WO2005017393A1

WO2005017393A1 - 減速装置及び該減速装置を製造する方法及び装置、及び該減速装置を備えた電動式パワーステアリング装置

Info

Publication number: WO2005017393A1
Application number: PCT/JP2004/012132
Authority: WO
Inventors: Takashi Koyama; Yuji Kawamura; Toshihito Endo
Original assignee: Nsk Ltd.; Nsk Steering Systems Co., Ltd.
Priority date: 2003-08-18
Filing date: 2004-08-18
Publication date: 2005-02-24
Also published as: EP1666770A4; JPWO2005017393A1; CN1853059A; EP1666770A1

Abstract

少なくとも歯表皮部が高分子系複合材料製のウォームホイールと、該ウォームホイールと噛合するウォームとからなる減速装置であって、ウォームの歯面は、高周波焼入れにより熱処理されている。

Description

減速装置及び該減速装置を製造する方法及び装置、

及ぴ該減速装置を備えた電動式パワーステアリング装置技術分野

本発明は、車両に用いられる電動式パワーステアリング装置、特にモータからの動力を伝達する減速機構に用いられるウォームの改良に関する。背景技術

自動車等の車両においては、ハンドルの操舵による手動操舵力を軽減するために電気的に補助操舵力を加える電動式パワーステアリング装置が用！/ヽられている。ラック軸に電動補助操舵力を加えるためには、電動モータが用いられている。ステアリングホイールからの操舵力を減速機構を介して電動モータによつて補助し、両端が左右の車輪に連結されて軸方向に移動するラック軸に伝達している。

また、電動式パワーステアリング装置では電動モータの動力を伝える減速機構として、一般にウォームとウォームホイールとが用いられている。ゥォームホイールには、嚙合時の騒音対策のため合成樹脂が使用されているが、電動モータの高出力化に伴い強化繊維を混入させギア強度をあげる場合がある。

ウォームホイール中の強化繊維がウォームを攻撃してしまうことがあるため、少なくともウォームホイールと嚙み合う歯面の硬度を上げる必要がある。このため、従来、歯面に浸炭焼入れ処理、窒化処理またはメツキ処理などが行われていた。これらの例としては、特開 2 0 0 1— 1 2 2 1 3 5号公報及ぴ特開 2 0 0 2— 2 1 3 5 7 6号公報が知られている。また、高周波焼入れについては、特許第 2 7 7 9 7 6 0号が知られている。

しかしながら、浸炭焼入れ処理では、処理後の変形が大きく、また浸炭焼入れ装置は大型で加工時間も長いという問題がある。 '

窒化処理では、処理後に表面が粗くなり、窒化処理後に仕上げ研磨が必要となる。また.、窒化処理はバッチ処理であり、付帯設備も大掛かりなものとなりがちで、更に加工時間も長くなるという問題がある。また、浸炭焼入れ処理よりは小さいが処理後の変形も問題であった。

電動式パワーステアリング装置のウォーム歯に求められる精度は高いため、メツキ処理はメツキ厚の厳密な管理が必要であるという問題がある。また、メツキ処理はバッチ処理であり、付帯設備も大掛かりなものとなりがちで、更に加工時間も長くなるという問題がある。

また、上述の浸炭焼入れ処理、窒化処理、メツキ処理ともに、インライン加工には適しておらず、そのため生産性の向上が見込めないという問題もある。発明の開示

そこで、本発明の目的は、歯面に所定の硬度を維持しつつ、インライン加ェが可能となり、，加工時間も短くなり、小型の処理設備で対応でき、処理後に研削仕上げ加工ができる減速装置及ぴ該減速装置を製造する方法、及ぴ該減速装置を備えた電動式パワーステアリング装置を提供することである。

上記目的を達成するために、本発明の減速装置は、

少なくとも歯表皮部が高分子系複合材料製のウォームホイールと、該ゥォームホイールと嚙合するウォームとからなる減速装置であって、前記ウォームの歯面は、高周波焼入れにより熱処理されていることを特徴としている。上記目的を達成するために、本発明の減速装置の製造方法は、

