WO2005019123A1 - Vertikal-tiegelziehverfahren zur herstellung eines zylinderförmigen quarzglaskörpers und vorrichtung zur durchführung des verfahrens - Google Patents

Vertikal-tiegelziehverfahren zur herstellung eines zylinderförmigen quarzglaskörpers und vorrichtung zur durchführung des verfahrens Download PDF

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WO2005019123A1
WO2005019123A1 PCT/EP2004/008995 EP2004008995W WO2005019123A1 WO 2005019123 A1 WO2005019123 A1 WO 2005019123A1 EP 2004008995 W EP2004008995 W EP 2004008995W WO 2005019123 A1 WO2005019123 A1 WO 2005019123A1
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WO
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nozzle
opening
attachment
quartz glass
cross
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PCT/EP2004/008995
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French (fr)
Inventor
Helmut Leber
Rainer Berg
Nigel Whippey
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Heraeus Quarzglas GmbH and Co KG
Shin Etsu Quartz Products Co Ltd
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Heraeus Quarzglas GmbH and Co KG
Shin Etsu Quartz Products Co Ltd
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Ceased legal-status Critical Current

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Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B17/00Forming molten glass by flowing-out, pushing-out, extruding or drawing downwardly or laterally from forming slits or by overflowing over lips
    • C03B17/04Forming tubes or rods by drawing from stationary or rotating tools or from forming nozzles

Definitions

  • the present invention relates to a vertical crucible pulling method for producing a cylindrical quartz glass body, in which a quartz glass melt softened in a crucible is continuously drawn downwards vertically downward to a quartz glass strand with a predetermined cross-sectional profile via a pulling nozzle which has a drawing nozzle opening and is inserted in a bottom opening of the crucible the strand is then cut to the cylindrical quartz glass body.
  • the invention relates to a device for performing the method.
  • DE 506 384 discloses a method for vertical drawing from the crucible in accordance with the type mentioned at the beginning. Accordingly, rods and tubes are made of quartz glass by giving the desired dimension of the quartz glass strand emerging from the bottom opening of a melting vessel - without or with a mandrel inserted into this bottom opening - between shaped parts moving against one another and forming a closed shape. Said moldings here form the drawing nozzle, which can be designed, for example, in the form of disks which can be displaced relative to one another with grooves.
  • the invention is therefore based on the object of improving the known crucible-pulling method in such a way that the geometry spectrum of the quartz glass strand to be drawn off can be broadened without significant process engineering or structural outlay, and of providing a device which is suitable for carrying out the method.
  • this object is achieved according to the invention based on the method mentioned at the beginning in that the drawing nozzle is connected with its side facing away from the crucible to an exchangeable attachment nozzle which has an attachment nozzle opening whose opening cross-section differs from that of the drawing nozzle opening, and in that Profile of the quartz glass strand is set by cooling the quartz glass melt in the drawing nozzle and in the attachment nozzle in accordance with the opening cross section of the attachment nozzle opening.
  • the quartz glass strand does not get its desired cross-sectional profile through the opening cross-section of the drawing nozzle, as in the known method, but through the opening cross-section of an attachment nozzle connected to the drawing nozzle.
  • the melt is converted into the final shape of the quartz glass strand, in that the quartz glass melt cools down inside the drawing nozzle and the adjoining attachment nozzle to such an extent that it emerges as a dimensionally stable quartz glass strand, the cross-sectional profile of which corresponds to the profile of the attachment nozzle opening is determined. Changes in geometry after leaving the attachment nozzle, for example by subsequent cooling shrinkage, by locally acting cooling or heating measures or by a blowing pressure in a tubular strand, are disregarded.
  • the opening cross-section relevant for setting the target profile is the smallest cross-section of the attachment nozzle perpendicular to the drawing axis (hereinafter also referred to as the “attachment nozzle opening” or “radial opening cross-section”, and the correspondingly generated profile of the strand is referred to as the “radial profile”)
  • the "attachment nozzle cross section” is the cross section at the lower end of the attachment nozzle.
  • the geometry and size of the attachment nozzle cross section are selected in accordance with the radial profile of the quartz glass body to be produced.
  • the attachment nozzle is firmly connected to the actual pulling nozzle, but can be detached from it and replaced by another attachment nozzle.
  • the connection between the attachment nozzle and the drawing nozzle must be so tight that glass cannot escape between the two nozzles.
  • the top of the attachment nozzle and the underside of the drawing nozzle are pressed firmly against one another.
  • the interchangeability makes it possible to use a suitable attachment nozzle with an attachment nozzle opening that is better adapted to the new set profile when the set profile of the strand to be drawn changes. It is essential that the new attachment nozzle can be attached without the crucible having to be cooled or emptied. Ideally, the attachment nozzle can even be replaced during the drawing process.
  • the opening cross section of the nozzle opening differs in size or shape from that of the drawing nozzle opening. It is either smaller or larger or it has a different geometric shape for the nozzle opening.
  • the attachment nozzle preferably has an upper opening facing the drawing nozzle opening, with an opening cross section which is at no point smaller than the opening cross section of the drawing nozzle opening.
  • the opening cross section of the top opening of the attachment nozzle is nowhere smaller than the opening cross section of the immediately adjacent drawing nozzle opening prevents steps and edges protruding inwards, on which glass could deposit or which would increase the degree of turbulence of the quartz glass melt flowing past. It has proven to be particularly favorable if the distance between the attachment nozzle opening and the upper opening of the attachment nozzle is in the range between 40 mm and 80 mm.
  • the lower limit of 40 mm is determined by the dwell time of the quartz glass inside the attachment nozzle. If the dwell time is too short, the radial profile of the quartz glass strand does not form completely, since the viscosity of the quartz glass melt increases only slowly when it cools down.
  • the specified upper limit of 80 mm results from the height of the heating zone. To ensure that the top and bottom of the attachment nozzle are located within the heating zone, a particularly long heating zone would be required for nozzle lengths of more than 80 mm.
  • the drawing nozzle and the attachment nozzle are either provided with connecting means themselves, and / or the nozzles are fixed by means of a tool that encompasses the outside of the nozzle body, such as a screw connection or a clamp.
  • the attachment nozzle is preferably connected to the drawing nozzle by means of a quick coupling.
  • quick couplings can be opened and closed quickly and they facilitate automation of the attachment nozzle change.
  • the usual quick-release couplings have latching means, which here ensure a positive connection between the attachment nozzle and the drawing nozzle by latching.
  • latching means can have, for example, a so-called ball trap.
