記載の光 導波路基板。
[5] 前記溝は、直径の異なる複数のブレードを一体ィ匕したブレードを用いて形成される ことを特徴とする請求項 1又は 2に記載の光導波路基板。
[6] 請求項 1又は 2に記載の光導波路基板を有することを特徴とする光送受信モジユー ル。
[7] 請求項 6に記載の光送受信モジュールを用いることを特徴とする光伝送装置。
PCT/JP2004/019258 2003-12-26 2004-12-22 光導波路基板、光送受信モジュール並びに光伝送装置 WO2005064372A1 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003-434902 2003-12-26
JP2003434902A JP2005195615A (ja) 2003-12-26 2003-12-26 光導波路基板、光送受信モジュール並びに光伝送装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2005064372A1 true WO2005064372A1 (ja) 2005-07-14

Family

ID=34736579

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2004/019258 WO2005064372A1 (ja) 2003-12-26 2004-12-22 光導波路基板、光送受信モジュール並びに光伝送装置

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP2005195615A (ja)
WO (1) WO2005064372A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106716200A (zh) * 2014-09-22 2017-05-24 日本电气株式会社 光电路元件和光电路元件的配置方法

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5247383U (ja) * 1975-10-01 1977-04-04
JPS56121569U (ja) * 1980-02-12 1981-09-16
JPH10133041A (ja) * 1996-10-29 1998-05-22 Hitachi Cable Ltd フィルタ付導波路
EP0908746A2 (en) * 1997-10-06 1999-04-14 Fujitsu Limited Wavelength division multiplexing optical device and manufacturing method therefor
JPH11352341A (ja) * 1998-06-04 1999-12-24 Nec Corp 導波路型波長多重光送受信モジュール
JP2000047043A (ja) * 1998-07-29 2000-02-18 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> フィルタ挿入型導波路デバイスとその製造方法

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5247383U (ja) * 1975-10-01 1977-04-04
JPS56121569U (ja) * 1980-02-12 1981-09-16
JPH10133041A (ja) * 1996-10-29 1998-05-22 Hitachi Cable Ltd フィルタ付導波路
EP0908746A2 (en) * 1997-10-06 1999-04-14 Fujitsu Limited Wavelength division multiplexing optical device and manufacturing method therefor
JPH11352341A (ja) * 1998-06-04 1999-12-24 Nec Corp 導波路型波長多重光送受信モジュール
JP2000047043A (ja) * 1998-07-29 2000-02-18 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> フィルタ挿入型導波路デバイスとその製造方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106716200A (zh) * 2014-09-22 2017-05-24 日本电气株式会社 光电路元件和光电路元件的配置方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP2005195615A (ja) 2005-07-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100801519B1 (ko) 광 모듈, 광 전송 시스템, 광 모듈의 제조 방법
JP4983391B2 (ja) 光モジュール及びその製造方法
CN105899985B (zh) 包括集成光子光模场转换器的带连接件光纤线缆和光纤连接件及相关方法
US5479547A (en) Optical multiplexer and demultiplexer module including multiplexing and demultiplexing filter film
JP3784701B2 (ja) 光回路部材および光トランシーバ
US7684667B2 (en) Hybrid integrated structure of one or more optical active devices and PLC device using optical fiber array
KR100630804B1 (ko) 박막필터를 이용한 다파장 광 송수신 모듈, 다중 및 역다중화기
JP2003156665A (ja) 光送受信モジュール及びこれを用いた光送受信装置
JP2000347050A (ja) 光送受信モジュール
JP2008209520A (ja) 光フィルタモジュール
CN104254794B (zh) 光纤连接器组件
US6574390B2 (en) Configuration to multiplex and/or demultiplex the signals of a plurality of optical data channels and method for the production of the configuration
KR101063963B1 (ko) 평판형 광도파로 소자용 광 파워 측정 모듈 및 그 제조방법
JP2003004992A (ja) 光送受信モジュールとその製造方法
JPH10268158A (ja) 光分波器および光結合部品
KR101227039B1 (ko) 광 파워 감시 모듈
WO2005064372A1 (ja) 光導波路基板、光送受信モジュール並びに光伝送装置
JP2008020721A (ja) 並列光送受信装置
JP2008020720A (ja) 光導波路及び並列光送受信装置
JP3985576B2 (ja) 光コネクタ、光配線システム及び光コネクタの製造方法
KR101226704B1 (ko) 경사각을 이용한 광 파워 감시 모듈
KR101220303B1 (ko) 광 파워 감시 모듈
KR101501140B1 (ko) 광 파워 모니터 구조를 개량시킨 평판형 광도파로 소자 모듈
KR100403740B1 (ko) 광섬유 정렬장치의 구조
JP2004109313A (ja) 光送受信装置および情報伝送装置

Legal Events

Date Code Title Description
AK Designated states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AE AG AL AM AT AU AZ BA BB BG BR BW BY BZ CA CH CN CO CR CU CZ DE DK DM DZ EC EE EG ES FI GB GD GE GH GM HR HU ID IL IN IS KE KG KP KR KZ LC LK LR LS LT LU LV MA MD MG MK MN MW MX MZ NA NI NO NZ OM PG PH PL PT RO RU SC SD SE SG SK SL SY TJ TM TN TR TT TZ UA UG US UZ VC VN YU ZA ZM ZW

AL Designated countries for regional patents

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): GM KE LS MW MZ NA SD SL SZ TZ UG ZM ZW AM AZ BY KG KZ MD RU TJ TM AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LT LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR BF BJ CF CG CI CM GA GN GQ GW ML MR NE SN TD TG

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

WWW Wipo information: withdrawn in national office

Country of ref document: DE