. 少なくとも歯表皮部が高分子系複合材料製のウォームホイールと、該ゥォームホイールと嚙合するウォームとからなる減速装置を製造する方法であつて、前記ウォームを縦置きにして前記ウォームの歯面を、高周波焼入；により熱処理することを特徴としている。

. ウォームの歯面を高周波焼入れ処理すると、前後工程と同じ機械加工ラインへのインライン加工が可能となり、加工時間が短くなる。また、コストを抑えることができる。更に、浸炭焼入れ処理ゃ窒化処理の場合にも生じる、硬化処理後の変形が比較的少ない。

更に、高周波輪郭焼入れ処理にすると、オーバーヒートを避けることができ、歯先溶けやウォーム軸の曲がりも小さくなるため、更に精度の高いゥォームが得られる。このため、一層の生産性向上が見込める。

また、ウォームを予め調質処理した材料、または非調質鋼を使用すると、組織が安定化し焼入れ硬度が望ましい硬度で安定化するので、軟質部が無くな,り、耐摩耗性及び耐久性が向上する。

ウォームの歯面を高周波焼入れ処理すると、前後工程と同じ機械加工ラインへのインライン加工が可能となり、加工時間が短くなる。また、処理設備が小型ですみ、高周波焼入れ処理後に取代の少ない研削加工が可能となる。通常の高周波焼入れ処理では、ウォームの歯先はオーバーヒートを起こし、歯先溶けやウォーム軸の曲がりが大きくなるが、高周波輪郭焼入れ処理にすると、オーバーヒートを避けることができ、歯先溶けやウォーム軸の曲がりも小さくなる。

また、予め調質処理した材料、または非調質鋼を使用すると、組織が安定化し焼入れ硬度が安定する。ここで、調質処理した材料には、中炭素鋼（炭素含有率約 0.3〜0.6%) を焼入れ、焼戻し処理したものがあり、また、非調質鋼とは、焼入れ、焼戻しといった調質工程を省略して、従来鋼と同等の特性をもたせた鋼で、 B (ボロン）を添加して焼入性を改善し、 Si， Mn などの合金元素を低減させ冷間鍛造性を改善したものがある。また、焼入れ出力や焼入れ時間等を調整すれば生材に高周波焼入れするだけで、低コストで所望の硬度を有するウォームが製造できる。輪郭焼入れの場合に比べて焼入れ時間を長くしたので、炭素が拡散しフェライトが減少し、ウォームの焼入範囲における残留フヱライト量が 0 _ 1 0 %となる。

ウォームを縦置きにして製造するので、ウォームの軸が自重で曲がることが防止でき、冷却が不均一になるのを防げる。図面の簡単な説明

図 1は、本発明の第 1実施例を示す正面図（一部破断）である。

図 2は、図 1の要部断面図である。

図 3は、高周波輪郭焼入れ処理を施したウォームの軸方向部分断面図である。

図 4は、高周波焼入れ処理を施したウォームの軸方向部分断面図である。図 5は、鼓形ゥオームを用いた例を示す断面図である。

図 6は、他の鼓形ウォームを用いた例を示す断面図である。

図 7A—7 C は、本発明の減速装置の製造装置を示す模式図であり、それぞれ図 7 Aは上面図、図 7 Bは正面図、図 7 Cは側面図である。

図 8は、図 7A-7C の製造装置に用いられる加熱コイルの形状を示す斜視図である。発明の実施の形態

以下、添付図面を参照して、本発明の実施例を詳細に説明する。尚、図面において同一部分は同一符号で示している。また、以下の実施例は本発明を例示的に説明するものであり、いかなる意味でも限定するものでないことは言うまでもない。

図 1は、本発明の実施例が適用可能な電動式パワーステアリング装置の正 '面図（一部破断）であり、図 2は、補助操舵入力部の軸方向断面図である。一般的なピニオンアシスト式の電動式パワーステアリング装置 1は、補助操舵入力部 1 0と、補助操舵入力部 1 0と連結したラック軸 9が介揷された円筒形のスリープ 1 2とからなっている。