  • the quick coupling is preferably designed as a bayonet connection. The bayonet connection is robust and it offers a high level of security against unintentional opening.
  • the bayonet connection can be realized in that protruding profiles are provided on the outer circumference of one nozzle and the other nozzle has an outer ring with a circumferential milling on the inside of the outer ring, the profiles of one nozzle being placed on one another when the nozzles are placed on top of one another Introduced via a connecting groove to the milling, and then locked into it by rotation about the central axis of the nozzle, so that the outer ring of the nozzle overlaps the other nozzle on its outer surface.
  • Another embodiment of the bayonet connection has proven to be particularly advantageous, in which the attachment nozzle has an outside diameter in cross section perpendicular to the drawing axis, which corresponds to the outside diameter of the drawing nozzle.
  • One of the nozzles can be provided on its periphery with outwardly projecting bolts which engage in grooves which are provided in tabs which are attached to the outer periphery of the other nozzle. This simplifies the implementation of the bayonet connection.
  • the above-mentioned object is achieved according to the invention starting from a device of the type mentioned at the outset, by means of a device comprising a drawing nozzle which is inserted in a bottom opening of a crucible and has a drawing nozzle opening, the side of which is remote from the crucible is connected to an exchangeable attachment nozzle which has an attachment nozzle opening, the opening cross section of which differs from that of the drawing nozzle opening.
  • an attachment nozzle which is directly connected to the drawing nozzle and by means of which the quartz glass melt is formed into a quartz glass strand with a predetermined target profile.
  • the attachment nozzle has an opening cross section (hereinafter also referred to as “attachment nozzle opening” or “more radial” Opening cross section “referred to), which is more suitable for setting the target profile than the corresponding opening cross section of the drawing nozzle.
  • the attachment nozzle is firmly connected to the actual pulling nozzle, but can be detached from it and replaced by another attachment nozzle.
  • the connection between the attachment nozzle and the drawing nozzle is so tight that glass cannot escape between the two nozzles.
  • the top of the attachment nozzle and the underside of the drawing nozzle are pressed firmly against one another.
  • the interchangeability makes it possible to use a suitable attachment nozzle with an attachment nozzle opening which is better adapted to the new set profile when the set profile of the quartz glass strand to be drawn changes. It is essential that the new attachment nozzle can be attached without the crucible having to be cooled or emptied. Ideally, the attachment nozzle can even be replaced during the drawing process.
  • the opening cross-section of the nozzle opening differs in size or shape from that of the drawing nozzle opening. It is smaller or larger or it has a different cross-sectional geometry.
  • Embodiments of the device according to the invention are modeled on the procedures mentioned in the subclaims for the method according to the invention. For a supplementary explanation, reference is made to the above explanations regarding the corresponding method claims.
  • the drawing nozzle protrudes downward from the bottom opening in the form of a connecting piece, the connecting nozzle being connected to the connecting piece.
  • the attachment of the attachment nozzle to the nozzle facilitates assembly and replacement.
  • the quartz glass melt already cools somewhat in the nozzle-shaped part of the drawing nozzle, so that the attachment nozzle can have a lower height.
  • the nozzle advantageously has an outer diameter which corresponds to that of the attachment nozzle.
  • the attachment nozzle is provided with a dome which projects into the attachment nozzle opening and which has an inner bore which is open in the direction of the quartz glass strand and is connected to a gas supply line.
  • This embodiment of the invention makes it possible to subsequently equip the drawing system with a mandrel without great effort, even during the ongoing melting operation, or to extend an existing dome downwards or to change its geometry.
  • this embodiment of the invention enables not only a change in the geometry of the inner bore of the tubular quartz glass strand to be drawn, but also a change from a full profile to a hollow profile, without the need to insert a mandrel from above into the crucible , The geometry spectrum of the quartz glass body to be produced is thus additionally expanded.
  • the mandrel connected to the attachment nozzle is equipped with its own gas supply, so that a blowing pressure in the one to be drawn Quartz glass strand can be generated, even if the drawing system is not otherwise equipped with a mandrel.
  • the mandrel is connected by means of at least one web to an edge of the attachment nozzle which runs around the mandrel, the gas supply line being guided through the edge and the web.
  • the gas is supplied to the mandrel via a web, which at the same time serves to hold the mandrel within the attachment nozzle opening.
  • the web is hollow and on the one hand connected to the inner bore of the mandrel and on the other hand with a cavity in the edge of the attachment nozzle, in which a
  • Gas inlet opens.
  • the edge of the attachment nozzle has a bore which opens into the web cavity and is provided with a gas connection.
  • FIG. 1 shows an embodiment of the attachment nozzle in a side view, partly in section
  • FIG. 2 shows a top view of the attachment nozzle according to FIG. 1,
  • FIG. 3 shows a three-dimensional representation of the attachment nozzle according to FIG. 1,
  • FIG. 4 shows an arrangement of the drawing nozzle according to FIG. 1 on the drawing nozzle of a crucible in a schematic illustration
  • Figure 5 shows another embodiment of the attachment nozzle, with a central mandrel in a side view
  • FIG. 6 shows the attachment nozzle of Figure 5 in a plan view.
  • the attachment nozzle is designated as a whole by reference number 1. It essentially consists of an annular nozzle body 2 made of molybdenum with an outer diameter of 230 mm and a thickness of 40 mm. On the outer periphery of the nozzle body 2, three molybdenum tabs 4 are attached distributed symmetrically. The tabs 4 are flush with the bottom 5 of the nozzle body 2 and they protrude the top 6 by about 40 mm. In the tabs 4 open on one side, in the circumferential direction of the nozzle body 2 slots 7 are milled with a predetermined slope profile.
  • the nozzle body 2 is provided with a central bore 8 with a circular opening cross section, which tapers conically from the top 6 to the bottom 5.
  • the maximum diameter of the center bore 8 is 150 mm and the minimum diameter on the underside of the nozzle body 2 is 100 mm.
  • the minimum diameter of the attachment nozzle 1 corresponds to the “attachment nozzle opening” 9 in the sense of the present invention.
  • plan view according to FIG. 2 of the top 6 of the nozzle body 2 and the three-dimensional representation in FIG. 3 show the rotational symmetry of the attachment nozzle 1 and the arrangement of the tabs 4 around the outer circumference of the nozzle body 2.
  • FIG. 4 shows the area of the bottom outlet of a quartz glass crucible 20.
  • a drawing nozzle 10 is inserted into the bottom outlet.
  • the drawing nozzle 10 essentially consists of a nozzle ring 11 made of molybdenum with an outer diameter of 230 mm and a height of approximately 200 mm.
  • the nozzle ring 11 is provided with a center bore 12 with a circular opening cross section, which tapers from the top of the nozzle ring 11 to the bottom 13 to a diameter of 230 mm.
  • the minimum diameter of the nozzle ring 11 corresponds to the “drawing nozzle opening” 16 in the sense of the present invention.
  • a tubular mandrel is centered in the drawing nozzle 10 14 arranged so that a blowing pressure can be generated by introducing gas into the inner bore of the quartz glass strand.
  • Three outwardly projecting molybdenum bolts 15 are arranged symmetrically distributed on the outer circumference of the nozzle ring 11.
  • the diameter of the bolts 15 is slightly larger than the slot width of the slots 7 in the tabs 4 of the attachment nozzle 1.
  • quartz glass crucible 20 of which only the bottom region around the drawing nozzle 10 is shown in FIG. 4, a quartz glass melt is produced, which is drawn downwards via the drawing nozzle 10 and the mandrel 14.
  • the profile of the quartz glass tube emerging from the drawing nozzle 10 is determined by the cross section of the drawing nozzle opening 16.
  • the attachment nozzle 1 is attached to the drawing nozzle 10 according to FIGS. 1 to 3.
  • the attachment nozzle 1 is mounted on a suitable lifting device (not shown in the figures) and moved upwards by means of the lifting device and brought into contact with the drawing nozzle 10.
  • the attachment nozzle 1 and the drawing nozzle 10 are so firmly connected to one another by means of a bayonet lock that no glass melt can escape between the two nozzles.
  • the molybdenum bolts 15 of the drawing nozzle 10 are latched into the slots 7 of the tabs 4 of the attachment nozzle 1 and pressed firmly onto the drawing nozzle 10 by rotating the attachment nozzle 1. This prevents liquid quartz glass melt from escaping in this area.
  • the diameter of the drawing nozzle opening 16 corresponds exactly to the upper diameter of the inner bore 8 of the attachment nozzle 1.
  • the lifting device is then removed.
  • the bayonet catch prevents the attachment nozzle 1 from falling off.
  • the quartz glass melt emerging from the crucible 20 receives cooling in the drawing nozzle 10 and in the Attachment nozzle 1 is in the form of a quartz glass tube, the radial profile of which is determined by the cross section of the attachment nozzle opening.
  • the melting operation interrupted by the attachment nozzle installation can be resumed after only a few minutes.
  • the bayonet catch can also be opened again by means of the lifting device, but this can depend on the application and the operating conditions, since the contact surfaces of the drawing nozzle 10 and the attachment nozzle 1 can occur due to the heat acting during the drawing process and long operating times Molybdenum material - partially melt together.
  • the area around the bottom outlet of the crucible 20 is flushed with protective gas.
  • FIG. 5 shows a further embodiment of an attachment nozzle, to which the reference number 51 is assigned overall.
  • This consists of an annular nozzle body 52 made of molybdenum with an outer diameter of 230 mm and a thickness of 85 mm.
  • the nozzle body 52 is provided with a center bore 58 which tapers conically from the top 56 to the bottom 55.
  • the maximum diameter of the center bore 58 is 120 mm and the minimum diameter on the underside 55 of the nozzle body 52, which represents the attachment nozzle opening 53 in the sense of the present invention, is 90 mm.
  • a mandrel 54 which has a length of 100 mm, is arranged centrally within the center bore 58 and extends from the top 56 to above the
  • the outer diameter of the mandrel 54 is approximately 45 mm.
  • the lower part of the mandrel 54 is formed by a hollow cylinder 57, the inner bore 60 of which is closed at the top by a cap 59.
  • the Mandrel 54 is held by means of five webs 61, which are evenly distributed around the inner circumference of center bore 58.
  • the webs 61 and all parts (57, 60) of the mandrel 54 are made of molybdenum.
  • One of the webs 61a is provided with a bore 62 which is in fluidic connection with the inner bore 60 of the mandrel 54 and which is connected to a
  • Gas inlet port 65 is provided. Accordingly, a gas can be introduced into the inner bore 60 via the bore 62, which gas serves to generate a blowing pressure within the inner bore of a tubular quartz glass strand to be drawn off.
  • FIG. 6 shows a smaller version than FIG. 5

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Abstract

Bei einem bekannten Vertikal-Tiegelziehverfahren zur Herstellung eines zylinderförmigen Quarzglaskörpers, bei dem eine in einem Schmelztiegel erweichte Quarzglasschmelze über eine in einer Bodenöffnung des Schmelztiegels eingesetzte, eine Ziehdüsenöffnung aufweisende Ziehdüse (10) senkrecht nach unten zu einem Quarzglas-Strang mit vorgegebenem Querschnittsprofil kontinuierlich abgezogen. Um das bekannte Tiegelziehverfahren dahingehend zu verbessern, dass das Geometriespektrum des abzuziehenden Quarzglas-Strangs ohne wesentlichen verfahrenstechnischen oder konstruktiven Aufwand verbreitert werden kann, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass die Ziehdüse mit ihrer dem Schmelztiegel abgewandten Seite mit einer auswechselbaren Ansetzdüse (1) verbunden ist, die eine Ansetzdüsenöffnung (9), aufweist, deren Öffnungsquerschnitt sich von demjenigen der Ziehdüsenöffnung unterscheidet, und dass das Profil des Quarzglas-Strangs durch Abkühlen der Quarzglasschmelze in der Ziehdüse und in der Ansetzdüse entsprechend dem Öffnungsquerschnitt der Ansetzdüsenöffnung eingestellt wird.

Description

Vertikal-Tiegelziehverfahren zur Herstellung eines zylinderförmigen Quarzglaskörpers und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Vertikal-Tiegelziehverfahren zur Herstellung eines zylinderförmigen Quarzglaskörpers, bei dem eine in einem Schmelztiegel erweichte Quarzglasschmelze über eine in einer Bodenöffnung des Schmelztiegels eingesetzte, eine Ziehdüsenöffnung aufweisende Ziehdüse senkrecht nach unten zu einem Quarzglas-Strang mit vorgegebenem Querschnittsprofil kontinuierlich abgezogen, und der Strang anschließend zu dem zylinderförmigen Quarzglaskörper abgelängt wird.
Weiterhin betrifft die Erfindung eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens.
Vertikal-Tiegelziehverfahren werden zur Herstellung von zylinderförmigen Bauteilen, insbesondere auch von Rohren und Stäben aus Quarzglas mit beliebigem Querschnittsprofil eingesetzt.