図 2 を参照すると、補助操舵入力部 1 0の入力軸 2には、上端にステアリングホイール（不図示）が固定されたステアリング軸（不図示）が自在継手等により結合されている。入力軸 2はトーシヨンバー 3を介して出力軸であるピユオン軸 8に連結している。入力軸 2及ぴピ-オン軸 8は軸受によりハウジング 7に回転可能に支持されている。ピユオン軸 8の外周に形成されたピユオン歯にラック軸 9のラック歯が嚙合している。ラック軸 9は、プレツシヤーパッド 1 1により軸方向に移動自在に支持されている。

トーシヨンパー 3には、トルクセンサ 4 0が設けられ、運転者のハンドル操作による舵角が、トルクセンサ 4 0に検知され、そのトルク量に応じてパヮーアシストする。

車両の左右方向に延びて車両に固定された円筒状のスリーブ 1 2内に軸方向に移動自在に配置されたラック軸 9の各端部はボールジョイント 1 3を介して転舵輪 (不図示) に連結されている。ジョイント 1 3はブーツ 1 4で覆われている。

以上の構成により、不図示のステアリングホイールの転舵によりピニオン軸 8を回転することにより、ラック ·ピ-オン機構で運動方向が変換され、ラック軸 9が軸方向で左右方向に移動する。

ここで、補助操舵入力部 1 0の作動を図 2により説明する。補助操舵入力部 1 0の入力軸 2にステアリング軸（不図示）からの入力があると、トーションパー 3を介して出力軸であるピニオン軸 8に動力が伝達される。'ピ-ォン軸 8の外周には金属製のウォームホイール芯金 6と樹脂製のウォームホイール 5とが設けられ、ウォームホイール 5は、電動モータ 1 5の回転軸に固定されたウォーム 4に嚙合している。

電動モータ 1 5は、不図示の車载 CPUに接続されている。この CPUには、トルクセンサ 4 0の出力や車速等の情報を入力し、所定の信号を電動モータ 1 5に供給して、適切な補助トルクを発生させる。電動モータ 1 5は、これらの情報に基づき CPUに制御され、その回転がウォーム 4及ぴウォームホイール 5を介して減速され、出力軸であるピユオン軸 8に伝達される。このような機構で操舵力が補助される。ウォーム 4とウォームホイール 5とで減速装置を構成している。次に、図 3及ぴ図 4を用いて、ウォーム 4の熱処理の詳細を説明する。先ず、ウォーム 4の材質としては、 S 3 5 Cから S 5 0 Cなどの中炭素鋼の生材を調質処理したもの、または未調質の鋼を用いるが、特に、含ボロン鋼が好ましい。ウォームとして予め調質処稗した材料、または前述の非調質鋼を使用すると、組織が安定化し焼入れ硬度が安定化する利点がある。

ウォーム 4と嚙合するウォームホイール 5は、高分子系複合材料製のゥォームホイールである。高分子系複合材料の強化剤としては、例えば、繊維状のもの（ガラス繊維）、または粒子状の強化ビーズやその中間体、更にウイスカー（ひげ結晶）なども用いることができる。しかし、ウォームホイール 5 中の硬度の高い強化剤がウォーム 4を攻撃して摩耗させてしまうため、ゥォームホイール 5と嚙合するウォーム 4の歯面の表面硬さを少なくとも HRC 5 0 (H V 5 1 3 ) 以上にする必要がある。特に、 HRC 5 0から 6 3の範囲が好適である。更に、樹脂製のウォームホイール 5に混入された強化剤より硬いことが好ましい。

ウォーム 4の歯先 4 aを含む外周を硬化させるため、高周波焼入れにより熱処理する。図 4は、通常の高周波焼入れ工程によって硬化させた焼入れパターンを有するウォーム 4の軸方向部分断面図である。焼入れパターンは、切断、研磨、硝酸アルコール腐食などによって得られる。一般に、電動式パワーステアリング装置用のウォームの歯が薄肉形状であるということもあつて、図示のように、焼入れ領域 3 1が歯の芯部まで入っている。

歯先がオーバーヒートを起こし、歯先溶けや軸の大きな曲がりにつながることがある。図 4において、素材として調質鋼を使用した場合、マルテン^" イト、未調質の鋼の場合、フェライト ·マルテンサイトである焼入れ領域 3 1の内径側には非焼入れ領域 3 3が存在する。この非焼入れ領域 3 3は、調質鋼の場合、ソルバイトとなっている範囲であり、未調質の鋼の場合、フエライト 'パーライトとなっている範囲である。尚、非焼入れ領域 3 3は、軸方向に渡って歯底 4 bより内径側に納まっている。

図 3は、歯の輪郭部のみを高周波焼入れする高周波輪郭焼入れ工程によつて硬化させた焼入れパターンを有するウォーム 4の軸方向部分断面図である。図 3に示すように、高周波輪郭焼入れとすると、加熱エネルギーが表皮に沿レ、、また高出力で加熱エネルギーの投入、切断を瞬時に行うため、ウォーム 4の歯先 4 aのオーバーヒートは少なく、歯先溶けや軸の大きな曲がりも小さくなり、より良い結果が得られる。上述の理由によって、図に示したように、高周波焼入れ領域 3 0'は、歯先 4 aの頂部を除いて、歯面から歯底までほぼ均等な深さを有する。

図 3において、素材として調質鋼を使用した場合、マルテンサイト、未調質の鋼の場合、フェライト ·マルテンサイトである焼入れ領域 3 0の内径側には非焼入れ領域 3 2が存在する。この非焼入れ領域 3 2は、調質鋼の場合、ソルバイトとなっている範囲であり、未調質の鋼の場合、フェライト 'パーライトとなっている範囲である。尚、調質鋼は焼入れ焼き戻しをした鋼のことであり、組織は細かく、靱性が高い。

電動式パワーステアリング装置 1の減速用ウォーム 4は、相手樹脂製ゥォームホイール 5の強度を確保するため、歯丈 Hに比べて歯元幅 WB (歯厚）や歯先幅 WTが小さい。また、図 3に示すように、ウォーム 4の歯先 4 aの項部は幅が小さいため、他の部分に比べて焼入れが深く入りやすい。尚、各寸法は歯直角断面での測定である。

電動式パワーステアリング装置では、歯丈 Hと歯元幅 WB との関係は、例えば、 H/WB 1となる場合もあり、全体として軸方向に肉薄の歯であることが特徴である。

次に、本発明に基づく高周波輪郭焼入れの試験条件とその結果について説明する。

Ί . 材料

S 4 5 C (調質材）及び S 2 5 C (調質材）を用いた。

2 . 熱処理条件

設備：出力 1 0 0 O K w、周波数 2 0 O K H z トランジスタ式高周波焼入加熱コイル形状：クラ型コイル

冷却水量： 5 0リツトル/分 ( 3方向より冷却)

図 3に示す高周波輪郭焼入れは、出力 4 0 0 Kw及び加熱時間 0 . 3 4 sで、また図 4に示す高周波焼入れは、出力 2 0 O Kw及ぴ加熱時間 1 . 3 s-で行つた。用いるコイルの形状を考慮する、周波数を上げる、出力を上げる、冷却速度を上げるなどにより、高周波輪郭焼入れを制御することができる。

表 1は、実施例の上記試験条件で行われた試験結果を示す表である。 S 4 5 C生材を用いて、高周波輪郭焼入れを行つだ製品は、図 3に示すようなほぼ歯形に沿った焼入れパターンで所望の表面硬さが得られた。また、 S 4 5 C生材を用レ、て通常の高周波焼入れを行つた製品でも表面硬さは満足できるものであった。 S 2 5 C生材を用いて、高周波輪郭焼入れを行った製品は、ほとんど焼入れされなかつた。【表 1】