Beim kontinuierlichen Ziehen von Quarzglasrohren aus einer Schmelze ist es üblich, einen Gasstrom durch das Rohr zu leiten, um so den Durchmesser und die Wandstärke des Rohres durch geeignete Anpassung der Viskosität des Glases, des Blasdrucks innerhalb des Glasrohres und/oder durch die
Abziehgeschwindigkeit zu regulieren. Die Einstellung der Rohrabmessungen mittels des Blasdrucks ist jedoch nur in gewissen Grenzen möglich, und das auch nur bei Rohren, jedoch nicht bei Stäben. Mit zunehmenden Durchmesser des zu ziehenden Rohres müssen zur Aufrechterhaltung des gewünschten Durchmessers große Gasvolumina eingeleitet werden, die die Rohrinnenwandung kühlen und die den Ziehvorgang erschweren. Die Variabilität des radialen Sollprofils des zu ziehenden Strangs ist daher in erster Linie durch die vorgegebene Geometrie der Ziehdüse begrenzt. Für die Herstellung von Quarzglaskörpem, die außerhalb dieses Geometriespektrums liegen, ist es in der Regel erforderlich, die Ziehdüse auszuwechseln. Ein Auswechseln der Ziehdüse während der laufenden Produktion ist jedoch nicht möglich. Die Ziehanlage muss abgeschaltet und anschließend mit der geänderten Ziehdüsengeometrie neu aufgebaut und eingefahren werden. Abgesehen vom Zeitaufwand ist dies vor allem auch deshalb problematisch, weil der Schmelztiegel in der Regel nur einmalig einsetzbar und nach dem Abkühlen unbrauchbar ist. Die anlagentechnisch bedingte Einschränkung durch die Ziehdüsengeometrie ist bei geringen Produktionsmengen und einer daraus resultierenden kurzen Tiegellaufzeit besonders nachteilig.
Aus der DE 506 384 ist ein Verfahren zum Vertikalziehen aus dem Tiegel gemäß der eingangs genannten Gattung bekannt. Demnach werden Stangen und Rohre aus Quarzglas hergestellt, indem der aus der Bodenöffnung eines Schmelzbehälters austretende Quarzglas-Strang - ohne oder mit in diese Bodenöffnung eingesetztem Dorn - zwischen gegeneinander sich bewegenden, eine geschlossene Form bildenden Formteilen die gewünschte Abmessung gegeben wird. Besagte Formteile bilden hier die Ziehdüse, die zum Beispiel in Form von Scheiben, die mit Nuten versehen gegeneinander verschiebbar sind, ausgebildet sein kann.
Eine Einstellung des Öffnungsquerschnitts der Ziehdüse durch bewegliche Teile bringt jedoch Nachteile hinsichtlich der Stabilität des Ziehprozesses mit sich und führt durch eindringendes Glas leicht zu Funktionsstörungen der Vorrichtung und zu Beschädigungen der Oberfläche des abzuziehenden Quarzglas-Strangs.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, das bekannte Tiegelziehverfahren dahingehend zu verbessern, dass das Geometriespektrum des abzuziehenden Quarzglas-Strangs ohne wesentlichen verfahrenstechnischen oder konstruktiven Aufwand verbreitert werden kann, und eine für die Durchführung des Verfahren geeignete Vorrichtung bereitzustellen. Hinsichtlich des Tiegelziehverfahrens wird diese Aufgabe ausgehend von dem eingangs genannten Verfahren erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass die Ziehdüse mit ihrer dem Schmelztiegel abgewandten Seite mit einer auswechselbaren Ansetzdüse verbunden ist, die eine Ansetzdusenoffnung, aufweist, deren Öffnungsquerschnitt sich von demjenigen der Ziehdusenoffnung unterscheidet, und dass das Profil des Quarzglas-Strangs durch Abkühlen der Quarzglasschmelze in der Ziehdüse und in der Ansetzdüse entsprechend dem Öffnungsquerschnitt der Ansetzdusenoffnung eingestellt wird.
Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren erhält der Quarzglas-Strang sein Soll- Querschnittsprofil nicht durch den Öffnungsquerschnitt der Ziehdüse, wie beim bekannten Verfahren, sondern durch den Öffnungsquerschnitt einer an die Ziehdüse angeschlossenen Ansetzdüse. Mittels der Ansetzdüse erfolgt die Umformung der Schmelze in die endgültige Form des Quarzglas-Strangs, indem die Quarzglasschmelze innerhalb der Ziehdüse und der sich daran anschließenden Ansetzdüse soweit abkühlt, dass sie nach dem Austreten als formstabiler Quarzglas-Strang vorliegt, dessen Querschnittsprofil vom Profil der Ansetzdusenoffnung bestimmt wird. Außer Betracht bleiben dabei Geometrieänderungen nach dem Verlassen der Ansetzdüse, etwa durch anschließendes Abkühlungsschrumpfen, durch lokal wirkende Kühl- oder Heizmaßnahmen oder durch einen Blasdruck bei einem rohrförmigem Strang.
Der für die Einstellung des Sollprofils relevante Öffnungsquerschnitt ist der kleinste Querschnitt der Ansetzdüse senkrecht zur Ziehachse (im Folgenden auch als „Ansetzdusenoffnung" oder „radialer Öffnungsquerschnitt", und das dementsprechend erzeugte Profil des Strangs als „radiales Profil" bezeichnet). In der Regel ist der „Ansetzdüsenquerschnitt" der Querschnitt am unteren Ende der Ansetzdüse. Geometrie und Größe des Ansetzdüsenquerschnitts werden entsprechend dem radialen Profil des herzustellenden Quarzglaskörpers ausgewählt. Er ist im einfachsten Fall kreisförmig; es sind aber auch polygonale Querschnitte möglich, insbesondere Rechteckquerschnitte zum Ziehen plattenförmiger Quarzglaskörper, sowie ellipsen- oder doppelellipsenförmige Querschnitte zum Ziehen sogenannter „Zwillingsrohre", wie sie für die Herstellung von Heizstrahlern eingesetzt werden. Zur Herstellung eines hohlen Quarzglas- Strangs umgibt die Ansetzdüse einen sogenannten „Dorn", wobei der Ansetzdüsenquerschnitt durch den Querschnitt des Doms verkleinert wird.
Die Ansetzdüse ist mit der eigentlichen Ziehdüse fest verbunden, kann aber von dieser gelöst und durch eine andere Ansetzdüse ersetzt werden. Die Verbindung zwischen Ansetzdüse und Ziehdüse muss so dicht sein, dass Glas zwischen den beiden Düsen nicht austreten kann. Die Oberseite der Ansetzdüse und die Unterseite der Ziehdüse werden hierfür fest gegeneinander gepresst.