高周波輪郭焼入れの場合、フェライトの残留があり、硬さに若干バラツキがあるものの、焼入れ組織については充分満足できるものであった。また、外観はオーバーヒートなどもなく良好であった。更に、高周波輪郭焼入れの場合、高周波焼入れの場合より、熱処理後の変形量が小さいことがわかった。焼入れ深さは、表 1で、 ①の場合、歯底で約 0. 4mm、歯斜面部で約 0. 4mm、歯先端部で約 1. 8mm、また②の場合、歯底で約 0. 6 mm、歯先端部から約 4. 3 mm, ③の場合、歯底で約 0. 1 mm、歯斜面部及び歯先端部では焼入れ無しであった。尚、歯丈は、 ①〜③まで 5. 5 mmで共通である。

以上説明した本発明は鼓形ウォームに採用することもできる。また、モジユールが 3以下のウォームに採用すると更に好適である。図 5は、鼓形ゥォームを用いた例を示す断面図である。ケース 30内に、ピニオン軸 31の外周に嵌合した高分子系複合材料製のウォームホイール 25が設けられ、ゥォームホイール 25は、鼓形ウォーム 24に嚙合している。

ここで、本明細書で採用する「モジュール」は、例えば、小原歯車工業株式会社の『KHK総合力タログ.歯車技術資料 3008 v o l . 6』に記載の「歯直角モジュール」であり、円筒ウォームの歯形は JIS B1 723である。

鼓形ウォーム 24は、軸受 28に支持されたウォーム軸 27に形成され、軸方向の両端で最も径が大きく、中央で最も径が小さくなる歯 26を有する。ウォーム軸 2 7は、電動モータ 1 5の回転軸 2 9に固定されている。鼓形ゥオームを使用すると、負荷能力に余裕が出る、すなわち大きな動力の伝達に有利などの利点がある。これ、鼓形ウォーム 2 4は、ウォームの全歯がウォームホイール 2 5 に対して有効に嚙み合うので、嚙み合い歯数がきわめて多くなり、嚙み合い面の面圧が低くなるためである。

図 6は、他の鼓形ウォームを用いた例を示す断面図である。ケース 3 0内に、ピユオン軸 3· 1の外周に嵌合した高分子系複合材料製のウォームホイ一ル 3 5が設けられ、ウォームホイール 3 5は、鼓形ウォーム 3 4に嚙合している。

鼓形ウォーム 3 4は、軸受 2 8に支持されたウォーム軸 3 7に形成され、ウォームの歯 3 6の外径は等しいが、軸方向の両端で最も径が大きく、中央で最も径が小さくなる歯底を有する。ウォーム軸 3 7は、電動モータ 1 5の回転軸 2 9に固定されている。ここで、通常のウォームと異なるのは、鼓形ウォーム 3 4の歯底径が通常の場合より軸方向中央で小さくなっていることである。これは、ウォームホイール 3 5の外径が大きくなつていることに対応している。その利点は図 5の場合とほぼ同じであるが、図 6に示すゥォ一ムのほうが図 5に比べて加工が容易である。

次に、本発明にかかる減速装置の製造する方法を説明する。少なくとも歯表皮部が高分子系複合材料製のウォームホイールと、ウォームホイールと嚙合するウォームとからなる減速装置を製造する。ウォームを縦置きにしてゥオームの歯面を、高周波焼入れにより熱処理する。

ウォームを縦置きにするのは、ウォームの軸が自重で曲がることを防ぐためと、冷却が木均一になるのを防ぐためである。

ウォームが、調質処理した材料または非調質鋼からなる場合は、加熱エネルギー出力 5 5 0— 6 0 0 Kwで本実施例では 6 0 0 K w、加熱時間 0. 30— 0. 50秒で本実施例では 0. 35秒間、高周波輪郭焼入れする。これにより、 Hv 550の表面硬さを有するウォーム（図 3参照）が得られた。