Die Auswechselbarkeit ermöglicht es, bei Änderungen des Sollprofils des zu ziehenden Strangs eine geeignete Ansetzdüse mit einer an das neue Sollprofil besser angepassten Ansetzdusenoffnung einzusetzen. Wesentlich ist, dass das Ansetzen der neuen Ansetzdüse erfolgen kann, ohne dass der Schmelztiegel hierfür abgekühlt oder entleert werden muss. Im Idealfall kann die Ansetzdüse sogar im laufenden Ziehprozess ausgetauscht werden.
Der Öffnungsquerschnitt der Ansetzdusenoffnung unterscheidet sich in Größe oder Form von demjenigen der Ziehdüsenöffnung. Er ist entweder kleiner oder größer oder er weist eine andere geometrische Form der Düsenöffnung auf.
Vorzugsweise weist die Ansetzdüse eine obere, der Ziehdusenoffnung zugewandte, obere Öffnung auf, mit einem Öffnungsquerschnitt, der an keiner Stelle kleiner ist als der Öffnungsquerschnitt der Ziehdusenoffnung.
Dadurch, dass der Öffnungsquerschnitt der oberen Öffnung der Ansetzdüse an keiner Stelle kleiner ist als der Öffnungsquerschnitt der unmittelbar anliegenden Ziehdüsenöffnung werden nach innen ragende Stufen und Kanten, auf denen sich Glas ablagern könnte oder die den Turbulenzgrad der vorbeifließenden Quarzglasschmelze erhöhen würden, vermieden. Es hat sich als besonders günstig erwiesen, wenn der Abstand zwischen Ansetzdusenoffnung und oberer Öffnung der Ansetzdüse im Bereich zwischen 40 mm und 80 mm beträgt.
Die Untergrenze von 40 mm wird durch die Verweilzeit des Quarzglases innerhalb der Ansetzdüse bestimmt. Bei einer zu geringen Verweilzeit bildet sich das radiale Profil des Quarzglas-Strangs nicht vollständig aus, da sich die Viskosität der Quarzglas-Schmelze beim Abkühlen nur langsam erhöht. Die genannte Obergrenze von 80 mm ergibt sich aus Gründen der Bauhöhe der Heizzone. Um zu gewährleisten, dass sich der obere und der untere Bereich der Ansetzdüse innerhalb der Heizzone befinden, wäre bei Düsenlängen von mehr als 80 mm eine besonders lange Heizzone erforderlich.
Zur Herstellung der lösbaren Verbindung sind die Ziehdüse und die Ansetzdüse entweder selbst mit Verbindungsmitteln versehen, und/oder die Fixierung der Düsen erfolgt mittels einem die Düsenkörper außen umgreifenden Werkzeug, wie einer Schraubverbindung oder einer Klemme. Vorzugsweise ist aber die Ansetzdüse mittels Schnellkupplung mit der Ziehdüse verbunden.
Derartige Schnellkupplungen sind schnell zu öffnen und zu schließen und sie erleichtern eine Automatisierung des Ansetzdüsen-Wechsels. Die üblichen Schnellkupplungen weisen Einrastmittel auf, die hier eine formschlüssige Verbindung von Ansetzdüse und Ziehdüse durch Einrasten gewährleisten. Diese Einrastmittel können beispielsweise eine sogenannte Kugelfalle aufweisen. Vorzugsweise ist die Schnellkupplung jedoch als Bajonettverbindung ausgeführt. Die Bajonettverbindung ist robust und sie bietet eine hohe Sicherheit gegen unbeabsichtigtes Öffnen.
Die Bajonettverbindung kann dadurch realisiert werden, dass am Außenumfang der einen Düse vorstehende Profile vorgesehen sind, und die andere Düse einen Außenring mit einer an der Innenseite des Außenrings umlaufenden Einfräsung aufweist, wobei beim Aufsetzen der Düsen aufeinander die Profile der eine Düse über eine Verbindungsnut zu der Einfräsung eingeführt, und anschließend durch eine Drehung um die Düsen-Mittelachse darin eingerastet werden, so dass die Düse mit ihrem Außenring die andere Düse an deren Mantelfläche übergreift.
Als besonders vorteilhaft hat sich aber eine andere Ausführungsform der Bajonettverbindung erwiesen, bei der die Ansetzdüse im Querschnitt senkrecht zur Ziehachse einen Außendurchmesser aufweist, der dem Außendurchmesser der Ziehdüse entspricht.
Die eine der Düsen kann an ihrem Umfang mit nach außen abstehenden Bolzen versehen sein, die in Nuten einrasten, die in Laschen vorgesehen sind, die am Außenumfang der anderen Düse angebracht sind. Dadurch wird die Realisierung der Bajonettverbindung vereinfacht.
Aufgrund der hohen Temperaturen beim Schmelzen von Quarzglas kann es vorkommen, dass die Ansetzdüse und die Ziehdüse im Bereich ihres Kontaktes miteinander verbacken. Diese Gefahr wird verringert, wenn der Kontaktbereich von Ziehdüse und Ansetzdüse mit einem Inertgas umspült wird.
Hinsichtlich der Vorrichtung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Tiegelziehverfahrens wird die oben angegebene Aufgabe ausgehend von einer Vorrichtung der eingangs genannten Gattung erfindungsgemäß gelöst, durch eine Vorrichtung, umfassend eine in einer Bodenöffnung eines Schmelztiegels eingesetzte, eine Ziehdüsenöffnung aufweisende Ziehdüse, die mit ihrer dem Schmelztiegel abgewandten Seite mit einer auswechselbaren Ansetzdüse verbunden ist, die eine Ansetzdusenoffnung aufweist, deren Öffnungsquerschnitt sich von demjenigen der Ziehdusenoffnung unterscheidet.
Bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist zusätzlich zur Ziehdüse eine Ansetzdüse vorgesehen, welche unmittelbar an die Ziehdüse angeschlossen ist, und mittels der die Quarzglasschmelze in einen Quarzglas-Strang mit vorgegebenem Sollprofil umgeformt wird. Hierzu weist die Ansetzdüse einen Öffnungsquerschnitt (im Folgenden auch als „Ansetzdusenoffnung" oder „radialer Öffnungsquerschnitt" bezeichnet ) auf, der zur Einstellung des Sollprofils besser geeignet ist als der entsprechende Öffnungsquerschnitt der Ziehdüse.
Die Ansetzdüse ist mit der eigentlichen Ziehdüse fest verbunden, kann aber von dieser gelöst und durch eine andere Ansetzdüse ersetzt werden. Die Verbindung zwischen Ansetzdüse und Ziehdüse ist so dicht, dass Glas zwischen den beiden Düsen nicht austreten kann. Die Oberseite der Ansetzdüse und die Unterseite der Ziehdüse werden hierfür fest gegeneinander gepresst.
Die Auswechselbarkeit ermöglicht es, bei Änderungen des Sollprofils des zu ziehenden Quarzglas-Strangs eine geeignete Ansetzdüse mit einer an das neue Sollprofil besser angepassten Ansetzdusenoffnung einzusetzen. Wesentlich ist, dass das Ansetzen der neuen Ansetzdüse erfolgen kann, ohne dass der Schmelztiegel hierfür abgekühlt oder entleert werden muss. Im Idealfall kann die Ansetzdüse sogar im laufenden Ziehprozess ausgetauscht werden.
Der Öffnungsquerschnitt der Ansetzdusenoffnung unterscheidet sich in Größe oder Form von demjenigen der Ziehdusenoffnung. Er ist kleiner oder größer oder er weist eine andere Querschnittsgeometrie auf.
Hinsichtlich der weiteren vorteilhaften Auswirkungen beim Einsatz der Vorrichtung wird auf obige Erläuterungen zum erfindungsgemäßen Verfahren verwiesen.
Vorteilhafte Ausgestaltungen der erfindungsgemäßen Vorrichtung ergeben sich aus den Unteransprüchen. Soweit in den Unteransprüchen angegebene
Ausgestaltungen der erfindungsgemäßen Vorrichtung den in Unteransprüchen zum erfindungsgemäßen Verfahren genannten Verfahrensweisen nachgebildet sind, wird zur ergänzenden Erläuterung auf die obigen Ausführungen zu den entsprechenden Verfahrensansprüchen verwiesen.
Es hat sich bewährt, wenn mindestens ein Teil der Ziehdüse in Form eine Stutzens aus der Bodenöffnung nach unten herausragt, wobei die Ansetzdüse mit dem Stutzen verbunden ist. Die Befestigung der Ansetzdüse an dem Stutzen erleichtert die Montage und das Auswechseln. Außerdem kühlt die Quarzglasschmelze in dem stutzenförmigen Teil der Ziehdüse bereits etwas ab, so dass die Ansetzdüse eine geringere Höhe haben kann. Vorteilhafterweise weist der Stutzen einen Außendurchmesser auf, der demjenigen der Ansetzdüse entspricht.
Dies erleichtert die Verbindung von Ziehdüse und Ansetzdüse mittels Befestigungsmitteln, die am Außenumfang der jeweiligen Düsen angreifen.
In einer besonders bevorzugten Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist die Ansetzdüse mit einem in die Ansetzdusenoffnung hineinragenden Dom, der eine in Richtung auf den Quarzglas-Strang offene und mit einer Gaszufuhrleitung verbundene Innenbohrung aufweist, versehen.
Diese Ausführungsform der Erfindung ermöglicht es, die Ziehanlage ohne großen Aufwand - auch während des laufenden Schmelzbetriebes - nachträglich mit einem Dorn auszustatten, oder einen bereits vorhandenen Dom nach unten zu verlängern oder in seiner Geometrie zu verändern.
Diese Ausführungsform der Erfindung ermöglicht jedoch nicht nur eine Veränderung der Geometrie der Innenbohrung des zu ziehenden rohrförmigen Quarzglas-Strangs, sondern auch einen Wechsel von einem Voll-Profil zu einem Hohl-Profil, ohne dass hierzu ein Dorn von oben in den Schmelztiegel eingesetzt werden muss. Das Geometriespektrum des herzustellenden Quarzglaskörpers wird somit zusätzlich erweitert.
Eine weitere Verbesserung ergibt sich, wenn die Gaszufuhrleitung durch die Ansetzdüse zu dem Dorn geführt ist.
In dem Fall ist der mit der Ansetzdüse verbundene Dorn mit einer eigenen Gasversorgung ausgestattet, so dass ein Blasdruck in dem zu ziehenden Quarzglas-Strang erzeugt werden kann, auch wenn die Ziehanlage ansonsten nicht mit einem Dorn ausgestattet ist.
Dabei hat es sich als besonders vorteilhaft erweisen, wenn der Dorn mittels mindestens eines Steges mit einem um den Dorn umlaufenden Rand der Ansetzdüse verbunden ist, wobei die Gaszufuhrleitung durch den Rand und den Steg geführt ist.
Die Gaszufuhr zu dem Dorn erfolgt hierbei über einen Steg, der gleichzeitig zur Halterung des Dorns innerhalb der Ansetzdusenoffnung dient. Der Steg ist hierzu hohl ausgebildet und einerseits mit der Innenbohrung des Dorns verbunden und andererseits mit einem Hohlraum im Rand der Ansetzdüse, in welchen ein
Gaseinlass mündet. Im einfachsten Fall weist der Rand der Ansetzdüse eine in den Steg-Hohlraum mündende Bohrung auf, die mit einem Gasanschluss versehen ist.
Nachfolgend wird die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen und einer Zeichnung näher erläutert. In der Zeichnung zeigen im einzelnen
Figur 1 eine Ausführungsform der Ansetzdüse in einer Seitenansicht, teilweise im Schnitt,
Figur 2 eine Draufsicht der Ansetzdüse nach Figur 1 ,
Figur 3 eine dreidimensionale Darstellung der Ansetzdüse nach Figur 1 ,
Figur 4 eine Anordnung der Ziehdüse nach Figur 1 an der Ziehdüse eines Schmelztiegels in schematischer Darstellung,
Figur 5 eine weitere Ausführungsform der Ansetzdüse, mit einem zentralen Dorn in einer Seitenansicht, und
Figur 6 die Ansetzdüse nach Figur 5 in einer Draufsicht. In der Seitenansicht nach Figur 1 ist die Ansetzdüse insgesamt mit der Bezugsziffer 1 bezeichnet. Sie besteht im Wesentlichen aus einem ringförmigen Düsenkörper 2 aus Molybdän mit einem Außendurchmesser von 230 mm und einer Stärke von 40 mm. Am Außenumfang des Düsenkörpers 2 sind drei Molybdän-Laschen 4 symmetrisch verteilt befestigt. Die Laschen 4 schließen mit der Unterseite 5 des Düsenkörpers 2 bündig ab und sie überragen die Oberseite 6 um ca. 40 mm. In den Laschen 4 sind einseitig offene, in Umfangsrichtung des Düsenkörpers 2 verlaufende Schlitze 7 mit einem vorgegebenen Steigungsprofil eingefräst. Der Düsenkörper 2 ist mit einer Mittenbohrung 8 mit kreisförmigem Öffnungsquerschnitt versehen, die sich von der Oberseite 6 zur Unterseite 5 kegelförmig verjüngt. Der maximale Durchmesser der Mittenbohrung 8 beträgt 150 mm und der minimale Durchmesser an der Unterseite des Düsenkörpers 2 beträgt 100 mm. Der minimale Durchmesser der Ansetzdüse 1 entspricht der „Ansetzdusenoffnung" 9 im Sinne der vorliegenden Erfindung.