しかしながら、ウォームが未調質の鋼からなる場合は、上記条件では所望の硬度が出せないため、モジュールが 2. 65の場合、加熱エネルギー出力 250— 30 OKw、本実施例では 30 OKwで加熱時間 0. 60—1. 0 0秒、本実施例では 0. 60秒間、高周波焼入れする。一般に、モジュールの数値が小さくなれば、出力は小さく、時間は短くなる。反対に、モジユールの数値が大きくなれば、出力は大きく、時間は長くなる。これにより、許容範囲の変形で Hv 550以上の表面硬さを有し、焼入れパターンが輪郭となっていないウォーム（図 4参照）が得られた。これを非輪郭焼入れと称することとし、非焼入領域 33は軸方向にわたって歯底 4 より内径側に納まつている。このように、未調質の鋼を用いた場合、加熱エネルギー出力が小さくて済むため、設備が小さいものでよく、また材料も安価なため製造コストも低くなる。上記高周波輪郭焼入れ、高周波焼入れとも、出力（Kw) に時間（秒）を乗じた値が 150— 300となるようにしている。

以下、前記製造方法により、非調質鋼ではなく予め調質処理していない材料、すなわち未調質の鋼としての生材を用いて製造されたウォームの基本的な特徴を数値データで説明する。

(1) 残留フヱライト量： 0— 10%

(高周波焼入れ ·高周波焼戻し後における焼入れ範囲の数値であり、顕微鏡写真を画像解析して得た。研磨前の PCD上表面から 0. 25 mmの深さで測定。研磨後では表面から 0. 20 mmに相当）

(2) ウォーム素材の炭素量： 0. 42— 0. 48% (S45C相当） ' (生材を燃焼一赤外線吸収法で測定して得た）

(3) ウォーム素材のフェライト量： 10— 40% (熱処理後において、ウォームの芯部（焼入れ範囲外）の顕微鏡写真を画像解析して得た）

(4) 高周波焼入れ ·高周波焼戻し後におけるウォームの表面硬度： Hv 5 50-770

(ビッカース硬度計 5 Kgにて測定して得た。研磨前の表面から 0. 25 mmの深さで測定。研磨後では表面から 0. 2 Ommに相当）

(5) ウォームの芯部硬度（素材硬度に相当）： H_RC 22— 28

(口ックウエル硬度計 Cスケールにて測定して得た）

ここで、（1)に示すように、フェライト量が 0— 10%と比較的低い値になつたのは、輪郭焼入れの場合に比べて焼入れ時間を長くしたので、炭素が拡散しフェライトが減少したものである。

また、（4)に示すように Hv 550— 770としたのは、 H v 550以上でないと、ウォームホイール歯面の樹脂中にあるグラスファイバーのため摩耗し、 Hv 770以下とすれば3性をもたせ、割れを防止できるからである。以上説明したように、高周波輪郭焼入れせずに、焼入れ出力や焼入れ時間等を調整すれば生材に高周波焼入れするだけでも、低コストで所望の硬度を有するウォームが製造できる。

次に、本発明にかかるウォームの焼入れ方法に使用される焼入装置について、図 7A-7C及び図 8を用いて説明する。図 7A— 7C は、本発明の減速装置の製造装置を示す模式図であり、それぞれ図 7 Aは上面図、図 7Bは正面図、図 7Cは側面図である。また、図 8は、図 7.A-7Cの製造装置に用いられる加熱コイルの形状を示す斜視図である。

.図 7A-7C に示すように、焼入装置 50は、ウォーム 70を固定したワーク 71 をセンター 80及ぴ 81により上下から支持する。ワーク 71、すなわちウォーム 70は、鉛直方向に平行に載置され、縦置き状態となっている。

ウォーム 70を周方向で挟むように、加熱コイル 60が配置されている。加熱コイル 6 0は、図 8に示すようにクラ型コイルであり、コの字型の垂直部 6 1及び 6 2と、垂直部を一体に連結する連結部 6 3からなつている。 · また、加熱コイル 6 0の外側には、所定の間隔で 3つの冷却ジャケット 5 1、 5 2及び 5 3が配置されている。冷却ジャケット 5 1— 5 3の軸方向長さは、図 7B及ぴ 7 Cに示すように、加熱コイルの垂直部 6 1及ぴ 6 2とほぼ同じであるが、必ずしも同じ長さである必要はない。例えば、加熱コイル 6 0の垂直部 6 1及ぴ 6 2は、図 7 B に示したウォームの焼入れ範囲 Y より少なくとも長い軸方向長を有するものであればよい。