In der Draufsicht gemäß Figur 2 auf die Oberseite 6 des Düsenkörpers 2 und aus der dreidimensionalen Darstellung in Figur 3 ist die Rotationssymmetrie der Ansetzdüse 1 und die Anordnung der Laschen 4 um den Außenumfang des Düsenkörpers 2 erkennbar.
Figur 4 zeigt den Bereich des Bodenauslaufs eines Quarzglas-Schmelztiegels 20. In den Bodenauslauf ist eine Ziehdüse 10 eingesetzt. Die Ziehdüse 10 besteht im Wesentlichen aus einem Düsenring 11 aus Molybdän mit einem Außendurchmesser von 230 mm und einer Höhe von ca. 200 mm.
Der Düsenring 11 ist mit einer Mittenbohrung 12 mit kreisförmigem Öffnungsquerschnitt versehen, die sich von der Oberseite des Düsenrings 11 zur Unterseite 13 bis auf einen Durchmesser von 230 mm verjüngt. Der minimale Durchmesser des Düsenrings 11 entspricht der „Ziehdüsenöffnung" 16 im Sinne der vorliegenden Erfindung. Zentrisch in der Ziehdüse 10 ist ein rohrförmiger Dorn 14 angeordnet, so dass durch eine Gaseinleitung in der Innenbohrung des Quarzglas-Strangs ein Blasdruck erzeugt werden kann.
Am Außenumfang des Düsenrings 11 sind drei nach außen ragende Molybdän- Bolzen 15 symmetrisch verteilt angeordnet. Der Durchmesser der Bolzen 15 ist geringfügig größer als die Schlitzweite der Schlitze 7 in den Laschen 4 der Ansetzdüse 1.
Nachfolgend wird das erfindungsgemäße Verfahren anhand den Figuren 1 bis 4 näher beschrieben.
Im Quarzglas-Schmelztiegel 20, von dem in Figur 4 nur der Bodenbereich um die Ziehdüse 10 dargestellt ist, wird eine Quarzglasschmelze erzeugt, die über die Ziehdüse 10 und den Dorn 14 nach unten abgezogen wird. Das Profil des aus der Ziehdüse 10 austretenden Quarzglasrohres wird durch den Querschnitt der Ziehdusenoffnung 16 bestimmt.
Zur Änderung dieses Profils im laufenden Schmelzbetrieb - ohne Abschaltung der Ziehanlage - wird die Ansetzdüse 1 gemäß den Figuren 1 bis 3 an die Ziehdüse 10 angesetzt. Hierzu wird die Ansetzdüse 1 auf eine geeignete Hebevorrichtung (in den Figuren nicht dargestellt) montiert und mittels der Hebevorrichtung nach oben bewegt und in Kontakt mit der Ziehdüse 10 gebracht. Anschließend werden Ansetzdüse 1 und Ziehdüse 10 mittels Bajonettverschluss so fest miteinander verbunden, dass keine Glasschmelze zwischen den beiden Düsen austreten kann. Hierzu werden die Molybdänbolzen 15 der Ziehdüse 10 in die Schlitze 7 der Laschen 4 der Ansetzdüse 1 eingeklinkt und durch Drehung der Ansetzdüse 1 fest auf die Ziehdüse 10 gepresst. Damit wird ein Austritt flüssiger Quarzglasschmelze in diesem Bereich verhindert. Der Durchmesser der Ziehdüsenöffnung 16 entspricht genau dem oberen Durchmesser der Innenbohrung 8 der Ansetzdüse 1.
Danach wird die Hebevorrichtung entfernt. Der Bajonettverschluss verhindert ein Abfallen der Ansetzdüse 1. Die aus dem Schmelztiegel 20 austretende Quarzglasschmelze erhält beim Abkühlen in der Ziehdüse 10 und in der Ansetzdüse 1 die Form eines Quarzglasrohres, dessen radiales Profil durch den Querschnitt der Ansetzdusenoffnung bestimmt wird.
Der durch den Ansetzdüseneinbau unterbrochene Schmelzbetrieb kann bereits nach wenigen Minuten wieder aufgenommen werden. Mittels der Hebevorrichtung kann der Bajonettverschluss auch wieder geöffnet werden, wobei dies aber vom Einsatz und den Betriebsbedingungen abhängen kann, da es aufgrund der beim Ziehprozess wirkenden Hitze und bei langen Betriebsdauern vorkommen kann, dass die Kontaktflächen von Ziehdüse 10 und Ansetzdüse 1 -jedenfalls bei dem Werkstoff Molybdän - teilweise miteinander verschmelzen. Um diese Gefahr zu verringern wird der Bereich um den Bodenauslauf des Schmelztiegels 20 mit Schutzgas gespült.
Figur 5 zeigt eine weitere Ausführungsform einer Ansetzdüse, der insgesamt die Bezugsziffer 51 zugeordnet ist. Diese besteht aus einem ringförmigen Düsenkörper 52 aus Molybdän mit einem Außendurchmesser von 230 mm und einer Stärke von 85 mm.
Am Außenumfang des Düsenkörpers 52 sind drei Molybdän-Laschen symmetrisch verteilt befestigt, wie dies anhand der Ansetzdüse 1 von Figur 1 ausführlich beschrieben ist (diese Laschen sind in Figur 5 nicht dargestellt).
Der Düsenkörper 52 ist mit einer Mittenbohrung 58 versehen, die sich von der Oberseite 56 zur Unterseite 55 konisch verjüngt. Der maximale Durchmesser der Mittenbohrung 58 beträgt 120 mm und der minimale Durchmesser an der Unterseite 55 des Düsenkörpers 52, der die Ansetzdusenoffnung 53 im Sinne der vorliegenden Erfindung darstellt, beträgt 90 mm.