以上のような構成の焼入装置 5 0において、ワーク 7 1、すなわちウォーム 7 0は、不図示の駆動装置により所定の回転数で回転させながら、焼入れが行われる。

Claims

請求の範囲

1 . 少なくとも歯表皮部が高分子系複合材料製のウォームホイールと、該ウォームホイールと嚙合するウォームとからなる減速装置であって、

前記ウォームの歯面は、高周波焼入れにより熱処理されているこ.とを特徴とする減速装置。

2 . 前記高周波焼入れは、輪郭焼入れであることを特徴とする請求項 1に記載の減速装置。

3 . 前記ウォームは、調質処理した材料または非調質鋼からなることを特¾¾とする請求項 1または 2に記載の減速装置。

4 . 前記ウォームの表面硬さは、 H v 5 5 0〜7 7 0であることを特徴とする請求項 1乃至 3のいずれか 1項に記載の減速装置。

5 . 前記ウォームの焼入範囲における残留フェライト量が、 0— 1 0 %であることを特 i敷とする請求項 1乃至 4のいずれか 1項に記載の減速装

6 . 前記ウォームは鼓形ウォームであることを特徴とする請求項 1乃至 5のいずれか 1項に記載の減速装置。

7 . 前記ウォームのモジュールが 3以下であることを特徴とする請求項 1乃至 6のいずれか 1項に記載の減速装置。

8. 請求項 1乃至 7のいずれか 1項に記載の減速装置を備えたことを特徴とする電動式パワーステアリング装置。

9. 前記ウォームは、未調質の鋼からなることを特徴とする請求項 1 に記載の減速装置。

10. 前記高周波焼入れは、非輪郭焼入れであることを特徴とする請求項 9に記載の減速装置。

11. 前記ウォームの表面硬さは、 Hv 550〜770であることを特徴とする請求項 9または 10のいずれかに記載の減速装置。

12. 前記ウォームの焼入範囲における残留フヱライト量が、 0— 1 0%であることを特徴とする請求項 9乃至 11のいずれか 1項に記載の減速装置。

13. 前記ウォームは鼓形ウォームであることを特徴とする請求項 9 乃至 12のいずれか 1項に記載の減速装置。

14. 前記ウォームのモジュールが 3以下であることを特徴とする請求項 9乃至 13のいずれか 1項に記載の減速装置。

15. 請求項 9乃至 14のいずれか 1項に記載の減速装置を備えたことを特徴とする電動式パワーステアリング装置。

16. 少なくとも歯表皮部が高分子系複合材料製のウォームホイールと、該ウォームホイールと嚙合するウォームとからなる減速装置を製造する方法であって、

前記ウォームを縦置きにして前記ウォームの歯面を、高周波焼入れにより熱処理することを特徴とする減速装置の製造方法。

1 7 . 前記ウォームは、調質処理した材料または非調質鋼からなり、出力約 5 5 0— 6 0 0 K wで約 0 . 3 0— 0 . 5 0秒間、高周波輪郭焼入れすることを特徴とする請求項 1 6に記載の減速装置の製造方法。

1 8 . 前記ウォームは、未調質の鋼からなり、出力約 2 5 0— 3 0 0 K wで約 0 . 6 0— 1 . 0 0秒間、高周波焼入れまたは高周波輪郭焼入れすることを特徴とする請求項 1 6に記載の減速装置の製造方法。

• 1 9 . 請求項 1 6乃至 1 8のいずれか 1項に記載の製造方法で作られた減速装置を備えたことを特徴とする電動式パワーステアリング装置。

2 0 . 少なくとも歯表皮部が高分子系複合材料製のウォームホイールと、該ウォームホイールと嚙合するウォームとからなる減速装置を製造する装置であって、

' 前記ウォームを縦置きに支持するセンターと、

前記ウォームを囲繞する加熱コイルと、

前記ウォームを囲繞する冷却ジャケットと、

からなり、前記ウォームを縦置きにした状態で前記ウォームを回転させながら、前記ウォームの歯面を高周波焼入れにより熱処理することを特徴とす