Zentrisch innerhalb der Mittenbohrung 58 ist ein Dorn 54 angeordnet, der eine Länge von 100 mm aufweist, und der sich von der Oberseite 56 bis über die
Unterseite 55 hinaus erstreckt. Der Außendurchmesser des Dorns 54 beträgt etwa 45 mm. Der untere Teil des Dorns 54 wird von einem Hohlzylinder 57 gebildet, dessen Innenbohrung 60 nach oben mittels einer Kappe 59 abgeschlossen ist. Der Dorn 54 wird mittels fünf Stegen 61 , welche um den Innenumfang der Mittenbohrung 58 gleichmäßig verteilt sind, gehalten. Die Stege 61 sowie alle Teile (57, 60) des Dorns 54 bestehen aus Molybdän.
Einer der Stege 61a ist mit einer Bohrung 62 versehen, die mit der Innenbohrung 60 des Dorns 54 in fluidischer Verbindung steht und die mit einem
Gaseinlassstutzen 65 versehen ist. Über die Bohrung 62 kann demnach ein Gas in die Innenbohrung 60 eingeleitet werden, welches zur Erzeugung eines Blasdruckes innerhalb der Innenbohrung eines abzuziehenden rohrförmigen Quarzglas-Strangs dient.
Die Draufsicht von Figur 6 zeigt in einer gegenüber Fig. 5 verkleinerten
Darstellung die rotationssymmetrische Anordnung der Stege 61, 61a zur Halterung des Dorns 54 und den ansonsten ringförmigen Öffnungsquerschnitt der Mittenbohrung 58 der Ansetzdüse 51.

Claims

Patentansprüche
1. Vertikal-Tiegelziehverfahren zur Herstellung eines zylinderförmigen Quarzglaskörpers, bei dem eine in einem Schmelztiegel erweichte Quarzglasschmelze über eine in einer Bodenöffnung des Schmelztiegels eingesetzte, eine Ziehdusenoffnung aufweisende Ziehdüse senkrecht nach unten zu einem Quarzglas-Strang mit vorgegebenem Querschnittsprofil kontinuierlich abgezogen, und der Strang anschließend zu dem zylinderförmigen Quarzglaskörper abgelängt wird, dadurch gekennzeichnet, dass die Ziehdüse (10) mit ihrer dem Schmelztiegel (11) abgewandten Seite mit einer auswechselbaren Ansetzdüse (1) verbunden ist, die eine Ansetzdusenoffnung (9), aufweist, deren Öffnungsquerschnitt sich von demjenigen der Ziehdusenoffnung (16) unterscheidet, und dass das Profil des Quarzglas-Strangs durch Abkühlen der Quarzglasschmelze in der Ziehdüse (10) und in der Ansetzdüse (1) entsprechend dem Öffnungsquerschnitt der Ansetzdusenoffnung (9) eingestellt wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Ansetzdüse (1) eine der Ziehdusenoffnung (16) zugewandte, obere Öffnung aufweist, mit einem Öffnungsquerschnitt, der an keiner Stelle kleiner ist als der Öffnungsquerschnitt der Ziehdusenoffnung (16).
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Abstand zwischen Ansetzdusenoffnung (9) und oberer Öffnung der Ansetzdüse (1) im Bereich zwischen 40 mm und 80 mm beträgt.
4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Ansetzdüse (1) mittels Schnellkupplung (4; 15) mit der Ziehdüse ( 0) verbunden wird.
5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Schnellkupplung (4; 15) als Bajonettverbindung ausgeführt ist.
6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Ansetzdüse (1) im Querschnitt senkrecht zur Ziehachse einen Außendurchmesser aufweist, der demjenigen der Ziehdüse (10) entspricht.
7. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Kontaktbereich von Ziehdüse (10) und Ansetzdüse (1) mit einem Inertgas umspült wird.
8. Vorrichtung zur Durchführung des Tiegelziehverfahrens nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch eine in einer Bodenöffnung eines Schmelztiegels (11) eingesetzte, eine Ziehdusenoffnung (16) aufweisende Ziehdüse (10), die mit ihrer dem Schmelztiegel (11) abgewandten Seite mit einer auswechselbaren Ansetzdüse (1) verbunden ist, die eine Ansetzdusenoffnung (9), aufweist, deren Öffnungsquerschnitt sich von demjenigen der Ziehdusenoffnung (16) unterscheidet.
9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Ansetzdüse (1) eine der Ziehdüsenöffnung (16) zugewandte, obere Öffnung aufweist, mit einem Öffnungsquerschnitt, der an keiner Stelle kleiner ist als der Öffnungsquerschnitt der Ziehdusenoffnung (16).
10. Vorrichtung nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, dass der Abstand zwischen Ansetzdusenoffnung (9) und oberer Öffnung der Ansetzdüse (10) im Bereich zwischen 40 mm und 80 mm beträgt.
11. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche 8 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein Teil der Ziehdüse (10) in Form eine Stutzens (11) aus der Bodenöffnung nach unten herausragt, und dass die Ansetzdüse (1) mit dem Stutzen (11) verbunden ist.
12. Vorrichtung nach Anspruch 11 , dadurch gekennzeichnet, dass der Stutzen (11) einen Außendurchmesser aufweist, der demjenigen der Ansetzdüse (1) entspricht.
13. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche 8 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Ansetzdüse (1) mittels Schnellkupplung (4; 15) mit der Ziehdüse (10) verbunden ist.
14. Vorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Schnellkupplung (4; 15) als Bajonettverbindung ausgeführt ist.
15. Vorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Ansetzdüse (1) im Querschnitt senkrecht zur Ziehachse einen Außendurchmesser aufweist, der demjenigen der Ziehdüse (10) entspricht.
16. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 8 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Ansetzdüse (1) mit einem in die Ansetzdusenoffnung (9) hineinragenden Dorn (54), der eine in Richtung auf den Quarzglas-Strang offene und mit einer Gaszufuhrleitung (62) verbundene Innenbohrung (60) aufweist, versehen ist.
17. Vorrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass die Gaszufuhrleitung (62) durch die Ansetzdüse (1) zu dem Dorn (54) geführt ist.
18. Vorrichtung nach Anspruch 16 und 17, dadurch gekennzeichnet, dass der Dorn (54) mittels mindestens eines Steges (61 ; 61a) mit einem um den Dorn (54) umlaufenden Rand (52) der Ansetzdüse (54) verbunden ist, und dass die Gaszufuhrleitung (62) durch den Rand (52) und den Steg (61a) geführt ist.
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